研究者詳細

顔写真

トツ　ケンタロウ
戸津　健太郎
Kentaro Totsu
所属
マイクロシステム融合研究開発センター
職名
教授
学位

  • 博士（工学）（東北大学）

  • 修士（工学）（東北大学）

プロフィール

2004年東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻博士課程修了。同年、同ナノメカニクス専攻助手。2007年東北大学産学官連携推進本部助教。2010年東北大学マイクロシステム融合研究開発センター准教授。2021年同教授・センター長。MEMSに関する研究に従事しているほか、2010年からは東北大学試作コインランドリの長としてMEMS微細加工共用施設の運営を行う。試作コインランドリの取組に対して、2013年産学官連携功労者表彰経済産業大臣賞受賞。2020年よりMEMS産業化を支援する産学官連携組織「MEMSパークコンソーシアム」代表。

経歴 5

  • 2021年4月 ～ 継続中
    東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター　教授

  • 2017年4月 ～ 2021年3月
    東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター　副センター長

  • 2010年4月 ～ 2021年3月
    東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　准教授

  • 2007年4月 ～ 2010年3月
    東北大学産学連携推進本部　助教

  • 2004年4月 ～ 2007年3月
    東北大学大学院工学研究科　助手

学歴 2

  • 東北大学　工学研究科　機械電子工学専攻

    ～ 2004年3月24日

  • 東北大学　工学部　機械電子工学科

    ～ 1999年3月25日

所属学協会 5

  • 応用物理学会

    ～ 継続中

  • IEEE

  • 精密工学会

  • 電気学会

  • 日本機械学会

研究キーワード 5

  • 微細加工

  • MEMS

  • マイクロシステム

  • マイクロマシン

  • センサ

研究分野 1

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /

受賞 9

  1. ナノテクノロジープラットフォーム 平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞受賞

    2019年1月　文部科学省　広帯域波長掃引パルス量子カスケードレーザの開発

  2. 第8回集積化MEMSシンポジウム 優秀論文賞

    2017年3月　応用物理学会　厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術

  3. ナノテクノロジープラットフォーム 平成27年度「秀でた利用成果」

    2016年1月　文部科学省　音響光学フィルタの開発

  4. IMAPS2015 Best of Session

    2015年10月　IMAPS　Hermetic Seal Bonding at Low-temperature with Sub-micron Gold Particles for Wafer Level Packaging

  5. 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞

    2014年10月　電気学会センサ・マイクロマシン部門　超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価

  6. ナノテクノロジープラットフォーム 平成24年度「秀でた利用6大成果」 最優秀賞

    2014年1月　文部科学省　シリコンエレクトレットマイクロホンの開発

  7. 産学官連携功労者表彰 経済産業大臣賞

    2013年8月　内閣府　試作コインランドリ ～豊富な設備とノウハウを提供するMEMS開発オープンプラットフォーム～

  8. ナノテクノロジー・ネットワーク 「5大成果事例」

    2012年2月　文部科学省　MEMS加工を用いた微細Siぜんまい構造の実現 －運動エネルギー回収等のための蓄力機構としてのSi-MEMS構造－

  9. 2003年度日本コンピュータ外科学会講演論文賞

    2004年4月　日本コンピュータ外科学会

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論文 59

  1. 単層フォトレジストによる1µm線幅リフトオフプロセスの評価—Lift-off Patterning of 1 µm Line Width using Single Layer Photoresist

    佐々木 寛充, 森山 雅昭, 戸津 健太郎

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines　143　(7)　204-210　2023年7月

    出版者・発行元： 東京 : 電気学会

    ISSN：1341-8939

  2. レーザ直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの評価 査読有り

    庄子征希, 上瀧英郎, 森山雅昭, 戸津健太郎

    電気学会論文誌 E　140　(5)　35-39　2020年

    出版者・発行元： 電気学会

    ISSN：1341-8939

  3. Probing Surface Morphology using X-ray Grating Interferometry 査読有り

    Wataru Yashiro, Susumu Ikeda, Yasuo Wada, Kentaro Totsu, Yoshio Suzuki, Akihisa Takeuchi

    SCIENTIFIC REPORTS　9　14120　2019年10月

    DOI： 10.1038/s41598-019-50486-5 　

    ISSN：2045-2322

  4. MEMS research is better together 査読有り

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi

    NATURE ELECTRONICS　2　(4)　134-136　2019年4月

    DOI： 10.1038/s41928-019-0236-z 　

    ISSN：2520-1131

  5. Sol-Gel Deposition and Characterization of Lead Zirconate Titanate Thin Film Using Different Commercial Sols 査読有り

    Masaaki Moriyama, Kentaro Totsu, Shuji Tanaka

    SENSORS AND MATERIALS　31　(8)　2497-2509　2019年

    DOI： 10.18494/SAM.2019.2420 　

    ISSN：0914-4935

  6. Fabrication of IoT Force Sensor Module in Five-day Program for Students as Part of Nanotechnology Platform Japan Project 査読有り

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Hiraku Watanabe, Toshiyuki Kikuta, Masahiro Hemmi, Masaaki Shoji, Takashi Yoshida, Masataka Tatsuta

    SENSORS AND MATERIALS　31　(8)　2555-2563　2019年

    DOI： 10.18494/SAM.2019.2390 　

    ISSN：0914-4935

  7. Isolation Characteristics of In-plane Feedthrough across Au/SiOx Seal Ring for Wafer-level RF MEMS Packaging 査読有り

    M. Moriyama, Y. Suzuki, K. Totsu, H. Hirano, S, Tanaka

    Proc. APCOT 2018　24-27　2018年6月

  8. 面内高周波フィードスルーによる金属接合ウェハレベルMEMSパッケージング技術 -厚いAu膜フィードスルーの気密性と高周波特性- 査読有り

    森山雅昭, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 平野栄樹, 田中秀治, 田中秀治

    電気学会論文誌 E　138　(10)　485-494　2018年

    出版者・発行元： 一般社団法人 電気学会

    ISSN：1341-8939

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    Au-Au-bonding-based wafer-level vacuum packaging technology using in-plane feedthrough of thick Au signal lines was developed for RF MEMS. Compared with conventional technology based on glass frit bonding, the developed technology is advantageous in terms of smaller width of sealing frames, lower process temperature and smaller amount of degas. To guarantee the hermetic sealing, the adhesion between the thick Au lines and a SiO<i><sub>x</sub></i> dielectric frame is improved by an Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> interlayer by ALD (Atomic Layer Deposition). The steps of the dielectric frame above the thick Au lines are absorbed by an electroplated Au seal ring planarized by fly cutting. The thermocompression bonding of the Au seal rings of 20∼100 µm width was done at 300ºC. A cavity pressure of about 500 Pa or lower was measured by "zero balance method" using Si diaphragms. Vacuum sealing was maintained for more than 19 months, and the leak rate is less than 8×10<sup>-16</sup> Pa m<sup>3</sup>/s. The isolation of open signal lines was measured up to 10 GHz for different designs of the sealing ring and SiO<i><sub>x</sub></i> dielectric frame. The influence of the in-plane feed through to the isolation is as low as 2∼3 dB, if the width of the sealing ring is 20 µm and the thickness of SiO<i><sub>x</sub></i> dielectric frame is larger than 10 µm. The developed wafer-level packaging technology is ready for applications to an RF MEMS switch.</p>

  9. Accelerating MEMS Development by Open Collaboration at Hands-On-Access Fab, Tohoku University 査読有り

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Masayoshi Esashi

    SENSORS AND MATERIALS　30　(4)　701-711　2018年

    DOI： 10.18494/SAM.2018.1804 　

    ISSN：0914-4935

  10. Open collaboration based on hands-on access fabrication facility for MEMS

    Masayoshi Esashi, Kentaro Totsu

    Proceedings of the International Display Workshops　2　1315-1318　2017年1月1日

    ISSN：1883-2490

  11. Formation of extremely high-aspect Si sub-micron patterns with smooth wall for MEMS and X-ray devices 査読有り

    Hayato Komatsu, Wataru Yashiro, Hidemi Kato, Johji Kagami, Kentaro Totsu, Masashi Nakao

    2017 INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONICS PACKAGING (ICEP)　487-490　2017年

  12. Simulation analysis of a miniaturized electron optics of the Massively Parallel Electron Beam Direct-Write (MPEBDW) for Multi-column system 査読有り

    Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Takashi Yoshida, Ryutaro Suda, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida

    EMERGING PATTERNING TECHNOLOGIES　10144　2017年

    DOI： 10.1117/12.2257967 　

    ISSN：0277-786X

  13. WAFER-TO-WAFER TRANSPORTABLE GOLD PARTICLE PLUG FOR SPOT VACUUM SEALING OF MEMS 査読有り

    Toshinori Ogashiwa, Kentaro Totsu, Mitsutomo Nishizawa, Hiroyuki Ishida, Kenichi Inoue, Yuya Sasaki, Masayuki Miyairi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

    2017 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　1304-1307　2017年

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994295 　

  14. Development of a MEMS electrostatic condenser lens array for nc-Si surface electron emitters of the Massive Parallel Electron Beam Direct-Write system

    A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, S. Yoshida, K. Totsu, N. Koshida, M. Esashi

    ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VIII　9777　2016年

    DOI： 10.1117/12.2219338 　

    ISSN：0277-786X

    eISSN：1996-756X

  15. Fabrication of Through Silicon Via with Highly Phosphorus-Doped Polycrystalline Si Plugs for Driving an Active-matrix Nanocrystalline Si Electron Emitter Array 査読有り

    Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

    2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)　2016年

    ISSN：2474-3747

    eISSN：2474-3755

  16. Hermetic Seal Bonding at Low-temperature with Sub-micron Gold Particles for Wafer Level Packaging 査読有り

    Toshinori Ogashiwa, Kentaro Totsu, Mitsutomo Nishizawa, Hiroyuki Ishida, Yuya Sasaki, Masayuki Miyairi, Hiroshi Murai, Yukio Kanehira, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

    Proc. IMAPS 48th Annual International Symposium on Microelectronics　73-78　2015年10月

  17. Free-standing subwavelength grid infrared cut filter of 90 mm diameter for LPP EUV light source 査読有り

    Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　231　59-64　2015年7月

    DOI： 10.1016/j.sna.2014.07.006 　

    ISSN：0924-4247

  18. Development of ballistic hot electron emitter and its applications to parallel processing: active-matrix massive direct-write lithography in vacuum and thin-film deposition in solutions 査読有り

    Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Ryutaro Suda, Mamiko Yagi, Junichi Shirakashi, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi

    JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS　14　(3)　2015年7月

    DOI： 10.1117/1.JMM.14.3.031215 　

    ISSN：1932-5150

    eISSN：1932-5134

  19. Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write Lithography in Vacuum and Thin Films Deposition in Solutions 査読有り

    N. Koshida, A. Kojima, N. Ikegami, R. Suda, M. Yagi, J. Shirakashi, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S. Yoshida, M. Sugata, K. Totsu, M. Esashi

    ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VII　9423　2015年

    DOI： 10.1117/12.2085782 　

    ISSN：0277-786X

  20. 超並列電子線描画装置用アクティブマトリックスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価に関するレビュー 査読有り

    池上尚克, 小島明, 宮口裕, 吉田孝, 吉田慎哉, 室山真徳, 菅田正徳, 越田信義, 戸津健太郎, 江刺正喜, 江刺正喜

    電気学会論文誌 E　135　(6)　221-229　2015年

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.221 　

    ISSN：1341-8939

  21. 超並列電子線描画用LSIの設計と評価

    宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 金子亮介, 戸津健太郎, 田中秀治, 越田信義, 江刺正喜

    電気学会論文誌 E　135　(10)　374-381　2015年

    出版者・発行元： 一般社団法人 電気学会

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.374 　

    ISSN：1341-8939

  22. FREE-STANDING SUBWAVELENGTH GRID INFRARED REJECTION FILTER OF 90 MM DIAMETER FOR LPP EUV LIGHT SOURCE 査読有り

    Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　482-485　2014年

    DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765682 　

  23. Low-stress epitaxial polysilicon process for micromirror devices 査読有り

    Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hiraku Watanabe, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　133　(6)　7-228　2013年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.133.223 　

    ISSN：1341-8939 1347-5525

  24. Tactile display using shape memory alloy micro-coil actuator and magnetic latch mechanism 査読有り

    T. Matsunaga, K. Totsu, M. Esashi, Y. Haga

    Displays　34　(2)　89-94　2013年

    DOI： 10.1016/j.displa.2013.03.001 　

    ISSN：0141-9382

  25. Hands-on-access fabrication facility for MEMS Development and production

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi

    Proceedings of the International Display Workshops　2　1405-1408　2013年

    ISSN：1883-2490

  26. Hands-on-access facility for MEMS and semiconductor prototyping at Tohoku University

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi

    SSI 2012 - Smart Systems Integration Conference 2012　2012年

    出版者・発行元： Mesago Messe Frankfurt GmbH

  27. Wafer Bonding of Polycrystalline Spinel with LiNbO3/LiTaO3 for Temperature Compensation of RF Surface Acoustic Wave Devices

    K. Geshi, K. Teraoka, S. Kinoshita, M. Nakayama, Y. Imagawa, S. Nakayama, K. Hashimoto, S. Tanaka, K. Totsu, H. Takagi

    2012 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　2726-2729　2012年

    DOI： 10.1109/ULTSYM.2012.0683 　

    ISSN：1948-5719

  28. 多機能なカテーテル評価のためのPVA-Hモデルを用いた循環路システムの開発 査読有り

    橋田葉子, 小助川博之, 信太宗也, 斎木佳克, 松永忠雄, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 太田信

    人工臓器(日本人工臓器学会)　39　(2)　58　2010年

    ISSN：0300-0818

  29. Minimally invasive diagnostics and treatment using micro/nano machining 査読有り

    Yoichi Haga, Tadao Matsunaga, Wataru Makishi, Kentaro Totsu, Takashi Mineta, Masayoshi Esashi

    MINIMALLY INVASIVE THERAPY & ALLIED TECHNOLOGIES　15　(4)　218-225　2006年8月

    DOI： 10.1080/13645700600836224 　

    ISSN：1364-5706

    eISSN：1365-2931

  30. Fabrication of three-dimensional microstructure using maskless gray-scale lithography 査読有り

    Kentaro Totsu, Kenta Fujishiro, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　130　387-392　2006年8月

    DOI： 10.1016/j.sna.2005.12.008 　

    ISSN：0924-4247

  31. Development of medical and welfare microdevices using micro technology

    Y. Haqa, T. Matsunaga, W. Makishi, K. Totsu, M. Esashi

    IDW '06 - Proceedings of the 13th International Display Workshops　2　1595-1598　2006年

  32. Hermitically sealed Ultra-Miniature fiber-optic pressure sensor

    S. Nakamura, T. Matsunaga, K. Totsu, M. Esashi, Y. Haga

    IDW '06 - Proceedings of the 13th International Display Workshops　2　1553-1556　2006年

  33. Thin-Film In-Au Microjoint for MEMS Packaging 査読有り

    Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi

    Proceedings of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology　2006年

  34. Optically Driven Microactuator for Two-Dimensional Optical Scanner 査読有り

    Kentaro Totsu, Hyun-Chul Kang, Masayoshi Esashi

    Proceedings of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology　2006年

  35. 医療分野における精密加工 精密微細加工技術を用いた高機能低侵襲医療デバイスの開発

    芳賀洋一, 松永忠雄, 牧志渉, 戸津健太郎, 峯田貴, 江刺正喜

    砥粒加工学会誌　50　(5)　245-248　2006年

    出版者・発行元： 砥粒加工学会

    ISSN：0914-2703

  36. Enhanced electron emission using indium tin oxide/silicon monoxide/gold structure 査読有り

    Magdy Hussein Mourad, Kentaro Totsu, Shinya Kumagai, Seir Samukawa, Masayoshi Esashi

    FUTURE MEDICAL ENGINEERING BASED ON BIONANOTECHNOLOGY, PROCEEDINGS　443-+　2006年

    DOI： 10.1142/9781860948800_0048 　

  37. Gray-scale photolithography using maskless exposure system 査読有り

    K Totsu, M Esashi

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　23　(4)　1487-1490　2005年7月

    DOI： 10.1116/1.1943438 　

    ISSN：1071-1023

  38. Dynamic Braille display using SMA coil actuator and magnetic latch 査読有り

    Y Haga, W Makishi, K Iwami, K Totsu, K Nakamura, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　119　(2)　316-322　2005年4月

    DOI： 10.1016/j.sna.2004.10.001 　

    ISSN：0924-4247

  39. Electron emission from indium tin oxide/silicon monoxide/gold structure 査読有り

    MH Mourad, K Totsu, S Kumagai, S Samukawa, M Esashi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　44　(3)　1414-1418　2005年3月

    DOI： 10.1143/JJAP.44.1414 　

    ISSN：0021-4922

  40. 光導波路を用いた屈曲センサの開発

    東谷旦, 戸津健太郎, 江刺正喜

    生体医工学　43　(2)　2005年

    ISSN：1347-443X

  41. 125 mu m diameter fiber-optic pressure sensor system using spectrometer- based white light interferometry with high-speed wavelength tracking 査読有り

    K Totsu, Y Haga, T Matsunaga, M Esashi

    2005 3rd IEEE/EMBS Special Topic Conference on Microtechnology in Medicine and Biology　170-173　2005年

    DOI： 10.1109/MMB.2005.1548416 　

  42. Tactile display for 2-D and 3-D shape expression using SMA micro actuators 査読有り

    T Matsunaga, K Totsu, M Esashi, Y Haga

    2005 3rd IEEE/EMBS Special Topic Conference on Microtechnology in Medicine and Biology　88-91　2005年

    DOI： 10.1109/MMB.2005.1548391 　

  43. Piezoelectric 2D microscanner for precise laser treatment in the human body 査読有り

    H Akahori, Y Haga, T Matsunaga, K Totsu, H Iseki, M Esashi, H Wada

    2005 3RD IEEE/EMBS SPECIAL TOPIC CONFERENCE ON MICROTECHNOLOGY IN MEDICINE AND BIOLOGY　166-169　2005年

    DOI： 10.1109/MMB.2005.1548415 　

    ISSN：1049-3565

  44. Active bending ileus tube using shape memory alloy for treatment of intestinal obstruction 査読有り

    Y Haga, M Mizushima, T Matsunaga, K Totsu, M Esashi

    2005 3RD IEEE/EMBS SPECIAL TOPIC CONFERENCE ON MICROTECHNOLOGY IN MEDICINE AND BIOLOGY　249-252　2005年

    DOI： 10.1109/MMB.2005.1548440 　

    ISSN：1049-3565

  45. Gray-scale lithography using mask-less exposure system 査読有り

    K Totsu, K Fujishiro, S Tanaka, M Esashi

    Transducers '05, Digest of Technical Papers, Vols 1 and 2　1441-1444　2005年

    DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1497353 　

  46. 2-D and 3-D tactile pin display using SMA micro-coil actuator and magnetic latch 査読有り

    T Matsunaga, W Makishi, K Totsu, M Esashi, Y Haga

    TRANSDUCERS '05, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　325-328　2005年

    DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1496422 　

  47. Ultra-miniature fiber-optic pressure sensor using white light interferometry 査読有り

    K Totsu, Y Haga, M Esashi

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(1)　71-75　2005年1月

    DOI： 10.1088/0960-1317/15/1/011 　

    ISSN：0960-1317

  48. 低侵襲医療のための光MEMS

    芳賀洋一, 赤堀寛昌, 戸津健太郎, 和田仁, 江刺正喜

    レーザー研究　33　(11)　754-760　2005年

    出版者・発行元： レ-ザ-学会

    DOI： 10.2184/lsj.33.754 　

    ISSN：0387-0200

  49. Ultra-Miniature Fiber-Optic Medical Pressure Sensor System Using White Light Interferometry 査読有り

    K. Totsu, Y. Haga, M.M. Lwin, M. Esashi

    Proc. of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2004　357-361　2004年7月4日

  50. Active Bending Long Intestinal Tube Using Shape Memory Alloy 査読有り

    M. Mizushima, Y. Haga, K. Totsu, M. Esashi

    Proceedings of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2004　893-896　2004年7月4日

  51. Narrow Interval 2-D Pin Display Using SMA Coil Actuator for Blind Person 査読有り

    T. Matsunaga, Y. Haga, M. Mizushima, K. Totsu, M. Esashi

    Proc. of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2004　306-309　2004年7月4日

  52. Piezoelectric 2D Microscanner for Intracorporeal Laser Treatment 査読有り

    H. Akahori, Y. Haga, K. Totsu, M. Esashi, H. Wada

    Proc. of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2004　211-214　2004年7月4日

  53. Three-axis magneto-impedance effect sensor system for detecting position and orientation of catheter tip 査読有り

    K Totsu, Y Haga, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　111　(2-3)　304-309　2004年3月

    DOI： 10.1016/j.sna.2003.11.018 　

    ISSN：0924-4247

  54. 形状記憶合金を用いた腸閉塞治療用能動カテーテル 査読有り

    水島昌徳, 芳賀洋一, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本コンピュータ外科学会誌　6　(1)　23-29　2004年

    DOI： 10.5759/jscas1999.6.23 　

    ISSN：1344-9486

  55. Vacuum sealed ultra miniature fiber-optic pressure sensor using white light interferometry 査読有り

    K Totsu, Y Haga, M Esashi

    BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　931-934　2003年

    DOI： 10.1109/SENSOR.2003.1215628 　

  56. 形状記憶合金を用いた腸閉塞治療用能動屈曲チューブ

    水島昌徳, 芳賀洋一, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本コンピュータ外科学会誌　5　(3)　265-266　2003年

    ISSN：1344-9486

  57. Development of active catheter, active guide wire and micro sensor systems 査読有り

    Y Haga, T Mineta, K Totsu, W Makishi, M Esashi

    INTERVENTIONAL NEURORADIOLOGY　7　125-130　2001年12月

    ISSN：1591-0199

    eISSN：2385-2011

  58. 歯の噛み合い力と相対位置をモニタするセンサの開発 査読有り

    野崎浩一, 戸津健太郎, 黒江和斗, 佐田登志夫, 江刺正喜, WANG S

    電気学会論文誌 E　120-E　(4)　150-155　2000年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.120.150 　

    ISSN：1341-8939

  59. カテーテル先端の位置・姿勢を検出する磁気センサシステム 査読有り

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    電気学会論文誌 E　120-E　(5)　211-218　2000年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.120.211 　

    ISSN：1341-8939

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MISC 45

  1. 試作コインランドリにおけるデータ収集・利活用 : 大学共用設備におけるMEMSプロセスデータの取り扱い—特集 MEMS分野の最新動向

    戸津 健太郎

    クリーンテクノロジー = Clean technology : クリーン環境と清浄化技術の専門誌 / クリーンテクノロジー編集部 編　33　(11)　6-9　2023年11月

    出版者・発行元： 東京 : 日本工業出版

    ISSN： 0917-1819

  2. オープンコラボレーションを実現したマイクロシステム研究開発プラットフォーム

    戸津 健太郎, 石下 雅史

    精密工学会誌　88　(5)　359-362　2022年5月5日

    出版者・発行元： 公益社団法人 精密工学会

    DOI： 10.2493/jjspe.88.359 　

    ISSN： 0912-0289

    eISSN： 1882-675X

  3. マイクロマシニング概論

    戸津 健太郎

    機械の研究 = Science of machine　74　(1)　16-21　2022年1月

    出版者・発行元： 東京 : 養賢堂

    ISSN： 0368-5713

  4. Metal-bonding-based hermetic wafer-level MEMS packaging technology using in-plane feedthrough: Hermeticity and high frequency characteristics of thick gold film feedthrough 査読有り

    Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hideki Hirano, Shuji Tanaka

    ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN　206　(2)　44-53　2019年1月

    DOI： 10.1002/eej.23193 　

    ISSN： 0424-7760

    eISSN： 1520-6416

  5. 機械をいじくる MEMSのものづくり,ひとづくり,ことづくり

    戸津健太郎, 戸津健太郎

    日本機械学会誌　118　(1165)　726-729　2015年

    ISSN： 0021-4728

  6. 第11回 ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開~ベンチャー,中小から大企業まで~東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

    戸津健太郎, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫

    工業材料　63　(4)　52-54　2015年

    ISSN： 0452-2834

  7. MEMSの実際の加工と試作開発環境

    戸津健太郎

    機械の研究　67　(12)　1019-1026　2015年

    出版者・発行元： 東京 : 養賢堂

    ISSN： 0368-5713

  8. 試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援 (特集 マイクロシステム融合研究開発)

    戸津 健太郎, 森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫

    金属　83　(9)　757-764　2013年9月

    出版者・発行元： アグネ技術センター

    ISSN： 0368-6337

  9. MEMS・半導体開発のための共用施設「試作コインランドリ」

    戸津 健太郎

    産学官連携ジャーナル　9　(5)　4-8　2013年5月15日

    出版者・発行元： 国立研究開発法人 科学技術振興機構

    DOI： 10.1241/sangakukanjournal.9.5_4 　

    ISSN： 2186-2621

    eISSN： 1880-4128

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    ※本記事に抄録はありません。

  10. MEMS分野の最新動向 2)東北大学MEMS試作コインランドリにおけるオープンイノベーション

    戸津健太郎

    クリーンテクノロジー　23　(5)　2013年

    ISSN： 0917-1819

  11. マイクロシステム融合研究開発 試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援

    戸津健太郎, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 小野崇人, 吉田慎哉, 江刺正喜, 江刺正喜

    金属　83　(9)　13-20　2013年

    出版者・発行元： アグネ技術センター

    ISSN： 0368-6337

  12. MEMS・仙台・ネットワークの可能性 MEMS・半導体開発のための共用施設「試作コインランドリ」

    戸津健太郎

    産学官連携ジャーナル(Web)　9　(5)　4-8　2013年

    ISSN： 1880-4128

  13. 研究室だより：東北大学 MEMS 研究施設 ～震災を乗り越えて～

    戸津 健太郎

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌　132　(2)　NL2_2-NL2_3　2012年

    出版者・発行元： 一般社団法人 電気学会

    DOI： 10.1541/ieejsmas.132.NL2_2 　

    ISSN： 1341-8939

  14. 極細径光ファイバ圧力センサ 検出器の設計および作製

    戸津健太郎

    極細径光ファイバ圧力センサ 平成21年度 総括・分担研究報告書　2010年

  15. 第1回国際ナノ・マイクロアプリケーションコンテスト(iCAN2009)開催報告(トピックス)

    戸津 健太郎

    日本機械学会誌　113　(1100)　562-562　2010年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本機械学会

    ISSN： 0021-4728

  16. MEMS技術がつなぐ国際的なイノベーション・ネットワーク －スイスCSEM社が東北の地域連携をサポート－

    戸津 健太郎

    産学官連携ジャーナル　4　(5)　23-24　2008年5月15日

    出版者・発行元： 国立研究開発法人 科学技術振興機構

    DOI： 10.1241/sangakukanjournal.4.5_23 　

    ISSN： 2186-2621

    eISSN： 1880-4128

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    ※本記事に抄録はありません。

  17. MEMS技術がつなぐ国際的なイノベーション・ネットワーク-スイスCSEM社が東北の地域連携をサポート-

    戸津健太郎, 戸津健太郎

    産学官連携ジャーナル(Web)　4　(5)　24-25　2008年

    ISSN： 1880-4128

  18. 集積化3軸MIセンサを用いた低侵襲検査治療ツール用3次元ナビゲーションシステムの開発

    戸津健太郎, 江刺正喜, 芳賀洋一

    中谷電子計測技術振興財団年報　(21)　2007年

    ISSN： 0914-2487

  19. MEMS技術を用いた低侵襲検査・治療機器の開発

    芳賀洋一, 松永忠雄, 牧志渉, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本生体医工学会大会プログラム・論文集　45th　2006年

    ISSN： 1347-443X

  20. 極細径光ファイバ超音波受信プローブ 査読有り

    石川真矢, 戸津健太郎, 中野琢磨, 芳賀洋一, 江刺正喜

    生体医工学シンポジウム2006　133-137　2006年

  21. 物理量計測:極細径光ファイバ圧センサ 査読有り

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 松永忠雄, 江刺正喜

    日本生体医工学会大会プログラム・論文集　45th　183　2006年

    ISSN： 1347-443X

  22. Piezoelectric Resonator for Intravascular Ultrasonic Elastography 査読有り

    Michael Whitson, Sadao Omata, Yoshinobu Murayama, Tadao Matsunaga, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Yoichi Haga

    電気学会バイオマイクロシステム研究会　63-66　2006年

  23. 05. 光導波路を用いた屈曲センサの開発(平成16年度東北支部大会抄録, 支部大会抄録)

    東谷 旦, 戸津 健太郎, 江刺 正喜

    生体医工学 : 日本エム・イー学会誌　43　(2)　328　2005年6月10日

    出版者・発行元： 社団法人日本生体医工学会

    ISSN： 1347-443X

  24. MEMS技術を用いた低侵襲検査治療ツールの開発

    戸津 健太郎, 江刺 正喜

    第9回ナノメディシン研究科資料　4　2005年

  25. マスクレス露光装置を用いたグレイスケールフォトレジストパターンの作製 査読有り

    戸津健太郎, 藤代健太, 田中秀治, 江刺正喜

    電気学会全国大会講演論文集　2005　(3)　201　2005年

  26. 光導波路を用いた能動カテーテル用屈曲センサの開発

    東谷旦, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    電気学会フィジカルセンサ研究会資料　PHS-05　(1-11)　45-48　2005年

  27. 錘と貫通孔を有した能動屈曲イレウスチューブの開発 査読有り

    水島昌徳, 芳賀洋一, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　43rd　684　2004年

  28. 圧電駆動による体腔内レーザー治療用2次元マイクロスキャナー 査読有り

    赤堀寛昌, 芳賀洋一, 戸津健太郎, 江刺正喜, 和田仁

    日本ME学会大会論文集　43rd　322　2004年

  29. 高密度2次元触覚ディスプレイの開発 査読有り

    松永忠雄, 芳賀洋一, 水島昌徳, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　43rd　290　2004年

  30. 3軸MIセンサを用いた血管・体腔内検査治療ツール用3次元ナビゲーションシステム 査読有り

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　43rd　262　2004年

  31. 白色光のスペクトル変調を用いた極細径光ファイバ圧力センサ(第2報) 査読有り

    戸津健太郎, LWIN M M, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　43rd　242　2004年

  32. 形状記憶合金コイルと磁気ラッチを用いた視覚障害者用2次元触覚ディスプレイの開発

    松永忠雄, 水島昌徳, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    バイオエンジニアリング講演会講演論文集　16th　(0)　91-92　2004年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本機械学会

    DOI： 10.1299/jsmebio.2004.16.91 　 10.1541/ieejsmas.141.304_references_DOI_EpbRq0pL3plfXl7q375B0DYNUXC 　 10.1541/ieejsmas.139.329_references_DOI_EpbRq0pL3plfXl7q375B0DYNUXC 　

    ISSN： 1348-2920

    eISSN： 2424-2829

  33. 16.重力加速度センサと地磁気センサを用いた人体の姿勢計測(平成14年度東北支部大会抄録)

    戸津 健太郎, 江刺 正喜

    生体医工学 : 日本エム・イー学会誌　41　(1)　67　2003年3月10日

    出版者・発行元： 社団法人日本生体医工学会

    ISSN： 1347-443X

  34. ナノ・マイクロテクノロジー分野における知のネットワーク:現状と課題

    原山優子, 和賀三和子, 戸津健太郎

    S-T-Iネットワークと新産業創出:新しい科学技術政策のフレームワークを求めて 平成13-14年度 科学技術政策提言　2003年

  35. 血管内低侵襲医療のためのマイクロマシニング技術

    芳賀洋一, 峯田貴, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集　38th　28-29　2003年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本機械学会

    DOI： 10.1299/jsmeth.2003.38.28 　

    eISSN： 2424-2713

  36. 白色光のスペクトル変調を用いた極細径光ファイバ圧力センサ 査読有り

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　42nd　366　2003年

  37. 形状記憶マイクロアクチュエータを用いた視覚障害者用2次元ピンディスプレイ 査読有り

    芳賀洋一, 松永忠雄, 水島昌徳, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本機械学会福祉工学シンポジウム講演論文集　3rd　197-199　2003年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本機械学会

    DOI： 10.1299/jsmewes.2003.3.197 　

    eISSN： 2424-3035

    詳細を見る 詳細を閉じる

    コンピュータの文字情報や図形情報などを、二次元に配列されたピンを上下させ、凹凸により表示する視覚障害者用2次元触覚ディスプレイ(ピンディスプレイ)を開発した。ピンの上下動作に形状記憶合金 (SMA) コイルを使用し、コイルに電流を流して加熱することで、ピンが上下に駆動される。また、ピンには磁性体金属チューブが固定されており、永久磁石によりピンが上がったまま、あるいは下がったままで固定(ラッチ)され、ピンを上下させる瞬間だけ通電するため、消費電力を抑えることが可能である。10ピンで1つのモジュールで構成されており、これを多数並べることで、ピンを2次元に配列することが簡単にでき、その2次元平面状に図形や文字を凹凸により表示できる。このディスプレイは点字を表示する点字ディスプレイとしても使用可能であり、約2.5mmピッチで10×10ピン(10ピン)を有する試作品を製作し、動作を確認した。

  38. 極細径光ファイバ血圧センサの開発 査読有り

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本機械学会バイオフロンティア講演会講演論文集　14th　115-116　2003年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本機械学会

    DOI： 10.1299/jsmebiofro.2003.14.115 　

    ISSN： 1348-2939

    eISSN： 2424-2810

  39. SMAアクチュエータを用いた能動屈曲型イレウスチューブの開発 査読有り

    水島昌徳, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　42nd　247　2003年

  40. Ultra Miniature Fiber-Optic Pressure Sensor Using White Light Interferometer 査読有り

    Kentaro Totsu, Yoichi Haga, Masayoshi Esashi

    第31回人工心臓と補助循環懇話会抄録集　95　2003年

  41. フライブルク大学 マイクロシステム技術学科(ドイツ)

    田畑 修, 戸津 健太郎

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society　121　(5)　289-290　2001年5月1日

    ISSN： 1341-8939

  42. 能動カテーテルの組み立てと制御 査読有り

    牧志渉, 松本淳, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    第35回日本エム・イー学会東北支部大会講演論文集　50　2001年

  43. カテーテル先端位置・姿勢検出のための磁気ベクトルセンサシステム 査読有り

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    第39回日本エム・イー学会大会論文集　29　2000年

  44. カテーテル先端の位置・姿勢を検出するMIセンサシステムの開発 査読有り

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    電気学会センサ・マイクロマシン部門平成11年度総合研究会資料　1999　(1)　77-82　1999年

  45. 歯の噛み合い力と相対位置検出センサシステム 査読有り

    戸津健太郎, 野崎浩一, 佐田登志夫, 黒江和斗, 江刺正喜, WANG S

    電気学会物理センサ研究会資料　PS-98　(1-8.10-17)　77-82　1998年

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書籍等出版物 4

  1. 半導体微細パターニング

    江刺正喜, 戸津健太郎, 鈴木裕輝夫, 小島明, 池上尚克, 宮口裕, 越田信義

    NTS　2017年4月

  2. アクチュエータ 研究開発の最前線

    戸津 健太郎

    NTS　2011年8月

  3. MEMS/NEMS工学全集

    戸津 健太郎

    テクノシステム　2009年4月

  4. 経済産業研究所 経済政策レビュー 8 産学連携

    原山優子, 和賀三和子, 児玉俊洋, 戸津健太郎

    東洋経済新報社　2003年4月24日

講演・口頭発表等 43

  1. レーザ直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの評価

    庄子征希, 上瀧英郎, 森山雅昭, 戸津健太郎

    電気学会研究会資料　2019年

  2. MC-FAN測定温度制御方法の開発

    菊池佑二, 竹内千明, 菊池裕子, 安隆則, 秦信宏, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本ヘモレオロジー学会総会プログラム・抄録集　2018年

  3. 異方性ウェットエッチング法によるヒトおよびラット血液流動性測定用マイクロチャネルアレイチップの高精度加工

    戸津健太郎, 江刺正喜, 清水理葉, 安隆則, 山崎将嗣, 秦信宏, 松本衣代, 川崎朝子, 横川晃治, 梶原苗美, 菊池裕子, 竹内千明, 菊池佑二

    日本ヘモレオロジー学会総会プログラム・抄録集　2018年

  4. Tohoku MEMS Integration and Packaging Platform in Tohoku University

    Yukio Suzuki, Masaaki Moriyama, Kentaro Totsu, Shuji Tanaka

    2nd French-Japanese Workshop on Micro & Nanotechnology　2016年11月

  5. 厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術

    森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 熊野勝文, 戸津健太郎, 平野栄樹, 田中秀治

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　2016年

  6. 超並列電子線描画装置における電子光学系の小型化の検討

    小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田孝, 須田隆太郎, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜, 越田信義

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　2016年

  7. Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write Lithography in Vacuum and Thin Films Deposition in Solutions

    N. Koshida, A. Kojima, N. Ikegami, R. Suda, M. Yagi, J. Shirakashi, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S. Yoshida, M. Sugata, K. Totsu, M. Esashi

    ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VII　2015年

  8. 超並列電子線描画装置用nc-Si(ナノシリコン)面電子源のためのMEMS静電コンデンサレンズアレイの開発

    小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜, 越田信義

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　2015年

  9. EUVリソグラフィー光源のためのグリット型赤外線遮断フィルターの作製と評価結果

    鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 森山雅昭, 江刺正喜, 田中秀治

    日本機械学会2014年度年次大会　2014年10月20日

  10. UV-imprint lithography based on UV-curable PDMS 国際会議

    Masashi Nakao, Kentaro Totsu, Yoshimasa Sugimoto

    The 15th Chitose International Forum on Photonics Science & Technology　2014年10月

  11. 東北大学試作コインランドリ～MEMS の試作開発から製品化に至る一貫した支援拠点～

    戸津 健太郎, 森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫, 江刺 正喜

    学振弾性波素子技術第150 委員会研究会　2014年5月

  12. 超並列電子線描画装置用アクティブマトリックスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価

    池上尚克, 小島明, 宮口裕, 吉田孝, 西野仁, 吉田慎哉, 室山真徳, 菅田正徳, 越田信義, 戸津健太郎, 江刺正喜

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　2014年

  13. EUVリソグラフィー光源のためのグリット型波長選択フィルターの作製と評価結果

    鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 森山雅昭, 江刺正喜, 田中秀治

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　2014年

  14. Feasibility Study for Development of a Carbon-based MEMS/NEMS using HOPG and a MEMS Fabrication Process

    Junji Sone, Kentaro Totsu

    2013 13TH IEEE CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　2013年

  15. MEMS Commercialization in Japan 国際会議

    戸津 健太郎

    MANCEF’s COMET in Tokyo　2013年

  16. HYDROGEN ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FRACTURE TOUGHNESS OF SILICON COIL SPRING FOR MECHANICAL ENERGY STORAGE APPLICATION

    T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka

    The proceedings of the 12th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (Power MEMS2012)　2012年12月2日

  17. 多結晶スピネルの接合によるRF-SAWデバイスの温度特性の改善

    下司慶一郎, 寺岡寛二, 辻裕, 藤井明人, 今川善浩, 中山茂, 橋本研也, 田中秀治, 戸津健太郎, 高木秀樹

    圧電材料・デバイスシンポジウム　2012年

  18. Hands-on-access facility for MEMS and semiconductor prototyping at Tohoku University

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi

    Proc. Smart Systems Integrations 2012　2012年

  19. Hands-on Access Fabrication Facility 国際会議

    Kentaro Totsu, Kazuhiro Miwa, Takahito Ono

    International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2011)　2011年2月10日

  20. MEMS用途PECVDシリコン窒化膜のストレス制御

    三輪和弘, 遠藤嵩幸, 戸津健太郎, 江刺正喜, 江刺正喜

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2011年

  21. MEMS Hands-on access facility at Tohoku University 国際会議

    戸津 健太郎

    Workshop on Innovation and Commercialization of Micro & Nanotechnology (ICMAN2011)　2011年

  22. 東北大学における海外企業との連携~産学連携担当者との関係構築~

    戸津健太郎, 熊田憲, 竹田健児

    産学連携学会大会講演予稿集　2009年

  23. MEMS Innovation in Sendai 国際会議

    戸津 健太郎

    The 2nd International Workshop on Innovation ICMAN2008　2008年

  24. Innovative MEMS Research and Development at Tohoku University 国際会議

    戸津 健太郎

    Nanoforum 2008　2008年

  25. MEMS Innovation at Tohoku University 国際会議

    戸津 健太郎

    Japanese University Network in the Bay Area (JUNBA) Technology Fair 2008　2008年

  26. 光ファイバ型超音波送受信プローブの作製

    石川真矢, 戸津健太郎, 中野琢磨, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本生体医工学会大会プログラム・論文集(CD-ROM)　2007年

  27. 温度特性の向上を目指した極細径光ファイバ圧力センサの開発

    中村慎吾, 松永忠雄, 牧志渉, 戸津健太郎, 江刺正喜, 芳賀洋一

    日本生体医工学会大会プログラム・論文集(CD-ROM)　2007年

  28. MEMS Industrialization in Sendai 国際会議

    戸津 健太郎

    The 1st International Workshop on Innovation ICMAN2007　2007年

  29. Cooperative Education, Research and Development in Sendai

    戸津 健太郎

    DAAD Seminar Series　2007年

  30. Hermitically sealed ultra-miniature fiber-optic pressure sensor

    S. Nakamura, T. Matsunaga, K. Totsu, M. Esashi, Y. Haga

    IDW '06: PROCEEDINGS OF THE 13TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3　2006年

  31. Development of medical and welfare microdevices using micro technology

    Y. Haga, T. Matsunaga, W. Makishi, K. Totsu, M. Esashi

    IDW '06: PROCEEDINGS OF THE 13TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3　2006年

  32. 光導波路を用いた屈曲センサの開発(平成16年度東北支部大会抄録, 支部大会抄録)

    東谷 旦, 戸津 健太郎, 江刺 正喜

    生体医工学 : 日本エム・イー学会誌　2005年6月

  33. Photolithography on Cylindrical Substrate for Realization of High-Functional Tube-Shaped Micro-Tools

    S. Goto, T. Matsunaga, K. Totsu, W. Makishi, M. Esashi, Y. Haga

    Proceedings of the 22nd Sensor Symposium　2005年

  34. マスクレス露光装置を用いたグレイスケールリソグラフィ

    戸津健太郎, 東谷旦, 江刺正喜

    第21回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　2004年

  35. 重力加速度センサと地磁気センサを用いた人体の姿勢計測(平成14年度東北支部大会抄録)

    戸津 健太郎, Menz Wolfgang, Mergner Thomas, 江刺 正喜

    生体医工学 : 日本エム・イー学会誌　2003年3月

  36. 血管内低侵襲医療のためのマイクロマシニング技術

    芳賀洋一, 峯田貴, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本機械学会東北支部第38期講演会　2003年

  37. Development of Ultra Miniature Fiber-optic Blood Pressure Sensor System

    K. Totsu, Y. Haga, P.N. Minh, M. Esashi

    Proc. of The 19th Sensor Symposium　2002年5月30日

  38. 極細径光ファイバ血圧センサおよび検出システムの開発

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　2002年

  39. マイクロ能動カテーテルとマイクロセンサ

    芳賀洋一, 峯田貴, 戸津健太郎, 中村和浩, 藤田匡佑, 江刺正喜

    日本整形外科学会雑誌　2002年

  40. 肢体不自由者のための加速度センサを用いたスイッチ回路の試作

    中村和浩, 栗原悠, 武永朋哉, 戸津健太郎, 江刺正喜

    人と福祉を支える技術フォーラム2002　2002年

  41. シリコンコンデンサマイクロフォンによる直接周波数変調を用いたFMワイヤレスマイク

    藤原類, 戸津健太郎, 江刺正喜

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　2000年

  42. 力による微小変位センサの設計と製作

    王詩男, 野崎浩一, 戸津健太郎, 江刺正喜

    第16回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　1998年

  43. 噛み合い力センサの開発

    王詩男, 戸津健太郎, 野崎浩一, 江刺正喜

    第16回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　1998年

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産業財産権 8

  1. 圧力センサ

    安保 充, 戸津 健太郎, 藤本 諭, 西澤 充智, 日下 和彦

    産業財産権の種類: 特許権

  2. 半導体装置の製造方法及び半導体装置

    鈴木 裕輝夫, 戸津 健太郎, 田中 秀治, 江刺 正喜

    産業財産権の種類: 特許権

  3. マイクロミラーデバイスの製造方法

    田中 秀治, 鈴木 裕輝夫, 江刺 正喜, 戸津 健太郎

    産業財産権の種類: 特許権

  4. マイクロミラーデバイスの製造方法

    田中 秀治, 鈴木 裕輝夫, 江刺 正喜, 戸津 健太郎

    特許第6046443号

    産業財産権の種類: 特許権

  5. 露光方法

    芳賀 洋一, 松永 忠雄, 江刺 正喜, 戸津 健太郎

    産業財産権の種類: 特許権

  6. 露光方法

    芳賀 洋一, 松永 忠雄, 江刺 正喜, 戸津 健太郎

    特許第4923254号

    産業財産権の種類: 特許権

  7. センサ装置

    江刺 正喜, 芳賀 洋一, 戸津 健太郎

    産業財産権の種類: 特許権

  8. 光ファイバセンサ

    江刺 正喜, 芳賀 洋一, 戸津 健太郎

    産業財産権の種類: 特許権

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共同研究・競争的資金等の研究課題 9

  1. 環境発電ＩｏＴデバイス適用への磁歪・圧電界面ドメイン増殖型高感度スマート複合材料

    古屋 泰文, 千葉 晶彦, 成田 史生, 和田 智志, 中尾 航, 戸津 健太郎, 丹波 澄雄

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究機関：Tohoku University

    2017年4月1日 ～ 2020年3月31日

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    自立分散型ＩｏＴセンサや環境発電エネルギーハーベスト型の高性能スマート材料・デバイス設計・開発およびその実証実験を行うことを目標とした。まず、そのための異相界面ナノドメイン・マルチフェロイクシナジー効果を活かした、圧電・磁歪材（薄板、ファイバ）複合機能型材料創製と環境発電デバイスを2018年度に試作して、大学特許申請を行った。更に、この新素材の電磁的スマート機能デバイス(応力センサ・環境発電素子）を使って、青森県（深浦町、弘前大）の風車、東北大間での遠隔的なワイヤレスIoTセンサーネットワークを構築、複数風車のインフラ状況データをクラウド型で解析できるソフトウェアを開発し、目標を達成できた。

  2. MEMS技術を用いた高密度・高精度触覚デバイスの開発

    曽根 順治, 田中 秀治, 長谷川 晶一, 星 陽一, 戸津 健太郎, 森山 雅昭, 平野 栄樹, 吉田 慎哉, 三田 吉郎, 足立 丈宗, 松本 康義, 堀川 祐樹, 猪俣 泰気, 山田 優希, 沓澤 翔吾, 田中 康基, 西野 仁, 浅野 翔, 金子 亮介

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    研究機関：Tokyo Polytechnic University

    2015年4月1日 ～ 2017年3月31日

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    指の動きを妨げない大きさで, 自由に動作できる装着型指触覚提示デバイスの設計から開発を行った．このデバイスは，指装着部, 触覚生成デバイスの固定フレーム, 触覚生成デバイスから構成される．指装着部, 触覚生成デバイスの固定フレームは, 3次元CADで設計し, 3Dプリンタにより試作し, 高精度に作成できた．触覚生成デバイスは，MEMS―CADで設計し，圧電層が5層あれば触覚を十分提示できることがわかった．そして，触覚デバイス製作のためのMEMSプロセスを検討し，方法は確立できた．しかし，ゾルゲルの圧電膜の成膜中の事故により，最後まで製作できなかった．また，多チャンネル圧電制御回路を試作した.

  3. 超並列電子線直接描画に関する研究

    江刺 正喜, 小野 崇人, 田中 秀治, 戸津 健太郎, 川合 祐輔, 宮下 英俊

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

    研究機関：Tohoku University

    2007年 ～ 2011年

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    本研究では超並列電子線直接描画に関する要素技術として、カーボンナノチューブ(CNT)を先端に成長させた電子源の作製方法、光によるスイッチングが可能な微小冷陰極、微小ステージの開発、静電レンズの新しい作製法の開発、などをおこなった。また、これらを組み合わせ、電子ビームをスキャンせず、ビームをスイッチングさせながらステージをスキャンさせる方式の超並列電子線描画システムの構築を試みた。

  4. 生体内局所計測治療システムの開発 競争的資金

    制度名：Ordinary Research

    2004年4月 ～ 2008年3月

  5. ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング

    小野 崇人, 田中 秀治, 戸津 健太郎, 江刺 正喜

    2007年 ～ 2008年

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    単電子トランジスタを利用した変位センサを集積化したナノメカニカル・プローブを用いて核磁気共鳴をナノスケールで検出し、タンパク質などの構造を3次元で観測する顕微鏡を開発する。この力検出型の核磁気共鳴検出では、熱による機械振動を抑えるため、センサを低温に冷やす必要がある。このため、低温で高感度なエレクトロメーターである単電子トランジスタを変位センサとして組み込んで、高分解能の磁気共鳴イメージングを実現する。ナノ構造の加工技術とナノ構造における特異な力学現象を利用し、高感度なプローブを開発することを目標とする。 磁気共鳴の検出では、きわめて小さな力を検出するため、極低温に冷却して熱による機械振動(熱機械ノイズ)を低減することが必要不可欠である。同時に、極低温で動作する高感度の変位センサを集積化する必要がある。通常のICのアンプを集積化したり、装置内に設置したりする場合、半導体素子は低温で絶縁性になり動作しなくなる。そこで、極低温でも動作する単電子トランジスタをもちいた極めて高感度の変位センサを集積化した構造を作製した。単電子トランジスタをナノメカニカル構造に集積化する作製方法を開発した。一方、機械的振動子の非線形性を利用すると、振動子の位相ノイズを低減できることを見出し、その基礎的な実験を進めた。また、将来センサを空気中で動作させるさいに重要となる振動損失を評価する方法を開発した。また、単電子トランジスタの代わりにピエゾ抵抗型センサでナノメカニカルセンサの変位を検出できる振動子を作製した。

  6. インジウムはんだ薄膜を用いたMEMSパッケージング

    戸津 健太郎

    2006年 ～ 2007年

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    薄膜のインジウムはんだを用いてMEMSデバイスを低温でパッケージングする技術について研究を行った。エッチングにより微細構造を形成した基板上に、厚さ10nmのクロム薄膜、厚さ500nmのインジウム薄膜、および厚さ20nmの金薄膜を連続して真空蒸着した。クロム薄膜は基板とインジウムの密着性を高める効果があり、金薄膜はインジウムとの化合物で長期安定性を有したAuIn2を形成してインジウムの酸化防止膜となる。接合相手の基板には、厚さ10nmのクロム薄膜、および厚さ20nmの金薄膜を真空蒸着で連続して成膜した。これら2枚の基板に120kPaの荷重をかけて真空中で接合を行った。これまで接合温度を300℃または200℃、加熱時間を30分として接合実験を行ったところ、3MPa程度の接合強度が得られていた。MEMSデバイスのパッケージングにおいて、材料の特性を変化させない、熱応力の影響を避けたいなどの理由で、さらに低温で接合したいという要求がある。そこで、インジウムと金の拡散接合を用いて室温で接合が可能かどうかの研究を行った。室温においてインジウムは金に拡散するが、拡散する速さは10時間でおよそ30nmである。上記と同様のサンプルを重ねて荷重をかけた状態で真空中に1日置き、室温で拡散接合を試みた。インジウムと相手の金薄膜が接触したと思われる部分において接合されていたことが確認できた。引張試験を行ったところ、300℃で接合した場合と比較して、同等以上の接合強度が得られた。接合温度が低いため、インジウムの流動性が悪く、相手方の金薄膜と接触した部分でのみ接合されたが、接合面全体に荷重がかかるようにすれば、さらに広範囲で接合できると考える。以上の研究により、厚さ1μm以下のインジウムと金の薄膜を用いて、室温〜300℃程度の低温での接合が可能であることが実証された。

  7. 極細径光ファイバ先端駆動形2次元マイクロ光スキャナ

    戸津 健太郎, 江刺 正喜

    2005年 ～ 2006年

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    極薄のL字形カンチレバーをアクチュエータに用いて光で駆動することで超小形の2次元光スキャナを実現することを目的とした。直径125μmの光ファイバ先端にアクチュエータを搭載させるため、カンチレバーの長さは100μmとした。カンチレバーを構成するバイメタルの材料として、これまで厚さ100nmのポリイミドおよび厚さ100nmの金を用いていた。カンチレバーにレーザ光を周期的に照射したとき、カンチレバーが駆動することを確認した。本年度は、測定装置、およびカンチレバーの改良を主に行った。効率よくレーザ光を照射するため、ファイバ先端に光ファイバ融着器を用いて球形のレンズを形成し、ファイバ端から出射するレーザ光を絞ることができるようにした。ポリイミドを再現性よく薄くすることが困難であること、材料がやわらかいため、共振周波数が比較的低い問題があり、カンチレバーを構成するバイメタルの材料として、厚さ100nmのシリコンと厚さ100nmの金を用いた。埋め込み酸化膜構造(SOI)のシリコンウェハを用いることで、極薄のシリコン構造体を実現した。ウェハ上に接着層となる厚さ30nmクロム薄膜および厚さ100nmの金薄膜を真空蒸着で形成後、パターニングした。このとき、ミラー面においてレーザ光を吸収させるため、クロム薄膜をミラー面に形成した。その後、シリコンをエッチングによりカンチレバーの形にパターニングし、最後にカンチレバー構造体をウェハからリリースした。膜の残留応力によりカンチレバーが立ち上がり、ミラーが傾いた構造を得ることができた。

  8. 生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング

    江刺 正喜, 田中 秀治, 戸津 健太郎

    2005年 ～ 2006年

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    半導体技術を発展させた立体的微細加工技術で高付加価値部品が作られている。この加工ではフォトリソグラフィで基板上のマスクで覆われていない部分を一括でエッチング加工する。特にシリコン基板に垂直に深くエッチングできることや、薄いダイアフラムを形成できることが要求される。反応性イオンエッチング(Deep RIE)でシリコン基板などを垂直に深くエッチングできるが、多数の基板を同時に処理できないため生産性が悪いため、フッ化水素水中の電解エッチングでシリコンに垂直な孔を開けるマクロポーラスシリコンを応用して生産性の高いウェット垂直エッチング技術を研究した。特に、垂直な孔の底に薄いダイアフラムを持つ構造などを、このウェット垂直エッチング技術により、不純物濃度に対する選択性の違いを利用して薄いダイアフラムを形成する研究を行った。 本年度はこの垂直な孔の底に薄いダイアフラムを持っ構造を製作するのに成功し研究の目的を達成できた。ダイアフラムにあたる部分に高濃度のボロンを拡散しておき、フッ化水素水中の電解エッチングでシリコンに垂直な孔を開けた後、アルカリ性のエッチング液に入れ替えて垂直な穴の側面をエッチングしながらさらに垂直方向にエッチングし、高濃度のボロンを拡散した層でエッチングが停止する性質を利用する。研究期間の最終段階で成功したため、その成果は期間終了後、平成19年7月2-3日に開催される電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会で発表する。 この研究の副次的な成果として、圧電材料であるニオブ酸リチウムの単結晶基板に選択的なウェットエッチングでダイアフラムを形成する研究に発展させ、それに薄いダイアフラムを形成することにも成功した。これは基板の熱処理によって分極反転層を形成してそれだけがエッチングされないようにする方法で、表面弾性波を用いたワイアレスパッシブ力センサに応用している。

  9. マイクロマシニングによる高周波MEMSデバイス

    江刺 正喜, 小野 崇人, 田中 秀治, 戸津 健太郎

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    研究機関：Tohoku University

    2004年 ～ 2006年

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    半導体集積回路の製作技術を発展させた微細加工であるマイクロマシニングによって、ワイヤレス機器などに用いる高周波部品を製作する研究はRFMEMSと呼ばれている。本研究では以下のような研究を行い目的の成果を得た。 RFMEMSデバイスをウェハレベルで一括封止したり、高速信号をシリコン基板の裏面に取り出す貫通配線などのパッケージングに関する研究を行った。 MEMSスイッチの研究を行い、接点式のスイッチや容量型の静電駆動スイッチを開発した。フレキシブルフラットパネル表示装置へ応用したり、高速のLSIテスタにおいて実用化なども行っている。 機械的共振子は小形で質量を小さくすると共振周波数が高くなる。平面的な寸法で共振周波数が決まるようにするとチップ上に異なる共振周波数の機械振動フィルタを集積化することができる。直径20μmのシリコン円盤の静電駆動ワイングラス振動子を製作し、約100MHzの共振周波数を得た。小形化で熱機械的な雑音が問題になり、これが時間(周波数)源に用いるときの位相雑音の原因になる。この熱機械的な雑音は振動子の共振周波数変化を用いる高感度なセンサの分解能にも関係する。具体的には細胞のような小さな試料用のMRI(磁気共鳴イメージング)の目的で極端に高感度なMRFM(磁気共鳴力顕微鏡)のセンサが要求されている。それに関連して振動子の雑音に関する研究を行い、パラメトリックスクイーズダンピングで位相雑音を低減することに成功した。また大気中もダンピングでQ値が低下しない厚みすべり振動の水晶を用いた片持ち梁振動子も製作した。コイルは特にアスペクト比を大きくして抵抗を小さくしたコイルを製作した。これは1.6GHzでQは85に達し、微小試料を対象とする核磁気共鳴に応用することができた。

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