Details of the Researcher

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Kentaro Totsu
Section
Micro System Integration Center
Job title
Professor
Degree

  • 博士（工学）（東北大学）

  • 修士（工学）（東北大学）

Profile

EDUCATION:

1995-1999         Faculty of Engineering, Department of Mechatronics and Precision Engineering. Graduated with Bachelor of Engineering.

1999-2001         Graduate School of Engineering, Department of Mechatronics and Precision Engineering. Graduated with Master of Engineering.

2000 Apr.-Nov. Studying at Institute of Microsystem Technology (IMTEK), The University of Freiburg, Germany, as a guest research student.

2001-2004         Graduate School of Engineering, Department of Mechatronics and Precision Engineering. Graduated with Doctor of Engineering.

 

ACADEMIC WORKING EXPERIENCES:

2004-2007         Research Associate, Department of Nanomechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku University.

2007-2010         Assistant Professor, Office of Cooperative Research and Development, Tohoku University.

2010-2021        Associate Professor, Micro System Integration Center, Tohoku University.

2010-present    Director, Hands-on-access Fabrication Facility, Tohoku University

2017-2021         Deputy Director, Micro System Integration Center, Tohoku University

2021-present    Director, Micro System Integration Center, Tohoku University

Research History 5

  • 2021/04 - Present
    Tohoku University　Micro System Integration Center　Professor

  • 2017/04 - 2021/03
    Tohoku Univeristy　Micro System Integration Center　Deputy Director

  • 2010/04 - 2021/03
    Micro System Integration Center, Tohoku University　Associate Professor

  • 2007/04 - 2010/03
    Office of Cooperative Research and Development, Tohoku University　Assistant Professor

  • 2004/04 - 2007/03
    Graduate School of Engineering, Tohoku University　Research Associate

Education 2

  • Tohoku University　Graduate School, Division of Engineering　Mechatronics and Precision Engineering

    - 2004/03/24

  • Tohoku University　Faculty of Engineering　Mechatronics and Precision Engineering

    - 1999/03/25

Professional Memberships 5

  • The Japan Society of Applied Physics

    - Present

  • IEEE

  • 精密工学会

  • The Institute of Electrical Engineers of Japan

  • The Japan Society of Mechanical Engineers

Research Interests 5

  • Microfabrication

  • MEMS

  • Microsystem

  • Micromachine

  • Sensor

Research Areas 1

  • Nanotechnology/Materials / Nano/micro-systems /

Awards 9

  1. ナノテクノロジープラットフォーム 平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞受賞

    2019/01　文部科学省　広帯域波長掃引パルス量子カスケードレーザの開発

  2. 第8回集積化MEMSシンポジウム 優秀論文賞

    2017/03　応用物理学会　厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術

  3. ナノテクノロジープラットフォーム 平成27年度「秀でた利用成果」

    2016/01　文部科学省　音響光学フィルタの開発

  4. IMAPS2015 Best of Session

    2015/10　IMAPS　Hermetic Seal Bonding at Low-temperature with Sub-micron Gold Particles for Wafer Level Packaging

  5. 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞

    2014/10　電気学会センサ・マイクロマシン部門　超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価

  6. ナノテクノロジープラットフォーム 平成24年度「秀でた利用6大成果」 最優秀賞

    2014/01　文部科学省　シリコンエレクトレットマイクロホンの開発

  7. 産学官連携功労者表彰 経済産業大臣賞

    2013/08　内閣府　試作コインランドリ ～豊富な設備とノウハウを提供するMEMS開発オープンプラットフォーム～

  8. ナノテクノロジー・ネットワーク 「5大成果事例」

    2012/02　文部科学省　MEMS加工を用いた微細Siぜんまい構造の実現 －運動エネルギー回収等のための蓄力機構としてのSi-MEMS構造－

  9. 2003年度日本コンピュータ外科学会講演論文賞

    2004/04　日本コンピュータ外科学会

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Papers 59

  1. 単層フォトレジストによる1µm線幅リフトオフプロセスの評価—Lift-off Patterning of 1 µm Line Width using Single Layer Photoresist

    佐々木 寛充, 森山 雅昭, 戸津 健太郎

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines　143　(7)　204-210　2023/07

    Publisher: 東京 : 電気学会

    ISSN： 1341-8939

  2. Evaluation of Thick-Film Photoresist for Grayscale Lithography Utilizing Direct Laser Writing Peer-reviewed

    庄子征希, 上瀧英郎, 森山雅昭, 戸津健太郎

    電気学会論文誌 E　140　(5)　35-39　2020

    Publisher:

    ISSN： 1341-8939

  3. Probing Surface Morphology using X-ray Grating Interferometry Peer-reviewed

    Wataru Yashiro, Susumu Ikeda, Yasuo Wada, Kentaro Totsu, Yoshio Suzuki, Akihisa Takeuchi

    SCIENTIFIC REPORTS　9　14120　2019/10

    DOI： 10.1038/s41598-019-50486-5 　

    ISSN： 2045-2322

  4. MEMS research is better together Peer-reviewed

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi

    NATURE ELECTRONICS　2　(4)　134-136　2019/04

    DOI： 10.1038/s41928-019-0236-z 　

    ISSN： 2520-1131

  5. Sol-Gel Deposition and Characterization of Lead Zirconate Titanate Thin Film Using Different Commercial Sols Peer-reviewed

    Masaaki Moriyama, Kentaro Totsu, Shuji Tanaka

    SENSORS AND MATERIALS　31　(8)　2497-2509　2019

    DOI： 10.18494/SAM.2019.2420 　

    ISSN： 0914-4935

  6. Fabrication of IoT Force Sensor Module in Five-day Program for Students as Part of Nanotechnology Platform Japan Project Peer-reviewed

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Hiraku Watanabe, Toshiyuki Kikuta, Masahiro Hemmi, Masaaki Shoji, Takashi Yoshida, Masataka Tatsuta

    SENSORS AND MATERIALS　31　(8)　2555-2563　2019

    DOI： 10.18494/SAM.2019.2390 　

    ISSN： 0914-4935

  7. Isolation Characteristics of In-plane Feedthrough across Au/SiOx Seal Ring for Wafer-level RF MEMS Packaging Peer-reviewed

    M. Moriyama, Y. Suzuki, K. Totsu, H. Hirano, S, Tanaka

    Proc. APCOT 2018　24-27　2018/06

  8. Metal-Bonding-Based Hermetic Wafer-Level MEMS Packaging Technology Using In-Plane Feedthrough -Hermeticity and High Frequency Characteristics of Thick Gold Film Feedthrough- Peer-reviewed

    森山雅昭, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 平野栄樹, 田中秀治, 田中秀治

    電気学会論文誌 E　138　(10)　485-494　2018

    Publisher: 一般社団法人 電気学会

    ISSN： 1341-8939

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    Au-Au-bonding-based wafer-level vacuum packaging technology using in-plane feedthrough of thick Au signal lines was developed for RF MEMS. Compared with conventional technology based on glass frit bonding, the developed technology is advantageous in terms of smaller width of sealing frames, lower process temperature and smaller amount of degas. To guarantee the hermetic sealing, the adhesion between the thick Au lines and a SiO<i><sub>x</sub></i> dielectric frame is improved by an Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> interlayer by ALD (Atomic Layer Deposition). The steps of the dielectric frame above the thick Au lines are absorbed by an electroplated Au seal ring planarized by fly cutting. The thermocompression bonding of the Au seal rings of 20∼100 µm width was done at 300ºC. A cavity pressure of about 500 Pa or lower was measured by "zero balance method" using Si diaphragms. Vacuum sealing was maintained for more than 19 months, and the leak rate is less than 8×10<sup>-16</sup> Pa m<sup>3</sup>/s. The isolation of open signal lines was measured up to 10 GHz for different designs of the sealing ring and SiO<i><sub>x</sub></i> dielectric frame. The influence of the in-plane feed through to the isolation is as low as 2∼3 dB, if the width of the sealing ring is 20 µm and the thickness of SiO<i><sub>x</sub></i> dielectric frame is larger than 10 µm. The developed wafer-level packaging technology is ready for applications to an RF MEMS switch.</p>

  9. Accelerating MEMS Development by Open Collaboration at Hands-On-Access Fab, Tohoku University Peer-reviewed

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Masayoshi Esashi

    SENSORS AND MATERIALS　30　(4)　701-711　2018

    DOI： 10.18494/SAM.2018.1804 　

    ISSN： 0914-4935

  10. Open collaboration based on hands-on access fabrication facility for MEMS

    Masayoshi Esashi, Kentaro Totsu

    Proceedings of the International Display Workshops　2　1315-1318　2017/01/01

    ISSN： 1883-2490

  11. Formation of extremely high-aspect Si sub-micron patterns with smooth wall for MEMS and X-ray devices Peer-reviewed

    Hayato Komatsu, Wataru Yashiro, Hidemi Kato, Johji Kagami, Kentaro Totsu, Masashi Nakao

    2017 INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONICS PACKAGING (ICEP)　487-490　2017

  12. Simulation analysis of a miniaturized electron optics of the Massively Parallel Electron Beam Direct-Write (MPEBDW) for Multi-column system Peer-reviewed

    Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Takashi Yoshida, Ryutaro Suda, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida

    EMERGING PATTERNING TECHNOLOGIES　10144　2017

    DOI： 10.1117/12.2257967 　

    ISSN： 0277-786X

  13. WAFER-TO-WAFER TRANSPORTABLE GOLD PARTICLE PLUG FOR SPOT VACUUM SEALING OF MEMS Peer-reviewed

    Toshinori Ogashiwa, Kentaro Totsu, Mitsutomo Nishizawa, Hiroyuki Ishida, Kenichi Inoue, Yuya Sasaki, Masayuki Miyairi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

    2017 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　1304-1307　2017

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994295 　

  14. Development of a MEMS electrostatic condenser lens array for nc-Si surface electron emitters of the Massive Parallel Electron Beam Direct-Write system

    A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, S. Yoshida, K. Totsu, N. Koshida, M. Esashi

    ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VIII　9777　2016

    DOI： 10.1117/12.2219338 　

    ISSN： 0277-786X

    eISSN： 1996-756X

  15. Fabrication of Through Silicon Via with Highly Phosphorus-Doped Polycrystalline Si Plugs for Driving an Active-matrix Nanocrystalline Si Electron Emitter Array Peer-reviewed

    Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

    2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)　2016

    ISSN： 2474-3747

    eISSN： 2474-3755

  16. Hermetic Seal Bonding at Low-temperature with Sub-micron Gold Particles for Wafer Level Packaging Peer-reviewed

    Toshinori Ogashiwa, Kentaro Totsu, Mitsutomo Nishizawa, Hiroyuki Ishida, Yuya Sasaki, Masayuki Miyairi, Hiroshi Murai, Yukio Kanehira, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

    Proc. IMAPS 48th Annual International Symposium on Microelectronics　73-78　2015/10

  17. Free-standing subwavelength grid infrared cut filter of 90 mm diameter for LPP EUV light source Peer-reviewed

    Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　231　59-64　2015/07

    DOI： 10.1016/j.sna.2014.07.006 　

    ISSN： 0924-4247

  18. Development of ballistic hot electron emitter and its applications to parallel processing: active-matrix massive direct-write lithography in vacuum and thin-film deposition in solutions Peer-reviewed

    Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Ryutaro Suda, Mamiko Yagi, Junichi Shirakashi, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi

    JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS　14　(3)　2015/07

    DOI： 10.1117/1.JMM.14.3.031215 　

    ISSN： 1932-5150

    eISSN： 1932-5134

  19. Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write Lithography in Vacuum and Thin Films Deposition in Solutions Peer-reviewed

    N. Koshida, A. Kojima, N. Ikegami, R. Suda, M. Yagi, J. Shirakashi, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S. Yoshida, M. Sugata, K. Totsu, M. Esashi

    ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VII　9423　2015

    DOI： 10.1117/12.2085782 　

    ISSN： 0277-786X

  20. Review of Development and Performance Evaluation of Active-matrix Nanocrystalline Si Electron Emitter Array for Massively Parallel Electron Beam Direct-write Lithography Peer-reviewed

    池上尚克, 小島明, 宮口裕, 吉田孝, 吉田慎哉, 室山真徳, 菅田正徳, 越田信義, 戸津健太郎, 江刺正喜, 江刺正喜

    電気学会論文誌 E　135　(6)　221-229　2015

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.221 　

    ISSN： 1341-8939

  21. An LSI for Massive Parallel Electron Beam Lithography: Its Design and Evaluation

    宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 金子亮介, 戸津健太郎, 田中秀治, 越田信義, 江刺正喜

    電気学会論文誌 E　135　(10)　374-381　2015

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.374 　

    ISSN： 1341-8939

  22. FREE-STANDING SUBWAVELENGTH GRID INFRARED REJECTION FILTER OF 90 MM DIAMETER FOR LPP EUV LIGHT SOURCE Peer-reviewed

    Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　482-485　2014

    DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765682 　

  23. Low-stress epitaxial polysilicon process for micromirror devices Peer-reviewed

    Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hiraku Watanabe, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　133　(6)　7-228　2013

    DOI： 10.1541/ieejsmas.133.223 　

    ISSN： 1341-8939 1347-5525

  24. Tactile display using shape memory alloy micro-coil actuator and magnetic latch mechanism Peer-reviewed

    T. Matsunaga, K. Totsu, M. Esashi, Y. Haga

    Displays　34　(2)　89-94　2013

    DOI： 10.1016/j.displa.2013.03.001 　

    ISSN： 0141-9382

  25. Hands-on-access fabrication facility for MEMS Development and production

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi

    Proceedings of the International Display Workshops　2　1405-1408　2013

    ISSN： 1883-2490

  26. Hands-on-access facility for MEMS and semiconductor prototyping at Tohoku University

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi

    SSI 2012 - Smart Systems Integration Conference 2012　2012

    Publisher: Mesago Messe Frankfurt GmbH

  27. Wafer Bonding of Polycrystalline Spinel with LiNbO3/LiTaO3 for Temperature Compensation of RF Surface Acoustic Wave Devices

    K. Geshi, K. Teraoka, S. Kinoshita, M. Nakayama, Y. Imagawa, S. Nakayama, K. Hashimoto, S. Tanaka, K. Totsu, H. Takagi

    2012 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　2726-2729　2012

    DOI： 10.1109/ULTSYM.2012.0683 　

    ISSN： 1948-5719

  28. 多機能なカテーテル評価のためのPVA-Hモデルを用いた循環路システムの開発 Peer-reviewed

    橋田葉子, 小助川博之, 信太宗也, 斎木佳克, 松永忠雄, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 太田信

    人工臓器(日本人工臓器学会)　39　(2)　58　2010

    ISSN： 0300-0818

  29. Minimally invasive diagnostics and treatment using micro/nano machining Peer-reviewed

    Yoichi Haga, Tadao Matsunaga, Wataru Makishi, Kentaro Totsu, Takashi Mineta, Masayoshi Esashi

    MINIMALLY INVASIVE THERAPY & ALLIED TECHNOLOGIES　15　(4)　218-225　2006/08

    DOI： 10.1080/13645700600836224 　

    ISSN： 1364-5706

    eISSN： 1365-2931

  30. Fabrication of three-dimensional microstructure using maskless gray-scale lithography Peer-reviewed

    Kentaro Totsu, Kenta Fujishiro, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　130　387-392　2006/08

    DOI： 10.1016/j.sna.2005.12.008 　

    ISSN： 0924-4247

  31. Development of medical and welfare microdevices using micro technology

    Y. Haqa, T. Matsunaga, W. Makishi, K. Totsu, M. Esashi

    IDW '06 - Proceedings of the 13th International Display Workshops　2　1595-1598　2006

  32. Hermitically sealed Ultra-Miniature fiber-optic pressure sensor

    S. Nakamura, T. Matsunaga, K. Totsu, M. Esashi, Y. Haga

    IDW '06 - Proceedings of the 13th International Display Workshops　2　1553-1556　2006

  33. Thin-Film In-Au Microjoint for MEMS Packaging Peer-reviewed

    Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi

    Proceedings of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology　2006

  34. Optically Driven Microactuator for Two-Dimensional Optical Scanner Peer-reviewed

    Kentaro Totsu, Hyun-Chul Kang, Masayoshi Esashi

    Proceedings of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology　2006

  35. Development of high performance minimally invasive treatment devices using precision microfabrication technologies

    芳賀洋一, 松永忠雄, 牧志渉, 戸津健太郎, 峯田貴, 江刺正喜

    砥粒加工学会誌　50　(5)　245-248　2006

    Publisher: 砥粒加工学会

    ISSN： 0914-2703

  36. Enhanced electron emission using indium tin oxide/silicon monoxide/gold structure Peer-reviewed

    Magdy Hussein Mourad, Kentaro Totsu, Shinya Kumagai, Seir Samukawa, Masayoshi Esashi

    FUTURE MEDICAL ENGINEERING BASED ON BIONANOTECHNOLOGY, PROCEEDINGS　443-+　2006

    DOI： 10.1142/9781860948800_0048 　

  37. Gray-scale photolithography using maskless exposure system Peer-reviewed

    K Totsu, M Esashi

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　23　(4)　1487-1490　2005/07

    DOI： 10.1116/1.1943438 　

    ISSN： 1071-1023

  38. Dynamic Braille display using SMA coil actuator and magnetic latch Peer-reviewed

    Y Haga, W Makishi, K Iwami, K Totsu, K Nakamura, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　119　(2)　316-322　2005/04

    DOI： 10.1016/j.sna.2004.10.001 　

    ISSN： 0924-4247

  39. Electron emission from indium tin oxide/silicon monoxide/gold structure Peer-reviewed

    MH Mourad, K Totsu, S Kumagai, S Samukawa, M Esashi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　44　(3)　1414-1418　2005/03

    DOI： 10.1143/JJAP.44.1414 　

    ISSN： 0021-4922

  40. 光導波路を用いた屈曲センサの開発

    東谷旦, 戸津健太郎, 江刺正喜

    生体医工学　43　(2)　2005

    ISSN： 1347-443X

  41. 125 mu m diameter fiber-optic pressure sensor system using spectrometer- based white light interferometry with high-speed wavelength tracking Peer-reviewed

    K Totsu, Y Haga, T Matsunaga, M Esashi

    2005 3rd IEEE/EMBS Special Topic Conference on Microtechnology in Medicine and Biology　170-173　2005

    DOI： 10.1109/MMB.2005.1548416 　

  42. Tactile display for 2-D and 3-D shape expression using SMA micro actuators Peer-reviewed

    T Matsunaga, K Totsu, M Esashi, Y Haga

    2005 3rd IEEE/EMBS Special Topic Conference on Microtechnology in Medicine and Biology　88-91　2005

    DOI： 10.1109/MMB.2005.1548391 　

  43. Piezoelectric 2D microscanner for precise laser treatment in the human body Peer-reviewed

    H Akahori, Y Haga, T Matsunaga, K Totsu, H Iseki, M Esashi, H Wada

    2005 3RD IEEE/EMBS SPECIAL TOPIC CONFERENCE ON MICROTECHNOLOGY IN MEDICINE AND BIOLOGY　166-169　2005

    DOI： 10.1109/MMB.2005.1548415 　

    ISSN： 1049-3565

  44. Active bending ileus tube using shape memory alloy for treatment of intestinal obstruction Peer-reviewed

    Y Haga, M Mizushima, T Matsunaga, K Totsu, M Esashi

    2005 3RD IEEE/EMBS SPECIAL TOPIC CONFERENCE ON MICROTECHNOLOGY IN MEDICINE AND BIOLOGY　249-252　2005

    DOI： 10.1109/MMB.2005.1548440 　

    ISSN： 1049-3565

  45. Gray-scale lithography using mask-less exposure system Peer-reviewed

    K Totsu, K Fujishiro, S Tanaka, M Esashi

    Transducers '05, Digest of Technical Papers, Vols 1 and 2　1441-1444　2005

    DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1497353 　

  46. 2-D and 3-D tactile pin display using SMA micro-coil actuator and magnetic latch Peer-reviewed

    T Matsunaga, W Makishi, K Totsu, M Esashi, Y Haga

    TRANSDUCERS '05, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　325-328　2005

    DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1496422 　

  47. Ultra-miniature fiber-optic pressure sensor using white light interferometry Peer-reviewed

    K Totsu, Y Haga, M Esashi

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(1)　71-75　2005/01

    DOI： 10.1088/0960-1317/15/1/011 　

    ISSN： 0960-1317

  48. Optical MEMS for Minimally Invasive Therapy

    芳賀洋一, 赤堀寛昌, 戸津健太郎, 和田仁, 江刺正喜

    レーザー研究　33　(11)　754-760　2005

    Publisher: レ-ザ-学会

    DOI： 10.2184/lsj.33.754 　

    ISSN： 0387-0200

  49. Ultra-Miniature Fiber-Optic Medical Pressure Sensor System Using White Light Interferometry Peer-reviewed

    K. Totsu, Y. Haga, M.M. Lwin, M. Esashi

    Proc. of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2004　357-361　2004/07/04

  50. Active Bending Long Intestinal Tube Using Shape Memory Alloy Peer-reviewed

    M. Mizushima, Y. Haga, K. Totsu, M. Esashi

    Proceedings of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2004　893-896　2004/07/04

  51. Narrow Interval 2-D Pin Display Using SMA Coil Actuator for Blind Person Peer-reviewed

    T. Matsunaga, Y. Haga, M. Mizushima, K. Totsu, M. Esashi

    Proc. of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2004　306-309　2004/07/04

  52. Piezoelectric 2D Microscanner for Intracorporeal Laser Treatment Peer-reviewed

    H. Akahori, Y. Haga, K. Totsu, M. Esashi, H. Wada

    Proc. of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2004　211-214　2004/07/04

  53. Three-axis magneto-impedance effect sensor system for detecting position and orientation of catheter tip Peer-reviewed

    K Totsu, Y Haga, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　111　(2-3)　304-309　2004/03

    DOI： 10.1016/j.sna.2003.11.018 　

    ISSN： 0924-4247

  54. Active Catheter Using Shape Memory Alloy for Treatment of Intestinal Obstruction Peer-reviewed

    M. Mizushima, Y. Haga, K. Totsu, M. Esashi

    J. Japan Society of Computer Aided Surgery　6　(1)　23-29　2004

    DOI： 10.5759/jscas1999.6.23 　

    ISSN： 1344-9486

  55. Vacuum sealed ultra miniature fiber-optic pressure sensor using white light interferometry Peer-reviewed

    K Totsu, Y Haga, M Esashi

    BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　931-934　2003

    DOI： 10.1109/SENSOR.2003.1215628 　

  56. Active Bending Tube Using Shape Memory Alloy for Treatment of Intestinal Obstruction

    MIZUSHIMA M, HAGA Y, TOTSU K, ESASHI M

    Journal of Japan Society of Computer Aided Surgery : J.JSCAS　5　(3)　265-266　2003

    ISSN： 1344-9486

  57. Development of active catheter, active guide wire and micro sensor systems Peer-reviewed

    Y Haga, T Mineta, K Totsu, W Makishi, M Esashi

    INTERVENTIONAL NEURORADIOLOGY　7　125-130　2001/12

    ISSN： 1591-0199

    eISSN： 2385-2011

  58. Sensor Development for Occlusal Force and Relative Position Peer-reviewed

    Kouichi Nozaki, Kentaro Totsu, Shinan Wang, Masayoshi Esashi, Kazuto Kuroe, Toshio Sata

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　120-E　(4)　150-155　2000

    DOI： 10.1541/ieejsmas.120.150 　

    ISSN： 1341-8939

  59. Magnetic Sensor System for Detecting Position and Orientation of a Catheter Tip Peer-reviewed

    K. Totsu, Y. Haga, M. Esashi

    Trans. IEE Japan　120-E　(5)　211-218　2000

    DOI： 10.1541/ieejsmas.120.211 　

    ISSN： 1341-8939

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Misc. 45

  1. 試作コインランドリにおけるデータ収集・利活用 : 大学共用設備におけるMEMSプロセスデータの取り扱い—特集 MEMS分野の最新動向

    戸津 健太郎

    クリーンテクノロジー = Clean technology : クリーン環境と清浄化技術の専門誌 / クリーンテクノロジー編集部 編　33　(11)　6-9　2023/11

    Publisher: 東京 : 日本工業出版

    ISSN： 0917-1819

  2. オープンコラボレーションを実現したマイクロシステム研究開発プラットフォーム

    戸津 健太郎, 石下 雅史

    精密工学会誌　88　(5)　359-362　2022/05/05

    Publisher: 公益社団法人 精密工学会

    DOI： 10.2493/jjspe.88.359 　

    ISSN： 0912-0289

    eISSN： 1882-675X

  3. マイクロマシニング概論

    戸津 健太郎

    機械の研究 = Science of machine　74　(1)　16-21　2022/01

    Publisher: 東京 : 養賢堂

    ISSN： 0368-5713

  4. Metal-bonding-based hermetic wafer-level MEMS packaging technology using in-plane feedthrough: Hermeticity and high frequency characteristics of thick gold film feedthrough Peer-reviewed

    Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hideki Hirano, Shuji Tanaka

    ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN　206　(2)　44-53　2019/01

    DOI： 10.1002/eej.23193 　

    ISSN： 0424-7760

    eISSN： 1520-6416

  5. 機械をいじくる MEMSのものづくり,ひとづくり,ことづくり

    戸津健太郎, 戸津健太郎

    日本機械学会誌　118　(1165)　726-729　2015

    ISSN： 0021-4728

  6. ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開~ベンチャー,中小から大企業まで~東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

    戸津健太郎, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫

    工業材料　63　(4)　52-54　2015

    ISSN： 0452-2834

  7. MEMSの実際の加工と試作開発環境

    戸津健太郎

    機械の研究　67　(12)　1019-1026　2015

    Publisher: 東京 : 養賢堂

    ISSN： 0368-5713

  8. 試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援 (特集 マイクロシステム融合研究開発)

    戸津 健太郎, 森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫

    金属　83　(9)　757-764　2013/09

    Publisher: アグネ技術センター

    ISSN： 0368-6337

  9. MEMS・半導体開発のための共用施設「試作コインランドリ」

    戸津 健太郎

    産学官連携ジャーナル　9　(5)　4-8　2013/05/15

    Publisher: 国立研究開発法人 科学技術振興機構

    DOI： 10.1241/sangakukanjournal.9.5_4 　

    ISSN： 2186-2621

    eISSN： 1880-4128

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    ※本記事に抄録はありません。

  10. MEMS分野の最新動向 2)東北大学MEMS試作コインランドリにおけるオープンイノベーション

    戸津健太郎

    クリーンテクノロジー　23　(5)　2013

    ISSN： 0917-1819

  11. 試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援

    戸津 健太郎, 森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫, 小野 崇人, 吉田 慎哉, 江刺 正喜

    金属　83　(9)　13-20　2013

    Publisher: アグネ技術センター

    ISSN： 0368-6337

  12. MEMS・仙台・ネットワークの可能性 MEMS・半導体開発のための共用施設「試作コインランドリ」

    戸津健太郎

    産学官連携ジャーナル(Web)　9　(5)　4-8　2013

    ISSN： 1880-4128

  13. 研究室だより：東北大学 MEMS 研究施設 ～震災を乗り越えて～

    戸津 健太郎

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌　132　(2)　NL2_2-NL2_3　2012

    Publisher: 一般社団法人 電気学会

    DOI： 10.1541/ieejsmas.132.NL2_2 　

    ISSN： 1341-8939

  14. 極細径光ファイバ圧力センサ 検出器の設計および作製

    戸津健太郎

    極細径光ファイバ圧力センサ 平成21年度 総括・分担研究報告書　2010

  15. 第1回国際ナノ・マイクロアプリケーションコンテスト(iCAN2009)開催報告(トピックス)

    戸津 健太郎

    日本機械学会誌　113　(1100)　562-562　2010

    Publisher: 一般社団法人 日本機械学会

    ISSN： 0021-4728

  16. MEMS技術がつなぐ国際的なイノベーション・ネットワーク －スイスCSEM社が東北の地域連携をサポート－

    戸津 健太郎

    産学官連携ジャーナル　4　(5)　23-24　2008/05/15

    Publisher: 国立研究開発法人 科学技術振興機構

    DOI： 10.1241/sangakukanjournal.4.5_23 　

    ISSN： 2186-2621

    eISSN： 1880-4128

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    ※本記事に抄録はありません。

  17. MEMS技術がつなぐ国際的なイノベーション・ネットワーク-スイスCSEM社が東北の地域連携をサポート-

    戸津健太郎, 戸津健太郎

    産学官連携ジャーナル(Web)　4　(5)　24-25　2008

    ISSN： 1880-4128

  18. 集積化3軸MIセンサを用いた低侵襲検査治療ツール用3次元ナビゲーションシステムの開発

    戸津健太郎, 江刺正喜, 芳賀洋一

    中谷電子計測技術振興財団年報　(21)　2007

    ISSN： 0914-2487

  19. MEMS技術を用いた低侵襲検査・治療機器の開発

    芳賀洋一, 松永忠雄, 牧志渉, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本生体医工学会大会プログラム・論文集　45th　2006

    ISSN： 1347-443X

  20. 極細径光ファイバ超音波受信プローブ Peer-reviewed

    石川真矢, 戸津健太郎, 中野琢磨, 芳賀洋一, 江刺正喜

    生体医工学シンポジウム2006　133-137　2006

  21. 物理量計測:極細径光ファイバ圧センサ Peer-reviewed

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 松永忠雄, 江刺正喜

    日本生体医工学会大会プログラム・論文集　45th　183　2006

    ISSN： 1347-443X

  22. Piezoelectric Resonator for Intravascular Ultrasonic Elastography Peer-reviewed

    Michael Whitson, Sadao Omata, Yoshinobu Murayama, Tadao Matsunaga, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Yoichi Haga

    電気学会バイオマイクロシステム研究会　63-66　2006

  23. 05. 光導波路を用いた屈曲センサの開発(平成16年度東北支部大会抄録, 支部大会抄録)

    東谷 旦, 戸津 健太郎, 江刺 正喜

    生体医工学 : 日本エム・イー学会誌　43　(2)　328　2005/06/10

    Publisher: 社団法人日本生体医工学会

    ISSN： 1347-443X

  24. MEMS技術を用いた低侵襲検査治療ツールの開発

    戸津 健太郎, 江刺 正喜

    第9回ナノメディシン研究科資料　4　2005

  25. マスクレス露光装置を用いたグレイスケールフォトレジストパターンの作製 Peer-reviewed

    戸津健太郎, 藤代健太, 田中秀治, 江刺正喜

    電気学会全国大会講演論文集　2005　(3)　201　2005

  26. Development of Bending Sensor for Active Catheter Using Optical Waveguide

    東谷旦, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    電気学会フィジカルセンサ研究会資料　PHS-05　(1-11)　45-48　2005

  27. 錘と貫通孔を有した能動屈曲イレウスチューブの開発 Peer-reviewed

    水島昌徳, 芳賀洋一, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　43rd　684　2004

  28. 圧電駆動による体腔内レーザー治療用2次元マイクロスキャナー Peer-reviewed

    赤堀寛昌, 芳賀洋一, 戸津健太郎, 江刺正喜, 和田仁

    日本ME学会大会論文集　43rd　322　2004

  29. 高密度2次元触覚ディスプレイの開発 Peer-reviewed

    松永忠雄, 芳賀洋一, 水島昌徳, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　43rd　290　2004

  30. 3軸MIセンサを用いた血管・体腔内検査治療ツール用3次元ナビゲーションシステム Peer-reviewed

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　43rd　262　2004

  31. 白色光のスペクトル変調を用いた極細径光ファイバ圧力センサ(第2報) Peer-reviewed

    戸津健太郎, LWIN M M, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　43rd　242　2004

  32. Development of 2D Tactile Display for Blind Aid Using SMA Coil and Magnetic Latch

    Matsunaga Tadao, Mizushima Masanori, Totsu Kentaro, Haga Yoichi, Esashi Masayoshi

    The Proceedings of the Bioengineering Conference Annual Meeting of BED/JSME　16th　(0)　91-92　2004

    Publisher: 一般社団法人 日本機械学会

    DOI： 10.1299/jsmebio.2004.16.91 　 10.1541/ieejsmas.141.304_references_DOI_EpbRq0pL3plfXl7q375B0DYNUXC 　 10.1541/ieejsmas.139.329_references_DOI_EpbRq0pL3plfXl7q375B0DYNUXC 　

    ISSN： 1348-2920

    eISSN： 2424-2829

  33. 16.重力加速度センサと地磁気センサを用いた人体の姿勢計測(平成14年度東北支部大会抄録)

    戸津 健太郎, 江刺 正喜

    生体医工学 : 日本エム・イー学会誌　41　(1)　67　2003/03/10

    Publisher: 社団法人日本生体医工学会

    ISSN： 1347-443X

  34. Network of knowledge in the nano micro technology field. The present state and problems.

    原山優子, 和賀三和子, 戸津健太郎

    S-T-Iネットワークと新産業創出:新しい科学技術政策のフレームワークを求めて 平成13-14年度 科学技術政策提言　2003

  35. Micromachining Technology for Intravascular Minimally Invasive Diagnosis and Therapy

    HAGA Yoichi, MINETA Takashi, TOTSU Kentaro, ESASHI Masayoshi

    The Proceedings of Conference of Tohoku Branch　38th　28-29　2003

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

    DOI： 10.1299/jsmeth.2003.38.28 　

    eISSN： 2424-2713

  36. 白色光のスペクトル変調を用いた極細径光ファイバ圧力センサ Peer-reviewed

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　42nd　366　2003

  37. 2D Pin Display for Blind Aid Using SMA Micro Actuator Peer-reviewed

    芳賀洋一, 松永忠雄, 水島昌徳, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本機械学会福祉工学シンポジウム講演論文集　3rd　197-199　2003

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

    DOI： 10.1299/jsmewes.2003.3.197 　

    eISSN： 2424-3035

    More details Close

    2-Dimensional tactile display (Pin Display) which displays character and graphic information from computer by making pins array up and down dynamically has been developed. Shape Memory Alloy (SMA) micro actuators contract and make the pins up and down when electrical current is applied. Magnetic material tube is attached to each pin and a permanent magnet fixes position of the pins up or down. Electrical consumption is low because the current is applied only when the pins move. Array is consists of modules which has 10 pins. This mechanism is also effective to display Braille points. A test device which has 10×10 pins (100 pins) with 2.5mm pitch has been fabricated and operated.

  38. Development of Ultra-miniature Fiber-optic Blood Pressure Sensor Peer-reviewed

    TOTSU Kentaro, HAGA Yoichi, ESASHI Masayoshi

    The Proceedings of the JSME Conference on Frontiers in Bioengineering　14th　115-116　2003

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

    DOI： 10.1299/jsmebiofro.2003.14.115 　

    ISSN： 1348-2939

    eISSN： 2424-2810

  39. SMAアクチュエータを用いた能動屈曲型イレウスチューブの開発 Peer-reviewed

    水島昌徳, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本ME学会大会論文集　42nd　247　2003

  40. Ultra Miniature Fiber-Optic Pressure Sensor Using White Light Interferometer Peer-reviewed

    Kentaro Totsu, Yoichi Haga, Masayoshi Esashi

    第31回人工心臓と補助循環懇話会抄録集　95　2003

  41. IMTEK (Institute for Microsystem Technology), Albert Ludwigs University Freiburg, Germany

    田畑 修, 戸津 健太郎

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society　121　(5)　289-290　2001/05/01

    ISSN： 1341-8939

  42. 能動カテーテルの組み立てと制御 Peer-reviewed

    牧志渉, 松本淳, 戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    第35回日本エム・イー学会東北支部大会講演論文集　50　2001

  43. カテーテル先端位置・姿勢検出のための磁気ベクトルセンサシステム Peer-reviewed

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    第39回日本エム・イー学会大会論文集　29　2000

  44. Magnetic sensor system for detecting position and orientation of a catheter tip Peer-reviewed

    TOTSU Kentaro, HAGA Yoichi, ESASHI Masayoshi

    1999　(1)　77-82　1999

  45. Sensor System for Occlusal Force and Relative Position. Peer-reviewed

    戸津健太郎, 野崎浩一, 佐田登志夫, 黒江和斗, 江刺正喜, WANG S

    電気学会物理センサ研究会資料　PS-98　(1-8.10-17)　77-82　1998

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Books and Other Publications 4

  1. 半導体微細パターニング

    江刺正喜, 戸津健太郎, 鈴木裕輝夫, 小島明, 池上尚克, 宮口裕, 越田信義

    NTS　2017/04

  2. アクチュエータ 研究開発の最前線

    戸津 健太郎

    NTS　2011/08

  3. MEMS/NEMS工学全集

    戸津 健太郎

    テクノシステム　2009/04

  4. 経済産業研究所 経済政策レビュー 8 産学連携

    原山優子, 和賀三和子, 児玉俊洋, 戸津健太郎

    東洋経済新報社　2003/04/24

Presentations 43

  1. Evaluation of Thick-Film Photoresist for Grayscale Lithography Utilizing Direct Laser Writing

    庄子征希, 上瀧英郎, 森山雅昭, 戸津健太郎

    電気学会研究会資料　2019

  2. MC-FAN測定温度制御方法の開発

    菊池佑二, 竹内千明, 菊池裕子, 安隆則, 秦信宏, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本ヘモレオロジー学会総会プログラム・抄録集　2018

  3. 異方性ウェットエッチング法によるヒトおよびラット血液流動性測定用マイクロチャネルアレイチップの高精度加工

    戸津健太郎, 江刺正喜, 清水理葉, 安隆則, 山崎将嗣, 秦信宏, 松本衣代, 川崎朝子, 横川晃治, 梶原苗美, 菊池裕子, 竹内千明, 菊池佑二

    日本ヘモレオロジー学会総会プログラム・抄録集　2018

  4. Tohoku MEMS Integration and Packaging Platform in Tohoku University

    Yukio Suzuki, Masaaki Moriyama, Kentaro Totsu, Shuji Tanaka

    2nd French-Japanese Workshop on Micro & Nanotechnology　2016/11

  5. Au-Au Bonding based Hermetic MEMS Packaging using In-Plane RF Feedthrough of Thick Au Film

    森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫, 熊野 勝文, 戸津 健太郎, 平野 栄樹, 田中 秀治

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　2016

  6. Study of a miniaturized electron optics of the Massively Parallel Electron Beam Direct-Write (MPEBDW) system

    小島 明, 池上 尚克, 宮口 裕, 吉田 孝, 須田 隆太郎, 吉田 慎哉, 室山 真徳, 戸津 健太郎, 江刺 正喜, 越田 信義

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　2016

  7. Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write Lithography in Vacuum and Thin Films Deposition in Solutions

    N. Koshida, A. Kojima, N. Ikegami, R. Suda, M. Yagi, J. Shirakashi, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S. Yoshida, M. Sugata, K. Totsu, M. Esashi

    ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VII　2015

  8. Development of a MEMS electrostatic condenser lens array for nc-Si surface electron emitters of the Massive Parallel Electron Beam Direct-Write system

    A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, S. Yoshida, K. Totsu, N. Koshida, M. Esashi

    ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VIII　2015

  9. EUVリソグラフィー光源のためのグリット型赤外線遮断フィルターの作製と評価結果

    鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 森山雅昭, 江刺正喜, 田中秀治

    日本機械学会2014年度年次大会　2014/10/20

  10. UV-imprint lithography based on UV-curable PDMS International-presentation

    Masashi Nakao, Kentaro Totsu, Yoshimasa Sugimoto

    The 15th Chitose International Forum on Photonics Science & Technology　2014/10

  11. 東北大学試作コインランドリ～MEMS の試作開発から製品化に至る一貫した支援拠点～

    2014/05

  12. 超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価

    池上 尚克, 小島 明, 宮口 裕, 吉田 孝, 西野 仁, 吉田 慎哉, 室山 真徳, 菅田 正徳, 越田 信義, 戸津 健太郎, 江刺 正喜

    第 31 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム プロシーディング　2014

  13. FABRICATION AND EVALUATION OF FREE-STANDING SUBWAVELENGTH GRID INFRARED CUT FILTER OF PLACTICAL USE FOR LPP EUV LIGHT SOURCE

    鈴木 裕輝夫, 戸津 健太郎, 森山 雅昭

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　2014

  14. Feasibility Study for Development of a Carbon-based MEMS/NEMS using HOPG and a MEMS Fabrication Process

    Junji Sone, Kentaro Totsu

    2013 13TH IEEE CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　2013

  15. MEMS Commercialization in Japan International-presentation

    TOTSU Kentaro

    MANCEF’s COMET in Tokyo　2013

  16. HYDROGEN ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FRACTURE TOUGHNESS OF SILICON COIL SPRING FOR MECHANICAL ENERGY STORAGE APPLICATION

    T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka

    The proceedings of the 12th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (Power MEMS2012)　2012/12/02

  17. 多結晶スピネルの接合によるRF-SAWデバイスの温度特性の改善

    下司慶一郎, 寺岡寛二, 辻裕, 藤井明人, 今川善浩, 中山茂, 橋本研也, 田中秀治, 戸津健太郎, 高木秀樹

    圧電材料・デバイスシンポジウム　2012

  18. Hands-on-access facility for MEMS and semiconductor prototyping at Tohoku University

    Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi

    Proc. Smart Systems Integrations 2012　2012

  19. Hands-on Access Fabrication Facility International-presentation

    Kentaro Totsu, Kazuhiro Miwa, Takahito Ono

    International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2011)　2011/02/10

  20. MEMS用途PECVDシリコン窒化膜のストレス制御

    三輪和弘, 遠藤嵩幸, 戸津健太郎, 江刺正喜, 江刺正喜

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2011

  21. MEMS Hands-on access facility at Tohoku University International-presentation

    TOTSU Kentaro

    Workshop on Innovation and Commercialization of Micro & Nanotechnology (ICMAN2011)　2011

  22. 東北大学における海外企業との連携~産学連携担当者との関係構築~

    戸津健太郎, 熊田憲, 竹田健児

    産学連携学会大会講演予稿集　2009

  23. MEMS Innovation in Sendai International-presentation

    TOTSU Kentaro

    The 2nd International Workshop on Innovation ICMAN2008　2008

  24. Innovative MEMS Research and Development at Tohoku University International-presentation

    TOTSU Kentaro

    Nanoforum 2008　2008

  25. MEMS Innovation at Tohoku University International-presentation

    TOTSU Kentaro

    Japanese University Network in the Bay Area (JUNBA) Technology Fair 2008　2008

  26. 光ファイバ型超音波送受信プローブの作製

    石川真矢, 戸津健太郎, 中野琢磨, 芳賀洋一, 江刺正喜

    日本生体医工学会大会プログラム・論文集(CD-ROM)　2007

  27. 温度特性の向上を目指した極細径光ファイバ圧力センサの開発

    中村慎吾, 松永忠雄, 牧志渉, 戸津健太郎, 江刺正喜, 芳賀洋一

    日本生体医工学会大会プログラム・論文集(CD-ROM)　2007

  28. MEMS Industrialization in Sendai International-presentation

    TOTSU Kentaro

    The 1st International Workshop on Innovation ICMAN2007　2007

  29. Cooperative Education, Research and Development in Sendai

    TOTSU Kentaro

    DAAD Seminar Series　2007

  30. Hermitically sealed ultra-miniature fiber-optic pressure sensor

    S. Nakamura, T. Matsunaga, K. Totsu, M. Esashi, Y. Haga

    IDW '06: PROCEEDINGS OF THE 13TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3　2006

  31. Development of medical and welfare microdevices using micro technology

    Y. Haga, T. Matsunaga, W. Makishi, K. Totsu, M. Esashi

    IDW '06: PROCEEDINGS OF THE 13TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3　2006

  32. 光導波路を用いた屈曲センサの開発(平成16年度東北支部大会抄録, 支部大会抄録)

    東谷 旦, 戸津 健太郎, 江刺 正喜

    生体医工学 : 日本エム・イー学会誌　2005/06

  33. Photolithography on Cylindrical Substrate for Realization of High-Functional Tube-Shaped Micro-Tools

    S. Goto, T. Matsunaga, K. Totsu, W. Makishi, M. Esashi, Y. Haga

    Proceedings of the 22nd Sensor Symposium　2005

  34. マスクレス露光装置を用いたグレイスケールリソグラフィ

    戸津健太郎, 東谷旦, 江刺正喜

    第21回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　2004

  35. 重力加速度センサと地磁気センサを用いた人体の姿勢計測(平成14年度東北支部大会抄録)

    戸津 健太郎, Menz Wolfgang, Mergner Thomas, 江刺 正喜

    生体医工学 : 日本エム・イー学会誌　2003/03

  36. 血管内低侵襲医療のためのマイクロマシニング技術

    芳賀洋一, 峯田貴, 戸津健太郎, 江刺正喜

    日本機械学会東北支部第38期講演会　2003

  37. Development of Ultra Miniature Fiber-optic Blood Pressure Sensor System

    K. Totsu, Y. Haga, P.N. Minh, M. Esashi

    Proc. of The 19th Sensor Symposium　2002/05/30

  38. 極細径光ファイバ血圧センサおよび検出システムの開発

    戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　2002

  39. マイクロ能動カテーテルとマイクロセンサ

    芳賀洋一, 峯田貴, 戸津健太郎, 中村和浩, 藤田匡佑, 江刺正喜

    日本整形外科学会雑誌　2002

  40. 肢体不自由者のための加速度センサを用いたスイッチ回路の試作

    中村和浩, 栗原悠, 武永朋哉, 戸津健太郎, 江刺正喜

    人と福祉を支える技術フォーラム2002　2002

  41. シリコンコンデンサマイクロフォンによる直接周波数変調を用いたFMワイヤレスマイク

    藤原類, 戸津健太郎, 江刺正喜

    第17回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　2000

  42. 力による微小変位センサの設計と製作

    王詩男, 野崎浩一, 戸津健太郎, 江刺正喜

    第16回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　1998

  43. 噛み合い力センサの開発

    王詩男, 戸津健太郎, 野崎浩一, 江刺正喜

    第16回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集　1998

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Industrial Property Rights 8

  1. 圧力センサ

    安保 充, 戸津 健太郎, 藤本 諭, 西澤 充智, 日下 和彦

    Property Type: Patent

  2. 半導体装置の製造方法及び半導体装置

    鈴木 裕輝夫, 戸津 健太郎, 田中 秀治, 江刺 正喜

    Property Type: Patent

  3. マイクロミラーデバイスの製造方法

    田中 秀治, 鈴木 裕輝夫, 江刺 正喜, 戸津 健太郎

    Property Type: Patent

  4. マイクロミラーデバイスの製造方法

    田中 秀治, 鈴木 裕輝夫, 江刺 正喜, 戸津 健太郎

    特許第6046443号

    Property Type: Patent

  5. 露光方法

    芳賀 洋一, 松永 忠雄, 江刺 正喜, 戸津 健太郎

    Property Type: Patent

  6. 露光方法

    芳賀 洋一, 松永 忠雄, 江刺 正喜, 戸津 健太郎

    特許第4923254号

    Property Type: Patent

  7. センサ装置

    江刺 正喜, 芳賀 洋一, 戸津 健太郎

    Property Type: Patent

  8. 光ファイバセンサ

    江刺 正喜, 芳賀 洋一, 戸津 健太郎

    Property Type: Patent

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Research Projects 9

  1. Development of High Performance Smart Composite Material with Enhancing Domain Density at the PZT/Magnetostrictive Interface for Designing Energy Harvesting, IoT Devices

    FURUYA YASUBUMI

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    Institution: Tohoku University

    2017/04/01 - 2020/03/31

    More details Close

    The purpose of this study is to develop the multi-functional smart materials and devices, and their practical application for sensor/actuator combining with wireless IoT network. First, we tried to fabricate the new materials of piezo/magnetostrictive laminated or fiber-reinforced composite which has synergetic effect of nano-domains scale multi-ferroics effect. This new material PZT/FeCo/laminated composite was proposed for patent in 2018 from Tohoku University. Then, electro-magnetic smart devices which have stress/strain sensor or micro-energy harvester under mechanical vibration. By using the developed sensor/actuator and energy harvesting devices, in final year of 2019, the verification of the experimental test of wireless IoT sensor network system was done by using three small wind-mills in the area of Fukaura-town and Hirosaki University of Aomori Prefecture and Tohoku University in Sendai. The time-dependent data could be monitored in cloud-style, which means successful.

  2. Development of high density and accuracy tactile device using MEMS technology

    SONE JUNJI, TANAKA Shuji, HASEGAWA Shoichi, HOSHI Yoichi, TOTSU Kentaro, MORIYAMA Masaaki, HIRANO Hideki, YOSHIDA Shinya, MITA Yoshio, ADACHI Takehiro, MATSUMOTO Yasuyoshi, HORIKAWA Yuuki, INOMATA Taiki, YAMADA Yuuki, KUTSUZAWA Shogo, TANAKA Koki, NISHINO Hitoshi, ASANO Sho, KANEKO Ryosuke

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    Category: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    Institution: Tokyo Polytechnic University

    2015/04/01 - 2017/03/31

    More details Close

    Wearable Tactile device of human fingertips was designed and developed which device size is small and can move freely. This device is consist of finger attached part, fixed frame of tactile actuator, tactile actuator. Finger attached part, fixed frame of tactile actuator were designed by 3D CAD and prototyped with high precision using 3D printer. Tactile actuator was designed by MEMS-CAD. From this design, five layers of piezo-electric part of actuator is enough to assign the tactile sensation. We considered the MEMS process of the actuator development and these process is available for prototyping. But we have accident at piezoelectric film deposition by sol-gel processing. Then, tactile actuator was not built completely. And we made the multi-channel driver for piezoelectric actuators.

  3. Massive Parallel Electron Beam Lithography System

    ESASHI Masayoshi, ONO Takahito, TANAKA Syuji, TOTSU Kentaro, KAWAI Yusuke, MIYASHITA Hidetoshi

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

    Institution: Tohoku University

    2007 - 2011

    More details Close

    The fabrication method for emitter with carbon nanotube at the top of the tip, optically controllable emitter, micro stage and the novel method for fabricate electro static electron rends are studied as one of the components of the massive parallel electron beam lithography system. With these components, prototype of the EB system was fabricated.

  4. Development of In Vivo Local Measurement and Treatment System Competitive

    System: Ordinary Research

    2004/04 - 2008/03

  5. ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング

    小野 崇人, 田中 秀治, 戸津 健太郎, 江刺 正喜

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業 基盤研究(B)

    Category: 基盤研究(B)

    Institution: 東北大学

    2007 - 2008

    More details Close

    単電子トランジスタを利用した変位センサを集積化したナノメカニカル・プローブを用いて核磁気共鳴をナノスケールで検出し、タンパク質などの構造を3次元で観測する顕微鏡を開発する。この力検出型の核磁気共鳴検出では、熱による機械振動を抑えるため、センサを低温に冷やす必要がある。このため、低温で高感度なエレクトロメーターである単電子トランジスタを変位センサとして組み込んで、高分解能の磁気共鳴イメージングを実現する。ナノ構造の加工技術とナノ構造における特異な力学現象を利用し、高感度なプローブを開発することを目標とする。 磁気共鳴の検出では、きわめて小さな力を検出するため、極低温に冷却して熱による機械振動(熱機械ノイズ)を低減することが必要不可欠である。同時に、極低温で動作する高感度の変位センサを集積化する必要がある。通常のICのアンプを集積化したり、装置内に設置したりする場合、半導体素子は低温で絶縁性になり動作しなくなる。そこで、極低温でも動作する単電子トランジスタをもちいた極めて高感度の変位センサを集積化した構造を作製した。単電子トランジスタをナノメカニカル構造に集積化する作製方法を開発した。一方、機械的振動子の非線形性を利用すると、振動子の位相ノイズを低減できることを見出し、その基礎的な実験を進めた。また、将来センサを空気中で動作させるさいに重要となる振動損失を評価する方法を開発した。また、単電子トランジスタの代わりにピエゾ抵抗型センサでナノメカニカルセンサの変位を検出できる振動子を作製した。

  6. インジウムはんだ薄膜を用いたMEMSパッケージング

    戸津 健太郎

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業 若手研究(B)

    Category: 若手研究(B)

    Institution: 東北大学

    2006 - 2007

    More details Close

    薄膜のインジウムはんだを用いてMEMSデバイスを低温でパッケージングする技術について研究を行った。エッチングにより微細構造を形成した基板上に、厚さ10nmのクロム薄膜、厚さ500nmのインジウム薄膜、および厚さ20nmの金薄膜を連続して真空蒸着した。クロム薄膜は基板とインジウムの密着性を高める効果があり、金薄膜はインジウムとの化合物で長期安定性を有したAuIn2を形成してインジウムの酸化防止膜となる。接合相手の基板には、厚さ10nmのクロム薄膜、および厚さ20nmの金薄膜を真空蒸着で連続して成膜した。これら2枚の基板に120kPaの荷重をかけて真空中で接合を行った。これまで接合温度を300℃または200℃、加熱時間を30分として接合実験を行ったところ、3MPa程度の接合強度が得られていた。MEMSデバイスのパッケージングにおいて、材料の特性を変化させない、熱応力の影響を避けたいなどの理由で、さらに低温で接合したいという要求がある。そこで、インジウムと金の拡散接合を用いて室温で接合が可能かどうかの研究を行った。室温においてインジウムは金に拡散するが、拡散する速さは10時間でおよそ30nmである。上記と同様のサンプルを重ねて荷重をかけた状態で真空中に1日置き、室温で拡散接合を試みた。インジウムと相手の金薄膜が接触したと思われる部分において接合されていたことが確認できた。引張試験を行ったところ、300℃で接合した場合と比較して、同等以上の接合強度が得られた。接合温度が低いため、インジウムの流動性が悪く、相手方の金薄膜と接触した部分でのみ接合されたが、接合面全体に荷重がかかるようにすれば、さらに広範囲で接合できると考える。以上の研究により、厚さ1μm以下のインジウムと金の薄膜を用いて、室温〜300℃程度の低温での接合が可能であることが実証された。

  7. 極細径光ファイバ先端駆動形2次元マイクロ光スキャナ

    戸津 健太郎, 江刺 正喜

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業 特定領域研究

    Category: 特定領域研究

    Institution: 東北大学

    2005 - 2006

    More details Close

    極薄のL字形カンチレバーをアクチュエータに用いて光で駆動することで超小形の2次元光スキャナを実現することを目的とした。直径125μmの光ファイバ先端にアクチュエータを搭載させるため、カンチレバーの長さは100μmとした。カンチレバーを構成するバイメタルの材料として、これまで厚さ100nmのポリイミドおよび厚さ100nmの金を用いていた。カンチレバーにレーザ光を周期的に照射したとき、カンチレバーが駆動することを確認した。本年度は、測定装置、およびカンチレバーの改良を主に行った。効率よくレーザ光を照射するため、ファイバ先端に光ファイバ融着器を用いて球形のレンズを形成し、ファイバ端から出射するレーザ光を絞ることができるようにした。ポリイミドを再現性よく薄くすることが困難であること、材料がやわらかいため、共振周波数が比較的低い問題があり、カンチレバーを構成するバイメタルの材料として、厚さ100nmのシリコンと厚さ100nmの金を用いた。埋め込み酸化膜構造(SOI)のシリコンウェハを用いることで、極薄のシリコン構造体を実現した。ウェハ上に接着層となる厚さ30nmクロム薄膜および厚さ100nmの金薄膜を真空蒸着で形成後、パターニングした。このとき、ミラー面においてレーザ光を吸収させるため、クロム薄膜をミラー面に形成した。その後、シリコンをエッチングによりカンチレバーの形にパターニングし、最後にカンチレバー構造体をウェハからリリースした。膜の残留応力によりカンチレバーが立ち上がり、ミラーが傾いた構造を得ることができた。

  8. 生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング

    江刺 正喜, 田中 秀治, 戸津 健太郎

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業 萌芽研究

    Category: 萌芽研究

    Institution: 東北大学

    2005 - 2006

    More details Close

    半導体技術を発展させた立体的微細加工技術で高付加価値部品が作られている。この加工ではフォトリソグラフィで基板上のマスクで覆われていない部分を一括でエッチング加工する。特にシリコン基板に垂直に深くエッチングできることや、薄いダイアフラムを形成できることが要求される。反応性イオンエッチング(Deep RIE)でシリコン基板などを垂直に深くエッチングできるが、多数の基板を同時に処理できないため生産性が悪いため、フッ化水素水中の電解エッチングでシリコンに垂直な孔を開けるマクロポーラスシリコンを応用して生産性の高いウェット垂直エッチング技術を研究した。特に、垂直な孔の底に薄いダイアフラムを持つ構造などを、このウェット垂直エッチング技術により、不純物濃度に対する選択性の違いを利用して薄いダイアフラムを形成する研究を行った。 本年度はこの垂直な孔の底に薄いダイアフラムを持っ構造を製作するのに成功し研究の目的を達成できた。ダイアフラムにあたる部分に高濃度のボロンを拡散しておき、フッ化水素水中の電解エッチングでシリコンに垂直な孔を開けた後、アルカリ性のエッチング液に入れ替えて垂直な穴の側面をエッチングしながらさらに垂直方向にエッチングし、高濃度のボロンを拡散した層でエッチングが停止する性質を利用する。研究期間の最終段階で成功したため、その成果は期間終了後、平成19年7月2-3日に開催される電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会で発表する。 この研究の副次的な成果として、圧電材料であるニオブ酸リチウムの単結晶基板に選択的なウェットエッチングでダイアフラムを形成する研究に発展させ、それに薄いダイアフラムを形成することにも成功した。これは基板の熱処理によって分極反転層を形成してそれだけがエッチングされないようにする方法で、表面弾性波を用いたワイアレスパッシブ力センサに応用している。

  9. RF MEMS device based on micromachining

    ESASHI Masayoshi, ONO Takahito, TANAKA Shuji

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    Institution: Tohoku University

    2004 - 2006

    More details Close

    Three-dimensional microstructures, sensors and actuators can be fabricated on a silicon chip using micromachining which is an extended technology based microfabrication for integrated circuits. RF MEMS (Radio Frequency Micro Electro Mechanical Systems) has been developed to produce RF components for wireless systems. Switches (relays), variable capacitors, micromechanical resonators for time (frequency) references or RF filters, RF interconnection and coils which are fabricated on thin self supported membranes and hence have small stray capacitances can be made by this technology. Following achievements are obtained in this research program. Packaging technologies for the RF MEMS as wafer level packaging processes and electrical feedthrough structures for an electrical interconnection for high speed signal from the top side to the backside of silicon chips were developed. MEMS switches as contact type and capacitive type which are actuated electrostatically were developed. MEMS switches were applied for a flexible flat panel display and commercialized as components for high speed LSI testers. Micromechanical resonators can have high resonant frequencies. The extension mode enables higher resonant frequency than the bending mode because of the high spring constant of the extension mode. By making the resonant frequency determined by the lateral dimension multiple resonators with different resonant frequencies can be integrated on a chip. An electrostatically driven wine glass mode silicon disk resonator of witch diameter is 20 μm demonstrated a resonant frequencies of approximately 100 MHz. Since the resonant frequency of such small resonators can be fluctuated by absorbing gas MEMS resonator was fabricated in a vacuum cavity in a silicon chip to stabilize the resonant frequency. Micromechanical resonators have an inherent problem of phase noise caused by thermomechanical noise. The thermomechanical noise also limit the resolution of resonating sensors. Extreme sensitivity is required for MRFM (Magnetic Resonance Force Microscopy) for the MRI (Magnetic Resonance Microscopy) of small samples as biological cell. The noise problems were studied and the phase noise could be reduced by a parametric squeeze damping. Cantilever resonant sensors which have high quality factor in atmosphere were.developed by using quartz material with thickness share mode. High aspect ratio planer coils.were fabricated to reduce the resistance.and high quality factor as high as 85 at 1.6 GHz was achieved for the purpose of the MRI for the small samples.

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