研究者詳細
博士（工学） （東北大学）
東北大学 大学院工学研究科 バイオロボティクス専攻
2012年4月 ～ 2019年3月
電気通信大学 電気通信学部 電子工学科
1997年4月 ～ 2005年3月
電気学会
2013年10月 ～ 継続中
MEMS, Wafer-Level-Packaging, MEMS Fabrication, PZT
ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /
優秀論文賞
2017年3月 応用物理学会 厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞
2015年1月 文部科学省 シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）における超精密形状制御
ナノテクノロジープラットフォーム 令和元年度「秀でた利用成果」優秀賞
2020年1月 文部科学省 小型マイクロステージの開発
ナノテクノロジープラットフォーム 平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞受賞
2019年1月 文部科学省 タイトル広帯域波長掃引パルス量子カスケードレーザの開発
ナノテクノロジープラットフォーム 平成27年度「秀でた利用成果」
2016年1月 文部科学省 タイトル音響光学フィルタの開発
ナノテクノロジープラットフォーム 平成24年度「秀でた利用6大成果」 最優秀賞
2014年1月 文部科学省 タイトルシリコンエレクトレットマイクロホンの開発
Metal-bonding-based hermetic wafer-level MEMS packaging technology using in-plane feedthrough: Hermeticity and high frequency characteristics of thick gold film feedthrough
Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hideki Hirano, Shuji Tanaka
Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi) 206 (2) 44-53 2019年1月1日
DOI： 10.1002/eej.23193
ISSN：0424-7760
eISSN：1520-6416
Sol–gel deposition and characterization of lead zirconate titanate thin film using different commercial sols 査読有り
Masaaki Moriyama, Kentaro Totsu, Shuji Tanaka
Sensors and Materials 31 (8) 2497-2509 2019年1月1日
ISSN：0914-4935
面内高周波フィードスルーによる金属接合ウェハレベルMEMSパッケージング技術 -厚いAu膜フィードスルーの気密性と高周波特性- 査読有り
森山雅昭, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 平野栄樹, 田中秀治, 田中秀治
電気学会論文誌 E 138 (10) 485‐494(J‐STAGE)-494 2018年
ISSN：1341-8939
RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ 査読有り
森山雅昭, 川合祐輔, 田中秀治, 江刺正喜
電気学会論文誌 E 132 (9) 282-287 2012年
出版者・発行元： 一般社団法人 電気学会ISSN：1341-8939
レーザ直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの評価
庄子征希, 上瀧英郎, 森山雅昭, 戸津健太郎
電気学会論文誌 E 140 (5) 2020年
ISSN：1341-8939
Au-Au-Bonding-Based Hermetic Wafer-Level MEMS Packaging Technology Using In-Plane Feedthrough of Thick Au RF Lines with Al2O3 Adhesion Layer
Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hideki Hirano, Shuji Tanaka
The 10th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2019 2019年7月
MEMS research is better together
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi
Nature Electronics 2 (4) 134-136 2019年4月1日
DOI： 10.1038/s41928-019-0236-z
ISSN：2520-1131
Fabrication of IoT force sensor module in five-day program for students as part of nanotechnology platform Japan project
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Hiraku Watanabe, Toshiyuki Kikuta, Masahiro Hemmi, Masaaki Shoji, Takashi Yoshida, Masataka Tatsuta
Sensors and Materials 31 (8) 2555-2563 2019年1月1日
ISSN：0914-4935
レーザ直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの評価
庄子征希, 上瀧英郎, 森山雅昭, 戸津健太郎
電気学会研究会資料 (MSS-19-011-028.030-034) 35‐39 2019年
Isolation Characteristics of In-plane Feedthrough across Au/SiOx Seal Ring for Wafer-level RF MEMS Packaging
Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hideki Hirano, Shuji Tanaka
APCOT2018 2018年6月
Accelerating MEMS Development by Open Collaboration at Hands‐On‐Access Fab, Tohoku University
TOTSU Kentaro, MORIYAMA Masaaki, SUZUKI Yukio, ESASHI Masayoshi
Sensors and Materials 30 (4) 701-711 2018年
出版者・発行元：ISSN：0914-4935
Hermetic MEMS Packaging using In-Plan Feedthrough of Thick Signal Lines for Tohoku MEMS Integration Platform
Masaaki Moriyama
JSPS Meeting 2016 : Workshop on “Atomically Controlled Processing for Ultra-large Scale Integration” 2016年11月
Tohoku MEMS Integration and Packaging Platform in Tohoku University 査読有り
Yukio Suzuki, Masaaki Moriyama, Kentaro Totsu, Shuji Tanaka
2nd French-Japanese Workshop on Micro & Nanotechnology 2016年11月
厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術
森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 熊野勝文, 戸津健太郎, 平野栄樹, 田中秀治
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 33rd 1-4 2016年
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
Plasma Half Dicing based on Micro-loading Effect for Ultra-thin LiNbO3 Plate Wave Devices on Si Substrate
Yoshimi Yunoki, Michio Kadota, Masaaki Moriyama, Shuji Tanaka
2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS) 2016 (NEMS) 168‐171-171 2016年
DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758224
Free-standing subwavelength grid infrared cut filter of 90 mm diameter for LPP EUV light source
Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 231 59-64 2015年7月
DOI： 10.1016/j.sna.2014.07.006
ISSN：0924-4247
異なる市販ゾルを用いたゾル・ゲル法によるPZT薄膜の成膜と評価
森山雅昭, 田中秀治
電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料 MSS-15 (15-34) 13-18 2015年
EUVリソグラフィー光源のためのグリット型赤外線遮断フィルターの作製と評価結果
鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 森山雅昭, 江刺正喜, 田中秀治
日本機械学会2014年度年次大会 21am2-A4 2014年10月20日
東北大学試作コインランドリ～MEMS の試作開発から製品化に至る一貫した支援拠点～
戸津 健太郎, 森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫, 江刺 正喜
学振弾性波素子技術第150 委員会研究会 2014年5月
FREE‐STANDING SUBWAVELENGTH GRID INFRARED REJECTION FILTER OF 90MM DIAMETER FOR LPP EUV LIGHT SOURCE
SUZUKI Yukio, TOTSU Kentaro, MORIYAMA Masaaki, ESASHI Masayoshi, TANAKA Shuji
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems 27th Vol.1 482-485 2014年
DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765682
ISSN：1084-6999
EUVリソグラフィー光源のためのグリット型波長選択フィルターの作製と評価結果
鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 森山雅昭, 江刺正喜, 田中秀治
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 31st ROMBUNNO.21AM2-A4-6 2014年
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
MEMS技術を用いた指触覚デバイスの設計と製作
足立丈宗, 森山雅昭, 星陽一, 曽根順治
日本バーチャルリアリティ学会大会論文集(CD-ROM) 19th ROMBUNNO.31A-1 2014年
ISSN：1349-5062
Hands-on-access fabrication facility for MEMS Development and production 査読有り
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi
Proceedings of the International Display Workshops 2 1405-1408 2013年
ISSN：1883-2490
Low-stress epitaxial polysilicon process for micromirror devices 査読有り
電気学会論文誌E 133 (6) 223-228 2013年
ISSN：1341-8939 1347-5525
Low‐Stress Epitaxial Polysilicon Process for Micromirror Devices
SUZUKI Yukio, TOTSU Kentaro, WATANABE Hiraku, MORIYAMA Masaaki, ESASHI Masayoshi, TANAKA Shuji
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 29th ROMBUNNO.SP2-7 2012年10月22日
Hands-on-access facility for MEMS and semiconductor prototyping at Tohoku University
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi
Proc. Smart Systems Integrations 2012 18 2012年
LOW‐VOLTAGE PZT‐ACTUATED MEMS SWITCH MONOLITHICALLY INTEGRATED WITH CMOS CIRCUIT
MATSUO Kousuke, MORIYAMA Masaaki, ESASHI Masayoshi, TANAKA Shuji
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems 25th Vol.2 1153-1156 2012年
ISSN：1084-6999
RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ
森山雅昭, 川合祐輔, 田中秀治, 江刺正喜
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 28th ROMBUNNO.A2-2 2011年
単層フォトレジストによる1µm線幅リフトオフプロセスの評価—Lift-off Patterning of 1 µm Line Width using Single Layer Photoresist
佐々木 寛充, 森山 雅昭, 戸津 健太郎
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 143 (7) 204-210 2023年7月
出版者・発行元： 東京 : 電気学会ISSN： 1341-8939
レーザ直接描画を用いたグレイスケールリングラフィにおける厚膜レジストの評価—Evaluation of Thick-Film Photoresist for Grayscale Lithography Utilizing Direct Laser Writing—マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
庄子 征希, 上瀧 英郎, 森山 雅昭, 戸津 健太郎
電気学会研究会資料. MSS 2019 (11-28・30-34) 35-39 2019年7月
出版者・発行元： 東京 : 電気学会
PZT薄膜とPZT MEMS
吉田 慎哉, 森山 雅昭
金属 85 (9) (701)21-(707)27 2015年9月1日
出版者・発行元： 株式会社 アグネ技術センター
第11回 ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開~ベンチャー,中小から大企業まで~東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
戸津健太郎, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫
工業材料 63 (4) 52-54 2015年
ISSN： 0452-2834
スマート社会に向けて進歩するMEMS技術 PZT薄膜とPZT MEMS
吉田慎哉, 森山雅昭
金属 85 (9) 701-707 2015年
ISSN： 0368-6337
試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援
戸津 健太郎, 森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫, 小野 崇人, 吉田 慎哉, 江刺 正喜
金属 83 (9) 13-20 2013年9月1日
出版者・発行元： アグネ技術センター
試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援 (特集 マイクロシステム融合研究開発)
戸津 健太郎, 森山 雅昭, 鈴木 裕輝夫
金属 83 (9) 757-764 2013年9月
出版者・発行元： アグネ技術センターISSN： 0368-6337
