東北大学研究者紹介

研究者詳細

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グエン　ヴアン　トウアン

Nguyen Van Toan

所属

大学院工学研究科　機械機能創成専攻　機能システム学講座（微小機械構成学分野）

職名

准教授

学位

博士（工学）（東北大学）
Ｍ．Ｓ．（ベトナム国家大学）

researchmap

https://researchmap.jp/7000010074

J-GLOBAL ID

201401017809154236

経歴 5

2023年4月～継続中

東北大学大学院工学研究科　准教授
2020年4月～ 2023年3月

Micro System Integration Center, Tohoku University, Japan
2015年4月～ 2020年3月

Graduate School of Engineering, Tohoku University, Japan
2014年4月～ 2015年3月

Micro System Integration Center, Tohoku University, Japan
2007年9月～ 2011年3月

Vietnam National University, University of Science

学歴 1

Tohoku University　Doctoral course

2011年4月～ 2014年3月

委員歴 11

Frontiers in Energy Research　Associate Editor

2022年11月～継続中
Nanomaterials　Guest Editor of the special Issue "Micro-/Nanoengineering Systems"

2023年10月～ 2024年6月
The 4th International conference on engineering physics, MEMS-Biosensor and Their Applications (4th ICEBA2023)　Co-chair program

2023年7月～ 2023年11月
2023 International Conference on Advanced Technologies for Communications　Track-chair of Electronics

2023年5月～ 2023年10月
The 3rd International Workshop on Engineering Physics, IC-MEMS-Sensors and Their Applications　Co-chair program

2022年11月～ 2022年11月
Vietnam-Japan Scientific Exchange Meeting 2018,　Program committee and session in charge of session: Micro/Nano technologies

2018年～ 2018年
Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018,　Session chair

2018年～ 2018年
International Conference on New Material and Chemical Industry,　Technical Program Committee

2017年～ 2017年
11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS),　Steering committee member

2016年～ 2016年
international conference on applied mechanics,　International scientific committees

2016年～ 2016年
17th International Conference on Advanced Nanomaterials and Nanotechnology,　Session chair

2015年～ 2015年

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研究キーワード 6

Metal-Assisted Chemical Etching
Ion transportation
Thermal electric power generators
Optical modulator devices
Capacitve silicon resonators
MEMS/NEMS

研究分野 2

ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /
情報通信 / 機械力学、メカトロニクス /

受賞 11

Meet 100 Outstanding Vietnamese Peoples in Japan

2023年5月　Embassy of the Socialist Republic of Vietnam in Japan.
Young research award

2023年5月　The 78th ubiquitous computing system research conference, Tokyo, Japan, 24-26 May, 2023
電気学術振興賞

2022年6月　電気学会
Excellent Publication Prize

2022年6月　Vietnam National University, Vietnam National University - Ho Chi Minh City.
Researcher Travel Grant

2020年1月　The 33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS 2020), Vancouver, Canada.
Word State-of-the-art Research on Sensors and Micromachines

2019年8月　IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　Best Paper Award
Researcher Travel Grant

2017年7月　The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
Researcher Travel Grant

2017年1月　The 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
Outstanding paper award finalist

2016年8月　The 16th international conference on nanotechnology (IEEE NANO 2016)
Best student paper finalist

2014年4月　The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
Outstanding poster prize

2010年6月　Workshop on MEMS, Robotics and Electrical System

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論文 90

Nanoengineered micro-supercapacitors based on graphene nanowalls for self-powered wireless sensing system

Nguyen Van Toan, Hongtao Sui, Jinhua Li, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

Journal of Energy Storage　81　2024年3月15日

DOI： 10.1016/j.est.2024.110446 　

eISSN：2352-152X
A Large-Stroke 3-DOF Micromirror With Novel Lorentz Force-Based Actuators Utilizing Metallic Glass Thin Film

Chuan Hui Ou, Nguyen Van Toan, Yao Chuan Tsai, Ioana Voiculescu, Masaya Toda, Takahito Ono

Journal of Microelectromechanical Systems　33　(1)　46-53　2024年2月1日

DOI： 10.1109/JMEMS.2023.3337333 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
An Electromagnetically Driven Micromirror with a Large Stroke

Chuan Hui Ou, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Sensors and Materials　36　(6)　2237-2248　2024年

DOI： 10.18494/SAM5027 　

ISSN：0914-4935
A Large-Stroke Tip-Tilt-Piston Micromirror with Electromagnetic Actuators Based on Metallic Glass

Chuan Hui Ou, Nguyen V. Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2023-January　1103-1106　2023年

DOI： 10.1109/MEMS49605.2023.10052335 　

ISSN：1084-6999
Ultra-flexible thermoelectric generator based on silicone rubber sheet and electrodeposited thermoelectric material for waste heat harvesting

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Hongtao Sui, Nguyen Huu Trung, Khairul Fadzli Samat, Takahito Ono

Energy Reports　8　5026-5037　2022年11月

DOI： 10.1016/j.egyr.2022.03.121 　

eISSN：2352-4847
Highly enhanced thermoelectric and mechanical properties of Bi<inf>2</inf>Te<inf>3</inf> hybrid nanocomposite with inclusion of Pt nanoparticles and SWCNTs

Khairul Fadzli Samat, Yijie Li, Nguyen Van Toan, Mohd Asyadi Azam, Takahito Ono

Journal of Materials Research　37　(20)　3445-3458　2022年10月28日

DOI： 10.1557/s43578-022-00694-z 　

ISSN：0884-2914

eISSN：2044-5326
Micro-heat sink based on silicon nanowires formed by metal-assisted chemical etching for heat dissipation enhancement to improve performance of micro-thermoelectric generator

Nguyen Van Toan, Keisuke Ito, Truong Thi Kim Tuoi, Masaya Toda, Po Hung Chen, Mohd Faizul Mohd Sabri, Jinhua Li, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　267　2022年9月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2022.115923 　

ISSN：0196-8904
High-performance flexible thermoelectric generator for self-powered wireless BLE sensing systems

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

Journal of Power Sources　536　2022年7月15日

DOI： 10.1016/j.jpowsour.2022.231504 　

ISSN：0378-7753
Nanoengineered nanochannels for thermally ionic nanofluidic energy harvesting

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Naoki Inomata, Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan, Masaya Toda, Ioana Voiculescu, Suhana Mohd Said, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　264　2022年7月15日

DOI： 10.1016/j.enconman.2022.115760 　

ISSN：0196-8904
Density effects of vertical graphene nanowalls on supercapacitor performance

Hongtao Sui, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Materials Advances　3　(13)　5406-5417　2022年5月18日

DOI： 10.1039/d2ma00074a 　

eISSN：2633-5409
Self-powered wireless sensing system driven by daily ambient temperature energy harvesting

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

APPLIED ENERGY　311　2022年4月

DOI： 10.1016/j.apenergy.2022.118679 　

ISSN：0306-2619

eISSN：1872-9118
High Density Micro-Thermoelectric Generator Based on Electrodeposition of Bi<inf>2</inf>Te<inf>3</inf>and Sb<inf>2</inf>Te<inf>3</inf>

Chan Cheng Hou, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEE Symposium on Mass Storage Systems and Technologies　2022-January　600-603　2022年

DOI： 10.1109/MEMS51670.2022.9699661 　

ISSN：2160-1968
Aluminum doped zinc oxide deposited by atomic layer deposition and its applications to micro/nano devices

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Scientific Reports　11　(1)　2021年12月
出版者・発行元： Springer Science and Business Media LLC
DOI： 10.1038/s41598-020-80880-3 　

eISSN：2045-2322
Thermoelectric generator with a high integration density for portable and wearable self-powered electronic devices

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Hieu, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　245　2021年10月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2021.114571 　

ISSN：0196-8904
Vertically-oriented graphene electrodeposited with MnO2 on native SiO2/Si for high-performance supercapacitor electrodes

Hongtao Sui, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

JOURNAL OF ELECTROANALYTICAL CHEMISTRY　895　2021年8月

DOI： 10.1016/j.jelechem.2021.115507 　

ISSN：1572-6657

eISSN：1873-2569
Heat Storage Thermoelectric Generator for Wireless IOT Sensing Systems

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021　924-927　2021年6月20日

DOI： 10.1109/Transducers50396.2021.9495686 　
Morphological Analysis and Properties Evaluation of Electrodeposited Thick BiSbTe Films with Cooperative Interactions among Multiple Additives

Wei Yu, Nguyen Van Toan, Yi Jie Li, Zhuqing Wang, Takahito Ono, Ruochen Wang

Journal of the Electrochemical Society　168　(2)　2021年2月

DOI： 10.1149/1945-7111/abdd7b 　

ISSN：0013-4651

eISSN：1945-7111
Aluminum doped zinc oxide deposited by atomic layer deposition and its applications to micro/nano devices. 国際誌

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Scientific reports　11　(1)　1204-1204　2021年1月13日

DOI： 10.1038/s41598-020-80880-3 　

ISSN：2045-2322
Formation and Evaluation of Silicon Substrate with Highly-Doped Porous Si Layers Formed by Metal-Assisted Chemical Etching

Yijie Li, Nguyen Van Toan, Zhuqing Wang, Khairul Fadzli Bin Samat, Takahito Ono

Nanoscale Research Letters　16　(1)　2021年

DOI： 10.1186/s11671-021-03524-z 　

ISSN：1931-7573

eISSN：1556-276X
Heat storage thermoelectric generator as an electrical power source for wireless Iot sensing systems

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

International Journal of Energy Research　45　(10)　15557-15568　2021年

DOI： 10.1002/er.6774 　

ISSN：0363-907X

eISSN：1099-114X
Evaluation of Microfluidic Channels With Thin Si Windows and Trapping Structures

Masaya Toda, Hideki Hayashi, Nguyen van Toan, Naoki Inomata, Takahito Ono

Journal of Microelectromechanical Systems　30　(4)　560-568　2021年

DOI： 10.1109/JMEMS.2021.3076791 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
Micro-Fabricated Presure Sensor Using 50 nm-Thick of Pd-Based Metallic Glass Freestanding Membrane

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Yao Chuan Tsai, Yu Ching Lin, Takahito Ono

Scientific Reports　10　(1)　2020年12月1日

DOI： 10.1038/s41598-020-67150-y 　

ISSN：2045-2322

eISSN：2045-2322
Thermoelectric generators for heat harvesting: From material synthesis to device fabrication

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　225　2020年12月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2020.113442 　

ISSN：0196-8904

eISSN：1879-2227
Temperature-dependence of the electrical impedance properties of sodium hydroxide-contained polyethylene oxide as an ionic liquid

Naoki Inomata, Nguyen van Toan, Takahito Ono

Sensors and Actuators A: Physical　316　112369-112369　2020年12月
出版者・発行元： Elsevier BV
DOI： 10.1016/j.sna.2020.112369 　

ISSN：0924-4247
Thermoelectrical properties of silicon substrates with nanopores synthesized by metal-assisted chemical etching

Yijie Li, Nguyen Van Toan, Zhuqing Wang, Khairul Fadzli Samat, Takahito Ono

Nanotechnology　31　(45)　2020年11月6日

DOI： 10.1088/1361-6528/ab8fe1 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528
Theoretical and experimental investigation of a thermoelectric generator (TEG) integrated with a phase change material (PCM) for harvesting energy from ambient temperature changes

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Energy Reports　6　2022-2029　2020年11月

DOI： 10.1016/j.egyr.2020.07.023 　

ISSN：2352-4847

eISSN：2352-4847
Liquid and solid states on-chip micro-supercapacitors using silicon nanowire-graphene nanowall-pani electrode based on microfabrication technology

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Jinhua Li, Naoki Inomata, Takahito Ono

Materials Research Bulletin　131　110977-110977　2020年11月

DOI： 10.1016/j.materresbull.2020.110977 　

ISSN：0025-5408

eISSN：1873-4227
Bridged resonator based on assembled Si thin wire

Masaya Toda, Taichi Nakamura, Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　30　(10)　105015-105015　2020年10月1日

DOI： 10.1088/1361-6439/aba6cc 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Torsional resonator of Pd–Si–Cu metallic glass with a low rotational spring constant

Masaya Toda, Chunyang Li, Nguyen Van Toan, Yao-Chuan Tsai, Yu-Ching Lin, Takahito Ono

Microsystem Technologies　27　(3)　929-935　2020年8月14日

DOI： 10.1007/s00542-020-04996-2 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858
Micropatterning and Integration of Electrospun PVDF Membrane into Microdevice

Iman Aris Fadzallah, Nuur Syahidah Sabran, Nguyen Van Toan, Takahito Ono, Suhana Mohd Said, Mohd Faizul Mohd Sabri

Journal of Microelectromechanical Systems　29　(3)　438-445　2020年6月

DOI： 10.1109/JMEMS.2020.2983717 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
Magnetostrictive Performance of Electrodeposited TbxDy(1−x)Fey Thin Film with Microcantilever Structures

Hang Shim, Kei Sakamoto, Naoki Inomata, Masaya Toda, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Micromachines　11　(5)　523-523　2020年5月21日

DOI： 10.3390/mi11050523 　

eISSN：2072-666X
Logic gates based on electrically driven nanoelectromechanical switches 査読有り

Nguyen Van Toan, Dong Zhao, Naoki Inomata, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　14　(2)　335-336　2020年2月

DOI： 10.1002/tee.22814 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
High Performance Micro-Thermoelectric Generator Based on Metal Doped Electrochemical Deposition

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Khairul Fadzli Samat, Hongtao Sui, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2020-January　570-573　2020年1月

DOI： 10.1109/MEMS46641.2020.9056358 　

ISSN：1084-6999
Carbon Black Nanoparticles Inclusion in Bismuth Telluride Film for Micro Thermoelectric Generator Application

Khairul Fadzli Samat, Yijie Li, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2020-January　562-565　2020年1月

DOI： 10.1109/MEMS46641.2020.9056323 　

ISSN：1084-6999
核スピン偏極度検出のための低弾性率共振子査読有り

李春洋, 戸田雅也, TOAN NGUYEN Van, 林育菁, Tsai Yao-Chuan, 小野崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　36　19pm3-T-5-1-19pm3-T-5-4　2019年11月19日
Thermoelectric power battery using al<inf>2</inf>o<inf>3</inf> nanochannels of 10 nm diameter for energy harvesting of low-grade waste heat

Nguyen Van Toan, Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan, Daiki Udagawa, Naoki Inomata, Masaya Toda, Suhana Mohd Said, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　199　2019年11月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2019.111979 　

ISSN：0196-8904

eISSN：1879-2227
Resonant magnetic sensor using concentration of magnetic field gradient by asymmetric permalloy plates 査読有り

Microsystem Technologies　25　(10)　3983-3989　2019年10月1日

DOI： 10.1007/s00542-018-4257-8 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858
Electrostatically Driven Nanoelectromechanical Logical Gates Utilising Selective Tungsten Chemical Vapor Deposition

Nguyen Van Toan, Dong Zhao, Naoki Inomata, Masaya Toda, Yunheub Song, Takahito Ono

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science　216　(14)　e1800797　2019年7月24日

DOI： 10.1002/pssa.201800797 　

ISSN：1862-6300

eISSN：1862-6319
Magnetostrictive Performance of Electrodeposited TB<inf>X</inf>DY<inf>(1-X)</inf>FE<inf>Y</inf> Thin Filmevaluated from Microactuator 査読有り

Hang Shim, Kei Sakamoto, Naoki Inomata, Masaya Toda, Nguyen Van Toan, Yunheub Song, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　1698-1700　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808489 　
Fabrication of on-chip vacuum pump using a silicon nanostructure by metal-assisted chemical etching 査読有り

Naoki Inomata, Kentaro Kamakura, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　14　(6)　954-958　2019年6月

DOI： 10.1002/tee.22887 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
Liquid Thermocouple Using Thermoelectric Ionic Liquids

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEE Sensors Letters　3　(5)　1-4　2019年5月
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
DOI： 10.1109/lsens.2019.2912418 　

eISSN：2475-1472
Investigation of the Impact of External Stress on Memory Characteristics by Modifying the Backside of Substrate 査読有り

Young Taek Oh, Jae Min Sim, Nguyen Van Toan, Hisashi Kino, Takahito Ono, Tetsu Tanaka, Yun Heub Song

IEEE Transactions on Electron Devices　66　(4)　1741-1746　2019年4月

DOI： 10.1109/TED.2019.2900155 　

ISSN：0018-9383

eISSN：1557-9646
Metal-assisted-chemical-etching of silicon nanowires for templating 3D graphene growth towards energy storage in microsystems 査読有り

Jinhua Li, Nguyen Van Toan, Zhuqing Wang, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　29　(5)　2019年3月29日

DOI： 10.1088/1361-6439/ab0b2f 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Electrolyte Based Thermal to Electric Energy Conversion Utilising 10 nm Diameter AL<inf>2</inf>O<inf>3</inf> Nanochannels 査読有り

Nguyen Van Toan, Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan, Daiki Udagawa, Naoki Inomata, Masaya Toda, Suhana Mohd Said, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2019-January　507-510　2019年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2019.8870755 　

ISSN：1084-6999
Nanoengineered thermoelectric energy devices for IoT sensing applications 査読有り

Takahito Ono, Trung Huu Nguyen, Khairul Fadzli Samat, Jinhua Li, Nguyen Van Toan

ECS Transactions　92　(4)　163-168　2019年

DOI： 10.1149/09204.0163ecst 　

ISSN：1938-6737

eISSN：1938-5862
Mechanical resonant magnetic sensor utilizing magnetically induced compressive load from magnetostrictive material 査読有り

Naoki Inomata, Taiga Ezura, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　139　(1)　21-26　2019年

DOI： 10.1541/ieejsmas.139.21 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525
Low Cost and High-Aspect Ratio Micro/Nano Device Fabrication by Using Innovative Metal-Assisted Chemical Etching Method

Nguyen Van Toan, Xiaoyue Wang, Naoki Inomata, Masaya Toda, Ioana Voiculescu, Takahito Ono

Advanced Engineering Materials　21　(8)　e1900490　2019年

DOI： 10.1002/adem.201900490 　

ISSN：1438-1656

eISSN：1527-2648
Impact of etch angles on cell characteristics in 3D NAND flash memory

Young Taek Oh, Kyu Beom Kim, Sang Hoon Shin, Hahng Sim, Nguyen Van Toan, Takahito Ono, Yun Heub Song

Microelectronics Journal　79　1-6　2018年9月

DOI： 10.1016/j.mejo.2018.06.009 　

ISSN：0026-2692
Ion transport by gating voltage to nanopores produced via metal-assisted chemical etching method 査読有り

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Nanotechnology　29　(19)　2018年3月16日

DOI： 10.1088/1361-6528/aab1d3 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528
Knudsen pump produced via silicon deep RIE, thermal oxidation, and anodic bonding processes for on-chip vacuum pumping 査読有り

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Nguyen Huu Trung, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　28　(5)　2018年2月23日

DOI： 10.1088/1361-6439/aaae26 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Flexible thermoelectric power generator with Y-type structure using electrochemical deposition process 査読有り

Trung Nguyen Huu, Toan Nguyen Van, Ono Takahito

Applied Energy　210　467-476　2018年1月15日

DOI： 10.1016/j.apenergy.2017.05.005 　

ISSN：0306-2619
Evaluation of Piezoresistive Property of Vanadium Oxide Thin Film Deposited by Sputtering 査読有り

N. Inomata, N. V. Toan, M. Toda, T. Ono

IEEE Sensors Letters　2　(1)　2500204　2018年
Piezoresistive property of an aluminum-doped zinc oxide thin film deposited via atomic-layer deposition for microelectromechanical system/nanoelectromenchanical system applications 査読有り

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　12　S120-S124　2017年12月

DOI： 10.1002/tee.22570 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
High-aspect-ratio aluminum-doped zinc oxide nanomechanical resonator 査読有り

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　12　S141-S142　2017年12月

DOI： 10.1002/tee.22561 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
Progress in performance enhancement methods for capacitive silicon resonators 査読有り

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Japanese Journal of Applied Physics　56　(11)　110101.1‐110101.11　2017年11月

DOI： 10.7567/JJAP.56.110101 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Cantilever with High Aspect Ratio Nanopillars on Its Top Surface for Moisture Detection in Electronic Products 査読有り

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takumi Hokama, Takahito Ono

Advanced Engineering Materials　19　(11)　ROMBUNNO.201700203　2017年11月

DOI： 10.1002/adem.201700203 　

ISSN：1438-1656

eISSN：1527-2648
Fabrication of π-type flexible thermoelectric generators using an electrochemical deposition method for thermal energy harvesting applications at room temperature 査読有り

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　27　(12)　2017年10月30日

DOI： 10.1088/1361-6439/aa8f16 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Design and fabrication of capacitive silicon nanomechanical resonators with selective vibration of a high-order mode 査読有り

Nguyen Van Toan, Tsuyoshi Shimazaki, Naoki Inomata, Yunheub Song, Takahito Ono

Micromachines　8　(10)　2017年10月20日

DOI： 10.3390/mi8100312 　

ISSN：2072-666X

eISSN：2072-666X
Progress in performance enhancement methods for capacitive silicon resonators

Van Toan Nguyen, Ono Takahito

Jpn. J. Appl. Phys.　56　(11)　2017年9月29日
出版者・発行元： Institute of Physics
ISSN：0021-4922

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In this paper, we review the progress in recent studies on the performance enhancement methods for capacitive silicon resonators. We provide information on various fabrication technologies and design considerations that can be employed to improve the performance of capacitive silicon resonators, including low motional resistance, small insertion loss, and high quality factor (Q). This paper contains an overview of device structures and working principles, fabrication technologies consisting of hermetic packaging, deep reactive-ion etching and neutral beam etching, and design considerations including mechanically coupled, movable electrode structures and piezoresistive heat engines.
Fabrication and evaluation of capacitive silicon resonators with piezoresistive heat engines 査読有り

Nguyen Van Toan, Nguyen Van Nha, Yunheub Song, Takahito Ono

Sensors and Actuators, A: Physical　262　99-107　2017年8月1日

DOI： 10.1016/j.sna.2017.05.031 　

ISSN：0924-4247
High Aspect Ratio Silicon Structures Produced via Metal-Assisted Chemical Etching and Assembly Technology for Cantilever Fabrication 査読有り

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEE Transactions on Nanotechnology　16　(4)　567-573　2017年7月

DOI： 10.1109/TNANO.2016.2645781 　

ISSN：1536-125X

eISSN：1941-0085
Fabrication of a SiO<inf>2</inf> optical window for controlling light transmission 査読有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Tetsuro Saito, Naoki Inomata, Takahito Ono

Microsystem Technologies　23　(4)　919-927　2017年4月

DOI： 10.1007/s00542-016-2826-2 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858
Flexible thermoelectric power generators based on electrochemical deposition process of BI<inf>2</inf>TE<inf>3</inf> and SB<inf>2</inf>TE<inf>3</inf> 査読有り

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　805-808　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863530 　

ISSN：1084-6999
Reversible low voltage electrowetting with SiO<inf>2</inf> capillary window for optical imaging 査読有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Yoshisuke Ansai, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　1347-1350　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863670 　

ISSN：1084-6999
Knudsen Pump Based on Silicon Etching and Thermal Oxidation Process for On-Chip Vacuum Pumping 査読有り

2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON POWER ELECTRONICS AND DRIVE SYSTEMS (PEDS)　550-552　2017年

ISSN：2164-5256
Synthesis and evaluation of thick films of electrochemically deposited Bi<inf>2</inf>Te<inf>3</inf> and Sb<inf>2</inf>Te<inf>3</inf> thermoelectric materials 査読有り

Nguyen Huu Trung, Kei Sakamoto, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Materials　10　(2)　154　2017年

DOI： 10.3390/ma10020154 　

ISSN：1996-1944

eISSN：1996-1944
Vacuum packaged micro-cantilever with a magnetic particle

Nurasyikin Mohd, Gaopeng Xue, Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(8)　245-246　2017年
出版者・発行元：一般社団法人電気学会
DOI： 10.1541/ieejsmas.137.245 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525
Glass capillaries based on a glass reflow into nano-trench for controlling light transmission 査読有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Naoki Inomata, Takahito Ono

Microsystem Technologies　22　(12)　2835-2840　2016年12月1日

DOI： 10.1007/s00542-015-2607-3 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858
Glass reflow process for microsystem applications

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　26　(11)　2016年10月14日

DOI： 10.1088/0960-1317/26/11/115018 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Single and mechanically coupled capacitive silicon nanomechanical resonators

Nguyen Van Toan, Tsuyoshi Shimazaki, Takahito Ono

Micro and Nano Letters　11　(10)　591-594　2016年10月1日

DOI： 10.1049/mnl.2016.0265 　

eISSN：1750-0443
Fabrication of high aspect ratio SiO<inf>2</inf> and tempax glass pillar structures and its application for optical modulator device 査読有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

Journal of Microelectromechanical Systems　25　(4)　668-674　2016年8月

DOI： 10.1109/JMEMS.2016.2581184 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
Fabrication of high aspect ratio SiO<inf>2</inf> and tempax glass pillar structures and its application for optical modulator device 査読有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

Journal of Microelectromechanical Systems　25　(4)　668-674　2016年8月
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers ({IEEE})
DOI： 10.1109/JMEMS.2016.2581184 　

ISSN：1057-7157
Packaging Technique of Micro Cantilever for Magnetic Force Sensing 査読有り

Nurasyikin Mohd, Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono, Masaya Toda

Proceedings of the International Workshop on Nanomechanical Sensors　12　150-151　2016年6月22日
Design and fabrication of a large area freestanding compressive stress SiO<inf>2</inf> optical window 査読有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　26　(7)　075016　2016年6月21日

DOI： 10.1088/0960-1317/26/7/075016 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
An investigation of processes for glass micromachining 査読有り

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

Micromachines　7　(3)　2016年3月22日

DOI： 10.3390/mi7030051 　

ISSN：2072-666X

eISSN：2072-666X
High aspect ratio SiO<inf>2</inf> pillar structures capable of the integration of an image sensor for application of optical modulator

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　136　(2)　41-42　2016年
出版者・発行元：一般社団法人電気学会
DOI： 10.1541/ieejsmas.136.41 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525
Fabrication of vacuum-sealed capacitive micromachined ultrasonic transducer arrays using glass reflow process 査読有り

Nguyen Van Toan, Shim Hahng, Yunheub Song, Takahito Ono

Micromachines　7　(5)　2016年

DOI： 10.3390/mi7050076 　

ISSN：2072-666X

eISSN：2072-666X
High Aspect Silicon Structures Using Metal Assisted Chemical Etching 査読有り

N. V. Toan, M. Toda, T. Ono

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　720-723　2016年
GLASS REFLOW PROCESS AND ITS APPLICATIONS 査読有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)　2016年

ISSN：2474-3747

eISSN：2474-3755
Flexible Thermoelectric Power Generator Based on Electrochemical Deposition Process 査読有り

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　423-425　2016年
High aspect ratio SiO2 capillary based on silicon etching and thermal oxidation process for optical modulator 査読有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Tetsuro Saito, Naoki Inomata, Takahito Ono

Journal of Environmental, Chemical, Ecological, Geological and Geophysical Engineering　9　(5)　464-469　2015年
Optical windows with liquid penetration for controlling light transmittance

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Tetsuro Saito, Naoki Inomata, Hirobumi Watanabe, Takahito Ono

IEEE Conference on Reliability Science for Advanced Materials and Device　2014年9月7日
Mechanical quality factor enhancement in a silicon micromechanical resonator by low-damage process using neutral beam etching technology 査読有り

Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Sekhar, Seiji Samukawa, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　24　(8)　085005,1-11　2014年8月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/24/8/085005 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
New trends in NEMS/MEMS device using neutral beam etching technology 査読有り

Sekhar Halubai, Toan Nguyen Van, Tomohiro Kubota, Takahito Ono, Seiji Samukawa

The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014　2014年7月
A capacitive silicon resonator with a movable electrode structure for gap width reduction 査読有り

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　24　(2)　025006,1-11　2014年2月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/2/025006 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Fabrication of nano-gap structures based on plastic deformation of strained Si springs by stiction effects 査読有り

Masaya Toda, Atsushi Yokoyama, Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Takahito Ono

Microsystem Technologies　21　(3)　649-654　2014年

DOI： 10.1007/s00542-014-2182-z 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858
A long bar type silicon resonator with a high quality factor

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　134　(2)　26-31　2014年
出版者・発行元：一般社団法人電気学会
DOI： 10.1541/ieejsmas.134.26 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525
Fabrication of an hermetically packaged silicon resonator on LTCC substrate 査読有り

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

Microsystem Technologies　19　(8)　1165-1175　2013年8月

DOI： 10.1007/s00542-012-1716-5 　

ISSN：0946-7076
FABRICATION OF HERMETICALLY-PACKAGED CAPACITIVE RESONATOR ON LTCC SUBSTRATE

N. V. Toan, H. Miyashita, M. Toda, Y. Kawai, T. Ono

Proceeding of The Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　268-268　2012年1月
Design and fabrication of capacitive silicon resonator on LTCC substrate,

Toan Nguyen Van, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

Proceeding of international Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)　286-286　2012年1月

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MISC 43

Thermal energy harvester using ambient temperature fluctuations for self-powered wireless IoT sensing systems: A review

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Nano Energy　121　2024年3月

DOI： 10.1016/j.nanoen.2023.109186 　

ISSN： 2211-2855
Touch-Driven Self-Powered Sensing System with High-Performance Thermoelectric Generator

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Khairul Fadzli Samat, Masaya Toda, Nguyen Van Hieu, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　2024年

DOI： 10.1002/tee.24117 　

ISSN： 1931-4973

eISSN： 1931-4981
Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods　1-161　2019年7月9日

DOI： 10.1201/9780429266010 　
Temperature Sensor Using Two Thermoelectric Liquid Electrolytes in Microfluidic Channels

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　2166-2169　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808737 　
Nanoelectromechanical Logical Gates Utilising Selective Tungsten Chemical Vapor Deposition

Nguyen Van Toan, Dong Zhao, Naoki Inomata, Masaya Toda, Yunheub Song, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　2019　(TRANSDUCERS &amp; EUROSENSORS XXXIII)　1709-1711　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808313 　
Metal-Assisted Chemical Etching Method Subjected to Micro/Nano Device Fabrication

Nguyen Van Toan, Xiaoyue Wang, Naoki Inomata, Masaya Toda, Ioana Voiculescu, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　2019　(TRANSDUCERS &amp; EUROSENSORS XXXIII)　1639-1642　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808663 　
Electrically driven ion transport in nanopores fabricated by metal assisted chemical etching method

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2018-January　1253-1256　2018年4月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2018.8346791 　

ISSN： 1084-6999
Evaluation of piezoresistive property of vanadium oxide thin film

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2018-January　(MEMS)　1044-1047　2018年4月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2018.8346738 　

ISSN： 1084-6999
Knudsen pump based on silicon etching and thermal oxidation process for on-chip vacuum pumping

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Nguyen Huu Trung, Takahito Ono

Proceedings of the International Conference on Power Electronics and Drive Systems　2017-December　(PEDS)　550-552　2018年2月9日

DOI： 10.1109/PEDS.2017.8289155 　

ISSN： 2164-5256

eISSN： 2164-5264
ナノ電気機械ロジックスイッチの作製と評価

ZHAO DONG, NGUYEN VAN TOAN, ONO TAKAHITO

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　34　1-3　2017年10月31日
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
FABRICATION OF PMUT USING SILICON ON NOTHING PROCESS FOR FINGERPRINT SENSOR

SHIM Hang, NGUYEN Van Toan, TODA Masaya, INOMATA Naoki, ONO Takahito, KANAMORI Yoshiaki, SONG Yunheub, OH Youngtaek

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　34th　ROMBUNNO.31am3‐PS‐19　2017年10月24日
Fabrication and evaluation of nanoelectromechanical logical gates

DONG Zhao, NGUYEN Van Toan, ONO Takahito

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　34th　ROMBUNNO.01am2‐PS‐129　2017年10月24日
Design and Fabrication of Capacitive Silicon Nanomechanical Resonators with Selective Vibration of a High-Order Mode

Nguyen Van Toan, Tsuyoshi Shimazaki, Naoki Inomata, Yunheub Song, Takahito Ono

MICROMACHINES　8　(10)　ROMBUNNO.01am2‐PS‐119　2017年10月

DOI： 10.3390/mi8100312 　

ISSN： 2072-666X
Capacitive silicon resonators with piezoresistive heat engines

Nguyen Van Toan, Nguyen Van Nha, Takahito Ono

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　2017　(TRANSDUCERS)　456-459　2017年7月26日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994085 　
LOGICAL GATE CIRCUITS BASED ON NANOELECTROMECHANICAL SWITCHES

DONG Zhao, TOAN Nguyen Van, ONO Takahito

電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料　MSS-17　(1-2.5-9)　21‐25　2017年6月29日
LOGICAL GATE CIRCUITS BASED ON NANOELECTROMECHANICAL SWITCHES (マイクロマシン・センサシステム研究会マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

ZHAO DONG, NGUYEN VAN TOAN, 小野崇人

電気学会研究会資料. MSS　2017　(1)　21-25　2017年6月29日
出版者・発行元：電気学会
Patterning high aspect silicon pillars on cantilever by metal assisted chemical etching for humidity sensing

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takumi Hokama, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　0　(MEMS)　1232-1235　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863639 　

ISSN： 1084-6999
Flexible thermoelectric power generators based on electrochemical deposition process of BI<inf>2</inf>TE<inf>3</inf> and SB<inf>2</inf>TE<inf>3</inf>

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2017　(MEMS)　805-808　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863530 　

ISSN： 1084-6999
Fabrication of high aspect aluminum doped zinc oxide nanomechanical structures by deep RIE and ALD

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2017　(MEMS)　652-655　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863492 　

ISSN： 1084-6999
Reversible low voltage electrowetting with SiO<inf>2</inf> capillary window for optical imaging

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Yoshisuke Ansai, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2017　(MEMS)　1347-1350　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863670 　

ISSN： 1084-6999
ナノ表面構造を持つカンチレバーの力学応答を利用した湿度センサ

外間匠, 菊池亜紀応, Nguyen Van Toan, 戸田雅也, 小野崇人

東北支部総会・講演会講演論文集　2017　(0)　2017年
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
Glass reflow process and its applications

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2016　2016　(NEMS)　260-264　2016年11月28日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758246 　

ISSN： 2474-3747

eISSN： 2474-3755
Flexible thermoelectric power generator based on electrochemical deposition process

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

16th International Conference on Nanotechnology - IEEE NANO 2016　2016　(NANO)　423-425　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751434 　
High aspect silicon structures using metal assisted chemical etching

N. V. Toan, M. Toda, T. Ono

16th International Conference on Nanotechnology - IEEE NANO 2016　720-723　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751348 　
Glass reflow process for microsystem applications

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　26　(11)　115018,1‐9　2016年10月14日

DOI： 10.1088/0960-1317/26/11/115018 　

ISSN： 0960-1317

eISSN： 1361-6439
Magnetic field sensor based on vacuum packaged cantilever with a mounted magnet

Xue Gaopeng, Toda Masaya, Mohd Nurasyikin, An Zhonglie, Nguyen Van Toan, Ono Takahito

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　33　1-4　2016年10月2日
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
ピエゾ抵抗熱機関を利用した静電駆動型振動子

Nguyen Van Nha, Nguyen Van Toan, 小野崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　33　1-4　2016年10月2日
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
High aspect ratio SiO<inf>2</inf> pillar structures capable of the integration of an image sensor for application of optical modulator

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　136　(2)　41-42　2016年

DOI： 10.1541/ieejsmas.136.41 　

ISSN： 1341-8939

eISSN： 1347-5525
Magnetic field sensor based on vacuum packaged cantilever with a mounted magnet

XUE Gaopeng, TODA Masaya, MOHD Nurasyikin, AN Zhonglie, TOAN Nguyen Van, ONO Takahito

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　33rd　ROMBUNNO.25pm4‐PS‐060　2016年
Fabrication of capacitive micromachined ultrasonic transducer arrays using glass reflow process and anodic bonding

N. V. Toan, S. Hahng, Yunheub Song, T. Ono

Advanced Materials - TechConnect Briefs 2016　4　91-94　2016年
機械的に結合された容量型シリコンナノメカニカル振動子

島崎剛, Toan Nguyen Van, 小野崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　32　1-5　2015年10月28日
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
SiO₂ OPTICAL WINDOW ON AN IMAGE SENSOR FOR OPTICAL MODULATOR

Toan Nguyen Van, Sangu Suguru, Inomata Naoki, Ono Takahito

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　32　5p　2015年10月28日
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
SiO2 OPTICAL WINDOW ON AN IMAGE SENSOR FOR OPTICAL MODULATOR

NGUYEN Van Toan, SANGU Suguru, INOMATA Naoki, ONO Takahito

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　32nd　ROMBUNNO.28AM2-B-3　2015年10月21日
J2230104 集積化結合シリコンナノ振動子

島崎剛, TOAN Nguyen, 小野崇人

年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"J2230104-1"-"J2230104-5"　2015年9月13日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

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Nanomechanical resonators are widely studied for the applications to various sensors and oscillato It is difficult to capacitively detect its vibration of nanomechanical resonators because of its small capacitance and large motional resistance. One of the methods for lowering the motional resistance is to use mechanically coupled resonators. In this method, the capacitive detection of the vibration will be available by increasing the total capacitance. In this research, the coupled multiple nanomechanical resonators are designed, fabricated and evaluated. The nanomechanical resonators have a shape of clamped-clamped beam structure and those can be vibrated at a flexural mode. Its length is 21.3 μm, width is 500 nm, thickness is 5 μm, and the capacitive gap is 300 nm. The resonant frequency of fundamental flexural mode is designed to be approximately 9.4MHz. The number of coupled naomechanical resonators are 100. The fabricated resonators are evaluated by network analyzer. As the result, some resonant peaks are observed, which shows that most of nanomechanical resonators will be synchronized.
Fabrication and evaluation of silicon micromechanical resonator using neutral beam etching technology

Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Seknar, Seiji Samukawa, Takahito Ono

9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE-NEMS 2014　1-5　2014年9月23日

DOI： 10.1109/NEMS.2014.6908747 　
Silicon micromechanical resonator with high quality factor fabricated by damage-free neutral beam etching process

SEKHAR Halubai, KUBOTA Tomohiro, TOAN Nguyen Van, ONO Takahito, SAMUKAWA Seiji

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　61st　ROMBUNNO.18A-E14-4　2014年3月3日
CAPACITIVE SILICON RESONATOR STRUCTURE WITH MOVABLE ELECTRODES TO REDUCE CAPACITIVE GAP WIDTHS BASED ON ELECTROSTATIC PARALLEL PLATE ACTUATION

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　27th Vol.2　1245-1248　2014年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765874 　

ISSN： 1084-6999
A long bar type silicon resonator with a high quality factor

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　134　(2)　26-31　2014年
出版者・発行元：電気学会
DOI： 10.1541/ieejsmas.134.26 　

ISSN： 1341-8939

eISSN： 1347-5525
Capacitive silicon resonator structure with movable electrodes to reduce capacitive gap widths based on electrostatic parallel plate actuation

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　1245-1248　2014年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765874 　

ISSN： 1084-6999
A LONG BAR TYPE SILICON RESONATOR WITH A HIGH QUALITY FACTOR

Toan Nguyen Van, Toda Masaya, Kawai Yusuke

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　30　6p　2013年11月5日
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
Fabrication and packaging process of silicon resonators capable of the integration of LSI for application of timing device

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　26th Vol.1　377-380　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474257 　

ISSN： 1084-6999
A LONG BAR TYPE SILICON RESONATOR WITH A HIGH QUALITY FACTOR

VAN TOAN Nguyen, TODA Masaya, KAWAI Yusuke, ONO Takahito

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　30th　ROMBUNNO.7PM1-B-6　2013年
Fabrication and packaging process of silicon resonators capable of the integration of LSI for application of timing device

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　377-380　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474257 　

ISSN： 1084-6999

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書籍等出版物 6

Micro-Thermoelectric Generators: Material Synthesis, Device Fabrication, and Application Demonstration

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Huu Trung, Khairul Fadzli Samat, Nguyen Van Hieu, Takahito Ono

InTechOpen publisher　2021年6月
ナノチャンネルを用いた電解質型熱電変換

2020年5月
Capacitive Silicon Resonator Technologies

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

CRC Press　2020年1月

ISBN: 9780367197513
Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods

NGUYEN VAN TOAN AND, TAKAHITO ONO, Pages

CRC Press　2019年6月
Glass Engineering

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

InTechOpen publisher　2018年
Dekker Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Taylor & Francis Group　2017年

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講演・口頭発表等 43

Nanoengineered microsystems: Examples and Demonstrations 招待有り

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

International conference on science, technology, and innovation for sustainable development (STISD) 2023, August 25-27, 2023, Hochiminh city, Vietnam.
Heat storage thermoelectric generator as an electrical power source for IoT sensing systems 招待有り

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

International conference on science, technology, and innovation for sustainable development (STISD) 2023, August 25-27, 2023, Hochiminh city, Vietnam.
Microfabrication of BiTeSb thermoelectric devices for applications to IoT sensor 招待有り

Takahito Ono, Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi

International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin film Transistors (ULSIC VS TFT 8), Otaru, Japan, May 14-18, 2023.
Thermoelectric generator with a high integration density for portable and wearable self-powered electronic devices 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Hieu, Takahito Ono

The 3rd international workshop on engineering physics, IC-MEMS-Sensors and their applications, November 25-26, 2022, Ho Chi Minh City, Vietnam.
Self-powered wireless IoT sensing system driven by thermoelectric generator 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

TeckTalk for Faculty of electronic and telecommunications, University of Science, Vietnam National University, HCMC　2022年7月15日
Metal-assisted chemical etching method and its applications 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Hieu, Takahito Ono

The role of semiconductor microchip technology in the development of the digital economy and society 2022　2022年5月17日
Self-powered wireless IoT sensing system driven by daily ambient temperature energy harvesting 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

令和4年電気学会全国大会事務局　2022年3月23日
Thermoelectric power generator for self-powered wireless IoT sensing systems 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

スマート社会～センサ技術調査専門委員会　2021年10月13日
Thermoelectric power generator for self-powered systems 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

第19回MEMS集中講義
Aluminum doped zinc oxide deposited by atomic layer deposition and its applications to micro/nano devices 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Hieu, Takahito Ono

The 12nd Scientific conference VNUHCM-University of Science, ID paper: 512, Hochiminh City, Vietnam.
Nanoengineered thermoelectric energy devices for IoT sensing applications 招待有り

Takahito Ono, Nguyen Van Toan, Khairul Fadzli Sama

237th ECS meeting with the 18th international meeting on chemical sensors, MA2020-01 1204, Montreal, Canada
Heat storage thermoelectric generators for IoT sensing applications 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

Vietnam summit in Japan 2019　2019年11月16日
Metal-assisted chemical etching method subjected to micro/nano device systems 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

The 1st workshop on Micro/Nano Systems and Their Applications, Ho Chi Minh City, Viet Nam.
Nanoengineered thermoelectric energy devices for IoT sensing applications 招待有り

Takahito Ono, Trung Huu Nguyen, Khairul Fadzli Sama, Jinhua Li, Nguyen Van Toan

236th ECS meeting, G03-1187, Atlanta, GA.
Thermal to electric energy conversion based on 10 nm diameter of Al2O3 nanochannles 国際会議

Nguyen Van Toan, Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan, Daiki Udagawa, Naoki Inomata, Masaya Toda, Suhana Mohd Said, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono

The 32nd IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems　2019年1月27日
Nanoengieering in thermoelectric material processing for microsystem applications 招待有り

Takahito Ono, Nguyen Huu Trung, Khairul Fadzil Bin Sama, Nguyen Van Toan

12th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
Micropatterning of Electrospun poly(vinylidenefluoride) (PVDF) for MEMS application 国際会議

Iman Aris Fadzallah, Nguyen Van Toan, Syed Waqar Hasan, Takahito Ono, Suhana Mohd Said, d Mohd Faizul Mohd Sabri

7th Brunei International Conference on Engineering and Technology (BICET 2018)　2018年11月
Nanoengineered microsystems and applications 国際会議招待有り

Takahito Ono, Naoki Inomata, Masaya Toda, Nguyen Van Toan

The 11st Vietnam-Japan scientific exchange meeting　2018年9月
Capacitive silicon nanomechanical resonators capable of selective vibration of high-order mode 国際会議

Nguyen Van Toan, Tsuyoshi Shimazaki, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology　2018年6月24日
Electrically driven ion transport in nanopores fabricated based on metal assisted chemical etching method 国際会議

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

The 31st IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems　2018年1月21日
Evaluation of piezoresistive property of vanadium oxide thin film 国際会議

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

The 31st IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems　2018年1月
Capacitive silicon nanomechanical resonators capable of selective vibration of high-order mode

Nguyen Van Toan, Tsuyoshi Shimazaki, Naoki Inomata, Takahito Ono

The 34th SENSOR SYMPOSIUM on sensors, micromachines and applied systems　2017年11月
Developments of capacitive silicon resonator technologies for performance improvement 招待有り

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

22th Microsystem Integration Symposium　2017年10月
Flexible thermoelectric power generator based on electrochemical deposition process 国際会議

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

The 1st international workshop on MEMS and sensor systems 2017 (IWMS 2017)　2017年9月
Capacitive silicon resonator with piezoresistive heat engine 国際会議

Nguyen Van Toan, Nguyen Van Nha, Takahito Ono

The 19th International conference on solid-state sensors, actuators and microsystems　2017年6月18日
Patterning high aspect silicon pillars on cantilever by metal assisted chemical etching for humidity sensing 国際会議

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takumi Hokama, Takahito Ono

The 30th IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems　2017年1月22日
Fabrication of high aspect aluminum doped zinc oxide nanomechanical structures by deep RIE and ALD 国際会議

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

The 30th IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems　2017年1月22日
Reversible low voltage electrowetting with SiO2 capillary window for optical image 国際会議

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Yoshisuke Ansai, Takahito Ono

The 30th IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems　2017年1月22日
Micro/nano fabrication and its application 招待有り

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

University of Science, Hochiminh City, Viet Nam　2017年1月
A review of performance enhancement methods of capacitive silicon resonators 国際会議招待有り

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

The 10th Vietnam-Japan scientific exchange meeting　2017年
High aspect silicon structures using metal assisted chemical etching 国際会議

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

The 16th international conference on nanotechnology　2016年8月22日
Freestanding compressive stress SiO2 optical window 国際会議

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology　2016年6月26日
Glass reflow process and its applications 国際会議招待有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

The 11th IEEE international conference on nano/micro engineered and molecular systems　2016年4月17日
SiO2 Optical window capable of the integration of an image sensor for application of optical modulator 国際会議招待有り

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Takahito Ono

International conference on small science　2015年11月4日
Deep glass pillar structures for controlling light transmittance 国際会議

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Naoki Inomata, Takahito Ono

The 5th International Conference on Optofuifics 2015　2015年7月26日
Fabrication and evaluation of silicon micromechanical resonator using neutral beam etching technology 国際会議

Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Sekhar, Seiji Samukawa, Takahito Ono

the 9th IEEE international conference on nano/micro engineered and molecular systems　2014年4月13日
Capacitive silicon resonator structure with movable electrodes to reduce capacitive gap widths based on electrostatic parallel plate actuation 国際会議

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

The 27th IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems　2014年1月26日
Capacitive silicon resonator with movable electrode structure for gap width reduction 国際会議

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

the 39th international conference on Micro and Nano Engineering　2013年9月16日
Fabrication and packaging process of silicon resonator capable of the integration of LSI for application of timing device 国際会議

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

the 26th IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems　2013年1月20日
Fabrication of an hermetically-packaged capacitive resonator on LTCC substrate 国際会議

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　2012年7月8日
Self-powered wireless BLE sensing system driven by low-temperature waste heat 招待有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

The 7th Southeast Asia Conference on Thermoelectrics (SACT2022 hybrid conference), December 7-8, 2022, Sakon Nakhon, Thailand.
Heat storage thermoelectric generator for wireless IoT sensing systems 招待有り

Takahito Ono, Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi

The 2022 International Meeting for Future of Electron Devices (IMFEDK 2022)
Flexible thermoelectric power generators based on electrochemical deposition process of Bi2Te3 and Sb2Te3 国際会議

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

The 30th IEEE international conference on Micro Electro Mechanical Systems

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産業財産権 4

センサ、およびセンサ組成物

小野崇人, 福原幹夫, 橋田俊之, NGUYEN VAN TOAN

産業財産権の種類: 特許権
熱電変換装置

Takahito Ono, Nguyen Van Toan

産業財産権の種類: 特許権
The invention of optical window structures for spatial light modulator

Suguru Sangu, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

産業財産権の種類: 特許権
熱電膜の製造方法および熱電膜

Takahito Ono, Nguyen Van Toan

産業財産権の種類: 特許権

共同研究・競争的資金等の研究課題 5

Energy harvesting by indoor ambient thermal variation.

Nguyen Van Toan

提供機関：Grant-in-Aid for scientific research (KAKENHI) for Research Scientist C from the Japanese Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology of Japan.

2023年4月～ 2028年3月
High-Performance Thermo-Electrochemical Cell Based on Silicon Nanowires Formed by Micro/Nano Fabrication Technology

提供機関：Satomi research award

2022年10月～ 2024年9月
Nanoengineered nanochannels for energy harvesting of low-grade waste heat

Nguyen Van Toan

提供機関：Grant-in-Aid for scientific research (KAKENHI) for Young Scientists from the Japanese Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology of Japan.

2020年4月～ 2023年3月
Micro/Nano machine using metal assisted chemical etching for micro/nano systems

Nguyen Van Toan

提供機関：Grant-in-Aid for scientific research (KAKENHI) for Young Scientists B from the Japanese Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology of Japan

2017年4月～ 2019年3月
Young research grant

Nguyen Van Toan

提供機関：University of Science, HoChiMinh City, Vietnam

2010年9月～ 2011年8月

担当経験のある科目(授業) 6

機械システムコース・機械知能航空実験 II
Micro-Nanomechanical Architectonics　Divison of mechanical engineering
Tutorial lecture　University of Science, HoChiMinh City, Vietnam
Exercises in Computer-aided problem solving　Tohoku University
Nano/Micro Electro Mechanical Systems　Vietnam National University, University of Science
Basic electronic components and circuits　Vietnam National University, University of Science

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