東北大学研究者紹介

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カナモリ　ヨシアキ

金森　義明

Yoshiaki Kanamori

所属

大学院工学研究科　ロボティクス専攻　ナノシステム講座（情報ナノシステム学分野）

職名

教授

学位

博士（工学）（東北大学）
修士（工学）（東北大学）

researchmap

https://researchmap.jp/read0055312

J-GLOBAL ID

200901030708199731

委員歴 113

MEMS Engineer Forum (MEF) 組織委員会　委員

2018年8月～継続中
精密工学会　代議員

2024年1月～ 2025年12月
日本機械学会東北支部　会計幹事

2021年4月～ 2023年3月
精密工学会東北支部　事業幹事

2020年4月～ 2023年3月
電気学会　E部門論文委員

2009年4月～ 2023年3月
日本機械学会　代表会員

2020年4月～ 2022年3月
電気学会E部門スマート社会に向けた高機能・高感度センサ技術に関する調査専門委員会　委員

2018年7月～ 2021年5月
戦略的基盤技術高度化支援事業「ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス(AAA)技術の研究開発」に係る検討委員会　委員

2018年9月～ 2021年3月
砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2020）実行委員会　実行委員

2019年11月～ 2020年9月
精密工学会東北支部　庶務幹事

2018年4月～ 2020年3月
電気学会論文委員会（Ｅグループ）　幹事

2018年4月～ 2019年3月
日本機械学会東北支部第54期講演会　実行委員

2018年3月～ 2019年3月
日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門代議員

2016年4月～ 2019年3月
日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門運営委員

2016年4月～ 2019年3月
The Korean Society for Precision Engineering (韓国精密工学会）　Editorial Board member of International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2012年1月～ 2019年3月
International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2019　International Program Committee

2018年4月～ 2019年2月
平成30年度E部門総合研究会論文委員会　委員

2018年2月～ 2018年9月
電気学会メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成に関する調査専門委員会　委員長

2016年5月～ 2018年4月
電気学会メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成に関する調査専門委員会　委員長

2016年5月～ 2018年4月
電気学会論文委員会（Ｅグループ）　幹事

2016年8月～ 2018年3月
電気学会論文委員会（Ｅグループ）　幹事

2016年8月～ 2018年3月
精密工学会東北支部　会計幹事

2016年4月～ 2018年3月
第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会　委員

2017年2月～ 2018年1月
第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会　委員

2017年2月～ 2018年1月
International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2018　International Program Committee

2017年1月～ 2018年1月
OIE'17　International Organizing Committee (Program Committee)

2016年12月～ 2017年9月
電気学会平成29年度E部門総合研究会論文委員会　幹事

2016年11月～ 2017年9月
電気学会平成29年度E部門総合研究会論文委員会　幹事

2016年11月～ 2017年9月
電気学会平成29年全国大会グループ委員会　11グループ委員

2016年8月～ 2017年6月
電気学会平成29年全国大会グループ委員会　11グループ委員

2016年8月～ 2017年6月
日本機械学会2016年度（第94期）校閲委員　校閲委員

2016年4月～ 2017年3月
日本機械学会2016年度（第94期）校閲委員　校閲委員

2016年4月～ 2017年3月
International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2017　International Program Committee

2016年2月～ 2017年3月
第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会　委員

2016年6月～ 2017年1月
第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会　委員

2016年6月～ 2017年1月
電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会　幹事

2016年7月～ 2016年12月
電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会　幹事

2016年7月～ 2016年12月
SPIE/COS Photonics Asia 2016 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology IV (PA105)-　Program Committee

2016年2月～ 2016年10月
SPIE/COS Photonics Asia 2016 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology IV (PA105)-　Program Committee

2016年2月～ 2016年10月
平成28年度E部門総合研究会実行委員会　幹事

2015年12月～ 2016年9月
平成28年度E部門総合研究会論文委員会　論文委員長

2015年12月～ 2016年9月
平成28年度E部門総合研究会実行委員会　幹事

2015年12月～ 2016年9月
平成28年度E部門総合研究会論文委員会　論文委員長

2015年12月～ 2016年9月
The 1st A3 Metamaterials Forum　Organizing Committee

2015年6月～ 2016年7月
電気学会平成28年全国大会グループ委員会　11グループ幹事

2015年9月～ 2016年6月
電気学会平成28年全国大会論文委員会　委員

2015年9月～ 2016年6月
電気学会平成28年全国大会グループ委員会　11グループ幹事

2015年9月～ 2016年6月
電気学会平成28年全国大会論文委員会　委員

2015年9月～ 2016年6月
The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　Technical Program Committee

2015年4月～ 2016年4月
The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　Technical Program Committee

2015年4月～ 2016年4月
電気学会メタマテリアル・プラズモニクスの光・電子デバイス応用調査専門委員会　委員長

2013年12月～ 2016年4月
電気学会メタマテリアル・プラズモニクスの光・電子デバイス応用調査専門委員会　委員長

2013年12月～ 2016年4月
日本機械学会2015年度（第93期）校閲委員　校閲委員

2015年4月～ 2016年3月
日本機械学会2015年度（第93期）校閲委員　校閲委員

2015年4月～ 2016年3月
文部科学省科学技術・学術政策研究所科学技術動向研究センター平成26年度専門調査員　専門調査員

2014年2月～ 2016年3月
文部科学省科学技術・学術政策研究所科学技術動向研究センター平成26年度専門調査員　専門調査員

2014年2月～ 2016年3月
日本機械学会　情報・知能・精密機器部門代議員

2013年4月～ 2016年3月
International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2016　International Program Committee

2015年3月～ 2016年2月
International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2016　International Program Committee

2015年3月～ 2016年2月
The International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale 2015 (3M-NANO 2015)　Program Committee

2014年12月～ 2015年11月
The International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale 2015 (3M-NANO 2015)　Program Committee

2014年12月～ 2015年11月
平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　副幹事

2014年10月～ 2015年9月
平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　論文委員

2014年10月～ 2015年9月
平成27年度電気学会E部門総合研究会マイクロマシン・センサシステム研究会　幹事

2014年10月～ 2015年9月
平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　副幹事

2014年10月～ 2015年9月
平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　論文委員

2014年10月～ 2015年9月
平成27年度電気学会E部門総合研究会マイクロマシン・センサシステム研究会　幹事

2014年10月～ 2015年9月
電気学会平成27年全国大会グループ委員会　11グループ委員

2014年9月～ 2015年6月
電気学会平成27年全国大会グループ委員会　11グループ委員

2014年9月～ 2015年6月
International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2015　International Program Committee

2014年4月～ 2015年3月
日本機械学会2014年度（第92期）校閲委員　校閲委員

2014年4月～ 2015年3月
International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2015　International Program Committee

2014年4月～ 2015年3月
日本機械学会2014年度（第92期）校閲委員　校閲委員

2014年4月～ 2015年3月
SPIE/COS Photonics Asia 2014 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology III (PA108)-　Program Committee

2014年2月～ 2014年10月
SPIE/COS Photonics Asia 2014 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology III (PA108)-　Program Committee

2014年2月～ 2014年10月
The 4th International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

2013年9月～ 2014年10月
The 4th International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

2013年9月～ 2014年10月
平成26年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会マイクロマシン・センサシステム研究会　幹事

2013年11月～ 2014年5月
平成26年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会マイクロマシン・センサシステム研究会　実行委員

2013年11月～ 2014年5月
電気学会平成26年進歩賞小委員会　委員

2013年10月～ 2014年3月
電気学会E部門マイクロマシン・センサシステム技術委員会　幹事

2013年4月～ 2014年3月
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　会場委員

2013年8月～ 2013年11月
平成25年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　委員

2013年5月～ 2013年9月
平成25年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　委員

2013年5月～ 2013年9月
IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2013　2013 Nanophotonics Program Committee

2013年8月～ 2013年8月
IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2013　International Steering Committee

2013年8月～ 2013年8月
The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)　Local Organizing Committee

2012年9月～ 2013年8月
The Third International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

2012年9月～ 2013年8月
The Third International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

2012年9月～ 2013年8月
平成24年度E部門総合研究会実行委員会　委員

2012年1月～ 2012年9月
平成24年度E部門総合研究会実行委員会　委員

2012年1月～ 2012年9月
The Second International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

2011年10月～ 2012年9月
The Second International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

2011年10月～ 2012年9月
IEEE 17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2012 Nanophotonics Program Committee

2011年10月～ 2012年8月
IEEE 17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　International Steering Committee

2011年10月～ 2012年8月
IEEE 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2011 Nanophotonics Program Committee

2011年4月～ 2011年8月
IEEE 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2011 Optical MEMS Program Committee

2011年4月～ 2011年8月
16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　International Steering Committee

2011年4月～ 2011年8月
平成23年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　実行委員

2010年11月～ 2011年7月
23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2010)）　論文委員

2010年4月～ 2010年12月
IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　International Steering Committee

2010年1月～ 2010年8月
IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　Program Committee

2010年1月～ 2010年8月
IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　Program Chair, Nanophotonics

2010年1月～ 2010年8月
日本機械学会東北支部第45期総会・講演会　実行委員

2009年7月～ 2010年3月
日本機械学会　機械力学・計測制御部門委員

2008年4月～ 2010年3月
日本機械学会　機械力学・計測制御部門委員

2008年4月～ 2010年3月
2008年度精密工学会秋季大会　実行委員

2008年9月～ 2008年9月
第57回理論応用力学講演会　第57回理論応用力学講演会運営委員

2007年9月～ 2008年6月
第57回理論応用力学講演会　第57回理論応用力学講演会運営委員

2007年9月～ 2008年6月
電気学会誌 Vol. 137(2017) No. 6 特集：メタマテリアル・プラズモニクス光デバイスの応用最前線　ゲストエディタ

2017年6月～
電気学会誌 Vol. 137(2017) No. 6 特集：メタマテリアル・プラズモニクス光デバイスの応用最前線　ゲストエディタ

2017年6月～
電気学会論文誌Ｅ Vol. 135(2015) No. 11 「メタマテリアル・プラズモニクス」特集　ゲストエディタ

2015年11月～
電気学会論文誌Ｅ Vol. 135(2015) No. 11 「メタマテリアル・プラズモニクス」特集　ゲストエディタ

2015年11月～

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所属学協会 5

IEEE
精密工学会
電気学会
応用物理学会
日本機械学会

研究キーワード 14

ロボティクス
Beyond 5G
6G
バイオミメティクス
テラヘルツ
ナノフォトニクス
メタマテリアル
マイクロマシニング
ナノマシニング
ナノインプリント
サブ波長格子
サブ波長構造
光MEMS
光マイクロマシン

研究分野 4

ナノテク・材料 / 応用物理一般 /
情報通信 / 機械力学、メカトロニクス /
ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 /
ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /

受賞 14

The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29) Poster Award

2024年12月　Committee of the 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　Single-mode silicon ribbon waveguides for 300 GHz integrated circuits
速報ポスター賞

2022年11月　電気学会センサ・マイクロマシン部門　ワイヤグリッド偏光子付き光ファイババンドルを用いた拡散反射計測による歯質判別
第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム優秀ポスター発表賞

2018年11月　電気学会センサ・マイクロマシン部門　偏光無依存メタマテリアルを用いた高感度バイオ・ケミカルセンサ
第50回市村学術賞貢献賞

2018年4月　公益財団法人市村清新技術財団　サブ波長光学に基づく人工光学物質の創製と高効率光フィルタ応用
平成29年度電気学会E部門総合研究会企画フォトコンテスト「あなたのつくった立体構造」最優秀賞

2017年6月　平成29年度E部門総合研究会　最優秀賞
平成26年度コニカミノルタ画像科学奨励賞

2015年2月　公益財団法人コニカミノルタ科学技術振興財団　量子干渉型高Q値メタマテリアルとMEMSの融合による動的光波制御
第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム優秀論文賞

2009年6月　電気学会センサ・マイクロマシン部門　近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化微粒子を用いた製作
平成19年度船井情報科学奨励賞

2008年6月　財団法人船井情報科学振興財団　情報技術に関する研究について顕著な功績をあげた。
財団法人みやぎ産業科学振興基金第7回研究奨励賞

2006年6月　団法人みやぎ産業科学振興基金　サブ波長格子による反射防止構造の製作と光MEMSデバイスへの応用
15th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-15) Paper Awards

2005年10月14日　China Solar Energy Society　Anti-Reflective subwavelength structures for crystalline-Si solar cells fabricated by porous alumina mask and fast atom beam etching
2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2002) Outstanding Paper

2003年10月29日　The Japan Society of Applied Physics　Fabrication of high accuracy micro-translation-table for near-field optical data storage actuated by inverted-scratch-drive-actuators
3rd World Conference on Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-3) Poster Award

2003年5月16日　WCPEC society　Spectral and thermal properties of tungsten selective emitters with rectangular microcavities for thermophotovoltaic generations
第９回応用物理学会講演奨励賞

2000年6月　応用物理学会　陽極酸化ポーラスアルミナをマスクとした高速原子線エッチングによるシリコン超微細周期格子の製作と反射防止特性
茨城大学多賀工業会賞

1996年6月　茨城大学

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論文 372

Bioaffinity sensors for miRNA detection using polarization-independent metamaterials 査読有り

Taiyu Okatani, Takuya Nakazawa, Shin-ichiro M. Nomura, Yoshiaki Kanamori

Optics Express　33　(15)　31832-31832　2025年7月21日
出版者・発行元：
DOI： 10.1364/oe.565231 　

eISSN：1094-4087
Design and fabrication of freestanding ultra-nanocrystalline diamond nanostructures applying to nano-electromechanical actuators 査読有り

Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori

Diamond and Related Materials　158　112617　2025年7月8日

DOI： 10.1016/j.diamond.2025.112617 　
Integrated RF-MEMS technology for reconfigurable spoof-surface-plasmon-polariton delay-line 招待有り

Minh Van Nguyen, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　105-108　2025年7月3日
Metamaterials and nanophotonics open up new possibilities for controlling light and terahertz waves 招待有り

Yoshiaki Kanamori

Proceedings of The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　40-44　2025年7月3日
Fabrication and application of 3D Terahertz metamaterials with vertical multinanogaps for spectroscopic sensing 査読有り

Naoki Inomata, Tomotsugu Takahashi, Yuki Sakai, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

Scientific Reports　15　13636-13636　2025年4月20日
出版者・発行元：
DOI： 10.1038/s41598-025-98611-x 　

eISSN：2045-2322
Area Dependence of Subwavelength Gratings for Wide-Angle Deflection of Terahertz Waves

Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The international conference on Metaphotonics 2025 (META2025)　META7-02-META7-02　2025年4月
ミニマルレーザ加熱装置よる水素雰囲気表面処理の半導体 CMOS デバイスへの応用検討(Ⅱ)

佐藤和重, 千葉貴史, 寺田昌男, 濱田健吾, 金森義明, 三浦典子, 池田伸一, 原史朗

第72回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　11-313-11-313　2025年3月
ミニマル装置を用いた水素アニールによるマイクロレンズ鋳型の作製

濱田健吾, Huang Yin, 佐藤徳子, 千葉貴史, 寺田昌男, 佐藤和重, 三浦典子, 池田伸一, 原史朗, 金森義明

第72回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　11-309-11-309　2025年3月
テラヘルツ波用テーパ導波路における自由空間-導波路間結合効率のテーパ角依存性

千葉滉平, 金森義明

第72回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-502-03-502　2025年3月
片持ち梁を電気接点に持つメッシュ型メタマテリアルの THz 波応答

藤本ありさ, Ying Huang, 金森義明

第72回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-075-03-075　2025年3月
テラヘルツ領域においてローパスフィルタ特性を有する三次元誘電体メタマテリアルの製作

脇内駿, 小瀬修, 浜口仁, 金森義明

第72回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-074-03-074　2025年3月
Terahertz guidance through 3D printed single bar nested hollow-core fiber

Muhammad Zain Siddiqui, Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

第72回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-504-03-504　2025年3月
Terahertz Metamaterial Composed of Subwavelength Metal Layer - Porous Insulator - Metal Layer for Humidity Sensing 査読有り

Yuki Sakai, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　145　(1)　9-10　2025年1月1日
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.145.9 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525
Piezo-Actuated Distributed Bragg Reflector–Based Tunable Fabry–Pérot Filter for Visible Light Hyperspectral Imaging 査読有り

Pratyasha Sahani, Yoshiaki Kanamori

IEEE Photonics Journal　17　(1)　2500110-1-2500110-10　2024年12月11日
出版者・発行元：
DOI： 10.1109/jphot.2024.3515468 　

eISSN：1943-0655 1943-0647
Metamaterials and nanophotonics open up new avenues for light manipulation Technologies 招待有り

Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　18-18　2024年12月
Fabrication of Si Microparticle Dispersion as Refractive Index Control Material in the Terahertz Region

Shun Wakiuchi, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P35-P35　2024年12月
Single-mode silicon ribbon waveguides for 300 GHz integrated circuits

Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P27-P27　2024年12月
Numerical and experimental study of free-space coupling to individual H-shaped meta-atoms in the THz range

Ying Huang, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P24-P24　2024年12月
Rotary encoders using optical fibers with four-directional wire-grid-polarizers

Hajime Kobayashi, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P20-P20　2024年12月
Absorption control by variable air-gap metal-insulator-metal metamaterials

Daiki Iwamoto, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P08-P08　2024年12月
Transmission control of THz waves using gap-variable cut-wire-metamaterials

Arisa Fujimoto, Ying Huang, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P01-P01　2024年12月
Negative Curvature Hollow Core Fibers for Terahertz Wave Guidance via 3D Polymer Printing

Muhammad Z. Siddiqui, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

Abstracts: 2024 MRS Fall Meeting & Exhibit　2055-2056　2024年12月
GEO-X衛星搭載用MEMS技術を用いた超軽量X線望遠鏡の開発

山田裕大, 森下弘海, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 石川怜, 森本大輝, 石牟礼碧衣, 小笠原勇翔, 宮内俊英, 世良直也, 中川悠, 福島優, 伊師大貴, 中嶋一雄, 金森義明, 満田和久, 森下浩平

Abstracts: Optics & Photonics Japan 2024 (OPJ2024)　30a2P14-30a2P14　2024年11月21日
高アスペクト比SiO2ナノピラー構造を持つ可視光用メタレンズの製作招待有り

金森義明

Abstracts: Optics & Photonics Japan 2024 (OPJ2024)　30pMS4-30pMS4　2024年11月21日
Fabrication of silicon microparticle dispersion as terahertz wave refractive index control material 査読有り

Shun Wakiuchi, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Optics and Laser Technology　181　(Part C)　112051-112051　2024年11月6日
出版者・発行元：
DOI： 10.1016/j.optlastec.2024.112051 　

ISSN：0030-3992
Integrated RF-MEMS technology for reconfigurable spoof-surface-plasmon-polariton delay-line 招待有り

Minh Van Nguyen, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　115-115　2024年10月3日
Metamaterials and nanophotonics open up new possibilities for controlling light and terahertz waves 招待有り

Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　76-76　2024年10月3日
Free standing diamond nanostructures formed by sacrificial layer etching for nanoelectromechanical actuators

Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the 20th International Conference on Precision Engineering　OS22-02-1-OS22-02-4　2024年10月
Effect of fabrication defects on terahertz wave control characteristics of dielectric metamaterials operating in the terahertz region

Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the 20th International Conference on Precision Engineering　OS17-04-1-OS17-04-6　2024年10月
GEO-X 衛星に向けた MEMS 技術を用いた超軽量 X 線望遠鏡の開発

森下弘海, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 伊師大貴, 山田裕大, 石川怜, 森本大輝, 石牟礼碧衣, 小笠原勇翔, 宮内俊英, 世良直也, 中川悠, 福島優, 満田和久, 森下浩平, 中嶋一雄, 金森義明

第85回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　13-105-13-105　2024年9月4日
ミニマル装置を用いた水素アニールによる柱状構造の表面処理

濱田健吾, Ying Huang, 佐藤徳子, 千葉貴史, 寺田昌男, 佐藤和重, 金森義明, 原史朗

第85回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　12-006-12-006　2024年9月4日
Fabrication of delay lines using spoof-surface-plasmon-polariton waveguides coupled with split-ring resonators for microwave integrated circuits

Minh Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Proceedings: META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　1528-1529　2024年8月
MEMS-based double ﬁlter conﬁguration for air gap sensing in tunable Fabry-Pérot ﬁlter

Pratyasha Sahani, S. Nabana, T. Okatani, N. Inomata, Y. Kanamori

Proceedings: META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　1520-1521　2024年8月
Fabrication of visible metalenses by thermal oxidation of silicon nanopillars

Taiyu Okatani, Rei Ando, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Proceedings: META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　1512-1512　2024年8月
An active Fabry‒Pérot interferometer operated at terahertz frequencies based on pitch-variable subwavelength gratings

Ying Huang, Yangxun Liu, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Proceedings: META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　1546-1547　2024年8月
3D Bulk Metamaterials with Engineered Optical Dispersion at Terahertz Frequencies Utilizing Amorphous Multilayered Split‐Ring Resonators 査読有り

Ying Huang, Takanori Kida, Shun Wakiuchi, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Advanced Science　2405378-2405378　2024年7月8日
出版者・発行元：
DOI： 10.1002/advs.202405378 　

ISSN：2198-3844

eISSN：2198-3844
Wavelength calibration using MEMS-enabled double filter configuration for air gap sensing in the tunable Fabry–Pérot filter 査読有り

Pratyasha Sahani, Shiori Nabana, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

AIP Advances　14　(7)　075006-075006　2024年7月2日
出版者・発行元：
DOI： 10.1063/5.0214684 　

eISSN：2158-3226
Feasibility test on the analog configuration of electromechanical dimple-tip cantilever for the application of THz metamaterials 査読有り

Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Optical Review　31　(3)　351-358　2024年5月14日
出版者・発行元：
DOI： 10.1007/s10043-024-00889-1 　

ISSN：1340-6000

eISSN：1349-9432
Pixelated gradient thickness optical filter for visible light spectroscopy 査読有り

Pratyasha Sahani, Shiori Nabana, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Applied Optics　63　(13)　3537-3546　2024年4月24日
出版者・発行元：
DOI： 10.1364/ao.519521 　

ISSN：1559-128X

eISSN：2155-3165
Phase-Controllable Spoof Surface Plasmon Coupling From Bull's Eye Aperture to Planar Silicon Waveguide in the Terahertz Band 査読有り

Taiyu Okatani, Kaoru Imai, Yuma Takida, Seigo Ohno, Hiroaki Minamide, Yoshiaki Kanamori

IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology　14　(4)　519-530　2024年4月22日
出版者・発行元：
DOI： 10.1109/tthz.2024.3392157 　

ISSN：2156-342X

eISSN：2156-3446
Terahertz stretchable metamaterials with deformable dolmen resonators for uniaxial strain measurement 査読有り

Taiyu Okatani, Munkh Orgil Dashdeleg, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Optics Express　32　(7)　12024-12039　2024年3月18日

DOI： 10.1364/OE.514848 　

eISSN：1094-4087
金属–多孔質絶縁体–金属構造を用いたテラヘルツメタマテリアルの作製と評価

酒井優輝, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

第71回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-501-03-501　2024年3月5日
テラヘルツ波制御材料としてのシリコンマイクロ粒子分散体の製作

脇内駿, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

第71回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-451-03-451　2024年3月5日
Tubular hollow-core fibers for terahertz guidance

Muhammad Zain Siddiqui, Mahmudur Rahman, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

第71回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-097-03-097　2024年3月5日
Fabrication and characterization of delay lines with spoof surface plasmon polariton waveguide coupled with C-shaped metamaterials for microwave integrated circuits 査読有り

Minh Van Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Japanese Journal of Applied Physics　63　(3)　03SP72-03SP72　2024年3月5日
出版者・発行元：
DOI： 10.35848/1347-4065/ad2917 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Tunable Fabry–Perot interferometer operated in the terahertz range based on an effective refractive index control using pitch-variable subwavelength gratings 査読有り

Ying Huang, Yangxun Liu, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Optics Letters　49　(4)　951-951　2024年2月9日
出版者・発行元：
DOI： 10.1364/ol.515504 　

ISSN：0146-9592

eISSN：1539-4794
ギャップ表面プラズモンに基づくメタマテリアルを用いたテラヘルツ波の反射位相制御に関する数値解析

藤本ありさ, 金森義明

第21回赤外放射応用関連学会年会予稿集　IST2024-3-IST2024-3　2024年1月26日
テラヘルツ制御のためのMEMS 駆動メタマテリアル招待有り

金森義明

シンポジウムテラヘルツ科学の最先端 X 予稿集　25-26　2023年12月20日
Structural Color Filters Using Metamaterials and Their Applications 招待有り

Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the International Display Workshops　30　2023年12月5日
Simultaneous Imaging and Spectroscopy with Pixelized Gradient Thickness Optical Filter

Pratyasha Sahani, Shiori Nabana, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the International Display Workshops　30　903-906　2023年12月5日
Fabrication and characterization of static “ON”- “OFF” state SSPP devices integrating with metamaterials

Minh Van Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Digest of 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　17P-1-60-17P-1-60　2023年11月14日
Terahertz stretchable metamaterials for uniaxial strain measurement based on dolmen resonators

Taiyu Okatani, Munkh-Orgil Dashdeleg, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Digest of 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　17P-1-58-17P-1-58　2023年11月14日
An electromechanical cantilever actuator with a dimpled tip used for reconfigurable THz metamaterials

Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Digest of 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　17D-2-4-17D-2-4　2023年11月14日
6G 通信に向けた Si 誘電体メタサーフェスによるテラヘルツ波偏向デバイス

千葉滉平, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

日本機械学会第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム予稿集　8P2-PN-60-8P2-PN-60　2023年11月6日
6G通信に向けたTHzメタマテリアルの製作と電場モードのギャップ依存性の解明

藤本ありさ, Minh Van Nguyen, Ying Huang, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2023年度精密工学会東北支部講演会講演論文集　B03-B03　2023年10月28日
Siサブ波長格子を用いた透過型テラヘルツ波変更デバイスの偏波方向依存性評価

千葉滉平, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2023年度精密工学会東北支部講演会講演論文集　B02-B02　2023年10月28日
反射型ロータリーエンコーダのための4方向ワイヤグリッド偏光子基板の製作と評価

小林創, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2023年度精密工学会東北支部講演会講演論文集　B01-B01　2023年10月28日
Fabrication of functional metamaterials for applications in heat-shielding windows and 6G communications 査読有り

Minh Van Nguyen, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

Applied Optics　62　(28)　7411-7419　2023年9月25日
出版者・発行元：
DOI： 10.1364/ao.497886 　

ISSN：1559-128X

eISSN：2155-3165
GEOspace X-ray imager (GEO-X) 査読有り

Yuichiro Ezoe, Ryu Funase, Harunori Nagata, Yoshizumi Miyoshi, Hiroshi Nakajima, Ikuyuki Mitsuishi, Kumi Ishikawa, Masaki Numazawa, Yosuke Kawabata, Shintaro Nakajima, Ryota Fuse, Ralf C. Boden, Landon Kamps, Tomokage Yoneyama, Kouichi Hagino, Yosuke Matsumoto, Keisuke Hosokawa, Satoshi Kasahara, Junko Hiraga, Kazuhisa Mitsuda, Masaki Fujimoto, Munetaka Ueno, Atsushi Yamazaki, Hiroshi Hasegawa, Takefumi Mitani, Yasuhiro Kawakatsu, Takahiro Iwata, Hiroyuki Koizumi, Hironori Sahara, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Daiki Ishi, Aoto Fukushima, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Hiromi Morishita, Yukine Tsuji, Runa Sekiguchi, Takatoshi Murakawa, Kazuma Yamaguchi, Rei Ishikawa, Daiki Morimoto, Yudai Yamada, Shota Hirai, Yuki Nobuhara, Yownin Albert M. Leung, Yamato Itoigawa, Ryo Onodera, Satoru Kotaki, Shotaro Nakamura, Ayumi Kiuchi, Takuya Matsumoto, Midori Hirota, Kazuto Kashiwakura

Journal of Astronomical Telescopes, Instruments, and Systems　9　(03)　34006-1-34006-15　2023年9月12日
出版者・発行元：
DOI： 10.1117/1.jatis.9.3.034006 　

ISSN：2329-4124
シリコン薄膜を用いたオンチップ線形光学回路

押田拓己, 稲垣拓也, 石川巧, 大河原駿, 金森義明, 山田博仁, 松田信幸

第84回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　03-324-03-324　2023年9月5日
An electromechanical cantilever actuator with a high mechanical resonant frequency exceeding 1.5 MHz used for THz metamaterials

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第84回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　03-219-03-219　2023年9月5日
Reconfigurable THz metamaterial based on microelectromechanical cantilever switches with a dimpled tip 査読有り

Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Optics Express　31　(18)　29744-29754　2023年8月22日
出版者・発行元：
DOI： 10.1364/oe.497514 　

eISSN：1094-4087
Micro-fabricated Si subwavelength grating for frequency-domain THz beam steering covering the 0.3–0.5 THz frequency band 査読有り

Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Optics Express　31　(17)　27147-27160　2023年7月31日
出版者・発行元：
DOI： 10.1364/oe.492942 　

eISSN：1094-4087
Fabrication of metasurfaces for heat-shielding windows and 6G communications and investigation of the possibility of near-infrared reflection control by movable thin films 招待有り

Yoshiaki Kanamori

Proceedings: The 13th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META2023)　810-811　2023年7月
ワイヤグリッド偏光子付き光ファイババンドルの作製と歯質判別への応用査読有り

岡谷泰佑, 横山雄基, 宍戸駿一, 中村圭祐, 金森義明

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　143　(7)　192-199　2023年7月1日
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.143.192 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525
Assembly of an ultralight weight X-ray telescope using MEMS technologies (Conference Presentation)

Hiromi Morishita, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Masaki Numazawa, Daiki Ishi, Aoto Fukushima, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Luna Sekiguchi, Yukine Tsuji, Takatoshi Murakawa, Kazuma Yamaguchi, Rei Ishikawa, Daiki Morimoto, Yudai Yamada, Kazuhisa Mitsuda, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Yoshiaki Kanamori

EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space VIII　2023年6月8日
出版者・発行元： SPIE
DOI： 10.1117/12.2665160 　
Development of micro/nano processing technology for metamaterials 招待有り

Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　21-21　2023年6月
THz-wave-deflectors based on effective-refractive-index-distribution control of dielectric metamaterials

Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　46-46　2023年6月
Transparent electrodes for electromechanically reconfigurable THz metamaterials

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　42-42　2023年6月
Fabrication of high-aspect-ratio SiO₂ nanopillars by Si thermal oxidation for metalenses in the visible region 査読有り

Taiyu Okatani, Yuya Naito, Yoshiaki Kanamori

Japanese Journal of Applied Physics　62　(SG)　SG1034-SG1034　2023年3月23日
出版者・発行元：
DOI： 10.35848/1347-4065/acbfbe 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Numerical calculation of frequency conversion occurring by time-modulation of the permittivity of a homogeneous medium

Minh Van Nguyen, Toshiyuki Kodama, Yoshiaki Kanamori

第70回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-434-03-434　2023年2月27日
Design and fabrication of functional cross-shaped metamaterials using electron beam lithography for applications in infrared shielding windows and 6G communications

Minh Van Nguyen, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第70回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-425-03-425　2023年2月27日
A reconfigurable H-shaped THz metamaterial based on an ultra-small micromechanical cantilever array 招待有り

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第70回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-421-03-421　2023年2月27日
A reconfigurable ladder-shaped THz metamaterial integrated with a microelectromechanical cantilever array 査読有り

Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

Applied Physics Letters　122　(5)　051705-051705　2023年2月1日
出版者・発行元：
DOI： 10.1063/5.0124601 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118
Epitaxial P_b(Z_r,T_i)O₃-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Fabricated on Silicon-On-Nothing (SON) Structure

Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　139-142　2023年1月15日
出版者・発行元：
DOI： 10.1109/mems49605.2023.10052628 　
4 方向の偏光子を搭載した反射型ロータリーエンコーダの構築と角度検出能力の評価

小林創, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2022年度精密工学会東北支部学術講演会論文集　B11-B11　2022年11月12日
テラヘルツ波用人工光学物質の創成に向けた Si サブ波長格子による有効屈折率制御

千葉滉平, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2022年度精密工学会東北支部学術講演会論文集　A05-A05　2022年11月12日
インクジェット印刷を用いたフレキシブルメタマテリアルの製作と透過特性評価

木田喬仁, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2022年度精密工学会東北支部学術講演会論文集　A02-A02　2022年11月12日
Fabrication of reflective metalens by thermal oxidation of high-aspect-ratio silicon nanopillars

Taiyu Okatani, Yuya Naito, Yoshiaki Kanamori

Digest of 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022)　10D-2-4-10D-2-4　2022年11月8日
ワイヤグリッド偏光子付き光ファイババンドルを用いた拡散反射計測による歯質判別

岡谷泰佑, 横山雄基, 宍戸駿一, 中村圭祐, 金森義明

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　14P5-P-40-14P5-P-40　2022年11月7日
直線偏光角計測に向けた光ファイバ端面への4方向ワイヤグリッド偏光子の取り付け

岡谷泰佑, 横山雄基, 金森義明

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　14P5-P-37-14P5-P-37　2022年11月7日
Ultra-lightweight x-ray telescope fabricated with multiple MEMS technologies for GEO-X mission

Masaki Numazawa, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Daiki Ishi, Aoto Fukushima, Sae Sakuda, Tomoki Uchino, Ayata Inagaki, Hiromi Morishita, Yoko Ueda, Takatoshi Murakawa, Luna Sekiguchi, Yukine Tsuji, Ikuyuki Mitsuishi, Hiroshi Nakajima, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuhisa Mitsuda

Space Telescopes and Instrumentation 2022: Ultraviolet to Gamma Ray　2022年8月31日
出版者・発行元： SPIE
DOI： 10.1117/12.2630501 　
Extraordinary Transmission of Bull’s Eye Structure Observed by Up-Conversion-Based THz-Wave Frequency-Domain Spectroscopy 査読有り

Yuma Takida, Kaoru Imai, Taiyu Okatani, Seigo Ohno, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide

2022 47th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz)　2022-August　Th-P-103-Th-P-103　2022年8月28日
出版者・発行元：
DOI： 10.1109/irmmw-thz50927.2022.9895791 　

ISSN：2162-2027

eISSN：2162-2035
分割リング共振器を内包する等方性 3 次元バルクメタマテリアル

岡谷泰佑, 砂田悠斗, 羽根一博, 金森義明

第83回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　03-553　2022年8月26日
An H-shaped metamaterial-based MEMS device with a high mechanical resonant frequency for THz waves

Ying Huang, 岡谷泰佑, 金森義明

第83回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　03-552　2022年8月26日
Terahertz reflective metamaterials for flexible strain sensing

Dashdeleg Munkh-Orgil, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第83回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　03-551　2022年8月26日
Autonomously Switchable Filter Realized by Thermal Driven Bimetal Actuators

Zeng Zhaodong, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第83回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　100000000-112　2022年8月26日
テラヘルツ帯におけるブルズアイアンテナ–シリコン導波路結合デバイス

岡谷泰佑, 今井薫, 瀧田佑馬, 大野誠吾, 南出泰亜, 金森義明

第83回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　03-226　2022年8月26日
A switchable THz filter by integrating an H-shaped metamaterial and ultra-small MEMS switches

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

Abstract: 15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO-PR2022)　CTuP16F-01-1-CTuP16F-01-2　2022年8月

DOI： 10.1364/CLEOPR.2022.CTuP16F_01 　

eISSN：2162-2701
Improvement of imaging performance of silicon micropore X-ray optics by ultra long-term annealing 査読有り

Aoto Fukushima, Daiki Ishi, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Masaki Numazawa, Sae Sakuda, Tomoki Uchino, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Hiromi Morishita, Luna Sekiguchi, Takatoshi Murakawa, Yukine Tsuji, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori

Optics Express　30　(14)　25195-25207　2022年6月27日
出版者・発行元：
DOI： 10.1364/oe.459774 　

eISSN：1094-4087
Broadband stop filters for THz waves using H-shaped metamaterials with dual electronic-plasmonic functionality 査読有り

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

Japanese Journal of Applied Physics　61　(SD)　SD1007-SD1007　2022年6月1日
出版者・発行元：
DOI： 10.35848/1347-4065/ac55dd 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Terahertz 3D bulk metamaterials with randomly dispersed split-ring resonators 招待有り査読有り

Taiyu Okatani, Yuto Sunada, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Nanophotonics　11　(9)　2065-2074　2022年2月28日

DOI： 10.1515/nanoph-2021-0703 　

eISSN：2192-8614
オンチップ自由空間線形光学回路の動作検証

稲垣拓也, 石川巧, 金森義明, 山田博仁, 松田信幸

第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-364-03-364　2022年2月25日
Metal–Insulator–Metal structured optical force sensors with thin polydimethylsiloxane

Munkh Orgil, Dashdeleg, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-310-03-310　2022年2月25日
An electromechanically active THz filter based on an H-shaped metamaterial

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-308-03-308　2022年2月25日
Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用したナノギャップ計測に向けたSpin-on-Glass膜封止型ナノドットアレイの作製

岡谷泰佑, 金森義明

第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-224-03-224　2022年2月25日
MEMS 技術を用いた Schmidt 配置 Lobster eye X 線光学系の開発 Ⅱ

作田紗恵, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 伊師大貴, 福島碧都, 内野友樹, 稲垣綾太, 上田陽功, 森下弘海, 関口るな, 辻雪音, 村川貴俊, 満田和久, 金森義明, 森下浩平

第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　02-119-02-119　2022年2月25日
Improved Vacuum Level of Silicon-Migration-Sealed Cavity by Hydrogen Diffusion Annealing for Wafer-Level Packaging for Mems

Hirotaka Suzuki, Yukio Suzuki, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2022-January　565-568　2022年

DOI： 10.1109/MEMS51670.2022.9699602 　

ISSN：1084-6999
Smoothing of silicon micropore X-ray optics by thermal annealing

Aoto Fukushima, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Daiki Ishi, Sae Sakuda, Tomoki Uchino, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Hiromi Morishita, Luna Sekiguchi, Takatoshi Murakawa, Yukine Tsuji, Masaki Numazawa, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori

Digest of 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)　P5-6-P5-6　2021年10月
Broadband stop filters using H-shaped metamaterial at the THz region

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

Digest of 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)　P5-4-P5-4　2021年10月
MEMS技術を用いたSchmidt配置Lobster eye光学系の開発

作田紗恵, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 伊師大貴, 福島碧都, 内野友樹, 稲垣綾太, 上田陽功, 森下弘海, 関口るな, 辻雪音, 村川貴俊, 満田和久, 金森義明, 森下浩平

第82回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　02-013-02-013　2021年8月
Improvement of silicon microdisk resonators with movable waveguides by hydrogen annealing treatment 査読有り

Taiyu Okatani, Yuichi Sato, Kaoru Imai, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Journal of Vacuum Science & Technology B　39　(3)　030602-1-030602-5　2021年4月
High‐Efficiency Optical Filters Based on Nanophotonics 招待有り査読有り

Yoshiaki Kanamori

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　16　(5)　662-672　2021年3月31日
出版者・発行元：
DOI： 10.1002/tee.23345 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
Improvement in THz light extraction efficiencies with antireflection subwavelength gratings on a silicon prism 査読有り

Ying Huang, Atsuki Kosugi, Yuya Naito, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Japanese Journal of Applied Physics　60　(SC)　SCCL04-SCCL04　2021年3月8日
出版者・発行元：
DOI： 10.35848/1347-4065/abe995 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Silicon migration seal wafer‐level vacuum encapsulation

Yukio Suzuki, Victor Dupuit, Toshiya Kojima, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

Electronics and Communications in Japan　104　(1)　120-125　2021年3月
出版者・発行元： Wiley
DOI： 10.1002/ecj.12283 　

ISSN：1942-9533

eISSN：1942-9541
ミニマルレーザ加熱装置を使った水素雰囲気でのSi 立体構造体の表面処理

佐藤和重, 千葉貴史, 寺田昌男, 濱田健吾, 中山吉之, 金森義明, 田中宏幸, 加瀬雅, クンプアンソマワン, 原史朗

第68回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　12-239-12-239　2021年2月26日
Metal-Insulator-Metal メタマテリアル構造を応用した潤滑膜厚計測法の検討

岡谷泰佑, 金森義明

第68回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　2021.1　03-485-03-485　2021年2月26日
出版者・発行元：公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1043 　

eISSN：2436-7613
水素アニール法で製作された Si ナノ微小球を用いた誘電体光メタマテリアル

金森義明, 岡谷泰佑, 阿部洋輔, 羽根一博

第68回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　2021.1　03-477-03-477　2021年2月26日
出版者・発行元：公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1036 　

eISSN：2436-7613
マイクロマシニング法によるテラヘルツ波用ブルズアイ構造の製作

今井薫, 岡谷泰佑, 瀧田佑馬, 大野誠吾, 南出泰亜, 金森義明

第68回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　2021.1　03-338-03-338　2021年2月26日
出版者・発行元：公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_867 　

eISSN：2436-7613
可動式電磁誘起透明化メタマテリアルによる THz 波フィルタ

金森義明, Ying Huang, 中村健太, 瀧田佑馬, 南出泰亜, 羽根一博

第68回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　03-335-03-335　2021年2月26日
Switchable band-pass filter for terahertz waves using VO2-based metamaterial integrated with silicon substrate 査読有り

Ying Huang, Qicong He, Dongping Zhang, Yoshiaki Kanamori

Optical Review　28　(1)　92-98　2021年2月16日
出版者・発行元：
DOI： 10.1007/s10043-020-00637-1 　

ISSN：1340-6000

eISSN：1349-9432
Fabrication of silicon nanospheres placeable on a desired position for dielectric metamaterials in the visible region 査読有り

Taiyu Okatani, Yosuke Abe, Takuya Nakazawa, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Optical Materials Express　11　(1)　189-197　2021年1月1日
出版者・発行元：
DOI： 10.1364/ome.415313 　

eISSN：2159-3930
Actively tunable THz filter based on an electromagnetically induced transparency analog hybridized with a MEMS metamaterial 査読有り

Ying Huang, Kenta Nakamura, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Scientific Reports　10　(1)　20807-1-20807-10　2020年11月30日
出版者・発行元：
DOI： 10.1038/s41598-020-77922-1 　

eISSN：2045-2322
メタサーフェースによる光波制御デバイス

金森義明

日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020 講演予稿集　15aCS3-15aCS3　2020年11月
Fabrication of antireflection subwavelength gratings on a silicon prism for improvement of THz light extraction efficiencies

Yuya Naito, Atsuki Kosugi, Ying Huang, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Digest of 33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020)　2020-5-3-2020-5-3　2020年11月
静的純ねじり試験によるシリコントーションバーの破壊強度向上法の探索査読有り

鈴木裕輝夫, 大柳英樹, 千葉広文, 引地広介, 小島俊哉, 金森義明, 田中秀治

電気学会論文誌E　140　(10)　278-284　2020年10月1日
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.140.278 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525
Surface-plasmon-coupled optical force sensors based on metal–insulator–metal metamaterials with movable air gap 査読有り

Taiyu Okatani, Shota Sekiguchi, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Scientific Reports　10　(1)　14807-1-14807-6　2020年9月9日
出版者・発行元：
DOI： 10.1038/s41598-020-71825-x 　

eISSN：2045-2322
表面形状処理のためのミニマルレーザ水素アニール装置の開発

佐藤和重, 千葉貴史, 寺田昌男, 濱田健吾, 中山吉之, 金森義明, 田中宏幸, 加瀬雅, クンプアン, ソマワン, 原史朗

第81回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集　12-032-12-032　2020年8月26日
シリコンマイグレーションシール（SMS）ウェハレベル真空パッケージング技術査読有り

鈴木裕輝夫, Dupuit Victor, 小島俊哉, 金森義明, 田中秀治

電気学会論文誌E　140　(7)　165-169　2020年7月1日
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.140.165 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525
GEO-X (GEOspace X-ray imager)

Yuichiro Ezoe, Ryu Funase, Harunori Nagata, Yoshizumi Miyoshi, Satoshi Kasahara, Hiroshi Nakajima, Ikuyuki Mitsuishi, Kumi Ishikawa, Junko Hiraga, Kazuhisa Mitsuda, Masaki Fujimoto, Munetaka Ueno, Atsushi Yamazaki, Hiroshi Hasegawa, Yosuke Matsumoto, Yasuhiro Kawakatsu, Takahiro Iwata, Hironori Sahara, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Hiroyuki Koizumi, Makoto Mita, Takefumi Mitani, Masaki Numazawa, Landon Kamps, Yosuke Kawabata

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　11444　2020年

DOI： 10.1117/12.2560780 　

ISSN：0277-786X

eISSN：1996-756X
小型分光器・高感度バイオセンサを実現する人工光学物質「メタマテリアル」招待有り

金森義明

第64回光波センシング技術研究会講演論文集　87-91　2019年12月
Fabrication of refractive index sensors using polarization independent metamaterial and their application to chemical concentration measurement and DNA detection 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Tomoki Shimizu, Shin-Ichiro Nomura, Kazuhiro Hane

Electronics and Communications in Japan　102　(10)　34-40　2019年8月

DOI： 10.1002/ecj.12208 　
Miniature spectroscopes with metamaterial filter array 招待有り

Yoshiaki Kanamori

Abstracts: The 4th A3 Metamaterials Forum　23-23　2019年8月
Metasurfaces for heat-shield windows

Yoshiaki Kanamori, Masanari Bito

Abstracts: The 4th A3 Metamaterials Forum　34-34　2019年8月
偏光無依存メタマテリアルを用いた屈折率センサの製作と化学物質濃度計測及びDNA検出への適用査読有り

金森義明, 清水友己, 野村慎一郎, 羽根一博

電気学会論文誌E　139　(7)　163-168　2019年7月
A reflection-type vapor cell using anisotropic etching of silicon for micro atomic clocks 査読有り

Hitoshi Nishino, Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masaya Toda, Yoshiaki Kanamori, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Takahito Ono

Applied Physics Express　12　(7)　2019年

DOI： 10.7567/1882-0786/ab2a3c 　

ISSN：1882-0778

eISSN：1882-0786
A Reflection-Type Vapor Cell for Micro Atomic Clock 査読有り

Hitoshi Nishino, Masaya Toda, Yoshiaki Kanamori, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Motoaki Hara, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2019-January　915-918　2019年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2019.8870878 　

ISSN：1084-6999
Fabrication of movable MIM metamaterial with air gap structures

Shota Sekiguchi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Digest of 31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018)　15P-7-86-15P-7-86　2018年11月
Miniature Spectroscopes with Two-Dimensional Guided-Mode Resonant Metal Grating Filters Integrated on a Photodiode Array 招待有り査読有り

Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

Materials　11　(10)　1924　2018年10月
THz Tunable Metamaterial Based on Micro-electromechanical Technologies

Yoshiaki Kanamori

Abstract: Progress In Electromagnetics Research Symposium（PIERS2018)　1581-1581　2018年8月
Structural Color Filters Based on Guided-mode Resonant Eﬀect

Yoshiaki Kanamori

Abstracts: Progress In Electromagnetics Research Symposium（PIERS2018)　320-320　2018年8月
Spectral and angular shaping of infrared radiation in a polymer resonator with molecular vibrational modes 査読有り

Shinichiro Tsuda, Shuhei Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Hiroo Yugami

Optics Express　26　(6)　6899-6915　2018年
出版者・発行元： OSA - The Optical Society
DOI： 10.1364/OE.26.006899 　

ISSN：1094-4087
Plasmonic Color Filters Integrated on a Photodiode Array 査読有り

Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Hitoshi Sai, Kazuhiro Hane

Electronics and Communications in Japan　101　(2)　95-104　2018年
出版者・発行元： Wiley-Liss Inc.
DOI： 10.1002/ecj.12055 　

ISSN：1942-9541 1942-9533
Fabrication of PMUT using silicon on nothing process for fingerprint sensor 査読有り

Shim Hang, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono, Yoshiaki Kanamori, Song Yunheub, Oh Youngtaek

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　31　31am3-PS-19-1-31am3-PS-19-2　2017年10月
Silica imprint templates with concave patterns from single-digit nanometers fabricated by electron beam lithography involving argon ion beam milling 査読有り

Shunya Ito, Eri Kikuchi, Masahiko Watanabe, Yoshinari Sugiyama, Yoshiaki Kanamori, Masaru Nakagawa

Japanese Journal of Applied Physics　56　(6)　06GL01-1-06GL01-6　2017年6月1日
出版者・発行元： Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.7567/JJAP.56.06GL01 　

ISSN：1347-4065 0021-4922
Fabrication of Metamaterial Absorbers in THz Region and Evaluation of the Absorption Characteristics 査読有り

Yuta Ishii, Yuma Takida, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　100　(4)　15-24　2017年4月

DOI： 10.1002/ecj.11943 　

ISSN：1942-9533

eISSN：1942-9541
Transmissive metamaterial color filters

Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

Optics InfoBase Conference Papers　2017　2017年
出版者・発行元： OSA - The Optical Society
Transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes 査読有り

Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(5)　134-139　2017年
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
DOI： 10.1541/ieejsmas.137.134 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
Dynamic spectral control of fano resonance by MEMS actuated optical metamaterials 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(11)　357-362　2017年
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
DOI： 10.1541/ieejsmas.137.357 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
面外配置された非対称型ダブルバーメタマテリアルの製作と光学応答査読有り

大久保藍, 金森義明, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　363-370　2017年
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.137.363 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
プラズモニックカラーフィルタ一体型フォトダイオードアレイ査読有り

江間大祐, 金森義明, 齋均, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　379-386　2017年
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.137.379 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
THz波用MEMS駆動ワイヤグリッド偏光子の製作と光学特性評価査読有り

石井雄大, 中田陽介, 時実悠, 瀧田佑馬, 金森義明, 南出泰亜, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　407-414　2017年
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.137.407 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
偏光無依存メタマテリアルを用いた屈折率センサ査読有り

清水友己, 金森義明, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　415-416　2017年
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.137.415 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
Emission wavelength tuning of fluorescence by fine structural control of optical metamaterials with Fano resonance 査読有り

Y. Moritake, Y. Kanamori, K. Hane

SCIENTIFIC REPORTS　6　33208-1-33208-6　2016年9月

DOI： 10.1038/srep33208 　

ISSN：2045-2322
Spectral sensitivity control of Si photodiodes by subwavelength structures

Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　71-72　2016年7月5日
Movable transparent membranes designed for tunable metamaterials in the optical region

Ai Okubo, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　75-76　2016年7月5日
Metamaterial absorbers fabricated on silicon cantilevers

Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　85-86　2016年7月5日
Photovoltaic transmissive color filters based on Metal-Photodiode-Metal metamaterials

Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　91-92　2016年7月5日
Planar metamaterials for transmission and absorption control

Yoshiaki Kanamori

Program & Abstract: EMN Meeting on Metamaterials　3-4　2016年5月8日
Demonstration of sharp multiple Fano resonances in optical metamaterials 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　24　(9)　9332-9339　2016年5月

DOI： 10.1364/OE.24.009332 　

ISSN：1094-4087
Experimental Demonstration of Wavelength-Selective Metamaterial Absorbers in the 1.5 THz Range 査読有り

Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Yuma Takida, Hiroaki Minamide

Proceedings of the 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　B4L-E-1-1-B4L-E-1-2　2016年4月17日
Wavelength-selective Transmission from Plasmonic Nanostructured Arrays in the Visible Region 査読有り

Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Proceedings of the 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　B4L-E-5-1-B4L-E-5-2　2016年4月17日
Observation of Fano resonance in Optical Metamaterials 招待有り

Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　B2L-E-1-1-B2L-E-1-1　2016年4月17日
金属ナノ共振器とシリコン導波路の集積化による光通信用減衰器の製作招待有り査読有り

金森義明, 高橋大洋, 羽根一博

レーザー研究　44　(1)　42-46　2016年1月20日
出版者・発行元：レーザー学会
ISSN：0387-0200
THz帯におけるメタマテリアル・アブソーバの製作と吸収特性の評価査読有り

石井雄大, 瀧田佑馬, 金森義明, 南出泰亜, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　136　(5)　172-179　2016年
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejsmas.136.172 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
Detailed characterization of fano resonance in asymmetric-double-bar metamaterials in the optical region 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　135　(11)　426-432　2015年11月1日
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
DOI： 10.1541/ieejsmas.135.426 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
Enhanced quality factor of Fano resonance in optical metamaterials by manipulating configuration of unit cells 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　107　(21)　211108-1-211108-4　2015年11月

DOI： 10.1063/1.4936385 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118
Enhanced Fluorescence of Quantum Dots by Fano Resonance in Optical Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars 査読有り

Y. Moritake, Y. Kanamori, K. Hane

Abstract: 9th International Congress on Advanced Electromagnetic Materials in Microwaves and Optics - Metamaterials 2015　1133-1135　2015年9月7日
High precision fabrication of optical metamaterials with sharp Fano resonance

Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the 5th Korea-Japan Metamaterials Forum　41-42　2015年7月29日
MEMS for Plasmon Control of Optical Metamaterials 招待有り査読有り

Yoshiaki Kanamori, Ryohei Hokari, Kazuhiro Hane

IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS　21　(4)　2701410-1-2701410-10　2015年7月

DOI： 10.1109/JSTQE.2014.2385957 　

ISSN：1077-260X

eISSN：1558-4542
Quality-factor enhancement of Fano resonance in asymmetric-double-bar metamaterials by alternately arranging inversed unit cells in the optical region 査読有り

Yuto Moritakea, Yoshiaki Kanamoria, Kazuhiro Hanea

PHOTONIC AND PHONONIC PROPERTIES OF ENGINEERED NANOSTRUCTURES V　9371　93710T-1-93710T-6　2015年

DOI： 10.1117/12.2078784 　

ISSN：0277-786X
Antireflection subwavelength gratings on optical fiber tips fabricated by a dedicated UV nano imprint lithography system 招待有り査読有り

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

High Contrast Metastructures IV　9372　93720T-1-93720T-7　2015年

DOI： 10.1117/12.2075791 　

ISSN：0277-786X
Wavelength Selective Filters Using Metamaterials in Terahertz Frequency Region 招待有り

Yoshiaki Kanamori

2015 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON RADIO-FREQUENCY INTEGRATION TECHNOLOGY (RFIT)　61-63　2015年

DOI： 10.1109/RFIT.2015.7377887 　
THz帯における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と透過率特性の評価査読有り

中村健太, 穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌　135　(11)　454-459　2015年
出版者・発行元：一般社団法人電気学会
DOI： 10.1541/ieejsmas.135.454 　

ISSN：1341-8939

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Electromagnetically induced transparency (EIT)-like effects in gold metamaterials consisting of dipole resonators and quadrupole resonators were experimentally demonstrated in terahertz frequency region, and their transmittance characteristics were evaluated. Transmittance characteristics of the metamaterials could be controlled by the gap distance between the two resonators. At frequencies around 1.5 THz, transmittance between 82.0% and 0.9% were observed for fabricated EIT metamaterials with gap distances between 3.1 and 23.1 µm.
Fabrication and phase-shift analysis of EIT metamaterials operating at visible wavelengths

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract of the 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　38-39　2014年12月22日
Demonstration and characterization of Fano resonance in optical metamaterials composed of asymmetric double bar

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract of the 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　40-41　2014年12月22日
High Precision Fabrication of Metamaterials at Optical Wavelengths 査読有り

Yoshiaki Kanamori

Abstracts of International Conference on Small Science (ICSS 2014)　104-105　2014年12月8日
Fabrication of ultrathin color filters for three primary colors using guided-mode resonance in silicon subwavelength gratings 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

Optical Review　21　(5)　723-727　2014年10月3日
出版者・発行元： SpringerOpen
DOI： 10.1007/s10043-014-0118-6 　

ISSN：1349-9432 1340-6000
An investigation of the mechanical strengthening effect of hydrogen anneal for silicon torsion bar 査読有り

Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　24　(10)　105014 (11pp)　2014年10月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/10/105014 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Reflection color filters of the three primary colors with wide viewing angles using common-thickness silicon subwavelength gratings 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　22　(21)　25635-25644　2014年10月

DOI： 10.1364/OE.22.025663 　

ISSN：1094-4087
Experimental demonstration of sharp Fano resonance in optical metamaterials composed of asymmetric double bars 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS LETTERS　39　(13)　4057-4060　2014年7月

DOI： 10.1364/OL.39.004057 　

ISSN：0146-9592

eISSN：1539-4794
Experimental Comparison of Electromagnetically Induced Transparency-like Characteristics between Silver and Aluminum Metamaterials at Visible Wavelengths 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Book of Abstracts: The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　69-71　2014年5月20日
Demonstration of Fano Resonance in Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars in Optical Region 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Book of Abstracts: The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　72-74　2014年5月20日
Fabrication of planar metamaterials with sharp and strong electromagnetically induced transparency-like characteristics at wavelengths around 820 nm 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS　31　(5)　1000-1005　2014年5月

DOI： 10.1364/JOSAB.31.001000 　

ISSN：0740-3224

eISSN：1520-8540
Fabrication of Ultrathin Color Filters for Three Primary Colors Using Silicon Subwavelength Gratings 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　49-50　2014年2月12日
Detuning Effect of Quadrupole Resonators in Electromagnetically Induced Transparency-like Metamaterials at Near-Infrared Wavelengths 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　51-52　2014年2月12日
Numerical Study on Optical Metamaterials with High Quality Factor Composed of Asymmetric Double Bars 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　53-54　2014年2月12日
Silicon Spherical Nano-particles having Magnetic Resonance Fabricated by Hydrogen Annealing 査読有り

Yosuke Abe, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　371-372　2014年2月12日
Wavelength-selective Optical Attenuators using Plasmonic Nano-resonator Array for Silicon waveguides 査読有り

Taiyo Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　383-384　2014年2月12日
Comparison of electromagnetically induced transparency between silver, gold, and aluminum metamaterials at visible wavelengths 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　22　(3)　3526-3537　2014年2月

DOI： 10.1364/OE.22.003526 　

ISSN：1094-4087
MEMS-BASED X-RAY OPTICS FOR ASTRONOMY, PLANETARY EXPLORATION, AND EARTH OBSERVATION 査読有り

Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Masahiro Ikuta, Mayu Sato, Kazuhisa Mitsuda, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Hiroshi Hiroshima, Ryutaro Maeda

2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　127-128　2014年

DOI： 10.1109/OMN.2014.6924553 　

ISSN：2160-5033
Numerical study on resonant wavelength control of split ring resonators with inductance variable structures in the optical wavelength region 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Transactions of the Materials Research Society of Japan　38　(4)　615-618　2013年12月
出版者・発行元： The Materials Research Society of Japan
DOI： 10.14723/tmrsj.38.615 　

ISSN：1382-3469

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We investigate resonant wavelength control of optical metamaterials consisting of split ring resonators (SRRs) with inductance variable structures in the optical wavelength region toward the realization of tunable optical metamaterial devices. The metamaterials consist of SRRs, cut wires, and connecting bars. There are air gaps between the SRRs and the cut wires. The cut wires supported by the connecting bars are located over the SRRs with constant gap distance. The resonant wavelength can be controlled by inductance changes in coil structures of the metamaterial, because the inductance depends on positions of the cut wires. On the other hand, capacitance in the metamaterial is not affected by the position of the cut wires. Numerical simulations using rigorous coupled-wave analysis show that the resonant wavelengths shifts between 1025 nm and 805 nm and varies approximately linearly according to the position of the cut wire. At the resonant wavelength, the transmittance decreases to about 10% and quality factors of around 4.5 are obtained. At non-resonant wavelength, on the other hand, the transmittances of around 70% are obtained. Therefore, the metamaterial functions as band-stop filter, in which the center wavelength can be controlled by the positions of the cut wires over the SRRs.
Comparison of electromagnetically induced transparency between silver and gold metamaterials at wavelengths around 800 nm 査読有り

R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013)　7P-7-123L-1-7P-7-123L-2　2013年11月5日
A 20nm Free-Spectral Range Optical Filter Based on NEM-Tunable Silicon Photonic Waveguide Micro-Ring Resonator

Hoang Manh Chu, Takashi Sasaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract: The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS2013)　2013年8月22日
Fabrication of electromagnetically-induced-transparency-like metamaterials in the near-infrared region

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract of 3rd Korea-Japan Metamaterials Forum　76-77　2013年6月26日
Design of hybrid plasmonic-dielectric subwavelength gratings for polarization-dependent wavelength-selective filters 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Yoshimi Ohta, Toshikazu Ozaki, Ikuo Onishi

Transactions of the Materials Research Society of Japan　38　(2)　163-166　2013年6月
出版者・発行元： The Materials Research Society of Japan
DOI： 10.14723/tmrsj.38.163 　

ISSN：1382-3469

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Color filters have been used for a variety of applications such as liquid crystal displays (LCDs). Conventional color filters produce color by absorbing unnecessary wavelengths, which cause energy loss. Additionally, as an important optical element in the LCDs, polarization filters are required since liquid crystals have polarization dependency. We propose hybrid plasmonic-dielectric subwavelength grating (SWG) filters, which have both functions of wavelength- and polarization- selectivities in one filter. The SWG filter consists of a three-layered one-dimensional SWG, in which a plasmonic layer, a buffer layer, and a dielectric layer are stacked on a substrate. Using rigorous coupled-wave analysis, three kinds of the SWG filters with periods of 300, 380, and 500 nm are designed to produce blue, green, and red colors, respectively. For transverse-magnetic polarized light, each SWG filter shows high transmittance in each color region with good wavelength selectivity, which functions as a color filter. Maximum transmittances of 72.4%, 72.6%, and 73.5% are obtained at wavelengths of 445, 540, and 650 nm for the blue, green, and red filters, respectively. For transverse-electric polarized light, each SWG filter shows high reflectance in the whole visible region, which functions as a broadband band-stop filter.
Fabrication of Silicon Microdisk Resonators with Movable Waveguides for Control of Power Coupling Ratio 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Yuichi Sato, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　52　(6)　06GL19-1-06GL19-5　2013年6月

DOI： 10.7567/JJAP.52.06GL19 　

ISSN：0021-4922
光メタマテリアルの金ナノ構造における製作誤差の評価査読有り

穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集　27　(0)　379-381　2013年
出版者・発行元：一般社団法人エレクトロニクス実装学会
DOI： 10.11486/ejisso.27.0_379 　

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金属人工構造体である光メタマテリアル構造は100nmや数百nmといったナノオーダーのサイズが要求される．このようなナノオーダーの構造のパターニングにおいて電子線描画の精度が重要である．しかし，光メタマテリアル構造は誘電体基板上に金属薄膜を成膜し，金属薄膜上へパターニングをするため，シリコン基板への電子線描画と比較して条件出しが困難であり，形成されたパターンが丸まるなどの製作誤差が生じてしまう．本研究では，製作誤差の光学特性への影響を数値計算により調べ，また，製作したメタマテリアル構造の光学特性との比較を行った．
Fabrication of antireflection subwavelength gratings at the tips of optical fibers using UV nanoimprint lithography 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　21　(1)　322-328　2013年1月

DOI： 10.1364/OE.21.000322 　

ISSN：1094-4087
MECHANICAL STRENGTHENING OF SILICON TORSION BAR OF MEMS SCANNING MIRROR BY HYDROGEN ANNEAL 査読有り

R. Hajika, S. Yoshida, W. Makishi, Y. Kanamori, S. Tanaka, M. Esashi

26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)　425-428　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474269 　

ISSN：1084-6999
Ultra-low power Si-photonic variable-gap coupler switch with nano-latch mechanism 査読有り

S. Abe, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　904-907　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6626914 　
Transmission width (Q-factor) tunable silicon-photonic micro-ring resonators 査読有り

Mustafa Ordu, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　87-88　2013年

DOI： 10.1109/OMN.2013.6659072 　

ISSN：2160-5033 2160-5041
HYDROGEN ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FRACTURE TOUGHNESS OF SILICON COIL SPRING FOR MECHANICAL ENERGY STORAGE APPLICATION 査読有り

T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka

Proceedings of Power MEMS 2012　279-282　2012年12月2日
Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics for space astronomy 査読有り

Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Kensuke Ishizu, Teppei Moriyama, Makoto Mita, Noriko Y. Yamasaki, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　188　411-416　2012年12月

DOI： 10.1016/j.sna.2012.02.042 　

ISSN：0924-4247
Fabrication of Silicon Microdisk Resonators with Monolithically Integrated Comb-Drive Microactuators 査読有り

Yuichi SATO, Yoshiaki KANAMORI, Kazuhiro HANE

Digest of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　1P-7-96　2012年10月30日
Coupling properties of freestanding silicon nanowire waveguide couplers with a gap-variable mechanism 査読有り

Y. Akihama, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　2B-8-2　2012年10月30日
Flattened Light-Scattering Substrate and Its Application to Thin-Film Silicon Solar Cells 査読有り

Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Michio Kondo

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　51　(10)　10NB07　2012年10月

DOI： 10.1143/JJAP.51.10NB07 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
A numerical study of hybrid plasmonic-dielectric subwavelength gratings for wavelength-selective filters 査読有り

Y. Kanamori, Y. Ohta, T. Ozaki, I. Onishi

Abstracts: IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　B-9-P24-011　2012年9月21日
A Study of MEMS Tunable Metamaterial at Optical Frequencies by Numerical Calculations 査読有り

R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

Abstracts: IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　B-9-O24-018　2012年9月21日
INVESTIGATION OF HYDROGEN-ANNEALING EFFECT ON TORSIONAL STRENGTH OF SI BEAM OF SCANNING MICROMIRROR DEVICE

Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Wataru Makishi, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi

Abstract of The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2012)　ac12000078　2012年7月8日
Numerical study on optical characteristics of tunable metamaterials at optical frequencies with variable capacitance

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract: The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　78-79　2012年6月28日
Microelectromechanical metamaterials for optical communications system

Yoshiaki Kanamori

Abstract: The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　46-47　2012年6月28日
Compound switch consisting of gap-variable silicon nanowire waveguide couplers 査読有り

Y. Akihama, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

Technical Digest - 2012 17th Opto-Electronics and Communications Conference, OECC 2012　875-876　2012年

DOI： 10.1109/OECC.2012.6276674 　
MEMS-based novel X-ray optics for future astronomical missions

Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Takaya Ohashi, Makoto Mita, Yoshitomo Maeda, Kazuhisa Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　87-+　2012年

DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672121 　
Single layer silicon photonic crystal slab 査読有り

Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

PHOTONICS AND NANOSTRUCTURES-FUNDAMENTALS AND APPLICATIONS　10　(1)　146-152　2012年1月

DOI： 10.1016/j.photonics.2011.10.002 　

ISSN：1569-4410

eISSN：1569-4429
SI PHOTONIC NANO-WIRE TUNBLE MICRO-RING RESONATOR COMPOSED OF TRIPLY-LIKED VARIABLE COUPLERS 査読有り

Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　660-663　2012年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170273 　

ISSN：1084-6999
光ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作査読有り

金森義明, 大河内昌章, 羽根一博

日本機械学会論文集（C編）　78　(790)　2225-2233　2012年

DOI： 10.1299/kikaic.78.2225 　

ISSN：0387-5024
MEMS-based novel X-ray optics for future astronomical missions

Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Takaya Ohashi, Makoto Mita, Yoshitomo Maeda, Kazuhisa Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　87-+　2012年

DOI： 10.1109/OMEMS.2012.6318815 　
An improved gap-variable silicon nano-wire waveguide coupler switch

Yasushi Munemasa, Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　111-112　2012年

DOI： 10.1109/OMEMS.2012.6318827 　
Ultra-small silicon waveguide coupler switch using gap-variable mechanism 査読有り

Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　19　(24)　23658-23663　2011年11月

DOI： 10.1364/OE.19.023658 　

ISSN：1094-4087
MEMS Tunable Silicon Nano-Wire Air-Gap Coupling for Coupler Switch and Interferometer

Y. Akihama, T. Ikeda, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of 17th Microoptics Conference (MOC'11)　H-14　2011年10月30日
Variable Gap Silicon Waveguide Directional Coupler Switch

Y.Akihama, Y.Kanamori K.Hane

Digest of Papers: 2011 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)　25B-3-5　2011年10月24日
Nanomechanical Tunable Nanophotonics Devices for Optical Communication Systems

Yoshiaki Kanamori

Abstract of BIT's 1st Annual World Congress of Nano-S&T-2011　1　88　2011年10月23日
Ill-Nitride grating grown on freestanding HfO2 gratings 査読有り

Yongjin Wang, Tong Wu, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

NANOSCALE RESEARCH LETTERS　6　(1)　497-1-497-5　2011年8月

DOI： 10.1186/1556-276X-6-497 　

ISSN：1931-7573
Integration of MEMS Actuators with Nanophotonics: Silicon Submicron-wide Waveguide Switches for Optical-path changes 招待有り

Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Conference Program on The 16th Opto-Electronics and Communications Conference　494-495　2011年7月4日
Silicon submicron waveguide and MEMS tunable optical telecommunication devices 招待有り

Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of International Conference on Micro/Nano Optical Engineering　13-14　2011年6月12日
Investigation of strain sensing effect in modified single-defect photonic crystal nanocavity 査読有り

Bui Thanh Tung, Dzung Viet Dao, Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Susumu Sugiyama

OPTICS EXPRESS　19　(9)　8821-8829　2011年4月

DOI： 10.1364/OE.19.008821 　

ISSN：1094-4087
Freestanding HfO2 grating fabricated by fast atom beam etching 査読有り

Yongjin Wang, Tong Wu, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

NANOSCALE RESEARCH LETTERS　6　(1)　367-1-367-5　2011年4月

DOI： 10.1186/1556-276X-6-367 　

ISSN：1556-276X
Flattened light-scattering substrate in thin film silicon solar cells for improved infrared response 査読有り

Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Michio Kondo

APPLIED PHYSICS LETTERS　98　(11)　113502-1-113502-3　2011年3月

DOI： 10.1063/1.3565249 　

ISSN：0003-6951
Longitudinal strain sensitive effect in a photonic crystal cavity 査読有り

Bui Thanh Tung, Dzung Viet Dao, Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Susumu Sugiyama

EUROSENSORS XXV　25　2011年

DOI： 10.1016/j.proeng.2011.12.335 　

ISSN：1877-7058
Antireflective Subwavelength Gratings on the End Faces of Optical Fibers Fabricated by UV Nanoimprint Lithography 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　65-66　2011年

DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031083 　
Silicon Subwavelength Gratings for Reflective Color Filters with Wide Viewing Angle 査読有り

Toshikazu Ozaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　93-94　2011年

DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031094 　
Measurement of the Taper Angle and X-ray Reflectivity of MEMS-based Silicon Mirrors 査読有り

Tomohiro Ogawa, Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Takaya Ohashi, Yoshiaki Kanamori, Ikuyuki Mitsuishi, Kazuhisa Mitsuda, Hitomi Yamaguchi, Raul Riveros

OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　167-+　2011年

DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031068 　
Smoothing Sidewalls of A MEMS-based Silicon X-ray Optics 査読有り

Teppei Moriyama, Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Takaya Ohashi, Yoshiaki Kanamori, Ikuyuki Mitsuishi, Makoto Mita, Kazuhisa Mitsuda, Akio Maeda

OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　205-+　2011年

DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031043 　
Enhancement of light extraction from freestanding GaN nanocolumn slab with bottom subwavelength nanostructures 査読有り

Y. Wang, F. Hu, Y. Kanamori, T. Wu, K. Hane

APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS　101　(3)　575-581　2010年11月

DOI： 10.1007/s00340-010-4131-6 　

ISSN：0946-2171
Fabrication of antireflective subwavelength gratings on the end faces of single mode optical fibers using UV nanoimprint lithography

Masaaki Okochi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Digest of Papers: 2010 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010)　12D-11-92　2010年10月26日
Ultra light-weight and high-resolution X-ray mirrors using DRIE and X-ray LIGA techniques for space X-ray telescopes 査読有り

Yuichiro Ezoe, Ikuyuki Mitsuishi, Utako Takagi, Masaki Koshiishi, Kazuhisa Mitsuda, Noriko Y. Yamasaki, Takaya Ohashi, Fumiki Kato, Susumu Sugiyama, Raul E. Riveros, Hitomi Yamaguchi, Shinya Fujihira, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　16　(8-9)　1633-1641　2010年8月

DOI： 10.1007/s00542-009-0981-4 　

ISSN：0946-7076
Large area, freestanding GaN nanocolumn membrane with bottom subwavelength nanostructure 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Tong Wu, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　18　(6)　5504-5511　2010年3月

DOI： 10.1364/OE.18.005504 　

ISSN：1094-4087
Phase-shifter using submicron silicon waveguide couplers with ultra-small electro-mechanical actuator 査読有り

Taro Ikeda, Kazunori Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　18　(7)　7031-7037　2010年3月

DOI： 10.1364/OE.18.007031 　

ISSN：1094-4087
Fabrication and characterization of subwavelength nanostructures on freestanding GaN slab 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　18　(3)　2940-2945　2010年2月

DOI： 10.1364/OE.18.002940 　

ISSN：1094-4087
近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作査読有り

金森義明, 灰田周平, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　130　(3)　92-96　2010年

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.92 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
Submicron silicon waveguide Mach-Zehnder interferometer using micro electro-mechanical phase-shifter

T. Ikeda, Y. Kanamori, K. Hane

2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　97-98　2010年

DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672167 　
X-ray imaging test for a single-stage MEMS X-ray optical system

Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Kensuke Ishizu, Teppei Moriyama, Yoshitomo Maeda, Takayuki Hayashi, Takuro Sato, Makoto Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul E. Riveros, Taylor Boggs, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　151-152　2010年

DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672138 　
Narrow-bandwidth tunable bandstop filters with circularly cylindrical self-suspended silicon gratings 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

OPTIK　121　(15)　1389-1394　2010年

DOI： 10.1016/j.ijleo.2009.01.026 　

ISSN：0030-4026
ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作査読有り

金森義明, 大河内昌章, 羽根一博

日本機械学会論文集（C編）　76　(771)　2854-2860　2010年
出版者・発行元：
DOI： 10.1299/kikaic.76.2854 　

ISSN：0387-5024
Fabrication of variable-reflection photonic crystal MEMS filters using subwavelength-grating-embedded substrates

Y. Kanamori, S. Haida, K. Hane

Digest of Papers: 2009 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)　116-117　2009年11月16日
An ultrasmall wavelength-selective channel drop switch using a nanomechanical photonic crystal nanocavity 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Kazunori Takahashi, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　95　(17)　171911-1-171911-3　2009年10月

DOI： 10.1063/1.3254247 　

ISSN：0003-6951
Design and Fabrication of Structural Color Filters with Polymer-Based Guided-Mode Resonant Gratings by Nanoimprint Lithography 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Hiroki Katsube, Tomonobu Furuta, Shoji Hasegawa, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　48　(6)　06FH04　2009年6月

DOI： 10.1143/JJAP.48.06FH04 　

ISSN：0021-4922
Tunable optical filters with nanostructured suspended gratings 査読有り

Jia-Sheng Ye, Takashi Kobayashi, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　27　(3)　1035-1038　2009年5月

DOI： 10.1116/1.3114465 　

ISSN：1071-1023
Spectral Control of Thermal Radiation by Metallic Surface Relief Gratings

Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kengo Watanabe, Hiroo Yugami

Proceedings of Materials Research Society Symposium (2009 MRS Spring Meeting)　1162　1162-J03-01　2009年4月13日
Submicrometer Comb-Drive Actuators Fabricated on Thin Single Crystalline Silicon Layer 査読有り

Kazunori Takahashi, Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS　56　(4)　991-995　2009年4月

DOI： 10.1109/TIE.2008.2006934 　

ISSN：0278-0046
Pitch-variable blazed grating consisting of freestanding silicon beams 査読有り

Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　17　(6)　4419-4426　2009年3月

DOI： 10.1364/OE.17.004419 　

ISSN：1094-4087
Fabrication and characterization of nanoscale resonant gratings on thin silicon membrane 査読有り

Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Jiasheng Ye, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　17　(7)　4938-4943　2009年3月

DOI： 10.1364/OE.17.004938 　

ISSN：1094-4087
Design and fabrication of freestanding pitch-variable blazed gratings on a silicon-on-insulator wafer 査読有り

Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　19　(2)　25019 (7pp)　2009年2月

DOI： 10.1088/0960-1317/19/2/025019 　

ISSN：0960-1317
Fabrication of subwavelength gratings on silicon micro lenses for MEMS scanners at optical communication wavelengths 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Mao Miura, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　129　(4)　120-124　2009年

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.120 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
Light Trapping in Thin-Film μc-Si:H Solar Cells Using Self-Ordered 2D Grating Reflector

Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Michio Kondo

Proceedings of Materials Research Society Symposium (2009 MRS Spring Meeting)　1153　1153-A03-03　2009年

DOI： 10.1557/PROC-1153-A03-03 　

ISSN：0272-9172
Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics

Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Utako Takagi, Makoto Mita, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Fumiki Kato, Susumu Sugiyama, Kouzou Fujiwara, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Shinya Fujihira, Yoshiaki Kanamori, Noriko Y. Yamasaki, Kazuhisa Mitsuda, Ryutaro Maeda

EUV AND X-RAY OPTICS: SYNERGY BETWEEN LABORATORY AND SPACE　7360　73600C-1-73600C-9　2009年

DOI： 10.1117/12.823933 　

ISSN：0277-786X
Connection characteristics of silicon nanowire waveguides and fabrication of physical contact switches

E. Bulgan, Y. Kanamori, K. Hane

TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　505-508　2009年

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285372 　
Pitch-variable MEMS grating with 4-level blazed surface

Y. Wang, Y. Kanamori, K. Hane

TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1345-1348　2009年

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285850 　
精密プレス成形による導光板端面への回折格子の製作査読有り

金森義明, 菱沼知佳, 羽根一博

日本機械学会論文集（C編）　75　(759)　2853-2858　2009年
出版者・発行元：
DOI： 10.1299/kikaic.75.2853 　

ISSN：0387-5024
Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics 査読有り

Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Utako Takagi, Makoto Mita, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Fumiki Kato, Susumu Sugiyama, Kouzou Fujiwara, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Shinya Fujihira, Yoshiaki Kanamori, Noriko Y. Yamasaki, Kazuhisa Mitsuda, Ryutaro Maeda

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　7360　566-569　2009年

DOI： 10.1117/12.823933 　

ISSN：0277-786X
Surface transformation of silicon nanostructures using a developed hydrogen annealing machine and its application to silicon subwavelength gratings

S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　234-235　2008年10月27日
Silicon substrates with antireflection subwavelength gratings for optical communication devices fabricated with nano-particle masks

S. Haida, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　236-237　2008年10月27日
Fabrication of variable drop filters with resonant cavities in photonic crystals using thin comb-drive actuators

Y. Kanamori, K. Takahashi, K. Hane

Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　520-521　2008年10月27日
Fabrication of structural color filters with polymer-based guided-mode resonant gratings by nanoimprint lithography

Y. Kanamori, H. Katsube, T. Furuta, S. Hasegawa, K. Hane

Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　526-527　2008年10月27日
Enhancement of light trapping in thin-film hydrogenated microcrystalline Si solar cells using back reflectors with self-ordered dimple pattern 査読有り

Hitoshi Sai, Hiroyuki Fujiwara, Michio Kondo, Yoshiaki Kanamori

APPLIED PHYSICS LETTERS　93　(14)　143501-1-143501-3　2008年10月

DOI： 10.1063/1.2993351 　

ISSN：0003-6951
A wavelength-selective add-drop switch using silicon microring resonator with a submicron-comb electrostatic actuator 査読有り

Kazunori Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Yasuo Kokubun, Kazuhiro Hane

Optics Express　16　(19)　14421-14428　2008年9月15日
出版者・発行元： Optical Society of America (OSA)
DOI： 10.1364/OE.16.014421 　

ISSN：1094-4087
Resonant-wavelength tuning of a pitch-variable 1-D photonic crystal filter at telecom frequencies 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Naoki Matsuyama, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　20　(13-16)　1136-1138　2008年7月

DOI： 10.1109/LPT.2008.924655 　

ISSN：1041-1135
Fabrication of analog- and digital-modulated pitch-variable gratings using silicon-on-insulator substrates 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kobayashi, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　47　(6)　5274-5277　2008年6月

DOI： 10.1143/JJAP.47.5274 　

ISSN：0021-4922
Development of a compact vacuum- and hydrogen-annealing machine for surface transformation of silicon and its applications to micro-optical devices 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Kenichi Douzono, Shinya Fujihira, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A　26　(3)　365-369　2008年5月

DOI： 10.1116/1.2897317 　

ISSN：0734-2101
Silicon suspended resonant grating filters fabricated from a silicon-on-insulator wafer 査読有り

Jia-Sheng Ye, Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　20　(9-12)　851-853　2008年5月

DOI： 10.1109/LPT.2008.921840 　

ISSN：1041-1135
Submicron silicon waveguide optical switch driven by microelectromechanical actuator 査読有り

Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　92　(10)　101110-1-101110-3　2008年3月

DOI： 10.1063/1.2892677 　

ISSN：0003-6951
1-1 導波モード共鳴格子フィルタを用いた画像分光(第1部門センシング&コンシューマエレクトロニクス&ストレージ)

佐藤博啓, 川上徹, 片桐麦, 内田龍男, 金森義明, 羽根一博

映像情報メディア学会冬季大会講演予稿集　2008　_1-1-1_　2008年
出版者・発行元：一般社団法人映像情報メディア学会
DOI： 10.11485/itewac.2008.0__1-1-1_ 　

ISSN：1343-4357

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In the field which needs to detect only the specific wavelength in an image, the image spectrum system which can change a measurement wavelength continuously is required. In this research, the system which can change a measurement wavelength continuously using GMRG filter was composed, and the image spectrum was performed.
Silicon microring resonator connected with submicorn comb actuator 査読有り

K. Takahashi, Y. Kanamori, K. Hane

2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　23-24　2008年
Theoretical analysis of mechanical-contact-based submicron-Si-waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths 査読有り

Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　128　(3)　80-84　2008年

DOI： 10.1541/ieejsmas.128.80 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
Silicon Self-Suspended Resonant Grating Filters at Telecommunication Wavelength

Jia-Sheng Ye, Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

2008 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS & QUANTUM ELECTRONICS AND LASER SCIENCE CONFERENCE, VOLS 1-9　1598-1599　2008年

DOI： 10.1109/CLEO.2008.4551736 　
Parametric optimization of narrow bandstop optical filters using the self-suspended subwavelength grating for TE polarization 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MODERN OPTICS　55　(10)　1519-1528　2008年

DOI： 10.1080/09500340701721876 　

ISSN：0950-0340
A 100 nm thick InGaN/GaN multiple quantum-well column-crystallized thin film deposited on Si(111) substrate and its micromachining 査読有り

F R Hu, Y Kanamori, K Ochi, Y Zhao, M Wakui, K Hane

Nanotechnology　19　(3)　35305-1-35305-6　2007年12月13日
A micro-displacement encoder using a thin-film resonant photodetector with directional sensitivity 査読有り

Bong-Seok Choi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　9　(11)　1087-1094　2007年11月

DOI： 10.1088/1464-4258/9/11/020 　

ISSN：1464-4258
Micromachined surface emitting dye laser with a self-suspended guided mode resonant grating 査読有り

Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Jia-Sheng Ye, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　9　(10)　940-944　2007年10月

DOI： 10.1088/1464-4258/9/10/026 　

ISSN：1464-4258
Light trapping effect of submicron surface textures in crystalline Si solar cells 査読有り

Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Koji Arafune, Yoshio Ohshita, Masafumi Yamaguchi

PROGRESS IN PHOTOVOLTAICS　15　(5)　415-423　2007年8月

DOI： 10.1002/pip.754 　

ISSN：1062-7995
Design and Fabrication of a Thin-Film Silicon Photodetector with Angular Sensitivity for Optical Micro-Encoder 査読有り

Bongseok Choi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　127　(6)　309-313　2007年6月
出版者・発行元： The Institute of Electrical Engineers of Japan
DOI： 10.1541/ieejsmas.127.309 　

ISSN：1341-8939

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In this paper, we describe a directional thin-film silicon photodetector with the objective of optical micro-encoder application. A directional photodetector with high absorption efficiency at a specific angle of incident light is based on guided-mode resonance (GMR) of subwavelength grating. The sensitive direction is tunable by changing the grating period. Numerical analysis, fabrication and device performance are presented.
Wide-angle antireflection effect of subwavelength structures for solar cells 査読有り

Hitoshi Sai, Homare Fujii, Koji Arafune, Yoshio Ohshita, Yoshiaki Kanamori, Hiroo Yugami, Masafumi Yamaguchi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　46　(6A)　3333-3336　2007年6月

DOI： 10.1143/JJAP.46.3333 　

ISSN：0021-4922
Phase sensitive photodiode based on guided resonant absorption 査読有り

Bong-Seok Choi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　90　(24)　241114-1-241114-3　2007年6月

DOI： 10.1063/1.2749180 　

ISSN：0003-6951
Out-of-plane motion of 260-mn thick guided-mode resonant grating filter controlled by four micro-thermal actuators 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　13　(8-10)　867-872　2007年5月

DOI： 10.1007/s00542-006-0286-9 　

ISSN：0946-7076
Polymer microstructure generated by laser stereo-lithography and its transfer to silicon substrate using reactive ion etching 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Junya Sato, Takeshi Shimano, Shigeo Nakamura, Kazuhiro Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　13　(8-10)　1411-1416　2007年5月

DOI： 10.1007/s00542-007-0380-7 　

ISSN：0946-7076
Rigorous reflectance performance analysis of Si3N4 self-suspended subwavelength gratings 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

OPTICS COMMUNICATIONS　270　(2)　233-237　2007年2月

DOI： 10.1016/j.optcom.2006.09.028 　

ISSN：0030-4018
Photonic crystal waveguide switches with movable slabs 招待有り査読有り

Kazuhiro Hane, Ken-ichi Umemori, Yoshiaki Kanamori

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS　E90C　(1)　51-58　2007年1月

DOI： 10.1093/ietele/e90-c.1.51 　

ISSN：0916-8524

eISSN：1745-1353
Narrow-band tunable optical filters using the self-suspended subwavelength grating 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MODERN OPTICS　54　(6)　827-832　2007年

DOI： 10.1080/09500340601066042 　

ISSN：0950-0340
A displacement sensor based on directional resonant photodetector

B. S. Choi, Y. Kanamori, K. Hane

TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　2　2357-2360　2007年

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300643 　
Mechanical-contact-based submicron-Si-waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths

E. Bulgan, Y. Kanamori, K. Hane

2007 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　93-94　2007年

DOI： 10.1109/OMEMS.2007.4373856 　
Self-supported pitch-variable guided-mode resonant grating filters at telecom wavelengths

Y. Kanamori, N. Matsuyama, J. -S. Ye, K. Hane

2007 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　99-100　2007年

DOI： 10.1109/OMEMS.2007.4373859 　
Fabrication of pitch-variable MEMS gratings using thermal and electrostatic actuators

Y. Kanamori, T. Kobayashi, K. Hane

MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS　380-381　2007年

DOI： 10.1109/IMNC.2007.4456263 　
Subwavelength gratings combined with MEMS 招待有り

K. Hane, J. -S. Ye, Y. Kanamori

IDW '07: PROCEEDINGS OF THE 14TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3　2　1383-1385　2007年
Control of guided resonance in a photonic crystal slab using microelectromechanical actuators 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　90　(3)　031911-1-031911-3　2007年1月

DOI： 10.1063/1.2431452 　

ISSN：0003-6951
Tunable Optical Filters by Using the Self-Suspended Subwavelength Gratings

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

Technical Digest of 5th International Conference of Optics-photonics Design & Fabrication (ODF'06, Nara)　57-58　2006年12月6日
Photonic structure and materials combined with micro/nano-electro-mechanical systems

Kazuhiro Hane, Fang-Ren Hu, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the 1st international workshop on functional materials - 3rd international workshop on nanophysics and nanotechnology conference　575-576　2006年12月6日
Self-supported subwavelength gratings with a broad band of high reflectance analysed by the rigorous coupled-wave method 査読有り

J-S. Ye, Y. Kanamori, F-R. Hu, K. Hane

JOURNAL OF MODERN OPTICS　53　(14)　1995-2004　2006年9月

DOI： 10.1080/09500340600761635 　

ISSN：0950-0340
Fabrication of transmission color filters using silicon subwavelength gratings on quartz substrates 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Masaya Shimono, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　18　(17-20)　2126-2128　2006年9月

DOI： 10.1109/LPT.2006.883208 　

ISSN：1041-1135
Growth of GaN quantum well film on Si substrate and its application to a GaN-Si hybrid lightning device

F .R .Hu, R. Ito, Y. Zhao, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　27-28　2006年8月21日
Movable Guided-Mode Resonant Grating Filters by Four Bimorph Actuators for Wavelength Selective Dynamic Reflection Control

Y. Kanamori, T. Kitani, K. Hane

Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　68-69　2006年8月21日
A photonic crystal waveguide switch with a movable bridge slab

K. Umemori, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　72-73　2006年8月21日
Photonic crystal waveguide switch with a microelectromechanical actuator 査読有り

Ken-ichi Umemori, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　89　(2)　021102-1-021102-3　2006年7月

DOI： 10.1063/1.2219996 　

ISSN：0003-6951
Wavelength selective variable reflection filter driven by micro-thermal actuators

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

Program and Extended Abstracts: 2006 Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006)　S15_03　2006年6月21日
Fabrication of micro-lenses using stereo-lithography and reactive ion etching

Junya Sato, Yoshiaki Kanamori, Takeshi Shimano, Shigeo Nakamura, Kazuhiro Hane

Program and Extended Abstracts: 2006 Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006)　S25_01　2006年6月21日
Antireflective subwavelength structures on crystalline Si fabricated using directly formed anodic porous alumina masks 査読有り

H Sai, H Fujii, K Arafune, Y Ohshita, M Yamaguchi, Y Kanamori, H Yugami

APPLIED PHYSICS LETTERS　88　(20)　201116-1-201116-3　2006年5月

DOI： 10.1063/1.2205173 　

ISSN：0003-6951
Variable optical reflectance of a self-supported Si grating 査読有り

K Hane, T Kobayashi, FR Hu, Y Kanamori

APPLIED PHYSICS LETTERS　88　(14)　141109-1-141109-3　2006年4月

DOI： 10.1063/1.2193989 　

ISSN：0003-6951
Guided-mode resonant grating filter fabricated on silicon-on-insulator substrate 査読有り

Y Kanamori, T Kitani, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　45　(3A)　1883-1885　2006年3月

DOI： 10.1143/JJAP.45.1883 　

ISSN：0021-4922
Tunable guided mode resonant gratings for passive and active devices: Si subwavelength MEMS structures and the combination with GaN film 査読有り

FR Hu, T Kobayashi, K Ochi, BS Choi, Y Zhao, Y Kanamori, K Hane

ICO20: MEM, MOEMS, AND NEMS　6032　2006年

DOI： 10.1117/12.667847 　

ISSN：0277-786X
Influence of temperature-dependent refractive index on thermal radiation from surface gratings - art. no. 61970W 査読有り

Hiroo Yugami, Takahiro Kamikawa, Yoshiaki Kanamori

Photonics for Solar Energy Systems　6197　W1970-W1970　2006年

DOI： 10.1117/12.662760 　

ISSN：0277-786X
A microtranslation table with scratch-drive actuators fabricated from silicon-on-insulator wafer 査読有り

Y Kanamori, H Yahagi, K Hane

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　125　(2)　451-457　2006年1月

DOI： 10.1016/j.sna.2005.06.017 　

ISSN：0924-4247
Design of a thin film photodetector with. angular sensitivity for optical micro-encoder

Bongseok Choi, Yoshiald Kanamori, Kazuhiro Hane

2006 IEEE SENSORS, VOLS 1-3　279-+　2006年

ISSN：1930-0395
Micro/Nano Opt-Mechanical Systems Using Silicon Micromachining Technology

K. Hane, M. Sasaki, Y. Kanamori, F. R. Hu

Proceedings of Nanoengineering Symposium 2005　118-122　2005年10月26日
Anti-Reflective subwavelength structures for crystalline-Si solar cells fabricated by porous alumina mask and fast atom beam etching

H. Sai, K. Tsuji, H. Fujii, K. Arafune, Y. Ohshita, Y. Kanamori, H. Yugami, M. Yamaguchi

Proceedings of 15th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-15)　708-709　2005年10月14日
Surface laser emission from solid polymer dye in a guided mode resonant grating filter structure 査読有り

T Kobayashi, Y Kanamori, K Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　87　(15)　151106-1-151106-2　2005年10月

DOI： 10.1063/1.2081116 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118
Tuning of the thermal radiation spectrum in the near-infrared region by metallic surface microstructures 査読有り

H Sai, Y Kanamori, H Yugami

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(9)　S243-S249　2005年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/9/S12 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Numerical study on spectral properties of tungsten one-dimensional surface-relief gratings for spectrally selective devices 査読有り

H Sai, Y Kanamori, K Hane, H Yugami

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION　22　(9)　1805-1813　2005年9月

DOI： 10.1364/JOSAA.22.001805 　

ISSN：1084-7529
Modified photo-sensors for grating-image type micro-encoder 査読有り

Y Kanamori, R Kamata, M Mitamura, Y Ito, K Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　11　(8-10)　980-986　2005年8月

DOI： 10.1007/s00542-005-0503-y 　

ISSN：0946-7076
Subwavelength structure for anti-reflection in solar cell applications

H. Sai, K. Tsuji, K. Arafune, Y. Ohshita, Y. Kanamori, K. Hane, H. Yugami, M. Yamaguchi

Proceedings of 20th European Photovoltaic Solar Energy Conference　148-151　2005年6月6日
Antireflection sub-wavelength gratings fabricated by spin-coating replication 査読有り

Y Kanamori, E Roy, Y Chen

MICROELECTRONIC ENGINEERING　78-79　287-293　2005年3月

DOI： 10.1016/j.mee.2004.12.039 　

ISSN：0167-9317
Enhanced UV imprint ability with a tri-layer stamp configuration 査読有り

E Roy, Y Kanamori, M Belotti, Y Chen

MICROELECTRONIC ENGINEERING　78-79　689-694　2005年3月

DOI： 10.1016/j.mee.2004.12.086 　

ISSN：0167-9317
Etching submicrometer trenches by using the Bosch process and its application to the fabrication of antireflection structures 査読有り

CL Chang, YF Wang, Y Kanamori, JJ Shih, Y Kawai, CK Lee, KC Wu, M Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(3)　580-585　2005年3月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/3/020 　

ISSN：0960-1317
Studies of integrated variable optical devices fabricated by micro- and nano-machining

Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Proceedings: The 3rd International Symposium on Nanotechnology: JAPAN NANO 2005　82-83　2005年2月21日
Fabrication of soft nanoimprint stamps and polymer subwavelength gratings by spin coating techniques

Y Kanamori, E Roy, Y Chen

Nanophotonics, Nanostructure, and Nanometrology　5635　144-153　2005年

DOI： 10.1117/12.571986 　

ISSN：0277-786X
Soft nanoimprint lithography

Y Chen, E Roy, Y Kanamori, M Belotti, D Decanini

Advanced Microlithography Technologies　5645　283-288　2005年

DOI： 10.1117/12.570745 　

ISSN：0277-786X
Fiber-optical switch using cam-micromotor driven by scratch drive actuators 査読有り

Y Kanamori, Y Aoki, M Sasaki, H Hosoya, A Wada, K Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(1)　118-123　2005年1月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/1/018 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Numerical study on tungsten selective radiators with various micro/nano structures

H Sai, Y Kanamori, K Hane, H Yugami, M Yamaguchi

Conference Record of the Thirty-First IEEE Photovoltaic Specialists Conference - 2005　762-765　2005年

DOI： 10.1109/PVSC.2005.1488244 　

ISSN：0160-8371
GaN film growth on Si substrate for sub-wavelength optical MEMS

FR Hu, K Ochi, BS Choi, Y Kanamori, K Hane

Transducers '05, Digest of Technical Papers, Vols 1 and 2　1　1043-1046　2005年

DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1496634 　
Resonance in a self-supported vacuum grating for tunable optical filters: theoretical approach

Y Kanamori, T Kobayashi, K Hane

2005 PACIFIC RIM CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS　759-760　2005年

DOI： 10.1109/CLEOPR.2005.1569725 　
GaN film grown on Si substrate for monolithic optical MEMS

F. -R. Hu, K. Ochi, B. -S. Choi, Y. Kanamori, K. Hane

Advances in Electronic Packaging 2005, Pts A-C　747-750　2005年
A Surface emitting solid polymer dye laser using a guided mode resonant grating for bio-optical detections

T Kobayashi, Y Kanamori, K Hane

IEEE/LEOS Optical MEMs 2005: International Conference on Optical MEMs and Their Applications　101-102　2005年

DOI： 10.1109/OMEMS.2005.1540097 　
Antireflection Subwavelength Gratings Fabricated on Polymethyl Methacrylate Sheets by Nano-replication Techniques using Spin-coating

Y. Kanamori, E. Roy, Y. Chen

Proceedings of Micro and Nano Engineering 2004　74-75　2004年9月19日
Soft UV nanoimprint lithography for large area pattern replication

E. Roy, Y. Kanamori, M. Belotti, Y. Chen

Proceedings of Micro and Nano Engineering 2004　382-383　2004年9月19日
Pitch-variable Subwavelength Gratings Driven by Comb Actuators

T. Kobayashi, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2004)　198-199　2004年8月22日
Wavelength Selective Variable Reflection Filters Using Movable Guided Mode Resonance Gratings

Y. Kanamori, T. Kitani, K. Hane

Proceedings of IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2004)　204-205　2004年8月22日
Thermophotovoltaic power generation with microstructured tungsten selective emitters

H. Sai, T. Kamikawa, Y. Kanamori, M. Yamaguchi, H. Yugami

Preprints for the 19th European Photovoltaic Solar Energy Conference　49-52　2004年6月7日
A new method for fabrication nano-porous aluminum grating array 査読有り

Y Li, Y Kanamori, K Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　10　(4)　272-274　2004年5月

DOI： 10.1007/s00542-003-0303-1 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858
光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

年次大会講演資料集　2004　466-467　2004年
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
DOI： 10.1299/jsmemecjsm.2004.8.0_466 　
Thermophotovoltaic generation with microstructured tungsten selective emitters

H Sai, T Kamikawa, Y Kanamori, K Hane, H Yugami, M Yamaguchi

THERMOPHOTOVOLTAIC GENERATION OF ELECTRICITY　738　206-214　2004年

ISSN：0094-243X
Selective emitters for thermophotovoltaic generation by means of metallic surface microstructures

Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Hiroo Yugami

Technical Digest: The Third International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications - PowerMEMS 2003　118-121　2003年12月4日
Spectral control of thermal radiation by two-dimensional surface grating structures

Hiroo Yugami, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of The International Symposium on Micro-Mechanical Engineering - Heat Transfer, Fluid Dynamics, Reliability and Mechatronics　2003　157-162　2003年12月1日
出版者・発行元：日本機械学会

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Spectral control of thermal radiation has been investigated for high efficiency energy conversion systems. This technique has been applied for selective emitters of thermophotovoltaic (TPV) power generation systems. In this study, the spectral absorptance and emittance of W surface gratings with short periodicity corresponding to the VIS to NIR wavelengths has been investigated to develop spectrally selective devices. Numerical calculations based on rigorous coupled-wave analysis have been performed to evaluate the grating parameters. Two kinds of W surface gratings composed by microcavities have been fabricated by fast atom beam etching with two different lithography techniques. These gratings have shown strong absorption of emission due to the surface microstructures in the VIS to NIR region, whereas their reflectance in the IR region is kept at a high level. Their high thermal stability is confirmed from heating tests under vacuum or reduced atmospheres. Physical aspect of the interaction of electromagnetic wave with lossy gratings has been also discussed briefly.
Subwavelength Gratings and Optical MEMS

K. Hane, Y. Kanamori

Proceedings of The Second Japan-Taiwan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering　85-91　2003年10月17日
Control of thermal radiation spectrum by means of surface nano-scale gratings

Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Hiroo Yugami

Proceedings of The Second Japan-Taiwan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering　104-111　2003年10月17日
光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan　54　(10)　640-643　2003年10月1日
出版者・発行元： The Surface Finishing Society of Japan
DOI： 10.4139/sfj.54.640 　

ISSN：0915-1869
Solar selective absorbers based on two-dimensional W surface gratings with submicron periods for high-temperature photothermal conversion 査読有り

H Sai, H Yugami, Y Kanamori, K Hane

SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS　79　(1)　35-49　2003年8月

DOI： 10.1016/S0927-0248(02)00364-1 　

ISSN：0927-0248
Development of grating-image type micro-encoder by Si Micromachining: improvement of integration and zero-point detection

Y. Kanamori, R. Kamata, M. Mitamura, Y. Ito, K. Hane

Proceedings of the 2003 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment　(03-208)　257-258　2003年6月16日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

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Integration of a grating-imaging-type encoder is proposed and the sensor for the encoder has been fabricated using Si micromachining technology. The sensor consists of the Si grids and line photodiodes. The Si grids work as the object grating The incoherent light emission through the Si grids and the light detection with the line photodiodes make the optical system compact. Moreover, the photodiode array based on the M-series arrangement is also installed on the same substrate for zero-point detection.
Nano/micro-technologies for high density data-storage and optical applications

Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the 2003 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment　2003　(03-208)　W-24-W-28　2003年6月16日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

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Data-storage using near-field optical microscopy is a promising technology for the breakthrough of high-density optical disk memory since wavelength limit of conventional lens-optics is not applied. We have proposed a MEMS for the near-field optical data storage, which consists of integrated optical micro-probes and a micro media-translation-table. In the first part of the presentation, three-dimensional lithography based on the bulk micromachining using resist spray coater is described. Secondly, we describe the integration of waveguide, micro-pinhole tip, cantilever, and photodiode for a MEMS probe. The media-translation-table consisting of the inverted scratch drive actuators is also described.
Pattern transfer of self-ordered structure with diamond mold 査読有り

Takahito Ono, Chihiro Konoma, Hidetoshi Miyashita, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　42　(6 B)　3867-3870　2003年6月

DOI： 10.1143/JJAP.42.3867 　

ISSN：0021-4922
Subwavelength antireflection gratings for GaSb in visible and near-infrared wavelengths 査読有り

Y Kanamori, K Kobayashi, H Yugami, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　42　(6B)　4020-4023　2003年6月

DOI： 10.1143/JJAP.42.4020 　

ISSN：0021-4922
Fabrication of high-accuracy microtranslation table for near-field optical data storage actuated by inverted scratch-drive actuators 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Hiroto Yahagi, Takahito Ono, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　42　(6 B)　4074-4078　2003年6月

DOI： 10.1143/jjap.42.4074 　

ISSN：0021-4922
Optical MEMS technology for high-density optical storage

K. Hane, M. Sasaki, Y. Kanamori

Proceedings of OSA Optical Data Storage　256-258　2003年5月11日
Spectrally selective thermal radiators and absorbers with periodic microstructured surface for high-temperature applications 査読有り

H Sai, H Yugami, Y Kanamori, K Hane

MICROSCALE THERMOPHYSICAL ENGINEERING　7　(2)　101-115　2003年4月

DOI： 10.1080/10893950390203305 　

ISSN：1089-3954
High-temperature resistive surface grating for spectral control of thermal radiation 査読有り

H Sai, Y Kanamori, H Yugami

APPLIED PHYSICS LETTERS　82　(11)　1685-1687　2003年3月

DOI： 10.1063/1.1560867 　

ISSN：0003-6951
Silicon optical MEMS: Three dimentional micromachining and integration 査読有り

K Hane, M Sasaki, Y Kanamori

MAGNETIC MATERIALS, PROCESSES, AND DEVICES VII AND ELECTRODEPOSITION OF ALLOYS, PROCEEDINGS　2002　(27)　229-237　2003年
Spectrally selective emitters with deep rectangular cavities fabricated with fast atom beam etching

H Sai, Y Kanamori, H Yugami

THERMOPHOTOVOLTAIC GENERATION OF ELECTRICITY　653　155-163　2003年

ISSN：0094-243X
A Broadband antireflection for GaSb by means of subwavelength grating (SWG) structures

H Yugami, K Kobayashi, H Sai, Y Kanamori, K Hane

THERMOPHOTOVOLTAIC GENERATION OF ELECTRICITY　653　482-487　2003年

ISSN：0094-243X
Spectral and thermal properties of tungsten selective emitters with rectangular microcavities for thermophotovoltaic generations

H Sai, Y Kanamori, H Yugami

PROCEEDINGS OF 3RD WORLD CONFERENCE ON PHOTOVOLTAIC ENERGY CONVERSION, VOLS A-C　208-211　2003年
Optical components and actuators for integrated near-field optical data storage

K Hane, Y Kanamori, M Sasaki, JH Song

SMART SENSORS, ACTUATORS, AND MEMS, PTS 1 AND 2　5116　197-204　2003年

DOI： 10.1117/12.498885 　

ISSN：0277-786X
Photonic crystal switch by inserting nano-crystal defects using MEMS actuator

Y Kanamori, K Inoue, K Horie, K Hane

2003 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS　107-108　2003年

DOI： 10.1109/OMEMS.2003.1233489 　
Driving of optical fiber by surface-micromachined CAM-micromotor for the applications to variable optical attenuator

Y Kanamori, Y Aoki, M Sasaki, H Hosoya, A Wada, K Hane

2003 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS　119-120　2003年

DOI： 10.1109/OMEMS.2003.1233495 　
Broadband antireflection subwavelength gratings for polymethyl methacrylate fabricated with molding technique 査読有り

Y Kanamori, K Hane

OPTICAL REVIEW　9　(5)　183-185　2002年9月

DOI： 10.1007/s10043-002-0183-0 　

ISSN：1340-6000
High efficient light-emitting diodes with antireflection subwavelength gratings 査読有り

Y Kanamori, M Ishimori, K Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　14　(8)　1064-1066　2002年8月

DOI： 10.1109/LPT.2002.1021970 　

ISSN：1041-1135
Subwavelength antireflection gratings for light emitting diodes and photodiodes fabricated by fast atom beam etching 査読有り

M Ishimori, Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　41　(6B)　4346-4349　2002年6月

DOI： 10.1143/JJAP.41.4346 　

ISSN：0021-4922
Spectrally selective radiators and absorbers with periodic microstructured surface for high temperature applications

Hitoshi Sai, Hiroo Yugami, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: International Symposium on Micro/Nanoscale Energy Conversion and Transport　55-57　2002年4月14日
Subwavelength antireflection structure for optical detector fabricated by fast atom beam etching

Y Kanamori, M Ishimori, K Hane

MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS　4928　27-34　2002年

ISSN：0277-786X
Micro-translation-table for near-field data storage using inverted-scratch-drive-actuators

Y Kanamori, H Yahagi, M Sasaki, T Ono, K Hane

MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS　4928　35-42　2002年

ISSN：0277-786X
Fabrication of diamond mold for imprint lithography

C. Konoma, T. Ono, H. Miyashita, Y. Kanomori, M. Esashi

2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　164-165　2002年

DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178595 　
Subwavelength antireflection gratings for photovoltaic cells in visible and near-infrared wavelengths

Y. Kanamori, K. Kobayashi, H. Yugami, K. Hane

2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　182-183　2002年
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178604 　
Fabrication of high accuracy micro-translation-table for near-field optical data storage actuated by inverted-scratch-drive-actuators

Y. Kanamori, H. Yahagi, T. Ono, M. Sasaki, K. Hane

2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　306-307　2002年

DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178665 　
Spectral control of thermal emission by periodic microstructured surfaces in the near-infrared region 査読有り

H Sai, H Yugami, Y Akiyama, Y Kanamori, K Hane

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION　18　(7)　1471-1476　2001年7月

ISSN：0740-3232
Spectral control of thermal emission by periodic microstructured surfaces in the near-infrared region 査読有り

Hitoshi Sai, Hiroo Yugami, Yasuhiro Akiyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision　18　(7)　1471-1476　2001年

DOI： 10.1364/JOSAA.18.001471 　

ISSN：1520-8532 1084-7529
100 nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask 査読有り

Y Kanamori, K Hane, H Sai, H Yugami

APPLIED PHYSICS LETTERS　78　(2)　142-143　2001年1月

DOI： 10.1063/1.1339845 　

ISSN：0003-6951
Sub-wavelength stucture for anti-reflection fabricated by fast atom beam etching

K Hane, Y Kanamori

CLEO(R)/PACIFIC RIM 2001, VOL I, TECHNICAL DIGEST　I　186-187　2001年
Subwavelength antireflection gratings for light emitting diodes and photodiodes fabricated by fast atom beam etching

M Ishimori, Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2001, DIGEST OF PAPERS　198-199　2001年
Broadband antireflection gratings for glass substrates fabricated by fast atom beam etching 査読有り

Y Kanamori, H Kikuta, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS　39　(7B)　L735-L737　2000年7月

DOI： 10.1143/jjap.39.L735 　

ISSN：0021-4922
Surface microstructured selective emitters for TPV systems

H Sai, H Yugami, Y Akiyama, Y Kanamori, K Hane

CONFERENCE RECORD OF THE TWENTY-EIGHTH IEEE PHOTOVOLTAIC SPECIALISTS CONFERENCE - 2000　1016-1019　2000年

DOI： 10.1109/PVSC.2000.916058 　

ISSN：0160-8371
Broadband antireflection gratings fabricated upon silicon substrates 査読有り

Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

OPTICS LETTERS　24　(20)　1422-1424　1999年10月

DOI： 10.1364/OL.24.001422 　

ISSN：0146-9592
Antireflection structures for visible and infrared wavelengths fabricated on silicon substrates by fast atom beam etching

Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

OPTICAL ENGINEERING FOR SENSING AND NANOTECHNOLOGY (ICOSN'99)　3740　484-487　1999年

ISSN：0277-786X
High aspect-ratio two-dimensional silicon subwavelength gratings fabricated by fast atom beam etching

Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

MICROMACHINING AND MICROFABRICATION PROCESS TECHNOLOGY V　3874　345-354　1999年

ISSN：0277-786X
Efficiencies of photovoltaic cell receivers for laser power transmission under the lunar environment

H.Yugami, Y.Kanamori, H. Naito, H. Itagaki

Proceedings of 33rd Intersociety Energy Conversion Engineering Conference　(IECEC-98-378)　1998年8月2日
Development of indirect solar pumped laser driven by PV cells

Yoshiaki Kanamori, Hiroo Yugami, Hitoshi Naito, Haruo Arashi

Proceedings of ISES 1997 Solar World Congress　2　253-259　1997年8月24日
Field experiment of laser energy transmission and laser to electric conversion

H Yugami, Y Kanamori, H Arashi, M Niino, A Moro, K Eguchi, Y Okada, A Endo

IECEC-97 - PROCEEDINGS OF THE THIRTY-SECOND INTERSOCIETY ENERGY CONVERSION ENGINEERING CONFERENCE, VOLS 1-4　1　625-630　1997年

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MISC 85

THzメタマテリアル及びTHz部品への応用について招待有り

金森義明

オプトニューズ　20　(2)　3-1(1)-3-1(5)　2025年7月23日
人工光学物質「メタマテリアル」を用いた光デバイス開発～自在な屈折率を実現する三次元バルクメタマテリアル、スマホの電波を透過して熱を反射する遮熱メタマテリアル～招待有り

金森義明

翠巒　39　11-14　2025年1月27日
メタマテリアルが可能にする光デバイス開発招待有り

金森義明

OPTRONICS　43　(514)　112-116　2024年10月10日
三次元バルクメタマテリアル招待有り

金森義明

粉体技術　16　(6)　49-52　2024年6月1日
地球磁気圏X線撮像衛星GEO-Xの現状

江副祐一郎, 船瀬龍, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 中嶋大, 三石郁之, 布施綾太, 川端洋輔, BODEN Ralf C., 中島晋太郎, KAMPS Landon, 信原佑樹, 平井翔太, 石川久美, 沼澤正樹, 佐藤佑樹, 萩野浩一, 松本洋介, 細川敬祐, 伊師大貴, 米山友景, 上野宗孝, 山崎敦, 長谷川洋, 三田信, 三谷烈史, 藤本正樹, 川勝康弘, 岩田隆浩, 満田和久, 平賀純子, 笠原慧, 小泉宏之, 佐原宏典, 金森義明, 森下浩平

日本天文学会年会講演予稿集　2024　2024年

ISSN： 1347-0639
地球磁気圏X線撮像計画GEO-X(GEOspace X-ray imager)の現状 V

中嶋大, 江副祐一郎, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 沼澤正樹, 石川久美, 萩野浩一, 三石郁之, KAMPS Landon, 川端洋輔, 布施綾太, BODEN Ralf, 三谷烈史, 米山友景, 中島晋太郎, 上野宗孝, 山崎敦, 長谷川洋, 三田信, 藤本正樹, 川勝康弘, 岩田隆浩, 松本洋介, 細川敬祐, 平賀純子, 満田和久, 小泉宏之, 笠原慧, 佐原宏典, 金森義明, 森下浩平

日本天文学会年会講演予稿集　2023　2023年

ISSN： 1347-0639
1.2.3.1節テラヘルツ分野のメタマテリアル招待有り

金森義明

2021年度光技術動向調査報告書　5-8　2022年3月
６G通信に向けたテラヘルツ波の制御～透過性と位相を変えられるメタマテリアルの開発～招待有り

金森義明

Material Stage　21　(10)　84-87　2022年1月10日
メタマテリアル光学センサ招待有り

岡谷泰佑, 金森義明

化学と教育　69　(12)　532-535　2021年12月20日
出版者・発行元：公益社団法人日本化学会
DOI： 10.20665/kakyoshi.69.12_532 　

ISSN： 0386-2151

eISSN： 2424-1830

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メタマテリアルは光の波長よりも小さな構造を人工的に作製・配置することで，光と物質の相互作用を自在に制御できる人工光学物質である。筆者らはメタマテリアルを応用した各種センサ開発に取り組んできた。本稿では，メタマテリアルの基本的な作製方法と，メタマテリアルを応用した光学センサの例として，筆者らが開発した高感度なバイオセンサおよび力覚センサについて解説する。
シリコンナノ微小球による誘電体メタマテリアル招待有り

金森義明

FCレポート　39　(2)　66-70　2021年4月
研究室だより：東北大学大学院工学研究科ロボティクス専攻金森・岡谷研究室招待有り

金森義明

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　140　(7)　NL7_2-NL7_2　2020年7月1日
出版者・発行元：電気学会
DOI： 10.1541/ieejsmas.140.nl7_2 　

ISSN： 1341-8939

eISSN： 1347-5525
メタマテリアルを用いた高感度バイオセンサとDNA検出への適用招待有り

金森義明

アグリバイオ　3　(14)　44-46　2019年12月
高感度バイオ・ケミカルセンシングを実現するメタマテリアル招待有り

金森義明

アグリバイオ　3　(7)　82-84　2019年7月
メタマテリアルを用いた高感度バイオ・ケミカルセンサ招待有り

金森義明

アグリバイオ　2　(10)　61-63　2018年8月
サブ波長格子を用いたTHz波用Si反射防止構造の製作 (マイクロマシン・センサシステム研究会マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

小杉厚貴, 金森義明, 羽根一博, 南出泰亜

電気学会研究会資料. MSS　2017　(1)　5-8　2017年6月29日
出版者・発行元：電気学会
総論：光操作技術の限界を打ち破る

金森義明

電気学会誌　137　(6)　344-345　2017年6月1日
出版者・発行元：電気学会
DOI： 10.1541/ieejjournal.137.344 　

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<p>1．はじめに</p><p>メタマテリアルやプラズモニクス構造は，入射波長よりも小さなサブ波長構造で構成され，微細加工技術を駆使して実現される新しい人工光学材料である。メタマテリアル・プラズモニクス構造のもつユニークな電磁波モードと入射波との相互作用により，これまでの光操作技術の限界</p>
「メタマテリアル・プラズモニクス」－特集号によせて－

金森義明

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　349-349　2017年
出版者・発行元：電気学会
DOI： 10.1541/ieejsmas.137.349 　

ISSN： 1347-5525 1341-8939
金属・誘電体・金属構造の非対称型ダブルバーメタマテリアルの製作と光学特性 (フィジカルセンサマイクロマシン・センサシステム合同研究会メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成)

大久保藍, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. PHS　2016　(58)　31-34　2016年12月19日
出版者・発行元：電気学会
金属・誘電体・金属構造の非対称型ダブルバーメタマテリアルの製作と光学特性 (フィジカルセンサマイクロマシン・センサシステム合同研究会メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成)

大久保藍, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. MSS　2016　(27)　31-34　2016年12月19日
出版者・発行元：電気学会
MEMS駆動光メタマテリアルによるファノ共鳴スペクトル制御 (フィジカルセンサマイクロマシン・センサシステム合同研究会メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成)

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. PHS　2016　(58)　21-25　2016年12月19日
出版者・発行元：電気学会
フォトダイオード一体型誘電体光メタ表面による色度選択光検出

江間大祐, 金森義明, 羽根一博

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　33　1-4　2016年10月2日
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
Fabrication of transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes (フィジカルセンサケミカルセンサマイクロマシン・センサシステムバイオ・マイクロシステム合同研究会 APCOT合同セッション)

Shimizu Tomoki, Sai Hitoshi, Kanamori Yoshiaki, Hane Kazuhiro

電気学会研究会資料. PHS　2016　(18)　21-25　2016年6月29日
出版者・発行元：電気学会
「メタマテリアル・プラズモニクス」－特集号によせて－

金森義明

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　135　(11)　401-401　2015年11月1日
出版者・発行元：電気学会
DOI： 10.1541/ieejsmas.135.401 　

ISSN： 1347-5525 1341-8939
対称構造からなる光メタマテリアルにおける高Q値共鳴

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　76th　ROMBUNNO.15A-2G-10　2015年8月31日
多重Fano共鳴をもつ光メタマテリアルの製作と評価

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料　MSS-15　(15-34)　83-87　2015年7月3日
マイクロマシニングによる広視野角なRGB構造色材料の製作

金森義明

化学工業　66　(4)　35-41　2015年4月1日
出版者・発行元：化学工業社
ISSN： 0451-2014
光領域で動作するメタマテリアルの作製＝光メタマテリアルを用いた擬似電磁誘起透明化と光通信用減衰器＝

金森義明

光アライアンス　26　(3)　24-28　2015年3月1日
出版者・発行元：日本工業出版
ISSN： 0917-026X
A simple method to prevent reflection at optical fiber interfaces

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

SPIE Newsroom　2015年2月12日
出版者・発行元： SPIE
DOI： 10.1117/2.1201502.005774 　
光メタマテリアルにおけるFano共鳴特性の密度依存性

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　69th (CD-ROM)　ROMBUNNO.5aA02　2014年12月4日
マイクロマシニングによる光メタマテリアルの製作

金森義明

OPTRONICS　33　(392)　65-69　2014年8月10日
出版者・発行元：株式会社オプトロニクス社
近赤外域にFano共鳴をもつ光メタマテリアルの作製とQ値解析

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料　MSS-14　(1-4.6-23)　57-60　2014年5月27日
生物の持つ表面微細構造を応用した光制御

金森義明

セラミックス　49　(5)　376-379　2014年5月1日
出版者・発行元：公益社団法人日本セラミックス協会
ISSN： 0009-031X
利得媒質による光メタマテリアル共鳴のQ値向上に関する数値解析

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　61st　ROMBUNNO.17P-E16-8　2014年3月3日
近赤外域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と光学異方性の評価

穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　69th (CD-ROM)　2014年
103 XeF_2ガスエッチングと水素アニールによるシリコンマイクロレンズの製作

菅原寿紘, 阿部洋輔, 穂苅遼平, 吉田優樹, 佐々木敬, 金森義明, 羽根一博

東北支部総会・講演会講演論文集　2014　(0)　7-8　2014年
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
DOI： 10.1299/jsmeth.2014.49.7 　
可動シリコン導波路を用いたディスク型光共振器の結合効率制御

金森義明, 佐藤裕一, 羽根一博

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2013　(1)　5-9　2013年8月8日
近赤外域における擬似電磁誘起透明化メタマテリアルの製作

穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2013　(1)　11-14　2013年8月8日
164 静電マイクロアクチュエータを用いたシリコン細線光導波路型カプラースィッチの機械特性(マイクロ・ナノ工学I,一般講演)

宗正康, 金森義明, 羽根一博

講演論文集　2013　(48)　130-131　2013年3月15日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
水素アニールによる微細加工されたシリコン構造体の表面平滑化とねじり破壊強度へ与える影響の調査

羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 田中秀治, 江刺正喜

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演予稿集　29　57-62　2012年10月22日
将来衛星に向けた超軽量,高分解能MEMS光学系の基礎開発(5)

垣内巧也, 江副祐一郎, 森山鉄平, 小川智弘, 大橋隆哉, 三石郁之, 満田和久, 洞出光洋, 杉山進, RIVEROS Raul, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　73rd　ROMBUNNO.12A-C3-9　2012年8月27日
マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価

宗正康, 秋浜祐太, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2012　(1)　39-41　2012年6月11日
水素アニールによるラフネス低減における雰囲気依存性

阿部洋輔, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2012　(1)　25-28　2012年6月11日
水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響

羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 江刺正喜

第５９回応用物理学関係連合講演会講演予稿集　59　22-035-22-035　2012年3月15日
マイクロマシン技術を用いた超軽量・高角度分解能X線光学系の開発と現状

小川智弘, 江副祐一郎, 森山鉄平, 垣内巧也, 大橋隆哉, 満田和久, 三石郁之, 洞出光洋, 杉山進, 山口ひとみ, RIVEROS Raul E, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 青木竜彦

日本物理学会講演概要集　67　(1)　143-143　2012年3月5日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
将来衛星に向けた超軽量,高分解能MEMS光学系の基礎開発(4)

垣内巧也, 江副祐一郎, 森山鉄平, 小川智弘, 大橋隆哉, 三石郁之, 満田和久, 洞出光洋, 杉山進, RIVEROS Raul, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　59th　ROMBUNNO.18A-B5-11　2012年2月29日
Progress with MEMS X-ray micro pore optics 査読有り

Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Takaya Ohashi, Ikuyuki Mitsuishi, Kazuhisa Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul E. Riveros, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

SPACE TELESCOPES AND INSTRUMENTATION 2012: ULTRAVIOLET TO GAMMA RAY　8443　2012年

DOI： 10.1117/12.925811 　

ISSN： 0277-786X
MEMS可動型シリコン細線カプラー導波路スイッチ

羽根一博, 金森義明, 池田太郎, 秋浜祐太

光技術コンタクト　49　(8)　4-8　2011年8月20日
出版者・発行元：社団法人日本オプトメカトロニクス協会
ISSN： 0913-7289
水素アニールによるSiエッチング加工面のラフネス低減

佐藤裕一, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2011　(1)　43-46　2011年7月1日
サブ波長構造による構造色利用反射型3原色カラーフィルタの製作

尾崎俊和, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2011　(1)　51-54　2011年7月1日
CI-1-5 MEMSデバイスを用いた光路切り替えスイッチ(CI-1.ナノフォトニクス技術のアクションアイテムズ,依頼シンポジウム,シンポジウムセッション)

羽根一博, 金森義明

電子情報通信学会総合大会講演論文集　2011　(1)　"SS-9"-"SS-10"　2011年2月28日
出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会
Progress on the Magnetic Field-assisted Finishing of MEMS Micropore X-ray Optics 査読有り

Raul E. Riveros, Michael A. Tan, Hitomi Yamaguchi, Ikuyuki Mitsuishi, Kensuke Ishizu, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Yuichiro Ezoe, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Yoshiaki Kanamori, Noriko Yamasaki, Kasuhiza Mitsuda

OPTICS FOR EUV, X-RAY, AND GAMMA-RAY ASTRONOMY V　8147　2011年

DOI： 10.1117/12.892978 　

ISSN： 0277-786X
将来衛星に向けた超軽量,高分解能MEMS光学系の基礎開発(3)

石津健佑, 江副祐一郎, 三石郁之, 石川久美, 森山鉄平, 満田和久, 大橋隆哉, 洞出光洋, 杉山進, RIVEROS Raul, BOGGS Taylor, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　71st　ROMBUNNO.15A-ZT-11　2010年8月30日
生物微細構造を模したナノ機械・微細構造による光制御

金森義明

光学　39　(7)　306-312　2010年7月10日
出版者・発行元：（社）応用物理学会
ISSN： 0389-6625
光通信用シリコン導波路MEMS (特集光で/を動かす技術)

羽根一博, 金森義明

O plus E　32　(5)　560-563　2010年5月
出版者・発行元：アドコム・メディア
ISSN： 0911-5943
構造色を利用したカラーフィルターの開発

金森義明

月刊ディスプレイ　15　(3)　32-39　2009年3月1日
出版者・発行元：株式会社テクノタイムズ社
ISSN： 1341-3961
光通信用ナノマシン

羽根一博, 金森義明, 高橋一法

OPTRONICS　27　(319)　153-158　2008年7月10日
出版者・発行元：株式会社オプトロニクス社
ISSN： 0286-9659
シリコン光MEMS

羽根一博, 金森義明

OPTRONICS　(11)　159-163　2007年11月
高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

精密工学会誌　73　(9)　980-983　2007年9月1日
出版者・発行元：公益社団法人精密工学会
DOI： 10.2493/jjspe.73.980 　

ISSN： 0912-0289
ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作

高橋一法, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2007　(1)　11-14　2007年7月3日
Evaluation of Mechanical-Contact-Based Submicron-Si-Waveguide Optical Switch Performance

BULGAN Erdal, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2007　(1)　57-61　2007年7月3日
光通信デバイスのためのMEMS

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

光技術コンタクト　45　(3)　120-125　2007年3月20日
出版者・発行元：社団法人日本オプトメカトロニクス協会
ISSN： 0913-7289
Numerical analysis and demonstration of submicron antireflective textures for crystalline silicon solar cells

Hitoshi Sai, Homare Fujii, Yoshiaki Kanamori, Koji Arafune, Yoshio Ohshita, Hiroo Yugami, Masafumi Yamaguchi

CONFERENCE RECORD OF THE 2006 IEEE 4TH WORLD CONFERENCE ON PHOTOVOLTAIC ENERGY CONVERSION, VOLS 1 AND 2　1　1191-1194　2006年

DOI： 10.1109/WCPEC.2006.279394 　
MEMSアクチュエータによる周期可変共鳴格子

金森義明, 羽根一博

OPTRONICS　24　(288)　71-76　2005年12月10日
出版者・発行元：株式会社オプトロニクス社
ポーラスアルミナをマスクとした反射防止サブ波長構造のSi太陽電池への応用

斎均, 辻幸介, 藤井誉, 新船幸二, 大下祥雄, 金森義明, 湯上浩雄, 山口真史

応用物理学会学術講演会講演予稿集　66th　(3)　1298　2005年9月7日
シリコンマイクロマシニングと集積化技術

佐々木実, 金森義明, 羽根一博

ケミカルエンジニヤリング　50　(9)　731-735　2005年9月
出版者・発行元：化学工業社
ISSN： 0387-1037
サブ波長格子：バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ

金森義明, 羽根一博

応用物理　74　(7)　935-938　2005年7月10日
出版者・発行元：社団法人応用物理学会
ISSN： 0369-8009
集積型光エンコーダの開発 : 間隙不感型光学系の設計とセンサの製作

崔峯碩, 金森義明, 羽根一博

電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会　2005　(1)　33-36　2005年6月22日
522 静電アクチュエータを用いた可変スラブによるフォトニック結晶光スイッチの製作(ロボティクス,2.学術講演)

梅森謙一, 金森義明, 羽根一博

講演論文集　2005　(40)　226-227　2005年3月15日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
回折格子表面からの熱放射スペクトルへの複素屈折率温度依存性の影響(熱工学I-2)

神川卓大, 齋均, 金森義明, 湯上浩雄

日本機械学会東北支部秋季講演会講演論文集　2004　(40)　135-136　2004年9月17日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
306 波長選択性熱放射素子を用いた共鳴振動励起によるメタン水蒸気改質の高効率化に関する研究(学生賞II)

佐々木貴志, 金森義明, 湯上浩雄

講演論文集　2004　(39)　102-103　2004年3月13日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
光マイクロマシンと集積化

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

精密工学会春季大会. シンポジウム資料　2004　26-30　2004年3月1日
MEMS技術による光学システムの集積化 =集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて=

佐々木実, 羽根一博, 金森義明

光アライアンス　15　(6)　1-5　2004年1月
出版者・発行元：日本工業出版
光 MEMS の情報デバイスへの展開

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

映像情報メディア学会技術報告　27　(36)　1-4　2003年6月27日
出版者・発行元：映像情報メディア学会
ISSN： 1342-6893
光でつくるマイクロ・ナノ機械：光リソグラフィによる立体加工

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

光技術コンタクト　41　(6)　340-346　2003年6月
出版者・発行元：社団法人日本オプトメカトロニクス協会
Broadband antireflection for III-V semiconductors by subwavelength surface grating structures

H Yugami, Y Kanamori, K Kobayashi, K Hane

PROCEEDINGS OF 3RD WORLD CONFERENCE ON PHOTOVOLTAIC ENERGY CONVERSION, VOLS A-C　C　2710-2713　2003年
表面微細構造を利用した太陽光選択吸収材料の高温熱安定性

齋均, 湯上浩雄, 金森義明

太陽/風力エネルギー講演論文集 = Proceedings of JSES/JWEA Joint Conference　2002　189-192　2002年11月7日
出版者・発行元：日本太陽エネルギー学会
1515 周期的表面微細構造による高融点金属からの熱放射スペクトル制御

湯上浩雄, 齋均, 金森義明, 羽根一博

年次大会講演論文集 : JSME annual meeting　2002　(4)　29-30　2002年9月20日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
DOI： 10.1299/jsmemecjo.2002.4.0_29 　

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Control of optical properties of materials has been investigated for efficient thermal energy utilization. Applying the resonant effect between periodic microstructured surface structure and photons, the spectrally selective thermal radiation surface, this is so-called selective emitter, is made on Si and high temperature metals by means of micro-machining techniques. These selective emitters can be applied to Solar thermophotovoltaic systems selective solar absorber, and sky radiator etc. Thermal radiation spectra of the emitters are measured at high temperatures and selective emission due to the surface microstructures is clearly observed. Numerical calculations based on rigorous coupled-wave analysis (RCWA) are also performed to predict spectral properties of the emitters.
高速原子ビームエッチングによるナノメートル無反射構造の作製

金森義明, 羽根一博

O plus E　24　(1)　53-59　2002年1月
出版者・発行元：新技術コミュニケーションズ
ISSN： 0911-5943
サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性

金森義明, 石杜昌弘, 佐々木実, 羽根一博

電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会　2001　(1)　21-26　2001年11月21日
サブミクロン周期の表面微細構造を有する太陽光選択吸収材料の研究

齋均, 湯上浩雄, 金森義明, 羽根一博

太陽/風力エネルギー講演論文集 = Proceedings of JSES/JWEA Joint Conference　2001　383-386　2001年11月8日
出版者・発行元：日本太陽エネルギー学会
光と周期的表面構造との共鳴効果を利用したスペクトル選択性熱放射表面の創製

湯上浩雄, 齋均, 金森義明, 羽根一博

太陽/風力エネルギー講演論文集 = Proceedings of JSES/JWEA Joint Conference　2001　387-390　2001年11月8日
出版者・発行元：日本太陽エネルギー学会
ハイアスペクト比の超微細格子の製作と光部品への応用

石杜昌弘, 金森義明, 佐々木実, 羽根一博

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2001　(2)　220-220　2001年9月1日
201 周期的な表面微細構造によるWの熱放射スペクトル制御とTPV発電への応用(学生賞セッションI)

齋均, 湯上浩雄, 金森義明, 羽根一博

講演論文集　2001　(36)　48-49　2001年3月10日
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
重点領域宇宙環境下の熱・物質輸送過程周期的な表面ナノ構造からのスペクトル選択性熱放射現象に関する基礎研究 (理工学実験)

湯上浩雄, 羽根一博, 金森義明

宇宙基地利用基礎実験費研究成果報告書　2001　205-208　2001年
出版者・発行元：宇宙科学研究所
太陽電池を用いた太陽光間接励起型半導体レーザーの開発

金森義明, 湯上浩雄, 内藤均, 嵐治夫

太陽/風力エネルギー講演論文集 = Proceedings of JSES/JWEA Joint Conference　1996　65-68　1996年10月27日

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書籍等出版物 13

6G/7Gのキーデバイス

金森義明

S&T出版株式会社　2023年5月24日

ISBN: 9784907002978
メタマテリアルの設計、作製と新材料、デバイス開発への応用

金森義明

株式会社技術情報協会　2022年3月31日

ISBN: 9784861048760
メタマテリアル、メタサーフェスの設計・作製と応用技術

金森義明

(株)R&D支援センター　2020年7月31日

ISBN: 9784905507468
インスツルメンテーションの視点からみたバイオミメティクス

金森義明

株式会社シーエムシー・リサーチ　2016年7月29日

ISBN: 9784904482292
ウェットプロセスによる精密薄膜コーティング技術

金森義明

株式会社技術情報協会　2014年8月29日
生物模倣技術と新材料・新製品開発への応用

金森義明

技術情報協会　2014年7月31日

ISBN: 9784861045363
薄膜塗布技術と乾燥トラブル対策

金森義明

株式会社技術情報協会　2013年8月30日

ISBN: 9784861044908
光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御

金森義明

株式会社技術情報協会　2013年6月28日

ISBN: 9784861044854
メタマテリアルⅡ

金森義明

株式会社シーエムシー出版　2012年6月1日

ISBN: 9784781303543
Theoretical and Applied Mechanics Japan, Volume 57

Edited by Akira Murakami

創泉堂出版　2009年

ISBN: 9784902416145
LED革新のための最新技術と展望

金森義明, 羽根一博

株式会社情報機構　2008年11月14日

ISBN: 9784904080092
微細転写・加工技術全集

古田知伸, 金森義明

技術情報協会　2008年8月29日

ISBN: 9784861042485
ナノオプティクス・ナノフォトニクスのすべて－ナノ光技術の基礎から応用まで－

金森義明

フロンティア出版　2006年5月

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講演・口頭発表等 307

Development of three-dimensional bulk metamaterials suppliable as meta-atomic grains 招待有り

Yoshiaki Kanamori

The 15th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META2025)　2025年7月25日
メタマテリアルとメタサーフェスによる6G・テラヘルツ波デバイスの進化招待有り

金森義明

CST Studio Suite Tech Seminar 2025　2025年5月16日
Area Dependence of Subwavelength Gratings for Wide-Angle Deflection of Terahertz Waves

Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

The international conference on Metaphotonics 2025 (META2025)　2025年4月24日
メタマテリアルの原理と研究開発最前線招待有り

金森義明

マルチメディア推進フォーラム Part974 ｢自然界を超越するメタマテリアルの世界」～電波を操り6Gのカバレッジを拡大～　2025年4月11日
ミニマルレーザ加熱装置よる水素雰囲気表面処理の半導体 CMOS デバイスへの応用検討(Ⅱ)

佐藤和重, 千葉貴史, 寺田昌男, 濱田健吾, 金森義明, 三浦典子, 池田伸一, 原史朗

第72回応用物理学会春季学術講演会　2025年3月17日
ミニマル装置を用いた水素アニールによるマイクロレンズ鋳型の作製

濱田健吾, Huang Yin, 佐藤徳子, 千葉貴史, 寺田昌男, 佐藤和重, 三浦典子, 池田伸一, 原史朗, 金森義明

第72回応用物理学会春季学術講演会　2025年3月17日
テラヘルツ波用テーパ導波路における自由空間-導波路間結合効率のテーパ角依存性

千葉滉平, 金森義明

第72回応用物理学会春季学術講演会　2025年3月16日
片持ち梁を電気接点に持つメッシュ型メタマテリアルの THz 波応答

藤本ありさ, Ying Huang, 金森義明

第72回応用物理学会春季学術講演会　2025年3月14日
テラヘルツ領域においてローパスフィルタ特性を有する三次元誘電体メタマテリアルの製作

脇内駿, 小瀬修, 浜口仁, 金森義明

第72回応用物理学会春季学術講演会　2025年3月14日
Terahertz guidance through 3D printed single bar nested hollow-core fiber

Muhammad Zain Siddiqui, Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

第72回応用物理学会春季学術講演会　2025年3月14日
光・電波制御デバイスの進化を促進するメタマテリアル・メタサーフェス招待有り

金森義明

新化学技術推進協会（JACI）電子情報技術部会ナノフォトニクスエレクロトニクス交流会　2025年3月7日
Fabrication of Si Microparticle Dispersion as Refractive Index Control Material in the Terahertz Region

Shun Wakiuchi, Yoshiaki Kanamori

The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024年12月20日
Single-mode silicon ribbon waveguides for 300 GHz integrated circuits

Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024年12月20日
Numerical and experimental study of free-space coupling to individual H-shaped meta-atoms in the THz range

Ying Huang, Yoshiaki Kanamori

The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024年12月20日
Rotary encoders using optical fibers with four-directional wire-grid-polarizers

Hajime Kobayashi, Yoshiaki Kanamori

The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024年12月20日
Absorption control by variable air-gap metal-insulator-metal metamaterials

Daiki Iwamoto, Yoshiaki Kanamori

The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024年12月20日
Transmission control of THz waves using gap-variable cut-wire-metamaterials

Arisa Fujimoto, Ying Huang, Yoshiaki Kanamori

The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024年12月20日
Metamaterials and nanophotonics open up new avenues for light manipulation Technologies 招待有り

Yoshiaki Kanamori

The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024年12月20日
Negative Curvature Hollow Core Fibers for Terahertz Wave Guidance via 3D Polymer Printing

Muhammad Z. Siddiqui, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

2024 MRS Fall Meeting & Exhibit　2024年12月5日
GEO-X衛星搭載用MEMS技術を用いた超軽量X線望遠鏡の開発

山田裕大, 森下弘海, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 石川怜, 森本大輝, 石牟礼碧衣, 小笠原勇翔, 宮内俊英, 世良直也, 中川悠, 福島優, 伊師大貴, 中嶋一雄, 金森義明, 満田和久, 森下浩平

Optics & Photonics Japan 2024 (OPJ2024)　2024年11月30日
高アスペクト比SiO2ナノピラー構造を持つ可視光用メタレンズの製作招待有り

金森義明

Optics & Photonics Japan 2024 (OPJ2024)　2024年11月30日
Free standing diamond nanostructures formed by sacrificial layer etching for nanoelectromechanical actuators

Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori

The 20th International Conference on Precision Engineering　2024年10月26日
Effect of fabrication defects on terahertz wave control characteristics of dielectric metamaterials operating in the terahertz region

Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

The 20th International Conference on Precision Engineering　2024年10月26日
Integrated RF-MEMS technology for reconfigurable spoof-surface-plasmon-polariton delay-line 招待有り

Minh Van Nguyen, Yoshiaki Kanamori

The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　2024年10月16日
Metamaterials and nanophotonics open up new possibilities for controlling light and terahertz waves 招待有り

Yoshiaki Kanamori

The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　2024年10月16日
GEO-X 衛星に向けた MEMS 技術を用いた超軽量 X 線望遠鏡の開発

森下弘海, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 伊師大貴, 山田裕大, 石川怜, 森本大輝, 石牟礼碧衣, 小笠原勇翔, 宮内俊英, 世良直也, 中川悠, 福島優, 満田和久, 森下浩平, 中嶋一雄, 金森義明

第85回応用物理学会秋季学術講演会　2024年9月18日
ミニマル装置を用いた水素アニールによる柱状構造の表面処理

濱田健吾, Ying Huang, 佐藤徳子, 千葉貴史, 寺田昌男, 佐藤和重, 金森義明, 原史朗

第85回応用物理学会秋季学術講演会　2024年9月16日
6G・ロボティックス応用に向けたメタマテリアル招待有り

金森義明

第22回MEMS集中講義　2024年8月22日
Fabrication of delay lines using spoof-surface-plasmon-polariton waveguides coupled with split-ring resonators for microwave integrated circuits

Minh Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　2024年7月17日
MEMS-based double ﬁlter conﬁguration for air gap sensing in tunable Fabry-Pérot ﬁlter

Pratyasha Sahani, S. Nabana, T. Okatani, N. Inomata, Y. Kanamori

META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　2024年7月17日
Fabrication of visible metalenses by thermal oxidation of silicon nanopillars

Taiyu Okatani, Rei Ando, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　2024年7月16日
An active Fabry‒Pérot interferometer operated at terahertz frequencies based on pitch-variable subwavelength gratings

Ying Huang, Yangxun Liu, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　2024年7月16日
光・電波を操るメタマテリアル招待有り

金森義明

第36回マイクロシステム融合研究会　2024年6月14日
メタマテリアル・メタサーフェスの光、電波制御への応用、今後の展望招待有り

金森義明

技術情報協会 Live配信セミナー　2024年6月11日
金属–多孔質絶縁体–金属構造を用いたテラヘルツメタマテリアルの作製と評価

酒井優輝, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

第71回応用物理学会春季学術講演会　2024年3月25日
テラヘルツ波制御材料としてのシリコンマイクロ粒子分散体の製作

脇内駿, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

第71回応用物理学会春季学術講演会　2024年3月24日
Tubular hollow-core fibers for terahertz guidance

Muhammad Zain Siddiqui, Mahmudur Rahman, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

第71回応用物理学会春季学術講演会　2024年3月22日
ナノファブリケーションが拓くメタマテリアルの応用展開招待有り

金森義明

2024年第1回ナノインプリント技術研究会　2024年2月16日
ギャップ表面プラズモンに基づくメタマテリアルを用いたテラヘルツ波の反射位相制御に関する数値解析

藤本ありさ, 金森義明

第21回赤外放射応用関連学会年会　2024年1月26日
テラヘルツ制御のためのMEMS 駆動メタマテリアル招待有り

金森義明

シンポジウムテラヘルツ科学の最先端 X　2023年12月20日
電波透過を兼ね備えた透明な窓招待有り

金森義明

2023 年度第 2 回ガラス科学技術・評価技術合同研究会　2023年12月14日
Structural Color Filters Using Metamaterials and Their Applications 招待有り

Yoshiaki Kanamori

The 30th International Display Workshops (IDW ’23)　2023年12月8日
Simultaneous Imaging and Spectroscopy with Pixelized Gradient Thickness Optical Filter

Pratyasha Sahani, Shiori Nabana, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

The 30th International Display Workshops (IDW ’23)　2023年12月6日
マイクロ・ナノファブリケーションが拓くメタマテリアルの社会実装招待有り

金森義明

コニカミノルタ画像科学奨励賞30周年記念発表会　2023年11月22日
メタマテリアル・メタサーフェスの６G ・テラヘルツ波周辺部材への応用招待有り

金森義明

【株式会社AndTechオンラインLive配信・WEBセミナー】テラヘルツ波を中心とした最新技術開発動向と次世代通信・イメージングへの応用展開・将来展望と課題　2023年11月21日
Fabrication and characterization of static “ON”- “OFF” state SSPP devices integrating with metamaterials

Minh Van Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　2023年11月17日
Terahertz stretchable metamaterials for uniaxial strain measurement based on dolmen resonators

Taiyu Okatani, Munkh-Orgil Dashdeleg, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　2023年11月17日
An electromechanical cantilever actuator with a dimpled tip used for reconfigurable THz metamaterials

Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　2023年11月17日
社会課題解決に向けた光・電波制御メタマテリアル招待有り

金森義明

光とレーザーの科学技術フェア2023「オプティクスセミナー：最先端の光制御〜メタサーフェス／メタマテリアル〜」　2023年11月8日
6G 通信に向けた Si 誘電体メタサーフェスによるテラヘルツ波偏向デバイス

千葉滉平, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

日本機械学会第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2023年11月8日
6G通信に向けたTHzメタマテリアルの製作と電場モードのギャップ依存性の解明

藤本ありさ, Minh Van Nguyen, Ying Huang, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2023年度精密工学会東北支部講演会　2023年10月28日
Siサブ波長格子を用いた透過型テラヘルツ波変更デバイスの偏波方向依存性評価

千葉滉平, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2023年度精密工学会東北支部講演会　2023年10月28日
反射型ロータリーエンコーダのための4方向ワイヤグリッド偏光子基板の製作と評価

小林創, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2023年度精密工学会東北支部講演会　2023年10月28日
メタマテリアル研究革新拠点（Meta-RIC）の活動について招待有り

富樫正敏, 金森義明

KRIクライアントコンファレンス＆ワークショップ2023　2023年10月27日
メタマテリアル技術の可能性招待有り

金森義明

KRIクライアントコンファレンス＆ワークショップ2023　2023年10月27日
シリコン薄膜を用いたオンチップ線形光学回路

押田拓己, 稲垣拓也, 石川巧, 大河原駿, 金森義明, 山田博仁, 松田信幸

第84回応用物理学会秋季学術講演会　2023年9月21日
An electromechanical cantilever actuator with a high mechanical resonant frequency exceeding 1.5 MHz used for THz metamaterials

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第84回応用物理学会秋季学術講演会　2023年9月21日
メタマテリアルのためのマイクロ・ナノマシニング技術の開発招待有り

金森義明

第11回マイクロ・ナノ加工研究会公開講演会　2023年9月14日
メタマテリアルの6Gへの応用展開招待有り

金森義明

JMS技術講習会「メタマテリアルの基礎原理と6Gへの応用」　2023年8月25日
カーボンニュートラル・バイオ応用に向けたメタマテリアル招待有り

金森義明

第21回MEMS集中講義　2023年8月9日
Fabrication of metasurfaces for heat-shielding windows and 6G communications and investigation of the possibility of near-infrared reflection control by movable thin films 招待有り

Yoshiaki Kanamori

The 13th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META2023)　2023年7月20日
Development of micro/nano processing technology for metamaterials 招待有り

Yoshiaki Kanamori

The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　2023年6月29日
THz-wave-deflectors based on effective-refractive-index-distribution control of dielectric metamaterials

Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　2023年6月27日
Transparent electrodes for electromechanically reconfigurable THz metamaterials

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　2023年6月27日
メタマテリアルにおける基礎と６G ・テラヘルツ波周辺部材への応用と展望招待有り

金森義明

株式会社AndTechオンラインLive配信・WEBセミナー　2023年5月25日
メタマテリアルの基礎からテラヘルツ波の制御技術・応用展開招待有り

金森義明

R&D支援センターWEBセミナー　2023年4月12日
カーボンニュートラル×Beyond5G/6Gに向けたメタマテリアル招待有り

金森義明

【第4回サイエンス・サロン】次世代グリーンパワー技術における最先端研究　2023年3月23日
Numerical calculation of frequency conversion occurring by time-modulation of the permittivity of a homogeneous medium

Minh Van Nguyen, Toshiyuki Kodama, Yoshiaki Kanamori

第70回応用物理学会春季学術講演会　2023年3月17日
Design and fabrication of functional cross-shaped metamaterials using electron beam lithography for applications in infrared shielding windows and 6G communications

Minh Van Nguyen, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第70回応用物理学会春季学術講演会　2023年3月17日
A reconfigurable H-shaped THz metamaterial based on an ultra-small micromechanical cantilever array 招待有り

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第70回応用物理学会春季学術講演会　2023年3月17日
Epitaxial Pb(Zr,Ti)O3-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Fabricated on Silicon-On-Nothing (SON) Structure

Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2023年1月17日
６Ｇに期待の次世代材料技術メタマテリアルによるテラヘルツ波の高度制御と応用展望招待有り

金森義明

サイエンス＆テクノロジーセミナー　2022年11月18日
ワイヤグリッド偏光子付き光ファイババンドルを用いた拡散反射計測による歯質判別

岡谷泰佑, 横山雄基, 宍戸駿一, 中村圭祐, 金森義明

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2022年11月14日
直線偏光角計測に向けた光ファイバ端面への4方向ワイヤグリッド偏光子の取り付け

岡谷泰佑, 横山雄基, 金森義明

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2022年11月14日
4 方向の偏光子を搭載した反射型ロータリーエンコーダの構築と角度検出能力の評価

小林創, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
テラヘルツ波用人工光学物質の創成に向けた Si サブ波長格子による有効屈折率制御

千葉滉平, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
インクジェット印刷を用いたフレキシブルメタマテリアルの製作と透過特性評価

木田喬仁, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
Fabrication of reflective metalens by thermal oxidation of high-aspect-ratio silicon nanopillars

Taiyu Okatani, Yuya Naito, Yoshiaki Kanamori

35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022)　2022年11月8日
分割リング共振器を内包する等方性 3 次元バルクメタマテリアル

岡谷泰佑, 砂田悠斗, 羽根一博, 金森義明

第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022年9月23日
An H-shaped metamaterial-based MEMS device with a high mechanical resonant frequency for THz waves

Ying Huang, 岡谷泰佑, 金森義明

第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022年9月23日
Terahertz reflective metamaterials for flexible strain sensing

Dashdeleg Munkh-Orgil, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022年9月23日
Autonomously Switchable Filter Realized by Thermal Driven Bimetal Actuators

Zeng Zhaodong, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022年9月22日
テラヘルツ帯におけるブルズアイアンテナ–シリコン導波路結合デバイス

岡谷泰佑, 今井薫, 瀧田佑馬, 大野誠吾, 南出泰亜, 金森義明

第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022年9月21日
Extraordinary Transmission of Bull's Eye Structure Observed by Up-Conversion-Based THz-Wave Frequency-Domain Spectroscopy

Yuma Takida, Kaoru Imai, Taiyu Okatani, Seigo Ohno, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide

2022 47th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)　2022年9月1日
Beyond 5G/ 6G に向けたメタマテリアル招待有り

金森義明

第20回MEMS集中講義　2022年8月9日
A switchable THz filter by integrating an H-shaped metamaterial and ultra-small MEMS switches

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO-PR2022)　2022年8月2日
MEMSを用いた時間変調メタマテリアル・フォトニックデバイスの開発招待有り

金森義明

第12回電磁メタマテリアル講演会　2022年8月4日
メタマテリアルにおける基礎と６G ・テラヘルツ波周辺部材への応用の可能性招待有り

金森義明

株式会社Andtech WEBセミナー　2022年6月28日
微小機械駆動メタマテリアル・フォトニック構造と時間変調メタマテリアルへの取り組み招待有り

金森義明

オプトロニクスWEBセミナー「6G通信、次世代計測を担うテラヘルツデバイスの進展」　2022年3月31日
オンチップ自由空間線形光学回路の動作検証

稲垣拓也, 石川巧, 金森義明, 山田博仁, 松田信幸

第69回応用物理学会春季学術講演会　2022年3月25日
Metal–Insulator–Metal structured optical force sensors with thin polydimethylsiloxane

Munkh Orgil, Dashdeleg, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第69回応用物理学会春季学術講演会　2022年3月24日
An electromechanically active THz filter based on an H-shaped metamaterial

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

第69回応用物理学会春季学術講演会　2022年3月24日
Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用したナノギャップ計測に向けたSpin-on-Glass膜封止型ナノドットアレイの作製

岡谷泰佑, 金森義明

第69回応用物理学会春季学術講演会　2022年3月24日
MEMS 技術を用いた Schmidt 配置 Lobster eye X 線光学系の開発 Ⅱ

作田紗恵, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 伊師大貴, 福島碧都, 内野友樹, 稲垣綾太, 上田陽功, 森下弘海, 関口るな, 辻雪音, 村川貴俊, 満田和久, 金森義明, 森下浩平

第69回応用物理学会春季学術講演会　2022年3月24日
MEMS駆動メタマテリアル・フォトニック構造：THz波制御への応用招待有り

金森義明

電子情報通信学会東北支部講演会　2022年2月25日
メタマテリアル構造及びそれを用いた屈折率センサ招待有り

金森義明

JST 医工連携新技術説明会　2022年1月18日
メタマテリアルにおけるテラヘルツ波周辺部材への応用の可能性招待有り

金森義明

Live配信セミナーテラヘルツ波のメカニズムと各種材料・部材への吸収，透過，遮蔽特性とその応用　2021年12月14日
Smoothing of silicon micropore X-ray optics by thermal annealing

Aoto Fukushima, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Daiki Ishi, Sae Sakuda, Tomoki Uchino, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Hiromi Morishita, Luna Sekiguchi, Takatoshi Murakawa, Yukine Tsuji, Masaki Numazawa, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori

34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)　2021年10月26日
Broadband stop filters using H-shaped metamaterial at the THz region

Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)　2021年10月26日
MEMS技術を用いたSchmidt配置Lobster eye光学系の開発

作田紗恵, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 伊師大貴, 福島碧都, 内野友樹, 稲垣綾太, 上田陽功, 森下弘海, 関口るな, 辻雪音, 村川貴俊, 満田和久, 金森義明, 森下浩平

第82回応用物理学会秋季学術講演会　2021年9月10日
MEMS 制御 THz メタマテリアル招待有り

金森義明

令和 3 年度テラヘルツ応用システム研究会　2021年8月5日
Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御招待有り

金森義明

第19回MEMS集中講義　2021年8月4日
波長選択メタマテリアルの応用デバイス（分光・遮熱）招待有り

金森義明

JST 東北大学新技術説明会　2021年7月27日
メタマテリアルを用いたSPRセンサの高感度化とDNA/RNA検出への適用招待有り

金森義明

３大学医工連携オンラインセミナー～メタマテリアル・革新的センサー・基礎代謝測定・医療用金属材料　2021年5月28日
THz波の透過性と位相を変えられる微小機械駆動チューナブル・メタマテリアル招待有り

金森義明

オプトロニクスWEBセミナー「6G通信、次世代計測を拓くテラヘルツデバイスの現状と将来～発信器、検出・受信機、制御素子～」　2021年4月22日
テラヘルツ波MEMSデバイス招待有り

金森義明

日本学術振興会テラヘルツ波科学技術と産業開拓第182委員会第45回研究会　2021年4月8日
ポスト5Gで注目される微小機械駆動メタマテリアルによるTHz波制御招待有り

金森義明

ナノ茶論第10回オンラインセミナー　2021年3月29日
ミニマルレーザ加熱装置を使った水素雰囲気でのSi 立体構造体の表面処理

佐藤和重, 千葉貴史, 寺田昌男, 濱田健吾, 中山吉之, 金森義明, 田中宏幸, 加瀬雅, クンプアンソマワン, 原史朗

第68回応用物理学会春季学術講演会　2021年3月19日
Metal-Insulator-Metal メタマテリアル構造を応用した潤滑膜厚計測法の検討

岡谷泰佑, 金森義明

第68回応用物理学会春季学術講演会　2021年3月19日
水素アニール法で製作された Si ナノ微小球を用いた誘電体光メタマテリアル

金森義明, 岡谷泰佑, 阿部洋輔, 羽根一博

第68回応用物理学会春季学術講演会　2021年3月19日
マイクロマシニング法によるテラヘルツ波用ブルズアイ構造の製作

今井薫, 岡谷泰佑, 瀧田佑馬, 大野誠吾, 南出泰亜, 金森義明

第68回応用物理学会春季学術講演会　2021年3月18日
可動式電磁誘起透明化メタマテリアルによる THz 波フィルタ

金森義明, Ying Huang, 中村健太, 瀧田佑馬, 南出泰亜, 羽根一博

第68回応用物理学会春季学術講演会　2021年3月18日
メタサーフェースによる光波制御デバイス招待有り

金森義明

日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020　2020年11月15日
Fabrication of antireflection subwavelength gratings on a silicon prism for improvement of THz light extraction efficiencies

Yuya Naito, Atsuki Kosugi, Ying Huang, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020)　2020年11月9日
表面形状処理のためのミニマルレーザ水素アニール装置の開発

佐藤和重, 千葉貴史, 寺田昌男, 濱田健吾, 中山吉之, 金森義明, 田中宏幸, 加瀬雅, クンプアン, ソマワン, 原史朗

第81回応用物理学会秋季学術講演会　2020年9月9日
水素アニールによるシリコン細線導波路の低損失化に向けて

土師康平,石川巧,菊地涼,金森義明,枝松圭一,山田博仁,松田信幸

レーザー学会学術講演会第40 回年次大会　2020年1月22日
小型分光器・高感度バイオセンサを実現する人工光学物質「メタマテリアル」招待有り

金森義明

第64回光波センシング技術研究会　2019年12月10日
エアギャップ式可動MIMメタマテリアルによるフォースセンシング

金森義明, 関口将太, 羽根一博

第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2019年11月20日
シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベル真空パッケージング技術

鈴木裕輝夫, Victor DUPUIT, 小島俊哉, 金森義明, 田中秀治

第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2019年11月19日
静的純ねじれ試験によるシリコントーションバーの破壊強度向上法の探索

鈴木裕輝夫, 大柳英樹, 千葉広文, 引地広介, 小島俊哉, 金森義明, 田中秀治

第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2019年11月18日
MEMS駆動メタマテリアルを基盤技術としたテラヘルツ波デバイスの研究招待有り

金森義明

東北大学＆理研第1回連携ワークショップ「テラヘルツ光研究の新展開と産業応用への展望」　2019年10月23日
メタマテリアルを用いたテラヘルツ波用フィルタの研究

金森義明

東北大学＆理研第1回連携ワークショップ「テラヘルツ光研究の新展開と産業応用への展望」　2019年10月23日
ナノ構造によるメタマテリアル招待有り

金森義明

第2回Nano Structured Optics 分科会　2019年10月11日
可視透過・近赤外反射メタマテリアルの製作

尾藤正斉, 羽根一博, 金森義明

第80回応用物理学会秋季学術講演会　2019年9月21日
小型リニアバリアブルフィルタの製作と分光器への実装

寺野和万, 羽根一博, 金森義明

第80回応用物理学会秋季学術講演会　2019年9月18日
Miniature spectroscopes with metamaterial filter array 国際会議招待有り

金森義明

The 4th A3 Metamaterials Forum　2019年8月24日
Metasurfaces for heat-shield windows 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Masanari Bito

The 4th A3 Metamaterials Forum　2019年8月23日
Miniature Spectroscopes with Metasurfaced Transmitted Color Filters Integrated on a Photodiode Array 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

10th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META2019)　2019年7月25日
メタマテリアルによるテラヘルツ波の制御の実現と磁気応答制御への期待招待有り

金森義明

日本金属学会 2019年度春季（第164回）講演大会　2019年3月21日
Fabrication of movable MIM metamaterial with air gap structures 国際会議

Shota Sekiguchi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018)　2018年11月13日
偏光無依存メタマテリアルを用いた高感度バイオ・ケミカルセンサ

金森義明

第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2018年10月30日
反射型マイクロ原子時計セル

西野仁

第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2018年10月30日
光ファイバ先端へのメタマテリアルの製作と屈折率センサへの応用

金森義明

第79回応用物理学会秋季学術講演会　2018年9月18日
エアギャップ構造をもつ可動MIMメタマテリアルの製作

関口将太

第79回応用物理学会秋季学術講演会　2018年9月18日
THz Tunable Metamaterial Based on Micro-electromechanical Technologies 国際会議招待有り

金森義明

Progress In Electromagnetics Research Symposium （PIERS2018)　2018年8月4日
Structural Color Filters Based on Guided-mode Resonant Eﬀect 国際会議招待有り

金森義明

Progress In Electromagnetics Research Symposium （PIERS2018)　2018年8月1日
高分子光共振器を用いた赤外熱輻射スペクトル・角度特性制御

津田慎一郎, 山口周平, 金森義明, 湯上浩雄

第65回応用物理学会春季学術講演会　2018年3月19日
メタマテリアルを用いたテラヘルツ波の制御招待有り

金森義明

日本金属学会第3分科討論会　2018年3月9日
Metamaterials: A New Paradigm for Optical Control 国際会議

Yoshiaki Kanamori

Kick-off Symposium for World Leading Research Centers -Materials Science and Spintronics- 2018　2018年2月20日
Fabrication of PMUT using silicon on nothing process for fingerprint sensor

Shim Hang, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono, Yoshiaki Kanamori, Song Yunheub, Oh Youngtaek

第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2017年10月31日
構造を起源とする色の理解、トップダウン加工でつくる構造色とその応用

東北大学薬学研究科特別講演　2017年9月28日
可動機構を備えたメタマテリアル・フォトニック構造：光フィルタ応用の可能性

H29 年度東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会　2017年9月25日
Transmissive metamaterial color filters

Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

第78回応用物理学会秋季学術講演会　2017年9月5日
超軽量Ｘ線光学系の表面粗さ改善に向けた長時間アニール

伊師大貴, 江副祐一郎, 石川久美, 沼澤正樹, 武内数馬, 寺田優, 藤谷麻衣子, 糸山隆仁, 大坪亮太, 福島碧斗, 大橋隆哉, 金森義明, 満田和久

第78回応用物理学会秋季学術講演会　2017年9月5日
偏光無依存メタマテリアルの製作と屈折率センサへの応用

清水友己, 金森義明, 羽根一博

第78回応用物理学会秋季学術講演会　2017年9月5日
Si フォトダイオード上のメタマテリアル・カラーフィルタによる分光デバイス

金森義明, 江間大祐, 羽根一博

第78回応用物理学会秋季学術講演会　2017年9月5日
ドライエッチング側壁の超平滑化技術と超低損失光MEMS/NEMSデバイスへの応用

MEMS用シリコン深掘り（DRIE）装置活用セミナー　2017年7月31日
メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成に関する調査専門委員会

金森義明, 菅野公二, 肥後昭男

平成29年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2017年6月29日
サブ波長格子を用いたTHz波用Si反射防止構造の製作

小杉厚貴, 金森義明, 羽根一博, 南出泰亜

平成29年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2017年6月29日
ナノフォトニック構造のMEMS制御

平成29年電気学会全国大会　2017年3月15日

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シンポジウム名：ナノ構造のための最先端MEMS技術：基礎・加工・評価・応用
MEMS駆動光メタマテリアルによるファノ共鳴スペクトル制御

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会　2016年12月19日
金属・誘電体・金属構造の非対称型ダブルバーメタマテリアルの製作と光学特性

大久保藍, 金森義明, 羽根一博

電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会　2016年12月19日
Fabrication of electromagnetically induced transparency like metamaterials in THz region 国際会議

Y. Kanamori, K. Nakamura, K. Hane

5th Russia-Japan-USA-Europe Symposium on Fundamental & Applied Problems ofTerahertz Devices & Technologies (RJUSE TeraTech-2016)　2016年10月31日
フォトダイオード一体型誘電体光メタ表面による色度選択光検出

江間大祐, 金森義明, 羽根一博

第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2016年10月24日
Fabrication of Planar Metamaterials for Transmission and Absorption Control

第77回応用物理学会秋季学術講演会　2016年9月13日

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JSAP-OSA Joint Symposia 2016
Spectral sensitivity control of Si photodiodes by subwavelength structures 国際会議

Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 1st A3 Metamaterials Forum　2016年7月5日
Movable transparent membranes designed for tunable metamaterials in the optical region 国際会議

Ai Okubo, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 1st A3 Metamaterials Forum　2016年7月5日
Metamaterial absorbers fabricated on silicon cantilevers 国際会議

Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 1st A3 Metamaterials Forum　2016年7月5日
Photovoltaic transmissive color filters based on Metal-Photodiode-Metal metamaterials 国際会議

Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 1st A3 Metamaterials Forum　2016年7月5日
Fabrication of transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes

Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

平成28年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2016年6月29日
Fabrication of transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes 国際会議

Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016 (APCOT2016)　2016年6月26日
Planar metamaterials for transmission and absorption control 国際会議

EMN Meeting on Metamaterials　2016年5月8日
Observation of Fano resonance in Optical Metamaterials 国際会議

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　2016年4月17日
Experimental Demonstration of Wavelength-Selective Metamaterial Absorbers in the 1.5 THz Range 国際会議

Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Yuma Takida, Hiroaki Minamide

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　2016年4月17日
Wavelength-selective Transmission from Plasmonic Nanostructured Arrays in the Visible Region 国際会議

Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　2016年4月17日
プラズモニックナノ周期構造による構造色フィルタ

江間大祐, 金森義明, 羽根一博

平成28年度電気学会全国大会　2016年3月16日
マイクロマシニングで製作するメタマテリアルのフィルター応用

レーザー学会学術講演会第36 回年次大会　2016年1月9日
Development of metamaterial filters for terahertz frequencies 国際会議

2015 International Nanophotonics and Nanoenergy Conference (INPEC 2015)　2015年10月23日
対称構造からなる光メタマテリアルにおける高Q値共鳴

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

第76回応用物理学会秋季学術講演会　2015年9月13日
Enhanced Fluorescence of Quantum Dots by Fano Resonance in Optical Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars 国際会議

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

9th International Congress on Advanced Electromagnetic Materials in Microwaves and Optics - Metamaterials 2015　2015年9月7日
電磁誘起透明化を実現する光メタマテリアル

2015年度精密工学会秋季大会学術講演会　2015年9月4日

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キーノートスピーチ
Fano共鳴型光メタマテリアルの高精度製作

メタマテリアル第187委員会平成27年度第2回研究会　2015年9月4日
Wavelength Selective Filters Using Metamaterials in Terahertz Frequency Region 国際会議

2015 IEEE International Symposium on Radio-Frequency Integration Technology (RFIT2015)　2015年8月26日
テラヘルツ波領域におけるメタマテリアル・アブソーバの吸収特性

石井雄大, 金森義明, 羽根一博, 瀧田佑馬, 南出泰亜

平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015年7月2日
THz 領域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と評価

中村健太, 穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015年7月2日
多重Fano 共鳴をもつ光メタマテリアルの製作と評価

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015年7月2日
メタマテリアル・プラズモニクスの光・電子デバイス応用調査専門委員会

金森義明, 菅野公二, 肥後昭男

平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015年7月2日
High precision fabrication of optical metamaterials with sharp Fano resonance 国際会議

The 5th Korea-Japan Metamaterials Forum　2015年6月29日
光領域で動作する電磁誘起透明化メタマテリアルの製作

平成27年電気学会全国大会　2015年3月24日
Quality-factor enhancement of Fano resonance in asymmetric-double-bar metamaterials by alternately arranging inversed unit cells in the optical region 国際会議

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

SPIE Photonic West　2015年2月7日
Antireflection subwavelength gratings on optical fiber tips fabricated by a dedicated UV nano imprint lithography system 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

SPIE Photonic West　2015年2月7日
Fabrication and phase-shift analysis of EIT metamaterials operating at visible wavelengths 国際会議

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　2014年12月22日
Demonstration and characterization of Fano resonance in optical metamaterials composed of asymmetric double bar 国際会議

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　2014年12月22日
High Precision Fabrication of Metamaterials at Optical Wavelengths 国際会議

International Conference on Small Science (ICSS 2014)　2014年12月8日
光メタマテリアルにおけるFano共鳴特性の密度依存性

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

応用物理学会東北支部第69回学術講演会　2014年12月4日
近赤外域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と光学異方性の評価

穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

応用物理学会東北支部第69回学術講演会　2014年12月4日
マイクロマシニングによるメタマテリアルの製作とMEMSによる可動メタマテリアルの可能性

奈良先端未来開拓コロキウム２０１４「Meta-X（メタエックス） version 3.1」公開ワークショップ　2014年10月22日
ナノフォトニック構造を利用した光フィルタのディスプレイ応用

光電相互変換第１２５委員会「本委員会第226回研究会／EL分科会第45回研究会合同研究会」　2014年10月20日
光メタマテリアル

第13回マイクロシステム融合研究会　2014年10月14日
生物模倣ナノ光学素子、メタマテリアルの製作と応用

ナノ粒子・構造応用研究会第9回公開講演会　2014年9月2日
MEMS-BASED X-RAY OPTICS FOR ASTRONOMY, PLANETARY EXPLORATION, AND EARTH OBSERVATION 国際会議

Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Masahiro Ikuta, Mayu Sato, Kazuhisa Mitsuda, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Hiroshi Hiroshima, Ryutaro Maeda

2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2014)　2014年8月17日
近赤外域にFano共鳴をもつ光メタマテリアルの作製とQ値解析

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

平成26年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2014年5月27日
擬似電磁誘起透明化が生じる光メタマテリアルの製作と位相差解析

穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

平成26年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2014年5月27日
Experimental Comparison of Electromagnetically Induced Transparency-like Characteristics between Silver and Aluminum Metamaterials at Visible Wavelengths 国際会議

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　2014年5月20日
Demonstration of Fano Resonance in Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars in Optical Region 国際会議

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　2014年5月20日
マイクロマシニングによるＲＧＢ構造色材料の製作

日本化学会第94春季年会　2014年3月27日

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依頼講演
利得媒質による光メタマテリアル共鳴のQ 値向上に関する数値解析

森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

第61 回応用物理学会春季学術講演会　2014年3月17日
XeF2ガスエッチングと水素アニールによるシリコンマイクロレンズの製作

菅原寿紘, 阿部洋輔, 穂苅遼平, 吉田優樹, 佐々木敬, 金森義明, 羽根一博

日本機械学会東北支部第49期総会・講演会　2014年3月14日
Fabrication of Ultrathin Color Filters for Three Primary Colors Using Silicon Subwavelength Gratings 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014年2月12日
Detuning Effect of Quadrupole Resonators in Electromagnetically Induced Transparency-like Metamaterials at Near-Infrared Wavelengths 国際会議

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014年2月12日
Numerical Study on Optical Metamaterials with High Quality Factor Composed of Asymmetric Double Bars 国際会議

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014年2月12日
Silicon Spherical Nano-particles having Magnetic Resonance Fabricated by Hydrogen Annealing 国際会議

Yosuke Abe, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014年2月12日
Wavelength-selective Optical Attenuators using Plasmonic Nano-resonator Array for Silicon waveguides 国際会議

Taiyo Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014年2月12日
Structural Color from a Two-Dimensional Guided-Mode Resonant Grating

Y. Kanamori, T. Ozaki, K. Hane

第23回日本MRS年次大会　2013年12月9日
Ultra-Thin Film Transfer Method and the Application to Structural Color Filters

Y. Iwase, Y. Kanamori, K. Hane

第23回日本MRS年次大会　2013年12月9日
Progress on MEMS X-ray Optics for Space Applications

Yuichiro Ezoe, Ikuyuki Mitsuishi, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Masahiro Ikuta, Mayu Sato, Takaya Ohashi, Kazuhisa Mitsuda, Makoto Mita, Susumu Sugiyama, Yoshiaki Kanamori, Hitomi Yamaguchi, Kazuo Nakajima, Kohei Morishita, Yuichi Kurashima, Tsuyoshi Ikehara, Hiroshi Hiroshima, Toshihiro Itoh, Ryutaro Maeda

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2013年11月5日
Comparison of electromagnetically induced transparency between silver and gold metamaterials at wavelengths around 800 nm 国際会議

R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013)　2013年11月5日
A 20nm Free-Spectral Range Optical Filter Based on NEM-Tunable Silicon Photonic Waveguide Micro-Ring Resonator

Hoang Manh Chu, Takashi Sasaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS2013)　2013年8月22日
TRANSMISSION WIDTH (Q-FACTOR) TUNABLE SILICON-PHOTONIC MICRO-RING RESONATORS 国際会議

Optical MEMS and Nanophotonics 2013　2013年8月18日
可動シリコン導波路を用いたディスク型光共振器の結合効率制御

金森義明, 佐藤裕一, 羽根一博

平成25年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2013年8月8日
近赤外域における擬似電磁誘起透明化メタマテリアルの製作

穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

平成25年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2013年8月8日
Fabrication of electromagnetically-induced-transparency-like metamaterials in the near-infrared region 国際会議

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

3rd Korea-Japan Metamaterials Forum　2013年6月26日
ULTRA-LOW POWER SI-PHOTONIC VARIABLE-GAP COUPLER SWITCH WITH NANO-LATCH MECHANISM 国際会議

S. Abe, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013)　2013年6月16日
ラッチ機構を備えた可変間隙Si細線導波路カプラースイッチ

阿部翔太郎, 金森義明, 羽根一博

第60 回応用物理学会春季学術講演会　2013年3月27日
静電マイクロアクチュエータを用いたシリコン細線光導波路型カプラースイッチの機械特性

宗正康, 金森義明, 羽根一博

日本機会学会東北支部第48期総会・講演会　2013年3月15日
光メタマテリアルの金ナノ構造における製作誤差の評価

穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会　2013年3月3日
MECHANICAL STRENGTHENING OF SILICON TORSION BAR OF MEMS SCANNING MIRROR BY HYDROGEN ANNEAL 国際会議

R. Hajika, S. Yoshida, W. Makishi, Y. Kanamori, S. Tanaka, M. Esashi

The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2013)　2013年1月20日
インダクタンス制御による光メタマテリアルの動的制御に関する数値解析

穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

2012年(平成24年）応用物理学会東北支部第67回学術講演会　2012年12月6日
マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの間隙特性

宗正康, 秋浜祐太, 金森義明, 羽根一博

2012年(平成24年）応用物理学会東北支部第67回学術講演会　2012年12月6日
メタマテリアルのMEMS制御による光導波路用波長選択フィルタの製作

高橋大洋, 金森義明, 羽根一博

2012年(平成24年）応用物理学会東北支部第67回学術講演会　2012年12月6日
自己保持機構を用いたSi細線導波路光スイッチの設計と製作

阿部翔太郎, 秋浜祐太, 金森義明, 羽根一博

2012年(平成24年）応用物理学会東北支部第67回学術講演会　2012年12月6日
HYDROGEN ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FRACTURE TOUGHNESS OF SILICON COIL SPRING FOR MECHANICAL ENERGY STORAGE APPLICATION 国際会議

T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka

Power MEMS 2012　2012年12月2日
Fabrication of Silicon Microdisk Resonators with Monolithically Integrated Comb-Drive Microactuators 国際会議

Yuichi SATO, Yoshiaki KANAMORI, Kazuhiro HANE

25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　2012年10月30日
Coupling properties of freestanding silicon nanowire waveguide couplers with a gap-variable mechanism 国際会議

Y. Akihama, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　2012年10月30日
水素アニールによる微細加工されたシリコン構造体の表面平滑化とねじり破壊強度へ与える影響の調査

羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会センサ・マイクロマシン部門大会第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2012年10月22日
A numerical study of hybrid plasmonic-dielectric subwavelength gratings for wavelength-selective filters 国際会議

Y. Kanamori, Y. Ohta, T. Ozaki, I. Onishi

IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　2012年9月23日
A Study of MEMS Tunable Metamaterial at Optical Frequencies by Numerical Calculations 国際会議

R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　2012年9月23日
Si 細線導波路を用いた光路切替用MEMS 多段カプラースイッチ

秋浜祐太, 宗正康, 金森義明, 羽根一博

2012年(平成24年)秋季第73 回応用物理学会学術講演会　2012年9月11日
将来衛星に向けた超軽量、高分解能MEMS光学系の基礎開発(5)

垣内巧也, 江副祐一郎, 森山鉄平, 小川智弘, 大橋隆哉, 三石郁之, 満田和久, 洞出光洋, 杉山進, Raul Riveros, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

2012年(平成24年)秋季第73 回応用物理学会学術講演会　2012年9月11日
ナノ周期構造光学素子の製作と応用デバイス

第80回精密加工研究会　2012年8月24日
MEMS-based novel X-ray optics for future astronomical missions 国際会議

Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Takaya Ohashi, Makoto Mita, Yoshitomo Maeda, Kazuhisa Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2012)　2012年8月6日
An improved gap-variable silicon nano-wire waveguide coupler switch 国際会議

Yasushi Munemasa, Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2012)　2012年8月6日
INVESTIGATION OF HYDROGEN-ANNEALING EFFECT ON TORSIONAL STRENGTH OF SI BEAM OF SCANNING MICROMIRROR DEVICE 国際会議

Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Wataru Makishi, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi

The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2012)　2012年7月8日
Microelectromechanical metamaterials for optical communications system 国際会議

The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　2012年6月28日
Numerical study on optical characteristics of tunable metamaterials at optical frequencies with variable capacitance 国際会議

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　2012年6月28日
水素アニールによるラフネス低減における雰囲気依存性

阿部洋輔, 金森義明, 羽根一博

平成24年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2012年6月11日
マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価

宗正康, 秋浜祐太, 金森義明, 羽根一博

平成24年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2012年6月11日
Nanofabricated photonic structure and NEMS 国際会議

10th NAMIS WORKSHOP　2012年5月28日
光ファイバ先端のサブ波長反射防止構造

金森義明, 大河内昌章, 羽根一博

2012年(平成24年)春季第59回応用物理学関係連合講演会　2012年3月15日
マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコン導波路カプラースイッチの改良

秋浜祐太, 宗正康, 金森義明, 羽根一博

2012年(平成24年)春季第59回応用物理学関係連合講演会　2012年3月15日
将来衛星に向けた超軽量、高分解能MEMS光学系の基礎開発(4)

垣内巧也, 江副祐一郎, 森山鉄平, 小川智弘, 大橋隆哉, 三石郁之, 満田和久, 洞出光洋, 杉山進, Raul Riveros, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

2012年(平成24年)春季第59回応用物理学関係連合講演会　2012年3月15日
水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響

羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 江刺正喜

2012年(平成24年)春季第59回応用物理学関係連合講演会　2012年3月15日
Nanophotonics and Optical MEMS for high efficiency and ultrasmall optical filters 国際会議

Second Symposium Japanese-French Frontiers of Engineering (JFFoE)　2012年2月25日
ナノ光機械によるエバネッセント波を介した光結合の動的制御と光通信への応用

日本光学会（応用物理学会）光波シンセシス研究グループ第19 回研究会　2011年12月2日
光ファイバ先端のサブ波長構造

金森義明, 羽根一博

第4回東北大学光科学技術フォーラム　2011年11月16日
Nanomechanical Tunable Nanophotonics Devices for Optical Communication Systems 国際会議

BIT's 1st Annual World Congress of Nano-S&T-2011　2011年10月23日
XeF2 ガスエッチングによるSi 基板上自立GaN 光導波路の製作

関谷拓治, 羽根一博, 金森義明

第72 回応用物理学会学術講演会　2011年8月29日
高温真空アニールによるSi 深掘りエッチング面の平滑化と雰囲気ガスの影響

佐藤裕一, 金森義明, 羽根一博

第72 回応用物理学会学術講演会　2011年8月29日
Antireflective Subwavelength Gratings on the End Faces of Optical Fibers Fabricated by UV Nanoimprint Lithography 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2011)　2011年8月8日
Silicon Subwavelength Gratings for Reflective Color Filters with Wide Viewing Angle 国際会議

Toshikazu Ozaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2011)　2011年8月8日
Measurement of the Taper Angle and X-ray Reflectivity of MEMS-based Silicon Mirrors 国際会議

Tomohiro Ogawa, Yuichiro Ezoe, Ikuyuki Mitsuishi, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori, Hitomi Yamaguchi, Raul Riveros

16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2011)　2011年8月8日
Smoothing Sidewalls of A MEMS-based Silicon X-ray Optics 国際会議

Teppei Moriyama, Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Takaya Ohashi, Ikuyuki Mitsuishi, Makoto Mita, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori, Akio Maeda

16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2011)　2011年8月8日
水素アニールによるSiエッチング加工面のラフネス低減

佐藤裕一, 金森義明, 羽根一博

平成23年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2011年6月30日
サブ波長構造による構造色利用反射型3原色カラーフィルタの製作

尾崎俊和, 金森義明, 羽根一博

平成23年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2011年6月30日
Applications of subwavelength grating filters to optical information systems 国際会議

The 4th International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging　2011年5月24日
Fabrication of variable-reflection photonic crystal MEMS filters using subwavelength-grating-embedded substrates 国際会議

Y. Kanamori, S. Haida, K. Hane

2009 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)　2009年11月16日
近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化微粒子を用いた製作

金森義明, 灰田周平, 羽根一博

The 26th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems　2009年10月15日

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優秀賞受賞
サブ波長反射防止構造が埋め込まれた反射率可変導波共鳴MEMSフィルタ

金森義明, 灰田周平, 羽根一博

2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会　2009年9月8日
ナノインプリントリソグラフィによる光導波路端面へのサブ波長格子の製作

金森義明, 菱沼知佳, 羽根一博

2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会　2009年3月30日
Fabrication of variable drop filters with resonant cavities in photonic crystals using thin comb-drive actuators 国際会議

Y. Kanamori, K. Takahashi, K. Hane

2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　2008年10月27日
Fabrication of structural color filters with polymer-based guided-mode resonant gratings by nanoimprint lithography 国際会議

Y. Kanamori, H. Katsube, T. Furuta, S. Hasegawa, K. Hane

2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　2008年10月27日
Fabrication of Subwavelength Gratings on Silicon Micro Lenses for MEMS Scanners at Optical Communication Wavelengths

Y. Kanamori, M. Miura, K. Hane

第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2008年10月22日
マイクロマシニング技術によるナノ光機械・微細構造

羽根一博

第1回次世代ナノシンポジウム　2008年8月22日
基板側面へのインプリントリソグラフィと回折格子の製作

金森義明, 菱沼知佳, 羽根一博

2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会　2008年3月27日
Fabrication of pitch-variable MEMS gratings using thermal and electrostatic actuators 国際会議

Y. Kanamori, T. Kobayashi, K. Hane

2007 International Microprocesses and Nanotechnology Conference　2007年11月5日
サブ波長格子と光MEMSデバイスへの応用

国際高等融合領域研究所セミナー（第1回）　2007年10月1日
周期可変サブ波長格子による導波共鳴の制御

金森義明, 松山直樹, Jia-Sheng Ye, 羽根一博

2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会　2007年9月4日
Self-Supported Pitch-Variable Guided-Mode Resonant Grating Filters at Telecom Wavelengths 国際会議

Y. Kanamori, N. Matsuyama, J.-S. Ye, K. Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (Optical MEMS 2007)　2007年8月12日
可動フォトニック結晶スラブを用いた導波共鳴フィルタの製作

金森義明, 木谷隆士, 羽根一博

2007年(平成19年)春季第54回応用物理学関係連合講演会　2007年3月27日
サブ波長格子による反射防止構造の作製とデバイスへの応用

金森義明

フロンティアフォーラム　2006年11月21日

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理化学研究所テラヘルツ光研究プログラム主催，レーザー学会東北・北海道支部，みやぎ産業科学振興基金共催
静電アクチュエータを用いた可動スラブ導波路によるフォトニック結晶光スイッチの製作

金森義明, 梅森謙一, 羽根一博

2006年(平成18年）秋季第67回応用物理学会学術講演会　2006年8月29日
Movable Guided-Mode Resonant Grating Filters by Four Bimorph Actuators for Wavelength Selective Dynamic Reflection Control 国際会議

Y. Kanamori, T. Kitani, K. Hane

2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　2006年8月21日
Wavelength selective variable reflection filter driven by micro-thermal actuators 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

2006 Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006)　2006年6月21日
サブ波長格子を用いた人間の目の分光感度に近い特性を持つ透過型カラーフィルタの製作

金森義明, 下野真也, 羽根一博

2006年(平成18年)春季第53回応用物理学関係連合講演会　2006年3月22日
ナノインプリントによるディスプレイ用カラーフィルタの製作

金森義明, 下野真也, 羽根一博

2005年(平成17年）秋季第66回応用物理学会学術講演会　2005年9月7日
Resonance in a self-supported vacuum grating for tunable optical filters: theoretical approach 国際会議

Y.Kanamori, T.Kobayashi, K.Hane

International Quantum Electronics Conference 2005 and the Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics 2005 (IQEC and CLEO-PR 2005)　2005年7月11日
MEMSアクチュエータを用いた周期可変サブ波長格子の製作

金森義明, 小林孝史, 羽根一博

2005年(平成17年)春季第52回応用物理学関係連合講演会　2005年3月29日
ギャップ制御型ガイドモード共鳴格子による反射率可変フィルタ

金森義明, 木谷隆士, 羽根一博

2005年(平成17年)春季第52回応用物理学関係連合講演会　2005年3月29日
Studies of integrated variable optical devices fabricated by micro- and nano-machining 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

The 3rd International Symposium on Nanotechnology: JAPAN NANO 2005　2005年2月21日
ギャップ制御型サブ波長構造による反射率可変波長選択フィルタ

金森義明, 木谷隆士, 羽根一博

応用物理学会東北支部第59回学術講演会　2004年12月9日
Fabrication of soft nanoimprint stamps and polymer subwavelength gratings by spin coating techniques 国際会議

Y. Kanamori, E. Roy, Y. Chen

SPIE - Photonics ASIA 2004　2004年11月8日
Antireflection Subwavelength Gratings Fabricated on Polymethyl Methacrylate Sheets by Nano-replication Techniques using Spin-coating 国際会議

Y. Kanamori, E. Roy, Y. Chen

Micro and Nano Engineering 2004　2004年9月19日
Driving of optical fiber by surface-micromachined cam-micromotor for the applications to variable optical attenuator 国際会議

Y. Kanamori, Y. Aoki, M. Sasaki, H. Hosoya, A. Wada, K. Hane

2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS　2003年8月18日
カム型マイクロアクチュエータによる光ファイバの駆動と光スイッチへの応用

金森義明, 青木優宇, 佐々木実, 細谷英行, 和田朗, 羽根一博

2003年(平成15年)春季第50回応用物理学関係連合講演会　2003年3月27日
Subwavelength antireflection gratings for photovoltaic cells in visible and near-infrared wavelengths 国際会議

Y. Kanamori, K. Kobayashi, H. Yugami, K. Hane

Microprocesses and Nanotechnology 2002　2002年11月6日
Fabrication of high accuracy micro-translation-table for near-field optical data storage actuated by inverted-scratch-drive-actuators 国際会議

Y. Kanamori, H. Yahagi, T. Ono, M. Sasaki, K. Hane

Microprocesses and Nanotechnology 2002　2002年11月6日

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Outstanding Paper 受賞
XeF2ドライエッチングを用いたエアギャップ可変ファブリー・ペロ型波長選択フィルターの製作

金森義明, 阿部良, 佐々木実, 羽根一博

Optics Japan 2002　2002年11月2日
Subwavelength antireflection structure for optical detector fabricated by fast atom beam etching 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Masahiro Ishimori, Kazuhiro Hane

SPIE -MEMS/MOEMS Technologies and Applications　2002年10月17日
Micro-translation-table for near-field data storage using inverted-scratch-drive-actuators 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Hiroto Yahagi, Minoru Sasaki, Takahito Ono, Kazuhiro Hane

SPIE -MEMS/MOEMS Technologies and Applications　2002年10月17日
高速原子線エッチングによるGaSbサブ波長格子の製作と反射防止特性

金森義明, 小林健一, 湯上浩雄, 羽根一博

2002年(平成14年）秋季第63回応用物理学会学術講演会　2002年9月24日
Fabrication of high aspect ratio subwavelength grating and its application to sensors

Y. Kanamori, M. Ishimori, K. Hane

19th Sensor Symposium　2002年5月30日
高密度記録のためのスクラッチドライブアクチュエータを用いたXYθステージの開発

金森義明, 矢作浩人, 佐々木実, 羽根一博, 小野崇人

平成14年度電気学会全国大会　2002年3月26日
サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性

金森義明, 石杜昌弘, 佐々木実, 羽根一博

電気学会研究会ーフィジカルセンサ研究会　2001年11月21日
反射防止超微細周期格子を有するGaAlAsフォトダイオードの反射防止特性と光電変換特性

金森義明, 石杜昌弘, 佐々木実, 羽根一博

2001年(平成13年)春季第48回応用物理学関係連合講演会　2001年3月28日
陽極酸化ポーラスアルミナをマスクとした高速原子線エッチングによるシリコン超微細周期格子の製作と反射防止特性

金森義明, 佐々木実, 羽根一博

2000年(平成12年）秋季第61回応用物理学会学術講演会　2000年9月3日
サブ波長構造の周期格子による表面反射防止構造

金森義明, 羽根一博

第8回「高効率太陽電池および太陽光発電システム」ワークショップ　2000年7月20日
超微細周期格子のPMMAへの転写と無反射特性

金森義明, 佐々木実, 羽根一博

2000年(平成12年）春季第47回応用物理学関係連合講演会　2000年3月28日
高速原子線による無反射表面のための超微細周期構造の製作と光学特性

金森義明, 佐々木実, 羽根一博

Optics Japan '99　1999年11月23日
High aspect-ratio two-dimensional silicon subwavelength gratings fabricated by fast atom beam etching 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

SPIE -Micromachining and Microfabrication Process Technology V　1999年9月20日
ガラス表面への超微細周期格子による無反射構造の製作

金森義明, 佐々木実, 羽根一博

1999年(平成11年）秋季第60回応用物理学会学術講演会　1999年9月1日
Antireflection structures for visible and infrared wavelengths fabricated on silicon substrates by fast atom beam etching 国際会議

Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

SPIE -Optical Engineering for Sensing and Nanotechnology (ICOSN'99)　1999年6月16日
無反射表面のための微細周期(150-200nm)構造

金森義明, 佐々木実, 羽根一博

レーザ顕微鏡研究会第23回講演会　1999年5月14日
高速原子線エッチングによるシリコン微細格子の製作と光学的無反射特性

金森義明, 佐々木実, 羽根一博

1999年(平成11年）春季第46回応用物理学関係連合講演会　1999年3月28日
太陽電池を用いた太陽光間接励起型半導体レーザの開発

金森義明, 湯上浩雄, 内藤均, 嵐治夫

日本機械学会東北支部第32期総会・講演会　1997年3月8日
太陽電池を用いた太陽光間接励起型半導体レーザの開発

金森義明, 湯上浩雄, 内藤均, 嵐治夫

平成8年度日本太陽エネルギー学会日本風力エネルギー協会合同研究発表会　1996年10月31日
太陽電池を用いた太陽光間接励起LDレーザの開発

金森義明, 湯上浩雄, 内藤均, 嵐治夫

1996年（平成8年）秋季第57回応用物理学会学術講演会　1996年9月7日
ソーラーハウスの熱環境に関する研究

金森義明, 岡本芳三, 稲垣照美

関東学生会第35回学生員卒業研究発表講演会　1996年3月15日

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産業財産権 16

光リング共振器

羽根一博, 金森義明, 佐々木敬

産業財産権の種類: 特許権
光カプラースイッチ

羽根一博, 金森義明, 秋浜祐太, 宗正康

産業財産権の種類: 特許権
薄膜太陽電池用基板およびそれを用いた薄膜太陽電池

齋均, 近藤道雄, 金森義明

特許第5582488号

産業財産権の種類: 特許権
ミラー装置及びミラー装置の製造方法

羽根一博, 穂苅遼平, 金森義明

特許第5098059号

産業財産権の種類: 特許権
光デバイス及びその製造方法

金森義明, 羽根一博

産業財産権の種類: 特許権
波長選択素子及びその製造方法

金森義明, 羽根一博, 五十嵐善之, 古田知伸

産業財産権の種類: 特許権
光導波路デバイス装置及びその製造方法

羽根一博, 金森義明

特許第5309297号

産業財産権の種類: 特許権
光フィルタ装置及びその製造方法

金森義明, 羽根一博

産業財産権の種類: 特許権
太陽光集光器とこれを用いた太陽電池および太陽集熱器

山田昇, 金森義明

特許第4639337号

産業財産権の種類: 特許権
レーザ共振器装置及びその製造方法

羽根一博, 金森義明

産業財産権の種類: 特許権
カラーフィルタ装置及びその製造方法

金森義明, 羽根一博

特許第5023324号

産業財産権の種類: 特許権
サブ波長周期格子を用いたレーザ装置

羽根一博, 金森義明

特許第4682325号

産業財産権の種類: 特許権
反射防止部を有する部材、その成形型及び該成形型の製造方法

寺本諭, 後藤篤志, 生水利明, 羽根一博, 金森義明

産業財産権の種類: 特許権
光フィルタ

金森義明, 羽根一博

産業財産権の種類: 特許権
アクチュエータ及び光スイッチ

石井裕, 細谷英行, 和田朗, 佐々木実, 金森義明, 羽根一博

特許第4307870号

産業財産権の種類: 特許権
半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法

羽根一博, 金森義明

特許第3723843号

産業財産権の種類: 特許権

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共同研究・競争的資金等の研究課題 39

時間変調メタマテリアル非線形フォトニクスの基盤構築

金森義明

2021年～ 2026年

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微小電気機械システム(MEMS)と超高周波磁性体によるナノ・マイクロ構造を統合し、実効的な誘電率と透磁率を真の意味で高速変調する時間変調メタマテリアルを創成する。非線形光学を利用した人工ラマンシフトの実現を通じて、チューナブル・ポータブル・室温動作可能なTHz新光源デバイスを開発する。これによりBeyond 5G / 6G情報通信に向けた、時間変調メタマテリアル非線形フォトニクスの基盤を構築する。
3次元バルクメタマテリアルが拓く極限屈折率材料と革新的テラヘルツ光学素子の創成

金森義明, 松原正和, 岡谷泰佑

2021年4月5日～ 2024年3月31日

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テラヘルツ領域では光学素子に利用可能な材料が乏しく、加工容易かつ幅広い屈折率特性を有する新規材料が求められている。本研究では、自由な形状に形成可能かつ任意の屈折率特性を有するテラヘルツ光学素子の実現を目指し、光共振器を内包した粉末状の新たな光学材料の加工・形成手法を確立する。樹脂製粉末の中に波長（数十～数百μm）よりも小さな金属製光共振器を埋め込むと、粉末全体としての実効的な屈折率は樹脂と光共振器の特性の掛け合わせとなる。特に、光共振器の設計次第では超高屈折率や負の屈折率等の極限屈折率材料を実現できる。誘電率・透磁率特性の異なる粉末状光学材料を液状樹脂に攪拌し、型を用いて凝固させることで、任意形状かつ光共振器の設計に応じた屈折率特性を持つ光学物質（3次元バルクメタマテリアル）が形成される。本年度は、はじめに電磁場解析シミュレーションを用い、樹脂粉末状に光共振器が埋め込まれた構造に関して光学応答の予測を試みた。光共振器としてはAuで形成された分割リング共振器（SRR）を採用した。3次元バルクメタマテリアル内ではSRRを含んだ樹脂粉末がランダムに配向されることを鑑み、SRRの各方向における散乱パラメータの平均値を計算し、共振波長近傍で実効屈折率の変動が得られることを確認した。続いて、光共振器を含んだ樹脂粉末、及びそれらを凝固させた3次元バルクメタマテリアルの作製に取り組んだ。試作結果として最小で一辺100μmの立方体型の樹脂粉末内にSRRを形成することに成功した。また、それらを凝固した3次元バルクメタマテリアルを作製し、顕微鏡観察から樹脂バルク内にSRRがランダム配向していることを確認した。テラヘルツ時間領域分光法を用いた分光計測により得た実効屈折率はシミュレーションによる予測と概ね一致し、光共振器を埋め込むことで樹脂単体とは異なる特性を発現できることを実証した。
UVA照射による光生物学的反応を利用した局所的骨形成促進の作用機序解明

佐々木啓一, 金森義明, 菅野太郎, 中村圭祐, 松浦寛, 天雲太一

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

研究機関：Tohoku University

2021年4月1日～ 2024年3月31日

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研究計画に従って、ラット大腿骨から採取した骨髄由来の細胞を用いた試験を実施した（動物実験承認番号：2020DnA-042）。通法に従って細胞を96ウェルプレートで培養し90%コンフルエントになった段階で、LED照射装置（LX-505, OmniCure）を用いて波長365 nmの紫外線A波（UVA）を照射した。照射野が直径6 mmとなるように集光レンズを用い、照度が100 mW/cm2となるように出力30 mWでUVA照射を90秒間行った（9 J/cm2）。照射後の細胞の生存率をWST-1試薬（Roche）を用いて評価したところ、UVA照射による細胞生存率の低下は認められなかった。また、細胞の脂質過酸化の状態をTBARSアッセイキット（ZeptoMetrix）を用いて評価したところ、UVA照射群では対照群（UVA照射なし）よりも高いマロンジアルデヒド（脂質過酸化の指標）を認めた。従って、UVA照射は骨髄由来細胞に対して、細胞毒性は示さないが、軽度の酸化ストレスを与えることが示唆された。次に動物実験において雄性ラットの大腿骨にUVA照射を行った。大腿骨を透過して骨髄に到達するUVAのエネルギー密度が9 J/cm2（細胞実験と同じ条件）となるように、照射野が直径3 mmとなる集光レンズを用いて出力530 mW（透過率0.7%）で180秒間照射を行った。UVA照射の3週間後に動物をサクリファイスしてマイクロCTで骨梁形成を評価したところ、UVA照射群では対照群（UVA照射なし）に比べて、照射部位直下の骨髄腔で骨梁が形成されていることが分かった。細胞試験と動物実験の結果を併せて考えると、UVA照射による軽度酸化ストレスが、骨髄中に存在する幹細胞あるいは骨芽細胞を刺激することで骨形成が促進されたと考えられる。今後より詳細にUVA照射による酸化ストレスと骨形成の関連性を分析する。
自由空間型ユニタリ変換光回路のオンチップ集積化

松田信幸, 金森義明, 山田博仁

2020年4月1日～ 2023年3月31日

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昨年度，薄さ数μmのシリコン薄膜によるビームスプリッタを周期的に並べた自由空間型光干渉回路を設計するとともに，シリコン深掘りエッチングにより，その試作に成功した．光ファイバアレイを用いて回路の複数の入力ポートにレーザー光を入力し，出力ビームパターンから回路の干渉動作を確認した．本年度は，引き続き光回路の動作検証を進めた．原子間力顕微鏡を用い，Si薄膜の表面（側面）状態，特に表面荒れを評価した．その結果，試料の表面粗さは当初設定した目標値を下回る水準にあることが分かった．次いで，膜厚のばらつきを様々な膜厚の試料について走査型電子顕微鏡を用いて調査した結果，膜厚の製造誤差は極めて小さいことが判明した．そのため本研究で目指すランダムなユニタリ変換回路の実現にあたり，製造ばらつきによるビームスプリッタのばらつきを利用するのではなく，高い制御性とともに各ビームスプリッタの反射率・透過率を設定できることが分かった．また，設計段階で独自提案した，干渉特性を向上させるための薄膜位置オフセット法の有効性を実験的に確認した．次いで素子を光回路として動作させるため，入力側と出力側の両方に光ファイバアレイを設置し，光の入出力特性を調べた．結果，出力側ファイバアレイに結合する光強度を，全てのポートについて同時に最大化できないことが分かった．この原因について詳細に調べたところ，Si薄膜側面に存在する角度1度以下の微小な傾斜が，各Si薄膜での干渉特性やビーム出力方向を変化させていることがわかった．この傾斜の改善は今後の課題である．なお，この調査過程で，深掘エッチングで実現することが困難な不規則な薄膜パターンを作製することのできるポストプロセス法を新たに見出した．
熱環境応答型スマートメタマテリアルの提唱と熱スペクトル制御の実証研究

金森義明

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

研究機関：Tohoku University

2019年6月28日～ 2022年3月31日

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本研究では、誘電体ナノギャップを“気体（空気）”としたナノギャップ可変の積層メタマテリアルで構成され、環境変化に応答し環境のエネルギーを利用してメタマテリアル自らパッシブに構造変形し、適切な光学特性に調整可能な熱環境応答型スマートメタマテリアルの提唱と熱スペクトル制御の実証研究を行った。十字構造金属パターン及びバイメタル可動構造を組み合わせたメタマテリアルを作製し、光学特性の評価を行った。周囲温度の変化に対して、可視光領域では透明性を維持しつつ、近赤外光領域においては透過率が可逆的に変化することを確認した。
メタ表面実装光ファイバが切り拓く測定場所を選ばない革新的超精密ナノセンシング

金森義明

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

研究機関：Tohoku University

2016年4月1日～ 2021年3月31日

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本研究では、ナノインプリント技術で光ファイバ先端に平面型メタマテリアル（メタ表面）を安価かつ高精度に製作し、局所領域のin situ超高感度測定を可能とする革新的超精密ナノセンサの実現を目指した。その結果、光ファイバ先端専用光ナノインプリント装置の構築、石英モールドの製作技術の確立に成功した。また、光ナノインプリントによる光ファイバ端面上のメタマテリアル製作条件を探索し、光ファイバ端面上に屈折率センサおよびワイヤグリッド偏光子を製作することに成功した。更に、石英基板上に偏光無依存メタマテリアルによる屈折率センサを製作し、DNAのラベルフリー検出に成功した。
メタマテリアルとMEMSの融合による量子浮上の検証

冨田知志, 金森義明

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

2017年6月30日～ 2019年3月31日

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量子浮上を実現するためのメタマテリアルのデザイン及びそれを融合するカンチレバーの仕様を検討した。これに際して金属構造や磁性膜での予備実験及び数値計算を行った。更に微細加工や評価に用いる要素技術についても検討した。そして負屈折率を実現するダブルフィッシュネット（DFN）型メタマテリアルを、片持ち梁のカンチレバーに融合するデザインに決定した。微小電気機械システム（MEMS）で用いられる微細加工技術を駆使し、試料の作製を行った。様々なプロセス条件を試した結果、銀のDFN型メタマテリアル融合カンチレバーの作製には至らなかったが、アルミニウムフィッシュネットを持つカンチレバーの試作に成功した。
量子干渉型メタマテリアルの構造変形を伝達関数としたナノ空間局在フォトンモード制御

金森義明, 羽根一博, 佐々木敬

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

研究機関：Tohoku University

2016年4月1日～ 2019年3月31日

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エアギャップの微小変位に対して光学応答を示す可動メタマテリアルを製作し、計算結果と同様の光学変化の実証に成功した。機械的に変形するメタマテリアルの構造変形を伝達関数とした物理量トランスデューサを構築し、光学式フォースセンサとして可動メタマテリアルのデバイスを製作し、その特性を評価した。伝達関数の設計を行う観点からデバイスを設計し、その光学応答特性を理論と実験の両面から明らかにした。
ふく射スペクトル制御型熱ダイオードを用いた高効率ソーラー熱光起電力発電

湯上浩雄, 金森義明, 清水信, 井口史匡

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

研究機関：Tohoku University

2016年4月1日～ 2019年3月31日

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ソーラー熱光起電力発電は単接合セルで多接合セル並みの高効率発電が期待でき、蓄熱システムとの親和性が高いことから次世代太陽エネルギー変換技術として期待されている技術である。本研究の成果である熱輻射スペクトル制御に基づく熱ダイオード技術は入力した太陽光を非常に高い効率で光起電力セルまで導くための重要な技術である。本研究開発によって実験的にGaSbセルを用いたシステムとしては世界最高効率である変換効率5.6%を達成し、変換効率20％以上が期待できるシステムを構築することができた。
太陽光の準単色化によるレクテナソーラーセルの高効率化

湯上浩雄, 金森義明, 清水信, 井口史匡

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

研究機関：Tohoku University

2015年4月1日～ 2018年3月31日

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電磁波のエネルギーを電力へ直接変換可能なレクテナシステムにおいてマイクロ波領域ではこれまでに９０%以上の変換効率が実現されている。同様の原理で太陽光を直接変換するレクテナソーラーセルに関する研究が近年盛んに行われているが、未だ原理検証段階に留まっている。本研究ではレクテナを用いた太陽エネルギー変換技術の実現を目指し、微小共振器構造を用いることで太陽光を準単色化する方法を開発した。加えて近赤外―可視光域(>100THz)の光に応答可能なダイオードが金属―絶縁体―金属(MIM)トンネルダイオードに幾何学的電場集中効果を応用することで実現できることを解析的に示した。
ＧａＮ／Ｓｉハイブリッドフォトニクスの光回路プラットフォームの研究

羽根一博, 金森義明, 佐々木敬

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

研究機関：Tohoku University

2012年4月1日～ 2016年3月31日

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SiフォトニクスとGaNフォトニクスを融合した光回路のプラットフォームをマイクロマシニング技術により開発することを目的とした．GaNの能動導波路とSiの受動導波路を結合した機能性の高い光回路を実現するため，基盤技術を開発した．具体的には，GaN結晶を成長したSiウエハとSi-on-insulatorウエハを張り合わせ，GaNのマイクロリング導波路とSi直線導波路を結合した光回路を製作し，GaNの電気光学効果などによる光変調を実証した．GaN/Siハイブリッド光電子集積技術の一つの基礎を確立できた．
ナノバイオミメティックＲＧＢ構造色材料の高機能化と集積化

金森義明

2013年4月1日～ 2015年3月31日

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本研究は、生物の表面微細構造に由来する構造色を模倣し、構造由来による光応答周波数を制御して三原色（RGB)構造色材料の高機能化と集積化の実現を目的とする。本年度は（１）導波モード共鳴効果に基づく構造色利用カラーフィルタの広視野角化および（２）構造色材料と光電変換デバイスを集積化した波長選択ディテクタの基礎検討を行った。以下、それぞれの概要を述べる。（１）導波モード共鳴効果に基づく構造色利用カラーフィルタの広視野角化：構造色利用カラーフィルタを製作する基板として、石英基板の上に100nm厚の単結晶シリコンが堆積されたSilicon on Quartz基板を用いた。正方配列およびヘキサゴナル配列から成る、垂直入射光に対して偏光無依存の二次元周期サブ波長構造をそれぞれ考え、Rigorous Coupled-Wave Analysis法による数値計算手法を用いて設計を行った。赤、緑、青フィルタの周期をそれぞれ400、340、300nmと選定した。製作は、電子線描画と高速原子線加工を用いた。製作した赤、緑、青の各フィルタからの反射色の色相が入射角θ=0～50°の範囲においてそれぞれの色相に収まっており、広い視野角が実現された。今回測定した範囲内で、最大反射率81%が赤フィルタ（θ=0°、波長620.84nm）で実験的に得られた。また、θ=50°の斜め入射光に対する全てのカラーフィルタの最大反射率は50%を越えており、高い反射率を維持していると言える。（２）構造色材料と光電変換デバイスを集積化した波長選択ディテクタの基礎検討：アモルファスシリコンを用いた薄型の構造色材料を設計し、石英基板上に製作した。またシリコンpn接合を用いたフォトダイオードを試作し、電流-電圧特性を評価した。
ＭＥＭＳ駆動型電磁誘起透明化メタマテリアルによる動的光制御

金森義明

2013年4月1日～ 2015年3月31日

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本研究ではMEMS（微小電気機械システム）駆動可変構造による電磁誘起透明化（Electromagnetically induced transparency-like：EIT)メタマテリアルの動的光制御の実現を目的とする。また、MEMS駆動可変構造に適し、かつ高効率なメタマテリアル構造を探求するために、MEMS駆動の前段階として基板上に静的なメタマテリアルを製作し、理論および実験の両面から光学特性を調べることを目的とする。なお、対象波長は光領域およびテラヘルツ領域とする。本年度は、以下のデバイスを試作評価した。（１）光領域で動作するMEMS駆動EITメタマテリアルの試作を行った。波長800nm帯を設計波長とし自立構造上にメタマテリアルを製作することに成功した。透過スペクトル測定から共鳴によるディップを波長800nm付近で確認することができた。また、MEMSアクチュエータのみの動作に成功し36Vの駆動電圧で97nmの変位特性を得ることができた。（２）テラヘルツ領域で動作するMEMS駆動EITメタマテリアルの試作を行った。シリコンの自立構造上にEITメタマテリアルを製作し、MEMS駆動によるEITメタマテリアルの可動に成功した。（３）光メタマテリアルの屈折率、位相変調量を評価するための顕微干渉計を開発し、光領域で動作する静的なEITメタマテリアルの位相制御特性評価を行った。（４）テラヘルツ領域で動作する静的なEITメタマテリアルを再試作し、明瞭なEIT応答の観察に成功した。（５）非対称性を導入したFano共鳴型Asymmetric double bars（ADB）メタマテリアルの提案と実証を行い、波長1300nm近辺でFano共鳴の観察に成功した。また、ADBメタマテリアルのユニットセルの配列を変化させることによるFano共鳴のQ値向上に成功した。
ナノ空間ひずみ場制御による新規イオン伝導性固体の創製と燃料電池反応促進

湯上浩雄, 井口史匡, 佐藤一永, 雨澤浩史, 中村崇司, 金森義明

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

研究機関：Tohoku University

2011年4月1日～ 2014年3月31日

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ひずみ場によりイオン伝導性固体の導電特性が変化する現象を能動的に制御することで，携帯型電子機器用の電源として開発が進んでいるμSOFCの特性を向上させ，低温作動特性を付与することを目的とし，ひずみ場の制御手法とその影響の評価を行った。圧縮と引張両方向のひずみ場を導入したセルを評価した結果，引張性のひずみ場を界面から生じる熱応力などで加えることで電解質抵抗が低減される可能性が示唆された。合わせて，ひずみ場を導入可能な構造を持つμSOFCの設計，試作も行った。
ＭＥＭＳ駆動可変構造による光メタマテリアルの高機能化

金森義明

2011年4月1日～ 2013年3月31日

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光を自在に操作するために、光メタマテリアルの動的制御は不可欠である。MEMS（微小電気機械システム）駆動方式により光メタマテリアルを動的制御することができれば、広帯域かつダイナミックな強度変調が可能となる。本研究は、MEMS駆動可変構造により光メタマテリアルの高機能化を図ることを目的とする。研究項目は、①MEMS駆動に適した光メタマテリアル構造を設計・試作し、②駆動特性や光学特性を調べ、③MEMS駆動特有の問題点やキーポイントを明らかにすると共に、④実験と理論の両面から本方式による光制御の適用範囲を明らかにする。本年度は、前年度の1次試作で明らかになった問題を改善するためにプロセスを変更し、デバイスの2次試作および評価を行った。プロセスの改善に合わせて再度数値計算を行った。Si細線導波路の側面から100nmの位置に幅150nm、厚さ260nmの長方形の金属ロッドが周期300nmで10個配列しているとき、導波路の減衰スペクトルを計算し、間隔を変化させることで波長選択性可変光減衰器として機能するデバイスになることを確認した。製作は、電子線(EB)描画でパターニング、高速原子線によりエッチングし、EB蒸着装置により金属蒸着後、リフトオフを行う。ダイシングにより導波路の端面を出し、気相フッ化水素酸エッチングにより犠牲層をエッチングすることで導波路およびアクチュエータが自立する。電子顕微鏡での解析から自立構造を確認し、本研究で製作技術を確立できた。また、MEMSアクチュエータによるメタマテリアルの動的制御に成功した。一方、メタマテリアル構造の製作誤差に対する許容度が厳しく、測定スペクトルに個体差が生じた。製作精度の改善はEB描画時の加速電圧を130kVに変更することで数段よくなることを確認したので、今後、試作を続けて再現性の良いスペクトルを取得していく。
シリコンナノフォトニクス回路実現のための超低損失光NEMS技術の基礎研究

金森義明, 羽根一博, 胡芳仁

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

研究機関：Tohoku University

2009年～ 2011年

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水素アニール処理における, 処理条件依存性を定量的に評価した。また空間周波数解析により, 短周期の凹凸成分ほど平坦化されることを明らかにした。 Silicon on Insulator (SOI)基板から製作した, 櫛歯静電アクチュエータとSi細線導波路を水素アニール処理した。アニール温度を900度程度に下げることで, 微細構造の形状を維持したまま, 側壁の凹凸を除去することができた。リング共振器を櫛歯静電アクチュエータで可動させる微小共振器を製作し、水素アニール処理による側壁荒れの低減を達成した。
窒化物半導体とシリコンのモノリシック集積による光マイクロシステム

羽根一博, 胡芳仁, 金森義明, 佐々木実, 佐々木実, 金森義明

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

研究機関：Tohoku University

2007年～ 2011年

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Siの立体構造およびマイクロアクチュエータとGaN系光源デバイスをモノリシックに集積することで, 高機能で集積度の高い光応用のマイクロ電気機械システム(MEMS)を実現した.具体的には, Si基板上GaN-発光ダイオード(LED)の結晶成長, 微細加工を施したSi/GaN基板上GaN結晶成長, GaN-LEDとSiアクチュエータの集積, GaNアクチュエータの製作を行った.GaN-LEDとSi-MEMSを集積した配光可変デバイスおよび蛍光分析チップなどを実現した.
ガイドモード共鳴格子を用いたエアギャップ可変光フィルタ競争的資金

制度名：Industrial Science and Technology Frontier Program

2002年9月～ 2009年3月
MEMS技術による光通信用高機能デバイスの研究

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

研究機関：Tohoku University

2005年～ 2008年

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MEMS技術により微細な立体構造とマイクロアクチュエータを集積した機能性の高い光通信デバイスを研究した.具体的にはSi自立格子を用いた光フィルタを製作し,格子周期を変調できることを示した.また周期可変のブレーズ格子を実現した.さらにSi細線導波路波長選択スイッチを試作した.光路切り替えマイクロミラースイッチの高機能化のため角度センサの搭載や低電駆動法などを研究した.
光造形とドライエッチングを用いたマイクロ光学素子の製作競争的資金

制度名：Grant-in-Aid for Scientific Research

2005年4月～ 2007年3月
MEMSアクチュエータを用いた周期可変サブ波長格子の製作競争的資金

制度名：Grant-in-Aid for Scientific Research

2002年4月～ 2007年3月
光導波路端面に製作したナノ周期構造による高効率結合素子および光フィルタ

金森義明

2006年～ 2007年

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光通信システムにおいて、光集積回路(光IC)チップと光ファイバの結合損失が問題となる。サブ波長格子は入射波長よりも小さいナノ周期構造であり、高効率な入出力カプラ、位相板、反射防止フィルタ、偏光フィルタ、バイナリーレンズなどが提案されている。本研究では光ICの入出力ポートとなる光導波路端面にサブ波長格子を製作し、光通信システムの光利用効率の向上を目指した素子の開発を目的とする。本年度は、昨年度に製作した冶具を用いて基板端面へのナノインプリントリソグラフィを行い、光導波路端面にサブ波長格子を製作した。はじめに、安価なガラス基板端面へパターニングの実験を行い、パターニング精度や均一性を評価した。テーパ状サブ波長構造を用いて、400〜900nmの波長域で99%以上の高い透過率を示す構造を設計した。構造の光学特性はRigorous Coupled-Wave Analysisを用いた計算プログラムで行い、ナノインプリントリソグラフィに用いた樹脂の屈折率は屈折率測定装置により測定した値を用いた。計算結果より、モールドは周期400nm、高さ900nmのテーパ形状二次元サブ波長構造として設計された。パターンはサブ波長格子であり光学顕微鏡で評価するのは困難であるので走査電子顕微鏡にて形状評価を行った。次に、光導波路基板端面へのサブ波長格子の形成を行った。実験を進めると同時に冶具の改良を行った。冶具で重要な点は、光導波路基板端面とモールド面との平行度であり、ナノインプリント装置自体のプレス面の平行度は完全でないため、平行度調整機構と圧力測定フィルムにより高精度な平行出しを行った。光導波路基板端面へ製作したサブ波長格子を介して光導波路へ光を結合させ、光透過特性の評価を行い、光利用効率の高い素子の開発に成功した。最後に、本研究の総括を行った。
回転角センサー体型MEMS光スキャナ

佐々木実, 羽根一博, 金森義明

2005年～ 2006年

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改良した光スキャナを完成した。主たる改良は、静電アクチュエータとして駆動しながら、センサ信号が得られるようにしたこと、センサの高精度化のために電気的絶縁を施した点である。通常、アクチュエータはシリコン酸化膜のエッチングによってリリースするのに対して、センサの保護膜には酸化膜が良いという互いに相反する構造を用意する必要がある。製作プロセスは、この点に配慮した。一体形成した回転角センサがアクチュエータの動作を妨げることなく動作できることを示した。静電アクチュエータを駆動(90Vで〜1゜)しながら、同時にセンサ信号を得た。ミラー回転角を光学的な手法で測定しつつ、センサ信号と比較した。SNの差はあるものの、ミラー回転角とほぼ同形のセンサ信号が得られた。マイクロミラーに集積化させたセンサによって、ミラーの静電駆動に追従した信号を示したのは、世界初である。センサに流すバイアス電流がトーションバーを加熱し、ミラーの動作に悪影響を及ぼすのではないかと指摘されてきた。センサに加えるバイアス電流を、光スキャナの共振周波数(〜14kHz)よりも高い周波数で変調すると、ミラーの変動が抑えられることも分かった。センサ信号を詳しく調べると、0-1゜のミラー回転4往復分のセンサ信号はほぼ重なりヒステリシスが少ないことが伺えた。現在はSNが十分でないため、近似曲線を利用して、ヒステリシスを評価した。結果、全ての往復で2%以内に収まっていることが分かった。電圧をオープンループで印加した駆動方法においてはヒステリシスが4%あった。少なくとも、センサ信号を利用してミラーを動作させた方がヒステリシスは少なくできると言える。今後は、更に信号の質を向上させる。電流変調を行う電気回路が十分高周波にできないことも、問題になっている。デバイスそのものと同じく改良の余地がある。
立体的微細加工技術による曲面ナノモールディング

羽根一博, 金森義明

2004年～ 2006年

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半導体微細加工技術によりシリコン及びガラス曲面に製作したナノ構造をモールディングにより転写し,曲面ナノ構造を製作する技術を確立することを目的としている.本目的を実現するために,まず,電子線描画装置により平面シリコン上へ超微細構造(サブ波長2次元格子)を描画し,原子線エッチングによりモールドを製作した.まずシリコン基板上の電子線レジストへ周期200nmから500nm程度の2次元格子パターンを製作した.次に原子線エッチング装置を用いて,シリコン基板へ転写した.エッチング条件を調節することで,テーパ断面形状を実現した.非球面補正を行ったフレネルレンズも製作した.この場合,最小周期はおよそ700nm程度であった.シリコン基板上にレジストリフローによりレンズ形状を形成し,エッチングによりシリコン基板にレンズ形状を転写した.電子線描画の深い焦点深度を利用して,シリコンレンズ曲面にサブ波長格子を製作した.レンズ曲面の中心付近および周辺部においてサブ波長格子を精度よく製作できた.モールド加工については,ポリマーをほっとエンボス法によりシリコンモールドに流し込み,100nmレベルの周期構造を転写した.また平面シリコン基板に,最初にサブ波長格子を形成し,後に厚膜レジストのリフロー法によりレンズ形成し,深堀エッチングによりシリコンに無反射ナノ格子を備えたレンズを形成する方法についても実験を試みた.
マイクロ・ナノマシニングによる光通信用可変フォトニックデバイスの研究

羽根一博, 佐々木実, 金森義明

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

研究機関：Tohoku University

2002年～ 2006年

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フォトニック結晶の格子構造をMEMSにより可変にすることで,光波の伝搬を制御できる光スイッチを試作し,動作特性を測定した.自立したフォトニック結晶スラブ構造を空間的に分割して製作し,静電アクチュエータにより導波路の結合を変更する方式を試作した.設計においてはFDTD法による数値解析を行った.可動スラブと固定スラブの間隙の最適値等を求めた. SOIウエハを用いて2次元フォトニック結晶導波路を製作した.電子線描画により400nm周期で300nm穴径の結晶パターンを転写した.高速原子線および高密度プラズマにより結晶の空孔を高いアスペクト比でエッチングした.これらのデバイスの製作に欠かせない犠牲層のドライエッチングを実現するため,フッ化水素水の蒸気によるエッチング装置を最適化した.アクチュエータとして平行平板とくし型の2種類の静電方式を製作した.設計と加工装置と条件の改良により,フォトニック結晶とMEMSアクチュエータの製作を可能にした.試作したデバイスの動作を赤外線カメラで観察し,精度よく製作されていることを確認した.スイッチ動作に伴い,散乱光が変化しており,動作が確認された.透過光量の電圧依存性を測定した.180Vで最も透過光量が下がり遮断状態に対応する.さらに電圧を上げてアクチュエータの駆動距離を増加させると逆に空隙を通して透過光が増加する特性が得られた.このような特性は理論計算からも説明できた.横方向に移動するくし型アクチュエータを組み込んだフォトニック結晶スラブスイッチを試作し,光透過を確認した.このように,フォトニック結晶スラブ導波路にMEMSアクチュエータを組み込んだ可変デバイスの試作に成功した
表面回折光学系を用いた熱放射スペクトル制御

湯上浩雄, 金森義明, 井口史匡

2004年～ 2005年

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本研究では,高温物体の表面に波長と同程度の周期構造(回折格子)を形成することにより、熱放射スペクトルの制御を行い、熱光発電システムや化学反応プロセス等の高効率な熱利用システムを構築することを目的としている。昨年度の研究において、Maxwell方程式の厳密解を求めるシミュレーションコードにより、各システムに最適な微細構造の決定を行うとともに、可視領域の輻射スペクトルを選択的に放射する表面ナノ構造体を高融点金属に作製するためのプロセス研究を行ってきた。この成果にもとずき、本年度は以下の研究を行った。 1.昨年度までに整備したフーリエ赤外分光器を中心とした熱放射スペクトルの絶対値を測定する装置により,単結晶および多結晶タングステン試料表面に製作した表面回折格子からの熱放射を測定し、キャビティ深さと熱放射スペクトルについて系統的に調べた。その結果、キャビティ深さが浅い場合は、表面プラズモンポラリトン共鳴による放射が観測されるが、キャビティ深さの増大とともに、孤立したキャビティ内部の電磁波モードからの放射が支配的となることが分かった。 2.光学定数が複雑な分散関係を示す材料に適応可能なFDTDプログラムコードを開発して,構造との共鳴効果による熱放射スペクトルへの影響を定量的に解析すると共に、実験結果との比較を行った。その結果、開発したFDTDコードにより、熱放射スペクトルが再現でき、実験と定量的な比較が出来る事が分かった。 3.これまでの研究成果の取りまとめを行と共に、今後の研究の方向性や更に研究すべき課題について検討した。
近接場光学効果によるスペクトル選択性コヒーレント熱放射

湯上浩雄, 佐多教子, 小野崇人, 金森義明, 圓山重直

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

研究機関：Tohoku University

2003年～ 2005年

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本研究では、近接場熱放射のスペクトル特性を明らかにすることを目的とし、近接場熱放射計測装置を開発し、近接場熱放射の計測に成功した。本研究を通して得られた知見を以下に記す。 1.高温観測可能な超高真空型STM/SNOMシステムを開発し、近接場熱放射の観測に成功した。プローブ-試料表面間距離を大きく変化させることで、得られる信号強度が大きく変化したことより、測定に用いたSTM/SNOMシステムで近接場熱放射を観測していることが分かった。 2.変調振幅を変化させ、そのときに得られる信号強度の変化より、試料表面からの近接場熱放射の強度の距離依存性を見積もることができ、試料表面から約6nmの範囲においてその強度はほぼ一定であり、試料表面に局在していることが分かった。 3.構造深さが異なる3種類のW2次元回折格子と平坦なW表面からの近接場熱放射分光スペクトルを測定した。最も深い2次元回折格子からはマイクロキャビティ効果によるピークが観測され、中間の深さの2次元回折格子からは表面プラズモンポラリトン及びマイクロキャビティ効果によるピークが観測された。これらの2次元回折格子は遠隔場でも近接場と同様の波長において選択熱放射が観測され、近接場熱放射分光スペクトルの観測は遠隔場における選択熱放射光の源となる光を観測していると言える。 4.遠隔場熱放射と近接場熱放射の強度比較を行った。近接場熱放射がプローブ先端から10nmの範囲から散乱されていると仮定し、その強度比を見積もると、近接場熱放射は遠隔場に比べ数十倍から数百倍の強度であることがわかった。
ソフトUVナノインプリントリソグラフィ競争的資金

制度名：International Collaboration

2003年10月～ 2004年9月
高密度光記録メディア駆動用反転スクラッチドライブアクチュエータの製作競争的資金

制度名：Grant-in-Aid for Scientific Research

2001年4月～ 2004年3月
マイクロマシニングによるサブ波長構造制御型効率可変回折光学素子の開発

金森義明

2003年～ 2004年

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格子周期が入射波長よりも短いサブ波長構造(Subwavelength grating:SWG)は構造に依存した複屈折・有効屈折率特性、入射波との強い結合による共鳴効果を示し、波長選択フィルタ、偏光子、反射防止膜への応用が報告されている。本研究ではマイクロマシニング技術を用いてサブ波長構造の周期を可変制御することにより回折効率の制御を実現するデバイスの開発を目的とする。本年度は、静電アクチュエータを用いてバネ状に形成されたSWGを伸縮させる構造の周期可変SWGを試作し、その光学特性を評価した。製作は次のように行った。まず、Silicon on Insulator(SOI)基板上に電子線描画装置を用いてパターニングを行い、反応性イオンエッチング及び高速原子線エッチングを用いてアクチュエータ及びSWG構造を形成する。最後に可動部下部のシリコン酸化膜層をフッ酸により除去して完成となる。静電アクチュエータは10μm程度の変位量とバネ状に形成されたSWGを引っ張るのに十分な力を発生させるために、コム型アクチュエータとした。製作した周期可変SWGの初期周期は、600nmとした。静電アクチュエータを駆動させることにより(印加電圧:160V)、SWGの周期が715nmへ可変した。デバイスを駆動させつつ、TE偏光入射時の分光反射率特性を計測した。格子周期が600nmから715nmへ変化することにより、波長650nm〜750nmの赤色の波長領域において反射率が減衰した。
光ファイバ上に展開するマイクロマシニング加工

佐々木実, 羽根一博, 金森義明

2002年～ 2004年

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本年度の実施計画通り、光ファイバそのものに施す加工は最小限に抑えて、複雑な構造は組み合わせるシリコンデバイス側に含めて組み合わせる方針で技術開発を進めた。昨年度の軸ずれ補正機能を目指したマイクロレンズも一つの試みである。この考えは、ボールレンズをセルフアライメントで中心に精度良く固定するレンズホルダに発展した。光ファイバに施す加工は細径化程度に留めて、シリコンウェハから加工する構造には複雑なMEMSデバイスを用意し、両者を相性良く組み合わせるデバイスを開発した。光ファイバを加熱する複雑なマイクロヒータのアレイデバイスをシリコンデバイス側で用意して、光ファイバもしくは従来からのファイバ型デバイスと組み合わせる試みを行った。具体的には、減衰量可変の長周期ファイバグレーティングおよび短周期ファイバグレーティングのチャーピング用デバイスである。MEMSデバイスとしては、SiNやpoly-Si膜からなる薄膜型デバイス、およびSOI(silicon on insulator)ウェハ中の結晶Siをエッチングして形成したSOIデバイスの2種を製作した。減衰量可変の長周期ファイバグレーティングは、直径12μmの光ファイバに400-500μmの周期構造を温度分布によって転写するデバイスである。マイクロヒータに入力した電力に比例して、長周期ファイバグレーティングによる減衰が増加することを確認した。熱がこもり易い薄膜型デバイスの方が、より効率的な減衰特性を示した。短周期ファイバグレーティングのチャーピング用デバイスにおいては、光ファイバに短周期グレーティングを書き込んだデバイスとマイクロヒータデバイスを組み合わせた。ヒータ抵抗が系統的に変化するよう形状を変化させた。チャーピングに関しては、SOIデバイスの方が再現性の良い結果を示した。ヒータ材料であるpoly-Siの完全に均一なドーピングが現状では難しいからである。スペクトル形状は、反射ピークの長波長側へのシフトとピーク形状の変化が確認された。
カム型マイクロアクチュエータを用いたファイバ直接駆動光スイッチ競争的資金

制度名：Cooperative Research

2001年4月～ 2003年3月
量子共鳴効果による周期的表面ナノ構造からの熱放射スペクトル制御

湯上浩雄, 齋均, 金森義明, 佐多教子, 圓山重直

2002年～ 2003年

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我々は、熱光起電(Thermo-Photo-Voltaic : TPV)発電に関する研究を行っていく過程で、フォトニック結晶と類似の表面ナノ構造により熱放射スペクトルが制御できる可能性が有ることを見出した。本研究では、この量子共鳴効果を用いた熱放射スペックトル制御機能の発現原理の解明と、TPV以外の熱工学応用分野への適応性に関して研究を行う。本研究では,熱放射スペクトルの制御を行うことにより,より高効率な熱利用システムを構築するとともに、作製したナノ構造エミッタの熱・光学特性を評価し、機能性発現原理と応用について考察する。前年度行った、Maxwell方程式の厳密解を求めるRigorous Coupled-Wave Analysis(RCWA)法に基づいた解析プログラムコードによる、最適な微細構造の決定、微細領域の放射スペクトルを測定するための放射測定装置の設計と製作に引き続き、以下の研究を行った。・可視領域の輻射スペクトルを選択的に放射する表面ナノ構造体を高融点金属に作製し、高温耐性を有する構造を実現するために、単結晶タングステン金属を用いて表面微細構造を製作し、1400Kにおいても安定な構造を得ることができた。・実際の試料の製作に当たっては製作誤差が不可避であり、それを考慮して改めて設計を行い、周期1.0-1.2μmの試料を作製した。これにより可視〜2.0μmの放射率が増大し、波長特性が改善された。・開発したRCW法に基づく数値解析と、微細構造のパラメータを変化させた試料の放射特性の比較から、今回得られた熱放射特性の変化は、主としてマイクロキャビティ効果に起因することが実験的に示された。
近接場光加工の大面積化に関する研究

羽根一博, 金森義明, 佐々木実

2000年～ 2003年

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本研究の目的は近接場光加工の大面積化技術の研究を行うこと,特に具体的目標として,光メモリへ応用することである.集積型プローブの並列化を実現することが重要である.加えて媒体用マイクロステージ機構(マイクロメディアスキャナ)を開発することが重要である.本年度はマイクロステージとして,スクラッチドライブアクチュエータ(SDA)のアレイを駆動源とするマイクロステージを設計・製作した.表面マイクロマシニングにより製作したSADでは残留応力の影響を受けるので,SOIウエハの上層結晶シリコンを用いたSDAによるマイクロステージを設計,製作した.SOIの基板層をステージとして,搬送動作を実現した.ステージを乗せる基板にSDAが接触する配線を施すことで,ステージへ直接接続する針金が不要となり,ステージの移動における制約を取り除いた.また再現性の高いステージを実現するため,弾性ヒンジ構造とくし型アクチュエータを組み合わせたステージを設計し試作した.ステージの移動距離を拡大できるようにバネとくし型アクチュエータを設計し100μm程度の大変位を実現できた.さらに,集積化システムをリソグラフィにより実現するため,レジスト噴霧法を開発してきたが,段差面への塗布におけるピンホールの発生特性を明らかにし,ピンホールのないレジスト塗布法を開発した.これらの技術は本研究の目的の集積化において極めて重要な技術である.
サブ波長反射防止構造によるLEDの高光取り出し効率化に関する研究競争的資金

制度名：Grant-in-Aid for Scientific Research

1998年4月～ 2001年3月
サブ波長反射防止構造の基礎研究競争的資金

制度名：Grant-in-Aid for Scientific Research

1998年4月～ 2001年3月
ロボットの指関節用および精密機器用マイクロ回転エンコーダの試作

羽根一博, 金森義明, 佐々木実, 江刺正喜, 家城淳, 南和幸

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

研究機関：Tohoku University

1999年～ 2001年

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鋼軸円柱表面にエンコーダ用の格子パターンをリソグラフィ法により製作するために、、レジスト霧化装置と円筒面にパターンを転写する露光装置を開発した。円筒面や凹凸面であっても、均一なレジスト膜を成膜できる条件を得た。また、露光においては半導体用マスクを円筒面に近接させて光を照射しながら、マスクの平行移動と円筒の回転は精密に制御できる方式を提案した。従来の転写で困難であったパターンのつなぎ合わせの問題を解決した。直径3mmのステンレス円柱の表面に周期40μmの格子パターンを転写できた。金属のエッチングを行うことで、金属円筒へエンコーダパターンを直接に形成した。製作したパターンには、金属の粒界によると思われる凹凸が生じたが、エンコーダとして用いることができることを確認できた。エンコーダのセンサ部分においてはリニア型において光検出器と光源を集積することに成功した。軸ずれ、格子周期のひずみなどが平均化された小型であるが精度の高いエンコーダを実現するための技術を確立した。インデックス格子と光検出器、光源を一体化した。検出器としてシリコンのフォトダイオードを格子に組み込んだ集積型センサを製作した。GaAs半導体を用いてエンコーダに適した光源を製作した。これらを組み合わせて集積型エンコーダを実現できた。製作した円筒格子を用してロボットの指関節をモデルとした測定系を構成した、円筒は指関節の軸に用い、ベアリングと組み合わせた。闘節は2つ並列に構成した。小型のエンコーダであるが、回転信号が得られ、動作を確認できた。以上マイクロエンコーダの新しい製作方法を提案し、擬似ロボット指関節においてエンコーダを組み込んだ小型の構造で実証でき、本研究の主要な目的を達成した。
レーザによるワイヤレスエネルギー伝送競争的資金

制度名：Grant-in-Aid for Scientific Research

1996年4月～ 1998年3月
太陽光間接励起型半導体レーザの開発競争的資金

制度名：Grant-in-Aid for Scientific Research

1996年4月～ 1998年3月

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社会貢献活動 28

Metamaterials for 6G and Robotics Applications

オンライン講義

2024年11月13日～ 2024年11月13日
海外から旺盛な引き合い ―ミニマルファブ特集―

電子デバイス産業新聞

2019年8月29日～ 2019年8月29日
光を操る未来技術～メタマテリアル・生物模倣ナノ光学素子と微小機械の融合～

オープンキャンパス2019 機械知能・航空工学科オープン講義

2019年7月30日～
光を操る新技術：メタマテリアル・生物模倣ナノ光学素子と微小機械の融合

2019年6月18日～
産学官金連携フェア2018みやぎ

2018年1月18日～

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「高効率ナノ光学デバイスの開発」ブース出展
福島県立安積黎明高等学校平成２９年度第２学年大学・学問体験講座

2017年11月8日～

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福島県立安積黎明高等学校における高校2年生を対象とした大学・学問体験講座
光学レンズ厚さ1/1000 東北大「曲がるスマホ」に道

2017年1月31日～
Huawei Japan Micro-nano Fabrication Workshop

2016年10月14日～

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Novel light control surfaces based on nano-photonics: structural color and meta-materials
情報機構セミナー

2016年1月22日～

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サブ波長構造・超微細構造の作製方法と光応用～メタマテリアル、MEMS、生物模倣～
RSoft 特別セミナー 2015

2015年6月9日～

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RSoft 特別セミナー 2015
情報機構セミナー

2015年1月14日～

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サブ波長構造・超微細構造の作製方法と光応用～MEMS、生物模倣、メタマテリアル～
情報機構セミナー

2013年11月22日～

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ナノ光機械・超微細構造の製造技術、開発動向と展望
新化学技術推進協会電子情報技術部会・MEMS分科会講演会

2013年4月26日～

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講演題目：メタマテリアルのMEMSへの応用の可能性
第22回マイクロナノ先端技術交流会

2011年12月19日～

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マイクロナノ技術に関係している企業の専門家を対象にした技術交流会での講演。題目「ナノスケール超微細構造を応用した超小型・高機能光デバイスの研究」
SSH高大連携事業盛岡第三高等学校「緑丘セミナー（講演会）」

2011年11月7日～

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講演題目：機械工学とナノテクノロジーが織りなす未来技術
東北大学、光ファイバの先端に反射防止構造体を作製する技術を開発

2011年1月10日～
反射防止膜安価に作製

2010年11月26日～

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光伝搬部に微小くぼみ光ファイバー先端東北大が新技術
Research Highlights : Photonic crystals: Drop to switch

2010年1月13日～
回折格子と波長可変性を増強したSOI/MEMSブレーズド格子

2009年7月10日～
カラーフィルターナノ技術で安く作製

2007年8月30日～
可視光用カラーフィルター製造コスト削減10分の1に

2007年8月29日～
カラーフィルターナノ技術で低価格に

2007年8月29日～
表面に突起光量６０パーセント増 LED高出力化に期待

2006年7月27日～

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素子の表面に微小な突起を多数付けることで、従来に比べ約６０％明るくなる発光ダイオード（LED)を、東北大学大学院工学研究科の羽根一博（光工学）と金森義明助手が二十六日までに開発した。LEDの高出力化に直結する技術で、早期の実用化に期待がかかりそうだ。
でこぼこ付けて光量アップ新型LEDを開発

2006年7月23日～

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素子の表面に微小な突起を多数付けることで、従来に比べ約６０％明るくなった発光ダイオード（LED)を、東北大の羽根一博（光工学）と金森義明助手が開発した。
でこぼこ表面で光量６０％増新ＬＥＤ、東北大が開発

2006年7月22日～

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素子の表面に微小な突起を多数付けることで、従来に比べ約６０％明るくなる発光ダイオード（LED)を、東北大学大学院工学研究科の羽根一博（光工学）と金森義明助手が二十六日までに開発した。LEDの高出力化に直結する技術で、早期の実用化に期待がかかりそうだ。
Newsbreaks: Subwavelength gratings boost light-emitting-diode output

2002年11月1日～
Newsbreaks: Silicon AR structures are made using porous alumina membrane

2001年3月1日～
Newsbreaks: Gratings reduce reflection from silicon substrates

1999年12月1日～

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メディア報道 29

ジョン・ペンドリー博士革新的な物質メタマテリアルの理論構築

日経サイエンス社　日経サイエンス(2024年11月号)　日経サイエンス, Vol.54, No.11, pp.2-5(2024).

2024年11月1日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
ミニマルが人をつくる -ミニマルファブ特集-

電子デバイス産業新聞　9面

2024年9月5日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
屈折率1.25倍に向上等方性のメタマテリアル東北大

日刊工業新聞　23面

2024年8月1日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
東北大、透過周波数を調整、メタマテリアルフィルター６G通信向け

日刊工業新聞　23面

2024年2月20日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
メタサーフェス：6-4. 国立大学法人東北大学

株式会社矢野経済研究所　Yano E plus　通巻190号（2024年1月号）PP. 62-70

2024年1月15日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
遮熱・高速無線通信両立東北大、透明窓を実現

日刊工業新聞

2023年10月19日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
「情熱Labo」

ミヤギテレビ　OH！バンデス (第4部）ミヤギnews every.「情熱Labo」

2023年10月12日

メディア報道種別: テレビ・ラジオ番組
事業化フェーズへ移行 -ミニマルファブ特集-

電子デバイス産業新聞

2023年9月7日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
6Gへ開発加速

日刊工業新聞

2023年8月21日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
東北大学透過型偏向器を開発テラヘルツ波の広角走査と高い電力効率実現 6G通信などで応用が期待

電波新聞

2023年8月18日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
Sakaguchi: sensing innovation

Newsweek　Newsweek国際版

2023年8月12日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
テラヘルツ波曲げるシリコンメタマテリアルで

日刊工業新聞

2023年8月10日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
量産見据えた開発進む -ミニマルファブ特集-

電子デバイス産業新聞

2022年9月1日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
次世代材料の研究拠点東北大が開設多分野で応用めざす

日本経済新聞

2022年6月15日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
メタマテリアル研究加速通信・ロボなど東北大、拠点開設

日刊工業新聞

2022年6月13日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
世界初！部材として供給可能な三次元バルクメタマテリアルを開発

産経新聞

2022年4月1日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
Next Tech2050 「６G」向け電波制御材料安く東北大が大量生産手法を開発

日経産業新聞　日経産業新聞

2022年3月25日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
旺盛な試作ニーズに柔軟対応 ―ミニマルファブ特集―

電子デバイス産業新聞

2021年9月9日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
テラヘルツ波を高度に電圧制御

電波新聞

2021年1月15日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
量産見据えた装置開発が加速 ―ミニマルファブ特集―

電子デバイス産業新聞

2020年8月27日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
海外から旺盛な引き合い ―ミニマルファブ特集―

電子デバイス産業新聞

2019年8月29日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
光学レンズ厚さ1/1000 東北大「曲がるスマホ」に道

日経産業新聞

2017年1月31日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
反射防止膜安価に作製

日刊工業新聞

2010年11月26日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
カラーフィルターナノ技術で安く作製

日経産業新聞

2007年8月30日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
可視光用カラーフィルター製造コスト削減10分の1に

河北新報

2007年8月29日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
カラーフィルターナノ技術で低価格に

日本経済新聞

2007年8月29日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
表面に突起光量６０パーセント増 LED高出力化に期待

河北新報

2006年7月27日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
でこぼこ付けて光量アップ新型LEDを開発

東京新聞

2006年7月23日

メディア報道種別: 新聞・雑誌
でこぼこ表面で光量６０％増新ＬＥＤ、東北大が開発

共同通信

2006年7月22日

メディア報道種別: 新聞・雑誌

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学術貢献活動 2

The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13) Session B: Optics and spectroscopyの座長

2024年10月14日～ 2024年10月17日

学術貢献活動種別: 学会・研究会等
3.12 ナノ領域光科学･近接場光学セッションの座長

2021年3月19日～ 2021年3月19日

学術貢献活動種別: 学会・研究会等

その他 9

高効率で多彩な発色性を持つ超微細周期構造を用いた成形品への新しいカラー印刷技術

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高効率で多彩な発色性を持つ超微細周期構造を用いた成形品への新しいカラー印刷技術を開発する。
ＮＥＭＳによるメタマテリアルの分子レベル制御と超低損失シリコン光デバイスとの融合

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ＮＥＭＳによりメタマテリアルを分子レベルで機械制御し、超低損失シリコン光デバイスと融合したデバイスを開発する。
極微小機械部品の可動部製作技術の開発

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シリコン酸化膜の除去を高精度で制御して，構造不良の極めて少ない極微小機械部品の可動部製作技術を開発する。
環境に優しいナノ構造の構造色と発色可変機構による高解像度表示・センサシステム

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環境に優しいナノ構造の構造色と発色可変機構による高解像度表示・センサシステムを開発する
マイクロマシン技術を用いた超軽量・高分解能X線望遠鏡の開発

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本研究では、従来の宇宙X線望遠鏡に比べ、一桁から二桁軽い重量で高い角度分解能を達成しうる、究極のX線マイクロポアオプティクスの開発を目指している。日本が得意とするマイクロマシンマシン技術を用いて、すざく衛星のX線望遠鏡を、重量を2 桁軽量化しつつ、角度分解能を1 桁改善する。そのための要素技術としてアニールを用いたシリコンエッチング面の平滑化の基礎開発を行う。
高効率薄膜シリコン系太陽電池用光閉じ込め技術の研究開発

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本研究では、微結晶シリコンを含む薄膜シリコン系太陽電池に対して適切に設計・制御した回折格子構造を導入し、従来のランダムテクスチャ構造を上回る光閉じ込め効果を実現することを目的とする。
マイクロシステム融合研究開発拠点

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光マイクロシステムに関する研究
ナノインプリントによる超微細回折格子を用いた光フィルタの開発

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本課題は、プレスによる超精密転写技術のナノインプリントを用いて、優れた波長選択性と高い回折効率を有する超微細回折格子（サブミクロン周期）による液晶ディスプレイ(LCD)用カラーフィルタを試作評価する。三色（赤・緑・青）のフィルタをアライメントフリーで一括生産できるので、従来のLCD用カラーフィルタの製作工程で難易度が上がりつつある画素微細化に伴うアライメント工程を省いた、低コストな製造技術を実現する。フィルタの色特性が格子形状でチューニングできる新しい技術に基づくカラーフィルタであり、透過スペクトル、環境特性、加工精度などの仕様を満たすための製造技術およびフィルタ設計技術を開発する。
可動サブ波長構造によるマイクロマシン光フィルタの開発

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材質に任意の有効屈折率を持たせることのできるサブ波長格子をマイクロマシニングで製作したエアギャップ可変波長選択ミラーの薄膜上に形成することにより、従来の限られた材質で構成されたエアギャップ可変波長選択ミラーよりも設計自由度が高く高効率な光フィルタを開発する。エアギャップや各層の厚さ、サブ波長格子の周期性や形状を高度に制御しつつ、生産性の高い製作技術を開発する。

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