Details of the Researcher

PHOTO

Yoshiaki Kanamori
Section
Graduate School of Engineering
Job title
Professor
Degree

  • 博士（工学）（東北大学）

  • 修士（工学）（東北大学）

Committee Memberships 113

  • MEMS Engineer Forum (MEF) 組織委員会　委員

    2018/08 - Present

  • 精密工学会　代議員

    2024/01 - 2025/12

  • 日本機械学会東北支部　会計幹事

    2021/04 - 2023/03

  • 精密工学会東北支部　事業幹事

    2020/04 - 2023/03

  • 電気学会　E部門論文委員

    2009/04 - 2023/03

  • 日本機械学会　代表会員

    2020/04 - 2022/03

  • 電気学会E部門 スマート社会に向けた高機能・高感度センサ技術に関する調査専門委員会　委員

    2018/07 - 2021/05

  • 戦略的基盤技術高度化支援事業「ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス(AAA)技術の研究開発」に係る検討委員会　委員

    2018/09 - 2021/03

  • 砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2020）実行委員会　実行委員

    2019/11 - 2020/09

  • 精密工学会東北支部　庶務幹事

    2018/04 - 2020/03

  • 電気学会 論文委員会（Ｅグループ）　幹事

    2018/04 - 2019/03

  • 日本機械学会東北支部第54期講演会　実行委員

    2018/03 - 2019/03

  • 日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門代議員

    2016/04 - 2019/03

  • 日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門運営委員

    2016/04 - 2019/03

  • The Korean Society for Precision Engineering (韓国精密工学会）　Editorial Board member of International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

    2012/01 - 2019/03

  • International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2019　International Program Committee

    2018/04 - 2019/02

  • 平成30年度E部門総合研究会論文委員会　委員

    2018/02 - 2018/09

  • 電気学会 メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成に関する調査専門委員会　委員長

    2016/05 - 2018/04

  • 電気学会 メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成に関する調査専門委員会　委員長

    2016/05 - 2018/04

  • 電気学会 論文委員会（Ｅグループ）　幹事

    2016/08 - 2018/03

  • 電気学会 論文委員会（Ｅグループ）　幹事

    2016/08 - 2018/03

  • 精密工学会東北支部　会計幹事

    2016/04 - 2018/03

  • 第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会　委員

    2017/02 - 2018/01

  • 第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会　委員

    2017/02 - 2018/01

  • International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2018　International Program Committee

    2017/01 - 2018/01

  • OIE'17　International Organizing Committee (Program Committee)

    2016/12 - 2017/09

  • 電気学会 平成29年度E部門総合研究会論文委員会　幹事

    2016/11 - 2017/09

  • 電気学会 平成29年度E部門総合研究会論文委員会　幹事

    2016/11 - 2017/09

  • 電気学会平成29年全国大会グループ委員会　11グループ委員

    2016/08 - 2017/06

  • 電気学会平成29年全国大会グループ委員会　11グループ委員

    2016/08 - 2017/06

  • 日本機械学会2016年度（第94期）校閲委員　校閲委員

    2016/04 - 2017/03

  • 日本機械学会2016年度（第94期）校閲委員　校閲委員

    2016/04 - 2017/03

  • International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2017　International Program Committee

    2016/02 - 2017/03

  • 第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会　委員

    2016/06 - 2017/01

  • 第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会　委員

    2016/06 - 2017/01

  • 電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会　幹事

    2016/07 - 2016/12

  • 電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会　幹事

    2016/07 - 2016/12

  • SPIE/COS Photonics Asia 2016 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology IV (PA105)-　Program Committee

    2016/02 - 2016/10

  • SPIE/COS Photonics Asia 2016 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology IV (PA105)-　Program Committee

    2016/02 - 2016/10

  • 平成28年度E部門総合研究会実行委員会　幹事

    2015/12 - 2016/09

  • 平成28年度E部門総合研究会論文委員会　論文委員長

    2015/12 - 2016/09

  • 平成28年度E部門総合研究会実行委員会　幹事

    2015/12 - 2016/09

  • 平成28年度E部門総合研究会論文委員会　論文委員長

    2015/12 - 2016/09

  • The 1st A3 Metamaterials Forum　Organizing Committee

    2015/06 - 2016/07

  • 電気学会平成28年全国大会グループ委員会　11グループ幹事

    2015/09 - 2016/06

  • 電気学会平成28年全国大会論文委員会　委員

    2015/09 - 2016/06

  • 電気学会平成28年全国大会グループ委員会　11グループ幹事

    2015/09 - 2016/06

  • 電気学会平成28年全国大会論文委員会　委員

    2015/09 - 2016/06

  • The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　Technical Program Committee

    2015/04 - 2016/04

  • The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　Technical Program Committee

    2015/04 - 2016/04

  • 電気学会 メタマテリアル・プラズモニクスの光・電子デバイス応用調査専門委員会　委員長

    2013/12 - 2016/04

  • 電気学会 メタマテリアル・プラズモニクスの光・電子デバイス応用調査専門委員会　委員長

    2013/12 - 2016/04

  • 日本機械学会2015年度（第93期）校閲委員　校閲委員

    2015/04 - 2016/03

  • 日本機械学会2015年度（第93期）校閲委員　校閲委員

    2015/04 - 2016/03

  • 文部科学省 科学技術・学術政策研究所科学技術動向研究センター平成26年度専門調査員　専門調査員

    2014/02 - 2016/03

  • 文部科学省 科学技術・学術政策研究所科学技術動向研究センター平成26年度専門調査員　専門調査員

    2014/02 - 2016/03

  • 日本機械学会　情報・知能・精密機器部門代議員

    2013/04 - 2016/03

  • International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2016　International Program Committee

    2015/03 - 2016/02

  • International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2016　International Program Committee

    2015/03 - 2016/02

  • The International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale 2015 (3M-NANO 2015)　Program Committee

    2014/12 - 2015/11

  • The International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale 2015 (3M-NANO 2015)　Program Committee

    2014/12 - 2015/11

  • 平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　副幹事

    2014/10 - 2015/09

  • 平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　論文委員

    2014/10 - 2015/09

  • 平成27年度電気学会E部門総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会　幹事

    2014/10 - 2015/09

  • 平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　副幹事

    2014/10 - 2015/09

  • 平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　論文委員

    2014/10 - 2015/09

  • 平成27年度電気学会E部門総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会　幹事

    2014/10 - 2015/09

  • 電気学会平成27年全国大会グループ委員会　11グループ委員

    2014/09 - 2015/06

  • 電気学会平成27年全国大会グループ委員会　11グループ委員

    2014/09 - 2015/06

  • International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2015　International Program Committee

    2014/04 - 2015/03

  • 日本機械学会2014年度（第92期）校閲委員　校閲委員

    2014/04 - 2015/03

  • International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2015　International Program Committee

    2014/04 - 2015/03

  • 日本機械学会2014年度（第92期）校閲委員　校閲委員

    2014/04 - 2015/03

  • SPIE/COS Photonics Asia 2014 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology III (PA108)-　Program Committee

    2014/02 - 2014/10

  • SPIE/COS Photonics Asia 2014 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology III (PA108)-　Program Committee

    2014/02 - 2014/10

  • The 4th International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

    2013/09 - 2014/10

  • The 4th International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

    2013/09 - 2014/10

  • 平成26年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会　幹事

    2013/11 - 2014/05

  • 平成26年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会　実行委員

    2013/11 - 2014/05

  • 電気学会 平成26年進歩賞小委員会　委員

    2013/10 - 2014/03

  • 電気学会E部門マイクロマシン・センサシステム技術委員会　幹事

    2013/04 - 2014/03

  • 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　会場委員

    2013/08 - 2013/11

  • 平成25年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　委員

    2013/05 - 2013/09

  • 平成25年度電気学会E部門総合研究会実行委員会　委員

    2013/05 - 2013/09

  • IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2013　2013 Nanophotonics Program Committee

    2013/08 - 2013/08

  • IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2013　International Steering Committee

    2013/08 - 2013/08

  • The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)　Local Organizing Committee

    2012/09 - 2013/08

  • The Third International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

    2012/09 - 2013/08

  • The Third International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

    2012/09 - 2013/08

  • 平成24年度E部門総合研究会実行委員会　委員

    2012/01 - 2012/09

  • 平成24年度E部門総合研究会実行委員会　委員

    2012/01 - 2012/09

  • The Second International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

    2011/10 - 2012/09

  • The Second International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)　Program Committee

    2011/10 - 2012/09

  • IEEE 17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2012 Nanophotonics Program Committee

    2011/10 - 2012/08

  • IEEE 17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　International Steering Committee

    2011/10 - 2012/08

  • IEEE 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2011 Nanophotonics Program Committee

    2011/04 - 2011/08

  • IEEE 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2011 Optical MEMS Program Committee

    2011/04 - 2011/08

  • 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　International Steering Committee

    2011/04 - 2011/08

  • 平成23年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　実行委員

    2010/11 - 2011/07

  • 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2010)）　論文委員

    2010/04 - 2010/12

  • IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　International Steering Committee

    2010/01 - 2010/08

  • IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　Program Committee

    2010/01 - 2010/08

  • IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　Program Chair, Nanophotonics

    2010/01 - 2010/08

  • 日本機械学会東北支部第45期総会・講演会　実行委員

    2009/07 - 2010/03

  • 日本機械学会　機械力学・計測制御部門委員

    2008/04 - 2010/03

  • 日本機械学会　機械力学・計測制御部門委員

    2008/04 - 2010/03

  • 2008年度精密工学会秋季大会　実行委員

    2008/09 - 2008/09

  • 第57回理論応用力学講演会　第57回理論応用力学講演会運営委員

    2007/09 - 2008/06

  • 第57回理論応用力学講演会　第57回理論応用力学講演会運営委員

    2007/09 - 2008/06

  • 電気学会誌 Vol. 137(2017) No. 6 特集：メタマテリアル・プラズモニクス光デバイスの応用最前線　ゲストエディタ

    2017/06 -

  • 電気学会誌 Vol. 137(2017) No. 6 特集：メタマテリアル・プラズモニクス光デバイスの応用最前線　ゲストエディタ

    2017/06 -

  • 電気学会論文誌Ｅ Vol. 135(2015) No. 11 「メタマテリアル・プラズモニクス」特集　ゲストエディタ

    2015/11 -

  • 電気学会論文誌Ｅ Vol. 135(2015) No. 11 「メタマテリアル・プラズモニクス」特集　ゲストエディタ

    2015/11 -

Show all ︎Show first 5

Professional Memberships 5

  • IEEE

  • 精密工学会

  • The Institute of Electrical Engineers of Japan

  • The Japan Society of Applied Physics

  • The Japan Society of Mechanical Engineering

Research Interests 15

  • metasurface

  • Robotics

  • Beyond 5G

  • 6G

  • Biomimetics

  • テラヘルツ

  • ナノフォトニクス

  • Metamaterials

  • マイクロマシニング

  • ナノマシニング

  • ナノインプリント

  • サブ波長格子

  • サブ波長構造

  • 光MEMS

  • 光マイクロマシン

Research Areas 4

  • Nanotechnology/Materials / Applied physics - general /

  • Informatics / Mechanics and mechatronics /

  • Nanotechnology/Materials / Optical engineering and photonics /

  • Nanotechnology/Materials / Nano/micro-systems /

Awards 14

  1. The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29) Poster Award

    2024/12　Committee of the 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　Single-mode silicon ribbon waveguides for 300 GHz integrated circuits

  2. 速報ポスター賞

    2022/11　電気学会センサ・マイクロマシン部門　ワイヤグリッド偏光子付き光ファイババンドルを用いた拡散反射計測による歯質判別

  3. 第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 優秀ポスター発表賞

    2018/11　電気学会センサ・マイクロマシン部門　High sensitivity bio/chemical sensors using polarization independent metamaterial

  4. 第50回市村学術賞貢献賞

    2018/04　公益財団法人 市村清新技術財団　サブ波長光学に基づく人工光学物質の創製と高効率光フィルタ応用

  5. 平成29年度電気学会E部門総合研究会企画フォトコンテスト「あなたのつくった立体構造」最優秀賞

    2017/06　平成29年度E部門総合研究会　最優秀賞

  6. 平成26年度コニカミノルタ画像科学奨励賞

    2015/02　公益財団法人コニカミノルタ科学技術振興財団　量子干渉型高Q値メタマテリアルとMEMSの融合による動的光波制御

  7. 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム優秀論文賞

    2009/06　電気学会センサ・マイクロマシン部門　近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化微粒子を用いた製作

  8. 平成19年度 船井情報科学奨励賞

    2008/06　財団法人 船井情報科学振興財団　情報技術に関する研究について顕著な功績をあげた。

  9. 財団法人 みやぎ産業科学振興基金 第7回研究奨励賞

    2006/06　団法人 みやぎ産業科学振興基金　サブ波長格子による反射防止構造の製作と光MEMSデバイスへの応用

  10. 15th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-15) Paper Awards

    2005/10/14　China Solar Energy Society　Anti-Reflective subwavelength structures for crystalline-Si solar cells fabricated by porous alumina mask and fast atom beam etching

  11. 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2002) Outstanding Paper

    2003/10/29　The Japan Society of Applied Physics　Fabrication of high accuracy micro-translation-table for near-field optical data storage actuated by inverted-scratch-drive-actuators

  12. 3rd World Conference on Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-3) Poster Award

    2003/05/16　WCPEC society　Spectral and thermal properties of tungsten selective emitters with rectangular microcavities for thermophotovoltaic generations

  13. The 9th JSAP Young Scientist Award for the Presentation of an Excellent Paper

    2000/06　応用物理学会　陽極酸化ポーラスアルミナをマスクとした高速原子線エッチングによるシリコン超微細周期格子の製作と反射防止特性

  14. 茨城大学多賀工業会賞

    1996/06　茨城大学

Show all ︎Show 5

Papers 374

  1. Terahertz-Band Transmissive Filter Using Metallic Grids Formed on Dielectric Substrates

    Haruto Shimada, Yoshiaki Kanamori

    100000000-104-100000000-104　2025/08/26

  2. MEMS-Actuated Variable Optical Attenuator Formed on a High-Resistivity Single-Crystal Silicon Substrate for Terahertz-Band Photonic Integrated Circuits

    Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

    100000000-103-100000000-103　2025/08/26

  3. Bioaffinity sensors for miRNA detection using polarization-independent metamaterials Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Takuya Nakazawa, Shin-ichiro M. Nomura, Yoshiaki Kanamori

    Optics Express　33　(15)　31832-31832　2025/07/21

    Publisher: Optica Publishing Group

    DOI： 10.1364/oe.565231 　

    eISSN： 1094-4087

    More details Close

    We propose bioaffinity sensors for miRNA detection using a polarization-independent metamaterial consisting of four pairs of gold rods arranged with four-fold rotational symmetry. The metamaterial is designed to be sensitive to changes in refractive index near the surface of gold rods, where ligands and analytes are adsorbed, whereas previous metamaterials focus only on the bulk refractive index of the surrounding medium. We first simulated the electromagnetic field near the surface of gold rods by rigorous coupled-wave analysis to determine the dimensions of the metamaterial in consideration of sensitivity and fabrication limitations. The designed metamaterial was fabricated on a glass substrate using a lift-off process that combines electron-beam (EB) lithography and EB vapor deposition. The ability to detect miRNA was verified using dmiR-21, DNA with a sequence similar to miR-21, which is known as one of the cancer biomarkers. The peak shift in the reflectance spectra was observed in the presence of dmiR-21, which indicates the proposed sensor can detect an increase in miRNA triggered by the onset of cancers.

  4. Design and fabrication of freestanding ultra-nanocrystalline diamond nanostructures applying to nano-electromechanical actuators Peer-reviewed

    Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori

    Diamond and Related Materials　158　112617　2025/07/08

    DOI： 10.1016/j.diamond.2025.112617 　

  5. Integrated RF-MEMS technology for reconfigurable spoof-surface-plasmon-polariton delay-line Invited

    Minh Van Nguyen, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　105-108　2025/07/03

  6. Metamaterials and nanophotonics open up new possibilities for controlling light and terahertz waves Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　40-44　2025/07/03

  7. Fabrication and application of 3D Terahertz metamaterials with vertical multinanogaps for spectroscopic sensing Peer-reviewed

    Naoki Inomata, Tomotsugu Takahashi, Yuki Sakai, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    Scientific Reports　15　13636-13636　2025/04/20

    Publisher: Springer Science and Business Media LLC

    DOI： 10.1038/s41598-025-98611-x 　

    eISSN： 2045-2322

  8. Area Dependence of Subwavelength Gratings for Wide-Angle Deflection of Terahertz Waves

    Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The international conference on Metaphotonics 2025 (META2025)　META7-02-META7-02　2025/04

  9. Application study of hydrogen atmosphere surface treatment using the Minimal Fab laser heating tool to semiconductor CMOS devices(Ⅱ)

    11-313-11-313　2025/03

  10. Fabrication of microlens molds by hydrogen annealing using Minimal Fab

    11-309-11-309　2025/03

  11. Taper Angle Dependence of Free-space-to-waveguide Coupling Efficiency in Tapered Waveguides for Terahertz Waves

    03-502-03-502　2025/03

  12. THz wave response of mesh-type metamaterials with cantilevers as electrical contacts

    03-075-03-075　2025/03

  13. Fabrication of Three-dimensional Dielectric Metamaterial as Low Pass Filter in the Terahertz Region

    03-074-03-074　2025/03

  14. Terahertz guidance through 3D printed single bar nested hollow-core fiber

    Muhammad Zain Siddiqui, Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

    03-504-03-504　2025/03

  15. Terahertz Metamaterial Composed of Subwavelength Metal Layer - Porous Insulator - Metal Layer for Humidity Sensing Peer-reviewed

    Yuki Sakai, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　145　(1)　9-10　2025/01/01

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

    DOI： 10.1541/ieejsmas.145.9 　

    ISSN： 1341-8939

    eISSN： 1347-5525

  16. Piezo-Actuated Distributed Bragg Reflector–Based Tunable Fabry–Pérot Filter for Visible Light Hyperspectral Imaging Peer-reviewed

    Pratyasha Sahani, Yoshiaki Kanamori

    IEEE Photonics Journal　17　(1)　2500110-1-2500110-10　2024/12/11

    Publisher: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

    DOI： 10.1109/jphot.2024.3515468 　

    eISSN： 1943-0655 1943-0647

  17. Metamaterials and nanophotonics open up new avenues for light manipulation Technologies Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　18-18　2024/12

  18. Fabrication of Si Microparticle Dispersion as Refractive Index Control Material in the Terahertz Region

    Shun Wakiuchi, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P35-P35　2024/12

  19. Single-mode silicon ribbon waveguides for 300 GHz integrated circuits

    Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P27-P27　2024/12

  20. Numerical and experimental study of free-space coupling to individual H-shaped meta-atoms in the THz range

    Ying Huang, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P24-P24　2024/12

  21. Rotary encoders using optical fibers with four-directional wire-grid-polarizers

    Hajime Kobayashi, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P20-P20　2024/12

  22. Absorption control by variable air-gap metal-insulator-metal metamaterials

    Daiki Iwamoto, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P08-P08　2024/12

  23. Transmission control of THz waves using gap-variable cut-wire-metamaterials

    Arisa Fujimoto, Ying Huang, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　P01-P01　2024/12

  24. Negative Curvature Hollow Core Fibers for Terahertz Wave Guidance via 3D Polymer Printing

    Muhammad Z. Siddiqui, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

    Abstracts: 2024 MRS Fall Meeting & Exhibit　2055-2056　2024/12

  25. Development of Ultra-lightweight X-ray Telescope fabricated with MEMS technologies for the GEO-X satellite

    Abstracts: Optics & Photonics Japan 2024 (OPJ2024)　30a2P14-30a2P14　2024/11/21

  26. Fabrication of SiO2 Metalenses with High Aspect Ratio Nanopillar Structures for Visible Light Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: Optics & Photonics Japan 2024 (OPJ2024)　30pMS4-30pMS4　2024/11/21

  27. Fabrication of silicon microparticle dispersion as terahertz wave refractive index control material Peer-reviewed

    Shun Wakiuchi, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Optics and Laser Technology　181　(Part C)　112051-112051　2024/11/06

    Publisher: Elsevier BV

    DOI： 10.1016/j.optlastec.2024.112051 　

    ISSN： 0030-3992

  28. Integrated RF-MEMS technology for reconfigurable spoof-surface-plasmon-polariton delay-line Invited

    Minh Van Nguyen, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　115-115　2024/10/03

  29. Metamaterials and nanophotonics open up new possibilities for controlling light and terahertz waves Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　76-76　2024/10/03

  30. Free standing diamond nanostructures formed by sacrificial layer etching for nanoelectromechanical actuators

    Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of the 20th International Conference on Precision Engineering　OS22-02-1-OS22-02-4　2024/10

  31. Effect of fabrication defects on terahertz wave control characteristics of dielectric metamaterials operating in the terahertz region

    Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of the 20th International Conference on Precision Engineering　OS17-04-1-OS17-04-6　2024/10

  32. Development of an ultra-lightweight X-ray telescope using MEMS technologies for GEO-X

    13-105-13-105　2024/09/04

  33. Surface treatment of columnar structures by hydrogen annealing using Minimal Fab

    12-006-12-006　2024/09/04

  34. Fabrication of delay lines using spoof-surface-plasmon-polariton waveguides coupled with split-ring resonators for microwave integrated circuits

    Minh Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings: META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　1528-1529　2024/08

  35. MEMS-based double filter configuration for air gap sensing in tunable Fabry-Pérot filter

    Pratyasha Sahani, S. Nabana, T. Okatani, N. Inomata, Y. Kanamori

    Proceedings: META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　1520-1521　2024/08

  36. Fabrication of visible metalenses by thermal oxidation of silicon nanopillars

    Taiyu Okatani, Rei Ando, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings: META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　1512-1512　2024/08

  37. An active Fabry‒Pérot interferometer operated at terahertz frequencies based on pitch-variable subwavelength gratings

    Ying Huang, Yangxun Liu, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings: META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　1546-1547　2024/08

  38. 3D Bulk Metamaterials with Engineered Optical Dispersion at Terahertz Frequencies Utilizing Amorphous Multilayered Split‐Ring Resonators Peer-reviewed

    Ying Huang, Takanori Kida, Shun Wakiuchi, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Advanced Science　2405378-2405378　2024/07/08

    Publisher: Wiley

    DOI： 10.1002/advs.202405378 　

    ISSN： 2198-3844

    eISSN： 2198-3844

    More details Close

    Abstract A 3D bulk metamaterial (MM) containing amorphous multilayered split‐ring resonators is proposed, fabricated, and evaluated. Experimentally, the effective refractive index is engineered via the 3D bulk MM, with a contrast of 0.118 across the frequency span from 0.315 to 0.366 THz and the index changing at a slope of 2.314 per THz within this frequency range. Additionally, the 3D bulk MM exhibits optical isotropy with respect to polarization. Moreover, the peak transmission and optical dispersion are tailored by adjusting the density of the split‐ring resonators. Compared to reported conventional approaches for constructing bulk MMs, this approach offers advantages in terms of the potential for large‐scale manufacturing, the ability to adopt any shape, optical isotropy, and rapid optical dispersion. These features hold promise for dispersive optical devices operating at THz frequencies, such as high‐dispersive prisms for high‐resolution spectroscopy.

  39. Wavelength calibration using MEMS-enabled double filter configuration for air gap sensing in the tunable Fabry–Pérot filter Peer-reviewed

    Pratyasha Sahani, Shiori Nabana, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    AIP Advances　14　(7)　075006-075006　2024/07/02

    Publisher: AIP Publishing

    DOI： 10.1063/5.0214684 　

    eISSN： 2158-3226

    More details Close

    We fabricate a microelectromechanical systems (MEMS)-based device configuring the tunable air gap Fabry–Pérot filter (FPF) with a static gradient thickness filter on the same platform. The proposed double filter configuration offers a wavelength calibration approach that accurately estimates the air gap dimension in the tunable air gap FPF. The wavelength calibration is performed by utilizing the spectrally-selective and spatially-resolved transmission characteristics of the tunable air gap FPF and the static gradient thickness filter, respectively. The MEMS-compatible chip-level integration of the static gradient thickness filter facilitates device miniaturization to enable its use in handheld devices.

  40. Feasibility test on the analog configuration of electromechanical dimple-tip cantilever for the application of THz metamaterials Peer-reviewed

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Optical Review　31　(3)　351-358　2024/05/14

    Publisher: Springer Science and Business Media LLC

    DOI： 10.1007/s10043-024-00889-1 　

    ISSN： 1340-6000

    eISSN： 1349-9432

  41. Pixelated gradient thickness optical filter for visible light spectroscopy Peer-reviewed

    Pratyasha Sahani, Shiori Nabana, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Applied Optics　63　(13)　3537-3546　2024/04/24

    Publisher: Optica Publishing Group

    DOI： 10.1364/ao.519521 　

    ISSN： 1559-128X

    eISSN： 2155-3165

    More details Close

    A miniature low-cost pixelated gradient thickness optical filter is proposed to achieve spectroscopy in the visible wavelength range. The optical filter consists of a two-dimensional array of metal-dielectric-metal thin films arranged in Fabry–Pérot filter configurations with discretely varying cavity thicknesses. The wavelength-selective characterization of each filter is performed by measuring the transmittance over the visible wavelength range. The pixelated gradient thickness filter is equipped with a CMOS image sensor, and its performance as a spectroscopic module is evaluated by illuminating different monochromatic wavelengths on it. The target spectra are successfully reconstructed from the output signals recorded in the sensor from the respective pixelated gradient thickness filters. The technological competence of the proposed filter will enable its use in handheld devices to widen its application range in day-to-day life.

  42. Phase-Controllable Spoof Surface Plasmon Coupling From Bull's Eye Aperture to Planar Silicon Waveguide in the Terahertz Band Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Kaoru Imai, Yuma Takida, Seigo Ohno, Hiroaki Minamide, Yoshiaki Kanamori

    IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology　14　(4)　519-530　2024/04/22

    Publisher: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

    DOI： 10.1109/tthz.2024.3392157 　

    ISSN： 2156-342X

    eISSN： 2156-3446

  43. Terahertz stretchable metamaterials with deformable dolmen resonators for uniaxial strain measurement Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Munkh Orgil Dashdeleg, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Optics Express　32　(7)　12024-12039　2024/03/18

    DOI： 10.1364/OE.514848 　

    eISSN： 1094-4087

  44. Fabrication and evaluation of terahertz metamaterials using metal–porous-insulator–metal structures

    03-501-03-501　2024/03/05

  45. Fabrication of Silicon Microparticle Dispersion as Terahertz Wave Control Materials

    03-451-03-451　2024/03/05

  46. Tubular hollow-core fibers for terahertz guidance

    Muhammad Zain Siddiqui, Mahmudur Rahman, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

    03-097-03-097　2024/03/05

  47. Fabrication and characterization of delay lines with spoof surface plasmon polariton waveguide coupled with C-shaped metamaterials for microwave integrated circuits Peer-reviewed

    Minh Van Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Japanese Journal of Applied Physics　63　(3)　03SP72-03SP72　2024/03/05

    Publisher: IOP Publishing

    DOI： 10.35848/1347-4065/ad2917 　

    ISSN： 0021-4922

    eISSN： 1347-4065

    More details Close

    Abstract Here, we proposed two delay lines consisting of spoof Surface Plasmon Polariton (sSPP) waveguides and C-shaped metamaterials (C-MMs). The delay lines, namely OFF and ON devices, were designed and fabricated. On the OFF device, an sSPP waveguide is capacitively coupled to the C-MMs via an air gap on a high-resistivity silicon substrate. On the ON device, a connection is established between the C-MMs and the sSPP waveguide by metal connectors. The difference in the electrical properties in the coupling between the C-MMs and the sSPP waveguide creates a large phase contrast between the ON and OFF delay lines. The structural design was performed using a numerical calculation based on a commercial finite element solver. We successfully fabricated and characterized delay lines with phase differences equal to tens of degrees between the ON and OFF devices in the target frequency range of 2-6 GHz, while maintaining the original transmittance properties. The promising applications of the delay lines are a phase shifter or modulator when integrating with suitable switches.

  48. Tunable Fabry–Perot interferometer operated in the terahertz range based on an effective refractive index control using pitch-variable subwavelength gratings Peer-reviewed

    Ying Huang, Yangxun Liu, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Optics Letters　49　(4)　951-951　2024/02/09

    Publisher: Optica Publishing Group

    DOI： 10.1364/ol.515504 　

    ISSN： 0146-9592

    eISSN： 1539-4794

    More details Close

    We constructed a tunable Fabry–Perot interferometer (FPI) by controlling the effective refractive index of pitch-variable subwavelength gratings (PV-SWGs) that were incorporated into an FP cavity. The period of the PV-SWG can be varied to change the effective refractive index and shift the optical resonant frequency of the FPI. Compared with conventional methods that tune the optical resonance by adding fillers or deforming the cavity, the proposed FPI obtained a higher transmission and quality factor (Q-factor) for the transmittance peak, and its resonant frequency can be shifted by simply stretching the PV-SWG. A peak transmittance of 0.87, a Q-factor of 34, and a frequency shift of 17 GHz were obtained by the PV-SWG-based FPI for THz incomes around the frequency of 0.303 THz. As the effective refractive index and the working frequency can be tailored by altering the geometry design of the PV-SWG, the FPI holds significance for the development of THz communications and for applications at different wave bands.

  49. ギャップ表面プラズモンに基づくメタマテリアルを用いたテラヘルツ波の反射位相制御に関する数値解析

    藤本 ありさ, 金森 義明

    第21回赤外放射応用関連学会年会予稿集　IST2024-3-IST2024-3　2024/01/26

  50. テラヘルツ制御のためのMEMS 駆動メタマテリアル Invited

    金森義明

    シンポジウム テラヘルツ科学の最先端 X 予稿集　25-26　2023/12/20

  51. Structural Color Filters Using Metamaterials and Their Applications Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of the International Display Workshops　30　2023/12/05

  52. Simultaneous Imaging and Spectroscopy with Pixelized Gradient Thickness Optical Filter

    Pratyasha Sahani, Shiori Nabana, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of the International Display Workshops　30　903-906　2023/12/05

  53. Fabrication and characterization of static “ON”- “OFF” state SSPP devices integrating with metamaterials

    Minh Van Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Digest of 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　17P-1-60-17P-1-60　2023/11/14

  54. Terahertz stretchable metamaterials for uniaxial strain measurement based on dolmen resonators

    Taiyu Okatani, Munkh-Orgil Dashdeleg, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Digest of 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　17P-1-58-17P-1-58　2023/11/14

  55. An electromechanical cantilever actuator with a dimpled tip used for reconfigurable THz metamaterials

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Digest of 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　17D-2-4-17D-2-4　2023/11/14

  56. A terahertz-wave-deflector based on Si-dielectric-metasurfaces for 6G communications

    Kohei CHIBA, Taiyu OKATANI, Naoki INOMATA, Yoshiaki KANAMORI

    8P2-PN-60-8P2-PN-60　2023/11/06

  57. 6G通信に向けたTHzメタマテリアルの製作と電場モードのギャップ依存性の解明

    藤本ありさ, Minh Van Nguyen, Ying Huang, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

    2023年度精密工学会東北支部講演会 講演論文集　B03-B03　2023/10/28

  58. Siサブ波長格子を用いた透過型テラヘルツ波変更デバイスの偏波方向依存性評価

    千葉滉平, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

    2023年度精密工学会東北支部講演会 講演論文集　B02-B02　2023/10/28

  59. 反射型ロータリーエンコーダのための4方向ワイヤグリッド偏光子基板の製作と評価

    小林 創, 岡谷 泰佑, 猪股 直生, 金森 義明

    2023年度精密工学会東北支部講演会 講演論文集　B01-B01　2023/10/28

  60. Fabrication of functional metamaterials for applications in heat-shielding windows and 6G communications Peer-reviewed

    Minh Van Nguyen, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    Applied Optics　62　(28)　7411-7419　2023/09/25

    Publisher: Optica Publishing Group

    DOI： 10.1364/ao.497886 　

    ISSN： 1559-128X

    eISSN： 2155-3165

    More details Close

    Windows with passive multilayer coatings can allow less energy to be used when maintaining comfortable indoor temperatures. As a type of effective solar energy management, these coatings can prevent the generation of excessive heat inside buildings or vehicles by reflecting near-infrared solar radiation (750–2000 nm) while retaining visible light transmission (400–750 nm) over a large range of viewing angles. To prevent overheating, they must also reflect rather than absorb near-infrared radiation. A transparent heat-shielding window is numerically and experimentally demonstrated in this study. High visual transparency (77.2%), near-infrared reflectance (86.1%), and low infrared absorption (<20%) over a wide range of oblique incident angles were achieved using nanometer-scale cross-shaped metamaterials manufactured by electron beam lithography. Furthermore, high terahertz transmittance (up to 82%) was also achieved for 6G communication system applications.

  61. GEOspace X-ray imager (GEO-X) Peer-reviewed

    Yuichiro Ezoe, Ryu Funase, Harunori Nagata, Yoshizumi Miyoshi, Hiroshi Nakajima, Ikuyuki Mitsuishi, Kumi Ishikawa, Masaki Numazawa, Yosuke Kawabata, Shintaro Nakajima, Ryota Fuse, Ralf C. Boden, Landon Kamps, Tomokage Yoneyama, Kouichi Hagino, Yosuke Matsumoto, Keisuke Hosokawa, Satoshi Kasahara, Junko Hiraga, Kazuhisa Mitsuda, Masaki Fujimoto, Munetaka Ueno, Atsushi Yamazaki, Hiroshi Hasegawa, Takefumi Mitani, Yasuhiro Kawakatsu, Takahiro Iwata, Hiroyuki Koizumi, Hironori Sahara, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Daiki Ishi, Aoto Fukushima, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Hiromi Morishita, Yukine Tsuji, Runa Sekiguchi, Takatoshi Murakawa, Kazuma Yamaguchi, Rei Ishikawa, Daiki Morimoto, Yudai Yamada, Shota Hirai, Yuki Nobuhara, Yownin Albert M. Leung, Yamato Itoigawa, Ryo Onodera, Satoru Kotaki, Shotaro Nakamura, Ayumi Kiuchi, Takuya Matsumoto, Midori Hirota, Kazuto Kashiwakura

    Journal of Astronomical Telescopes, Instruments, and Systems　9　(03)　34006-1-34006-15　2023/09/12

    Publisher: SPIE-Intl Soc Optical Eng

    DOI： 10.1117/1.jatis.9.3.034006 　

    ISSN： 2329-4124

  62. On-Chip Linear Optical Circuits Using Silicon Membranes

    Takumi Oshida, Takuya Inagaki, Takumi Ishikawa, Shun Okawara, Yoshiaki Kanamori, Hirohito Yamada, Nobuyuki Matsuda

    03-324-03-324　2023/09/05

  63. An electromechanical cantilever actuator with a high mechanical resonant frequency exceeding 1.5 MHz used for THz metamaterials

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    03-219-03-219　2023/09/05

  64. Reconfigurable THz metamaterial based on microelectromechanical cantilever switches with a dimpled tip Peer-reviewed

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Optics Express　31　(18)　29744-29754　2023/08/22

    Publisher: Optica Publishing Group

    DOI： 10.1364/oe.497514 　

    eISSN： 1094-4087

  65. Micro-fabricated Si subwavelength grating for frequency-domain THz beam steering covering the 0.3–0.5 THz frequency band Peer-reviewed

    Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Optics Express　31　(17)　27147-27160　2023/07/31

    Publisher: Optica Publishing Group

    DOI： 10.1364/oe.492942 　

    eISSN： 1094-4087

    More details Close

    We designed and fabricated beam steering subwavelength grating (BS-SWG) with high efficiency, wide angles, and broadband beam steering in the terahertz (THz) range. Beam steering technology in the THz range by a fixed structure and frequency sweep has to date lacked a device combining high efficiency and a wide beam steering angle. A subwavelength structure using float zone Si, a low-loss dielectric, could combine both of these aspects, but no experimental demonstration in the THz range has been performed to our knowledge. The BS-SWG was designed with an efficiency of 0.708 at 0.4 THz and beam steering angles of −72.1°–−34.8° by sweeping the incident frequency from 0.3 THz to 0.5 THz including the Beyond 5 G/6 G communication bands. An efficiency of 0.354 at 0.400 THz and beam steering angles of −74°–−34° were experimentally achieved, demonstrating the potential of high-efficiency, wide-angle beam steering for THz communications, imaging, and radar applications.

  66. Fabrication of metasurfaces for heat-shielding windows and 6G communications and investigation of the possibility of near-infrared reflection control by movable thin films Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Proceedings: The 13th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META2023)　810-811　2023/07

  67. Fabrication of Optical Fiber Bundles with Wire-Grid Polarizers and Its Application to Tooth Substance Discrimination Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Yuki Yokoyama, Shunichi Shishido, Keisuke Nakamura, Yoshiaki Kanamori

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　143　(7)　192-199　2023/07/01

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

    DOI： 10.1541/ieejsmas.143.192 　

    ISSN： 1341-8939

    eISSN： 1347-5525

  68. Assembly of an ultralight weight X-ray telescope using MEMS technologies (Conference Presentation)

    Hiromi Morishita, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Masaki Numazawa, Daiki Ishi, Aoto Fukushima, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Luna Sekiguchi, Yukine Tsuji, Takatoshi Murakawa, Kazuma Yamaguchi, Rei Ishikawa, Daiki Morimoto, Yudai Yamada, Kazuhisa Mitsuda, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Yoshiaki Kanamori

    EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space VIII　2023/06/08

    Publisher: SPIE

    DOI： 10.1117/12.2665160 　

  69. Development of micro/nano processing technology for metamaterials Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　21-21　2023/06

  70. THz-wave-deflectors based on effective-refractive-index-distribution control of dielectric metamaterials

    Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　46-46　2023/06

  71. Transparent electrodes for electromechanically reconfigurable THz metamaterials

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　42-42　2023/06

  72. Fabrication of high-aspect-ratio SiO2 nanopillars by Si thermal oxidation for metalenses in the visible region Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Yuya Naito, Yoshiaki Kanamori

    Japanese Journal of Applied Physics　62　(SG)　SG1034-SG1034　2023/03/23

    Publisher: IOP Publishing

    DOI： 10.35848/1347-4065/acbfbe 　

    ISSN： 0021-4922

    eISSN： 1347-4065

    More details Close

    Abstract We propose a fabrication method of metalenses in the visible region with high-aspect-ratio SiO2 nanopillars by thermal oxidation of Si nanopillars. We first evaluated the expansion of the nanopillars in width due to thermal oxidation, which affects the phase shift on metalenses. Next, considering expansion due to thermal oxidation and processing errors, a metalens pattern was fabricated, and the pillar width distribution was measured. The highest aspect ratio was 8.7. Finally, the focusing of the fabricated reflective metalens was confirmed, which indicates that the proposed method can fabricate metalenses in the visible region with SiO2 nanopillars including transmissive metalens.

  73. Numerical calculation of frequency conversion occurring by time-modulation of the permittivity of a homogeneous medium

    Minh Van Nguyen, Toshiyuki Kodama, Yoshiaki Kanamori

    03-434-03-434　2023/02/27

  74. Design and fabrication of functional cross-shaped metamaterials using electron beam lithography for applications in infrared shielding windows and 6G communications

    Minh Van Nguyen, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    03-425-03-425　2023/02/27

  75. A reconfigurable H-shaped THz metamaterial based on an ultra-small micromechanical cantilever array Invited

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    03-421-03-421　2023/02/27

  76. A reconfigurable ladder-shaped THz metamaterial integrated with a microelectromechanical cantilever array Peer-reviewed

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    Applied Physics Letters　122　(5)　051705-051705　2023/02/01

    Publisher: AIP Publishing

    DOI： 10.1063/5.0124601 　

    ISSN： 0003-6951

    eISSN： 1077-3118

  77. Epitaxial Pb(Zr,Ti)O3-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Fabricated on Silicon-On-Nothing (SON) Structure

    Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

    2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　139-142　2023/01/15

    Publisher: IEEE

    DOI： 10.1109/mems49605.2023.10052628 　

  78. Construction of a reflective rotary encoder with polarizers in four directions and evaluation of its angle detection capability

    B11-B11　2022/11/12

  79. Control of effective refractive index in Si subwavelength gratings to realize new artificial optical materials for THz waves

    A05-A05　2022/11/12

  80. Fabrication of Flexible Metamaterials Using Inkjet Printing and Evaluation of Transmission Properties

    A02-A02　2022/11/12

  81. Fabrication of reflective metalens by thermal oxidation of high-aspect-ratio silicon nanopillars

    Taiyu Okatani, Yuya Naito, Yoshiaki Kanamori

    Digest of 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022)　10D-2-4-10D-2-4　2022/11/08

  82. ワイヤグリッド偏光子付き光ファイババンドルを用いた拡散反射計測による歯質判別

    岡谷 泰佑, 横山 雄基, 宍戸 駿一, 中村 圭祐, 金森 義明

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文集　14P5-P-40-14P5-P-40　2022/11/07

  83. Attachment of Four-Way Wire Grid Polarizers on Optical Fiber End Face for Angle of Linear Polarization Measurement

    14P5-P-37-14P5-P-37　2022/11/07

  84. Ultra-lightweight x-ray telescope fabricated with multiple MEMS technologies for GEO-X mission

    Masaki Numazawa, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Daiki Ishi, Aoto Fukushima, Sae Sakuda, Tomoki Uchino, Ayata Inagaki, Hiromi Morishita, Yoko Ueda, Takatoshi Murakawa, Luna Sekiguchi, Yukine Tsuji, Ikuyuki Mitsuishi, Hiroshi Nakajima, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuhisa Mitsuda

    Space Telescopes and Instrumentation 2022: Ultraviolet to Gamma Ray　2022/08/31

    Publisher: SPIE

    DOI： 10.1117/12.2630501 　

  85. Extraordinary Transmission of Bull’s Eye Structure Observed by Up-Conversion-Based THz-Wave Frequency-Domain Spectroscopy Peer-reviewed

    Yuma Takida, Kaoru Imai, Taiyu Okatani, Seigo Ohno, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide

    2022 47th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz)　2022-August　Th-P-103-Th-P-103　2022/08/28

    Publisher: IEEE

    DOI： 10.1109/irmmw-thz50927.2022.9895791 　

    ISSN： 2162-2027

    eISSN： 2162-2035

  86. Isotropic 3D Bulk Metamaterial Containing Spilt-Ring Resonators

    03-553　2022/08/26

  87. An H-shaped metamaterial-based MEMS device with a high mechanical resonant frequency for THz waves

    Ying Huang, 岡谷 泰佑, 金森 義明

    03-552　2022/08/26

  88. Terahertz reflective metamaterials for flexible strain sensing

    Dashdeleg Munkh-Orgil, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    03-551　2022/08/26

  89. Autonomously Switchable Filter Realized by Thermal Driven Bimetal Actuators

    Zeng Zhaodong, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    100000000-112　2022/08/26

  90. Bull’s Eye Antenna–Silicon Waveguide Coupling Device in the Terahertz Region

    03-226　2022/08/26

  91. A switchable THz filter by integrating an H-shaped metamaterial and ultra-small MEMS switches

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    Abstract: 15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO-PR2022)　CTuP16F-01-1-CTuP16F-01-2　2022/08

    DOI： 10.1364/CLEOPR.2022.CTuP16F_01 　

    eISSN： 2162-2701

  92. Improvement of imaging performance of silicon micropore X-ray optics by ultra long-term annealing Peer-reviewed

    Aoto Fukushima, Daiki Ishi, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Masaki Numazawa, Sae Sakuda, Tomoki Uchino, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Hiromi Morishita, Luna Sekiguchi, Takatoshi Murakawa, Yukine Tsuji, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori

    Optics Express　30　(14)　25195-25207　2022/06/27

    Publisher: Optica Publishing Group

    DOI： 10.1364/oe.459774 　

    eISSN： 1094-4087

    More details Close

    We have been developing a light-weight X-ray telescope using micro electro mechanical systems technologies for future space missions. Micropores of 20 µm width are formed in a 4-inch Si wafer with deep reactive ion etching, and their sidewalls are used as X-ray reflection mirrors. The flatness of the sidewall is an important factor to determine the imaging performance, angular resolution. It is known that hydrogen annealing is effective to smooth a Si surface. We tested 150 hour annealing to achieve the ultimately smooth sidewalls. After 50 hour, 100 hour, and 150 hour annealing, the angular resolution improved 10.3, 4.0, and 2.6 arcmin in full width at half maximum (FWHM) and 17.0, 14.5, and 10.8 arcmin in half-power width (HPW). In spite of this improvement, the edge shapes of the sidewall were rounded. Therefore, both edges of the sidewall were ground and polished, and then the angular resolution was improved further to 3.2 arcmin (FWHM) and 5.4 arcmin (HPW).

  93. Broadband stop filters for THz waves using H-shaped metamaterials with dual electronic-plasmonic functionality Peer-reviewed

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    Japanese Journal of Applied Physics　61　(SD)　SD1007-SD1007　2022/06/01

    Publisher: IOP Publishing

    DOI： 10.35848/1347-4065/ac55dd 　

    ISSN： 0021-4922

    eISSN： 1347-4065

  94. Terahertz 3D bulk metamaterials with randomly dispersed split-ring resonators Invited Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Yuto Sunada, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Nanophotonics　11　(9)　2065-2074　2022/02/28

    DOI： 10.1515/nanoph-2021-0703 　

    eISSN： 2192-8614

  95. Investigation of on-chip free-space linear optical circuits

    03-364-03-364　2022/02/25

  96. Metal–Insulator–Metal structured optical force sensors with thin polydimethylsiloxane

    Munkh Orgil, Dashdeleg, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    03-310-03-310　2022/02/25

  97. An electromechanically active THz filter based on an H-shaped metamaterial

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    03-308-03-308　2022/02/25

  98. Fabrication of Spin-on-Glass Film-Encapsulated Nanodot Array for Nanogap Measurement

    03-224-03-224　2022/02/25

  99. Development of Schmidt-type Lobster eye X-ray optics using MEMS technology

    02-119-02-119　2022/02/25

  100. Improved Vacuum Level of Silicon-Migration-Sealed Cavity by Hydrogen Diffusion Annealing for Wafer-Level Packaging for Mems

    Hirotaka Suzuki, Yukio Suzuki, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2022-January　565-568　2022

    DOI： 10.1109/MEMS51670.2022.9699602 　

    ISSN： 1084-6999

  101. Smoothing of silicon micropore X-ray optics by thermal annealing

    Aoto Fukushima, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Daiki Ishi, Sae Sakuda, Tomoki Uchino, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Hiromi Morishita, Luna Sekiguchi, Takatoshi Murakawa, Yukine Tsuji, Masaki Numazawa, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori

    Digest of 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)　P5-6-P5-6　2021/10

  102. Broadband stop filters using H-shaped metamaterial at the THz region

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    Digest of 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)　P5-4-P5-4　2021/10

  103. Development of Schmidt type Lobster eye optics using MEMS technology

    02-013-02-013　2021/08

  104. Improvement of silicon microdisk resonators with movable waveguides by hydrogen annealing treatment Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Yuichi Sato, Kaoru Imai, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Journal of Vacuum Science & Technology B　39　(3)　030602-1-030602-5　2021/04

  105. High‐Efficiency Optical Filters Based on Nanophotonics Invited Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori

    IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　16　(5)　662-672　2021/03/31

    Publisher: Wiley

    DOI： 10.1002/tee.23345 　

    ISSN： 1931-4973

    eISSN： 1931-4981

  106. Improvement in THz light extraction efficiencies with antireflection subwavelength gratings on a silicon prism Peer-reviewed

    Ying Huang, Atsuki Kosugi, Yuya Naito, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Japanese Journal of Applied Physics　60　(SC)　SCCL04-SCCL04　2021/03/08

    Publisher: IOP Publishing

    DOI： 10.35848/1347-4065/abe995 　

    ISSN： 0021-4922

    eISSN： 1347-4065

  107. Silicon migration seal wafer‐level vacuum encapsulation

    Yukio Suzuki, Victor Dupuit, Toshiya Kojima, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

    Electronics and Communications in Japan　104　(1)　120-125　2021/03

    Publisher: Wiley

    DOI： 10.1002/ecj.12283 　

    ISSN： 1942-9533

    eISSN： 1942-9541

  108. Si Three-Dimensional Structure Annealing In a Hydrogen Atmosphere Using a Minimal Laser Heating Tool

    12-239-12-239　2021/02/26

  109. Study on Lubrication Film Thickness Measurement Method Applying Metal-Insulator-Metal Metamaterial Structure

    Okatani Taiyu, Kanamori Yoshiaki

    JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2021.1　03-485-03-485　2021/02/26

    Publisher: The Japan Society of Applied Physics

    DOI： 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1043 　

    eISSN： 2436-7613

  110. Dielectric Optical Metamaterials Using Silicon Nanospheres Fabricated by Hydrogen Annealing

    Kanamori Yoshiaki, Okatani Taiyu, Abe Yosuke, Hane Kazuhiro

    JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2021.1　03-477-03-477　2021/02/26

    Publisher: The Japan Society of Applied Physics

    DOI： 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1036 　

    eISSN： 2436-7613

  111. Fabrication of Bull’s Eye Structure for Terahertz Waves by Micromachining

    Imai Kaoru, Okatani Taiyu, Takida Yuma, Ohno Seigo, Minamide Yasuaki, Kanamori Yoshiaki

    JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2021.1　03-338-03-338　2021/02/26

    Publisher: The Japan Society of Applied Physics

    DOI： 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_867 　

    eISSN： 2436-7613

  112. THz Filter Based on a Movable Electromagnetically Induced Transparency Metamaterial

    03-335-03-335　2021/02/26

  113. Switchable band-pass filter for terahertz waves using VO2-based metamaterial integrated with silicon substrate Peer-reviewed

    Ying Huang, Qicong He, Dongping Zhang, Yoshiaki Kanamori

    Optical Review　28　(1)　92-98　2021/02/16

    Publisher: Springer Science and Business Media LLC

    DOI： 10.1007/s10043-020-00637-1 　

    ISSN： 1340-6000

    eISSN： 1349-9432

  114. Fabrication of silicon nanospheres placeable on a desired position for dielectric metamaterials in the visible region Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Yosuke Abe, Takuya Nakazawa, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Optical Materials Express　11　(1)　189-197　2021/01/01

    Publisher: The Optical Society

    DOI： 10.1364/ome.415313 　

    eISSN： 2159-3930

  115. Actively tunable THz filter based on an electromagnetically induced transparency analog hybridized with a MEMS metamaterial Peer-reviewed

    Ying Huang, Kenta Nakamura, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Scientific Reports　10　(1)　20807-1-20807-10　2020/11/30

    Publisher: Springer Science and Business Media LLC

    DOI： 10.1038/s41598-020-77922-1 　

    eISSN： 2045-2322

    More details Close

    <title>Abstract</title>Electromagnetically induced transparency (EIT) analogs in classical oscillator systems have been investigated due to their potential in optical applications such as nonlinear devices and the slow-light field. Metamaterials are good candidates that utilize EIT-like effects to regulate optical light. Here, an actively reconfigurable EIT metamaterial for controlling THz waves, which consists of a movable bar and a fixed wire pair, is numerically and experimentally proposed. By changing the distance between the bar and wire pair through microelectromechanical system (MEMS) technology, the metamaterial can controllably regulate the EIT behavior to manipulate the waves around 1.832 THz, serving as a dynamic filter. A high transmittance modulation rate of 38.8% is obtained by applying a drive voltage to the MEMS actuator. The dispersion properties and polarization of the metamaterial are also investigated. Since this filter is readily miniaturized and integrated by taking advantage of MEMS, it is expected to significantly promote the development of THz-related practical applications such as THz biological detection and THz communications.

  116. Light wave control devices by metasurfaces

    Yoshiaki Kanamori

    15aCS3-15aCS3　2020/11

  117. Fabrication of antireflection subwavelength gratings on a silicon prism for improvement of THz light extraction efficiencies

    Yuya Naito, Atsuki Kosugi, Ying Huang, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Digest of 33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020)　2020-5-3-2020-5-3　2020/11

  118. Screening of Process Factors for Silicon Torsional Bar by Static Pure Torsion Destructive Test Peer-reviewed

    Yukio Suzuki, Eiki Ohyanagi, Hirofumi Chiba, Kosuke Hikichi, Toshiya Kojima, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　140　(10)　278-284　2020/10/01

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

    DOI： 10.1541/ieejsmas.140.278 　

    ISSN： 1341-8939

    eISSN： 1347-5525

  119. Surface-plasmon-coupled optical force sensors based on metal–insulator–metal metamaterials with movable air gap Peer-reviewed

    Taiyu Okatani, Shota Sekiguchi, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Scientific Reports　10　(1)　14807-1-14807-6　2020/09/09

    Publisher: Springer Science and Business Media LLC

    DOI： 10.1038/s41598-020-71825-x 　

    eISSN： 2045-2322

    More details Close

    <title>Abstract</title> We proposed surface-plasmon-coupled optical force sensors based on metal–insulator–metal (MIM) metamaterials with a movable air gap as an insulator layer. The MIM metamaterial was composed of an air gap sandwiched by a metal nanodot array and a metal diaphragm, the resonant wavelength of which was red-shifted when the air gap was narrowed by applying a normal force. We designed and fabricated a prototype of the proposed sensor and confirmed that the MIM metamaterial could be used as a force sensor with larger sensitivity than a force sensor based on Fabry-Pérot interferometer (FPI).

  120. Development of Minimal laser hydrogen annealing tool to flatten the surface

    12-032-12-032　2020/08/26

  121. Silicon Migration Seal Wafer-Level Vacuum Encapsulation Peer-reviewed

    Yukio Suzuki, Dupuit Victor, Toshiya Kojima, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　140　(7)　165-169　2020/07/01

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

    DOI： 10.1541/ieejsmas.140.165 　

    ISSN： 1341-8939

    eISSN： 1347-5525

  122. GEO-X (GEOspace X-ray imager)

    Yuichiro Ezoe, Ryu Funase, Harunori Nagata, Yoshizumi Miyoshi, Satoshi Kasahara, Hiroshi Nakajima, Ikuyuki Mitsuishi, Kumi Ishikawa, Junko Hiraga, Kazuhisa Mitsuda, Masaki Fujimoto, Munetaka Ueno, Atsushi Yamazaki, Hiroshi Hasegawa, Yosuke Matsumoto, Yasuhiro Kawakatsu, Takahiro Iwata, Hironori Sahara, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Hiroyuki Koizumi, Makoto Mita, Takefumi Mitani, Masaki Numazawa, Landon Kamps, Yosuke Kawabata

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　11444　2020

    DOI： 10.1117/12.2560780 　

    ISSN： 0277-786X

    eISSN： 1996-756X

  123. 小型分光器・高感度バイオセンサを実現する人工光学物質「メタマテリアル」 Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    87-91　2019/12

  124. Fabrication of refractive index sensors using polarization independent metamaterial and their application to chemical concentration measurement and DNA detection Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Tomoki Shimizu, Shin-Ichiro Nomura, Kazuhiro Hane

    Electronics and Communications in Japan　102　(10)　34-40　2019/08

    DOI： 10.1002/ecj.12208 　

  125. Miniature spectroscopes with metamaterial filter array Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: The 4th A3 Metamaterials Forum　23-23　2019/08

  126. Metasurfaces for heat-shield windows

    Yoshiaki Kanamori, Masanari Bito

    Abstracts: The 4th A3 Metamaterials Forum　34-34　2019/08

  127. Fabrication of refractive index sensors using polarization independent metamaterial and their application to chemical concentration measurement and DNA detection Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Tomoki Shimizu, Shin-ichiro Nomura, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　139　(7)　163-168　2019/07

  128. A reflection-type vapor cell using anisotropic etching of silicon for micro atomic clocks Peer-reviewed

    Hitoshi Nishino, Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masaya Toda, Yoshiaki Kanamori, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Takahito Ono

    Applied Physics Express　12　(7)　2019

    DOI： 10.7567/1882-0786/ab2a3c 　

    ISSN： 1882-0778

    eISSN： 1882-0786

  129. A Reflection-Type Vapor Cell for Micro Atomic Clock Peer-reviewed

    Hitoshi Nishino, Masaya Toda, Yoshiaki Kanamori, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Motoaki Hara, Takahito Ono

    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2019-January　915-918　2019/01

    DOI： 10.1109/MEMSYS.2019.8870878 　

    ISSN： 1084-6999

  130. Fabrication of movable MIM metamaterial with air gap structures

    Shota Sekiguchi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Digest of 31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018)　15P-7-86-15P-7-86　2018/11

  131. Miniature Spectroscopes with Two-Dimensional Guided-Mode Resonant Metal Grating Filters Integrated on a Photodiode Array Invited Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

    Materials　11　(10)　1924　2018/10

  132. THz Tunable Metamaterial Based on Micro-electromechanical Technologies

    Yoshiaki Kanamori

    Abstract: Progress In Electromagnetics Research Symposium（PIERS2018)　1581-1581　2018/08

  133. Structural Color Filters Based on Guided-mode Resonant Effect

    Yoshiaki Kanamori

    Abstracts: Progress In Electromagnetics Research Symposium（PIERS2018)　320-320　2018/08

  134. Spectral and angular shaping of infrared radiation in a polymer resonator with molecular vibrational modes Peer-reviewed

    Shinichiro Tsuda, Shuhei Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Hiroo Yugami

    Optics Express　26　(6)　6899-6915　2018

    Publisher: OSA - The Optical Society

    DOI： 10.1364/OE.26.006899 　

    ISSN： 1094-4087

  135. Plasmonic Color Filters Integrated on a Photodiode Array Peer-reviewed

    Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Hitoshi Sai, Kazuhiro Hane

    Electronics and Communications in Japan　101　(2)　95-104　2018

    Publisher: Wiley-Liss Inc.

    DOI： 10.1002/ecj.12055 　

    ISSN： 1942-9541 1942-9533

  136. Fabrication of PMUT using silicon on nothing process for fingerprint sensor Peer-reviewed

    Shim Hang, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono, Yoshiaki Kanamori, Song Yunheub, Oh Youngtaek

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　31　31am3-PS-19-1-31am3-PS-19-2　2017/10

  137. Silica imprint templates with concave patterns from single-digit nanometers fabricated by electron beam lithography involving argon ion beam milling Peer-reviewed

    Shunya Ito, Eri Kikuchi, Masahiko Watanabe, Yoshinari Sugiyama, Yoshiaki Kanamori, Masaru Nakagawa

    Japanese Journal of Applied Physics　56　(6)　06GL01-1-06GL01-6　2017/06/01

    Publisher: Japan Society of Applied Physics

    DOI： 10.7567/JJAP.56.06GL01 　

    ISSN： 1347-4065 0021-4922

  138. Fabrication of Metamaterial Absorbers in THz Region and Evaluation of the Absorption Characteristics Peer-reviewed

    Yuta Ishii, Yuma Takida, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane

    ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　100　(4)　15-24　2017/04

    DOI： 10.1002/ecj.11943 　

    ISSN： 1942-9533

    eISSN： 1942-9541

  139. Transmissive metamaterial color filters

    Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

    Optics InfoBase Conference Papers　2017　2017

    Publisher: OSA - The Optical Society

  140. Transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes Peer-reviewed

    Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(5)　134-139　2017

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.134 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  141. Dynamic spectral control of fano resonance by MEMS actuated optical metamaterials Peer-reviewed

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(11)　357-362　2017

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.357 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  142. The fabrication and optical characteristics of out-of-plane asymmetric double bar metamaterial Peer-reviewed

    Ai Okubo, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(11)　363-370　2017

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.363 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  143. Plasmonic color filters integrated on a photodiode array Peer-reviewed

    Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Hitoshi Sai, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(11)　379-386　2017

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.379 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  144. Fabrication of MEMS-driven wire grid polarizers in THz region and evaluation of the optical characteristics Peer-reviewed

    Yuta Ishii, Yosuke Nakata, Yu Tokizane, Yuma Takida, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(11)　407-414　2017

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.407 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  145. Refractive index sensors using polarization-independent metamaterial Peer-reviewed

    Tomoki Shimizu, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(11)　415-416　2017

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.415 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  146. Emission wavelength tuning of fluorescence by fine structural control of optical metamaterials with Fano resonance Peer-reviewed

    Y. Moritake, Y. Kanamori, K. Hane

    SCIENTIFIC REPORTS　6　33208-1-33208-6　2016/09

    DOI： 10.1038/srep33208 　

    ISSN： 2045-2322

  147. Spectral sensitivity control of Si photodiodes by subwavelength structures

    Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　71-72　2016/07/05

  148. Movable transparent membranes designed for tunable metamaterials in the optical region

    Ai Okubo, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　75-76　2016/07/05

  149. Metamaterial absorbers fabricated on silicon cantilevers

    Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　85-86　2016/07/05

  150. Photovoltaic transmissive color filters based on Metal-Photodiode-Metal metamaterials

    Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　91-92　2016/07/05

  151. Planar metamaterials for transmission and absorption control

    Yoshiaki Kanamori

    Program & Abstract: EMN Meeting on Metamaterials　3-4　2016/05/08

  152. Demonstration of sharp multiple Fano resonances in optical metamaterials Peer-reviewed

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　24　(9)　9332-9339　2016/05

    DOI： 10.1364/OE.24.009332 　

    ISSN： 1094-4087

  153. Experimental Demonstration of Wavelength-Selective Metamaterial Absorbers in the 1.5 THz Range Peer-reviewed

    Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Yuma Takida, Hiroaki Minamide

    Proceedings of the 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　B4L-E-1-1-B4L-E-1-2　2016/04/17

  154. Wavelength-selective Transmission from Plasmonic Nanostructured Arrays in the Visible Region Peer-reviewed

    Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Proceedings of the 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　B4L-E-5-1-B4L-E-5-2　2016/04/17

  155. Observation of Fano resonance in Optical Metamaterials Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of the 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　B2L-E-1-1-B2L-E-1-1　2016/04/17

  156. Fabrication of optical attenuators for optical communication based on integration of metal-nanophotonic resonators and silicon waveguides Invited Peer-reviewed

    金森 義明, 高橋 大洋, 羽根 一博

    The Review of Laser Engineering　44　(1)　42-46　2016/01/20

    Publisher:

    ISSN： 0387-0200

  157. Fabrication of metamaterial absorbers in THz region and evaluation of the absorption characteristics Peer-reviewed

    Yuta Ishii, Yuma Takida, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　136　(5)　172-179　2016

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.136.172 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  158. Detailed characterization of fano resonance in asymmetric-double-bar metamaterials in the optical region Peer-reviewed

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　135　(11)　426-432　2015/11/01

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.426 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  159. Enhanced quality factor of Fano resonance in optical metamaterials by manipulating configuration of unit cells Peer-reviewed

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    APPLIED PHYSICS LETTERS　107　(21)　211108-1-211108-4　2015/11

    DOI： 10.1063/1.4936385 　

    ISSN： 0003-6951

    eISSN： 1077-3118

  160. Enhanced Fluorescence of Quantum Dots by Fano Resonance in Optical Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars Peer-reviewed

    Y. Moritake, Y. Kanamori, K. Hane

    Abstract: 9th International Congress on Advanced Electromagnetic Materials in Microwaves and Optics - Metamaterials 2015　1133-1135　2015/09/07

  161. High precision fabrication of optical metamaterials with sharp Fano resonance

    Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of the 5th Korea-Japan Metamaterials Forum　41-42　2015/07/29

  162. MEMS for Plasmon Control of Optical Metamaterials Invited Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Ryohei Hokari, Kazuhiro Hane

    IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS　21　(4)　2701410-1-2701410-10　2015/07

    DOI： 10.1109/JSTQE.2014.2385957 　

    ISSN： 1077-260X

    eISSN： 1558-4542

  163. Quality-factor enhancement of Fano resonance in asymmetric-double-bar metamaterials by alternately arranging inversed unit cells in the optical region Peer-reviewed

    Yuto Moritakea, Yoshiaki Kanamoria, Kazuhiro Hanea

    PHOTONIC AND PHONONIC PROPERTIES OF ENGINEERED NANOSTRUCTURES V　9371　93710T-1-93710T-6　2015

    DOI： 10.1117/12.2078784 　

    ISSN： 0277-786X

  164. Antireflection subwavelength gratings on optical fiber tips fabricated by a dedicated UV nano imprint lithography system Invited Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

    High Contrast Metastructures IV　9372　93720T-1-93720T-7　2015

    DOI： 10.1117/12.2075791 　

    ISSN： 0277-786X

  165. Wavelength Selective Filters Using Metamaterials in Terahertz Frequency Region Invited

    Yoshiaki Kanamori

    2015 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON RADIO-FREQUENCY INTEGRATION TECHNOLOGY (RFIT)　61-63　2015

    DOI： 10.1109/RFIT.2015.7377887 　

  166. Fabrication of Electromagnetically Induced Transparency like Metamaterials in THz Region and Evaluation of the Transmittance Characteristics Peer-reviewed

    Nakamura Kenta, Hokari Ryohei, Kanamori Yoshiaki, Hane Kazuhiro

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　135　(11)　454-459　2015

    Publisher: The Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.454 　

    ISSN： 1341-8939

    More details Close

    Electromagnetically induced transparency (EIT)-like effects in gold metamaterials consisting of dipole resonators and quadrupole resonators were experimentally demonstrated in terahertz frequency region, and their transmittance characteristics were evaluated. Transmittance characteristics of the metamaterials could be controlled by the gap distance between the two resonators. At frequencies around 1.5 THz, transmittance between 82.0% and 0.9% were observed for fabricated EIT metamaterials with gap distances between 3.1 and 23.1 µm.

  167. Fabrication and phase-shift analysis of EIT metamaterials operating at visible wavelengths

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstract of the 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　38-39　2014/12/22

  168. Demonstration and characterization of Fano resonance in optical metamaterials composed of asymmetric double bar

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstract of the 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　40-41　2014/12/22

  169. High Precision Fabrication of Metamaterials at Optical Wavelengths Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori

    Abstracts of International Conference on Small Science (ICSS 2014)　104-105　2014/12/08

  170. Fabrication of ultrathin color filters for three primary colors using guided-mode resonance in silicon subwavelength gratings Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

    Optical Review　21　(5)　723-727　2014/10/03

    Publisher: SpringerOpen

    DOI： 10.1007/s10043-014-0118-6 　

    ISSN： 1349-9432 1340-6000

  171. An investigation of the mechanical strengthening effect of hydrogen anneal for silicon torsion bar Peer-reviewed

    Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　24　(10)　105014 (11pp)　2014/10

    DOI： 10.1088/0960-1317/24/10/105014 　

    ISSN： 0960-1317

    eISSN： 1361-6439

  172. Reflection color filters of the three primary colors with wide viewing angles using common-thickness silicon subwavelength gratings Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　22　(21)　25635-25644　2014/10

    DOI： 10.1364/OE.22.025663 　

    ISSN： 1094-4087

  173. Experimental demonstration of sharp Fano resonance in optical metamaterials composed of asymmetric double bars Peer-reviewed

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    OPTICS LETTERS　39　(13)　4057-4060　2014/07

    DOI： 10.1364/OL.39.004057 　

    ISSN： 0146-9592

    eISSN： 1539-4794

  174. Experimental Comparison of Electromagnetically Induced Transparency-like Characteristics between Silver and Aluminum Metamaterials at Visible Wavelengths Peer-reviewed

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Book of Abstracts: The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　69-71　2014/05/20

  175. Demonstration of Fano Resonance in Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars in Optical Region Peer-reviewed

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Book of Abstracts: The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　72-74　2014/05/20

  176. Fabrication of planar metamaterials with sharp and strong electromagnetically induced transparency-like characteristics at wavelengths around 820 nm Peer-reviewed

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS　31　(5)　1000-1005　2014/05

    DOI： 10.1364/JOSAB.31.001000 　

    ISSN： 0740-3224

    eISSN： 1520-8540

  177. Fabrication of Ultrathin Color Filters for Three Primary Colors Using Silicon Subwavelength Gratings Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

    Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　49-50　2014/02/12

  178. Detuning Effect of Quadrupole Resonators in Electromagnetically Induced Transparency-like Metamaterials at Near-Infrared Wavelengths Peer-reviewed

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　51-52　2014/02/12

  179. Numerical Study on Optical Metamaterials with High Quality Factor Composed of Asymmetric Double Bars Peer-reviewed

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　53-54　2014/02/12

  180. Silicon Spherical Nano-particles having Magnetic Resonance Fabricated by Hydrogen Annealing Peer-reviewed

    Yosuke Abe, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　371-372　2014/02/12

  181. Wavelength-selective Optical Attenuators using Plasmonic Nano-resonator Array for Silicon waveguides Peer-reviewed

    Taiyo Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　383-384　2014/02/12

  182. Comparison of electromagnetically induced transparency between silver, gold, and aluminum metamaterials at visible wavelengths Peer-reviewed

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　22　(3)　3526-3537　2014/02

    DOI： 10.1364/OE.22.003526 　

    ISSN： 1094-4087

  183. MEMS-BASED X-RAY OPTICS FOR ASTRONOMY, PLANETARY EXPLORATION, AND EARTH OBSERVATION Peer-reviewed

    Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Masahiro Ikuta, Mayu Sato, Kazuhisa Mitsuda, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Hiroshi Hiroshima, Ryutaro Maeda

    2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　127-128　2014

    DOI： 10.1109/OMN.2014.6924553 　

    ISSN： 2160-5033

  184. Numerical study on resonant wavelength control of split ring resonators with inductance variable structures in the optical wavelength region Peer-reviewed

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Transactions of the Materials Research Society of Japan　38　(4)　615-618　2013/12

    Publisher: The Materials Research Society of Japan

    DOI： 10.14723/tmrsj.38.615 　

    ISSN： 1382-3469

    More details Close

    We investigate resonant wavelength control of optical metamaterials consisting of split ring resonators (SRRs) with inductance variable structures in the optical wavelength region toward the realization of tunable optical metamaterial devices. The metamaterials consist of SRRs, cut wires, and connecting bars. There are air gaps between the SRRs and the cut wires. The cut wires supported by the connecting bars are located over the SRRs with constant gap distance. The resonant wavelength can be controlled by inductance changes in coil structures of the metamaterial, because the inductance depends on positions of the cut wires. On the other hand, capacitance in the metamaterial is not affected by the position of the cut wires. Numerical simulations using rigorous coupled-wave analysis show that the resonant wavelengths shifts between 1025 nm and 805 nm and varies approximately linearly according to the position of the cut wire. At the resonant wavelength, the transmittance decreases to about 10% and quality factors of around 4.5 are obtained. At non-resonant wavelength, on the other hand, the transmittances of around 70% are obtained. Therefore, the metamaterial functions as band-stop filter, in which the center wavelength can be controlled by the positions of the cut wires over the SRRs.

  185. Comparison of electromagnetically induced transparency between silver and gold metamaterials at wavelengths around 800 nm Peer-reviewed

    R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

    Digest of 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013)　7P-7-123L-1-7P-7-123L-2　2013/11/05

  186. A 20nm Free-Spectral Range Optical Filter Based on NEM-Tunable Silicon Photonic Waveguide Micro-Ring Resonator

    Hoang Manh Chu, Takashi Sasaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstract: The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS2013)　2013/08/22

  187. Fabrication of electromagnetically-induced-transparency-like metamaterials in the near-infrared region

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstract of 3rd Korea-Japan Metamaterials Forum　76-77　2013/06/26

  188. Design of hybrid plasmonic-dielectric subwavelength gratings for polarization-dependent wavelength-selective filters Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Yoshimi Ohta, Toshikazu Ozaki, Ikuo Onishi

    Transactions of the Materials Research Society of Japan　38　(2)　163-166　2013/06

    Publisher: The Materials Research Society of Japan

    DOI： 10.14723/tmrsj.38.163 　

    ISSN： 1382-3469

    More details Close

    Color filters have been used for a variety of applications such as liquid crystal displays (LCDs). Conventional color filters produce color by absorbing unnecessary wavelengths, which cause energy loss. Additionally, as an important optical element in the LCDs, polarization filters are required since liquid crystals have polarization dependency. We propose hybrid plasmonic-dielectric subwavelength grating (SWG) filters, which have both functions of wavelength- and polarization- selectivities in one filter. The SWG filter consists of a three-layered one-dimensional SWG, in which a plasmonic layer, a buffer layer, and a dielectric layer are stacked on a substrate. Using rigorous coupled-wave analysis, three kinds of the SWG filters with periods of 300, 380, and 500 nm are designed to produce blue, green, and red colors, respectively. For transverse-magnetic polarized light, each SWG filter shows high transmittance in each color region with good wavelength selectivity, which functions as a color filter. Maximum transmittances of 72.4%, 72.6%, and 73.5% are obtained at wavelengths of 445, 540, and 650 nm for the blue, green, and red filters, respectively. For transverse-electric polarized light, each SWG filter shows high reflectance in the whole visible region, which functions as a broadband band-stop filter.

  189. Fabrication of Silicon Microdisk Resonators with Movable Waveguides for Control of Power Coupling Ratio Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Yuichi Sato, Kazuhiro Hane

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　52　(6)　06GL19-1-06GL19-5　2013/06

    DOI： 10.7567/JJAP.52.06GL19 　

    ISSN： 0021-4922

  190. The effect of fabrication errors in gold nanostructures of optical metamaterials Peer-reviewed

    Hokari Ryohei, Kanamori Yoshiaki, Hane Kazuhiro

    Proceedings of JIEP Annual Meeting　27　(0)　379-381　2013

    Publisher: The Japan Institute of Electronics Packaging

    DOI： 10.11486/ejisso.27.0_379 　

  191. Fabrication of antireflection subwavelength gratings at the tips of optical fibers using UV nanoimprint lithography Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　21　(1)　322-328　2013/01

    DOI： 10.1364/OE.21.000322 　

    ISSN： 1094-4087

  192. MECHANICAL STRENGTHENING OF SILICON TORSION BAR OF MEMS SCANNING MIRROR BY HYDROGEN ANNEAL Peer-reviewed

    R. Hajika, S. Yoshida, W. Makishi, Y. Kanamori, S. Tanaka, M. Esashi

    26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)　425-428　2013

    DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474269 　

    ISSN： 1084-6999

  193. Ultra-low power Si-photonic variable-gap coupler switch with nano-latch mechanism Peer-reviewed

    S. Abe, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

    2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　904-907　2013

    DOI： 10.1109/Transducers.2013.6626914 　

  194. Transmission width (Q-factor) tunable silicon-photonic micro-ring resonators Peer-reviewed

    Mustafa Ordu, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　87-88　2013

    DOI： 10.1109/OMN.2013.6659072 　

    ISSN： 2160-5033 2160-5041

  195. HYDROGEN ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FRACTURE TOUGHNESS OF SILICON COIL SPRING FOR MECHANICAL ENERGY STORAGE APPLICATION Peer-reviewed

    T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka

    Proceedings of Power MEMS 2012　279-282　2012/12/02

  196. Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics for space astronomy Peer-reviewed

    Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Kensuke Ishizu, Teppei Moriyama, Makoto Mita, Noriko Y. Yamasaki, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　188　411-416　2012/12

    DOI： 10.1016/j.sna.2012.02.042 　

    ISSN： 0924-4247

  197. Fabrication of Silicon Microdisk Resonators with Monolithically Integrated Comb-Drive Microactuators Peer-reviewed

    Yuichi SATO, Yoshiaki KANAMORI, Kazuhiro HANE

    Digest of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　1P-7-96　2012/10/30

  198. Coupling properties of freestanding silicon nanowire waveguide couplers with a gap-variable mechanism Peer-reviewed

    Y. Akihama, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

    Digest of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　2B-8-2　2012/10/30

  199. Flattened Light-Scattering Substrate and Its Application to Thin-Film Silicon Solar Cells Peer-reviewed

    Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Michio Kondo

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　51　(10)　10NB07　2012/10

    DOI： 10.1143/JJAP.51.10NB07 　

    ISSN： 0021-4922

    eISSN： 1347-4065

  200. A numerical study of hybrid plasmonic-dielectric subwavelength gratings for wavelength-selective filters Peer-reviewed

    Y. Kanamori, Y. Ohta, T. Ozaki, I. Onishi

    Abstracts: IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　B-9-P24-011　2012/09/21

  201. A Study of MEMS Tunable Metamaterial at Optical Frequencies by Numerical Calculations Peer-reviewed

    R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

    Abstracts: IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　B-9-O24-018　2012/09/21

  202. INVESTIGATION OF HYDROGEN-ANNEALING EFFECT ON TORSIONAL STRENGTH OF SI BEAM OF SCANNING MICROMIRROR DEVICE

    Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Wataru Makishi, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi

    Abstract of The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2012)　ac12000078　2012/07/08

  203. Numerical study on optical characteristics of tunable metamaterials at optical frequencies with variable capacitance

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstract: The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　78-79　2012/06/28

  204. Microelectromechanical metamaterials for optical communications system

    Yoshiaki Kanamori

    Abstract: The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　46-47　2012/06/28

  205. Compound switch consisting of gap-variable silicon nanowire waveguide couplers Peer-reviewed

    Y. Akihama, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

    Technical Digest - 2012 17th Opto-Electronics and Communications Conference, OECC 2012　875-876　2012

    DOI： 10.1109/OECC.2012.6276674 　

  206. MEMS-based novel X-ray optics for future astronomical missions

    Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Takaya Ohashi, Makoto Mita, Yoshitomo Maeda, Kazuhisa Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

    2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　87-+　2012

    DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672121 　

  207. Single layer silicon photonic crystal slab Peer-reviewed

    Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

    PHOTONICS AND NANOSTRUCTURES-FUNDAMENTALS AND APPLICATIONS　10　(1)　146-152　2012/01

    DOI： 10.1016/j.photonics.2011.10.002 　

    ISSN： 1569-4410

    eISSN： 1569-4429

  208. SI PHOTONIC NANO-WIRE TUNBLE MICRO-RING RESONATOR COMPOSED OF TRIPLY-LIKED VARIABLE COUPLERS Peer-reviewed

    Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　660-663　2012

    DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170273 　

    ISSN： 1084-6999

  209. Fabrication of antireflective subwavelength-grating structures on optical fiber end faces using UV nanoimprinting technique Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okouchi, Kazuhiro Hane

    Nihon Kikai Gakkai Ronbunshu, C Hen/Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Part C　78　(790)　2225-2233　2012

    DOI： 10.1299/kikaic.78.2225 　

    ISSN： 0387-5024

  210. MEMS-based novel X-ray optics for future astronomical missions

    Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Takaya Ohashi, Makoto Mita, Yoshitomo Maeda, Kazuhisa Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

    2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　87-+　2012

    DOI： 10.1109/OMEMS.2012.6318815 　

  211. An improved gap-variable silicon nano-wire waveguide coupler switch

    Yasushi Munemasa, Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　111-112　2012

    DOI： 10.1109/OMEMS.2012.6318827 　

  212. Ultra-small silicon waveguide coupler switch using gap-variable mechanism Peer-reviewed

    Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　19　(24)　23658-23663　2011/11

    DOI： 10.1364/OE.19.023658 　

    ISSN： 1094-4087

  213. MEMS Tunable Silicon Nano-Wire Air-Gap Coupling for Coupler Switch and Interferometer

    Y. Akihama, T. Ikeda, Y. Kanamori, K. Hane

    Proceedings of 17th Microoptics Conference (MOC'11)　H-14　2011/10/30

  214. Variable Gap Silicon Waveguide Directional Coupler Switch

    Y.Akihama, Y.Kanamori K.Hane

    Digest of Papers: 2011 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)　25B-3-5　2011/10/24

  215. Nanomechanical Tunable Nanophotonics Devices for Optical Communication Systems

    Yoshiaki Kanamori

    Abstract of BIT's 1st Annual World Congress of Nano-S&T-2011　1　88　2011/10/23

  216. Ill-Nitride grating grown on freestanding HfO2 gratings Peer-reviewed

    Yongjin Wang, Tong Wu, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

    NANOSCALE RESEARCH LETTERS　6　(1)　497-1-497-5　2011/08

    DOI： 10.1186/1556-276X-6-497 　

    ISSN： 1931-7573

  217. Integration of MEMS Actuators with Nanophotonics: Silicon Submicron-wide Waveguide Switches for Optical-path changes Invited

    Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Conference Program on The 16th Opto-Electronics and Communications Conference　494-495　2011/07/04

  218. Silicon submicron waveguide and MEMS tunable optical telecommunication devices Invited

    Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of International Conference on Micro/Nano Optical Engineering　13-14　2011/06/12

  219. Investigation of strain sensing effect in modified single-defect photonic crystal nanocavity Peer-reviewed

    Bui Thanh Tung, Dzung Viet Dao, Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Susumu Sugiyama

    OPTICS EXPRESS　19　(9)　8821-8829　2011/04

    DOI： 10.1364/OE.19.008821 　

    ISSN： 1094-4087

  220. Freestanding HfO2 grating fabricated by fast atom beam etching Peer-reviewed

    Yongjin Wang, Tong Wu, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    NANOSCALE RESEARCH LETTERS　6　(1)　367-1-367-5　2011/04

    DOI： 10.1186/1556-276X-6-367 　

    ISSN： 1556-276X

  221. Flattened light-scattering substrate in thin film silicon solar cells for improved infrared response Peer-reviewed

    Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Michio Kondo

    APPLIED PHYSICS LETTERS　98　(11)　113502-1-113502-3　2011/03

    DOI： 10.1063/1.3565249 　

    ISSN： 0003-6951

  222. Longitudinal strain sensitive effect in a photonic crystal cavity Peer-reviewed

    Bui Thanh Tung, Dzung Viet Dao, Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Susumu Sugiyama

    EUROSENSORS XXV　25　2011

    DOI： 10.1016/j.proeng.2011.12.335 　

    ISSN： 1877-7058

  223. Antireflective Subwavelength Gratings on the End Faces of Optical Fibers Fabricated by UV Nanoimprint Lithography Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

    OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　65-66　2011

    DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031083 　

  224. Silicon Subwavelength Gratings for Reflective Color Filters with Wide Viewing Angle Peer-reviewed

    Toshikazu Ozaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　93-94　2011

    DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031094 　

  225. Measurement of the Taper Angle and X-ray Reflectivity of MEMS-based Silicon Mirrors Peer-reviewed

    Tomohiro Ogawa, Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Takaya Ohashi, Yoshiaki Kanamori, Ikuyuki Mitsuishi, Kazuhisa Mitsuda, Hitomi Yamaguchi, Raul Riveros

    OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　167-+　2011

    DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031068 　

  226. Smoothing Sidewalls of A MEMS-based Silicon X-ray Optics Peer-reviewed

    Teppei Moriyama, Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Takaya Ohashi, Yoshiaki Kanamori, Ikuyuki Mitsuishi, Makoto Mita, Kazuhisa Mitsuda, Akio Maeda

    OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　205-+　2011

    DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031043 　

  227. Enhancement of light extraction from freestanding GaN nanocolumn slab with bottom subwavelength nanostructures Peer-reviewed

    Y. Wang, F. Hu, Y. Kanamori, T. Wu, K. Hane

    APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS　101　(3)　575-581　2010/11

    DOI： 10.1007/s00340-010-4131-6 　

    ISSN： 0946-2171

  228. Fabrication of antireflective subwavelength gratings on the end faces of single mode optical fibers using UV nanoimprint lithography

    Masaaki Okochi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Digest of Papers: 2010 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010)　12D-11-92　2010/10/26

  229. Ultra light-weight and high-resolution X-ray mirrors using DRIE and X-ray LIGA techniques for space X-ray telescopes Peer-reviewed

    Yuichiro Ezoe, Ikuyuki Mitsuishi, Utako Takagi, Masaki Koshiishi, Kazuhisa Mitsuda, Noriko Y. Yamasaki, Takaya Ohashi, Fumiki Kato, Susumu Sugiyama, Raul E. Riveros, Hitomi Yamaguchi, Shinya Fujihira, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　16　(8-9)　1633-1641　2010/08

    DOI： 10.1007/s00542-009-0981-4 　

    ISSN： 0946-7076

  230. Large area, freestanding GaN nanocolumn membrane with bottom subwavelength nanostructure Peer-reviewed

    Yongjin Wang, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Tong Wu, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　18　(6)　5504-5511　2010/03

    DOI： 10.1364/OE.18.005504 　

    ISSN： 1094-4087

  231. Phase-shifter using submicron silicon waveguide couplers with ultra-small electro-mechanical actuator Peer-reviewed

    Taro Ikeda, Kazunori Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　18　(7)　7031-7037　2010/03

    DOI： 10.1364/OE.18.007031 　

    ISSN： 1094-4087

  232. Fabrication and characterization of subwavelength nanostructures on freestanding GaN slab Peer-reviewed

    Yongjin Wang, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　18　(3)　2940-2945　2010/02

    DOI： 10.1364/OE.18.002940 　

    ISSN： 1094-4087

  233. Antirefiection subwavelength gratings at near-infrared wavelengths fabricated by self-organized nanoparticles Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Shuhei Haida, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　130　(3)　92-96　2010

    DOI： 10.1541/ieejsmas.130.92 　

    ISSN： 1341-8939 1347-5525

  234. Submicron silicon waveguide Mach-Zehnder interferometer using micro electro-mechanical phase-shifter

    T. Ikeda, Y. Kanamori, K. Hane

    2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　97-98　2010

    DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672167 　

  235. X-ray imaging test for a single-stage MEMS X-ray optical system

    Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Kensuke Ishizu, Teppei Moriyama, Yoshitomo Maeda, Takayuki Hayashi, Takuro Sato, Makoto Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul E. Riveros, Taylor Boggs, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

    2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　151-152　2010

    DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672138 　

  236. Narrow-bandwidth tunable bandstop filters with circularly cylindrical self-suspended silicon gratings Peer-reviewed

    Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

    OPTIK　121　(15)　1389-1394　2010

    DOI： 10.1016/j.ijleo.2009.01.026 　

    ISSN： 0030-4026

  237. Fabrication of antireflective subwavelength-grating structures on optical fiber end faces using nanoimprinting technique Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okouchi, Kazuhiro Hane

    Nihon Kikai Gakkai Ronbunshu, C Hen/Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Part C　76　(771)　2854-2860　2010

    Publisher: Japan Society of Mechanical Engineers

    DOI： 10.1299/kikaic.76.2854 　

    ISSN： 0387-5024

  238. Fabrication of variable-reflection photonic crystal MEMS filters using subwavelength-grating-embedded substrates

    Y. Kanamori, S. Haida, K. Hane

    Digest of Papers: 2009 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)　116-117　2009/11/16

  239. An ultrasmall wavelength-selective channel drop switch using a nanomechanical photonic crystal nanocavity Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Kazunori Takahashi, Kazuhiro Hane

    APPLIED PHYSICS LETTERS　95　(17)　171911-1-171911-3　2009/10

    DOI： 10.1063/1.3254247 　

    ISSN： 0003-6951

  240. Design and Fabrication of Structural Color Filters with Polymer-Based Guided-Mode Resonant Gratings by Nanoimprint Lithography Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Hiroki Katsube, Tomonobu Furuta, Shoji Hasegawa, Kazuhiro Hane

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　48　(6)　06FH04　2009/06

    DOI： 10.1143/JJAP.48.06FH04 　

    ISSN： 0021-4922

  241. Tunable optical filters with nanostructured suspended gratings Peer-reviewed

    Jia-Sheng Ye, Takashi Kobayashi, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　27　(3)　1035-1038　2009/05

    DOI： 10.1116/1.3114465 　

    ISSN： 1071-1023

  242. Spectral Control of Thermal Radiation by Metallic Surface Relief Gratings

    Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kengo Watanabe, Hiroo Yugami

    Proceedings of Materials Research Society Symposium (2009 MRS Spring Meeting)　1162　1162-J03-01　2009/04/13

  243. Submicrometer Comb-Drive Actuators Fabricated on Thin Single Crystalline Silicon Layer Peer-reviewed

    Kazunori Takahashi, Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS　56　(4)　991-995　2009/04

    DOI： 10.1109/TIE.2008.2006934 　

    ISSN： 0278-0046

  244. Pitch-variable blazed grating consisting of freestanding silicon beams Peer-reviewed

    Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　17　(6)　4419-4426　2009/03

    DOI： 10.1364/OE.17.004419 　

    ISSN： 1094-4087

  245. Fabrication and characterization of nanoscale resonant gratings on thin silicon membrane Peer-reviewed

    Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Jiasheng Ye, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

    OPTICS EXPRESS　17　(7)　4938-4943　2009/03

    DOI： 10.1364/OE.17.004938 　

    ISSN： 1094-4087

  246. Design and fabrication of freestanding pitch-variable blazed gratings on a silicon-on-insulator wafer Peer-reviewed

    Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　19　(2)　25019 (7pp)　2009/02

    DOI： 10.1088/0960-1317/19/2/025019 　

    ISSN： 0960-1317

  247. Fabrication of subwavelength gratings on silicon micro lenses for MEMS scanners at optical communication wavelengths Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Mao Miura, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　129　(4)　120-124　2009

    DOI： 10.1541/ieejsmas.129.120 　

    ISSN： 1341-8939 1347-5525

  248. Light Trapping in Thin-Film mu c-Si:H Solar Cells Using Self-Ordered 2D Grating Reflector

    Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Michio Kondo

    AMORPHOUS AND POLYCRYSTALLINE THIN FILM SILICON SCIENCE AND TECHNOLOGY - 2009, VOL 1153　1153　1153-A03-03　2009

    DOI： 10.1557/PROC-1153-A03-03 　

    ISSN： 0272-9172

  249. Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics

    Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Utako Takagi, Makoto Mita, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Fumiki Kato, Susumu Sugiyama, Kouzou Fujiwara, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Shinya Fujihira, Yoshiaki Kanamori, Noriko Y. Yamasaki, Kazuhisa Mitsuda, Ryutaro Maeda

    EUV AND X-RAY OPTICS: SYNERGY BETWEEN LABORATORY AND SPACE　7360　73600C-1-73600C-9　2009

    DOI： 10.1117/12.823933 　

    ISSN： 0277-786X

  250. Connection characteristics of silicon nanowire waveguides and fabrication of physical contact switches

    E. Bulgan, Y. Kanamori, K. Hane

    TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　505-508　2009

    DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285372 　

  251. Pitch-variable MEMS grating with 4-level blazed surface

    Y. Wang, Y. Kanamori, K. Hane

    TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1345-1348　2009

    DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285850 　

  252. Fabrication of a diffraction grating on end face of a light guide plate using imprint lithography Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Chika Hishinuma, Kazuhiro Hane

    Nihon Kikai Gakkai Ronbunshu, C Hen/Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Part C　75　(759)　2853-2858　2009

    Publisher: Japan Society of Mechanical Engineers

    DOI： 10.1299/kikaic.75.2853 　

    ISSN： 0387-5024

  253. Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics Peer-reviewed

    Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Utako Takagi, Makoto Mita, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Fumiki Kato, Susumu Sugiyama, Kouzou Fujiwara, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Shinya Fujihira, Yoshiaki Kanamori, Noriko Y. Yamasaki, Kazuhisa Mitsuda, Ryutaro Maeda

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　7360　566-569　2009

    DOI： 10.1117/12.823933 　

    ISSN： 0277-786X

  254. Surface transformation of silicon nanostructures using a developed hydrogen annealing machine and its application to silicon subwavelength gratings

    S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Hane

    Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　234-235　2008/10/27

  255. Silicon substrates with antireflection subwavelength gratings for optical communication devices fabricated with nano-particle masks

    S. Haida, Y. Kanamori, K. Hane

    Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　236-237　2008/10/27

  256. Fabrication of variable drop filters with resonant cavities in photonic crystals using thin comb-drive actuators

    Y. Kanamori, K. Takahashi, K. Hane

    Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　520-521　2008/10/27

  257. Fabrication of structural color filters with polymer-based guided-mode resonant gratings by nanoimprint lithography

    Y. Kanamori, H. Katsube, T. Furuta, S. Hasegawa, K. Hane

    Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　526-527　2008/10/27

  258. Enhancement of light trapping in thin-film hydrogenated microcrystalline Si solar cells using back reflectors with self-ordered dimple pattern Peer-reviewed

    Hitoshi Sai, Hiroyuki Fujiwara, Michio Kondo, Yoshiaki Kanamori

    APPLIED PHYSICS LETTERS　93　(14)　143501-1-143501-3　2008/10

    DOI： 10.1063/1.2993351 　

    ISSN： 0003-6951

  259. A wavelength-selective add-drop switch using silicon microring resonator with a submicron-comb electrostatic actuator Peer-reviewed

    Kazunori Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Yasuo Kokubun, Kazuhiro Hane

    Optics Express　16　(19)　14421-14428　2008/09/15

    Publisher: Optical Society of America (OSA)

    DOI： 10.1364/OE.16.014421 　

    ISSN： 1094-4087

  260. Resonant-wavelength tuning of a pitch-variable 1-D photonic crystal filter at telecom frequencies Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Naoki Matsuyama, Kazuhiro Hane

    IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　20　(13-16)　1136-1138　2008/07

    DOI： 10.1109/LPT.2008.924655 　

    ISSN： 1041-1135

  261. Fabrication of analog- and digital-modulated pitch-variable gratings using silicon-on-insulator substrates Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Takashi Kobayashi, Kazuhiro Hane

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　47　(6)　5274-5277　2008/06

    DOI： 10.1143/JJAP.47.5274 　

    ISSN： 0021-4922

  262. Development of a compact vacuum- and hydrogen-annealing machine for surface transformation of silicon and its applications to micro-optical devices Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Kenichi Douzono, Shinya Fujihira, Kazuhiro Hane

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A　26　(3)　365-369　2008/05

    DOI： 10.1116/1.2897317 　

    ISSN： 0734-2101

  263. Silicon suspended resonant grating filters fabricated from a silicon-on-insulator wafer Peer-reviewed

    Jia-Sheng Ye, Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　20　(9-12)　851-853　2008/05

    DOI： 10.1109/LPT.2008.921840 　

    ISSN： 1041-1135

  264. Submicron silicon waveguide optical switch driven by microelectromechanical actuator Peer-reviewed

    Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    APPLIED PHYSICS LETTERS　92　(10)　101110-1-101110-3　2008/03

    DOI： 10.1063/1.2892677 　

    ISSN： 0003-6951

  265. 1-1 Imaging Spectroscopy Using Guided-mode Resonant Grating Filter

    SATO Hiroaki, KAWAKAMI Tohru, KATAGIRI Baku, UCHIDA Tatsuo, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    PROCEEDINGS OF THE ITE WINTER ANNUAL CONVENTION　2008　_1-1-1_　2008

    Publisher: The Institute of Image Information and Television Engineers

    DOI： 10.11485/itewac.2008.0__1-1-1_ 　

    ISSN： 1343-4357

    More details Close

    In the field which needs to detect only the specific wavelength in an image, the image spectrum system which can change a measurement wavelength continuously is required. In this research, the system which can change a measurement wavelength continuously using GMRG filter was composed, and the image spectrum was performed.

  266. Silicon microring resonator connected with submicorn comb actuator Peer-reviewed

    K. Takahashi, Y. Kanamori, K. Hane

    2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　23-24　2008

  267. Theoretical analysis of mechanical-contact-based submicron-Si-waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths Peer-reviewed

    Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　128　(3)　80-84　2008

    DOI： 10.1541/ieejsmas.128.80 　

    ISSN： 1341-8939 1347-5525

  268. Silicon Self-Suspended Resonant Grating Filters at Telecommunication Wavelength

    Jia-Sheng Ye, Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    2008 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS & QUANTUM ELECTRONICS AND LASER SCIENCE CONFERENCE, VOLS 1-9　1598-1599　2008

    DOI： 10.1109/CLEO.2008.4551736 　

  269. Parametric optimization of narrow bandstop optical filters using the self-suspended subwavelength grating for TE polarization Peer-reviewed

    Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

    JOURNAL OF MODERN OPTICS　55　(10)　1519-1528　2008

    DOI： 10.1080/09500340701721876 　

    ISSN： 0950-0340

  270. A 100 nm thick InGaN/GaN multiple quantum-well column-crystallized thin film deposited on Si(111) substrate and its micromachining Peer-reviewed

    F R Hu, Y Kanamori, K Ochi, Y Zhao, M Wakui, K Hane

    Nanotechnology　19　(3)　35305-1-35305-6　2007/12/13

  271. A micro-displacement encoder using a thin-film resonant photodetector with directional sensitivity Peer-reviewed

    Bong-Seok Choi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　9　(11)　1087-1094　2007/11

    DOI： 10.1088/1464-4258/9/11/020 　

    ISSN： 1464-4258

  272. Micromachined surface emitting dye laser with a self-suspended guided mode resonant grating Peer-reviewed

    Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Jia-Sheng Ye, Kazuhiro Hane

    JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　9　(10)　940-944　2007/10

    DOI： 10.1088/1464-4258/9/10/026 　

    ISSN： 1464-4258

  273. Light trapping effect of submicron surface textures in crystalline Si solar cells Peer-reviewed

    Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Koji Arafune, Yoshio Ohshita, Masafumi Yamaguchi

    PROGRESS IN PHOTOVOLTAICS　15　(5)　415-423　2007/08

    DOI： 10.1002/pip.754 　

    ISSN： 1062-7995

  274. Design and Fabrication of a Thin-Film Silicon Photodetector with Angular Sensitivity for Optical Micro-Encoder Peer-reviewed

    Bongseok Choi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　127　(6)　309-313　2007/06

    Publisher: The Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.127.309 　

    ISSN： 1341-8939

    More details Close

    In this paper, we describe a directional thin-film silicon photodetector with the objective of optical micro-encoder application. A directional photodetector with high absorption efficiency at a specific angle of incident light is based on guided-mode resonance (GMR) of subwavelength grating. The sensitive direction is tunable by changing the grating period. Numerical analysis, fabrication and device performance are presented.

  275. Wide-angle antireflection effect of subwavelength structures for solar cells Peer-reviewed

    Hitoshi Sai, Homare Fujii, Koji Arafune, Yoshio Ohshita, Yoshiaki Kanamori, Hiroo Yugami, Masafumi Yamaguchi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　46　(6A)　3333-3336　2007/06

    DOI： 10.1143/JJAP.46.3333 　

    ISSN： 0021-4922

  276. Phase sensitive photodiode based on guided resonant absorption Peer-reviewed

    Bong-Seok Choi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    APPLIED PHYSICS LETTERS　90　(24)　241114-1-241114-3　2007/06

    DOI： 10.1063/1.2749180 　

    ISSN： 0003-6951

  277. Out-of-plane motion of 260-mn thick guided-mode resonant grating filter controlled by four micro-thermal actuators Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　13　(8-10)　867-872　2007/05

    DOI： 10.1007/s00542-006-0286-9 　

    ISSN： 0946-7076

  278. Polymer microstructure generated by laser stereo-lithography and its transfer to silicon substrate using reactive ion etching Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Junya Sato, Takeshi Shimano, Shigeo Nakamura, Kazuhiro Hane

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　13　(8-10)　1411-1416　2007/05

    DOI： 10.1007/s00542-007-0380-7 　

    ISSN： 0946-7076

  279. Rigorous reflectance performance analysis of Si3N4 self-suspended subwavelength gratings Peer-reviewed

    Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

    OPTICS COMMUNICATIONS　270　(2)　233-237　2007/02

    DOI： 10.1016/j.optcom.2006.09.028 　

    ISSN： 0030-4018

  280. Photonic crystal waveguide switches with movable slabs Invited Peer-reviewed

    Kazuhiro Hane, Ken-ichi Umemori, Yoshiaki Kanamori

    IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS　E90C　(1)　51-58　2007/01

    DOI： 10.1093/ietele/e90-c.1.51 　

    ISSN： 0916-8524

    eISSN： 1745-1353

  281. Narrow-band tunable optical filters using the self-suspended subwavelength grating Peer-reviewed

    Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

    JOURNAL OF MODERN OPTICS　54　(6)　827-832　2007

    DOI： 10.1080/09500340601066042 　

    ISSN： 0950-0340

  282. A displacement sensor based on directional resonant photodetector

    B. S. Choi, Y. Kanamori, K. Hane

    TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　2　2357-2360　2007

    DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300643 　

  283. Mechanical-contact-based submicron-Si-waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths

    E. Bulgan, Y. Kanamori, K. Hane

    2007 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　93-94　2007

    DOI： 10.1109/OMEMS.2007.4373856 　

  284. Self-supported pitch-variable guided-mode resonant grating filters at telecom wavelengths

    Y. Kanamori, N. Matsuyama, J. -S. Ye, K. Hane

    2007 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　99-100　2007

    DOI： 10.1109/OMEMS.2007.4373859 　

  285. Fabrication of pitch-variable MEMS gratings using thermal and electrostatic actuators

    Y. Kanamori, T. Kobayashi, K. Hane

    MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS　380-381　2007

    DOI： 10.1109/IMNC.2007.4456263 　

  286. Subwavelength gratings combined with MEMS Invited

    K. Hane, J. -S. Ye, Y. Kanamori

    IDW '07: PROCEEDINGS OF THE 14TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3　2　1383-1385　2007

  287. Control of guided resonance in a photonic crystal slab using microelectromechanical actuators Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

    APPLIED PHYSICS LETTERS　90　(3)　031911-1-031911-3　2007/01

    DOI： 10.1063/1.2431452 　

    ISSN： 0003-6951

  288. Tunable Optical Filters by Using the Self-Suspended Subwavelength Gratings

    Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

    Technical Digest of 5th International Conference of Optics-photonics Design & Fabrication (ODF'06, Nara)　57-58　2006/12/06

  289. Photonic structure and materials combined with micro/nano-electro-mechanical systems

    Kazuhiro Hane, Fang-Ren Hu, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of the 1st international workshop on functional materials - 3rd international workshop on nanophysics and nanotechnology conference　575-576　2006/12/06

  290. Self-supported subwavelength gratings with a broad band of high reflectance analysed by the rigorous coupled-wave method Peer-reviewed

    J-S. Ye, Y. Kanamori, F-R. Hu, K. Hane

    JOURNAL OF MODERN OPTICS　53　(14)　1995-2004　2006/09

    DOI： 10.1080/09500340600761635 　

    ISSN： 0950-0340

  291. Fabrication of transmission color filters using silicon subwavelength gratings on quartz substrates Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Masaya Shimono, Kazuhiro Hane

    IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　18　(17-20)　2126-2128　2006/09

    DOI： 10.1109/LPT.2006.883208 　

    ISSN： 1041-1135

  292. Growth of GaN quantum well film on Si substrate and its application to a GaN-Si hybrid lightning device

    F .R .Hu, R. Ito, Y. Zhao, Y. Kanamori, K. Hane

    Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　27-28　2006/08/21

  293. Movable Guided-Mode Resonant Grating Filters by Four Bimorph Actuators for Wavelength Selective Dynamic Reflection Control

    Y. Kanamori, T. Kitani, K. Hane

    Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　68-69　2006/08/21

  294. A photonic crystal waveguide switch with a movable bridge slab

    K. Umemori, Y. Kanamori, K. Hane

    Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　72-73　2006/08/21

  295. Photonic crystal waveguide switch with a microelectromechanical actuator Peer-reviewed

    Ken-ichi Umemori, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    APPLIED PHYSICS LETTERS　89　(2)　021102-1-021102-3　2006/07

    DOI： 10.1063/1.2219996 　

    ISSN： 0003-6951

  296. Wavelength selective variable reflection filter driven by micro-thermal actuators

    Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

    Program and Extended Abstracts: 2006 Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006)　S15_03　2006/06/21

  297. Fabrication of micro-lenses using stereo-lithography and reactive ion etching

    Junya Sato, Yoshiaki Kanamori, Takeshi Shimano, Shigeo Nakamura, Kazuhiro Hane

    Program and Extended Abstracts: 2006 Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006)　S25_01　2006/06/21

  298. Antireflective subwavelength structures on crystalline Si fabricated using directly formed anodic porous alumina masks Peer-reviewed

    H Sai, H Fujii, K Arafune, Y Ohshita, M Yamaguchi, Y Kanamori, H Yugami

    APPLIED PHYSICS LETTERS　88　(20)　201116-1-201116-3　2006/05

    DOI： 10.1063/1.2205173 　

    ISSN： 0003-6951

  299. Variable optical reflectance of a self-supported Si grating Peer-reviewed

    K Hane, T Kobayashi, FR Hu, Y Kanamori

    APPLIED PHYSICS LETTERS　88　(14)　141109-1-141109-3　2006/04

    DOI： 10.1063/1.2193989 　

    ISSN： 0003-6951

  300. Guided-mode resonant grating filter fabricated on silicon-on-insulator substrate Peer-reviewed

    Y Kanamori, T Kitani, K Hane

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　45　(3A)　1883-1885　2006/03

    DOI： 10.1143/JJAP.45.1883 　

    ISSN： 0021-4922

  301. Tunable guided mode resonant gratings for passive and active devices: Si subwavelength MEMS structures and the combination with GaN film Peer-reviewed

    FR Hu, T Kobayashi, K Ochi, BS Choi, Y Zhao, Y Kanamori, K Hane

    ICO20: MEM, MOEMS, AND NEMS　6032　2006

    DOI： 10.1117/12.667847 　

    ISSN： 0277-786X

  302. Influence of temperature-dependent refractive index on thermal radiation from surface gratings - art. no. 61970W Peer-reviewed

    Hiroo Yugami, Takahiro Kamikawa, Yoshiaki Kanamori

    Photonics for Solar Energy Systems　6197　W1970-W1970　2006

    DOI： 10.1117/12.662760 　

    ISSN： 0277-786X

  303. A microtranslation table with scratch-drive actuators fabricated from silicon-on-insulator wafer Peer-reviewed

    Y Kanamori, H Yahagi, K Hane

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　125　(2)　451-457　2006/01

    DOI： 10.1016/j.sna.2005.06.017 　

    ISSN： 0924-4247

  304. Design of a thin film photodetector with. angular sensitivity for optical micro-encoder

    Bongseok Choi, Yoshiald Kanamori, Kazuhiro Hane

    2006 IEEE SENSORS, VOLS 1-3　279-+　2006

    ISSN： 1930-0395

  305. Micro/Nano Opt-Mechanical Systems Using Silicon Micromachining Technology

    K. Hane, M. Sasaki, Y. Kanamori, F. R. Hu

    Proceedings of Nanoengineering Symposium 2005　118-122　2005/10/26

  306. Anti-Reflective subwavelength structures for crystalline-Si solar cells fabricated by porous alumina mask and fast atom beam etching

    H. Sai, K. Tsuji, H. Fujii, K. Arafune, Y. Ohshita, Y. Kanamori, H. Yugami, M. Yamaguchi

    Proceedings of 15th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-15)　708-709　2005/10/14

  307. Surface laser emission from solid polymer dye in a guided mode resonant grating filter structure Peer-reviewed

    T Kobayashi, Y Kanamori, K Hane

    APPLIED PHYSICS LETTERS　87　(15)　151106-1-151106-2　2005/10

    DOI： 10.1063/1.2081116 　

    ISSN： 0003-6951

    eISSN： 1077-3118

  308. Tuning of the thermal radiation spectrum in the near-infrared region by metallic surface microstructures Peer-reviewed

    H Sai, Y Kanamori, H Yugami

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(9)　S243-S249　2005/09

    DOI： 10.1088/0960-1317/15/9/S12 　

    ISSN： 0960-1317

    eISSN： 1361-6439

  309. Numerical study on spectral properties of tungsten one-dimensional surface-relief gratings for spectrally selective devices Peer-reviewed

    H Sai, Y Kanamori, K Hane, H Yugami

    JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION　22　(9)　1805-1813　2005/09

    DOI： 10.1364/JOSAA.22.001805 　

    ISSN： 1084-7529

  310. Modified photo-sensors for grating-image type micro-encoder Peer-reviewed

    Y Kanamori, R Kamata, M Mitamura, Y Ito, K Hane

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　11　(8-10)　980-986　2005/08

    DOI： 10.1007/s00542-005-0503-y 　

    ISSN： 0946-7076

  311. Subwavelength structure for anti-reflection in solar cell applications

    H. Sai, K. Tsuji, K. Arafune, Y. Ohshita, Y. Kanamori, K. Hane, H. Yugami, M. Yamaguchi

    Proceedings of 20th European Photovoltaic Solar Energy Conference　148-151　2005/06/06

  312. Antireflection sub-wavelength gratings fabricated by spin-coating replication Peer-reviewed

    Y Kanamori, E Roy, Y Chen

    MICROELECTRONIC ENGINEERING　78-79　287-293　2005/03

    DOI： 10.1016/j.mee.2004.12.039 　

    ISSN： 0167-9317

  313. Enhanced UV imprint ability with a tri-layer stamp configuration Peer-reviewed

    E Roy, Y Kanamori, M Belotti, Y Chen

    MICROELECTRONIC ENGINEERING　78-79　689-694　2005/03

    DOI： 10.1016/j.mee.2004.12.086 　

    ISSN： 0167-9317

  314. Etching submicrometer trenches by using the Bosch process and its application to the fabrication of antireflection structures Peer-reviewed

    CL Chang, YF Wang, Y Kanamori, JJ Shih, Y Kawai, CK Lee, KC Wu, M Esashi

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(3)　580-585　2005/03

    DOI： 10.1088/0960-1317/15/3/020 　

    ISSN： 0960-1317

  315. Studies of integrated variable optical devices fabricated by micro- and nano-machining

    Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

    Proceedings: The 3rd International Symposium on Nanotechnology: JAPAN NANO 2005　82-83　2005/02/21

  316. Fabrication of soft nanoimprint stamps and polymer subwavelength gratings by spin coating techniques

    Y Kanamori, E Roy, Y Chen

    Nanophotonics, Nanostructure, and Nanometrology　5635　144-153　2005

    DOI： 10.1117/12.571986 　

    ISSN： 0277-786X

  317. Soft nanoimprint lithography

    Y Chen, E Roy, Y Kanamori, M Belotti, D Decanini

    Advanced Microlithography Technologies　5645　283-288　2005

    DOI： 10.1117/12.570745 　

    ISSN： 0277-786X

  318. Fiber-optical switch using cam-micromotor driven by scratch drive actuators Peer-reviewed

    Y Kanamori, Y Aoki, M Sasaki, H Hosoya, A Wada, K Hane

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(1)　118-123　2005/01

    DOI： 10.1088/0960-1317/15/1/018 　

    ISSN： 0960-1317

    eISSN： 1361-6439

  319. Numerical study on tungsten selective radiators with various micro/nano structures

    H Sai, Y Kanamori, K Hane, H Yugami, M Yamaguchi

    Conference Record of the Thirty-First IEEE Photovoltaic Specialists Conference - 2005　762-765　2005

    DOI： 10.1109/PVSC.2005.1488244 　

    ISSN： 0160-8371

  320. GaN film growth on Si substrate for sub-wavelength optical MEMS

    FR Hu, K Ochi, BS Choi, Y Kanamori, K Hane

    Transducers '05, Digest of Technical Papers, Vols 1 and 2　1　1043-1046　2005

    DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1496634 　

  321. Resonance in a self-supported vacuum grating for tunable optical filters: theoretical approach

    Y Kanamori, T Kobayashi, K Hane

    2005 PACIFIC RIM CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS　759-760　2005

    DOI： 10.1109/CLEOPR.2005.1569725 　

  322. GaN film grown on Si substrate for monolithic optical MEMS

    F. -R. Hu, K. Ochi, B. -S. Choi, Y. Kanamori, K. Hane

    Advances in Electronic Packaging 2005, Pts A-C　747-750　2005

  323. A Surface emitting solid polymer dye laser using a guided mode resonant grating for bio-optical detections

    T Kobayashi, Y Kanamori, K Hane

    IEEE/LEOS Optical MEMs 2005: International Conference on Optical MEMs and Their Applications　101-102　2005

    DOI： 10.1109/OMEMS.2005.1540097 　

  324. Antireflection Subwavelength Gratings Fabricated on Polymethyl Methacrylate Sheets by Nano-replication Techniques using Spin-coating

    Y. Kanamori, E. Roy, Y. Chen

    Proceedings of Micro and Nano Engineering 2004　74-75　2004/09/19

  325. Soft UV nanoimprint lithography for large area pattern replication

    E. Roy, Y. Kanamori, M. Belotti, Y. Chen

    Proceedings of Micro and Nano Engineering 2004　382-383　2004/09/19

  326. Pitch-variable Subwavelength Gratings Driven by Comb Actuators

    T. Kobayashi, Y. Kanamori, K. Hane

    Proceedings of IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2004)　198-199　2004/08/22

  327. Wavelength Selective Variable Reflection Filters Using Movable Guided Mode Resonance Gratings

    Y. Kanamori, T. Kitani, K. Hane

    Proceedings of IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2004)　204-205　2004/08/22

  328. Thermophotovoltaic power generation with microstructured tungsten selective emitters

    H. Sai, T. Kamikawa, Y. Kanamori, M. Yamaguchi, H. Yugami

    Preprints for the 19th European Photovoltaic Solar Energy Conference　49-52　2004/06/07

  329. A new method for fabrication nano-porous aluminum grating array Peer-reviewed

    Y Li, Y Kanamori, K Hane

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　10　(4)　272-274　2004/05

    DOI： 10.1007/s00542-003-0303-1 　

    ISSN： 0946-7076

    eISSN： 1432-1858

  330. 光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)

    羽根 一博, 佐々木 実, 金森 義明

    年次大会講演資料集　2004　466-467　2004

    Publisher: 一般社団法人日本機械学会

    DOI： 10.1299/jsmemecjsm.2004.8.0_466 　

  331. Thermophotovoltaic generation with microstructured tungsten selective emitters

    H Sai, T Kamikawa, Y Kanamori, K Hane, H Yugami, M Yamaguchi

    THERMOPHOTOVOLTAIC GENERATION OF ELECTRICITY　738　206-214　2004

    ISSN： 0094-243X

  332. Selective emitters for thermophotovoltaic generation by means of metallic surface microstructures

    Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Hiroo Yugami

    Technical Digest: The Third International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications - PowerMEMS 2003　118-121　2003/12/04

  333. Spectral control of thermal radiation by two-dimensional surface grating structures

    Hiroo Yugami, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of The International Symposium on Micro-Mechanical Engineering - Heat Transfer, Fluid Dynamics, Reliability and Mechatronics　2003　157-162　2003/12/01

    Publisher:

    More details Close

    Spectral control of thermal radiation has been investigated for high efficiency energy conversion systems. This technique has been applied for selective emitters of thermophotovoltaic (TPV) power generation systems. In this study, the spectral absorptance and emittance of W surface gratings with short periodicity corresponding to the VIS to NIR wavelengths has been investigated to develop spectrally selective devices. Numerical calculations based on rigorous coupled-wave analysis have been performed to evaluate the grating parameters. Two kinds of W surface gratings composed by microcavities have been fabricated by fast atom beam etching with two different lithography techniques. These gratings have shown strong absorption of emission due to the surface microstructures in the VIS to NIR region, whereas their reflectance in the IR region is kept at a high level. Their high thermal stability is confirmed from heating tests under vacuum or reduced atmospheres. Physical aspect of the interaction of electromagnetic wave with lossy gratings has been also discussed briefly.

  334. Subwavelength Gratings and Optical MEMS

    K. Hane, Y. Kanamori

    Proceedings of The Second Japan-Taiwan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering　85-91　2003/10/17

  335. Control of thermal radiation spectrum by means of surface nano-scale gratings

    Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Hiroo Yugami

    Proceedings of The Second Japan-Taiwan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering　104-111　2003/10/17

  336. Surface Micro-Fabrication and Integration for Optical MEMS

    HANE Kazuhiro, SASAKI Minoru, KANAMORI Yoshiaki

    Jitsumu Hyomen Gijutsu　54　(10)　640-643　2003/10/01

    Publisher: The Surface Finishing Society of Japan

    DOI： 10.4139/sfj.54.640 　

    ISSN： 0915-1869

  337. Solar selective absorbers based on two-dimensional W surface gratings with submicron periods for high-temperature photothermal conversion Peer-reviewed

    H Sai, H Yugami, Y Kanamori, K Hane

    SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS　79　(1)　35-49　2003/08

    DOI： 10.1016/S0927-0248(02)00364-1 　

    ISSN： 0927-0248

  338. Development of grating-image type micro-encoder by Si Micromachining: improvement of integration and zero-point detection

    Y. Kanamori, R. Kamata, M. Mitamura, Y. Ito, K. Hane

    Proceedings of the 2003 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment　(03-208)　257-258　2003/06/16

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

    More details Close

    Integration of a grating-imaging-type encoder is proposed and the sensor for the encoder has been fabricated using Si micromachining technology. The sensor consists of the Si grids and line photodiodes. The Si grids work as the object grating The incoherent light emission through the Si grids and the light detection with the line photodiodes make the optical system compact. Moreover, the photodiode array based on the M-series arrangement is also installed on the same substrate for zero-point detection.

  339. Nano/micro-technologies for high density data-storage and optical applications

    Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki, Yoshiaki Kanamori

    Proceedings of the 2003 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment　2003　(03-208)　W-24-W-28　2003/06/16

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

    More details Close

    Data-storage using near-field optical microscopy is a promising technology for the breakthrough of high-density optical disk memory since wavelength limit of conventional lens-optics is not applied. We have proposed a MEMS for the near-field optical data storage, which consists of integrated optical micro-probes and a micro media-translation-table. In the first part of the presentation, three-dimensional lithography based on the bulk micromachining using resist spray coater is described. Secondly, we describe the integration of waveguide, micro-pinhole tip, cantilever, and photodiode for a MEMS probe. The media-translation-table consisting of the inverted scratch drive actuators is also described.

  340. Pattern transfer of self-ordered structure with diamond mold Peer-reviewed

    Takahito Ono, Chihiro Konoma, Hidetoshi Miyashita, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi

    Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　42　(6 B)　3867-3870　2003/06

    DOI： 10.1143/JJAP.42.3867 　

    ISSN： 0021-4922

  341. Subwavelength antireflection gratings for GaSb in visible and near-infrared wavelengths Peer-reviewed

    Y Kanamori, K Kobayashi, H Yugami, K Hane

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　42　(6B)　4020-4023　2003/06

    DOI： 10.1143/JJAP.42.4020 　

    ISSN： 0021-4922

  342. Fabrication of high-accuracy microtranslation table for near-field optical data storage actuated by inverted scratch-drive actuators Peer-reviewed

    Yoshiaki Kanamori, Hiroto Yahagi, Takahito Ono, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

    Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　42　(6 B)　4074-4078　2003/06

    DOI： 10.1143/jjap.42.4074 　

    ISSN： 0021-4922

  343. Optical MEMS technology for high-density optical storage

    K. Hane, M. Sasaki, Y. Kanamori

    Proceedings of OSA Optical Data Storage　256-258　2003/05/11

  344. Spectrally selective thermal radiators and absorbers with periodic microstructured surface for high-temperature applications Peer-reviewed

    H Sai, H Yugami, Y Kanamori, K Hane

    MICROSCALE THERMOPHYSICAL ENGINEERING　7　(2)　101-115　2003/04

    DOI： 10.1080/10893950390203305 　

    ISSN： 1089-3954

  345. High-temperature resistive surface grating for spectral control of thermal radiation Peer-reviewed

    H Sai, Y Kanamori, H Yugami

    APPLIED PHYSICS LETTERS　82　(11)　1685-1687　2003/03

    DOI： 10.1063/1.1560867 　

    ISSN： 0003-6951

  346. Silicon optical MEMS: Three dimentional micromachining and integration Peer-reviewed

    K Hane, M Sasaki, Y Kanamori

    MAGNETIC MATERIALS, PROCESSES, AND DEVICES VII AND ELECTRODEPOSITION OF ALLOYS, PROCEEDINGS　2002　(27)　229-237　2003

  347. Spectrally selective emitters with deep rectangular cavities fabricated with fast atom beam etching

    H Sai, Y Kanamori, H Yugami

    THERMOPHOTOVOLTAIC GENERATION OF ELECTRICITY　653　155-163　2003

    ISSN： 0094-243X

  348. A Broadband antireflection for GaSb by means of subwavelength grating (SWG) structures

    H Yugami, K Kobayashi, H Sai, Y Kanamori, K Hane

    THERMOPHOTOVOLTAIC GENERATION OF ELECTRICITY　653　482-487　2003

    ISSN： 0094-243X

  349. Spectral and thermal properties of tungsten selective emitters with rectangular microcavities for thermophotovoltaic generations

    H Sai, Y Kanamori, H Yugami

    PROCEEDINGS OF 3RD WORLD CONFERENCE ON PHOTOVOLTAIC ENERGY CONVERSION, VOLS A-C　208-211　2003

  350. Optical components and actuators for integrated near-field optical data storage

    K Hane, Y Kanamori, M Sasaki, JH Song

    SMART SENSORS, ACTUATORS, AND MEMS, PTS 1 AND 2　5116　197-204　2003

    DOI： 10.1117/12.498885 　

    ISSN： 0277-786X

  351. Photonic crystal switch by inserting nano-crystal defects using MEMS actuator

    Y Kanamori, K Inoue, K Horie, K Hane

    2003 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS　107-108　2003

    DOI： 10.1109/OMEMS.2003.1233489 　

  352. Driving of optical fiber by surface-micromachined CAM-micromotor for the applications to variable optical attenuator

    Y Kanamori, Y Aoki, M Sasaki, H Hosoya, A Wada, K Hane

    2003 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS　119-120　2003

    DOI： 10.1109/OMEMS.2003.1233495 　

  353. Broadband antireflection subwavelength gratings for polymethyl methacrylate fabricated with molding technique Peer-reviewed

    Y Kanamori, K Hane

    OPTICAL REVIEW　9　(5)　183-185　2002/09

    DOI： 10.1007/s10043-002-0183-0 　

    ISSN： 1340-6000

  354. High efficient light-emitting diodes with antireflection subwavelength gratings Peer-reviewed

    Y Kanamori, M Ishimori, K Hane

    IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　14　(8)　1064-1066　2002/08

    DOI： 10.1109/LPT.2002.1021970 　

    ISSN： 1041-1135

  355. Subwavelength antireflection gratings for light emitting diodes and photodiodes fabricated by fast atom beam etching Peer-reviewed

    M Ishimori, Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　41　(6B)　4346-4349　2002/06

    DOI： 10.1143/JJAP.41.4346 　

    ISSN： 0021-4922

  356. Spectrally selective radiators and absorbers with periodic microstructured surface for high temperature applications

    Hitoshi Sai, Hiroo Yugami, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Abstracts: International Symposium on Micro/Nanoscale Energy Conversion and Transport　55-57　2002/04/14

  357. Subwavelength antireflection structure for optical detector fabricated by fast atom beam etching

    Y Kanamori, M Ishimori, K Hane

    MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS　4928　27-34　2002

    ISSN： 0277-786X

  358. Micro-translation-table for near-field data storage using inverted-scratch-drive-actuators

    Y Kanamori, H Yahagi, M Sasaki, T Ono, K Hane

    MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS　4928　35-42　2002

    ISSN： 0277-786X

  359. Fabrication of diamond mold for imprint lithography

    C. Konoma, T. Ono, H. Miyashita, Y. Kanomori, M. Esashi

    2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　164-165　2002

    DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178595 　

  360. Subwavelength antireflection gratings for photovoltaic cells in visible and near-infrared wavelengths

    Y. Kanamori, K. Kobayashi, H. Yugami, K. Hane

    2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　182-183　2002

    Publisher: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178604 　

  361. Fabrication of high accuracy micro-translation-table for near-field optical data storage actuated by inverted-scratch-drive-actuators

    Y. Kanamori, H. Yahagi, T. Ono, M. Sasaki, K. Hane

    2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　306-307　2002

    DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178665 　

  362. Spectral control of thermal emission by periodic microstructured surfaces in the near-infrared region Peer-reviewed

    H Sai, H Yugami, Y Akiyama, Y Kanamori, K Hane

    JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION　18　(7)　1471-1476　2001/07

    ISSN： 0740-3232

  363. Spectral control of thermal emission by periodic microstructured surfaces in the near-infrared region Peer-reviewed

    Hitoshi Sai, Hiroo Yugami, Yasuhiro Akiyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision　18　(7)　1471-1476　2001

    DOI： 10.1364/JOSAA.18.001471 　

    ISSN： 1520-8532 1084-7529

  364. 100 nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask Peer-reviewed

    Y Kanamori, K Hane, H Sai, H Yugami

    APPLIED PHYSICS LETTERS　78　(2)　142-143　2001/01

    DOI： 10.1063/1.1339845 　

    ISSN： 0003-6951

  365. Sub-wavelength stucture for anti-reflection fabricated by fast atom beam etching

    K Hane, Y Kanamori

    CLEO(R)/PACIFIC RIM 2001, VOL I, TECHNICAL DIGEST　I　186-187　2001

  366. Subwavelength antireflection gratings for light emitting diodes and photodiodes fabricated by fast atom beam etching

    M Ishimori, Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

    MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2001, DIGEST OF PAPERS　198-199　2001

  367. Broadband antireflection gratings for glass substrates fabricated by fast atom beam etching Peer-reviewed

    Y Kanamori, H Kikuta, K Hane

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS　39　(7B)　L735-L737　2000/07

    DOI： 10.1143/jjap.39.L735 　

    ISSN： 0021-4922

  368. Surface microstructured selective emitters for TPV systems

    H Sai, H Yugami, Y Akiyama, Y Kanamori, K Hane

    CONFERENCE RECORD OF THE TWENTY-EIGHTH IEEE PHOTOVOLTAIC SPECIALISTS CONFERENCE - 2000　1016-1019　2000

    DOI： 10.1109/PVSC.2000.916058 　

    ISSN： 0160-8371

  369. Broadband antireflection gratings fabricated upon silicon substrates Peer-reviewed

    Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

    OPTICS LETTERS　24　(20)　1422-1424　1999/10

    DOI： 10.1364/OL.24.001422 　

    ISSN： 0146-9592

  370. Antireflection structures for visible and infrared wavelengths fabricated on silicon substrates by fast atom beam etching

    Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

    OPTICAL ENGINEERING FOR SENSING AND NANOTECHNOLOGY (ICOSN'99)　3740　484-487　1999

    ISSN： 0277-786X

  371. High aspect-ratio two-dimensional silicon subwavelength gratings fabricated by fast atom beam etching

    Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

    MICROMACHINING AND MICROFABRICATION PROCESS TECHNOLOGY V　3874　345-354　1999

    ISSN： 0277-786X

  372. Efficiencies of photovoltaic cell receivers for laser power transmission under the lunar environment

    H.Yugami, Y.Kanamori, H. Naito, H. Itagaki

    Proceedings of 33rd Intersociety Energy Conversion Engineering Conference　(IECEC-98-378)　1998/08/02

  373. Development of indirect solar pumped laser driven by PV cells

    Yoshiaki Kanamori, Hiroo Yugami, Hitoshi Naito, Haruo Arashi

    Proceedings of ISES 1997 Solar World Congress　2　253-259　1997/08/24

  374. Field experiment of laser energy transmission and laser to electric conversion

    H Yugami, Y Kanamori, H Arashi, M Niino, A Moro, K Eguchi, Y Okada, A Endo

    IECEC-97 - PROCEEDINGS OF THE THIRTY-SECOND INTERSOCIETY ENERGY CONVERSION ENGINEERING CONFERENCE, VOLS 1-4　1　625-630　1997

Show all ︎Show first 5

Misc. 86

  1. Development of Suppliable Meta-Atoms and Three-Dimensional Bulk Metamaterials Invited

    Yoshiaki Kanamori

    OPTRONICS　44　(525)　84-88　2025/09/10

  2. THzメタマテリアル及びTHz部品への応用について Invited

    金森義明

    オプトニューズ　20　(2)　3-1(1)-3-1(5)　2025/07/23

  3. 人工光学物質「メタマテリアル」を用いた光デバイス開発 ～自在な屈折率を実現する三次元バルクメタマテリアル、スマホの電波を透過して熱を反射する遮熱メタマテリアル～ Invited

    金森義明

    翠巒　39　11-14　2025/01/27

  4. Metamaterials open up new avenues for optical device development Invited

    OPTRONICS　43　(514)　112-116　2024/10/10

  5. 三次元バルクメタマテリアル Invited

    金森義明

    粉体技術　16　(6)　49-52　2024/06/01

  6. 地球磁気圏X線撮像衛星GEO-Xの現状

    江副祐一郎, 船瀬龍, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 中嶋大, 三石郁之, 布施綾太, 川端洋輔, BODEN Ralf C., 中島晋太郎, KAMPS Landon, 信原佑樹, 平井翔太, 石川久美, 沼澤正樹, 佐藤佑樹, 萩野浩一, 松本洋介, 細川敬祐, 伊師大貴, 米山友景, 上野宗孝, 山崎敦, 長谷川洋, 三田信, 三谷烈史, 藤本正樹, 川勝康弘, 岩田隆浩, 満田和久, 平賀純子, 笠原慧, 小泉宏之, 佐原宏典, 金森義明, 森下浩平

    日本天文学会年会講演予稿集　2024　2024

    ISSN： 1347-0639

  7. 地球磁気圏X線撮像計画GEO-X(GEOspace X-ray imager)の現状 V

    中嶋大, 江副祐一郎, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 沼澤正樹, 石川久美, 萩野浩一, 三石郁之, KAMPS Landon, 川端洋輔, 布施綾太, BODEN Ralf, 三谷烈史, 米山友景, 中島晋太郎, 上野宗孝, 山崎敦, 長谷川洋, 三田信, 藤本正樹, 川勝康弘, 岩田隆浩, 松本洋介, 細川敬祐, 平賀純子, 満田和久, 小泉宏之, 笠原慧, 佐原宏典, 金森義明, 森下浩平

    日本天文学会年会講演予稿集　2023　2023

    ISSN： 1347-0639

  8. 1.2.3.1節 テラヘルツ分野のメタマテリアル Invited

    金森義明

    2021年度光技術動向調査報告書　5-8　2022/03

  9. Terahertz wave control for 6G mobile communication system - Development of metamaterials that can change transparency and phase – Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Material Stage　21　(10)　84-87　2022/01/10

  10. メタマテリアル光学センサ Invited

    岡谷泰佑, 金森義明

    化学と教育　69　(12)　532-535　2021/12/20

    Publisher: 公益社団法人 日本化学会

    DOI： 10.20665/kakyoshi.69.12_532 　

    ISSN： 0386-2151

    eISSN： 2424-1830

    More details Close

    メタマテリアルは光の波長よりも小さな構造を人工的に作製・配置することで，光と物質の相互作用を自在に制御できる人工光学物質である。筆者らはメタマテリアルを応用した各種センサ開発に取り組んできた。本稿では，メタマテリアルの基本的な作製方法と，メタマテリアルを応用した光学センサの例として，筆者らが開発した高感度なバイオセンサおよび力覚センサについて解説する。

  11. シリコンナノ微小球による誘電体メタマテリアル Invited

    金森義明

    FCレポート　39　(2)　66-70　2021/04

  12. 研究室だより：東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 金森・岡谷研究室 Invited

    Yoshiaki Kanamori

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　140　(7)　NL7_2-NL7_2　2020/07/01

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

    DOI： 10.1541/ieejsmas.140.nl7_2 　

    ISSN： 1341-8939

    eISSN： 1347-5525

  13. Highly sensitive bio sensors using metamaterials and the application to DNA detection Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    3　(14)　44-46　2019/12

  14. Metamaterials for highly sensitive bio/chemical sensors Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    アグリバイオ　3　(7)　82-84　2019/07

  15. Highly sensitive bio / chemical sensors using metamaterial Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    アグリバイオ　2　(10)　61-63　2018/08

  16. Fabrication of Si anti-reflection structures for THz waves using subwavelength gratings

    2017　(1)　5-8　2017/06/29

    Publisher: 電気学会

  17. Pantography: Break through the Limitations of Light controlling Technology

    Yoshiaki Kanamori

    The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan　137　(6)　344-345　2017/06/01

    Publisher: The Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejjournal.137.344 　

  18. Preface to the Special Issue on “Metamaterials and Plasmonics”

    Yoshiaki Kanamori

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(11)　349-349　2017

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.349 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  19. Fabrication and optical characteristics of asymmetric double bar metamaterial with metal/insulator/metal structures

    2016　(58)　31-34　2016/12/19

    Publisher: 電気学会

  20. Fabrication and optical characteristics of asymmetric double bar metamaterial with metal/insulator/metal structures

    2016　(27)　31-34　2016/12/19

    Publisher: 電気学会

  21. Spectral control of Fano resonance by MEMS actuated optical metamaterials

    森竹 勇斗, 金森 義明, 羽根 一博

    電気学会研究会資料. PHS　2016　(58)　21-25　2016/12/19

    Publisher: 電気学会

  22. Chromaticity selective photodetectors by dielectric optical meta-surfaces with photodiodes

    33　1-4　2016/10/02

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

  23. Fabrication of transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes (フィジカルセンサ ケミカルセンサ マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 APCOT合同セッション)

    Shimizu Tomoki, Sai Hitoshi, Kanamori Yoshiaki, Hane Kazuhiro

    電気学会研究会資料. PHS　2016　(18)　21-25　2016/06/29

    Publisher: 電気学会

  24. Preface to the special issue on "Metamaterial and plasmonics"

    Yoshiaki Kanamori

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　135　(11)　401-401　2015/11/01

    Publisher: Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.401 　

    ISSN： 1347-5525 1341-8939

  25. 対称構造からなる光メタマテリアルにおける高Q値共鳴

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　76th　ROMBUNNO.15A-2G-10　2015/08/31

  26. Fabrication and characterization of optical metamaterials with multiple Fano resonance

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料　MSS-15　(15-34)　83-87　2015/07/03

  27. RGB Structural Color Material with Wide Viewing Angles Fabricated by Micromachining

    金森義明

    化学工業　66　(4)　35-41　2015/04/01

    Publisher: 化学工業社

    ISSN： 0451-2014

  28. 光領域で動作するメタマテリアルの作製 ＝光メタマテリアルを用いた擬似電磁誘起透明化と光通信用減衰器＝

    金森義明

    光アライアンス　26　(3)　24-28　2015/03/01

    Publisher: 日本工業出版

    ISSN： 0917-026X

  29. A simple method to prevent reflection at optical fiber interfaces

    Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

    SPIE Newsroom　2015/02/12

    Publisher: SPIE

    DOI： 10.1117/2.1201502.005774 　

  30. 光メタマテリアルにおけるFano共鳴特性の密度依存性

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　69th (CD-ROM)　ROMBUNNO.5aA02　2014/12/04

  31. Fabrication of optical metamaterials by micromachining

    Yoshiaki Kanamori

    OPTRONICS　33　(392)　65-69　2014/08/10

    Publisher: 株式会社オプトロニクス社

  32. Fabrication and quality factor analysis of optical metamaterials with Fano resonance in near-infrared region

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料　MSS-14　(1-4.6-23)　57-60　2014/05/27

  33. Bio-inspired Microstructures for Optical Control

    金森義明

    CERAMICS JAPAN　49　(5)　376-379　2014/05/01

    Publisher: 公益社団法人日本セラミックス協会

    ISSN： 0009-031X

  34. 利得媒質による光メタマテリアル共鳴のQ値向上に関する数値解析

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　61st　ROMBUNNO.17P-E16-8　2014/03/03

  35. 近赤外域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と光学異方性の評価

    穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

    応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　69th (CD-ROM)　2014

  36. 103 Fabrication of Silicon Microlenses by Xenon Difluoride Gas Etching and Hydrogen Annealing

    SUGAWARA Kazuhiro, ABE Yosuke, HOKARI Ryohei, YOSHIDA Masaki, SASAKI Takashi, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    The Proceedings of Conference of Tohoku Branch　2014　(0)　7-8　2014

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

    DOI： 10.1299/jsmeth.2014.49.7 　

  37. The coupling ratio control of microdisk resonators with movable silicon waveguides

    KANAMORI Yoshiaki, SATO Yuichi, HANE Kazuhiro

    2013　(1)　5-9　2013/08/08

  38. Fabrication of an electromagnetically induced transparency-like metamaterial at the near-infrared wavelengths

    HOKARI Ryohei, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会　2013　(1)　11-14　2013/08/08

  39. 164 Mechanical Characteristics of Micro Electrostatic Actuator Driven Variable-Gap Silicon Nanowire Waveguide Coupler Switch

    MUNEMASA Yasushi, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2013　(48)　130-131　2013/03/15

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

  40. 水素アニールによる微細加工されたシリコン構造体の表面平滑化と ねじり破壊強度へ与える影響の調査

    羽鹿 亮, 吉田 慎哉, 牧志 渉, 金森 義明, 田中 秀治, 江刺 正喜

    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 講演予稿集　29　57-62　2012/10/22

  41. 将来衛星に向けた超軽量,高分解能MEMS光学系の基礎開発(5)

    垣内巧也, 江副祐一郎, 森山鉄平, 小川智弘, 大橋隆哉, 三石郁之, 満田和久, 洞出光洋, 杉山進, RIVEROS Raul, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

    応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　73rd　ROMBUNNO.12A-C3-9　2012/08/27

  42. Characterization of Gap-Variable Silicon Waveguide Coupler Switch Using Micro Actuator

    MUNEMASA Yasushi, AKIHAMA Yuta, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2012　(1)　39-41　2012/06/11

  43. Atmosphere dependency of roughness reduction by using hydrogen annealing

    ABE Yosuke, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2012　(1)　25-28　2012/06/11

  44. 水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響

    羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 江刺正喜

    第５９回応用物理学関係連合講演会講演予稿集　59　22-035-22-035　2012/03/15

  45. マイクロマシン技術を用いた超軽量・高角度分解能X線光学系の開発と現状

    小川智弘, 江副祐一郎, 森山鉄平, 垣内巧也, 大橋隆哉, 満田和久, 三石郁之, 洞出光洋, 杉山進, 山口ひとみ, RIVEROS Raul E, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 青木竜彦

    日本物理学会講演概要集　67　(1)　143-143　2012/03/05

    Publisher: The Physical Society of Japan (JPS)

    ISSN： 1342-8349

  46. 将来衛星に向けた超軽量,高分解能MEMS光学系の基礎開発(4)

    垣内巧也, 江副祐一郎, 森山鉄平, 小川智弘, 大橋隆哉, 三石郁之, 満田和久, 洞出光洋, 杉山進, RIVEROS Raul, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　59th　ROMBUNNO.18A-B5-11　2012/02/29

  47. Progress with MEMS X-ray micro pore optics Peer-reviewed

    Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Takaya Ohashi, Ikuyuki Mitsuishi, Kazuhisa Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul E. Riveros, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

    SPACE TELESCOPES AND INSTRUMENTATION 2012: ULTRAVIOLET TO GAMMA RAY　8443　2012

    DOI： 10.1117/12.925811 　

    ISSN： 0277-786X

  48. MEMS可動型シリコン細線カプラー導波路スイッチ

    羽根一博, 金森義明, 池田太郎, 秋浜祐太

    光技術コンタクト　49　(8)　4-8　2011/08/20

    Publisher: 社団法人日本オプトメカトロニクス協会

    ISSN： 0913-7289

  49. Roughness reduction of Si etched surface by using hydrogen annealing

    SATO Yuichi, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2011　(1)　43-46　2011/07/01

  50. Fabrication of Reflective Three Primary Color Filters Using Structural Color by Subwavelength Gratings

    OZAKI Toshikazu, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2011　(1)　51-54　2011/07/01

  51. CI-1-5 Switches for changing optical paths using MEMS-based devices

    Hane Kazuhiro, Kanamori Yoshiaki

    Proceedings of the IEICE General Conference　2011　(1)　"SS-9"-"SS-10"　2011/02/28

    Publisher: The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers

  52. Progress on the Magnetic Field-assisted Finishing of MEMS Micropore X-ray Optics Peer-reviewed

    Raul E. Riveros, Michael A. Tan, Hitomi Yamaguchi, Ikuyuki Mitsuishi, Kensuke Ishizu, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Yuichiro Ezoe, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Yoshiaki Kanamori, Noriko Yamasaki, Kasuhiza Mitsuda

    OPTICS FOR EUV, X-RAY, AND GAMMA-RAY ASTRONOMY V　8147　2011

    DOI： 10.1117/12.892978 　

    ISSN： 0277-786X

  53. 将来衛星に向けた超軽量,高分解能MEMS光学系の基礎開発(3)

    石津健佑, 江副祐一郎, 三石郁之, 石川久美, 森山鉄平, 満田和久, 大橋隆哉, 洞出光洋, 杉山進, RIVEROS Raul, BOGGS Taylor, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

    応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　71st　ROMBUNNO.15A-ZT-11　2010/08/30

  54. Biomimetic Nanomechanical Structures for Optical Control

    Yoshiaki KANAMORI

    KOGAKU　39　(7)　306-312　2010/07/10

    Publisher: （社）応用物理学会

    ISSN： 0389-6625

  55. 光通信用シリコン導波路MEMS (特集 光で/を動かす技術)

    羽根 一博, 金森 義明

    O plus E　32　(5)　560-563　2010/05

    Publisher: アドコム・メディア

    ISSN： 0911-5943

  56. Development of Structural Filters

    Yoshiaki Kanamori

    Monthly Display　15　(3)　32-39　2009/03/01

    Publisher: Techno Times Co.,Ltd.

    ISSN： 1341-3961

  57. 光通信用ナノマシン

    Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori, Kazunori Takahashi

    OPTRONICS　27　(319)　153-158　2008/07/10

    Publisher: 株式会社オプトロニクス社

    ISSN： 0286-9659

  58. シリコン光MEMS

    羽根一博, 金森義明

    OPTRONICS　(11)　159-163　2007/11

  59. Applications of High Density Plasma to Optical Micromachines

    羽根一博, 佐々木実, 金森義明

    精密工学会誌　73　(9)　980-983　2007/09/01

    Publisher: The Japan Society for Precision Engineering

    DOI： 10.2493/jjspe.73.980 　

    ISSN： 0912-0289

  60. Fabrication of thin comb-drive actuators for tunable nano-photonics devices

    TAKAHASHI Kazunori, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2007　(1)　11-14　2007/07/03

  61. Evaluation of Mechanical-Contact-Based Submicron-Si-Waveguide Optical Switch Performance

    BULGAN Erdal, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2007　(1)　57-61　2007/07/03

  62. 光通信デバイスのためのMEMS

    羽根一博, 佐々木実, 金森義明

    光技術コンタクト　45　(3)　120-125　2007/03/20

    Publisher: 社団法人日本オプトメカトロニクス協会

    ISSN： 0913-7289

  63. Numerical analysis and demonstration of submicron antireflective textures for crystalline silicon solar cells

    Hitoshi Sai, Homare Fujii, Yoshiaki Kanamori, Koji Arafune, Yoshio Ohshita, Hiroo Yugami, Masafumi Yamaguchi

    CONFERENCE RECORD OF THE 2006 IEEE 4TH WORLD CONFERENCE ON PHOTOVOLTAIC ENERGY CONVERSION, VOLS 1 AND 2　1　1191-1194　2006

    DOI： 10.1109/WCPEC.2006.279394 　

  64. MEMSアクチュエータによる周期可変共鳴格子

    Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    OPTRONICS　24　(288)　71-76　2005/12/10

    Publisher: 株式会社オプトロニクス社

  65. ポーラスアルミナをマスクとした反射防止サブ波長構造のSi太陽電池への応用

    斎均, 辻幸介, 藤井誉, 新船幸二, 大下祥雄, 金森義明, 湯上浩雄, 山口真史

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　66th　(3)　1298　2005/09/07

  66. シリコンマイクロマシニングと集積化技術

    佐々木 実, 金森 義明, 羽根 一博

    ケミカルエンジニヤリング　50　(9)　731-735　2005/09

    Publisher: 化学工業社

    ISSN： 0387-1037

  67. サブ波長格子：バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ

    Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    応用物理　74　(7)　935-938　2005/07/10

    Publisher: 社団法人 応用物理学会

    ISSN： 0369-8009

  68. Development of integrated optical encoder : Optical design for gap-insensitive encoder and sensor fabrication

    CHOI BS., KANAMORI Y., HANE K.

    2005　(1)　33-36　2005/06/22

  69. 522 Fabrication of optical switch using movable photonic crystal slab by micro electrostatic actuator

    Umemori Kenichi, Kanamori Yoshiaki, Hane Kazuhiro

    2005　(40)　226-227　2005/03/15

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

  70. Influence of temperature dependence of complex refractive index on thermal radiation spectra from surface gratings

    KAMIKAWA Takahiro, SAI Hitoshi, KANAMORI Yoshiaki, YUGAMI Hiroo

    2004　(40)　135-136　2004/09/17

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

  71. 306 High efficient CH_4 steam reforming by resonant excitation of vibrational modes using spectrally selective thermal radiators

    Sasaki Takashi, Kanamori Yoshiaki, Yugami Hiroo

    2004　(39)　102-103　2004/03/13

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

  72. 光マイクロマシンと集積化

    羽根 一博, 佐々木 実, 金森 義明

    精密工学会春季大会. シンポジウム資料　2004　26-30　2004/03/01

  73. MEMS技術による光学システムの集積化 =集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて=

    Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    光アライアンス　15　(6)　1-5　2004/01

    Publisher: 日本工業出版

  74. Optical MEMS for information devices

    HANE Kazuhiro, SASAKI Minoru, KANAMORI Yoshiaki

    ITE technical report　27　(36)　1-4　2003/06/27

    Publisher: 映像情報メディア学会

    ISSN： 1342-6893

  75. Micro- and Nano-optical devices: three-dimensional fabrication technology using photolithography

    Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki, Yoshiaki Kanamori

    光技術コンタクト　41　(6)　340-346　2003/06

    Publisher: 社団法人日本オプトメカトロニクス協会

  76. Broadband antireflection for III-V semiconductors by subwavelength surface grating structures

    H Yugami, Y Kanamori, K Kobayashi, K Hane

    PROCEEDINGS OF 3RD WORLD CONFERENCE ON PHOTOVOLTAIC ENERGY CONVERSION, VOLS A-C　C　2710-2713　2003

  77. Thermal stability of selective solar absorber by means of surface microstructures

    SAI Hitoshi, YUGAMI Hiroo, KANAMORI Yoshiaki

    2002　189-192　2002/11/07

    Publisher: 日本太陽エネルギー学会

  78. Spectral control of thermal radiation from metals by using periodic surface micro structures

    YUGAMI Hiroo, SAI Hitoshi, KANAMORI Yshiaki, HANE Kazuhiro

    The proceedings of the JSME annual meeting　2002　(4)　29-30　2002/09/20

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

    DOI： 10.1299/jsmemecjo.2002.4.0_29 　

    More details Close

    Control of optical properties of materials has been investigated for efficient thermal energy utilization. Applying the resonant effect between periodic microstructured surface structure and photons, the spectrally selective thermal radiation surface, this is so-called selective emitter, is made on Si and high temperature metals by means of micro-machining techniques. These selective emitters can be applied to Solar thermophotovoltaic systems selective solar absorber, and sky radiator etc. Thermal radiation spectra of the emitters are measured at high temperatures and selective emission due to the surface microstructures is clearly observed. Numerical calculations based on rigorous coupled-wave analysis (RCWA) are also performed to predict spectral properties of the emitters.

  79. Fabrication of nano-meter order scale antireflection periodic structures by fast atom beam etching

    Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    O plus E　24　(1)　53-59　2002/01

    Publisher: New technology communications

    ISSN： 0911-5943

  80. Optical Properties of Subwavelength Antireflection Gratings Fabricated on Light Emitting Diodes

    KANAMORI Yoshiaki, ISHIMORI Masahiro, SASAKI Minoru, HANE Kazuhiro

    2001　(1)　21-26　2001/11/21

  81. Research on Selective Solar Absorber with Submicron-Period Surface Microstructures

    SAI Hitoshi, YUGAMI Hiroo, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2001　383-386　2001/11/08

    Publisher: 日本太陽エネルギー学会

  82. Creation of spectrally selective thermal emission surface by resonance effect between photon and periodic surface structures

    YUGAMI Hiroo, SAI Hitoshi, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2001　387-390　2001/11/08

    Publisher: 日本太陽エネルギー学会

  83. ハイアスペクト比の超微細格子の製作と光部品への応用

    石杜 昌弘, 金森 義明, 佐々木 実, 羽根 一博

    精密工学会大会学術講演会講演論文集　2001　(2)　220-220　2001/09/01

  84. 201 Spectral control of thermal radiation of W with periodic surface microstructures for TPV applications

    SAI Hitoshi, YUGAMI Hiroo, KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro

    2001　(36)　48-49　2001/03/10

    Publisher: The Japan Society of Mechanical Engineers

  85. 重点領域 宇宙環境下の熱・物質輸送過程 周期的な表面ナノ構造からのスペクトル選択性熱放射現象に関する基礎研究 (理工学実験)

    湯上 浩雄, 羽根 一博, 金森 義明

    宇宙基地利用基礎実験費研究成果報告書　2001　205-208　2001

    Publisher: 宇宙科学研究所

  86. Indirect Solar-pumped Laser Diode using a Solar Cell

    KANAMORI Yoshiaki, YUGAMI Hiroo, NAITO Hitoshi, ARASHI Haruo

    1996　65-68　1996/10/27

Show all ︎Show first 5

Books and Other Publications 13

  1. 6G/7Gのキーデバイス

    金森義明

    S&T出版株式会社　2023/05/24

    ISBN: 9784907002978

  2. メタマテリアルの設計、作製と新材料、デバイス開発への応用

    金森義明

    株式会社 技術情報協会　2022/03/31

    ISBN: 9784861048760

  3. メタマテリアル、メタサーフェスの設計・作製と応用技術

    Yoshiaki Kanamori

    (株)R&D支援センター　2020/07/31

    ISBN: 9784905507468

  4. Biomimetics from the Perspective of Instrumentation

    金森義明

    株式会社シーエムシー・リサーチ　2016/07/29

    ISBN: 9784904482292

  5. ウェットプロセスによる精密薄膜コーティング技術

    Yoshiaki Kanamori

    株式会社 技術情報協会　2014/08/29

  6. 生物模倣技術と新材料・新製品開発への応用

    金森義明

    技術情報協会　2014/07/31

    ISBN: 9784861045363

  7. 薄膜塗布技術と乾燥トラブル対策

    Yoshiaki Kanamori

    株式会社 技術情報協会　2013/08/30

    ISBN: 9784861044908

  8. 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御

    金森義明

    株式会社 技術情報協会　2013/06/28

    ISBN: 9784861044854

  9. メタマテリアルⅡ

    金森義明

    株式会社シーエムシー出版　2012/06/01

    ISBN: 9784781303543

  10. Theoretical and Applied Mechanics Japan, Volume 57

    Edited by Akira Murakami

    Sousendou Publishing Corporation　2009

    ISBN: 9784902416145

  11. LED革新のための最新技術と展望

    金森義明, 羽根一博

    株式会社 情報機構　2008/11/14

    ISBN: 9784904080092

  12. 微細転写・加工技術全集

    古田知伸, 金森義明

    技術情報協会　2008/08/29

    ISBN: 9784861042485

  13. ナノオプティクス・ナノフォトニクスのすべて －ナノ光技術の基礎から応用まで－

    金森義明

    フロンティア出版　2006/05

Show all Show first 5

Presentations 312

  1. Terahertz-Band Transmissive Filter Using Metallic Grids Formed on Dielectric Substrates

    Haruto Shimada, Yoshiaki Kanamori

    2025/09/09

  2. MEMS-Actuated Variable Optical Attenuator Formed on a High-Resistivity Single-Crystal Silicon Substrate for Terahertz-Band Photonic Integrated Circuits

    Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

    2025/09/09

  3. 光・THz波領域における動的制御と構造化：可変メタサーフェスと三次元バルクメタマテリアルの展開 Invited

    金森義明

    フォトニクス技術フォーラム 2025年度 第2回 研究会　2025/09/02

  4. テラヘルツ向け電波制御材料：三次元バルクメタマテリアル

    金森義明

    大学見本市2025～イノベーション・ジャパン　2025/08/21

  5. メタレンズ・６G用メタマテリアル Invited

    金森義明

    第23回MEMS集中講義　2025/08/21

  6. Development of three-dimensional bulk metamaterials suppliable as meta-atomic grains Invited

    Yoshiaki Kanamori

    The 15th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META2025)　2025/07/25

  7. メタマテリアルとメタサーフェスによる6G・テラヘルツ波デバイスの進化 Invited

    金森義明

    CST Studio Suite Tech Seminar 2025　2025/05/16

  8. Area Dependence of Subwavelength Gratings for Wide-Angle Deflection of Terahertz Waves

    Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

    The international conference on Metaphotonics 2025 (META2025)　2025/04/24

  9. メタマテリアルの原理と研究開発最前線 Invited

    金森義明

    マルチメディア推進フォーラム Part974 ｢自然界を超越するメタマテリアルの世界」～電波を操り6Gのカバレッジを拡大～　2025/04/11

  10. Application study of hydrogen atmosphere surface treatment using the Minimal Fab laser heating tool to semiconductor CMOS devices(Ⅱ)

    2025/03/17

  11. Fabrication of microlens molds by hydrogen annealing using Minimal Fab

    濱田 健吾, Huang Yin, 佐藤 徳子, 千葉 貴史, 寺田 昌男, 佐藤 和重, 三浦 典子, 池田 伸一, 原 史朗, 金森 義明

    2025/03/17

  12. Taper Angle Dependence of Free-space-to-waveguide Coupling Efficiency in Tapered Waveguides for Terahertz Waves

    2025/03/16

  13. THz wave response of mesh-type metamaterials with cantilevers as electrical contacts

    2025/03/14

  14. Fabrication of Three-dimensional Dielectric Metamaterial as Low Pass Filter in the Terahertz Region

    2025/03/14

  15. Terahertz guidance through 3D printed single bar nested hollow-core fiber

    Muhammad Zain Siddiqui, Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

    2025/03/14

  16. 光・電波制御デバイスの進化を促進するメタマテリアル・メタサーフェス Invited

    金森義明

    新化学技術推進協会（JACI）電子情報技術部会ナノフォトニクスエレクロトニクス交流会　2025/03/07

  17. Fabrication of Si Microparticle Dispersion as Refractive Index Control Material in the Terahertz Region

    Shun Wakiuchi, Yoshiaki Kanamori

    The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024/12/20

  18. Single-mode silicon ribbon waveguides for 300 GHz integrated circuits

    Kohei Chiba, Yoshiaki Kanamori

    The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024/12/20

  19. Numerical and experimental study of free-space coupling to individual H-shaped meta-atoms in the THz range

    Ying Huang, Yoshiaki Kanamori

    The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024/12/20

  20. Rotary encoders using optical fibers with four-directional wire-grid-polarizers

    Hajime Kobayashi, Yoshiaki Kanamori

    The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024/12/20

  21. Absorption control by variable air-gap metal-insulator-metal metamaterials

    Daiki Iwamoto, Yoshiaki Kanamori

    The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024/12/20

  22. Transmission control of THz waves using gap-variable cut-wire-metamaterials

    Arisa Fujimoto, Ying Huang, Yoshiaki Kanamori

    The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024/12/20

  23. Metamaterials and nanophotonics open up new avenues for light manipulation Technologies Invited

    Yoshiaki Kanamori

    The 29th Condensed Matter Physics Ankara Meeting (YMF29)　2024/12/20

  24. Negative Curvature Hollow Core Fibers for Terahertz Wave Guidance via 3D Polymer Printing

    Muhammad Z. Siddiqui, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

    2024 MRS Fall Meeting & Exhibit　2024/12/05

  25. Development of Ultra-lightweight X-ray Telescope fabricated with MEMS technologies for the GEO-X satellite

    Optics & Photonics Japan 2024 (OPJ2024)　2024/11/30

  26. Fabrication of SiO2 Metalenses with High Aspect Ratio Nanopillar Structures for Visible Light Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Optics & Photonics Japan 2024 (OPJ2024)　2024/11/30

  27. Free standing diamond nanostructures formed by sacrificial layer etching for nanoelectromechanical actuators

    Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori

    The 20th International Conference on Precision Engineering　2024/10/26

  28. Effect of fabrication defects on terahertz wave control characteristics of dielectric metamaterials operating in the terahertz region

    Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    The 20th International Conference on Precision Engineering　2024/10/26

  29. Integrated RF-MEMS technology for reconfigurable spoof-surface-plasmon-polariton delay-line Invited

    Minh Van Nguyen, Yoshiaki Kanamori

    The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　2024/10/16

  30. Metamaterials and nanophotonics open up new possibilities for controlling light and terahertz waves Invited

    Yoshiaki Kanamori

    The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13)　2024/10/16

  31. Development of an ultra-lightweight X-ray telescope using MEMS technologies for GEO-X

    2024/09/18

  32. Surface treatment of columnar structures by hydrogen annealing using Minimal Fab

    2024/09/16

  33. 6G・ロボティックス応用に向けたメタマテリアル Invited

    金森義明

    第22回MEMS集中講義　2024/08/22

  34. Fabrication of delay lines using spoof-surface-plasmon-polariton waveguides coupled with split-ring resonators for microwave integrated circuits

    Minh Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　2024/07/17

  35. MEMS-based double filter configuration for air gap sensing in tunable Fabry-Pérot filter

    Pratyasha Sahani, S. Nabana, T. Okatani, N. Inomata, Y. Kanamori

    META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　2024/07/17

  36. Fabrication of visible metalenses by thermal oxidation of silicon nanopillars

    Taiyu Okatani, Rei Ando, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　2024/07/16

  37. An active Fabry‒Pérot interferometer operated at terahertz frequencies based on pitch-variable subwavelength gratings

    Ying Huang, Yangxun Liu, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    META2024, 14th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics　2024/07/16

  38. 光・電波を操るメタマテリアル Invited

    金森義明

    第36回マイクロシステム融合研究会　2024/06/14

  39. メタマテリアル・メタサーフェスの光、電波制御への応用、今後の展望 Invited

    金森義明

    技術情報協会 Live配信セミナー　2024/06/11

  40. Fabrication and evaluation of terahertz metamaterials using metal–porous-insulator–metal structures

    2024/03/25

  41. Fabrication of Silicon Microparticle Dispersion as Terahertz Wave Control Materials

    2024/03/24

  42. Tubular hollow-core fibers for terahertz guidance

    Muhammad Zain Siddiqui, Mahmudur Rahman, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori, Mustafa Ordu

    2024/03/22

  43. ナノファブリケーションが拓くメタマテリアルの応用展開 Invited

    金森義明

    2024年第1回ナノインプリント技術研究会　2024/02/16

  44. ギャップ表面プラズモンに基づくメタマテリアルを用いたテラヘルツ波の反射位相制御に関する数値解析

    藤本 ありさ, 金森 義明

    第21回赤外放射応用関連学会年会　2024/01/26

  45. テラヘルツ制御のためのMEMS 駆動メタマテリアル Invited

    金森義明

    シンポジウム テラヘルツ科学の最先端 X　2023/12/20

  46. 電波透過を兼ね備えた透明な窓 Invited

    金森義明

    2023 年度第 2 回ガラス科学技術・評価技術合同研究会　2023/12/14

  47. Structural Color Filters Using Metamaterials and Their Applications Invited

    Yoshiaki Kanamori

    The 30th International Display Workshops (IDW ’23)　2023/12/08

  48. Simultaneous Imaging and Spectroscopy with Pixelized Gradient Thickness Optical Filter

    Pratyasha Sahani, Shiori Nabana, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    The 30th International Display Workshops (IDW ’23)　2023/12/06

  49. マイクロ・ナノファブリケーションが拓くメタマテリアルの社会実装 Invited

    金森義明

    コニカミノルタ画像科学奨励賞30周年記念発表会　2023/11/22

  50. メタマテリアル・メタサーフェスの６G ・テラヘルツ波周辺部材への応用 Invited

    金森義明

    【株式会社AndTechオンラインLive配信・WEBセミナー】 テラヘルツ波を中心とした最新技術開発動向と次世代通信・イメージングへの応用展開・将来展望と課題　2023/11/21

  51. Fabrication and characterization of static “ON”- “OFF” state SSPP devices integrating with metamaterials

    Minh Van Nguyen, Nobuaki Kikuchi, Toshiyuki Kodama, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　2023/11/17

  52. Terahertz stretchable metamaterials for uniaxial strain measurement based on dolmen resonators

    Taiyu Okatani, Munkh-Orgil Dashdeleg, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　2023/11/17

  53. An electromechanical cantilever actuator with a dimpled tip used for reconfigurable THz metamaterials

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)　2023/11/17

  54. 社会課題解決に向けた光・電波制御メタマテリアル Invited

    金森義明

    光とレーザーの科学技術フェア2023「オプティクスセミナー：最先端の光制御 〜メタサーフェス／メタマテリアル〜」　2023/11/08

  55. A terahertz-wave-deflector based on Si-dielectric-metasurfaces for 6G communications

    Kohei CHIBA, Taiyu OKATANI, Naoki INOMATA, Yoshiaki KANAMORI

    2023/11/08

  56. 6G通信に向けたTHzメタマテリアルの製作と電場モードのギャップ依存性の解明

    藤本ありさ, Minh Van Nguyen, Ying Huang, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

    2023年度精密工学会東北支部講演会　2023/10/28

  57. Siサブ波長格子を用いた透過型テラヘルツ波変更デバイスの偏波方向依存性評価

    千葉滉平, 岡谷泰佑, 猪股直生, 金森義明

    2023年度精密工学会東北支部講演会　2023/10/28

  58. 反射型ロータリーエンコーダのための4方向ワイヤグリッド偏光子基板の製作と評価

    小林 創, 岡谷 泰佑, 猪股 直生, 金森 義明

    2023年度精密工学会東北支部講演会　2023/10/28

  59. メタマテリアル研究革新拠点（Meta-RIC）の活動について Invited

    富樫正敏, 金森義明

    KRIクライアントコンファレンス＆ワークショップ2023　2023/10/27

  60. メタマテリアル技術の可能性 Invited

    金森義明

    KRIクライアントコンファレンス＆ワークショップ2023　2023/10/27

  61. On-Chip Linear Optical Circuits Using Silicon Membranes

    Takumi Oshida, Takuya Inagaki, Takumi Ishikawa, Shun Okawara, Yoshiaki Kanamori, Hirohito Yamada, Nobuyuki Matsuda

    2023/09/21

  62. An electromechanical cantilever actuator with a high mechanical resonant frequency exceeding 1.5 MHz used for THz metamaterials

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    2023/09/21

  63. メタマテリアルのためのマイクロ・ナノマシニング技術の開発 Invited

    金森義明

    第11回マイクロ・ナノ加工研究会公開講演会　2023/09/14

  64. メタマテリアルの6Gへの応用展開 Invited

    金森義明

    JMS技術講習会「メタマテリアルの基礎原理と6Gへの応用」　2023/08/25

  65. カーボンニュートラル・バイオ応用に向けたメタマテリアル Invited

    金森義明

    第21回MEMS集中講義　2023/08/09

  66. Fabrication of metasurfaces for heat-shielding windows and 6G communications and investigation of the possibility of near-infrared reflection control by movable thin films Invited

    Yoshiaki Kanamori

    The 13th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META2023)　2023/07/20

  67. Development of micro/nano processing technology for metamaterials Invited

    Yoshiaki Kanamori

    The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　2023/06/29

  68. THz-wave-deflectors based on effective-refractive-index-distribution control of dielectric metamaterials

    Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori

    The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　2023/06/27

  69. Transparent electrodes for electromechanically reconfigurable THz metamaterials

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    The 7th A3 Metamaterials Forum 2023　2023/06/27

  70. メタマテリアルにおける基礎と６G ・テラヘルツ波周辺部材への応用と展望 Invited

    金森義明

    株式会社AndTechオンラインLive配信・WEBセミナー　2023/05/25

  71. メタマテリアルの基礎からテラヘルツ波の制御技術・応用展開 Invited

    金森義明

    R&D支援センターWEBセミナー　2023/04/12

  72. Metamaterials for Carbon Neutral and Beyond5G/6G Invited

    Yoshiaki Kanamori

    2023/03/23

  73. Numerical calculation of frequency conversion occurring by time-modulation of the permittivity of a homogeneous medium

    Minh Van Nguyen, Toshiyuki Kodama, Yoshiaki Kanamori

    2023/03/17

  74. Design and fabrication of functional cross-shaped metamaterials using electron beam lithography for applications in infrared shielding windows and 6G communications

    Minh Van Nguyen, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    2023/03/17

  75. A reconfigurable H-shaped THz metamaterial based on an ultra-small micromechanical cantilever array Invited

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    2023/03/17

  76. Epitaxial Pb(Zr,Ti)O3-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Fabricated on Silicon-On-Nothing (SON) Structure

    Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

    2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2023/01/17

  77. ６Ｇに期待の次世代材料技術 メタマテリアルによるテラヘルツ波の高度制御と応用展望 Invited

    金森義明

    サイエンス＆テクノロジーセミナー　2022/11/18

  78. ワイヤグリッド偏光子付き光ファイババンドルを用いた拡散反射計測による歯質判別

    岡谷 泰佑, 横山 雄基, 宍戸 駿一, 中村 圭祐, 金森 義明

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2022/11/14

  79. Attachment of Four-Way Wire Grid Polarizers on Optical Fiber End Face for Angle of Linear Polarization Measurement

    2022/11/14

  80. Construction of a reflective rotary encoder with polarizers in four directions and evaluation of its angle detection capability

    2022/11/12

  81. Control of effective refractive index in Si subwavelength gratings to realize new artificial optical materials for THz waves

    2022/11/12

  82. Fabrication of Flexible Metamaterials Using Inkjet Printing and Evaluation of Transmission Properties

    2022/11/12

  83. Fabrication of reflective metalens by thermal oxidation of high-aspect-ratio silicon nanopillars

    Taiyu Okatani, Yuya Naito, Yoshiaki Kanamori

    35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022)　2022/11/08

  84. Isotropic 3D Bulk Metamaterial Containing Spilt-Ring Resonators

    2022/09/23

  85. An H-shaped metamaterial-based MEMS device with a high mechanical resonant frequency for THz waves

    Ying Huang, 岡谷 泰佑, 金森 義明

    2022/09/23

  86. Terahertz reflective metamaterials for flexible strain sensing

    Dashdeleg Munkh-Orgil, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    2022/09/23

  87. Autonomously Switchable Filter Realized by Thermal Driven Bimetal Actuators

    Zeng Zhaodong, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    2022/09/22

  88. Bull’s Eye Antenna–Silicon Waveguide Coupling Device in the Terahertz Region

    2022/09/21

  89. Extraordinary Transmission of Bull's Eye Structure Observed by Up-Conversion-Based THz-Wave Frequency-Domain Spectroscopy

    Yuma Takida, Kaoru Imai, Taiyu Okatani, Seigo Ohno, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide

    2022 47th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)　2022/09/01

  90. Beyond 5G/ 6G に向けたメタマテリアル Invited

    金森義明

    第20回MEMS集中講義　2022/08/09

  91. A switchable THz filter by integrating an H-shaped metamaterial and ultra-small MEMS switches

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO-PR2022)　2022/08/02

  92. MEMSを用いた時間変調メタマテリアル・フォトニックデバイスの開発 Invited

    金森義明

    第12回電磁メタマテリアル講演会　2022/08/04

  93. メタマテリアルにおける基礎と６G ・テラヘルツ波周辺部材への応用の可能性 Invited

    金森義明

    株式会社Andtech WEBセミナー　2022/06/28

  94. 微小機械駆動メタマテリアル・フォトニック構造と時間変調メタマテリアルへの取り組み Invited

    金森義明

    オプトロニクスWEBセミナー「6G通信、次世代計測を担うテラヘルツデバイスの進展」　2022/03/31

  95. Investigation of on-chip free-space linear optical circuits

    2022/03/25

  96. Metal–Insulator–Metal structured optical force sensors with thin polydimethylsiloxane

    Munkh Orgil, Dashdeleg, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    2022/03/24

  97. An electromechanically active THz filter based on an H-shaped metamaterial

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    2022/03/24

  98. Fabrication of Spin-on-Glass Film-Encapsulated Nanodot Array for Nanogap Measurement

    2022/03/24

  99. Development of Schmidt-type Lobster eye X-ray optics using MEMS technology

    2022/03/24

  100. MEMS駆動メタマテリアル・フォトニック構造：THz波制御への応用 Invited

    金森義明

    電子情報通信学会東北支部講演会　2022/02/25

  101. メタマテリアル構造及びそれを用いた屈折率センサ Invited

    Yoshiaki Kanamori

    JST 医工連携 新技術説明会　2022/01/18

  102. メタマテリアルにおけるテラヘルツ波周辺部材への応用の可能性 Invited

    金森義明

    Live配信セミナー テラヘルツ波のメカニズムと各種材料・部材への吸収，透過，遮蔽特性とその応用　2021/12/14

  103. Smoothing of silicon micropore X-ray optics by thermal annealing

    Aoto Fukushima, Yuichiro Ezoe, Kumi Ishikawa, Daiki Ishi, Sae Sakuda, Tomoki Uchino, Ayata Inagaki, Yoko Ueda, Hiromi Morishita, Luna Sekiguchi, Takatoshi Murakawa, Yukine Tsuji, Masaki Numazawa, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori

    34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)　2021/10/26

  104. Broadband stop filters using H-shaped metamaterial at the THz region

    Ying Huang, Taiyu Okatani, Yoshiaki Kanamori

    34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)　2021/10/26

  105. Development of Schmidt type Lobster eye optics using MEMS technology

    2021/09/10

  106. MEMS 制御 THz メタマテリアル Invited

    Yoshiaki Kanamori

    2021/08/05

  107. Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御 Invited

    Yoshiaki Kanamori

    2021/08/04

  108. 波長選択メタマテリアルの応用デバイス（分光・遮熱） Invited

    Yoshiaki Kanamori

    2021/07/27

  109. メタマテリアルを用いたSPRセンサの高感度化とDNA/RNA検出への適用 Invited

    金森義明

    ３大学医工連携オンラインセミナー～メタマテリアル・革新的センサー・基礎代謝測定・医療用金属材料　2021/05/28

  110. THz波の透過性と位相を変えられる微小機械駆動チューナブル・メタマテリアル Invited

    金森義明

    オプトロニクスWEBセミナー「6G通信、次世代計測を拓くテラヘルツデバイスの現状と将来～発信器、検出・受信機、制御素子～」　2021/04/22

  111. テラヘルツ波MEMSデバイス Invited

    金森義明

    日本学術振興会テラヘルツ波科学技術と産業開拓第182委員会第45回研究会　2021/04/08

  112. ポスト5Gで注目される微小機械駆動メタマテリアルによるTHz波制御 Invited

    金森義明

    ナノ茶論 第10回 オンラインセミナー　2021/03/29

  113. Si Three-Dimensional Structure Annealing In a Hydrogen Atmosphere Using a Minimal Laser Heating Tool

    2021/03/19

  114. Study on Lubrication Film Thickness Measurement Method Applying Metal-Insulator-Metal Metamaterial Structure

    2021/03/19

  115. Dielectric Optical Metamaterials Using Silicon Nanospheres Fabricated by Hydrogen Annealing

    2021/03/19

  116. Fabrication of Bull’s Eye Structure for Terahertz Waves by Micromachining

    2021/03/18

  117. THz Filter Based on a Movable Electromagnetically Induced Transparency Metamaterial

    2021/03/18

  118. Light wave control devices by metasurfaces Invited

    Yoshiaki Kanamori

    Optics & Photonics Japan 2020　2020/11/15

  119. Fabrication of antireflection subwavelength gratings on a silicon prism for improvement of THz light extraction efficiencies

    Yuya Naito, Atsuki Kosugi, Ying Huang, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020)　2020/11/09

  120. Development of Minimal laser hydrogen annealing tool to flatten the surface

    2020/09/09

  121. Toward the reduction of silicon-wire-waveguide propagation loss by using hydrogen annealing

    2020/01/22

  122. 小型分光器・高感度バイオセンサを実現する人工光学物質「メタマテリアル」 Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    第64回光波センシング技術研究会　2019/12/10

  123. エアギャップ式可動MIMメタマテリアルによるフォースセンシング

    金森義明, 関口将太, 羽根一博

    第36回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2019/11/20

  124. Silicon Migration Seal Wafer-Level Vacuum Encapsulation

    鈴木裕輝夫, Victor DUPUIT, 小島俊哉, 金森義明, 田中秀治

    2019/11/19

  125. Screening of Process Factors for Silicon Torsional Bar by Static Pure Torsion Destructive Test

    鈴木 裕輝夫, 大柳 英樹, 千葉 広文, 引地 広介, 小島 俊哉, 金森 義明, 田中 秀治

    2019/11/18

  126. MEMS駆動メタマテリアルを基盤技術としたテラヘルツ波デバイスの研究 Invited

    金森 義明

    東北大学＆理研 第1回連携ワークショップ「テラヘルツ光研究の新展開と産業応用への展望」　2019/10/23

  127. メタマテリアルを用いたテラヘルツ波用フィルタの研究

    金森 義明

    東北大学＆理研 第1回連携ワークショップ「テラヘルツ光研究の新展開と産業応用への展望」　2019/10/23

  128. ナノ構造によるメタマテリアル Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    第2回Nano Structured Optics 分科会　2019/10/11

  129. Fabrication of visible light transmission and near infrared light reflection

    Masanari Bito, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    第80回応用物理学会秋季学術講演会　2019/09/21

  130. Fabrication of small linear variable filters and the implementation to compact spectrometers

    Kazuma Terano, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

    第80回応用物理学会秋季学術講演会　2019/09/18

  131. Miniature spectroscopes with metamaterial filter array International-presentation Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    The 4th A3 Metamaterials Forum　2019/08/24

  132. Metasurfaces for heat-shield windows International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Masanari Bito

    The 4th A3 Metamaterials Forum　2019/08/23

  133. Miniature Spectroscopes with Metasurfaced Transmitted Color Filters Integrated on a Photodiode Array International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

    10th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META2019)　2019/07/25

  134. メタマテリアルによるテラヘルツ波の制御の実現と磁気応答制御への期待 Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    日本金属学会 2019年度春季（第164回）講演大会　2019/03/21

  135. Fabrication of movable MIM metamaterial with air gap structures International-presentation

    Shota Sekiguchi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018)　2018/11/13

  136. High sensitivity bio/chemical sensors using polarization independent metamaterial

    KANAMORI Yoshiaki

    第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2018/10/30

  137. A Reflection-Type Vapor Cell for Micro Atomic Clock

    NISHINO Hitoshi

    第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2018/10/30

  138. Fabrication of metamaterial on the tips of optical fibers and the application to refractive index sensors

    KANAMORI Yoshiaki

    第79回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集　2018/09/18

  139. Fabrication of movable MIM metamaterial with air gap structures

    SEKIGUCHI Shota

    第79回応用物理学会秋季学術講演会　2018/09/18

  140. THz Tunable Metamaterial Based on Micro-electromechanical Technologies International-presentation Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    Progress In Electromagnetics Research Symposium （PIERS2018)　2018/08/04

  141. Structural Color Filters Based on Guided-mode Resonant Effect International-presentation Invited

    KANAMORI Yoshiaki

    Progress In Electromagnetics Research Symposium （PIERS2018)　2018/08/01

  142. Spectral and angular shaping of infrared radiation in a polymeric resonator

    2018/03/19

  143. メタマテリアルを用いたテラヘルツ波の制御 Invited

    金森 義明

    日本金属学会 第3分科討論会　2018/03/09

  144. Metamaterials: A New Paradigm for Optical Control International-presentation

    Yoshiaki Kanamori

    Kick-off Symposium for World Leading Research Centers -Materials Science and Spintronics- 2018　2018/02/20

  145. Fabrication of PMUT using silicon on nothing process for fingerprint sensor

    Shim Hang, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono, Yoshiaki Kanamori, Song Yunheub, Oh Youngtaek

    第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2017/10/31

  146. 構造を起源とする色の理解、トップダウン加工でつくる構造色とその応用

    東北大学薬学研究科 特別講演　2017/09/28

  147. 可動機構を備えたメタマテリアル・フォトニック構造：光フィルタ応用の可能性

    H29 年度 東北大学電気通信研究所 共同プロジェクト研究会　2017/09/25

  148. Transmissive metamaterial color filters

    Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

    第78回応用物理学会秋季学術講演会　2017/09/05

  149. 超軽量Ｘ線光学系の表面粗さ改善に向けた長時間アニール

    伊師 大貴, 江副 祐一郎, 石川 久美, 沼澤 正樹, 武内 数馬, 寺田 優, 藤谷 麻衣子, 糸山 隆仁, 大坪 亮太, 福島 碧斗, 大橋 隆哉, 金森 義明, 満田 和久

    第78回応用物理学会秋季学術講演会　2017/09/05

  150. 偏光無依存メタマテリアルの製作と屈折率センサへの応用

    清水 友己, 金森 義明, 羽根 一博

    第78回応用物理学会秋季学術講演会　2017/09/05

  151. Si フォトダイオード上のメタマテリアル・カラーフィルタによる分光デバイス

    金森 義明, 江間 大祐, 羽根 一博

    第78回応用物理学会秋季学術講演会　2017/09/05

  152. ドライエッチング側壁の超平滑化技術と超低損失光MEMS/NEMSデバイスへの応用

    MEMS用シリコン深掘り（DRIE）装置活用セミナー　2017/07/31

  153. メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成に関する調査専門委員会

    金森義明, 菅野公二, 肥後昭男

    平成29年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2017/06/29

  154. サブ波長格子を用いたTHz波用Si反射防止構造の製作

    小杉厚貴, 金森義明, 羽根一博, 南出泰亜

    平成29年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2017/06/29

  155. ナノフォトニック構造のMEMS制御

    平成29年電気学会全国大会　2017/03/15

    More details Close

    シンポジウム名：ナノ構造のための最先端MEMS技術：基礎・加工・評価・応用

  156. MEMS駆動光メタマテリアルによるファノ共鳴スペクトル制御

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会　2016/12/19

  157. 金属・誘電体・金属構造の非対称型ダブルバーメタマテリアルの製作と光学特性

    大久保藍, 金森義明, 羽根一博

    電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会　2016/12/19

  158. Fabrication of electromagnetically induced transparency like metamaterials in THz region International-presentation

    Y. Kanamori, K. Nakamura, K. Hane

    5th Russia-Japan-USA-Europe Symposium on Fundamental & Applied Problems ofTerahertz Devices & Technologies (RJUSE TeraTech-2016)　2016/10/31

  159. フォトダイオード一体型誘電体光メタ表面による色度選択光検出

    江間大祐, 金森義明, 羽根一博

    第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2016/10/24

  160. Fabrication of Planar Metamaterials for Transmission and Absorption Control

    第77回応用物理学会秋季学術講演会　2016/09/13

    More details Close

    JSAP-OSA Joint Symposia 2016

  161. Spectral sensitivity control of Si photodiodes by subwavelength structures International-presentation

    Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 1st A3 Metamaterials Forum　2016/07/05

  162. Movable transparent membranes designed for tunable metamaterials in the optical region International-presentation

    Ai Okubo, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 1st A3 Metamaterials Forum　2016/07/05

  163. Metamaterial absorbers fabricated on silicon cantilevers International-presentation

    Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 1st A3 Metamaterials Forum　2016/07/05

  164. Photovoltaic transmissive color filters based on Metal-Photodiode-Metal metamaterials International-presentation

    Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 1st A3 Metamaterials Forum　2016/07/05

  165. Fabrication of transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes

    Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    平成28年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2016/06/29

  166. Fabrication of transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes International-presentation

    Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016 (APCOT2016)　2016/06/26

  167. Planar metamaterials for transmission and absorption control International-presentation

    EMN Meeting on Metamaterials　2016/05/08

  168. Observation of Fano resonance in Optical Metamaterials International-presentation

    The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　2016/04/17

  169. Experimental Demonstration of Wavelength-Selective Metamaterial Absorbers in the 1.5 THz Range International-presentation

    Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Yuma Takida, Hiroaki Minamide

    The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　2016/04/17

  170. Wavelength-selective Transmission from Plasmonic Nanostructured Arrays in the Visible Region International-presentation

    Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　2016/04/17

  171. プラズモニックナノ周期構造による構造色フィルタ

    江間大祐, 金森義明, 羽根一博

    平成28年度電気学会全国大会　2016/03/16

  172. マイクロマシニングで製作するメタマテリアルのフィルター応用

    レーザー学会学術講演会第36 回年次大会　2016/01/09

  173. Development of metamaterial filters for terahertz frequencies International-presentation

    2015 International Nanophotonics and Nanoenergy Conference (INPEC 2015)　2015/10/23

  174. 対称構造からなる光メタマテリアルにおける高Q値共鳴

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    第76回応用物理学会秋季学術講演会　2015/09/13

  175. Enhanced Fluorescence of Quantum Dots by Fano Resonance in Optical Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars International-presentation

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    9th International Congress on Advanced Electromagnetic Materials in Microwaves and Optics - Metamaterials 2015　2015/09/07

  176. 電磁誘起透明化を実現する光メタマテリアル

    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会　2015/09/04

    More details Close

    キーノートスピーチ

  177. Fano共鳴型光メタマテリアルの高精度製作

    メタマテリアル第187委員会 平成27年度第2回研究会　2015/09/04

  178. Wavelength Selective Filters Using Metamaterials in Terahertz Frequency Region International-presentation

    2015 IEEE International Symposium on Radio-Frequency Integration Technology (RFIT2015)　2015/08/26

  179. テラヘルツ波領域におけるメタマテリアル・アブソーバの吸収特性

    石井雄大, 金森義明, 羽根 一博, 瀧田佑馬, 南出泰亜

    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015/07/02

  180. THz 領域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と評価

    中村健太, 穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015/07/02

  181. 多重Fano 共鳴をもつ光メタマテリアルの製作と評価

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015/07/02

  182. メタマテリアル・プラズモニクスの光・電子デバイス応用調査専門委員会

    金森義明, 菅野公二, 肥後昭男

    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015/07/02

  183. High precision fabrication of optical metamaterials with sharp Fano resonance International-presentation

    The 5th Korea-Japan Metamaterials Forum　2015/06/29

  184. 光領域で動作する電磁誘起透明化メタマテリアルの製作

    平成27年電気学会全国大会　2015/03/24

  185. Quality-factor enhancement of Fano resonance in asymmetric-double-bar metamaterials by alternately arranging inversed unit cells in the optical region International-presentation

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    SPIE Photonic West　2015/02/07

  186. Antireflection subwavelength gratings on optical fiber tips fabricated by a dedicated UV nano imprint lithography system International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

    SPIE Photonic West　2015/02/07

  187. Fabrication and phase-shift analysis of EIT metamaterials operating at visible wavelengths International-presentation

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　2014/12/22

  188. Demonstration and characterization of Fano resonance in optical metamaterials composed of asymmetric double bar International-presentation

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　2014/12/22

  189. High Precision Fabrication of Metamaterials at Optical Wavelengths International-presentation

    International Conference on Small Science (ICSS 2014)　2014/12/08

  190. 光メタマテリアルにおけるFano共鳴特性の密度依存性

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    応用物理学会東北支部第69回学術講演会　2014/12/04

  191. 近赤外域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と光学異方性の評価

    穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

    応用物理学会東北支部第69回学術講演会　2014/12/04

  192. マイクロマシニングによるメタマテリアルの製作とMEMSによる可動メタマテリアルの可能性

    奈良先端未来開拓コロキウム２０１４ 「Meta-X（メタエックス） version 3.1」公開ワークショップ　2014/10/22

  193. ナノフォトニック構造を利用した光フィルタのディスプレイ応用

    光電相互変換第１２５委員会「本委員会第226回研究会／EL分科会第45回研究会合同研究会」　2014/10/20

  194. 光メタマテリアル

    第13回 マイクロシステム融合研究会　2014/10/14

  195. 生物模倣ナノ光学素子、メタマテリアルの製作と応用

    ナノ粒子・構造応用研究会 第9回公開講演会　2014/09/02

  196. MEMS-BASED X-RAY OPTICS FOR ASTRONOMY, PLANETARY EXPLORATION, AND EARTH OBSERVATION International-presentation

    Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Masahiro Ikuta, Mayu Sato, Kazuhisa Mitsuda, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Hiroshi Hiroshima, Ryutaro Maeda

    2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2014)　2014/08/17

  197. 近赤外域にFano共鳴をもつ光メタマテリアルの作製とQ値解析

    森竹勇斗, 金森義明, 羽根一博

    平成26年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2014/05/27

  198. 擬似電磁誘起透明化が生じる光メタマテリアルの製作と位相差解析

    穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

    平成26年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2014/05/27

  199. Experimental Comparison of Electromagnetically Induced Transparency-like Characteristics between Silver and Aluminum Metamaterials at Visible Wavelengths International-presentation

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　2014/05/20

  200. Demonstration of Fano Resonance in Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars in Optical Region International-presentation

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　2014/05/20

  201. マイクロマシニングによるＲＧＢ構造色材料の製作

    日本化学会第94春季年会　2014/03/27

    More details Close

    依頼講演

  202. 利得媒質による光メタマテリアル共鳴のQ 値向上に関する数値解析

    森竹 勇斗, 金森 義明, 羽根 一博

    第61 回応用物理学会春季学術講演会　2014/03/17

  203. XeF2ガスエッチングと水素アニールによるシリコンマイクロレンズの製作

    菅原 寿紘, 阿部 洋輔, 穂苅 遼平, 吉田 優樹, 佐々木 敬, 金森 義明, 羽根 一博

    日本機械学会東北支部 第49期総会・講演会　2014/03/14

  204. Fabrication of Ultrathin Color Filters for Three Primary Colors Using Silicon Subwavelength Gratings International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

    9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014/02/12

  205. Detuning Effect of Quadrupole Resonators in Electromagnetically Induced Transparency-like Metamaterials at Near-Infrared Wavelengths International-presentation

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014/02/12

  206. Numerical Study on Optical Metamaterials with High Quality Factor Composed of Asymmetric Double Bars International-presentation

    Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014/02/12

  207. Silicon Spherical Nano-particles having Magnetic Resonance Fabricated by Hydrogen Annealing International-presentation

    Yosuke Abe, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014/02/12

  208. Wavelength-selective Optical Attenuators using Plasmonic Nano-resonator Array for Silicon waveguides International-presentation

    Taiyo Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　2014/02/12

  209. Structural Color from a Two-Dimensional Guided-Mode Resonant Grating

    Y. Kanamori, T. Ozaki, K. Hane

    第23回日本MRS年次大会　2013/12/09

  210. Ultra-Thin Film Transfer Method and the Application to Structural Color Filters

    Y. Iwase, Y. Kanamori, K. Hane

    第23回日本MRS年次大会　2013/12/09

  211. Progress on MEMS X-ray Optics for Space Applications

    Yuichiro Ezoe, Ikuyuki Mitsuishi, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Masahiro Ikuta, Mayu Sato, Takaya Ohashi, Kazuhisa Mitsuda, Makoto Mita, Susumu Sugiyama, Yoshiaki Kanamori, Hitomi Yamaguchi, Kazuo Nakajima, Kohei Morishita, Yuichi Kurashima, Tsuyoshi Ikehara, Hiroshi Hiroshima, Toshihiro Itoh, Ryutaro Maeda

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2013/11/05

  212. Comparison of electromagnetically induced transparency between silver and gold metamaterials at wavelengths around 800 nm International-presentation

    R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

    26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013)　2013/11/05

  213. A 20nm Free-Spectral Range Optical Filter Based on NEM-Tunable Silicon Photonic Waveguide Micro-Ring Resonator

    Hoang Manh Chu, Takashi Sasaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS2013)　2013/08/22

  214. TRANSMISSION WIDTH (Q-FACTOR) TUNABLE SILICON-PHOTONIC MICRO-RING RESONATORS International-presentation

    Optical MEMS and Nanophotonics 2013　2013/08/18

  215. 可動シリコン導波路を用いたディスク型光共振器の結合効率制御

    金森義明, 佐藤裕一, 羽根一博

    平成25年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2013/08/08

  216. 近赤外域における擬似電磁誘起透明化メタマテリアルの製作

    穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

    平成25年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2013/08/08

  217. Fabrication of electromagnetically-induced-transparency-like metamaterials in the near-infrared region International-presentation

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    3rd Korea-Japan Metamaterials Forum　2013/06/26

  218. ULTRA-LOW POWER SI-PHOTONIC VARIABLE-GAP COUPLER SWITCH WITH NANO-LATCH MECHANISM International-presentation

    S. Abe, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

    The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013)　2013/06/16

  219. ラッチ機構を備えた可変間隙Si細線導波路カプラースイッチ

    阿部 翔太郎, 金森 義明, 羽根 一博

    第60 回応用物理学会春季学術講演会　2013/03/27

  220. 静電マイクロアクチュエータを用いたシリコン細線光導波路型カプラースイッチの機械特性

    宗正康, 金森義明, 羽根一博

    日本機会学会東北支部第48期総会・講演会　2013/03/15

  221. 光メタマテリアルの金ナノ構造における製作誤差の評価

    穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

    第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会　2013/03/03

  222. MECHANICAL STRENGTHENING OF SILICON TORSION BAR OF MEMS SCANNING MIRROR BY HYDROGEN ANNEAL International-presentation

    R. Hajika, S. Yoshida, W. Makishi, Y. Kanamori, S. Tanaka, M. Esashi

    The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2013)　2013/01/20

  223. インダクタンス制御による光メタマテリアルの動的制御に関する数値解析

    穂苅遼平, 金森義明, 羽根一博

    2012年(平成24年）応用物理学会東北支部第67回学術講演会　2012/12/06

  224. マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの間隙特性

    宗正康, 秋浜祐太, 金森義明, 羽根一博

    2012年(平成24年）応用物理学会東北支部第67回学術講演会　2012/12/06

  225. メタマテリアルのMEMS制御による光導波路用波長選択フィルタの製作

    高橋大洋, 金森義明, 羽根一博

    2012年(平成24年）応用物理学会東北支部第67回学術講演会　2012/12/06

  226. 自己保持機構を用いたSi細線導波路光スイッチの設計と製作

    阿部翔太郎, 秋浜祐太, 金森義明, 羽根一博

    2012年(平成24年）応用物理学会東北支部第67回学術講演会　2012/12/06

  227. HYDROGEN ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FRACTURE TOUGHNESS OF SILICON COIL SPRING FOR MECHANICAL ENERGY STORAGE APPLICATION International-presentation

    T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka

    Power MEMS 2012　2012/12/02

  228. Fabrication of Silicon Microdisk Resonators with Monolithically Integrated Comb-Drive Microactuators International-presentation

    Yuichi SATO, Yoshiaki KANAMORI, Kazuhiro HANE

    25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　2012/10/30

  229. Coupling properties of freestanding silicon nanowire waveguide couplers with a gap-variable mechanism International-presentation

    Y. Akihama, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

    25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　2012/10/30

  230. 水素アニールによる微細加工されたシリコン構造体の表面平滑化とねじり破壊強度へ与える影響の調査

    羽鹿 亮, 吉田慎哉, 牧志 渉, 金森義明, 田中秀治, 江刺正喜

    電気学会センサ・マイクロマシン部門大会 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2012/10/22

  231. A numerical study of hybrid plasmonic-dielectric subwavelength gratings for wavelength-selective filters International-presentation

    Y. Kanamori, Y. Ohta, T. Ozaki, I. Onishi

    IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　2012/09/23

  232. A Study of MEMS Tunable Metamaterial at Optical Frequencies by Numerical Calculations International-presentation

    R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

    IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　2012/09/23

  233. Si 細線導波路を用いた光路切替用MEMS 多段カプラースイッチ

    秋浜祐太, 宗正康, 金森義明, 羽根一博

    2012年(平成24年)秋季 第73 回応用物理学会学術講演会　2012/09/11

  234. 将来衛星に向けた超軽量、高分解能MEMS光学系の基礎開発(5)

    垣内巧也, 江副祐一郎, 森山鉄平, 小川智弘, 大橋隆哉, 三石郁之, 満田和久, 洞出光洋, 杉山進, Raul Riveros, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

    2012年(平成24年)秋季 第73 回応用物理学会学術講演会　2012/09/11

  235. ナノ周期構造光学素子の製作と応用デバイス

    第80回精密加工研究会　2012/08/24

  236. MEMS-based novel X-ray optics for future astronomical missions International-presentation

    Ikuyuki Mitsuishi, Yuichiro Ezoe, Teppei Moriyama, Tomohiro Ogawa, Takuya Kakiuchi, Takaya Ohashi, Makoto Mita, Yoshitomo Maeda, Kazuhisa Mitsuda, Mitsuhiro Horade, Susumu Sugiyama, Raul Riveros, Hitomi Yamaguchi, Yoshiaki Kanamori, Kohei Morishita, Kazuo Nakajima, Ryutaro Maeda

    17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2012)　2012/08/06

  237. An improved gap-variable silicon nano-wire waveguide coupler switch International-presentation

    Yasushi Munemasa, Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2012)　2012/08/06

  238. INVESTIGATION OF HYDROGEN-ANNEALING EFFECT ON TORSIONAL STRENGTH OF SI BEAM OF SCANNING MICROMIRROR DEVICE International-presentation

    Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Wataru Makishi, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi

    The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2012)　2012/07/08

  239. Microelectromechanical metamaterials for optical communications system International-presentation

    The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　2012/06/28

  240. Numerical study on optical characteristics of tunable metamaterials at optical frequencies with variable capacitance International-presentation

    Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　2012/06/28

  241. 水素アニールによるラフネス低減における雰囲気依存性

    阿部洋輔, 金森義明, 羽根一博

    平成24年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2012/06/11

  242. マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価

    宗正康, 秋浜祐太, 金森義明, 羽根一博

    平成24年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2012/06/11

  243. Nanofabricated photonic structure and NEMS International-presentation

    10th NAMIS WORKSHOP　2012/05/28

  244. 光ファイバ先端のサブ波長反射防止構造

    金森義明, 大河内 昌章, 羽根 一博

    2012年(平成24年)春季 第59回応用物理学関係連合講演会　2012/03/15

  245. マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコン導波路カプラースイッチの改良

    秋浜 祐太, 宗正 康, 金森 義明, 羽根一博

    2012年(平成24年)春季 第59回応用物理学関係連合講演会　2012/03/15

  246. 将来衛星に向けた超軽量、高分解能MEMS光学系の基礎開発(4)

    垣内巧也, 江副祐一郎, 森山鉄平, 小川智弘, 大橋隆哉, 三石郁之, 満田和久, 洞出光洋, 杉山進, Raul Riveros, 山口ひとみ, 金森義明, 森下浩平, 中嶋一雄, 前田龍太郎

    2012年(平成24年)春季 第59回応用物理学関係連合講演会　2012/03/15

  247. 水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響

    羽鹿 亮, 吉田 慎哉, 牧志 渉, 金森 義明, 江刺 正喜

    2012年(平成24年)春季 第59回応用物理学関係連合講演会　2012/03/15

  248. Nanophotonics and Optical MEMS for high efficiency and ultrasmall optical filters International-presentation

    Second Symposium Japanese-French Frontiers of Engineering (JFFoE)　2012/02/25

  249. ナノ光機械によるエバネッセント波を介した光結合の動的制御と光通信への応用

    日本光学会（応用物理学会）光波シンセシス研究グループ第19 回研究会　2011/12/02

  250. 光ファイバ先端のサブ波長構造

    金森義明, 羽根一博

    第4回東北大学光科学技術フォーラム　2011/11/16

  251. Nanomechanical Tunable Nanophotonics Devices for Optical Communication Systems International-presentation

    BIT's 1st Annual World Congress of Nano-S&T-2011　2011/10/23

  252. XeF2 ガスエッチングによるSi 基板上自立GaN 光導波路の製作

    関谷拓治, 羽根一博, 金森義明

    第72 回応用物理学会学術講演会　2011/08/29

  253. 高温真空アニールによるSi 深掘りエッチング面の平滑化と雰囲気ガスの影響

    佐藤裕一, 金森義明, 羽根一博

    第72 回応用物理学会学術講演会　2011/08/29

  254. Antireflective Subwavelength Gratings on the End Faces of Optical Fibers Fabricated by UV Nanoimprint Lithography International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

    16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2011)　2011/08/08

  255. Silicon Subwavelength Gratings for Reflective Color Filters with Wide Viewing Angle International-presentation

    Toshikazu Ozaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

    16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2011)　2011/08/08

  256. Measurement of the Taper Angle and X-ray Reflectivity of MEMS-based Silicon Mirrors International-presentation

    Tomohiro Ogawa, Yuichiro Ezoe, Ikuyuki Mitsuishi, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori, Hitomi Yamaguchi, Raul Riveros

    16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2011)　2011/08/08

  257. Smoothing Sidewalls of A MEMS-based Silicon X-ray Optics International-presentation

    Teppei Moriyama, Yuichiro Ezoe, Tomohiro Ogawa, Takaya Ohashi, Ikuyuki Mitsuishi, Makoto Mita, Kazuhisa Mitsuda, Yoshiaki Kanamori, Akio Maeda

    16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2011)　2011/08/08

  258. 水素アニールによるSiエッチング加工面のラフネス低減

    佐藤裕一, 金森義明, 羽根一博

    平成23年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2011/06/30

  259. サブ波長構造による構造色利用反射型3原色カラーフィルタの製作

    尾崎俊和, 金森義明, 羽根一博

    平成23年度電気学会E部門（センサ・マイクロマシン部門）総合研究会　2011/06/30

  260. Applications of subwavelength grating filters to optical information systems International-presentation

    The 4th International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging　2011/05/24

  261. Fabrication of variable-reflection photonic crystal MEMS filters using subwavelength-grating-embedded substrates International-presentation

    Y. Kanamori, S. Haida, K. Hane

    2009 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)　2009/11/16

  262. 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化微粒子を用いた製作

    金森 義明, 灰田 周平, 羽根 一博

    The 26th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems　2009/10/15

    More details Close

    優秀賞 受賞

  263. サブ波長反射防止構造が埋め込まれた反射率可変導波共鳴MEMSフィルタ

    金森 義明, 灰田 周平, 羽根 一博

    2009年(平成21年)秋季 第70回応用物理学会学術講演会　2009/09/08

  264. ナノインプリントリソグラフィによる光導波路端面へのサブ波長格子の製作

    金森 義明, 菱沼 知佳, 羽根 一博

    2009年(平成21年)春季 第56回応用物理学関係連合講演会　2009/03/30

  265. Fabrication of variable drop filters with resonant cavities in photonic crystals using thin comb-drive actuators International-presentation

    Y. Kanamori, K. Takahashi, K. Hane

    2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　2008/10/27

  266. Fabrication of structural color filters with polymer-based guided-mode resonant gratings by nanoimprint lithography International-presentation

    Y. Kanamori, H. Katsube, T. Furuta, S. Hasegawa, K. Hane

    2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　2008/10/27

  267. Fabrication of Subwavelength Gratings on Silicon Micro Lenses for MEMS Scanners at Optical Communication Wavelengths

    Y. Kanamori, M. Miura, K. Hane

    第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2008/10/22

  268. マイクロマシニング技術によるナノ光機械・微細構造

    羽根一博

    第1回次世代ナノシンポジウム　2008/08/22

  269. 基板側面へのインプリントリソグラフィと回折格子の製作

    金森義明, 菱沼知佳, 羽根一博

    2008年(平成20年)春季 第55回応用物理学関係連合講演会　2008/03/27

  270. Fabrication of pitch-variable MEMS gratings using thermal and electrostatic actuators International-presentation

    Y. Kanamori, T. Kobayashi, K. Hane

    2007 International Microprocesses and Nanotechnology Conference　2007/11/05

  271. サブ波長格子と光MEMSデバイスへの応用

    国際高等融合領域研究所セミナー（第1回）　2007/10/01

  272. 周期可変サブ波長格子による導波共鳴の制御

    金森義明, 松山直樹, Jia-Sheng Ye, 羽根一博

    2007年(平成19年)秋季 第68回応用物理学会学術講演会　2007/09/04

  273. Self-Supported Pitch-Variable Guided-Mode Resonant Grating Filters at Telecom Wavelengths International-presentation

    Y. Kanamori, N. Matsuyama, J.-S. Ye, K. Hane

    International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (Optical MEMS 2007)　2007/08/12

  274. 可動フォトニック結晶スラブを用いた導波共鳴フィルタの製作

    金森義明, 木谷隆士, 羽根一博

    2007年(平成19年)春季 第54回応用物理学関係連合講演会　2007/03/27

  275. サブ波長格子による反射防止構造の作製とデバイスへの応用

    金森義明

    フロンティアフォーラム　2006/11/21

    More details Close

    理化学研究所テラヘルツ光研究プログラム主催，レーザー学会東北・北海道支部，みやぎ産業科学振興基金共催

  276. 静電アクチュエータを用いた可動スラブ導波路によるフォトニック結晶光スイッチの製作

    金森義明, 梅森謙一, 羽根一博

    2006年(平成18年）秋季 第67回応用物理学会学術講演会　2006/08/29

  277. Movable Guided-Mode Resonant Grating Filters by Four Bimorph Actuators for Wavelength Selective Dynamic Reflection Control International-presentation

    Y. Kanamori, T. Kitani, K. Hane

    2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　2006/08/21

  278. Wavelength selective variable reflection filter driven by micro-thermal actuators International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

    2006 Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006)　2006/06/21

  279. サブ波長格子を用いた人間の目の分光感度に近い特性を持つ透過型カラーフィルタの製作

    金森義明, 下野真也, 羽根一博

    2006年(平成18年)春季 第53回応用物理学関係連合講演会　2006/03/22

  280. ナノインプリントによるディスプレイ用カラーフィルタの製作

    金森義明, 下野真也, 羽根一博

    2005年(平成17年）秋季 第66回応用物理学会学術講演会　2005/09/07

  281. Resonance in a self-supported vacuum grating for tunable optical filters: theoretical approach International-presentation

    Y.Kanamori, T.Kobayashi, K.Hane

    International Quantum Electronics Conference 2005 and the Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics 2005 (IQEC and CLEO-PR 2005)　2005/07/11

  282. MEMSアクチュエータを用いた周期可変サブ波長格子の製作

    金森義明, 小林孝史, 羽根一博

    2005年(平成17年)春季 第52回応用物理学関係連合講演会　2005/03/29

  283. ギャップ制御型ガイドモード共鳴格子による反射率可変フィルタ

    金森義明, 木谷隆士, 羽根一博

    2005年(平成17年)春季 第52回応用物理学関係連合講演会　2005/03/29

  284. Studies of integrated variable optical devices fabricated by micro- and nano-machining International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

    The 3rd International Symposium on Nanotechnology: JAPAN NANO 2005　2005/02/21

  285. ギャップ制御型サブ波長構造による反射率可変波長選択フィルタ

    金森義明, 木谷隆士, 羽根一博

    応用物理学会東北支部第59回学術講演会　2004/12/09

  286. Fabrication of soft nanoimprint stamps and polymer subwavelength gratings by spin coating techniques International-presentation

    Y. Kanamori, E. Roy, Y. Chen

    SPIE - Photonics ASIA 2004　2004/11/08

  287. Antireflection Subwavelength Gratings Fabricated on Polymethyl Methacrylate Sheets by Nano-replication Techniques using Spin-coating International-presentation

    Y. Kanamori, E. Roy, Y. Chen

    Micro and Nano Engineering 2004　2004/09/19

  288. Driving of optical fiber by surface-micromachined cam-micromotor for the applications to variable optical attenuator International-presentation

    Y. Kanamori, Y. Aoki, M. Sasaki, H. Hosoya, A. Wada, K. Hane

    2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS　2003/08/18

  289. カム型マイクロアクチュエータによる光ファイバの駆動と光スイッチへの応用

    金森義明, 青木優宇, 佐々木実, 細谷英行, 和田朗, 羽根一博

    2003年(平成15年)春季 第50回応用物理学関係連合講演会　2003/03/27

  290. Subwavelength antireflection gratings for photovoltaic cells in visible and near-infrared wavelengths International-presentation

    Y. Kanamori, K. Kobayashi, H. Yugami, K. Hane

    Microprocesses and Nanotechnology 2002　2002/11/06

  291. Fabrication of high accuracy micro-translation-table for near-field optical data storage actuated by inverted-scratch-drive-actuators International-presentation

    Y. Kanamori, H. Yahagi, T. Ono, M. Sasaki, K. Hane

    Microprocesses and Nanotechnology 2002　2002/11/06

    More details Close

    Outstanding Paper 受賞

  292. XeF2ドライエッチングを用いたエアギャップ可変ファブリー・ペロ型波長選択フィルターの製作

    金森義明, 阿部良, 佐々木実, 羽根一博

    Optics Japan 2002　2002/11/02

  293. Subwavelength antireflection structure for optical detector fabricated by fast atom beam etching International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Masahiro Ishimori, Kazuhiro Hane

    SPIE -MEMS/MOEMS Technologies and Applications　2002/10/17

  294. Micro-translation-table for near-field data storage using inverted-scratch-drive-actuators International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Hiroto Yahagi, Minoru Sasaki, Takahito Ono, Kazuhiro Hane

    SPIE -MEMS/MOEMS Technologies and Applications　2002/10/17

  295. 高速原子線エッチングによるGaSbサブ波長格子の製作と反射防止特性

    金森義明, 小林健一, 湯上浩雄, 羽根一博

    2002年(平成14年）秋季 第63回応用物理学会学術講演会　2002/09/24

  296. Fabrication of high aspect ratio subwavelength grating and its application to sensors

    Y. Kanamori, M. Ishimori, K. Hane

    19th Sensor Symposium　2002/05/30

  297. 高密度記録のためのスクラッチドライブアクチュエータを用いたXYθステージの開発

    金森義明, 矢作浩人, 佐々木実, 羽根一博, 小野崇人

    平成14年度電気学会全国大会　2002/03/26

  298. サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性

    金森義明, 石杜昌弘, 佐々木実, 羽根一博

    電気学会研究会ーフィジカルセンサ研究会　2001/11/21

  299. 反射防止超微細周期格子を有するGaAlAsフォトダイオードの反射防止特性と光電変換特性

    金森義明, 石杜昌弘, 佐々木実, 羽根一博

    2001年(平成13年)春季 第48回応用物理学関係連合講演会　2001/03/28

  300. 陽極酸化ポーラスアルミナをマスクとした高速原子線エッチングによるシリコン超微細周期格子の製作と反射防止特性

    金森義明, 佐々木実, 羽根一博

    2000年(平成12年）秋季 第61回応用物理学会学術講演会　2000/09/03

  301. サブ波長構造の周期格子による表面反射防止構造

    金森義明, 羽根一博

    第8回「高効率太陽電池および太陽光発電システム」ワークショップ　2000/07/20

  302. 超微細周期格子のPMMAへの転写と無反射特性

    金森義明, 佐々木実, 羽根一博

    2000年(平成12年）春季 第47回応用物理学関係連合講演会　2000/03/28

  303. 高速原子線による無反射表面のための超微細周期構造の製作と光学特性

    金森義明, 佐々木実, 羽根一博

    Optics Japan '99　1999/11/23

  304. High aspect-ratio two-dimensional silicon subwavelength gratings fabricated by fast atom beam etching International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

    SPIE -Micromachining and Microfabrication Process Technology V　1999/09/20

  305. ガラス表面への超微細周期格子による無反射構造の製作

    金森義明, 佐々木実, 羽根一博

    1999年(平成11年）秋季 第60回応用物理学会学術講演会　1999/09/01

  306. Antireflection structures for visible and infrared wavelengths fabricated on silicon substrates by fast atom beam etching International-presentation

    Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

    SPIE -Optical Engineering for Sensing and Nanotechnology (ICOSN'99)　1999/06/16

  307. 無反射表面のための微細周期(150-200nm)構造

    金森義明, 佐々木実, 羽根一博

    レーザ顕微鏡研究会第23回講演会　1999/05/14

  308. 高速原子線エッチングによるシリコン微細格子の製作と光学的無反射特性

    金森義明, 佐々木実, 羽根一博

    1999年(平成11年）春季 第46回応用物理学関係連合講演会　1999/03/28

  309. 太陽電池を用いた太陽光間接励起型半導体レーザの開発

    金森義明, 湯上浩雄, 内藤均, 嵐治夫

    日本機械学会東北支部第32期総会・講演会　1997/03/08

  310. 太陽電池を用いた太陽光間接励起型半導体レーザの開発

    金森義明, 湯上浩雄, 内藤均, 嵐治夫

    平成8年度日本太陽エネルギー学会 日本風力エネルギー協会 合同研究発表会　1996/10/31

  311. 太陽電池を用いた太陽光間接励起LDレーザの開発

    金森義明, 湯上浩雄, 内藤均, 嵐治夫

    1996年（平成8年）秋季 第57回応用物理学会学術講演会　1996/09/07

  312. ソーラーハウスの熱環境に関する研究

    金森義明, 岡本芳三, 稲垣照美

    関東学生会 第35回学生員卒業研究発表講演会　1996/03/15

Show all Show first 5

Industrial Property Rights 16

  1. 光リング共振器

    羽根一博, 金森義明, 佐々木敬

    Property Type: Patent

  2. 光カプラースイッチ

    羽根一博, 金森義明, 秋浜祐太, 宗正康

    Property Type: Patent

  3. 薄膜太陽電池用基板およびそれを用いた薄膜太陽電池

    齋均, 近藤道雄, 金森義明

    特許第5582488号

    Property Type: Patent

  4. ミラー装置及びミラー装置の製造方法

    羽根一博, 穂苅遼平, 金森義明

    特許第5098059号

    Property Type: Patent

  5. 光デバイス及びその製造方法

    金森義明, 羽根一博

    Property Type: Patent

  6. 波長選択素子及びその製造方法

    金森義明, 羽根一博, 五十嵐善之, 古田知伸

    Property Type: Patent

  7. 光導波路デバイス装置及びその製造方法

    羽根一博, 金森義明

    特許第5309297号

    Property Type: Patent

  8. 光フィルタ装置及びその製造方法

    金森義明, 羽根一博

    Property Type: Patent

  9. 太陽光集光器とこれを用いた太陽電池および太陽集熱器

    山田昇, 金森義明

    特許第4639337号

    Property Type: Patent

  10. レーザ共振器装置及びその製造方法

    羽根一博, 金森義明

    Property Type: Patent

  11. カラーフィルタ装置及びその製造方法

    金森義明, 羽根一博

    特許第5023324号

    Property Type: Patent

  12. サブ波長周期格子を用いたレーザ装置

    羽根一博, 金森義明

    特許第4682325号

    Property Type: Patent

  13. 反射防止部を有する部材、その成形型及び該成形型の製造方法

    寺本諭, 後藤篤志, 生水利明, 羽根一博, 金森義明

    Property Type: Patent

  14. 光フィルタ

    金森義明, 羽根一博

    Property Type: Patent

  15. アクチュエータ及び光スイッチ

    石井 裕, 細谷 英行, 和田 朗, 佐々木 実, 金森 義明, 羽根 一博

    特許第4307870号

    Property Type: Patent

  16. 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法

    羽根一博, 金森義明

    特許第3723843号

    Property Type: Patent

Show all Show first 5

Research Projects 40

  1. Study of anttena-waveguide coupling by 3D mannipulation of a local electric filed

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    Institution: Tohoku University

    2025/04/01 - 2028/03/31

  2. 時間変調メタマテリアル非線形フォトニクスの基盤構築

    金森 義明

    Offer Organization: 科学技術振興機構

    System: 戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 CREST

    Institution: 東北大学

    2021 - 2026

    More details Close

    微小電気機械システム(MEMS)と超高周波磁性体によるナノ・マイクロ構造を統合し、実効的な誘電率と透磁率を真の意味で高速変調する時間変調メタマテリアルを創成する。非線形光学を利用した人工ラマンシフトの実現を通じて、チューナブル・ポータブル・室温動作可能なTHz新光源デバイスを開発する。これによりBeyond 5G / 6G情報通信に向けた、時間変調メタマテリアル非線形フォトニクスの基盤を構築する。

  3. 3次元バルクメタマテリアルが拓く極限屈折率材料と革新的テラヘルツ光学素子の創成

    金森 義明, 松原 正和, 岡谷 泰佑

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 基盤研究(A)

    Institution: 東北大学

    2021/04/05 - 2024/03/31

    More details Close

    テラヘルツ領域では光学素子に利用可能な材料が乏しく、加工容易かつ幅広い屈折率特性を有する新規材料が求められている。本研究では、自由な形状に形成可能かつ任意の屈折率特性を有するテラヘルツ光学素子の実現を目指し、光共振器を内包した粉末状の新たな光学材料の加工・形成手法を確立する。樹脂製粉末の中に波長（数十～数百μm）よりも小さな金属製光共振器を埋め込むと、粉末全体としての実効的な屈折率は樹脂と光共振器の特性の掛け合わせとなる。特に、光共振器の設計次第では超高屈折率や負の屈折率等の極限屈折率材料を実現できる。誘電率・透磁率特性の異なる粉末状光学材料を液状樹脂に攪拌し、型を用いて凝固させることで、任意形状かつ光共振器の設計に応じた屈折率特性を持つ光学物質（3次元バルクメタマテリアル）が形成される。 本年度は、はじめに電磁場解析シミュレーションを用い、樹脂粉末状に光共振器が埋め込まれた構造に関して光学応答の予測を試みた。光共振器としてはAuで形成された分割リング共振器（SRR）を採用した。3次元バルクメタマテリアル内ではSRRを含んだ樹脂粉末がランダムに配向されることを鑑み、SRRの各方向における散乱パラメータの平均値を計算し、共振波長近傍で実効屈折率の変動が得られることを確認した。続いて、光共振器を含んだ樹脂粉末、及びそれらを凝固させた3次元バルクメタマテリアルの作製に取り組んだ。試作結果として最小で一辺100μmの立方体型の樹脂粉末内にSRRを形成することに成功した。また、それらを凝固した3次元バルクメタマテリアルを作製し、顕微鏡観察から樹脂バルク内にSRRがランダム配向していることを確認した。テラヘルツ時間領域分光法を用いた分光計測により得た実効屈折率はシミュレーションによる予測と概ね一致し、光共振器を埋め込むことで樹脂単体とは異なる特性を発現できることを実証した。

  4. Mechanistic analysis of bone formation via photobiologic reaction triggered by UVA irradiation

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    Institution: Tohoku University

    2021/04/01 - 2024/03/31

  5. 自由空間型ユニタリ変換光回路のオンチップ集積化

    松田 信幸, 金森 義明, 山田 博仁

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 基盤研究(B)

    Institution: 東北大学

    2020/04/01 - 2023/03/31

    More details Close

    昨年度，薄さ数μmのシリコン薄膜によるビームスプリッタを周期的に並べた自由空間型光干渉回路を設計するとともに，シリコン深掘りエッチングにより，その試作に成功した．光ファイバアレイを用いて回路の複数の入力ポートにレーザー光を入力し，出力ビームパターンから回路の干渉動作を確認した． 本年度は，引き続き光回路の動作検証を進めた．原子間力顕微鏡を用い，Si薄膜の表面（側面）状態，特に表面荒れを評価した．その結果，試料の表面粗さは当初設定した目標値を下回る水準にあることが分かった． 次いで，膜厚のばらつきを様々な膜厚の試料について走査型電子顕微鏡を用いて調査した結果，膜厚の製造誤差は極めて小さいことが判明した．そのため本研究で目指すランダムなユニタリ変換回路の実現にあたり，製造ばらつきによるビームスプリッタのばらつきを利用するのではなく，高い制御性とともに各ビームスプリッタの反射率・透過率を設定できることが分かった．また，設計段階で独自提案した，干渉特性を向上させるための薄膜位置オフセット法の有効性を実験的に確認した． 次いで素子を光回路として動作させるため，入力側と出力側の両方に光ファイバアレイを設置し，光の入出力特性を調べた．結果，出力側ファイバアレイに結合する光強度を，全てのポートについて同時に最大化できないことが分かった．この原因について詳細に調べたところ，Si薄膜側面に存在する角度1度以下の微小な傾斜が，各Si薄膜での干渉特性やビーム出力方向を変化させていることがわかった．この傾斜の改善は今後の課題である．なお，この調査過程で，深掘エッチングで実現することが困難な不規則な薄膜パターンを作製することのできるポストプロセス法を新たに見出した．

  6. Thermal environment-responsive smart metamaterials

    Kanamori Yoshiaki

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

    Institution: Tohoku University

    2019/06/28 - 2022/03/31

    More details Close

    In this research, we proposed a thermal environment-responsive smart metamaterial that can be adjusted to various optical characteristics and conducted empirical research on thermal spectrum control. The metamaterial is composed of laminated structure with “gas (air)” as a dielectric variable nanogap and passively deforms its structure in response to environmental changes and uses the energy of the environment appropriately. A metamaterial combining a cross-structured metal pattern and a bimetal movable structure was prepared, and the optical characteristics were evaluated. It was confirmed that the transmittance changes reversibly in the near-infrared light region while maintaining transparency in the visible light region with respect to changes in the ambient temperature.

  7. Ultra-precision nanosensing using an optical fiber with a meta surface formed at the tip

    Kanamori Yoshiaki

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    Institution: Tohoku University

    2016/04/01 - 2021/03/31

    More details Close

    In this research, we aim to realize an innovative ultra-precision nanosensor that enables in situ ultra-sensitive measurement of local regions by manufacturing a flat metamaterial (meta surface) at the tip of an optical fiber at low cost and with high accuracy using nanoimprint technology. As a result, we succeeded in constructing an optical nanoimprint apparatus dedicated to the tip of an optical fiber and establishing a manufacturing technology for quartz molds. In addition, we searched for metamaterial production conditions on the end face of the optical fiber by optical nanoimprint, and succeeded in manufacturing a refractive index sensor and a wire grid polarizer on the end face of the optical fiber. Furthermore, we manufactured a refractive index sensor using a polarization-independent metamaterial on a quartz substrate, and succeeded in label-free detection of DNA.

  8. Verification of quantum levitation by MEMS metamaterials

    TOMITA Satoshi

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

    2017/06/30 - 2019/03/31

    More details Close

    For realizing quantum levitation, we conducted a feasibility study of metamaterial-integrated micro-electro mechanical systems (MEMS) cantilevers. Designs of the cantilevers were discussed based on preliminary experiments and numerical simulation for metallic structures and magnetic films. We decided fabrication of single-beam cantilevers integrated with double-fishnet-type metamaterials having a negative refractive index. We prepared samples using micro-fabrication processes utilized in MEMS. While fabrication of the single-beam cantilevers integrated with silver double-fishnet-type metamaterials has not yet achieved, we have succeeded in preparing a cantilever integrated with aluminum fishnet-type metamaterials.

  9. Control of nano-spatial localized photon modes with transfer function of structural deformation of quantum interference metamaterial

    Yoshiaki Kanamori, HANE kazuhiro, SASAKI takashi

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    Institution: Tohoku University

    2016/04/01 - 2019/03/31

    More details Close

    We fabricated movable metamaterials that exhibited optical response to minute displacements of air gaps. We successfully demonstrated their optical changes similar to the calculated results. A physical quantity transducer whose transfer function was the structural deformation of a mechanically deformed metamaterial was constructed. Then, movable metamaterial devices as optical force sensors were fabricated and evaluated its characteristics. We could design the device from the viewpoint of designing the transfer function, and find out its optical response characteristics from both theory and experiment.

  10. High-efficiency solar-thermophotovoltaic power generation systems using thermal diode based on controlling of thermal radiation spectrum

    Hiroo Yugami, Iguchi Fumitada

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    Institution: Tohoku University

    2016/04/01 - 2019/03/31

    More details Close

    Solar-thermophotovoltaic (TPV) are expected as an advanced solar energy conversion systems because they potentially have conversion efficiency as high as that with multi-junction cells even with single junction cells and also have high affinity to thermal storage systems. We developed thermal diode technology based on controlling of thermal radiation spectrum which is important to lead the incident solar power toward TPV cell with high-efficiency. Based on this technology, the solar-TPV system could achieve the world highest record conversion efficiency of 5.6% using GaSb TPV cells. We also revealed the conversion efficiency could be more than 20% with our system.

  11. High-efficiency rectenna solar cell based on quasi monochromatic conversion of sunlight

    Yugami Hiroo, Iguchi Fumitada

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    Institution: Tohoku University

    2015/04/01 - 2018/03/31

    More details Close

    Optical rectenna is a new photo-voltaic conversion system that expected to break through the limit efficiency of existing system. The most important technology to realize this device is ultra-high speed diodes to rectify optical light frequency (>100THz) and controlling broad solar spectrum into narrow band emission. In this study, we developed a technique to control broad thermal radiation spectrum into quasi-monochromatic thermal emission. For the diode, we suppose to apply geometrical e-field enhancement in order to improve response frequency and quantum efficiency of Metal-Insulator-Metal (MIM) tunnel diode that is one of the most hopeful rectifier for optical rectenna.

  12. Study of optical circuit platform for GaN/Si hybrid-photonics

    Hane Kazuhiro

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    Institution: Tohoku University

    2012/04/01 - 2016/03/31

    More details Close

    The purpose of this study was to develop the optical circuit platform by combining Si and GaN photonics on the basis of micromachining. To realize the functional optical circuits combining GaN active waveguide and Si passive waveguide, the fundamental technologies were developed. In the concrete, bonding a silicon-on-insulator wafer and a Si wafer on which GaN crystal was grown, the optical circuit coupling a GaN microring waveguide and a Si straight waveguide was fabricated, and the optical modulations using an electro-optic effect and other effect were demonstrated. One of the bases for opt-electronic hybrid integration was established.

  13. ナノバイオミメティックＲＧＢ構造色材料の高機能化と集積化

    金森 義明

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 新学術領域研究(研究領域提案型)

    Institution: 東北大学

    2013/04/01 - 2015/03/31

    More details Close

    本研究は、生物の表面微細構造に由来する構造色を模倣し、構造由来による光応答周波数を制御して三原色（RGB)構造色材料の高機能化と集積化の実現を目的とする。本年度は（１）導波モード共鳴効果に基づく構造色利用カラーフィルタの広視野角化および（２）構造色材料と光電変換デバイスを集積化した波長選択ディテクタの基礎検討を行った。以下、それぞれの概要を述べる。 （１）導波モード共鳴効果に基づく構造色利用カラーフィルタの広視野角化： 構造色利用カラーフィルタを製作する基板として、石英基板の上に100nm厚の単結晶シリコンが堆積されたSilicon on Quartz基板を用いた。正方配列およびヘキサゴナル配列から成る、垂直入射光に対して偏光無依存の二次元周期サブ波長構造をそれぞれ考え、Rigorous Coupled-Wave Analysis法による数値計算手法を用いて設計を行った。赤、緑、青フィルタの周期をそれぞれ400、340、300nmと選定した。製作は、電子線描画と高速原子線加工を用いた。製作した赤、緑、青の各フィルタからの反射色の色相が入射角θ=0～50°の範囲においてそれぞれの色相に収まっており、広い視野角が実現された。今回測定した範囲内で、最大反射率81%が赤フィルタ（θ=0°、波長620.84nm）で実験的に得られた。また、θ=50°の斜め入射光に対する全てのカラーフィルタの最大反射率は50%を越えており、高い反射率を維持していると言える。 （２）構造色材料と光電変換デバイスを集積化した波長選択ディテクタの基礎検討： アモルファスシリコンを用いた薄型の構造色材料を設計し、石英基板上に製作した。またシリコンpn接合を用いたフォトダイオードを試作し、電流-電圧特性を評価した。

  14. ＭＥＭＳ駆動型電磁誘起透明化メタマテリアルによる動的光制御

    金森 義明

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 新学術領域研究(研究領域提案型)

    Institution: 東北大学

    2013/04/01 - 2015/03/31

    More details Close

    本研究ではMEMS（微小電気機械システム）駆動可変構造による電磁誘起透明化（Electromagnetically induced transparency-like：EIT)メタマテリアルの動的光制御の実現を目的とする。また、MEMS駆動可変構造に適し、かつ高効率なメタマテリアル構造を探求するために、MEMS駆動の前段階として基板上に静的なメタマテリアルを製作し、理論および実験の両面から光学特性を調べることを目的とする。なお、対象波長は光領域およびテラヘルツ領域とする。本年度は、以下のデバイスを試作評価した。（１）光領域で動作するMEMS駆動EITメタマテリアルの試作を行った。波長800nm帯を設計波長とし自立構造上にメタマテリアルを製作することに成功した。透過スペクトル測定から共鳴によるディップを波長800nm付近で確認することができた。また、MEMSアクチュエータのみの動作に成功し36Vの駆動電圧で97nmの変位特性を得ることができた。（２）テラヘルツ領域で動作するMEMS駆動EITメタマテリアルの試作を行った。シリコンの自立構造上にEITメタマテリアルを製作し、MEMS駆動によるEITメタマテリアルの可動に成功した。（３）光メタマテリアルの屈折率、位相変調量を評価するための顕微干渉計を開発し、光領域で動作する静的なEITメタマテリアルの位相制御特性評価を行った。（４）テラヘルツ領域で動作する静的なEITメタマテリアルを再試作し、明瞭なEIT応答の観察に成功した。（５）非対称性を導入したFano共鳴型Asymmetric double bars（ADB）メタマテリアルの提案と実証を行い、波長1300nm近辺でFano共鳴の観察に成功した。また、ADBメタマテリアルのユニットセルの配列を変化させることによるFano共鳴のQ値向上に成功した。

  15. Development of new solid state ionic conductors and promotion of chemical reactions related to SOFC operation by nanoscale strain control

    YUGAMI Hiroo, IGUCHI Fumitada, SATO Kazuhisa, AMEZAWA Koji, NAKAMURA Takashi, KANAMORI Yoshiaki

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    Institution: Tohoku University

    2011/04/01 - 2014/03/31

    More details Close

    We adopt the phenomena that electrical properties of solid state ionic conductors are improved by introduced nanoscale strain to improve the performance of micro SOFC, which designed for the power source of portable electric devices and reduce operating temperature to desirable level. The influence of tensile and compressive nanoscale strain to the electrical performance of SOFCs is evaluated, and SOFCs under tensile strain show lower electrolyte resistance. The results indicate that micro SOFCs, in which tensile nanoscale strain introduced, show high electrical performance and can be operated at lower temperature than now. We also design and fabricate micro SOFC which has the structure for the introducing of nanoscale strain.

  16. ＭＥＭＳ駆動可変構造による光メタマテリアルの高機能化

    金森 義明

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 新学術領域研究(研究領域提案型)

    Institution: 東北大学

    2011/04/01 - 2013/03/31

    More details Close

    光を自在に操作するために、光メタマテリアルの動的制御は不可欠である。MEMS（微小電気機械システム）駆動方式により光メタマテリアルを動的制御することができれば、広帯域かつダイナミックな強度変調が可能となる。本研究は、MEMS駆動可変構造により光メタマテリアルの高機能化を図ることを目的とする。研究項目は、①MEMS駆動に適した光メタマテリアル構造を設計・試作し、②駆動特性や光学特性を調べ、③MEMS駆動特有の問題点やキーポイントを明らかにすると共に、④実験と理論の両面から本方式による光制御の適用範囲を明らかにする。本年度は、前年度の1次試作で明らかになった問題を改善するためにプロセスを変更し、デバイスの2次試作および評価を行った。 プロセスの改善に合わせて再度数値計算を行った。Si細線導波路の側面から100nmの位置に幅150nm、厚さ260nmの長方形の金属ロッドが周期300nmで10個配列しているとき、導波路の減衰スペクトルを計算し、間隔を変化させることで波長選択性可変光減衰器として機能するデバイスになることを確認した。製作は、電子線(EB)描画でパターニング、高速原子線によりエッチングし、EB蒸着装置により金属蒸着後、リフトオフを行う。ダイシングにより導波路の端面を出し、気相フッ化水素酸エッチングにより犠牲層をエッチングすることで導波路およびアクチュエータが自立する。 電子顕微鏡での解析から自立構造を確認し、本研究で製作技術を確立できた。また、MEMSアクチュエータによるメタマテリアルの動的制御に成功した。一方、メタマテリアル構造の製作誤差に対する許容度が厳しく、測定スペクトルに個体差が生じた。製作精度の改善はEB描画時の加速電圧を130kVに変更することで数段よくなることを確認したので、今後、試作を続けて再現性の良いスペクトルを取得していく。

  17. Fundamental study on ultralow loss optical NEMS technology for realization of silicon nano-photonic circuits

    KANAMORI Yoshiaki, HANE Kazuhiro, FU Huanren

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    Institution: Tohoku University

    2009 - 2011

    More details Close

    Hydrogen annealing characteristics depending on the condition was quantitatively evaluated. By applying spatial frequency analysis, after the hydrogen annealing, it was found that the roughen surfaces with the short-period was smoothed well compared to that with the long-period. Electrostatic comb actuators and Si waveguides, which were fabricated from silicon on insulator (SOI)substrates, were annealed in the hydrogen gas environment. By decreasing the annealing temperature to about 900 deg. C, the surface roughness was eliminated, while the large scale structural shapes were maintained. Micro-resonators consisting of ring-resonators and electrostatic comb actuators were fabricated. Then, the surface roughness was eliminated successfully.

  18. Study of optical micro systems by monolithic integration of silicon with nitride semiconductor

    HANE Kazuhiro, HU Fangren, KANAMORI Yoshiaki, SASAKI Minoru

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

    Institution: Tohoku University

    2007 - 2011

    More details Close

    Integrating GaN light source devices with Si three-dimensional structures and micro actuators monolithically, functional micro-electro-mechanical systems (MEMS)for optical applications were developed. Crystal growth of GaN-LED on Si substrate, GaN crystal growth on micro-machined GaN/Si substrate, integration of GaN-LED with Si actuator, and fabrication of GaN actuator were carried out. Integrating GaN-LED with Si-MEMS, a variable lightning device, a micro fluorescent analysis chip etc. were demonstrated.

  19. ガイドモード共鳴格子を用いたエアギャップ可変光フィルタ Competitive

    System: Industrial Science and Technology Frontier Program

    2002/09 - 2009/03

  20. High functional telecommunication devices using MEMS technology

    HANE Kazuhiro, SASAKI Minoru, KANAMORI,

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

    Institution: Tohoku University

    2005 - 2008

  21. 光造形とドライエッチングを用いたマイクロ光学素子の製作 Competitive

    System: Grant-in-Aid for Scientific Research

    2005/04 - 2007/03

  22. MEMSアクチュエータを用いた周期可変サブ波長格子の製作 Competitive

    System: Grant-in-Aid for Scientific Research

    2002/04 - 2007/03

  23. 光導波路端面に製作したナノ周期構造による高効率結合素子および光フィルタ

    金森 義明

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 若手研究(B)

    Institution: 東北大学

    2006 - 2007

    More details Close

    光通信システムにおいて、光集積回路(光IC)チップと光ファイバの結合損失が問題となる。サブ波長格子は入射波長よりも小さいナノ周期構造であり、高効率な入出力カプラ、位相板、反射防止フィルタ、偏光フィルタ、バイナリーレンズなどが提案されている。本研究では光ICの入出力ポートとなる光導波路端面にサブ波長格子を製作し、光通信システムの光利用効率の向上を目指した素子の開発を目的とする。 本年度は、昨年度に製作した冶具を用いて基板端面へのナノインプリントリソグラフィを行い、光導波路端面にサブ波長格子を製作した。はじめに、安価なガラス基板端面へパターニングの実験を行い、パターニング精度や均一性を評価した。テーパ状サブ波長構造を用いて、400〜900nmの波長域で99%以上の高い透過率を示す構造を設計した。構造の光学特性はRigorous Coupled-Wave Analysisを用いた計算プログラムで行い、ナノインプリントリソグラフィに用いた樹脂の屈折率は屈折率測定装置により測定した値を用いた。計算結果より、モールドは周期400nm、高さ900nmのテーパ形状二次元サブ波長構造として設計された。パターンはサブ波長格子であり光学顕微鏡で評価するのは困難であるので走査電子顕微鏡にて形状評価を行った。次に、光導波路基板端面へのサブ波長格子の形成を行った。実験を進めると同時に冶具の改良を行った。冶具で重要な点は、光導波路基板端面とモールド面との平行度であり、ナノインプリント装置自体のプレス面の平行度は完全でないため、平行度調整機構と圧力測定フィルムにより高精度な平行出しを行った。光導波路基板端面へ製作したサブ波長格子を介して光導波路へ光を結合させ、光透過特性の評価を行い、光利用効率の高い素子の開発に成功した。最後に、本研究の総括を行った。

  24. 回転角センサー体型MEMS光スキャナ

    佐々木 実, 羽根 一博, 金森 義明

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 特定領域研究

    Institution: 東北大学

    2005 - 2006

    More details Close

    改良した光スキャナを完成した。主たる改良は、静電アクチュエータとして駆動しながら、センサ信号が得られるようにしたこと、センサの高精度化のために電気的絶縁を施した点である。通常、アクチュエータはシリコン酸化膜のエッチングによってリリースするのに対して、センサの保護膜には酸化膜が良いという互いに相反する構造を用意する必要がある。製作プロセスは、この点に配慮した。 一体形成した回転角センサがアクチュエータの動作を妨げることなく動作できることを示した。静電アクチュエータを駆動(90Vで〜1゜)しながら、同時にセンサ信号を得た。ミラー回転角を光学的な手法で測定しつつ、センサ信号と比較した。SNの差はあるものの、ミラー回転角とほぼ同形のセンサ信号が得られた。マイクロミラーに集積化させたセンサによって、ミラーの静電駆動に追従した信号を示したのは、世界初である。 センサに流すバイアス電流がトーションバーを加熱し、ミラーの動作に悪影響を及ぼすのではないかと指摘されてきた。センサに加えるバイアス電流を、光スキャナの共振周波数(〜14kHz)よりも高い周波数で変調すると、ミラーの変動が抑えられることも分かった。 センサ信号を詳しく調べると、0-1゜のミラー回転4往復分のセンサ信号はほぼ重なりヒステリシスが少ないことが伺えた。現在はSNが十分でないため、近似曲線を利用して、ヒステリシスを評価した。結果、全ての往復で2%以内に収まっていることが分かった。電圧をオープンループで印加した駆動方法においてはヒステリシスが4%あった。少なくとも、センサ信号を利用してミラーを動作させた方がヒステリシスは少なくできると言える。 今後は、更に信号の質を向上させる。電流変調を行う電気回路が十分高周波にできないことも、問題になっている。デバイスそのものと同じく改良の余地がある。

  25. 立体的微細加工技術による曲面ナノモールディング

    羽根 一博, 金森 義明

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 萌芽研究

    Institution: 東北大学

    2004 - 2006

    More details Close

    半導体微細加工技術によりシリコン及びガラス曲面に製作したナノ構造をモールディングにより転写し,曲面ナノ構造を製作する技術を確立することを目的としている.本目的を実現するために,まず,電子線描画装置により平面シリコン上へ超微細構造(サブ波長2次元格子)を描画し,原子線エッチングによりモールドを製作した.まずシリコン基板上の電子線レジストへ周期200nmから500nm程度の2次元格子パターンを製作した.次に原子線エッチング装置を用いて,シリコン基板へ転写した.エッチング条件を調節することで,テーパ断面形状を実現した.非球面補正を行ったフレネルレンズも製作した.この場合,最小周期はおよそ700nm程度であった.シリコン基板上にレジストリフローによりレンズ形状を形成し,エッチングによりシリコン基板にレンズ形状を転写した.電子線描画の深い焦点深度を利用して,シリコンレンズ曲面にサブ波長格子を製作した.レンズ曲面の中心付近および周辺部においてサブ波長格子を精度よく製作できた.モールド加工については,ポリマーをほっとエンボス法によりシリコンモールドに流し込み,100nmレベルの周期構造を転写した.また平面シリコン基板に,最初にサブ波長格子を形成し,後に厚膜レジストのリフロー法によりレンズ形成し,深堀エッチングによりシリコンに無反射ナノ格子を備えたレンズを形成する方法についても実験を試みた.

  26. Tunable photonic devices fabricated by micro-nano machining for optical communication

    HANE Kazuhiro, SASAKI Minoru, KANAMORI Yoshiaki

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

    Institution: Tohoku University

    2002 - 2006

    More details Close

    Introducing MEMS into photonic crystal structure, the light wave was controlled. Photonic crystal waveguide switch was fabricated, and the characteristics were measured. In the proposed structure, the photonic crystal slabs were divided into three parts. The waveguides were connected to a micro electrostatic actuator. The proposed structures were investigated theoretically using FDTD method. The optimum conditions of the gap between the fixed and movable waveguides were obtained. Using SOI wafer, two-dimensional photonic crystal waveguides were fabricated. Using electron beam drawing machine, the hole patterns having 400nm period and 300nm diameter were transferred to the top silicon layer of the SOI wafer. Using the fast atom beam and deep reactive ion etching machines, the crystal holes were etched with a high aspect ratio. In order to remove the sacrificial silicon dioxide layer underneath the silicon layer, the hydrogen fluoride vapor etching machine was improved. Parallel plate and comb electrostatic micro-actuators were fabricated. By improving the designs and the micromachining techniques, the photonic crystal structure with MEMS were successfully fabricated. In the case of the switch with the parallel plate actuator. observing the device with an infrared camera, it was confirmed that the fabricated devices operated well. With the application of a voltage, the light scattering from gap of the photonic crystal waveguides was modulated. The light transmitted through the photonic crystal switch was measured as a function of the voltage applied to the micro-actuator. At the voltage of 180V, minimum transmission was obtained, which corresponded to the 'switch-off" condition. Further increasing the voltage, the light leaked directly through the gap between the input and output waveguides. The photonic crystal waevguide switches with the lateral comb actuator were also fabricated, and the optical properties were evaluated.

  27. 表面回折光学系を用いた熱放射スペクトル制御

    湯上 浩雄, 金森 義明, 井口 史匡

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 萌芽研究

    Institution: 東北大学

    2004 - 2005

    More details Close

    本研究では,高温物体の表面に波長と同程度の周期構造(回折格子)を形成することにより、熱放射スペクトルの制御を行い、熱光発電システムや化学反応プロセス等の高効率な熱利用システムを構築することを目的としている。昨年度の研究において、Maxwell方程式の厳密解を求めるシミュレーションコードにより、各システムに最適な微細構造の決定を行うとともに、可視領域の輻射スペクトルを選択的に放射する表面ナノ構造体を高融点金属に作製するためのプロセス研究を行ってきた。この成果にもとずき、本年度は以下の研究を行った。 1.昨年度までに整備したフーリエ赤外分光器を中心とした熱放射スペクトルの絶対値を測定する装置により,単結晶および多結晶タングステン試料表面に製作した表面回折格子からの熱放射を測定し、キャビティ深さと熱放射スペクトルについて系統的に調べた。その結果、キャビティ深さが浅い場合は、表面プラズモンポラリトン共鳴による放射が観測されるが、キャビティ深さの増大とともに、孤立したキャビティ内部の電磁波モードからの放射が支配的となることが分かった。 2.光学定数が複雑な分散関係を示す材料に適応可能なFDTDプログラムコードを開発して,構造との共鳴効果による熱放射スペクトルへの影響を定量的に解析すると共に、実験結果との比較を行った。その結果、開発したFDTDコードにより、熱放射スペクトルが再現でき、実験と定量的な比較が出来る事が分かった。 3.これまでの研究成果の取りまとめを行と共に、今後の研究の方向性や更に研究すべき課題について検討した。

  28. Spectrally selective coherent thermal radiation by near-field optical effects

    YUGAMI Hiroo, SATA Noriko, ONO Takahito, KANAMORI Yoshiaki, MARUYAMA Shigenao

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    Institution: Tohoku University

    2003 - 2005

    More details Close

    In this study, a near-field thermal radiation analyzing system was developed in order to study the spectral properties of near-field thermal radiation. Using the apparatus we succeeded in a measurement of near-field thermal radiation spectra. The knowledge provided through this study is as follows ; 1.The super-high-vacuum type STM/SNOM system operated at high temperature was developed in this study. By changing distance between the probe and sample surface the optical signal was drastically changed at 800K. From this result it was confirmed that the near-field thermal radiation was detected by the STM/SNOM system. 2.The distance dependence of thermal radiation intensity from metal (W) surface was estimated by changing the amplitude of tip-modulation. From this study, it was revealed that the near-field thermal radiation was localized at about 6nm range from the surface. 3.The thermal radiation spectra from three different samples with different cavity depth were explained by the cavity-effect and surface plasmon-polariton mechanism. 4.It was found that the intensity of near-field thermal radiation from the normalized area will be ten to hundred times stronger than that of far-field thermal radiation.

  29. ソフトUVナノインプリントリソグラフィ Competitive

    System: International Collaboration

    2003/10 - 2004/09

  30. 高密度光記録メディア駆動用反転スクラッチドライブアクチュエータの製作 Competitive

    System: Grant-in-Aid for Scientific Research

    2001/04 - 2004/03

  31. マイクロマシニングによるサブ波長構造制御型効率可変回折光学素子の開発

    金森 義明

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 若手研究(B)

    Institution: 東北大学

    2003 - 2004

    More details Close

    格子周期が入射波長よりも短いサブ波長構造(Subwavelength grating:SWG)は構造に依存した複屈折・有効屈折率特性、入射波との強い結合による共鳴効果を示し、波長選択フィルタ、偏光子、反射防止膜への応用が報告されている。本研究ではマイクロマシニング技術を用いてサブ波長構造の周期を可変制御することにより回折効率の制御を実現するデバイスの開発を目的とする。本年度は、静電アクチュエータを用いてバネ状に形成されたSWGを伸縮させる構造の周期可変SWGを試作し、その光学特性を評価した。 製作は次のように行った。まず、Silicon on Insulator(SOI)基板上に電子線描画装置を用いてパターニングを行い、反応性イオンエッチング及び高速原子線エッチングを用いてアクチュエータ及びSWG構造を形成する。最後に可動部下部のシリコン酸化膜層をフッ酸により除去して完成となる。静電アクチュエータは10μm程度の変位量とバネ状に形成されたSWGを引っ張るのに十分な力を発生させるために、コム型アクチュエータとした。製作した周期可変SWGの初期周期は、600nmとした。静電アクチュエータを駆動させることにより(印加電圧:160V)、SWGの周期が715nmへ可変した。デバイスを駆動させつつ、TE偏光入射時の分光反射率特性を計測した。格子周期が600nmから715nmへ変化することにより、波長650nm〜750nmの赤色の波長領域において反射率が減衰した。

  32. 光ファイバ上に展開するマイクロマシニング加工

    佐々木 実, 羽根 一博, 金森 義明

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 萌芽研究

    Institution: 東北大学

    2002 - 2004

    More details Close

    本年度の実施計画通り、光ファイバそのものに施す加工は最小限に抑えて、複雑な構造は組み合わせるシリコンデバイス側に含めて組み合わせる方針で技術開発を進めた。昨年度の軸ずれ補正機能を目指したマイクロレンズも一つの試みである。この考えは、ボールレンズをセルフアライメントで中心に精度良く固定するレンズホルダに発展した。 光ファイバに施す加工は細径化程度に留めて、シリコンウェハから加工する構造には複雑なMEMSデバイスを用意し、両者を相性良く組み合わせるデバイスを開発した。光ファイバを加熱する複雑なマイクロヒータのアレイデバイスをシリコンデバイス側で用意して、光ファイバもしくは従来からのファイバ型デバイスと組み合わせる試みを行った。具体的には、減衰量可変の長周期ファイバグレーティングおよび短周期ファイバグレーティングのチャーピング用デバイスである。MEMSデバイスとしては、SiNやpoly-Si膜からなる薄膜型デバイス、およびSOI(silicon on insulator)ウェハ中の結晶Siをエッチングして形成したSOIデバイスの2種を製作した。 減衰量可変の長周期ファイバグレーティングは、直径12μmの光ファイバに400-500μmの周期構造を温度分布によって転写するデバイスである。マイクロヒータに入力した電力に比例して、長周期ファイバグレーティングによる減衰が増加することを確認した。熱がこもり易い薄膜型デバイスの方が、より効率的な減衰特性を示した。 短周期ファイバグレーティングのチャーピング用デバイスにおいては、光ファイバに短周期グレーティングを書き込んだデバイスとマイクロヒータデバイスを組み合わせた。ヒータ抵抗が系統的に変化するよう形状を変化させた。チャーピングに関しては、SOIデバイスの方が再現性の良い結果を示した。ヒータ材料であるpoly-Siの完全に均一なドーピングが現状では難しいからである。スペクトル形状は、反射ピークの長波長側へのシフトとピーク形状の変化が確認された。

  33. カム型マイクロアクチュエータを用いたファイバ直接駆動光スイッチ Competitive

    System: Cooperative Research

    2001/04 - 2003/03

  34. 量子共鳴効果による周期的表面ナノ構造からの熱放射スペクトル制御

    湯上 浩雄, 齋 均, 金森 義明, 佐多 教子, 圓山 重直

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 萌芽研究

    Institution: 東北大学

    2002 - 2003

    More details Close

    我々は、熱光起電(Thermo-Photo-Voltaic : TPV)発電に関する研究を行っていく過程で、フォトニック結晶と類似の表面ナノ構造により熱放射スペクトルが制御できる可能性が有ることを見出した。本研究では、この量子共鳴効果を用いた熱放射スペックトル制御機能の発現原理の解明と、TPV以外の熱工学応用分野への適応性に関して研究を行う。本研究では,熱放射スペクトルの制御を行うことにより,より高効率な熱利用システムを構築するとともに、作製したナノ構造エミッタの熱・光学特性を評価し、機能性発現原理と応用について考察する。 前年度行った、Maxwell方程式の厳密解を求めるRigorous Coupled-Wave Analysis(RCWA)法に基づいた解析プログラムコードによる、最適な微細構造の決定、微細領域の放射スペクトルを測定するための放射測定装置の設計と製作に引き続き、以下の研究を行った。 ・可視領域の輻射スペクトルを選択的に放射する表面ナノ構造体を高融点金属に作製し、高温耐性を有する構造を実現するために、単結晶タングステン金属を用いて表面微細構造を製作し、1400Kにおいても安定な構造を得ることができた。 ・実際の試料の製作に当たっては製作誤差が不可避であり、それを考慮して改めて設計を行い、周期1.0-1.2μmの試料を作製した。これにより可視〜2.0μmの放射率が増大し、波長特性が改善された。 ・開発したRCW法に基づく数値解析と、微細構造のパラメータを変化させた試料の放射特性の比較から、今回得られた熱放射特性の変化は、主としてマイクロキャビティ効果に起因することが実験的に示された。

  35. 近接場光加工の大面積化に関する研究

    羽根 一博, 金森 義明, 佐々木 実

    Offer Organization: 日本学術振興会

    System: 科学研究費助成事業

    Category: 特定領域研究

    Institution: 東北大学

    2000 - 2003

    More details Close

    本研究の目的は近接場光加工の大面積化技術の研究を行うこと,特に具体的目標として,光メモリへ応用することである.集積型プローブの並列化を実現することが重要である.加えて媒体用マイクロステージ機構(マイクロメディアスキャナ)を開発することが重要である.本年度はマイクロステージとして,スクラッチドライブアクチュエータ(SDA)のアレイを駆動源とするマイクロステージを設計・製作した.表面マイクロマシニングにより製作したSADでは残留応力の影響を受けるので,SOIウエハの上層結晶シリコンを用いたSDAによるマイクロステージを設計,製作した.SOIの基板層をステージとして,搬送動作を実現した.ステージを乗せる基板にSDAが接触する配線を施すことで,ステージへ直接接続する針金が不要となり,ステージの移動における制約を取り除いた.また再現性の高いステージを実現するため,弾性ヒンジ構造とくし型アクチュエータを組み合わせたステージを設計し試作した.ステージの移動距離を拡大できるようにバネとくし型アクチュエータを設計し100μm程度の大変位を実現できた.さらに,集積化システムをリソグラフィにより実現するため,レジスト噴霧法を開発してきたが,段差面への塗布におけるピンホールの発生特性を明らかにし,ピンホールのないレジスト塗布法を開発した.これらの技術は本研究の目的の集積化において極めて重要な技術である.

  36. サブ波長反射防止構造によるLEDの高光取り出し効率化に関する研究 Competitive

    System: Grant-in-Aid for Scientific Research

    1998/04 - 2001/03

  37. サブ波長反射防止構造の基礎研究 Competitive

    System: Grant-in-Aid for Scientific Research

    1998/04 - 2001/03

  38. Fabrication of micro rotary encoder for robot finger and precision machines

    HANE Kazuhiro, KANAMORI Yoshiaki, SASAKI Minoru, ESASHI Masayoshi, IEKI Atsushi

    Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

    System: Grants-in-Aid for Scientific Research

    Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    Institution: Tohoku University

    1999 - 2001

    More details Close

    In this project, in order to fabricate the grating patterns of encoder on metal rod surface by lithography, a resist spray method and a pattern transfer technique were proposed. Uniform resist film was coated even on a rough surface. The pattern on the conventional planer mask was transferred to the cylindrical surface by the newly proposed technique, in which mask translation and rod rotation were precisely controlled. Therefore, the pattern ends were connected precisely. The 40 μm pitch grating pattern was transferred on the stainless rod of 3 mm in diameter. Etching the metal surface, the grating pattern was formed on the metal rod. As to the sensor part of the encoder, index grating, photo-detector, light source were integrated by silicon micromachining. The index grating was consisted of Si grids. The photodiodes were installed on the Si grids of the index grating. The light source suited for the encoder was spatially fabricated of GaAs substrate. By stacking those components, a micro optical encoder was integrated. In the application to the robot finger, an experimental setup for the finger was fabricated, in which the proposed encoder was installed. Although the encoders installed in the setup were small, the encoder signal was precise enough for the purpose. From those experimental results, most of the purpose of the project was accomplished.

  39. レーザによるワイヤレスエネルギー伝送 Competitive

    System: Grant-in-Aid for Scientific Research

    1996/04 - 1998/03

  40. 太陽光間接励起型半導体レーザの開発 Competitive

    System: Grant-in-Aid for Scientific Research

    1996/04 - 1998/03

Show all Show first 5

Social Activities 28

  1. Metamaterials for 6G and Robotics Applications

    Online lecture

    2024/11/13 - 2024/11/13

  2. 海外から旺盛な引き合い ―ミニマルファブ特集―

    電子デバイス産業新聞

    2019/08/29 - 2019/08/29

  3. 光を操る未来技術 ～メタマテリアル・生物模倣ナノ光学素子と微小機械の融合～

    オープンキャンパス2019 機械知能・航空工学科 オープン講義

    2019/07/30 -

  4. 光を操る新技術：メタマテリアル・生物模倣ナノ光学素子と微小機械の融合

    2019/06/18 -

  5. 産学官金連携フェア2018みやぎ

    2018/01/18 -

    More details Close

    「高効率ナノ光学デバイスの開発」ブース出展

  6. 福島県立安積黎明高等学校 平成２９年度 第２学年 大学・学問体験講座

    2017/11/08 -

    More details Close

    福島県立安積黎明高等学校における高校2年生を対象とした大学・学問体験講座

  7. 光学レンズ 厚さ1/1000 東北大「曲がるスマホ」に道

    2017/01/31 -

  8. Huawei Japan Micro-nano Fabrication Workshop

    2016/10/14 -

    More details Close

    Novel light control surfaces based on nano-photonics: structural color and meta-materials

  9. 情報機構セミナー

    2016/01/22 -

    More details Close

    サブ波長構造・超微細構造の作製方法と光応用～メタマテリアル、MEMS、生物模倣～

  10. RSoft 特別セミナー 2015

    2015/06/09 -

    More details Close

    RSoft 特別セミナー 2015

  11. 情報機構セミナー

    2015/01/14 -

    More details Close

    サブ波長構造・超微細構造の作製方法と光応用～MEMS、生物模倣、メタマテリアル～

  12. 情報機構セミナー

    2013/11/22 -

    More details Close

    ナノ光機械・超微細構造の製造技術、開発動向と展望

  13. 新化学技術推進協会 電子情報技術部会・MEMS分科会講演会

    2013/04/26 -

    More details Close

    講演題目：メタマテリアルのMEMSへの応用の可能性

  14. 第22回マイクロナノ先端技術交流会

    2011/12/19 -

    More details Close

    マイクロナノ技術に関係している企業の専門家を対象にした技術交流会での講演。 題目「ナノスケール超微細構造を応用した超小型・高機能光デバイスの研究」

  15. SSH高大連携事業 盛岡第三高等学校「緑丘セミナー（講演会）」

    2011/11/07 -

    More details Close

    講演題目：機械工学とナノテクノロジーが織りなす未来技術

  16. 東北大学、光ファイバの先端に反射防止構造体を作製する技術を開発

    2011/01/10 -

  17. 反射防止膜 安価に作製

    2010/11/26 -

    More details Close

    光伝搬部に微小くぼみ 光ファイバー先端 東北大が新技術

  18. Research Highlights : Photonic crystals: Drop to switch

    2010/01/13 -

  19. 回折格子と波長可変性を増強したSOI/MEMSブレーズド格子

    2009/07/10 -

  20. カラーフィルター ナノ技術で安く作製

    2007/08/30 -

  21. 可視光用カラーフィルター製造 コスト削減10分の1に

    2007/08/29 -

  22. カラーフィルター ナノ技術で低価格に

    2007/08/29 -

  23. 表面に突起 光量６０パーセント増 LED高出力化に期待

    2006/07/27 -

    More details Close

    素子の表面に微小な突起を多数付けることで、従来に比べ約６０％明るくなる発光ダイオード（LED)を、東北大学大学院工学研究科の羽根一博（光工学）と金森義明助手が二十六日までに開発した。LEDの高出力化に直結する技術で、早期の実用化に期待がかかりそうだ。

  24. でこぼこ付けて光量アップ 新型LEDを開発

    2006/07/23 -

    More details Close

    素子の表面に微小な突起を多数付けることで、従来に比べ約６０％明るくなった発光ダイオード（LED)を、東北大の羽根一博（光工学）と金森義明助手が開発した。

  25. でこぼこ表面で光量６０％増 新ＬＥＤ、東北大が開発

    2006/07/22 -

    More details Close

    素子の表面に微小な突起を多数付けることで、従来に比べ約６０％明るくなる発光ダイオード（LED)を、東北大学大学院工学研究科の羽根一博（光工学）と金森義明助手が二十六日までに開発した。LEDの高出力化に直結する技術で、早期の実用化に期待がかかりそうだ。

  26. Newsbreaks: Subwavelength gratings boost light-emitting-diode output

    2002/11/01 -

  27. Newsbreaks: Silicon AR structures are made using porous alumina membrane

    2001/03/01 -

  28. Newsbreaks: Gratings reduce reflection from silicon substrates

    1999/12/01 -

Show all Show first 5

Media Coverage 29

  1. ジョン・ペンドリー博士 革新的な物質メタマテリアルの理論構築

    日経サイエンス社　日経サイエンス(2024年11月号)　日経サイエンス, Vol.54, No.11, pp.2-5(2024).

    2024/11/01

    Type: Newspaper, magazine

  2. ミニマルが人をつくる -ミニマルファブ特集-

    電子デバイス産業新聞　9面

    2024/09/05

    Type: Newspaper, magazine

  3. 屈折率1.25倍に向上 等方性のメタマテリアル 東北大

    日刊工業新聞　23面

    2024/08/01

    Type: Newspaper, magazine

  4. 東北大、透過周波数を調整、メタマテリアルフィルター６G通信向け

    日刊工業新聞　23面

    2024/02/20

    Type: Newspaper, magazine

  5. メタサーフェス：6-4. 国立大学法人 東北大学

    株式会社 矢野経済研究所　Yano E plus　通巻190号（2024年1月号）PP. 62-70

    2024/01/15

    Type: Newspaper, magazine

  6. 遮熱・高速無線通信 両立 東北大、透明窓を実現

    日刊工業新聞

    2023/10/19

    Type: Newspaper, magazine

  7. 「情熱Labo」

    ミヤギテレビ　OH！バンデス (第4部）ミヤギnews every.「情熱Labo」

    2023/10/12

    Type: TV or radio program

  8. 事業化フェーズへ移行 -ミニマルファブ特集-

    電子デバイス産業新聞

    2023/09/07

    Type: Newspaper, magazine

  9. 6Gへ開発加速

    日刊工業新聞

    2023/08/21

    Type: Newspaper, magazine

  10. 東北大学 透過型偏向器を開発 テラヘルツ波の広角走査と高い電力効率実現 6G通信などで応用が期待

    電波新聞

    2023/08/18

    Type: Newspaper, magazine

  11. Sakaguchi: sensing innovation

    Newsweek　Newsweek International

    2023/08/12

    Type: Newspaper, magazine

  12. テラヘルツ波曲げる シリコンメタマテリアルで

    日刊工業新聞

    2023/08/10

    Type: Newspaper, magazine

  13. 量産見据えた開発進む -ミニマルファブ特集-

    電子デバイス産業新聞

    2022/09/01

    Type: Newspaper, magazine

  14. 次世代材料の研究拠点 東北大が開設 多分野で応用めざす

    日本経済新聞

    2022/06/15

    Type: Newspaper, magazine

  15. メタマテリアル研究加速 通信・ロボなど 東北大、拠点開設

    日刊工業新聞

    2022/06/13

    Type: Newspaper, magazine

  16. 世界初！部材として供給可能な三次元バルクメタマテリアルを開発

    産経新聞

    2022/04/01

    Type: Newspaper, magazine

  17. Next Tech2050 「６G」向け電波制御材料安く 東北大が大量生産手法を開発

    日経産業新聞　日経産業新聞

    2022/03/25

    Type: Newspaper, magazine

  18. 旺盛な試作ニーズに柔軟対応 ―ミニマルファブ特集―

    電子デバイス産業新聞

    2021/09/09

    Type: Newspaper, magazine

  19. テラヘルツ波を高度に電圧制御

    電波新聞

    2021/01/15

    Type: Newspaper, magazine

  20. 量産見据えた装置開発が加速 ―ミニマルファブ特集―

    電子デバイス産業新聞

    2020/08/27

    Type: Newspaper, magazine

  21. 海外から旺盛な引き合い ―ミニマルファブ特集―

    電子デバイス産業新聞

    2019/08/29

    Type: Newspaper, magazine

  22. 光学レンズ 厚さ1/1000 東北大「曲がるスマホ」に道

    日経産業新聞

    2017/01/31

    Type: Newspaper, magazine

  23. 反射防止膜 安価に作製

    日刊工業新聞

    2010/11/26

    Type: Newspaper, magazine

  24. カラーフィルター ナノ技術で安く作製

    日経産業新聞

    2007/08/30

    Type: Newspaper, magazine

  25. 可視光用カラーフィルター製造 コスト削減10分の1に

    河北新報

    2007/08/29

    Type: Newspaper, magazine

  26. カラーフィルター ナノ技術で低価格に

    日本経済新聞

    2007/08/29

    Type: Newspaper, magazine

  27. 表面に突起 光量６０パーセント増 LED高出力化に期待

    河北新報

    2006/07/27

    Type: Newspaper, magazine

  28. でこぼこ付けて光量アップ 新型LEDを開発

    東京新聞

    2006/07/23

    Type: Newspaper, magazine

  29. でこぼこ表面で光量６０％増 新ＬＥＤ、東北大が開発

    共同通信

    2006/07/22

    Type: Newspaper, magazine

Show all Show first 5

Academic Activities 2

  1. Chairperson: The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13) Session B: Optics and spectroscopy

    2024/10/14 - 2024/10/17

    Activity type: Academic society, research group, etc.

  2. 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学セッションの座長

    2021/03/19 - 2021/03/19

    Activity type: Academic society, research group, etc.

Other 9

  1. 高効率で多彩な発色性を持つ超微細周期構造を用いた成形品への新しいカラー印刷技術

    More details Close

    高効率で多彩な発色性を持つ超微細周期構造を用いた成形品への新しいカラー印刷技術を開発する。

  2. ＮＥＭＳによるメタマテリアルの分子レベル制御と超低損失シリコン光デバイスとの融合

    More details Close

    ＮＥＭＳによりメタマテリアルを分子レベルで機械制御し、超低損失シリコン光デバイスと融合したデバイスを開発する。

  3. 極微小機械部品の可動部製作技術の開発

    More details Close

    シリコン酸化膜の除去を高精度で制御して，構造不良の極めて少ない極微小機械部品の可動部製作技術を開発する。

  4. 環境に優しいナノ構造の構造色と発色可変機構による高解像度表示・センサシステム

    More details Close

    環境に優しいナノ構造の構造色と発色可変機構による高解像度表示・センサシステムを開発する

  5. マイクロマシン技術を用いた超軽量・高分解能X線望遠鏡の開発

    More details Close

    本研究では、従来の宇宙X線望遠鏡に比べ、一桁から二桁軽い重量で高い角度分解能を達成しうる、究極のX線マイクロポアオプティクスの開発を目指している。日本が得意とするマイクロマシンマシン技術を用いて、すざく衛星のX線望遠鏡を、重量を2 桁軽量化しつつ、角度分解能を1 桁改善する。そのための要素技術としてアニールを用いたシリコンエッチング面の平滑化の基礎開発を行う。

  6. 高効率薄膜シリコン系太陽電池用光閉じ込め技術の研究開発

    More details Close

    本研究では、微結晶シリコンを含む薄膜シリコン系太陽電池に対して適切に設計・制御した回折格子構造を導入し、従来のランダムテクスチャ構造を上回る光閉じ込め効果を実現することを目的とする。

  7. マイクロシステム融合研究開発拠点

    More details Close

    光マイクロシステムに関する研究

  8. ナノインプリントによる超微細回折格子を用いた光フィルタの開発

    More details Close

    本課題は、プレスによる超精密転写技術のナノインプリントを用いて、優れた波長選択性と高い回折効率を有する超微細回折格子（サブミクロン周期）による液晶ディスプレイ(LCD)用カラーフィルタを試作評価する。三色（赤・緑・青）のフィルタをアライメントフリーで一括生産できるので、従来のLCD用カラーフィルタの製作工程で難易度が上がりつつある画素微細化に伴うアライメント工程を省いた、低コストな製造技術を実現する。フィルタの色特性が格子形状でチューニングできる新しい技術に基づくカラーフィルタであり、透過スペクトル、環境特性、加工精度などの仕様を満たすための製造技術およびフィルタ設計技術を開発する。

  9. 可動サブ波長構造によるマイクロマシン光フィルタの開発

    More details Close

    材質に任意の有効屈折率を持たせることのできるサブ波長格子をマイクロマシニングで製作したエアギャップ可変波長選択ミラーの薄膜上に形成することにより、従来の限られた材質で構成されたエアギャップ可変波長選択ミラーよりも設計自由度が高く高効率な光フィルタを開発する。エアギャップや各層の厚さ、サブ波長格子の周期性や形状を高度に制御しつつ、生産性の高い製作技術を開発する。

Show all Show first 5