研究者詳細

顔写真

ハタノ　タダシ
羽多野　忠
Tadashi Hatano
所属
国際放射光イノベーション・スマート研究センター　基幹研究部門　機能情報計測スマートラボ
職名
助教
学位

  • 博士（理学）（東京大学）

e-Rad 研究者番号
90302223

所属学協会 4

  • 日本光学会

    2021年3月 ～ 継続中

  • 応用物理学会

  • 日本放射光学会

  • 日本物理学会

研究分野 1

  • ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 /

論文 82

  1. Design of soft x-ray high diffraction efficiency and spectral flux Au/Ni bilayer coated laminar-type diffraction grating for objective soft x-ray flat-field spectrograph in a region of 250–550 eV 査読有り

    M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, T. Murano, Y. Oue, S. Koshiya, T. Kakio, K. Kondo, M. Terauchi

    Review of Scientific Instruments　95　(12)　123102-1-123102-7　2024年12月24日

    DOI： 10.1063/5.0232922 　

  2. Soft x-ray high diffraction efficiency and spectral flux laminar-type W/B4C multilayer diffraction grating for 300–1000 eV 査読有り

    M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Oue, T. Murano, T. Kakio, S. Koshiya, K. Kondo, M. Terauchi

    Review of Scientific Instruments　95　(7)　073104-1-073104-6　2024年7月23日

    出版者・発行元： AIP Publishing

    DOI： 10.1063/5.0210722 　

    ISSN：0034-6748

    eISSN：1089-7623

    詳細を見る 詳細を閉じる

    Multilayer diffraction gratings are designed to improve the detection limit and sensitivity of soft x-ray flat-field spectrographs in the region of 300–1000 eV, placing emphasis on Fe-L (705 eV), Cu-L (930 eV), and Zn-L (1012 eV) emissions. For this purpose, spectral flux was used as the performance index, which is proportional to the amount of optical flux incident into a detector and correlated with detection sensitivity. A super-mirror-type W/B4C multilayer coating [Koike et al., Rev.Sci. Instrum. 94, 045109 (2023)] was employed to improve diffraction efficiency in a wide energy region. The unique feature of the multilayer structure is that the average refractive index and the period length of W/B4C layer pairs are increased from the bottom to top layers. In addition, the incidence angle was reduced to 86.03° from 88.65° and the nominal groove density was increased to 3200 lines/mm from 2400 lines/mm of our previous design, to improve spectral flux while maintaining dispersion and spectral resolution. A holographic varied-line-spacing spherical grating and a soft x-ray flat-field spectrograph were designed, using the aspherical-wavefront-recording method, assuming the nominal grating constant and incident angle described above. The numerical simulation results showed that the spectrograph employing the newly designed grating with the W/B4C multilayer indicated 3.2–8.2 times higher spectral flux compared with those using the previously designed grating while keeping the same spectral resolution.

  3. Design of soft x-ray varied-line-spacing (VLS) high-dispersion laminar-type grating coated with super-mirror-type (SMT) multilayer for flat-field spectrograph in a region of 2–4 keV 査読有り

    M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Ueno, M. Terauchi

    Review of Scientific Instruments　95　(2)　023102-1-023102-6　2024年2月29日

    DOI： 10.1063/5.0173068 　

  4. Laminar-type gratings overcoated with carbon-based materials to enhance analytical sensitivity of flat-field emission spectrograph in the VUV region 査読有り

    T. Murano, S. Koshiya, M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, T. Kakio, N. Hayashi, Y. Oue, K. Konishi, T. Nagano, K. Kondo, M. Terauchi

    Review of Scientific Instruments　94　(12)　125113-1-125113-6　2023年12月29日

    出版者・発行元： AIP Publishing

    DOI： 10.1063/5.0176783 　

    ISSN：0034-6748

    eISSN：1089-7623

    詳細を見る 詳細を閉じる

    Laminar-type spherical diffraction gratings overcoated with carbon-based materials were designed, fabricated, and evaluated for the purpose of enhancing the analytical sensitivity of the flat-field spectrograph in a vacuum ultraviolet region of 35–110 eV. As the design benchmark for numerical calculations, diffraction efficiency (DE) and spectral flux, which are defined by the product of the DE and numerical aperture and correlate with the analytical sensitivity of the spectrograph, were used. To simplify the feasibility study on the overcoating effects, we assumed a laminar-type grating having a grating constant of 1/1000 mm and coated with a Au layer of 30.0 nm thickness and an incidence angle of 84.0°. The optimized groove depth and duty ratio were 30.0 nm and 0.3, respectively. In addition, the optimum thicknesses of the overcoating layer were 44, 46, 24, and 30 nm for B4C, C, diamond-like-carbon, and SiC, respectively. Based on these results, we have fabricated a varied-line-spacing holographic grating overcoated with B4C with a thickness of 47 nm. For the experimental evaluation, we used the light source of Mg-L and Al-L emissions excited by the electron beam generated from an electron microscope, an objective flat-field spectrograph, and a CCD imaging detector. The experimental results showed that the spectrograph employing a new grating overcoated with the B4C layer indicated almost the same spectral resolution and 2.9–4.2 times higher analytical sensitivity compared with those obtained with a previously designed Au-coated grating having a grating constant of 1/1200 mm and used at an incidence of 86.0°.

  5. Design of soft x-ray laminar-type gratings coated with supermirror-type multilayer to enhance diffraction efficiency in a region of 2–4 keV 査読有り

    M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Ueno, M. Terauchi

    Review of Scientific Instruments　94　(4)　045109-1-045109-5　2023年4月17日

    出版者・発行元： AIP Publishing

    DOI： 10.1063/5.0148908 　

    ISSN：0034-6748

    eISSN：1089-7623

    詳細を見る 詳細を閉じる

    Soft x-ray diffraction gratings coated with a supermirror-type multilayer were designed to enhance diffraction efficiency in the energy range of 2–4 keV by means of numerical calculations. The optimized groove depth and incidence angle are 2.05 nm and 88.65°, respectively, for the grating having a groove density of 3200 grooves/mm. Regarding the multilayer structure, the optimum number of B4C/W layers pair was 11 and the thickness of B4C was increased from bottom to top, while that of W was kept constant. The replacement of the top layer of W by either Co, Cr, or Ni was an effective means of obtaining uniform diffraction efficiency. In the region of 2–4 keV, the calculated diffraction efficiency of the designed gratings was up to ∼5.3%, on average, and almost eight times larger than that of ∼0.7% of an Au coated grating.

  6. 極端紫外(EUV)域低入射角高回折効率ラミナー型回折格子の設計 査読有り

    小池 雅人, 村野 孝訓, 越谷 翔悟, 羽多野 忠, ピロジコフ S. アレキサンダー, 垣尾 翼, 林 信和, 長野 哲也, 近藤 公伯, 寺内 正己

    X線分析の進歩　53　69-76　2022年3月31日

    ISSN：0911-7806

  7. Design and experimental evaluation of enhanced diffraction efficiency of lanthanum-based material coated laminar-type gratings in the boron K-emission region 査読有り

    Tadashi Hatano, Masato Koike, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

    Applied Optics　60　(16)　4993-4999　2021年6月1日

    出版者・発行元： The Optical Society

    DOI： 10.1364/AO.430802 　

    ISSN：1559-128X

    eISSN：2155-3165

  8. Recent developments in soft X-ray emission spectroscopy microscopy 査読有り

    M Terauchi, T Hatano, M Koike, A S Pirozhkov, H Sasai, T Nagano, M Takakura, T Murano

    IOP Conference Series: Materials Science and Engineering　891　012022-012022　2020年8月6日

    出版者・発行元： IOP Publishing

    DOI： 10.1088/1757-899x/891/1/012022 　

    eISSN：1757-899X

  9. Soft x-ray laser beamline for surface processing and damage studies 国際誌 査読有り

    Masahiko Ishino, Thanh-Hung Dinh, Yuji Hosaka, Noboru Hasegawa, Kimio Yoshimura, Hiroki Yamamoto, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi, Kazuyuki Sakaue, Satoshi Ichimaru, Masatoshi Hatayama, Akira Sasaki, Masakazu Washio, Masaharu Nishikino, Yasunari Maekawa

    Applied optics　59　(12)　3692-3698　2020年4月20日

    DOI： 10.1364/AO.387792 　

    詳細を見る 詳細を閉じる

    We have developed a soft x-ray laser (SXRL) beamline equipped with an intensity monitor dedicated to ablation study such as surface processing and damage formation. The SXRL beam having a wavelength of 13.9 nm, pulse width of 7 ps, and pulse energy of around 200 nJ is generated from Ag plasma mediums using an oscillator-amplifier configuration. The SXRL beam is focused onto the sample surface by the Mo/Si multilayer coated spherical mirror. To get the correct irradiation energy/fluence, an intensity monitor composed of a Mo/Si multilayer beam splitter and an x-ray charge-coupled device camera has been installed in the beamline. The Mo/Si multilayer beam splitter has a large polarization dependence in the reflectivity around the incident angle of 45°. However, by evaluating the relationship between reflectivity and transmittance of the beam splitter appropriately, the irradiation energy onto the sample surface can be derived from the energy acquired by the intensity monitor. This SXRL beamline is available to not only the ablation phenomena but also the performance evaluation of soft x-ray optics and resists.

  10. Luminescence properties of scintillators in soft X-ray region 査読有り

    Ejima, Takeo, Kurosawa, Shunsuke, Yamaji, Akihiro, Hatano, Tadashi, Wakayama, Toshitaka, Higashiguchi, Takeshi, Kitaura, Mamoru

    JOURNAL OF LUMINESCENCE　219　2020年3月

    DOI： 10.1016/j.jlumin.2019.116850 　

    ISSN：0022-2313

    eISSN：1872-7883

  11. Soft X-ray spectral analysis of laser produced molybdenum plasmas using the fundamental and second harmonics of a Nd:YAG laser 査読有り

    Lokasani, Ragava, Kawasaki, Hiromu, Shimada, Yuta, Shoji, Misaki, Anraku, Kyoya, Ejima, Takeo, Hatano, Tadashi, Jiang, Weihua, Namba, Shinichi, Nikl, Jan, Zeman, Michal, Cysullivan, Gerry, Higashiguchi, Takeshi, Limpouch, Jiri

    OPTICS EXPRESS　27　(23)　33350-33357　2019年11月

    DOI： 10.1364/OE.27.033351 　

    ISSN：1094-4087

  12. Controlled strong excitation of silicon as a step towards processing materials at sub-nanometer precision 査読有り

    Thanh-Hung Dinh, Medvedev, Nikita, Ishino, Masahiko, Kitamura, Toshiyuki, Hasegawa, Noboru, Otobe, Tomohito, Higashiguchi, Takeshi, Sakaue, Kazuyuki, Washio, Masakazu, Hatano, Tadashi, Kon, Akira, Kubota, Yuya, Inubushi, Yuichi, Owada, Shigeki, Shibuya, Tatsunori, Ziaja, Beata, Nishikino, Masaharu

    COMMUNICATIONS PHYSICS　2　2019年11月

    DOI： 10.1038/s42005-019-0253-2 　

    ISSN：2399-3650

  13. Intense water-window soft x-ray emission by spectral control using dual laser pulses 査読有り

    Arai Goki, Hara Hiroyuki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguch Takeshi

    OPTICS EXPRESS　26　(21)　27748-27756　2018年10月15日

    DOI： 10.1364/OE.26.027748 　

    ISSN：1094-4087

  14. Spectral dynamics of soft X-ray emission in dual-laser-produced medium-Z plasma 査読有り

    Ohashi Hayato, Hara Hiroyuki, Arai Goki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Suzuki Chihiro, Namba Shinichi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

    APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS　124　(10)　2018年10月

    DOI： 10.1007/s00340-018-7061-3 　

    ISSN：0946-2171

    eISSN：1432-0649

  15. Quantum Efficiency of Back-illuminated CMOS Sensor with 1.4×1.4 µm2 Pixel Size 査読有り

    T. Ejima, T. Hatano

    Microscopy and Microanalysis　24　(S2)　322-323　2018年8月

  16. Development of Laboratory-type Soft X-ray Microscope, CXRM, in Water-Window using LPP Light Source 査読有り

    T. Ejima, Y. Ono, K. Ito, H. Kawasaki, T. Higashiguchi, S. Tone, T. Hatano

    Microscopy and Microanalysis　24　(S2)　214-215　2018年8月

  17. Emission of water-window soft x-rays under optically thin conditions using low-density foam targets 査読有り

    Hara Hiroyuki, Kawasaki Hiromu, Tamura Toshiki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

    OPTICS LETTERS　43　(15)　3750-3753　2018年8月1日

    DOI： 10.1364/OL.43.003750 　

    ISSN：0146-9592

    eISSN：1539-4794

  18. Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas 査読有り

    Amano Reiho, Thang-Hung Dinh, Sasanuma Atsushi, Arai Goki, Hara Hiroyuki, Fujii Yusuke, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Sunahara Atsushi, Takahashi Akihiko, Nakamura Daisuke, Okada Tatsuo, Sakaue Kazuyuki, Miura Taisuke, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　57　(7)　2018年7月

    DOI： 10.7567/JJAP.57.070311 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  19. Characteristics of soft x-ray and extreme ultraviolet (XUV) emission from laser-produced highly charged rhodium ions 査読有り

    Ellie Floyd Barte, Hiroyuki Hara, Toshiki Tamura, Takuya Gisuji, When-Bo Chen, Ragava Lokasani, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Akira Sasaki, Takeshi Higashiguchi, Jiří Limpouch

    Journal of Applied Physics　123　(18)　2018年5月14日

    DOI： 10.1063/1.5024344 　

    ISSN：1089-7550 0021-8979

    eISSN：1089-7550

  20. Selection of target elements for laser-produced plasma soft x-ray sources 査読有り

    Toshiki Tamura, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Gerry O’Sullivan, Takeshi Higashiguchi

    Optics Letters　43　(9)　2042-2045　2018年5月1日

    DOI： 10.1364/OL.43.002042 　

    ISSN：1539-4794 0146-9592

    eISSN：1539-4794

  21. Evaluation of a Flat-Field Grazing Incidence Spectrometer for Highly Charged Ion Plasma Emission in 1–10 nm

    Y. Kondo, T. H. Dinh, T. Tamura, S. Ohta, K. Kitano, T. Ejima, T. Hatano, T. Higashiguchi

    Springer Proceedings in Physics　202　409-412　2018年

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1007/978-3-319-73025-7_62 　

    ISSN：1867-4941 0930-8989

  22. Development of Soft X-Ray Microscope in Water Window Using Laser-Produced Plasma Light Source

    T. Ejima, Y. Kondo, Y. Ono, T. H. Dinh, T. Higashiguchi, T. Hatano

    Springer Proceedings in Physics　202　395-399　2018年

    出版者・発行元： Springer Science and Business Media, LLC

    DOI： 10.1007/978-3-319-73025-7_59 　

    ISSN：1867-4941 0930-8989

  23. Cr/Sc/Mo multilayer for condenser optics in water window microscopes 査読有り

    Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Toshihide Tsuru

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　220　14-16　2017年10月

    DOI： 10.1016/j.elspec.2016.12.010 　

    ISSN：0368-2048

    eISSN：1873-2526

  24. ボロン-K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子

    小池 雅人, 羽多野 忠, 浮田 龍一, 笹井 浩行, 長野 哲也

    X線分析の進歩　48　(48)　122-128　2017年3月31日

    出版者・発行元： アグネ技術センター

    ISSN：0911-7806

  25. Erratum: Publisher's Note: "Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm" [Rev. Sci. Instrum. 87, 123106 (2016) (The Review of scientific instruments (2016) 87 12 (123106))

    Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

    The Review of scientific instruments　88　(2)　029902　2017年2月1日

    出版者・発行元： NLM (Medline)

    DOI： 10.1063/1.4973926 　

    ISSN：1089-7623

  26. Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm (vol 87, 123106, 2016) 査読有り

    Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　88　(2)　029902　2017年2月

    DOI： 10.1063/1.4973926 　

    ISSN：0034-6748

    eISSN：1089-7623

  27. Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm 査読有り

    Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　87　(12)　2016年12月

    DOI： 10.1063/1.4971421 　

    ISSN：0034-6748

    eISSN：1089-7623

  28. Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses 査読有り

    Ragava Lokasani, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Thanh-Hung Dinh, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Tetsuya Makimura, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeshi Higashiguchi, Jiri Limpouch

    APPLIED PHYSICS LETTERS　109　(19)　2016年11月

    DOI： 10.1063/1.4967310 　

    ISSN：0003-6951

    eISSN：1077-3118

  29. Characteristics of the soft X-ray emission from laser-produced highly charged platinum plasmas 査読有り

    Hiroyuki Hara, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Thanh-Hung Dinh, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Masaharu Nishikino, Akira Sasaki, Atsushi Sunahara, Takeshi Higashiguchi

    APPLIED PHYSICS EXPRESS　9　(6)　2016年6月

    DOI： 10.7567/APEX.9.066201 　

    ISSN：1882-0778

    eISSN：1882-0786

  30. Multilayer coated grazing incidence condenser for large numerical aperture objective at wavelength of 4.5 nm 査読有り

    T. Ejima, T. Hatano, K. Ohno, T. Fukayama, S. Aihara, M. Yanagihara, T. Tsuru

    APPLIED OPTICS　53　(29)　6846-6852　2014年10月

    DOI： 10.1364/AO.53.006846 　

    ISSN：1559-128X

    eISSN：2155-3165

  31. Multilayer reflectometry and quantitative analysis of higher order diffraction impurities of grating monochromator 査読有り

    Tadashi Hatano, Tetsuo Harada

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　196　156-158　2014年10月

    DOI： 10.1016/j.elspec.2014.05.002 　

    ISSN：0368-2048

    eISSN：1873-2526

  32. 多層膜を利用した真空紫外域の偏光素子開発 招待有り 査読有り

    羽多野 忠

    表面科学　35　(6)　294-299　2014年

    出版者・発行元： 公益社団法人 日本表面科学会

    DOI： 10.1380/jsssj.35.294 　

    ISSN：0388-5321

    詳細を見る 詳細を閉じる

    Polarization elements for 20-400eV vacuum ultraviolet (VUV) have been developed using multilayers. Unavailability of transparent media is characteristic of optics in the VUV region. VUV polarizers are based on a multilayer mirror at the pseud-Brewster's angle. General principle of selecting material combinations to obtain high polarizance multilayers of reflection type is presented. Theoretical description on reflection phase retarders, transmission polarizers, and transmission phase retarders is also given. Several VUV multilayer elements were fabricated and characterized using synchrotron radiation VUV source, and synchrotron radiation beamline optics were diagnosed using VUV multilayer analyzers at the same time. Multilayer analyzers were also applied to Faraday rotation measurements around M<sub>2,3</sub> edges of Ni films.

  33. 放射光を用いた軟X線多層膜素子の評価技術 招待有り 査読有り

    羽多野忠

    精密工学会誌(Web)　80　(6)　524-527 (J-STAGE)-527　2014年

    出版者・発行元： 公益社団法人 精密工学会

    DOI： 10.2493/jjspe.80.524 　

    ISSN：1882-675X

  34. Quick X-ray reflectometry in the simultaneous multiple angle-wavelength dispersive mode

    E. Arakawa, W. Voegeli, T. Matsushita, Y. F. Yano, T. Hatano

    Journal of Physics: Conference Series　425　(9)　2013年

    出版者・発行元： Institute of Physics Publishing

    DOI： 10.1088/1742-6596/425/9/092002 　

    ISSN：1742-6596 1742-6588

    eISSN：1742-6596

  35. Homogenized ion milling over the whole area of EUV spherical multilayer mirrors for reflection phase error correction

    T. Tsuru, K. Arai, T. Hatano

    Journal of Physics: Conference Series　425　(15)　2013年

    出版者・発行元： Institute of Physics Publishing

    DOI： 10.1088/1742-6596/425/15/152009 　

    ISSN：1742-6596 1742-6588

  36. Monochromator operation in the carbon window region at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory 査読有り

    Tadashi Hatano, Shogaku Aihara

    11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION (SRI 2012)　425　2013年

    DOI： 10.1088/1742-6596/425/15/152018 　

    ISSN：1742-6588

  37. Performance of the post-focusing mirror system at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory 査読有り

    Tadashi Hatano, Shogaku Aihara, Kentaro Uchida, Toshihide Tsuru

    11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY (XRM2012)　463　2013年

    DOI： 10.1088/1742-6596/463/1/012010 　

    ISSN：1742-6588

  38. At-Wavelength Extreme Ultraviolet Lithography Mask Observation Using a High-Magnification Objective with Three Multilayer Mirrors 査読有り

    Mitsunori Toyoda, Kenjiro Yamasoe, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Akifumi Tokimasa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita

    APPLIED PHYSICS EXPRESS　5　(11)　2012年11月

    DOI： 10.1143/APEX.5.112501 　

    ISSN：1882-0778

  39. Three-Dimensionally Controlled Ion Milling for Reflection Phase Manipulation of EUV Multilayer Mirrors

    T. Tsuru, T. Hatano, M. Yamamoto

    10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY　1365　180-183　2011年

    DOI： 10.1063/1.3625334 　

    ISSN：0094-243X

  40. Soft X-ray imaging of thick carbon-based materials using the normal incidence multilayer optics

    I. A. Artyukov, R. M. Feschenko, A. V. Vinogradov, Ye. A. Bugayev, O. Y. Devizenko, V. V. Kondratenko, Yu. S. Kasyanov, T. Hatano, M. Yamamoto, S. V. Saveliev

    MICRON　41　(7)　722-728　2010年10月

    DOI： 10.1016/j.micron.2010.06.011 　

    ISSN：0968-4328

  41. X線集光技術 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発

    津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

    放射光　23　(3)　181-187　2010年5月31日

    出版者・発行元： 日本放射光学会

    ISSN：0914-9287

  42. 超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発

    津留 俊英, 羽多野 忠, 原田 哲男, 豊田 光紀, 江島 丈雄, 柳原 美廣, 山本 正樹

    光学　39　(5)　219-224　2010年5月10日

    出版者・発行元： 応用物理学会分科会日本光学会

    ISSN：0389-6625

  43. 超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発 査読有り

    津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 江島丈雄, 柳原美廣, 山本正樹

    光学　39　(5)　3-8　2010年5月

    詳細を見る 詳細を閉じる

    6537

  44. High throughput and wide field of view EUV microscope for blur-free one-shot imaging of living organisms 査読有り

    Takeo Ejima, Fumihiko Ishida, Hiromichi Murata, Mitsunori Toyoda, Tetsuo Harada, Toshihide Tsuru, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Masaki Yamamoto, Haruo Mizutani

    OPTICS EXPRESS　18　(7)　7203-7209　2010年3月

    DOI： 10.1364/OE.18.007203 　

    ISSN：1094-4087

  45. Fabrication and Characterization of Elliptically-Curved, Laterally-Graded Multilayers for Focusing X-ray Polychromator Applications 査読有り

    Tadashi Hatano, Tetsuo Harada, Tadashi Matsushita, Etsuo Arakawa, Yasuo Higashi

    SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　1234　669-+　2010年

    DOI： 10.1063/1.3463296 　

    ISSN：0094-243X

  46. Area-selected Ion Milling for Reflection Wavefront Error Correction of Soft X-ray Multilayer Mirrors 査読有り

    Toshihide Tsuru, Yu Sakai, Tadashi Hatano, Masaki Yamamoto

    SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　1234　772-775　2010年

    DOI： 10.1063/1.3463326 　

    ISSN：0094-243X

  47. Two-dimensional Detector for High Resolution Soft X-ray Imaging 査読有り

    Takeo Ejima, Shodo Ogasawara, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Masaki Yamamoto

    SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　1234　811-814　2010年

    DOI： 10.1063/1.3463337 　

    ISSN：0094-243X

  48. Time-Resolved X-Ray Reflectometry in the Multiwavelength Dispersive Geometry 査読有り

    Tadashi Matsushita, Etsuo Arakawa, Tetsuo Harada, Tadashi Hatano, Yasuo Higashi, Yohko F. Yano, Yasuhiro Niwa, Yasuhiro Inada, Shusaku Nagano, Takahiro Seki

    SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　1234　927-+　2010年

    DOI： 10.1063/1.3463368 　

    ISSN：0094-243X

  49. Multilayer polarization elements and their applications to polarimetric studies in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions 査読有り

    Watanabe Makoto, Hatano Tadashi, Saito Katsuhiko, Hu Weibing, Ejima Takeo, Tsuru Toshihide, Takahashi Masahik, Kimura Hiroaki, Hirono Toko, Wang Zhangshan, Cui Mingqi, Yamamoto Masaki, Yanagihara Mihiro

    NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES　19　(4)　193-203　2008年8月

    DOI： 10.1016/S1001-8042(08)60049-4 　

    ISSN：1001-8042

    eISSN：2210-3147

  50. X-ray magnetic circular dichroism studies for Fe/Si interfaces using standing waves

    Sato Kosuke, Masaki Sugawara, Takayoshi Jinno, Mitsunori Toyoda, Tadashi Hatano, Akira Arai, Mihiro Yanagihara

    Journal of Physics: Conference Series　83　(1)　2007年6月1日

    出版者・発行元： Institute of Physics Publishing

    DOI： 10.1088/1742-6596/83/1/012012 　

    ISSN：1742-6596 1742-6588

  51. Optimal design of multilayer mirrors for water-window microscope optics 査読有り

    Yurii Uspenskii, Denis Burenkov, Tadashi Hatano, Masaki Yamamoto

    OPTICAL REVIEW　14　(1)　64-73　2007年1月

    DOI： 10.1007/s10043-007-0064-7 　

    ISSN：1340-6000

  52. Advances in short-wavelength X-ray multilayer optics: toward high-throughput multi-mirror systems for the wavelengths < 10 nm 査読有り

    Igor A. Artyukov, Yegor A. Bugayev, Oleksandr Yu. Devizenko, Ruslan M. Feshchenko, Tadashi Hatano, Yuri S. Kasyanov, Valeri V. Kondratenko, Yuri A. Uspenski, Alexander V. Vinogradov

    SOFT X-RAY LASERS AND APPLICATIONS VII　6702　2007年

    DOI： 10.1117/12.734601 　

    ISSN：0277-786X

  53. Nanometer-scale period Sc/Cr multilayer mirrors and their thermal stability

    E Majkova, Y Chushkin, M Jergel, S Luby, Holy, V, Matko, I, B Chenevier, L Toth, T Hatano, M Yamamoto

    THIN SOLID FILMS　497　(1-2)　115-120　2006年2月

    DOI： 10.1016/j.tsf.2005.10.051 　

    ISSN：0040-6090

  54. Thin film filters for an EUV multilayer mirror optics with a laser produced plasma light source

    T Harada, T Hatano

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　144　1075-1077　2005年6月

    DOI： 10.1016/j.elspec.2005.01.042 　

    ISSN：0368-2048

  55. Schwarzschild microscopes in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions

    M. Watanabe, M. Watanabe, M. Watanabe, M. Yanagihara, T. Ejima, M. Toyoda, Y. Kondo, T. Hatano, T. Tsuru, M. Yamamoto

    Nuclear Science and Techniques/Hewuli　16　129-138　2005年6月1日

    ISSN：1001-8042

  56. Top layer's thickness dependence on total electron-yield X-ray standing-wave

    T Ejima, A Yamazaki, T Banse, T Hatano

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　144　897-899　2005年6月

    DOI： 10.1016/j.elspec.2005.01.085 　

    ISSN：0368-2048

  57. Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in situ automatic ellipsometry

    T Tsuru, T Tsutou, T Hatano, A Yamamoto

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　144　1083-1085　2005年6月

    DOI： 10.1016/j.elspec.2005.01.087 　

    ISSN：0368-2048

  58. Magnetic rotation spectra of Co/Pt and Co/Cu multilayers in 50-90 eV region

    K Saito, M Igeta, T Ejima, T Hatano, A Arai, M Watanabe

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　144　757-760　2005年6月

    DOI： 10.1016/j.elspec.2005.01.160 　

    ISSN：0368-2048

  59. 1.真空中で作製するナノ構造 X線ミラー多層膜

    山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英, 柳原美広

    機械の研究　57　(1)　74-81　2005年1月1日

    ISSN：0368-5713

  60. X線ミラー多層膜 (特集欄 ナノテクノロジーにおけるものづくり) -- (真空中で作製するナノ構造)

    山本 正樹, 羽多野 忠, 津留 俊英

    機械の研究　57　(1)　74-81　2005年1月

    出版者・発行元： 養賢堂

    ISSN：0368-5713

  61. Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry

    T Tsuru, T Tsutou, T Hatano, M Yamamoto

    SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　705　732-735　2004年

    DOI： 10.1063/1.1757900 　

    ISSN：0094-243X

  62. Normal incidence reflectometry of concave multilayer mirrors using synchrotron radiation to evaluate the period thickness distribution

    T Hatano, S Kubota, Y Adachi, T Tsuru, M Yamamoto

    SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　705　839-842　2004年

    DOI： 10.1063/1.1757926 　

    ISSN：0094-243X

  63. Linear polarization measurements of soft X-ray emitted from a figure-8 undulator by using multilayers

    T Hirono, H Kimura, Y Tamenori, Y Saitoh, T Hatano, T Tanaka, T Ishikawa

    SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　705　187-190　2004年

    DOI： 10.1063/1.1757765 　

    ISSN：0094-243X

  64. Polarization measurements of laboratory VUV light: a first comparison between multilayer polarizers and photoelectron angular distributions

    M Takahashi, T Hatano, T Ejima, Y Kondo, K Saito, M Watanabe, T Kinugawa, JHD Eland

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　130　(1-3)　79-84　2003年7月

    DOI： 10.1016/S0368-2048(03)00088-4 　

    ISSN：0368-2048

  65. Wide range reflection multilayer in 200-25 nm region for Schwarzschild objectives

    T Ejima, K Sudo, T Hatano, M Watanabe

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV　104　259-262　2003年3月

    DOI： 10.1051/jp4:200300075 　

    ISSN：1155-4339

  66. 光リソグラフィーの新展開 屈折から反射へ 極紫外用の高反射率多層膜

    羽多野忠

    光学　31　(7)　532-537　2002年7月10日

    出版者・発行元： 応用物理学会分科会日本光学会

    ISSN：0389-6625

  67. 多層膜偏光子を用いた極紫外磁気旋光分光

    斉藤勝彦, 羽多野忠, 井桁光昭, HU W, 江島丈雄, 渡辺誠

    放射光　15　(3)　158-162　2002年5月31日

    出版者・発行元： 日本放射光学会

    ISSN：0914-9287

  68. Faraday and magnetic Kerr rotation measurements on Co and Ni films around M-2,M-3 edges

    K Saito, M Igeta, T Ejima, T Hatano, M Watanabe

    SURFACE REVIEW AND LETTERS　9　(2)　943-947　2002年4月

    DOI： 10.1142/S0218625X02003251 　

    ISSN：0218-625X

  69. Efficiency and polarization performance of a multilayer-coated laminar grating in the 6.5-6.9-nm wavelength region 査読有り

    Sadayuki Ishikawa, Takashi Imazono, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Makoto Watanabe

    Applied Optics　41　(4)　763-767　2002年2月1日

    出版者・発行元： Optical Society of America (OSA)

    DOI： 10.1364/AO.41.000763 　

    ISSN：1539-4522 0003-6935

  70. Multilayer polarizers for the use of He-I and He-II resonance lines

    T Hatano, Y Kondo, K Saito, T Ejima, M Watanabe, M Takahashi

    SURFACE REVIEW AND LETTERS　9　(1)　587-591　2002年2月

    DOI： 10.1142/S0218625X02002695 　

    ISSN：0218-625X

  71. Efficiency and polarization performance of a multilayer-coated laminar grating in the 6.5-6.9-nm wavelength region 査読有り

    S Ishikawa, T Imazono, T Hatano, M Yanagihara, M Watanabe

    APPLIED OPTICS　41　(4)　763-767　2002年2月

    DOI： 10.1364/AO.41.000763 　

    ISSN：1559-128X

    eISSN：2155-3165

  72. High-reflection multilayer for wavelength range of 200-30 nm

    Y Kondo, T Ejima, K Saito, T Hatano, M Watanabe

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT　467　333-336　2001年7月

    DOI： 10.1016/S0168-9002(01)00314-X 　

    ISSN：0168-9002

  73. Laboratory extreme-ultraviolet Faraday-rotation apparatus using multilayer polarizers

    Weibing Hu, Weibing Hu, Tadashi Hatano, Makoto Watanabe

    Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　39　(2)　675-676　2000年12月1日

    出版者・発行元： 公益社団法人 応用物理学会

    DOI： 10.1143/JJAP.39.675 　

    ISSN：0021-4922

  74. Spatial coherence of undulator radiation beyond the van Cittert-Zernike theorem

    Y Takayama, N Takaya, T Miyahara, S Kamada, W Okamoto, T Hatano, RZ Tai, Y Kagoshima

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT　441　(3)　565-576　2000年3月

    DOI： 10.1016/S0168-9002(99)00988-2 　

    ISSN：0168-9002

  75. Faraday rotation measurement around Ni M<inf>2,3</inf>edges using A1/YB<inf>6</inf>multilayer polarizers

    Tadashi Hatano, Weibing Hu, Katsuhiko Saito, Makoto Watanabe

    Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena　101-103　287-291　1999年12月1日

    DOI： 10.1016/s0368-2048(98)00489-7 　

    ISSN：0368-2048

  76. Relationship between spatial coherence of synchrotron radiation and emittance

    Y Takayama, T Hatano, T Miyahara, W Okamoto

    JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION　5　1187-1194　1998年7月

    DOI： 10.1107/S0909049597019754 　

    ISSN：0909-0495

  77. Transmission multilayer polarizers for use in the 55-90 eV region

    WB Hu, T Hatano, M Yamamoto, M Watanabe

    JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION　5　732-734　1998年5月

    DOI： 10.1107/S0909049597019109 　

    ISSN：0909-0495

  78. Handling the polarization of soft X-ray using transmission multilayers. A case study

    T Hatano, W Hu, M Yamamoto, M Watanabe

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　92　(1-3)　311-314　1998年5月

    DOI： 10.1016/S0368-2048(98)00139-X 　

    ISSN：0368-2048

  79. Measurement of the coherence of synchrotron radiation

    Y Takayama, RZ Tai, T Hatano, T Miyahara, W Okamoto, Y Kagoshima

    JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION　5　456-458　1998年5月

    DOI： 10.1107/S0909049597013010 　

    ISSN：0909-0495

  80. Magnetic circular dichroism of Gd-Co and Gd-Ni alloys in the Gd 3d, 4d and the (Co, Ni) 2p, 3p core excitation regions: Antiferromagnetic coupling between Gd and (Co, Ni) moments

    Tadashi Hatano, Serng Yerl Park, Serng Yerl Park, Takaaki Hanyu, Tsuneaki Miyahara

    Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena　78　217-220　1996年1月1日

    DOI： 10.1016/S0368-2048(96)80065-X 　

    ISSN：0368-2048

  81. Magnetic Circular Dichroism of Ni-Pd Alloys in Ni 2p, 3p, Pd 3p, and 4p Core Excitation Regions: Enhancement of Ni 3d Orbital Moment

    Serng-Yerl Park, Sadatsugu Muto, Sadatsugu Muto, Yasushi Kagoshima, Tsuneaki Miyahara, Tadashi Hatano, Shin Imada, Takaaki Hanyu, Ikuyo Shiozaki

    Journal of the Physical Society of Japan　64　(3)　934-943　1995年

    DOI： 10.1143/JPSJ.64.934 　

    ISSN：1347-4073 0031-9015

  82. Comparison between 3p and 2p magnetic circular dichroism in transition metals and alloys: Is the sum rule applicable to itinerant magnetic systems?

    Tsuneaki Miyahara, Serng-Yerl Park, Takaaki Hanyu, Tadashi Hatano, Sadatsugu Moto, Yasushi Kagoshima

    Review of Scientific Instruments　66　(2)　1558-1560　1995年

    DOI： 10.1063/1.1145907 　

    ISSN：0034-6748

︎全件表示 ︎最初の5件までを表示

MISC 110

  1. Reflectance Measurements of Al/TiO2 Bilayers in the 10–30 eV Region at BL5B, UVSOR

    T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima

    UVSOR Activity Report 2020　117-117　2021年8月

  2. Tender X-ray multilayers for high throughput grating monochromators

    Tadashi HATANO, Takeo EJIMA

    Photon Factory Activity Report 2020 #38　38　213-1-213-2　2021年4月

  3. Calibration of Mo/Si Multilayer Beam-splitter for Soft X-Ray Laser Beamline

    Masahiko ISHINO, Thanh-Hung DINH, Noboru HASEGAWA, Masaharu NISHIKINO, Kazuyuki SAKAUE, Takeshi HIGASHIGUCHI, Tadashi HATANO

    Photon Factory Activity Report 2020 #38　38　106-1-106-4　2021年4月

  4. レーザー生成プラズマ光源による水の窓軟X線顕微鏡とSTED現象による高解像度化への試み (フォトニクス・ワークショップin九州 : 呼子)

    東口 武史, 川崎 太夢, 庄司 美咲, 影山 稜, 若山 俊隆, 羽多野 忠, 江島 丈雄

    レーザー学会研究会報告 = Reports the on topical meeting of the Laser Society of Japan　20　(6)　7-12　2020年9月14日

    出版者・発行元： レーザー学会研究委員会

  5. Multilayer reflectometry for evaluation of second harmonic spectral impurity in 100 nm wavelength output of BL5B UVSOR

    T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima

    UVSOR Activity Report 2019　41-41　2020年8月

  6. Calibration of a CCD-Based Energy Monitor for High Power Soft X-Ray Lasers

    Thanh-Hung DINH, Masaharu NISHIKINO, Masahiko ISHINO, Takeshi HIGASHIGUCHI, Tadashi HATANO

    Photon Factory Activity Report 2019 #37　37　130-1-130-3　2020年6月

  7. Total luminescence yield of some scintillators in the photon energy region from 300 eV to 1.3 keV

    EJIMA, Takeo, KUROSAWA, Shunsuke, YAMAJI, Akihiro, HATANO, Tadashi, WAKAYAMA, Toshitaka, HIGASHIGUCHI, Takeshi, KITAURA, Mamoru

    Photon Factory Activity Report 2018 #36　36　69-1-69-2　2019年7月

  8. Diffraction Efficiency Measurements of Laminar-Type Diffraction Gratings Overcoated with Lanthanum Series Layers for Boron-K Emission Spectroscopy

    Tadashi HATANO, Masato KOIKE, Masami TERAUCHI, Alexander S. PIROZHKOV, Nobukazu HAYASHI, Hiroyuki SASAI, Tetsuya NAGANO

    Photon Factory Activity Report 2018 #36　36　82-1-82-3　2019年7月

  9. Fabrication of Cr/Sc/Mo multilayer illuminator for water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources

    Tadashi HATANO, Takeo EJIMA, Yuichi ONO, Thanh-Hung DINH, Toshiki TAMURA, Keigo MAEDA, Hiroyuki HARA, Takeshi HIGASHIGUCHI

    Photon Factory Activity Report 2018 #36　36　244-1-244-2　2019年7月

  10. ビスマスプラズマ水の窓軟X線源の開発—Development of bismuth plasma-based water-window soft x-ray source—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般

    川崎 太夢, 島田 悠太, 難波 慎一, 佐々木 明, 錦野 将元, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 東口 武史

    電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編]　2019　(57-64)　1-6　2019年5月17日

    出版者・発行元： 東京 : 電気学会

  11. Non-uniform Distribution of Doped Carrier in a Na-doped CaB6 Bulk Material Observed by EPMA-SXES

    M. Terauchi, Y. Sato, M. Takeda, T. Hatano, M. Koike, H. Sasai, T. Nagano, M. Koeda, T. Murano, H. Takahashi

    Microscopy & Microanalysis　24　(suppl.1)　746-747　2018年8月

  12. ピクセルサイズ1.4×1.4μm2の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率

    江島丈雄, 羽多野忠

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　65th　ROMBUNNO.20p‐B301‐4　2018年3月5日

  13. 材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション

    錦野将元, 石野雅彦, DINH T‐H, 長谷川登, FAENOV A, PIKUZ T, 市丸智, 木下博雄, 坂上和之, 東口武史, 犬伏雄一, 今亮, 大和田成起, 羽多野忠, 鷲尾方一, 末元徹, 河内哲哉

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　65th　ROMBUNNO.18p‐A404‐3　2018年3月5日

  14. フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究

    坂上和之, 石野雅彦, 井谷俊郎, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 小倉拓人, 木下博雄, 小柴裕也, 今亮, SANTILLAN Julius Joseph, 篠崎夏美, 高橋孝, 田村賢紀, HUNG Dinh Thanh, 錦野将元, 西留武宏, 羽多野忠, 原広行, 東口武史, 山内駿, 鷲尾方一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　78th　ROMBUNNO.5a‐S44‐6　2017年8月25日

  15. ピクセルサイズ1.4×1.4μm2の背面照射型軟X線撮像素子の開発

    江島丈雄, 羽多野忠

    KEK Progress Report (Web)　(2017-10)　ROMBUNNO.125 (WEB ONLY)　2017年

    ISSN： 1344-6320

  16. 波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　63rd　ROMBUNNO.19P-H137-11　2016年3月3日

  17. PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光

    羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　63rd　ROMBUNNO.19P-H137-9　2016年3月3日

  18. レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

    近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　76th　ROMBUNNO.16A-4E-3　2015年8月31日

  19. 炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測

    羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　28th　89　2015年1月10日

  20. 多層膜ミラーを用いた回折格子分光器の高次光解析法

    羽多野忠, 原田哲男

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　75th　2014年

  21. 点光源軟X線顕微鏡の集光光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇広, 相原翔学, 柳原美廣

    レーザー学会研究会報告　450th　1-6　2013年10月22日

  22. 波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　74th　ROMBUNNO.18P-A13-7　2013年8月31日

  23. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣

    応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　67th　23-24　2012年12月6日

  24. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　59th　ROMBUNNO.18A-A4-8　2012年2月29日

  25. 極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較

    根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　25th　108　2012年1月6日

  26. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　12th　143　2012年

  27. 地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所 軟X線多層膜光学の開発と応用―軟X線顕微鏡

    柳原美廣, 江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀

    Mater Integr　24　(4/5)　201-207　2011年6月1日

    ISSN： 1344-7858

  28. 軟X線多層膜光学の開発と応用--軟X線顕微鏡 (特集 地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所)

    柳原 美廣, 江島 丈雄, 羽多野 忠

    マテリアルインテグレ-ション　24　(4)　201-207　2011年4月

    出版者・発行元： ティー・アイ・シィー

    ISSN： 1344-7858

  29. 軟Ｘ線顕微鏡とその基盤技術の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀, 柳原美廣

    Ｘ線結像光学ニューズレター　(33)　7-9　2011年

  30. 2009年光学界の進展 3.X線光学

    羽多野忠

    光学　39　(4)　176-177　2010年4月10日

    ISSN： 0389-6625

  31. X線光学

    羽多野 忠

    光学　39　(4)　176-177　2010年4月10日

    ISSN： 0389-6625

  32. 多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広

    PFシンポジウム要旨集　27th　2010年

  33. 薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発

    羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　10th　2010年

  34. 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

    豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　70th　(2)　626　2009年9月8日

  35. 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

    豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

    光学シンポジウム講演予稿集　34th　31-32　2009年7月2日

  36. A simultaneous multiwavelength dispersive X-ray reflectometer for time-resolved reflectometry

    T. Matsushita, E. Arakawa, Y. Niwa, Y. Inada, T. Hatano, T. Harada, Y. Higashi, K. Hirano, K. Sakurai, M. Ishii, M. Nomura

    EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL-SPECIAL TOPICS　167　113-119　2009年2月

    DOI： 10.1140/epjst/e2009-00945-4 　

    ISSN： 1951-6355

  37. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーター用楕円形状基板の開発

    荒川悦雄, 東保男, 羽多野忠, 原田哲男, 松下正

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　2009年

  38. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一, 矢野陽子

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　2009年

  39. 傾斜周期膜厚(laterally graded)構造をもつX線多層膜ポリクロメーターの開発

    羽多野忠, 原田哲男, 松下正, 荒川悦雄, 東保男

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　2009年

  40. 多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計-II

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　70th　(2)　2009年

  41. LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　68　2009年

  42. Optical properties of Ti film for EUVL attenuated phase shift mask

    Tadashi MATSUO, Tadashi HATANO, Mihiro YANAGIHARA

    Photon Factory Activity Report 2007 Part B　254　2009年

  43. 炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発

    原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　594　2008年9月2日

  44. レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3の開発 3

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　590　2008年9月2日

  45. 軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発

    原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　55th　(2)　695　2008年3月27日

  46. 極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率

    江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　55th　(2)　695　2008年3月27日

  47. 汎用軟X線実験装置を用いたAl薄膜の透過像撮像

    羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　55th　(2)　2008年

  48. 多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計-試作とテスト実験-

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　2008年

  49. 高安定イオンビームスパッタリング成膜による炭素の窓用多層膜の作製

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　2008年

  50. レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3の開発 2

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　68th　(2)　712　2007年9月4日

  51. 軟X線実験室顕微鏡用の多層膜結像鏡開発

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    Photon Factory News　25　(2)　28-32　2007年8月

    ISSN： 0916-0604

  52. ビーム応用

    羽多野 忠

    應用物理　76　(6)　657-658　2007年6月10日

    ISSN： 0369-8009

  53. レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発

    江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　54th　(2)　755　2007年3月27日

  54. 極紫外シュバルツシルト対物鏡の波長マッチング

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　54th　(2)　2007年

  55. 実験室極紫外顕微鏡用多層膜鏡の波長マッチング

    原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　68th　(2)　2007年

  56. Ru capping film on Mo/Si multilayers for EUV lithography

    Tadashi MATSUO, Kyoko Sakai, Tadashi HATANO, Mihiro YANAGIHARA

    Photon Factory Activity Report 2006 Part B　24　116　2007年

  57. 疑似球面ホルダーを用いた球面基板用膜厚分布制御パラメーター導出

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　53rd　(2)　2006年

  58. 28aPS-4 Fe/Si磁性多層膜のFe L_<2,3> MCDスペクトル(28aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))

    菅原 真幸, 佐藤 功典, 羽多野 忠, 豊田 光紀, 柳原 美広

    日本物理学会講演概要集　61　(0)　724-724　2006年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

    DOI： 10.11316/jpsgaiyo.61.1.4.0_724_4 　

    ISSN： 1342-8349

  59. Soft X-ray MCD Studies on Interfaces in Fe/Si Multilayers

    Masaki Sugawara, Kosuke Sato, Tadashi Hatano, Mitsunori Toyoda, Mihiro Yanagihara

    KEK Proceedings　(Mar-06)　48-52　2006年

  60. Fe L2,3 MCD Spectra from Fe/Si Multilayers

    M. Sugawara, K. Sato, T. Hatano, M. Toyoda, M. Yanagihara

    Photon Factory Activity Report 2005 Part B　#23　125　2006年

  61. 軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価

    浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　66th　(2)　558　2005年9月7日

  62. ECRイオンガンのビーム強度不安定性と電源電圧変動との相関

    原田哲男, 清水俊明, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　66th　(2)　2005年

  63. Multilayer Mirrors for X-rays

    山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英, 柳原美廣

    機械の研究　57　(1)　74-81　2005年

  64. 全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性

    江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　65th　(2)　601　2004年9月1日

  65. 極紫外狭帯域分光フィルター用Mo/Si高次多層膜鏡の開発

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　65th　(2)　2004年

  66. 極紫外用三角交差光路干渉計の光学設計

    羽多野忠, 関山健太郎, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　50th　(2)　2003年

  67. 極紫外用三角交差光路干渉計のシアリング型縞解析

    原田哲男, 羽多野忠, 関山健太郎, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　50th　(2)　2003年

  68. 新型極紫外シアリング干渉計による形状計測のための縞形成と解析法の検討

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　64th　(3)　2003年

  69. 31aYF-6 Co/Pt 磁性多層膜の軟 X 線ファラデー回転分光 (II)

    斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 荒井 彰, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集　58　(0)　737-737　2003年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

    DOI： 10.11316/jpsgaiyo.58.1.4.0_737_2 　

  70. シリコンウエハーの薄膜作製

    荒井彰, 田中勇, 鈴木昭夫, 柏原守好, 新田健一, 佐藤二美, 羽多野忠, 渡辺誠, 鈴木正よし

    東京大学総合技術研究会技術報告集 平成15年　1.54-1.56　2003年

  71. The 6th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures

    羽多野 忠

    放射光　15　(4)　60-61　2002年7月31日

    ISSN： 0914-9287

  72. Ni のM2,3吸収端近傍における磁気カー回転測定

    斉藤勝彦, 井桁光昭, 江島丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    UVSOR 活動報告書　128-128　2002年4月

  73. コロジオン膜上のCo/Pt多層膜の極紫外ファラデー回転スペクトル

    井桁光昭, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    UVSOR 活動報告書　152-153　2002年4月

  74. 17aRG-6 Co/Pt多層膜の軟X線ファラデー回転分光

    井桁 光昭, 斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集　56　(0)　575-575　2001年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

    DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.2.4.0_575_4 　

    ISSN： 1342-8349

    eISSN： 2189-0803

  75. レーザープラズマ軟X線光源に対するイメージングプレートの感度特性

    原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　62nd　(2)　2001年

  76. レーザープラズマ光源用の高NA多層膜集光鏡の開発

    羽多野忠, 窪田昭吾, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　62nd　(2)　2001年

  77. 28aXA-7 軟X線磁気力-回転測定装置の開発

    斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 井桁 光昭, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集　56　(0)　661-661　2001年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

    DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.1.4.0_661_2 　

  78. Development of Magnetic Kerr Rotation Apparatus in the 50-70 eV Region

    K. Saito, M. Igeta, T. Ejima, T. Hatano, M. Watanabe

    UVSOR Activity Report 2000　124-125　2001年

  79. Efficiency and Polarization Performance of a Multilayer-coated Laminar Grating in the 6.5-6.9-nm Wavelength Region

    S. Ishikawa, T. Imazono, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Watanabe

    Photon Factory Activity Report: Part B　18　282-282　2001年

  80. He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発

    羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　61st　(2)　581　2000年9月3日

  81. 24pYC-4 軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定

    高谷 典子, 塩沢 秀次, 高山 泰弘, 宮原 恒あき, 台 仁忠, 並河 一道, 波多野 忠, 岡本 渉, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集　54　(2)　634-634　1999年9月3日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本物理学会

    ISSN： 1342-8349

  82. 31a-YM-6 Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果

    羽多野 忠, 胡 衛兵, 山本 正樹, 渡邊 誠

    日本物理学会講演概要集　53　(1)　194-194　1998年3月10日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本物理学会

    ISSN： 1342-8349

  83. ヤングの干渉計をもちいたエミッタンス測定

    高山泰弘, 宮原恒あき, 篭島靖, 羽多野忠, 岡本渉, 台仁忠

    KEK Proc　(97-20)　251-259　1998年1月

  84. 26a-YP-10 Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果II

    羽多野 忠, 胡 衛兵, 斉藤 勝彦, 渡邊 誠

    日本物理学会講演概要集　53　(0)　226-226　1998年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

    ISSN： 1342-8349

  85. 透過型多層膜を用いた軟X線偏光分光法 I

    羽多野忠, 山本正樹, 渡辺誠, HU W

    日本物理学会講演概要集(分科会)　1997　196　1997年9月

  86. 放射光の空間コヒーレンスの測定 III

    高山泰弘, 羽多野忠, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

    日本物理学会講演概要集(年会)　52　(1 Pt 2)　192　1997年3月

    ISSN： 1342-8349

  87. 28p-YC-2 放射光の空間コヒーレンスの測定III

    高山 泰弘, 羽多野 忠, 岡本 渉, 宮原 恒あき, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集　52　(0)　192-192　1997年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

    ISSN： 1342-8349

  88. 5a-G-1 透過型多層膜を用いた軟X線偏光分光法 I

    羽多野 忠, 胡 衛兵, 山本 正樹, 渡邊 誠

    日本物理学会講演概要集　52　(0)　196-196　1997年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

    ISSN： 1342-8349

  89. 放射光の空間コヒーレンスの測定 II

    高山泰弘, 羽多野忠, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

    日本物理学会講演概要集(分科会)　1996　(Autumn Pt 2)　297　1996年9月

  90. 放射光の空間コヒーレンスの測定 I

    羽多野忠, 高山泰弘, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

    日本物理学会講演概要集(分科会)　1996　(Autumn Pt 2)　296　1996年9月

  91. Gd‐Co,Gd‐Ni合金の内殻励起磁気円二色性

    羽多野忠, 朴成烈, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

    日本放射光学会年会予稿集　9th　64　1996年1月

  92. 放射光の空間コヒーレンスの測定I

    羽多野 忠, 高山 泰弘, 岡本 渉, 宮原 恒〓, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　1996　(0)　296-296　1996年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  93. 放射光の空間コヒーレンスの測定II

    高山 泰弘, 羽多野 忠, 岡本 渉, 宮原 恒〓, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　1996　(0)　297-297　1996年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  94. フェリ磁性的Gd‐Co合金の内殻励起磁気円二色性

    羽多野忠, PARK S Y, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

    日本物理学会講演概要集(分科会)　1995　(Autumn Pt 2)　241　1995年9月

  95. Gd‐Ni合金の内殻励起磁気円二色性

    PARK S Y, 羽多野忠, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

    日本物理学会講演概要集(分科会)　1995　(Autumn Pt 2)　241　1995年9月

  96. 27p-W-7 Gd-Ni合金の内殻励起磁気円二色性

    朴 成烈, 羽多野 忠, 高山 泰弘, 羽生 隆昭, 宮原 恒〓

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　1995　(0)　241-241　1995年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  97. 27p-W-8 フェリ磁性的Gd-Co合金の内殻励起磁気円二色性

    羽多野 忠, 朴 成烈, 高山 泰弘, 羽生 隆昭, 宮原 恒〓

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　1995　(0)　241-241　1995年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  98. CuClのZ3励起子構造の赤外二光子分光

    斎藤恵吾, 羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(年会)　49th　(2)　233　1994年3月

    ISSN： 1342-8349

  99. 31a-H-1 CuClのZ_3励起子構造の赤外二光子分光

    齋藤 恵吾, 羽多野 忠, 蓮尾 昌裕, 長澤 信方

    日本物理学会講演概要集. 年会　49　(0)　233-233　1994年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  100. CuClのZ3縦波励起子の赤外二光子分光

    羽多野忠, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(分科会)　1993　(Autumn Pt 2)　309　1993年9月

  101. 励起子の励起子分子生成反応断面積の評価

    羽多野忠, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(年会)　48th　(2)　283　1993年3月

    ISSN： 1342-8349

  102. 15a-DC-10 CuClのZ_3縦波励起子の赤外二光子分光

    羽多野 忠, 長澤 信方

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会　1993　(0)　309-309　1993年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  103. 1a-Q-3 励起子の励起子分子生成反応断面積の評価

    羽多野 忠, 長澤 信方

    日本物理学会講演概要集. 年会　48　(0)　283-283　1993年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  104. 縦波励起子の二光子励起に伴う励起子分子の生成

    羽多野忠, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(分科会)　1992　(Autumn Pt 2)　270　1992年9月

  105. 27a-ZE-15 縦波励起子の二光子励起に伴う励起子分子の生成

    羽多野 忠, 長澤 信方

    秋の分科会予稿集　1992　(0)　270-270　1992年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  106. CuCl励起子分子発光および高次非線形発光の空間特性

    羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(年会)　46th　(2)　262　1991年9月

    ISSN： 1342-8349

  107. 30a-A-8 CuCl励起子分子発光および高次非線形発光の空間特性

    羽多野 忠, 蓮尾 昌裕, 長澤 信方

    年会講演予稿集　46　(0)　262-262　1991年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

  108. CuCl Z3励起子帯高密度励起による高次非線形発光

    蓮尾昌裕, 羽多野忠, 長沢信方

    日本物理学会秋の分科会講演予稿集　1990　(2)　217　1990年10月

  109. CuCl Z3励起子帯高密度励起による高次非線形発光 空間特性

    羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

    日本物理学会秋の分科会講演予稿集　1990　(2)　216　1990年10月

  110. 3a-B-8 CuCl励起子分子二光子吸収スペクトルの空間依存性

    羽多野 忠, 長澤 信方, 蓮尾 昌裕, 森永 実

    秋の分科会予稿集　1989　(0)　191-191　1989年

    出版者・発行元： 一般社団法人 日本物理学会

︎全件表示 ︎最初の5件までを表示

講演・口頭発表等 152

  1. 2~4keV領域軟X線高分解能平面結像型ラミナー型多層膜球面回折格子分光器の設計

    小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフアレキサンダー, 大上裕紀, 垣尾翼, 近藤公伯, 寺内正己

    第38回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2025年1月11日

  2. Design of Soft X-Ray Flat-Field Grating Spectrometer Equipped with a Laminar-Type Sherical Gratings having a High-Groove-Density Varied-Line-Spacing (VLS) Grooves that Achieves High Resolution and Graded-Refractive-Index (GRI) Multilayer Coating that Exhibits High Diffraction Efficiency in the 2–4 keV Region

    M.Koike, T.Hatano, A.S.Pirozhkov, T.Murano, Y.Oue, S.Koshiya, T.Kakio, M.Terauchi

    8th QST International Symposium　2024年11月14日

  3. 1-2keV領域で高効率を呈する軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計と平面結像型球面回折格子分光器への応用

    小池雅人, ピロジコフ S. アレキサンダー, 羽多野忠, 大上裕紀, 垣尾翼, 寺内正己

    第60回X線分析討論会　2024年11月1日

  4. 250～550 eV領域において高回折効率とspectral fluxを呈する軟X線平面結像型分光器用のAu/Niラミナー型回折格子の設計

    小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフ S. アレキサンダー, 大上裕紀, 村野孝訓, 垣尾翼, 越谷翔悟, 寺内正己

    第85回応用物理学会秋季学術講演会　2024年9月16日

  5. Ultrabright BISER coherent x-ray source — Towards quantum imaging of macro-molecules

    A. S. Pirozhkov, T. A. Pikuz, S. Namba, A. Sagisaka, K. Ogura, E. A. Vishnyakov, Ko. Kondo, K. Huang, N. Nakanii, A. Kon, Y. Miyasaka, A. Bierwage, Y.‐K. Liu, S. Lorenz, C.‐E. Lin, M. Nevrkla, J. Šišma, T. Wei, J. K. Koga, P. Chen, G. M. Grittani, M. Koike, T. Hatano, T. Zh. Esirkepov, H. Kiriyama, S. V. Bulanov, M. Kando

    7th QST International Symposium　2024年7月24日

  6. Enhancement of diffraction efficiency and spectral flux with quasi-graded index coating (QGIC) on soft X-ray laminar-type diffraction gratings optimized for B-K and Li-K emissions

    M.Koike, T.Hatano, A.S.Pirozhkov, T.Murano, Y.Oue, S.Koshiya, T.Kakio, M.Terauchi

    7th QST International Symposium　2024年7月24日

  7. B-KおよびLi-K発光用の軟X線回折格子の傾斜屈折率分布膜による回折効率の向上

    小池雅人, 羽多野忠, Pirozhkov Alexander, 寺内正己, 越谷翔悟, 村野孝訓, 垣尾翼, 林信和, 大上裕紀, 小西健太, 長野哲也

    日本顕微鏡学会第80回学術講演会　2024年6月4日

  8. 2~4keV領域軟X線高分散高回折効率傾斜屈折率スーパーミラー型多層膜回折格子の設計

    小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

    第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2024年1月12日

  9. 多層膜回折格子による軟X線ビームスプリッターの検討

    江島丈雄, 羽多野忠

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2023年

  10. 軟X線スーパーミラー型高回折効率高分解能回折格子の設計

    小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

    第58回X線分析討論会　2022年11月11日

  11. 真空紫外/軟X線ラミナー型回折格子への低消衰透明膜のオーバーコートによる回折効率の向上

    小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

    日本分光学会年次講演会　2022年10月13日

  12. 2〜4keV領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計(II)

    小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

    第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022年9月21日

  13. Li-K発光対応高spectral fluxラミナー型回折格子の設計

    小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己

    日本顕微鏡学会第78回学術講演会　2022年5月11日

  14. 1-5 keV 軟X線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作

    羽多野忠, 今園孝志, 江島丈雄

    第69回応用物理学会春季学術講演会　2022年3月24日

  15. 1~2 keV領域高spectral flux軟Ｘ線ラミナー型多層膜回折格子の設計と評価

    小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフ アレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己

    第69回応用物理学会春季学術講演会　2022年3月24日

  16. 刻線密度 3200 本/mm 軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作と W/C 多層膜による回折効率増大

    羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

    第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2022年1月8日

  17. 極端紫外（ＥＵＶ）域低入射角高回折効率ラミナー型回折格子の開発

    小池雅人, 村野孝訓, 越谷翔悟, 羽多野忠, ピロジ コフ S. アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 長野哲也, 寺内正己

    第57回Ｘ線分析討論会　2021年11月6日

  18. 低入射角・高回折効率ラミナー型回折格子の開発とボロン K 発光分析への応用

    羽多野忠, 小池雅人, Alexander S. Pirozhkov, 西原弘晃, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

    Optics & Photonics Japan 2021　2021年10月29日

  19. 極端紫外（ＥＵＶ）域広開口高回折効率ラミナー型回折格子の開発

    小池雅人, 羽多野忠, 村野孝訓, 越谷翔悟, ピロジコフ S.アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 長野哲也, 寺内正己

    2021年日本分光学会年次講演会　2021年10月15日

  20. Fe L 発光対応高刻線密度ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

    羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

    第82回応用物理学会秋季学術講演会　2021年9月10日

  21. 刻線密度 3200 本/mm の軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作と評価

    羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

    第68回応用物理学会春季学術講演会　2021年3月18日

  22. keV 領域多層膜回折格子のための多層膜開発

    羽多野忠, 江島丈雄

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2021年1月9日

  23. 軟X線励起蛍光におけるSTED現象

    江島丈雄, 若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 羽多野忠, 東口武史

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2021年1月9日

  24. Fe-L (705 eV) 発光対応高回折効率・広受光角ラミナー型多層膜回折格子の製作と評価

    小池雅人, 羽多野忠, 寺内正己, Pirozhkov Alexander, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

    日本顕微鏡学会第76回学術講演会　2020年5月26日

  25. 2~4 keV 領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計

    小池雅人, 上野良弘, 羽多野忠, ピロジコフ・アレキサンダー, 寺内正己

    第67回応用物理学会春季学術講演会　2020年3月14日

  26. 可変偏角分光器の誤差補正とエネルギー領域の拡張

    羽多野忠

    第67回応用物理学会春季学術講演会　2020年3月14日

  27. 300 eV~1.3 keV における各種シンチレータの発光特性

    江島丈雄, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

    第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2020年1月12日

  28. 3d 遷移金属 L 発光高感度分光計測のためのラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

    羽多野忠, 小池雅人, 寺内正己, Alexander S. Pirozhkov, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

    第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2020年1月11日

  29. 波長 100 nm VUV 直入射ミラーの作製と反射率計測

    羽多野忠, 松田欣之, 江島丈雄, 中村永研

    第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2020年1月11日

  30. ボロンK発光対応増反射膜付加高回折効率軟X線ラミナー型回折格子の開発

    小池 雅人, 羽多野 忠, 寺内 正己, ピロジコフ S アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第55回X線分析討論会　2019年10月30日

  31. Design of valid line spacing holographic grating with high groove density and multilayered laminar-type grooves for flat field spectrometer optimized for 200‒900 eV region

    Masato Koike, Tadashi Hatano, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

    The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics　2019年10月25日

  32. LaF3- and La/C-coated high efficiency laminar-type diffraction gratings for B K-emission spectroscopy

    Tadashi Hatano, Masato Koike, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Hiroaki Nishihara, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

    The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics　2019年10月25日

  33. Luminescence properties of scintillators in the energy region from 300 eV to 1.3 keV

    Takeo Ejima, Shunsuke Kurosawa, Akihiro Yamaji, Tadashi Hatano, Toshitaka Wakayama, Takeshi Higashiguchi, Mamoru Kitaura

    The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics　2019年10月25日

  34. 200～900 eV域対応高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型Ｗ/Ｃ多層膜回折格子の設計(II)

    小池 雅人, 羽多野 忠, 寺内 正己, ピロジコフ アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第80回応用物理学会秋季学術講演会　2019年9月19日

  35. 200–900 eV域対応高回折効率・広受光角ラミナー型W/C多層膜回折格子の製作と評価

    羽多野 忠, 小池 雅人, 寺内 正己, ピロジコフ アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第80回応用物理学会秋季学術講演会　2019年9月19日

  36. Design of soft X-ray high diffraction efficiency diffraction gratings employing a hybrid multilayer structure in a wide energy range of 200‒900 eV

    M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, M. Terauchi, N. Hayashi, H. Sasai, T. Nagano

    The 40th International Conference on Vacuum Ultraviolet and X-ray Physics　2019年7月

  37. Fe-K (705 eV)対応高回折効率・広帯域軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計

    小池 雅人, 羽多野 忠, Pirozhikov Alexander, 寺内 正己, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    日本顕微鏡学会第75回学術講演会　2019年6月

  38. Recent Progresses in Soft X-ray Emission Spectroscopy 招待有り

    M. Terauchi, T. Hatano, M. Koike, Alexander S. Pirozhkov, H. Sasai, T. Nagano, M. Takakura, T. Murano

    16th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis　2019年5月23日

  39. ビスマスプラズマ水の窓軟X線源の開発 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般)

    川崎 太夢, 島田 悠太, 難波 慎一, 佐々木 明, 錦野 将元, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 東口 武史

    電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan　2019年5月17日

  40. ホウ素-K発光分光のための酸化物膜付加による高回折効率ラミナー型回折格子

    小池 雅人, 羽多野 忠, Pirozhikov S. Alexander, 寺内 正己, 浮田 龍一, 西原 弘晃, 笹井 浩行, 長野 哲也

    2019年度日本分光学会年次講演会　2019年5月

  41. 酸化物膜付加ボロンK発光(183 eV)対応軟X線ラミナー型回折格子の回折効 率評価

    小池 雅人, 羽多野 忠, ピロジコフ アレキサンダー, 寺内 正己, 浮田 龍一, 西原 弘晃, 笹井 浩行, 長野 哲也

    2018年度量子ビームサイエンスフェスタ　2019年3月12日

  42. 200～900 eV域対応高回折効率軟X線Ｗ/Ｃ多層膜ラミナー型回折格子の設計

    小池 雅人, 羽多野 忠, アレキサンダー ピロジコフ, 寺内 正己, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第66回応用物理学会春季学術講演会　2019年3月10日

  43. ボロンK発光(183 eV)分光計測のための酸化物膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発

    小池 雅人, 寺内 正己, 羽多野 忠, 高橋 秀之, 村野 孝訓, 高倉 優, 長野 哲也, 笹井 浩行, 西原 弘晃

    第3回応用物理学会関西支部講演会　2019年2月15日

  44. ボロンK-発光高感度分光計測のためのランタン膜付加高効率回折格子の開発

    羽多野 忠, 小池 雅人, 西原 弘晃, Alexander S. Pirozhkov, 寺内 正己, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2019年1月10日

  45. 低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性

    原広行, 川崎太夢, 田村賢紀, 羽多野忠, 江島丈雄, JIANG Weihua, 大橋隼人, 難波愼一, 砂原淳, 佐々木明, 錦野将元, O’SULLIVAN Gerry, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018年9月5日

  46. ボロンK発光分光計測のための反射増加膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計指針

    小池雅人, 羽多野忠, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018年9月5日

  47. BiターゲットLPP光源を用いた軟X線顕微鏡CXRM

    江島丈雄, 小野祐一, 伊藤圭祐, 川崎大夢, 羽多野忠, 刀祢重信, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018年9月5日

  48. ボロンK発光分光計測のためのランタン膜付加高回折効率・広受光角ラミナー型回折格子の製作と評価

    羽多野忠, 小池雅人, 西原弘晃, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018年9月5日

  49. SX‐STED用シンチレーターの探索

    江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018年9月5日

  50. Development of laboratory-type soft X-ray microscope, CXRM, in Water-window using LPP light source 国際会議

    Takeo Ejima, Yuichi Ono, Keisuke Ito, Hiromu Kawasaki, Takeshi Higashiguchi, Shigenobu Tone, Tadashi Hatano

    14th International conference on x-ray microscopy　2018年8月22日

  51. Quantum efficiency of back-illuminated CMOS sensor with 1.4×1.4 µm2 pixel size 国際会議

    Takeo Ejima, Tadashi Hatano

    14th International conference on x-ray microscopy　2018年8月20日

  52. Cr/Sc/Mo multilayer mirror for illuminator optics in water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources 国際会議

    Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Yuichi Ono, Thanh-Hung Dinh, Toshiki Tamura, Keigo Maeda, Hiroyuki Hara, Takeshi Higashiguchi

    13th International conference on synchrotron radiation instrumentation　2018年6月13日

  53. Enhancement of diffraction efficiency and spectral flux of laminar-type diffraction gratings coated with Ni/La/C layers in soft X-ray region 国際会議

    Tadashi Hatano, Masato Koike, Hiroaki Nishihara, Alexander S. Pirozhkov, Masami Terauchi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

    13th International conference on synchrotron radiation instrumentation　2018年6月11日

  54. ピクセルサイズ1.4×1.4μm2の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率

    江島丈雄, 羽多野忠

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018年3月5日

  55. 材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション

    錦野将元, 石野雅彦, DINH T‐H, 長谷川登, FAENOV A, PIKUZ T, 市丸智, 木下博雄, 坂上和之, 東口武史, 犬伏雄一, 今亮, 大和田成起, 羽多野忠, 鷲尾方一, 末元徹, 河内哲哉

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018年3月5日

  56. ホウ素‐K発光分光のための酸化物膜付加による高回折効率広受光角ラミナー型回折格子

    小池雅人, 羽多野忠, ALEXANDER Pirozhkov S, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

    X線分析討論会講演要旨集　2017年10月26日

  57. 水の窓軟X線領域で高繰り返し動作可能なターゲット元素の選定

    東口武史, 田村賢紀, 小野祐一, 原広行, 近藤芳希, 荒居剛己, JIANG W, 羽多野忠, 江島丈雄

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年8月25日

  58. Photon Factory BL‐11Dの波長13.5nmにおける2次光評価

    羽多野忠

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年8月25日

  59. 超短パルス軟X線レーザー照射によるアブレーション

    石野雅彦, HUNG Dinh Thanh, FAENOV Anatory, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 河内哲哉, 木下博雄, 今亮, 坂上和之, 末元徹, PIKUZ Tatiana, 保智己, 錦野将元, 長谷川登, 羽多野忠, 東口武史, 鷲尾方一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年8月25日

  60. 水の窓軟X線顕微鏡による高分解能撮像に向けて

    東口武史, 小野祐一, 田村賢紀, CHEN W, 小倉拓人, 原広行, 近藤芳希, 若山俊隆, 羽多野忠, 江島丈雄

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年8月25日

  61. フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション

    市丸智, 錦野将元, 石野雅彦, 木下博雄, 犬伏雄一, 東口武史, 鷲尾方一, 坂上和之, 大和田成起, 羽多野忠, 畑山雅俊, 大知渉之, HUNG Dinh Thanh, 今亮, 原広行, 山内駿, 小倉拓人, 篠崎夏美, 小柴裕也, 高橋孝, 西留武宏, 奥哲

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年8月25日

  62. ボロンK発光分光計測のための酸化物膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子

    小池雅人, 羽多野忠, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年8月25日

  63. フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究

    坂上和之, 石野雅彦, 井谷俊郎, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 小倉拓人, 木下博雄, 小柴裕也, 今亮, SANTILLAN Julius Joseph, 篠崎夏美, 高橋孝, 田村賢紀, HUNG Dinh Thanh, 錦野将元, 西留武宏, 羽多野忠, 原広行, 東口武史, 山内駿, 鷲尾方一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年8月25日

  64. ピクセルサイズ1.4×1.4μm2の背面照射型軟X線撮像素子の開発

    江島丈雄, 羽多野忠

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年8月25日

  65. 波長4nm軟X線用Cr/Sc/Mo多層膜コンデンサーミラーの開発

    羽多野忠, 江島丈雄

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年3月1日

  66. ボロンK発光分光計測のためのランタン(La)系膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計

    小池雅人, PIROZHKOV Alexander, 羽多野忠, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017年3月1日

  67. ボロン‐K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子

    小池雅人, 羽多野忠, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也

    X線分析討論会講演要旨集　2016年10月12日

  68. PF BL‐11Dにおける5‐10nm領域の回折格子の回折効率評価

    羽多野忠, 小池雅人, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016年9月1日

  69. 波長4.0nm斜入射ミラー用Cr/Sc/Mo多層膜の開発

    羽多野忠, 江島丈雄

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016年9月1日

  70. PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光

    羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016年3月3日

  71. 波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016年3月3日

  72. レーザー生成Biプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

    近藤芳希, DINH Thanh Hung, 小野祐一, 荒居剛己, 原広行, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016年3月3日

  73. レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

    近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2015年8月31日

  74. 炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測

    羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2015年1月10日

  75. Photon Factory BL‐11Dの直線偏光度

    羽多野忠

    物構研サイエンスフェスタ要旨集　2015年

  76. 多層膜ミラーを用いた回折格子分光器の高次光解析法

    羽多野忠, 原田哲男

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2014年9月1日

  77. PF BL‐11D分光器のフルレンジ駆動ソフトウェア

    羽多野忠

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2013年8月31日

  78. 波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2013年8月31日

  79. BL‐11D可変偏角分光器のデフォーカス除去調整とフルレンジエネルギースキャン

    羽多野忠

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2013年1月12日

  80. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣

    応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　2012年12月6日

  81. PF BL‐11D後置集光鏡システムの集光性能評価

    内田健太郎, 相原翔学, 羽多野忠, 津留俊英

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2012年2月29日

  82. 曲面ミラー反射率計測ビームラインPF BL‐11D

    羽多野忠, 相原翔学, 伊藤健二, 菊地貴司

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2012年2月29日

  83. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2012年2月29日

  84. 極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較

    根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2012年1月6日

  85. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2012年

  86. 軟X線結像鏡収差計測のための光学設計

    内田健太郎, 津留俊英, 羽多野忠

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2011年

  87. シャッター速度制御方式による急勾配成膜技術

    相原翔学, 羽多野忠

    応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　2010年11月22日

  88. 多層膜ミラーの周期数による反射位相制御

    津留俊英, 羽多野忠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2010年8月30日

  89. 汎用軟X線実験装置を用いたヤングの干渉縞観測

    小笠原承道, 梅津裕生, 羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2010年3月3日

  90. 軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測用密着ダブルスリット付きミリング多層膜の作製

    津留俊英, 酒井優, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2010年3月3日

  91. 放射光を用いた軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測

    羽多野忠, 小笠原承道, 梅津裕生, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2010年3月3日

  92. シャッター速度制御方式による非球面成膜形成法の開発

    相原翔学, 羽多野忠

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2010年

  93. 薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発

    羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2010年

  94. 多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広

    PFシンポジウム要旨集　2010年

  95. 反射配置のヤングの干渉計による極紫外多層膜ミラーの位相操作効果の計測

    羽多野忠, 小笠原承道, 梅津裕生, 酒井優, 津留俊英

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009年12月10日

  96. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計‐II

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009年12月10日

  97. 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

    豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2009年9月8日

  98. シャッター速度制御方式による非球面成分の成膜形成

    相原翔学, 羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2009年9月8日

  99. 多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計―II

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2009年9月8日

  100. 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

    豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

    光学シンポジウム講演予稿集　2009年7月2日

  101. 軟X線多層膜ミラーの指定領域波面補正イオンミリング

    津留俊英, 酒井優, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2009年3月30日

  102. 多層膜表面ミリングによる反射位相変化の軟X線干渉計測

    小笠原承道, 梅津裕生, 羽多野忠, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2009年

  103. 放射光を用いた反射率測定の現状と将来展望―理研仁科SR2における反射率測定ビームライン建設に向けて―フォトンファクトリーの光学素子評価ビームラインと光学素子評価装置

    羽多野忠

    放射光を用いた反射率測定の現状と将来展望-理研仁科SR2における反射率測定ビームライン建設に向けて 平成21年度 理研シンポジウム　2009年

  104. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一, 矢野陽子

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009年

  105. LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009年

  106. 傾斜周期膜厚(laterally graded)構造をもつX線多層膜ポリクロメーターの開発

    羽多野忠, 原田哲男, 松下正, 荒川悦雄, 東保男

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009年

  107. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーター用楕円形状基板の開発

    荒川悦雄, 東保男, 羽多野忠, 原田哲男, 松下正

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009年

  108. 高安定イオンビームスパッタリング成膜による炭素の窓用多層膜の作製

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2008年9月2日

  109. レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3の開発 3

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2008年9月2日

  110. 炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発

    原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2008年9月2日

  111. 多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計―試作とテスト実験―

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2008年9月2日

  112. 回折格子の実測VLSパラメーターに基づく軟X線実験室分光反射率計の配置最適化

    中島将, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2008年3月27日

  113. 軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発

    原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2008年3月27日

  114. 汎用軟X線実験装置を用いたAl薄膜の透過像撮像

    羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2008年3月27日

  115. 極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率

    江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2008年3月27日

  116. 実験室極紫外顕微鏡用多層膜鏡の波長マッチング

    原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2007年9月4日

  117. レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3の開発 2

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2007年9月4日

  118. 極紫外シュバルツシルト対物鏡の波長マッチング

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2007年3月27日

  119. レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発

    江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2007年3月27日

  120. 疑似球面ホルダーを用いた球面基板用膜厚分布制御パラメーター導出

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2006年3月22日

  121. 28aPS-4 Fe/Si磁性多層膜のFe L_<2,3> MCDスペクトル(28aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))

    菅原 真幸, 佐藤 功典, 羽多野 忠, 豊田 光紀, 柳原 美広

    日本物理学会講演概要集　2006年

  122. 水の窓領域の多層膜結像鏡評価のための実験室分光反射率計の光学設計

    羽多野忠, 近藤祐治, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2005年9月7日

  123. ECRイオンガンのビーム強度不安定性と電源電圧変動との相関

    原田哲男, 清水俊明, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2005年9月7日

  124. 軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価

    浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2005年9月7日

  125. 軟X線結像用の精密多層膜鏡の開発

    羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2005年3月29日

  126. 全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性

    江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2004年9月1日

  127. 極紫外狭帯域分光フィルター用Mo/Si高次多層膜鏡の開発

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2004年9月1日

  128. 新型極紫外シアリング干渉計による形状計測のための縞形成と解析法の検討

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2003年8月30日

  129. 極紫外用三角交差光路干渉計のシアリング型縞解析

    原田哲男, 羽多野忠, 関山健太郎, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2003年3月27日

  130. 極紫外用三角交差光路干渉計の光学設計

    羽多野忠, 関山健太郎, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2003年3月27日

  131. 31aYF-6 Co/Pt 磁性多層膜の軟 X 線ファラデー回転分光 (II)

    斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多 野忠, 荒井 彰, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集　2003年

  132. 磁場を用いた固体ターゲットLPP光源のデブリ除去効果

    神田剛, 羽多野忠, 古舘三七二, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2002年3月27日

  133. イオンビームスパッタリング成膜におけるSiの膜厚分布とMoの膜厚分布

    窪田昭吾, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2002年3月27日

  134. レーザープラズマ光源用の高NA多層膜集光鏡の開発

    羽多野忠, 窪田昭吾, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2001年9月11日

  135. レーザープラズマ軟X線光源に対するイメージングプレートの感度特性

    原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2001年9月11日

  136. イオンビームスパッタリング法で成膜したMo/Si多層膜の曲面基板上膜厚分布

    羽多野忠, 窪田昭吾, 山本正樹, 宮田登

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2001年3月28日

  137. レーザー生成プラズマ光源Sn固体ターゲットからのデブリ量の速度分布

    関山健太郎, 羽多野忠, 神田剛, 古舘三七二, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2001年3月28日

  138. 28aXA-7 軟X線磁気力-回転測定装置の開発

    斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 井桁 光昭, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集　2001年

  139. 17aRG-6 Co/Pt多層膜の軟X線ファラデー回転分光

    井桁 光昭, 斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集　2001年

  140. He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発

    羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2000年9月3日

  141. 軟X線(~184eV)用多層膜回折格子の作製と評価

    石川禎之, 今園孝志, 柳原美広, 羽多野忠, 渡邊誠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　2000年9月3日

  142. 直径100mm基板上のMo/Si多層膜のスパッタ膜厚制御

    梅津裕生, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2000年3月28日

  143. 軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定

    高谷典子, 塩沢秀次, 高山泰弘, 宮原恒あき, TAI R Z, 並河一道, 羽多野忠, 岡本渉, 篭島靖

    日本物理学会講演概要集　1999年9月3日

  144. 高NA用のレーザー生成プラズマ光源デブリ除去装置

    山本正樹, 古舘三七二, 羽多野忠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　1999年9月1日

  145. Sc/Cr多層膜偏光子を用いた偏向部ビームラインの直線偏光度測定

    羽多野忠, 坂野究, 柳原美広, 山本正樹

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　1999年1月7日

  146. NiおよびCo薄膜のM吸収端におけるファラデー効果

    羽多野忠, 胡衛兵, 斉藤勝彦, 渡辺誠

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　1999年1月7日

  147. 24pYC-4 軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定

    高谷 典子, 塩沢 秀次, 高山 泰弘, 宮原 恒あき, 台 仁忠, 並河 一道, 波多野 忠, 岡本 渉, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集　1999年

  148. Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果 II

    羽多野忠, HU W, 斉藤勝彦, 渡辺誠

    日本物理学会講演概要集　1998年9月5日

  149. 水の窓領域の高反射率多層膜鏡の開発

    坂野究, 羽多野忠, 古館三七二, 堀田善文, 梅津裕生, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集　1998年9月

  150. Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果

    羽多野忠, HU W, 山本正樹, 渡辺誠

    日本物理学会講演概要集(年会)　1998年3月

  151. 軟X線ファラデー回転分光法の開発

    胡衛兵, 羽多野忠, 山本正樹, 渡辺誠

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　1998年1月9日

  152. 3a-B-8 CuCl励起子分子二光子吸収スペクトルの空間依存性

    羽多野 忠, 長澤 信方, 蓮尾 昌裕, 森永 実

    秋の分科会予稿集　1989年

︎全件表示 ︎最初の5件までを表示

共同研究・競争的資金等の研究課題 8

  1. 1-5 keV 全域でブラッグ条件を満たす高出力多層膜回折格子分光器の開発

    羽多野 忠, 小池 雅人, 江島 丈雄

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関：Tohoku University

    2019年4月1日 ～ 2022年3月31日

  2. 軟X線定在波を用いた磁気円二色性による磁性多層膜界面の評価

    柳原 美廣, 北上 修, 江島 丈雄, 羽多野 忠

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関：Tohoku University

    2006年 ～ 2007年

    詳細を見る 詳細を閉じる

    Fe/Si磁性多層膜は、厚さ1nmほどの拡散層があるにもかかわらず、反強磁性層間結合が強く現れる系として注目されている。しかし、そのメカニズムについてはまだ決着が付いていない。本研究では、1)軟X線定在波を利用した内殻吸収磁気円二色性(MCD)によって界面近傍のFe 3d電子の磁気的状態深さ分割して決定し、界面の磁性状態を解明する、2)その結果と、軟X線発光分光から得られる界面拡散層の化学結合状態を比較し、磁性状態と拡散の関連を議論する、3)また以上より、量子波干渉モデルも含めてFe/Si多層膜の強い反強磁性結合の起源を明らかにすること、の3点を研究の目的とした。その結果、Fe/Si多層膜の拡散層では、Fe層に続く強磁性Fe_3Si層の中でスピン、軌道各磁気モーメントが界面異方性により増大していることを確かめた。また、とりわけ反強磁性結合した試料では、Fe_3Si層のより内側の、すなわち、非磁性のFeSi、あるいはFeSi_2層に近い領域で磁気モーメントが増大していることを初めて見出した。これは、スペーサー層(FeSi層とFeSi_2層)を真ん中にして向かい合ったFe_3Si層が、いずれも内側の境界一杯まで強く磁化していることを示している。このことは、実質的に極めて薄いスペーサー層を介してFe_3Si層間に強い反強磁性結合が出現しているとみなすことができる。したがって、これらは、量子波干渉モデルで理解するのが最も妥当と結論できる。以上より、本研究の所期の目的は概ね達成できた。また、定在波を用いた軟X線MCD測定は、磁性多層膜界面の磁性状態を非破壊で深さ分析するのに有用な方法であること、および軟X線発光分光による界面の電子状態評価との併用は、界面についてより多くの知見をもたらすことを本研究によって実証した。

  3. レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

    山本 正樹, 柳原 美廣, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 津留 俊英, 豊田 光紀

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Specially Promoted Research

    研究機関：Tohoku University

    2003年 ～ 2007年

    詳細を見る 詳細を閉じる

    本研究では,波長30nmから3nm程度の軟X線を用いて,有機・無機から成る多元物質や磁性材料,生体試料などの全ての物質に対して分解能50nmの元素コントラスト画像が得られるSchwarzschild軟X線顕微鏡を,実験室で使用できる簡便な装置として開発する.このために,分解能達成の要である軟X線用の特殊多層膜による超精密結像ミラーを軟X線光工学技術開発によって実用化するとともに,レーザープラズマ軟X線パルス実験室光源,軟X線多層膜ミラー光学系,アライメント光学系,検出系を開発して実用実証機として仕上げる. 本最終年度では,波長13.5nmでの各種直入射光学系に要求される超精密結像ミラーの製作・評価技術を完成し,更に高レベルの炭素の窓の波長4.5nm用技術の見通しを得た.具体的には,多層膜成膜の周期膜厚の分布と絶対値の制御を凹面および凸面基板上で0.1%精度で行う手法を開発確立できた.さらに,ミラーの軟X線波面誤差の精密干渉計測技術開発,新しい原理に基づくミラー波面誤差の精密補正技術開発に取り組み,必要な計測および評価装置を開発した.今後,これらを統合した軟X線多層膜光工学の確立を目指す. 特筆すべき成果は,開発した製作・評価技術を用いて直入射4枚ミラー光学系で設計理想値の80%のスループットを得て,明るい顕微鏡を完成し,<1パルス撮像に成功した>点にある. 50倍の光学系で, X線CCD検出器のピクセルサイズによる限界の400nm解像が既に得られており,光学系では目標の分解能50nmを超える30nmに目途が立っている.視野0.2mmで6000×6000の超高解像が見込めることから,待望の生きた生体試料の細胞の内部観察が目前である.微細な粒子観察の課題とされる液中のブラウン運動によるボケも1パルス撮像の実現で解決された.視野内の複数のイベントを瞬時に高密度記録し,必要な部分を必要な解像度に拡大して十分時間をかけて解析するという全く新しい方式の究極解像度の光学顕微鏡を開発できた.

  4. 速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

    羽多野 忠

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関：TOHOKU UNIVERSITY

    2003年 ～ 2004年

    詳細を見る 詳細を閉じる

    イオンビームスパッタリング法ではイオン銃のイオンビーム出力の時間安定性が膜厚制御性を左右する。本研究で作製する波長13.5nm用Mo/Si多層膜凹面鏡では、反射ピーク波長の許容誤差が2%であるのに対し、現有設備のイオンビームスパッタリング装置では、これまで成膜速度の変動のために反射ピーク波長に10%程度の誤差があった。したがってイオン銃の動作安定化を図り、成膜速度の再現性を2%以内の変動に抑えることが最優先課題であった。イオン銃の動作に関与する主要なパラメーターはアルゴン流量、加速電圧、引出し電極電圧である。これらのパラメーターをそれぞれ大きく振ってそれらに対するイオンビーム出力の依存性を詳細に調べ、イオンビーム出力最大の条件がそれぞれ1.4sccm、-1.4kV、+300Vであることがわかった。その条件からアルゴン流量を変化させて時間安定性の変化を調べた結果、アルゴン流量を増加させるとイオンビーム出力は減少するが時間安定性が増す傾向があることがわかり、最適値は1.7sccm-2.0sccmであると結論した。さらに、引出し電極とビームシャッターに設けた電極でそれぞれイオン流総量、およびイオン流密度をモニタリングして、室温とイオン流、および実験室の配電盤電圧とイオン流との間に強い相関を見出し、将来的に安定性を大きく改善できる見込みができた。 一方、独自に開発して利用している膜厚分布制御用速度可変シャッターについて、成膜所要時間を最短化する速度関数の計算方法を導出するとともに、シャッター形状を再検討して制御可能領域を拡張した。曲率半径50mm、270mm、300mmのMo/Si多層膜凹面鏡を作製し、高エネルギー加速器研究機構の放射光実験施設で軟X線直入射分光反射率測定により周期長分布を評価した。

  5. 多層膜表面ミリングによる反射波面の制御

    津留 俊英, 山本 正樹, 羽田野 忠, 津留 俊英

    2002年 ～ 2003年

    詳細を見る 詳細を閉じる

    本研究では,多層膜の反射理論計算で発見した"多層膜鏡の表面をミリングすると物理光学的であり,幾何光学的な基板ミリングとは原理的に全く異なる光学的効果が得られる"ことを可視光で実験的に検証する.また,得られる基礎データをもとに,"多層膜の表面ミリングで反射波面を物理光学的に精密制御できる"ことを応用研究へ展開する道を探ることを目的とする. 本年度は実験に先駆けて,昨年度開発した反射位相計算ソフトウエアを改良し,より完成度の高いものとした.具体的には,基板+薄膜(1-4層)+キャップ膜の構成を可能とし,反射位相のみならず複素振幅反射率の入射角依存性と入射波長依存性を計算・表示出来るものとした.このソフトウエアを用いて波長632.8nmの可視光による検証実験のための成膜物質選択と最適膜厚計算を行った.BK7基板上に,成膜物質1:TiO_2,成膜物質2:SiO_2を5周期成膜後,マスクを段階的に施しながら成膜することで所定の段差を持った膜構造を形成し,ミリングした場合と同様の効果が得られる構成とした.なおこの構成では,5周期成膜することで反射率90%が得られ,1周期の段差で約180°の位相変化が見込まれる. その場計測用自動消光エリプソメーターを組み込んだイオンビームスパッタリング装置でTiO_2とSiO_2単層膜を成膜し,屈折率nをそれぞれ2.44,1.65と決定した.この結果を元に最適膜厚をそれぞれ64.8nm,96.1nmと決定した.また,エリプソメーターによるその場膜厚制御を行うためにに,解析ソフトウエアを新規に開発し,成膜装置へ組み込んだ.現在,可視光検証用の多層膜成膜と干渉計測用の光学系のセットアップを終え,干渉計測による検証を開始した.

  6. 軟X線磁気カー効果による磁性多層膜の各層個別の磁化を測定する方法の研究

    渡辺 誠, 江島 丈雄, 羽多野 忠

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関：Tohoku University

    2000年 ～ 2001年

    詳細を見る 詳細を閉じる

    本研究の目的は、軟X線磁気カー効果の入射角依存性を利用し、磁性多層膜を構成する物質の表面からの順位を特定して各層個別の磁化を測定できる方法を開発することである。 カー回転測定に必要な多層膜偏光子を作製するための設計指針を導出した。これは一般の場合にも適応できるものである。次いで、多層膜を作製し、磁場発生装置、試料支持台、回転検光子ユニットからなる測定装置を設計・製作した。その後それらを用いて、CoとNiの薄膜のM_<2,3>吸収端近傍における縦カー回転角とファラデー回転角を分子科学研究所の放射光施設(UVSOR)で測定し、両者からの結論が妥当なものであることを確認した。上記の成果は、第13回真空紫外線物理学国際会議(平成13年7月、トリエステ)で発表した。さらに、磁性多層膜Co/Ptについてファラデー回転の測定を行い、磁性多層膜でも十分磁気旋光分光が可能か確認した。対象とした内殻準位はCoのM_<2,3>およびPtのN_<6,7>である。試料作製装置はイオンビームスパッタ装置である。試料はコロジオンを基板に作製した。これら試料のいくつかに対しては確認のため磁化率測定を申請者と同じ研究所の島田研究室の装置を借りて行った。Co/Ptのファラデー回転では、非磁性のPtが磁化することを見出した。また、各物質の厚さと磁化の関係について興味深い結果を得た。最後に、磁性多層膜Co/Cuのカー回転の測定をCoとCuのM_<2,3>吸収端近傍で行った。試料は酸化マグネシウム基板に作製した。カー回転測定については現在測定結果を解析し磁化の層順位依存性などを求めている途中である。

  7. 光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用

    山本 正樹, 羽多野 忠, 柳原 美廣

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    研究機関：TOHOKU UNIVERSITY

    1999年 ～ 2001年

    詳細を見る 詳細を閉じる

    本研究は,光学超薄膜形成技術を,波長λ=13nmの軟X線の多層膜曲面鏡に適用し,直入射結像光学系の開発に不可欠な高精度結像光学鏡を実用化することを目的とする.具体的には,結像性能を得るために不可欠な1nmのオーダー以下の誤差で軟X線の波面を計測・制御する軟X線干渉計測法を開発する.また,この過程で,nm精度のアライメントシステムを備える干渉計測計本体に加え,実験室で干渉計測を可能とするための,光学系を飛散物で汚染しないYAGレーザー励起プラズマ軟X線光源の開発,軟X線干渉縞を計測処理する2次元検出データー処理系の開発を行い,光源から検出器までの結像光学システムの基本要素を完成させる. 本年度は,前年度に引き続いてレーザー生成プラズマを光源とする軟X線干渉計測装置の製作を進めで,光源部,光学系部,検出器部について,基本要素を完成できた. 光源部では,パルスYAGレーザーの1ショットで軟X線干渉縞を記録するための明るい光源を完成した.この光源では,開口数0.2の配置で口径10cmの多層膜集光鏡を設置し,距離21cmのSn固体ターゲットからの軟X線を効率良く集光する.飛散するデブリ粒子は,独自に考案・製作したデブリストッパーを設置して除去する.このデブリストッパーで約9割の粒子を除去して,光源寿命を10倍の4万ショットに伸ばすことが出来た. 光学系では,精密結像鏡用の多層膜周期の基板面内制御精度を昨年までの2%以内から1%以内に改善できた.制御には,独自に開閉速度関数制御シャッターを開発した. 検出器部では、Tr用のイメージングプレートの軟X線に対する感度と出力の直線性を軟X線分光反射率計をもちいて計測した.波長13nm付近で,10万光子/mm^2の高感度と4桁以上の出力直線性が確認できた.

  8. 軟X線磁気旋光分光の研究

    渡邊 誠, 江島 丈雄, 羽多野 忠

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関：TOHOKU UNIVERSITY

    1997年 ～ 1998年

    詳細を見る 詳細を閉じる

    本研究では、多層膜を用いて軟X線ファラデー回転測定をまず放射光光源で手軽に行なえるようにし、かつこの測定が放射光を用いた磁気円二色性(MCD)測定よりもより磁性体のバルクの性質を与えることを示すことと、ファラデー回転測定を実験室でも可能にすることを目的とした。 初年度はファラデー回転測定装置を製作し、組立・調整を行なった。直線偏光の生成および偏光回転の測定には、開発した透過型および反射型のAl/YB_6系多層膜偏光子と検光子(50〜70eV)を用いた。磁場発生装置にはSm-Co系永久磁石を用いた。装置全体を真空容器の中に収め、ターボ分子ポンプで排気した。次年度は、まず最初に分子科学研究所の放射光施設(UVSOR)において、ファラデー回転測定を行なった。偏光子として透過型多層膜を用い、分光器の後の直線偏光度を向上させ、NiのM_<2,3>、CoのM_<2,3>およびCo/PtのCoのM_<2,3>とPtのN_<6,7>吸収端付近で測定を行なった。Niで得られたファラデー回転角(室温)は、これまで全光電子収量法により測定されたMCD(140K)を解析して得られた値に比べて大きかった。したがって本研究で得られた磁気光学効果の値の方が従来の結果よりも酸化などの表面状態の影響を受け難く、よりバルクの性質を反映していると考えられ、この方法の有用性が実証された。さらにレーザー誘起プラズマ光源を用いた分光系において偏光子として反射型多層膜を用い、ファラデー回転測定を実現した。これは実験室で磁気分光実験を可能とした世界で最初のものである。 放射光を用いたNiの結果については、第12回真空紫外線物理学国際会議で報告した。実験室光源を用いたファラデー回転の実験については、目下投稿準備中である。今後、この2年間で測定できなかった試料を順次調べていく予定である。

︎全件表示 ︎最初の5件までを表示