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Tadashi Hatano

Section

International Center for Synchrotron Radiation Innovation Smart

Job title

Assistant Professor

Degree

博士（理学）（東京大学）

researchmap

https://researchmap.jp/90302223

J-GLOBAL ID

201801013318301320

e-Rad No.

90302223

ORCID

https://orcid.org/0000-0003-1257-8080

Professional Memberships 4

日本光学会

2021/03 - Present
THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS
THE JAPANESE SOCIETY FOR SYNCHROTRON RADIATION RESEARCH
THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN

Research Areas 1

Nanotechnology/Materials / Optical engineering and photonics /

Papers 82

Design of soft x-ray high diffraction efficiency and spectral flux Au/Ni bilayer coated laminar-type diffraction grating for objective soft x-ray flat-field spectrograph in a region of 250–550 eV Peer-reviewed

M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, T. Murano, Y. Oue, S. Koshiya, T. Kakio, K. Kondo, M. Terauchi

Review of Scientific Instruments　95　(12)　123102-1-123102-7　2024/12/24

DOI： 10.1063/5.0232922 　
Soft x-ray high diffraction efficiency and spectral flux laminar-type W/B4C multilayer diffraction grating for 300–1000 eV Peer-reviewed

M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Oue, T. Murano, T. Kakio, S. Koshiya, K. Kondo, M. Terauchi

Review of Scientific Instruments　95　(7)　073104-1-073104-6　2024/07/23
Publisher: AIP Publishing
DOI： 10.1063/5.0210722 　

ISSN： 0034-6748

eISSN： 1089-7623

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Multilayer diffraction gratings are designed to improve the detection limit and sensitivity of soft x-ray flat-field spectrographs in the region of 300–1000 eV, placing emphasis on Fe-L (705 eV), Cu-L (930 eV), and Zn-L (1012 eV) emissions. For this purpose, spectral flux was used as the performance index, which is proportional to the amount of optical flux incident into a detector and correlated with detection sensitivity. A super-mirror-type W/B4C multilayer coating [Koike et al., Rev.Sci. Instrum. 94, 045109 (2023)] was employed to improve diffraction efficiency in a wide energy region. The unique feature of the multilayer structure is that the average refractive index and the period length of W/B4C layer pairs are increased from the bottom to top layers. In addition, the incidence angle was reduced to 86.03° from 88.65° and the nominal groove density was increased to 3200 lines/mm from 2400 lines/mm of our previous design, to improve spectral flux while maintaining dispersion and spectral resolution. A holographic varied-line-spacing spherical grating and a soft x-ray flat-field spectrograph were designed, using the aspherical-wavefront-recording method, assuming the nominal grating constant and incident angle described above. The numerical simulation results showed that the spectrograph employing the newly designed grating with the W/B4C multilayer indicated 3.2–8.2 times higher spectral flux compared with those using the previously designed grating while keeping the same spectral resolution.
Design of soft x-ray varied-line-spacing (VLS) high-dispersion laminar-type grating coated with super-mirror-type (SMT) multilayer for flat-field spectrograph in a region of 2–4 keV Peer-reviewed

M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Ueno, M. Terauchi

Review of Scientific Instruments　95　(2)　023102-1-023102-6　2024/02/29

DOI： 10.1063/5.0173068 　
Laminar-type gratings overcoated with carbon-based materials to enhance analytical sensitivity of flat-field emission spectrograph in the VUV region Peer-reviewed

T. Murano, S. Koshiya, M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, T. Kakio, N. Hayashi, Y. Oue, K. Konishi, T. Nagano, K. Kondo, M. Terauchi

Review of Scientific Instruments　94　(12)　125113-1-125113-6　2023/12/29
Publisher: AIP Publishing
DOI： 10.1063/5.0176783 　

ISSN： 0034-6748

eISSN： 1089-7623

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Laminar-type spherical diffraction gratings overcoated with carbon-based materials were designed, fabricated, and evaluated for the purpose of enhancing the analytical sensitivity of the flat-field spectrograph in a vacuum ultraviolet region of 35–110 eV. As the design benchmark for numerical calculations, diffraction efficiency (DE) and spectral flux, which are defined by the product of the DE and numerical aperture and correlate with the analytical sensitivity of the spectrograph, were used. To simplify the feasibility study on the overcoating effects, we assumed a laminar-type grating having a grating constant of 1/1000 mm and coated with a Au layer of 30.0 nm thickness and an incidence angle of 84.0°. The optimized groove depth and duty ratio were 30.0 nm and 0.3, respectively. In addition, the optimum thicknesses of the overcoating layer were 44, 46, 24, and 30 nm for B4C, C, diamond-like-carbon, and SiC, respectively. Based on these results, we have fabricated a varied-line-spacing holographic grating overcoated with B4C with a thickness of 47 nm. For the experimental evaluation, we used the light source of Mg-L and Al-L emissions excited by the electron beam generated from an electron microscope, an objective flat-field spectrograph, and a CCD imaging detector. The experimental results showed that the spectrograph employing a new grating overcoated with the B4C layer indicated almost the same spectral resolution and 2.9–4.2 times higher analytical sensitivity compared with those obtained with a previously designed Au-coated grating having a grating constant of 1/1200 mm and used at an incidence of 86.0°.
Design of soft x-ray laminar-type gratings coated with supermirror-type multilayer to enhance diffraction efficiency in a region of 2–4 keV Peer-reviewed

M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Ueno, M. Terauchi

Review of Scientific Instruments　94　(4)　045109-1-045109-5　2023/04/17
Publisher: AIP Publishing
DOI： 10.1063/5.0148908 　

ISSN： 0034-6748

eISSN： 1089-7623

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Soft x-ray diffraction gratings coated with a supermirror-type multilayer were designed to enhance diffraction efficiency in the energy range of 2–4 keV by means of numerical calculations. The optimized groove depth and incidence angle are 2.05 nm and 88.65°, respectively, for the grating having a groove density of 3200 grooves/mm. Regarding the multilayer structure, the optimum number of B₄C/W layers pair was 11 and the thickness of B₄C was increased from bottom to top, while that of W was kept constant. The replacement of the top layer of W by either Co, Cr, or Ni was an effective means of obtaining uniform diffraction efficiency. In the region of 2–4 keV, the calculated diffraction efficiency of the designed gratings was up to ∼5.3%, on average, and almost eight times larger than that of ∼0.7% of an Au coated grating.
Design of Small Incidence Angle and High Diffraction Efficiency Laminar-type Diffraction Gratings in the Extreme Ultraviolet (EUV) Region Peer-reviewed

53　69-76　2022/03/31

ISSN： 0911-7806
Design and experimental evaluation of enhanced diffraction efficiency of lanthanum-based material coated laminar-type gratings in the boron K-emission region Peer-reviewed

Tadashi Hatano, Masato Koike, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

Applied Optics　60　(16)　4993-4999　2021/06/01
Publisher: The Optical Society
DOI： 10.1364/AO.430802 　

ISSN： 1559-128X

eISSN： 2155-3165
Recent developments in soft X-ray emission spectroscopy microscopy Peer-reviewed

M Terauchi, T Hatano, M Koike, A S Pirozhkov, H Sasai, T Nagano, M Takakura, T Murano

IOP Conference Series: Materials Science and Engineering　891　012022-012022　2020/08/06
Publisher: IOP Publishing
DOI： 10.1088/1757-899x/891/1/012022 　

eISSN： 1757-899X
Soft x-ray laser beamline for surface processing and damage studies International-journal Peer-reviewed

Masahiko Ishino, Thanh-Hung Dinh, Yuji Hosaka, Noboru Hasegawa, Kimio Yoshimura, Hiroki Yamamoto, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi, Kazuyuki Sakaue, Satoshi Ichimaru, Masatoshi Hatayama, Akira Sasaki, Masakazu Washio, Masaharu Nishikino, Yasunari Maekawa

Applied optics　59　(12)　3692-3698　2020/04/20

DOI： 10.1364/AO.387792 　

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We have developed a soft x-ray laser (SXRL) beamline equipped with an intensity monitor dedicated to ablation study such as surface processing and damage formation. The SXRL beam having a wavelength of 13.9 nm, pulse width of 7 ps, and pulse energy of around 200 nJ is generated from Ag plasma mediums using an oscillator-amplifier configuration. The SXRL beam is focused onto the sample surface by the Mo/Si multilayer coated spherical mirror. To get the correct irradiation energy/fluence, an intensity monitor composed of a Mo/Si multilayer beam splitter and an x-ray charge-coupled device camera has been installed in the beamline. The Mo/Si multilayer beam splitter has a large polarization dependence in the reflectivity around the incident angle of 45°. However, by evaluating the relationship between reflectivity and transmittance of the beam splitter appropriately, the irradiation energy onto the sample surface can be derived from the energy acquired by the intensity monitor. This SXRL beamline is available to not only the ablation phenomena but also the performance evaluation of soft x-ray optics and resists.
Luminescence properties of scintillators in soft X-ray region Peer-reviewed

Ejima, Takeo, Kurosawa, Shunsuke, Yamaji, Akihiro, Hatano, Tadashi, Wakayama, Toshitaka, Higashiguchi, Takeshi, Kitaura, Mamoru

JOURNAL OF LUMINESCENCE　219　2020/03

DOI： 10.1016/j.jlumin.2019.116850 　

ISSN： 0022-2313

eISSN： 1872-7883
Soft X-ray spectral analysis of laser produced molybdenum plasmas using the fundamental and second harmonics of a Nd:YAG laser Peer-reviewed

Lokasani, Ragava, Kawasaki, Hiromu, Shimada, Yuta, Shoji, Misaki, Anraku, Kyoya, Ejima, Takeo, Hatano, Tadashi, Jiang, Weihua, Namba, Shinichi, Nikl, Jan, Zeman, Michal, Cysullivan, Gerry, Higashiguchi, Takeshi, Limpouch, Jiri

OPTICS EXPRESS　27　(23)　33350-33357　2019/11

DOI： 10.1364/OE.27.033351 　

ISSN： 1094-4087
Controlled strong excitation of silicon as a step towards processing materials at sub-nanometer precision Peer-reviewed

Thanh-Hung Dinh, Medvedev, Nikita, Ishino, Masahiko, Kitamura, Toshiyuki, Hasegawa, Noboru, Otobe, Tomohito, Higashiguchi, Takeshi, Sakaue, Kazuyuki, Washio, Masakazu, Hatano, Tadashi, Kon, Akira, Kubota, Yuya, Inubushi, Yuichi, Owada, Shigeki, Shibuya, Tatsunori, Ziaja, Beata, Nishikino, Masaharu

COMMUNICATIONS PHYSICS　2　2019/11

DOI： 10.1038/s42005-019-0253-2 　

ISSN： 2399-3650
Intense water-window soft x-ray emission by spectral control using dual laser pulses Peer-reviewed

Arai Goki, Hara Hiroyuki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguch Takeshi

OPTICS EXPRESS　26　(21)　27748-27756　2018/10/15

DOI： 10.1364/OE.26.027748 　

ISSN： 1094-4087
Spectral dynamics of soft X-ray emission in dual-laser-produced medium-Z plasma Peer-reviewed

Ohashi Hayato, Hara Hiroyuki, Arai Goki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Suzuki Chihiro, Namba Shinichi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS　124　(10)　2018/10

DOI： 10.1007/s00340-018-7061-3 　

ISSN： 0946-2171

eISSN： 1432-0649
Quantum Efficiency of Back-illuminated CMOS Sensor with 1.4×1.4 µm2 Pixel Size Peer-reviewed

T. Ejima, T. Hatano

Microscopy and Microanalysis　24　(S2)　322-323　2018/08
Development of Laboratory-type Soft X-ray Microscope, CXRM, in Water-Window using LPP Light Source Peer-reviewed

T. Ejima, Y. Ono, K. Ito, H. Kawasaki, T. Higashiguchi, S. Tone, T. Hatano

Microscopy and Microanalysis　24　(S2)　214-215　2018/08
Emission of water-window soft x-rays under optically thin conditions using low-density foam targets Peer-reviewed

Hara Hiroyuki, Kawasaki Hiromu, Tamura Toshiki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

OPTICS LETTERS　43　(15)　3750-3753　2018/08/01

DOI： 10.1364/OL.43.003750 　

ISSN： 0146-9592

eISSN： 1539-4794
Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas Peer-reviewed

Amano Reiho, Thang-Hung Dinh, Sasanuma Atsushi, Arai Goki, Hara Hiroyuki, Fujii Yusuke, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Sunahara Atsushi, Takahashi Akihiko, Nakamura Daisuke, Okada Tatsuo, Sakaue Kazuyuki, Miura Taisuke, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　57　(7)　2018/07

DOI： 10.7567/JJAP.57.070311 　

ISSN： 0021-4922

eISSN： 1347-4065
Characteristics of soft x-ray and extreme ultraviolet (XUV) emission from laser-produced highly charged rhodium ions Peer-reviewed

Ellie Floyd Barte, Hiroyuki Hara, Toshiki Tamura, Takuya Gisuji, When-Bo Chen, Ragava Lokasani, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Akira Sasaki, Takeshi Higashiguchi, Jiří Limpouch

Journal of Applied Physics　123　(18)　2018/05/14

DOI： 10.1063/1.5024344 　

ISSN： 1089-7550 0021-8979

eISSN： 1089-7550
Selection of target elements for laser-produced plasma soft x-ray sources Peer-reviewed

Toshiki Tamura, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Gerry O’Sullivan, Takeshi Higashiguchi

Optics Letters　43　(9)　2042-2045　2018/05/01

DOI： 10.1364/OL.43.002042 　

ISSN： 1539-4794 0146-9592

eISSN： 1539-4794
Evaluation of a Flat-Field Grazing Incidence Spectrometer for Highly Charged Ion Plasma Emission in 1–10 nm

Y. Kondo, T. H. Dinh, T. Tamura, S. Ohta, K. Kitano, T. Ejima, T. Hatano, T. Higashiguchi

Springer Proceedings in Physics　202　409-412　2018
Publisher: Springer Science and Business Media, LLC
DOI： 10.1007/978-3-319-73025-7_62 　

ISSN： 1867-4941 0930-8989
Development of Soft X-Ray Microscope in Water Window Using Laser-Produced Plasma Light Source

T. Ejima, Y. Kondo, Y. Ono, T. H. Dinh, T. Higashiguchi, T. Hatano

Springer Proceedings in Physics　202　395-399　2018
Publisher: Springer Science and Business Media, LLC
DOI： 10.1007/978-3-319-73025-7_59 　

ISSN： 1867-4941 0930-8989
Cr/Sc/Mo multilayer for condenser optics in water window microscopes Peer-reviewed

Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Toshihide Tsuru

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　220　14-16　2017/10

DOI： 10.1016/j.elspec.2016.12.010 　

ISSN： 0368-2048

eISSN： 1873-2526
High Diffraction Efficiency and Flux Laminar-type Diffraction Gratings for Boron-K Emission Spectroscopic Measurements

小池雅人, 羽多野忠, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也

X線分析の進歩　48　(48)　122-128　2017/03/31
Publisher: アグネ技術センター
ISSN： 0911-7806
Erratum: Publisher's Note: "Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm" [Rev. Sci. Instrum. 87, 123106 (2016) (The Review of scientific instruments (2016) 87 12 (123106))

Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

The Review of scientific instruments　88　(2)　029902　2017/02/01
Publisher: NLM (Medline)
DOI： 10.1063/1.4973926 　

ISSN： 1089-7623
Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm (vol 87, 123106, 2016) Peer-reviewed

Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　88　(2)　029902　2017/02

DOI： 10.1063/1.4973926 　

ISSN： 0034-6748

eISSN： 1089-7623
Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm Peer-reviewed

Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　87　(12)　2016/12

DOI： 10.1063/1.4971421 　

ISSN： 0034-6748

eISSN： 1089-7623
Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses Peer-reviewed

Ragava Lokasani, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Thanh-Hung Dinh, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Tetsuya Makimura, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeshi Higashiguchi, Jiri Limpouch

APPLIED PHYSICS LETTERS　109　(19)　2016/11

DOI： 10.1063/1.4967310 　

ISSN： 0003-6951

eISSN： 1077-3118
Characteristics of the soft X-ray emission from laser-produced highly charged platinum plasmas Peer-reviewed

Hiroyuki Hara, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Thanh-Hung Dinh, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Masaharu Nishikino, Akira Sasaki, Atsushi Sunahara, Takeshi Higashiguchi

APPLIED PHYSICS EXPRESS　9　(6)　2016/06

DOI： 10.7567/APEX.9.066201 　

ISSN： 1882-0778

eISSN： 1882-0786
Multilayer coated grazing incidence condenser for large numerical aperture objective at wavelength of 4.5 nm Peer-reviewed

T. Ejima, T. Hatano, K. Ohno, T. Fukayama, S. Aihara, M. Yanagihara, T. Tsuru

APPLIED OPTICS　53　(29)　6846-6852　2014/10

DOI： 10.1364/AO.53.006846 　

ISSN： 1559-128X

eISSN： 2155-3165
Multilayer reflectometry and quantitative analysis of higher order diffraction impurities of grating monochromator Peer-reviewed

Tadashi Hatano, Tetsuo Harada

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　196　156-158　2014/10

DOI： 10.1016/j.elspec.2014.05.002 　

ISSN： 0368-2048

eISSN： 1873-2526
Development of Multilayer Polarization Elements in the Vacuum Ultraviolet Region Invited Peer-reviewed

HATANO Tadashi

Hyomen Kagaku　35　(6)　294-299　2014
Publisher: 公益社団法人日本表面科学会
DOI： 10.1380/jsssj.35.294 　

ISSN： 0388-5321

More details Close

Polarization elements for 20-400eV vacuum ultraviolet (VUV) have been developed using multilayers. Unavailability of transparent media is characteristic of optics in the VUV region. VUV polarizers are based on a multilayer mirror at the pseud-Brewster's angle. General principle of selecting material combinations to obtain high polarizance multilayers of reflection type is presented. Theoretical description on reflection phase retarders, transmission polarizers, and transmission phase retarders is also given. Several VUV multilayer elements were fabricated and characterized using synchrotron radiation VUV source, and synchrotron radiation beamline optics were diagnosed using VUV multilayer analyzers at the same time. Multilayer analyzers were also applied to Faraday rotation measurements around M<sub>2,3</sub> edges of Ni films.
Evaluation of Soft X-ray Multilayer Optics Using Synchrotron Radiation Invited Peer-reviewed

羽多野忠

精密工学会誌(Web)　80　(6)　524-527 (J-STAGE)-527　2014
Publisher: 公益社団法人精密工学会
DOI： 10.2493/jjspe.80.524 　

ISSN： 1882-675X
Quick X-ray reflectometry in the simultaneous multiple angle-wavelength dispersive mode

E. Arakawa, W. Voegeli, T. Matsushita, Y. F. Yano, T. Hatano

Journal of Physics: Conference Series　425　(9)　2013
Publisher: Institute of Physics Publishing
DOI： 10.1088/1742-6596/425/9/092002 　

ISSN： 1742-6596 1742-6588

eISSN： 1742-6596
Homogenized ion milling over the whole area of EUV spherical multilayer mirrors for reflection phase error correction

T. Tsuru, K. Arai, T. Hatano

Journal of Physics: Conference Series　425　(15)　2013
Publisher: Institute of Physics Publishing
DOI： 10.1088/1742-6596/425/15/152009 　

ISSN： 1742-6596 1742-6588
Monochromator operation in the carbon window region at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory Peer-reviewed

Tadashi Hatano, Shogaku Aihara

11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION (SRI 2012)　425　2013

DOI： 10.1088/1742-6596/425/15/152018 　

ISSN： 1742-6588
Performance of the post-focusing mirror system at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory Peer-reviewed

Tadashi Hatano, Shogaku Aihara, Kentaro Uchida, Toshihide Tsuru

11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY (XRM2012)　463　2013

DOI： 10.1088/1742-6596/463/1/012010 　

ISSN： 1742-6588
At-Wavelength Extreme Ultraviolet Lithography Mask Observation Using a High-Magnification Objective with Three Multilayer Mirrors Peer-reviewed

Mitsunori Toyoda, Kenjiro Yamasoe, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Akifumi Tokimasa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita

APPLIED PHYSICS EXPRESS　5　(11)　2012/11

DOI： 10.1143/APEX.5.112501 　

ISSN： 1882-0778
Three-Dimensionally Controlled Ion Milling for Reflection Phase Manipulation of EUV Multilayer Mirrors

T. Tsuru, T. Hatano, M. Yamamoto

10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY　1365　180-183　2011

DOI： 10.1063/1.3625334 　

ISSN： 0094-243X
Soft X-ray imaging of thick carbon-based materials using the normal incidence multilayer optics

I. A. Artyukov, R. M. Feschenko, A. V. Vinogradov, Ye. A. Bugayev, O. Y. Devizenko, V. V. Kondratenko, Yu. S. Kasyanov, T. Hatano, M. Yamamoto, S. V. Saveliev

MICRON　41　(7)　722-728　2010/10

DOI： 10.1016/j.micron.2010.06.011 　

ISSN： 0968-4328
Development of high throughput and wavefront error corrected soft X-ray multilayer imaging optics

津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

放射光　23　(3)　181-187　2010/05/31
Publisher: 日本放射光学会
ISSN： 0914-9287
Development of Wavefront Error Corrected Soft X-Ray Multilayer Mirrors for Ultra-High Definition Bio-Imaging

TSURU Toshihide, HATANO Tadashi, HARADA Tetsuo, TOYODA Mitsunori, EJIMA Takeo, YANAGIHARA Mihiro, YAMAMOTO Masaki

Japanese journal of optics　39　(5)　219-224　2010/05/10
Publisher: 応用物理学会分科会日本光学会
ISSN： 0389-6625
超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発 Peer-reviewed

津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 江島丈雄, 柳原美廣, 山本正樹

光学　39　(5)　3-8　2010/05

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6537
High throughput and wide field of view EUV microscope for blur-free one-shot imaging of living organisms Peer-reviewed

Takeo Ejima, Fumihiko Ishida, Hiromichi Murata, Mitsunori Toyoda, Tetsuo Harada, Toshihide Tsuru, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Masaki Yamamoto, Haruo Mizutani

OPTICS EXPRESS　18　(7)　7203-7209　2010/03

DOI： 10.1364/OE.18.007203 　

ISSN： 1094-4087
Fabrication and Characterization of Elliptically-Curved, Laterally-Graded Multilayers for Focusing X-ray Polychromator Applications Peer-reviewed

Tadashi Hatano, Tetsuo Harada, Tadashi Matsushita, Etsuo Arakawa, Yasuo Higashi

SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　1234　669-+　2010

DOI： 10.1063/1.3463296 　

ISSN： 0094-243X
Area-selected Ion Milling for Reflection Wavefront Error Correction of Soft X-ray Multilayer Mirrors Peer-reviewed

Toshihide Tsuru, Yu Sakai, Tadashi Hatano, Masaki Yamamoto

SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　1234　772-775　2010

DOI： 10.1063/1.3463326 　

ISSN： 0094-243X
Two-dimensional Detector for High Resolution Soft X-ray Imaging Peer-reviewed

Takeo Ejima, Shodo Ogasawara, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Masaki Yamamoto

SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　1234　811-814　2010

DOI： 10.1063/1.3463337 　

ISSN： 0094-243X
Time-Resolved X-Ray Reflectometry in the Multiwavelength Dispersive Geometry Peer-reviewed

Tadashi Matsushita, Etsuo Arakawa, Tetsuo Harada, Tadashi Hatano, Yasuo Higashi, Yohko F. Yano, Yasuhiro Niwa, Yasuhiro Inada, Shusaku Nagano, Takahiro Seki

SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　1234　927-+　2010

DOI： 10.1063/1.3463368 　

ISSN： 0094-243X
Multilayer polarization elements and their applications to polarimetric studies in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions Peer-reviewed

Watanabe Makoto, Hatano Tadashi, Saito Katsuhiko, Hu Weibing, Ejima Takeo, Tsuru Toshihide, Takahashi Masahik, Kimura Hiroaki, Hirono Toko, Wang Zhangshan, Cui Mingqi, Yamamoto Masaki, Yanagihara Mihiro

NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES　19　(4)　193-203　2008/08

DOI： 10.1016/S1001-8042(08)60049-4 　

ISSN： 1001-8042

eISSN： 2210-3147
X-ray magnetic circular dichroism studies for Fe/Si interfaces using standing waves

Sato Kosuke, Masaki Sugawara, Takayoshi Jinno, Mitsunori Toyoda, Tadashi Hatano, Akira Arai, Mihiro Yanagihara

Journal of Physics: Conference Series　83　(1)　2007/06/01
Publisher: Institute of Physics Publishing
DOI： 10.1088/1742-6596/83/1/012012 　

ISSN： 1742-6596 1742-6588
Optimal design of multilayer mirrors for water-window microscope optics Peer-reviewed

Yurii Uspenskii, Denis Burenkov, Tadashi Hatano, Masaki Yamamoto

OPTICAL REVIEW　14　(1)　64-73　2007/01

DOI： 10.1007/s10043-007-0064-7 　

ISSN： 1340-6000
Advances in short-wavelength X-ray multilayer optics: toward high-throughput multi-mirror systems for the wavelengths < 10 nm Peer-reviewed

Igor A. Artyukov, Yegor A. Bugayev, Oleksandr Yu. Devizenko, Ruslan M. Feshchenko, Tadashi Hatano, Yuri S. Kasyanov, Valeri V. Kondratenko, Yuri A. Uspenski, Alexander V. Vinogradov

SOFT X-RAY LASERS AND APPLICATIONS VII　6702　2007

DOI： 10.1117/12.734601 　

ISSN： 0277-786X
Nanometer-scale period Sc/Cr multilayer mirrors and their thermal stability

E Majkova, Y Chushkin, M Jergel, S Luby, Holy, V, Matko, I, B Chenevier, L Toth, T Hatano, M Yamamoto

THIN SOLID FILMS　497　(1-2)　115-120　2006/02

DOI： 10.1016/j.tsf.2005.10.051 　

ISSN： 0040-6090
Thin film filters for an EUV multilayer mirror optics with a laser produced plasma light source

T Harada, T Hatano

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　144　1075-1077　2005/06

DOI： 10.1016/j.elspec.2005.01.042 　

ISSN： 0368-2048
Schwarzschild microscopes in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions

M. Watanabe, M. Watanabe, M. Watanabe, M. Yanagihara, T. Ejima, M. Toyoda, Y. Kondo, T. Hatano, T. Tsuru, M. Yamamoto

Nuclear Science and Techniques/Hewuli　16　129-138　2005/06/01

ISSN： 1001-8042
Top layer's thickness dependence on total electron-yield X-ray standing-wave

T Ejima, A Yamazaki, T Banse, T Hatano

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　144　897-899　2005/06

DOI： 10.1016/j.elspec.2005.01.085 　

ISSN： 0368-2048
Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in situ automatic ellipsometry

T Tsuru, T Tsutou, T Hatano, A Yamamoto

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　144　1083-1085　2005/06

DOI： 10.1016/j.elspec.2005.01.087 　

ISSN： 0368-2048
Magnetic rotation spectra of Co/Pt and Co/Cu multilayers in 50-90 eV region

K Saito, M Igeta, T Ejima, T Hatano, A Arai, M Watanabe

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　144　757-760　2005/06

DOI： 10.1016/j.elspec.2005.01.160 　

ISSN： 0368-2048
1. Nano structure produced in vacuum. X-ray mirror multilayer.

山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英, 柳原美広

機械の研究　57　(1)　74-81　2005/01/01

ISSN： 0368-5713
X線ミラー多層膜 (特集欄ナノテクノロジーにおけるものづくり) -- (真空中で作製するナノ構造)

山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英

機械の研究　57　(1)　74-81　2005/01
Publisher: 養賢堂
ISSN： 0368-5713
Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry

T Tsuru, T Tsutou, T Hatano, M Yamamoto

SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　705　732-735　2004

DOI： 10.1063/1.1757900 　

ISSN： 0094-243X
Normal incidence reflectometry of concave multilayer mirrors using synchrotron radiation to evaluate the period thickness distribution

T Hatano, S Kubota, Y Adachi, T Tsuru, M Yamamoto

SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　705　839-842　2004

DOI： 10.1063/1.1757926 　

ISSN： 0094-243X
Linear polarization measurements of soft X-ray emitted from a figure-8 undulator by using multilayers

T Hirono, H Kimura, Y Tamenori, Y Saitoh, T Hatano, T Tanaka, T Ishikawa

SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION　705　187-190　2004

DOI： 10.1063/1.1757765 　

ISSN： 0094-243X
Polarization measurements of laboratory VUV light: a first comparison between multilayer polarizers and photoelectron angular distributions

M Takahashi, T Hatano, T Ejima, Y Kondo, K Saito, M Watanabe, T Kinugawa, JHD Eland

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　130　(1-3)　79-84　2003/07

DOI： 10.1016/S0368-2048(03)00088-4 　

ISSN： 0368-2048
Wide range reflection multilayer in 200-25 nm region for Schwarzschild objectives

T Ejima, K Sudo, T Hatano, M Watanabe

JOURNAL DE PHYSIQUE IV　104　259-262　2003/03

DOI： 10.1051/jp4:200300075 　

ISSN： 1155-4339
High Reflectance Multilayers for Use of Extreme Ultraviolet.

羽多野忠

光学　31　(7)　532-537　2002/07/10
Publisher: 応用物理学会分科会日本光学会
ISSN： 0389-6625
Extreme Ultraviolet Magnetic Rotation Spectroscopy Using Multilayer Polarizers.

斉藤勝彦, 羽多野忠, 井桁光昭, HU W, 江島丈雄, 渡辺誠

放射光　15　(3)　158-162　2002/05/31
Publisher: 日本放射光学会
ISSN： 0914-9287
Faraday and magnetic Kerr rotation measurements on Co and Ni films around M-2,M-3 edges

K Saito, M Igeta, T Ejima, T Hatano, M Watanabe

SURFACE REVIEW AND LETTERS　9　(2)　943-947　2002/04

DOI： 10.1142/S0218625X02003251 　

ISSN： 0218-625X
Efficiency and polarization performance of a multilayer-coated laminar grating in the 6.5-6.9-nm wavelength region Peer-reviewed

Sadayuki Ishikawa, Takashi Imazono, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Makoto Watanabe

Applied Optics　41　(4)　763-767　2002/02/01
Publisher: Optical Society of America (OSA)
DOI： 10.1364/AO.41.000763 　

ISSN： 1539-4522 0003-6935
Multilayer polarizers for the use of He-I and He-II resonance lines

T Hatano, Y Kondo, K Saito, T Ejima, M Watanabe, M Takahashi

SURFACE REVIEW AND LETTERS　9　(1)　587-591　2002/02

DOI： 10.1142/S0218625X02002695 　

ISSN： 0218-625X
Efficiency and polarization performance of a multilayer-coated laminar grating in the 6.5-6.9-nm wavelength region Peer-reviewed

S Ishikawa, T Imazono, T Hatano, M Yanagihara, M Watanabe

APPLIED OPTICS　41　(4)　763-767　2002/02

DOI： 10.1364/AO.41.000763 　

ISSN： 1559-128X

eISSN： 2155-3165
High-reflection multilayer for wavelength range of 200-30 nm

Y Kondo, T Ejima, K Saito, T Hatano, M Watanabe

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT　467　333-336　2001/07

DOI： 10.1016/S0168-9002(01)00314-X 　

ISSN： 0168-9002
Laboratory extreme-ultraviolet Faraday-rotation apparatus using multilayer polarizers

Weibing Hu, Weibing Hu, Tadashi Hatano, Makoto Watanabe

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　39　(2)　675-676　2000/12/01
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.1143/JJAP.39.675 　

ISSN： 0021-4922
Spatial coherence of undulator radiation beyond the van Cittert-Zernike theorem

Y Takayama, N Takaya, T Miyahara, S Kamada, W Okamoto, T Hatano, RZ Tai, Y Kagoshima

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT　441　(3)　565-576　2000/03

DOI： 10.1016/S0168-9002(99)00988-2 　

ISSN： 0168-9002
Faraday rotation measurement around Ni M<inf>2,3</inf>edges using A1/YB<inf>6</inf>multilayer polarizers

Tadashi Hatano, Weibing Hu, Katsuhiko Saito, Makoto Watanabe

Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena　101-103　287-291　1999/12/01

DOI： 10.1016/s0368-2048(98)00489-7 　

ISSN： 0368-2048
Relationship between spatial coherence of synchrotron radiation and emittance

Y Takayama, T Hatano, T Miyahara, W Okamoto

JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION　5　1187-1194　1998/07

DOI： 10.1107/S0909049597019754 　

ISSN： 0909-0495
Transmission multilayer polarizers for use in the 55-90 eV region

WB Hu, T Hatano, M Yamamoto, M Watanabe

JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION　5　732-734　1998/05

DOI： 10.1107/S0909049597019109 　

ISSN： 0909-0495
Handling the polarization of soft X-ray using transmission multilayers. A case study

T Hatano, W Hu, M Yamamoto, M Watanabe

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　92　(1-3)　311-314　1998/05

DOI： 10.1016/S0368-2048(98)00139-X 　

ISSN： 0368-2048
Measurement of the coherence of synchrotron radiation

Y Takayama, RZ Tai, T Hatano, T Miyahara, W Okamoto, Y Kagoshima

JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION　5　456-458　1998/05

DOI： 10.1107/S0909049597013010 　

ISSN： 0909-0495
Magnetic circular dichroism of Gd-Co and Gd-Ni alloys in the Gd 3d, 4d and the (Co, Ni) 2p, 3p core excitation regions: Antiferromagnetic coupling between Gd and (Co, Ni) moments

Tadashi Hatano, Serng Yerl Park, Serng Yerl Park, Takaaki Hanyu, Tsuneaki Miyahara

Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena　78　217-220　1996/01/01

DOI： 10.1016/S0368-2048(96)80065-X 　

ISSN： 0368-2048
Magnetic Circular Dichroism of Ni-Pd Alloys in Ni 2p, 3p, Pd 3p, and 4p Core Excitation Regions: Enhancement of Ni 3d Orbital Moment

Serng-Yerl Park, Sadatsugu Muto, Sadatsugu Muto, Yasushi Kagoshima, Tsuneaki Miyahara, Tadashi Hatano, Shin Imada, Takaaki Hanyu, Ikuyo Shiozaki

Journal of the Physical Society of Japan　64　(3)　934-943　1995

DOI： 10.1143/JPSJ.64.934 　

ISSN： 1347-4073 0031-9015
Comparison between 3p and 2p magnetic circular dichroism in transition metals and alloys: Is the sum rule applicable to itinerant magnetic systems?

Tsuneaki Miyahara, Serng-Yerl Park, Takaaki Hanyu, Tadashi Hatano, Sadatsugu Moto, Yasushi Kagoshima

Review of Scientific Instruments　66　(2)　1558-1560　1995

DOI： 10.1063/1.1145907 　

ISSN： 0034-6748

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Misc. 110

Reflectance Measurements of Al/TiO2 Bilayers in the 10–30 eV Region at BL5B, UVSOR

T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima

UVSOR Activity Report 2020　117-117　2021/08
Tender X-ray multilayers for high throughput grating monochromators

Tadashi HATANO, Takeo EJIMA

Photon Factory Activity Report 2020 #38　38　213-1-213-2　2021/04
Calibration of Mo/Si Multilayer Beam-splitter for Soft X-Ray Laser Beamline

Masahiko ISHINO, Thanh-Hung DINH, Noboru HASEGAWA, Masaharu NISHIKINO, Kazuyuki SAKAUE, Takeshi HIGASHIGUCHI, Tadashi HATANO

Photon Factory Activity Report 2020 #38　38　106-1-106-4　2021/04
Water-window soft x-ray microscope by a laser-produced plasma source and improvement of spatial resolution by STED phenomenon

20　(6)　7-12　2020/09/14
Publisher: レーザー学会研究委員会
Multilayer reflectometry for evaluation of second harmonic spectral impurity in 100 nm wavelength output of BL5B UVSOR

T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima

UVSOR Activity Report 2019　41-41　2020/08
Calibration of a CCD-Based Energy Monitor for High Power Soft X-Ray Lasers

Thanh-Hung DINH, Masaharu NISHIKINO, Masahiko ISHINO, Takeshi HIGASHIGUCHI, Tadashi HATANO

Photon Factory Activity Report 2019 #37　37　130-1-130-3　2020/06
Total luminescence yield of some scintillators in the photon energy region from 300 eV to 1.3 keV

EJIMA, Takeo, KUROSAWA, Shunsuke, YAMAJI, Akihiro, HATANO, Tadashi, WAKAYAMA, Toshitaka, HIGASHIGUCHI, Takeshi, KITAURA, Mamoru

Photon Factory Activity Report 2018 #36　36　69-1-69-2　2019/07
Diffraction Efficiency Measurements of Laminar-Type Diffraction Gratings Overcoated with Lanthanum Series Layers for Boron-K Emission Spectroscopy

Tadashi HATANO, Masato KOIKE, Masami TERAUCHI, Alexander S. PIROZHKOV, Nobukazu HAYASHI, Hiroyuki SASAI, Tetsuya NAGANO

Photon Factory Activity Report 2018 #36　36　82-1-82-3　2019/07
Fabrication of Cr/Sc/Mo multilayer illuminator for water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources

Tadashi HATANO, Takeo EJIMA, Yuichi ONO, Thanh-Hung DINH, Toshiki TAMURA, Keigo MAEDA, Hiroyuki HARA, Takeshi HIGASHIGUCHI

Photon Factory Activity Report 2018 #36　36　244-1-244-2　2019/07
ビスマスプラズマ水の窓軟X線源の開発—Development of bismuth plasma-based water-window soft x-ray source—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般

川崎太夢, 島田悠太, 難波慎一, 佐々木明, 錦野将元, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編]　2019　(57-64)　1-6　2019/05/17
Publisher: 東京 : 電気学会
Non-uniform Distribution of Doped Carrier in a Na-doped CaB6 Bulk Material Observed by EPMA-SXES

M. Terauchi, Y. Sato, M. Takeda, T. Hatano, M. Koike, H. Sasai, T. Nagano, M. Koeda, T. Murano, H. Takahashi

Microscopy & Microanalysis　24　(suppl.1)　746-747　2018/08
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　65th　ROMBUNNO.20p‐B301‐4　2018/03/05
材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション

錦野将元, 石野雅彦, DINH T‐H, 長谷川登, FAENOV A, PIKUZ T, 市丸智, 木下博雄, 坂上和之, 東口武史, 犬伏雄一, 今亮, 大和田成起, 羽多野忠, 鷲尾方一, 末元徹, 河内哲哉

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　65th　ROMBUNNO.18p‐A404‐3　2018/03/05
フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究

坂上和之, 石野雅彦, 井谷俊郎, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 小倉拓人, 木下博雄, 小柴裕也, 今亮, SANTILLAN Julius Joseph, 篠崎夏美, 高橋孝, 田村賢紀, HUNG Dinh Thanh, 錦野将元, 西留武宏, 羽多野忠, 原広行, 東口武史, 山内駿, 鷲尾方一

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　78th　ROMBUNNO.5a‐S44‐6　2017/08/25
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟X線撮像素子の開発

江島丈雄, 羽多野忠

KEK Progress Report (Web)　(2017-10)　ROMBUNNO.125 (WEB ONLY)　2017

ISSN： 1344-6320
波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　63rd　ROMBUNNO.19P-H137-11　2016/03/03
PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光

羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　63rd　ROMBUNNO.19P-H137-9　2016/03/03
レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　76th　ROMBUNNO.16A-4E-3　2015/08/31
炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測

羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　28th　89　2015/01/10
多層膜ミラーを用いた回折格子分光器の高次光解析法

羽多野忠, 原田哲男

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　75th　2014
点光源軟X線顕微鏡の集光光学系の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇広, 相原翔学, 柳原美廣

レーザー学会研究会報告　450th　1-6　2013/10/22
波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　74th　ROMBUNNO.18P-A13-7　2013/08/31
高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　67th　23-24　2012/12/06
高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　59th　ROMBUNNO.18A-A4-8　2012/02/29
極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較

根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　25th　108　2012/01/06
高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　12th　143　2012
地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所軟X線多層膜光学の開発と応用―軟X線顕微鏡

柳原美廣, 江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀

Mater Integr　24　(4/5)　201-207　2011/06/01

ISSN： 1344-7858
Development of soft X-ray multilayer optics and its applications: soft X-ray microscopy

柳原美廣, 江島丈雄, 羽多野忠

Materials integration　24　(4)　201-207　2011/04
Publisher: ティー・アイ・シィー
ISSN： 1344-7858
軟Ｘ線顕微鏡とその基盤技術の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀, 柳原美廣

Ｘ線結像光学ニューズレター　(33)　7-9　2011
2009年光学界の進展 3.X線光学

羽多野忠

光学　39　(4)　176-177　2010/04/10

ISSN： 0389-6625
X-Rays Optics

HATANO Tadashi

光学　39　(4)　176-177　2010/04/10

ISSN： 0389-6625
多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広

PFシンポジウム要旨集　27th　2010
薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発

羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　10th　2010
軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣

応用物理学会学術講演会講演予稿集　70th　(2)　626　2009/09/08
軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

光学シンポジウム講演予稿集　34th　31-32　2009/07/02
A simultaneous multiwavelength dispersive X-ray reflectometer for time-resolved reflectometry

T. Matsushita, E. Arakawa, Y. Niwa, Y. Inada, T. Hatano, T. Harada, Y. Higashi, K. Hirano, K. Sakurai, M. Ishii, M. Nomura

EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL-SPECIAL TOPICS　167　113-119　2009/02

DOI： 10.1140/epjst/e2009-00945-4 　

ISSN： 1951-6355
傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーター用楕円形状基板の開発

荒川悦雄, 東保男, 羽多野忠, 原田哲男, 松下正

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　2009
傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一, 矢野陽子

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　2009
傾斜周期膜厚(laterally graded)構造をもつX線多層膜ポリクロメーターの開発

羽多野忠, 原田哲男, 松下正, 荒川悦雄, 東保男

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　2009
多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計-II

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子

応用物理学会学術講演会講演予稿集　70th　(2)　2009
LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　68　2009
Optical properties of Ti film for EUVL attenuated phase shift mask

Tadashi MATSUO, Tadashi HATANO, Mihiro YANAGIHARA

Photon Factory Activity Report 2007 Part B　254　2009
炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発

原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　594　2008/09/02
レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³の開発 3

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　590　2008/09/02
軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発

原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　55th　(2)　695　2008/03/27
極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率

江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　55th　(2)　695　2008/03/27
汎用軟X線実験装置を用いたAl薄膜の透過像撮像

羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　55th　(2)　2008
多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計-試作とテスト実験-

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一

応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　2008
高安定イオンビームスパッタリング成膜による炭素の窓用多層膜の作製

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　2008
レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³の開発 2

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　68th　(2)　712　2007/09/04
軟X線実験室顕微鏡用の多層膜結像鏡開発

Photon Factory News　25　(2)　28-32　2007/08

ISSN： 0916-0604
ビーム応用

羽多野忠

應用物理　76　(6)　657-658　2007/06/10

ISSN： 0369-8009
レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発

江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　54th　(2)　755　2007/03/27
極紫外シュバルツシルト対物鏡の波長マッチング

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　54th　(2)　2007
実験室極紫外顕微鏡用多層膜鏡の波長マッチング

原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　68th　(2)　2007
Ru capping film on Mo/Si multilayers for EUV lithography

Tadashi MATSUO, Kyoko Sakai, Tadashi HATANO, Mihiro YANAGIHARA

Photon Factory Activity Report 2006 Part B　24　116　2007
疑似球面ホルダーを用いた球面基板用膜厚分布制御パラメーター導出

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　53rd　(2)　2006
28aPS-4 Fe L_<2,3> MCD spectra from Fe/Si magnetic multilayers

Sugawara M., Sato K., Hatano T., Toyoda M., Yanagihara M.

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　61　(0)　724-724　2006
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.61.1.4.0_724_4 　

ISSN： 1342-8349
Soft X-ray MCD Studies on Interfaces in Fe/Si Multilayers

Masaki Sugawara, Kosuke Sato, Tadashi Hatano, Mitsunori Toyoda, Mihiro Yanagihara

KEK Proceedings　(Mar-06)　48-52　2006
Fe L_2,3 MCD Spectra from Fe/Si Multilayers

M. Sugawara, K. Sato, T. Hatano, M. Toyoda, M. Yanagihara

Photon Factory Activity Report 2005 Part B　#23　125　2006
軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価

浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広

応用物理学会学術講演会講演予稿集　66th　(2)　558　2005/09/07
ECRイオンガンのビーム強度不安定性と電源電圧変動との相関

原田哲男, 清水俊明, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　66th　(2)　2005
Multilayer Mirrors for X-rays

山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英, 柳原美廣

機械の研究　57　(1)　74-81　2005
全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性

江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　65th　(2)　601　2004/09/01
極紫外狭帯域分光フィルター用Mo/Si高次多層膜鏡の開発

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　65th　(2)　2004
極紫外用三角交差光路干渉計の光学設計

羽多野忠, 関山健太郎, 原田哲男, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　50th　(2)　2003
極紫外用三角交差光路干渉計のシアリング型縞解析

原田哲男, 羽多野忠, 関山健太郎, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　50th　(2)　2003
新型極紫外シアリング干渉計による形状計測のための縞形成と解析法の検討

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　64th　(3)　2003
Soft X-ray Faraday rotation spectra of Co/Pt multilayers (II)

Saito K, Ejima T, Hatano T, Arai A, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　58　(0)　737-737　2003
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.58.1.4.0_737_2 　
シリコンウエハーの薄膜作製

荒井彰, 田中勇, 鈴木昭夫, 柏原守好, 新田健一, 佐藤二美, 羽多野忠, 渡辺誠, 鈴木正よし

東京大学総合技術研究会技術報告集平成15年　1.54-1.56　2003
The 6th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures

羽多野忠

放射光　15　(4)　60-61　2002/07/31

ISSN： 0914-9287
Magnetic Kerr Rotation Measurement on Ni around Its M2,3 Edges

K. Saito, M. Igeta, T. Ejima, T. Hatano, M. Watanabe

UVSOR Activity Report 2001　128-128　2002/04
Extreme Ultraviolet Faraday Rotation Spectra of Co/Pt Multilayers on Collodion Films

M. Igeta, K. Saito, T. Ejima, T. Hatano, M. Watanabe

UVSOR Activity Report 2001　152-153　2002/04
Soft X-ray Faraday rotation spectra of Co/Pt multilayers

Igeta M, Saito K, Ejima T, Hatano T, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　56　(0)　575-575　2001
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.2.4.0_575_4 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
レーザープラズマ軟X線光源に対するイメージングプレートの感度特性

原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　62nd　(2)　2001
レーザープラズマ光源用の高NA多層膜集光鏡の開発

羽多野忠, 窪田昭吾, 原田哲男, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　62nd　(2)　2001
Development of Soft X-Ray Magnetic Kerr Rotation Apparatus

Saito K, Igeta M, Ejima T, Hatano T, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　56　(0)　661-661　2001
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.1.4.0_661_2 　
Development of Magnetic Kerr Rotation Apparatus in the 50-70 eV Region

K. Saito, M. Igeta, T. Ejima, T. Hatano, M. Watanabe

UVSOR Activity Report 2000　124-125　2001
Efficiency and Polarization Performance of a Multilayer-coated Laminar Grating in the 6.5-6.9-nm Wavelength Region

S. Ishikawa, T. Imazono, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Watanabe

Photon Factory Activity Report: Part B　18　282-282　2001
He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発

羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集　61st　(2)　581　2000/09/03
24pYC-4 Spatial Coherence of Synchrotron Radiation in Sofr X-ray Region

Takaya N, Shiozawa H, Takayama Y, Miyahara T, Tai R.Z, Namikawa K, Hatano T, Okamoto W, Kagoshima Y

Meeting abstracts of the Physical Society of Japan　54　(2)　634-634　1999/09/03
Publisher: The Physical Society of Japan (JPS)
ISSN： 1342-8349
Faraday effect around the Medge in Ni film

HATANO T., HU W., YAMAMOTO M., WATANABE M.

Meeting abstracts of the Physical Society of Japan　53　(1)　194-194　1998/03/10
Publisher: The Physical Society of Japan (JPS)
ISSN： 1342-8349
Emittance measurement using Youngs interferometer.

高山泰弘, 宮原恒あき, 篭島靖, 羽多野忠, 岡本渉, 台仁忠

KEK Proc　(97-20)　251-259　1998/01
Faralay effect around the M edge in Ni film II

HATANO T, HU W, SAITOU K, WATANABE M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　53　(0)　226-226　1998
Publisher: The Physical Society of Japan
ISSN： 1342-8349
Soft x-ray polarization spectroscopy using transmission multilayers. I.

羽多野忠, 山本正樹, 渡辺誠, HU W

日本物理学会講演概要集(分科会)　1997　196　1997/09
Measurement of spatial coherence of synchrotron radiation. III.

高山泰弘, 羽多野忠, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

日本物理学会講演概要集(年会)　52　(1 Pt 2)　192　1997/03

ISSN： 1342-8349
28p-YC-2 Measurement of spatial coherence of synchrotron radiation III

Takayama Yasuhiro, Hatano Tadashi, Okamoto Wataru, Miyahara Tsuneaki, Kagoshima Yasushi

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　52　(0)　192-192　1997
Publisher: The Physical Society of Japan
ISSN： 1342-8349
5a-G-1 Soft x-ray polarization spectroscopy using transmission multilayers I

Hatano T, Hu W, Yamamoto M, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　52　(0)　196-196　1997
Publisher: The Physical Society of Japan
ISSN： 1342-8349
Measurement of spatial coherence of synchrotron radiation. II.

高山泰弘, 羽多野忠, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

日本物理学会講演概要集(分科会)　1996　(Autumn Pt 2)　297　1996/09
Measurement of spatial coherence of synchrotron radiation. I.

羽多野忠, 高山泰弘, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

日本物理学会講演概要集(分科会)　1996　(Autumn Pt 2)　296　1996/09
Inner shell excitation magnetic circular dichroism of Gd-Co and Gd-Ni alloys.

羽多野忠, 朴成烈, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

日本放射光学会年会予稿集　9th　64　1996/01
Measurement of spatial coherence of synchrotron radiation I

Hatano T, Takayama Y, Okamoto W, Miyahara T, Kagoshima Y

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1996　(0)　296-296　1996
Publisher: The Physical Society of Japan
Measurement of spatial coherence of synchrotron radiation II

Takayama Y, Hatano T, Okamoto W, Miyahara T, Kagoshima Y

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1996　(0)　297-297　1996
Publisher: The Physical Society of Japan
Core excitation magnetic circular dichroism of ferrimagnetic Gd-Co alloys.

羽多野忠, PARK S Y, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

日本物理学会講演概要集(分科会)　1995　(Autumn Pt 2)　241　1995/09
Core excitation magnetic circular dichroism of Gd-Ni alloys.

PARK S Y, 羽多野忠, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

日本物理学会講演概要集(分科会)　1995　(Autumn Pt 2)　241　1995/09
27p-W-7 Core excitation magnetic circular dichroism of Gd-Ni alloys

Park S.Y, Hatano T, Takayama Y, Hanyu T, Miyahara T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1995　(0)　241-241　1995
Publisher: The Physical Society of Japan
27p-W-8 Core excitation magnetic circular dichroism of ferrimagnetic Gd-Co alloys

Hatano T, Park S.Y, Takayama Y, Hanyu T, Miyahara T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1995　(0)　241-241　1995
Publisher: The Physical Society of Japan
Two-photon spectroscopy of Z3-exciton series in CuCl.

斎藤恵吾, 羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

日本物理学会講演概要集(年会)　49th　(2)　233　1994/03

ISSN： 1342-8349
31a-H-1 Two-photon spectroscopy of Z_3-exciton series in CuCl

Saito K, Hatano T, Hasuo M, Nagasawa N

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　49　(0)　233-233　1994
Publisher: The Physical Society of Japan
Two-photon spectroscopy of Z3-longitudinal exciton in CuCl.

羽多野忠, 長沢信方

日本物理学会講演概要集(分科会)　1993　(Autumn Pt 2)　309　1993/09
Evaluation of reactin cross-section for excitons to form a bi-exciton.

羽多野忠, 長沢信方

日本物理学会講演概要集(年会)　48th　(2)　283　1993/03

ISSN： 1342-8349
15a-DC-10 Two-photon spectroscopy of Z_3-longitudinal exciton in CuCl

Hatano T, Nagasawa N

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1993　(0)　309-309　1993
Publisher: The Physical Society of Japan
Evaluation of reaction cross-section for excitons to form a bi-exciton

Hatano T, Nagasawa N

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　48　(0)　283-283　1993
Publisher: The Physical Society of Japan
Two-photon excitation of longitudinal excitons leading to the bi-exciton creation.

羽多野忠, 長沢信方

日本物理学会講演概要集(分科会)　1992　(Autumn Pt 2)　270　1992/09
27a-ZE-15 Two-photon excitation of longitudinal excitons leading to the bi-exciton creation

Hatano T, Nagasawa N

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1992　(0)　270-270　1992
Publisher: The Physical Society of Japan
The special character of biexciton luminescence and higher-order-nonlinear emission of CuCl.

羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

日本物理学会講演概要集(年会)　46th　(2)　262　1991/09

ISSN： 1342-8349
30a-A-8 The spacial character of biexciton luminescence and higher-order-nonlinear emission of CuCl

Hatano T, Hasuo M, Nagasawa N

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　46　(0)　262-262　1991
Publisher: The Physical Society of Japan
New nonlinear emission by the high density excitation in Z3-exciton band of CuCl. Emission and excitation spectra.

蓮尾昌裕, 羽多野忠, 長沢信方

日本物理学会秋の分科会講演予稿集　1990　(2)　217　1990/10
New nonlinear emission by the high density excitation in Z3-exciton band of CuCl. Spacial character.

羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

日本物理学会秋の分科会講演予稿集　1990　(2)　216　1990/10
3a-B-8 Space resolves two photon spectroscapy on biexcitons in CuCl

HATANO T, NAGASAWA N, HASUO M, MORINAGA M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1989　(0)　191-191　1989
Publisher: The Physical Society of Japan

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Presentations 152

2~4keV領域軟X線高分解能平面結像型ラミナー型多層膜球面回折格子分光器の設計

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフアレキサンダー, 大上裕紀, 垣尾翼, 近藤公伯, 寺内正己

第38回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2025/01/11
Design of Soft X-Ray Flat-Field Grating Spectrometer Equipped with a Laminar-Type Sherical Gratings having a High-Groove-Density Varied-Line-Spacing (VLS) Grooves that Achieves High Resolution and Graded-Refractive-Index (GRI) Multilayer Coating that Exhibits High Diffraction Efficiency in the 2–4 keV Region

M.Koike, T.Hatano, A.S.Pirozhkov, T.Murano, Y.Oue, S.Koshiya, T.Kakio, M.Terauchi

8th QST International Symposium　2024/11/14
1-2keV領域で高効率を呈する軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計と平面結像型球面回折格子分光器への応用

小池雅人, ピロジコフ S. アレキサンダー, 羽多野忠, 大上裕紀, 垣尾翼, 寺内正己

第60回X線分析討論会　2024/11/01
250～550 eV領域において高回折効率とspectral fluxを呈する軟X線平面結像型分光器用のAu/Niラミナー型回折格子の設計

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフ S. アレキサンダー, 大上裕紀, 村野孝訓, 垣尾翼, 越谷翔悟, 寺内正己

第85回応用物理学会秋季学術講演会　2024/09/16
Ultrabright BISER coherent x-ray source — Towards quantum imaging of macro-molecules

A. S. Pirozhkov, T. A. Pikuz, S. Namba, A. Sagisaka, K. Ogura, E. A. Vishnyakov, Ko. Kondo, K. Huang, N. Nakanii, A. Kon, Y. Miyasaka, A. Bierwage, Y.‐K. Liu, S. Lorenz, C.‐E. Lin, M. Nevrkla, J. Šišma, T. Wei, J. K. Koga, P. Chen, G. M. Grittani, M. Koike, T. Hatano, T. Zh. Esirkepov, H. Kiriyama, S. V. Bulanov, M. Kando

7th QST International Symposium　2024/07/24
Enhancement of diffraction efficiency and spectral flux with quasi-graded index coating (QGIC) on soft X-ray laminar-type diffraction gratings optimized for B-K and Li-K emissions

M.Koike, T.Hatano, A.S.Pirozhkov, T.Murano, Y.Oue, S.Koshiya, T.Kakio, M.Terauchi

7th QST International Symposium　2024/07/24
Enhancement of Diffraction Efficiency with Graded-Refractive-Index-Coating (GRIC) on Soft X-Ray Laminar-Type Diffraction Gratings for B-K and Li-K Emissions

Masato Koike, Tadashi Hatano, Alexander Pirozhkov, Masami Terauchi, Shogo Koshiya, Takanori Murano, Tubasa Kakio, Nobukazu Hayashi, Yuki Ohue, Kenta Konishi, Tetsuya Nagano

2024/06/04
2~4keV領域軟X線高分散高回折効率傾斜屈折率スーパーミラー型多層膜回折格子の設計

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2024/01/12
Examination of Soft X-ray Beam Splitter using Multilayer coated Grating

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2023
軟X線スーパーミラー型高回折効率高分解能回折格子の設計

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

第58回X線分析討論会　2022/11/11
真空紫外/軟X線ラミナー型回折格子への低消衰透明膜のオーバーコートによる回折効率の向上

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

日本分光学会年次講演会　2022/10/13
2〜4keV領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計(II)

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

第83回応用物理学会秋季学術講演会　2022/09/21
Li-K発光対応高spectral fluxラミナー型回折格子の設計

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己

日本顕微鏡学会第78回学術講演会　2022/05/11
1-5 keV 軟X線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作

羽多野忠, 今園孝志, 江島丈雄

第69回応用物理学会春季学術講演会　2022/03/24
1~2 keV領域高spectral flux軟Ｘ線ラミナー型多層膜回折格子の設計と評価

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフアレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己

第69回応用物理学会春季学術講演会　2022/03/24
刻線密度 3200 本/mm 軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作と W/C 多層膜による回折効率増大

羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフアレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2022/01/08
極端紫外（ＥＵＶ）域低入射角高回折効率ラミナー型回折格子の開発

小池雅人, 村野孝訓, 越谷翔悟, 羽多野忠, ピロジコフ S. アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 長野哲也, 寺内正己

第57回Ｘ線分析討論会　2021/11/06
低入射角・高回折効率ラミナー型回折格子の開発とボロン K 発光分析への応用

羽多野忠, 小池雅人, Alexander S. Pirozhkov, 西原弘晃, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

Optics & Photonics Japan 2021　2021/10/29
極端紫外（ＥＵＶ）域広開口高回折効率ラミナー型回折格子の開発

小池雅人, 羽多野忠, 村野孝訓, 越谷翔悟, ピロジコフ S.アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 長野哲也, 寺内正己

2021年日本分光学会年次講演会　2021/10/15
Fe L 発光対応高刻線密度ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフアレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

第82回応用物理学会秋季学術講演会　2021/09/10
刻線密度 3200 本/mm の軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作と評価

羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフアレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

第68回応用物理学会春季学術講演会　2021/03/18
keV 領域多層膜回折格子のための多層膜開発

羽多野忠, 江島丈雄

第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2021/01/09
軟X線励起蛍光におけるSTED現象

江島丈雄, 若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 羽多野忠, 東口武史

第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2021/01/09
Fe-L (705 eV) 発光対応高回折効率・広受光角ラミナー型多層膜回折格子の製作と評価

小池雅人, 羽多野忠, 寺内正己, Pirozhkov Alexander, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

日本顕微鏡学会第76回学術講演会　2020/05/26
2~4 keV 領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計

小池雅人, 上野良弘, 羽多野忠, ピロジコフ・アレキサンダー, 寺内正己

第67回応用物理学会春季学術講演会　2020/03/14
可変偏角分光器の誤差補正とエネルギー領域の拡張

羽多野忠

第67回応用物理学会春季学術講演会　2020/03/14
300 eV~1.3 keV における各種シンチレータの発光特性

江島丈雄, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2020/01/12
3d 遷移金属 L 発光高感度分光計測のためのラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

羽多野忠, 小池雅人, 寺内正己, Alexander S. Pirozhkov, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2020/01/11
波長 100 nm VUV 直入射ミラーの作製と反射率計測

羽多野忠, 松田欣之, 江島丈雄, 中村永研

第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2020/01/11
ボロンK発光対応増反射膜付加高回折効率軟X線ラミナー型回折格子の開発

小池雅人, 羽多野忠, 寺内正己, ピロジコフ S アレキサンダー, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

第55回X線分析討論会　2019/10/30
Design of valid line spacing holographic grating with high groove density and multilayered laminar-type grooves for flat field spectrometer optimized for 200‒900 eV region

Masato Koike, Tadashi Hatano, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics　2019/10/25
LaF3- and La/C-coated high efficiency laminar-type diffraction gratings for B K-emission spectroscopy

Tadashi Hatano, Masato Koike, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Hiroaki Nishihara, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics　2019/10/25
Luminescence properties of scintillators in the energy region from 300 eV to 1.3 keV

Takeo Ejima, Shunsuke Kurosawa, Akihiro Yamaji, Tadashi Hatano, Toshitaka Wakayama, Takeshi Higashiguchi, Mamoru Kitaura

The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics　2019/10/25
200～900 eV域対応高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型Ｗ/Ｃ多層膜回折格子の設計(II)

小池雅人, 羽多野忠, 寺内正己, ピロジコフアレキサンダー, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

第80回応用物理学会秋季学術講演会　2019/09/19
200–900 eV域対応高回折効率・広受光角ラミナー型W/C多層膜回折格子の製作と評価

羽多野忠, 小池雅人, 寺内正己, ピロジコフアレキサンダー, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

第80回応用物理学会秋季学術講演会　2019/09/19
Design of soft X-ray high diffraction efficiency diffraction gratings employing a hybrid multilayer structure in a wide energy range of 200‒900 eV

M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, M. Terauchi, N. Hayashi, H. Sasai, T. Nagano

The 40th International Conference on Vacuum Ultraviolet and X-ray Physics　2019/07
Fe-K (705 eV)対応高回折効率・広帯域軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計

小池雅人, 羽多野忠, Pirozhikov Alexander, 寺内正己, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

日本顕微鏡学会第75回学術講演会　2019/06
Recent Progresses in Soft X-ray Emission Spectroscopy Invited

M. Terauchi, T. Hatano, M. Koike, Alexander S. Pirozhkov, H. Sasai, T. Nagano, M. Takakura, T. Murano

16th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis　2019/05/23
Development of bismuth plasma-based water-window soft x-ray source

2019/05/17
ホウ素-K発光分光のための酸化物膜付加による高回折効率ラミナー型回折格子

小池雅人, 羽多野忠, Pirozhikov S. Alexander, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

2019年度日本分光学会年次講演会　2019/05
酸化物膜付加ボロンK発光(183 eV)対応軟X線ラミナー型回折格子の回折効率評価

小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフアレキサンダー, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

2018年度量子ビームサイエンスフェスタ　2019/03/12
200～900 eV域対応高回折効率軟X線Ｗ/Ｃ多層膜ラミナー型回折格子の設計

小池雅人, 羽多野忠, アレキサンダーピロジコフ, 寺内正己, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

第66回応用物理学会春季学術講演会　2019/03/10
ボロンK発光(183 eV)分光計測のための酸化物膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発

小池雅人, 寺内正己, 羽多野忠, 高橋秀之, 村野孝訓, 高倉優, 長野哲也, 笹井浩行, 西原弘晃

第3回応用物理学会関西支部講演会　2019/02/15
ボロンK-発光高感度分光計測のためのランタン膜付加高効率回折格子の開発

羽多野忠, 小池雅人, 西原弘晃, Alexander S. Pirozhkov, 寺内正己, 笹井浩行, 長野哲也

第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2019/01/10
低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性

原広行, 川崎太夢, 田村賢紀, 羽多野忠, 江島丈雄, JIANG Weihua, 大橋隼人, 難波愼一, 砂原淳, 佐々木明, 錦野将元, O’SULLIVAN Gerry, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/09/05
ボロンK発光分光計測のための反射増加膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計指針

小池雅人, 羽多野忠, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/09/05
BiターゲットLPP光源を用いた軟X線顕微鏡CXRM

江島丈雄, 小野祐一, 伊藤圭祐, 川崎大夢, 羽多野忠, 刀祢重信, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/09/05
ボロンK発光分光計測のためのランタン膜付加高回折効率・広受光角ラミナー型回折格子の製作と評価

羽多野忠, 小池雅人, 西原弘晃, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 笹井浩行, 長野哲也

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/09/05
SX‐STED用シンチレーターの探索

江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/09/05
Development of laboratory-type soft X-ray microscope, CXRM, in Water-window using LPP light source International-presentation

Takeo Ejima, Yuichi Ono, Keisuke Ito, Hiromu Kawasaki, Takeshi Higashiguchi, Shigenobu Tone, Tadashi Hatano

14th International conference on x-ray microscopy　2018/08/22
Quantum efficiency of back-illuminated CMOS sensor with 1.4×1.4 µm2 pixel size International-presentation

Takeo Ejima, Tadashi Hatano

14th International conference on x-ray microscopy　2018/08/20
Cr/Sc/Mo multilayer mirror for illuminator optics in water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources International-presentation

Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Yuichi Ono, Thanh-Hung Dinh, Toshiki Tamura, Keigo Maeda, Hiroyuki Hara, Takeshi Higashiguchi

13th International conference on synchrotron radiation instrumentation　2018/06/13
Enhancement of diffraction efficiency and spectral flux of laminar-type diffraction gratings coated with Ni/La/C layers in soft X-ray region International-presentation

Tadashi Hatano, Masato Koike, Hiroaki Nishihara, Alexander S. Pirozhkov, Masami Terauchi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

13th International conference on synchrotron radiation instrumentation　2018/06/11
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/03/05
材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション

錦野将元, 石野雅彦, DINH T‐H, 長谷川登, FAENOV A, PIKUZ T, 市丸智, 木下博雄, 坂上和之, 東口武史, 犬伏雄一, 今亮, 大和田成起, 羽多野忠, 鷲尾方一, 末元徹, 河内哲哉

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/03/05
ホウ素‐K発光分光のための酸化物膜付加による高回折効率広受光角ラミナー型回折格子

小池雅人, 羽多野忠, ALEXANDER Pirozhkov S, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

X線分析討論会講演要旨集　2017/10/26
水の窓軟X線領域で高繰り返し動作可能なターゲット元素の選定

東口武史, 田村賢紀, 小野祐一, 原広行, 近藤芳希, 荒居剛己, JIANG W, 羽多野忠, 江島丈雄

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
Photon Factory BL‐11Dの波長13.5nmにおける2次光評価

羽多野忠

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
超短パルス軟X線レーザー照射によるアブレーション

石野雅彦, HUNG Dinh Thanh, FAENOV Anatory, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 河内哲哉, 木下博雄, 今亮, 坂上和之, 末元徹, PIKUZ Tatiana, 保智己, 錦野将元, 長谷川登, 羽多野忠, 東口武史, 鷲尾方一

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
水の窓軟X線顕微鏡による高分解能撮像に向けて

東口武史, 小野祐一, 田村賢紀, CHEN W, 小倉拓人, 原広行, 近藤芳希, 若山俊隆, 羽多野忠, 江島丈雄

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション

市丸智, 錦野将元, 石野雅彦, 木下博雄, 犬伏雄一, 東口武史, 鷲尾方一, 坂上和之, 大和田成起, 羽多野忠, 畑山雅俊, 大知渉之, HUNG Dinh Thanh, 今亮, 原広行, 山内駿, 小倉拓人, 篠崎夏美, 小柴裕也, 高橋孝, 西留武宏, 奥哲

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
ボロンK発光分光計測のための酸化物膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子

小池雅人, 羽多野忠, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究

坂上和之, 石野雅彦, 井谷俊郎, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 小倉拓人, 木下博雄, 小柴裕也, 今亮, SANTILLAN Julius Joseph, 篠崎夏美, 高橋孝, 田村賢紀, HUNG Dinh Thanh, 錦野将元, 西留武宏, 羽多野忠, 原広行, 東口武史, 山内駿, 鷲尾方一

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟X線撮像素子の開発

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
波長4nm軟X線用Cr/Sc/Mo多層膜コンデンサーミラーの開発

羽多野忠, 江島丈雄

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/03/01
ボロンK発光分光計測のためのランタン(La)系膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計

小池雅人, PIROZHKOV Alexander, 羽多野忠, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/03/01
ボロン‐K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子

小池雅人, 羽多野忠, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也

X線分析討論会講演要旨集　2016/10/12
PF BL‐11Dにおける5‐10nm領域の回折格子の回折効率評価

羽多野忠, 小池雅人, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016/09/01
波長4.0nm斜入射ミラー用Cr/Sc/Mo多層膜の開発

羽多野忠, 江島丈雄

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016/09/01
PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光

羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016/03/03
波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016/03/03
レーザー生成Biプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

近藤芳希, DINH Thanh Hung, 小野祐一, 荒居剛己, 原広行, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016/03/03
レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2015/08/31
炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測

羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2015/01/10
Photon Factory BL‐11Dの直線偏光度

羽多野忠

物構研サイエンスフェスタ要旨集　2015
多層膜ミラーを用いた回折格子分光器の高次光解析法

羽多野忠, 原田哲男

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2014/09/01
PF BL‐11D分光器のフルレンジ駆動ソフトウェア

羽多野忠

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2013/08/31
波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2013/08/31
BL‐11D可変偏角分光器のデフォーカス除去調整とフルレンジエネルギースキャン

羽多野忠

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2013/01/12
高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　2012/12/06
PF BL‐11D後置集光鏡システムの集光性能評価

内田健太郎, 相原翔学, 羽多野忠, 津留俊英

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2012/02/29
曲面ミラー反射率計測ビームラインPF BL‐11D

羽多野忠, 相原翔学, 伊藤健二, 菊地貴司

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2012/02/29
高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2012/02/29
極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較

根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2012/01/06
高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2012
軟X線結像鏡収差計測のための光学設計

内田健太郎, 津留俊英, 羽多野忠

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2011
シャッター速度制御方式による急勾配成膜技術

相原翔学, 羽多野忠

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　2010/11/22
多層膜ミラーの周期数による反射位相制御

津留俊英, 羽多野忠

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2010/08/30
汎用軟X線実験装置を用いたヤングの干渉縞観測

小笠原承道, 梅津裕生, 羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2010/03/03
軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測用密着ダブルスリット付きミリング多層膜の作製

津留俊英, 酒井優, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2010/03/03
放射光を用いた軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測

羽多野忠, 小笠原承道, 梅津裕生, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　2010/03/03
シャッター速度制御方式による非球面成膜形成法の開発

相原翔学, 羽多野忠

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2010
薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発

羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2010
多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広

PFシンポジウム要旨集　2010
反射配置のヤングの干渉計による極紫外多層膜ミラーの位相操作効果の計測

羽多野忠, 小笠原承道, 梅津裕生, 酒井優, 津留俊英

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009/12/10
傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計‐II

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009/12/10
軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2009/09/08
シャッター速度制御方式による非球面成分の成膜形成

相原翔学, 羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2009/09/08
多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計―II

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2009/09/08
軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

光学シンポジウム講演予稿集　2009/07/02
軟X線多層膜ミラーの指定領域波面補正イオンミリング

津留俊英, 酒井優, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2009/03/30
多層膜表面ミリングによる反射位相変化の軟X線干渉計測

小笠原承道, 梅津裕生, 羽多野忠, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2009
放射光を用いた反射率測定の現状と将来展望―理研仁科SR2における反射率測定ビームライン建設に向けて―フォトンファクトリーの光学素子評価ビームラインと光学素子評価装置

羽多野忠

放射光を用いた反射率測定の現状と将来展望-理研仁科SR2における反射率測定ビームライン建設に向けて平成21年度理研シンポジウム　2009
傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一, 矢野陽子

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009
LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009
傾斜周期膜厚(laterally graded)構造をもつX線多層膜ポリクロメーターの開発

羽多野忠, 原田哲男, 松下正, 荒川悦雄, 東保男

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009
傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーター用楕円形状基板の開発

荒川悦雄, 東保男, 羽多野忠, 原田哲男, 松下正

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2009
高安定イオンビームスパッタリング成膜による炭素の窓用多層膜の作製

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2008/09/02
レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³の開発 3

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2008/09/02
炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発

原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2008/09/02
多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計―試作とテスト実験―

松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2008/09/02
回折格子の実測VLSパラメーターに基づく軟X線実験室分光反射率計の配置最適化

中島将, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2008/03/27
軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発

原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2008/03/27
汎用軟X線実験装置を用いたAl薄膜の透過像撮像

羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2008/03/27
極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率

江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2008/03/27
実験室極紫外顕微鏡用多層膜鏡の波長マッチング

原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2007/09/04
レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³の開発 2

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2007/09/04
極紫外シュバルツシルト対物鏡の波長マッチング

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2007/03/27
レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発

江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2007/03/27
疑似球面ホルダーを用いた球面基板用膜厚分布制御パラメーター導出

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2006/03/22
28aPS-4 Fe L_<2,3> MCD spectra from Fe/Si magnetic multilayers

Sugawara M, Sato K, Hatano T, Toyoda M, Yanagihara M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　2006
水の窓領域の多層膜結像鏡評価のための実験室分光反射率計の光学設計

羽多野忠, 近藤祐治, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2005/09/07
ECRイオンガンのビーム強度不安定性と電源電圧変動との相関

原田哲男, 清水俊明, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2005/09/07
軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価

浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2005/09/07
軟X線結像用の精密多層膜鏡の開発

羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2005/03/29
全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性

江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2004/09/01
極紫外狭帯域分光フィルター用Mo/Si高次多層膜鏡の開発

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2004/09/01
新型極紫外シアリング干渉計による形状計測のための縞形成と解析法の検討

原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2003/08/30
極紫外用三角交差光路干渉計のシアリング型縞解析

原田哲男, 羽多野忠, 関山健太郎, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2003/03/27
極紫外用三角交差光路干渉計の光学設計

羽多野忠, 関山健太郎, 原田哲男, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2003/03/27
Soft X-ray Faraday rotation spectra of Co/Pt multilayers (II)

Saito K, Ejima T, Hatano T, Arai A, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　2003
磁場を用いた固体ターゲットLPP光源のデブリ除去効果

神田剛, 羽多野忠, 古舘三七二, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2002/03/27
イオンビームスパッタリング成膜におけるSiの膜厚分布とMoの膜厚分布

窪田昭吾, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2002/03/27
レーザープラズマ光源用の高NA多層膜集光鏡の開発

羽多野忠, 窪田昭吾, 原田哲男, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2001/09/11
レーザープラズマ軟X線光源に対するイメージングプレートの感度特性

原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2001/09/11
イオンビームスパッタリング法で成膜したMo/Si多層膜の曲面基板上膜厚分布

羽多野忠, 窪田昭吾, 山本正樹, 宮田登

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2001/03/28
レーザー生成プラズマ光源Sn固体ターゲットからのデブリ量の速度分布

関山健太郎, 羽多野忠, 神田剛, 古舘三七二, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2001/03/28
Development of Soft X-Ray Magnetic Kerr Rotation Apparatus

Saito K, Igeta M, Ejima T, Hatano T, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　2001
Soft X-ray Faraday rotation spectra of Co/Pt multilayers

Igeta M, Saito K, Ejima T, Hatano T, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　2001
He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発

羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2000/09/03
軟X線(~184eV)用多層膜回折格子の作製と評価

石川禎之, 今園孝志, 柳原美広, 羽多野忠, 渡邊誠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2000/09/03
直径100mm基板上のMo/Si多層膜のスパッタ膜厚制御

梅津裕生, 羽多野忠, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　2000/03/28
軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定

高谷典子, 塩沢秀次, 高山泰弘, 宮原恒あき, TAI R Z, 並河一道, 羽多野忠, 岡本渉, 篭島靖

日本物理学会講演概要集　1999/09/03
高NA用のレーザー生成プラズマ光源デブリ除去装置

山本正樹, 古舘三七二, 羽多野忠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　1999/09/01
Sc/Cr多層膜偏光子を用いた偏向部ビームラインの直線偏光度測定

羽多野忠, 坂野究, 柳原美広, 山本正樹

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　1999/01/07
NiおよびCo薄膜のM吸収端におけるファラデー効果

羽多野忠, 胡衛兵, 斉藤勝彦, 渡辺誠

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　1999/01/07
24pYC-4 Spatial Coherence of Synchrotron Radiation in Sofr X-ray Region

Takaya N, Shiozawa H, Takayama Y, Miyahara T, Tai R.Z, Namikawa K, Hatano T, Okamoto W, Kagoshima Y

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1999
Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果 II

羽多野忠, HU W, 斉藤勝彦, 渡辺誠

日本物理学会講演概要集　1998/09/05
Development of high reflectance multilayer mirror for water window region.

坂野究, 羽多野忠, 古館三七二, 堀田善文, 梅津裕生, 柳原美広, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　1998/09
Faraday effect around the M edge in Ni film.

羽多野忠, HU W, 山本正樹, 渡辺誠

日本物理学会講演概要集(年会)　1998/03
軟X線ファラデー回転分光法の開発

胡衛兵, 羽多野忠, 山本正樹, 渡辺誠

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　1998/01/09
3a-B-8 Space resolves two photon spectroscapy on biexcitons in CuCl

HATANO T, NAGASAWA N, HASUO M, MORINAGA M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1989

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Research Projects 8

1-5 keV 全域でブラッグ条件を満たす高出力多層膜回折格子分光器の開発

羽多野忠, 小池雅人, 江島丈雄

Offer Organization: 日本学術振興会

System: 科学研究費助成事業基盤研究(C)

Category: 基盤研究(C)

Institution: 東北大学

2019/04/01 - 2022/03/31
Interface of Magnetic Multilayers Studied by Magnetic Circular Dichroism Combined with Soft X-ray Standing Waves

YANAGIHARA Mihiro, KITAKAMI Osamu, EJIMA Takeo, HATANO Tadashi

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: Tohoku University

2006 - 2007

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Fe/Si multilayer is attractive for the strong antiferromagnetic (AF) interlayer coupling. However, mechanism of the coupling has not been settled yet because of severe interdiffusion at the interface. The objects of this research are as follows; 1) to resolve the magnetic states of the interdiffused layer as a function of depth by using soft X-ray absorption magnetic circular dichroism (MCD) study combined with soft X-ray standing wave technique, 2) to discuss the interdiffused layer by comparing the depth-resolved magnetic states and the layer structure estimated from the soft X-ray fluorescence (SXF) spectroscopy, and 3) to understand the mechanism of the strong AF coupling in the Fe/Si systems in terms of the quantum interference model as a goal of this research. It was found in this research that enhancement of the magnetic moments due to the interface anisotropy occurs in the ferromagnetic Fe_3Si layer neighboring to the Fe layer in the interdiffused layer regardless of the coupling mode. As for the AF-coupled sample, the moments enhance in close vicinity to the boundary with the nonmagnetic FeSi layer. It is thus evident that the effective space separating the magnetized layers for the AF-coupled sample is thin as compared with the non AF-coupled one. Thus we can speculate about the reason for the strong AF coupling in Fe/Si multilayers that the effective space between the enhanced magnetization is thin enough to magnetically couple with each other strongly. This research project was successfully carried out showing strongly that combination of the depth-resolved MCD study and SXF measurements will be a powerful tool to investigate the magnetic and electronic states of buried interfaces.
High-resolution, element-specific microscope using a laser-produced-plasma soft X-ray source

YAMAMOTO Masaki, YANAGIHARA Mihiro, HATANO Tadashi, EJIMA Takeo, TSURU Toshihide, TOYODA Mitsunori

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research

Category: Grant-in-Aid for Specially Promoted Research

Institution: Tohoku University

2003 - 2007

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The project aims to develop a soft X-ray Schwarzschild microscope having spatial resolution of 50 nm enabling fast and easy laboratory imaging of organic and inorganic hybrids, magnetic materials and biological samples with the soft X-ray light in the wavelength range of 3 to 30 nm. The soft X-ray microscope is composed of a clean laboratory source of a laser produced plasma, imaging multilayer mirrors of specific D-spacing for monochromatic reflection, high accuracy alignment optics by visible light and image detectors, all comply with the high quality imaging. The most outstanding technology established is with our multilayer fabricator enabling D-space control on concave and convex mirror substrates with high accuracy of 0.1%, which achieves exact wavelength matching among the monochromatic mirrors for the wavelengths of 13.5nm and beyond, down to the 4.5nm, the carbon window region. The fabrication is supported by a new laboratory spectro-reflectometer designed for the curved mirror samples, a soft X-ray interferometer for the wave-front error measurements and a multilayer surface milling system for digital error correction by the layer period removal. These equipments help establishing soft X-ray optical engineering with multiyear optics. The most dominant achievement is the high grade <one shot imaging> by the microscope with the high 80% throughput 4-mirror optics developed. The resolution of the image has already met the 400nm limit by the CCD detector pixel size and is expected to reach 30nm. The high resolution imaging of living cells within the 0.2mm field of view will show details inside with 6000×6000 pixels by one shot. The image is free from burring by possible Brownian motion of particles in solution and offers new process of detailed analysis of multi-events in the wide field of view at desired magnification in the computer display of the novel optical microscope.
Precise thickness distribution control of soft X-ray multilayers using a speed programmahle shutter and application to aspherics fabrication

HATANO Tadashi

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: TOHOKU UNIVERSITY

2003 - 2004

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In ion beam sputtering deposition, the temporal stability of ion guns is a dominant factor for the accuracy of thickness control. Mo/Si multilayer concave mirrors for use at 13.5 rim need a reflectance peak wavelength within an error of 2%, while it has been 10% owing to the variation of the sputtering rate of our deposition apparatus. Therefore a stable run of ion guns to decrease the sputtering rate variation under 2% has been significant. Main parameters of an ion gun are Ar flow rate, accelerator voltage and extractor voltage. Ion beam output dependence on these factors has been investigated in detail. The condition for maximum ion beam output was found to be 1.4 sccm Ar flow rate, -1.4 kV accelerator voltage and +300 V extractor voltage. Then the temporal stability dependence on the Ar flow rate was investigated. The ion beam output was found to become more stable at a lower level when the Ar flow rate increases. The optimum Ar flow rate lies in the range between 1.7 and 2.0 sccm as a conclusion. Furthermore the ion beam output was monitored in the total ion flow and in the ion density by electrodes at the extractor and at the beam shutter, respectively. Strong correlations between the room temperature and the ion flow and between the source voltage and the ion flow were found, which implies how to improve the stability. In our original technique of the programmable shutter for thickness distribution control, the calculation method of the minimum elapsed time was newly derived and the shutter shape to extend the mechanical stroke was reexamined. Mo/Si multilayer concave mirrors of radii of curvature of 50, 270 and 300 mm were fabricated and their thickness distributions were evaluated by normal incidence soft X-ray reflectometry at the Photon Factory, KEK.
多層膜表面ミリングによる反射波面の制御

津留俊英, 山本正樹, 羽田野忠, 津留俊英

Offer Organization: 日本学術振興会

System: 科学研究費助成事業

Category: 萌芽研究

Institution: 東北大学

2002 - 2003

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本研究では,多層膜の反射理論計算で発見した"多層膜鏡の表面をミリングすると物理光学的であり,幾何光学的な基板ミリングとは原理的に全く異なる光学的効果が得られる"ことを可視光で実験的に検証する.また,得られる基礎データをもとに,"多層膜の表面ミリングで反射波面を物理光学的に精密制御できる"ことを応用研究へ展開する道を探ることを目的とする. 本年度は実験に先駆けて,昨年度開発した反射位相計算ソフトウエアを改良し,より完成度の高いものとした.具体的には,基板+薄膜(1-4層)+キャップ膜の構成を可能とし,反射位相のみならず複素振幅反射率の入射角依存性と入射波長依存性を計算・表示出来るものとした.このソフトウエアを用いて波長632.8nmの可視光による検証実験のための成膜物質選択と最適膜厚計算を行った.BK7基板上に,成膜物質1:TiO_2,成膜物質2:SiO_2を5周期成膜後,マスクを段階的に施しながら成膜することで所定の段差を持った膜構造を形成し,ミリングした場合と同様の効果が得られる構成とした.なおこの構成では,5周期成膜することで反射率90%が得られ,1周期の段差で約180°の位相変化が見込まれる. その場計測用自動消光エリプソメーターを組み込んだイオンビームスパッタリング装置でTiO_2とSiO_2単層膜を成膜し,屈折率nをそれぞれ2.44,1.65と決定した.この結果を元に最適膜厚をそれぞれ64.8nm,96.1nmと決定した.また,エリプソメーターによるその場膜厚制御を行うためにに,解析ソフトウエアを新規に開発し,成膜装置へ組み込んだ.現在,可視光検証用の多層膜成膜と干渉計測用の光学系のセットアップを終え,干渉計測による検証を開始した.
Methodological study to measure the magnetization of individual layer in magnetic multilayers by soft X-ray Kerr effect

WATANABE Makoto, EJIMA Takeo, HATANO Tadashi

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: Tohoku University

2000 - 2001

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The purpose of this study is to develop a method to measure the magnetization of individual layer in magnetic multilayers by the observation of angular dependence of magnetic Kerr effect in the soft X-ray region. At the first time, the design principle to obtain good multilayer polarizers was established. Next by the use of the multilayer polarizers, the magnetic Kerr rotation apparatus which can be also used for the Faraday rotation measurements was instrumented. After that, the Faraday rotation and magnetic Kerr rotation experiments were performed on Ni and Co films around their M_<2,3> absorption edges at UVSOR facility and the consistency of both results was checked. These studies were reported at the 13^<th> Int. Conf. on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (Trieste, 2001). Furthermore, the Faraday rotation measurements were carried out on Co/Pt magnetic multilayers around M_<2,3> edges of Co and N_<6,7> edges of Pt to check whether the magnetic rotation measurements can be applied to the magnetic multilayers. The magnetization was checked by a vibrating sample magnetometer at Shimada Lab. From the Faraday rotation experiments, it was found that the Pt atoms are magnetized and the magnetization has interesting dependence on the thickness of layers. Finally, the Kerr rotation experiments on Co/Cu multilayers were carried out around M_<2,3> edges of Co and Cu. The analysis of the magnetization of individual layer is now in progress.
DEVELOPMENT OF SOFT X-RAY INTERFEROMETRY WITH SYNTHETIC MULTILAYERS AND APPLICATION TO WAVEFRONT MEASUREMENTS AND CONTROL OF PRECISION IMAGING MIRRORS

YAMAMOTO Masaki, HATANO Tadashi, YAMAGIHARA Mihiro

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Institution: TOHOKU UNIVERSITY

1999 - 2001

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This research aims development of precision imaging mirrors for normal incidence optics at a wavelength of 13 nm with our fabrication expertise of soft X-ray multilayers. Methodology of precise wavefront measurement and correction has been investigated with development of soft X-ray interferometry of high accuracy better than 1 nm, needed for high quality imaging. In the development process, in addition to the interferometer optics with alignment system enabling nm accuracy measurement, basic compositions for general imaging systems are developed. These include a soft X-ray light source of a YAG-laser produced plasma free from debris contamination to optics, as well as a 2-dimensional detector with a data handling and analysis system for soft X-ray interferogram detection. In this fiscal year, continuing effort leads to successful development of the basic compositions, i.e., the light source, interferometry optics, and the detector. As for the light source assembly, a bright source has been developed enabling soft X-ray interferogram recording by one shot of the YAG laser pulse. In this assembly, a multilayer condenser mirror of 10 cm in diameter is set at 0.2 NA configuration, effectively collecting soft X-ray of a solid Sn target locating 21 cm away from the mirror. A mechanical debris stopper designed and constructed removes the debris of the target. With the debris stopper, the life of the source are elongated to 40000 shots by 10 times with removal of debris particles forming 90 % of total debris mass. As for the optics, accuracy of the multilayer period distribution over the substrate of the precision imaging mirror has been improved from last year's 2 % to within 1 %. For this control, a new mechanical shutter system has been constructed with a function controlling speed of the open and close movements. As for the detector, imaging plates for Tr were investigated in respect to the sensitivity and detection linearity for the soft X-ray with use of our spectro-reflectometer. At around 13 nm wavelengths, high sensitivity of 100000 photons / mm^2 and good linearity over 4 orders of magnitudes were confirmed.
Soft X-ray Magnetorotation Spectroscopy

WATANABE Makoto, EJIMA Takeo, HATANO Tadashi

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: TOHOKU UNIVERSITY

1997 - 1998

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The purpose of this research is to develop an apparatus. for the (ultra-) soft X-ray Faraday-rotation measurements utilizing multilayer polarizers using synchrotron radiation (SR), to verify its usefulness for the magnetic research and to extend its ability to the measurements using laboratory light source. In the first year, we designed and constructed the Faraday-rotation apparatus. A polarizer and a analyzer are Al/YB_6 multilayers. The magnetic field was generated by the use of Sm-Co permanent magnets. The analyzer was rotated around the optical axis. The whole apparatus was accommodated in a vacuum chamber evacuated by turbo-molecular pumps. In the second year, first we made the Faraday-rotation experiments using SR at UVSOR, Institute for Molecular Science. The degree of linear polarization of the monochromatized light at BL8B1 was made higher by the use of a transmission multilayer-polarizer. The measurements were carried out on Ni (M_<2,3> ), Co (M_<2,3> ) and Co/Pt (Co - M_<2,3>, Pt - N_<6,7>) in the 50 - 70 eV region. The rotation angles obtained by the present experiment were larger than the estimated ones from MCD obtained by total-electron-yield measurements, through Kramers-Kronig an alysis. Therefore, it is concluded that the Faraday-rotation measurements are less affected by the surface conditions such as oxidization, than the MCD measurements carried out so far. Secondly, we made the light from laser-induced plasma linearly polarized by the use of a reflection multilayer-polarizer, and used the same magnet and analyzer, and obtained consistent results with those obtained using SR though the results are noisy. This is the first measurement of the soft x-ray magnetooptical effects in laboratories. We reported the results on Ni at the 12th Int. Conf. on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics. We will make the same measurements on the other magnetic materials not measured as yet.

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