東北大学研究者紹介

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マツクマ　ヒラク

松隈　啓

Hiraku Matsukuma

所属

大学院工学研究科　ファインメカニクス専攻　ナノメカニクス講座（精密ナノ計測学分野）

職名

准教授

学位

博士（工学）（京都大学）
修士（工学）（京都大学）

researchmap

https://researchmap.jp/hiraku.matsukuma

J-GLOBAL ID

201701021455735678

経歴 6

2021年10月～継続中

東北大学　大学院工学研究科ファインメカニクス専攻　准教授
2023年5月～ 2026年4月

東北大学　ディスティングイッシュトリサーチャー
2017年9月～ 2021年9月

東北大学　工学研究科　助教
2013年11月～ 2017年8月

大阪大学　特任研究員
2013年4月～ 2013年10月

日本学術振興会　特別研究員（PD）
2012年4月～ 2013年3月

日本学術振興会　特別研究員（DC2）

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学歴 3

京都大学　工学研究科　機械理工学専攻博士後期課程

2010年4月～ 2013年3月
京都大学　工学研究科　機械理工学専攻修士課程

2008年4月～ 2010年3月
京都大学　工学部　物理工学科

2004年4月～ 2008年3月

委員歴 6

東北大学　科研費アドバイザー

2024年4月～継続中
精密工学会　広報・情報部会委員

2021年4月～継続中
精密工学会　東北支部幹事

2021年2月～継続中
文部科学省科学技術・学術政策研究所科学技術予測・政策基盤調査研究センター　専門調査員

2018年4月～ 2025年3月
精密工学会　会誌編集委員会委員

2021年4月～ 2024年3月
精密工学会　東北支部商議員

2018年2月～ 2021年1月

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所属学協会 1

精密工学会

2018年1月～継続中

研究キーワード 6

超精密計測
光学
レーザー応用
原子・分子・量子エレクトロニクス
原子衝突
レーザー

研究分野 3

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 / 精密計測
自然科学一般 / 半導体、光物性、原子物理 /
ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 /

受賞 12

第23回インテリジェント・コスモス奨励賞

2024年5月　公益財団法人インテリジェント・コスモス学術振興財団　精密運動計測のための応用光工学
研究奨励賞

2024年5月　一般財団法人みやぎ産業科学振興基金　レーザー分光による精密運動計測の開拓
令和 5 年度科学技術分野の文部科学大臣表彰若手科学者賞

2023年5月　文部科学省　先進光工学に基づいた計測学の研究
吉澤論文賞

2022年12月　精密工学会メカノフォトニクス専門委員会　An autocollimator with a mid-infrared laser for angular measurement of rough surfacesおよびMid-infrared autocollimation for linear motion error measurement
FA財団論文賞

2022年12月　一般財団法人 FA財団　An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods
nanoMan2022 & AETS2022 Best paper award

2022年9月　International Society for NanoManufacturing
第18回 2021年度精密工学会論文賞

2022年3月　精密工学会　An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods
Excellent Article Award

2022年1月　the International Society for Nanomanufacturing　Reduction in Cross-Talk Errors in a Six-Degree-of-Freedom Surface Encoder
FA財団論文賞

2021年12月　一般財団法人 FA財団　Design optimization of a non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale gratings
沼田記念論文賞

2021年3月　精密工学会
Young Researcher Award

2019年9月
第1回学生プレゼンテーション賞

2013年3月　日本物理学会領域１

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論文 107

An absolute surface encoder employing a mode-locked femtosecond laser

Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Holography, Diffractive Optics, and Applications XIV　13240　47-47　2024年11月23日
出版者・発行元： SPIE
DOI： 10.1117/12.3035032 　

ISSN：0277-786X

eISSN：1996-756X
Improvement of angle measurement sensitivity using second harmonic wave interference

Jiahui Lin, Hiraku Matsukuma, Kuangyi Li, Ryo Sato, Wei Gao

Optics Express　32　(23)　40915-40915　2024年10月25日
出版者・発行元： Optica Publishing Group
DOI： 10.1364/oe.537872 　

eISSN：1094-4087
Design and testing of a two-axis surface encoder with a single Littrow configuration of a first-order diffraction beam

Yifan Hong, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Precision Engineering　91　577-586　2024年10月
出版者・発行元： Elsevier BV
DOI： 10.1016/j.precisioneng.2024.10.019 　

ISSN：0141-6359
A dual-detection chromatic confocal probe employing a mode-locked femtosecond laser

Ryo Sato, Chen Li, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Optical Manufacturing and Testing 2024　13134　1-1　2024年9月30日
出版者・発行元： SPIE
DOI： 10.1117/12.3026365 　

ISSN：0277-786X

eISSN：1996-756X
An Improved Data Processing Algorithm for Spectrally Resolved Interferometry Using a Femtosecond Laser

Tao Liu, Hiraku Matsukuma, Amane Suzuki, Ryo Sato, Wei Gao

Sensors　24　(9)　2869-2869　2024年4月30日
出版者・発行元： MDPI AG
DOI： 10.3390/s24092869 　

eISSN：1424-8220
中赤外ファイバレーザの開発および精密計測への応用査読有り

松隈啓

90　(4)　325-329　2024年4月5日
出版者・発行元：
DOI： 10.2493/jjspe.90.325 　

ISSN：0912-0289

eISSN：1882-675X
Design of an Optical Head with Two Phase-Shifted Interference Signals for Direction Detection of Small Displacement in an Absolute Surface Encoder

Ryo Sato, Tao Liu, Satoru Maehara, Ryota Okimura, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

International Journal of Automation Technology　18　(2)　249-256　2024年3月

DOI： 10.20965/ijat.2024.p0249 　

ISSN：1881-7629

eISSN：1883-8022
Enhanced Data-Processing Algorithms for Dispersive Interferometry Using a Femtosecond Laser

Tao Liu, Hiraku Matsukuma, Amane Suzuki, Ryo Sato, Wei Gao

Sensors　24　(2)　370-370　2024年1月8日
出版者・発行元： MDPI AG
DOI： 10.3390/s24020370 　

ISSN：1424-8220

eISSN：1424-8220
Repetition Frequency Control of a Mid-Infrared Ultrashort Pulse Laser

Hiraku Matsukuma, Masashi Nagaoka, Hisashi Hirose, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Wei Gao

International Journal of Automation Technology　18　(1)　84-91　2024年1月5日
出版者・発行元： Fuji Technology Press Ltd.
DOI： 10.20965/ijat.2024.p0084 　

ISSN：1881-7629

eISSN：1883-8022
On-Machine Calibration of Pitch Deviations of a Linear Scale Grating by Using a Differential Angle Sensor

Jiucheng Wu, Yifang Hong, Dong Wook Shin, Ryo Sato, Lue Quan, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

International Journal of Automation Technology　18　(1)　4-10　2024年1月

DOI： 10.20965/ijat.2024.p0004 　

ISSN：1881-7629

eISSN：1883-8022
Angle Measurement Based on Second Harmonic Generation Using Artificial Neural Network

Kuangyi Li, Zhiyang Zhang, Jiahui Lin, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Nanomanufacturing and Metrology　6　(1)　2023年12月

DOI： 10.1007/s41871-023-00206-5 　

ISSN：2520-811X
Improved peak- to- peak method for cavity length measurement of a Fabry- Perot etalon using a mode-locked femtosecond laser

Dong Wook Shin, Hiraku Matsukuma, Ryo Sato, Eberhard Manske, Wei Gao

OPTICS EXPRESS　31　(16)　25797-25814　2023年7月

DOI： 10.1364/OE.493507 　

ISSN：1094-4087

eISSN：1094-4087
Improved Algorithms of Data Processing for Dispersive Interferometry Using a Femtosecond Laser

Tao Liu, Jiucheng Wu, Amane Suzuki, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

SENSORS　23　(10)　2023年5月

DOI： 10.3390/s23104953 　

ISSN：1424-8220

eISSN：1424-8220
Confocal probe based on the second harmonic generation for measurement of linear and angular displacements

Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiroki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

OPTICS EXPRESS　31　(7)　11982-11993　2023年3月

DOI： 10.1364/OE.486421 　

ISSN：1094-4087

eISSN：1094-4087
Autocollimation employing optical frequency comb

H. Matsukuma, K. Ikeda, R. Sato, W. Gao

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　12607　2023年

DOI： 10.1117/12.3005523 　

ISSN：0277-786X

eISSN：1996-756X
Investigation of Angle Measurement Based on Direct Third Harmonic Generation in Centrosymmetric Crystals

Kuangyi Li, Jiahui Lin, Zhiyang Zhang, Ryo Sato, Hiroki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

APPLIED SCIENCES-BASEL　13　(2)　2023年1月

DOI： 10.3390/app13020996 　

eISSN：2076-3417
Fabry-Pérot angle sensor using a mode-locked femtosecond laser source

Dong Wook Shin, Hiraku Matsukuma, Ryo Sato, Wei Gao

Optics Express　30　(26)　46366-46382　2022年12月19日

DOI： 10.1364/OE.477435 　

ISSN：1094-4087

eISSN：1094-4087
Self-Calibration of a Large-Scale Variable-Line-Spacing Grating for an Absolute Optical Encoder by Differencing Spatially Shifted Phase Maps from a Fizeau Interferometer

Xin Xiong, Chenguang Yin, Lue Quan, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Hideaki Tamiya, Wei Gao

Sensors　22　(23)　2022年12月

DOI： 10.3390/s22239348 　

ISSN：1424-8220

eISSN：1424-8220
Reduction of Crosstalk Errors in a Surface Encoder Having a Long Z-Directional Measuring Range

Yifan Hong, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Hiroki Shimizu, Wei Gao

Sensors　22　(23)　2022年12月

DOI： 10.3390/s22239563 　

ISSN：1424-8220

eISSN：1424-8220
Design and Testing of a Compact Optical Angle Sensor for Pitch Deviation Measurement of a Scale Grating with a Small Angle of Diffraction

Lue Quan, Yuki Shimizu, Ryo Sato, Dong Wook Shin, Hiraku Matsukuma, Andreas Archenti, Wei Gao

INTERNATIONAL JOURNAL OF AUTOMATION TECHNOLOGY　16　(5)　572-581　2022年9月

DOI： 10.20965/ijat.2022.p0572 　

ISSN：1881-7629

eISSN：1883-8022
A Second Harmonic Wave Angle Sensor with a Collimated Beam of Femtosecond Laser

Wijayanti Dwi Astuti, Kuangyi Li, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao

APPLIED SCIENCES-BASEL　12　(10)　2022年5月

DOI： 10.3390/app12105211 　

eISSN：2076-3417
Influence of Surface Tilt Angle on a Chromatic Confocal Probe with a Femtosecond Laser

Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

APPLIED SCIENCES-BASEL　12　(9)　2022年5月

DOI： 10.3390/app12094736 　

eISSN：2076-3417
A New Optical Configuration for the Surface Encoder with an Expanded Z-Directional Measuring Range

Yifan Hong, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

SENSORS　22　(8)　2022年4月

DOI： 10.3390/s22083010 　

ISSN：1424-8220

eISSN：1424-8220
Theoretical Investigation for Angle Measurement Based on Femtosecond Maker Fringe

Kuangyi Li, Wijayanti Dwi Astuti, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

APPLIED SCIENCES-BASEL　12　(7)　2022年4月

DOI： 10.3390/app12073702 　

eISSN：2076-3417
Theoretical investigation of angle measurement based on third-harmonic generation (THG) with a femtosecond laser

Kuangyi Li, Jiahui Lin, Wijayanti Dwi Astuti, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

nanoMan 2022 and AETS 2022 - 2022 8th International Conference on Nanomanufacturing and 4th AET Symposium on ACSM and Digital Manufacturing　2022年

DOI： 10.1109/Nanoman-AETS56035.2022.10119491 　
Theoretical Analysis on Gauge Block Length Measurement by Excess Fraction method

Tao Liu, Jiucheng Wu, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

nanoMan 2022 and AETS 2022 - 2022 8th International Conference on Nanomanufacturing and 4th AET Symposium on ACSM and Digital Manufacturing　2022年

DOI： 10.1109/Nanoman-AETS56035.2022.10119521 　
Correction: Closed-Loop Control of an XYZ Micro-Stage and Designing of Mechanical Structure for Reduction in Motion Errors (Nanomanufacturing and Metrology, (2021), 4, 1, (53-66), 10.1007/s41871-020-00091-2)

Hiraku Matsukuma, Keisuke Adachi, Takuma Sugawara, Yuki Shimizu, Wei Gao, Eiji Niwa, Yoshihiro Sasaki

Nanomanufacturing and Metrology　5　(4)　439　2022年

DOI： 10.1007/s41871-022-00164-4 　

ISSN：2520-811X
Mid-infrared autocollimation for linear motion error measurement

Hiraku Matsukuma, Kaede Matayoshi, Masashi Nagaoka, Yuki Shimizu, Wei Gao

Measurement: Sensors　18　2021年12月

DOI： 10.1016/j.measen.2021.100265 　

eISSN：2665-9174
Design of the optical sensor head for the evaluation of pitch deviation of a diffraction grating based on the laser autocollimation

Yuki Shimizu, Lue Quan, Dong Wook Shin, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Measurement: Sensors　18　2021年12月

DOI： 10.1016/j.measen.2021.100135 　

eISSN：2665-9174
An application of the edge reversal method for accurate reconstruction of the three-dimensional profile of a single-point diamond tool obtained by an atomic force microscope

Kai Zhang, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Yindi Cai, Wei Gao

INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY　117　(9-10)　2883-2893　2021年12月

DOI： 10.1007/s00170-021-07879-6 　

ISSN：0268-3768

eISSN：1433-3015
A Comparison of the Probes with a Cantilever Beam and a Double-Sided Beam in the Tool Edge Profiler for On-Machine Measurement of a Precision Cutting Tool

Bo Wen, Sho Sekine, Shinichi Osawa, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Andreas Archenti, Wei Gao

MACHINES　9　(11)　2021年11月

DOI： 10.3390/machines9110271 　

eISSN：2075-1702
A Self-Calibration Stitching Method for Pitch Deviation Evaluation of a Long-Range Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer

Xin Xiong, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

SENSORS　21　(21)　2021年11月

DOI： 10.3390/s21217412 　

ISSN：1424-8220

eISSN：1424-8220
On-machine diameter measurement of a cylindrical workpiece with a reference artefact

Yuki Shimizu, Qiaolin Li, Masami Kogure, Kimitaka Nishimura, Yuki Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY　32　(10)　2021年10月

DOI： 10.1088/1361-6501/ac0ace 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
In-Situ Evaluation of the Pitch of a Reflective-Type Scale Grating by Using a Mode-Locked Femtosecond Laser

Dong Wook Shin, Lue Quan, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Yindi Cai, Eberhard Manske, Wei Gao

APPLIED SCIENCES-BASEL　11　(17)　2021年9月

DOI： 10.3390/app11178028 　

eISSN：2076-3417
Measurement Range Expansion of Chromatic Confocal Probe with Supercontinuum Light Source

Hiraku Matsukuma, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Wei Gao

INTERNATIONAL JOURNAL OF AUTOMATION TECHNOLOGY　15　(4)　529-536　2021年7月

DOI： 10.20965/ijat.2021.p0529 　

ISSN：1881-7629

eISSN：1883-8022
Self-calibration of a variable-line-spacing grating for an absolute optical encoder with a Fizeau interferometer

Xin Xiong, Lue Quan, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Measurement Science and Technology　32　(6)　2021年6月

DOI： 10.1088/1361-6501/abe9de 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
Improvement of a Stitching Operation in the Stitching Linear-Scan Method for Measurement of Cylinders in a Small Dimension

Qiaolin Li, Yuki Shimizu, Toshiki Saito, Hiraku Matsukuma, Yindi Cai, Wei Gao

APPLIED SCIENCES-BASEL　11　(10)　2021年5月

DOI： 10.3390/app11104705 　

eISSN：2076-3417
A technique for measurement of a prism apex angle by optical angle sensors with a reference artefact

Yuki Shimizu, Xu Ma, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Measurement Science and Technology　32　(5)　2021年5月

DOI： 10.1088/1361-6501/abd8a6 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
Closed-Loop Control of an XYZ Micro-Stage and Designing of Mechanical Structure for Reduction in Motion Errors

Hiraku Matsukuma, Keisuke Adachi, Takuma Sugawara, Yuki Shimizu, Wei Gao, Eiji Niwa, Yoshihiro Sasaki

Nanomanufacturing and Metrology　4　(1)　53-66　2021年3月

DOI： 10.1007/s41871-020-00091-2 　

ISSN：2520-811X
An optical frequency domain angle measurement method based on second harmonic generation

Wijayanti Dwi Astuti, Hiraku Matsukuma, Masaru Nakao, Kuangyi Li, Yuki Shimizu, Wei Gao

Sensors (Switzerland)　21　(2)　1-14　2021年1月2日

DOI： 10.3390/s21020670 　

ISSN：1424-8220

eISSN：1424-8220
Measurement of the apex angle of a small prism by an oblique-incidence mode-locked femtosecond laser autocollimator

Yuki Shimizu, Yuri Kanda, Xu Ma, Kakeru Ikeda, Hiraku Matsukuma, Yasunari Nagaike, Masaki Hojo, Keita Tomita, Wei Gao

Precision Engineering　67　339-349　2021年1月

DOI： 10.1016/j.precisioneng.2020.10.013 　

ISSN：0141-6359

eISSN：1873-2372
An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods

Yuki Shimizu, Ryo Ishizuka, Kazuki Mano, Yuri Kanda, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Precision Engineering　67　36-47　2021年1月

DOI： 10.1016/j.precisioneng.2020.09.007 　

ISSN：0141-6359

eISSN：1873-2372
A new method for evaluation of the pitch deviation of a linear scale grating by an optical angle sensor

Lue Quan, Yuki Shimizu, Xin Xiong, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Precision Engineering　67　1-13　2021年1月

DOI： 10.1016/j.precisioneng.2020.09.008 　

ISSN：0141-6359

eISSN：1873-2372
An autocollimator with a mid-infrared laser for angular measurement of rough surfaces

Hiraku Matsukuma, Yun Asumi, Masashi Nagaoka, Yuki Shimizu, Wei Gao

Precision Engineering　67　89-99　2021年1月

DOI： 10.1016/j.precisioneng.2020.09.022 　

ISSN：0141-6359

eISSN：1873-2372
Design and Construction of a Low-Force Stylus Probe for On-machine Tool Cutting Edge Measurement

Hiraku Matsukuma, Bo Wen, Shinichi Osawa, Sho Sekine, Yuki Shimizu, Wei Gao

Nanomanufacturing and Metrology　3　(4)　282-291　2020年12月

DOI： 10.1007/s41871-020-00084-1 　

ISSN：2520-811X
An off-axis differential method for improvement of a femtosecond laser differential chromatic confocal probe

Chong Chen, Yuki Shimizu, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Applied Sciences (Switzerland)　10　(20)　1-15　2020年10月2日

DOI： 10.3390/app10207235 　

eISSN：2076-3417
On-machine profile measurement of a micro cutting edge by using a contact-type compact probe unit

Bo Wen, Yuki Shimizu, Yu Watanabe, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Precision Engineering　65　230-239　2020年9月

DOI： 10.1016/j.precisioneng.2020.03.014 　

ISSN：0141-6359

eISSN：1873-2372
A new signal processing method for a differential chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser 査読有り

Ryo Sato, Chong Chen, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao

Measurement Science and Technology　31　(9)　2020年9月

DOI： 10.1088/1361-6501/ab8905 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
Evaluation of the pitch deviation of a linear scale based on a self-calibration method with a Fizeau interferometer 査読有り

Xin Xiong, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao

Measurement Science and Technology　31　(9)　2020年9月

DOI： 10.1088/1361-6501/ab8b83 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
Measurement uncertainty analysis of a stitching linear-scan method for the evaluation of roundness of small cylinders 査読有り

Qiaolin Li, Yuki Shimizu, Toshiki Saito, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Applied Sciences (Switzerland)　10　(14)　2020年7月

DOI： 10.3390/app10144750 　

eISSN：2076-3417
High-precision cutting edge radius measurement of single point diamond tools using an atomic force microscope and a reverse cutting edge artifact 査読有り

Kai Zhang, Yindi Cai, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Applied Sciences (Switzerland)　10　(14)　2020年7月

DOI： 10.3390/app10144799 　

eISSN：2076-3417
A differential strategy for measurement of a static force in a single-point diamond cutting by a force-controlled fast tool servo 査読有り

Bo Wen, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Keisuke Tohyama, Haruki Kurita, Yuan Liu Chen, Wei Gao

Measurement Science and Technology　31　(7)　2020年7月

DOI： 10.1088/1361-6501/ab7d6f 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
Optical angle sensor technology based on the optical frequency comb laser 査読有り

Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Applied Sciences (Switzerland)　10　(11)　2020年6月1日

DOI： 10.3390/app10114047 　

eISSN：2076-3417
Development of an optical angle sensor with a mode-locked femtosecond laser source for surface profile measurement

Yuki Shimizu, Shota Takazono, Yuri Kanda, Hiraku Matsukuma, Wei Gao, Hajime Inaba

JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020　2020年

DOI： 10.1115/LEMP2020-8501 　
On-machine angle measurement of a precision V-groove on a ceramic workpiece

Yuki Shimizu, Wei Gao, Hiraku Matsukuma, Károly Szipka, Andreas Archenti

CIRP Annals　69　(1)　469-472　2020年

DOI： 10.1016/j.cirp.2020.03.011 　

ISSN：0007-8506

eISSN：1726-0604
Profile measurement by using a femtosecond laser chromatic confocal probe

Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020　2020年

DOI： 10.1115/LEMP2020-8626 　
Fabrication of a two-dimensional diffraction grating with isolated photoresist pattern structures 査読有り

Hiraku Matsukuma, Masanori Matsunaga, Kai Zhang, Yuki Shimizu, Wei Gao

International Journal of Automation Technology　14　(4)　546-551　2020年

DOI： 10.20965/ijat.2020.p0546 　

ISSN：1881-7629

eISSN：1883-8022
A New Optical Angle Measurement Method Based on Second Harmonic Generation with a Mode-Locked Femtosecond Laser

Hiraku Matsukuma, Shuhei Madokoro, Wijayanti Dwi Astuti, Yuki Shimizu, Wei Gao

Nanomanufacturing and Metrology　2　(4)　187-198　2019年12月1日

DOI： 10.1007/s41871-019-00052-4 　

ISSN：2520-811X
Design optimization of a non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale gratings 査読有り

Yuki Shimizu, Kazuki Mano, Hiroki Murakami, Shunsuke Hirota, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Precision Engineering　60　280-290　2019年11月

DOI： 10.1016/j.precisioneng.2019.07.022 　

ISSN：0141-6359

eISSN：1873-2372
Investigation and improvement of thermal stability of a chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser source 査読有り

Ryo Sato, Yuki Shimizu, Chong Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Applied Sciences (Switzerland)　9　(19)　2019年10月1日

DOI： 10.3390/app9194084 　

eISSN：2076-3417
Integration of a Cr–N Thin-Film Displacement Sensor into an XY Micro-stage for Closed-Loop Nano-positioning

Keisuke Adachi, Hiraku Matsukuma, Takuma Sugawara, Yuki Shimizu, Wei Gao, Eiji Niwa, Yoshihiro Sasaki

Nanomanufacturing and Metrology　2　(3)　131-139　2019年9月1日

DOI： 10.1007/s41871-019-00040-8 　

ISSN：2520-811X
Accurate polarization control in nonorthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of two-dimensional scale gratings 査読有り

Yuki Shimizu, Kazuki Mano, Kai Zhang, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Optical Engineering　58　(9)　2019年9月1日

DOI： 10.1117/1.OE.58.9.092611 　

ISSN：0091-3286

eISSN：1560-2303
A Design Study of a Heat Flow-Type Reading Head for a Linear Encoder Based on a Micro Thermal Sensor

Yuki Shimizu, Ayaka Ishida, Yuki Matsuno, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Nanomanufacturing and Metrology　2　(2)　100-110　2019年6月1日

DOI： 10.1007/s41871-019-00037-3 　

ISSN：2520-811X
Reduction in Cross-Talk Errors in a Six-Degree-of-Freedom Surface Encoder 査読有り

Hiraku Matsukuma, Ryo Ishizuka, Masaya Furuta, Xinghui Li, Yuki Shimizu, Wei Gao

Nanomanufacturing and Metrology　2　(2)　111-123　2019年6月1日
出版者・発行元： Springer Nature
DOI： 10.1007/s41871-019-00039-1 　

ISSN：2520-811X
A method for expansion of Z-directional measurement range in a mode-locked femtosecond laser chromatic confocal probe 査読有り

Chong Chen, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Taku Nakamura, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Applied Sciences (Switzerland)　9　(3)　2019年1月29日

DOI： 10.3390/app9030454 　

ISSN：2076-3417

eISSN：2076-3417
Theoretical investigation on measurement range of a femtosecond laser chromatic confocal probe by utilizing side-lobe of axial response 査読有り

Chong Chen, Hiraku Matsukuma, Ryo Sato, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　362-364　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8615064 　
Development of a fiber-laser-based frequency comb for precision dimensional metrology 査読有り

Yuri Kanda, Hiraku Matsukuma, Shaoqing Yang, Yuki Shimizu, Hajime Inaba, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　18-19　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8614857 　
Measurement and uncertainty analysis of a precision V-shaped ceramic part 査読有り

Masami Kogure, Hiraku Matsukuma, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　30-31　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8614901 　
Fast evaluation of a linear scale for a linear encoder with a Fizeau interferometer and stitching technique 査読有り

Xin Xiong, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　220-222　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8615000 　
An ultra-sensitive optical angle sensor for pitch deviation measurement of diffraction gratings 査読有り

Lue Quan, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　47-48　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8614962 　
A compact two-axis Lloyd's mirror interferometer for scale grating fabrication 査読有り

Masanori Matsunaga, Kazuki Mano, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　28-29　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8614804 　
Angle measurement using a diffraction of optical frequency comb 査読有り

Kazuki Nakamura, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　26-27　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8614810 　
Crosstalk error analysis of a multi-degree-of-freedom surface encoder for a planar motion stage 査読有り

Ryo Ishizuka, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　36-39　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8614803 　
An optical frequency comb operating in the mid-infrared region for wide-range and high-precision optical sensor 査読有り

Yun Asumi, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　32-35　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8614919 　
Theoretical calculation of the reading output from a micro thermal sensors for precision positioning 査読有り

Yuki Shimizu, Ayaka Ishida, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018　24-25　2019年1月16日

DOI： 10.1109/AMCON.2018.8614751 　
Theoretical investigation on measurement range expansion of a femtosecond laser chromatic confocal probe

Chong Chen, Hiraku MATSUKUMA, Ryo SATO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO

The Proceedings of Conference of Tohoku Branch　2019.54　146-146　2019年
出版者・発行元： Japan Society of Mechanical Engineers
DOI： 10.1299/jsmeth.2019.54.146 　

eISSN：2424-2713
Measurement Technologies for Manufacturing

Yuki Shimizu, So Ito, Jungchul Lee, Shigeaki Goto, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Handbook of Manufacturing　541-568　2019年1月1日

DOI： 10.1142/9789813271029_0010 　
An optical angle sensor based on second harmonic generation of a modelocked laser 査読有り

Hiraku Matsukuma, Shuhei Madokoro, Masaru Nakao, Yuki Shimizu, Wei Gao

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　11142　2019年

ISSN：0277-786X

eISSN：1996-756X
Erbium-doped mid-infrared fiber lasers 査読有り

Ori Henderson-Sapir, Andrew Malouf, Nathaniel Bawden, Elizaveta Klantsataya, Jesper Munch, Matthew R. Majewski, Stuart D. Jackson, Hiraku Matsukuma, Shigeki Tokita, Sze Yun Set, Shinji Yamashita, David J. Ottaway

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　10981　2019年

DOI： 10.1117/12.2524138 　

ISSN：0277-786X

eISSN：1996-756X
Plane-by-plane femtosecond laser inscription of first-order fiber Bragg gratings in fluoride glass fiber for in situ monitoring of lasing evolution 査読有り

Kenji Goya, Hiraku Matsukuma, Hiyori Uehara, Satoshi Hattori, Christian Schäfer, Daisuke Konishi, Masanao Murakami, Shigeki Tokita

Optics Express　26　(25)　33305-33313　2018年12月10日

DOI： 10.1364/OE.26.033305 　

ISSN：1094-4087

eISSN：1094-4087
Uncertainty evaluation for measurements of pitch deviation and out-of-flatness of planar scale gratings by a Fizeau interferometer in Littrow configuration 査読有り

Xin Xiong, Yuki Shimizu, Xiuguo Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Applied Sciences (Switzerland)　8　(12)　2539　2018年12月7日

DOI： 10.3390/app8122539 　

ISSN：2076-3417

eISSN：2076-3417
Laser autocollimation based on an optical frequency comb for absolute angular position measurement 査読有り

Yuan Liu Chen, Yuki Shimizu, Jun Tamada, Kazuki Nakamura, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, Wei Gao

Precision Engineering　54　284-293　2018年10月

DOI： 10.1016/j.precisioneng.2018.06.005 　

ISSN：0141-6359

eISSN：1873-2372
A chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser source 査読有り

Xiuguo Chen, Taku Nakamura, Yuki Shimizu, Chong Chen, Yuan Liu Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Optics and Laser Technology　103　359-366　2018年7月

DOI： 10.1016/j.optlastec.2018.01.051 　

ISSN：0030-3992

eISSN：1879-2545
Actively Q-switched dual-wavelength pumped Er3+ :ZBLAN fiber laser at 347 µm 査読有り

Nathaniel Bawden, Hiraku Matsukuma, Ori Henderson-Sapir, Elizaveta Klantsataya, Shigeki Tokita, David J. Ottaway

Optics Letters　43　(11)　2724-2727　2018年6月1日

DOI： 10.1364/OL.43.002724 　

ISSN：0146-9592

eISSN：1539-4794
A PD-edge method associated with the laser autocollimation for measurement of a focused laser beam diameter 査読有り

Yuki Shimizu, Taiji Maruyama, Shota Nakagawa, Yuan Liu Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Measurement Science and Technology　29　(7)　074006　2018年5月24日

DOI： 10.1088/1361-6501/aac0a6 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
Fluoride-fiber-based side-pump coupler for high-power fiber lasers at 2.8 μm 査読有り

シェーファー・クリスチャン, 上原日和, 小西大介, 服部聡史, 松隈啓, 村上政直, 清水政二, 時田茂樹

Optics Letters　43　(10)　2340-2343　2018年5月15日

DOI： 10.1364/OL.43.002340 　

ISSN：0146-9592

eISSN：1539-4794
High quality-factor quartz tuning fork glass probe used in tapping mode atomic force microscopy for surface profile measurement 査読有り

Yuan Liu Chen, Yanhao Xu, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Measurement Science and Technology　29　(6)　065014　2018年5月15日

DOI： 10.1088/1361-6501/aab998 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
An ultra-precision tool nanoindentation instrument for replication of single point diamond tool cutting edges 査読有り

Yindi Cai, Yuan Liu Chen, Malu Xu, Yuki Shimizu, So Ito, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Measurement Science and Technology　29　(5)　054004　2018年3月23日

DOI： 10.1088/1361-6501/aaa913 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501
Design and Testing of a Micro-thermal Sensor Probe for Nondestructive Detection of Defects on a Flat Surface 査読有り

Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuan Liu Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Nanomanufacturing and Metrology　1　(1)　45-57　2018年3月1日
出版者・発行元： Springer Nature
DOI： 10.1007/s41871-018-0007-x 　

ISSN：2520-811X
The effects of microstructure on propagation of laser-driven radiative heat waves in under-dense high-Z plasma 査読有り

J. D. Colvin, H. Matsukuma, K. C. Brown, J. F. Davis, G. E. Kemp, K. Koga, N. Tanaka, A. Yogo, Z. Zhang, H. Nishimura, K. B. Fournier

Physics of Plasmas　25　(3)　2018年3月1日

DOI： 10.1063/1.5012523 　

ISSN：1070-664X

eISSN：1089-7674
A liquid-surface-based three-axis inclination sensor for measurement of stage tilt motions 査読有り

Yuki Shimizu, Satoshi Kataoka, Tatsuya Ishikawa, Yuan Liu Chen, Xiuguo Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Sensors (Switzerland)　18　(2)　2018年2月

DOI： 10.3390/s18020398 　

ISSN：1424-8220
Evaluation of the grating period based on laser diffraction by using a mode-locked femtosecond laser beam 査読有り

Yuki Shimizu, Kentaro Uehara, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Journal of Advanced Mechanical Design, Systems and Manufacturing　12　(5)　2018年

DOI： 10.1299/jamdsm.2018jamdsm0097 　

ISSN：1881-3054

eISSN：1881-3054
An optical angle sensor based on chromatic dispersion with a mode-locked laser source 査読有り

Yuki Shimizu, Shuhei Madokoro, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Journal of Advanced Mechanical Design, Systems and Manufacturing　12　(5)　2018年

DOI： 10.1299/jamdsm.2018jamdsm0096 　

ISSN：1881-3054

eISSN：1881-3054
Uncertainty analysis of a six-degree-of-freedom surface encoder for a planar motion stage 査読有り

Yuki Shimizu, Masaya Furuta, Yuan Liu Chen, Xiuguo Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Procedia CIRP　75　355-360　2018年

DOI： 10.1016/j.procir.2018.04.041 　

ISSN：2212-8271
A stitching linear-scan method for roundness measurement of small cylinders 査読有り

Yuan Liu Chen, Yuki Machida, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

CIRP Annals　67　(1)　535-538　2018年1月1日

DOI： 10.1016/j.cirp.2018.04.009 　

ISSN：0007-8506

eISSN：1726-0604
Error Separation Method for Precision Measurement of the Run-Out of a Microdrill Bit by Using a Laser Scan Micrometer Measurement System 査読有り

Zengyuan Niu, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Journal of Manufacturing and Materials Processing　2　(1)　4　2018年1月

DOI： 10.3390/jmmp2010004 　

eISSN：2504-4494
Q-switched dual-wavelength pumped 3.5-µm erbium-doped mid-infrared fiber laser 査読有り

Ori Henderson-Sapir, Nathaniel Bawden, Hiraku Matsukuma, Elizaveta Klantsataya, Shigeki Tokita, David J. Ottaway

Fiber Lasers XV: Technology and Systems　10512　2018年

DOI： 10.1117/12.2288081 　

ISSN：0277-786X

eISSN：1996-756X
Far-infrared-light shadowgraphy for high extraction efficiency of extreme ultraviolet light from a CO<inf>2</inf>-laser-generated tin plasma 査読有り

Hiraku Matsukuma, Tatsuya Hosoda, Yosuke Suzuki, Akifumi Yogo, Tatsuya Yanagida, Takeshi Kodama, Hiroaki Nishimura

Applied Physics Letters　109　(5)　051104　2016年8月1日

DOI： 10.1063/1.4960374 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118
The measurement of plasma structure in a magnetic thrust chamber 査読有り

Ryosuke Kawashima, Taichi Morita, Naoji Yamamoto, Naoya Saito, Shinsuke Fujioka, Hiroaki Nishimura, Hiraku Matsukuma, Atsushi Sunahara, Yoshitaka Mori, Tomoyuki Johzaki, Hideki Nakashima

Plasma and Fusion Research　11　(2)　3406012　2016年

DOI： 10.1585/pfr.11.3406012 　

ISSN：1880-6821

eISSN：1880-6821
Microwave discharge plasma production with resonant cavity for EUV mask inspection tool 査読有り

Saya Tashima, Masami Ohnishi, Waheed Hugrass, Keita Sugimoto, Masatugu Sakaguchi, Hodaka Osawa, Hiroaki Nishimura, Hiraku Matsukuma

Japanese Journal of Applied Physics　54　(12)　126701　2015年12月

DOI： 10.7567/JJAP.54.126701 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Correlation between laser absorption and radiation conversion efficiency in laser produced tin plasma 査読有り

Hiraku Matsukuma, Atsushi Sunahara, Tatsuya Yanagida, Hiroaki Tomuro, Kouichiro Kouge, Takeshi Kodama, Tatsuya Hosoda, Shinsuke Fujioka, Hiroaki Nishimura

Applied Physics Letters　107　(12)　121103　2015年9月21日

DOI： 10.1063/1.4931698 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118
Perturber dependence of disalignment cross sections of the argon 2p <inf>2</inf> atoms measured at temperatures between 77 and 295K 査読有り

Hiraku Matsukuma, Hirotaka Tanaka, Yukihiro Takaie, Taiichi Shikama, Cristian Bahrim, Masahiro Hasuo

Journal of the Physical Society of Japan　81　(11)　114302　2012年11月

DOI： 10.1143/JPSJ.81.114302 　

ISSN：0031-9015

eISSN：1347-4073
27pAB-3 励起希ガス原子の原子衝突による偏極緩和の衝突原子依存性(27pAB 原子分子(原子分子一般),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 査読有り

松隈啓, Bahrim Cristian, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　67　(0)　240-240　2012年
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.67.1.2.0_240_1 　

ISSN：1342-8349
Disalignment rates of the neon 2p<inf>5</inf> and 2p<inf>10</inf> atoms due to helium atom collisions measured at temperatures between 77 and 294 K 査読有り

H. Matsukuma, T. Shikama, M. Hasuo

Journal of Physics B: Atomic, Molecular and Optical Physics　44　(7)　2011年4月

DOI： 10.1088/0953-4075/44/7/075206 　

ISSN：0953-4075

eISSN：1361-6455
Depolarization of emission lines from polarized neon 2p<inf>10</inf> atoms due to radiation re-absorption in a glow discharge plasma 査読有り

H. Matsukuma, C. Bahrim, T. Shikama, M. Hasuo

37th EPS Conference on Plasma Physics 2010, EPS 2010　3　1584-1587　2010年
Alignment relaxation of Ne∗(2p<inf>i</inf>[J1]) atoms in He-Ne∗ glow discharges 査読有り

Cristian Bahrim, Vaibhav Khadilkar, Hiraku Matsukuma, Masahiro Hasuo

Journal of Physics: Conference Series　194　(9)　2009年12月24日

DOI： 10.1088/1742-6596/194/9/092004 　

ISSN：1742-6588

eISSN：1742-6596
Alignment relaxation of Ne*(2pi[J= 1]) atoms in He-Ne* glow discharges 査読有り

Cristian Bahrim, Vaibhav Khadilkar, Hiraku Matsukuma, Masahiro Hasuo

Journal of Physics: Conference Series　194　(9)　092004　2009年11月
出版者・発行元： {IOP} Publishing
DOI： 10.1088/1742-6596/194/9/092004 　

ISSN：1742-6596

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MISC 36

光周波数コムを用いた物体の運動に関する超精密計測と校正法

松隈啓

月刊Optronics　(515)　142-146　2024年11月
加工計測

松隈啓

機械工学年鑑2023　2023年7月
座談会精密工学を創る人と技術 to the Future

藤嶋誠, 吉田一朗, 酒井康徳, 梶原優介, 松隈啓

精密工学会誌　89　(1)　3-7　2023年1月
An insight into optical metrology in manufacturing

Yuki Shimizu, Liang Chia Chen, Dae Wook Kim, Xiuguo Chen, Xinghui Li, Hiraku Matsukuma

Measurement Science and Technology　32　(4)　2021年4月

DOI： 10.1088/1361-6501/abc578 　

ISSN： 0957-0233

eISSN： 1361-6501
モード同期レーザーを用いた共焦点プローブ

佐藤遼, 清水裕樹, 仲村拓, 松隈啓, 高偉

光アライアンス　31　(2)　2020年

ISSN： 0917-026X
中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用

松隈啓, 阿隅結夢, 長岡将史, 清水裕樹, 高偉

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2020　2020年
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計-

清水裕樹, 高園翔太, 神田悠利, 松隈啓, 稲場肇, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2020　2020年
精密位置決め技術の最新動向と要素技術を活かした設計への展開 PART1 最新の位置決め技術解説1 精密位置決めのための多軸センサ活用

清水裕樹, 松隈啓, 高偉

機械設計　64　(9)　2020年

ISSN： 0387-1045
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計と基礎特性評価-

清水裕樹, 高園翔太, 神田悠利, 松隈啓, 稲場肇, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2020　2020年
Optical sensors for multi-axis angle and displacement measurement using grating reflectors 査読有り

Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Sensors (Switzerland)　19　(23)　2019年12月1日

DOI： 10.3390/s19235289 　

ISSN： 1424-8220

eISSN： 1424-8220
微細光学表面計測用プローブ顕微鏡技術

松隈啓, 清水裕樹, GAO Wei

光技術コンタクト　57　(8)　2019年

ISSN： 0913-7289
高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究第2報:光線追跡による第2高調波の角度特性の解明

松隈啓, 間所周平, 清水裕樹, 高偉

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2019　2019年
非直交型2軸ロイドミラー干渉計による2軸スケール回折格子パターニング-偏光制御ユニット改良によるパターン高精度化-

清水裕樹, 真野和樹, 松永雅教, 村上佑記, 松隈啓, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2019　2019年
高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究

松隈啓, 間所周平, 清水裕樹, 高偉

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2019　2019年
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサに関する研究-シングルモードファイバの適用-

清水裕樹, 高園翔太, 中村一貴, 松隈啓, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2019　2019年
光周波数コムを用いた角度センサの研究

中村一貴, 松隈啓, 清水裕樹, GAO Wei

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集(Web)　54th　2019年

ISSN： 2424-2713
2軸微細格子製作のための小型露光装置の開発

松永雅教, 真野和樹, 松隈啓, 清水裕樹, GAO Wei

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集(Web)　54th　2019年

ISSN： 2424-2713
精密測定のためのファイバ型光周波数コムの開発

神田悠利, 松隈啓, 清水裕樹, 稲場肇, GAO Wei

日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集(Web)　54th　2019年

ISSN： 2424-2713
中赤外ファイバーレーザーのためのフェムト秒レーザー逐次描画法によるFBGの書込み

合谷賢治, 松隈啓, 上原日和, 服部聡史, SCHAEFER Christian, 小西大介, 村上政直, 時田茂樹

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　65th　2018年
2.8μm帯・連続波Er:ZBLANファイバーMOPAシステム

上原日和, シェーファークリスチャン, 小西大介, 服部聡史, 合谷賢治, 松隈啓, 村上政直, 清水政二, 時田茂樹

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　65th　2018年
高精度走査プローブ顕微鏡技術

清水裕樹, 松隈啓, 高偉

先端加工技術　(104)　2018年

ISSN： 0914-8698
精密位置決め技術の最新動向と有効活用のポイント PART1 精密位置決めの最新技術とその適用解説4 精密位置決めのためのセンサ活用

清水裕樹, 松隈啓, 伊東聡, 高偉

機械設計　62　(9)　2018年

ISSN： 0387-1045
マイクロ熱検知センサを利用したエンコーダに関する研究

清水裕樹, 松野優紀, 石田彩華, 松隈啓, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2018　2018年
光周波数コムを用いた角度計測について

松隈啓, 清水裕樹, 高偉

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2018　2018年
微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究-熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価-

清水裕樹, 松野優紀, CHEN Yuan-Liu, 松隈啓, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集　2018　2018年
レーザー励起EUV光源最適化にむけたプラズマ駆動レーザーの吸収測定 (短波長量子ビーム発生と応用)

松隈啓, 細田達矢, 鈴木洋介, 藤岡慎介, 余語覚文, 西村博明, 砂原淳, 柳田達哉, 児玉健

レーザー学会研究会報告 = Reports on topical meeting of the Laser Society of Japan　16　(70)　19-22　2016年12月15日
出版者・発行元：レーザー学会
激光XII号レーザーを用いたEUV‐BEUV光源プラズマデータベースの構築

大橋隼人, 藤岡慎介, 松隈啓, 吉田健祐, 細田達矢, 東口武史, 笹沼淳史, 原広行, 富田健太郎, 佐藤祐太, 江島丈雄, 鈴木千尋, 砂原淳, 錦野将元

大阪大学レーザーエネルギー学研究センター共同利用・共同研究成果報告書　2014　11-12　2015年3月
20pAJ-1 励起ネオン原子の原子衝突によるオリエンテーション緩和分光測定(20pAJ 原子・分子(原子分子一般・電子衝突・エキゾチックアトム),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

松隈啓, Bahrim Cristian, 藤井恵介, 四竃泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　67　(2)　168-168　2012年8月24日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
24pEA-4 励起アルゴン原子の原子衝突によるアライメント緩和のperturber依存性計測(24pEA 原子分子(イオン衝突),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　66　(2)　192-192　2011年8月24日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
28pRA-2 励起ネオン原子の原子衝突によるアライメント緩和のperturber依存性計測(28pRA 原子分子(プラズマ・電子状態),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　66　(1)　227-227　2011年3月3日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
5pQA-14 グロー放電中励起ネオン原子(2p_<10>準位)のアライメント緩和(25pQA プラズマ基礎(プラズマ応用・非線形現象・原子過程・強結合),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　65　(2)　200-200　2010年8月18日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
25pRH-6 励起Ar原子の原子衝突によるアライメント緩和分光測定(25pRH 原子分子,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

田中博隆, 松隈啓, 高家幸弘, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　65　(2)　158-158　2010年8月18日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
21pTC-15 励起Ne原子のHe原子との衝突による偏極緩和分光測定(III)(21pTC 融合セッション(原子分子・放射線)原子分子,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　65　(1)　194-194　2010年3月1日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
26pZB-3 励起Ne原子のHe原子との衝突による偏極緩和分光測定(II)(原子分子,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

松隈啓, 四竃泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　64　(2)　77-77　2009年8月18日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
30aSP-6 レーザー誘起蛍光法を用いた励起ネオン原子(2p_<10>準位;J=1)の原子衝突によるアライメント緩和の測定(30aSP プラズマ宇宙物理(原子分子過程),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))

松隈啓, 高家幸弘, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　64　(1)　246-246　2009年3月3日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349
26pRA-6 励起Ne原子のHe原子との衝突による偏極緩和分光測定(原子・分子,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

松隈啓, 蓮尾昌裕

日本物理学会講演概要集　63　(1)　206-206　2008年2月29日
出版者・発行元：一般社団法人日本物理学会
ISSN： 1342-8349

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書籍等出版物 2

はじめての精密工学第2巻

公益社団法人精密工学会

2022年3月

ISBN: 9784764960367
はじめての精密工学第1巻

公益社団法人精密工学会

2022年3月

ISBN: 9784764960350

講演・口頭発表等 94

Calibration Method for Optical Angle Measurements using Diffraction Gratings

The 20th International Conference on Precision Engineering　2024年10月25日
光周波数コムを用いた角度計測に対する自律校正法の開発

松隈啓, 井口颯太, 佐藤遼, 高偉

2024年度精密工学会秋季大会学術講演会　2024年9月6日
光学式精密運動計測センサおよび外部標準が不要な校正法の開発

松隈啓

JST新技術説明会　2024年7月9日
Development of mode-locked mid-infrared laser and its repetition frequency control

Hiraku Matsukuma, Masashi Nagaoka, Hisashi Hirose, Ryo Sato, Wei Gao

OPTICS & PHOTONICS International Congress 2024 (Optical Technology and Measurement for Industrial Applications (OPTM2024))　2024年4月23日
中赤外超短パルスレーザによる透明材料加工

松隈啓, 廣瀬久志, 佐藤遼, 高偉

2024年度精密工学会春季大会学術講演会　2024年3月14日
レーザーによる多軸運動計測招待有り

松隈啓

レーザー学会第44回年次大会　2024年1月18日
モード同期中赤外レーザーの繰返周波数制御に関する研究

松隈啓, 長岡将史, 廣瀬久志, 佐藤遼, 高偉

2023年度精密工学会秋季大会学術講演会　2023年9月15日
Autocollimation employing optical frequency comb 招待有り

Hiraku Matsukuma, Kakeru Ikeda, Ryo Sato, Wei Gao

OPTICS & PHOTONICS International Congress 2023 (Optical Technology and Measurement for Industrial Applications (OPTM2023))　2023年4月20日
デュアルコム分光オートコリメーションによる精密角度変位計測

松隈啓, 池田翔, 佐藤遼, 高偉

2023年度精密工学会春季大会学術講演会　2023年3月15日
第二次高調波共焦点プローブに関する研究ー角度計測に関する検討ー

佐藤遼,清水裕樹,清水浩貴,松隈啓,高偉

2023年度精密工学会春季大会学術講演会　2023年3月15日
The theoretical investigation of angle measurement based on the third harmonic generation（THG） using focused beam

Li Kuangyi, Lin Jiahui, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
モード同期フェムト秒レーザ共焦点プローブに関する研究 -測定対象物チルト角が極小点追跡法へ与える影響の調査-

佐藤遼, 松隈啓,高偉

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
An angle sensor based on second harmonic generation with a collimated femtosecond laser beam

Jiahui Lin, Kuangyi Li, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
中赤外モードロックレーザの周波数安定化に関する研究

廣瀬久志, 松隈啓, 佐藤遼,高偉

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
フィゾー型2軸サーフェスエンコーダに関する研究

洪一帆, 清水裕樹, 松隈啓, 松岡良太, 高偉

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
Simulation analysis on gauge block length calibration by the method of Excess Fraction

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
フェムト秒レーザを用いたキャビティ間隔の検出方法

辛東昱, 松隈啓,高偉

2022年度精密工学会東北支部学術講演会　2022年11月12日
非直交型ロイドミラー干渉計によるVLS格子の製作に関する研究

遠藤秀作, 村上裕記, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2021年度精密工学会東北支部学術講演会　2021年11月6日
マイクロ光学素子の角度計測に関する研究

池田翔, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2021年度精密工学会東北支部学術講演会　2021年11月6日
フェムト秒レーザを用いた絶対位置計測に関する研究

前原智, 佐藤遼, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2021年度精密工学会東北支部学術講演会　2021年11月6日
モード同期フェムト秒レーザ共焦点プローブに関する研究-極小点追跡法を用いた合焦波長検出に関する検討-

佐藤遼, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2021年度精密工学会秋季大会学術講演会　2021年9月21日
中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用(第2報)

松隈啓, 又吉楓, 長岡将史, 清水裕樹, 高偉

2021年度精密工学会秋季大会学術講演会　2021年9月21日
モード同期フェムト秒レーザを利用した回折格子の校正方法

Shin Dong Wook, Quan Lue, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉, Manske Eberhard

2021年度砥粒加工学会学術講演会　2021年9月1日
短ピッチ格子を用いた平面ステージ計測用小型サーフェスエンコーダの設計

洪一帆, 清水裕樹, 松隈啓, 松岡良太, 高偉

2021年度砥粒加工学会学術講演会　2021年9月1日
第2高調波発生を用いた角度計測に関する研究-周波数変換型角度計測への展開-

松隈啓, Dwi Astuti Wijayanti, Li Kuangyi, 中尾優, 清水裕樹, 高偉

2021年度精密工学会春季大会学術講演会　2021年3月16日
熱収支場式エンコーダの開発に関する研究-試作ヘッドの基礎特性評価-

清水裕樹, 石田彩華, 松隈啓, 高偉

2021年度精密工学会春季大会学術講演会　2021年3月16日
Uncertainty analysis of roundness measurement of a small cylinder based on the stitching linear-scan method

李橋林, 齋藤俊樹, 町田裕貴, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2020年度精密工学会東北支部学術講演会　2020年11月14日
ロイドミラー干渉計による微細格子製作に関する研究

村上裕記, 張凱, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2020年度精密工学会東北支部学術講演会　2020年11月14日
Three-dimensional profile measurement of a single point diamond tool without the influence of the tip radius of an AFM probe

Kai ZHANG, Yindi CAI, Hiraku MATSUKUMA, Yuki SHIMIZU, Wei GAO

2020年度精密工学会東北支部学術講演会　2020年11月14日
Design of a small-sized surface encoder for stage motion measurement

洪一帆, 清水裕樹, 松隈啓, 松岡良太, 高偉

2020年度精密工学会東北支部学術講演会　2020年11月14日
Development of an optical angle sensor unit for the evaluation of pitch deviations

権略, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2020年度精密工学会東北支部学術講演会　2020年11月14日
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計と基礎特性評価-

清水裕樹, 高園翔太, 神田悠利, 松隈啓, 稲場肇, 高偉

2020年度精密工学会秋季大会学術講演会　2020年9月
光周波数コムによる精密角度計測招待有り

松隈啓

一般社団法人レーザー学会学術講演会第40回年次大会　2020年1月21日
非直交型2軸ロイドミラー干渉計の高精度化に関する研究-ビームシェイパによるコリメート光強度分布の平坦化-

村上裕記, 石塚稜, 松永雅教, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
新しい精密計測ツールとしての中赤外領域レーザの開発

長岡将史, 阿隅結夢, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
Investigation of the lateral resolution of a chromatic confocal microscopy with a mode-locked femtosecond leser source

陳衝, 佐藤遼, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
フェムト秒レーザを用いた共焦点顕微鏡における光軸変位計測高安定化に関する研究

佐藤遼, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
熱収支場式エンコーダの開発に関する研究-試作エンコーダを用いた基礎特性評価-

石田彩華, 清水裕樹, 松隈啓, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
フェムト秒レーザを用いた光学式角度センサによる表面形状計測に関する研究

高園翔大, 清水裕樹, 松隈啓, 神田悠利, 稲場肇, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
高感度光学式角度センサに関する研究

馬旭, 神田悠利, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
Self-calibration of Fizeau interferometer and linear scale

熊昕, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
光周波数コムを用いた絶対距離測定に関する研究

廣田駿介, 安達圭祐, 石塚稜, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
Design and verification of a measurement system for a micro tool cutting edge with a low measuring force

文博, 渡邉佑, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
切削力制御加工のための高安定な切削力検出に関する研究

栗田悠生, 文博, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会東北支部学術講演会　2019年11月9日
非直交型2軸ロイドミラー干渉計による2軸スケール回折格子パターニング偏光制御ユニット改良によるパターン高精度化

清水裕樹, 真野和樹, 松永雅教, 村上裕記, 松隈啓, 高偉

2019年度精密工学会秋季大会学術講演会　2019年9月5日
高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究第２報：光線追跡による第２高調波の角度特性の解明

松隈啓, 間所周平, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会秋季大会学術講演会　2019年9月5日
Uncertainty analysis of roundness measurement of a small cylinder based on the stitching linear-scan method

李橋林, 齋藤俊樹, 町田裕貴, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2019年度砥粒加工学会学術講演会　2019年8月30日
高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究

松隈啓, 間所周平, 清水裕樹, 高偉

2019年度精密工学会春季大会学術講演会　2019年3月13日
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサに関する研究―シングルモードファイバの適用―

清水裕樹, 高園翔太, 中村一貴, 松隈啓,高偉

2019年度精密工学会春季大会学術講演会　2019年3月13日
Study on the stitching techinque for fast evaluation of the linear scale using a Fizeau interferometer

熊昕, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

日本機械学会東北支部第54期総会・講演会　2019年3月12日
Experimental research on measurement range of a chromatic pinhole illumination confocal probe by utilizing side-lobes of axial response

陳衝, 松隈啓, 佐藤遼, 清水裕樹, 高偉

日本機械学会東北支部第54期総会・講演会　2019年3月12日
On-machine Surface Metrology by a Force-Sensor Integrated Fast Tool Servo

文博, 余建平, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

日本機械学会東北支部第54期総会・講演会　2019年3月12日
光周波数コムを用いた角度センサの研究

中村一貴, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

日本機械学会東北支部第54期総会・講演会　2019年3月12日
2軸微細格子製作のための小型露光装置の開発

松永雅教, 真野和樹, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

日本機械学会東北支部第54期総会・講演会　2019年3月12日
精密測定のためのファイバ型光周波数コムの開発

神田悠利, 松隈啓, 清水裕樹, 稲場肇,高偉

日本機械学会東北支部第54期総会・講演会　2019年3月12日
A new method to evaluate pitch deviations of diffraction gratings by using optical angle sensor

権略, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
V字型セラミック部品の高精度測定と不確かさ評価に関する研究

木暮雅海, 小林遼, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
平面ステージ精密制御用多軸サーフェスエンコーダの高精度化に関する研究

石塚稜, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
広帯域光周波数コムのための中赤外超短パルスレーザの開発

阿隅結夢, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
微細光学素子形状測定のための走査型プローブ顕微鏡に関する研究

長岡将史, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
光学式角度センサを用いた表面形状計測に関する研究 ―光ファイバを受光部に用いた角度センサに関する検討―

高園翔大, 清水裕樹, 松隈啓, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
フェムト秒レーザを用いた共焦点顕微鏡の温度安定性に関する研究

佐藤遼, 松隈啓, 陳衝, 清水裕樹, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
力センサを組み込んだ高速工具サーボによる切削力制御加工

栗田悠生, 松隈啓, 遠山佳祐, 清水裕樹, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
熱収支場式エンコーダの開発に関する研究 ―利用可能なパターン検討シミュレーション―

石田彩華, 清水裕樹, 松隈啓, 高偉

2018年度精密工学会東北支部学術講演会　2018年11月24日
光周波数コムを用いた角度計測について招待有り

松隈啓, 清水裕樹, 高偉

2018年度精密工学会秋季大会シンポジウム「光周波数コムの精密計測への応用」　2018年9月5日
マイクロ熱検知センサを利用したエンコーダに関する研究

清水裕樹, 松野優紀, 石田彩華, 松隈啓,高偉

2018年度精密工学会秋季大会学術講演会　2018年9月5日
微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究―熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価―

清水裕樹, 松野優紀, 陳遠流, 松隈啓,高偉

2018年度精密工学会春季大会学術講演会　2018年3月15日
Measurement of Workpiece Inclination by using FS-FTS on a Diamond Turning Machine

Bo Wen, Yuan-Liu Chen, Shu Wang, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
光周波数コムの安定性評価に関する研究

神田悠利, 楊紹青, 陳遠流, 清水裕樹, 松隈啓,高偉

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
平面ステージ精密制御用他自由度光センサのクロストーク誤差低減に関する研究

石塚稜, 古田雅也, 清水裕樹, 陳遠流, 陳修国, 松隈啓,高偉

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
エッジ反転法によるダイヤモンド工具刃先丸み半径の精密測定に関する研究

徐馬禄, 陳遠流, 蔡引, 清水裕樹, 松隈啓,高偉

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
2軸ロイドミラー干渉計による回折格子製作に関する研究 -コリメート光強度分布の評価-

真野和樹, 相原涼, 李星輝, 清水裕樹, 陳遠流, 陳修国, 松隈啓,高偉

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
超精密角度センサに関する研究

間所周平, 陳遠流, 清水裕樹, 松隈啓,高偉

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
小型円筒ワークの精密表面形状測定に関する研究

斎藤俊樹, 町田裕貴, 清水裕樹, 陳遠流, 松隈啓,高偉

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
回折格子の校正に関する研究

上原健太郎, 陳遠流, 清水裕樹, 陳修国, 松隈啓,高偉

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
XYZ3軸マイクロステージに関する研究

安達圭祐, 菅原拓馬, 清水裕樹, 陳遠流, 松隈啓,高偉

2017年精密工学会東北支部学術講演会　2017年10月14日
レーザー吸収率測定によるレーザー駆動EUV光源の物理解明

松隈啓, 細田達矢, 藤岡慎介, 西村博明, 柳田達哉, 神家幸一郎, 戸室啓明, 竹内靖, 砂原淳

第76回応用物理学会秋季学術講演会　2015年9月
レーザー駆動EUV光源プラズマにおける先行膨張の最適化

松隈啓, 吉田健祐, 細田達矢, 藤岡慎介, 余語覚文, 西村博明

2015年第62回応用物理学会春季学術講演会　2015年3月
CO2レーザー駆動SnプラズマのEUV放射効率化

松隈啓, 吉田健祐, 細田達矢, 藤岡慎介, 余語覚文, 西村博明, 佐藤英児, 染川智弘, 柳田達哉

第75回応用物理学会秋季学術講演会　2014年9月
レーザー駆動EUV光源プラズマのレーザー吸収率測定

松隈啓, 鵜篭照之, 吉田健祐, 浦辺祥吾, 李超剛, 藤岡慎介, 西村博明, 佐藤英児, 染川智弘, 柳田達哉

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会　2014年3月
励起ネオン原子の原子衝突によるオリエンテーション緩和分光測定

松隈啓, Cristian Bahrim, 藤井恵介, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会2012年秋季大会　2012年9月20日
励起ネオン原子のヘリウム原子衝突による偏極緩和

松隈啓, Cristian Bahrim, 蓮尾昌裕

原子衝突学会第37回年会　2012年7月28日
励起希ガス原子の原子衝突による偏極緩和の衝突原子依存性

松隈啓, Cristian Bahrim, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会第67回年次大会　2012年3月27日
励起アルゴン原子の原子衝突によるアライメント緩和のperturber依存性計測

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会2011年秋季大会　2011年9月24日
励起ネオン原子の原子衝突によるアライメント緩和のperturber依存性計測

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会第66回年次大会　2011年3月28日
原子衝突による偏極緩和過程と原子間ポテンシャル

松隈啓

原子分子光の素過程とプラズマ分光の研究フロンティア　2011年2月
グロー放電中励起ネオン原子（2p10準位）のアライメント緩和

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会2010年秋季大会　2010年9月25日
弱電離プラズマ中励起原子発光の偏光緩和分光測定

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本地球惑星科学連合2010年大会　2010年5月
励起Ne原子のHe原子との衝突による偏極緩和分光測定(III)

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会第65回年次大会　2010年3月21日
励起Ne原子のHe原子との衝突による偏極緩和分光測定(II)

松隈啓, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会2009年秋季大会　2009年9月26日
レーザー誘起蛍光法を用いた励起ネオン原子(2p10準位; J=1)の原子衝突によるアライメント緩和の測定

松隈啓, 高家幸弘, 四竈泰一, 蓮尾昌裕

日本物理学会第64回年次大会　2009年3月30日
弱電離プラズマ中の励起原子発光の偏光緩和：ふく射再吸収と原子衝突

松隈啓

重力多体系・プラズマ系における連結階層シミュレーション研究拠点形成第１回「プラズマ物理と天体物理の接点」研究会　2009年2月24日
励起ネオン原子(2pi; J = 1)のヘリウム原子衝突によるアライメント緩和計測

松隈啓

プラズマ分光診断と原子分子素過程の最先端　2009年1月16日
励起Ne原子のHe原子との衝突による偏極緩和分光測定

松隈啓, 蓮尾昌裕

日本物理学会第63回年次大会　2008年3月26日

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産業財産権 8

絶対位置測定装置および絶対位置測定方法

清水裕樹, 高偉, 松隈啓, 石塚稜

特許第7066189号

産業財産権の種類: 特許権
レーザ発振器、レーザ加工装置、光ファイバー、光ファイバーの製造方法、及び、光ファイバーの製造装置

服部聡史, 村上政直, シェーファークリスチャン, 時田茂樹, 上原日和, 松隈啓

産業財産権の種類: 特許権
角度変位測定装置および角度変位測定方法

松隈啓, 高偉, 清水裕樹, シンドンウク, 佐藤遼

産業財産権の種類: 特許権
多軸変位測定装置及び多軸変位測定方法

清水裕樹, 高偉, 松隈啓, 洪一帆, 松岡良太

産業財産権の種類: 特許権
回折格子ピッチ偏差測定装置

清水裕樹, 高偉, 松隈啓, 権略, 木村彰秀, 青木敏彦

産業財産権の種類: 特許権
絶対位置測定装置および絶対位置測定方法

清水裕樹, 高偉, 松隈啓, 石塚稜

産業財産権の種類: 特許権
精密測定装置、精密測定方法

松隈啓

産業財産権の種類: 特許権
光学式角度測定装置用校正装置、光学式角度測定装置向け校正方法

松隈啓,井口颯太,高偉

産業財産権の種類: 特許権

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共同研究・競争的資金等の研究課題 12

中赤外極限センシングへの挑戦

松隈啓, 大野誠吾, Ori Henderson-Sapir

2025年4月～ 2030年3月
光演算装置による超精密計測の開拓

松隈啓

2024年4月1日～ 2027年3月31日
ループ光学系による10ピコメートル測定への挑戦

松隈啓

2023年6月～ 2025年3月
デュアルコム分光角度計測法に対する自律校正法の確立

2022年10月～ 2024年9月
同時フィルタリングデュアル光コム非線形分光法によるトレーサブルな超精密角度計測

松隈啓

2021年4月1日～ 2024年3月31日

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本研究課題は，デュアルコム分光法を発展させ，角度計測に適用することで，光による角度計測の高度化を図ろうとするものである．初年度である2021年度は，デュアルコム分光法で必要となる光周波数コムの製作および制御を行った．ファイバーベースのモードロックレーザで，数kHzにわたり繰り返し周波数を制御できる共振器を設計した．設計に基づいてモードロックレーザをくみ上げた．組み立て当初は発振に至らなかったが，寄生発振を防ぐことで発振に成功した．モードロックレーザの製作の次に，光周波数の制御に関する開発を行った．光周波数は繰り返し周波数およびキャリアエンベロープオフセット周波数で決められる．従って，これらの制御のための位相同期ループ（ＰＬＬ）システムを設計・製作した．回路に適した電子回路部品の選定，レーザの温度管理に適した温度制御素子，ファイバー長さの制御のためのピエゾ素子の選定を行い，システムを構築した．構築したシステムで，繰り返し周波数およびキャリアエンベロープオフセット周波数の制御実験を行った．その結果，繰り返し周波数およびキャリアエンベロープオフセット周波数をmHzレベルで制御することに成功した．以上から，研究計画段階での2021年度の計画は全て遂行できたと言える．以上に加えて，2022年度の角度計測原理実証実験に向けたシステムの一部について，設計を開始した．2台の光周波数コムの偏光制御について検討し，システムの設計を行った．
光コム次元変換光学とその場自律校正法の創出によるサブアトム級３次元超精密計測

高偉, 清水裕樹, 松隈啓

2020年4月1日～ 2024年3月31日

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本研究では，次世代「つながる」超精密ものづくり実現に必須となる3次元超精密「絶対」形状計測基盤の確立を目的として，不等ピッチ絶対グリッド（不等間隔のものさし）および色収差レンズの分光作用をもとに，XYZ3軸絶対位置情報を光コム光源の光周波数情報に次元変換して検出する，極高感度絶対型XYZ位置コムを開発することを研究の目的としている．ナノメートル精度が限界である従来の計測・校正分離型信頼性保証（校正）体系の打破に向け，光コム光源をGPS衛星経由で「時間」の国家標準に直結することで実現する新概念の計測・校正一体型「その場自律校正体系」を確立し，遠隔地の生産現場における国家標準に匹敵する限界精度までの極高精度化を試みる．本年度は当初計画の通り，レーザ波面を分割制御した後に重ね合わせ，光の干渉により不等ピッチ光干渉絶対グリッド定在波を生成する1軸光学系を構築した後，波面分割型干渉計光学系に非球面ミラーを1枚追加して2軸化した．2軸化に伴うXYビーム間の干渉による歪み成分抑制のため，偏光制御光学系を導入した．HeCdレーザ光源を用いたビーム拡大光学系と組み合わせて，定在波一括転写システムを構築した．構築した定在波一括転写システムを用いて露光実験を行い不等ピッチ2軸絶対グリッドを作製するとともに，グリッドのピッチおよび振幅などを評価した．さらに，不等ピッチ絶対グリッドを用いた絶対型XY位置コムとして，光学読み取りヘッドの光源として用いるフェムト秒レーザのスペクトル帯域，および不等ピッチ絶対グリッドのピッチ変動幅を考慮して，±1次反射回折光を捕捉する差動型ファイバ受光光学系を設計・構築する生成光学系を開発した．その基本特性を実験によって調べた。また，次年度実施予定の不等ピッチ絶対グリッド製作システムの大面積化と最適化とともに，Z位置コム生成光学系に関する検討を前倒して実施した．
フェムト秒レーザの高強度性を利用した広測定範囲な精密角度計測法の実現

2020年8月～ 2022年3月
角度時間変換型オートコリメーション法による精密角度計測

松隈啓

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Early-Career Scientists

研究機関：Tohoku University

2019年4月1日～ 2021年3月31日

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本研究は，電流変調型半導体レーザーシステムの開発，および分光システムの開発，さらに角度センサシステムの構築を通して，オートコリメータと呼ばれる既存の角度センサを拡張し，新たな検出原理を創出することにより，高い角度分解能で，広い測定範囲を実現しようとするものである．そこで，初年度である2019年度は，１．電流変調型半導体レーザーシステムの開発，および２．分光システムの開発を行った．１．電流変調型半導体レーザーシステムの開発：まず，電流変調型半導体レーザーシステムの開発を行った．半導体レーザー駆動電源装置，半導体レーザーを購入，さらにそれらの最適配置をCADにより設計し，電流変調型半導体レーザーシステムを構築した．さらに，ファンクションジェネレータを購入し，半導体レーザー駆動電源装置に接続することで，電流変調型半導体レーザーシステムの構築を達成した．これらの性能は下記の分光システム開発で確認された．２．分光システム開発：ファブリーペロー共振器による分光システム開発を行った．光学系の最適化を行うことで，開発したレーザーシステムのレーザー光を精密分光できるシステムを構築した．上記の電流変調型半導体レーザーシステムより出射したレーザー光を導光することで，実際に分光システムとして機能することが確かめられた．さらに，電流変調型半導体レーザーシステムを2020年度に開発する予定の角度センサに用いられるよう，縦シングルモードとなる条件を探索し，その周波数変調実験を行った．
超高精度光ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア

高偉, 清水裕樹, 松隈啓, 陳遠流, 伊東聡

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

研究機関：Tohoku University

2015年5月29日～ 2020年3月31日

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超精密光計測学のフロンティア開拓を目的として，2軸光ナノグリッドと光絶対周波数コムを融合した多軸光絶対スケールコムを開発した．干渉グリッド定在波生成光学系を構築し，100mm四方の大面積に渡るサブμmピッチのナノグリッドを一括露光するとともに，そのZ平面度，XYピッチ誤差の一括自律校正法を確立した．さらに，ナノグリッドの分光機能をもとに光コム光源を光絶対スケールコムに変換する新理論を確立した．
超広帯域光源で開拓する高精度・高範囲角度センサの実現

2018年6月～ 2019年6月
基礎技術開発による中赤外領域短パルスレーザーの発生

松隈啓

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

研究種目：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

研究機関：Tohoku University

2017年4月1日～ 2019年3月31日

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波長2ミクロン～10ミクロン程度の中赤外線は分子の吸収ラインが多く存在すること，シリコンやゲルマニウム等半導体分野で重要な材料に対して透過するなど，科学・工学の両面において重要な波長帯域である．しかしながら，現状では，この領域のレーザーは非常に限られているのが現状である．本研究では，中赤外線のレーザーを開発するための基礎技術開発を行った．条件出しを丹念に行うことで本研究ではファイバーレーザーによるQスイッチパルス中赤外レーザー発生を確認できた．
低速原子衝突過程における実験とモデリング

松隈啓

2012年～ 2013年

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報告者は「低速原子衝突過程における実験とモデリング」と題して京都大学大学院工学研究科博士後期課程在学中に貴会特別研究員(DC)として採用された。1年目の平成24年度に申請した内容は実験としては全て終了し、それを上回る進展があった。とりわけmeV程度の低速原子衝突過程での偏極緩和に関して、これまでの理論では説明できない実験結果を得たために、本年度はこの成果をまとめた。論文に投稿するための体裁を整え、平成26年度中に論文を投稿予定である。また、平成25年度はそれまでに行ってきた原子衝突実験を発展させるため、六極集束器と呼ばれる量子状態選別装置を用いた実験を行うため、所属する研究機関を変更して実験を行った。装置の立ち上げは東京大学理学部物理学科の4回生配当の学生実験課題にもなり、適宜指導を行いつつ装置の立ち上げを行った。立ち上げた六極集束器の装置で得られたヨードメタン(CH_31)分子の集束曲線(得られたビーム強度の六極電極部への印加電圧依存性)を得て、|JKM>状態が選別された分子ビームを得るまでに至った(Jは全角運動量量子数、KはJの分子軸方向への射影成分、Mは量子化軸方向への射影成分である。)。

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担当経験のある科目(授業) 9

数学物理学演習I
計測工学II
機械設計学I
機械知能・航空研修II
機械知能・航空研修I
機械知能・航空実験II
機械知能・航空実験I
コンピュータ実習
数理情報学演習

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社会貢献活動 1

学問分野別講義（福島県立橘高等学校）

学問分野別講義

2023年10月25日～ 2023年10月25日

メディア報道 1

若手研究者１０人が受賞インテリジェント・コスモス学術振興財団「奨励賞」

河北新報

2024年5月14日

メディア報道種別: 新聞・雑誌