東北大学研究者紹介

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タナカ　シユウジ

田中　秀治

Shuji Tanaka

所属

大学院工学研究科　ロボティクス専攻　ナノシステム講座（スマートシステム集積学分野）

職名

教授

学位

博士（工学）（東京大学）
修士（工学）（東京大学）

researchmap

https://researchmap.jp/read0191498

J-GLOBAL ID

200901073288320980

プロフィール

田中秀治（たなかしゅうじ） 1994年3月東京大学工学部機械情報工学科卒業。1999年3月東京大学大学院工学系研究科産業機械工学専攻博士課程修了。博士（工学）。1999年4月東北大学大学院工学研究科助手。2001年4月同講師。2003年4月～2013年7月同助教授。2013年8月同教授。マイクロシステム融合研究開発センター教授を兼務。2004年1月～2006年3月科学技術振興機構研究開発戦略センターフェロー（兼務）。2006年4月～2018年3月同特任フェロー。2010年9月～2011年3月ルーベンカトリック大学客員教授としてimecに滞在。2017年度日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門部門長。2019年からMEMS Engineer Forum委員長。2020年からIEEE Ultrasonics, Feroelectrics, and Frequency Control Society Adcom Member。IEEE MEMS 2022 General Chair。科学技術分野の文部科学大臣表彰若手科学者賞（2009年），ドイツ・イノベーション・アワード（2012年），日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門部門賞研究功績賞（2019年），他受賞多数。MEMSセンサー，集積化技術，MEMSパッケージング技術，弾性波デバイス，圧電デバイス・材料などの研究に従事。日経xTECHに寄稿多数。IEEE Fellow，日本機械学会フェロー。

委員歴 67

MEMS Engineer Forum　組織委員会委員長

2019年～継続中
IEEE　Member, International Steering Committee of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)

2017年6月～継続中
IEEE　Member, International Steering Committee of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)

2017年6月～継続中
IEEE　Member, Steering Committee of IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)

2015年4月～継続中
IEEE　Member, Steering Committee of IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)

2015年4月～継続中
日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門運営委員

2013年4月～継続中
日本機械学会　日本機械学会論文集アソシエイトエディタ

2013年4月～継続中
日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門運営委員

2013年4月～継続中
日本機械学会　日本機械学会論文集アソシエイトエディタ

2013年4月～継続中
IEEE　Member, Technical Program Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)

2012年10月～継続中
IEEE　Member, Technical Program Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)

2012年10月～継続中
日本学術振興会　弾性波素子技術第150委員会委員

2012年7月～継続中
日本学術振興会　弾性波素子技術第150委員会委員

2012年7月～継続中
IEEE　Member, Technical Program Committee of IEEE International Frequency Control Symposium (IFCS)

2012年5月～継続中
IEEE　Member, Technical Program Committee of IEEE International Frequency Control Symposium (IFCS)

2012年5月～継続中
文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業　微細加工プラットフォーム共同代表

2012年4月～継続中
文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業　微細加工プラットフォーム共同代表

2012年4月～継続中
電気学会　「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員

2011年10月～継続中
超音波エレクトロニクス協会　超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム (USE) 論文委員

2011年10月～継続中
電気学会　「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員

2011年10月～継続中
超音波エレクトロニクス協会　超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム (USE) 論文委員

2011年10月～継続中
IEEE　Member, Technical Program Committee Member of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)

2009年6月～継続中
IEEE　Member, Technical Program Committee Member of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)

2009年6月～継続中
応用物理学会　集積化MEMS技術研究会委員

2008年4月～継続中
電気情報通信学会　周波数制御・選択に係るMEMSデバイスの評価方法に関する標準化委員会（TC49/WG12）委員

2008年4月～継続中
応用物理学会　集積化MEMS技術研究会委員

2008年4月～継続中
電気情報通信学会　周波数制御・選択に係るMEMSデバイスの評価方法に関する標準化委員会（TC49/WG12）委員

2008年4月～継続中
2022 IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　General Chair

2021年～ 2022年
IEEE　Vice-chair, Group 4 Chair, Technical Program Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)

2017年10月～ 2021年
日本機械学会　代表会員

2018年4月～ 2019年3月
日本機械学会　代表会員

2018年4月～ 2019年3月
IEEE　Member, Technical Program Committee of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2018-2019)

2017年1月～ 2019年1月
IEEE　Member, Technical Program Committee of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2018-2019)

2017年1月～ 2019年1月
日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門　部門長

2017年4月～ 2018年3月
The Japan Society of Mechanical Engineers　President of Micro-Nano Science and Technology Devision

2017年4月～ 2018年3月
応用物理学会　集積化MEMSシンポジウム実行委員長

2017年4月～ 2018年3月
日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門部門長

2017年4月～ 2018年3月
応用物理学会　集積化MEMSシンポジウム実行委員長

2017年4月～ 2018年3月
MEMS Engineer Forum　Project Leader, Organizing Committee of MEMS Engineer Forum (MEF)

2012年4月～ 2018年
IEEE　Member, Executive Technical Program Committee of 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)

2015年6月～ 2017年6月
IEEE　Member, Executive Technical Program Committee of 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)

2015年6月～ 2017年6月
The Japan Society of Mechanical Engineers　President-elect. of Micro-Nano Science and Technology Devision

2016年4月～ 2017年3月
応用物理学会　集積化MEMSシンポジウム論文委員長

2016年4月～ 2017年3月
日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門副部門長

2016年4月～ 2017年3月
応用物理学会　集積化MEMSシンポジウム論文委員長

2016年4月～ 2017年3月
IEEE　Member, Technical Program Committee of 4th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (Inertial 2017)

2016年3月～ 2017年3月
IEEE　Member, Technical Program Committee of 1st IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM 2017)

2016年3月～ 2017年3月
IEEE　Member, Technical Program Committee of 4th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (Inertial 2017)

2016年3月～ 2017年3月
IEEE　Member, Technical Program Committee of 1st IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM 2017)

2016年3月～ 2017年3月
IEEE　Member, Organizing Committee of 16th IEEE International Conference on Nanotechnology (NANO 2016)

2015年8月～ 2016年8月
IEEE　Member, Organizing Committee of 16th IEEE International Conference on Nanotechnology (NANO 2016)

2015年8月～ 2016年8月
IEEE　General Chair, 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2016)

2015年4月～ 2016年4月
IEEE　General Chair, 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2016)

2015年4月～ 2016年4月
電気学会　E部門役員

2013年4月～ 2015年3月
電気学会　E部門役員

2013年4月～ 2015年3月
電気学会　代議員

2012年4月～ 2014年3月
電気学会　代議員

2012年4月～ 2014年3月
IEEE　Member, Executive Technical Program Committee of 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013)

2011年6月～ 2013年6月
IEEE　Member, Executive Technical Program Committee of 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013)

2011年6月～ 2013年6月
日本機械学会　マイクロエネルギー研究会幹事

2007年2月～ 2012年3月
日本機械学会　マイクロエネルギー研究会幹事

2007年2月～ 2012年3月
IEEE　Member, Organizing Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS 2011)

2010年10月～ 2011年10月
IEEE　Member, Organizing Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS 2011)

2010年10月～ 2011年10月
IEEE　Member, Technical Program Committee of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2009-2010)

2008年1月～ 2010年1月
IEEE　Member, Technical Program Committee of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2009-2010)

2008年1月～ 2010年1月
PowerMEMS 2018　Chair, Technical Program Commitee of The 8th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018)

2007年11月～ 2008年11月
PowerMEMS 2018　Chair, Technical Program Commitee of The 8th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018)

2007年11月～ 2008年11月

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所属学協会 4

IEEE
電気学会
応用物理学会
日本機械学会

研究キーワード 3

弾性波デバイス
センサー
MEMS

研究分野 1

ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /

受賞 21

マイクロ・ナノ工学部門部門賞研究功績賞

2019年11月　日本機械学会
「電波の日」表彰東北総合通信局長表彰

2019年6月　総務省
IEEE Fellow

2018年1月1日　IEEE　for contributions to micro-electromechanical systems for acoustic wave devices, physical sensors, and power generation
応用物理学会第8回集積化MEMSシンポジウム優秀論文賞

2017年3月16日　応用物理学会　厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術
Outstanding Reviewer Awards 2016, Journal of Micromechanics and Microengineering

2017年2月4日　IOP Publishing
電気学会第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞

2016年10月26日　電気学会　表面実装型集積化MEMSのためのレーザー消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへの深いTSVの作製
電気学会第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀ポスター賞

2016年10月26日　電気学会　シーソ電極型触覚センサとセンサプラットフォームLSIの積層実装デバイスの作製と動作検証
電気学会平成27年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会優秀論文発表賞

2015年10月30日　電気学会　真空蒸着Eu(TTA)3薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー
電気学会第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞

2015年10月30日　電気学会　酸化防止層にSnを用いた低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合の研究
Best Poster Award, The 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS

2015年10月30日　日本機械学会　Hirayanagi and S. Tanaka, Vapor Chamber Type Micro Thermal Diode
日本機械学会 2014年度年次大会マイクロ・ナノ工学部門優秀講演論文表彰

2015年10月28日　日本機械学会　光パターニング可能な感温塗料をもちいた赤外線熱イメージングデバイスの開発
日本機械学会機械材料・材料加工部門部門一般表彰 (優秀講演論文部門)

2015年9月14日　日本機械学会
Outstanding Poster Award

2013年8月24日　The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS　TiCuNi metallic glass thin films for biomedical applications
German Innovation Award, Gottfried Wagener Prize

2012年6月19日　ドイツ科学・イノベーションフォーラム東京, 在日ドイツ商工会議所　Wireless Communication and Sensing Devices Based on Wafer-level Hetero-integration Technology
Best Paper Award

2011年10月7日　22nd European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 2011　Outgassing study of thin films used for poly-SiGe based vacuum packaging of MEMS
Outstanding Paper Award

2011年6月8日　The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers ’11　INTEGRATION AND PACKAGING TECHNOLOGY OF MEMS-ON-CMOS TACTILE SENSOR FOR ROBOT APPLICATION USING MOLDED THICK BCB LAYER AND BACKSIDE-GROOVED ELECTRICAL CONNECTION
レーザー学会進歩賞

2009年5月29日　レーザー学会　積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
第65回電気学術振興賞（論文賞）

2009年5月27日　電気学会　Debris-Free Laser-Assisted Low-Stress Dicing for Multi-Layered MEMS - Separation Method of Glass Layer -
平成21年度科学技術分野の文部科学大臣表彰若手科学者賞

2009年4月14日　文部科学省　マイクロエネルギー源の研究
研究奨励賞

2007年5月23日　財団法人みやぎ産業科学振興基金
MNC '98 Award for Outstanding Paper

1999年7月6日　Microprocesses and Nanotechnology Conference　Printing Sub-100 Nanometer Features Near-field Photolithography

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論文 618

Vacuum-Sealed MEMS Resonators Based on Silicon Migration Sealing and Hydrogen Diffusion

Tianjiao Gong, Muhammad Jehanzeb Khan, Yukio Suzuki, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Journal of Microelectromechanical Systems　33　(3)　369-375　2024年6月
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
DOI： 10.1109/jmems.2024.3382768 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
Epitaxial P_b(Z_r,T_i)O₃-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Fabricated on Silicon-On-Nothing (SON) Structure

Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2023年1月15日
出版者・発行元： IEEE
DOI： 10.1109/mems49605.2023.10052628 　
Mems Resonator Vacuum-Sealed by Silicon Migration and Hydrogen Outdiffusion

Muhammad Jehanzeb Khan, Yukio Suzuki, Tianjiao Gong, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2023-January　661-664　2023年

DOI： 10.1109/MEMS49605.2023.10052449 　

ISSN：1084-6999
Design and fabrication of non-resonant PZT MEMS micromirror with buried piezoresistors for closed loop position control

Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

Journal of Micromechanics and Microengineering　33　(1)　014001-014001　2022年11月18日
出版者・発行元： IOP Publishing
DOI： 10.1088/1361-6439/aca101 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

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Abstract This paper reports on a 1D PZT micromirror integrated with buried piezoresistors for quasi-static feedback position control. The piezoresistors located along or below the PZT actuators could achieve the sensitivity as high as 3.1 mV/°, which was two orders of magnitude higher than the traditional ones located at the torsion springs (8.2 μV/°). This increased the signal-to-noise ratio by 2 orders of magnitude, which could enable the accurate position control. The response of the longitudinal sensors along the beams had a fast settling time less than 1 ms. The average position error was 0.975%, which was much better than that from the conventional shear stress sensor on the torsion bar of 3.1%.
Fabrication and characterization of row-column addressed pMUT array with monocrystalline PZT thin film toward creating ultrasonic imager

Ziyi Liu, Shinya Yoshida, David A. Horsley, Shuji Tanaka

Sensors and Actuators A: Physical　342　113666-113666　2022年8月
出版者・発行元： Elsevier BV
DOI： 10.1016/j.sna.2022.113666 　

ISSN：0924-4247
Electroplated Al Press Marking for Wafer-Level Bonding

Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Micromachines　13　(8)　1221-1221　2022年7月30日
出版者・発行元： MDPI AG
DOI： 10.3390/mi13081221 　

eISSN：2072-666X

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Heterogeneous integration of micro-electro mechanical systems (MEMS) and complementary metal oxide semiconductor (CMOS) integrated circuits (ICs) by 3D stacking or wafer bonding is an emerging approach to advance the functionality of microdevices. Aluminum (Al) has been of interest as one of the wafer bonding materials due to its low cost and compatibility with CMOS processes. However, Al wafer bonding typically requires a high temperature of 450 °C or more due to the stable native oxide which presents on the Al surface. In this study, a wafer bonding technique for heterogeneous integration using electroplated Al bonding frame is demonstrated. The bonding mechanism relies on the mechanical deformation of the electroplated Al bonding frame through a localized bonding pressure by the groove structures on the counter wafer, i.e., press marking. The native oxide on the surface was removed and a fresh Al surface at the bonding interface was released through such a large mechanical deformation. The wafer bonding was demonstrated at the bonding temperatures of 250–450 °C. The influence of the bonding temperature to the quality of the bonded substrates was investigated. The bonding shear strength of 8–100 MPa was obtained, which is comparable with the other Al bonding techniques requiring high bonding temperature.
Mechanical hardening of electrochemically deposited aluminum from chloroaluminate ionic liquid

Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Scripta Materialia　213　114599-114599　2022年5月
出版者・発行元： Elsevier BV
DOI： 10.1016/j.scriptamat.2022.114599 　

ISSN：1359-6462
Fabrication of Monocrystalline-Based Composite PZT Thin Film with Polycrystalline Crack Stopper Structure

Yu Katsumata, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS)　2022年1月9日
出版者・発行元： IEEE
DOI： 10.1109/mems51670.2022.9699644 　
Improved Vacuum Level of Silicon-Migration-Sealed Cavity by Hydrogen Diffusion Annealing for Wafer-Level Packaging for Mems

Hirotaka Suzuki, Yukio Suzuki, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2022-January　565-568　2022年

DOI： 10.1109/MEMS51670.2022.9699602 　

ISSN：1084-6999
Sputter Deposition and Characterization of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3–PbTiO3 Epitaxial Thin Film on Si toward Giant-Piezoelectric Thin Film for MEMS Actuator Application

Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control　69　(5)　1-1　2022年
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
DOI： 10.1109/tuffc.2022.3156881 　

ISSN：0885-3010

eISSN：1525-8955
Fabrication and Characterization of Annular-Shaped Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Mounted with Pb(Zr,Ti)O3-Based Monocrystalline Thin Film

Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

Journal of Micromechanics and Microengineering　31　(12)　125014-125014　2021年10月29日
出版者・発行元： IOP Publishing
DOI： 10.1088/1361-6439/ac349f 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

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<title>Abstract</title> In this study, we propose an annular-shaped piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pMUT) based on a Pb(Zr,Ti)O3-based monocrystalline thin film. This pMUT is expected to increase the resonance frequency while maintaining displacement sensitivity, making it superior to an island-shaped pMUT, which is a conventional design. To demonstrate the validity of this assumption, annular- and island-shaped pMUTs with a 60-μm-diameter diaphragm were prototyped and characterized. As a result, the annular-shaped pMUT exhibited a resonance frequency of 11.9 MHz, a static displacement sensitivity of 2.35 nm/V and a transmitting figure-of-merit (FOM) of 28 nm∙MHz/V. On the other hand, the island-shaped pMUT exhibited a resonance frequency of 9.6 MHz and a static displacement of 2.5 nm/V and an FOM of 24 nm∙MHz/V. Therefore, the annular-shaped pMUT was experimentally demonstrated to provide a higher FOM compared to the island-shaped pMUT. In addition, the annular-shaped pMUT with the optimal dimensions is found to be able to keep a relatively large fabrication margin. This is an advantageous point for the practical device fabrication. We believe this design has a potential to become a standard design for high-performance pMUT devices.
Sputter deposition and characterization of “epi-poly” Pb(Zr, Ti)O3 thin film on (100) Si substrate for MEMS applications

Yu Katsumata, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

Japanese Journal of Applied Physics　60　(10)　101005-101005　2021年10月1日
出版者・発行元： IOP Publishing
DOI： 10.35848/1347-4065/ac262c 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Fully CMOS-Compatible Wafer Bonding Based on Press Marking Using Thick Electroplated Aluminum

Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021　1138-1141　2021年6月20日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/Transducers50396.2021.9495544 　
Quad Mass Resonator with Frequency Mismatch of 3 ppm Trimmed by Focused Ion Beam

Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Journal of Microelectromechanical Systems　30　(3)　392-400　2021年6月1日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/JMEMS.2021.3065720 　

ISSN：1941-0158 1057-7157
Electrochemically Deposited Aluminum for MEMS Thermal Actuator

Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

2021 Smart Systems Integration, SSI 2021　2021年4月27日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/SSI52265.2021.9466952 　
Mode-Matched Multi-Ring Disk Resonator Using Single Crystal (100) Silicon

Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

INERTIAL 2021 - 8th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings　2021年3月22日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/INERTIAL51137.2021.9430467 　
Rate Integrating Gyroscope Using Independently Controlled CW and CCW Modes on Single Resonator

Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　30　(1)　15-23　2021年2月

DOI： 10.1109/JMEMS.2020.3039241 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
A Novel three Degree-of-Freedom Resonator with High Stiffness Sensitivity Utilizing Mode Localization

Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2021-　810-813　2021年1月25日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/MEMS51782.2021.9375206 　

ISSN：1084-6999
DESIGN OF ELECTROMAGNETIC RING RESONATOR WITH ZERO ANCHORLOSS

Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

2021 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　301-304　2021年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS50396.2021.9495688 　

ISSN：2167-0013

eISSN：2167-0021
Theoretical Consideration of Mismatch Compensation for MEMS Resonator Having Unaligned Principle Axes

Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

2021 8TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS (INERTIAL 2021)　2021年

DOI： 10.1109/INERTIAL51137.2021.9430491 　

ISSN：2377-3464
Dual-Mass Resonator with Dynamically Balanced Structure for Roll/Pitch Rate Integrating Gyroscope

Shihe Wang, Muhammad Salman Al Farisi, Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

2021 IEEE SENSORS　2021年

DOI： 10.1109/SENSORS47087.2021.9639685 　

ISSN：1930-0395
Fabrication method of quartz glass ring resonator using sacrificial support structure

Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　30　(11)　2020年11月

DOI： 10.1088/1361-6439/abb753 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Triple Mass Resonator with High Capacity to Tune Frequency and Quality Factor

Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

INERTIAL 2020 - 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings　2020年3月1日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/INERTIAL48129.2020.9090053 　
Quality Factor Trimming Method Using Thermoelastic Dissipation for Ring-Shape MEMS Resonator

Abdelli Hamza, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

INERTIAL 2020 - 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings　2020年3月1日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/INERTIAL48129.2020.9090082 　
Fabrication Technology of Quartz Glass Resonator Using Sacrificial Metal Support Structure

Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

2020 7TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS (INERTIAL 2020)　2020年

ISSN：2377-3464
Roll/Pitch Rate Integrating MEMS Gyroscope Using Dynamically Balanced Dual-Mass Resonator

Shihe Wang, Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

2020 7TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS (INERTIAL 2020)　2020年

ISSN：2377-3464
Automated frequency and quality-factor matching method for frequency modulated / rate integrating gyroscope

Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN　209　(3-4)　57-63　2019年12月

DOI： 10.1002/eej.23248 　

ISSN：0424-7760

eISSN：1520-6416
Printable on-chip micro battery

Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING　14　(9)　1416-1421　2019年9月

DOI： 10.1002/tee.22944 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
Quad Mass Gyroscope with 16 ppm Frequency Mismatch Trimmed by Focus Ion Beam

Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

INERTIAL 2019 - 6th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings　2019年4月1日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/ISISS.2019.8739610 　
AUTOMATED FREQUENCY AND QUALITY FACTOR MISMATCH COMPENSATION METHOD FOR MEMS RATE INTEGRATING GYROSCOPE

Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)　1831-1834　2019年
MEMS Rate Integrating Gyroscope with Temperature Corrected Virtual Rotation

Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

2019 6TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS & SYSTEMS (INERTIAL 2019)　2019年

ISSN：2377-3464
PVDF - TrFE/SiO 2 Composite Film Bulk Acoustic Resonator for Frequency-Modulated Sensor Application

Ryosuke Kaneko, Joerg Froemel, Shuji Tanaka

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS　2018-　2018年12月17日
出版者・発行元： IEEE Computer Society
DOI： 10.1109/ULTSYM.2018.8580123 　

ISSN：1948-5727 1948-5719
Fully Differential Single Resonator FM Gyroscope Using CW/CCW Mode Separator

Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　27　(6)　985-994　2018年12月

DOI： 10.1109/JMEMS.2018.2874060 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
Wireless Sensor Chip Platform Using On-Chip Electrochromic Micro Display

Takashiro Tsukamoto, Yanjun Zhu, Shuji Tanaka

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS　E101C　(11)　870-873　2018年11月

DOI： 10.1587/transele.E101.C.870 　

ISSN：1745-1353
Speckle reduction device using two-axis resonant microstage

Yasuhiro Fujimura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Proceedings of the International Display Workshops　3　1218-1221　2018年
出版者・発行元： International Display Workshops
ISSN：1883-2490
2-axis resonant microstage using single piezoelectric moonie-type Microactuator

Yasuhiro Fujimura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　138　(11)　516-522　2018年
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
DOI： 10.1541/ieejsmas.138.516 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
Sputter epitaxy of Pb(Zr, Ti)O3 and Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Films on Si for high-performance Piezoelectric MEMS

Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

Smart Systems Integration 2018 - International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems　233-239　2018年
出版者・発行元： Mesago Messe Frankfurt GmbH
Working fluid sealing method for vapor chamber type micro thermal diode

Takashiro Tsukamoto, Koichi Sato, Shuji Tanaka

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　138　(8)　392-393　2018年
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
DOI： 10.1541/ieejsmas.138.392 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
進化し続けるMEMSの技術と応用～デバイス・モジュールメーカーとプラットフォーマーの時代～招待有り

田中秀治

電子情報通信学会集積化光デバイスと応用技術特別研究専門委員会, 第2回集積化光デバイスと応用研究会－IoT時代の集積フォトニクス－　2017年11月9日
On-chip electrochromic micro display for a disposable bio-sensor chip 査読有り

Yanjun Zhu, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Journal of Micromechanics and Microengineering　27　125012　2017年11月
Quad-seesaw-electrode type 3-axis tactile sensor with low nonlinearities and low cross-axis sensitivities 査読有り

Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Yoshiteru Omura, Takahiro Nakayama, Motohiro Fujiyoshi, Hirofumi Funabashi, Teruhisa Akashi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　266　24-35　2017年10月

DOI： 10.1016/j.sna.2017.09.015 　

ISSN：0924-4247
Epitaxial PMnN-PZT/Si MEMS ultrasonic rangefinder with 2 m range at 1 V drive 査読有り

Zhen Zhou, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　266　352-360　2017年10月

DOI： 10.1016/j.sna.2017.09.058 　

ISSN：0924-4247
3-Axis Fully-Integrated Capacitive Tactile Sensor with Flip-Bonded CMOS on LTCC Interposer 査読有り

Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka

Sensors　17　2451　2017年10月
Improved Quality Factor of Hetero Acoustic Layer (HAL) SAW Resonator Combining LiTaO3 Thin Plate and Quartz Substrate

Michio Kadota, Shuji Tanaka

IEEE International Ultrasonics Symposium　2017年9月6日
System development of biosensing module using CMOS hall sensor array for disposable wireless diagnosis device

Tong Sun, Takashiro Tsukamoto, Tomohiro Ishikawa, Shuji Tanaka

2017 IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2017　160-163　2017年8月25日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/NEMS.2017.8016996 　
Stylus type MEMS texture sensor covered with corrugated diaphragm 査読有り

Takashiro Tsukamoto, Hideaki Asao, Shuji Tanaka

Journal of Micromechanics and Microengineering　27　95006　2017年8月
A Tactile Sensor Network System Using a Multiple Sensor Platform with a Dedicated CMOS-LSI for Robot Applications 査読有り

Chenzhong Shao, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Travis Bartley, Yutaka Nonomura, Masanori Muroyama

Sensors　17　1947　2017年8月
CMOS-on-LTCC integrated fingertip sensor with 3-axis tactile and thermal sensation for robots

Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　516-519　2017年7月26日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994099 　
Fully-integrated, fully-differential 3-axis tactile sensor on platform LSI with TSV-based surface-mountable structure

Yoshiyuki Hata, Yukio Suzuki, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yoshiteru Omura, Motohiro Fujiyoshi, Shuji Tanaka

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　500-503　2017年7月26日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994095 　
Polyaniline electrochromic micro-display powered by on-chip Mg/AgCl battery for wireless data transfer of disposable bio-sensing chip

Y. Zhu, T. Tsukamoto, S. Tanaka

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　878-881　2017年7月26日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994189 　
Wafer-to-wafer transportable gold particle plug for spot vacuum sealing of MEMS

Toshinori Ogashiwa, Kentaro Totsu, Mitsutomo Nishizawa, Hiroyuki Ishida, Kenichi Inoue, Yuya Sasaki, Masayuki Miyairi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1304-1307　2017年7月26日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994295 　
250°C WAFER-LEVEL VACUUM SEALING USING ELECTROPLATED COPPER BONDING FRAME PLANARIZED BY FLY-CUTTING

Muhammad Salman Al Farisi, Koki Tanaka, Hideki Hirano, Shuji Tanaka

The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)　1191-1194　2017年7月26日
出版者・発行元：
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994267 　
Multi-sensor platform LSI enabling different sensors to be event-driven and connected to common differental bus line

Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1156-1159　2017年7月26日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994258 　
Mobile immunoassay system on standard CMOS magnetic beads sensor

Tomohiro Ishikawa, Shuji Tanaka

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1612-1615　2017年7月26日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994371 　
20 Milliwatt class ultralow power integrated OCXO using polyimide and thin film metal connection suspended in vacuum packaging

Takanori Suzuki, Masanori Muroyama, Tomoyuki Taira, Noritoshi Kimura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　435-438　2017年7月26日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994080 　
Monocrystalline PMNN-PZT thin film ultrasonic rangefinder with 2 meter range at 1 volt drive

Zhen Zhou, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　167-170　2017年7月26日
出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994014 　
Transient response of ALD-QCM with synchronized back pressure control of sensor head

Masafumi Kumano, Kosuke Hikichi, Shuji Tanaka

The AVS 17th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2017)　2017年7月15日
Wafer-level vacuum sealing using AgAg thermocompression bonding after fly-cut planarization 査読有り

Cong Liu, Hideki Hirano, Joerg Froemel, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　261　210-218　2017年7月

DOI： 10.1016/j.sna.2017.05.020 　

ISSN：0924-4247
Development of novel buffer layer structure for epitaxial growth of (100)/(001)Pb(Zr,Ti)O3-based thin film on (111)Si wafer 査読有り

Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

Japanese Journal of Applied Physics　56　71501　2017年6月
Smart Sensors for Next Generation Robots 招待有り

Shuji Tanaka

The 12th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2017)　2017年4月11日
圧電ムーニー型共振マイクロアクチュエータ査読有り

藤村康浩, 塚本貴城, 田中秀治

電気学会論文誌E　137　(4)　95-100　2017年4月

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.95 　
A 1.9 GHz Low-Phase-Noise Complementary Cross-coupled FBAR-VCO without Additional Voltage Headroom in 0.18 μm CMOS Technology 査読有り

Guoqiang ZHANG, Awinash ANAND, Kousuke HIKICHI, Shuji TANAKA, Masayoshi ESASHI, Ken-ya HASHIMOTO, Shinji TANIGUCHI, Ramesh K. POKHAREL

IEICE Transactions on Electronics　E100C　(4)　363-369　2017年4月

DOI： 10.1587/transele.E100.C.363 　

ISSN：1745-1353
A wafer-level MEMS-LSI integration platform using fly-cut bonding metals customizable for diverse applications

Hideki Hirano, Yukio Suzuki, Chand Rakesh, Shuji Tanaka

Smart Systems Integration 2017　151-158　2017年3月8日
MEMS関連技術の新しい弾性波デバイスへの貢献招待有り

田中秀治

圧電材料・デバイスシンポジウム2017　57-65　2017年2月7日
Micro thermal diode with glass thermal insulation structure embedded in vapor chamber 査読有り

Takashiro Tsukamoto, Takashi Hirayanagi, Shuji Tanaka

Journal of Micromechanics and Microengineering　27　45001　2017年2月
300 μm DEEP THROUGH SILICON VIA IN LASER-ABLATED CMOS MULTI-PROJECT WAFER FOR COST-EFFECTIVE DEVELOPMENT OF INTEGRATED MEMS

Yukio Suzuki, Hideyuki Fukushi, Masanori Muroyama, Yoshiyuki Hata, Takahiro Nakayama, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Shuji Tanaka

30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2017)　744-747　2017年1月22日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863515 　
On-chip polyaniline electrochromic microdisplay for disposable bio-sensing chip

Takashiro Tsukamoto, Yanjun Zhu, Shuji Tanaka

Proceedings of the International Display Workshops　2　1281-1283　2017年
出版者・発行元： International Display Workshops
ISSN：1883-2490
FULLY-DIFFERENTIAL SINGLE RESONATOR FM/WHOLE ANGLE GYROSCOPE USING CW/CCW MODE SEPARATOR

Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017)　1118-1121　2017年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863610 　

ISSN：1084-6999
Low Temperature Hermetic Sealing by Aluminum Thermocompression Bonding using Tin Intermediate Layer

Shiro Satoh, Hideyuki Fukushi, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2017 IEEE ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY AND MANUFACTURING CONFERENCE (EDTM)　219-221　2017年

DOI： 10.1109/EDTM.2017.7947571 　
Disposable wireless immuno-sensing chips 査読有り

Takashiro Tsukamoto, Tomohiro Ishikawa, Shuji Tanaka

International Journal of Automation and Smart Technology　7　(1)　1-6　2017年
出版者・発行元： Chinese Institute of Automation Engineers
DOI： 10.5875/ausmt.v7i1.1303 　

ISSN：2223-9766
In-situ observation of micro droplet motion in micro thermal diode

Koichi Sato, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016　SuP2-A-1　2016年12月16日
Heterogeneously-Integrated Microdevices 招待有り

Shuji Tanaka

62nd IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)　488-489　2016年12月6日
Investigation of Surface Pre-Treatment Methods for Wafer-Level Cu-Cu Thermo-Compression Bonding 査読有り

Koki Tanaka, Wei-Shan Wang, Mario Baum, Joerg Froemel, Hideki Hirano, Shuji Tanaka, Maik Wiemer, Thomas Otto

MICROMACHINES　7　(12)　234　2016年12月

DOI： 10.3390/mi7120234 　

ISSN：2072-666X
Wafer-level hermetic thermo-compression bonding using electroplated gold sealing frame planarized by fly-cutting 査読有り

Muhammad Salman Al Farisi, Hideki Hirano, Jörg Frömel, Shuji Tanaka

Journal of Micromechanics and Microengineering　27　15029　2016年11月30日
Evaluation of Acoustic Properties of Multilayer Graphene Sheet by Ultrasonic Microscopy

Ryosuke Kaneko, Michio Kadota, Masamitsu Tachibana, Mutsuaki Murakami, Jun-ichi Kushibiki, Yuji Ohashi, Shuji Tanaka

The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics　3P1-6　2016年11月16日
Tunable rejection filters with ultra-wideband using SH0 plate wave resonators

Michio Kadota, Shuji Tanaka

The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics　1P3-3　2016年11月16日
Enhanced curie temperature and high heat resistivity of PMnN-PZT monocrystalline thin film on Si 査読有り

Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　251　100-107　2016年11月

DOI： 10.1016/j.sna.2016.10.009 　

ISSN：0924-4247
PZT系単結晶薄膜を用いた圧電MEMSのためのYSZエピタキシャルバッファ層のウエハレベルスパッタ成膜査読有り

西澤信典, 吉田慎哉, 和佐清孝, 田中秀治

電気学会論文誌E　136　(10)　437-442　2016年10月

DOI： 10.1541/ieejsmas.136.437 　
Structure and Ferroelectric Properties of High Tc BiScO3–PbTiO3 Epitaxial Thin Films 査読有り

Kiyotaka Wasa, Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Hideaki Adachi, Toshiyuki Matsunaga, Shuji Tanaka

IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control　63　(10)　1636-1641　2016年10月

DOI： 10.1109/TUFFC.2016.2569624 　

ISSN：0885-3010

eISSN：1525-8955
Fabrication of pMUT Based on Large Figure-of-Merit Epitaxial PMnN-PZT/Si

Zhen Zhou, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

The 8th Japan-China Symposium on Ferroelectric Materials and Their Applications　TF-11　2016年9月29日
Vapor Chamber Type Micro Thermal Diode

T. Tsukamoto, T. Hirayanagi, S. Tanaka

The 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS　93-94　2016年9月21日
Solidly Mounted Ladder Filter using Shear Horizontal Wave in LiNbO3

Michio Kadota, Shuji Tanaka

IEEE International Ultrasonics Symposium　2016年9月18日

DOI： 10.1109/ULTSYM.2016.7728577 　
MEMS産業の技術動向と将来展望招待有り

田中秀治

VACUUM2016真空展, 真空フォーラム2016　2016年9月9日
17×17並列電子線描画システムの開発査読有り

宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E　136　(9)　413-419　2016年9月

DOI： 10.1541/ieejsmas.136.413 　
MEMSのトレンド招待有り

田中秀治

日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会, 第149回定例研究会　2016年8月29日
Stacked Integration of MEMS on LSI 査読有り

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

MICROMACHINES　7　(8)　137　2016年8月

DOI： 10.3390/mi7080137 　

ISSN：2072-666X
Ultra-wideband ladder filters using zero-th shear mode plate wave in ultrathin LiNbO3 plate with apodized interdigital transducers 査読有り

Michio Kadota, Shuji Tanaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　55　(7)　07KD04　2016年7月

DOI： 10.7567/JJAP.55.07KD04 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Wave Propagation Direction and c-Axis Tilt Angle Influence on the Performance of ScAlN/Sapphire-Based SAW Devices 査読有り

Abhay Kochhar, Yasuo Yamamoto, Akihiko Teshigahara, Ken-ya Hashimoto, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL　63　(7)　953-960　2016年7月

DOI： 10.1109/TUFFC.2016.2539226 　

ISSN：0885-3010

eISSN：1525-8955
On-chip Electrochromic Micro Display Device using PANi for Disposable Bio-sensor Chip

Yanjun Zhu, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016 (APCOT 2016)　211-212　2016年6月26日
Back pressure control of ALD-QCM sensor head synchronized to process pressure

Masafumi Kumano, Kosuke Hikichi, Shuji Tanaka

The 16th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2016)　2016年6月24日
Heterogeneous Integration and Packaging Technology for Microsystems 招待有り

Shuji Tanaka

The 33rd International Conference of Photopolymer Science and Technology　2016年6月24日
Hybrid MEMS-SMA structure for intraocular lenses 査読有り

T. D. O. Moura, T. Tsukamoto, D. W. de Lima Monteiro, S. Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　243　15-24　2016年6月

DOI： 10.1016/j.sna.2016.03.005 　

ISSN：0924-4247
Structural, mechanical and optical properties of thin films deposited from a graphitic carbon nitride target 査読有り

Neelam Kaushik, Parmanand Sharma, Masahiko Nishijima, Akihiro Makino, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

DIAMOND AND RELATED MATERIALS　66　149-156　2016年6月

DOI： 10.1016/j.diamond.2016.04.007 　

ISSN：0925-9635

eISSN：1879-0062
酸化防止層にSnを用いたAl-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合の研究査読有り

佐藤史朗, 福士秀幸, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　136　(6)　237-243　2016年6月

DOI： 10.1541/ieejsmas.136.237 　
High Velocity Lamb Waves in LiTaO3 Thin Plate for High Frequency Filters

Najoua Assila, Michio Kadota, Yuji Ohhashi, Shuji Tanaka

IEEE International Frequency Control Symposium　365-368　2016年5月9日

DOI： 10.1109/FCS.2016.7546796 　
A Multiple Sensor Platform with Dedicated CMOS-LSIs for Robot Applications

Chenzhong Shao, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Travis Bartley, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758243 　
Plasma Half Dicing based on Micro-loading Effect for Ultra-thin LiNbO3 Plate Wave Devices on Si Substrate

Yoshimi Yunoki, Michio Kadota, Masaaki Moriyama, Shuji Tanaka

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758224 　
A1 Mode Lamb Wave on Thin LiTaO3 for High Frequency Acoustic Devices

Najoua Assila, Michio Kadota, Yuji Ohashi, Shuji Tanaka

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758293 　
Electroplating of Neodymium Iron Alloys

Florian Kurth, Joerg Froemel, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi, Thomas Gessner

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758278 　
Investigation of Curie Temperature of Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 epitaxial thin film on Si Fabricated by Sputter Deposotion with Fast Cooling Process

Yukihiro Hasegawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日
Stylus Type MEMS Texture Sensor covered with a Corrugated Diaphragm

Hideaki Asao, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日
Lamb Wave Resonators and Resonator Filters in Periodical Poled Z-cut LiTaO3 Plate

Michio Kadota, Takashi Ogami, Kansho Yamamoto, Yasuo Cho, Shuji Tanaka

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758302 　
Fabrication of a Multilayer Spiral Coil by Selective Bonding, Debonding and MEMS Technologies

Tim Schroeder, Joerg Froemel, Shuji Tanaka, Thomas Gessner

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758277 　
Low temperature wafer bonding for heterogeneous integration

Joerg Froemel, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi, Thomas Gessner

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日
Wafer-Level Vacuum Packaging for Hetero-Integration by Thermo-compression Bonding Using Planarized-Electroplated Gold Bumps

Muhammad Salman Al Farisi, Hideki Hirano, Shuji Tanaka

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758317 　
Solidly Mounted Resonator using Shear Horizontal Mode Plate Wave in LiNbO3 Plate

Michio Kadota, Shuji Tanaka

The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)　2016年4月17日

DOI： 10.1109/FCS.2016.7546795 　
Surface-mountable capacitive tactile sensors with flipped CMOS-diaphragm on a flexible and stretchable bus line 査読有り

Sho Asano, Masanori Muroyama, Travis Bartley, Takahiro Kojima, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yutaka Nonomura, Yoshiyuki Hata, Hirofumi Funabashi, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　240　167-176　2016年4月

DOI： 10.1016/j.sna.2016.01.043 　

ISSN：0924-4247
IoTとセンサ招待有り

田中秀治

第63回応用物理学会春季学術講演会特別シンポジウム「Internet of Thingsを俯瞰する」～応用物理から実装技術、アプリ、ビッグデータまで～　2016年3月21日
A CMOS-LSI for a Sensor Network Platform of Social Robot Applications

Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Travis Bartley, Shuji Tanaka

Smart Systems Integration 2016　2016年3月9日
Fabrication and characterization of large figure-of-merit epitaxial PMnN-PZT/Si transducer for piezoelectric MEMS sensors 査読有り

Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　239　201-208　2016年3月

DOI： 10.1016/j.sna.2016.01.031 　

ISSN：0924-4247
LOW-TEMPEATURE ALUMINUM THERMO-COMPRESSION WAFER BONDING WITH TIN ANTIOXIDATION LAYER FOR HERMETIC SEALING OF MEMS

Shiro Satoh, Hideyuki Fukushi, Masatoshi Esashi, Shuji Tanaka

2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　581-584　2016年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2016.7421692 　

ISSN：1084-6999
3-AXIS FULLY-INTEGRTED SURFACE-MOUNTABLE DIFFERENTIAL CAPACITIVE TACTILE SENSOR BY CMOS FLIP-BONDING

Sho Asano, Masanori Muroyama, Travis Bartley, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka

2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　850-853　2016年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2016.7421763 　

ISSN：1084-6999
Disposable wireless bio-sensor for daily health examination system

Takashiro Tsukamoto, Yanjun Zhu, Shuji Tanaka

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　915-916　2016年

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751575 　
Structure and Thermoelectric Properties of PbTe Films Deposited by Thermal Evaporation Method

M. P. Nguyen, J. Froemel, S. Hatayama, Y. Sutou, J. Koike, S. Tanaka, M. Esashi, T. Gessner

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　566-568　2016年

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751384 　
High sensitive TSP for optical readout infrared thermal imaging devices 査読有り

Min Wang, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　136　(10)　443-447　2016年
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
DOI： 10.1541/ieejsmas.136.443 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
Wafer-level Vacuum Packaging by Thermocompression Bonding using Silver after Fly-cut Planarization

C. Liu, H. Hirano, J. Froemel, S. Tanaka

SEMICONDUCTOR WAFER BONDING: SCIENCE, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS 14　75　(9)　291-297　2016年

DOI： 10.1149/07509.0291ecst 　

ISSN：1938-5862
Development and Applications of MEMS Process Tools 招待有り

Shuji Tanaka

The 22nd International Display Workshops (IDW '15)　1222-1225　2015年12月15日
Advanced Piezoelectric Films for MEMS and Acoustic Wave Devices 招待有り

S. Tanaka, S. Yoshida, M. Kadota, K. Wasa

Sixth International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems　2015年11月24日
MEMSのキーポイントとトレンド招待有り

田中秀治

精密工学会生産自動化専門委員会, 第97回研究発表会　2015年11月17日
Sensor Network Serial Communication System with High Tolerance to Timing and Topology Variations

T. Bartley, S. Tanaka, Y. Nonomura, T. Nakayama, Y. Hata, M. Muroyama

IEEE Sensors 2015　2015年11月1日

DOI： 10.1109/ICSENS.2015.7370256 　
State-of-the-art MEMS Gyroscopes for Autonomous Cars 招待有り

Shuji Tanaka

International Conference “Global/Local Innovations for Next Generation Automobiles”　2015年10月28日
Hermetic Seal Bonding at Low-temperature with Sub-micron Gold Particles for Wafer Level Packaging

Toshinori Ogashiwa, Kentaro Totsu, Mitsutomo Nishizawa, Hiroyuki Ishida, Yuya Sasaki, Masayuki Miyairi, Hiroshi Murai, Yukio Kanehira, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

48th Annual International Symposium on Microelectronics (IMAPS 2015)　74-78　2015年10月26日
MEMSの最新動向と圧電応用招待有り

田中秀治

第153回電子セラミック・プロセス研究会　2015年10月17日
超並列電子線描画用LSI の設計と評価査読有り

宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 金子亮介, 戸津健太郎, 田中秀治, 越田信義, 江刺正喜

電気学会論文誌E　135　(10)　374-381　2015年10月

DOI： 10.1541/ieejsmas.135.374 　
A MEMS-CMOS Technology Based Tactile Sensor Network Syetem

Masanori Muroyama, Sho Asano, Travis Bartley, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka

The 6th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2015　23-24　2015年9月24日
マイクロ熱ダイオードのための作動流体封止方法の検討

佐藤功一, 塚本貴城, 田中秀治

日本機械学会2015年度年次大会　J0540103　2015年9月14日
Non-resonant 2-D piezoelectric MEMS optical scanner actuated by Nb doped PZT thin film 査読有り

Takayuki Naono, Takamichi Fujii, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　233　147-157　2015年9月

DOI： 10.1016/j.sna.2015.06.029 　

ISSN：0924-4247
Advanced Piezoelectric Thin Films and Devices 招待有り

Shuji Tanaka

19th Nano Engineering and Microsystem Technology Conference　2015年8月13日
Uncooled infrared thermal imaging sensor using vacuum-evaporated europium phosphor 査読有り

Min Wang, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　25　(8)　85001　2015年8月

DOI： 10.1088/0960-1317/25/8/085001 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Integration of Boron-Doped Diamond Microelectrode on CMOS-Based Amperometric Sensor Array by Film Transfer Technology 査読有り

Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　24　(4)　958-967　2015年8月

DOI： 10.1109/JMEMS.2014.2360837 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
集積回路上でのBST薄膜可変容量とAuめっき厚膜インダクタのモノリシック集積化査読有り

浅野翔, Ramesh Pokharel, Awinash Anand, 平野栄樹, 田中秀治

電気学会論文誌E　135　(8)　323-329　2015年8月

DOI： 10.1541/ieejsmas.135.323 　
Structural, Mechanical and Optical Properties of Thin Films deposited from Graphitic Carbon Nitride

Neelam Kaushik, Parmanand Sharma, Shuji Tanaka, Masahiko Nishijima, Akihiro Makino, Masayoshi Esashi

22nd International Symposium on Metastable, Amorphous and Nanostructured Materials, Book of Abstracts　401　2015年7月13日
ウェハレベルCu-Cu真空封止接合のためのリモート型ホットワイヤ装置の開発

田中康基, 熊野勝文, 田中秀治

第12回Cat-CVD研究会, 講演予稿集　36-37　2015年7月3日
真空蒸着Eu(TTA)3薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー

王敏, 塚本貴城, 田中秀治

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, マイクロマシン・センサシステム研究会, 電気学会研究会資料　7-12　2015年7月2日
異なる市販ゾルを用いたゾル・ゲル法によるPZT薄膜の成膜と評価

森山雅昭, 田中秀治

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, マイクロマシン・センサシステム研究会, 電気学会研究会資料　13-18　2015年7月2日
Free-standing subwavelength grid infrared cut filter of 90 mm diameter for LPP EUV light source 査読有り

Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　231　59-64　2015年7月

DOI： 10.1016/j.sna.2014.07.006 　

ISSN：0924-4247
Flow Control in Horizontal Tube Reactor of Multi-element ALD to Save Precursor of Noble Metal

Masafumi Kumano, Koki Tanaka, Kousuke Hikichi, Shuji Tanaka

15th International Conference on Atomic Layer Deposition　2015年6月28日
Simulation of solidity mounted plate wave resonator with wide bandwidth using 0-th shear horizontal mode in LiNbO3 plate 査読有り

Michio Kadota, Shuji Tanaka

Japanese Journal of Applied Physics　54　07HD09　2015年6月15日
Essence of MEMS for VLSI Players 招待有り

Shuji Tanaka

2015 VLSI Technology Short Course "More-than-Moore and More Moore fir IoT", 2015 Symposium on VLSI Technology　2015年6月15日
Sputter Deposition of Epitaxial Yttria-Stabilized Zirconia (YSZ) Buffer Layer on Large Diameter Si Wafer for Epitaxial PZT Thin Film Transducer

S. Yoshida, S. Nishizawa, T. Hayasaka, K. Wasa, S. Tanaka

IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric　A-0478　2015年5月24日
Epitaxial Growth of (100)/(001) PZT-Based Thin Film on (111) Si Wafer Using SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 Buffer Layer

Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric　A-0238　2015年5月24日
Tunable RF SAW/BAW Filters: What is Possible and What is Not? 招待有り

Ken-ya Hashimoto, Tetsuya Kimura, Takeshi Matsumura, Hideki Hirano, Michio Kadota, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEE International Microwave Symposium　WFF-7　2015年5月17日
Determination of Full Material Constants of ScAlN Thin Film from Bulk and Leaky Lamb Waves in MEMS-based Samples

Akira Konno, Michio Kadota, Jun-ichi Kushibiki, Yuji Ohashi, Masayoshi Esashi, Yasuo Yamamoto, Shuji Tanaka

日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会, 第140回研究会資料　15-18　2015年5月12日
Ultra-Wideband Ladder Filter Using SH0 Plate Wave in Thin LiNbO3 Plate and Its Application to Tunable Filter 査読有り

Michio Kadota, Shuji Tanaka

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL　62　(5)　939-946　2015年5月

DOI： 10.1109/TUFFC.2014.006845 　

ISSN：0885-3010

eISSN：1525-8955
Integration of MEMS and IC based on Wafer Bonding Technology 招待有り

Shuji Tanaka

The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE-NEMS 2015　15　2015年4月10日
Academic Approach to New Industry-Relevant MEMS 招待有り

Shuji Tanaka

China Semiconductor Technology International Conference, Symposium X Advances in MEMS and Sensor Technology, SEMICON China 2015　2015年3月15日

DOI： 10.1109/CSTIC.2015.7153479 　
Thermal Imaging Devices using Eu(TTA)3-based Infrared-to-Visible Conversion Thin Film Array

Takashiro Tsukamoto, Min Wang, Shuji Tanaka

Smart Systems Integration　256-263　2015年3月11日
切削平坦化した金バンプを用いたウェハレベル真空封止接合

平野栄樹, 引地広介, 田中秀治

第62回応用物理学会春季学術講演会　12-133　2015年3月11日
急冷法によってc軸配向させたSi基板上のPMnN-PZT単結晶薄膜の高温特性

半澤弘明, 吉田慎哉, 和佐清孝, 田中秀治

第62回応用物理学会春季学術講演会　05-211　2015年3月11日
圧電MEMSのためのスパッタ堆積による大口径Si基板上へのYSZバッファ層のエピタキシャル成長

西澤信典, 吉田慎哉, 和佐清孝, 田中秀治

第62回応用物理学会春季学術講演会　05-272　2015年3月11日
Evaluation of sputtered Pd76Cu6Si18 metallic glass for MEMS application

Klaus Vogel, Maik Wiemer, Thomas Gessner, Juergen Vogel, Yu-Ching Lin, Yao-Chuan Tsai, Masayoshi Esashi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Smart Systems Integration　240-247　2015年3月11日
Infrared thermal detector array using Eu(TTA)(3)-based temperature sensitive paint for optical readable thermal imaging device 査読有り

Min Wang, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　25　(3)　035012　2015年3月

DOI： 10.1088/0960-1317/25/3/035012 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Wafer–to–wafer transfer process of barium strontium titanate for frequency tuning applications using laser pre-irradiation 査読有り

Tetuo Samoto, Hideki Hirano, Toshihiro Somekawa, Kousuke Hikichi, Masayuki Fujita, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Journal of Micromechanics and Microengineering　25　(3)　035015　2015年3月

DOI： 10.1088/0960-1317/25/3/035015 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
高性能圧電MEMSセンサのためのc軸配向PMnN-PZTエピタキシャル薄膜のSi基板上への形成

吉田慎哉, 半澤弘明, 和佐清孝, 田中秀治

圧電材料・デバイスシンポジウム2015　25-28　2015年2月18日
高キュリー温度 Bi(Me)O3-PbTiO3単結晶薄膜の構造と強誘電特性

和佐清孝, 半澤弘明, 吉田慎哉, 田中秀治, 足立秀明, 松永利之

圧電材料・デバイスシンポジウム2015　57-60　2015年2月18日
広帯域ラダーフィルタとその応用

門田道雄, 田中秀治

圧電材料・デバイスシンポジウム2015　69-74　2015年2月18日
Preferentially oriented growth of L1<inf>0</inf> FePt on Si substrate 査読有り

N. Kaushik, P. Sharma, S. Tanaka, A. Makino, M. Esashi

Acta Physica Polonica A　127　(2)　611-613　2015年2月1日
出版者・発行元： Polish Academy of Sciences
DOI： 10.12693/APhysPolA.127.611 　

ISSN：1898-794X 0587-4246
広帯域ラダーフィルタとそのチューナブルフィルタへの応用

門田道雄, 田中秀治

日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会, 第139回研究会資料　19-26　2015年1月7日
Multiple SAW Resonance Sensing Through One Communication Channel with Multiple Phase Detectors

Yoshinori Takizawa, Takayuki Shibata, Shinji Kashiwada, Yasuo Yamamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2015 JOINT CONFERENCE OF THE IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM & THE EUROPEAN FREQUENCY AND TIME FORUM (FCS)　17-20　2015年

DOI： 10.1109/FCS.2015.7138784 　

ISSN：1075-6787
Wideband Ladder Filters Fully Covering Digital TV Band based on Shear Horizontal Plate Wave

Michio Kadota, Shuji Tanaka

2015 JOINT CONFERENCE OF THE IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM & THE EUROPEAN FREQUENCY AND TIME FORUM (FCS)　412-415　2015年

DOI： 10.1109/FCS.2015.7138869 　

ISSN：1075-6787
NSPUDT using c-axis tilted ScAlN Thin Film

Abhay Kochhar, Yasuo Yamamoto, Akihiko Teshigahara, Ken-ya Hashimoto, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

2015 JOINT CONFERENCE OF THE IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM & THE EUROPEAN FREQUENCY AND TIME FORUM (FCS)　633-636　2015年

DOI： 10.1109/FCS.2015.7138925 　

ISSN：1075-6787
Structure and Ferroelectric Properties of High TcBi(Me)O-3-PbTiO3 Single Crystal Thin Films

K. Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga

2015 JOINT IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON THE APPLICATIONS OF FERROELECTRIC, INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INTEGRATED FUNCTIONALITIES AND PIEZOELECTRIC FORCE MICROSCOPY WORKSHOP (ISAF/ISIF/PFM)　40-43　2015年

DOI： 10.1109/ISAF.2015.7172663 　
Delay Window Blind Oversampling Clock and Data Recovery Algorithm with Wide Tracking Range

Travis Bartley, Shuji Tanaka, Yutaka Nonomura, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama

2015 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON CIRCUITS AND SYSTEMS (ISCAS)　1598-1601　2015年

DOI： 10.1109/ISCAS.2015.7168954 　

ISSN：0271-4302
FLIPPED CMOS-DIAPHRAGM CAPACITIVE TACTILE SENSOR SURFACE MOUNTABLE ON FLEXIBLE AND STRETCHABLE BUS LINE

S. Asano, M. Muroyama, T. Bartley, T. Kojima, T. Nakayama, U. Yamaguchi, H. Yamada, Y. Nonomura, Y. Hata, H. Funabashi, S. Tanaka

2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　97-100　2015年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7180870 　
RING-SHAPE SMA MICRO ACTUATOR WITH PARYLENE RETENTION SPRING FOR LOW POWER CONSUMPTION, LARGE DISPLACEMENT LINEAR ACTUATION

T. D. O. Moura, T. Tsukamoto, D. W. de Lima Monteiro, S. Tanaka

2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　2148-2151　2015年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181384 　
THE WAFER-LEVEL VACUUM SEALING AND ELECTRICAL INTERCONNECTION USING ELECTROPLATED GOLD BUMPS PLANARIZED BY SINGLE-POINT DIAMOND FLY CUTTING

H. Hirano, K. Hikichi, S. Tanaka

2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　1283-1286　2015年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181165 　
LARGE FIGURE-OF-MERIT EPITAXIAL PB(MN,NB)O-3-PB(ZR,TI)O-3/SI TRANSDUCER FOR PIEZOELECTRIC MEMS SENSORS

Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka

2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　1338-1341　2015年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181179 　
COMPREHENSIVE STUDY ON WAFER-LEVEL VACUUM PACKAGING USING ANODICALLY-BONDABLE LTCC WAFER AND THIN FILM GETTER

Shuji Tanaka, Hideyuki Fukushi

2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　468-471　2015年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7180962 　
Heterogeneous integration of MEMS by adhesive bonding 招待有り

M. Esashi, S. Tanaka

ECS Transactions　69　(10)　243-252　2015年
出版者・発行元： Electrochemical Society Inc.
DOI： 10.1149/06910.0243ecst 　

ISSN：1938-5862 1938-6737
Evaluation of Acoustic Properties of (K,Na)NbO3 Film

Ryosuke Kaneko, Micho Kadota, Yuji Ohashi, Jun-ichi Kushibiki, Shinsuke Ikeuchi, Shuji Tanaka

2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　2015年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2015.0139 　

ISSN：1948-5719
Characterization of Thin ScAlN Film based Natural Single-Phase Unidirectional SAW Transducers using Sagnac Interferometer

Abhay Kochhar, Tasuku Suzuki, Yasuo Yamamoto, Akihiko Teshigahara, Ken-ya Hashimoto, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　2015年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2015.0138 　

ISSN：1948-5719
First Shear Horizontal Mode Plate Wave in LiNbO3 Showing 20 km/s Phase Velocity

Michio Kadota, Shuji Tanaka, Tetsuya Kimura

2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　2015年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2015.0458 　

ISSN：1948-5719
Heterogenous Integration Technology using Wafer-to-Wafer Transfer 招待有り

Shuji Tanaka

2015 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　2015年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2015.0136 　

ISSN：1948-5719
Solidity mounted plate wave resonator with wide bandwidth using 0-th shear horizontal mode in LiNbO3 plate

Michio Kadota, Shuji Tanaka

Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics　35　175-176　2014年12月3日
Energy dissipation in micron- and submicron-thick single crystal diamond mechanical resonators 査読有り

Meiyong Liao, Masaya Toda, Liwen Sang, Shunichi Hishita, Shuji Tanaka, Yasuo Koide

APPLIED PHYSICS LETTERS　105　(25)　251904　2014年12月

DOI： 10.1063/1.4904990 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118
EUVリソグラフィー光源のためのグリット型赤外線遮断フィルターの作製と評価結果

鈴木裕輝夫, 戸津健太郎, 森山雅昭, 江刺正喜, 田中秀治

日本機械学会2014年度年次大会　21am2-A4　2014年10月20日
シーソー電極型3軸触覚センサチップのスイッチトキャパシタ回路による動作

野々村裕, 畑良幸, 船橋博文, 大村義輝, 藤吉基弘, 明石照久, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 福士秀幸, 田中秀治, 室山真徳, 江刺正喜

日本機械学会2014年度年次大会　21pm1-B3　2014年10月20日
ワンチップ無線免疫センサのための再構築可能な機能検証チップの試作

石川智弘, 田中秀治, 江刺正喜

日本機械学会2014年度年次大会　21pm3-PS084　2014年10月20日
超並列電子線描画装置用LSIの設計と評価

宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 吉田孝, 田中秀治, 江刺正喜

日本機械学会2014年度年次大会　22pm1-A2　2014年10月20日
使い捨て免疫検査チップのためのオンチップバッテリの基本構成

木村優斗, 塚本貴城, 石川智弘, 田中秀治

第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　20pm1-A4　2014年10月20日
感温塗料を用いた赤外線熱イメージングデバイスのためのディジタルフィルタの開発

塚本貴城, 王敏, 田中秀治

第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　22pm1-F6　2014年10月20日
Tiny Tactile Sensors on Bus Network 招待有り

Shuji Tanaka

SEMICON Europe, International MEMS Industry Forum　2014年10月6日
An investigation of the mechanical strengthening effect of hydrogen anneal for silicon torsion bar 査読有り

Ryo Hajika, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　24　(10)　105014　2014年10月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/10/105014 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
Metallic glass thin films for potential biomedical applications 査読有り

Neelam Kaushik, Parmanand Sharma, Samad Ahadian, Ali Khademhosseini, Masaharu Takahashi, Akihiro Makino, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

JOURNAL OF BIOMEDICAL MATERIALS RESEARCH PART B-APPLIED BIOMATERIALS　102　(7)　1544-1552　2014年10月

DOI： 10.1002/jbm.b.33135 　

ISSN：1552-4973

eISSN：1552-4981
光パターニング可能な感温塗料をもちいた赤外線熱イメージングデバイスの開発

塚本貴城, 王敏, 田中秀治

日本機械学会2014年度年次大会　J2220205　2014年9月7日
Highly c-Axis-Oriented Monocrystalline Pb( Zr, Ti)O-3 Thin Films on Si Wafer Prepared by Fast Cooling Immediately After Sputter Deposition 査読有り

Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL　61　(9)　1552-1558　2014年9月

DOI： 10.1109/TUFFC.2014.3069 　

ISSN：0885-3010

eISSN：1525-8955
35Mbps非同期バス通信型触覚センサシステムの開発査読有り

巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳弘, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E　134　(9)　300-307　2014年9月

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.300 　
Design of a dual lens system for a micromachined optical setup

Thiago D, O. Moura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

29th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro2014)　S1-3　2014年9月1日

DOI： 10.1109/SBMicro.2014.6940105 　
Heterogeneous Integration by Wafer-to-Wafer Transfer Technology 招待有り

Shuji Tanaka

4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration　123-128　2014年7月15日
リモート型ホットワイヤ原子状水素源を用いたセレン化亜鉛の化学的気相堆積の可能性検討

田中康基, 熊野勝文, 田中秀治

第11回Cat-CVD研究会講演予稿集　60-61　2014年7月11日
Wafer-level Heterogeneous Integration Technology and its Applications 招待有り

Shuji Tanaka

Seventh ISSS International Conference on Smart Materials　Invited 1S　2014年7月8日
Ultra-wideband and high frequency resonators using shear horizontal type plate wave in LiNbO3 thin plate 査読有り

Michio Kadota, Yasuhiro Kuratani, Tetsuya Kimura, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　53　(7)　07KD03　2014年7月

DOI： 10.7567/JJAP.53.07KD03 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
REMOVAL OF SU-8 BY TWO TYPES OF HOT WIRE ATOMIC HYDROGEN SOURCES − DEMONSTRATION OF TWOFOLD REMOVAL MECHANISM −

K. Tanaka, M. Kumano, S. Tanaka

The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014)　6-2　2014年6月29日
INFRARED THERMAL IMAGING DEVICE USING SELF-SUSPENDED TEMPERATURE SENSITIVE PAINT

M. Wang, T. Tsukamoto, S. Tanaka

The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014)　9-2　2014年6月29日
LSIとMEMSのヘテロ集積化招待有り

江刺正喜, 田中秀治

第43回EMシンポジウム　39-44　2014年6月5日
集積回路上へのBST薄膜可変容量とAuめっき厚膜インダクタのモノリシック集積化

浅野翔, ポカレルラメッシュ, アウィナシアナンド, 平野栄樹, 田中秀治

第43回EMシンポジウム　125-128　2014年6月5日
並列電子線描画装置のためのピアース型ナノ結晶シリコン電子源アレイの作製査読有り

西野仁, 吉田慎哉, 小島明, 池上尚克, 田中秀治, 越田信義, 江刺正喜

電気学会論文誌E　134　(6)　146-153　2014年6月

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.146 　
素子分離された各領域に異なるオフセット電圧を与えるためのLSI絶縁分離・再配線プロセス, 電気学会研究会資料

金子亮介, 吉田慎哉, 室山真徳, 宮口裕, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会研究会資料, センサ・マイクロマシン部門総合研究会　MSS-14-3　2014年5月27日
Wafer-level Selective Transfer Method for FBAR-LSI Integration 招待有り

Kousuke Hikichi, Kazushi Seiyama, Masanori Ueda, Shinji Taniguchi, Ken-ya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2014 IEEE International Frequency Control Symposium　246-249　2014年5月19日
Love Waves in a Quartz-based Phononic Structure, 2014 IEEE International Frequency Control Symposium

Tsung-Tsong Wu, Ting-Wei Liu, Yu-Ching Lin, Yao-Chuan Tsai, Takahito Ono, Shuji Tanaka

2014 IEEE International Frequency Control Symposium　494-496　2014年5月19日
Piezoelectric Acoustic Wave Devices based on Heterogeneous Integration Technology 招待有り

Shuji Tanaka

2014 IEEE International Frequency Control Symposium　548-551　2014年5月19日
BST薄膜のLiTaO3基板へのレーザ転写

佐本哲雄, 平野栄樹, 引地広介, 田中秀治

弾性波素子技術第150委員会, 第136回研究会資料　19-24　2014年5月8日
Evidence of a Love wave bandgap in a quartz substrate coated with a phononic thin layer 査読有り

Ting Wei Liu, Yu Ching Lin, Yao Chuan Tsai, Takahito Ono, Shuji Tanaka, Tsung Tsong Wu

Applied Physics Letters　104　(18)　181905　2014年5月5日

DOI： 10.1063/1.4875981 　

ISSN：0003-6951
P–N junction and metal contact reliability of SiC diode in high temperature (873 K) environment 査読有り

R. Chand, M. Esashi, S. Tanaka

Solid-State Electronics　94　82-85　2014年4月

DOI： 10.1016/j.sse.2014.02.006 　

ISSN：0038-1101

eISSN：1879-2405
Potential of Metallic Glass thin Films as a soft magnetic underlayer for L10 FePt based recording Media 査読有り

Neelam Kaushik, Parmanand Sharma, Akihiro Makino, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEE Transactions on Magnetics　50　(4)　3201404　2014年4月
Tactile Sensor Network System with CMOS-MEMS Integration for Social Robot Application 招待有り

Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Shuji Tanaka, Takahiro Kojima, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Yoshiyuki Hata, Masayoshi Esashi

8th International Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components (Smart Systems Integration)　181-188　2014年3月26日
産業変革のシーズを抽出・詳説する「MEMS 2014」学会報告招待有り

田中秀治

日経テクノロジーオンラインセミナー　2014年3月25日
パッシブワイヤレスSAW温度センサ

工藤高裕, 古市卓也, 仲村慎吾, 森田晃, 田中秀治, 江刺正喜

平成26年電気学会全国大会　3-145　2014年3月18日
BST薄膜のLiTaO3基板へのレーザー転写

佐本哲雄, 引地広介, 平野栄樹, 田中秀治

第61回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　13-118　2014年3月17日
Fabrication of SiC/Si Hybrid Accelerometer for High Temperature Applications

Rakesh Chand, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

第61回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　13-099　2014年3月17日
Development of UV-assisted ozone steam etching and investigation of its usability for SU-8 removal 査読有り

Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　24　(3)　35007　2014年3月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/3/035007 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
集積回路基板への異種デバイスの選択的トランスファ

引地広介, 橋本研也, 上田政則, 谷口眞司, 清山一志, 江刺正喜, 田中秀治

日本学術振興会,弾性波素子技術第150委員会, 第135回研究会資料　7-12　2014年2月3日
A 1.9 GHz Low Phase Noise Complementary Cross-roupled FBAR-VCO in 0.18 μm CMOS Technology

Ramech K. Pokharel, Guoquing Zhang, Awinach Anand, Kei Komada, Kousuke Hikichi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi, Ken-ya Hashimoto, Shinji Taniguchi, Haruichi Kanaya

日本学術振興会,弾性波素子技術第150委員会, 第135回研究会資料　13-17　2014年2月3日
Si基板上のPZT系3元ペロブスカイト圧電薄膜

和佐清孝, 半澤弘明, 吉田慎哉, 田中秀治

日本学術振興会,弾性波素子技術第150委員会, 第135回研究会資料　25-30　2014年2月3日
A large-scan-angle piezoelectric MEMS optical scanner actuated by a Nb-doped PZT thin film 査読有り

Takayuki Naono, Takamichi Fujii, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　24　(1)　15010　2014年1月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/1/015010 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
INTEGRATION OF DIAMOND MICROELECTRODES ON CMOS-BASED AMPEROMETRIC BIOSENSOR ARRAY BY FILM TRANSFER TECHNOLOGY

Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Tomohiro Ishikawa, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　322-325　2014年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765641 　
DEVELOPMENT OF MEMS PIERCE-TYPE NANOCRYSTALLINE SI ELECTRON-EMITTER ARRAY FOR MASSIVELY PARALLEL ELECTRON BEAM DIRECT WRITING

Hitoshi Nishino, Shinya Yoshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Nobuyoshi Koshida, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　467-470　2014年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765678 　
FREE-STANDING SUBWAVELENGTH GRID INFRARED REJECTION FILTER OF 90 MM DIAMETER FOR LPP EUV LIGHT SOURCE

Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　482-485　2014年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765682 　
AN SOI TACTILE SENSOR WITH A QUAD SEESAW ELECTRODE FOR 3-AXIS COMPLETE DIFFERENTIAL DETECTION

Y. Hata, Y. Nonomura, H. Funabashi, T. Akashi, M. Fujiyoshi, Y. Omura, T. Nakayama, U. Yamaguchi, H. Yamada, S. Tanaka, H. Fukushi, M. Muroyama, M. Makihata, M. Esashi

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　709-712　2014年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765739 　
Determination of Full Material Constants of ScAlN Thin Film from Bulk and Leaky Lamb Waves in MEMS-based Samples

Akira Konno, Michio Kadota, Jun-ichi Kushibiki, Yuji Ohashi, Masayoshi Esashi, Yasuo Yamamoto, Shuji Tanaka

2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　273-276　2014年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2014.0068 　

ISSN：1948-5719
Ultrawide Band Ladder Filter using SH0 plate Wave in Thin LiNbO3 Plate and its Application

Michio Kadota, Shuji Tanaka, Yasithiro Kuratani, Tetsuya Kimura

2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　2031-2034　2014年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2014.0506 　

ISSN：1948-5719
Highly c-Axis Oriented Monocrystalline Pb(Zr, Ti)O-3 based Thin Film on Si Wafer by Sputter Deposition with Fast Cooling Process

Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka

2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　907-910　2014年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2014.0222 　

ISSN：1948-5719
Bandwidth-tunable Filter Consisting of SAW Resonators and BaSrTiO3 Varactors Directly Fabricated on a LiTaO3 Wafer

Tetsuya Kimura, Hideaki Kobayashi, Yutaka Kishimoto, Hideyuki Kato, Masahiro Inaba, Ken-ya Hashimoto, Takeshi Matsumura, Hideki Hirano, Michio Kadota, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　795-798　2014年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2014.0195 　

ISSN：1948-5719
Bandwidth-tunable SAW Filter Based on Wafer-level Transfer-integration of BaSrTiO3 Film for Wireless LAN System using TV White Space

Hideki Hirano, Tetsuo Samoto, Tetsuya Kimura, Masahiro Inaba, Ken-ya Hashimoto, Takeshi Matsumura, Kousukc Hikichi, Michio Kadota, Masayoshi Esashi, Shun Tanaka

2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　803-806　2014年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2014.0197 　

ISSN：1948-5719
A 1.9 GHz Low Phase Noise Complementary Cross-coupled FBAR-VCO in 0.18 μm CMOS Technology

Guoqiang Zhang, Awinash Anand, Kei Kamada, Ken-ya Hashimoto, Kousuke Hikichi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi, Shinji Taniguchi

The 9th European Microwave Integrated Circuits Conferencee (EuMW 2014)　253-256　2014年

DOI： 10.1109/EuMIC.2014.6997840 　
Fabrication and Testing of a Bi-Conductive Polymer Membrane Fuel Cell

S. Hamel, T. Tsukamoto, T. Tanaka, L. G. Frechette

14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2014)　557　012007　2014年

DOI： 10.1088/1742-6596/557/1/012007 　

ISSN：1742-6588
IR Thermal Imaging Device using Photo-Patternable Temperature Sensitive Paint

T. Tsukamoto, M. Wang, S. Tanaka

14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2014)　557　012066　2014年

DOI： 10.1088/1742-6596/557/1/012066 　

ISSN：1742-6588
Annealing Transformation of Diamond-Like Carbon Using Ni Catalyst 査読有り

Junji Sone, Naoto Shigeta, Katsumi Yamada, Takayuki Uchida, Shinya Yoshida, Takeshi Hayasaka, Shuji Tanaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　52　(12)　128005　2013年12月

DOI： 10.7567/JJAP.52.128005 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Ultra Wide Band and High Frequency Resonators using SH Type Plate Wave in LiNbO3 Thin Plate

Michio Kadota, Yasuhiro Kuratani, Tetsuya Kimura, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics　34　179-180　2013年11月20日
LiNbO3薄板上の板波を用いた広帯域高周波共振子

門田道雄, 倉谷康浩, 木村哲也, 江刺正喜, 田中秀治

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　6PM3-PSS-32　2013年11月5日
超並列電子線描画装置のためのピアース型ナノ結晶シリコン電子源アレイの作製

西野仁, 吉田慎哉, 小島明, 池上尚克, 越田信義, 田中秀治, 江刺正喜

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　7PM1-B-1　2013年11月5日
バス型触覚センサネットワーク用高速シリアルインターフェースの開発

巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳弘, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 田中秀治, 江刺正喜

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　5PM3-PSS-45　2013年11月5日
集積回路基板への異種デバイス選択的トランファ

引地広介, 上田政則, 谷口眞司, 清山一志, 江刺正喜, 田中秀治

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　5PM1-F-6　2013年11月5日
LSI チップ単体への無線による電力供給

石川智弘, 小川剛史, 田中秀治, 江刺正喜

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　5PM3-PSS-87　2013年11月5日
マイクロSOFCを用いた携帯型電子機器源の開発

村山祥也, 井口史匡, 田中秀治, 江刺正喜, 湯上浩雄

第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　6PM3-PMN-012　2013年11月5日
サーマルイメジングデバス用の感温塗料薄膜アレイデバイスの開発

王敏, 塚本貴城, 田中秀治

第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　7AM2-D-4　2013年11月5日
シャント型MEMSスイッチを搭載したスイッチを搭載した準ミリ波帯MEMS移相器の開発移相器の開発

渡邊拓登, 山崎良太, 古塚岐, 李可人, 松村武, 田中秀治, 鈴木健一郎

第5回集積化MEMSシンポジウム　7AM2-E-2　2013年11月5日
LSI集積化アンペロメトリックセンサアレイへの導電性ダイヤモンド電極の形成

早坂丈, 吉田慎哉, 井上久美, 末永智一, 江刺正喜, 田中秀治

第5回集積化MEMSシンポジウム　6PM2-E-1　2013年11月5日
LSIをダイアフラムとする集積化触覚センサの作製

小島貴裕, 巻幡光俊, 室山真德, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 江刺正喜, 田中秀治

第5回集積化MEMSシンポジウム　7PM1-E-2　2013年11月5日
High spatial, temporal and temperature resolution thermal imaging method using Eu(TTA)3 temperature sensitive paint 査読有り

Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Journal of Micromechanics and Microengineering　23　(11)　114015　2013年11月

DOI： 10.1088/0960-1317/23/11/114015 　

ISSN：0960-1317 1361-6439
Measurement of vibration, deformation and thermal response of microscopic components 招待有り

Shuji Tanaka

MEMNUITY MEMS Testing and Metrology Workshop at SEMICON Europa 2013　2013年10月9日
広帯域高周波板波共振子

門田道雄, 倉谷康浩, 木村哲也, 江刺正喜, 田中秀治

日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会, 第133回研究会資料　1-6　2013年10月3日
マイクロエネルギー源の課題と将来展望－無線センサのために－招待有り

田中秀治

センサ・アクチュエータ・マイクロナノ／ウィーク2013, 次世代センサ総合シンポジウム　2013年9月27日
A Stochastic Counting MEMS Sensor Using White Noise Oscillation for a High-Temperature Environment 査読有り

Yohei Hatakeyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　96　(9)　62-70　2013年9月

DOI： 10.1002/ecj.10400 　

ISSN：1942-9533
Monolithic Integration of Film Bulk Acoustic Resonator on CMOS Circuit

Abhay Kochhar, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS　O-06　2013年8月22日
Thermal Imaging using Temperature Sensitive Paint for High Speed Thermal Phenomena at Microscale

T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS　P-05　2013年8月22日
TiCuNi metallic glass thin films for biomedical applications

Neelam Kaushik, Parmanand Sharma, Samad Ahadian, Ali Khademhosseini, Masaharu Takahashi, Akihiro Makino, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS　P-06　2013年8月22日
XeF2エッチングでリリースしたGHz帯ScAlN Lamb波共振子

紺野彰, 隅坂将大, 勅使河原明彦, 加納一彦, 橋本研也, 平野栄樹, 江刺正喜, 門田道雄, 田中秀治

日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会, 第132回研究会資料　15-19　2013年8月3日
Wafer-Level Integration of Heterogeneous Components 招待有り

Shuji Tanaka

2013 Tsukuba Nanotechnology Symposium, Honors Graduate Program　21　2013年7月26日
High Frequency Resonators with Wide Bandwidth using SH0 Mode Plate Wave in Thin LiNbO3

Michio Kadota, Yasuhiro Kuratani, Tetsuya Kimura, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2013 IEEE International Ultrasonics Symposium　1680-1683　2013年7月21日

DOI： 10.1109/ULTSYM.2013.0428 　
「TRANSDUCERS 2013」学会報告招待有り

田中秀治

日経BP社, Tech-On!セミナー　2013年7月12日
MEMSプロセスのための遠隔輸送型ホットワイヤ反応装置の開発

田中康基, 熊野勝文, 江刺正喜, 田中秀治

第10回Cat-CVD研究会講演予稿集　28-30　2013年7月5日
Tunable Surface Acoustic Wave Filter Using Integrated Micro-Electro-Mechanical-System Based Varactors Made of Electroplated Gold 査読有り

Akira Konno, Hideki Hirano, Masahiro Inaba, Ken-ya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　52　(7)　07HD13　2013年7月

DOI： 10.7567/JJAP.52.07HD13 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Fabrication and characterization of laterally-driven piezoelectric bimorph MEMS actuator with sol–gel-based high-aspect-ratio PZT structure 査読有り

Shinya Yoshida, Nan Wang, Masafumi Kumano, Yusuke Kawai, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　23　(6)　65014　2013年6月

DOI： 10.1088/0960-1317/23/6/065014 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
高温成膜したチタン酸バリウムストロンチウム薄膜を用いた可変容量の集積化プロセス査読有り

森脇政仁, 掘露伊保龍, 門田道雄, 江刺正喜, 田中秀治

電気情報通信学会論文誌A　J96-A　(6)　342-350　2013年6月
Geを犠牲層に用いた圧電AlNラム波共振子査読有り

平野圭介, 木村悟利, 田中秀治, 江刺正喜

電気情報通信学会論文誌A　J96-A　(6)　327-334　2013年6月
CMOS-MEMS 集積化触覚センサの検査・修正・実装技術査読有り

巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳弘, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E　133　(6)　243-249　2013年6月

DOI： 10.1541/ieejsmas.133.243 　
圧電弾性波デバイスと異要素との集積化招待有り

田中秀治

第42回EMシンポジウム　53-60　2013年5月16日
MEMS構造に損傷を与えないパーティクル除去方法査読有り

平野栄樹, Neelam Kaushik, Mahmoud Rasly, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　133　(5)　157-163　2013年5月

DOI： 10.1541/ieejsmas.133.157 　
過酷環境MEMS 招待有り

田中秀治

平成24年度第2回次世代高温環境センサ研究会, 安心・安全な社会を築く先進材料・非破壊計測技術次世代高温環境センサ研究会合同シンポジウム　2013年3月26日
超並列電子線描画のためのLSI集積化ピアース型面電子源アレイの作製法の基礎検討

西野仁, 吉田慎哉, 田中秀治, 江刺正喜, 小島明, 池上尚克, 越田信義

平成25年電気学会全国大会　3　184　2013年3月20日
加熱タングステン触媒体を用いた遠隔輸送型原子状水素源の開発

田中康基, 熊野勝文, 江刺正喜, 田中秀治

第60回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集　01-057　2013年3月17日
「MEMS 2013」学会報告産業変革のシーズを抽出・詳説招待有り

田中秀治

日経BP社, Tech-On!セミナー　2013年3月12日
Integration of BST varactors with surface acoustic wave device by film transfer technology for tunable RF filters 査読有り

Hideki Hirano, Tetsuya Kimura, Ivoyl P. Koutsaroff, Michio Kadota, Ken-ya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　23　(2)　25005　2013年2月

DOI： 10.1088/0960-1317/23/2/025005 　

ISSN：0960-1317
Simple Removal Technology of Chemically Stable Polymer in MEMS Using Ozone Solution 査読有り

Shinya Yoshida, Hideaki Yanagida, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　22　(1)　87-93　2013年2月

DOI： 10.1109/JMEMS.2012.2217374 　

ISSN：1057-7157
真空中で一貫処理できるMEMS気密封止用ウェハ接合装置

引地広介, 田中秀治, 松崎栄, 馬場隆之, 江刺正喜

19th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics", Mate 2013　415-420　2013年1月29日
Geを犠牲層に用いた圧電AlNラム波共振子

平野圭介, 木村悟利, 田中秀治, 江刺正喜

圧電材料・デバイスシンポジウム2013　115-120　2013年1月28日
LATERALLY-DRIVEN PIEZOELECTRIC BIMORPH MEMS ACTUATOR WITH SOL-GEL-BASED HIGH-ASPECT-RATIO PZT STURUCTURE

N. Wang, S. Yoshida, M. Kumano, Y. Kawai, S. Tanaka, M. Esashi

26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)　197-200　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474211 　

ISSN：1084-6999
WAFER-TO-WAFER SELECTIVE FLIP-CHIP TRANSFER BY STICKY SILICONE BONDING AND LASER DEBONDING FOR RAPID AND EASY INTEGRATION TEST

Shuji Tanaka, Masaki Yoshida, Hideki Hirano, Toshihiro Somekawa, Masayuki Fujita, Masayoshi Esashi

26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)　271-274　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474230 　

ISSN：1084-6999
INFRARED-TO-VISIBLE TRANSDUCER USING TEMPERATURE SENSITIVE EU(TTA)(3) ON SELF-SUSPENDED THIN FILM FOR INEXPENSIVE THERMAL IMAGING DEVICE

T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)　421-424　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474268 　

ISSN：1084-6999
MECHANICAL STRENGTHENING OF SILICON TORSION BAR OF MEMS SCANNING MIRROR BY HYDROGEN ANNEAL

R. Hajika, S. Yoshida, W. Makishi, Y. Kanamori, S. Tanaka, M. Esashi

26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)　425-428　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474269 　

ISSN：1084-6999
Wafer-level MEMS package and its reliability issues 招待有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings　6B.1.5-6B.1.5　2013年

DOI： 10.1109/IRPS.2013.6532047 　

ISSN：1541-7026
The methods of maintaining Low frequency stability in FBAR based cross-coupled VCO design 査読有り

Guoqiang Zhang, Abhay Kochhar, Keiji Yoshida, Shuji Tanaka, Kenya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Ramesh K. Pokharel

IEICE ELECTRONICS EXPRESS　10　(12)　1-7　2013年

DOI： 10.1587/elex.10.20130296 　

ISSN：1349-2543
Low-stress epitaxial polysilicon process for micromirror devices 査読有り

Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hiraku Watanabe, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　133　(6)　7-228　2013年

DOI： 10.1541/ieejsmas.133.223 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
A low phase noise FBAR based multiband VCO design 査読有り

Guoqiang Zhang, Abhay Kochhar, Keiji Yoshida, Shuji Tanaka, Kenya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Haruichi Kanaya, Ramesh K. Pokharel

IEICE ELECTRONICS EXPRESS　10　(13)　1-6　2013年

DOI： 10.1587/elex.10.20130425 　

ISSN：1349-2543
Sn-Cu thin film transient liquid phase bonding test with different underlayers using fully-in-vacuum wafer aligner/bonder

K. Hikichi, S. Matsuzaki, Y. Nonomura, H. Funabashi, Y. Hata, M. Esashi, S. Tanaka

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　1071-1074　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6626956 　
LTCC-based three dimensional inductors with nano-ferrite embedded core for one-chip tunable RF systems

Y. C. Lin, F. Gabler, Y. C. Tsai, S. Tanaka, T. Gessner, M. Esashi

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　1404-1407　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6627041 　
A 1.7mm3 MEMS-on-CMOS tactile sensor using human-inspired autonomous common bus communication

M. Makihata, M. Muroyama, Y. Nakano, S. Tanaka, T. Nakayama, U. Yamaguchi, H. Yamada, Y. Nonomura, H. Funabashi, Y. Hata, M. Esashi

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　2729-2732　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6627370 　
Wafer-to-wafer transfer process of barium strontium titanate metal-insulator-metal structures by laser pre-irradiation and gold-gold bonding for frequency tuning applications

T. Samoto, H. Hirano, T. Somekawa, K. Hikichi, M. Fujita, M. Esashi, S. Tanaka

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　171-174　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6626729 　
Silicon carbide diode bridge circuit for capacitive sensor readout in high temperature (673K) environmnet

R. Chand, S. Tanaka, M. Esashi

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　1020-1023　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6626943 　
ScAlN Lamb wave resonator in GHz range released by XeF2 etching

Akira Konno, Masahiro Sumisaka, Akihiko Teshigahara, Kazuhiko Kano, Ken-Ya Hashimo, Hideki Hirano, Masayoshi Esashi, Michio Kadota, Shuji Tanaka

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS　1378-1381　2013年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2013.0350 　

ISSN：1948-5719 1948-5727
Improvement of insertion loss of band pass tunable filter using SAW resonators and GaAs diode variable capacitors

Michio Kadota, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka, Yasuyuki Ida, Tetsuya Kimura

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS　1668-1671　2013年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2013.0425 　

ISSN：1948-5719 1948-5727
PZT-based high coupling with low permittivity thin films

Kiyotaka Wasa, Tomoaki Matsushima, Hideaki Adachi, Toshifumi Matsunaga, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani, Takashi Yamamoto, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka, S. Trolier-Mckinstry

2013 Joint IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric and Workshop on Piezoresponse Force Microscopy, ISAF/PFM 2013　69-72　2013年
出版者・発行元： IEEE Computer Society
DOI： 10.1109/ISAF.2013.6748700 　
Laser selective transfer process of barium strontium titanate (BST) on a sapphire substrate

Masayuki Fujita, Toshihiro Somekawa, Tetsuo Samoto, Hideki Hirano, Kousuke Hikichi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

ICALEO 2013 - 32nd International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics　783-786　2013年
Integrated MEMS by adhesive bonding 招待有り

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Proceedings of IEEE Sensors　1-4　2013年
出版者・発行元： IEEE Computer Society
DOI： 10.1109/ICSENS.2013.6688122 　
Patternable temperature sensitive paint using Eu(TTA)3 for the micro thermal imaging

T. Tsukamoto, S. Tanaka

Journal of Physics: Conference Series　476　(1)　346-350　2013年
出版者・発行元： Institute of Physics Publishing
DOI： 10.1088/1742-6596/476/1/012073 　

ISSN：1742-6596 1742-6588
Micro Thermal Diode with Glass Thermal Insulation Structure Embedded in Vapor Chamber

T. Hirayanagi, T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2013)　476　82-86　2013年

DOI： 10.1088/1742-6596/476/1/012019 　

ISSN：1742-6588
Integrated MEMS by Film/Device Transfer 招待有り

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

International Conference on Advanced Materials and Nannotechnology (ICAMN)　1-6　2012年12月14日
Integration of BST varactors on lithium niobate by film transfer technology for tunable SAW filters

Hideki Hirano, Tetsuya Kimura, Ivoyl P. Koutsaroff, Michio Kadota, Ken-ya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

129th Technical Meeting of the 150th Committee of JSPS, 2012 International Symposium on Acoustic Devices for Future Mobile Communication Systems　41-44　2012年12月6日
Tunable SAW Filter Using Integrated MEMS-based Varactors Made of Electroplated Gold

Akira Konno, Hideki Hirano, Masahiro Inaba, Ken-ya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

129th Technical Meeting of the 150th Committee of JSPS, 2012 International Symposium on Acoustic Devices for Future Mobile Communication Systems　45-48　2012年12月6日
Integrated MEMS by adhesive bonding 招待有り

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

129th Technical Meeting of the 150th Committee of JSPS, 2012 International Symposium on Acoustic Devices for Future Mobile Communication Systems (2012) pp. 49-54　49-54　2012年12月6日
HIGH SPATIAL, TEMPORAL AND TEMPERATURE RESOLUTION THERMAL IMAGING METHOD USING EU(TTA)3 TEMPERATURE SENSITIVE PAINT

T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

The 12th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications, PowerMEMS 2012　84-87　2012年12月2日
HYDROGEN ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FRACTURE TOUGHNESS OF SILICON COIL SPRING FOR MECHANICAL ENERGY STORAGE APPLICATION

T. Suzuki, T. Hayashi, N. Kogushi, Y. Saitoh, R. Hajika, S. Yoshida, M. Moriyama, K. Totsu, Y. Kanamori, S. Tanaka

The 12th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications, PowerMEMS 2012　279-282　2012年12月2日
Wideband tunable Love wave filter using electrostatically actuated MEMS variable capacitors integrated on lithium niobate 査読有り

Toshiki Yasue, Tomoya Komatsu, Nobuyuki Nakamura, Ken-ya Hashimoto, Hideki Hirano, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　188　456-462　2012年12月

DOI： 10.1016/j.sna.2012.01.017 　

ISSN：0924-4247
Electrical interconnection in anodic bonding of silicon wafer to LTCC wafer using highly compliant porous bumps made from submicron gold particles 査読有り

Shuji Tanaka, Mamoru Mohri, Toshinori Ogashiwa, Hideyuki Fukushi, Katsunao Tanaka, Daisuke Nakamura, Takashi Nishimori, Masayoshi Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　188　198-202　2012年12月

DOI： 10.1016/j.sna.2012.01.003 　

ISSN：0924-4247
Integration and packaging technology of MEMS-on-CMOS capacitive tactile sensor for robot application using thick BCB isolation layer and backside-grooved electrical connection 査読有り

M. Makihata, S. Tanaka, M. Muroyama, S. Matsuzaki, H. Yamada, T. Nakayama, U. Yamaguchi, K. Mima, Y. Nonomura, M. Fujiyoshi, M. Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　188　103-110　2012年12月

DOI： 10.1016/j.sna.2012.04.032 　

ISSN：0924-4247
MEMS-based Varactor Fabricated by Gold Electroplating for Tunable SAW Filter Application, Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics

Akira Konno, Hideki Hirano, Mao Inaba, Ken-ya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集　33　13-14　2012年11月13日
高周波MEMS共振子とその応用招待有り

田中秀治

日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会, 第127回研究会資料　19-26　2012年10月25日
水素アニールによる微細加工されたシリコン構造体の表面平滑化とねじり破壊強度へ与える影響の調査

羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 田中秀治, 江刺正喜

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　57-62　2012年10月22日
ポリカルボシランを用いた炭化珪素の両面PECVD

鈴木康久, 田中秀治, 畠山庸平, 江刺正喜

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　121-126　2012年10月22日
YAG 3倍波レーザ照射によるBST薄膜の剥離転写

佐本哲雄, 平野栄樹, 染川智弘, 藤田雅之, 江刺正喜, 田中秀治

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　156-159　2012年10月22日
MEMS構造に損傷を与えないパーティクル除去方法

平野栄樹, Mahmoud Rasly, Neelam Kaushik, 江刺正喜, 田中秀治

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　463-468　2012年10月22日
Low-Stress Epitaxial Polysilicon Process for Micromirror Devices

Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hiraku Watanabe, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　548-553　2012年10月22日
CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術

巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳弘, 山田整, 中山貴裕, 山口宇唯, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 田中秀治, 江刺正喜

応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催集積化MEMSシンポジウム　85-90　2012年10月22日
非同期シリアル通信を用いて実装後パラメータ設定可能な集積化触覚センサ用LSI

室山真徳, 中野芳宏, 巻幡光俊, 田中秀治, 山田整, 中山貴裕, 山口宇唯, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 江刺正喜

応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催集積化MEMSシンポジウム　91-96　2012年10月22日
Fabrication of a Piezoelectric Microcantilever Array with a Large Initial Deflection and an Application to Electrical Energy Harvesting

Hyung Hoon Kim, Sung Hwan Yoon, Choel Hee Ahn, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi, Jeung Sang Go

The 3rd Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2012)　100-101　2012年9月22日
ルテニウム犠牲層を用いた強誘電体薄膜の転写方法

平野栄樹, 菊田利行, 江刺正喜, 田中秀治

第73回応用物理学会学術講演会講演予稿集　22-011　2012年9月11日
集積化触覚センサ開発のための模擬ネットワーク査読有り

中野芳宏, 室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 松崎栄, 山田整, 中山貴裕, 山口宇唯, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

電気学会論文誌E　132　(9)　288-295　2012年9月
RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ査読有り

森山雅昭, 川合祐輔, 田中秀治

電気学会論文誌E　132　(9)　282-287　2012年9月
高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ ―物理モデルを用いた設計と試作によるその検証― 査読有り

畠山庸平, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　132　(9)　261-268　2012年9月
LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術査読有り

毛利護, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　132　(8)　246-253　2012年8月

DOI： 10.1541/ieejsmas.132.246 　
Lithium-Niobate-Based Surface Acoustic Wave Oscillator Directly Integrated with CMOS Sustaining Amplifier 査読有り

Shuji Tanaka, KyeongDong Park, Masayoshi Esashi

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL　59　(8)　1800-1805　2012年8月

DOI： 10.1109/TUFFC.2012.2384 　

ISSN：0885-3010
Comparison of three methods to measure the internal pressure of empty MEMS packages

B. Wang, S. Tanaka, J. De Coster, S. Severi, A. Witvrouw, M.Wevers, I. De Wolf

The 19th International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits (IPFA 2012)　2012年7月

DOI： 10.1109/IPFA.2012.6306268 　
MEMS加工技術による弾性波デバイス招待有り

田中秀治

日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会, 第126回研究会資料　21-27　2012年7月
Integrated Microsystems 招待有り査読有り

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

The 4th International Conference "Smart Materials, Structures and Systems" (CIMTEC2012), Advances in Science and Technology　81　55-56　2012年6月
Functional RF Devices Powered by MEMS Technologies 招待有り査読有り

Ken-ya Hashimoto, Hideki Hirano, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

The 4th International Conference "Smart Materials, Structures and Systems" (CIMTEC2012), Advances in Science and Technology　81　75-83　2012年6月
Anodically-Bondable LTCC Wafer for Hermetic MEMS Packaging 招待有り

Shuji Tanaka

7th International Conference on Microwave Materials and their Applications, MMA-2012　45-47　2012年6月
ヘテロ集積化マイクロデバイス招待有り

田中秀治

産総研セミナー, 第42回国際電子回路産業展（JPCA Show 2012）　2012年6月
Vibration mode observation of piezoelectric disk-type resonator by high-frequency laser Doppler vibrometer 査読有り

Takeshi Matsumura, Masayoshi Esashi, Hiroshi Harada, Shuji Tanaka

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　95　(5)　33-41　2012年5月

DOI： 10.1002/ecj.10406 　

ISSN：1942-9533
超小形ガスタービン発電機招待有り

田中秀治

第30回マイクロ加工シンポジウム, 第1回オンデマンド－マイクロ合同シンポジウム　2012年5月
MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発査読有り

鈴木康久, 田中秀治, 畠山庸平, 江刺正喜

電気学会論文誌E　132　(5)　114-118　2012年5月
Structure and dielectric properties of PMnN-PZT thin films for MEMS

Kwisoo Kim, Yusuke Kawai, Kiyotaka Wasa, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

The 9th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA 2012)　2012年4月22日
高周波MEMSのためのルテニウム微小電極パターンの作製法査読有り

松村武, 江刺正喜, 原田博司, 田中秀治

電気学会論文誌E　132　(4)　71-76　2012年4月
Integrated MEMS using adhesive bonding and other methods 招待有り

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2012)　2012年4月

DOI： 10.1109/ICSENS.2013.6688122 　
マイクロ振動発電機の設計論査読有り

田中秀治

電気学会論文誌C　132　(3)　359-363　2012年3月

DOI： 10.1541/ieejeiss.132.359 　
複合酸化膜と貴金属のための多元系原子層堆積装置の開発

熊野勝文, 西野仁, 吉田慎哉, 田中秀治, 江刺正喜

第59回応用物理学関係連合講演会講演予稿集　22-004　2012年3月
チタン酸バリウムストロンチウム薄膜デバイスのためのヘテロ集積化技術の開発

森脇政仁, 江刺正喜, 田中秀治

第59回応用物理学関係連合講演会講演予稿集　22-051　2012年3月
MEMS用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発

原島卓也, 吉田慎哉, 江刺正喜, 田中秀治

日本機械学会東北支部第47期・講演会講演論文集　140-141　2012年3月
湿潤オゾンによるSU-8の完全除去と高速除去条件の探索

吉田慎哉, 原島卓也, 江刺正喜, 田中秀治

センサ・マイクロマシン部門総合研究会, マイクロマシン・センサシステム研究会, 電気学会研究会資料　1-4　2012年3月
超並列電子線描画システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化

綿屋孝祐, 宮口裕, 室山真徳, 田中秀治, 小島明, 池上尚克, 吉田孝, 江刺正喜

センサ・マイクロマシン部門総合研究会, マイクロマシン・センサシステム研究会, 電気学会研究会資料　87-92　2012年3月
「MEMS 2012」学会報告招待有り

田中秀治

日経BP, Tech-On!セミナー　2012年3月
Anodic bonding between LTCC wafer and Si wafer with Sn-Cu-based electrical connection 査読有り

Sakae Matsuzaki, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　95　(4)　49-56　2012年3月

DOI： 10.1002/ecj.10401 　

ISSN：1942-9533
Fabrication of Freestanding Pb(Zr,Ti)O Film Microstructures Using Ge Sacrificial Layer 査読有り

Jae-Wung Lee, Yusuke Kawai, Shuji Tanaka, Yu-Ching Lin, Thomas Gessner, Masayoshi Esashi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　51　(2)　21502　2012年2月

DOI： 10.1143/JJAP.51.021502 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065
Poly-SiGe-Based MEMS Thin-Film Encapsulation 査読有り

Bin Guo, Bo Wang, Lianggong Wen, Philippe Helin, Gert Claes, Jeroen De Coster, Bert Du Bois, Agnes Verbist, Rita Van Hoof, Guy Vereecke, Luc Haspeslagh, Harrie A. C. Tilmans, Stefaan Decoutere, Haris Osman, Robert Puers, Ingrid De Wolf, Shuji Tanaka, Simone Severi, Ann Witvrouw

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　21　(1)　110-120　2012年2月

DOI： 10.1109/JMEMS.2011.2170823 　

ISSN：1057-7157
STOCHASTIC GRAVITY SENSOR WITH ROBUST OUTPUT USING WHITE-NOISE-APPLIED BI-STABLE STATE FOR LOW S/N ENVIRONMENTS

Y. Hatakeyama, M. Esashi, S. Tanaka

25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　132-135　2012年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170111 　
VERSATILE WAFER-LEVEL HERMETIC PACKAGING TECHNOLOGY USING ANODICALLY-BONDABLE LTCC WAFER WITH COMPLIANT POROUS GOLD BUMPS SPONTANEOUSLY FORMED IN WET-ETCHED CAVITIES

Shuji Tanaka, Mamoru Mohri, Atsushi Okada, Hideyuki Fukushi, Masayoshi Esashi

25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　369-371　2012年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170211 　
EXPERIMENTAL ESTIMATION OF COOLING POWER OF A SOLID STATE MICRO MAGNETIC REFRIGERATOR USING La(FexSi1-x)13Hy

T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　1225-1228　2012年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170410 　
LOW-VOLTAGE PZT-ACTUATED MEMS SWITCH MONOLITHICALLY INTEGRATED WITH CMOS CIRCUIT

Matsuo Kousuke, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　1153-1156　2012年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170367 　
陽極接合できるLTCC基板を用いたMEMSのウェハレベル気密封止－ウェットエッチングによる多孔質金バンプの形成と封止性能の評価－

福士秀幸, 毛利護, 岡田厚志, 中村大輔, 江刺正喜

18th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics"　271-276　2012年1月
転写法による強誘電体バラクタとSAW共振子の集積化と可変型フィルタへの応用

平野栄樹, 木村哲也, 掘露伊保龍, 江刺正喜, 門田道雄, 橋本研也, 田中秀治

圧電材料・デバイスシンポジウム2012　51-52　2012年1月
多結晶スピネル接合によるRF-SAWデバイスの温度特性の改善

下司慶一郎, 寺岡寛二, 辻裕, 藤井明人, 今川善浩, 中山茂, 橋本研也, 田中秀治, 戸津健太郎, 高木秀樹

圧電材料・デバイスシンポジウム2012　67-70　2012年1月
多結晶スピネルの接合によるRF-SAWデバイスの温度特性の改善

下司慶一郎, 寺岡寛二, 辻裕, 藤井明人, 今川善浩, 中山茂, 橋本研也, 田中秀治, 戸津健太郎, 高木秀樹

日本学術振興会弾性波素子技術第150 委員会第124 回研究会資料　13-17　2012年1月
MEMS-CMOS integrated tactile sensor with digital signal processing for robot application

M. Makihata, M. Muroyama, S. Tanaka, H. Yamada, T. Nakayama, U. Yamaguchi, K. Mima, Y. Nonomura, M. Fujiyoshi, M. Esashi

Materials Research Society Symposium Proceedings　1427　98-105　2012年

DOI： 10.1557/opl.2012.1489 　

ISSN：0272-9172
MEMS on LSI by adhesive bonding and wafer level packaging 招待有り

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Materials Research Society Symposium Proceedings　1427　38-49　2012年

DOI： 10.1557/opl.2012.1402 　

ISSN：0272-9172
A study of blister formation in ALD Al2O3 grown on silicon

Bart Vermang, Hans Goverde, Veerle Simons, Ingrid De Wolf, Johan Meersschaut, Shuji Tanaka, Joachim John, Jef Poortmans, Robert Mertens

2012 38TH IEEE PHOTOVOLTAIC SPECIALISTS CONFERENCE (PVSC)　1135-1138　2012年

DOI： 10.1109/PVSC.2012.6317802 　
Determination of the Orientations and Microstructures of Pb(Zr,Ti)O Films Fabricated on Different Substrate Structures 査読有り

Jae-Wung Lee, Yusuke Kawai, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

SENSORS AND MATERIALS　24　(7)　413-418　2012年

ISSN：0914-4935
Lithium Niobate SAW Device Hetero-transferred onto Silicon Integrated Circuit Using Elastic and Sticky Bumps

Shuji Tanaka, Masaki Yoshida, Hideki Hirano, Masayoshi Esashi

2012 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　295-298　2012年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2012.0072 　
Monolithic Fabrication of Film Bulk Acoustic Resonators above Integrated Circuit by Adhesive-Bonding-Based Film Transfer

Abhay Kochhar, Takeshi Matsumura, Guoqiang Zhang, Ramesh Pokharel, Ken-ya Hashimoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2012 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　1047-1050　2012年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2012.0262 　
Wafer Bonding of Polycrystalline Spinel with LiNbO3/LiTaO3 for Temperature Compensation of RF Surface Acoustic Wave Devices

K. Geshi, K. Teraoka, S. Kinoshita, M. Nakayama, Y. Imagawa, S. Nakayama, K. Hashimoto, S. Tanaka, K. Totsu, H. Takagi

2012 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　2726-2729　2012年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2012.0683 　
Wafer-level Packaging Technology for MEMS 招待有り

Shuji Tanaka

The 9th International Displays Research Workshop, The 5th International Nanotechnology/MEMS Seminar　2011年12月
マイクロ熱デバイス招待有り

田中秀治

日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議マイクロエネルギー研究会エネルギーハーベスティング・コンソーシアム合同研究会　2011年12月
MAGNETIC COOLING OF A THERMALLY-ISOLATED MICROSTRUCTURE

Takashiro Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

Technical Digest of PowerMEMS 2011, The 11th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion　193-196　2011年11月
OPERATION OF MICRO-SOFC BY AN INTERNAL MICRO HEATER

Fumitada Iguchi, Kensuke Kubota, Yu Inagaki, Shuji Tanaka, Noriko Sata, Masayoshi Esashi, Hiroo Yugami

Technical Digest of PowerMEMS 2011, The 11th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion　411-414　2011年11月
IMECにおける集積化MEMS技術の開発招待有り

田中秀治

次世代センサ協議会第62回研究会　2011年11月
SiC MEMS 招待有り

田中秀治

マイクロ加工研究会, 第41回マイクロ加工懇談会　2011年11月
A micro thermal switch with a stiffness-enhanced thermal isolation structure 査読有り

Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　21　(10)　104008　2011年10月

DOI： 10.1088/0960-1317/21/10/104008 　

ISSN：0960-1317
Outgassing study of thin films used for poly-SiGe based vacuum packaging of MEMS

B. Wang, S. Tanaka, B. Guo, G. Vereecke, S. Severi, A. Witvrouw, M. Wevers, I. De Wolf

22nd European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 2011　2011年10月
圧電単結晶デバイスとシリコン集積回路とのウェハレベル集積化招待有り

田中秀治

日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会, 第122回研究会資料　7-11　2011年10月
Outgassing study of thin films used for poly-SiGe based vacuum packaging of MEMS 査読有り

B. Wang, S. Tanaka, B. Guo, G. Vereecke, S. Severi, A. Witvrouw, M. Wevers, I. De Wolf

MICROELECTRONICS RELIABILITY　51　(9-11)　1878-1881　2011年9月

DOI： 10.1016/j.microrel.2011.06.022 　

ISSN：0026-2714
高周波MEMS のためのルテニウム微小電極パターンの作製法

松村武, 江刺正喜, 原田博司, 田中秀治

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　392-396　2011年9月
キャビティをエッチング加工したLTCC基板による電気的接続をともなう気密封止パッケージング技術

毛利護, 岡田厚志, 福士秀幸, 江刺正喜, 田中秀治

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　266-270　2011年9月
高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ ―物理モデルを用いた設計と試作によるその検証―

畠山庸平, 江刺正喜, 田中秀治

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　573-578　2011年9月
金属－金属接合のためのウェハボンダの開発

松崎栄, 田中秀治, 馬場隆之, 江刺正喜

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　271-276　2011年9月
高強度・高靱性な新しい陽極接合材料と貫通配線基板の開発

林里紗, 毛利護, 木谷直樹, 岡田厚志, 中村大輔, 佐伯淳, 江刺正喜, 田中秀治

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　93-98　2011年9月
集積化触覚センサ開発のための模ネットワーク

中野芳宏, 室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 松崎栄, 山田整, 中山貴裕, 山口宇唯, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　1-6　2011年9月
RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ

森山雅昭, 川合祐輔, 田中秀治, 江刺正喜

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　23-28　2011年9月
MEMS のための両面SiC PECVD 装置の開発

鈴木康久, 田中秀治, 畠山庸平, 江刺正喜

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　319-323　2011年9月
MEMS Packaging Technology 招待有り

Shuji Tanaka

5th International NAMIS Autumn School　2011年9月
Adhesive wafer bonding using a molded thick benzocyclobutene layer for wafer-level integration of MEMS and LSI 査読有り

M. Makihata, S. Tanaka, M. Muroyama, S. Matsuzaki, H. Yamada, T. Nakayama, U. Yamaguchi, K. Mima, Y. Nonomura, M. Fujiyoshi, M. Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　21　(8)　85002　2011年8月

DOI： 10.1088/0960-1317/21/8/085002 　

ISSN：0960-1317
ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発査読有り

室山真徳, 巻幡光俊, 中野芳宏, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E　131　(8)　302-309　2011年8月

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.302 　
チタン酸バリウムストロンチウム薄膜のLSI 上への転写プロセスの開発

森脇政仁, 江刺正喜, 田中秀治

第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集　22-023　2011年8月
LSI 基板へのポリマーを用いたPZT 構造の転写技術の開発

松尾幸祐, 江刺正喜, 田中秀治

第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集　22-006　2011年8月
日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会第121回研究会資料招待有り

平野栄樹, 菊田利行, 江刺正喜, 田中秀治

日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会第121回研究会資料　13-16　2011年7月
高周波レーザドップラ計による圧電ディスク型共振子の振動モードの観察招待有り査読有り

松村武, 江刺正喜, 原田博司, 田中秀治

電気学会論文誌C　131　(6)　1086-1093　2011年6月
出版者・発行元：
DOI： 10.1541/ieejeiss.131.1086 　

ISSN：0385-4221

eISSN：1348-8155
汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作

巻幡光俊, 田中秀治, 室山真徳, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作, 電気学会研究会資料, センサ・マイクロマシン部門総合研究会　21-25　2011年6月
携帯型燃料電池システム招待有り

田中秀治

ユニバーサイエンス（出前講座）, 財団法人東北活性化研究センター主催　2011年6月
高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ査読有り

畠山庸平, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　131　(5)　178-184　2011年5月

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.178 　
電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合査読有り

松崎栄, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E　131　(5)　189-194　2011年5月

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.189 　
IMECにおける集積化MEMS技術の開発招待有り

田中秀治

応用物理学会第5回集積化MEMS技術研究会　2011年5月
Tunable RF SAW/BAW Filters: Deam or Reality? 招待有り

Ken-ya Hashimoto, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

第40回EMシンポジウム　59-56　2011年5月
ヘテロ集積化マイクロシステム招待有り

田中秀治

ナノ・マイクロ加工の将来とナノハブへの期待, 京都大学次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ主催　2011年5月
Vibration Energy Harvesting: Key Points and Key Technologies 招待有り

Shuji Tanaka

KIMM Energy Harvesting Technology Workshop　2011年5月
IMECのMEMS技術：多結晶SiGe を用いた集積化MEMS 招待有り

田中秀治

MEMSパークコンソーシアム公開セミナー～MEMSで日本を元気に！復興へのキックオフセミナー～　2011年5月
MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング査読有り

柳田秀彰, 吉田慎哉, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　131　(3)　122-127　2011年3月

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.122 　
転写法によるSAW基板上への強誘電体バラクタの集積化

平野栄樹, 菊田利行, 安江敏輝, 江刺正喜, 田中秀治

2011年電子情報通信学会総合大会, 基礎・境界講演論文集　S-21-S-22　2011年3月
MEMS可変容量を集積化した可変SAWフィルタの開発

安江敏輝, 小松禎也, 中村暢之, 橋本研也, 平野栄樹, 江刺正喜, 田中秀治

2011年電子情報通信学会総合大会, 基礎・境界講演論文集　S-23-S-24　2011年3月
薄膜転写技術を用いたオンチップマルチバンド圧電MEMS フィルタ, 2011年電子情報通信学会総合大会, 基礎・境界講演論文集

松村武, 江刺正喜, 原田博司, 田中秀治

2011年電子情報通信学会総合大会, 基礎・境界講演論文集　S-25-S-26　2011年3月
Imprinted Laminate Wafer-Level Packaging for SAW ID-Tags and SAW Delay Line Sensors 査読有り

Jan H. Kuypers, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL　58　(2)　406-413　2011年2月

DOI： 10.1109/TUFFC.2011.1818 　

ISSN：0885-3010
SIMPLE REMOVAL TECHNOLOGY USING OZONE SOLUTION FOR CHEMICALLY-STABLE POLYMER USED FOR MEMS

H. Yanagida, S. Yoshida, M. Esashi, S. Tanaka

2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　324-327　2011年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2011.5734427 　

ISSN：1084-6999
WAFER-LEVEL HERMETIC PACKAGING TECHNOLOGY FOR MEMS USING ANODICALLY-BONDABLE LTCC WAFER

Shuji Tanaka, Sakae Matsuzaki, Mamoru Mohri, Atsushi Okada, Hideyuki Fukushi, Masayoshi Esashi

2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　376-379　2011年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2011.5734440 　

ISSN：1084-6999
STOCHASTIC STRAIN SENSOR USING PULL-IN PROBABILITY UNDER WHITE-NOISE-APPLIED BISTABLE STATE WITH RELIABLE PULL-IN RELEASE MECHANISM

Y. Hatakeyama, M. Esashi, S. Tanaka

2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　640-643　2011年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2011.5734506 　

ISSN：1084-6999
集積化圧電MEMSフィルタ～携帯型コグニティブ無線端末の実現を目指して～招待有り

松村武, 江刺正喜, 原田博司, 田中秀治

圧電材料・デバイスシンポジウム2011　95-100　2011年1月
Low Temperature Operating Micro Solid Oxide Fuel Cells with Perovskite type Proton Conductors

Fumitada Iguchi, Kensuke Kubota, Yu Inagaki, Shuji Tanaka, Noriko Sata, Masayoshi Esashi, Hiroo Yugami

SOLID OXIDE FUEL CELLS 12 (SOFC XII)　35　(1)　777-783　2011年

DOI： 10.1149/1.3570058 　

ISSN：1938-5862
MEMS on LSI 招待有り

M. Esashi, S. Tanaka

SILICON COMPATIBLE MATERIALS, PROCESSES, AND TECHNOLOGIES FOR ADVANCED INTEGRATED CIRCUITS AND EMERGING APPLICATIONS　35　(2)　319-330　2011年

DOI： 10.1149/1.3568875 　

ISSN：1938-5862
Tunable RF SAW/BAW Filters: Dream or Reality? 招待有り

Ken-ya Hashimoto, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

2011 JOINT CONFERENCE OF THE IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM/EUROPEAN FREQUENCY AND TIME FORUM PROCEEDINGS　965-972　2011年

DOI： 10.1109/FCS.2011.5977297 　

ISSN：1075-6787
Electrical connection using submicron porous gold bumps for wafer-level packaging of mems using anodically-bondable LTCC wafer

Shuji Tanaka, Mamoru Mohri, Toshinori Ogashiwa, Hideyuki Fukushi, Katsunao Tanaka, Daisuke Nakamura, Takashi Nisimori, Masayoshi Esashi

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11　342-345　2011年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969467 　
Integration and packaging technology of MEMS-on-CMOS tactile sensor for robot application using molded thick BCB layer and backside-grooved electrical connection

M. Makihata, S. Tanaka, M. Muroyama, S. Matsuzaki, H. Yamada, T. Nakayama, U. Yamaguchi, K. Mima, Y. Nonomura, M. Fujiyoshi, M. Esashi

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11　815-818　2011年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969490 　
Wideband tunable love wave filter using electrostatically-actuated MEMS variable capacitors integrated on lithium niobate

T. Yasue, T. Komatsu, N. Nakamura, K. Hashimoto, H. Hirano, M. Esashi, S. Tanaka

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11　1488-1491　2011年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969676 　
2-Axis MEMS scanner for a laser range finder

I. Aoyagi, K. Shimaoka, S. Kato, W. Makishi, Y. Kawai, S. Tanaka, T. Ono, M. Esashi, K. Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　39-40　2011年

DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031035 　

ISSN：2160-5033

eISSN：2160-5041
Lithium-Niobate-Based Surface Acoustic Wave Device Directly Integrated on IC

KyeongDong Park, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　1956-1959　2011年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2011.0487 　

ISSN：1948-5719
Thin Film Transfer Technology for Tunable SAW Filter Using Integrated Ferroelectric Varactors

Hideki Hirano, Toshiyuki Kikuta, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS)　1960-1963　2011年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2011.0488 　

ISSN：1948-5719
Hetero-Integrated Microsystem Technology 招待有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IDW'11: PROCEEDINGS OF THE 18TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3　1219-1222　2011年

ISSN：1883-2490
MICRO THERMAL SWITCH WITH STIFFNESS ENHANCED THERMAL ISOLATION STRUCTURE

Takashiro Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

Technical Digest of PowerMEMS 2010 (The 10th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications), Oral Sessions　154-156　2010年12月
MICRO SOLID OXIDE FULE CELLS WITH PEROVSKITE-TYPE PROTON CONDUCTIVE ELECTROLYTES

Hiroo Yugami, Kensuke Kubota, Fumitada Iguchi, Shuji Tanaka, Noriko Sata, Masayoshi Esashi

Technical Digest of PowerMEMS 2010 (The 10th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications), Poster Sessions　199-202　2010年12月
Development of ALD System to Deposit Y, Ba and Zr Complex Metal Oxide Using Alkyl Amidinate Compound Precursors for Micro SOFC

Masafumi Kumano, Shuji Tanaka, Kentaro Miyamoto, Kousuke Hikichi, Masayoshi Esashi

Technical Digest of PowerMEMS 2010 (The 10th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications), Poster Sessions　239-242　2010年12月
ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御査読有り

日野龍之介, 松村武, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　130　(11)　523-527　2010年11月

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.523 　
Etch Rate Dependence on Crystal Orientation of Lithium Niobate 査読有り

Andrew B. Randles, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL　57　(11)　2372-2380　2010年11月

DOI： 10.1109/TUFFC.2010.1705 　

ISSN：0885-3010

eISSN：1525-8955
燃料電池用MEMS水素センサのための受動的結露水除去構造査読有り

加納正拳, 石井真, 吉永春生, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　130　(11)　517-522　2010年11月

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.517 　
Study on Integrated Multi-Band RF MEMS Filter for Future Cognitive Radio Terminal 招待有り

Takeshi Matsumura, Masayoshi Esashi, Hiroshi Harada, Shuji Tanaka

Proceedings of 2010 Joint China-Japan International Workshop on Acoustic Wave Devices (The 118th Technical Meeting of the 150th Committee, JSPS)　35-40　2010年11月
MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング

柳田秀彰, 吉田慎哉, 江刺正喜, 田中秀治

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　48-53　2010年10月
電気的接続をともなうLTCC基板とSi基板との陽極接合

松崎栄, 田中秀治, 江刺正喜

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　62-67　2010年10月
ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発

室山真徳, 巻幡光俊, 中野芳宏, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 田中秀治

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　126-131　2010年10月
高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ

畠山庸平, 江刺正喜, 田中秀治

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　338-343　2010年10月
Multi-band radio-frequency filters fabricated using polyimide-based membrane transfer bonding technology 査読有り

Takeshi Matsumura, Masayoshi Esashi, Hiroshi Harada, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　20　(9)　95027　2010年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/20/9/095027 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用査読有り

高橋智一, 巻幡光俊, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会論文誌E　130　(9)　421-425　2010年9月

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.421 　
超小形ガスタービン発電機の現状（達成点と課題の整理）査読有り

田中秀治

日本機械学会論文集C　76　(768)　1896-1898　2010年8月

DOI： 10.1299/kikaic.76.1896 　
Microprocess Technology Characteristic of MEMS 招待有り

Shuji Tanaka

6th World Congress of Biomechanics, SMART Symposium on Device Technologies - Sym 6.3-01: MEMS Technology and Biomedical Devices　WCB-A01306-0236　2010年8月
Fabrication of Deep Silicon Microstructures by the Combination of Anodization and p(++) Etch Stop 査読有り

Takeo Ohno, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING　5　(4)　493-497　2010年7月

DOI： 10.1002/tee.20563 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
Fabrication of PZT Film Bulk Acoustic Resonators on Patterned and Unpatterned Bottom Electrodes

Hackho Kim, Yusuke Kawai, Jaewung Lee, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology　69　2010年7月
SU-8 Photoresist Removal by Atomic Hydrogen Treatment

M. Kumano, S. Tanaka, M. Esashi

The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology　76　2010年7月
Fabrication of Piezoelectric MEMS Usng Free-Standing PZT Film on Ge Sacrificial Layer

Jae-Wung Lee, Yusuke Kawai, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology　187　2010年7月
Portable Power Sources Based on Microtechnology 招待有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

再生可能エネルギー2010国際会議併催, ポータブルエネルギー：イタリア北西部ピエモンテ州トリノの魅力 (Portable energy: opportunities in Torino Piemonte, North West Italy - Micro and nanotechnologies, collaborative projects)　2010年7月
Investigation for (100)-/(001)-Oriented Pb(Zr,Ti)O-3 Films Using Platinum Nanofacets and PbTiO3 Seeding Layer 査読有り

Hirokazu Matsuo, Yusuke Kawai, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　49　(6)　61503　2010年6月

DOI： 10.1143/JJAP.49.061503 　

ISSN：0021-4922
LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法

松尾幸祐, 松村武, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会センサマイクロマシン部門総合研究会　19-23　2010年6月
高分子鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発

秋山琴音, 石井大佑, 川合祐輔, 吉田慎哉, 田中秀治, 下村政嗣, 江刺正喜

電気学会センサマイクロマシン部門総合研究会　7-11　2010年6月
架橋した化学増幅型フォトレジストSU-8の水素原子による分解メカニズム

熊野勝文, 田中秀治, 江刺正喜

第7回Cat-CVD研究会講演予稿集　42-43　2010年6月
Micro Electro Mechanical Systems for Future Communication Tools 招待有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

International Conference on Computer and Communication Engineering (ICCCE 2010)　2010年5月
超小形ターボ機械のための超高速動圧気体軸受招待有り

田中秀治, 引地広介

日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集　331-332　2010年5月
超小形ガスタービンエンジンの実証試験ための慣性気体軸受 ―慣性気体軸受の特性に及ぼす運転温度の影響― 査読有り

引地広介, 十合晋一, 江刺正喜, 田中秀治

トライボロジスト　55　(4)　292-299　2010年4月
MEMS-based Piezoelectric Acoustic Devices for Sensing and Frequency Control 招待有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

The 12th Korean MEMS Conference　1　2010年4月
NEMS/MEMS and passive components integration by using novel LTCC substrate

Jörg Frömel, Yu-Ching Lin, Mamoru Mori, Shuji Tanaka, Thomas Gessner, Masayoshi Esashi

Smart Systems Integration　2010年3月
陽極接合可能なLTCCの接合性能評価

岡田厚志, 毛利護, 福士秀幸, 松崎栄, 江刺正喜, 田中秀治

第24回エレクトロニクス実装学会春季講演大会　234-235　2010年3月
ムービングマグネット式2軸駆動MEMSミラー

青柳勳, 島岡敬一, 加藤覚, 牧志渉, 川合祐輔, 田中秀治, 小野崇人, 江刺正喜

平成22年電気学会全国大会　3　186-187　2010年3月
LTCC基板の陽極接合による封止空間からの電極取出

松崎栄, 江刺正喜, 田中秀治

平成22年電気学会全国大会　3　199-200　2010年3月
MEMS-based Acoustic Devices for Multiband Wireless Communication 招待有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Fourth International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems　127-130　2010年3月
LSI直上に高性能材料でMEMSを形成する集積化技術招待有り

田中秀治, 江刺正喜

平成22年電気学会全国大会　3　S23(22)-S23(25)　2010年3月
MEMSデバイスとプロセス技術招待有り

田中秀治

第46回応用物理学会スクール　2010年3月
Wafer-level Heterointegration Technologies for MEMS-based Communication Devices 招待有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Smart Systems Integration　2010年3月
Direct Synthesis of Phenol Using Pd Membrane Microreactors

Shu-Ying Ye, Koichi Sato, Satoshi Hamakawa, Shuji Tanaka, Takaaki Hanaoka, Masayoshi Esashi, Fujio Mizukami

11th International Conference on Microreaction Technology (IMRET 11)　210-211　2010年3月
Normally closed electrostatic microvalve with pressure balance mechanism for portable fuel cell application 査読有り

Kazushi Yoshida, Shuji Tanaka, Yosuke Hagihara, Shigeaki Tomonari, Masayoshi Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　157　(2)　290-298　2010年2月

DOI： 10.1016/j.sna.2009.11.030 　

ISSN：0924-4247
Normally-closed electrostatic microvalve with pressure balance mechanism for portable fuel cell application 査読有り

Kazushi Yoshida, Shuji Tanaka, Yosuke Hagihara, Shigeaki Tomonari, Masayoshi Esashi

Sensors and Actuators A　157　299-306　2010年2月

DOI： 10.1016/j.sna.2009.11.030 　
超高周波レーザドップラ振動計を用いたディスク型共振子の振動モード同定

松村武, 江刺正喜, 原田博司, 田中秀治

圧電材料・デバイスシンポジウム　49-52　2010年2月
PZTの成膜技術とその高周波共振子への適用に関する研究

金学鎬, 川合祐輔, 田中秀治, 江刺正喜

圧電材料・デバイスシンポジウム　53-56　2010年2月
AUSN SOLDER VACUUM PACKAGING USING MELTED SOLDER FLOODGATES AND LASER-ACTIVATED NON-EVAPORABLE GETTERS FOR SIC DIAPHRAGM ANTICORROSIVE VACUUM SENSORS

Shuji Tanaka, Yutaka Honjoya, Masayoshi Esashi

MEMS 2010: 23RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST　492-495　2010年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2010.5442459 　

ISSN：1084-6999
ANTISYMMETRIC-MODE LAMB WAVE METHANOL SENSOR WITH EDGE REFLECTORS FOR FUEL CELL APPLICATIONS

Ryunosuke Hino, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

MEMS 2010: 23RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST　871-874　2010年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2010.5442345 　

ISSN：1084-6999
Debris-free low-stress high-speed laser-assisted dicing for multi-layered MEMS 査読有り

Masayuki Fujita, Yusaku Izawa, Yosuke Tsurumi, Shuji Tanaka, Hideyuki Fukushi, Keiichi Sueda, Yoshiki Nakata, Masayoshi Esashi, Noriaki Miyanaga

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　130　(4)　118-123　2010年
出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan
DOI： 10.1541/ieejsmas.130.118 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
Preparation of thin lithium niobate layer on silicon wafer for wafer-level integration of acoustic devices and LSI 査読有り

KyeongDong Park, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　130　(6)　6-241　2010年

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.236 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
Carbon-Nanotube-Enhanced Thermal Contactor in Low Contact Pressure Region 査読有り

Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　49　(7)　70210　2010年

DOI： 10.1143/JJAP.49.070210 　

ISSN：0021-4922
Selective mode excitation of piezoelectric disk-type resonator by electrodepattern definition

Takeshi Matsumura, Masayoshi Esashi, Hiroshi Harada, Florian Thalmayr, Ken-Ya Hashimoto, Shuji Tanaka

Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium　979-982　2010年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2010.5935435 　

ISSN：1051-0117
Wafer-level heterointegration process of SAW devices and LSI

Kyeongdong Park, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium　1486-1489　2010年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2010.5935651 　

ISSN：1051-0117
A one-step conversion of benzene to phenol using MEMS-based Pd membrane microreactors 査読有り

Shu-Ying Ye, Satoshi Hamakawa, Shuji Tanaka, Koichi Sato, Masayoshi Esashi, Fujio Mizukami

CHEMICAL ENGINEERING JOURNAL　155　(3)　829-837　2009年12月

DOI： 10.1016/j.cej.2009.09.007 　

ISSN：1385-8947
割込み型触覚センサシステムのためのLSI設計査読有り

室山真徳, 巻幡光俊, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E　120　(12)　450-460　2009年12月

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.450 　
ULTRA-HIGH-SPEED TAPE-TYPE RADIAL FOIL BEARING FOR MICRO TURBOMACHINERY

K. Hikichi, S. Togo, K. Isomura, N. Saji, M. Esashi, S. Tanaka

Technical Digest of PowerMEMS 2009　79-82　2009年12月
FABRICATION AND EVALUATION OF A NABH4 HYDROGEN MICROREACTOR ASSEMBLED BY TRIPLE STACK GLASS BONDING

K. Hoeppner, R. Hahn, H. Reichl, M. Esashi, S. Tanaka

Technical Digest of PowerMEMS 2009　29-32　2009年12月
FABRICATION OF PROTON-CONDUCTIVE BZY-BASED LOW-TEMPERATURE MICRO SOLID OXIDE FUEL CELL

Tomokazu Takahashi, Fumitada Iguchi, Hiroo Yugami, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Technical Digest of PowerMEMS 2009　482-485　2009年12月
燃料電池用MEMS水素センサのための受動的水滴除去構造

加納正拳, 石居真, 吉永春生, 江刺正喜, 田中秀治

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　352-355　2009年10月
Debris-free Low-stress High-speed Laser-assisted Dicing for Multi-layered MEMS

Masayuki Fujita, Yusaku Izawa, Yosuke Tsurumi, Shuji Tanaka, Hideyuki Fukushi, Keiichi Sueda, Yoshiki Nakata, Noriaki Miyanaga, Masayoshi Esashi

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　549-553　2009年10月
ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御

日野龍之介, 松村武, 江刺正喜, 田中秀治

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　173-176　2009年10月
アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用

高橋智一, 巻幡光俊, 江刺正喜, 田中秀治

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　159-163　2009年10月
Preparation of Thin Lithium Niobate on Silicon Wafer for Wafer-level Integration of Acoustic Devices and LSI

K. D. Park, S. Tanaka, M. Esashi

応用物理学会集積化MEMSシンポジウム2009　37-40　2009年10月
ネットワーク型触覚センサのウェハレベル集積化・パッケージング技術

巻幡光俊, 田中秀治, 室山真徳, 松崎栄, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

応用物理学会集積化MEMSシンポジウム2009　19-23　2009年10月
Lithography Unique to MEMS and MEMS-enabled Lithography Technology 招待有り

Shuji Tanaka

2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), Rump Session "Novel Lithography for More Moore/beyond CMOS and More than Moore"　2009年10月
2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), Rump Session "Novel Lithography for More Moore/beyond CMOS and More than Moore" 招待有り

田中秀治

日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　9-10　2009年10月
Axisymmetric PDMS microchannels for in vitro haemodynamic studies 査読有り

Rui Lima, Monica S N Oliveira, Takuji Ishikawa, Hirokazu Kaji, Shuji Tanaka, Matsuhiko Nishizawa, Takami Yamaguchi

Biofabrication　1　35005　2009年9月

DOI： 10.1088/1758-5082/1/3/035005 　
Long working range mercury droplet actuation 査読有り

Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　19　(9)　94016　2009年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/19/9/094016 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
MEMS特有のプラズマプロセス招待有り

田中秀治

第70回応用物理学会学術講演会, プラズマエレクトロニクス分科会企画「最先端MEMSを支えるプラズマプロセスの現状と展望」, 講演予稿集　0　25　2009年9月
Power MEMS, RF MEMS, Resonators 招待有り

田中秀治

日本機械学会2009年度年次大会, マイクロ・ナノ工学専門会議特別企画, TRANSDUCERS2009最新情報　2009年9月
超小形ガスタービン発電機のためのテープ型ラジアルフォイル軸受

引地広介, 十合晋一, 磯村浩介, 佐治脩好, 江刺正喜, 田中秀治

第14回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集　153-156　2009年6月
積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術査読有り

鶴見洋輔, 井澤友策, 福士秀幸, 吉田実, 江刺正喜, 宮永憲明, 田中秀治, 藤田雅之

レーザー研究　37　(5)　384-388　2009年5月
出版者・発行元： The Laser Society of Japan
DOI： 10.2184/lsj.37.384 　

ISSN：0387-0200
MEMS2009報告会招待有り

田中秀治

日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議　2009年4月
中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO2の堆積と微細加工査読有り

高橋智一, 井口史匡, 湯上浩雄, 江刺正喜, 田中秀治

日本機械学会論文集, B編　75　(751)　524-526　2009年3月
出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会
DOI： 10.1299/kikaib.75.751_524 　

ISSN：0387-5016

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This paper describes the fabrication technology of micro solid oxide fuel cells (SOFC) using Gddoped CeO_2 (GDC) solid oxide electrolyte. A GDC membrane is made extremely thin (〜300nm thick) for low temperature operation, and a microheater is formed on the GDC membrane for local heating. To fabricate the self-supported GDC membrane, the stress of GDC films deposited by pulse laser deposition (PLD) was reduced by controlling partial O_2 pressure during deposition. The etch resistance of the GDC film against several chemicals was investigated to design the fabrication process of the micro SOFC. Using the designed fabrication process, the core structure of the micro SOFC was successfully fabricated. The ionic conductivity of the self-supported GDC membrane is approximately identical to that of bulk GDC. The area specific resistivity of the self-supported GDC membrane is as low as 0.15Ωcm^2 at 500℃.
陽極接合できる多層貫通配線LTCC基板による気密封止

毛利護, 岡田厚志, 福士秀幸, 田中秀治, 江刺正喜

第23回エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集　51-52　2009年3月
LSIへの単結晶シリコン貼付け技術を用いたマルチバンドBAWフィルタの作製法

松村武, 江刺正喜, 原田博司, 加藤修三, 田中秀治

2009年電子情報通信学会総合大会　91　2009年3月
積層MEMSのためのパルスレーザ支援デブリフリー低ストレスダイシング技術開発-2

藤田雅之, 井澤友策, 鶴見洋輔, 福士秀幸, 末田敬一, 中田芳樹, 江刺正喜, 宮永憲明, 田中秀治, 本越伸二, 佐伯拓, ハイクコスロービアン, 谷口誠治, 今崎一夫, 山中千代衛

平成21年電気学会全国大会　E318-C2/3-023　2009年3月
集積化MEMSのこれまでとこれから

田中秀治

第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集　0　113　2009年3月
SiCの微細加工技術とその応用招待有り

田中秀治

MEMS Engineering Forum 2009　2009年3月
LSIへの単結晶シリコン貼り付けによる窒化アルミニウムBAWデバイスの作製法

松村武, 江刺正喜, 原田博司, 加藤修三, 田中秀治

圧電材料・デバイスシンポジウム2009　59-62　2009年2月
SILICON CARBIDE SURFACE MICROMACHINING TECHNOLOGY BY TETRAMETHYLSILANE-BASED ATMOSPHERIC VAPOR DEPOSITION

Y. Hatakeyama, M. Esashi, S. Tanaka

IEEE 22ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2009)　709-712　2009年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2009.4805481 　

ISSN：1084-6999
Low-stress dicing assited by pulsed laser for multilayer MEMS

M. Fujita, Y. Izawa, Y. Tsurumi, S. Tanaka, H. Fukushi, K. Sueda, Y. Nakata, N. Miyanaga, M. Esashi

LASE’09/Photonics West　7201-7214　2009年1月
積層MEMSのためのパルスレーザー支援低ストレスダイシング技術の開発

鶴見洋輔, 井澤友策, 田中秀治, 福士秀幸, 江刺正喜, 宮永憲明, 藤田雅之

レーザー学会第29回年次大会　10pIV-6　2009年1月
AuSn共晶半田接合によって真空封止されたSiCダイヤフラムを有する耐食性真空センサの設計と製作

本城谷豊, 江刺正喜, 田中秀治

15th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics" (Mate 2009)　263-266　2009年1月
積層MEMSのためのパルスレーザー支援低ストレスダイシング技術の開発

井澤友策, 鶴見洋輔, 田中秀治, 福士秀幸, 末田敬一, 中田芳樹, 江刺正喜, 宮永憲明, 藤田雅之

15th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics" (Mate 2009)　319-324　2009年1月
Debris-free high-speed laser-assisted low-stress dicing for multi-layered MEMS 査読有り

Yusaku Izawa, Yosuke Tsurumi, Shuji Tanaka, Hideyuki Fukushi, Keiichi Sueda, Yoshiki Nakata, Masayoshi Esashi, Noriaki Miyanaga, Masayuki Fujita

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　129　(3)　63-68　2009年

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.63 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
Low contact resistance micro thermal switch with carbon-nanotube-enhanced contactor

T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1489-1492　2009年

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285797 　
Multi-band RF filter integrating different modes of AlN resonator by CMOS-compatible process

Takeshi Matsumura, Masayoshi Esashi, Hiroshi Harada, Shuji Tanaka

Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium　2141-2144　2009年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2009.5442012 　

ISSN：1051-0117
Microprocess Technology to Fabricate RF MEMS Switches, Variable Capacitors and Mechanical Resonators above Advanced LSI

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Third Japan-Taiwan Workshop on Future Frequency Control Devices　58-63　2008年12月
Debris-Free Laser Dicing for Multi-Layered MEMS

M. Fujita, Y. Izawa, Y. Tsurumi, S. Tanaka, H. Fukushi, K. Sueda, Y. Nakata, N. Miyanaga, M. Esashi

Proceedings of The 15th International Display Workshop　1329-1332　2008年12月
Application of Lithium Niobate Etch Stop Technology to SAW Pressure Sensors

Andrew Randles, Jan Kuypers, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2008 IEEE International Ultrasonics Symposium　1124-1127　2008年11月

DOI： 10.1109/ULTSYM.2008.0271 　
NABH4 HYDROGEN MICROREACTOR FABRICATED BY MICROSYSTEM TECHNOLOGY

K. Hoeppner, R. Hahn, H. Reichl, M. Esashi, S. Tanaka

Proceedings of PowerMEMS 2008 + microEMS 2008　85-88　2008年11月
FABRICATION OF GDC-BASED MICRO SOFC WITH MICROHEATERS

Tomokazu Takahashi, Fumitada Iguchi, Hiroo Yugami, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Proceedings of PowerMEMS 2008 + microEMS 2008　333-336　2008年11月
Dew Tolerant Hydrogen Sensor for Fuel Cell Applications

Masataka Kano, Makoto Ishii, Haruo Yoshinaga, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Proceedings of PowerMEMS 2008 + microEMS 2008　341-344　2008年11月
MERCURY DROPLET ACTUATION USING NEW DESIGN OF ELECTRODES FOR LONG WORKING RANGE

T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

Proceedings of PowerMEMS 2008 + microEMS 2008　417-420　2008年11月
LSIへの単結晶シリコン貼り付けによるRF MEMSスイッチの作製法

中村慎吾, 江刺正喜, 田中秀治

応用物理学会第2回集積化MEMS研究会　IMS-02-07　2008年11月
DEBRIS-FREE LASER DICING FOR MULTI-LAYERED MEMS

Masayuki Fujita, Yusaku Izawa, Yosuke Tsurumi, Shuji Tanaka, Hideyuki Fukushi, Keiichi Sueda, Yoshiki Nakata, Noriaki Miyanaga, Masayoshi Esashi

Proceedings of The 27th International Congress on Applications of Lasers & Electro-optics　M102　2008年10月
Selective Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide for Surface Micromachining

Y. Hatakeyama, M. Esashi, S. Tanaka

Proceedings of The 25th Sensor Symposium　7-10　2008年10月
Debris-Free High-Speed Laser-Assisted Low-Stress Dicing for Multi-Layered MEMS

Y. Izawa, Y. Tsurumi, S.Tanaka, H. Fukushi, K. Sueda, Y. Nakata, M. Esashi, N. Miyanaga, M. Fujita

Proceedings of The 25th Sensor Symposium　37-41　2008年10月
Aluminum Nitride Lamb Wave Resonator Using Germanium Sacrificial Layer

K. Hirano, S. Tanaka, M. Esashi

Proceedings of The 25th Sensor Symposium　195-198　2008年10月
Micro Electro Mechanical System: MEMS 招待有り

田中秀治

The 21st Microelectronics Workshop (MEWS21), 第21回マイクロエレクトロニクスワークショップ　2008年10月
Process Technology for Monolithic Integration of RF MEMS and Advanced LSI 招待有り

田中秀治, 江刺正喜

第2回最新のMEMS技術を利用した圧電デバイスに関する国際ワークショップ, 2nd International Workshop on Piezo-Devices Based on Latest MEMS Technologies　2008年9月
マイクロ燃料電池とマイクロ流体デバイス招待有り

田中秀治

日本機械学会（No. 08-59）講習会教材, 実験流体力学―マイクロ流れ実験の基礎と応用―　33-39　2008年8月
Maximum accuracy evaluation scheme for wireless SAW delay-line sensors 査読有り

Jan H. Kuypers, Leonhard M. Reindl, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL　55　(7)　1640-1652　2008年7月

DOI： 10.1109/TUFFC.2008.840 　

ISSN：0885-3010

eISSN：1525-8955
高性能MEMSと最先端LSIとの集積化技術招待有り

田中秀治

応用物理学会第1回集積化MEMS研究会　2008年7月
Test of B/Ti multilayer reactive igniters for a micro solid rocket array thruster 査読有り

Shuji Tanaka, Kazuyuki Kondo, Hiroto Habu, Akihito Itoh, Masashi Watanabe, Keiichi Hori, Masayoshi Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　144　(2)　361-366　2008年6月

DOI： 10.1016/j.sna.2008.02.015 　

ISSN：0924-4247
中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO2の堆積と微細加工

高橋智一, 井口史匡, 湯上浩雄, 江刺正喜, 田中秀治

日本機械学会第13回動力・エネルギー技術シンポジウム　431-432　2008年6月
LONG WORKING RANGE MERCURY DROPLET ACTUATION

T. Tsukamoto, S. Tanaka, M. Esashi

Proceedings of the Fourth Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2008)　1A2-4　2008年6月
DOUBLE-SIDE PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF SILICON CARBIDE FOR MEMS

Kei Ishizaka, Benoît Larangot, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Proceedings of the Fourth Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2008)　2D2-4　2008年6月
MEMS-based air turbine with radial-inflow type journal bearing 査読有り

Shuii Tanaka, Yuichi Miura, Piljoong Kang, Kousuke Hikichi, Masayoshi Esashi

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING　3　(3)　297-304　2008年5月

DOI： 10.1002/tee.20270 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
Electrostatically controlled, pneumatically actuated microvalve with low pressure loss 査読有り

Daisuke Satoh, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING　3　(3)　305-312　2008年5月

DOI： 10.1002/tee.20271 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981
マイクロエネルギー源招待有り

田中秀治

KRIクライアントコンファレンス&ワークショップ''08　2008年5月
In vitro blood flow in a rectangular PDMS microchannel: experimental observations using a confocal micro-PIV system 査読有り

Rui Lima, Shigeo Wada, Shuji Tanaka, Motohiro Takeda, Takuji Ishikawa, Ken-ichi Tsubota, Yohsuke Imai, Takami Yamaguchi

BIOMEDICAL MICRODEVICES　10　(2)　153-167　2008年4月

DOI： 10.1007/s10544-007-9121-z 　

ISSN：1387-2176
パワーMEMS 招待有り

田中秀治

センサ・アクチュエータ・マイクロマシン／ウィーク2008総合シンポジウム”ニーズとシーズの出会い”　2008年4月
積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発

藤田雅之, 井澤友策, 鶴見洋輔, 福士秀幸, 末田敬一, 中田芳樹, 江刺正喜, 宮永憲明, 田中秀治, 本越伸二, 佐伯拓, ハイクコスロービアン, 谷口誠治, 今崎一夫, 山中千代衛

平成20年電気学会全国大会　3　2008年3月
積層MEMSのための高繰り返し短パルスレーザー支援低ストレス高速ダイシング技術の開発

井澤友策, 鶴見洋輔, 福士秀幸, 末田敬一, 中田芳樹, 江刺正喜, 宮永憲明, 田中秀治, 藤田雅之

第55回応用物理学関係連合講演会　1193　2008年3月
超小型ガスタービン発電機招待有り

田中秀治

日本機械学会マイクロナノ工学専門会議マイクロエネルギー研究会第1回会合　2008年3月
積層MEMS のためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発

藤田雅之, 井澤友策, 鶴見洋輔, 菊地秀幸, 末田敬一, 中田芳樹, 江刺正喜, 宮永憲明, 田中秀治

電気学会光・量子デバイス研究会　OQD-08-17　2008年3月
積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発

鶴見洋輔, 井澤友策, 菊池秀幸, 田中秀治, 末田敬一, 中田芳樹, 江刺正喜, 宮永憲明, 藤田雅之

レーザー学会第28回年次大会　1aVI-3　2008年2月
2.45 GHz SAW-based passive binary transponder for wireless interfaces of integrated sensors

Jan H. Kuypers, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST　1040-1043　2008年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2008.4443837 　

ISSN：1084-6999
DEBRIS-FREE IN-AIR LASER DICING FOR MULTI-LAYER MEMS BY PERFORATED INTERNAL TRANSFORMATION AND THERMALLY-INDUCED CRACK PROPAGATION

Y. Izawa, S. Tanaka, H. Kikuchi, Y. Tsurumi, N. Miyanaga, M. Esashi, M. Fujita

21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2008)　822-827　2008年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2008.4443783 　
Vacuum-packaged micro fuel reformer for high thermal efficiency and low package temperature

A. Kasuga, S. Tanaka, M. Esashi

MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST　968-971　2008年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2008.4443819 　

ISSN：1084-6999
FABRICATION OF MICROPROBES ON A ULTRATHICK GLASS SUBSTRATE WITH NARROW-PITCH ELECTRICAL FEEDTHROUGHS FOR NEXT-GENERATION LSI BURN-IN TESTS

S. Tanaka, S. Fujimoto, O. Ito, S.-H. Choe, M. Esashi

21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2008)　347-350　2008年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2008.4443664 　
Debris-free laser-assisted low-stress dicing for multi-layered MEMS - Separation method of glass layer 査読有り

Yusaku Izawa, Yosuke Tsurumi, Shuji Tanaka, Hideyuki Kikuchi, Keichi Sueda, Yoshiki Nakata, Masayoshi Esashi, Noriaki Miyanaga, Masayuki Fujita

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　128　(3)　91-96　2008年

DOI： 10.1541/ieejsmas.128.91 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
Design and fabrication of passive wireless SAW sensor for pressure measurement 査読有り

Shuhei Hashimoto, Jan H. Kuypers, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　128　(5)　230-234　2008年

DOI： 10.1541/ieejsmas.128.230 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
Fabrication of anti-corrosive capacitive vacuum sensors with a silicon carbide/polysilicon bi-layer diaphragm and electrical through-hole connections on the opposite side 査読有り

Benoît Larangot, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　128　(8)　331-336　2008年

DOI： 10.1541/ieejsmas.128.331 　

ISSN：1341-8939 1347-5525
Etch stop process for fabrication of thin diaphragms in lithium niobate 査読有り

Andrew B. Randles, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS　46　(45-49)　L1099-L1101　2007年12月

DOI： 10.1143/JJAP.46.L1099 　

ISSN：0021-4922
RF MEMS for Wireless Sensing and Telecommunication 招待有り

Shuji Tanaka

Second Japan-Taiwan Workshop on Future Frequency Control Devices　2007年12月
積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発

鶴見洋輔, 井澤友策, 菊池秀幸, 末田敬一, 中田芳樹, 江刺正喜, 宮永憲明, 田中秀治, 藤田雅之

レーザー学会第369回研究会　RTM-07-53　2007年12月
Design and Fabrication of a Vacuum-Packaged Micro Fuel Reformer

A. Kasuga, S. Tanaka, M. Esashi

The 7th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2007)　35-38　2007年11月
World''s Smallest Gas Turbine Establishing Brayton Cycle

Shuji Tanaka, Kousuke Hikichi, Shinichi Togo, Motohide Murayama, Yasuo Hirose, Takashi Sakurai, Saburo Yuasa, Susumu Teramoto, Takafusa Niino, Takahiro Mori, Masayoshi Esashi, Kousuke Isomura

The 7th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2007)　359-362　2007年11月
A Matched Expansion MEMS Probe Card with Low CTE LTCC Substrate

Seong-Hun Choe, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEE International Test Conference　2007年10月
Phase Velocity Control of Surface Acoustic Waves Based on Surface Shortning and Electrical Field Application using MEMS Switches

J. K. Kuypers, M. E. Schmidt, S. Tanaka, M. Esashi

2007 IEEE Internatinal Ultrasonics Symposium　1040-1043　2007年10月

DOI： 10.1109/ULTSYM.2007.310 　
Debris-free Laser-assisted Low-stress Dicing for Multi-layered MEMS ― Separation method of Glass Layer ―

Y. Izawa, Y. Tsurumi, S.Tanaka, H. Kikuchi, K. Sueda, Y. Nakata, M. Esashi, N. Miyanaga, M. Fujita

The 24th Sensor Symposium　19-23　2007年10月
Capacitive RF Shunt Switch Fabricated by Low-Temperature Surface Process and Packaged using Dry Film Resist

T. Yuki, J. H. Kuypers, S. Tanaka, M. Esashi

The 24th Sensor Symposium　37-40　2007年10月
Design and Fabrication of Passive Wireless SAW Sensor for Pressure Measurement

Shuhei Hashimoto, Jan H. Kuypers, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

The 24th Sensor Symposium　267-271　2007年10月
Mechanical Filters based on MEMS Technology 招待有り

Shuji Tanaka

電気学会高機能EM回路デバイスの複合化技術調査専門委員会研究会　2007年10月
RF MEMSの最新技術動向招待有り

田中秀治

電気学会研究会資料, 電子回路研究会, ECT-07-80～85・87　5-10　2007年10月
Fabrication and high-speed characterization of SU-8 shrouded two-dimensional microimpellers 査読有り

Atsushi Nakajima, Piljoong Kang, Nao Honda, Kousuke Hikichi, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　17　(9)　S230-S236　2007年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/17/9/S04 　

ISSN：0960-1317
積層MEMSのための超短パルスレーザー支援低ストレスダイシング技術の開発

井澤友策, 鶴見洋輔, 菊池秀幸, 末田敬一, 中田芳樹, 江刺正喜, 宮永憲明, 田中秀治, 藤田雅之

第68回応用物理学会学術講演会　5p-Y-14　2007年9月
Hydroinertia gas bearing system to achieve 470 m/s tip speed of 10 mm-diameter impellers 査読有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi, Kousuke Isomura, Kousuke Hikichi, Yuki Endo, Shinichi Togo

JOURNAL OF TRIBOLOGY-TRANSACTIONS OF THE ASME　129　(3)　655-659　2007年7月

DOI： 10.1115/1.2736707 　

ISSN：0742-4787
陽極酸化とp++エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング

大野武雄, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会研究会資料, センサ・マイクロマシン部門総合研究会　15-18　2007年7月
パワーMEMS 招待有り

田中秀治

財団法人神奈川科学技術アカデミー（KAST）主催「マイクロマシン・MEMS研究の最新動向」セミナー　2007年7月
Monolithic Phase Shifter Based on Mechanically Tunable SAW Delay Line

J. H. Kuypers, M. E. Schmidt, S. Tanaka, M. Esashi

The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers & Eurosensors ''07)　161-164　2007年6月

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300096 　
Cavity-Through Deep Reactive Ion Etching of Directly-Bonded Silicon Wafers

Piljoong Kang, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers & Eurosensors ''07)　549-553　2007年6月

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300189 　
MEMS-Based Probe Array for Wafer Level LSI Testing Transferred onto Low CTE LTCC Substrate

S-H. Choe, S. Tanaka, M. Esashi

The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers & Eurosensors ''07)　2517-2520　2007年6月

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300683 　
Laterally stacked glass substrates with high density electrical feedthroughs 査読有り

Shuji Tanaka, Satoshi Fujimoto, Osamu Ito, Seong-Hun Choe, Masayoshi Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　17　(3)　597-602　2007年3月

DOI： 10.1088/0960-1317/17/3/023 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439
MEMS-Based SAW Devices

Jan H. Kuypers, Andrew B. Randles, Marek E. Schmidt, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Third International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems　58-68　2007年3月
SiC基板のナノテクノロジー・MEMS等への応用招待有り

江刺正喜, 田中秀治

シンポジウム新しい半導体デバイス技術のサステナビリティ俯瞰とそのアプローチ－ポストシリコン・デバイスと将来加工プロセス研究－, ポストSiデバイス&将来加工プロセス研究会主催　59-67　2007年3月
SiCのマイクロマシニング招待有り

田中秀治

2007年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集　217-218　2007年3月
Nanostructured Silicon Carbide Molds for Glass Press Molding

Jihyun Shin, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Proceedings of the 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systemsn (NEMS 2007)　250-253　2007年1月

DOI： 10.1109/NEMS.2007.352019 　
B/TI MULTILAYER REACTIVE IGNITER FOR MICRO SOLID ROCKET ARRAY THRUSTER

Shuji Tanaka, Kazuyuki Kondo, Horoto Habu, Akihito Itoh, Masashi Watanabe, Keiichi Hori, Masayoshi Esashi

20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2007)　887-890　2007年1月
Etch rate dependence on crystal orientation for lithium niobate

Andrew B. Randles, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

2007 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS, VOLS 1-6　2119-2122　2007年

DOI： 10.1109/ULTSYM.2007.533 　

ISSN：1051-0117
Construction of Combinatorial Chemical Vapor Deposition System Using MEMS-based Suspended Heater Array

Tomokazu Takahashi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology, Book of Abstract　32-32　2006年12月
Test of Shrouded 2-dimensional Microimpeller Made of SU-8

Atsushi NAKAJIMA, Piljoong KANG, Kousuke HIKICHI, Masayoshi ESASHI, Shuji TANAKA

Technical Digest of The Sixth International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2006)　41-44　2006年11月
Rotor Dynamics Test for Palmtop Gas Turbine Generator

Shuji Tanaka, Kousuke Hikichi, Hiroshi Watanabe, Shinichi Togo, Masayoshi Esashi

Technical Digest of The Sixth International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2006)　55-58　2006年11月
Power MEMS Research from Hundreds of Watts to Sub-milliwatt Classes 招待有り

Shuji Tanaka

Technical Digest of The Sixth International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2006)　263-266　2006年11月
Passive 2.45 GHz TDMA based Multi-Sensor Wireless Temperature Monitoring System: Results and Design Considerations

J. H. Kuypers, S. Tanaka, M. Esashi, D. A. Eisele, L.. M. Reindl

IEEE Ultrasonics Symposium　2006年10月

DOI： 10.1109/ULTSYM.2006.366 　
2.45 GHz Passive Wireless Temperature Monitoring System Featuring Parallel Sensor Interrogation and Resolution Evaluation

J. H. Kuypers, S. Tanaka, M. Esashi, D. A. Eisele, L.. M. Reindl

5th IEEE Conference on Sensors　2006年10月

DOI： 10.1109/ICSENS.2007.355583 　
Glass Substrate with High Density Electrical Feedthroughs

Shuji Tanaka, Satoshi Fujimoto, Osamu Ito, Seong-Hun Choe, Masayoshi Esashi

Proceedings of The 23rd Sensor Symposium　9-14　2006年10月
MEMS Probe Array for LSI Testing Transferred onto LTCC Substrate by Au-Sn Eutectic Bonding

Seong-Hun, Choe, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Proceedings of The 23rd Sensor Symposium　242-244　2006年10月
Direct Wafer Bonding and Cavity-Through DRIE for MEMS-Based Turbo Machinery

Piljoong Kang, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Proceedings of The 23rd Sensor Symposium　517-520　2006年10月
Small to Micro Devices for Self-powered Applications 招待有り

Shuji Tanaka

International Workshop on Micro/Nano Science and Engineering for the 21st Century, The 21st Century COE Program, Micro Nanoscience Integrated Systems, Ritsumeikan University　25-28　2006年10月
A micro fuel reformer integrated with a combustor and a microchannel evaporator 査読有り

Kazushi Yoshida, Shuji Tanaka, Hisashi Hiraki, Masayoshi Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　16　(9)　S191-S197　2006年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/16/9/S04 　

ISSN：0960-1317
Development of an in situ chemical vapor deposition method for an alumina catalyst bed in a suspended membrane micro fuel reformer 査読有り

Tomokazu Takahashi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　16　(9)　S206-S210　2006年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/16/9/S06 　

ISSN：0960-1317
Experimental verification of the feasibility of a 100 W class micro-scale gas turbine at an impeller diameter of 10 mm 査読有り

Kousuke Isomura, Motohide Murayama, Susumu Teramoto, Kousuke Hikichi, Yuki Endo, Shinichi Togo, Shuji Tanaka

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　16　(9)　S254-S261　2006年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/16/9/S13 　

ISSN：0960-1317
Silicon-carbide microfabrication by silicon lost molding for glass-press molds 査読有り

Toru Itoh, Shuji Tanaka, Jing-Feng Li, Ryuzo Watanabe, Masayoshi Esashi

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　15　(4)　859-863　2006年8月

DOI： 10.1109/JMEMS.2006.872231 　

ISSN：1057-7157
Fabrication of three-dimensional microstructure using maskless gray-scale lithography 査読有り

Kentaro Totsu, Kenta Fujishiro, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　130　387-392　2006年8月

DOI： 10.1016/j.sna.2005.12.008 　

ISSN：0924-4247
Velocity Measurements of Blood Flow in a Rectangular PDMS Microchannel Assessed by Confocal Micro-PIV System

Rui Alberto Lima, Shigeo Wada, Shuji Tanaka, Motohiro Takeda, Ken-ichi Tsubota, Takuji Ishikawa, Takami Yamaguchi

Proceedings of World Congress on Medical Physics and Biomedical Engineering 2006　278-281　2006年8月
NOVEL FABRICATION PROCESS OF THIN DIAPHRAGM IN LiNbO3 FOR PRESSURE SENSORS USED IN HARSH ENVIRONMENTS

A. B. Randles, S. Tanaka, M. Esashi

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006)　2006年6月
CAPACITIVE VACUUM SENSOR WITH SIC DIAPHRAGM AND NON EVAPORABLE GETTER FOR HIGH SENSITIVE DETECTION IN HARSH ENVIRONMENTS

B. Larangot, S. Tanaka, M. Esashi

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006)　2006年6月
携帯型燃料電池用ターボポンプ

中嶋純之, 姜ピル中, 本田那央, 江刺正喜, 田中秀治

日本機械学会第11回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集　161-162　2006年6月
MEMS静圧軸受の高性能化

カンピルチュン, 江刺正喜, 田中秀治

日本機械学会第11回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集　141-144　2006年6月
直径10mmの超小型遠心圧縮機の性能評価

磯村浩介, 寺本進, 引地広介, 遠藤由宇生, 十合晋一, 田中秀治

日本機械学会第11回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集　151-154　2006年6月
EFFECTS OF REYNOLS NUMBER AND TIP CLEARANCE ON THE PERFORMANCE OF A CENTRIFUGAL COMPRESSOR AT MICRO SCALE

Kousuke Isomura, Susumu Teramoto, Shin-ichi Togo, Kousuke Hikichi, Yuki Endo, Shuji Tanaka

Proceedings of GT2006, ASME Turbo Expo 2006: Power for Land, Sea and Air　GT2006-90637　2006年5月

DOI： 10.1115/GT2006-90637 　
マイクロロケットアレイスラスタ用固体推進薬の研究その3

伊藤旭人, 渡辺将史, 近藤一行, 田中秀治, 羽生宏人, 堀恵一

火薬学会秋季研究発表講演会講演要旨集　39-40　2006年5月
Fabrication of novel MEMS-based polymer electrolyte fuel cell architectures with catalytic electrodes supported on porous SiO2 査読有り

KB Min, S Tanaka, M Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　16　(3)　505-511　2006年3月

DOI： 10.1088/0960-1317/16/3/005 　

ISSN：0960-1317
High-energy density miniature thermoelectric generator using catalytic combustion 査読有り

K Yoshida, S Tanaka, S Tomonari, D Satoh, M Esashi

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　15　(1)　195-203　2006年2月

DOI： 10.1109/JMEMS.2005.859202 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158
MEMS-Based thin palladium membrane microreactors

SY Ye, S Tanaka, M Esashi, S Hamakawa, T Hanaoka, F Mizukami

ICO20: MEM, MOEMS, AND NEMS　6032　44-53　2006年

DOI： 10.1117/12.667851 　

ISSN：0277-786X
Thin palladium membrane microreactors with oxidized porous silicon support and their application 査読有り

SY Ye, S Tanaka, M Esashi, S Hamakawa, T Hanaoka, F Mizukami

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(11)　2011-2018　2005年11月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/11/004 　

ISSN：0960-1317
A micro-fuel processor with trench-refilled thick silicon dioxide for thermal isolation fabricated by water-immersion contact photolithography 査読有り

KS Chang, S Tanaka, M Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(9)　S171-S178　2005年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/9/S01 　

ISSN：0960-1317
Hydroinertia gas bearings for micro spinners 査読有り

K Hikichi, S Goto, S Togo, S Tanaka, K Isomura

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(9)　S228-S232　2005年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/9/S09 　

ISSN：0960-1317
Charging method of micropatterned electrets by contact electrification using mercury 査読有り

T Genda, S Tanaka, M Esashi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　44　(7A)　5062-5067　2005年7月

DOI： 10.1143/JJAP.44.5062 　

ISSN：0021-4922
Demonstration of a MEMS-based turbocharger on a single rotor 査読有り

P Kang, S Tanaka, M Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(5)　1076-1087　2005年5月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/5/026 　

ISSN：0960-1317
Micro-ejector to supply fuel-air mixture to a micro-combustor 査読有り

D Satoh, S Tanaka, K Yoshida, M Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　119　(2)　528-536　2005年4月

DOI： 10.1016/j.sna.2004.10.028 　

ISSN：0924-4247
Vertical Diaphragm Electrostatic Actuator for a High Density Ink Jet Printer Head 査読有り

Takayuki Norimatsu, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　125　(8)　350-354　2005年

DOI： 10.1541/ieejsmas.125.350 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
Application of Screen-Printed Catalytic Electrodes to MEMS-Based Fuel Cells 査読有り

Kyong-Shuji Tanaka, Bok Mill, Noriyuki Kato, Hiroyuki Oikawa, Masayoshi Esashi

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　125　(10)　413-417　2005年

DOI： 10.1541/ieejsmas.125.413 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
携帯型燃料電池のための燃料制御用マイクロバルブ査読有り

吉田和司, 萩原洋右, 斉藤公昭, 友成恵昭, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E　125　(10)　418-423　2005年1月

DOI： 10.1541/ieejsmas.125.418 　
Development of high speed micro-gas bearings for 3-dimensional micro-turbo machines 査読有り

Kousuke Isomura, Shuji Tanaka, Shin-ichi Togo, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　15　S222-S227　2005年1月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/9/S08 　
Micro-Nano Electromechanical Systems 招待有り査読有り

Masayoshi ESASHI, Takahito ONO, Shuji TANAKA

Thermal Science and Engineering　13　(1)　3-6　2005年1月
出版者・発行元： Heat Transfer Society of Japan
ISSN：0918-9963
Turbo test rig with hydroinertia air bearings for a palmtop gas turbine 査読有り

S Tanaka, K Isomura, S Togo, M Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　14　(11)　1449-1454　2004年11月

DOI： 10.1088/0960-1317/14/11/003 　

ISSN：0960-1317
MEMS-based components of a miniature fuel cell/fuel reformer system 査読有り

S Tanaka, KS Chang, KB Min, D Satoh, K Yoshida, M Esashi

CHEMICAL ENGINEERING JOURNAL　101　(1-3)　143-149　2004年8月

DOI： 10.1016/j.cej.2004.01.017 　

ISSN：1385-8947
Micro industry equipments 招待有り査読有り

Masayoshi Esashi, Takahito Ono, Shuji Tanaka

JSME International Journal, Series B: Fluids and Thermal Engineering　47　(3)　429-438　2004年8月

DOI： 10.1299/jsmeb.47.429 　

ISSN：1340-8054
Development of micromachine gas turbine for portable power generation 査読有り

Kousuke Isomura, Shuji Tanaka, Shinichi Togo, Hideki Kanebako, Motohide Murayama, Nobuyoshi Saji, Fumihiro Sato, Masayoshi Esashi

JSME International Journal, Series B: Fluids and Thermal Engineering　47　(3)　459-464　2004年8月

DOI： 10.1299/jsmeb.47.459 　

ISSN：1340-8054
Vacuum test of amicro-solid propellant rocket array thruster 査読有り

Kazuyuki Kondo, Shuji Tanaka, Hiroto Habu, Tokudome Shin-ichiro, Keiichi Hori, Hirobumi Saito, Akihito Itoh, Masashi Watanabe, Masayoshi Esashi

IEICE Electronics Express　1　(8)　222-227　2004年

DOI： 10.1587/elex.1.222 　

ISSN：1349-2543
Reaction Bonding of Microstructured Silicon Carbide using Polymer and Silicon Thin Film 査読有り

K. Rajanna, S. Tanaka, T. Itoh, M. Esashi

Materials Science Forum　457-460　1527-1530　2004年1月
POWER MEMS AND MEMS FOR HARSH ENVIRONMENTS 招待有り査読有り

Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Advances in Natural Science　5　(4)　357-368　2004年1月
Microfabrication of thermoelectric materials by silicon molding process 査読有り

JF Li, S Tanaka, T Umeki, S Sugimoto, M Esashi, R Watanabe

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　108　(1-3)　97-102　2003年11月

DOI： 10.1016/S0924-4247(03)00369-8 　

ISSN：0924-4247
Rotational infrared polarization modulator using a MEMS-based air turbine with different types of journal bearing 査読有り

Motoaki Hara, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　13　(2)　223-228　2003年3月

DOI： 10.1088/0960-1317/13/2/309 　

ISSN：0960-1317
MEMS-based solid propellant rocket array thruster with electrical feedthroughs 査読有り

Shuji Tanaka, Ryuichiro Hosokawa, Shin-Ichiro Tokudome, Keiichi Hori, Hirobumi Saito, Masashi Watanabe, Masayoshi Esashi

Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences　46　(151)　47-51　2003年
出版者・発行元： Japan Society for Aeronautical and Space Sciences
DOI： 10.2322/tjsass.46.47 　

ISSN：0549-3811
Fabrication of Reaction-Sintered Si3N4 Ceramic Microrotors 査読有り

Jing-Feng Li, Shinya Sugimoto, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

無機材料学報　18　(5)　1081-1085　2003年1月
Silicon nitride ceramic-based 2-dimensional micro-combustor, Journal of Micromechanics and Microengineering 査読有り

Shuji Tanaka, Takashi Yamada, Shinya Sugimoto, Jing-Feng Li, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　13　502-508　2003年1月

DOI： 10.1088/0960-1317/13/3/321 　
MEMS-Based Fuel Reformer with Suspended Membrane Structure 査読有り

Kuei-Sung Chang, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　123　(9)　346-350　2003年

DOI： 10.1541/ieejsmas.123.346 　

ISSN：1347-5525 1341-8939
エレクトレットを用いた高出力静電モータ・発電機の設計査読有り

源田敬史, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E　123　(9)　331-339　2003年1月

DOI： 10.1541/ieejsmas.123.331 　
ボロハイドライドを用いた水素供給とサンドブラストによる小形燃料電池の試作査読有り

田中秀治, 東谷旦, 杉江京, 江刺正喜

電気学会論文誌E　123　(9)　340-345　2003年1月

DOI： 10.1541/ieejsmas.123.340 　
小型ガスタービン用水素燃焼器の開発査読有り

高橋克昌, 村山元英, 磯村浩介, 田中秀治

日本ガスタービン学会論文誌　31　(6)　425-428　2003年1月
Deep Structure Wet Etching into Lithium Niobate Using a Physical Mask 査読有り

A. B. Randles, B. J. Pokines, S. Tanaka, M. Esashi

International Journal of Computational Engineering Science　4　(3)　497-500　2003年1月
Mechanical polarization modulator using micro-turbo machinery for Fourier transform infrared spectroscopy 査読有り

Shuji Tanaka, Motoaki Hara, Masayoshi Esashi

Sensors and Actuators, A: Physical　96　(2-3)　215-222　2002年2月28日

DOI： 10.1016/S0924-4247(01)00760-9 　

ISSN：0924-4247
Near-field recording with high optical throughput aperture array 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Shuji Tanaka, Kenya Goto, Masayoshi Esashi

Sensors and Actuators, A: Physical　95　(2-3)　168-174　2002年1月1日

DOI： 10.1016/S0924-4247(01)00727-0 　

ISSN：0924-4247
Manufacturing silicon carbide microrotors by reactive hot isostatic pressing within micromachined silicon molds 査読有り

JF Li, S Sugimoto, S Tanaka, M Esashi, R Watanabe

JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY　85　(1)　261-263　2002年1月

ISSN：0002-7820
Manufacturing Miniature Si-Based Ceramic Rotors by Micro Reaction Sintering 査読有り

Jing-Feng Li, Shinya Sugimoto, Shuji Tanaka, Ryuzo Watanabe, Masayoshi Esashi

Key Engineering Materials　224-226　703-708　2002年1月
MEMS-Based Polymer Electrolyte Fuel Cell 査読有り

Kyong-Bok Min, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Electrochemistry　70　(12)　924-927　2002年1月
Deep reactive ion etching of silicon carbide 査読有り

S. Tanaka, K. Rajanna, T. Abe, M. Esashi

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures　19　(6)　2173-2176　2001年11月

DOI： 10.1116/1.1418401 　

ISSN：1071-1023
Near-field optical apertured tip and modified structures for local field enhancement 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Applied Optics　40　(15)　2479-2484　2001年5月20日

DOI： 10.1364/AO.40.002479 　

ISSN：1559-128X

eISSN：2155-3165
Simulation of near-field photolithography using the finite-difference time-domain method 査読有り

Shuji Tanaka, Masayuki Nakao, Mariko Umeda, Kenchi Ito, Shigeru Nakamura, Yotaro Hatamura

Journal of Applied Physics　89　(7)　3547-3553　2001年4月1日

DOI： 10.1063/1.1351866 　

ISSN：0021-8979
Silicon carbide micro-reaction-sintering using micromachined silicon molds 査読有り

Shuji Tanaka, Shinya Sugimoto, Jing-Feng Li, Ryuzo Watanabe, Masayoshi Esashi

Journal of Microelectromechanical Systems　10　(1)　55-61　2001年3月

DOI： 10.1109/84.911092 　

ISSN：1057-7157
Spatial distribution and polarization dependence of the optical near-field in a silicon microfabricated probe 査読有り

P. N. Minh, T. Ono, S. Tanaka, M. Esashi

Journal of Microscopy　202　(1)　28-33　2001年

DOI： 10.1046/j.1365-2818.2001.00818.x 　

ISSN：0022-2720
Printing Sub-100 Nanometer Features Near-field Photolithography 査読有り

Shuji Tanaka, Masayuki Nakao, Yotaro Hatamura, Masanori Komuro, Hiroshi Hiroshima, Masahiro Hatakeyama

Japanese Journal of Applied Physics　37　(12B)　6739-6744　1998年1月

DOI： 10.1143/JJAP.37.6739 　
Novel fast atom beam (FAB) processes for fabricating functional nanostructures on three-dimensional microstructures 査読有り

M Hatakeyama, S Tanaka, K Ichiki, Y Toma, M Nakao, Y Hatamura

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　3　(3)　112-116　1997年5月

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858
New fast atom beam processing with separated masks for fabricating multiple microstructures 査読有り

K. Ichiki, M. Hatakeyama, S. Tanaka, M. Nakao, Y. Hatamura

Thin Solid Films　281-282　(1-2)　630-633　1996年8月1日
出版者・発行元： Elsevier
DOI： 10.1016/0040-6090(96)08708-1 　

ISSN：0040-6090
送り偏差に関する知識を用いた高精度位置決め装置の試み査読有り

中尾政之, 田中秀治, 畑村洋太郎

日本機械学会論文集C　62　(594)　363-370　1996年1月

DOI： 10.1299/kikaic.62.779

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MISC 64

LSI上MEMSによるヘテロ集積化

江刺正喜, 田中秀治

エレクトロニクス実装学会誌　20　(6)　372-375　2017年9月
出版者・発行元：一般社団法人エレクトロニクス実装学会
DOI： 10.5104/jiep.20.372 　
MEMS業界の動向～ MEMS & Sensors Executive Congress 2016も踏まえて～

田中秀治

次世代センサ　27　(1)　18-21　2017年7月1日
スマート社会に求められるMEMS

田中秀治

自動化推進　46　(1)　2-6　2017年2月1日
出版者・発行元：自動化推進協会
IoT社会の中でのMEMS

田中秀治

日本機械学会誌　119　506-509　2016年9月
Stacked integration of MEMS on LSI

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Micromachines　7　(8)　137　2016年8月5日
出版者・発行元： MDPI AG
DOI： 10.3390/mi7080137 　

ISSN： 2072-666X
横波型板波を用いた超広帯域ラダーフィルタ

門田道雄, 田中秀治

超音波TECHNO　28　(4)　81-85　2016年8月
今，なぜMEMSが注目されているのか

田中秀治

金属　85　(9)　683-685　2015年9月
Moving Tunable Filters Forward

Ken-ya Hashimoto, Tetsuya Kimura, Takeshi Matsumura, Hideki Hirano, Michio Kadota, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

IEEE MICROWAVE MAGAZINE　16　(7)　89-97　2015年8月

DOI： 10.1109/MMM.2015.2431237 　

ISSN： 1527-3342

eISSN： 1557-9581
Extremely Versatile, The micro system analyzer in the MEMS laboratory at Tohoku University Japan

Shuji Tanaka

Polytec InFocus　10-15　2014年8月
国際会議報告「IEEE MEMS 2014」

田中秀治

次世代センサ　24　(1)　14-19　2014年7月1日
出版者・発行元：次世代センサ協議会
ISSN： 2188-496X
Wafer-level hermetic MEMS packaging by anodic bonding and its reliability issues

Shuji Tanaka

MICROELECTRONICS RELIABILITY　54　(5)　875-881　2014年5月

DOI： 10.1016/j.microrel.2014.02.001 　

ISSN： 0026-2714
MEMS-LSI融合技術の触覚センサネットワークへの応用

室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 小島貴裕, 中野芳宏, Travis Bartley, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 畑良幸, 船橋博文, 江刺正喜

InterLab　110　(Spring)　17-23　2014年3月15日
ウェハレベル・ヘテロ集積化技術とその応用

田中秀治, 平野栄樹, 門田道雄, 江刺正喜

金属　83　(9)　21-28　2013年9月
Heterogeneous integration by adhesive bonding

Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

Micro and Nano Systems Letters　1　(3)　2013年8月
国際会議報告「IEEE MEMS 2013」

田中秀治

次世代センサ　23　(1)　14-19　2013年7月
出版者・発行元：次世代センサ協議会
ISSN： 2188-496X
Fuel cells and their components based on microsystem technology

Shuji Tanaka

WILEY INTERDISCIPLINARY REVIEWS-ENERGY AND ENVIRONMENT　2　(3)　350-362　2013年5月

DOI： 10.1002/wene.68 　

ISSN： 2041-8396

eISSN： 2041-840X
MEMS分野の動向集積化MEMS

江刺正喜, 田中秀治

クリーンテクノロジー　23　(4)　1-5　2013年4月
進展するMEMS技術 -集積化，パッケージング，オープンコラボレーション等-

江刺正喜, 田中秀治

月刊ディスプレイ　2　1-6　2013年2月
次世代センサに関連して振動アクチュエータの基礎を復習する

田中秀治

次世代センサ　22　(2)　14-17　2013年1月
国際会議報告「IEEE MEMS 2012」

田中秀治

次世代センサ　22　(1)　14-18　2012年7月
出版者・発行元：次世代センサ協議会
ISSN： 2188-496X
圧電音響デバイスの集積化

田中秀治, 江刺正喜

超音波テクノ　24　(3)　48-52　2011年6月
IMECのMEMS技術：多結晶SiGeを用いた集積化MEMS

田中秀治

SEMI News　27　(2)　13-14　2011年4月
超小形ターボ機械のための超高速気体軸受

田中秀治, 引地広介

トライボロジスト　56　(3)　9-14　2011年3月
MEMS技術

田中秀治, 江刺正喜

科学と工業　85　(2)　49-56　2011年2月
マイクロ燃料電池

田中秀治

高圧ガス　47　(11)　57　2010年11月
携帯燃料電池システムの開発

田中秀治, 吉田和司

機械の研究　6　(8)　762-766　2010年8月
携帯型燃料電池のためのMEMS技術

田中秀治

月刊ディスプレイ　16　(1)　39-45　2010年1月
話題のPower MEMS：振動発電デバイスの実力を考える

田中秀治

SEMI News　26　(1)　18-19　2010年1月
高周波MEMSの最新技術

田中秀治

超音波TECHNO　21　(2)　74-80　2009年4月
微細ガラスプレスモールディング用SiCモールド

田中秀治

マテリアルインテグレーション　22　(4)　33-38　2009年3月
Micromachining of LiNbO3 and its application to wireless passive SAW sensors

Andrew B. Randles, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

マテリアルインテグレーション　22　(4)　52-58　2009年3月
MEMS技術を用いた超小形エネルギー源

田中秀治

化学工業　59　(8)　602-607　2008年8月
携帯燃料電池のためのマイクロ流体デバイス

田中秀治

MATERIAL STAGE　7　(10)　44-48　2008年7月
多層MEMSウェーハのレーザダイシング

藤田雅之, 田中秀治

SEMI NEWS　25　(5)　22-23　2008年5月
SiCのMEMSへの活用

田中秀治

Semiconductor FPD World　(4)　67-70　2008年4月
世界最小のガスタービンエンジン

田中秀治

燃料電池　7　(3)　143-146　2008年3月
Overview of Power MEMS

Shuji Tanaka

Korea Institute of Machinery & Materials　19　(3)　33-40　2007年10月
Power MEMS

田中秀治

金属　77　(7)　732-735　2007年7月
携帯型燃料電池のためのMEMS技術

田中秀治

水　(新年増刊号)　28-31　2007年1月
SiC MEMS

田中秀治

光技術コンタクト　44　(12)　709-716　2006年12月
携帯機器用燃料電池のためのMEMS

田中秀治

化学と工業　59　(7)　764-767　2006年7月
小型電源 MEMS技術を適用して小型化ケタ違いの重量エネルギー密度を実現

田中秀治

NIKKEI MICRODEVICES　(7)　88-89　2005年1月
超小形ガスタービン

田中秀治

日本機械学会誌　108　(1042)　710-711　2005年1月
携帯機器用燃料電池とPower MEMS

田中秀治

KEC情報　195　25-33　2005年1月
携帯型燃料電池のためのMEMS

田中秀治

電子材料　(11)　61-66　2005年1月
超小形ガスタービン発電機

田中秀治

クリーンエネルギー　14　(5)　69-78　2004年1月
マイクロ固体ロケットアレイ

徳留真一郎, 田中秀治

日本航空宇宙学会誌　62　(610)　283-285　2004年1月
超小形ガスタービン発電機の研究・開発動向

田中秀治

OHM　(1)　37-42　2003年1月
複合プロセスによるマイクロ・ナノマシニング

小野崇人, 田中秀治, 安部隆, 江刺正喜

計測と制御　42　(1)　5-11　2003年1月
出版者・発行元： The Society of Instrument and Control Engineers
DOI： 10.11499/sicejl1962.42.5 　

ISSN： 0453-4662
シリコンエッチング技術の応用

田中秀治

ケミカルエンジニヤリング　48　(2)　102-105　2003年1月
日本小型／微型燃料電池的開発現況及展望

張貴松, 田中秀治, 黄炳照

化工技術　11　(4)　260-270　2003年1月
パワーMEMS

田中秀治, 江刺正喜

表面技術　54　(12)　78-84　2003年1月

DOI： 10.4139/sfj.54.908 　
パワー微小電気機械システム（Power MEMS）

田中秀治

電気学会論文誌E　122　(1)　1-9　2002年1月
携帯機器用パワー源の新展開

田中秀治, 江刺正喜

日本機械学会誌　105　(998)　35-39　2002年1月
マイクロマシニング技術とその超小形パワー源への応用 ―ファインセラミックスへの期待―

田中秀治

FINE CERAMICS REPORT　20　(3)　59-69　2002年1月
マイクロマシニングを用いるマイクロパワー源

田中秀治

フルードパワーシステム（日本フルードパワーシステム学会誌）　33　(3)　159-163　2002年1月
超小形高密度パワー源

田中秀治

機械の研究　54　(10)　1011-1018　2002年1月
マイクロマシニングを利用する小形パワー源 ―マイクロ燃料電池と超小形ガスタービン発電機―

田中秀治

油空圧技術　41　(12)　47-53　2002年1月
Power Microelectromechanidal Systems (Power MEMS)

田中秀治

マイクロメカトロニクス（日本時計学会誌）　44　(4)　13-21　2001年1月
反応性イオンエッチングを用いるセラミックスの微細加工

田中秀治

セラミックス　36　(3)　144-147　2001年1月
シリコンモールディング法による3次元マイクロ構造体の作製と微小電気機械システムへの応用

李敬鋒, 渡辺龍三, 田中秀治, 江刺正喜

マテリアルインテグレーション　14　(8)　45-50　2001年1月
マイクロマシニングの新展開マイクロエネルギ源

田中秀治

InterLab　(6)　40-41　2000年1月
マイクロターボ機械

磯村浩介, 田中秀治

ターボ機械　28　(9)　16-23　2000年1月
シリコンエッチング技術のアプリケーション

江刺正喜, 小野崇人, 田中秀治

表面技術　51　(9)　874-879　2000年1月
出版者・発行元： The Surface Finishing Society of Japan
DOI： 10.4139/sfj.51.874 　

ISSN： 0915-1869

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書籍等出版物 19

先端部材への応用に向けた最新粉体プロセス技術

田中秀治

シーエムシー出版　2017年3月
精密加工と微細構造の形成技術

田中秀治

技術情報協会　2013年7月31日
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

田中秀治

シーエムシー出版　2012年11月
IC Guide Book 2, 未来を創る！半導体

田中秀治

電子情報技術産業協会　2012年3月
2011 マイクロマシン／MEMS技術大全

田中秀治

電子ジャーナル　2011年8月
エネルギーハーベスティング技術の最新動向

田中秀治

シーエムシー出版　2010年10月29日
MEMSデバイス総論

橋本研也, 田中秀治

サイエンス&テクノロジー　2009年4月
MEMS/NEMS工学全集（第5章）

田中秀治

テクノシステム　2009年4月
MEMS/NEMS工学全集（第8章）

田中秀治

テクノシステム　2009年4月
次世代センサハンドブック

田中秀治

2008年7月
2008 マイクロマシン／MEMS技術大全

田中秀治

2008年2月
MEMSマテリアルの最新技術（1章）

田中秀治

シーエムシー出版　2007年11月
MEMSマテリアルの最新技術（3章）

田中秀治

シーエムシー出版　2007年11月
2006 マイクロマシン／MEMS技術大全

電子ジャーナル

電子ジャーナル　2006年4月
MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開

前田龍太郎, 澤田廉士, 青柳桂一

フロンティア出版　2006年4月
マイクロ・ナノ熱流体ハンドブック

丸山茂夫

エヌ・ティー・エス　2006年2月8日
超小型燃料電池の開発と今後の展望

神谷信行, 梅田実

シーエムシー出版　2003年1月
マイクロマシン

江刺正喜

産業技術サービスセンター　2002年1月
実際の情報機器技術情報機器の原理・設計・生産・将来

畑村洋太郎, 中尾政之

日刊工業新聞社　1998年1月

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産業財産権 19

圧力センサとその製造方法

田中秀治, ヨークフロメル, トーマスゲスナー

特許第6132047号

産業財産権の種類: 特許権
弾性表面波式センサ

勅使河原明彦, 高畑利彦, 岩城隆雄, 田中秀治, 江刺正喜, 橋本研也

US 7739675 B2

産業財産権の種類: 特許権
センサ装置およびその製造方法

田中秀治, 室山真徳, 江刺正喜, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整

特許第6139377号

産業財産権の種類: 特許権
偏光解消素子及び偏光解消装置

特許第6104087号

産業財産権の種類: 特許権
ホットワイヤ式処理装置

熊野勝文, 田中秀治, 江刺正

特許第5792215号

産業財産権の種類: 特許権
力学量センサ及び力学量センサシステム

畑良幸, 野々村裕, 藤吉基弘, 船橋博文, 明石照久, 大村義輝, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 田中秀治, 江刺正喜, 室山真徳, 巻幡光俊

特許第5714648号

産業財産権の種類: 特許権
触覚センサシステム

室山真徳, 江刺正喜, 田中秀治, 松崎栄, 巻幡光俊, 野々村裕, 藤吉基弘, 中山貴裕, 山田整

特許第5687467号

産業財産権の種類: 特許権
触覚センサシステム

室山真徳, 江刺正喜, 田中秀治, 松崎栄, 巻幡光俊, 野々村裕, 藤吉基弘, 中山貴裕, 山田整

特許第4896198号

産業財産権の種類: 特許権
触覚センサシステム

室山真徳, 江刺正喜, 田中秀治, 松崎栄, 巻幡光俊, 野々村裕, 藤吉基弘, 中山貴裕, 山田整

US Patent No. 8,336,399

産業財産権の種類: 特許権
シート状触覚センサシステム

室山真徳, 江刺正喜, 田中秀治, 松崎栄, 巻幡光俊, 野々村裕, 藤吉基弘, 中山貴裕, 山田整, 山口宇唯

EPC特許番号第2490004号, DE特許番号第60 2009 037 181.9号

産業財産権の種類: 特許権
樹脂製マイクロマシン部分の製造方法

中国特許登録第ZL200680022865.1号

産業財産権の種類: 特許権
燃焼装置および熱電発電装置

吉田和司, 友成恵昭, 江刺正喜, 田中秀治, 佐藤大祐

特許第4495419号

産業財産権の種類: 特許権
ガラスプレスモールドの作製方法

田中秀治, 江刺正喜

特許第3998603号

産業財産権の種類: 特許権
マイクロバルブ

斎藤宏, 河田裕志, 友成恵昭, 吉田和司, 江刺正喜, 田中秀治

特許第4472919号

産業財産権の種類: 特許権
熱電発電装置

吉田和司, 友成恵昭, 田中秀治, 江刺正喜

特許第4224287号

産業財産権の種類: 特許権
燃料電池

田中秀治, 江刺正喜, 友成恵昭, 吉田和司

特許第4234944号

産業財産権の種類: 特許権
燃料供給装置およびそれを用いた燃料電池システム

田中秀治, 江刺正喜, 友成恵昭, 吉田和司

特許第4290924号

産業財産権の種類: 特許権
超小型衛星用のロケットアレイスラスタ

田中秀治, 江刺正喜, 堀恵一, 齋藤宏文, 徳留真一郎, 渡辺将史, 佐藤玲, 沢口勉, 荻原美映子

特許第4079624号

産業財産権の種類: 特許権
炭化珪素微細部品の成形方法

田中秀治, 江刺正喜

特許第3893001号

産業財産権の種類: 特許権

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共同研究・競争的資金等の研究課題 26

2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用

田中秀治, 塚本貴城

2022年4月1日～ 2025年3月31日
複数種ドーピングによる複合振動シリコンMEMSの温度補正

田中秀治, 山田駿介

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

研究機関：Tohoku University

2021年7月9日～ 2023年3月31日
圧電薄膜アクチュエータの高安定・高信頼性センシングと高精度制御

田中秀治, 吉田慎哉, 塚本貴城

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

研究機関：Tohoku University

2018年4月1日～ 2021年3月31日

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圧電MEMSアクチュエーターの位置決め精度と信頼性を確保する方法として，PZT圧電MEMSに埋め込みSiピエゾ抵抗センサーを適用する技術を実証した。デバイスを試作し，感度やノイズを評価するとともに，当該センサーを用いて振幅の制御を行った。エピタキシャルPZT系薄膜については，その信頼性にとって最も問題であるクラックと絶縁破壊に焦点を当てて研究した。クラックと絶縁破壊を減らす方法を実験によって確認したが，圧電性能との両立が課題である。圧電性能を上げるため，SmドープPMN-PTのSi基板上へのエピタキシャル成長も試みた。最終的にPZTバッファー層を用いた分割スパッタ成膜法で良好な圧電性能を得た。
放射線暴露によって動作不能になった集積回路のその場回復技術に関する研究

田中秀治

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

研究機関：Tohoku University

2018年6月29日～ 2020年3月31日

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γ線による集積回路のダメージは，主にゲート酸化膜のチャージアップによって起こる。本研究では，集積回路にマイクロヒータを形成し，加熱によってディスチャージを促進し，γ線ダメージからの回復を試みた。リングオシレータとネットワークセンサ用LSIを用いて実験を行った。前者の発振周波数はγ線照射と加熱によって変化するが，その変化に一貫性はなく，マイクロヒータと外部ヒータを用いた実験で明確な回復は証拠付けられなかった。次に，後者の電源端子の電流-電圧特性に注目し，実験を行った。その結果，γ線照射によって電流が減り，加熱によって回復することが確認された。ただし，この効果の実用にはさらなる研究が必要である。
MEMS技術を用いた高密度・高精度触覚デバイスの開発

曽根順治, 田中秀治, 長谷川晶一, 星陽一, 戸津健太郎, 森山雅昭, 平野栄樹, 吉田慎哉, 三田吉郎, 足立丈宗, 松本康義, 堀川祐樹, 猪俣泰気, 山田優希, 沓澤翔吾, 田中康基, 西野仁, 浅野翔, 金子亮介

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

研究機関：Tokyo Polytechnic University

2015年4月1日～ 2017年3月31日

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指の動きを妨げない大きさで, 自由に動作できる装着型指触覚提示デバイスの設計から開発を行った．このデバイスは，指装着部, 触覚生成デバイスの固定フレーム, 触覚生成デバイスから構成される．指装着部, 触覚生成デバイスの固定フレームは, 3次元CADで設計し, 3Dプリンタにより試作し, 高精度に作成できた．触覚生成デバイスは，MEMS―CADで設計し，圧電層が5層あれば触覚を十分提示できることがわかった．そして，触覚デバイス製作のためのMEMSプロセスを検討し，方法は確立できた．しかし，ゾルゲルの圧電膜の成膜中の事故により，最後まで製作できなかった．また，多チャンネル圧電制御回路を試作した.
高温環境に設置されるMEMSセンサからの信号読み出し技術の実証

田中秀治

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

研究機関：Tohoku University

2014年4月1日～ 2016年3月31日

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数百℃の高温環境に設置する容量型MEMSセンサのための信号読取り技術を実証した。高温環境に耐熱性容量型センサ，SiCダイオードブリッジ，およびカップリングキャパシタを設置し，そこから配線を室温環境に伸ばし，Siの信号処理回路に接続する。まず，pn接合SiCダイオードに白金電極を形成することで，400～600℃の高温でも動作することを確認し，各温度における特性を測定した。また，高温で利用できるダイボンディング，ワイヤーボンディングなどの実装技術を開発した。これらの要素技術を用いて，SiCダイオードブリッジ回路を構成し，高温で試験した。さらに，SiC微細加工技術を開発し，センサ基本構造を試作した。
Si基板上への理想配向PZT系単結晶薄膜の形成とそのMEMSへの適用可能性の実証

田中秀治, 吉田慎哉

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

研究機関：Tohoku University

2013年4月1日～ 2016年3月31日

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Si基板上に理想的な配向を示すPZT系単結晶薄膜をエピタキシャル成長させる技術を開発した。PZTの成膜法はスパッタ法であり，急冷法を用いて，従来はSi基板上では不可能であった理想的な配向制御（正方晶のc軸配向制御）を実現した。その結果，高い圧電定数，低い誘電率，それらから導かれる極めて大きな性能指数，バルク材料のそれより大幅に高いキュリー点など，これまでに実現されていない応用上極めて優れた特性を確認した。低抵抗の金属バッファ層のスパッタ成膜にも成功した。さらに，得られたPZT系単結晶薄膜の実用性を実証するため，MEMS構造を作製し，プロセスダメージが生じないことも確認した。
赤外線センサアレイ応用のためのＺｎＳｅの低温高速堆積技術の研究

田中秀治

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

研究機関：Tohoku University

2012年4月1日～ 2014年3月31日

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赤外線窓材であるZnSeを低温高速成膜するために，2000℃程度のホットワイヤ（HW）で生成した原子状水素で有機アルキル金属を分解する成膜法：HW-MOCVDを研究した。HWはプラズマと比較して大量の原子状水素を生成できるが，タングステンのHWが原料ガスや基板からの脱離ガスに晒されると，反応によって傷んだり，酸化して蒸発したりする。また，HWからの輻射によって基板が過熱される。このような問題を解決する「リモート型HW装置」を新たに開発した。開発した装置の基本特性を取得し，意図した通りに動作することを確認した。ZnSeのソースとしてジエチルZnとジメチルSeを選択し，ZnSeの成膜を確認した。
超並列電子線直接描画に関する研究

江刺正喜, 小野崇人, 田中秀治, 戸津健太郎, 川合祐輔, 宮下英俊

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

研究機関：Tohoku University

2007年～ 2011年

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本研究では超並列電子線直接描画に関する要素技術として、カーボンナノチューブ(CNT)を先端に成長させた電子源の作製方法、光によるスイッチングが可能な微小冷陰極、微小ステージの開発、静電レンズの新しい作製法の開発、などをおこなった。また、これらを組み合わせ、電子ビームをスキャンせず、ビームをスイッチングさせながらステージをスキャンさせる方式の超並列電子線描画システムの構築を試みた。
トライボコーティング潤滑膜の超低摩擦発現機構の解明と宇宙機器への応用

足立幸志, 三木寛之, 竹野貴法, 田中秀治

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

研究機関：Tohoku University

2008年～ 2010年

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超低摩擦を発現するトライボコーティング膜は, 摩擦初期に摩擦対材料により形成される硬質物質中に潤滑剤となる軟質金属がナノオーダサイズで分散した構造を有する固体膜であり, その構造ゆえに低摩擦を与え得る極薄軟質金属潤滑膜が自己形成されることを明らかにした.さらにこの構造を模した新しいナノ複合潤滑膜を創成し, 従来, 宇宙機器で最も多く使用されている二硫化モリブデン膜より低い摩擦を発現することを実証した.
ナノエネルギーシステム創生の研究

桑野博喜, 西澤松彦, 小野崇人, 折茂慎一, 田中秀治, 長澤純人, 安部隆, 岡本洋, 小貫哲平, 曹自平, 濱手雄一郎, 大口裕之

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Creative Scientific Research

研究機関：Tohoku University

2006年～ 2010年

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情報通信分野や医療・福祉分野で切実に求められているマイクロエネルギー源について研究開発を実施した。周辺にある振動を電気エネルギーに変換する自立エレクトレット膜および広帯域構造による高効率マイクロ環境発電、マイクロコンビナトリアルチップと断熱構造技術による高出力マイクロ燃料発電および、カーボンナノチューブを利用した高性能酵素電極と自動スタック構造による高効率長寿命バイオ燃料発電を、新しいメカニズムを提案し基盤技術を確立することにより実現した。さらにマイクロエネルギー源の革新を図る先端技術として低温用固体電解質材料およびマイクロ爆轟技術を確立した。
高感度マイクロセンサのためのマイクロ磁気冷凍機の開発

田中秀治, 川合祐輔

2008年～ 2009年

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高感度マイクロセンサのためのマイクロ磁気冷凍機は,熱伝導のON/OFFを切り替える熱スイッチ,メタ磁性体(La(Fe_xSi_<1-x>)13H_y),メタ磁性体の移動機構,および断熱構造で構成される。本研究では,新規開発が必要な断熱構造で支えられた熱スイッチを開発した。マイクロ磁気冷凍機の性能は,熱スイッチの性能,具体的には熱抵抗のOFF/ON比に大きく依存する。したがって,断熱構造によってOFF時の熱抵抗を上げ,同時に接触熱抵抗の低減によってON時の熱抵抗を下げることが必要である。断熱構造として,MEMS技術を用いて細く長い樹脂(パリレン)の梁で支えられた構造を作製した。接触熱抵抗の低減には,2つの物体を密着させる必要があるが,微視的には表面粗さによって物体の接触面積は限られる。昨年度は,接触する物体の一方を水銀にし,液体-固体接触によって接触熱抵抗を下げることを試みた。水銀をエレクトロウェッティングによって大きく動かすことに成功したが,絶縁された基板表面のチャージアップによって,その動きは再現性に欠くことが明らかになった。この成果は学術論文としてまとめた。今年度は,接触する物体の一方にカーボンナノチューブを絨毯上に成長させ,カーボンナノチューブの弾性変形によって2つの物体を密着させ,接触熱抵抗を下げることを試みた。断熱構造を有する熱スイッチの表面にカーボンナノチューブを成長させ,その接触熱抵抗を計測し,マイクロアクチュエータが発生する20kPaの接触圧で600mm^2K/Wという低い熱抵抗を実現した。この熱抵抗はカーボンナノチューブがないときのそれの1/10程度である。この結果によって,マイクロ磁気冷凍機の性能を見積り,冷凍が可能であることを確かめた。
ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング

小野崇人, 田中秀治, 戸津健太郎, 江刺正喜

2007年～ 2008年

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単電子トランジスタを利用した変位センサを集積化したナノメカニカル・プローブを用いて核磁気共鳴をナノスケールで検出し、タンパク質などの構造を3次元で観測する顕微鏡を開発する。この力検出型の核磁気共鳴検出では、熱による機械振動を抑えるため、センサを低温に冷やす必要がある。このため、低温で高感度なエレクトロメーターである単電子トランジスタを変位センサとして組み込んで、高分解能の磁気共鳴イメージングを実現する。ナノ構造の加工技術とナノ構造における特異な力学現象を利用し、高感度なプローブを開発することを目標とする。磁気共鳴の検出では、きわめて小さな力を検出するため、極低温に冷却して熱による機械振動(熱機械ノイズ)を低減することが必要不可欠である。同時に、極低温で動作する高感度の変位センサを集積化する必要がある。通常のICのアンプを集積化したり、装置内に設置したりする場合、半導体素子は低温で絶縁性になり動作しなくなる。そこで、極低温でも動作する単電子トランジスタをもちいた極めて高感度の変位センサを集積化した構造を作製した。単電子トランジスタをナノメカニカル構造に集積化する作製方法を開発した。一方、機械的振動子の非線形性を利用すると、振動子の位相ノイズを低減できることを見出し、その基礎的な実験を進めた。また、将来センサを空気中で動作させるさいに重要となる振動損失を評価する方法を開発した。また、単電子トランジスタの代わりにピエゾ抵抗型センサでナノメカニカルセンサの変位を検出できる振動子を作製した。
生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング

江刺正喜, 田中秀治, 戸津健太郎

2005年～ 2006年

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半導体技術を発展させた立体的微細加工技術で高付加価値部品が作られている。この加工ではフォトリソグラフィで基板上のマスクで覆われていない部分を一括でエッチング加工する。特にシリコン基板に垂直に深くエッチングできることや、薄いダイアフラムを形成できることが要求される。反応性イオンエッチング(Deep RIE)でシリコン基板などを垂直に深くエッチングできるが、多数の基板を同時に処理できないため生産性が悪いため、フッ化水素水中の電解エッチングでシリコンに垂直な孔を開けるマクロポーラスシリコンを応用して生産性の高いウェット垂直エッチング技術を研究した。特に、垂直な孔の底に薄いダイアフラムを持つ構造などを、このウェット垂直エッチング技術により、不純物濃度に対する選択性の違いを利用して薄いダイアフラムを形成する研究を行った。本年度はこの垂直な孔の底に薄いダイアフラムを持っ構造を製作するのに成功し研究の目的を達成できた。ダイアフラムにあたる部分に高濃度のボロンを拡散しておき、フッ化水素水中の電解エッチングでシリコンに垂直な孔を開けた後、アルカリ性のエッチング液に入れ替えて垂直な穴の側面をエッチングしながらさらに垂直方向にエッチングし、高濃度のボロンを拡散した層でエッチングが停止する性質を利用する。研究期間の最終段階で成功したため、その成果は期間終了後、平成19年7月2-3日に開催される電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会で発表する。この研究の副次的な成果として、圧電材料であるニオブ酸リチウムの単結晶基板に選択的なウェットエッチングでダイアフラムを形成する研究に発展させ、それに薄いダイアフラムを形成することにも成功した。これは基板の熱処理によって分極反転層を形成してそれだけがエッチングされないようにする方法で、表面弾性波を用いたワイアレスパッシブ力センサに応用している。
マイクロマシニングによる高周波MEMSデバイス

江刺正喜, 小野崇人, 田中秀治, 戸津健太郎

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

研究機関：Tohoku University

2004年～ 2006年

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半導体集積回路の製作技術を発展させた微細加工であるマイクロマシニングによって、ワイヤレス機器などに用いる高周波部品を製作する研究はRFMEMSと呼ばれている。本研究では以下のような研究を行い目的の成果を得た。 RFMEMSデバイスをウェハレベルで一括封止したり、高速信号をシリコン基板の裏面に取り出す貫通配線などのパッケージングに関する研究を行った。 MEMSスイッチの研究を行い、接点式のスイッチや容量型の静電駆動スイッチを開発した。フレキシブルフラットパネル表示装置へ応用したり、高速のLSIテスタにおいて実用化なども行っている。機械的共振子は小形で質量を小さくすると共振周波数が高くなる。平面的な寸法で共振周波数が決まるようにするとチップ上に異なる共振周波数の機械振動フィルタを集積化することができる。直径20μmのシリコン円盤の静電駆動ワイングラス振動子を製作し、約100MHzの共振周波数を得た。小形化で熱機械的な雑音が問題になり、これが時間(周波数)源に用いるときの位相雑音の原因になる。この熱機械的な雑音は振動子の共振周波数変化を用いる高感度なセンサの分解能にも関係する。具体的には細胞のような小さな試料用のMRI(磁気共鳴イメージング)の目的で極端に高感度なMRFM(磁気共鳴力顕微鏡)のセンサが要求されている。それに関連して振動子の雑音に関する研究を行い、パラメトリックスクイーズダンピングで位相雑音を低減することに成功した。また大気中もダンピングでQ値が低下しない厚みすべり振動の水晶を用いた片持ち梁振動子も製作した。コイルは特にアスペクト比を大きくして抵抗を小さくしたコイルを製作した。これは1.6GHzでQは85に達し、微小試料を対象とする核磁気共鳴に応用することができた。
SiCモールドを用いたマイクロ非球面ガラスレンズのプレス加工に関する研究

田中秀治, 江刺正喜, 小野崇人

2004年～ 2005年

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マイクロ非球面ガラスレンズをプレス加工するための技術を研究した。現在,プラスチックの微細光学部品は,射出成形やプレス加工によって大量生産され,CD, DVD,光通信デバイスなどに利用されているが,プラスチックは熱膨張が大きいこと,湿気に弱いこと,分散が大きいこと,短波長光の吸収が大きいことなどの問題を有している。したがって,微細光学部品材料をプラスチックからガラスに置き換えたいというニーズが存在する。昨年度は,マスクレス露光機を用いて,シリコン基板に非球面レンズ形状を形成する技術,およびシリコン基板の非球面レンズ形状を,SiCモールドに高精度に転写する技術を研究し,研究計画通りの成果をあげた。今年度は,SiCモールドを用いて,ガラスにプレス加工する技術を研究した。ガラスプレスのために,所有していた真空ホットプレスを改造し,モールドとガラス板とを取り付けるステージ,プレス圧・プレス量を精密制御するためのサーボモータ駆動油圧回路,特殊油圧シリンダなどを装備し,これを制御するためのソフトウェアを開発した。これを用いて,ガラスプレス実験が可能になった。試料には,MEMSに多用されるパイレックスガラス(コーニング7740)を選択した。このガラスの軟化点は約820℃であるので,この温度近傍でプレス加工を行い,SiCモールド上の微細パターンを良好に転写できた。また,このときSiCモールドの損傷は見当たらなかった。以上の結果から,SiCモールドを用いたマイクロ非球面ガラスレンズのプレス加工技術のフィージビリティを確認し,本研究の目的を計画通り達した。
微小空間における燃焼の制御・利用に関する研究

田中秀治, 安部隆, 小野崇人, 江刺正喜

2002年～ 2003年

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微小空間における燃焼の応用として、マイクロ燃料改質器の熱源、マイクロ熱電発電器、マイクロロケットスラスターを取り上げ、試作品の製作と試験とを中心とする実証的な研究を行った。 [マイクロ燃料改質器]携帯機器内で液体燃料から水素を生成するマイクロ燃料改質器を開発した。シリコンのエッチング・酸化・酸化シリコンによるエッチング孔の埋め戻しによって、断熱のための自己支持膜を強度が確保される構造に改良し、改良したマイクロ燃料改質器において水素の自立燃焼とメタノールの水蒸気改質とを確認した。 [マイクロ熱電発電]触媒燃焼器を熱源とするICチップ大の熱電発電器を開発した。メタノールを燃料にして200mW以上の出力、および約2.5%の効率を実現した。また、触媒燃焼器に燃料の蒸気圧によって空気を供給するマイクロエゼクタを試作した。エゼクタの構造、流路の形状、燃料の供給圧などパラメータにして一連の実験を行い、ブタンの完全燃焼に必要な量の空気が供給できることを確認した。さらに、そのエゼクタを用いてブタンの燃焼に成功した。 [マイクロロケットスラスター]10kg級の超小形人工衛星の姿勢制御をするマイクロ固体ロケットアレイスラスターを開発した。本スラスター上には、直径0.8mmの使い切り固体ロケットが多数並べられており、スラストはデジタル的に制御される。点火の確実性を向上させるために、燃料の充填方法を変更し、種々の方法で燃料を充填したスラスターの真空燃焼試験を行った。その結果に基づいて、燃料の充填方法をはじめとして、燃料の組成、スラスターの構造などを見直している。
ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン

江刺正喜, 田中秀治, 小野崇人, 羽根一博, 芳賀洋一

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

研究機関：Tohoku University

2001年～ 2003年

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半導体微細加工技術をベースとした「マイクロマシニング」によって、センサやアクチュエータを集積化させた分布型マイクロ・ナノマシンを作ることを目的に、本研究ではナノ駆動機構とその関連技術について、設計、製作、物理現象の解明を行った。高密度記録で、多数のプローブにより同時に記録や読出ができるマルチプローブデータストレージの開発を行い、ダイアモンドヒータプローブで基板上のポリマ薄膜に熱機械的に記録するもの、ダイアモンドプローブによる強誘電体に記録するもの、また導電性ポリア薄膜に通電して記録し導電性変化で読み出すものなどを開発した。カーボンナノチューブなどによる電界放射電子源と静電レンズを組み合わせた集束電子ビーム源を多数配列させ、非接触データ記録や並列電子ビーム露光を行う装置に関する基礎実験を行った。圧電セラミックス基板を加工して一体型(モノリシック)の6軸ステージを製作した。これは走査プローブ顕微鏡を始め、本研究で進めている各種マルチプローブデータストレージやマルチ鏡筒電子ビーム露光装置、あるいは細胞レベルのMRI装置などに用いることができる。またサブミクロンの間隔で多数の対向電極構造が分布した分布型静電マイクロアクチユェータを製作した。この他、静電力によるチノ駆動機構を持つマルチプローブやボータイアンテナ型光プローブ、極薄薄膜の共振周波数変化を用いた高感度センサなどの研究成果も得ており、研究目的を達成した。
高効率近接場光源の開発と応用

小野崇人, 後藤顕也, 田中秀治

2000年～ 2003年

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近接場光学顕微鏡は、光の波動性による回折限界を越えて光の波長以下の分解能を得ることができる顕微鏡である。この近接場顕微鏡の技術は高分解能の顕微鏡としてだけではなく、ナノ加工技術や将来の高密度光メモリーへと発展する可能性を秘めていることから活発に研究が行われている。近接場光学顕微鏡では、先端に微小開口を形成した光ファイバープローブがよく用いられるが、光がそのプローブ先端で光の波長よりも狭い径の領域を通り抜け微小開口に達するまでにかなりの損失があり光の利用効率が低いという問題がある。特に高分解能を得るために微小開口の寸法を小さくするとその損失は大きくなり、近接場顕微鏡の感度やSN比の悪さが顕著になる。また近接場技術以外に、この技術を様々な技術に展開するための要素技術の開発も併せて行なった。これまで開発した近接場光プローブの効率を更に上げるとともに、個々のプローブ自体にアクチュエーターを内蔵し、光スイッチング機能を持たせた。作製した構造は近接場光の生成効率を上げるために、先端がBow-Tieアンテナの形状を持っている。この構造は、2枚の金属が対向して配置してある構造を持ち、ギャップを20nm以下に小さくすると、極端に近接場強度が大きくできることが予測されている。また、光スイッチング機能をプローブに持たせることで、よりプローブの集積化が容易になった。プローブのアレイを同時に動かして記録動作させるためには、面発光レーザーのアレイ構造のようなものと組み合わせる必要があるが、集積化は必ずしも容易ではなかった。光源の数を減らし個々のプローブで光をスイッチングすることで、より小型、集積化が可能になった。更に、光スイッチング機能は、将来の光回路などの超小型スイッチとしても応用が利用できると考えられる。本プローブを作製し評価を行うと共に、光顕微鏡としての性能を評価した。また、走査型プローブ顕微鏡を利用したリソグラフィーにより表面プラズモン導波路を形成し、光源と近接場プローブとのカップリング効率の向上を図った。
微細構造をプラスチック・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明

松本潔, 米山猛, 田中秀治, 中尾政之

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

研究機関：The Univarsity of Tokyo

2001年～ 2002年

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本研究では,(a)ホログラム回折格子,(b)免疫検査チップ,(c)使い捨てコンタクトレンズ,などを試作対象に設定して,新たな転写プロセスの原理,被転写材料や型材料の材質,型材料の微細加工方法,プロセス条件の最適化,などを総合的に検討した。平成13年度ではホログラム回折格子用の射出成形金型として温度センサと熱流束センサにより内部のプラスチックの状態をモニタつつ圧電素子により部分的な加圧ができる装置を開発した。この装置を用いてピッチ1μm、深さ150nmの回折格子をプラスチックに射出成形できることを確認した。また、犠牲層マスクを用いて硬質材料に転写を行うプロセスを開発した。ガラスの上にプラスチックを塗布しこれに型から形状を転写する。次に高速原子線により異方性エッチングを行う。プラスチックとガラスのエッチングレートを制御することで、元の型をそのまま、あるいは深さ方向に縮小/拡大した形状をガラスに転写できることを確認した。平成14年度は,射出成型のキャビティ内の状態をリアルタイムに把握し,それに応じて能動的,局所的にキャビティ内の条件を精密に制御できる小形知能化金型を開発した。これは98x98x117mmの大きさの金型に,キャビティ内の局所的な熱流束を測る熱流束センサを3個,キャビティ内を局所的に加熱する小形ヒータを2個,そしてそれぞれキャビティ内圧と容積を測る力センサおよび変位センサを埋め込んだものであり,局所熱流束制御により30x15x6mm,厚さ1mmの箱型成型品の平面度を20μmから3μmへと向上させることができることなどを確認した。また,より狭い領域をピンポイントに加熱・冷却するためにφ1.0mmの小形ヒータやφ1.0mmの二重パイプ水路冷却器を試作・検討した。さらに,これらの小形温調器を用い,より精密な熱流束制御を行うための1dl金型の開発に着手した。金型体積を1dl程度以下とさらに小形にし,金型材料も銅合金を用いることで温度の制御性が向上する。予備実験の結果,φ1.0mmの二重パイプ水路冷却器によってキャビティ表面温度を局所的に1℃下げることができることを確認した。
バイオ・メカニカル・ハンドリングのための10nmオーダの3次元微細構造の創成

中尾政之, 竹内孝次, 畑村洋太郎, 松本潔, 鷲津正夫, 田中秀治

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

研究機関：The University of Tokyo

2000年～ 2002年

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本研究では、微小な生体物質を固定・操作・分析するためのもつツールを10nmのオーダまで微細化することを目的として3次元微細構造の加工技術の開発を行った。微細な3次元構造を溝状・針状・管状・粒状構造に分類し、以下のような項目で研究を行った。・針状構造物の微細加工技術の開発走査型電子顕微鏡のビームを用いてカーボンを堆積させる、電子ビーム堆積(Electron Beam Deposition)法の開発を行った。EBD法によってガラス針の先端にφ20nmのカギ状プローブを形成し、これを用いて撥水基板上に伸張したλ-DNA一分子の一部分を回収できることを示した。またEBD法によってナノメートルサイズの針を原子間力顕微鏡のカンチレバー先端に形成し、これを近接場光学顕微鏡の散乱プローブへ応用した。φ10nm、長さ1μmのアモルファスカーボンの針をもつ散乱プローブを製作し、φ20nmのビーズとφ200nmのビーズが混在した試料の観察を行った結果、従来の散乱プローブでは得られなかった、φ200nmのビーズの近傍にあるφ20nmのビーズの光学像を得ることができ、製作した散乱プローブが高アスペクト比物体の高分解能観察に有用であることを示した。・管状および粒状構造物の微細加工技術の開発集束イオンビームを用いて微細ガラス管を加工し内径500nm程度の管状構造を作製する研究を行った。またこの構造をさらに利用して粒状の微細構造を生成するシステムの開発を行った。ピエゾ素子を用いて上記管状構造(微細ピペット)を上下に駆動し、ガラス基板上にφ1μm程度の液滴を形成しゲル化するシステムを開発した。またこの粒に遺伝子を封入して、植物細胞の形質転換用のカプセルに応用できることを示した。
超小形人工衛星・惑星探査機用マイクロスラスタに関する研究

田中秀治

2000年～ 2001年

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宇宙科学研究所と共同で固体ロケットアレイスラスタの実証研究を行った。固体ロケットアレイスラスタは、多数の使い切りマイクロ固体ロケットを基板上に配置して、それらの使用本数と点火周期とでスラストを制御するものである。個々のマイクロ固体ロケットは、固体燃料、ノズル、点火用ヒーター、ヒータ用配線、バーストダイヤフラムなどで構成される。燃焼ガスによって破壊されるバーストダイヤフラムは、固体燃料を封止し、ヒータを断熱する役割を有する。宇宙科学研究所での将来のマイクロ宇宙船によるミッションを想定した場合、1〜10mNsのインパルススラストを発生するマイクロ固体ロケットを、1チップ上に10,000個以上、高密度に配置しなくてはならない。マイクロ固体ロケットをできる限り高密度に配置するために、我々の構造では、点火用マイクロヒータの配線は、燃料シリンダの内壁上のフィードスルー配線を通って、チップの裏面こ取り出される。これによって、チップの面積を最小限にできるだけではなく、ダイヤフラム直近に細い配線を通す必要がなくなるので、断線の可能性を減らしたり、配線の電気抵抗を小さくしたりできる。さらに、配線端子をチップの裏面に取り出せるので、フリップチップボンディング等によって容易に回路と接合できる上、チップの後ろに回路を配して、回路を宇宙線被曝から保護できる。本研究では、10×10=100のマイクロ固体ロケットが1.2mmピッチで配列された試作機を、LSI製作技術に基づくシリコンマイクロマシニングによって製作した。また、ボロン/硝酸カリウム系推進薬を用いて、点火とスラスト発生とを確認した。本成果は、重厚長大化し過ぎた宇宙開発を画期的に小形化・低コスト化・迅速化・高機能化する技術として、意義高い。
モバイル機器用熱電発電・冷却微細モジュールの製作

李敬鋒, 渡辺龍三, 江刺正喜, 田中秀治

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

研究機関：TOHOKU UNIVERSITY

2000年～ 2001年

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本研究はシリコンのマイクロマシニング技術と材料加工技術を融合して、従来の機械加工技術では作製できないマイクロ熱電モジュールの開発を目指している。具体的なプロセスは以下の通りである:シリコンウエハの両面にフォトリソグラフィとシリコンエッチング技術によりに周期的に配列した深い細孔を形成し、そのシリコンモールドの片面の細孔にP型、もう一方の面の細孔にN型の熱電材料を充填することにより、P型とN型の熱電材料が交互に配列する微細ロッドアレイを形成する。さらに、精密研削により、表裏面にそれぞれP型とN型のロッドアレイの先端を出してから電極を形成し、モジュールのアセンブリをする。以下の主な結果が得られた。(1)マイクロ加工したシリコンモールドを用いることにより従来にない超微細熱電デバイスを作製することが出来ることが分かった。たとえば、本プロセスにより、1平方センチの面積に1万対のP-N対を作ることが可能である。(2)Bi-Sb-Te合金のような低融点の熱電材料に対してガラスカプセル法によるガス加圧キャスティング法が有効である。10気圧程度の圧力でシリコンモールドの細孔列にBi-Sb-Te合金の溶融液を完全に充填することが出来ることを確認した。得られたエレメントは断面積が約40mm角で、高さが300mmである。素子とモールドとの界面を調べたところ、プロセス温度が低いため、反応はるいは相互拡散がほとんど起きていないことがわかった。素子内部の化学組成も比較的均一である。(3)本研究のアイデアに基づいて開発したシリコンモールドをテンプレートとして使用して、化学気相析出法や溶液析出などのプロセスを活用すれば、様様な熱電材料のマイクロモジュールを作製することが可能である。
マイクロ・ナノマシニング技術を用いた高密度記録デバイス

小野崇人, 阿部宗光, 江刺正喜, 田中秀治, 柳永勳

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

研究機関：Tohoku University

2000年～ 2001年

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マイクロマシニング技術は、様々な微小電気機械システムの開発に役立ち、幅広い分野で用いられている。これまでの研究により従来マイクロのスケールであったマイクロマシンの寸法を更に小さくしたナノスケールのメカニックスを利用すれば、従来の微小電気機械システムの性能を更に向上させることができることが分かった。センサーを更に小型化した高感度・高速応答の微小電気機械システムを利用し、高密度記録デバイスを作製・評価するのが本研究の目的である。また、実現に必要な様々な基本要素を開発する。通常用いられている光磁気装置では、レーザー光により記録磁気媒体を加熱し、かつ電磁コイルにより磁性媒体の磁化方向を変化させる。記録・消去は、磁化膜の温度がレーザー光によって加熱された部分のみ起こる。レーザー光を用いた場合は、光の回折限界によって決まるスポットサイズにより、記録密度が決まってしまう。本研究では、走査型プローブ顕微鏡などで利用されるマイクロプローブを複数並べた"マルチプローブ"を試作した。数十nmサイズのナノヒーターの高速・熱応答性に着目し、このマルチプローブではナノヒーターをマイクロプローブへ集積化し高速の書き込み、読み出しを可能とした。また、複数のプローブを同時に動作させるため、ICと個々のプローブを直接、金属配線で結ぶ、配線技術も開発した。ナノスケールのサイズを持つマイクロプローブを用い、記録媒体の微小部分を加熱しその磁化を反転させる、あるいは相変化を起こさせる。この目的に必要なナノサイズの抵抗配線を内蔵するプローブアレイを作製した。加熱は抵抗部分に電流を流して行う構造とする。プローブ先端に異種金属の接合を形成しているため、温度の計測も可能になった。記録方式を誘電体記録および相変化型で比較検討した。また熱記録・読み出しに最適な記録媒体およびその構造について検討した。テストデバイスを作製し、記録・読み出しの基礎実験を行った。プローブを複数個並べて、アライメント(トラッキング)動作の必要ない構造を作製した。また、高感度に記録ビットを計測するための、高速・高感度の振動子を設計・製作し,評価した.以上、マルチプローブによる高密度記録装置を試作し、将来の1Tbis/inch2の書き込みを実現できる見通しを得た。
高精度マイクロマシニングによる超センシング

江刺正喜, 田中秀治, 小野崇人, 羽根一博, 倉林徹, 南和幸

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (A).

研究機関：Tohoku University

1998年～ 2000年

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半導体微細加工技術「マイクロマシニング」を用いで製作した微細構造は小さなエネルギでしかも速く動くため、高感度で応答が速いセンサを実現できる。マルチプレクサ回路や容量検出回路などを集積化することで、多数並んだアレイセンサや静電容量型センサなどが可能になる。さらにアクチュエータを集積化することで、高感度な振動型センサ、あるいはサーボ型センサや自己診断機能付センサなども実現できる。高精度マイクロマシニングや異種要素の集積化およびナノマシニングにより、現状の計測技術の限界を越えた超センシングの世界を開拓した。ガラスとシリコンを接合した真空パッゲージセンサとして、高感度な容量型ダイアラム真空センサ、静電浮上モータによる高精度回転型ジャイロなどをシリコンマイクロマシニングで開発した。後者は毎分1万回転を確認し、期待したように単体で3軸の加速度と2軸廻りの角速度を検出できた。薄い片持ち梁の先端の突起に直径20nm程の孔を製作した近接場走査型光顕微鏡用プローブは近接場光を強くでき高密度光記録に有望である。また先端に30nmほどの微小な発熱体を形成した熱記録用プローブによるマルチプローブデータ記録装置を開発した。32×32個のプローブで同時に記録や読出しを行うため、基板ガラスの貫通配線で裏面の集積回路に接続した。DVDRAMに使われる相変化記録媒体に並列に熱的記録を行い、導電率の違いでこれを再生できた。ナイマシニングでカーボンナノチューブをシリコンプローブ先端に選択的に形成し、走査型プローブ顕微鏡の探針などに利用した。厚さ60nm程の極端に薄いシリコンの片持ち梁の表面状態が振動子のQファクタへどのように影響するかを研究し、超高真空中にて高温で表面自然酸化膜を除去することでQを25万と大きくできた。これは高感度な振動型センサに役立つ。この他、表面の高感度赤外反射分光を行う赤外線用偏光変調器など関しても研究を行った。
微小流体制御システムに関する共同研究

江刺正喜, 田中秀治, 芳賀洋一, 小野崇人, 南和幸, 柳永勳, WANDT Michae, MENZ Wolfgan

提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B).

研究機関：Tohoku University

1998年～ 2000年

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流量センサ、バルブ、ポンプなどを流路とともに製作し、様々な要求に応えられる微小流体制御システムを実現可能にするため、信号処理回路の集積化ができるシリコンマイクロマシニング技術と、立体的で複雑な樹脂構造体を作製できる微細射出成形技術を利用し、これにより、大量生産した機能ごとのモジュールを組み合せた微小流体制御システムを可能にすることを目的に研究を行なった。化学分析システムのサンプリングモジュールとして、表面張力を利用して試料と反応試薬を混合するデバイスの開発を行った。微小世界では表面張力が大きな役割を果たすが、それを制御するため、テフロン微粒子の複合めっきで表面を選択的に疎水性にする技術を開発した。採取した微量の検体を分析するチップを使い捨て用に安価に製作するため、微細成形技術について研究を行った。微細な鋳型を東北大学で製作し、フライブルグ大学においてホットエンボス成型を行った。この他の透光性シリコンゴム型を用いた光硬化性樹脂による成型や、マイクロカラム付免疫チップおよびモジュール化の研究も行っている。シリコン基板上に異なるプローブ遺伝子(DNA)を合成し並列的に遺伝子診断を行うDNAチップを開発した。これでは基板表面処理技術や光感受性保護基を持つ分子の合成などを行い、癌の細胞分裂を促す遺伝子のプロモータ領域の一塩基多型(SNP)解析用DNAチップの開発に発展している。この他液滴を付けるスポッティング法でDNAチップを作るためのヘッドの開発も行った。微量のガスを制御できる集積化マスフローコントローラを開発してきたが、半導体製造などに応用するため腐食性ガスにも利用できる耐触性集積化マスフローコントローラを開発できた。これはハロゲンガスに侵されないステンレススチールと窒化アルミニウムを接ガス部に用いている。

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社会貢献活動 14

ホワイトスペースを選択して無線通信東北大学などが1チップ可変SAWフィルタ―を共同開発

2014年5月15日～
One-Chip SAW Filter for Wireless Taps Free Bandwidth of TV White Space

2014年5月7日～
ワンチップ可変SAWフィルタ― 東北大、村田製作所、NICT、千葉大など開発コグニティブ無線機に搭載、実験成功

2014年3月20日～
テレビ空き周波数を通信にスマホ向け可変フィルタ― 東北大や村田製作所が新製造法で実現

2014年3月17日～
地デジ空き電波活用スマホ用、小形通信部品東北大や村田製作所

2014年2月27日～
東北大がベルギーのIMECとアジアで初の戦略的連携協定

2012年6月27日～
優れた日本の若手研究者「ドイツ・イノベーション・アワード」県出身2人が受賞

2012年6月22日～
車の過去・未来見る東北大に展示館

2008年11月5日～
雑記帳東北大でクラシックカーよみがえる

2008年11月3日～
往年の名車に会える東北大に「過去・未来館」

2008年11月3日～
追う往年の名車に命吹き込む東北大有志

2008年10月25日～
ガスタービンエンジン世界最小東北大が開発

2006年8月14日～
ジャパンインパクトⅡ第3回

2003年7月30日～
超テク日本の底力5 1ミリロケット点火

2003年1月14日～

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メディア報道 3

クラシックカー修復活動の紹介

TBC

2008年11月4日

メディア報道種別: テレビ・ラジオ番組
「自動車の過去・未来館」開所式の報道

TBC, ミヤギテレビ

2008年11月1日

メディア報道種別: テレビ・ラジオ番組
クラシックカー修復活動の紹介

ミヤギテレビ

2008年10月21日

メディア報道種別: テレビ・ラジオ番組