Improvement of silicon microdisk resonators with movable waveguides by hydrogen annealing treatment

Taiyu Okatani, Yuichi Sato, Kaoru Imai, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics　39　(3)　2021年5月1日

DOI： 10.1116/6.0000971 　

ISSN：2166-2746

eISSN：2166-2754

水素アニール法で製作されたSiナノ微小球を用いた誘電体光メタマテリアル

金森 義明, 岡谷 泰佑, 阿部 洋輔, 羽根 一博

応用物理学会学術講演会講演予稿集　2021.1　1036-1036　2021年2月26日

DOI： 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1036 　

eISSN：2436-7613

Multileveled tunable silicon grating array bonded on large scale integration substrate by polymers 査読有り

Tomohiro Suzuki, Chernroj Sawasdivorn, Takashi Sasaki, Hiroshi Matsuura, Kazuhiro Hane

Journal of Optical Microsystems　1　(01)　013501-1-013501-13　2021年1月26日

DOI： 10.1117/1.jom.1.1.013501 　

ISSN：2708-5260

Fabrication of silicon nanospheres placeable on a desired position for dielectric metamaterials in the visible region

Taiyu Okatani, Yosuke Abe, Takuya Nakazawa, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Optical Materials Express　11　(1)　189-189　2021年1月1日

DOI： 10.1364/ome.415313 　

eISSN：2159-3930

Actively tunable THz filter based on an electromagnetically induced transparency analog hybridized with a MEMS metamaterial

Ying Huang, Kenta Nakamura, Yuma Takida, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Scientific Reports　10　(1)　2020年12月

DOI： 10.1038/s41598-020-77922-1 　

eISSN：2045-2322

Surface-plasmon-coupled optical force sensors based on metal-insulator-metal metamaterials with movable air gap

Taiyu Okatani, Shota Sekiguchi, Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

SCIENTIFIC REPORTS　10　(1)　2020年9月

DOI： 10.1038/s41598-020-71825-x 　

ISSN：2045-2322

High-speed and large-amplitude resonant varifocal mirror 査読有り

Takashi Sasaki, Takuro Kamada, Kazuhiro Hane

Journal of Robotics and Mechatronics　32　(2)　2020年4月

MEMS-based wearable eyeglasses for eye health monitoring

Neelam Kaushik, Takashi Sasaki, Yoshiki Takahashi, Toru Nakazawa, Kazuhiro Hane

Biomedical Physics and Engineering Express　6　(1)　2020年

DOI： 10.1088/2057-1976/ab562e 　

eISSN：2057-1976

MEMS-Based Wearable Eyeglasses for Eye Health Monitoring 査読有り

Neelam Kaushik, Takashi Sasaki, Yoshiki Takahashi, Toru Nakazawa, Kazuhiro Hane

Biomedical Physics & Engineering Express　6　015006-1-015006-8　2020年1月

Fabrication of refractive index sensors using polarization independent metamaterial and their application to chemical concentration measurement and DNA detection 査読有り

Kanamori Yoshiaki, Shimizu Tomoki, Nomura Shin-Ichiro, Hane Kazuhiro

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　2019年8月13日

DOI： 10.1002/ecj.12208 　

ISSN：1942-9533

Node supported varifocal mirror

Takashi Sasaki, Takuro Kamada, Kazuhiro Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2019-　88-89　2019年7月1日

DOI： 10.1109/OMN.2019.8925292 　

ISSN：2160-5041 2160-5033

偏光無依存メタマテリアルを用いた屈折率センサの製作と化学物質濃度計測及びDNA検出への適用 査読有り

金森義明, 清水友己, 野村慎一郎, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　139　(7)　163-168　2019年7月

DOI： 10.1541/ieejsmas.139.163 　

A Silicon Photonic MEMS Matrix Switch Using Directional Couplers in Comparison with that Using Adiabatic Couplers

Takumi Nagai, Kazuhiro Hane

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　1533-1536　2019年6月1日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808766 　

Tunable Hybrid Gap Surface Plasmon Polariton Waveguides with Ultralow Loss Deep-Subwavelength Propagation 査読有り

Huong Thanh Nguyen, Son Ngoc Nguyen, Minh-Tuan Trinh, Kazuhiro Hane, Hoang, Manh Chu

Plasmonics　14　2019年5月

DOI： 10.1007/s11468-019-00971-4 　

Silicon photonic microelectromechanical switch using lateral adiabatic waveguide couplers 査読有り

Takumi Nagai, Kazuhiro Hane

Optics Express　26　(26)　33906-33917　2018年12月

DOI： 10.1364/OE.26.033906 　

Fabrication of movable MIM metamaterial with air gap structures

Shota Sekiguchi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Digest of 31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018)　15P-7-86-15P-7-86　2018年11月

Miniature Spectroscopes with Two-Dimensional Guided-Mode Resonant Metal Grating Filters Integrated on a Photodiode Array 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

Materials　11　1924-1-1924-11　2018年11月

DOI： 10.3390/ma11101924 　

Simple retinal imaging system using a MEMS scanning mirror 査読有り

Neelam Kaushik, Takashi Sasaki, Toru Nakazawa, Kazuhiro Hane

Optical Engineering　57　(9)　095101-1-095101-8　2018年9月

DOI： 10.1117/1.OE.57.9.095101 　

ISSN：0091-3286

eISSN：1560-2303

Nonlinear spring tuning by electrostatic combs in micro mirror scanner

Kazuhiro Hane, Takashi Izawa, Takashi Sasaki

Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2018　1-4　2018年6月22日

DOI： 10.1109/DTIP.2018.8394239 　

GaN-based integrated photonics chip with suspended LED and waveguide 査読有り

Xin Li, Yongjin Wang, Kazuhiro Hane, Zheng Shi, Jiang Yan

Optics Communications　415　43-47　2018年5月15日

DOI： 10.1016/j.optcom.2017.12.077 　

ISSN：0030-4018

Wafer-level vacuum package of two-dimensional micro-scanner 査読有り

Hoang Manh Chu, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

Microsystem Technologies　24　(5)　2159-2168　2018年5月1日

DOI： 10.1007/s00542-017-3668-2 　

ISSN：0946-7076

GaN microring waveguide resonators bonded to silicon substrate by a two-step polymer process 査読有り

Ryohei Hashida, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

Applied Optics　57　(9)　2073-2079　2018年3月20日

DOI： 10.1364/AO.57.002073 　

ISSN：2155-3165 1559-128X

Electro-optic guided-mode resonance tuning suppressible by optically induced screening in a vertically coupled hybrid GaN/Si microring resonator 査読有り

B. Thubthimthong, T. Sasaki, K. Hane

Applied Physics Letters　112　(7)　071102-1-071102-5　2018年2月12日

DOI： 10.1063/1.5013227 　

ISSN：0003-6951

Integrated H-2 nano-sensor array on GaN honeycomb nanonetwork fabricated by MEMS-based technology 査読有り

Aihua Zhong, Takashi Sasaki, Ping Fan, Dongping Zhang, Jingting Luo, Kazuhiro Hane

SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL　255　(3)　2886-2893　2018年2月

DOI： 10.1016/j.snb.2017.09.107 　

ISSN：0925-4005

Plasmonic Color Filters Integrated on a Photodiode Array 査読有り

Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Hitoshi Sai, Kazuhiro Hane

Electronics and Communications in Japan　101　(2)　95-104　2018年

DOI： 10.1002/ecj.12055 　

ISSN：1942-9541 1942-9533

Structure Shift of GaN Among Nanowall Network, Nanocolumn, and Compact Film Grown on Si (111) by MBE 査読有り

Aihua Zhong, Ping Fan, Yuanting Zhong, Dongping Zhang, Fu Li, Jingting Luo, Yizhu Xie, Kazuhiro Hane

Nanoscale Research Letters　13　(51)　51-1-51-7　2018年

DOI： 10.1186/s11671-018-2461-1 　

ISSN：1556-276X 1931-7573

面外配置された非対称型ダブルバーメタマテリアルの製作と光学応答 査読有り

大久保 藍, 金森 義明, 羽根 一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　363-370　2017年11月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.363 　

プラズモニックカラーフィルタ一体型フォトダイオードアレイ 査読有り

江間 大祐, 金森 義明, 齋 均, 羽根 一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　379-386　2017年11月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.379 　

THz波用MEMS駆動ワイヤグリッド偏光子の製作と光学特性評価 査読有り

石井 雄大, 中田 陽介, 時実 悠, 瀧田 佑馬, 金森 義明, 南出 泰亜, 羽根 一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　407-414　2017年11月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.407 　

偏光無依存メタマテリアルを用いた屈折率センサ 査読有り

清水 友己, 金森 義明, 羽根 一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(11)　415-416　2017年11月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.415 　

Fabrication of varifocal scanner integrated with piezoresistive focal length and angle sensor 査読有り

Kenta Nakazawa, Takashi Sasaki, Hiromasa Furuta, Jiro Kamiya, Hideki Sasaki, Toshikazu Kamiya, Kazuhiro Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2017年9月26日

DOI： 10.1109/OMN.2017.8051506 　

ISSN：2160-5041 2160-5033

GaN microring waveguide bonded to Si substrate by polymer 査読有り

R. Hashida, T. Sasaki, K. Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　2017年9月26日

DOI： 10.1109/OMN.2017.8051464 　

ISSN：2160-5041 2160-5033

Scanning Micro-Mirror with an Electrostatic Spring for Compensation of Hard-Spring Nonlinearity 査読有り

Takashi Izawa, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

MICROMACHINES　8　(8)　240-1-240-13　2017年8月

DOI： 10.3390/mi8080240 　

ISSN：2072-666X

Confocal laser displacement sensor using a micro-machined varifocal mirror 査読有り

Kenta Nakazawa, Takashi Sasaki, Hiromasa Furuta, Jiro Kamiya, Hideki Sasaki, Toshikazu Kamiya, Kazuhiro Hane

APPLIED OPTICS　56　(24)　6911-6916　2017年8月

DOI： 10.1364/AO.56.006911 　

ISSN：1559-128X

eISSN：2155-3165

Nonlinearity compensation of micro-mirror hard-spring by electrostatic combs 査読有り

Takashi Izawa, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1987-1990　2017年7月26日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994460 　

Confocal laser displacement sensor using MEMS varifocal mirror 査読有り

K. Nakazawa, T. Sasaki, H. Furnia, J. Kamiya, H. Sasaki, T. Kamiya, K. Hane

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　2139-2142　2017年7月26日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994498 　

Polymer bonding of GaN crystal layer on silicon substrate for micro mechanical resonator applications 査読有り

Takashi Sasaki, Yuta Hayakawa, Kazuhiro Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　23　(7)　2891-2898　2017年7月

DOI： 10.1007/s00542-016-3075-0 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Varifocal Scanner Using Wafer Bonding 査読有り

Kenta Nakazawa, Takashi Sasaki, Hiromasa Furuta, Jiro Kamiya, Toshikazu Kamiya, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　26　(2)　440-447　2017年4月

DOI： 10.1109/JMEMS.2017.2661979 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158

Fabrication of Metamaterial Absorbers in THz Region and Evaluation of the Absorption Characteristics 査読有り

Yuta Ishii, Yuma Takida, Yoshiaki Kanamori, Hiroaki Minamide, Kazuhiro Hane

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　100　(4)　15-24　2017年4月

DOI： 10.1002/ecj.11943 　

ISSN：1942-9533

eISSN：1942-9541

25 nm Single-Crystal Silicon Nanowires Fabricated by Anisotropic Wet Etching 査読有り

Hoang Manh Chu, Minh Van Nguyen, Hung Ngoc Vu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY　17　(2)　1525-1529　2017年2月

DOI： 10.1166/jnn.2017.12659 　

ISSN：1533-4880

eISSN：1533-4899

MEMS-based retinal-imaging system for visual health monitoring

Neelam Kaushik, Takashi Sasaki, Yoshiki Takahashi, Toru Nakazawa, Kazuhiro Hane

Proceedings of the International Display Workshops　2　1319-1321　2017年

ISSN：1883-2490

Transmissive metamaterial color filters

Yoshiaki Kanamori, Daisuke Ema, Kazuhiro Hane

Optics InfoBase Conference Papers　2017　2017年

Transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes 査読有り

Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(5)　134-139　2017年

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.134 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Dynamic spectral control of fano resonance by MEMS actuated optical metamaterials 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(11)　357-362　2017年

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.357 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

All-optical guided resonance tuning in hybrid GaN/Si microring induced by non-radiatively trapped injected hot electrons 査読有り

Borriboon Thubthimthong, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　24　(26)　29643-29659　2016年12月

DOI： 10.1364/OE.24.029643 　

ISSN：1094-4087

Optical characteristics of multiple layered InGaN quantum wells on GaN nanowalls grown on Si (111) substrate 査読有り

Yosuke Tamura, Kazuhiro Hane

MATERIALS RESEARCH BULLETIN　83　563-567　2016年11月

DOI： 10.1016/j.materresbull.2016.06.042 　

ISSN：0025-5408

eISSN：1873-4227

Emission wavelength tuning of fluorescence by fine structural control of optical metamaterials with Fano resonance 査読有り

Y. Moritake, Y. Kanamori, K. Hane

SCIENTIFIC REPORTS　6　33208-1-33208-6　2016年9月

DOI： 10.1038/srep33208 　

ISSN：2045-2322

Spectral sensitivity control of Si photodiodes by subwavelength structures

Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　71-72　2016年7月5日

Movable transparent membranes designed for tunable metamaterials in the optical region

Ai Okubo, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　75-76　2016年7月5日

Metamaterial absorbers fabricated on silicon cantilevers

Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　85-86　2016年7月5日

Photovoltaic transmissive color filters based on Metal-Photodiode-Metal metamaterials

Tomoki Shimizu, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: The 1st A3 Metamaterials Forum　91-92　2016年7月5日

THz帯におけるメタマテリアル・アブソーバの製作と吸収特性の評価 査読有り

石井雄大, 瀧田佑馬, 金森義明, 南出泰亜, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　136　(5)　172-179　2016年5月

DOI： 10.1541/ieejsmas.136.172 　

Demonstration of sharp multiple Fano resonances in optical metamaterials 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　24　(9)　9332-9339　2016年5月

DOI： 10.1364/OE.24.009332 　

ISSN：1094-4087

Experimental Demonstration of Wavelength-Selective Metamaterial Absorbers in the 1.5 THz Range 査読有り

Yuta Ishii, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Yuma Takida, Hiroaki Minamide

Proceedings of the 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　B4L-E-1-1-B4L-E-1-2　2016年4月17日

Wavelength-selective Transmission from Plasmonic Nanostructured Arrays in the Visible Region 査読有り

Daisuke Ema, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Proceedings of the 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)　B4L-E-5-1-B4L-E-5-2　2016年4月17日

Fabrication of Ultrasonic Sensors Using Micro Cantilevers and Characteristic Measurement in Vacuum for Acoustic Emission Sensing 査読有り

Kengo Takata, Takashi Sasaki, Mitsuyuki Tanaka, Hiroshi Saito, Daisuke Matsuura, Kazuhiro Hane

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　99　(4)　68-74　2016年4月

DOI： 10.1002/ecj.11810 　

ISSN：1942-9533

eISSN：1942-9541

Resonant Varifocal Micromirror with Piezoresistive Focus Sensor 査読有り

Kenta Nakazawa, Takashi Sasaki, Hiromasa Furuta, Jiro Kamiya, Hideki Sasaki, Toshikazu Kamiya, Kazuhiro Hane

MICROMACHINES　7　(4)　57-1-57-13　2016年4月

DOI： 10.3390/mi7040057 　

ISSN：2072-666X

Efficient red-emission InGaN/GaN multilayered structure on Si with surface-nitrified HfO2 film as buffer layer 査読有り

Wei Zhang, Xuehua Zhang, Yongjin Wang, K. Hane, Fangren Hu

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING　122　(3)　2016年3月

DOI： 10.1007/s00339-016-9746-y 　

ISSN：0947-8396

eISSN：1432-0630

Tunable Monocrystalline Silicon Grating on LSI Circuit Fabricated by Two-step Polymer Bonding 査読有り

T. Sasaki, T. Suzuki, H. Matsuura, K. Hane

2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　2016年

ISSN：2160-5033

Varifocal Mirror Integrated with Scanner Using Wafer Bonding Technology 査読有り

Kenta Nakazawa, Takashi Sasaki, Hiromasa Furuta, Jiro Kamiya, Hideki Sasaki, Toshikazu Kamiya, Kazuhiro Hane

2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　2016年

ISSN：2160-5033

Silicon photonic waveguide devices tunable by in-plane actuation 査読有り

K. Hane, H. M. Chu, T. Sasaki

2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　2016年

ISSN：2160-5033

Hybrid Si/GaN Microring Resonator Integrated with Si Electrodes for Electro-Optic Tuning 査読有り

Borriboon Thubthimthong, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　2016年

ISSN：2160-5033

Eyeglasses-type retinal imaging system using MEMS scanner 査読有り

T. Sasaki, T. Nakazawa, K. Hane

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　923-924　2016年

金属ナノ共振器とシリコン導波路の集積化による光通信用減衰器の製作 査読有り

金森義明, 高橋大洋, 羽根一博

レーザ研究　44　(1)　42-46　2016年1月

ISSN：0387-0200

シリコン機械振動子を用いたアコースティックエミッションセンサ 査読有り

高田健伍, 佐々木敬, 西澤充智, 齋藤寛, 山崎慎介, 松浦大輔, 羽根一博

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌）　135　(12)　484-489　2015年12月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.135.484 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Suspended p-n Junction InGaN/GaN Multiple-Quantum-Well Device With Selectable Functionality 査読有り

Xin Li, Gangyi Zhu, Xumin Gao, Dan Bai, Xiaoming Huang, Xun Cao, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane, Yongjin Wang

IEEE PHOTONICS JOURNAL　7　(6)　2701407-1-2701407-8　2015年12月

DOI： 10.1109/JPHOT.2015.2499544 　

ISSN：1943-0655

eISSN：1943-0647

AlN Nanowall Structures Grown on Si (111) Substrate by Molecular Beam Epitaxy 査読有り

Yosuke Tamura, Kazuhiro Hane

NANOSCALE RESEARCH LETTERS　10　460-1-460-5　2015年12月

DOI： 10.1186/s11671-015-1178-7 　

ISSN：1556-276X

Detailed characterization of fano resonance in asymmetric-double-bar metamaterials in the optical region 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　135　(11)　426-432　2015年11月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.135.426 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Enhanced quality factor of Fano resonance in optical metamaterials by manipulating configuration of unit cells 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　107　(21)　211108-1-211108-4　2015年11月

DOI： 10.1063/1.4936385 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118

Enhanced Fluorescence of Quantum Dots by Fano Resonance in Optical Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars 査読有り

Y. Moritake, Y. Kanamori, K. Hane

Abstract: 9th International Congress on Advanced Electromagnetic Materials in Microwaves and Optics - Metamaterials 2015　1133-1135　2015年9月7日

A silicon microring resonator with a nanolatch mechanism 査読有り

Syotaro Abe, Kazuhiro Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　21　(9)　2019-2024　2015年9月

DOI： 10.1007/s00542-014-2283-8 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Fabrication of single-crystal silicon nanowires based on surface wet adhesion 査読有り

Hoang Manh Chu, Minh Van Nguyen, Hung Ngoc Vu, Kazuhiro Hane

MATERIALS LETTERS　152　94-97　2015年8月

DOI： 10.1016/j.matlet.2015.03.108 　

ISSN：0167-577X

eISSN：1873-4979

Asymmetrically and Vertically Coupled Hybrid Si/GaN Microring Resonators for On-Chip Optical Interconnects 査読有り

B. Thubthimthong, T. Sasaki, K. Hane

IEEE PHOTONICS JOURNAL　7　(4)　7801511-1-7801511-1-12　2015年8月

DOI： 10.1109/JPHOT.2015.2464721 　

ISSN：1943-0655

eISSN：1943-0647

MEMS for Plasmon Control of Optical Metamaterials 招待有り 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Ryohei Hokari, Kazuhiro Hane

IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS　21　(4)　2701410-1-2701410-8　2015年7月

DOI： 10.1109/JSTQE.2014.2385957 　

ISSN：1077-260X

eISSN：1558-4542

Design, fabrication, and optical characteristics of freestanding GaN waveguides on silicon substrate 査読有り

Takuji Sekiya, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics　33　(3)　2015年5月1日

DOI： 10.1116/1.4917487 　

ISSN：2166-2754 2166-2746

高面精度共振型焦点可変ミラー 査読有り

中澤謙太, 佐々木敬, 羽根一博

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）　135　(5)　165-170　2015年5月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.135.165 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Group velocity enhancement for guided lightwave by band-pulling effect in single-mode silicon comb photonic crystal wires 査読有り

Borriboon Thubthimthong, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF OPTICS　17　(5)　055104-1-055104-9　2015年5月

DOI： 10.1088/2040-8978/17/5/055104 　

ISSN：2040-8978

eISSN：2040-8986

Design, fabrication, and optical characteristics of freestanding GaN waveguides on silicon substrate 査読有り

Takuji Sekiya, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　33　(3)　031207-1-031207-8　2015年5月

DOI： 10.1116/1.4917487 　

ISSN：1071-1023

Characterizations of the hybrid Si/GaN microring resonator with asymmetric vertical coupling

Borriboon Thubthimthong, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

Optics InfoBase Conference Papers　2019　2015年

GAN FREESTANDING WAVEGUIDES ON SI SUBSTRATE FOR SI/GAN HYBRID PHOTONIC INTEGRATION 査読有り

T. Sekiya, T. Sasaki, K. Hane

2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　2057-2060　2015年

Fabrication and evaluation of tunable submicron-thick monocrystalline silicon grating for integration on LSI circuit 査読有り

T. Sasaki, S. Chernroj, H. Matsuura, K. Hane

2015 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　2015年

ISSN：2160-5033

Quality-factor enhancement of Fano resonance in asymmetric-double-bar metamaterials by alternately arranging inversed unit cells in the optical region 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　9371　93710T-1-93710T-6　2015年

DOI： 10.1117/12.2078784 　

ISSN：1996-756X 0277-786X

Antireflection subwavelength gratings on optical fiber tips fabricated by a dedicated UV nano imprint lithography system 招待有り 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　9372　93720T-1-93720T-7　2015年

DOI： 10.1117/12.2075791 　

ISSN：1996-756X 0277-786X

Fabrication and evaluation of single-crystal-silicon tunable grating using polymer-based membrane transfer bonding process 査読有り

Sawasdivorn Chernroj, Hisayuki Onuma, Tomohiro Suzuki, Takashi Sasaki, Hiroshi Matsuura, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　135　(9)　361-366　2015年

DOI： 10.1541/ieejsmas.135.361 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

THz帯における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と透過率特性の評価 査読有り

中村 健太, 穂苅 遼平, 金森 義明, 羽根 一博

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌　135　(11)　454-459　2015年

DOI： 10.1541/ieejsmas.135.454 　

ISSN：1341-8939

Fabrication and phase-shift analysis of EIT metamaterials operating at visible wavelengths

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract of the 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　38-39　2014年12月22日

Demonstration and characterization of Fano resonance in optical metamaterials composed of asymmetric double bar

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract of the 4th Japan-Korea Metamaterials Forum　40-41　2014年12月22日

Fabrication of ultrathin color filters for three primary colors using guided-mode resonance in silicon subwavelength gratings 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

Optical Review　21　(5)　723-727　2014年10月3日

DOI： 10.1007/s10043-014-0118-6 　

ISSN：1349-9432 1340-6000

Reflection color filters of the three primary colors with wide viewing angles using common-thickness silicon subwavelength gratings 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　22　(21)　25635-25644　2014年10月

DOI： 10.1364/OE.22.025663 　

ISSN：1094-4087

機械共振による変位拡大を利用した焦点可変ミラーの基礎特性 査読有り

佐々木 敬, 佐藤大紀, 中澤謙太, 羽根一博

電気学会論文誌Ｅ（センサマイクロマシン部門誌）　134　(8)　253-257　2014年8月

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.253 　

Time Response of a Microelectromechanical Silicon Photonic Waveguide Coupler Switch 査読有り

Syotaro Abe, Manh Hoang Chu, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　26　(15)　1553-1556　2014年8月

DOI： 10.1109/LPT.2014.2329033 　

ISSN：1041-1135

eISSN：1941-0174

Experimental demonstration of sharp Fano resonance in optical metamaterials composed of asymmetric double bars 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS LETTERS　39　(13)　4057-4060　2014年7月

DOI： 10.1364/OL.39.004057 　

ISSN：0146-9592

eISSN：1539-4794

A Wide-Tuning Silicon Ring-Resonator Composed of Coupled Freestanding Waveguides 査読有り

Hoang Manh Chu, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　26　(14)　1411-1413　2014年7月

DOI： 10.1109/LPT.2014.2326405 　

ISSN：1041-1135

eISSN：1941-0174

Experimental Comparison of Electromagnetically Induced Transparency-like Characteristics between Silver and Aluminum Metamaterials at Visible Wavelengths 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Book of Abstracts: The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　69-71　2014年5月20日

Demonstration of Fano Resonance in Metamaterials Composed of Asymmetric Double Bars in Optical Region 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Book of Abstracts: The 5th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics (META'14)　72-74　2014年5月20日

Comparative study of Schottky diode type hydrogen sensors based on a honeycomb GaN nanonetwork and on a planar GaN film 査読有り

Aihua Zhong, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

INTERNATIONAL JOURNAL OF HYDROGEN ENERGY　39　(16)　8564-8575　2014年5月

DOI： 10.1016/j.ijhydene.2014.03.120 　

ISSN：0360-3199

eISSN：1879-3487

Fabrication of planar metamaterials with sharp and strong electromagnetically induced transparency-like characteristics at wavelengths around 820 nm 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS　31　(5)　1000-1005　2014年5月

DOI： 10.1364/JOSAB.31.001000 　

ISSN：0740-3224

eISSN：1520-8540

Vacuum Package Using Anodic Bonding Assisted by the Reflow of Low-Melting Temperature Metal 査読有り

Hoang Manh Chao, Hung Vu Ngoc, Kazuhiro Hane

INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING　15　(4)　695-701　2014年4月

DOI： 10.1007/s12541-014-0389-7 　

ISSN：2234-7593

eISSN：2005-4602

Platinum/porous GaN nanonetwork metal-semiconductor Schottky diode for room temperature hydrogen sensor 査読有り

Aihua Zhong, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　209　52-56　2014年3月

DOI： 10.1016/j.sna.2014.01.014 　

ISSN：0924-4247

Fabrication of Ultrathin Color Filters for Three Primary Colors Using Silicon Subwavelength Gratings 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Toshikazu Ozaki, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　49-50　2014年2月12日

Detuning Effect of Quadrupole Resonators in Electromagnetically Induced Transparency-like Metamaterials at Near-Infrared Wavelengths 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　51-52　2014年2月12日

Numerical Study on Optical Metamaterials with High Quality Factor Composed of Asymmetric Double Bars 査読有り

Yuto Moritake, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　53-54　2014年2月12日

Silicon Spherical Nano-particles having Magnetic Resonance Fabricated by Hydrogen Annealing 査読有り

Yosuke Abe, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　371-372　2014年2月12日

Wavelength-selective Optical Attenuators using Plasmonic Nano-resonator Array for Silicon waveguides 査読有り

Taiyo Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Technical Digest: 9th International Conference on Optics-Photonics Design & Fabrication　383-384　2014年2月12日

Comparison of electromagnetically induced transparency between silver, gold, and aluminum metamaterials at visible wavelengths 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　22　(3)　3526-3537　2014年2月

DOI： 10.1364/OE.22.003526 　

ISSN：1094-4087

lambda/8 PRECISION PARABOLIC RESONANT VARIFOCAL MIRROR 査読有り

Kenta Nakazawa, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　101-102　2014年

ISSN：2160-5033

50 mu M GAP 8x8 PIXELS DEFORMABLE MIRROR FABRICATED BY MEMB NE TRANSFER PROCESS 査読有り

T. Wu, T. Sasaki, M. Akiyama, K. Hane

2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　171-172　2014年

ISSN：2160-5033

PHOTONIC-CRYSTAL-WAVEGUIDE-ASSISTED DIRECTIONAL COUPLERS FOR HYBRID SI/GAN NANOPHOTONICS 査読有り

Borriboon Thubthimthong, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　201-202　2014年

ISSN：2160-5033

DYNAMIC RESPONSE OF SILICON PHOTONIC VARIABLE-GAP WAVGUIDE COUPLER SWITCH 査読有り

S. Abe, M. H. Chu, T. Sasaki, K. Hane

2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　79-80　2014年

ISSN：2160-5033

Simultaneous measurement of bend direction and degree of curvature using micromachined grating fibers 査読有り

Hironori Kumazaki, Munehiro Hiramatsu, Hisakazu Oguri, Seiki Inaba, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　134　(3)　41-46　2014年

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.41 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

アコースティックエミッション計測のためのカンチレバーを用いた超音波センサの製作と真空中特性 査読有り

高田健伍, 佐々木敬, 田中満之, 齊藤 寛, 松浦大輔, 羽根一博

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌）　134　(7)　2-217　2014年

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.212 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Large-scale membrane transfer process: its application to single-crystal-silicon continuous membrane deformable mirror 査読有り

Tong Wu, Takashi Sasaki, Masayuki Akiyama, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　23　(12)　125003-1-125003-11　2013年12月

DOI： 10.1088/0960-1317/23/12/125003 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Numerical study on resonant wavelength control of split ring resonators with inductance variable structures in the optical wavelength region 査読有り

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Transactions of the Materials Research Society of Japan　38　(4)　615-618　2013年12月

DOI： 10.14723/tmrsj.38.615 　

ISSN：1382-3469

Comparison of electromagnetically induced transparency between silver and gold metamaterials at wavelengths around 800 nm 査読有り

R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013)　7P-7-123L-1-7P-7-123L-2　2013年11月5日

A tunable notch filter using microelectromechanical microring with gap-variable busline coupler 査読有り

Taro Ikeda, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　21　(19)　22034-22042　2013年9月

DOI： 10.1364/OE.21.022034 　

ISSN：1094-4087

A 20nm Free-Spectral Range Optical Filter Based on NEM-Tunable Silicon Photonic Waveguide Micro-Ring Resonator

Hoang Manh Chu, Takashi Sasaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract: The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS2013)　2013年8月22日

Characterization of GaN Nanowall Network and Optical Property of InGaN/GaN Quantum Wells by Molecular Beam Epitaxy 査読有り

Aihua Zhong, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　52　(8)　08JE13-1-08JE13-4　2013年8月

DOI： 10.7567/JJAP.52.08JE13 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Fabrication of electromagnetically-induced-transparency-like metamaterials in the near-infrared region

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract of 3rd Korea-Japan Metamaterials Forum　76-77　2013年6月26日

Nonlinear spring effect of tense thin-film torsion bar combined with electrostatic driving 査読有り

Subrata Kumar Kundu, Shouhei Ogawa, Shinya Kumagai, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　195　83-89　2013年6月

DOI： 10.1016/j.sna.2013.03.009 　

ISSN：0924-4247

A Compact 1 x 3 Silicon Photonic Waveguide Switch Based on Precise Investigation of Coupling Characteristics of Variable-Gap Coupler 査読有り

Yasushi Munemasay, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　52　(6)　06GL15-1-06GL15-6　2013年6月

DOI： 10.7567/JJAP.52.06GL15 　

ISSN：0021-4922

A microelectromechanically tunable microring resonator composed of freestanding silicon photonic waveguide couplers 査読有り

Taro Ikeda, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　102　(22)　221113-1-221113-4　2013年6月

DOI： 10.1063/1.4809733 　

ISSN：0003-6951

Fabrication of Silicon Microdisk Resonators with Movable Waveguides for Control of Power Coupling Ratio 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Yuichi Sato, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　52　(6)　06GL19-1-06GL19-5　2013年6月

DOI： 10.7567/JJAP.52.06GL19 　

ISSN：0021-4922

An analytical coupling coefficient for MEMS tunable silicon nanowire waveguide coupler devices 査読有り

Y. Akihama, K. Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　19　(4)　583-589　2013年4月

DOI： 10.1007/s00542-012-1661-3 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Electric feed-through for vacuum package using double-side anodic bonding of silicon-on-insulator wafer 査読有り

Hoang Manh Chu, Hung Ngoc Vu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF ELECTROSTATICS　71　(2)　130-133　2013年4月

DOI： 10.1016/j.elstat.2012.12.028 　

ISSN：0304-3886

Micromirrors connected in series for low voltage operation in vacuum 査読有り

Seibou Kotani, Hoang Manh Chu, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

Journal of Vacuum Science and Technology B　31　(4)　42001-1-42001-6　2013年4月

DOI： 10.1116/1.4807847 　

Variable-Gap Silicon Photonic Waveguide Coupler Switch With a Nanolatch Mechanism 査読有り

Syotaro Abe, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　25　(7)　675-677　2013年4月

DOI： 10.1109/LPT.2013.2248354 　

ISSN：1041-1135

Fast guided mode of a photonic crystal waveguide 査読有り

Borriboon Thubthimthong, Kazuhiro Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　133-134　2013年

DOI： 10.1109/OMN.2013.6659095 　

ISSN：2160-5033 2160-5041

Displacement-amplified dynamic varifocal mirror using mechanical resonance 査読有り

Takashi Sasaki, Daiki Sato, Kazuhiro Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　161-162　2013年

DOI： 10.1109/OMN.2013.6659109 　

ISSN：2160-5033 2160-5041

Monolithic displacement encoder sensor integrating GaN LED and Si photodiodes 査読有り

S. Nagai, T. Sasaki, H. Kawaguchi, A. Iwabuchi, K. Hane

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　972-975　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6626931 　

A confocal laser scanning endoscope using a varifocal scanning mirror 査読有り

T. Sasaki, K. Hane

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　1412-1415　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6627043 　

15μM air gap 8×8/4×4 pixels single crystal silicon continuous membrane deformable mirror 査読有り

T. Wu, T. Sasaki, M. Akiyama, K. Hane

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　2501-2504　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6627314 　

光メタマテリアルの金ナノ構造における製作誤差の評価 査読有り

穂苅 遼平, 金森 義明, 羽根 一博

エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集　27　(0)　379-381　2013年

DOI： 10.11486/ejisso.27.0_379 　

A continuous single-crystal-silicon membrane deformable mirror using bimorph spring 査読有り

Tong Wu, Takashi Sasaki, Masayuki Akiyama, Kazuhiro Hane

MEMS ADAPTIVE OPTICS VII　8617　2013年

DOI： 10.1117/12.2002785 　

ISSN：0277-786X

Ultra-low power Si-photonic variable-gap coupler switch with nano-latch mechanism 査読有り

S. Abe, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013　904-907　2013年

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6626914 　

Transmission width (Q-factor) tunable silicon-photonic micro-ring resonators 査読有り

Mustafa Ordu, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　87-88　2013年

DOI： 10.1109/OMN.2013.6659072 　

ISSN：2160-5033 2160-5041

Fabrication of antireflection subwavelength gratings at the tips of optical fibers using UV nanoimprint lithography 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　21　(1)　322-328　2013年1月

DOI： 10.1364/OE.21.000322 　

ISSN：1094-4087

Wavelength characteristics of gap-variable silicon nanowire waveguide coupler switch using micro actuator 査読有り

Yasushi Munemasa, Yuta Akihama, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　133　(3)　5-89　2013年

DOI： 10.1541/ieejsms.133.85 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

Transmission-width-tunable silicon-photonic microelectromechanical ring resonator 査読有り

Mustafa Ordu, Kazuhiro Hane

IEEE Photonics Technology Letters　25　(22)　2236-2238　2013年

DOI： 10.1109/LPT.2013.2285130 　

ISSN：1041-1135

Growth of GaN nanowall network on Si (111) substrate by molecular beam epitaxy 査読有り

Aihua Zhong, Kazuhiro Hane

NANOSCALE RESEARCH LETTERS　7　(12)　686-1-686-7　2012年12月

DOI： 10.1186/1556-276X-7-686 　

ISSN：1931-7573

Low Voltage Operation Electrostatic Comb Drive Micro-Mirror for Laser Scanning Display 査読有り

Hoang Manh Chu, Hung Vu Ngoc, Kazuhiro Hane

Vietnam Journal of Mechanics　34　(4)　1-10　2012年11月

Fabrication of Silicon Microdisk Resonators with Monolithically Integrated Comb-Drive Microactuators 査読有り

Yuichi SATO, Yoshiaki KANAMORI, Kazuhiro HANE

Digest of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　1P-7-96　2012年10月30日

Coupling properties of freestanding silicon nanowire waveguide couplers with a gap-variable mechanism 査読有り

Y. Akihama, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)　2B-8-2　2012年10月30日

A Study of MEMS Tunable Metamaterial at Optical Frequencies by Numerical Calculations 査読有り

R. Hokari, Y. Kanamori, K. Hane

Abstracts: IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)　B-9-O24-018　2012年9月21日

Deformation of varifocal mirror with narrow frame by SOI wafer residual stress 査読有り

Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN　95　(8)　26-33　2012年8月

DOI： 10.1002/ecj.11381 　

ISSN：1942-9533

Varifocal Micromirror Integrated With Comb-Drive Scanner on Silicon-on-Insulator Wafer 査読有り

Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　21　(4)　971-980　2012年8月

DOI： 10.1109/JMEMS.2012.2189936 　

ISSN：1057-7157

Numerical study on optical characteristics of tunable metamaterials at optical frequencies with variable capacitance

Ryohei Hokari, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstract: The 2nd Japan-Korea Metamaterials Forum　78-79　2012年6月28日

Single and multiple optical switches that use freestanding silicon nanowire waveguide couplers 査読有り

Yuta Akihama, Kazuhiro Hane

LIGHT-SCIENCE & APPLICATIONS　1　e16-1-e16-8　2012年6月

DOI： 10.1038/lsa.2012.16 　

ISSN：2047-7538

光ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作 査読有り

金森義明, 大河内昌章, 羽根一博

日本機械学会論文集（C編）　78　(790)　2322-2330　2012年6月

Micro-mirror laser scanner combined with a varifocal mirror 査読有り

R. Hokari, K. Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　18　(4)　475-480　2012年4月

DOI： 10.1007/s00542-011-1416-6 　

ISSN：0946-7076

Fabrication of freestanding membrane GaN light-emitting diode on Si substrate for MEMS applications 査読有り

T. Tanae, H. Kawaguchi, A. Iwabuchi, K. Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　31-32　2012年

DOI： 10.1109/OMEMS.2012.6318787 　

ISSN：2160-5033 2160-5041

Compound switch consisting of gap-variable silicon nanowire waveguide couplers 査読有り

Y. Akihama, Y. Munemasa, Y. Kanamori, K. Hane

Technical Digest - 2012 17th Opto-Electronics and Communications Conference, OECC 2012　875-876　2012年

DOI： 10.1109/OECC.2012.6276674 　

Design and fabrication of GaN crystal ultra-small lateral comb-drive actuators 査読有り

Takuma Tanae, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics　30　(1)　2012年

DOI： 10.1116/1.3668114 　

ISSN：2166-2754 2166-2746

InGaN/GaN quantum wells grown on freestanding HfO2 photonic crystals 査読有り

Yongjin Wang, Tong Wu, Fangren Hu, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

PHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 9, NO 3-4　9　(3-4)　601-604　2012年

DOI： 10.1002/pssc.201100320 　

ISSN：1862-6351

Analysis of Hard Spring Effect of Tense Poly-Si Torsion Bar of Micromirror 査読有り

Subrata Kumar Kundu, Shouhei Ogawa, Shinya Kumagai, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki

2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN)　162-+　2012年

III-nitride grown on freestanding GaN nanostructures 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

PHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 9, NO 3-4　9　(3-4)　554-557　2012年

DOI： 10.1002/pssc.201100265 　

ISSN：1862-6351

Si photonic nano-wire tunble micro-ring resonator composed of triply-liked variable couplers 査読有り

Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　660-663　2012年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170273 　

ISSN：1084-6999

An improved gap-variable silicon nano-wire waveguide coupler switch

Yasushi Munemasa, Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　111-112　2012年

DOI： 10.1109/OMEMS.2012.6318827 　

ISSN：2160-5033 2160-5041

Single layer silicon photonic crystal slab 査読有り

Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

PHOTONICS AND NANOSTRUCTURES-FUNDAMENTALS AND APPLICATIONS　10　(1)　146-152　2012年1月

DOI： 10.1016/j.photonics.2011.10.002 　

ISSN：1569-4410

eISSN：1569-4429

Comb-drive tracking and focusing lens actuators integrated on a silicon-on-insulator wafer 査読有り

P. Li, T. Sasaki, L. F. Pan, K. Hane

OPTICS EXPRESS　20　(1)　627-634　2012年1月

DOI： 10.1364/OE.20.000627 　

ISSN：1094-4087

Design and fabrication of GaN crystal ultra-small lateral comb-drive actuators 査読有り

Takuma Tanae, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　30　(1)　012001-1-012001-8　2012年1月

DOI： 10.1116/1.3668114 　

ISSN：1071-1023

Micro fluorescent analysis system integrating GaN-light-emitting-diode on a silicon platform 査読有り

Hiroto Nakazato, Hiroko Kawaguchi, Akio Iwabuchi, Kazuhiro Hane

LAB ON A CHIP　12　(18)　3419-3425　2012年

DOI： 10.1039/c2lc40178a 　

ISSN：1473-0197

Initial deflection of silicon-on-insulator thin membrane micro-mirror and fabrication of varifocal mirror 査読有り

Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　172　(2)　516-522　2011年12月

DOI： 10.1016/j.sna.2011.09.042 　

ISSN：0924-4247

Ultra-small silicon waveguide coupler switch using gap-variable mechanism 査読有り

Yuta Akihama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　19　(24)　23658-23663　2011年11月

DOI： 10.1364/OE.19.023658 　

ISSN：1094-4087

MEMS Tunable Silicon Nano-Wire Air-Gap Coupling for Coupler Switch and Interferometer

Y. Akihama, T. Ikeda, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of 17th Microoptics Conference (MOC'11)　H-14　2011年10月30日

The resonant III-nitride grating reflector 査読有り

Yongjin Wang, Tong Wu, Takuma Tanae, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　21　(10)　105025-1-105025-6　2011年10月

DOI： 10.1088/0960-1317/21/10/105025 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Fabrication of a high-precision spherical micromirror by bending a silicon plate with a metal pad 査読有り

Tong Wu, Kazuhiro Hane

APPLIED OPTICS　50　(27)　5321-5328　2011年9月

DOI： 10.1364/AO.50.005321 　

ISSN：1559-128X

eISSN：2155-3165

III-Nitride grating grown on freestanding HfO₂ gratings 査読有り

Yongjin Wang, Tong Wu, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Hongbo Zhu, Kazuhiro Hane

Nanoscale Research Letters　6　497-1-497-5　2011年8月

DOI： 10.1186/1556-276X-6-497 　

ISSN：1931-7573

Integration of MEMS Actuators with Nanophotonics: Silicon Submicron-wide Waveguide Switches for Optical-path changes 招待有り

Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Conference Program on The 16th Opto-Electronics and Communications Conference　494-495　2011年7月4日

Compact slanted comb two-axis micro-mirror scanner fabricated by silicon-on-insulator micromachining 査読有り

Hoang Manh Chu, Jun Mizuno, Kazuhiro Hane, Toshiyuki Takagi

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　29　(4)　042001-1-042001-7　2011年7月

DOI： 10.1116/1.3605301 　

ISSN：1071-1023

Silicon submicron waveguide and MEMS tunable optical telecommunication devices 招待有り

Kazuhiro Hane, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of International Conference on Micro/Nano Optical Engineering　13-14　2011年6月12日

Spherical silicon micromirrors bent by anodic bonding 査読有り

Tong Wu, Takahiro Yamasaki, Ryohei Hokari, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　19　(12)　11897-11905　2011年6月

DOI： 10.1364/OE.19.011897 　

ISSN：1094-4087

Lateral epitaxial overgrowth of GaN on a patterned GaN-on-silicon substrate by molecular beam epitaxy 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Kazuhiro Hane

SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY　26　(4)　045015-045015(6pp)　2011年4月

DOI： 10.1088/0268-1242/26/4/045015 　

ISSN：0268-1242

eISSN：1361-6641

Freestanding HfO₂ grating fabricated by fast atom beam etching 査読有り

Yongjin Wang, Tong Wu, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Nanoscale Research Letters　6　367-1-367-5　2011年4月

DOI： 10.1186/1556-276X-6-367 　

ISSN：1556-276X

Investigation of strain sensing effect in modified single-defect photonic crystal nanocavity 査読有り

Bui Thanh Tung, Dzung Viet Dao, Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Susumu Sugiyama

OPTICS EXPRESS　19　(9)　8821-8829　2011年4月

DOI： 10.1364/OE.19.008821 　

ISSN：1094-4087

Comb-drive GaN micro-mirror on a GaN-on-silicon platform 査読有り

Yongjin Wang, Takashi Sasaki, Tong Wu, Fangren Hu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　21　(3)　035012-1-035012-5　2011年3月

DOI： 10.1088/0960-1317/21/3/035012 　

ISSN：0960-1317

A GaN Electromechanical Tunable Grating on Si Substrate 査読有り

Hidehisa Sameshima, Takuma Tanae, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　23　(5)　281-283　2011年3月

DOI： 10.1109/LPT.2010.2102346 　

ISSN：1041-1135

Design, fabrication and vacuum operation characteristics of two-dimensional comb-drive micro-scanner 査読有り

Hoang Manh Chu, Kazuhiro Hane

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　165　(2)　422-430　2011年2月

DOI： 10.1016/j.sna.2010.11.004 　

ISSN：0924-4247

Varifocal scanning micro-mirror fabricated from silicon-on-insulator wafer 査読有り

T. Sasaki, K. Hane

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11　570-573　2011年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969716 　

Design, fabrication, and vacuum package process for high performance of 2D scanning MEMS micromirror 査読有り

H. M. Chu, T. Sasaki, K. Hane

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11　558-561　2011年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969713 　

Integrated tracking and focusing micro lens actuators based on silicon bulk micromachining 査読有り

P. Li, T. Sasaki, L. F. Pan, K. Hane

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11　1546-1549　2011年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969734 　

Continuous membrane deformable mirror for adaptive optics using bimorph spring 査読有り

T. Wu, M. Akiyama, K. Hane

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11　598-601　2011年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969726 　

Comb-drive III-nitride micro mirror fabricated by fast atom beam etching 査読有り

Y. J. Wang, T. Sasaki, T. Wu, F. R. Hu, K. Hane

2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11　1324-1327　2011年

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969494 　

Compact slanted comb two-axis micro-mirror scanner fabricated by silicon-on-insulator micromachining 査読有り

Hoang Manh Chu, Jun Mizuno, Kazuhiro Hane, Toshiyuki Takagi

Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics　29　(4)　2011年

DOI： 10.1116/1.3605301 　

ISSN：2166-2754 2166-2746

Mechanical stress sensors using micromachined grating fibers 査読有り

Hironori Kumazaki, Munehiro Hiramatsu, Hisakazu Oguri, Seiki Inaba, Kazuhiro Hane

21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL FIBER SENSORS　7753　2011年

DOI： 10.1117/12.882857 　

ISSN：0277-786X

Antireflective Subwavelength Gratings on the End Faces of Optical Fibers Fabricated by UV Nanoimprint Lithography 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Masaaki Okochi, Kazuhiro Hane

OMN2011: 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　65-66　2011年

Longitudinal strain sensitive effect in a photonic crystal cavity 査読有り

Bui Thanh Tung, Dzung Viet Dao, Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Susumu Sugiyama

EUROSENSORS XXV　25　2011年

DOI： 10.1016/j.proeng.2011.12.335 　

ISSN：1877-7058

Silicon subwavelength gratings for reflective color filters with wide viewing angle 査読有り

Toshikazu Ozaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics　93-94　2011年

DOI： 10.1109/OMEMS.2011.6031094 　

ISSN：2160-5033 2160-5041

Patterned growth of InGaN/GaN quantum wells on freestanding GaN grating by molecular beam epitaxy 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Kazuhiro Hane

NANOSCALE RESEARCH LETTERS　6　(1)　117-1-117-7　2011年

DOI： 10.1186/1556-276X-6-117 　

ISSN：1556-276X

Fabrication of GaN light emitting diode membrane on Si substrate for MEMS applications 査読有り

M. Wakui, H. Sameshima, F. -R. Hu, K. Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　17　(1)　109-114　2011年1月

DOI： 10.1007/s00542-010-1151-4 　

ISSN：0946-7076

細いフレームを持つ焦点可変ミラーのSOIウエハ残留応力による変形 査読有り

佐々木 敬, 羽根一博

電気学会論文誌E　131　(8)　310-315　2011年

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.310 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

Fabrication of high-quality diffractive-lens mold having submicron patterns 査読有り

Do-Kyun Woo, Kazuhiro Hane, Sun-Kyu Lee

Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers, A　34　(11)　1637-1642　2010年11月

DOI： 10.3795/KSME-A.2010.34.11.1637 　

ISSN：1226-4873

Enhancement of light extraction from freestanding GaN nanocolumn slab with bottom subwavelength nanostructures 査読有り

Y. Wang, F. Hu, Y. Kanamori, T. Wu, K. Hane

Applied Physics B: Lasers and Optics　101　(3)　575-581　2010年11月

DOI： 10.1007/s00340-010-4131-6 　

ISSN：0946-2171

Fabrication of antireflective subwavelength gratings on the end faces of single mode optical fibers using UV nanoimprint lithography

Masaaki Okochi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Digest of Papers: 2010 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010)　12D-11-92　2010年10月26日

Compact Low-Voltage Operation Micromirror Based on High-Vacuum Seal Technology Using Metal Can 査読有り

Hoang Manh Chu, Takayuki Tokuda, Masafumi Kimata, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　19　(4)　927-935　2010年8月

DOI： 10.1109/JMEMS.2010.2055545 　

ISSN：1057-7157

Monolithic micro-fabrication of Si micro-electro-mechanical structure with GaN light emitting diode 査読有り

R. Ito, M. Wakui, H. Sameshima, F. -R. Hu, K. Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　16　(6)　1015-1020　2010年6月

DOI： 10.1007/s00542-010-1079-8 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Buckled Bridges Using Film Stress for Three-Dimensional Structures: Effects of Lateral Designs on Vertical Profiles and Dynamic Characteristics 査読有り

Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Danick Briand, Wilfried Noel, Nicolaas F. de Rooij

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING　5　(2)　131-136　2010年3月

DOI： 10.1002/tee.20507 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981

Growth of GaN LED Structure on Si Substrate by MBE and Monolithic Fabrication of GaN LED Cooling System 査読有り

Masashi Wakui, Fang-Ren Hu, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING　5　(2)　171-174　2010年3月

DOI： 10.1002/tee.20513 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981

近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作 査読有り

金森義明, 灰田周平, 羽根一博

電気学会論文誌E　130　(3)　92-96　2010年3月

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.92 　

Large area, freestanding GaN nanocolumn membrane with bottom subwavelength nanostructure 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Tong Wu, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　18　(6)　5504-5511　2010年3月

DOI： 10.1364/OE.18.005504 　

ISSN：1094-4087

Phase-shifter using submicron silicon waveguide couplers with ultra-small electro-mechanical actuator 査読有り

Taro Ikeda, Kazunori Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　18　(7)　7031-7037　2010年3月

DOI： 10.1364/OE.18.007031 　

ISSN：1094-4087

Freestanding GaN slab fabricated on patterned silicon on an insulator substrate 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　20　(2)　027001-1-027001-5　2010年2月

DOI： 10.1088/0960-1317/20/2/027001 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Fabrication and characterization of subwavelength nanostructures on freestanding GaN slab 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　18　(3)　2940-2945　2010年2月

DOI： 10.1364/OE.18.002940 　

ISSN：1094-4087

Fast atom beam-based fabrication of high-efficienct blazed grating using slanting angle control of a substrate 査読有り

ChaBum Lee, Kazuhiro Hane, Sun-Kyu Lee

2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　149-150　2010年

DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672141 　

GaN pitch-variable grating fabricated on Si substrate 査読有り

H. Sameshima, T. Tanae, F. Hu, K. Hane

2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　79-80　2010年

DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672174 　

Nanoscale epitaxial growth of GaN on freestanding circular GaN grating 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Kazuhiro Hane

2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　163-164　2010年

DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672132 　

Vacuum operation characteristics of two-dimensional micro-mirror 査読有り

Hoang Manh Chu, Kazuhiro Hane

2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　113-114　2010年

DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672159 　

Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control 査読有り

Takuro Aonuma, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane

SERVICE ROBOTICS AND MECHATRONICS　299-+　2010年

Submicron silicon waveguide Mach-Zehnder interferometer using micro electro-mechanical phase-shifter

T. Ikeda, Y. Kanamori, K. Hane

2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010　97-98　2010年

DOI： 10.1109/OMEMS.2010.5672167 　

Narrow-bandwidth tunable bandstop filters with circularly cylindrical self-suspended silicon gratings 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

OPTIK　121　(15)　1389-1394　2010年

DOI： 10.1016/j.ijleo.2009.01.026 　

ISSN：0030-4026

Fabrication and characterization of freestanding circular GaN gratings 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　18　(2)　773-779　2010年1月

DOI： 10.1364/OE.18.000773 　

ISSN：1094-4087

ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作 査読有り

金森義明, 大河内昌章, 羽根一博

日本機械学会論文誌（Ｃ編）　76　(771)　2854-2860　2010年

DOI： 10.1299/kikaic.76.2854 　

ISSN：0387-5024

Fabrication of variable-reflection photonic crystal MEMS filters using subwavelength-grating-embedded substrates

Y. Kanamori, S. Haida, K. Hane

Digest of Papers: 2009 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)　116-117　2009年11月16日

Freestanding circular GaN grating fabricated by fast-atom beam etching 招待有り 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Masashi Wakui, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING　97　(1)　39-43　2009年10月

DOI： 10.1007/s00339-009-5376-y 　

ISSN：0947-8396

Vacuum operation of comb-drive micro display mirrors 査読有り

Chu Hoang Manh, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　19　(10)　105018(8pp)-105018(8pp)　2009年10月

DOI： 10.1088/0960-1317/19/10/105018 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

An ultrasmall wavelength-selective channel drop switch using a nanomechanical photonic crystal nanocavity 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Kazunori Takahashi, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　95　(17)　171911-1-171911-3　2009年10月

DOI： 10.1063/1.3254247 　

ISSN：0003-6951

A Varifocal Convex Micromirror Driven by a Bending Moment 査読有り

Ryohei Hokari, Kazuhiro Hane

IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS　15　(5)　1310-1316　2009年9月

DOI： 10.1109/JSTQE.2009.2017034 　

ISSN：1077-260X

eISSN：1558-4542

A Freestanding GaN/HfO2 Membrane Grown by Molecular Beam Epitaxy for GaN-Si Hybrid MEMS 査読有り

Hidehisa Sameshima, Masashi Wakui, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS　15　(5)　1332-1337　2009年9月

DOI： 10.1109/JSTQE.2009.2017031 　

ISSN：1077-260X

Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and Low-Voltage Driving of a Micromirror Using the Thin-Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si 査読有り

Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS　15　(5)　1455-1462　2009年9月

DOI： 10.1109/JSTQE.2009.2022281 　

ISSN：1077-260X

Freestanding GaN Resonant Gratings at Telecommunication Range 査読有り

Yongjin Wang, Fangren Hu, Masashi Wakui, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　21　(17)　1184-1186　2009年9月

DOI： 10.1109/LPT.2009.2024221 　

ISSN：1041-1135

Design and Fabrication of Structural Color Filters with Polymer-Based Guided-Mode Resonant Gratings by Nanoimprint Lithography 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Hiroki Katsube, Tomonobu Furuta, Shoji Hasegawa, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　48　(6)　06FH04-1-06FH04-4　2009年6月

DOI： 10.1143/JJAP.48.06FH04 　

ISSN：0021-4922

GaN-based nitride semiconductor films deposited on nitrified HfO2/Si substrate by molecular beam epitaxy 査読有り

F. R. Hu, H. Sameshima, M. Wakui, R. Ito, K. Hane

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH　311　(10)　2996-2999　2009年5月

DOI： 10.1016/j.jcrysgro.2009.01.133 　

ISSN：0022-0248

Tunable optical filters with nanostructured suspended gratings 査読有り

Jia-Sheng Ye, Takashi Kobayashi, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　27　(3)　1035-1038　2009年5月

DOI： 10.1116/1.3114465 　

ISSN：1071-1023

Development of an integral optics system for a slim optical mouse in a slim portable electric device 査読有り

Do-Kyun Woo, Kazuhiro Hane, Seong-Cheon Cho, Sun-Kyu Lee

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　27　(3)　1422-1427　2009年5月

DOI： 10.1116/1.3046151 　

ISSN：1071-1023

Submicrometer Comb-Drive Actuators Fabricated on Thin Single Crystalline Silicon Layer 査読有り

Kazunori Takahashi, Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS　56　(4)　991-995　2009年4月

DOI： 10.1109/TIE.2008.2006934 　

ISSN：0278-0046

Characteristics and Improved Design of Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device 査読有り

Takuro Aonuma, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　48　(4)　04C191-1-04C191-6　2009年4月

DOI： 10.1143/JJAP.48.04C191 　

ISSN：0021-4922

Improved first Rayleigh-Sommerfeld method applied to metallic cylindrical focusing micro mirrors 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yan Zhang, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　17　(9)　7348-7360　2009年4月

DOI： 10.1364/OE.17.007348 　

ISSN：1094-4087

Pitch-variable blazed grating consisting of freestanding silicon beams 査読有り

Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　17　(6)　4419-4426　2009年3月

DOI： 10.1364/OE.17.004419 　

ISSN：1094-4087

Fabrication and characterization of nanoscale resonant gratings on thin silicon membrane 査読有り

Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Jiasheng Ye, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　17　(7)　4938-4943　2009年3月

DOI： 10.1364/OE.17.004938 　

ISSN：1094-4087

Design and fabrication of freestanding pitch-variable blazed gratings on a silicon-on-insulator wafer 査読有り

Yongjin Wang, Yoshiaki Kanamori, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　19　(2)　025019-1-025019-7　2009年2月

DOI： 10.1088/0960-1317/19/2/025019 　

ISSN：0960-1317

Development of an integral optics system for a slim optical mouse in a slim portable electric device 査読有り

Do-Kyun Woo, Kazuhiro Hane, Seong-Cheon Cho, Sun-Kyu Lee

Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics　27　(3)　1422-1427　2009年

DOI： 10.1116/1.3046151 　

ISSN：2166-2754 2166-2746

Wireless driving of micromirror using electromagnetic induction 査読有り

Minoru Sasaki, Narimune Ohnishi, Shinya Kumagai, Kazuhiro Hane

2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPTMEMS 2009　11-12　2009年

DOI： 10.1109/OMEMS.2009.5338629 　

Air friction loss of comb drive resonant micro mirrors for laser scanning display 査読有り

Chu Hoang Manh, Kazuhiro Hane

2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPTMEMS 2009　125-126　2009年

DOI： 10.1109/OMEMS.2009.5338561 　

GaN-LED grown on SI substrate by MBE/MOCVD and monolithic fabrication of a light distribution variable device 査読有り

M. Wakui, R. Ito, H. Sameshima, F. R. Hu, K. Hane

TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1349-1352　2009年

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285851 　

Connection characteristics of silicon nanowire waveguides and fabrication of physical contact switches

E. Bulgan, Y. Kanamori, K. Hane

TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　505-508　2009年

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285372 　

Pitch-variable MEMS grating with 4-level blazed surface

Y. Wang, Y. Kanamori, K. Hane

TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1345-1348　2009年

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285850 　

MBE fabrication of GaN-based light emitting diode on MOCVD grown GaN-on-Si template and application for optical MEMS 査読有り

Masashi Wakui, Ryousuke Ito, Fang-Ren Hu, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　129　(3)　77-80　2009年

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.77 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

Fabrication of subwavelength gratings on silicon micro lenses for MEMS scanners at optical communication wavelengths 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Mao Miura, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　129　(4)　120-124　2009年

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.120 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

Stress control of silicon membrane for optical scanner with deformable mirror 査読有り

Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　129　(5)　138-141　2009年

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.138 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

精密プレス成形による導光板端面への光回折格子の製作 査読有り

金森義明, 菱沼知佳, 羽根一博

日本機械学論文集（Ｃ編）　75　(759)　2853-2858　2009年

DOI： 10.1299/kikaic.75.2853 　

ISSN：0387-5024

High order diffraction grating using v-shaped groove with refractive and reflective surfaces 査読有り

Do-Kyun Woo, Kazuhiro Hane, Sun-Kyu Lee

OPTICS EXPRESS　16　(25)　21004-21011　2008年12月

DOI： 10.1364/OE.16.021004 　

ISSN：1094-4087

Surface transformation of silicon nanostructures using a developed hydrogen annealing machine and its application to silicon subwavelength gratings

S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　234-235　2008年10月27日

Silicon substrates with antireflection subwavelength gratings for optical communication devices fabricated with nano-particle masks

S. Haida, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　236-237　2008年10月27日

Fabrication of variable drop filters with resonant cavities in photonic crystals using thin comb-drive actuators

Y. Kanamori, K. Takahashi, K. Hane

Digest of Papers: 2008 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)　520-521　2008年10月27日

A wavelength-selective add-drop switch using silicon microring resonator with a submicron-comb electrostatic actuator 査読有り

Kazunori Takahashi, Yoshiaki Kanamori, Yasuo Kokubun, Kazuhiro Hane

OPTICS EXPRESS　16　(19)　14421-14428　2008年9月

DOI： 10.1364/OE.16.014421 　

ISSN：1094-4087

Photolithography for three-dimensional wiring and MEMS devices (2) patterning 査読有り

Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Journal of Japan Institute of Electronics Packaging　11　(4)　307-310　2008年7月

DOI： 10.5104/jiep.11.307 　

ISSN：1343-9677

Resonant-wavelength tuning of a pitch-variable 1-D photonic crystal filter at telecom frequencies 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Naoki Matsuyama, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　20　(13-16)　1136-1138　2008年7月

DOI： 10.1109/LPT.2008.924655 　

ISSN：1041-1135

Fabrication of analog- and digital-modulated pitch-variable gratings using silicon-on-insulator substrates 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kobayashi, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　47　(6)　5274-5277　2008年6月

DOI： 10.1143/JJAP.47.5274 　

ISSN：0021-4922

Design of retrodiffraction gratings for polarization-insensitive and polarization-sensitive characteristics by using the Taguchi method 査読有り

ChaBum Lee, Kazuhiro Hane, WanSoo Kim, Sun-Kyu Lee

APPLIED OPTICS　47　(18)　3246-3253　2008年6月

DOI： 10.1364/AO.47.003246 　

ISSN：1559-128X

eISSN：2155-3165

Photolithography for three-dimensional wiring and MEMS devices (1) spray coating of resist film 査読有り

Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Seiji Aoyagi

Journal of Japan Institute of Electronics Packaging　11　(3)　239-241　2008年5月

DOI： 10.5104/jiep.11.239 　

ISSN：1343-9677

Development of a compact vacuum- and hydrogen-annealing machine for surface transformation of silicon and its applications to micro-optical devices 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Kenichi Douzono, Shinya Fujihira, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A　26　(3)　365-369　2008年5月

DOI： 10.1116/1.2897317 　

ISSN：0734-2101

High-sensitivity mid-ultraviolet Pt/Mg0.59Zn0.41O schottky photodiode on a ZnO single crystal substrate 査読有り

Haruyuki Endo, Michiko Kikuchi, Masahumi Ashioi, Yasuhiro Kashiwaba, Kazuhiro Hane, Yasube Kashiwaba

APPLIED PHYSICS EXPRESS　1　(5)　051201-1-051201-3　2008年5月

DOI： 10.1143/APEX.1.051201 　

ISSN：1882-0778

eISSN：1882-0786

Silicon suspended resonant grating filters fabricated from a silicon-on-insulator wafer 査読有り

Jia-Sheng Ye, Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　20　(9-12)　851-853　2008年5月

DOI： 10.1109/LPT.2008.921840 　

ISSN：1041-1135

Fabrication of a multi-level lens using independent-exposure lithography and FAB plasma etching 査読有り

Do Kyun Woo, Kazuhiro Hane, Sun-Kyu Lee

JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　10　(4)　2008年4月

DOI： 10.1088/1464-4258/10/4/044001 　

ISSN：1464-4258

An optically flat micromirror using a stretched membrane with crystallization-induced stress 査読有り

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　10　(4)　2008年4月

DOI： 10.1088/1464-4258/10/4/044004 　

ISSN：1464-4258

The optimization of sawtooth gratings using RCWA and its fabrication on a slanted silicon substrate by fast atom beam etching 査読有り

ChaBum Lee, Kazuhiro Hane, SunKyu Lee

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　18　(4)　045014-1-045014-8　2008年4月

DOI： 10.1088/0960-1317/18/4/045014 　

ISSN：0960-1317

Large-displacement Micro-XY-stage with paired moving plates 査読有り

Minoru Sasaki, Fuminori Bono, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　47　(4)　3226-3231　2008年4月

DOI： 10.1143/JJAP.47.3226 　

ISSN：0021-4922

MEMS structures for assisting assembly 査読有り

Minora Sasaki, Kazuhiro Hane

Journal of Japan Institute of Electronics Packaging　11　(2)　164-167　2008年3月

DOI： 10.5104/jiep.11.164 　

ISSN：1343-9677

Submicron silicon waveguide optical switch driven by microelectromechanical actuator 査読有り

Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　92　(10)　101110-1-101110-3　2008年3月

DOI： 10.1063/1.2892677 　

ISSN：0003-6951

1-1 導波モード共鳴格子フィルタを用いた画像分光(第1部門 センシング&コンシューマエレクトロニクス&ストレージ)

佐藤 博啓, 川上 徹, 片桐 麦, 内田 龍男, 金森 義明, 羽根 一博

映像情報メディア学会冬季大会講演予稿集　2008　_1-1-1_　2008年

DOI： 10.11485/itewac.2008.0__1-1-1_ 　

ISSN：1343-4357

Trials for matching the fabrication of MEMS devices and assembly 査読有り

Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Journal of Japan Institute of Electronics Packaging　11　(1)　100-103　2008年1月

DOI： 10.5104/jiep.11.100 　

ISSN：1343-9677

GaN-Si-MEMS structure fabricated from nano-column GaN quantum well crystal grown on Si substrate 査読有り

F. R. Hu, R. Ito, Y. Zhao, K. Hane

Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics　5　(6)　1941-1943　2008年

DOI： 10.1002/pssc.200778497 　

ISSN：1862-6351 1610-1642

Nonlinear rotational spring with tension for stabilizing electrostatically driven micromirror 査読有り

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai, Kazuhiro Hane

2008 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2008　225-230　2008年

DOI： 10.1109/MHS.2008.4752454 　

Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si 査読有り

Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　120-+　2008年

Optical scanner with deformable mirror fabricated from SOI wafer 査読有り

Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane

2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　96-97　2008年

Formation of a nitrified hafnium oxide buffer layer on silicon substrate and GaN quantum well crystal growth for GaN-Si hybrid optical MEMS 査読有り

H. Sameshima, M. Wakui, R. Ito, F. R. Hu, K. Hane

2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　188-189　2008年

Silicon microring resonator connected with submicorn comb actuator 査読有り

K. Takahashi, Y. Kanamori, K. Hane

2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　23-24　2008年

Silicon self-suspended resonant grating filters at telecommunication wavelength

Jia-Sheng Ye, Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

2008 Conference on Quantum Electronics and Laser Science Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO/QELS　2008年

DOI： 10.1109/CLEO.2008.4551736 　

A Varifocal Micromirror with Pure Parabolic Surface using Bending Moment Drive 査読有り

Ryohei Hokari, Kazuhiro Hane

2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　92-93　2008年

DOI： 10.1109/OMEMS.2008.4607844 　

A 100 nm thick InGaN/GaN multiple quantum-well column-crystallized thin film deposited on Si(111) substrate and its micromachining 査読有り

F. R. Hu, Y. Kanamori, K. Ochi, Y. Zhao, M. Wakui, K. Hane

NANOTECHNOLOGY　19　(3)　035305-1-035305-6　2008年1月

DOI： 10.1088/0957-4484/19/03/035305 　

ISSN：0957-4484

Theoretical analysis of mechanical-contact-based submicron-Si-waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths 査読有り

Erdal Bulgan, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　128　(3)　80-84　2008年

DOI： 10.1541/ieejsmas.128.80 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

Development of MEMS capacitive sensor using a MOSFET structure 査読有り

Hayato Izumi, Yohei Matsumoto, Seiji Aoyagi, Yusaku Harada, Shoso Shingubara, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Hiroshi Tokunaga

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　128　(3)　102-107　2008年

DOI： 10.1541/ieejsmas.128.102 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

GaN-Si-MEMS structure fabricated from nano-column GaN quantum well crystal grown on Si substrate 査読有り

F. R. Hu, R. Ito, Y. Zhao, K. Hane

PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 5, NO 6　5　(6)　1941-1943　2008年

DOI： 10.1002/pssc.200778497 　

ISSN：1610-1634

Fabrication and characteristics of a Pt/MgxZn1-xO Schottky photodiode on a ZnO single crystal 査読有り

H. Endo, M. Sugibuchi, K. Takahashi, S. Goto, K. Hane, Y. Kashiwaba

PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 5, NO 9　5　(9)　3119-3121　2008年

DOI： 10.1002/pssc.200779179 　

ISSN：1862-6351

Parametric optimization of narrow bandstop optical filters using the self-suspended subwavelength grating for TE polarization 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MODERN OPTICS　55　(10)　1519-1528　2008年

DOI： 10.1080/09500340701721876 　

ISSN：0950-0340

Compact triangulation sensor realized by bending Si wafer with optical elements at metal hinges 査読有り

Minora Sasaki, Satoshi Endou, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　128　(6)　3-276　2008年

DOI： 10.1541/ieejsmas.128.271 　

ISSN：1341-8939 1347-5525

Subwavelength gratings combined with MEMS 招待有り

K. Hane, J.-S. Ye, Y. Kanamori

Proceedings of The 14th International Display Workshops　2　1383-1385　2007年12月6日

A micro-displacement encoder using a thin-film resonant photodetector with directional sensitivity 査読有り

Bong-Seok Choi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　9　(11)　1087-1094　2007年11月

DOI： 10.1088/1464-4258/9/11/020 　

ISSN：1464-4258

Micromachined surface emitting dye laser with a self-suspended guided mode resonant grating 査読有り

Naoki Matsuyama, Yoshiaki Kanamori, Jia-Sheng Ye, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　9　(10)　940-944　2007年10月

DOI： 10.1088/1464-4258/9/10/026 　

ISSN：1464-4258

Angled exposure method for pattering on three-dimensional structures 査読有り

Vijay Kumar Singh, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　46　(9B)　6449-6453　2007年9月

DOI： 10.1143/JJAP.46.6449 　

ISSN：0021-4922

Displacement sensor based on grating imaging with a cylindrical lens array and a phase grating 査読有り

Toru Oka, Yoichi Ohmura, Hajime Nakajima, Toshiro Nakashima, Wei Gao, Kazuhiro Hane, Satoshi Kiyono

OPTICAL ENGINEERING　46　(7)　073603-1-073603-8　2007年7月

DOI： 10.1117/1.2753185 　

ISSN：0091-3286

Phase sensitive photodiode based on guided resonant absorption 査読有り

Bong-Seok Choi, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　90　(24)　241114-1-241114-3　2007年6月

DOI： 10.1063/1.2749180 　

ISSN：0003-6951

Nanocolumn InGaN/GaN quantum-well crystals on flat anf pillared Si substrates with nitrified Ga as a buffer layer 査読有り

F.R. Hu, K. Ochi, Y. Zhao, K. Hane

Nanotechnology　18　275605-1-275605-6　2007年6月

Out-of-plane motion of 260-mn thick guided-mode resonant grating filter controlled by four micro-thermal actuators 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　13　(8-10)　867-872　2007年5月

DOI： 10.1007/s00542-006-0286-9 　

ISSN：0946-7076

Polymer microstructure generated by laser stereo-lithography and its transfer to silicon substrate using reactive ion etching 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Junya Sato, Takeshi Shimano, Shigeo Nakamura, Kazuhiro Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　13　(8-10)　1411-1416　2007年5月

DOI： 10.1007/s00542-007-0380-7 　

ISSN：0946-7076

Geometric characteristics of silicon cavities etched in EDP 査読有り

Hui Ju, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Masaru Hori

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　17　(5)　1012-1016　2007年5月

DOI： 10.1088/0960-1317/17/5/022 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Schottky ultraviolet photodiode using a ZnO hydrothermally grown single crystal substrate 査読有り

Haruyuki Endo, Mayo Sugibuchi, Kousuke Takahashi, Shunsuke Goto, Shigeaki Sugimura, Kazuhiro Hane, Yasube Kashiwaba

APPLIED PHYSICS LETTERS　90　(12)　121906-1-121906-3　2007年3月

DOI： 10.1063/1.2715100 　

ISSN：0003-6951

Fabrication of MOSFET Capacitive Sensor using Spray Coating Method 査読有り

S. Aoyagi, Y. Matsui, K. Makihira, H. Tokunaga, M. Sasaki, K. Hane

電気学会論文誌Ｅ　127　(3)　153-159　2007年3月

DOI： 10.1541/ieejsmas.127.153 　

ISSN：1341-8939

Performance of tense thin-film torsion bar for large rotation and low-voltage driving of micromirror 査読有り

Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane

IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS　13　(2)　290-296　2007年3月

DOI： 10.1109/JSTQE.2007.892078 　

ISSN：1077-260X

Fabrication and Characterization of a Schottky Barrier Diode-Type Ultraviolet Sensor using a ZnO Single Crystal 査読有り

Haruyuki Endo, Mayo Sugibuchi, Kohsuke Takahashi, Shunsuke Goto, Tatsuo Hasegawa, Eriko Ohshima, Kazuyuki Meguro, Kazuhiro Hane, Yasube Kashiwaba

電気学会論文誌E　127　(3)　131-135　2007年3月

DOI： 10.1541/ieejsmas.127.131 　

ISSN：1341-8939

Rigorous reflectance performance analysis of Si3N4 self-suspended subwavelength gratings 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

OPTICS COMMUNICATIONS　270　(2)　233-237　2007年2月

DOI： 10.1016/j.optcom.2006.09.028 　

ISSN：0030-4018

Design and Fabrication of a Thin-Film Silicon Photodetector with Angular Sensitivity for Optical Micro-Encoder

Choi Bongseok, Kanamori Yoshiaki, Hane Kazuhiro

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　127　(6)　309-313　2007年

DOI： 10.1541/ieejsmas.127.309 　

ISSN：1341-8939

Development of laser dresser for resin bonded diamond wheel 査読有り

Hiroshi Matsuura, Kazuhiro Hane, Yasuhiro Kunieda, Nobuhito Yoshihara, Jiwang Yan, Tsunemoto Kuriyagawa

Key Engineering Materials　329　169-174　2007年

DOI： 10.4028/0-87849-416-2.169 　

ISSN：1013-9826

Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sensor 査読有り

Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane

TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　2007年

Monolithic fabrication of GaN/Si structure for optical MEMS 査読有り

R. Ito, F. R. Hu, M. Wakui, K. Hane

IDW '07: PROCEEDINGS OF THE 14TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3　1375-1377　2007年

Optically flat micromirror designs using stretched membrane with crystallization-induced stress 査読有り

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

2007 IEEE LEOS ANNUAL MEETING CONFERENCE PROCEEDINGS, VOLS 1 AND 2　709-+　2007年

ISSN：1092-8081

Flower-structured InGaN/GaN quantum-well nanodisk crystals on micromachined Si pillars 査読有り

R. Ito, F. R. Hu, K. Ochi, Y. Zbao, K. Hane

2007 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　183-184　2007年

Passivated piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror 査読有り

Minoru Sasaki, Motoki Tabat, Kazuhiro Hane

2007 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　193-+　2007年

A displacement sensor based on directional resonant photodetector

B. S. Choi, Y. Kanamori, K. Hane

TRANSDUCERS and EUROSENSORS '07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　2　2357-2360　2007年

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300643 　

Mechanical-contact-based submicron-si-waveguide optical microswitch at telecommunication wavelengths

E. Bulgan, Y. Kanamori, K. Hane

2007 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OMENS　93-94　2007年

DOI： 10.1109/OMEMS.2007.4373856 　

Self-supported pitch-variable guided-mode resonant grating filters at telecom wavelengths

Y. Kanamori, N. Matsuyama, J. S. Ye, K. Hane

2007 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OMENS　99-100　2007年

DOI： 10.1109/OMEMS.2007.4373859 　

Fabrication of pitch-variable MEMS gratings using thermal and electrostatic actuators

Y. Kanamori, T. Kobayashi, K. Hane

Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2007; 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC　380-381　2007年

DOI： 10.1109/IMNC.2007.4456263 　

Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending device wafer 査読有り

Minoru Sasaki, Masahiro Ishimori, JongHyeong Song, Kazuhiro Hane

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS　E90C　(1)　147-148　2007年1月

DOI： 10.1093/ietele/e90-c.1.147 　

ISSN：0916-8524

eISSN：1745-1353

Micromirror with two parallel rotation axes for external cavity diode laser 査読有り

Masahiro Ishimori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS　E90C　(1)　72-77　2007年1月

DOI： 10.1093/ietele/e90-c.1.72 　

ISSN：0916-8524

eISSN：1745-1353

Control of guided resonance in a photonic crystal slab using microelectromechanical actuators 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　90　(3)　031911-1-3　2007年1月

DOI： 10.1063/1.2431452 　

ISSN：0003-6951

Photonic crystal waveguide switches with movable slabs 招待有り 査読有り

Kazuhiro Hane, Ken-ichi Umemori, Yoshiaki Kanamori

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS　E90C　(1)　51-58　2007年1月

DOI： 10.1093/ietele/e90-c.1.51 　

ISSN：0916-8524

eISSN：1745-1353

Narrow-band tunable optical filters using the self-suspended subwavelength grating 査読有り

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

JOURNAL OF MODERN OPTICS　54　(6)　827-832　2007年

DOI： 10.1080/09500340601066042 　

ISSN：0950-0340

InGaN/GaN quantum-well nanocolumn crystals on pillared Si substrate with InN as interlayer 査読有り

F. R. Hu, K. Ochi, Y. Zhao, K. Hane

PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 4 NO 7 2007　4　(7)　2338-+　2007年

DOI： 10.1002/pssc.200674734 　

ISSN：1862-6351

Fabrication of a multi-level lens using independent-exposure lithography and FAB plasma etching 査読有り

Do Kyun Woo, Kazuhiro Hane, Cha Bum Lee, Sun Kyu Lee

2007 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　10　(044001)　151-+　2007年

DOI： 10.1088/1464-4258/10/4/044001 　

Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress 査読有り

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

2007 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS　10　(044004)　27-+　2007年

DOI： 10.1088/1464-4258/10/4/044004 　

Tunable Optical Filters by Using the Self-Suspended Subwavelength Gratings

Jia-Sheng Ye, Yoshiaki Kanamori, Fang-Ren Hu, Kazuhiro Hane

Technical Digest of 5th International Conference of Optics-photonics Design & Fabrication (ODF'06, Nara)　57-58　2006年12月6日

Photonic structure and materials combined with micro/nano-electro-mechanical systems

Kazuhiro Hane, Fang-Ren Hu, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the 1st international workshop on functional materials - 3rd international workshop on nanophysics and nanotechnology conference　575-576　2006年12月6日

High-efficiency light-emitting column-crystallized InGaN/GaN quantum-well flower structure on micropillared Si substrate 査読有り

F. R. Hu, K. Ochi, Y. Zhao, K. Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　89　(17)　171903-1-171903-3　2006年10月

DOI： 10.1063/1.2365839 　

ISSN：0003-6951

Molecular beam epitaxial growth of GaN thin film on Si substrate with InN as interlayer 査読有り

F. R. Hu, K. Ochi, Y. Zhao, B. S. Choi, K. Hane

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH　294　(2)　197-201　2006年9月

DOI： 10.1016/j.jcrysgro.2006.07.009 　

ISSN：0022-0248

Self-supported subwavelength gratings with a broad band of high reflectance analysed by the rigorous coupled-wave method 査読有り

J-S. Ye, Y. Kanamori, F-R. Hu, K. Hane

JOURNAL OF MODERN OPTICS　53　(14)　1995-2004　2006年9月

DOI： 10.1080/09500340600761635 　

ISSN：0950-0340

Fabrication of transmission color filters using silicon subwavelength gratings on quartz substrates 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Masaya Shimono, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　18　(17-20)　2126-2128　2006年9月

DOI： 10.1109/LPT.2006.883208 　

ISSN：1041-1135

Growth of GaN quantum well film on Si substrate and its application to a GaN-Si hybrid lightning device

F .R .Hu, R. Ito, Y. Zhao, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　27-28　2006年8月21日

Movable Guided-Mode Resonant Grating Filters by Four Bimorph Actuators for Wavelength Selective Dynamic Reflection Control

Y. Kanamori, T. Kitani, K. Hane

Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　68-69　2006年8月21日

A photonic crystal waveguide switch with a movable bridge slab

K. Umemori, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2006)　72-73　2006年8月21日

Photonic crystal waveguide switch with a microelectromechanical actuator 査読有り

Ken-ichi Umemori, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　89　(2)　021102-1-3　2006年7月

DOI： 10.1063/1.2219996 　

ISSN：0003-6951

Large-rotation and low-voltage driving of micromirror realized by tense thin-film torsion bar 査読有り

Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　18　(13-16)　1573-1575　2006年7月

DOI： 10.1109/LPT.2006.879587 　

ISSN：1041-1135

Wavelength selective variable reflection filter driven by micro-thermal actuators

Yoshiaki Kanamori, Takashi Kitani, Kazuhiro Hane

Program and Extended Abstracts: 2006 Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006)　S15_03　2006年6月21日

Fabrication of micro-lenses using stereo-lithography and reactive ion etching

Junya Sato, Yoshiaki Kanamori, Takeshi Shimano, Shigeo Nakamura, Kazuhiro Hane

Program and Extended Abstracts: 2006 Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006)　S25_01　2006年6月21日

位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法 査読有り

佐々木実, 陳俊中エドウィン, 羽根一博

電気学会論文誌E　126　(6)　241-242　2006年6月

DOI： 10.1541/ieejsmas.126.241 　

Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror 査読有り

M Sasaki, M Tabata, T Haga, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　45　(4B)　3789-3793　2006年4月

DOI： 10.1143/JJAP.45.3789 　

ISSN：0021-4922

Variable optical reflectance of a self-supported Si grating 査読有り

K Hane, T Kobayashi, FR Hu, Y Kanamori

APPLIED PHYSICS LETTERS　88　(14)　141109-1-3　2006年4月

DOI： 10.1063/1.2193989 　

ISSN：0003-6951

分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ 査読有り

佐々木実, 坊野史典, 羽根一博

電気学会論文誌E　126　(4)　168-169　2006年4月

DOI： 10.1541/ieejsmas.126.168 　

Guided-mode resonant grating filter fabricated on silicon-on-insulator substrate 査読有り

Y Kanamori, T Kitani, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　45　(3A)　1883-1885　2006年3月

DOI： 10.1143/JJAP.45.1883 　

ISSN：0021-4922

Imaging with a rectangular phase grating applied to displacement metrology 査読有り

Y Ohmura, T Oka, T Nakashima, K Hane

APPLIED OPTICS　45　(8)　1713-1720　2006年3月

DOI： 10.1364/AO.45.001713 　

ISSN：1559-128X

eISSN：2155-3165

Micromirror with thin film torsion bar and vertical comb using tensile poly-si

Masayuki Fujishima, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference, 2006　108-109　2006年

DOI： 10.1109/omems.2006.1708288 　

Micromirror integrated with piezoresistive rotation angle sensor for measuring small signal

Motoki Tabata, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference, 2006　62-63　2006年

XY-stage for scanning media for optical data storage

Minoru Sasaki, Fuminori Bono, Kazuhiro Hane

IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference, 2006　36-37　2006年

DOI： 10.1109/omems.2006.1708252 　

W2 光MEMS開発の現状と材料力学的評価技術の必要性(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)

羽根 一博

材料力学部門講演会講演論文集　2006　495-496　2006年

DOI： 10.1299/jsmezairiki.2006.0_495 　

Tunable guided mode resonant gratings for passive and active devices: Si subwavelength MEMS structures and the combination with GaN film 査読有り

FR Hu, T Kobayashi, K Ochi, BS Choi, Y Zhao, Y Kanamori, K Hane

ICO20: MEM, MOEMS, AND NEMS　6032　2006年

DOI： 10.1117/12.667847 　

ISSN：0277-786X

Compact triangulation sensor realized by bending wafer with metal hinge - art. no. 618606 査読有り

Minoru Sasaki, Satoshi Endou, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane

MEMS, MOEMS, and Micromachining II　6186　18606-18606　2006年

DOI： 10.1117/12.662466 　

ISSN：0277-786X

A microtranslation table with scratch-drive actuators fabricated from silicon-on-insulator wafer 査読有り

Y Kanamori, H Yahagi, K Hane

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　125　(2)　451-457　2006年1月

DOI： 10.1016/j.sna.2005.06.017 　

ISSN：0924-4247

Design of a thin film photodetector with. angular sensitivity for optical micro-encoder 査読有り

Bongseok Choi, Yoshiald Kanamori, Kazuhiro Hane

2006 IEEE SENSORS, VOLS 1-3　127　(6)　279-+　2006年

DOI： 10.1541/ieejsmas.127.309 　

ISSN：1930-0395

Deposition of thin and uniform photoresist on three-dimensional structures using fast flow in spray coating 査読有り

VK Singh, M Sasaki, K Hane, Y Watanabe, H Takamatsu, M Kawakita, H Hayashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(12)　2339-2345　2005年12月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/12/016 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Micro/Nano Opt-Mechanical Systems Using Silicon Micromachining Technology

K. Hane, M. Sasaki, Y. Kanamori, F. R. Hu

Proceedings of Nanoengineering Symposium 2005　118-122　2005年10月26日

Surface laser emission from solid polymer dye in a guided mode resonant grating filter structure 査読有り

T Kobayashi, Y Kanamori, K Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　87　(15)　151106　2005年10月

DOI： 10.1063/1.2081116 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118

Modified photo-sensors for grating-image type micro-encoder 査読有り

Y Kanamori, R Kamata, M Mitamura, Y Ito, K Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　11　(8-10)　980-986　2005年8月

DOI： 10.1007/s00542-005-0503-y 　

ISSN：0946-7076

GaN film growth on Si substrate for monolithic optical MEMS

F.-R. Hu, K. Ochi, B.-S. Choi, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of ASME InterPACK'05　2005年7月17日

Subwavelength structure for anti-reflection in solar cell applications

H. Sai, K. Tsuji, K. Arafune, Y. Ohshita, Y. Kanamori, K. Hane, H. Yugami, M. Yamaguchi

Proceedings of 20th European Photovoltaic Solar Energy Conference　148-151　2005年6月6日

ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工 査読有り

熊崎裕教, 稲葉成基, 羽根一博, 那須祐治

電気学会論文誌E　125-E　(5)　211-215　2005年5月

DOI： 10.1541/ieejsmas.125.211 　

Technique for preparing defect-free spray coated resist film on three-dimensional micro-electromechanical systems 査読有り

VK Singh, M Sasaki, JH Song, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　44　(4A)　2016-2020　2005年4月

DOI： 10.1143/JJAP.44.2016 　

ISSN：0021-4922

Compact triangulation sensor array constructed by wafer bending 査読有り

S Endou, M Ishimori, M Sasaki, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　44　(4B)　2874-2878　2005年4月

DOI： 10.1143/JJAP.44.2874 　

ISSN：0021-4922

Studies of integrated variable optical devices fabricated by micro- and nano-machining

Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Proceedings: The 3rd International Symposium on Nanotechnology: JAPAN NANO 2005　82-83　2005年2月21日

Displacement metrology based on grating imaging with a cylindrical lens array and a phase grating 査読有り

Toru Oka, Yoichi Ohmura, Toshiro Nakashima, Wei Gao, Kazuhiro Hane, Satoshi Kiyono

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　5858　1-8　2005年

DOI： 10.1117/12.612088 　

ISSN：0277-786X

Photolithography on three-dimrnsional structures using spray coated negative and positive photoresists 査読有り

V. K. Singh, M. Sasaki, K. Hane, Y. Watanabe, M. Kawakita, H. Hayashi

Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS '05　2　1445-1448　2005年

DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1497354 　

Real-time spectroscopy of charge-transfer excitation in phthalocyanine tin dichloride 査読有り

M Hirasawa, Y Sakazaki, H Hane, T Kobayashi

ULTRAFAST PHENOMENA XIV　79　471-473　2005年

ISSN：0172-6218

Mirror with two parallel rotation axes for external cavity laser 査読有り

M Ishimori, M Sasaki, K Hane

IEEE/LEOS OPTICAL MEMS 2005: INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND THEIR APPLICATIONS　93-94　2005年

Amplitude spectra of molecular vibration modes in phthalocyanine: comparison with Raman excitation profile 査読有り

T Kobayashi, M Hirasawa, Y Sakazaki, H Hane

ULTRAFAST PHENOMENA XIV　79　371-373　2005年

ISSN：0172-6218

Large-rotation and low-voltage driving realized by micromirror with vertical comb and tense thin film torsion bar 査読有り

S Yuuki, M Sasaki, K Hane

Transducers '05, Digest of Technical Papers, Vols 1 and 2　1163-1166　2005年

GaN film growth on Si substrate for sub-wavelength optical MEMS

F. R. Hu, K. Ochi, B. S. Choi, Y. Kanamori, K. Hane

Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS '05　1　1043-1046　2005年

DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1496634 　

Resonance in a self-supported vacuum grating for tunable optical filters: Theoretical approach

Y. Kanamori, T. Kobayashi, K. Hane

Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest　2005　1289-1290　2005年

DOI： 10.1109/CLEOPR.2005.1569725 　

A Surface emitting solid polymer dye laser using a guided mode resonant grating for bio-optical detections

T. Kobayashi, Y. Kanamori, K. Hane

IEEE/LEOS Optical MEMS 2005: International Conference on Optical MEMS and Their Applications　101-102　2005年

DOI： 10.1109/OMEMS.2005.1540097 　

Fiber-optical switch using cam-micromotor driven by scratch drive actuators 査読有り

Y Kanamori, Y Aoki, M Sasaki, H Hosoya, A Wada, K Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　15　(1)　118-123　2005年1月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/1/018 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Micro-encoder using image obtained by ball lens assembled inside wafer 査読有り

M Sasaki, F Nakai, K Hane, K Yokomizo, K Hori

IEEE/LEOS Optical MEMs 2005: International Conference on Optical MEMs and Their Applications　8　125-126　2005年

DOI： 10.1088/1464-4258/8/7/S16 　

Vibrational amplitude profile of molecular vibrational modes for vibrational mode assignment 査読有り

T Kobayashi, M Hirasawa, Y Sakazaki, H Hane

CHEMICAL PHYSICS LETTERS　400　(4-6)　301-307　2004年12月

DOI： 10.1016/j.cplett.2004.10.125 　

ISSN：0009-2614

細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡 (AFM)システムの開発 査読有り

長山和亮, 佐々木実, 羽根一博, 松本健郎, 佐藤正明

日本機械学会論文集C編　70　736-742　2004年9月

DOI： 10.1299/kikaic.70.736 　

Pitch-variable Subwavelength Gratings Driven by Comb Actuators

T. Kobayashi, Y. Kanamori, K. Hane

Proceedings of IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2004)　198-199　2004年8月22日

Wavelength Selective Variable Reflection Filters Using Movable Guided Mode Resonance Gratings

Y. Kanamori, T. Kitani, K. Hane

Proceedings of IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2004)　204-205　2004年8月22日

Direct observation of vibrational dynamics in tin phthalocyanine 査読有り

M Hirasawa, Y Sakazaki, H Hane, T Kobayashi

CHEMICAL PHYSICS LETTERS　392　(4-6)　390-395　2004年7月

DOI： 10.1016/j.cplett.2004.03.154 　

ISSN：0009-2614

Thermophotovoltaic generation with microstructured tungsten selective emitters

Hitoshi Sai, Takahiro Kamikawa, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Hiroo Yugami, Masafumi Yamaguchi

AIP Conference Proceedings: Sixth Conference on Thermophotovoltaic Generation of Electricity (TPV6)　738　206-214　2004年6月14日

DOI： 10.1063/1.1841896 　

ISSN：0094-243x

A new method for fabrication nano-porous aluminum grating array 査読有り

Y Li, Y Kanamori, K Hane

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　10　(4)　272-274　2004年5月

DOI： 10.1007/s00542-003-0303-1 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Three-dimensional SOI-MEMS constructed by buckled bridges and vertical comb drive actuator 査読有り

M Sasaki, D Briand, W Noell, NF de Rooij, K Hane

IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS　10　(3)　455-461　2004年5月

DOI： 10.1109/JSTQE.2004.830616 　

ISSN：1077-260X

eISSN：1558-4542

Flow condition in resist spray coating and patterning performance for three-dimensional photolithography over deep structures 査読有り

VK Singh, M Sasaki, K Hane, M Esashi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　43　(4B)　2387-2391　2004年4月

DOI： 10.1143/JJAP.43.2387 　

ISSN：0021-4922

Resonant cavity thin film photodiode for compact displacement sensor 査読有り

M Sasaki, F Nakai, XY Mi, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　43　(4B)　2381-2386　2004年4月

DOI： 10.1143/JJAP.43.2381 　

ISSN：0021-4922

Micro-optical components based on silicon mold technology 査読有り

Yigui Li, Sasaki Minoru, Hane Kazuhiro

Optics and Lasers in Engineering　41　(3)　545-552　2004年3月

DOI： 10.1016/S0143-8166(03)00026-5 　

ISSN：0143-8166

Mitigation of accumulated electric charge by deposited fluorocarbon film during SiO2 etching 査読有り

Tadashi Shimmura, Yuya Suzuki, Sinnosuke Soda, Seiji Samukawa, Mitsumasa Koyanagi, Kazuhiro Hane

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films　22　(2)　433-436　2004年3月

DOI： 10.1116/1.1649347 　

ISSN：0734-2101

Effects of fluorocarbon gas species on electrical conductivity and chemical structure of deposited polymer in SiO2 etchings processes 査読有り

Tadashi Shimmura, Shinnosuke Soda, Mitsumasa Koyanagi, Kazuhiro Hane, Seiji Samukawa

Journal of Vacuum Science and Technology B　22　(2)　533-538　2004年3月

DOI： 10.1116/1.1651115 　

光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)

羽根 一博, 佐々木 実, 金森 義明

年次大会講演資料集　2004　466-467　2004年

DOI： 10.1299/jsmemecjsm.2004.8.0_466 　

Compact triangulation distance sensor realized by wafer bending technique 査読有り

M Sasaki, S Endou, K Hane

MEMS, MOEMS, AND MICROMACHINING　5455　19-26　2004年

DOI： 10.1117/12.545267 　

ISSN：0277-786X

Subwavelength Gratings and Optical MEMS

K. Hane, Y. Kanamori

Proceedings of The Second Japan-Taiwan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering　85-91　2003年10月17日

Control of thermal radiation spectrum by means of surface nano-scale gratings

Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane, Hiroo Yugami

Proceedings of The Second Japan-Taiwan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering　104-111　2003年10月17日

光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術

羽根 一博, 佐々木 実, 金森 義明

表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan　54　(10)　640-643　2003年10月1日

DOI： 10.4139/sfj.54.640 　

ISSN：0915-1869

Solar selective absorbers based on two-dimensional W surface gratings with submicron periods for high-temperature photothermal conversion 査読有り

Hitoshi Sai, Hiroo Yugami, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Solar Energy Materials and Solar Cells　79　(1)　35-49　2003年8月1日

DOI： 10.1016/S0927-0248(02)00364-1 　

ISSN：0927-0248

Development of grating-image type micro-encoder by Si Micromachining: improvement of integration and zero-point detection

Y. Kanamori, R. Kamata, M. Mitamura, Y. Ito, K. Hane

Proceedings of the 2003 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment　(03-208)　257-258　2003年6月16日

Nano/micro-technologies for high density data-storage and optical applications

Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki, Yoshiaki Kanamori

Proceedings of the 2003 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment　(03-208)　W-24-W-28　2003年6月16日

Fabrication of high-accuracy microtranslation table for near-field optical data storage actuated by inverted scratch-drive actuators 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Hiroto Yahagi, Takahito Ono, Minoru Sasaki, Kazuhito Hane

Japanease Journal of Applied Physics　42　(6 B)　4074-4078　2003年6月

DOI： 10.1143/jjap.42.4074 　

ISSN：0021-4922

Si-wafer bending technique for a three-dimensional microoptical bench 査読有り

M Ishimori, J Song, M Sasaki, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　42　(6B)　4063-4066　2003年6月

DOI： 10.1143/JJAP.42.4063 　

ISSN：0021-4922

Heating effect on photoresist in spray coating technique for three-dimensional lithography 査読有り

VK Singh, M Sasaki, JH Song, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　42　(6B)　4027-4030　2003年6月

DOI： 10.1143/JJAP.42.4027 　

ISSN：0021-4922

Subwavelength antireflection gratings for GaSb in visible and near-infrared wavelengths 査読有り

Y Kanamori, K Kobayashi, H Yugami, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　42　(6B)　4020-4023　2003年6月

DOI： 10.1143/JJAP.42.4020 　

ISSN：0021-4922

Optical MEMS technology for high-density optical storage

K. Hane, M. Sasaki, Y. Kanamori

Proceedings of OSA Optical Data Storage　256-258　2003年5月11日

Precision optical displacement sensor based on ultra-thin film photodiode type optical interferometers 査読有り

YG Li, XY Mi, M Sasaki, K Hane

MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY　14　(4)　479-483　2003年4月

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501

MEMS device for controlling evanescent field on side-polished optical fiber 査読有り

JH Song, Y Taguchi, M Sasaki, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　42　(4B)　2335-2338　2003年4月

DOI： 10.1143/JJAP.42.2335 　

ISSN：0021-4922

Optical scanner on a three-dimensional microoptical bench 査読有り

M Sasaki, T Yamaguchi, JH Song, K Hane, M Hara, K Hori

JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY　21　(3)　602-608　2003年3月

DOI： 10.1109/JLT.2003.811793 　

ISSN：0733-8724

近接場科学のエンジニアリングへの展開を期待して(<特集>近接場科学の工学応用をめざして)

羽根 一博

精密工学会誌　69　(2)　151-153　2003年2月5日

DOI： 10.2493/jjspe.69.151 　

ISSN：0912-0289

Technique for preparing defect-free spray coated resist film 査読有り

V. Kumar Singh, M. Sasaki, Jong Hyeong Song, K. Hane

TRANSDUCERS 2003 - 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Digest of Technical Papers　1　817-820　2003年

DOI： 10.1109/SENSOR.2003.1215599 　

Optical scanner prepared by wafer bending technique 査読有り

M Ishimori, JH Song, M Sasaki, K Hane

2003 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS　159-160　2003年

Silicon optical MEMS: Three dimentional micromachining and integration 査読有り

K Hane, M Sasaki, Y Kanamori

MAGNETIC MATERIALS, PROCESSES, AND DEVICES VII AND ELECTRODEPOSITION OF ALLOYS, PROCEEDINGS　2002　(27)　229-237　2003年

Complementary masking approach for proximity electron lithography 査読有り

S Omori, K Iwase, K Amai, T Sasaki, H Hane, K Koike, S Nohama, Ashida, I, T Kitagawa, S Moriya

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　21　(1)　57-60　2003年1月

ISSN：1071-1023

Mitigation of Accumulated Electric Charge by Deposited Fluorocarbon Film during SiO2 Etching 査読有り

Yuya Suzuki, Tadashi Shimmura, Mitsumasa Koyanagi, Kazuhiro Hane, Seiji Samukawa

International Symposium on Dry Prosess　265-270　2003年

In-Situ On-Wafer Monitoring for Charge Build-up Voltage during Plasma Process 査読有り

Tadashi Shimmura, Shinnosuke Soda, Mitsumasa Koyanagi, Kazuhiro Hane, Seiji Samukawa

American Vacuum Society 50th International Symposium　2003年

Optical components and actuators for integrated near-field optical data storage

K. Hane, Y. Kanamori, M. Sasaki, J. H. Song

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　5116　197-204　2003年

DOI： 10.1117/12.498885 　

ISSN：0277-786X

Photonic crystal switch by inserting nano-crystal defects using MEMS actuator

Y. Kanamori, K. Inoue, K. Horie, K. Hane

2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS　107-108　2003年

DOI： 10.1109/OMEMS.2003.1233489 　

Driving of optical fiber by surface-micromachined cam-micromotor for the applications to variable optical attenuator

Y. Kanamori, Y. Aoki, M. Sasaki, H. Hosoya, A. Wada, K. Hane

2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS　119-120　2003年

DOI： 10.1109/OMEMS.2003.1233495 　

Anisotropic Si etching condition for preparing optically smooth surfaces 査読有り

M Sasaki, T Fujii, K Hane

SENSORS AND MATERIALS　15　(2)　83-92　2003年

ISSN：0914-4935

Bach fabrication of microlens at the end of optical fiber using self-photolithgraphy and etching techniques 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Yoichi Haga, Kazumi Inoue, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Masayoshi Esashi

Optical Review　10　(3)　150-154　2003年

DOI： 10.1007/s10043-003-0150-4 　

ISSN：1340-6000

SPECTRALLY SELECTIVE THREMAL RADIATORS AND ABSORBERS WITH PERIODIC MICROSTRUCTUREED SURFACE FOR HIGH-TEMPERATURE APPLICATIONS 査読有り

Hitoshi Sai, Hiroo Yugami, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Microscale Thermophysical Engineering　7　101-115　2003年1月

Pitch-variable transmission-type bulk gratings driven by shape memory alloy actuator 査読有り

Yigui Li, Shuhai Jia, Hongkun Wang, Di Chen, Kazuhiro Hane

Optics and Laser Technology　34　(8)　649-653　2002年11月

DOI： 10.1016/S0030-3992(02)00089-0 　

ISSN：0030-3992

Electrical conductivity of sidewall-deposited fluorocarbon polymer in SiO2 etching processes 査読有り

T. Shimmura, S. Soda, S. Samukawa, M. Koyanagi, K. Hane

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures　20　(6)　2346-2350　2002年11月

DOI： 10.1116/1.1520551 　

ISSN：0734-211X

Subwavelength antireflection structure for optical detector fabricated by fast atom beam etching

Yoshiaki Kanamori, Masahiro Ishimori, Kazuhiro Hane

Proceedings of SPIE -MEMS/MOEMS Technologies and Applications　4928　27-34　2002年10月17日

Micro-translation-table for near-field data storage using inverted-scratch-drive-actuators

Yoshiaki Kanamori, Hiroto Yahagi, Minoru Sasaki, Takahito Ono, Kazuhiro Hane

Proceedings of SPIE -MEMS/MOEMS Technologies and Applications　4928　35-42　2002年10月17日

A broadband antireflection for GaSb by means of subwavelength grating (SWG) structures

Hiroo Yugami, Ken-ichi Kobayashi, Hitoshi Sai, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

AIP Conference Proceedings: Fifth Conference on Thermophotovoltaic Generation of Electricity　653　482-487　2002年9月16日

High efficient light-emitting diodes with antireflection subwavelength gratings 査読有り

Y Kanamori, M Ishimori, K Hane

IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS　14　(8)　1064-1066　2002年8月

DOI： 10.1109/LPT.2002.1021970 　

ISSN：1041-1135

Tunable wavelength filter through bending control of asymmetric single-mode grating fiber 査読有り

H Kumazaki, K Nakashima, S Inaba, K Hane

OPTICS EXPRESS　10　(11)　469-474　2002年6月

DOI： 10.1364/OE.10.000469 　

ISSN：1094-4087

Direct photolithography on optical fiber end 査読有り

M Sasaki, T Ando, S Nogawa, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　41　(6B)　4350-4355　2002年6月

DOI： 10.1143/JJAP.41.4350 　

ISSN：0021-4922

Subwavelength antireflection gratings for light emitting diodes and photodiodes fabricated by fast atom beam etching 査読有り

M Ishimori, Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　41　(6B)　4346-4349　2002年6月

DOI： 10.1143/JJAP.41.4346 　

ISSN：0021-4922

Tunable fiber Bragg grating combined with microactuator 査読有り

M Sasaki, K Miura, K Hane, K Minami

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　41　(6B)　4356-4361　2002年6月

DOI： 10.1143/JJAP.41.4356 　

ISSN：0021-4922

Spectrally selective radiators and absorbers with periodic microstructured surface for high temperature applications

Hitoshi Sai, Hiroo Yugami, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Abstracts: International Symposium on Micro/Nanoscale Energy Conversion and Transport　55-57　2002年4月14日

Integration of grating-image-type encoder using Si micromachining 査読有り

K. Hane, T. Endo, M. Ishimori, Y. Ito, M. Sasaki

Sensors and Actuators, A: Physical　97-98　139-146　2002年4月1日

DOI： 10.1016/S0924-4247(01)00800-7 　

ISSN：0924-4247

立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング 査読有り

佐々木実, 能川真一郎, 羽根一博

電気学会論文誌E　121-E　235-243　2002年3月

Si wafer bending technology for a three dimensional micro optical bench 査読有り

M. Ishimori, J. H. Song, M. Sasaki, K. Hane

2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　328-329　2002年

DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178676 　

Spray coated photoresist over anisotropically etched deep Si cavities 査読有り

V. K. Singh, M. Sasaki, Jong Hyeong Song, K. Hane

2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　188-189　2002年

DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178607 　

Thin film photodiode with resonant cavity for increasing signal of standing wave detection type interferometer 査読有り

M Sasaki, F Nakai, Mi, X, K Hane

2002 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS, CONFERENCE DIGEST　25-26　2002年

On-Wafer Monitoring for Conductivity of Sidewall in SiO2 Contact Holes 査読有り

Tadashi Shimmura, Shinnosuke Soda, Mitsumasa Koyanagi, Kazuhiro Hane, Seiji Samukawa

2nd International Symposium on Dry Process　2002年

Electrical conductivity of sidewall deposited fluorocarbon in SiO2 contact holes 査読有り

T.Shimmura, S.Soda, S.Samukawa, M.Koyanagi, K.Hane

American Vacuum Society 49th International Symposium　2002年

Broadband antireflection subwavelength gratings for polymethyl methacrylate fabricated with molding technique 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Optical Review　9　(5)　183-185　2002年

DOI： 10.1007/s10043-002-0183-0 　

ISSN：1340-6000

Fabrication of high accuracy micro-translation-table for near-field optical data storage actuated by inverted-scratch-drive-actuators 査読有り

Y. Kanamori, H. Yahagi, T. Ono, M. Sasaki, K. Hane

2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002　42　306-307　2002年

DOI： 10.1109/IMNC.2002.1178665 　

Basic studies of fiber-optic MEMS for telecommunication using three dimensional micromachining 招待有り 査読有り

K Hane, M Sasaki, JH Song, Y Taguchi, K Miura

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS　E84C　(12)　1785-1791　2001年12月

ISSN：0916-8524

eISSN：1745-1353

Tunable wavelength filter using a Bragg grating fiber thinned by plasma etching 査読有り

Hironori Kumazaki, Yoshihisa Yamada, Hidetoshi Nakamura, Seiki Inaba, Kazuhiro Hane

IEEE Photonics Technology Letters　13　(11)　1206-1208　2001年11月

DOI： 10.1109/68.959365 　

ISSN：1041-1135

Spectral control of thermal emission by periodic microstructured surfaces in the near-infrared region 査読有り

H Sai, H Yugami, Y Akiyama, Y Kanamori, K Hane

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION　18　(7)　1471-1476　2001年7月

ISSN：0740-3232

Chlorine molecular ions measured in time-modulated inductively coupled plasma by the laser-induced fluorescence technique 査読有り

S. Kumagai, M. Sasaki, M. Koyanagi, K. Hane

Plasma Sources Science and Technology　10　(2)　205-210　2001年5月

DOI： 10.1088/0963-0252/10/2/310 　

ISSN：0963-0252

A compact optical encoder with micromachined photodetector 査読有り

K. Hane, T. Endo, Y. Ito, M. Sasaki

Journal of Optics A: Pure and Applied Optics　3　(3)　191-195　2001年5月

DOI： 10.1088/1464-4258/3/3/307 　

ISSN：1464-4258

Fabrication and testing of solid polymer dye microcavity lasers based on PMMA micromolding 査読有り

Yigui Li, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Journal of Micromechanics and Microengineering　11　(3)　234-238　2001年5月

DOI： 10.1088/0960-1317/11/3/312 　

ISSN：0960-1317

Interferometer based on standing wave detection using thin film photodetectors 査読有り

Xiaoyu Mi, Minoru Sasaki, Takayuki Hirano, Kazuhiro Hane

電気学会論文誌E　121-E　(9)　489-495　2001年5月

DOI： 10.1541/ieejsmas.121.489 　

ISSN：1341-8939

変調型フォトダイオ-ドアレイを用いた絶対位置検出光エンコ-ダ 査読有り

家城淳, 羽根一博, 横山将史, 松井圭司, 梨木政行, 佐々木実

日本機械学会論文誌C　67　(654)　364-369　2001年2月

DOI： 10.1299/kikaic.67.364 　

Tunable fiber Bragg grating combined with twisting microactuator 査読有り

M. Sasaki, K. Miura, K. Hane

2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2001　58-59　2001年

DOI： 10.1109/IMNC.2001.984067 　

Spectral control of thermal emission by periodic microstructured surfaces in the near-infrared region 査読有り

Hitoshi Sai, Hiroo Yugami, Yasuhiro Akiyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision　18　(7)　1471-1476　2001年

DOI： 10.1364/JOSAA.18.001471 　

ISSN：1520-8532 1084-7529

Sub-wavelength stucture for anti-reflection fabricated by fast atom beam etching 査読有り

K Hane, Y Kanamori

CLEO(R)/PACIFIC RIM 2001, VOL I, TECHNICAL DIGEST　186-187　2001年

Si-micromachining for optics: optical components and sensors 査読有り

K Hane, M Sasaki, JH Song

DEVICE AND PROCESS TECHNOLOGIES FOR MEMS AND MICROELECTRONICS II　4592　283-291　2001年

ISSN：0277-786X

Anisotropic Si etching technique for optically smooth surfaces 査読有り

M Sasaki, T Fujii, Y Li, K Hane

TRANSDUCERS '01: EUROSENSORS XV, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　604-607　2001年

Si micromachined optical encoder based on grating imaging 査読有り

K Hane, T Endo, Y Ito, M Sasaki

TRANSDUCERS '01: EUROSENSORS XV, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　552-555　2001年

Transmission-type optical sensors fabricated by Si micromachining 査読有り

K Hane, M Sasaki

TRANSDUCERS '01: EUROSENSORS XV, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　524-527　2001年

Subwavelength antireflection gratings for light emitting diodes and photodiodes fabricated by fast atom beam etching

M. Ishimori, Y. Kanamori, M. Sasaki, K. Hane

2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2001　198-199　2001年

DOI： 10.1109/IMNC.2001.984158 　

100 nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask 査読有り

Y Kanamori, K Hane, H Sai, H Yugami

APPLIED PHYSICS LETTERS　78　(2)　142-143　2001年1月

DOI： 10.1063/1.1339845 　

ISSN：0003-6951

Ultra-thin film photodiodes for use in position sensors 査読有り

XY Mi, M Sasaki, K Hane

JOURNAL OF MODERN OPTICS　48　(1)　55-66　2001年1月

DOI： 10.1080/09500340150202775 　

ISSN：0950-0340

Fabrication of grating couplers using submicron silicon mold 査読有り

Yigui Li, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　121　(6)　320-324　2001年

DOI： 10.1541/ieejsmas.121.320 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Dominance of Cl-2(+) or Cl+ ions in time-modulated inductively coupled Cl-2 plasma investigated with laser-induced fluorescence technique and probe measurements 査読有り

S Kumagai, M Sasaki, M Koyanagi, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　39　(12B)　6980-6984　2000年12月

DOI： 10.1143/JJAP.39.6980 　

ISSN：0021-4922

Anisotropically etched Si mold for solid polymer dye microcavity laser 査読有り

H Sasaki, YG Li, Y Akatu, T Fujii, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　39　(12B)　7145-7149　2000年12月

DOI： 10.1143/JJAP.39.7145 　

ISSN：0021-4922

Cantilever probe integrated with light-emitting diode, waveguide, aperture, and photodiode for scanning near-field optical microscope 査読有り

M Sasaki, K Tanaka, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　39　(12B)　7150-7153　2000年12月

DOI： 10.1143/JJAP.39.7150 　

ISSN：0021-4922

Micromachining of optical fiber using reactive ion etching and its application 査読有り

H Kumazaki, Y Yamada, T Oshima, S Inaba, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　39　(12B)　7142-7144　2000年12月

DOI： 10.1143/JJAP.39.7142 　

ISSN：0021-4922

A Simple Si Pitch-variable Grating With Shape Memory Alloy Actuator 査読有り

Yigui Li, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

電気学会論文誌　120-E　(11)　503-508　2000年11月

DOI： 10.1541/ieejsmas.120.503 　

ISSN：1341-8939

Short-range displacement detection from speckle interference using transparent thin-film photodiode 査読有り

M Sasaki, T Hirano, Mi, X, K Hane

JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS　2　(6)　534-537　2000年11月

DOI： 10.1088/1464-4258/2/6/306 　

ISSN：1464-4258

反応性イオンエッチングによる光ファイバの微細加工

熊崎 裕教, 山田 佳寿, 稲葉 成基, 羽根 一博

真空　43　(10)　992-995　2000年10月20日

DOI： 10.3131/jvsj.43.992 　

ISSN：0559-8516

Laser-induced fluorescence measurement of metastable chlorine ion temperature in time-modulated inductively coupled plasma 査読有り

S Kumagai, M Sasaki, M Koyanagi, K Hane

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY　147　(8)　3070-3073　2000年8月

DOI： 10.1149/1.1393856 　

ISSN：0013-4651

Broadband antireflection gratings for glass substrates fabricated by fast atom beam etching 査読有り

Y Kanamori, H Kikuta, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS　39　(7B)　L735-L737　2000年7月

DOI： 10.1143/jjap.39.L735 　

ISSN：0021-4922

A novel doping technology for ultra-shallow junction fabrication: boron diffusion from boron-adsorbed layer by rapid thermal annealing 査読有り

KS Kim, YH Song, KT Park, H Kurino, T Matsuura, K Hane, M Koyanagi

THIN SOLID FILMS　369　(1-2)　207-212　2000年7月

DOI： 10.1016/S0040-6090(00)00808-7 　

ISSN：0040-6090

変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ（第３報）－高次ひずみ信号成分の除去 査読有り

家城 淳, 松井圭司, 梨木政行, 羽根一博

精密工学会誌　66　(7)　1087-1091　2000年7月

DOI： 10.2493/jjspe.66.1087 　

ISSN：0912-0289

Relative domination between Cl+ and Cl-2(+) ions in time-modulated inductively coupled Cl-2 plasma investigated with laser-induced fluorescence technique 査読有り

S Kumagai, M Sasaki, M Koyanagi, K Hane

MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2000, DIGEST OF PAPERS　202-203　2000年

Micromachining of optical fiber using reactive ion etching and its application 査読有り

H Kumazaki, Y Yamada, T Oshima, S Inaba, K Hane

MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2000, DIGEST OF PAPERS　154-155　2000年

Scanning near-field optical microscope using cantilever integrated with light emitting diode, waveguide, aperture, and photodiode 査読有り

M Sasaki, K Tanaka, K Hane

2000 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS　129-130　2000年

Highly integrated cantilever with light emitting diode, channel waveguide, aperture, and photodiode for scanning near-field optical microscope 査読有り

M Sasaki, K Tanaka, K Hane

MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2000, DIGEST OF PAPERS　146-147　2000年

Direct photolithography on optical fiber 査読有り

M Sasaki, S Nogawa, K Hane

2000 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS　149-150　2000年

Anisotropically etched Si molds for fabricating fine optical components 査読有り

Y Li, T Fujii, M Sasaki, K Hane

MICROMACHINING AND MICROFABRICATION PROCESS TECHNOLOGY VI　4174　77-84　2000年

ISSN：0277-786X

Density and temperature of metastable Cl+ ions in time-modulated ICP measured by time-resolved LIF 査読有り

S Kumagai, M Sasaki, M Koyanagi, K Hane

PLASMA ETCHING PROCESSES FOR SUB-QUARTER MICRON DEVICES, PROCEEDINGS　99　(30)　105-111　2000年

Surface microstructured selective emitters for TPV systems

Hitoshi Sai, Hiroo Yuqami, Yasuhiro Akiyama, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane

Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference　2000-　1016-1019　2000年

DOI： 10.1109/PVSC.2000.916058 　

ISSN：0160-8371

Local mechanical properties measured by atomic force microscopy for cultured bovine endothelial cells exposed to shear stress 査読有り

M Sato, K Nagayama, N Kataoka, M Sasaki, K Hane

JOURNAL OF BIOMECHANICS　33　(1)　127-135　2000年1月

DOI： 10.1016/S0021-9290(99)00178-5 　

ISSN：0021-9290

Full-fiber-type sensing system for physical quantities using a photothermally vibrated quartz-core cantilever 査読有り

Hironori Kumazaki, Seiki Inaba, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　120　(3)　105-110　2000年

DOI： 10.1541/ieejsmas.120.105 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Pitch-modulated phase grating and its application to displacement encoder 査読有り

A. Ieki, K. Matsui, M. Nashiki, K. Hane

Journal of Modern Optics　47　(7)　1213-1225　2000年

DOI： 10.1080/09500340008232168 　

ISSN：1362-3044 0950-0340

Transmission-type position sensor for the straightness measurement of a large structure 査読有り

M Sasaki, H Takebe, K Hane

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　9　(4)　429-433　1999年12月

DOI： 10.1088/0960-1317/9/4/321 　

ISSN：0960-1317

Two-dimensional control of shape-memory-alloy actuators for aligning a Si micromachined pinhole of spatial filter 査読有り

M Sasaki, W Kamada, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　38　(12B)　7190-7193　1999年12月

DOI： 10.1143/JJAP.38.7190 　

ISSN：0021-4922

Detection of metastable chlorine ions in time-modulated plasma by time resolved laser-induced fluorescence 査読有り

S Kumagai, M Sasaki, M Koyanagi, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　38　(12B)　7126-7130　1999年12月

DOI： 10.1143/JJAP.38.7126 　

ISSN：0021-4922

Standing wave detection and interferometer application using a photodiode thinner than optical wavelength 査読有り

M Sasaki, XY Mi, K Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　75　(14)　2008-2010　1999年10月

DOI： 10.1063/1.124898 　

ISSN：0003-6951

Broadband antireflection gratings fabricated upon silicon substrates 査読有り

Y Kanamori, M Sasaki, K Hane

OPTICS LETTERS　24　(20)　1422-1424　1999年10月

DOI： 10.1364/OL.24.001422 　

ISSN：0146-9592

High aspect-ratio two-dimensional silicon subwavelength gratings fabricated by fast atom beam etching

Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Proceedings of SPIE -Micromachining and Microfabrication Process Technology V　3874　345-354　1999年9月20日

Antireflection structures for visible and infrared wavelengths fabricated on silicon substrates by fast atom beam etching

Yoshiaki Kanamori, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Proceedings of SPIE -Optical Engineering for Sensing and Nanotechnology (ICOSN'99)　3740　484-487　1999年6月16日

Detection of metastable Cl+ ions in time-modulated ICP by time resolved LIF 査読有り

S. Kumagai, M. Sasaki, M. Koyanagi, K. Hane

1999 International Microprocesses and Nanotechnology Conference　150-151　1999年

DOI： 10.1109/IMNC.1999.797521 　

Two dimensional automatic alignment of pinhole integrated with photodiode 査読有り

M. Sasaki, W. Kamada, K. Hane

1999 International Microprocesses and Nanotechnology Conference　194-195　1999年

DOI： 10.1109/IMNC.1999.797543 　

Photodiodes Fabricated by Micromachining for Mechatronics 査読有り

Kazuhiro Hane, Mimoru Sasaki

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　119　(42591)　401-404　1999年

DOI： 10.1541/ieejsmas.119.401 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Laser interferometer using thin film photodetector 査読有り

M Sasaki, XY Mi, K Hane

OPTOELETRONIC INTEGRATED CIRCUITS AND PACKAGING III　3631　173-180　1999年

ISSN：0277-786X

Ultra-thin Si photodetector for an integrated optical interferometer 査読有り

XY Mi, M Sasaki, K Hane

MINIATURIZED SYSTEMS WITH MICRO-OPTICS AND MEMS　3878　337-347　1999年

ISSN：0277-786X

Compact optical encoder using modulated pitch phase grating: Suppression of harmonic noise and contrast change 査読有り

A Ieki, K Matsui, M Nashiki, K Hane

OPTICAL ENGINEERING FOR SENSING AND NANOTECHNOLOGY (ICOSN'99)　3740　132-135　1999年

ISSN：0277-786X

Shear Stress Induced Changes in Endothelial Cell Stiffness Measured by Atomic Force Microscopy 査読有り

Masaaki SATO, Kazuaki NAGAYAMA, Noriyuki KATAOKA, Minoru SASAKI, Kazuhiro HANE

Proceedings of the 1999 Summer Bioengineering Conference　343-344　1999年

Tapping Mode Capacitance Microscopy of a Mitride-Oxide-Silicon Recording Medium 査読有り

Kazuya Goto, Kazuhiro Hane

Advanced Information Storage System　10　301-311　1999年

計算機合成フレネルホログラムによる三次元露光 査読有り

羽根一博, 萩原隆志, 吉田充伸, 佐々木実

精密工学会誌　65　(1)　141-144　1999年1月

DOI： 10.2493/jjspe.65.141 　

ISSN：0912-0289

Optical encoder using a slit-width-modulated grating 査読有り

A Ieki, K Hane, T Yoshizawa, K Matsui, M Nashiki

JOURNAL OF MODERN OPTICS　46　(1)　1-14　1999年1月

DOI： 10.1080/095003499149999 　

ISSN：0950-0340

Optical Encoder Having Pitch-Modulated Photodiode Array 査読有り

Toshiro Ohashi, Takayuki Hirano, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Atsushi Ieki, Keiji Matsui, Masayuki Nashiki

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　119　(2)　86-93　1999年

DOI： 10.1541/ieejsmas.119.86 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Theoretical Analysis of Optically Addressed Spatial Light Modulator with Electromagnetic Driven Micromirror for Optical Information Processing 査読有り

Toshiro Ohashi, Mitsunobu Yoshida, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　119　(42591)　424-429　1999年

DOI： 10.1541/ieejsmas.119.424 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Improved automatic alignment of pinhole integrated with photodiode 査読有り

M Sasaki, Y Arai, W Kamada, K Hane

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　37　(12B)　7120-7123　1998年12月

DOI： 10.1143/JJAP.37.7120 　

ISSN：0021-4922

金属表面回折格子を用いた光エンコ-ダ 査読有り

羽根一博, 奥山賢一, 佐々木実

精密工学会誌　64　(10)　1532-1536　1998年10月

DOI： 10.2493/jjspe.64.1532 　

ISSN：0912-0289

Tip-sample capacitance in capacitance microscopy of dielectric films 査読有り

K Goto, K Hane

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　84　(8)　4043-4048　1998年10月

DOI： 10.1063/1.368617 　

ISSN：0021-8979

Application of a semiconductor tip to capacitance microscopy 査読有り

K Goto, K Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　73　(4)　544-546　1998年7月

DOI： 10.1063/1.121927 　

ISSN：0003-6951

eISSN：1077-3118

Micromachined structure for Si transmission optical components 査読有り

M Sasaki, Y Arai, H Takebe, W Kamada, K Hane

MICROELECTRONIC STRUCTURES AND MEMS FOR OPTICAL PROCESSING IV　3513　89-94　1998年

ISSN：0277-786X

Si micromachined pinhole and surrounding photodiode for incident beam position sensing and automatic alignment 査読有り

Minoru Sasaki, Yuji Arai, Kazuhiro Hane

Optical Review　5　(2)　115-118　1998年

DOI： 10.1007/s10043-998-0115-8 　

ISSN：1340-6000

Si薄膜上に制作した透過型ポジションセンサ 査読有り

佐々木実, 竹辺仁, 羽根一博

電学論E　118　(11)　538-539　1998年

DOI： 10.1541/ieejsmas.118.538 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Bistability of a self-standing film caused by photothermal displacement 査読有り

Kazuhiro Hane, Kentaro Suzuki

Applied Optics　36　(21)　5006-5009　1997年7月20日

DOI： 10.1364/AO.36.005006 　

ISSN：2155-3165 1559-128X

Development of stroboscopic microscope using fringe scanning interferometry technique (FSIT) 査読有り

Ken Nakano, Kazuhiro Hane, Shigeru Okuma, Tadashi Eguchi

Transaction of the Society of Instrument and Control Engineers　33　(7)　570-575　1997年7月

DOI： 10.9746/sicetr1965.33.570 　

ISSN：0453-4654

Bistability of a self-standing film caused by photothermal displacement 査読有り

K Hane, M Suzuki

APPLIED OPTICS　36　(21)　5006-5009　1997年7月

ISSN：0003-6935

同軸レーザビームの走査による物体の形状抽出法 査読有り

羽根一博, 吉田充伸

精密工学会誌　63　(5)　674-678　1997年5月

DOI： 10.2493/jjspe.63.674 　

ISSN：0912-0289

Micro-objective manipulated with optical tweezers 査読有り

M Sasaki, T Kurosawa, K Hane

APPLIED PHYSICS LETTERS　70　(6)　785-787　1997年2月

DOI： 10.1063/1.118260 　

ISSN：0003-6951

Tapping mode scanning capacitance microscopy: Feasibility of quantitative capacitance measurement 査読有り

Kazuya Goto, Kazuhiro Hane

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　3009　84-91　1997年

DOI： 10.1117/12.271216 　

ISSN：0277-786X

Visualization of high-frequency surface acoustic wave propagation using stroboscopic phase-shift interferometry 査読有り

K Nakano, A Torii, K Hane, S Okuma

MICROLITHOGRAPHY AND METROLOGY IN MICROMACHINING III　3225　44-54　1997年

Tapping mode capacitance microscopy 査読有り

K Goto, K Hane

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　68　(1)　120-123　1997年1月

DOI： 10.1063/1.1147749 　

ISSN：0034-6748

膜厚測定のためのレ-ザ駆動ファイバコア振動子のサイズ効果 査読有り

熊崎裕教, 稲葉成基, 羽根一博

真空　40　(3)　303-305　1997年

DOI： 10.3131/jvsj.40.303 　

ISSN：0559-8516

Deposition Thickness Sensor for Ion Sputtering Apparatus 査読有り

Hironori Kumazaki, Seiki lnaba, Kazuhiro Hane

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　117　(2)　105-108　1997年

DOI： 10.1541/ieejsmas.117.105 　

ISSN：1347-5525 1341-8939

Visualization of 50 MHz surface acoustic wave propagation using stroboscopic phase-shift interferometry 査読有り

Ken Nakano, Kazuhiro Hane, Shigeru Okuma, Tadashi Eguchi

Optical Review　4　(2)　265-269　1997年

DOI： 10.1007/s10043-997-0265-0 　

ISSN：1340-6000

Automatic alignment of optical system using shape memory alloy 査読有り

Minoru Sasaki, Yuji Arai, Kazuhiro Hane

Optical Review　4　(5)　584-587　1997年

DOI： 10.1007/s10043-997-0584-1 　

ISSN：1340-6000

Ultrasonically facilitated two-dimensional crystallization of colloid particles 査読有り

Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane

Journal of Applied Physics　80　(9)　5427-5431　1996年9月

DOI： 10.1063/1.362730 　

ISSN：0021-8979

Pressure dependence of resonance characteristics of the microcantilever fabricated from optical fiber 査読有り

H Kumazaki, S Inaba, K Hane

VACUUM　47　(6-8)　475-477　1996年6月

DOI： 10.1016/0042-207X(96)00146-7 　

ISSN：0042-207X

Scanning tunneling microscopy study of monolayer pit formation on the HOPG surface using oxygen plasma and thermal oxidation 査読有り

T Abe, K Hane, S Okuma

INTERNATIONAL JOURNAL OF THE JAPAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING　30　(2)　118-121　1996年6月

ISSN：0916-782X

ストロボ干渉法を用いた超音波モータ表面の振動分布計測 査読有り

中野健, 西澤五郎, 大熊繁, 羽根一博, 江口正

日本機械学会論文集(Ｃ編)　62　2237-2243　1996年6月

DOI： 10.1299/kikaic.62.2237 　

Optical transfer function analysis of Lau-type grating atom interferometer 査読有り

K Hane, H Takahashi

OPTICAL REVIEW　3　(3)　207-210　1996年5月

DOI： 10.1007/BF02931721 　

ISSN：1340-6000

Pit and mound formation on arc-evaporated carbon thin film using scanning tunneling microscopy 査読有り

T Abe, K Hane, S Okuma

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　35　(3)　1850-1856　1996年3月

DOI： 10.1143/JJAP.35.1850 　

ISSN：0021-4922

Micromachining with a force microscope tip assisted by electrostatic force 査読有り

K Goto, K Hane

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　67　(2)　397-400　1996年2月

DOI： 10.1063/1.1146603 　

ISSN：0034-6748

A method for determining the spring constant of cantilevers for atomic force microscopy 査読有り

A Torii, M Sasaki, K Hane, S Okuma

MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY　7　(2)　179-184　1996年2月

DOI： 10.1088/0957-0233/7/2/010 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501

Modulated pitch phase gratings used in displacement encoder 査読有り

K Hane, P Posada, A Ieki, K Matsui, M Nashiki

17TH CONGRESS OF THE INTERNATIONAL COMMISSION FOR OPTICS: OPTICS FOR SCIENCE AND NEW TECHNOLOGY, PTS 1 AND 2　2778　1124-1125　1996年

Photothermal displacement in an interference fringe 査読有り

K Hane, K Suzuki

17TH CONGRESS OF THE INTERNATIONAL COMMISSION FOR OPTICS: OPTICS FOR SCIENCE AND NEW TECHNOLOGY, PTS 1 AND 2　2778　1122-1123　1996年

回折格子原子波干渉計の伝達関数による解析 査読有り

羽根一博, 高橋ひとみ

精密工学会誌　62　(7)　943-947　1996年

DOI： 10.2493/jjspe.62.943 　

ISSN：0912-0289

Temperature characteristics of vibrating type sensor using micromachined optical fiber-tip 査読有り

Hironori Kumazaki, Seiki Inaba, Kazuhiro Hane

Optical Review　3　(2)　135-138　1996年

DOI： 10.1007/s10043-996-0135-1 　

ISSN：1340-6000

変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ(第２報)-理論解析- 査読有り

家城淳, 松井圭司, 梨木政行, 羽根一博

精密工学会誌　61　1619-1623　1995年11月

DOI： 10.2493/jjspe.61.1619 　

変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ(第１報)-実験的評価- 査読有り

家城淳, 松井圭司, 梨木政行, 羽根一博

精密工学会誌　61　1312-1316　1995年9月

DOI： 10.2493/jjspe.61.1312 　

CHARACTERISTICS OF DC-VOLTAGE SURFACE MODIFICATION OF GRAPHITE USING SCANNING TUNNELING MICROSCOPE 査読有り

T ABE, K HANE, S OKUMA

INTERNATIONAL JOURNAL OF THE JAPAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING　29　(2)　123-127　1995年6月

ISSN：0916-782X

A DOUBLE-FOCUS LENS INTERFEROMETER FOR SCANNING FORCE MICROSCOPY 査読有り

K GOTO, M SASAKI, S OKUMA, K HANE

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　66　(5)　3182-3185　1995年5月

DOI： 10.1063/1.1145548 　

ISSN：0034-6748

半導体パルスレーザを用いた微小振動分布の縞走査干渉画像計測 査読有り

中野 健, 吉田博樹, 羽根一博, 大熊 繁, 江口 正

計測自動制御学会論文集　31　454-460　1995年4月

DOI： 10.9746/sicetr1965.31.454 　

PHOTOTHERMAL VIBRATION OF FIBER CORE FOR VIBRATION-TYPE SENSOR 査読有り

S INABA, H KUMAZAKI, K HANE

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　34　(4A)　2018-2021　1995年4月

DOI： 10.1143/JJAP.34.2018 　

ISSN：0021-4922

SCANNING FORCE MICROSCOPE TECHNIQUE FOR ADHESION DISTRIBUTION MEASUREMENT 査読有り

M SASAKI, K HANE, S OKUMA, A TORII

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　13　(2)　350-354　1995年3月

DOI： 10.1116/1.587944 　

ISSN：0734-211X

ULTRASONIC ATOMIZATION OF THE DNA SOLUTION FOR ATOMIC-FORCE MICROSCOPY 査読有り

M SASAKI, S OKUMA, K MIYATA, K HANE, Y TAKEDA

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　13　(2)　355-360　1995年3月

DOI： 10.1116/1.587945 　

ISSN：0734-211X

Pressure Sensor Using Photothermal Vibration of Optical Fiber Core 査読有り

Hironori Kumazaki, Seiki Inaba, Kazuhiro Hane

Shinku　38　(3)　176-178　1995年

DOI： 10.3131/jvsj.38.176 　

ISSN：0559-8516

Self-excited vibration of a self-supporting thin film caused by laser irradiation 査読有り

K. Hane, K. Suzuki

Sensors and Actuators: A. Physical　51　(2-3)　179-182　1995年

DOI： 10.1016/0924-4247(95)01218-4 　

ISSN：0924-4247

IMPROVED DIFFERENTIAL HETERODYNE INTERFEROMETER FOR ATOMIC-FORCE MICROSCOPY 査読有り

M SASAKI, K HANE, S OKUMA, M HINO, Y BESSHO

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　65　(12)　3697-3701　1994年12月

DOI： 10.1063/1.1144494 　

ISSN：0034-6748

TEMPERATURE-DEPENDENCE OF RESONANCE FREQUENCY OF SHAPE-MEMORY ALLOY VIBRATED PHOTOTHERMALLY 査読有り

S INABA, H KUMAZAKI, M HORIBE, K HANE

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　33　(9A)　5064-5066　1994年9月

DOI： 10.1143/JJAP.33.5064 　

ISSN：0021-4922

ADHESIVE FORCE DISTRIBUTION ON MICROSTRUCTURES INVESTIGATED BY AN ATOMIC-FORCE MICROSCOPE 査読有り

A TORII, M SASAKI, K HANE, S OKUMA

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　44　(2)　153-158　1994年8月

DOI： 10.1016/0924-4247(94)00798-5 　

ISSN：0924-4247

SHAPE OF THE CANTILEVER DEFLECTION FOR THE ATOMIC-FORCE MICROSCOPE IN FORCE CURVE MEASUREMENTS 査読有り

M SASAKI, K HANE, S OKUMA, Y BESSHO

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　65　(6)　1930-1934　1994年6月

DOI： 10.1063/1.1144844 　

ISSN：0034-6748

2-DIRECTIONAL DYNAMIC-MODE FORCE MICROSCOPY - DETECTION OF DIRECTIONAL FORCE GRADIENT 査読有り

S WATANABE, K HANE, M ITO, T GOTO

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　12　(3)　1577-1580　1994年5月

DOI： 10.1116/1.587290 　

ISSN：1071-1023

ADHESION OF MICROSTRUCTURES INVESTIGATED BY ATOMIC-FORCE MICROSCOPY 査読有り

A TORII, M SASAKI, K HANE, S OKUMA

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　40　(1)　71-76　1994年1月

DOI： 10.1016/0924-4247(94)85032-1 　

ISSN：0924-4247

NANOMETER-SCALE PIT FORMATION BY SCANNING-TUNNELING-MICROSCOPY ON GRAPHITE SURFACE AND TIP CURRENT MEASUREMENTS 査読有り

T ABE, K HANE, S OKUMA

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　75　(2)　1228-1230　1994年1月

DOI： 10.1063/1.356462 　

ISSN：0021-8979

光学式アクチュエ-タのための形状記憶合金の真空中光熱変位 査読有り

稲葉成基, 日置正臣, 熊崎裕教, 羽根一博

真空　37　(3)　282-284　1994年

DOI： 10.3131/jvsj.37.282 　

ISSN：0559-8516

THE FEASIBILITY OF A PRECISE LINEAR DISPLACEMENT ENCODER USING MULTIPLE PROBE FORCE MICROSCOPE 査読有り

A TORII, M SASAKI, K HANE, S OKUMA

INTERNATIONAL JOURNAL OF THE JAPAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING　27　(4)　367-372　1993年12月

ISSN：0916-782X

DYNAMIC-MODE FORCE MICROSCOPY FOR THE DETECTION OF LATERAL AND VERTICAL ELECTROSTATIC FORCES 査読有り

S WATANABE, K HANE, M ITO, T GOTO

APPLIED PHYSICS LETTERS　63　(18)　2573-2575　1993年11月

DOI： 10.1063/1.110437 　

ISSN：0003-6951

共通光路型光ヘテロダイン干渉計を用いた走査型力顕微鏡 査読有り

日野元人, 佐々木実, 藤田一彦, 別所芳則, 羽根一博, 大熊繁

精密工学会誌　59　(11)　1853-1858　1993年11月

DOI： 10.2493/jjspe.59.1853 　

ISSN：0912-0289

ELECTROSTATIC FORCE MICROSCOPE IMAGING ANALYZED BY THE SURFACE-CHARGE METHOD 査読有り

S WATANABE, K HANE, T OHYE, M ITO, T GOTO

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　11　(5)　1774-1781　1993年9月

DOI： 10.1116/1.586477 　

ISSN：1071-1023

MINIATURE ACTUATOR DRIVEN PHOTOTHERMALLY USING A SHAPE-MEMORY ALLOY 査読有り

S INABA, K HANE

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　64　(6)　1633-1635　1993年6月

DOI： 10.1063/1.1144038 　

ISSN：0034-6748

PHOTOTHERMAL VIBRATION FOR A CANTILEVER PLACED NEAR A PLANAR WALL IN LOW-VACUUM REGION 査読有り

S INABA, K AKAISHI, T MORI, K HANE

VACUUM　44　(5-7)　599-601　1993年5月

DOI： 10.1016/0042-207X(93)90105-J 　

ISSN：0042-207X

ANALYSIS OF THE RESONANCE CHARACTERISTICS OF A CANTILEVER VIBRATED PHOTOTHERMALLY IN A LIQUID 査読有り

S INABA, K AKAISHI, T MORI, K HANE

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　73　(6)　2654-2658　1993年3月

DOI： 10.1063/1.353060 　

ISSN：0021-8979

DEPENDENCE OF RESONANCE FREQUENCY OF A MEMBRANE VIBRATED PHOTOTHERMALLY ON PRESSURE AND GEOMETRY IN A LOW-VACUUM REGION 査読有り

S INABA, K HANE

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　32　(2)　1001-1004　1993年2月

ISSN：0021-4922

ADHESIVE FORCE OF THE MICROSTRUCTURES MEASURED BY THE ATOMIC FORCE MICROSCOPE 査読有り

A TORII, M SASAKI, K HANE, S OKUMA

MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, PROCEEDINGS　111-116　1993年

光熱振動における共振の鋭さQの圧力依存性 査読有り

稲葉成基, 赤石憲也, 森 貴叙, 羽根一博

真空　36　316-318　1993年

DOI： 10.3131/jvsj.36.316 　

EXCITATION OF A PROGRESSIVE PLATE WAVE BY THE PHOTOTHERMAL EFFECT 査読有り

T IWATSUKI, K HANE, S OKUMA

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　35　(2)　87-91　1992年12月

DOI： 10.1016/0924-4247(92)80145-S 　

ISSN：0924-4247

フォース顕微鏡の荷重-たわみ曲線を用いたマイクロメカニカル構造の弾性評価法 査読有り

鳥井昭宏, 佐々木実, 羽根一博, 大熊繁

電気学会論文誌Ａ　112　979-986　1992年12月

DOI： 10.1541/ieejfms1990.112.12_979 　

APPLICATION OF PHOTOTHERMAL VIBRATION TO A DIAPHRAGM MANOMETER IN A MEDIUM-VACUUM REGION 査読有り

S INABA, K HANE

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　31　(8)　2644-2645　1992年8月

ISSN：0021-4922

A COMPACT INTERFEROMETER USING MOIRE EFFECT FOR THE PHASE COMPENSATION 査読有り

S WATANABE, K HANE, T GOTO

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　63　(8)　3856-3861　1992年8月

DOI： 10.1063/1.1143283 　

ISSN：0034-6748

FREQUENCY-SHIFT ON A MICROMACHINED RESONATOR EXCITED PHOTOTHERMALLY IN VACUUM 査読有り

K HANE, T IWATUKI, S INABA, S OKUMA

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　63　(7)　3781-3782　1992年7月

DOI： 10.1063/1.1143271 　

ISSN：0034-6748

OPTICAL SENSING FOR PRESSURE IN A MEDIUM VACUUM REGION BY USING THE DRUM EFFECT 査読有り

S INABA, K HANE

APPLIED OPTICS　31　(16)　2969-2970　1992年6月

ISSN：0003-6935

ディジタル信号処理FMヘテロダイン干渉法による近距離検出 査読有り

伊藤昌文, 羽根一博, 松田文夫, 後藤俊夫

精密工学会誌　58　(6)　1005-1010　1992年6月

DOI： 10.2493/jjspe.58.1005 　

ISSN：0912-0289

LIQUID DENSITY SENSING BY USING A PHOTOTHERMAL VIBRATION 査読有り

S INABA, Y OKUHARA, K HANE

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　33　(3)　163-166　1992年6月

DOI： 10.1016/0924-4247(92)80162-V 　

ISSN：0924-4247

PRESSURE-DEPENDENCE OF THE RESONANCE FREQUENCY FOR A PHOTOTHERMAL VIBRATION OF A THIN CIRCULAR GLASS PLATE IN VACUUM 査読有り

S INABA, K HANE

VACUUM　43　(4)　291-292　1992年4月

DOI： 10.1016/0042-207X(92)90157-R 　

ISSN：0042-207X

PHOTOTHERMAL VIBRATION FOR A MEMBRANE IN WATER 査読有り

S INABA, K HANE

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　71　(7)　3631-3632　1992年4月

DOI： 10.1063/1.350924 　

ISSN：0021-8979

Optical sensing for pressure in a medium vacuum region by using the drum effect 査読有り

Seiki Inaba, Kazuhiro Hane

Applied Optics　31　(16)　2969-2970　1992年

DOI： 10.1364/AO.31.002969 　

ISSN：2155-3165 1559-128X

フォトサ-マル効果を用いた近接距離検出法 査読有り

伊藤昌文, 羽根一博, 松田文夫, 後藤俊夫

精密工学会誌　58　(1)　139-144　1992年

DOI： 10.2493/jjspe.58.139 　

ISSN：0912-0289

光熱弾性法によるはんだ接合部評価法の研究 査読有り

斉藤雄之, 羽根一博

精密工学会誌　58　(2)　343-348　1992年

DOI： 10.2493/jjspe.58.343 　

ISSN：0912-0289

光熱振動を用いた光学式隔膜真空計の開発 査読有り

稲葉成基, 羽根一博

真空　35　140-142　1992年

DOI： 10.3131/jvsj.35.140 　

Electrostatic Force Images of the Fine Electrodes Obtained with Scanning Attractive Force Microscope 査読有り

S. Watanabe, M. Ito, K. Hane, T. Goto

Supplement to Vol.3 of the Int. J. of Appl. Electromagnetics in Materials　197-200　1992年

Development of atomic force microscope using heterodyne interferometry 査読有り

M. Sasaki, M. Hino, K. Fujita, Y. Bessho, K. Hane, S. Okuma

Supplement to Vol.3 of the Int. J. of Appl. Electromagnetics in Materials　437-440　1992年

FORCE MICROSCOPE USING A TWIN-PATH INTERFEROMETER 査読有り

S WATANABE, K HANE, T GOTO

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　10　(1)　1-5　1992年1月

DOI： 10.1116/1.586301 　

ISSN：1071-1023

RESONANCE FREQUENCY OF A PHOTOTHERMAL VIBRATION FOR A POLYETHYLENE THIN PLATE IN MEDIUM VACUUM REGION 査読有り

S INABA, K HANE

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS　9　(6)　3173-3174　1991年11月

DOI： 10.1116/1.577140 　

ISSN：0734-2101

リソグラフィ・マークのレーザー回折光を用いた位置姿勢の検出法 査読有り

伊藤昌文, 河口寿夫, 羽根一博, 松田文夫, 後藤俊夫

計測自動制御学会論文集　27　1188-1190　1991年10月

DOI： 10.9746/sicetr1965.27.1188 　

RESONANCE FREQUENCY-SHIFTS OF A PHOTOTHERMAL VIBRATION IN VACUUM 査読有り

S INABA, K HANE

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS　9　(4)　2138-2139　1991年7月

DOI： 10.1116/1.577239 　

ISSN：0734-2101

十字回折ビームを用いた基準点の方向検出法 査読有り

伊藤昌文, 羽根一博, 松田文夫, 内川嘉樹, 服部秀三

計測自動制御学会論文集　27　(3)　368-370　1991年3月

DOI： 10.9746/sicetr1965.27.368 　

ISSN：0453-4654

円形回折格子のレーザ回折光を用いた基準位置検出法 査読有り

伊藤昌文, 河口寿夫, 羽根一博, 松田文夫, 後藤俊夫

精密工学会誌　57　(2)　280-285　1991年2月

DOI： 10.2493/jjspe.57.280 　

ISSN：0912-0289

Photothermoelastic evaluation for small mechanical structures 査読有り

Kazuhiro Hane, Takashi Naito, Shuzo Hattori

Applied Optics　30　(1)　72-77　1991年

DOI： 10.1364/AO.30.000072 　

ISSN：2155-3165 1559-128X

レ-ザ真空計のためのリソグラフィ加工した薄板の真空中フォトサ-マル振動 査読有り

羽根一博, 稲葉成基

真空　34　378-380　1991年

DOI： 10.3131/jvsj.34.378 　

真空中におけるホトサ-マル振動周波数の励振入力依存 査読有り

稲葉成基, 羽根一博

真空　34　381-383　1991年

DOI： 10.3131/jvsj.34.381 　

周波数計測による低真空領域の光学式圧力センシング 査読有り

稲葉成基, 羽根一博

真空　34　894-898　1991年

DOI： 10.3131/jvsj.34.894 　

PHOTOTHERMOELASTIC EVALUATION FOR SMALL MECHANICAL STRUCTURES 査読有り

K HANE, T NAITO, S HATTORI

APPLIED OPTICS　30　(1)　72-78　1991年1月

DOI： 10.1364/AO.30.000072 　

ISSN：0003-6935

MOIRE SIGNALS BY THE PHOTOACOUSTIC EFFECT 査読有り

K HANE, S WATANABE, S HATTORI, T GOTO

OPTICS LETTERS　15　(22)　1318-1320　1990年11月

DOI： 10.1364/OL.15.001318 　

ISSN：0146-9592

A REMOTE PRESSURE SENSING TECHNIQUE BY USING THE PHOTOTHERMAL BENDING EFFECT 査読有り

K HANE, Y INAHARA, T GOTO

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　61　(10)　2692-2695　1990年10月

DOI： 10.1063/1.1141861 　

ISSN：0034-6748

Photothermal bending of a layered sample in plate form 査読有り

Kazuhiro Hane, Shuzo Hattori

Applied Optics　29　(1)　145-150　1990年

DOI： 10.1364/AO.29.000145 　

ISSN：2155-3165 1559-128X

MOIRE DISPLACEMENT DETECTION BY THE PHOTOACOUSTIC TECHNIQUE 査読有り

K HANE, S WATANABE, T GOTO

OPTICAL TESTING AND METROLOGY III : RECENT ADVANCES IN INDUSTRIAL OPTICAL INSPECTION, PTS 1 AND 2　1332　577-583　1990年

MOIRE SIGNALS OF CIRCULAR GRATINGS AND ITS APPLICATION TO PRECISE ALIGNMENT 査読有り

K HANE, T GOTO, S HATTORI

OPTICS IN COMPLEX SYSTEMS　1319　335-336　1990年

ホトサ-マル効果によって振動するガラス板の周波数の圧力依存性 査読有り

稲葉成基, 羽根一博

真空　33　686-688　1990年

DOI： 10.3131/jvsj.33.686 　

PHOTOTHERMAL BENDING OF A LAYERED SAMPLE IN PLATE FORM 査読有り

K HANE, S HATTORI

APPLIED OPTICS　29　(1)　145-150　1990年1月

DOI： 10.1364/AO.29.000145 　

ISSN：0003-6935

Reflection Lau imaging and its application to displacement sensing 査読有り

K. Hane, S. Hattori, C. P. Grover

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　954　160-165　1989年1月16日

DOI： 10.1117/12.947585 　

ISSN：1996-756X 0277-786X

Application of photothermoelastic effect to noncontact inspection of soldered connections 査読有り

K. Hane, S. Hattori

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　954　593-598　1989年1月16日

DOI： 10.1117/12.947638 　

ISSN：1996-756X 0277-786X

Photothermoelastic inspection of soldered connections 査読有り

Kazuhiro Hane, Shuzo Hattori

Applied Optics　27　(19)　3965-3967　1988年10月1日

DOI： 10.1364/AO.27.003965 　

ISSN：2155-3165 1559-128X

PHOTOTHERMOELASTIC INSPECTION OF SOLDERED CONNECTIONS 査読有り

K HANE, S HATTORI

APPLIED OPTICS　27　(19)　3965-3967　1988年10月

ISSN：0003-6935

インコヒーレント照明におけるグレーティングイメージングを用いた精密変位測定 査読有り

羽根一博, 伊藤 孝, 服部秀三

日本機械学会論文集（Ｃ編）　54　(506)　2487-2490　1988年10月

DOI： 10.1299/kikaic.54.2487 　

ISSN：0387-5024

PHOTOTHERMOELASTIC IMAGING AT A FLEXURAL RESONANCE FREQUENCY OF A CLAMPED PLATE SAMPLE 査読有り

K HANE, T KANIE, S HATTORI

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　64　(4)　2229-2232　1988年8月

DOI： 10.1063/1.341691 　

ISSN：0021-8979

NONCONTACT TENSION SENSING BY THE PHOTOTHERMOELASTIC EFFECT 査読有り

K HANE, S HATTORI

OPTICS LETTERS　13　(7)　550-552　1988年7月

ISSN：0146-9592

PHOTO-THERMOELASTIC MECHANICAL BEAM CHOPPER AT A LOW-FREQUENCY 査読有り

K HANE, T KANIE, S HATTORI

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　59　(4)　655-655　1988年4月

DOI： 10.1063/1.1139854 　

ISSN：0034-6748

PHOTOTHERMOELASTIC PROBING FOR A CLAMPED PLATE SAMPLE 査読有り

K HANE, T KANIE, S HATTORI

APPLIED OPTICS　27　(2)　386-392　1988年1月

ISSN：0003-6935

LAU EFFECT IN REFLECTION 査読有り

K HANE, S HATTORI, CP GROVER

JOURNAL OF MODERN OPTICS　34　(11)　1481-1490　1987年11月

DOI： 10.1080/09500348714551381 　

ISSN：0950-0340

MAGNIFIED GRATING IMAGES USED IN DISPLACEMENT SENSING 査読有り

K HANE, CP GROVER

APPLIED OPTICS　26　(12)　2355-2359　1987年6月

ISSN：0003-6935

IMAGING WITH RECTANGULAR TRANSMISSION GRATINGS 査読有り

K HANE, CP GROVER

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION　4　(4)　706-711　1987年4月

ISSN：0740-3232

電子線真空リソグラフィ装置による回転角エンコ-ダの加工 査読有り

内田悦行, 松井圭司, 佐合祐稔, 羽根一博, 森田慎三, 服部秀三

真空　30　391-394　1987年

DOI： 10.3131/jvsj.30.391 　

Automatic alignment technique for x-ray lithography using moiré signals in reflection 査読有り

Yoshiyuki Uchida, Masato Furukawa, Kazuhiro Hane, Shuzo Hattori

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　661　95-101　1986年11月25日

DOI： 10.1117/12.938597 　

ISSN：1996-756X 0277-786X

Development of double twin path laser interferometer for thin film thickness measurement 査読有り

Yoshiyuki Uchida, Motomu Asano, Masatoshi Kuwata, Masaaki Yamaguchi, Kazuhiro Hane, Shuzo Hattori

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　661　102-109　1986年11月25日

DOI： 10.1117/12.938598 　

ISSN：1996-756X 0277-786X

MEASUREMENTS OF VERY LOW GAS-FLOW VELOCITIES BY PHOTOTHERMAL DEFLECTION SPECTROSCOPY 査読有り

YX NIE, K HANE, R GUPTA

APPLIED OPTICS　25　(18)　3247-3252　1986年9月

ISSN：0003-6935

DOUBLE TWIN PATH INTERFEROMETER FOR THIN-FILM THICKNESS MEASUREMENT 査読有り

VT CHITNIS, Y UCHIDA, K HANE, K YONEDA, S HATTORI

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　25　(7)　1078-1083　1986年7月

ISSN：0021-4922

DIRECT EXCITATION CROSS-SECTIONS OF ZN-II STATES EXCITED BY ELECTRON ZN-ATOM COLLISIONS 査読有り

S INABA, K HANE, T GOTO

JOURNAL OF PHYSICS B-ATOMIC MOLECULAR AND OPTICAL PHYSICS　19　(9)　1371-1376　1986年5月

DOI： 10.1088/0022-3700/19/9/017 　

ISSN：0953-4075

EXCITATION-FUNCTIONS OF CD-III 4D85S2 (BEUTLER) STATES BY ELECTRON-IMPACT ON CD ATOMS 査読有り

S INABA, K HANE, T GOTO

PHYSICS LETTERS A　114　(4)　201-202　1986年2月

DOI： 10.1016/0375-9601(86)90206-9 　

ISSN：0375-9601

Direct excitation cross sections of Zn II states excited by electron-Zn-atom collisions 査読有り

S. Inaba, K. Hane, T. Goto

Journal of Physics B: Atomic and Molecular Physics　19　(9)　1371-1376　1986年

DOI： 10.1088/0022-3700/19/9/017 　

ISSN：0022-3700

MOIRE DISPLACEMENT MEASUREMENT TECHNIQUE FOR A LINEAR ENCODER 査読有り

K HANE, Y UCHIDA, S HATTORI

OPTICS AND LASER TECHNOLOGY　17　(2)　89-95　1985年

DOI： 10.1016/0030-3992(85)90007-6 　

ISSN：0030-3992

MOIRE SIGNALS IN REFLECTION 査読有り

VT CHITNIS, Y UCHIDA, K HANE, S HATTORI

OPTICS COMMUNICATIONS　54　(4)　207-211　1985年

DOI： 10.1016/0030-4018(85)90292-5 　

ISSN：0030-4018

TILT-INSENSITIVE FILM THICKNESS MEASUREMENT USING A DOUBLE TWIN-PATH INTERFEROMETER 査読有り

K HANE, K YONEDA, S HATTORI

OPTICS AND LASER TECHNOLOGY　17　(4)　208-212　1985年

DOI： 10.1016/0030-3992(85)90090-8 　

ISSN：0030-3992

EMISSION CROSS-SECTIONS FOR SPECTRAL-LINES TRANSITING FROM THE CD(II)4D95S5P STATES AND HIGH-LYING 4D10NL STATES EXCITED BY SINGLE-ELECTRON IMPACT ON CD ATOMS 査読有り

T GOTO, K HANE, S HATTORI

PHYSICAL REVIEW A　29　(1)　111-115　1984年

DOI： 10.1103/PhysRevA.29.111 　

ISSN：1050-2947

EMISSION CROSS-SECTIONS FOR THE LASER LINES OF I+ BY ELECTRON I-2-MOLECULE COLLISIONS 査読有り

K HANE, T GOTO, S HATTORI

PHYSICS LETTERS A　104　(3)　146-148　1984年

DOI： 10.1016/0375-9601(84)90363-3 　

ISSN：0375-9601

DIRECT OBSERVATION OF DOUBLE DIFFRACTION PATTERNS 査読有り

K HANE, S HATTORI

OPTICS AND LASER TECHNOLOGY　16　(6)　307-310　1984年

DOI： 10.1016/0030-3992(84)90128-2 　

ISSN：0030-3992

Emission cross sections of the Cd II spectral lines in e-Cd+-ion collisions 査読有り

K. Hane, T. Goto, S. Hattori

Journal of Physics B: Atomic and Molecular Physics　16　(4)　629-637　1983年

DOI： 10.1088/0022-3700/16/4/016 　

ISSN：0022-3700

EXCITATION CROSS-SECTIONS OF CD+ IONS FOR THE UPPER AND LOWER STATES OF THE CD II 441.6-NM LASER LINE BY ELECTRON-IMPACT 査読有り

K HANE, T GOTO, S HATTORI

PHYSICAL REVIEW A　27　(1)　124-131　1983年

DOI： 10.1103/PhysRevA.27.124 　

ISSN：1050-2947

EMISSION CROSS-SECTIONS OF THE CD-II SPECTRAL-LINES IN E-CD+-ION COLLISIONS 査読有り

K HANE, T GOTO, S HATTORI

JOURNAL OF PHYSICS B-ATOMIC MOLECULAR AND OPTICAL PHYSICS　16　(4)　629-637　1983年

DOI： 10.1088/0022-3700/16/4/016 　

ISSN：0953-4075

DIRECT-EXCITATION CROSS-SECTIONS FOR CD II LOW-LYING EXCITED-STATES BY SINGLE-ELECTRON IMPACT ON CD ATOMS 査読有り

T GOTO, K HANE, M OKUDA, S HATTORI

PHYSICAL REVIEW A　27　(4)　1844-1850　1983年

DOI： 10.1103/PhysRevA.27.1844 　

ISSN：1050-2947

RATIO OF EXCITATION CROSS-SECTIONS FOR THE CD(II)5S22D5/2 AND 5P2P3-2 STATES IN CD-+ ION ELECTRON COLLISIONS 査読有り

K HANE, T GOTO, S HATTORI

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS　15　(6)　L47-L49　1982年

DOI： 10.1088/0022-3727/15/6/001 　

ISSN：0022-3727

COMPETITION BETWEEN DIFFERENT EXCITATION PROCESSES OF THE CD(II) 5S2 2D5-2 STATE AT LOW DISCHARGE CURRENTS IN THE POSITIVE-COLUMN HE-CD+ LASER DISCHARGE 査読有り

T GOTO, K HANE, S HATTORI

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS　14　(4)　587-592　1981年

DOI： 10.1088/0022-3727/14/4/012 　

ISSN：0022-3727

EXCITATION MECHANISM OF THE CD(II) 5S2 2D5/2 STATE IN THE POSITIVE-COLUMN NE-CD+ LASER DISCHARGE - AN INTERPRETATION OF THE DIFFERENCE OF 441.6 NM LASER OUTPUT POWERS IN NE-CD AND HE-CD DISCHARGES 査読有り

K HANE, T GOTO, S HATTORI

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS　14　(9)　1603-1611　1981年

DOI： 10.1088/0022-3727/14/9/008 　

ISSN：0022-3727