Spin–current volume effect on iron gallium films 査読有り

Yin-Chen Huang, Yi-Te Huang, Hiroki Arisawa, Takashi Kikkawa, Eiji Saitoh, Ioana Voiculescu, Takahito Ono

Applied Physics Letters　2025年3月1日

DOI： 10.1063/5.0239164 　

Noninvasive DC Current Monitoring for High-Sensitivity With Temperature Compensation

Yifan Fang, Takahito Ono, Dong F. Wang

IEEE Transactions on Industrial Electronics　2025年

DOI： 10.1109/TIE.2025.3587115 　

Magnetic Sensor Using a Microfabricated Soft Magnet Resonator With Active Q-Factor Enhancement 査読有り

Zhijian Zhao, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEE Sensors Journal　2024年12月1日

DOI： 10.1109/JSEN.2024.3476499 　

Water Evaporation-induced Power Generation Using Porous AZO Films 査読有り

Ayumu Hinata, Takahito Ono, Masaya Toda

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　144　(7)　176-180　2024年7月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.144.176 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

A resonant magnetic microsensor based on magnetic torque with piezoresistive readout 査読有り

Zhijian Zhao, Masaya Toda, Takahito Ono

Applied Physics Letters　124　(25)　2024年6月17日

DOI： 10.1063/5.0207431 　

ISSN：0003-6951

Vibration Readout of Microstructure Based on Inverse-Magnetostriction With an Integrated Hall Sensor 査読有り

Takahito Ono, Taiga Ezura, Naoki Inomata

IEEE Sensors Journal　24　(7)　9604-9610　2024年4月1日

DOI： 10.1109/JSEN.2024.3364129 　

ISSN：1530-437X

eISSN：1558-1748

Nanoengineered micro-supercapacitors based on graphene nanowalls for self-powered wireless sensing system 査読有り

Nguyen Van Toan, Hongtao Sui, Jinhua Li, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

Journal of Energy Storage　81　2024年3月15日

DOI： 10.1016/j.est.2024.110446 　

eISSN：2352-152X

Actuation of microstructures with spin-current volume effect 査読有り

Yi-Te Huang, Kenta Suzuki, Hiroki Arisawa, Takashi Kikkawa, Eiji Saitoh, Takahito Ono

Communications Engineering　3　(1)　2024年3月7日

DOI： 10.1038/s44172-024-00187-3 　

eISSN：2731-3395

A Large-Stroke 3-DOF Micromirror With Novel Lorentz Force-Based Actuators Utilizing Metallic Glass Thin Film 査読有り

Chuan-Hui Ou, Nguyen Van Toan, Yao-Chuan Tsai, Ioana Voiculescu, Masaya Toda, Takahito Ono

Journal of Microelectromechanical Systems　33　(1)　46-53　2024年2月1日

DOI： 10.1109/JMEMS.2023.3337333 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158

Nano-diamond on Si Cantilever based Multi-dimensional Stress Sensing under Static Magnetic Field 査読有り

Kanta Yamakawa, Yuta Ochiai, Takahito Ono, Masaya Toda

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　144　(5)　89-93　2024年

DOI： 10.1541/ieejsmas.144.89 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

An Electromagnetically Driven Micromirror with a Large Stroke 査読有り

Chuan Hui Ou, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Sensors and Materials　36　(6)　2237-2248　2024年

DOI： 10.18494/SAM5027 　

ISSN：0914-4935

Joule magnetostriction and volume magnetostriction of Iron Gallium thin films 査読有り

Yin Chen Huang, Ioana Voiculescu, Takahito Ono

Journal of Magnetism and Magnetic Materials　588　2023年12月15日

DOI： 10.1016/j.jmmm.2023.171419 　

ISSN：0304-8853

Stress and electric field induced phase transitions for ultra high energy conversion in ferroelectrics 査読有り

Gaspard Taxil, Gaël Sebald, Tung Thanh Nguyen, Benjamin Ducharne, Hung Hoang Nguyen, Takahito Ono, Hiroki Kuwano, Mickaël Lallart

Acta Materialia　261　2023年12月1日

DOI： 10.1016/j.actamat.2023.119367 　

ISSN：1359-6454

Magnetostriction and volume magnetostriction of sputtered Tb20Fe24Co56 film 査読有り

Yi-Te Huang, Takahito Ono

Materials Research Express　10　(10)　2023年10月1日

DOI： 10.1088/2053-1591/acfd0d 　

eISSN：2053-1591

Thermoelectric properties of Indium doped skutterudite thick film synthesized by a facile technique of electrochemical deposition 査読有り

Nuur Syahidah Sabran, Iman Aris Fadzallah, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono

Journal of Materiomics　9　(5)　899-909　2023年9月

DOI： 10.1016/j.jmat.2023.02.013 　

ISSN：2352-8478

eISSN：2352-8486

Piezoelectric small scale generator: towards near-Joule output energy generation 査読有り

Gael Sebald, Nguyen Thanh Tung, Gaspard Taxil, Benjamin Ducharne, Jhordan Chavez, Takahito Ono, Hiroki Kuwano, Elie Lefeuvre, Mickaël Lallart

Smart Materials and Structures　32　(8)　2023年8月

DOI： 10.1088/1361-665X/acdf31 　

ISSN：0964-1726

eISSN：1361-665X

Magnetostriction of electroplated TbFeCo thin films 査読有り

Yi-Te Huang, Takahito Ono

Journal of Magnetism and Magnetic Materials　577　2023年7月1日

DOI： 10.1016/j.jmmm.2023.170799 　

ISSN：0304-8853

Metal-Multilayered Nanomechanical Cantilever Sensor for Detection of Molecular Adsorption 査読有り

Masaya Toda, Takahito Ono, Jun Okubo

Biosensors　13　(6)　2023年6月

DOI： 10.3390/bios13060573 　

eISSN：2079-6374

Directional Energy Transfer in a Coupled Symmetrical Multifrequency Atomic Force Microscope Cantilever 査読有り

Haiteng Ma, Shaokang Chen, Dong F. Wang, Jin Wang, Takahito Ono

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement　72　2023年

DOI： 10.1109/TIM.2023.3306841 　

ISSN：0018-9456

eISSN：1557-9662

A Large-Stroke Tip-Tilt-Piston Micromirror with Electromagnetic Actuators Based on Metallic Glass

Chuan Hui Ou, Nguyen V. Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2023-January　1103-1106　2023年

DOI： 10.1109/MEMS49605.2023.10052335 　

ISSN：1084-6999

Measurement of cellular thermal properties and their temperature dependence based on frequency spectra via an on-chip-integrated microthermistor 査読有り

Naoki Inomata, Takumi Miyamoto, Kohki Okabe, Takahito Ono

Lab on a Chip　2023年

DOI： 10.1039/d2lc01185a 　

ISSN：1473-0197

eISSN：1473-0189

Quality factor control of mechanical resonators using variable phononic bandgap on periodic microstructures 査読有り

Naoki Inomata, Yuka Tonsho, Takahito Ono

Scientific Reports　12　(1)　2022年12月

DOI： 10.1038/s41598-021-04459-2 　

eISSN：2045-2322

Magnetically coupled oscillators applicable to high-sensitivity mass detection 査読有り

Cao Xia, Dong F. Wang, Takahito Ono, Toshihiro Itoh, Masayoshi Esashi

Microsystem Technologies　28　(11)　2443-2453　2022年11月

DOI： 10.1007/s00542-022-05375-9 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Ultra-flexible thermoelectric generator based on silicone rubber sheet and electrodeposited thermoelectric material for waste heat harvesting 査読有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Hongtao Sui, Nguyen Huu Trung, Khairul Fadzli Samat, Takahito Ono

Energy Reports　8　5026-5037　2022年11月

DOI： 10.1016/j.egyr.2022.03.121 　

eISSN：2352-4847

Highly enhanced thermoelectric and mechanical properties of Bi<inf>2</inf>Te<inf>3</inf> hybrid nanocomposite with inclusion of Pt nanoparticles and SWCNTs 査読有り

Khairul Fadzli Samat, Yijie Li, Nguyen Van Toan, Mohd Asyadi Azam, Takahito Ono

Journal of Materials Research　37　(20)　3445-3458　2022年10月28日

DOI： 10.1557/s43578-022-00694-z 　

ISSN：0884-2914

eISSN：2044-5326

Effects of temperature and doping concentration on the piezoresistive property of vanadium dioxide thin film 査読有り

Naoki Inomata, Takuto Usuda, Yuji Yamamoto, Marvin H. Zoellner, Ioan Costina, Takahito Ono

Sensors and Actuators A: Physical　346　2022年10月16日

DOI： 10.1016/j.sna.2022.113823 　

ISSN：0924-4247

Modeling of Olsen cycle for pyroelectric energy harvesting and assessment of abnormal electrocaloric effect in ferroelectric single crystals 査読有り

G. Taxil, M. Lallart, B. Ducharne, T. T. Nguyen, H. Kuwano, T. Ono, G. Sebald

Journal of Applied Physics　132　(14)　2022年10月14日

DOI： 10.1063/5.0107429 　

ISSN：0021-8979

eISSN：1089-7550

Temperature depended resistive property of fermented soybeans (Japanese natto) as a temperature sensor material 査読有り

Naoki Inomata, Takahito Ono

Japanese Journal of Applied Physics　61　(10)　2022年10月1日

DOI： 10.35848/1347-4065/ac8bbb 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Widening frequency bandwidth with parametric coupling in a wings-inspired low frequency MEMS energy harvester 査読有り

Jie Song, Cao Xia, Guansong Shan, Zhuqing Wang, Takahito Ono, Dong F. Wang

Energy Conversion and Management　267　2022年9月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2022.115924 　

ISSN：0196-8904

Review of Magnetic Resonance Force Sensors Based on Nanomechanical Cantilever 査読有り

Masaya Toda, Gaopeng Xue, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　142　(9)　224-229　2022年9月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.142.224 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Micro-heat sink based on silicon nanowires formed by metal-assisted chemical etching for heat dissipation enhancement to improve performance of micro-thermoelectric generator 査読有り

Nguyen Van Toan, Keisuke Ito, Truong Thi Kim Tuoi, Masaya Toda, Po Hung Chen, Mohd Faizul Mohd Sabri, Jinhua Li, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　267　2022年9月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2022.115923 　

ISSN：0196-8904

Demonstration of Heterogeneous Structure for Fabricating a Comb-Drive Actuator for Cryogenic Applications 査読有り

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Xinghui Li, Bing Li, Takahito Ono

Micromachines　13　(8)　2022年8月

DOI： 10.3390/mi13081287 　

eISSN：2072-666X

High-performance flexible thermoelectric generator for self-powered wireless BLE sensing systems 査読有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

Journal of Power Sources　536　2022年7月15日

DOI： 10.1016/j.jpowsour.2022.231504 　

ISSN：0378-7753

Nanoengineered nanochannels for thermally ionic nanofluidic energy harvesting 査読有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Naoki Inomata, Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan, Masaya Toda, Ioana Voiculescu, Suhana Mohd Said, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　264　2022年7月15日

DOI： 10.1016/j.enconman.2022.115760 　

ISSN：0196-8904

A mosquito-inspired self-adaptive energy harvester for multi-directional vibrations 査読有り

Minglei Han, Xu Yang, Dong F. Wang, Lei Jiang, Wei Song, Takahito Ono

Applied Energy　315　2022年6月1日

DOI： 10.1016/j.apenergy.2022.119040 　

ISSN：0306-2619

Density effects of vertical graphene nanowalls on supercapacitor performance 査読有り

Hongtao Sui, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Materials Advances　3　(13)　5406-5417　2022年5月18日

DOI： 10.1039/d2ma00074a 　

eISSN：2633-5409

Observation of spin-current striction in a magnet 査読有り

Hiroki Arisawa, Hang Shim, Shunsuke Daimon, Takashi Kikkawa, Yasuyuki Oikawa, Saburo Takahashi, Takahito Ono, Eiji Saitoh

Nature Communications　13　2440　2022年5月

DOI： 10.1038/s41467-022-30115-y 　

800 nm band MEMS-tunable VCSEL for microfabricated atomic clock

Zhijan Zhao, Masaya Toda, Takahito Ono, Motoaki Hara, Satoshi Shinada, Hiroshi Nakagawa, Katsuya Kikuchi

Proceeding of Smart System Integration (SSI) Conference 2022　2022年4月

DOI： 10.1109/SSI56489.2022.9901411 　

Self-powered wireless sensing system driven by daily ambient temperature energy harvesting 査読有り

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

APPLIED ENERGY　311　2022年4月

DOI： 10.1016/j.apenergy.2022.118679 　

ISSN：0306-2619

eISSN：1872-9118

Synchronous identification and successive detection of multiple traces with tunable coupling oscillators 査読有り

Cao Xia, Dong F. Wang, Jie Song, Takahito Ono, Toshihiro Itoh, Ryutaro Maeda, Masayoshi Esashi

Mechanical Systems and Signal Processing　166　2022年3月1日

DOI： 10.1016/j.ymssp.2021.108395 　

ISSN：0888-3270

eISSN：1096-1216

Autoparametric Internal Resonance in Coupled Oscillator: An Excitation Amplitude Insensitive Mass Sensing Scheme With a Roof Tilting 査読有り

Cao Xia, Dong F. Wang, Takahito Ono, Toshihiro Itoh, Ryutaro Maeda

IEEE Sensors Journal　22　(3)　1998-2005　2022年2月1日

DOI： 10.1109/JSEN.2021.3134464 　

ISSN：1530-437X

eISSN：1558-1748

Assembled Comb-Drive XYZ-Microstage With Large Displacements and Low Crosstalk for Scanning Force Microscopy 査読有り

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Xinghui Li, Xiaohao Wang, Takahito Ono

Journal of Microelectromechanical Systems　31　(1)　54-62　2022年2月1日

DOI： 10.1109/JMEMS.2021.3123962 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158

Development of Nanomechanical Multisensory Arrays for Detection of Hazardous Volatile Materials and Gases

Md. Abdul Momin, Zhuqing Wang, Masaya Toda, Mai Yamazaki, Krzysztof Moorthi, Yasuaki Kawaguchi, Takahito Ono

2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS)　2022年1月9日

DOI： 10.1109/mems51670.2022.9699548 　

Micro Vapor Cells Sealed by Two-Step Bonding for Miniature Atomic Clocks

Hitoshi Nishino, Yasubumi Furuya, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2022-January　983-986　2022年

DOI： 10.1109/MEMS51670.2022.9699590 　

ISSN：1084-6999

FBAR Oscillator and MEMS Tunable VCSEL to Generate the Probe Lasers for Microfabricated Atomic Clock

Motoaki Hara, Satoshi Shinada, Yuichiro Yano, Tetsuya Ido, Zhijian Zhao, Masaya Toda, Takahito Ono, Horoyuki Ito

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS　2022-October　2022年

DOI： 10.1109/IUS54386.2022.9958796 　

ISSN：1948-5719

eISSN：1948-5727

Micro-fabricated vapor cells with sealed Rb atoms by distillation at wafer level and two-step bonding for miniature atomic clocks

Hitoshi Nishino, Yasubumi Furuya, Takahito Ono

Optics Express　2021年12月20日

DOI： 10.1364/OE.442859 　

Aluminum doped zinc oxide deposited by atomic layer deposition and its applications to micro/nano devices 査読有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Scientific Reports　11　(1)　2021年12月

DOI： 10.1038/s41598-020-80880-3 　

eISSN：2045-2322

Internal resonance in coupled oscillators – Part II: A synchronous sensing scheme for both mass perturbation and driving force with duffing nonlinearity

Cao Xia, Dong F. Wang, Takahito Ono, Toshihiro Itoh, Masayoshi Esashi

Mechanical Systems and Signal Processing　160　2021年11月1日

DOI： 10.1016/j.ymssp.2021.107887 　

ISSN：1096-1216 0888-3270

Comprehensive study of magnetostriction-based MEMS magnetic sensor of a FeGa/PZT cantilever 査読有り

Mohammad Akita Indianto, Masaya Toda, Takahito Ono

Sensors and Actuators, A: Physical　331　2021年11月1日

DOI： 10.1016/j.sna.2021.112985 　

ISSN：0924-4247

Magnetic Resonance Force Microscopy With Vacuum-Packaged Magnetic Cantilever Towards Free Radical Detection 査読有り

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Xinghui Li, Xiaohao Wang, Takahito Ono

IEEE Sensors Journal　2021年10月15日

DOI： 10.1109/JSEN.2021.3106352 　

ISSN：1530-437X

eISSN：1558-1748

Internal resonance in coupled oscillators – Part I: A double amplification mass sensing scheme without Duffing nonlinearity

Cao Xia, Dong F. Wang, Takahito Ono, Toshihiro Itoh, Masayoshi Esashi

Mechanical Systems and Signal Processing　159　2021年10月1日

DOI： 10.1016/j.ymssp.2021.107886 　

ISSN：1096-1216 0888-3270

Thermoelectric generator with a high integration density for portable and wearable self-powered electronic devices 査読有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Hieu, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　245　2021年10月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2021.114571 　

ISSN：0196-8904

Three-dimensional imaging of electron spin resonance-magnetic resonance force microscopy at room temperature 査読有り

Masaya Toda, Takahito Ono

Journal of Magnetic Resonance　330　2021年9月

DOI： 10.1016/j.jmr.2021.107045 　

ISSN：1090-7807

eISSN：1096-0856

Vertically-oriented graphene electrodeposited with MnO<inf>2</inf> on native SiO<inf>2</inf>/Si for high-performance supercapacitor electrodes 査読有り

Hongtao Sui, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Journal of Electroanalytical Chemistry　895　2021年8月15日

DOI： 10.1016/j.jelechem.2021.115507 　

ISSN：1572-6657

eISSN：1873-2569

Evaluation of Microfluidic Channels With Thin Si Windows and Trapping Structures 査読有り

Masaya Toda, Hideki Hayashi, Nguyen van Toan, Naoki Inomata, Takahito Ono

Journal of Microelectromechanical Systems　30　(4)　560-568　2021年8月

DOI： 10.1109/JMEMS.2021.3076791 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158

Enhanced Thermoelectric Properties of Skutterudite Thick Film Polyvinyl Alcohol Assisted from the Post-Deposition Annealing Effect

Nuur Syahidah Sabran, Iman Aris Fadzallah, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono, Khairul Fadzli Samat, Siti Nor Farhana Yusuf, Rahman Saidur

Journal of the Electrochemical Society　168　(7)　2021年7月1日

DOI： 10.1149/1945-7111/ac13d0 　

ISSN：1945-7111 0013-4651

Integration of Magnetostrictive Microsensor with Hall Element for Microstructure Resonant Detection

Taiga Ezura, Naoki Inomata, Takahito Ono

21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021　418-422　2021年6月20日

DOI： 10.1109/Transducers50396.2021.9495689 　

Carbon Black-Gelatin Composite Thin-Film Chemiresistor with Large Response to Chemical Vapors

Chun Huang, Zhuqing Wang, Yi Te Huang, Noriko Tsuruoka, Takahito Ono

21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021　880-883　2021年6月20日

DOI： 10.1109/Transducers50396.2021.9495585 　

Heat Storage Thermoelectric Generator for Wireless IOT Sensing Systems

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021　924-927　2021年6月20日

DOI： 10.1109/Transducers50396.2021.9495686 　

Evaluation of New Solid Rubidium Source Using Atomic Clock Stabilization Loop

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masaya Toda, Takahito Ono, Tetsuya Ido

2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)　2021年6月20日

DOI： 10.1109/transducers50396.2021.9495382 　

Reflection-type vapor cell for micro atomic clocks using local anodic bonding of 45° mirrors 査読有り

Hitoshi Nishino, Yuichiro Yano, Motoaki Hara, Masaya Toda, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Takahito Ono

Optics Letters　46　(10)　2272-2275　2021年5月15日

DOI： 10.1364/OL.424354 　

ISSN：0146-9592

eISSN：1539-4794

A high-frequency narrow-band filtering mechanism based on auto-parametric internal resonance

Rong Wang, Cao Xia, Dong F. Wang, Takahito Ono

Proceedings of the 16th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2021　670-675　2021年4月25日

DOI： 10.1109/NEMS51815.2021.9451334 　

Chip-level-microassembly Comb-drive XYZ-microstage with Large Displacements and Low Crosstalk

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Xinghui Li, Takahito Ono

Proceedings of the 16th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2021　43-46　2021年4月

DOI： 10.1109/NEMS51815.2021.9451392 　

Electroplated FePt Films for Micromechanical Magnetic Sensors 査読有り

Masaya Toda, Hao Xu, Takahito Ono

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science　218　(8)　2021年4月

DOI： 10.1002/pssa.202000547 　

ISSN：1862-6300

eISSN：1862-6319

Miniature piezoresistive sensor for detecting volatile organic components 査読有り

Masaya Toda, Krzysztof Moorthi, Takumi Hokama, Zhuqing Wang, Mai Yamazaki, Takahito Ono

Sensors and Actuators, B: Chemical　333　2021年4月

DOI： 10.1016/j.snb.2021.129524 　

ISSN：0925-4005

Torsional resonator of Pd–Si–Cu metallic glass with a low rotational spring constant 査読有り

Masaya Toda, Chunyang Li, Nguyen Van Toan, Yao Chuan Tsai, Yu Ching Lin, Takahito Ono

Microsystem Technologies　27　(3)　929-935　2021年3月

DOI： 10.1007/s00542-020-04996-2 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Morphological Analysis and Properties Evaluation of Electrodeposited Thick BiSbTe Films with Cooperative Interactions among Multiple Additives 査読有り

Wei Yu, Nguyen Van Toan, Yi Jie Li, Zhuqing Wang, Takahito Ono, Ruochen Wang

Journal of the Electrochemical Society　168　(2)　2021年2月

DOI： 10.1149/1945-7111/abdd7b 　

ISSN：0013-4651

eISSN：1945-7111

Micromachined Multi-Ion Sources Integrated Micro-Fluidic Channels

Nguyen Van Chinh, Le Van Minh, Takahito Ono, Hiroki Kuwano

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2021-January　14-17　2021年1月25日

DOI： 10.1109/MEMS51782.2021.9375217 　

ISSN：1084-6999

Formation and Evaluation of Silicon Substrate with Highly-Doped Porous Si Layers Formed by Metal-Assisted Chemical Etching 査読有り

Yijie Li, Nguyen Van Toan, Zhuqing Wang, Khairul Fadzli Bin Samat, Takahito Ono

Nanoscale Research Letters　16　(1)　2021年

DOI： 10.1186/s11671-021-03524-z 　

ISSN：1931-7573

eISSN：1556-276X

Heat storage thermoelectric generator as an electrical power source for wireless Iot sensing systems 査読有り

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

International Journal of Energy Research　45　(10)　15557-15568　2021年

DOI： 10.1002/er.6774 　

ISSN：0363-907X

eISSN：1099-114X

An adjustable pre-stress based sensitivity enhancement scheme for cantilever-based resonant sensors 査読有り

Ziqi Zhao, Dong F. Wang, Xueqiao Lou, Takahito Ono, Toshihiro Itoh

Mechanical Systems and Signal Processing　146　2021年1月1日

DOI： 10.1016/j.ymssp.2020.107002 　

ISSN：0888-3270

eISSN：1096-1216

Micro-Fabricated Presure Sensor Using 50 nm-Thick of Pd-Based Metallic Glass Freestanding Membrane 査読有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Yao Chuan Tsai, Yu Ching Lin, Takahito Ono

Scientific Reports　10　(1)　2020年12月1日

DOI： 10.1038/s41598-020-67150-y 　

eISSN：2045-2322

Thermoelectric generators for heat harvesting: From material synthesis to device fabrication 査読有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　225　2020年12月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2020.113442 　

ISSN：0196-8904

Temperature-dependence of the electrical impedance properties of sodium hydroxide-contained polyethylene oxide as an ionic liquid 査読有り

Naoki Inomata, Nguyen van Toan, Takahito Ono

Sensors and Actuators, A: Physical　316　2020年12月1日

DOI： 10.1016/j.sna.2020.112369 　

ISSN：0924-4247

Thermoelectrical properties of silicon substrates with nanopores synthesized by metal-assisted chemical etching 査読有り

Yijie Li, Nguyen Van Toan, Zhuqing Wang, Khairul Fadzli Samat, Takahito Ono

Nanotechnology　31　(45)　2020年11月6日

DOI： 10.1088/1361-6528/ab8fe1 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

Development of assembled microchannel resonator as an alternative fabrication method of a microchannel resonator for mass sensing in flowing liquid 査読有り

M. A. Indianto, M. Toda, T. Ono

Biomicrofluidics　14　(6)　2020年11月1日

DOI： 10.1063/5.0032040 　

ISSN：1932-1058

Liquid and solid states on-chip micro-supercapacitors using silicon nanowire-graphene nanowall-pani electrode based on microfabrication technology 査読有り

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Jinhua Li, Naoki Inomata, Takahito Ono

Materials Research Bulletin　131　2020年11月

DOI： 10.1016/j.materresbull.2020.110977 　

ISSN：0025-5408

A 115× Conversion-Ratio Thermoelectric Energy-Harvesting Battery Charger for the Internet of Things 査読有り

Ming Jie Chung, Tetsuya Hirose, Takahito Ono, Po Hung Chen

IEEE Transactions on Circuits and Systems I: Regular Papers　67　(11)　4110-4121　2020年11月

DOI： 10.1109/TCSI.2020.3012599 　

ISSN：1549-8328

eISSN：1558-0806

Theoretical and experimental investigation of a thermoelectric generator (TEG) integrated with a phase change material (PCM) for harvesting energy from ambient temperature changes 査読有り

Truong Thi Kim Tuoi, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Energy Reports　6　2022-2029　2020年11月

DOI： 10.1016/j.egyr.2020.07.023 　

eISSN：2352-4847

Magnetic Field Sensor Based on Hybrid of Magnetostrictive and Piezoelectric Materials 査読有り

Mohammad Akita Indianto, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of IEEE Sensors　2020-October　MSS-19-047-1-MSS-19-047-4　2020年10月25日

DOI： 10.1109/SENSORS47125.2020.9278725 　

ISSN：1930-0395

eISSN：2168-9229

Compact Micro Thermal Sensor Based on Silicon Thermocouple Junction and Suspended Fluidic Channel 査読有り

Zhuqing Wang, Mitsuteru Kimura, Naoki Inomata, Jinhua Li, Takahito Ono

IEEE Sensors Journal　20　(19)　11122-11127　2020年10月1日

DOI： 10.1109/JSEN.2020.2997926 　

ISSN：1530-437X

eISSN：1558-1748

Bridged resonator based on assembled Si thin wire 査読有り

Masaya Toda, Taichi Nakamura, Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　30　(10)　2020年10月

DOI： 10.1088/1361-6439/aba6cc 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Vacancy color stress sensing with embedded diamond particles on Si micro-cantilevers 査読有り

Masaya Toda, Akhtar M. Shahrukh, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　140　(9)　222-227　2020年9月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.140.222 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

A mass multi-warning scheme based on one-to-three internal resonance 査読有り

Cao Xia, Dong F. Wang, Takahito Ono, Toshihiro Itoh, Ryutaro Maeda

Mechanical Systems and Signal Processing　142　2020年8月

DOI： 10.1016/j.ymssp.2020.106784 　

ISSN：0888-3270

eISSN：1096-1216

Flexible porous carbon black-polymer composites with a high gauge factor 査読有り

Yi Te Huang, Naoki Inomata, Zhuqing Wang, Yu Ching Lin, Takahito Ono

Sensors and Materials　32　(7)　2527-2538　2020年7月

DOI： 10.18494/SAM.2020.2853 　

ISSN：0914-4935

Study and fabrication of a flexible Zr-based metallic glass thin film strain gauge 査読有り

Yen Chi Lu, Chun Yu Chiang, Yu Chieh Chen, Yu Ching Lin, Takahito Ono, Yao Chuan Tsai

Japanese Journal of Applied Physics　59　(SI)　2020年6月1日

DOI： 10.35848/1347-4065/ab7f1b 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Electrostatic metallic glass micro-mirror fabricated by the self-aligned structures 査読有り

Zhao Ying Wang, Yu Yen Chen, Yu Ching Lin, Takahito Ono, Ming Tzer Lin, Yao Chuan Tsai

Japanese Journal of Applied Physics　59　(SI)　2020年6月1日

DOI： 10.35848/1347-4065/ab7477 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Micropatterning and Integration of Electrospun PVDF Membrane into Microdevice 査読有り

Iman Aris Fadzallah, Nuur Syahidah Sabran, Nguyen Van Toan, Takahito Ono, Suhana Mohd Said, Mohd Faizul Mohd Sabri

Journal of Microelectromechanical Systems　29　(3)　438-445　2020年6月

DOI： 10.1109/JMEMS.2020.2983717 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158

Hermetically Packaged Microsensor for Quality Factor-Enhanced Photoacoustic Biosensing 査読有り

Imran Latif, Masaya Toda, Takahito Ono

Photoacoustics　18　2020年6月

DOI： 10.1016/j.pacs.2020.100189 　

ISSN：2213-5979

Magnetostrictive performance of electrodeposited Tb<inf>x</inf>Dy<inf>(1-x)</inf>Fe<inf>y</inf> thin film with microcantilever structures 査読有り

Hang Shim, Kei Sakamoto, Naoki Inomata, Masaya Toda, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Micromachines　11　(5)　2020年5月1日

DOI： 10.3390/mi11050523 　

eISSN：2072-666X

Short-term temperature change detections and frequency signals in single cultured cells using a microfabricated thermistor 査読有り

Naoki Inomata, Ryohei Inaoka, Kohki Okabe, Takashi Funatsu, Takahito Ono

Sensing and Bio-Sensing Research　27　2020年2月

DOI： 10.1016/j.sbsr.2019.100309 　

eISSN：2214-1804

Logic gates based on electrically driven nanoelectromechanical switches 査読有り

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　14　(2)　335-336　2020年2月

DOI： 10.1002/tee.22814 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981

A black gauze cap-shaped bistable energy harvester with a movable design for broadening frequency bandwidth 査読有り

Jie Song, Dong F. Wang, Guansong Shan, Takahito Ono, Toshihiro Itoh, Isao Shimoyama, Ryutaro Maeda

Smart Materials and Structures　29　(2)　2020年

DOI： 10.1088/1361-665X/ab6077 　

ISSN：0964-1726

eISSN：1361-665X

High Performance Micro-Thermoelectric Generator Based on Metal Doped Electrochemical Deposition

Nguyen Van Toan, Truong Thi Kim Tuoi, Khairul Fadzli Samat, Hongtao Sui, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2020-January　570-573　2020年1月

DOI： 10.1109/MEMS46641.2020.9056358 　

ISSN：1084-6999

Metallic glass thin film integrated with flexible membrane for electromagnetic micropump application 査読有り

Yi Fang Huang, Chen Han Tsou, Chia Jui Hsu, Yu Ching Lin, Takahito Ono, Yao Chuan Tsai

Japanese Journal of Applied Physics　59　(SI)　2020年

DOI： 10.35848/1347-4065/ab82a7 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Carbon Black Nanoparticles Inclusion in Bismuth Telluride Film for Micro Thermoelectric Generator Application

Khairul Fadzli Samat, Yijie Li, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2020-January　562-565　2020年1月

DOI： 10.1109/MEMS46641.2020.9056323 　

ISSN：1084-6999

Acoustic Amplification Using Characteristic Geometry-Based Integrated Platforms for Micromechanical Resonant Detection

Imran Latif, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2020-January　834-837　2020年1月

DOI： 10.1109/MEMS46641.2020.9056209 　

ISSN：1084-6999

Design and fabrication of on-chip micro-thermoelectric cooler based on electrodeposition process 査読有り

Jirath Enju, Nguyen Huu Trung, Samat Khairul Fadzli, Po Hung Chen, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　140　(1)　18-23　2020年

DOI： 10.1541/ieejsmas.140.18 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

NVCを有するナノダイヤモンドを用いた磁場イメージング

戸田 雅也, アクタール シャールク, 小野 崇人

電気学会研究会資料.　2019　MSS-19-046-1-MSS-19-046-3　2019年12月26日

Drift-free FBAR oscillator using an atomic-resonance-stabilization technique

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Shinsuke Hara, Akifumi Kasamatsu, Tetsuya Ido, Hiroyuki Ito, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)　2019　2178-2181　2019年12月9日

Spin Seebeck mechanical force 査読有り

Kazuya Harii, Yong Jun Seo, Yasumasa Tsutsumi, Hiroyuki Chudo, Koichi Oyanagi, Mamoru Matsuo, Yuki Shiomi, Takahito Ono, Sadamichi Maekawa, Eiji Saitoh

Nature Communications　10　(1)　2019年12月1日

DOI： 10.1038/s41467-019-10625-y 　

eISSN：2041-1723

Mechanically strengthened graphene-Cu composite with reduced thermal expansion towards interconnect applications 査読有り

Zhonglie An, Jinhua Li, Akio Kikuchi, Zhuqing Wang, Yonggang Jiang, Takahito Ono

Microsystems and Nanoengineering　5　(1)　2019年12月1日

DOI： 10.1038/s41378-019-0059-0 　

eISSN：2055-7434

Fabrication of Cantilever with FeGa/PZT Layers for Magnetic Field Sensor

Indianto Mohammad Akita, 戸田 雅也, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　36　20am2-PS3-35-1-20am2-PS3-35-3　2019年11月19日

核スピン偏極度検出のための低弾性率共振子

李 春洋, 戸田 雅也, TOAN NGUYEN Van, 林 育菁, Tsai Yao-Chuan, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　36　19pm3-T-5-1-19pm3-T-5-4　2019年11月19日

Thermoelectric power battery using al<inf>2</inf>o<inf>3</inf> nanochannels of 10 nm diameter for energy harvesting of low-grade waste heat 査読有り

Nguyen Van Toan, Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan, Daiki Udagawa, Naoki Inomata, Masaya Toda, Suhana Mohd Said, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono

Energy Conversion and Management　199　2019年11月1日

DOI： 10.1016/j.enconman.2019.111979 　

ISSN：0196-8904

Resonant magnetic sensor using concentration of magnetic field gradient by asymmetric permalloy plates 査読有り

Microsystem Technologies　25　(10)　3983-3989　2019年10月1日

DOI： 10.1007/s00542-018-4257-8 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Preparation and Characterization of Electrochemical Deposition Cobalt Triantimonide (CoSb<inf>3</inf>) Thick Film: Effects of Polyvinyl Alcohol (PVA) as an Additive 査読有り

Nuur Syahidah Sabran, Iman Aris Fadzallah, Takahito Ono, Suhana Mohd Said, Mohd Faizul Mohd Sabri

Journal of Electronic Materials　48　(8)　5003-5011　2019年8月15日

DOI： 10.1007/s11664-019-07295-3 　

ISSN：0361-5235

Enhancement in thermoelectric performance of electrochemically deposited platinum-bismuth telluride nanocomposite 査読有り

Khairul Fadzli Samat, Nguyen Huu Trung, Takahito Ono

Electrochimica Acta　312　62-71　2019年7月20日

DOI： 10.1016/j.electacta.2019.04.139 　

ISSN：0013-4686

ナノダイヤモンドのイオン注入による蛍光強度評価

巻島創, 戸田雅也, 小野崇人

電気学会研究会資料　(MSS-19-011-028.030-034)　13‐15　2019年7月1日

Silicon-based micro calorimeter with single thermocouple structure for thermal characterization 査読有り

Zhuqing Wang, Mitsuteru Kimura, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEE Electron Device Letters　40　(7)　1198-1200　2019年7月

DOI： 10.1109/LED.2019.2918238 　

ISSN：0741-3106

eISSN：1558-0563

Magnetostrictive Performance of Electrodeposited TB<inf>X</inf>DY<inf>(1-X)</inf>FE<inf>Y</inf> Thin Filmevaluated from Microactuator

Hang Shim, Kei Sakamoto, Naoki Inomata, Masaya Toda, Nguyen Van Toan, Yunheub Song, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　1698-1700　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808489 　

A Reflection Type Vapor Cell Based on Local Anodic Bonding of 45° Mirrors for Micro Atomic Clocks

Hitoshi Nishino, Masaya Toda, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Motoaki Hara, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　1530-1532　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808772 　

Metal-Assisted Chemical Etching Method Subjected to Micro/Nano Device Fabrication

Nguyen Van Toan, Xiaoyue Wang, Naoki Inomata, Masaya Toda, Ioana Voiculescu, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　1639-1642　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808663 　

Highly Sensitive Structure of Nanomechanical Gas Sensor Based on Stress Concentration Generated by Cantilever Lateral Deflection

Zhuqing Wang, Takumi Hokama, Masaya Toda, Mai Yamazaki, Krzysztof Moorthi, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　2107-2109　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808616 　

Fabrication of on-chip vacuum pump using a silicon nanostructure by metal-assisted chemical etching 査読有り

Naoki Inomata, Kentaro Kamakura, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　14　(6)　954-958　2019年6月

DOI： 10.1002/tee.22887 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981

A Micromachined Ionic Liquid Ion Source with Flow-Controlled Segmented Annular Channels

Nguyen Van Chinh, Le Van Minh, Takahito Ono, Hiroki Kuwano

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　1674-1677　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808471 　

A Novel Photoacoustic Microsensor for Enhanced Quality Factor Detection of Low Concentration Analytes

Imran Latif, Zhonglie An, Masaya Toda, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　2065-2067　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808250 　

Temperature Sensor Using Two Thermoelectric Liquid Electrolytes in Microfluidic Channels

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　2166-2169　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808737 　

Nanoelectromechanical Logical Gates Utilising Selective Tungsten Chemical Vapor Deposition

Nguyen Van Toan, Dong Zhao, Naoki Inomata, Masaya Toda, Yunheub Song, Takahito Ono

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII　216　(14)　1709-1711　2019年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808313 　

ISSN：1862-6300

eISSN：1862-6319

High-Gauge Factor Strain Sensor Based on Piezoelectric Aluminum Nitride Coupled to MOSFET 査読有り

Minjie Zhu, Naoki Inomata, Nobuyoshi Adachi, Atsushi Sakurai, Masanobu Nomura, Takahito Ono

IEEE Sensors Journal　19　(10)　3626-3632　2019年5月15日

DOI： 10.1109/JSEN.2019.2895267 　

ISSN：1530-437X

eISSN：1558-1748

Liquid Thermocouple Using Thermoelectric Ionic Liquids 査読有り

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEE Sensors Letters　3　(5)　1-4　2019年5月

DOI： 10.1109/lsens.2019.2912418 　

eISSN：2475-1472

Investigation of the Impact of External Stress on Memory Characteristics by Modifying the Backside of Substrate 査読有り

Young Taek Oh, Jae Min Sim, Nguyen Van Toan, Hisashi Kino, Takahito Ono, Tetsu Tanaka, Yun Heub Song

IEEE Transactions on Electron Devices　66　(4)　1741-1746　2019年4月

DOI： 10.1109/TED.2019.2900155 　

ISSN：0018-9383

Enzyme immobilization in completely packaged freestanding SU-8 microfluidic channel by electro click chemistry for compact thermal biosensor 査読有り

Process Biochemistry　79　57-64　2019年4月

DOI： 10.1016/j.procbio.2018.12.007 　

ISSN：1359-5113

Metal-assisted-chemical-etching of silicon nanowires for templating 3D graphene growth towards energy storage in microsystems 査読有り

Jinhua Li, Nguyen Van Toan, Zhuqing Wang, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　29　(5)　2019年3月29日

DOI： 10.1088/1361-6439/ab0b2f 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Piezoresistive strain sensor based on monolayer molybdenum disulfide continuous film deposited by chemical vapor deposition 査読有り

Minjie Zhu, Kei Sakamoto, Jinhua Li, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　29　(5)　2019年3月15日

DOI： 10.1088/1361-6439/ab0726 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

磁歪材料の電解めっき成膜とそのひずみセンサ応用

江面大河, 猪股直生, 戸田雅也, 古屋泰文, 小野崇人

電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)　2019　ROMBUNNO.3‐172　2019年3月1日

The effect of increasing interfacial strength in micro fluidic system for heat detection with micro-sandglass shaped interlocks 査読有り

Microsystem Technologies　25　(2)　633-640　2019年2月4日

DOI： 10.1007/s00542-018-3990-3 　

ISSN：0946-7076

Piezoresistive Nanomechanical Humidity Sensors Using Internal Stress In-Plane of Si-Polymer Composite Membranes 査読有り

Md. Mahabub Hossain, Masaya Toda, Takumi Hokama, Mai Yamazaki, Krzysztof Moorthi, Takahito Ono

IEEE Sensors Letters　3　(2)　2500404-1-2500404-4　2019年2月

DOI： 10.1109/LSENS.2019.2893298 　

A reflection-type vapor cell using anisotropic etching of silicon for micro atomic clocks 査読有り

Hitoshi Nishino, Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masaya Toda, Yoshiaki Kanamori, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Takahito Ono

Applied Physics Express　12　(7)　2019年

DOI： 10.7567/1882-0786/ab2a3c 　

ISSN：1882-0778

eISSN：1882-0786

A Reflection-Type Vapor Cell for Micro Atomic Clock

Hitoshi Nishino, Masaya Toda, Yoshiaki Kanamori, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Tetsuya Ido, Motoaki Hara, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2019-January　915-918　2019年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2019.8870878 　

ISSN：1084-6999

Electrolyte Based Thermal to Electric Energy Conversion Utilising 10 nm Diameter AL<inf>2</inf>O<inf>3</inf> Nanochannels

Nguyen Van Toan, Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan, Daiki Udagawa, Naoki Inomata, Masaya Toda, Suhana Mohd Said, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2019-January　507-510　2019年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2019.8870755 　

ISSN：1084-6999

Low Cost and High-Aspect Ratio Micro/Nano Device Fabrication by Using Innovative Metal-Assisted Chemical Etching Method 査読有り

Nguyen Van Toan, Xiaoyue Wang, Naoki Inomata, Masaya Toda, Ioana Voiculescu, Takahito Ono

Advanced Engineering Materials　21　(8)　2019年

DOI： 10.1002/adem.201900490 　

ISSN：1438-1656

eISSN：1527-2648

Two-dimensional MEMS Fe-based metallic glass micromirror driven by an electromagnetic actuator 査読有り

Chuan Hui Ou, Yu Ching Lin, Yoshiteru Keikoin, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Yao Chuan Tsai

Japanese Journal of Applied Physics　58　(SD)　2019年

DOI： 10.7567/1347-4065/ab0493 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Vanadium-doped molybdenum disulfide film-based strain sensors with high gauge factor 査読有り

Minjie Zhu, Jinhua Li, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Applied Physics Express　12　(1)　2019年1月1日

DOI： 10.7567/1882-0786/aaf5c4 　

ISSN：1882-0778

eISSN：1882-0786

Nanoengineered thermoelectric energy devices for IoT sensing applications 査読有り

Takahito Ono, Trung Huu Nguyen, Khairul Fadzli Samat, Jinhua Li, Nguyen Van Toan

ECS Transactions　92　(4)　163-168　2019年

DOI： 10.1149/09204.0163ecst 　

ISSN：1938-6737

eISSN：1938-5862

Mechanical resonant magnetic sensor utilizing magnetically induced compressive load from magnetostrictive material 査読有り

Naoki Inomata, Taiga Ezura, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　139　(1)　21-26　2019年

DOI： 10.1541/ieejsmas.139.21 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

High Gauge Factor Strain Sensors Based on Vanadium Doped Molybedenum Disulfide 2D Films

Minjie Zhu, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2019-January　335-338　2019年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2019.8870660 　

ISSN：1084-6999

Enhancement of thermoelectric properties of bismuth telluride composite with gold nano-particles inclusions using electrochemical co-deposition 査読有り

Trung Huu Nguyen, Jirath Enju, Takahito Ono

Journal of the Electrochemical Society　166　(12)　D508-D513　2019年

DOI： 10.1149/2.1011912jes 　

ISSN：0013-4651

eISSN：1945-7111

埋め込み型ナノダイヤモンドを用いたダイヤモンドNVセンタによるストレス検出

戸田 雅也, アクタール シャールク, 小野 崇人

電気学会研究会資料.　2018　(204-224)　27-29　2018年12月20日

Constructing in-chip micro-supercapacitors of 3D graphene nanowall/ruthenium oxides electrode through silicon-based microfabrication technique 査読有り

Jinhua Li, Minjie Zhu, Zhonglie An, Zhuqing Wang, Masaya Toda, Takahito Ono

Journal of Power Sources　401　204-212　2018年10月15日

DOI： 10.1016/j.jpowsour.2018.08.099 　

ISSN：0378-7753

Manufacturing and characterization of simple cantilever thermal biosensor with Si-Metal thermocouple structure for enzymatic reaction detection 査読有り

Thermochimica Acta　668　110-115　2018年10月10日

DOI： 10.1016/j.tca.2018.08.020 　

ISSN：0040-6031

FBAR oscillator stabilized by Rb atomic resonator for SHF/EHF band wireless devices

M. Hara, Y. Yano, M. Kajita, S. Hara, A. Kasamatsu, M. Toda, H. Ito, T. Ono, T. Ido

the 2018 IEEE International Ultrasonics Symposium　2018-January　2018年10月

DOI： 10.1109/ULTSYM.2018.8579685 　

ISSN：1948-5727

eISSN：1948-5727

圧電薄膜共振子を利用した3.5 GHz帯CMOS発振回路の開発 と原子時計システムへの適用

原 基揚, 矢野 雄一郎, 梶田 雅稔, 西野 仁, 戸田 雅也, 原 紳介, 笠松 章史, 伊藤 浩之, 小野 崇人, 井戸 哲也

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　2018　01am2-A-3-1-01am2-A-3-4　2018年10月

Photoacoustic signal generation in condensed media and detection using vacuum packaged resonator

Latif Imran, An Zhonglie, 戸田 雅也, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　2018　01pm1-PS-190-1-01pm1-PS-190-6　2018年10月

ポリマーの体積変化とカンチレバーの横変位による応力集中を用いたピエゾ抵抗型ガスセンサ

外間 匠, 戸田 雅也, 山崎 舞, Moorthi Krzystof, 小野 祟人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　2018　01pm1-PS-190-1--01pm1-PS-190-6　2018年10月

Microwave oscillator using piezoelectric thin-film resonator aiming for ultraminiaturization of atomic clock 査読有り

S. Hara, A. Kasamatsu, H. Ito, T. Ono, T. Ido

Review of Scientific Instruments　89　(10)　2018年10月1日

DOI： 10.1063/1.5048633 　

ISSN：0034-6748

eISSN：1089-7623

Impact of etch angles on cell characteristics in 3D NAND flash memory 査読有り

Microelectronics Journal　79　1-6　2018年9月

DOI： 10.1016/j.mejo.2018.06.009 　

ISSN：0026-2692

Electrical Breakdown-Induced Tunable Piezoresistivity in Graphene/Polyimide Nanocomposites for Flexible Force Sensor Applications 査読有り

Advanced Materials Technologies　3　(8)　2018年8月

DOI： 10.1002/admt.201800113 　

eISSN：2365-709X

Highly Sensitive Hermetically Packaged Microsensor for Photoacoustic Detection

Imran Latif, Zhonglie An, Masaya Toda, Takahito Ono

E部門総合研究会研究会資料　2018　(1-6)　27-30　2018年7月

Capacitive Silicon Nanomechanical Resonator Capable of Selective Vibration of High-Order Mode

Nguyen Van Toan, Tsuyoshi Shimazaki, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the 9-th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology　2018　14-1-14-2　2018年6月

Nanomechanical Piezoresistive Sensor with Polymer-Si Membrane for Gas Detection

Takumi Hokama, Md. Mahabub Hossain, Masaya Toda, Krzysztof Moorthi, Mai Yamazaki, Takahito Ono

Proceedings of the 9-th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology　2018　80-1-80-2　2018年6月

0 3 FBAR-Based 3.4 GHz Oscillator Without Frequency Multiplications Aiming for an Integrated Atomic Clock Chip

Motoaki Hara, Yuichiro Yano, Masatoshi Kajita, Shinsuke Hara, Akifumi Kasamatsu, Masaya Toda, Hiroyuki Ito, Takahito Ono, Tetsuya Ido

Proceedings of the 2018 European Frequency and Time Seminar　2018年4月

Thermal resistance change of liquid carbon dioxide based on narrow space effect in micro chamber

Masaya Toda, Tomoyuki Yamagami, Naoki Inomata, Takashi Fujii, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2018-January　1296-1299　2018年4月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2018.8346803 　

ISSN：1084-6999

Fabrication and evaluation of assembled micro-tube resonator for mass measurement in flowing liquid

Mohammad Akita Indianto, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2018-January　1261-1264　2018年4月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2018.8346793 　

ISSN：1084-6999

Electrically driven ion transport in nanopores fabricated by metal assisted chemical etching method

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2018-January　1253-1256　2018年4月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2018.8346791 　

ISSN：1084-6999

Evaluation of piezoresistive property of vanadium oxide thin film

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2018-January　1044-1047　2018年4月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2018.8346738 　

ISSN：1084-6999

Preparation of graphene-enhanced nickel-phosphorus composite films by ultrasonic-assisted electroless plating 査読有り

Qian Yu, Tianfeng Zhou, Yonggang Jiang, Xing Yan, Zhonglie An, Xibin Wang, Deyuan Zhang, Takahito Ono

Applied Surface Science　435　617-625　2018年3月30日

DOI： 10.1016/j.apsusc.2017.11.169 　

ISSN：0169-4332

Ion transport by gating voltage to nanopores produced via metal-assisted chemical etching method 査読有り

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Nanotechnology　29　(19)　2018年3月16日

DOI： 10.1088/1361-6528/aab1d3 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

Evaluation of Piezoresistive Property of Vanadium Oxide Thin Film Deposited by Sputtering 査読有り

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEE Sensors Letters　2　(1)　2500204　2018年3月

DOI： 10.1109/LSENS.2018.2791530 　

Knudsen pump produced via silicon deep RIE, thermal oxidation, and anodic bonding processes for on-chip vacuum pumping 査読有り

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Nguyen Huu Trung, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　28　(5)　2018年2月23日

DOI： 10.1088/1361-6439/aaae26 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Knudsen pump based on silicon etching and thermal oxidation process for on-chip vacuum pumping

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Nguyen Huu Trung, Takahito Ono

Proceedings of the International Conference on Power Electronics and Drive Systems　2017-December　550-552　2018年2月9日

DOI： 10.1109/PEDS.2017.8289155 　

ISSN：2164-5256

eISSN：2164-5264

Flexible thermoelectric power generator with Y-type structure using electrochemical deposition process 査読有り

Trung Nguyen Huu, Toan Nguyen Van, Ono Takahito

Applied Energy　210　467-476　2018年1月15日

DOI： 10.1016/j.apenergy.2017.05.005 　

ISSN：0306-2619

Freestanding multifunctional micro fluidic system for highly sensitive thermal detection

Zhuqing Wang, Mitsuteru Kimura, Takahito Ono

22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2018　1　555-558　2018年

Small volume freestanding micro fluidic system for calorimetry biosensor

Zhuqing Wang, Mitsuteru Kimura, Takahito Ono

22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2018　2　1221-1224　2018年

MICRO ATOMIC FREQUENCY STANDARDS EMPLOYING AN INTEGRATED FBAR-VCO OSCILLATING ON THE 87RB CLOCK FREQUENCY WITHOUT A PHASE LOCKED LOOP

M. Hara, Y. Yano, M. Kajita, H. Nishino, Y. Ibata, M. Toda, S. Hara, A. Kasamatsu, H. Ito, T. Ono, T. Ido

The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　2018-January　715-718　2018年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2018.8346655 　

ISSN：2160-1968

Microfabricated temperature-sensing devices using a microfluidic chip for biological applications 査読有り

International Journal of Automation Technology　12　(1)　15-23　2018年

DOI： 10.20965/ijat.2018.p0015 　

ISSN：1881-7629

eISSN：1883-8022

High-aspect-ratio aluminum-doped zinc oxide nanomechanical resonator 査読有り

Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　12　S141-S142　2017年12月

DOI： 10.1002/tee.22561 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981

Piezoresistive property of an aluminum-doped zinc oxide thin film deposited via atomic-layer deposition for microelectromechanical system/nanoelectromenchanical system applications 査読有り

Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　12　S120-S124　2017年12月

DOI： 10.1002/tee.22570 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981

New Approach to Increase CNT Contents in Electrodeposited Ni-CNT Composite Thin Films by Modified Current Conditions 査読有り

Akhtar Muhammad Shahrukh, Zhonglie An, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEE Transactions on Nanotechnology　16　(6)　931-938　2017年11月

DOI： 10.1109/TNANO.2017.2726183 　

ISSN：1536-125X

Cantilever with High Aspect Ratio Nanopillars on Its Top Surface for Moisture Detection in Electronic Products 査読有り

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takumi Hokama, Takahito Ono

Advanced Engineering Materials　19　(11)　2017年11月

DOI： 10.1002/adem.201700203 　

ISSN：1438-1656

eISSN：1527-2648

Progress in performance enhancement methods for capacitive silicon resonators 査読有り

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Japanese Journal of Applied Physics　56　(11)　2017年11月

DOI： 10.7567/JJAP.56.110101 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Microfabrication of a scanning probe with NV centers in a selectively grown diamond thin film through a xenon difluoride etching process 査読有り

Minjie Zhu, Jinhua Li, Masaya Toda, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　27　(12)　2017年10月30日

DOI： 10.1088/1361-6439/aa8f12 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Fabrication of π-type flexible thermoelectric generators using an electrochemical deposition method for thermal energy harvesting applications at room temperature 査読有り

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　27　(12)　2017年10月30日

DOI： 10.1088/1361-6439/aa8f16 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Composite films of highly ordered Si nanowires embedded in SiGe<inf>0.3</inf>for thermoelectric applications 査読有り

Akiou Kikuchi, Akiou Kikuchi, Akifumi Yao, Isamu Mori, Takahito Ono, Seiji Samukawa, Seiji Samukawa

Journal of Applied Physics　122　(16)　2017年10月28日

DOI： 10.1063/1.4986355 　

ISSN：0021-8979

eISSN：1089-7550

パーマロイコンセントレータによる磁場勾配を用いた共振型磁気センサ

諏訪 亘, 猪股 直生, 戸田 雅也, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　34　01pm4-PS-146-1-01pm4-PS-146-2　2017年10月24日

Ir/YSZ/Si上に成膜したダイヤモンドを用いた振動子の作製と評価

持丸 裕矢, 戸田 雅也, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　34　01pm4-PLN-11-1-01pm4-PLN-11-2　2017年10月24日

原子時計チップ開発に向けた卓上原子時計テストベンチによるMEMSガスセルおよびFBAR-VCOの評価

原 基揚, 矢野 雄一郎, 梶田 雅稔, 西野 仁, 井端 泰大, 朱 敏杰, Latif Imran, 戸田 雅也, 小野 崇人, 井戸 哲也

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　34　31am3-PS-17-1-31am3-PS-17-4　2017年10月24日

Design and fabrication of capacitive silicon nanomechanical resonators with selective vibration of a high-order mode 査読有り

Nguyen Van Toan, Tsuyoshi Shimazaki, Naoki Inomata, Yunheub Song, Takahito Ono

Micromachines　8　(10)　2017年10月20日

DOI： 10.3390/mi8100312 　

eISSN：2072-666X

Assembled Micro-Tube Resonator for Mass Detection of Flowing Liquid

Mohammad Akita Indianto, Masaya Toda, Takahito Ono

マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演集　8　31am3-PN-33-1-31am3-PN-33-2　2017年10月

Fabrication of PMUT using silicon on nothing process for fingerprint sensor

Shim Hang, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono, Yoshiaki Kanamori, Song Yunheub, Oh Youngtaek

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　31　31am3-PS-19-1-31am3-PS-19-2　2017年10月

Geometry dependence of temperature coefficient of resonant frequency in highly sensitive resonant thermal sensors 査読有り

Naoki Inomata, Takahito Ono

Japanese Journal of Applied Physics　56　(8)　2017年8月

DOI： 10.7567/JJAP.56.087201 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Fabrication and evaluation of capacitive silicon resonators with piezoresistive heat engines 査読有り

Nguyen Van Toan, Nguyen Van Nha, Yunheub Song, Takahito Ono

Sensors and Actuators, A: Physical　262　99-107　2017年8月1日

DOI： 10.1016/j.sna.2017.05.031 　

ISSN：0924-4247

HIGH TEMPERATURE COEFFICIENT OF RESONANT FREQUENCY INDUCED BY THERMAL STRESS USING A DOUBLE-SUPPORTED MECHANICAL RESONATOR WITH A SIMPLE STRUCTURE FOR HIGHLY THERMAL SENSING

2017 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　970-973　2017年7月26日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994212 　

Resonant magnetic sensor using magnetic gradient field formed by permalloy concentrator

Wataru Suwa, Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　822-825　2017年7月26日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994175 　

Pico-thermogravimetric material properties analysis using diamond cantilever beam

Ioana Voiculescu, Masaya Toda, Meiyong Liao, Takahito Ono

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　271　2223-2226　2017年7月26日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994519 　

ISSN：0924-4247

Capacitive silicon resonators with piezoresistive heat engines

Nguyen Van Toan, Nguyen Van Nha, Takahito Ono

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　456-459　2017年7月26日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994085 　

Vacuum packaged cantilever sensor mounted with a magnetic particle for magnetic force detection

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Takahito Ono

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1096-1099　2017年7月26日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994243 　

High Aspect Ratio Silicon Structures Produced via Metal-Assisted Chemical Etching and Assembly Technology for Cantilever Fabrication 査読有り

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEE Transactions on Nanotechnology　16　(4)　567-573　2017年7月

DOI： 10.1109/TNANO.2016.2645781 　

ISSN：1536-125X

Fabrication of an Assembled Scanning Probe with Nitrogen Vacancy Centers in Diamond Particle 査読有り

Minjie Zhu, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEE Transactions on Nanotechnology　16　(4)　545-550　2017年7月

DOI： 10.1109/TNANO.2016.2640191 　

ISSN：1536-125X

Vanadium oxide thermal microsensor integrated in a microfluidic chip for detecting cholesterol and glucose concentrations 査読有り

Naoki Inomata, Libao Pan, Zhuqing Wang, Mitsuteru Kimura, Takahito Ono

Microsystem Technologies　23　(7)　2873-2879　2017年7月1日

DOI： 10.1007/s00542-016-3090-1 　

ISSN：0946-7076

Q factor enhancement of Si resonator by nonlinear damping 査読有り

Inomata Naoki, Saito Kazuya, Ono Takahito

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　23　(5)　1201-1205　2017年5月1日

DOI： 10.1007/s00542-016-2827-1 　

ISSN：0946-7076

Fabrication of a SiO2 optical window for controlling light transmission 査読有り

Nguyen Van Toan Sangu, Suguru Saito, Tetsuro Inomata, Naoki Ono, Takahito

Microsyst. Technol.　23　(4)　919-927　2017年4月

DOI： 10.1007/s00542-016-2826-2 　

ISSN：0946-7076

Fabrication and magnetic control of Y3Fe5O12 cantilevers 査読有り

Seo, Yong-Jun Harii, Kazuya Takahashi, Ryo Chudo, Hiroyuki Oyanagi, Koichi Qiu, Zhiyong Ono, Takahito Shiomi, Yuki Saitoh, Eiji

Appl. Phys. Lett.　110　(13)　132409　2017年3月27日

DOI： 10.1063/1.4979553 　

ISSN：0003-6951

パーマロイ磁気コンセントレータによる磁場勾配を用いた共振型磁気センサ

諏訪亘, 猪股直生, 戸田雅也, 小野崇人

電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)　2017　ROMBUNNO.3‐132　2017年3月5日

Cantilever Beam Temperature Sensors for Biological Applications 査読有り

Toda, Masaya Inomata, Naoki Ono, Takahito Voiculescu, Ioana

IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng.　12　(2)　153-160　2017年3月1日

DOI： 10.1002/tee.22360 　

ISSN：1931-4973

eISSN：1931-4981

Extremely low thermal conductivity of high density and ordered 10 nm-diameter silicon nanowires array 査読有り

Kikuchi, Akiou Yao, Akifumi Mori, Isamu Ono, Takahito Samukawa, Seiji

Appl. Phys. Lett.　110　(9)　091908　2017年2月27日

DOI： 10.1063/1.4977778 　

ISSN：0003-6951

Fabrication of high aspect aluminum doped zinc oxide nanomechanical structures by deep RIE and ALD

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　652-655　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863492 　

ISSN：1084-6999

Reversible low voltage electrowetting with SiO<inf>2</inf>capillary window for optical imaging

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Yoshisuke Ansai, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　1347-1350　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863670 　

ISSN：1084-6999

Preparing 3D graphene nanowall-nickel hybrid electrode on quartz glass for on-chip micro-supercapacitors

Jinhua Li, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　0　861-864　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863544 　

ISSN：1084-6999

Patterning high aspect silicon pillars on cantilever by metal assisted chemical etching for humidity sensing

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takumi Hokama, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　0　1232-1235　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863639 　

ISSN：1084-6999

Fabrication of nanomechanical resonator with non-local spin valve structure for spin detection and control

Yong Jun Seo, Yong Jun Seo, Kazuya Harii, Kazuya Harii, Ryo Takahashi, Ryo Takahashi, Hiroyuki Chudo, Hiroyuki Chudo, Koichi Oyanagi, Takahito Ono, Yuki Shiomi, Yuki Shiomi, Eiji Saitoh, Eiji Saitoh, Eiji Saitoh, Eiji Saitoh

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　1177-1180　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863625 　

ISSN：1084-6999

Flexible thermoelectric power generators based on electrochemical deposition process of BI<inf>2</inf>TE<inf>3</inf>and SB<inf>2</inf>TE<inf>3</inf>

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　805-808　2017年2月23日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863530 　

ISSN：1084-6999

ナノ表面構造を持つカンチレバーの力学応答を利用した湿度センサ

外間 匠, 菊池 亜紀応, Nguyen Van Toan, 戸田 雅也, 小野 崇人

東北支部総会・講演会 講演論文集　2017　(0)　2017年

Synthesis and Evaluation of Thick Films of Electrochemically Deposited Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Materials 査読有り

Nguyen Huu Trung Sakamoto, Kei Nguyen, Van, Toan Ono, Takahito

Materials　10　(2)　2017年

DOI： 10.3390/ma10020154 　

eISSN：1996-1944

Microchanneled calorimetric concentration sensor for picoliter liquid samples of cytochrome c 査読有り

Masaya Toda, Ning Xia, Naoki Inomata, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(1)　28-31　2017年

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.28 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Preface to the special issue on "selected papers in the technical meetings on sensors and micromachines 2016" 査読有り

Takahito Ono, Ryuji Yokokawa

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(5)　123　2017年

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.123 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Vacuum packaged micro-cantilever with a magnetic particle 査読有り

Nurasyikin Mohd, Gaopeng Xue, Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(8)　245-246　2017年

DOI： 10.1541/ieejsmas.137.245 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Comb-Drive XYZ-microstage With Large Displacements Based on Chip-Level Microassembly 査読有り

Xue, Gaopeng Toda, Masaya Ono, Takahito

J. Microelectromech. Syst.　25　(6)　989-998　2016年12月

DOI： 10.1109/JMEMS.2016.2607233 　

ISSN：1057-7157

Impact of thermal contact resistances on micro-gap heat losses for microthermionic power generators 査読有り

Belbachir, Remi Yacine An, Zhonglie Ono, Takahito

Microsyst. Technol.　22　(12)　2811-2820　2016年12月1日

DOI： 10.1007/s00542-015-2591-7 　

ISSN：0946-7076

Glass capillaries based on a glass reflow into nano-trench for controlling light transmission 査読有り

Nguyen Van Toan Sangu, Suguru Inomata, Naoki Ono, Takahito

Microsyst. Technol.　22　(12)　2835-2840　2016年12月1日

DOI： 10.1007/s00542-015-2607-3 　

ISSN：0946-7076

GLASS REFLOW PROCESS AND ITS APPLICATIONS

Nguyen Van Toan Sangu, Suguru Ono, Takahito

2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)　260-264　2016年11月28日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758246 　

A freestanding microfluidic-based thermocouple biosensor for enzyme-catalyzed reaction analysis

Wang, Zhuqing Kimura, Mitsuteru Inomata, Naoki Ono, Takahito

2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)　58-61　2016年11月28日

DOI： 10.1109/NEMS.2016.7758200 　

Scanning Probe with Nitrogen Vacancy Centers in Diamond Particle for Magnetic Resonance Imaging

Zhu, Minjie Toda, Masaya Ono, Takahito

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　210-213　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751404 　

Flexible Thermoelectric Power Generator Based on Electrochemical Deposition Process

Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan Ono, Takahito

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　423-425　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751434 　

Thermal conductivity of 10 nm-diameter silicon nanowires array fabricated by bio-template and neutral beam etching

Kikuchi, Akiou Yao, Akifumi Mori, Isamu Yamashita, Ichiro Ono, Takahito Samukawa, Seiji

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　505-507　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751300 　

Deposition and Micromachining of Graphene Nanowall towards High-Performance Microsystems

Li, Jinhua Wang, Zhuqing Ono, Takahito

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　624-626　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751525 　

Fabrication and evaluation of CVD diamond resonators

Mochimaru, Yuva Toda, Masaya Ono, Takahito

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　676-677　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751555 　

Protein addressing in packaged multi-channel by electro-click chemistry for Calorimetry biosensor

Wang, Zhuqing Li, Jinhua Kimura, Mitsuteru Ono, Takahito

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　681-682　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751536 　

Electrodeposition and Characterization of Nickel-Carbon Nanotube Composite Thin Films with High Carbon Nanotube Content

Akhtar, Muhammad, Shahrukh An, Zhonglie Toda, Masaya Ono, Takahito

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　904-906　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751464 　

Resonant Acoustic Microsensor for Photoacoustic Detection

Latif, Imran An, Zhonglie Ono, Takahito

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　925-927　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751482 　

Assembled Comb-drive XYZ-microstage with DPPH Sample for the 3D Scanning of Magnetic Resonance Force Microscope

Xue, Gaopeng Toda, Masaya Ono, Takahito

2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　32　980-981　2016年11月21日

DOI： 10.1109/NANO.2016.7751422 　

Magnetic field sensor based on vacuum packaged cantilever with a mounted magnet

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Nurasyikin Mohd, Zhonglie An, Nguyen Van Toan, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　33　25pm4-PS-060-1-25pm4-PS-060-4　2016年10月24日

Glass reflow process for microsystem applications 査読有り

Nguyen Van Toan Sangu, Suguru Ono, Takahito

J. Micromech. Microeng.　26　(11)　115018　2016年10月14日

DOI： 10.1088/0960-1317/26/11/115018 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Engineering micro-supercapacitors of graphene nanowalls/Ni heterostructure based on microfabrication technology 査読有り

Li, Jinhua Zhu, Minjie Wang, Zhuqing Ono, Takahito

Appl. Phys. Lett.　109　(15)　153901　2016年10月10日

DOI： 10.1063/1.4964787 　

ISSN：0003-6951

Single and mechanically coupled capacitive silicon nanomechanical resonators 査読有り

Van Toan, Nguyen Shimazaki, Tsuyoshi Ono, Takahito

Micro Nano Lett.　11　(10)　591-594　2016年10月1日

DOI： 10.1049/mnl.2016.0265 　

eISSN：1750-0443

Level repulsion of GHz phononic surface waves in quartz substrate with finite-depth holes 査読有り

Yeh, Sih-Ling Lin, Yu-Ching Tsai, Yao-Chuan Ono, Takahito Wu, Tsung-Tsong

Ultrasonics　71　106-110　2016年9月1日

DOI： 10.1016/j.ultras.2016.05.017 　

ISSN：0041-624X

Fabrication of High Aspect Ratio SiO2 and Tempax Glass Pillar Structures and Its Application for Optical Modulator Device 査読有り

Nguyen Van Toan Sangu, Suguru Ono, Takahito

J. Microelectromech. Syst.　25　(4)　668-674　2016年8月

DOI： 10.1109/JMEMS.2016.2581184 　

ISSN：1057-7157

Packaging Technique of Micro Cantilever for Magnetic Force Sensing

Nurasyikin Mohd, Naoki Inomata, Nguyen Van Toan, Takahito Ono, Masaya Toda

Proceedings of the International Workshop on Nanomechanical Sensors　12　150-151　2016年6月22日

Design and fabrication of a large area freestanding compressive stress SiO2 optical window 査読有り

Nguyen Van Toan Sangu, Suguru Ono, Takahito

J. Micromech. Microeng.　26　(7)　075016　2016年6月21日

DOI： 10.1088/0960-1317/26/7/075016 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Comparative investigation into surface charged multi-walled carbon nanotubes reinforced Cu nanocomposites for interconnect applications 査読有り

An, Zhonglie Toda, Masaya Ono, Takahito

Compos. Pt. B-Eng.　95　137-143　2016年6月15日

DOI： 10.1016/j.compositesb.2016.03.086 　

ISSN：1359-8368

An Investigation of Processes for Glass Micromachining 査読有り

Nguyen Van, Toan Toda, Masaya Ono, Takahito

Micromachines　7　(3)　2016年3月22日

DOI： 10.3390/mi7030051 　

eISSN：2072-666X

CVDダイヤモンド振動子の作製と評価

持丸 裕矢, 戸田 雅也, 小野 崇人

日本機械学会東北支部第51期総会・講演会講演論文集　2016　(1)　75-76　2016年3月11日

Mechanical properties of Carbon nanotubes-nickel composite thin films synthesized with high carbon nanotube content

Akhtar M Shahrukh, Zhonglie An, Toda Masaya, Takahito Ono

日本機械学会東北支部第51期総会・講演会講演論文集　2016　(1)　77-78　2016年3月11日

Temperature-depended mechanical properties of microfabricated vanadium oxide mechanical resonators for thermal sensing 査読有り

Inomata, Naoki Pan, Libao Toda, Masaya Ono, Takahito

Jpn. J. Appl. Phys.　55　(3)　037201　2016年3月

DOI： 10.7567/JJAP.55.037201 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

ELECTRODEPOSITION OF CARBON NANOTUBES-CU COMPOSITE FOR MICROELECTRICAL ELEMENTS APPLICATIONS 査読有り

An, Zhonglie Toda, Masaya Ono, Takahito

PROC IEEE MICR ELECT　2016-February　528-531　2016年2月26日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2016.7421678 　

ISSN：1084-6999

PREPATION OF GPHENE-NICKEL NANOCOMPOSITE FOR DUBLE MICROMIRROR APPLICATION 査読有り

Li, Jinhua An, Zhonglie Ono, Takahito

PROC IEEE MICR ELECT　2016-February　554-557　2016年2月26日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2016.7421685 　

ISSN：1084-6999

MICROFABRICATED VANADIUM OXIDE RESONANT THERMAL SENSOR WITH A HIGH TEMPERATURE COEFFICIENT OF RESONANT FREQUENCY 査読有り

Inomata, Naoki Pan, Libao Toda, Masaya Ono, Takahito

PROC IEEE MICR ELECT　2016-February　1042-1045　2016年2月26日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2016.7421812 　

ISSN：1084-6999

Pulse-Reverse Electrodeposition and Micromachining of Graphene-Nickel Composite: An Efficient Strategy toward High-Performance Microsystem Application 査読有り

Li, Jinhua An, Zhonglie Wang, Zhuqing Toda, Masaya Ono, Takahito

ACS Appl. Mater. Interfaces　8　(6)　3969-3976　2016年2月24日

DOI： 10.1021/acsami.5b11164 　

ISSN：1944-8244

eISSN：1944-8252

Sensitive thermal microsensor with pn junction for heat measurement of a single cell 査読有り

Yamada, Taito Inomata, Naoki Ono, Takahito

Jpn. J. Appl. Phys.　55　(2)　027001　2016年2月

DOI： 10.7567/JJAP.55.027001 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

Highly sensitive thermometer using a vacuum-packed Si resonator in a microfluidic chip for the thermal measurement of single cells 査読有り

Inomata, Naoki Toda, Masaya Ono, Takahito

Lab Chip　16　(18)　3597-3603　2016年

DOI： 10.1039/c6lc00949b 　

ISSN：1473-0197

eISSN：1473-0189

Parametrically Actuated Resonant Micromirror Using Stiffness Tunable Torsional Springs 査読有り

Kawai, Yusuke Kim, Jin-Hyeok Inomata, Naoki Ono, Takahito

Sens. Mater.　28　(2)　131-139　2016年

DOI： 10.18494/SAM.2016.1163 　

ISSN：0914-4935

Fabrication of Vacuum-Sealed Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer Arrays Using Glass Reflow Process 査読有り

Nguyen Van Toan Hahng, Shim Song, Yunheub Ono, Takahito

Micromachines　7　(5)　76　2016年

DOI： 10.3390/mi7050076 　

eISSN：2072-666X

Photoacoustic Microsensor for Glucose Monitoring in Human Blood

Imran Latif, Masaya Toda, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　32　28pm1-B-5-1-28pm1-B-5-6　2015年10月28日

酸化バナジウムを用いた共振型マイクロ熱量センサ

猪股 直生, 潘 立葆, 戸田 雅也, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　32　30am2-PS-66-1-30am2-PS-66-4　2015年10月28日

磁気共鳴イメージングためのNVセンターを有するダイヤモンドプローブ

朱 敏杰, 戸田 雅也, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　32　30am2-PS-076-1-30am2-PS-076-4　2015年10月28日

Assembled comb-drive XYZ-microstage with large displacements for the 3D scanning stage of low temperature measurement systems

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Takahito Ono

Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2015 (JCK MEMS/NEMS 2015)　6　73-74　2015年9月23日

Probe with Nitrogen Vacancy in Diamond Thin Film for Magnetic Resonance Imaging

Minjie Zhu, Masaya Toda, Takahito Ono

Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2015 (JCK MEMS/NEMS 2015)　6　85-86　2015年9月23日

非線形減衰を用いたSi振動子のQ値向上

猪股 直生, 斎藤 和也, 戸田 雅也, 小野 崇人

日本機械学会2015年度年次大会講演論文集　15　(1)　J2210303-1-J2210303-2　2015年9月13日

Metallic Glass as a Mechanical Material for Microscanners 査読有り

Lin, Yu-Ching Tsai, Yao-Chuan Ono, Takahito Liu, Pan Esashi, Masayoshi Gessner, Thomas Chen, Mingwei

Adv. Funct. Mater.　25　(35)　5677-5682　2015年9月1日

DOI： 10.1002/adfm.201502456 　

ISSN：1616-301X

eISSN：1616-3028

LOW-VOLTAGE ELECTROSTATICALLY DRIVEN NANOELECTROMECHANICAL-SWITCHES

Iizuka, Hiro Ono, Takahito

2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　7　560-563　2015年8月5日

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7180985 　

Comb-drive XYZ-Microstage Based on Assembling Technology for Low Temperature Measurement Systems

Xue, Gaopeng Toda, Masaya Ono, Takahito

2015 International Conference on Electronic Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC)　83-88　2015年5月20日

DOI： 10.1109/ICEP-IAAC.2015.7111006 　

Microstructuring of carbon nanotubes-nickel nanocomposite 査読有り

An, Zhonglie He, Liang Toda, Masaya Yamamoto, Go Hashida, Toshiyuki Ono, Takahito

Nanotechnology　26　(19)　UNSP 195601　2015年5月15日

DOI： 10.1088/0957-4484/26/19/195601 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

Si nanowire probe with Nd-Fe-B magnet for attonewton-scale force detection 査読有り

Seo, Yong-Jun Toda, Masaya Ono, Takahito

J. Micromech. Microeng.　25　(4)　045015　2015年4月

DOI： 10.1088/0960-1317/25/4/045015 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

超薄型カンチレバーを用いた高感度バイオセンシング

倉田慎, 小野崇人, 戸田雅也

日本機械学会東北支部第50期総会・講演会講演論文集　2015　(1)　255-256　2015年3月13日

Electrochemical Biosensor for Single Cell Impedance Spectroscopy

Sena Nur Arslan, Masaya Toda, Takahito Ono

日本機械学会東北支部第50期総会・講演会講演論文集　2015　(1)　249-250　2015年3月13日

Fabrication of nano-gap structures based on plastic deformation of strained Si springs by stiction effects 査読有り

Masaya Toda, Atsushi Yokoyama, Nguyen Van Toan, Naoki Inomata, Takahito Ono

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　21　(3)　649-654　2015年3月

DOI： 10.1007/s00542-014-2182-z 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

ASSEMBLED COMB-DRIVE XYZ-MICROSTAGE WITH LARGE DISPLACEMENTS FOR LOW TEMPERATURE MEASUREMENT SYSTEMS 査読有り

Xue, Gaopeng Toda, Masaya Ono, Takahito

PROC IEEE MICR ELECT　2015-February　(February)　14-17　2015年2月26日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2015.7050874 　

ISSN：1084-6999

MICRO FLUIDIC CHAMBER WITH THIN SI WINDOWS FOR OBSERVATION OF BIOLOGICAL SAMPLES IN VACUUM 査読有り

Hayashi, Hideki Toda, Masaya Ono, Takahito

PROC IEEE MICR ELECT　2015-February　(February)　344-347　2015年2月26日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2015.7050959 　

ISSN：1084-6999

SYNTHESIS OF CARBON NANOTUBES-NI COMPOSITE FOR MICROMECHANICAL ELEMENTS APPLICATION 査読有り

An, Zhonglie Toda, Masaya Yamamoto, Go Hashida, Toshiyuki Ono, Takahito

PROC IEEE MICR ELECT　2015-February　(February)　401-404　2015年2月26日

DOI： 10.1109/MEMSYS.2015.7050974 　

ISSN：1084-6999

Fabrication and Characterization of Microstacked PZT Actuator for MEMS Applications 査読有り

Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono, Suhana Mohd Said, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　24　(1)　80-90　2015年2月

DOI： 10.1109/JMEMS.2014.2317495 　

ISSN：1057-7157

eISSN：1941-0158

Fabrication and Characterization of Microstacked PZT Actuator for MEMS Applications 査読有り

Sabri, Moh, Faizul Mohd Ono, Takahito Said, Suhana Mohd Kawai, Yusuke Esashi, Masayoshi

J. Microelectromech. Syst.　24　(1)　80-90　2015年2月1日

DOI： 10.1109/JMEMS.2014.2317495 　

ISSN：1057-7157

High Aspect Ratio SiO2 Capillary Based On Silicon Etching and Thermal Oxidation Process for Optical Modulator 査読有り

N. V. Toan, S. Sangu, T. Saitoh, N. Inomata, T. Ono

International Journal of Chemical, Nuclear, Materials and Metallurgical Engineering　9　(5)　666-671　2015年

J2210303 非線形減衰を用いたSi振動子のQ値向上

猪股 直生, 齊藤 和也, 戸田 雅也, 小野 崇人

年次大会　2015　(0)　_J2210303--_J2210303-　2015年

J2220306 磁気共鳴イメージングためのNVセンターを有するダイヤモンドプローブ

朱 敏杰, 戸田 雅也, 小野 崇人

年次大会　2015　(0)　_J2220306--_J2220306-　2015年

Design and fabrication of a phononic-crystal-based Love wave resonator in GHz range 査読有り

Ting-Wei Liu, Yao-Chuan Tsai, Yu-Ching Lin, Takahito Ono, Shuji Tanaka, Tsung-Tsong Wu

AIP Advances　4　(12)　124201-1-124201-12　2014年12月1日

DOI： 10.1063/1.4902018 　

eISSN：2158-3226

Fabrication and Characterization of Silicon Micromirror with Carbon nanotubes-Nickel nanocomposite Beams

Zhonglie An, Masaya Toda, Go Yamamoto, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

Proceedings of the IEEE International Conference on Nanotechnology　14　888-892　2014年11月26日

DOI： 10.1109/NANO.2014.6968008 　

eISSN：1944-9399

Highly Sensitive Thermal Micro Sensor with PN Junction for Thermal Measurements of a Single Cell

Taito Yamada, Nanoki Inomata, Takahito Ono

International Microprocesses and Nanotechnology Conference　27　6C-6-4　2014年11月4日

Assembled comb-drive XYZ-microstage integrated with capacitive displacement sensor for low temperature measurement systems

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　31　1-6　2014年10月20日

真空中細胞観察のための薄膜Si窓を有する マイクロチャネル型チャンバー

林秀樹, 戸田雅也, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　31　1-5　2014年10月20日

熱機械駆動スイッチを組み合わせた強誘電体熱電変換素子

齋藤 卓弥, 川合 祐輔, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2014年10月5日

バイナリ―振動を示す非線形結合シリコン振動子

三井 陽介, 小野 崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2014年10月5日

c‐BN薄膜を用いたゲート電極付き電界放出電子源アレイ

小林正典, 宮下英俊, 猪股直生, 小野崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2014年10月5日

Carbon nanotube-Cu Composite Formation based on Supercritical Fluid Process

Zhonglie An, Masaya Toda, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2014年10月5日

An electrostatically driven microstage with capacitive displacement sensor for low temperature operation

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Liang He, Yusuke Kawai, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2014年10月5日

Micro thermionic power generator with low operation temperature

Remi Yacine Belbachir, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2014年10月5日

A long bar type silicon resonator with a high quality factor

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2014年10月5日

A Si nanowire probe with a Nd-Fe-B magnet for force detection

Yongjun Seo, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2014年10月5日

Optical windows with liquid penetration for controlling light transmittance

Nguyen Van Toan, Suguru Sangu, Tetsuro Saito, Naoki Inomata, Hirobumi Watanabe, Takahito Ono

IEEE Conference on Reliability Science for Advanced Materials and Device　2014年9月7日

Focusing and waveguiding of Lamb waves in micro-fabricated piezoelectric phononic plates 査読有り

Meng-Jhen Chiou, Yu-Ching Lin, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Sih-Ling Yeh, Tsung-Tsong Wu

ULTRASONICS　54　(7)　1984-1990　2014年9月

DOI： 10.1016/j.ultras.2014.05.007 　

ISSN：0041-624X

eISSN：1874-9968

Focusing and waveguiding of lamb waves in micro-fabricated piezoelectric phononic plates 査読有り

Meng-Jhen Chiou, Yu-Ching Lin, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Sih-ling Yeh, Tsung-Tsong Wu

Ultrasonics　54　(7)　1984-1990　2014年9月

DOI： 10.1016/j.ultras.2014.05.007 　

ISSN：0041-624X

Improved thermal interface property of carbon nanotube–Cu composite based on supercritical fluid deposition 査読有り

Zhonglie An, Masaya Toda, Takahito Ono

CARBON　75　281-288　2014年8月

DOI： 10.1016/j.carbon.2014.04.003 　

ISSN：0008-6223

Thermal investigation of a micro-gap thermionic power generator 査読有り

Remi Yacine Belbachir, Zhonglie An, Takahito Ono

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　24　(8)　085009　2014年8月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/8/085009 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Mechanical quality factor enhancement in a silicon micromechanical resonator by low-damage process using neutral beam etching technology 査読有り

Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Sekhar, Seiji Samukawa, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　24　(8)　085005　2014年8月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/24/8/085005 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Resonant Silicon Micromirror with Electrophated Carbon Nanotubes-Nickel Composite Beams for MEMS Application

Ahonglie An, Masaya Toda, Go Yamamoto, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

The IEEE International Nanoelectonics Conference　6　173　2014年7月28日

New trends in NEMS/MEMS device using neutral beam etching technology

Sekhar Halubai, Toan Nguyen Van, Tomohiro Kubota, Takahito Ono, Seiji Samukawa

The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014　2014年7月

Micro/Nano-mechanical Resonators for Ultimate Sensing 招待有り

Takahito Ono, Naoki Inomata, Masaya Toda

The Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　7　1　2014年6月29日

MICROSTAGE DRIVEN BY COMB-DRIVE ACTUATORS FOR LOW TEMPERATURE MEASUREMENT SYSTEMS

Gaopeng Xue, Masaya Toda, Takahito Ono

The Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　7　7-1　2014年6月29日

Micro Thermionic Power Generator with Low Operation Temperature

R. Y. Belbachir, T. Ono

The Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　7　13-1　2014年6月29日

Shytheisis and Characterization of Carbon Nanotube-Nickel Composite with High Content of Carbon Nanotubes

Zhonglie An, Masaya Toda, Go Yamamoto, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

The Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　7　14-5　2014年6月29日

Temperature changes in brown adipocytes detected with a biomaterial microcantilever 査読有り

Masaaki K. Sato, Masaya Toda, Naoki Inomata, Hisataka Maruyama, Yuko Okamatsu-Ogura, Fumihito Arai, Takahito Ono, Akihiko Ishijima, Yuichi Inoue

Biophysical Journal　106　(11)　2458-2464　2014年6月3日

DOI： 10.1016/j.bpj.2014.04.044 　

ISSN：0006-3495

eISSN：1542-0086

Evidence of a Love wave bandgap in a quartz substrate coated with a phononic thin layer 査読有り

Ting-Wei Liu, Yu-Ching Lin, Yao-Chuan Tsai, Takahito Ono, Shuji Takana, Tsung-Tsong Wu

Applied Physics Letters　104　(18)　181905　2014年5月5日

DOI： 10.1063/1.4875981 　

ISSN：0003-6951

Fabrication of silicon nanowire probe with magnet for magnetic resonance force microscopy 査読有り

Yong-Jun Seo, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　134　166　2014年5月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.166 　

熱機械駆動スイッチと強誘電体を組み合わせた熱‐電気変換素子，電気学会Ｅ部門誌 査読有り

斎藤卓弥, 川合祐輔, 小野崇人

電気学会Ｅ部門誌　134　154　2014年5月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.154 　

Calibration study of bimaterial cantilever beam nanocalorimeter used in liquid applications

Masaya Toda, Ioana Voiculescu, Fei Liu, Takahito Ono

International Workshop on Nanomechanical Sesing　2014年4月30日

Synthesis of cubic boron nitride films on Si tips via chemical vapor deposition and the field emission properties 査読有り

Masanori Kobayashi, Hidetoshi Miyashita, Naoki Inomata, Takahito Ono

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　32　(2)　2014年3月

DOI： 10.1116/1.4843075 　

ISSN：1071-1023

Synthesis of cubic boron nitride films on Si tips via chemical vapor deposition and the field emission properties 査読有り

Masanori Kobayashi, Hidetoshi Miyashita, Naoki Inomata, Takahito Ono

Journal Vacuum Science Technologies B　32　(2)　02B102　2014年3月1日

DOI： 10.1116/1.4843075 　

ISSN：2166-2746

eISSN：2166-2754

Synthesis and Characterization of Carbon Nanotube-Cu Composite using Supercritical Fluid Deposition 査読有り

Zhongle An, Masaya Toda, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　134　38　2014年3月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.38 　

Synchronized micromechanical resonators with a nonlinear coupling element 査読有り

Takahito Ono, Keitaro Tanno, Yusuke Kawai

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　24　(2)　2014年2月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/2/025012 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Fabrication of CNT-carbon composite microstructures using Si micromolding and pyrolysis 査読有り

Liang He, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Hidetoshi Miyashita, Mamoru Omori, Toshiyuki Hashida, Ruediger Berger, Takahito Ono

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　20　(2)　201-208　2014年2月

DOI： 10.1007/s00542-013-1771-6 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Synchronized micromechanical resonators with a nonlinear coupling element 査読有り

Takahito Ono, Keitaro Tanno, Yusuke Kawai

Journal of Micromechanics and Microengineering　24　(2)　025012　2014年2月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/2/025012 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

A capacitive silicon resonator with a movable electrode structure for gap width reduction 査読有り

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Yusuke kawai, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering　24　(2)　025006　2014年2月

DOI： 10.1088/0960-1317/24/2/025006 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

J2230201 全反射減衰法による体内成分分析のためのマイクロ化フーリエ変換赤外分光計の開発([J223-02]マイクロナノメカトロニクス(2),マイクロ・ナノ工学部門一般セッション)

佐藤 祐樹, 棚橋 辰之, 戸田 雅也, 猪股 直生, 小野 崇人

年次大会　2014　(0)　_J2230201--_J2230201-　2014年

ULTRASENSITIVE SI NANOWIRE PROBE FOR MAGNETIC RESONANCE DETECTION

Yong-Jun Seo, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

Proceeding of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　151-154　2014年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765596 　

ISSN：1084-6999

CAPACITIVE SILICON RESONATOR STRUCTURE WITH MOVABLE ELECTRODES TO REDUCE CAPACITIVE GAP WIDTHS BASED ON ELECTROSTATIC PARALLEL PLATE ACTUATION

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Proceeding of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　1245-1248　2014年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2014.6765874 　

ISSN：1084-6999

A Long Bar Type Silicon Resonator with a High Quality Factor 査読有り

Nguyen Van Toan, Masaya Toda, Yusuke kawai, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　134　(2)　26-31　2014年

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.26 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

FABRICATION AND EVALUATION OF SILICON MICROMECHANICAL RESONATOR USING NEUTRAL BEAM ETCHING TECHNOLOGY

Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Sekhar, Seiji Samukawa, Takahito Ono

2014 9TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)　9　1-5　2014年

DOI： 10.1109/NEMS.2014.6908747 　

Fabrication of nano-gap structures based on plastic deformation of strained Si springs by stiction effects 査読有り

Toda, Masaya Yokoyama, Atsushi Nguyen, Van Toan Inomata, Naoki Ono, Takahito

Microsyst. Technol.　21　(3)　649-654　2014年

DOI： 10.1007/s00542-014-2182-z 　

ISSN：0946-7076

eISSN：1432-1858

Resonant Sensors for Bio-nano Sensing 招待有り

Takahito Ono

IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference　2013年10月8日

Thermal sensor probe with a Si resonator in a cavity for thermal insulator 査読有り

Naoki Inomata, Takahito Ono

Japanese Journal of Applied Physics　52　117201-1-117201-5　2013年10月1日

DOI： 10.7567/JJAP.52.117201 　

Silicon Nanowire Probe with Nd-Fe-B magnet for Magnetic Resonance Force Microscopy

Yongjun Seo, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

International Conference on Micro and Nano Engineering　39　208　2013年9月16日

Synthesis of Carbon Nanotubes-Cu Composite Film using Supercritical Fluid Deposition for Thermal Interface

Zhonglie An, Masaya Toda, Takahito Ono

International Conference on Micro and Nano Engineering　39　483　2013年9月

狭ギャップマイクロ熱電子発電の基礎実験 査読有り

宮下英俊, 陳帥, 小野崇人

電気学会論文誌E　133　267-271　2013年9月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.133.267 　

Fabrication of an hermetically packaged silicon resonator on LTCC substrate 査読有り

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　19　(8)　1165-1175　2013年8月

DOI： 10.1007/s00542-012-1716-5 　

ISSN：0946-7076

Fabrication of Hermetically Packaged Silicon Resonator on LTCC Substrate 査読有り

Nguyen Van TOAN, Hidetoshi MIYASHITA, Masaya TODA, Yusuke KAWAI, Takahito ONO

Microsystem technologies　19　(8)　1165-1175　2013年8月

DOI： 10.1007/s00542-012-1716-5 　

ISSN：0946-7076

Suspended bimaterial microchannel resonators for thermal sensing of local heat generation in liquid 査読有り

Masaya Toda, Tomoyuki Otake, Hidetoshi Miyashita, Yusuke Kawai, Takahito Ono

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS　19　(7)　1049-1054　2013年7月

DOI： 10.1007/s00542-012-1698-3 　

ISSN：0946-7076

Energy-loss mechanism of single-crystal silicon microcantilever due to surface defects generated during plasma processing 査読有り

Akira Wada, Yuuki Yanagisawa, Batnasan Altansukh, Tomohiro Kubota, Takahito Ono, Satoshi Yamasaki, Seiji Samukawa

Journal of Micromechanics and Microengineering　23　(6)　65020　2013年6月

DOI： 10.1088/0960-1317/23/6/065020 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

CANTILEVERS FOR NANOSENSING: CALORIMETRY FOR A LIVING CELL 招待有り

Masaya Toda, Naoki Inomata, Masaaki Sato, Akihiko Ishijima, Takahito Ono

Proceedings of 2013 Nanomechanical Sensing　35-36　2013年5月2日

Array of optically switchable emitter array with carbon nanotube grown on Si tip for multi electron beam lithography, Nanotechnolory 査読有り

Yujiro Tanaka, Hidetoshi Miyashita, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Nanotechnolory　24　015203-1-015203-6　2013年4月25日

DOI： 10.1088/0957-4484/24/1/015203 　

An optically switchable emitter array with carbon nanotubes grown on a Si tip for multielectron beam lithography 査読有り

Tanaka Yujiro, Miyashita Hidetoshi, Esashi Masayoshi, Ono Takahito

NANOTECHNOLOGY　24　(1)　2013年1月11日

DOI： 10.1088/0957-4484/24/1/015203 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

J026032 生体試料のための真空隔離型共振熱センサ([J026-03]細胞および分子のマイクロ・ナノスケール解析(3))

猪股 直生, 戸田 雅也, 小野 崇人

年次大会　2013　(0)　_J026032-1-_J026032-3　2013年

166 ピコリットル液体サンプルのためのマイクロチャンネルを有するカロリーメーター(マイクロ・ナノ工学I,一般講演)

夏 寧, 戸田 雅也, 猪股 直生, 小野 崇人

東北支部総会・講演会 講演論文集　2013　(0)　134-135　2013年

An optically switchable emitter array with carbon nanotubes grown on a Si tip for multielectron beam lithography 査読有り

Yujiro Tanaka, Hidetoshi Miyashita, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

NANOTECHNOLOGY　24　(1)　015203-1-015203-6　2013年1月

DOI： 10.1088/0957-4484/24/1/015203 　

ISSN：0957-4484

Fundamental Experiment of Micro Thermionic Power Generator with Narrow Gap 査読有り

Hidetoshi Miyashita, Chen Shuai, Takahito Ono

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　133　(9)　267-271　2013年

DOI： 10.1541/ieejsmas.133.267 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Fabrication and packaging process of silicon resonators capable of the integration of LSI for application of timing device

Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2013)　377-380　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474257 　

ISSN：1084-6999

Optically controllable Si photocathode array

Yujiro Tanaka, Hidetoshi Miyashita, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2013)　504.-507　2013年1月

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474289 　

PARAMETRICALLY DRIVEN RESONANT MICRO-MIRROR SCANNER WITH TUNABLE SPRINGS

Jinhyeok Kim, Yusuke Kawai, Naoki Inomata, Takahito Ono

26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)　580-583　2013年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474308 　

ISSN：1084-6999

Miniature Fourier transform infrared spectrometer for multi gas detection 査読有り

Tatsuyuki Tanahashi, Takahito Ono

Smartsystems integration　2013年

SILICON NANOWIRE PROBE FOR MAGNETIC RESONANCE FORCE MICROSCOPY 査読有り

YongJun Seo, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

Proceedings of 2013 Nanomechanical Sen　59-60　2013年1月

Thermoelectric power generator based on a ferroelectric material combined with a bimetal thermostat

Takuya Saito, Yusuke Kawai, Takahito Ono

The International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems　2280-2283　2013年1月

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6627260 　

Miniature Fourier transform infrared spectrometer for middle infrared wavelength range

Tatsuyuki Tanahashi, Masaya Toda, Hidetoshi Miyashita, Takahito Ono

The International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems　2509-2512　2013年1月

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6627316 　

Synchronization of stochastic resonance using coupled nonlinear silicon resonators

Yosuke Mitsui, Yusuke Kawai, Takahito Ono

The International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems　2013-2016　2013年1月

DOI： 10.1109/Transducers.2013.6627192 　

Supercritical Fluid Deposition and Characterization of CarbonNanotubes-Cu Composite

Zhonglie An, Masaya Toda, Takahito Ono

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)　O-06-O-06　2013年1月

Flexible Thermoelectric Power Generator Combined with CuThermal Guides Array

Sihuang Zhao, Yusuke Kawai, Takahito Ono

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)　O-15-O-15　2013年1月

Tuner integrated resonant micro mirror scanner for compensation of non-liner spring effect

Yusuke Kawai, Takahito Ono

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)　O-16-O-16　2013年1月

Pico-calorimeter using a resonant thermal sensor

Naoki Inomata, Takahito Ono

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)　P-01-P-01　2013年1月

Si Nanowire Probe with a magnet for Magnetic ResonanceDetection

Yongjun Seo, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)　P-02-P-02　2013年1月

CANTILEVERS FOR NANOSENSING: CALORIMETRY FOR A LIVING CELL 査読有り

Masaya Toda, Naoki Inomata, Masaaki Sato, Akihiko Ishijima, Takahito Ono

Proceedings of 2013 Nanomechanical Sensing　35-36　2013年1月

Piezoresistive Silicon Microresonator for Measurements of Hydrogen Adsorption in Carbon Nanotubes 査読有り

Zhonglie An, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Japanese Journal of Applied Physics　51　(11)　116601-116604　2012年11月

DOI： 10.1143/JJAP.51.116601 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

High sensitive Si cantilevers for magnetic resonance force microscopy

Masaya Toda, Yong Jun Seo, Yusuke Kawai, Hidetoshi Miyashita, Takahito Ono

Proceedings of the International Microprocesses & Nanotechnology Conference　25　1P-7-61-1-1P-7-61-2　2012年10月30日

Pico calorimeter for detection of heat produced in an individual brown fat cell 査読有り

Naoki Inomata, Masaya Toda, Masaaki Sato, Akihiko Ishijima, Takahito Ono

Applied Physics Letters 100　100　(15)　154104-1-154104-4　2012年4月

DOI： 10.1063/1.3701720 　

ISSN：0003-6951

3PS013 バイメタルカンチレバーを用いた褐色脂肪細胞の発熱量の定量的解析(日本生物物理学会第50回年会(2012年度))

Sato Masaaki, Toda Masaya, Inomata Naoki, Inoue Yuichi, Ono Takahito, Ishijima Akihiko

生物物理　52　S148　2012年

DOI： 10.2142/biophys.52.S148_1 　

Resonant Thermal Sensor for a living cell in liquid

N. Inomata, M. Toda, M. Sato, A. Ishijima, T. Ono

The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2010)　30　108-111　2012年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170105 　

ISSN：1084-6999

Experimental and modeling analysis on entrainment condition of submicrometer thick Si micro mechanical resonators with nonlinear coupling element

Keitaro Tanno, Yusuke Kawai, Takahito Ono

The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2010)　30　563-566　2012年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170238 　

ISSN：1084-6999

Fabrication of a Si-PZT hybrid XY-microstage with CNT-carbon hinges, 査読有り

Liang He, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Mohd Faizul Sarbi, Mamoru Omori, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

電気学会論文誌E　132　(11)　425-426　2012年

DOI： 10.1541/ieejsmas.132.425 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

SILICON PN JUNCTION INTEGRATED CARBON NANOTUBE FIELD EMITTER ARRAY 査読有り

Yujiro Tanaka, Hidetoshi Miyashita, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Proceeding of The Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2012)　65-65　2012年1月

FABRICATION OF HERMETICALLY-PACKAGED CAPACITIVE RESONATOR ON LTCC SUBSTRATE

N. V. Toan, H. Miyashita, M. Toda, Y. Kawai, T. Ono

Proceeding of The Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　268-268　2012年1月

FABRICATION AND ASSEMBLING OF MICRO CORNER CUBE MIRROR WITH LIGHT-WEIGHT AND SMALL-SIZE FOR IR SPECTROMETER

Tatsuyuki Tanahashi, Young-min Lee, Takahito Ono

Proceeding of The Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　119-119　2012年1月

Young’s modulus of MWCNT-Carbon cantilevered microstructure

Liang He, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Mamoru Omori, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

Proceeding of international Conference on Micro and Nano Engineering　173-173　2012年1月

Design and fabrication of capacitive silicon resonator on LTCC substrate,

Toan Nguyen Van, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono

Proceeding of international Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)　286-286　2012年1月

マイクロアセンブリにより作製した小型Siフーリエ変換赤外分光計

棚橋辰之, 戸田雅也, 宮下英俊, 小野崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　417-422　2012年1月

狭ギャップマイクロ熱電子発電の基礎実験

陳 帥, 宮下英俊, 小野崇人

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　566-570　2012年1月

Parametrically-Amplified Resonant Micro-mirror with Tunable Springs

Jinhyeok Kim, Yusuke Kawai, Naoki Inomata, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　427-430　2012年1月

Microsystems based on Additive Micro/Nanofabrication Processes 招待有り 査読有り

Takahito Ono

VLSIs & Semiconductor Related Technologies　2012年1月

Redox active polymers with phenothiazine moieties for nanoscale patterning via conductive scanning force microscopy 査読有り

Ali A. Golriz, Tassilo Kaule, Jeannine Heller, Maria B. Untch, Philipp Schattling, Patrick Theato, Masaya Toda, Shinya Yoshida, Takahito Ono, Hans-Jurgen Butt, Jochen Stefan Gutmann, Rudiger Berger

Nanoscale 3　3　(12)　5049-5058　2011年12月

DOI： 10.1039/c1nr10917k 　

ISSN：2040-3364

eISSN：2040-3372

Fabrication of Einzel Lens Array with One-Mask Reactive Ion Etching Process for Electron Micro-Optics 査読有り

Hidetoshi Miyashita, Eiichi Tomono, Yusuke Kawai, Masaya Toda, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Japanese Journal of Applied Physics 50　50　(10 PART 1)　106503-1-106503-5　2011年10月

DOI： 10.1143/JJAP.50.106503 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

LSI上に一体集積した3次元マイクロコイル発振器 査読有り

矢部 友崇, 三村 泰弘, 高橋 宏和, 尾上 篤, 室賀 翔, 山口 正洋, 小野 崇人, 江刺 正喜

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society　131　(10)　363-368　2011年10月1日

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.363 　

ISSN：1341-8939

Vacuum-packaged Resonant Thermal Sensor for Biological Cell in liquid

Naoki Inomata, Masaya Toda, Takahito Ono

Microprocess and Nanotechnology Conference　27B10-3　2011年10月

Coupled mechanical Si resonators and its entrainment condition

Keitaro Tanno, Takahito Ono

Microprocess and Nanotechnology Conference　27P-11-98　2011年10月

Microchanneled resonant heat sonsor for a living cell

Masaya Toda, Tomoyuki Otake, Naoki Inomata, Takahito Ono

Microprocess and Nanotechnology Conference　27P-11-95.　2011年10月

High Aspect Ratio Carbon Nanotube-Carbon Composite Microstructures Fabricated by Silicon Molding Technique

Liang He, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Mamoru Omori, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集　28　371-374　2011年9月26日

結合機械的Si 振動子とその同期条件

丹野慶太朗, 小野崇人

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　28　579-584　2011年9月

液中における細胞熱計測のための真空封止マイクロカンチレバー型熱量センサ

猪股 直生, 戸田 雅也, 小野 崇人

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　28　617-622　2011年9月

並列電子線描画システムのための光スイッチング電子源アレイ

田中 雄次郎, 友納 栄一, 宮下 英俊, 江刺 正喜, 小野 崇人

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　28　134-137　2011年9月

High Aspect Ratio Carbon Nanotube-Carbon Composite Microstructures

Liang He, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Mamoru Omori, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　28　134-137　2011年9月

Measurements of the phase transition and the average length of the density fluctuation under supercritical fluid using micromechanical resonators 査読有り

Masaya Toda, Takashi Fujii, Atsushi Yoshida, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

Applied Physics Letters 99　99　(7)　074101-1-074101-3　2011年8月15日

DOI： 10.1063/1.3610942 　

ISSN：0003-6951

Local electrical modification of a conductivity-switching polymide film formed by molecular layer deposition 査読有り

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　22　(335302)　2011年8月

DOI： 10.1088/0957-4484/22/33/335302 　

Micro probes and coils for microscopic magnetic resonance imaging 査読有り

M.Esashi, T.Ono

Black Forest Focus on Soft Matter 6, Magnetic Resonance Microsystems　(16)　2011年7月26日

Micro wishbone interferometer for Fourier transform infrared spectrometry 査読有り

Young-Min Lee, Masaya Toda, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　21　(6)　9-9　2011年6月

DOI： 10.1088/0960-1317/21/6/065039 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

FABRICATION OF HIGH ASPECT RATIO CARBON NANOTUBE-CARBON COMPOSITE MICROSTRUCTURES BASED ON SILICON MOLDING TECHNIQUE

Liang He, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Hidetoshi Miyashita, Chuanyu Shao, Mamoru Omori, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono

The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　16　2331-2334　2011年6月

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969549 　

Advanced Materials for MEMS

M. Esashi, T. Ono

5th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2011　2011年5月16日

Integration technology of heterogenous components for microsystem 査読有り

Takahito Ono

2011 VLSI-DAT　226-227　2011年4月25日

DOI： 10.1109/VDAT.2011.5783616 　

Bimorph cantilevers actuated by focused laser from the side 査読有り

Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono

電気学会論文誌 E　131　(9)　327-331　2011年

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.327 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

ASSEMBLING TECHNIQUE OF THREE DIMENSIONAL MICROSTRUCTURES USING CLIP MECHANISM OF MICROSPRING

Kyosuke Kotani, Yusuke Kawai, Chuan-Yu Shao, Takahito Ono

2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　209-212　2011年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2011.5734398 　

ISSN：1084-6999

PARALLEL ARRAY OF NOISE-ACTIVATED NONLINEAR MICRO-RESONATORS WITH INTEGRATED ACTUATORS

Yusuke Yo, Yusuke Kawai, Takahito Ono

2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　613-616　2011年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2011.5734499 　

ISSN：1084-6999

MINIATURE WISHBONE INTERFEROMETER USING ROTARY COMB DRIVE ACTUATOR FOR ENVIRONMENT GAS MONITORING

Young-min Lee, Masaya Toda, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　716-719　2011年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2011.5734525 　

ISSN：1084-6999

Modeling and Experimental Analysis on the Nonlinearity of Single Crystal Silicon Cantilevered Microstructures 査読有り

Yonggang Jiang, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

電気学会論文誌 E　131　(5)　195-196　2011年

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.195 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Design issues of rpiezoresistive nanocantilver sensors with non-uniform nanoscale doping profiles 査読有り

Yonggang Jiang, Masayoshi Esahshi, Takahito Ono

電気学会論文誌 E　131　(7)　270-271　2011年

DOI： 10.1541/ieejsmas.131.270 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Optically controllable emitter array with pn-junction integrated Si tip

Yujiro Tanaka, Hidetoshi Miyashita, Eiichi Tomono, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

2011 24TH INTERNATIONAL VACUUM NANOELECTRONICS CONFERENCE (IVNC)　24　57-+　2011年

Mechanically coupled synchronized resonators for resonant sensing applications 査読有り

Jinyang Feng, Xiongying Ye, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　20　(11)　115001-1-115001-5　2010年11月

DOI： 10.1088/0960-1317/20/11/115001 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Quartz-crystal scanning probe microcantilevers with a silicon tip based on direct bonding of silicon and quartz 査読有り

Akihiro Takahashi, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Nanotechnology　21　(40)　405502-1-405502-5　2010年10月8日

DOI： 10.1088/0957-4484/21/40/405502 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

Quartz-crystal scanning probe microcantilevers with a silicon tip based on direct bonding of silicon and quartz 査読有り

Akihiro Takahashi, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

NANOTECHNOLOGY　21　(40)　2B2-1-1-2B2-1-4　2010年10月

DOI： 10.1088/0957-4484/21/40/405502 　

ISSN：0957-4484

Deposition of conductivity-switching polyimide film by molecular layer deposition and electrical modification using scanning probe microscope 査読有り

S. Yoshida, T. Ono, M. Esashi

Micro & Nano Letters　5　(5)　321-323　2010年10月

DOI： 10.1049/mnl.2010.0128 　

eISSN：1750-0443

A Development of automated multilayered sol-gel deposition machine for micro actuator with PZT thick film

Yusuke Kawai, Nobuyoshi Moriwaki, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

第27回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集　27　84-87　2010年10月

Ultra-high sensitive bimorph cantilever for heat sensing

Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono

第27回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集　27　371-374　2010年10月

Deposition of a conductivity-switching polymind film by molecular layer deposition and electrical modification using scanning probe microscope

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

36th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2010)　36　O-LITH-23　2010年9月20日

Optically Controlled Emitters for Multi Electron Beam Lithography

Hidetoshi Miyashita, Eiichi Tomono, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

18th International Vacuum Congress　18　ea3087ba-9　2010年8月26日

Electrostatic actuator with curved electrodes for time-of-flight scanning force microscopy 査読有り

Chuan-Yu Shao, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Review of Scientific Instruments　81　(8)　083702-1-083702-6　2010年8月

DOI： 10.1063/1.3469796 　

ISSN：0034-6748

eISSN：1089-7623

Nonlinear Micromechanical Bistable Resonator Capable of Vibration Switching by Thermomechanical Noise at Room Temperature

Yusuke Yoshida, Takahito Ono

The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology　5　50-50　2010年7月

Optically-Controlled Multi Electron Source

Eiichi Tomono, Hidetoshi Miyashita, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology　5　78-78　2010年7月

Degradation of Mechanical Characteristics of Silicon Microcantilever due to Plasma Induced Defects

M. Tomura, Y. Yoshida, T. Ono, C. H. Huang, S. Samukawa

The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology　5　186-186　2010年7月

Integratin of Nanomaterials into Microsystem 招待有り

Takahito Ono, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, He Liang, Masayoshi Esashi

The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology　5　46-46　2010年7月

Evaluation of biomaterial cantilever beam for heat sensing at atmospheric pressure 査読有り

Masaya Toda, Takahito Ono, Fei Liu, Ioana Voiculescu

Review of Scientific Instruments　81　(5)　055104-1-055104-6　2010年5月

DOI： 10.1063/1.3397320 　

ISSN：0034-6748

Plasma-Induced Deterioration of Mechanical Characteristics of Microcantilever 査読有り

Maju Tomura, Chi-Hsien Huang, Yusuke Yoshida, Takahito Ono, Satoshi Yamasaki, Seiji Samukawa

Japanese Journal of Applied Physics　49　(4 PART 2)　04DL20-1-04DL20-4　2010年4月

DOI： 10.1143/JJAP.49.04DL20 　

ISSN：0021-4922

eISSN：1347-4065

ムービングマグネット式2軸駆動MEMSミラー

青柳勳, 島岡敬一, 加藤覚, 牧志渉, 川合祐輔, 田中秀治, 小野崇人, 江刺正喜

平成22年電気学会全国大会　3　186-187　2010年3月

Controlled Formation and Mechanical Characterization of Metallic Glassy Nanowires 査読有り

Koji S. Nakayama, Yoshihiko Yokoyama, Takahito Ono, Ming Wei Chen, Kotone Akiyama, Toshio Sakurai, Akihisa Inoue

ADVANCED MATERIALS　22　(8)　872-+　2010年2月

DOI： 10.1002/adma.200902295 　

ISSN：0935-9648

High power density microactuator for MEMS applications

Mohd Faizul Sabri, Takahito Ono, Suhana Mohd Said, Masayoshi Esashi

Conference on Mechanical and Aerospece Technology　329-1-239-7　2010年2月

MICROMECHANICALLY-COUPLED RESONATED SYSTEM FOR SYNCHRONIZED OSCILLATION WITH IMPROVED PHASE NOISE

Dong F. Wang, Jinyang Feng, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Xiongying Ye

MEMS 2010: 23RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST　703-706　2010年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2010.5442309 　

ISSN：1084-6999

Position-controlled vertical growths of individual carbon nanotubes using a cage-shaped protein 査読有り

Shinya Kumagai, Takahito Ono, Shigeo Yoshii, Ayako Kadotani, Rikako Tsukamoto, Kazuaki Nishio, Mitsuhito Okuda, Ichiro Yamashita

Applied Physics Express　3　(1)　15101-1-15101-3　2010年1月

DOI： 10.1143/APEX.3.015101 　

ISSN：1882-0778

eISSN：1882-0786

Electrostatically switchable microprobe for mass-analysis scanning force microscopy 査読有り

Shuan-Yu Shao, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

電気学会E部門誌　130　(2)　59-60　2010年

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.59 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Design and Fabrication of a Scanning Near-Field Microscopy Probe with Integrated Zinc Oxide Photoconductive Antennas for Local Terahertz Spectroscopy 査読有り

Kentaro Iwami, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

SENSORS AND MATERIALS　22　(3)　135-142　2010年

ISSN：0914-4935

MicroWishbone Interferometer for Miniature FTIR Spectrometer 査読有り

Young-min Lee, Masaya Toda, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

電気学会論文誌 E　130　(7)　333-334　2010年

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.333 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Miniature Interferometer with Corner Cube Mirrors

Young-min Lee, Masaya Toda, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

2010 IEEE SENSORS　65-70　2010年

DOI： 10.1109/ICSENS.2010.5690828 　

ISSN：1930-0395

A Development of Automated Chemical-Solution-Deposition Machine for Micro Actuator with Multilayered PZT Thick Film

Yusuke Kawai, Nobuyoshi Moriwaki, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

2010 IEEE SENSORS　2247-2250　2010年

DOI： 10.1109/ICSENS.2010.5690701 　

ISSN：1930-0395

Mechanism of Mechanical Deterioration in Silicon Microcantilever Induced by Plasma Process

Maju Tomura, Chi-Hsein Huang, Seiji Samukawa, Yusuke Yoshida, Takahito Ono, Satoshi Yamasaki

2010 IEEE SENSORS　2534-2537　2010年

DOI： 10.1109/ICSENS.2010.5690474 　

ISSN：1930-0395

Microassembly of PZT actuators into silicon microstrcutures 査読有り

Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

電気学会E部門誌　12　(12)　471-472　2009年12月

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.471 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Characterization of two beam-shaped cantilevers coupled with a micromechanical element 査読有り

Dong F Wang, Jinyang Feng, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Microprocesses and Nanotechnology 2009　754-755　2009年11月

Electrostatically actuated chemical scanning force microscopy probe with tunable spring

Chuan-Yu Shao, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Microprocesses and Nanotechnology 2009　140-141　2009年11月

Microsystems for Nanoscale Processing 招待有り

T. Ono, H. Miyashita, Y. Kawai, M. Toda, M. Esashi

Proceeding of IWNA　83-86　2009年11月

Fabrication of Electrostatic Actuated Totary for Micro Interferometer

Young Min Lee, Masaya Toda, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials　681-682　2009年10月

Deterioration of mechanical characteristics of micro-cantilevers by plasma induced damage

Maju Tomura, Yusuke Yoshida, Takahito Ono, Chi-Hsien Huang, Seiji Samukawa

Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials　932-933　2009年10月

Fabrication technique of Einzel lens array with RIE process

Eiichi Tomono, Hidetoshi Miyashita, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials　1324-1325　2009年10月

Noise-enhanced sensing using micromechanical nonlinear resonator

Yusuke Yoshida, Takahito Ono

Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials　976-977　2009年10月

Fabrication of rotary comb drive actuator for micro wishbone interferometer

Young-Min Lee, Masaya Toda, Masayoshi Esashi, Takahito Ono

第26回センサ・マイクロマシンと応用システム　618-621　2009年10月

Modeling and experimental validation of the performance of a silicon XY-microstage driven by PZT actuators 査読有り

Mohd Faizul Mohd, Sabri, Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　19　(9)　95004-1-95004-9　2009年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/19/9/095004 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Integration process of carbon nanotube piezoresistive elements into microstructure 査読有り

Naoki Oda, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Trends in Nanotechnology　2009年9月

The fablication of metallic tip with silicon cantilever for probe-based ferroelectric data storage and their durability experiments, Journal of Micromechanics and Microengineering 査読有り

Hirokazu Takahashi, Yasuhiro Mimura, Shuntaro Mori, Masahiro Ishimori, Atsushi Onoe, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　20　(36)　365201-1-365201-6　2009年8月

DOI： 10.1088/0957-4484/20/36/365201 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

Temperature-dependent mechanical and electrical properties of boron-doped piezoresistive nanocantilevers 査読有り

Yonggang Jiang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　19　(6)　65030　2009年6月

DOI： 10.1088/0960-1317/19/6/065030 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Fabrication of Einzel lens array with one-mask RIE process for electron micro-optics

Eiichi Tomono, Hidetoshi Miyashita, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　15　853-856　2009年6月

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285809 　

Development of 100-nm-thick self-sensing nanocantilever and characterization of the temperature dependence of the piezoresistivity and conductivity

Yonggang Jiang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　15　1309-1312　2009年6月

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285871 　

A large displacement piexodriven silicon XY-microstage

Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　15　2405-2408　2009年6月

DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285429 　

非線形ナノ・マイクロ振動子を用いたノイズ励起によるセンシング 査読有り

小野崇人, 吉田祐介, 蒋 永剛, 江刺正喜

豊田研究報告　62　(62)　131-137　2009年5月

ISSN：0372-039X

Heat sensing with self-excited microcantilever in water

Masaya Toda, Takahito Ono, Wongje Cho, Masayoshi Esashi

International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors　L.4.4　2009年5月

Micromechanical nonlinear bistable resonators for robust sensing

Yusuke Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors　P.10　2009年5月

Mass-analysis scanning force microscopy with electrostatic switching mechanism

C. Y. Shao, Y. Kawai, T. Ono, M. Esashi

Proceeding of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems　1031-1034　2009年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2009.4805562 　

ISSN：1084-6999

Thermal imaging with tapping mode using a bimetal oscillator formed at the end of a cantilever 査読有り

Sang-Jin Kim, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Review of Scientific Instruments　80　(3)　33703-1-33703-6　2009年

DOI： 10.1063/1.3095680 　

ISSN：0034-6748

Noise-enhanced Sensing of Light and Magnetic Force Based on a Nonlinear Silicon Microresonator 査読有り

Takahito Ono, Yusuke Yoshida, Yong-Gang Jiang, Masayoshi Esashi

Applied Physics Express　1　(12)　1230011-1230013　2008年12月

DOI： 10.1143/APEX.1.123001 　

ISSN：1882-0778

eISSN：1882-0786

Conductive polymer patterned media fabricated by diblock copolymer lithography for scanning multiprobe data storage 査読有り

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　19　(47)　475302-1-475302-9　2008年11月26日

DOI： 10.1088/0957-4484/19/47/475302 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

A New Approach to Terahertz Local Spectroscopy Using Microfabricated Scanning Near-Field Probe 査読有り

Kentaro Iwami, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　47　(10)　8095-8097　2008年10月

DOI： 10.1143/JJAP.47.8095 　

ISSN：0021-4922

Synchronized micromechanical elements for resonant sensing

Jinyang Feng, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of The IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference　119　2008年10月

Microprobe with electrostatic microactuator for TOF-MA combined SFM

Chuan-Yu Shao, Yusuke Kawai, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of The IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference　178　2008年10月

Experimental investigation on nonlinearity of single crystal silicon nanocantilevers

Yonggang Jiang, Takahito Ono, Jinyang Feng, Masayoshi Esashi

Proceeding of The IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference　180　2008年10月

Fabrication and integration of a Si-PZT hybrid XY-microstage 査読有り

Mohd Faizul Bin Mohd Sabri, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Microprocesses and Nanotechnology　62-63　2008年10月

Photolithographic fabrication of gated self-aligned parallel electron beam emitters with a single-stranded carbon nanotube 査読有り

Justin Ho, Takahito Ono, Ching-Hsing Tsai, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　19　(36)　365601-1-365601-5　2008年9月10日

DOI： 10.1088/0957-4484/19/36/365601 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

Formation of a Flat Conductive Polymer Film Using Template-Stripped Gold (TSG) Surface and Surface-Graft Polymerization for Scanning Multiprobe Data Storage 査読有り

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology　6　202-208　2008年9月2日

DOI： 10.1380/ejssnt.2008.202 　

eISSN：1348-0391

Multiprobe systems for data storage and other applications 招待有り

Masayoshi Esashi, Takahito Ono, Shinya Yoshida

Proceedings of 5th International Symposium on Instrumentation Science and Technology (ISIST’ 2008)　258-259　2008年9月

DOI： 10.1109/ICSENS.2005.1597685 　

Process for the fabrication of hollow core solenoidal microcoils in borosilicate glass 査読有り

Mona J, K. Klein, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Jan G Korvink

Journal of Micromechanics and Microengineering　18　(7)　075002-1-075002-6　2008年8月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/18/7/075002 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Bonding of a Si microstrcuture using filed-assisted glass melting 査読有り

Hironori Seki, Takahito Ono, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　18　(8)　085003-1-085003-5　2008年8月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/18/8/085003 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force detection 査読有り

Y. G. Jiang, T. Ono, M. Esashi

Measurement Science and Technology　19　(8)　084011-1-084011-5　2008年8月1日

DOI： 10.1088/0957-0233/19/8/084011 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501

Conductive polymer recording media for scanning multiprobe data storage system

Mohd Faizul Bin Mohd Sabri, Takahito Ono, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi

Proceeding of International Conference on New Actuators　11　75-78　2008年6月

Carbon nanotube emitters with narrow gap for thermoelectric generation

Hiroaki Kurahashi, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of The Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　4　3B1-2-1-3B1-2-4　2008年6月

Vertically-aligned carbon nanotube composite actuator

Naoki Oda, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of The Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　4　2D1-4-1-2D1-4-4　2008年6月

Conductive polymer patterned media fabricated using diblock copolymer lithography for scanning multiprobe data storage

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of The Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　4　2S01-1-2S01-4　2008年6月

DOI： 10.1088/0957-4484/19/47/475302 　

Piezoresistive nanocantilevers with an ultra-shallow boron doped layer using spin-on diffusion method for MRFM application

Y. G. Jiang, T. Ono, Z. L. An, M. Esashi

Proceeding of The Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　4　3B-16-1-3B-16-4　2008年6月

Piezoresistive silicon microresonator with carbon nanotubes for mass detection

Zhonglie An, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of The Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　4　2B1-4-1-2B1-4-4　2008年6月

Time-of-flight mass analyzer scanning force microscope probe with electrostatic actuator

C. Y. Shao, Y. Kawai, T. Ono, M. Esashi

Proceeding of The Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies　4　1A2-5-1-1A2-5-1　2008年6月

シリコンマイクロ振動子を用いた高感度熱機械変換素子 査読有り

小野崇人

豊田研究報告　61　(61)　143-148　2008年5月

ISSN：0372-039X

Conductive polymer recording media for scanning multiprobe data storage system

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors　127-128　2008年5月

Fabrication of nano mechanical probe for thermal sensing

Masaya Toda, Takahito Ono, Wongje Cho, Sang-Jin Kim, Masayoshi Esashi

Proceeding of International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors　211-212　2008年5月

Micro/Nano Resonating Oscillators for Versatile Applications 招待有り

Takahito Ono

Proceeding of International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors　28-29　2008年5月

Micromachined Si cantilever arrays for parallel AFM operation 査読有り

Yoomin Ahn, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Mechanical Science and Technology　22　(2)　308-311　2008年2月

DOI： 10.1007/s12206-007-1029-2 　

ISSN：1738-494X

A Si-PZT Hybrid XY-Microstage Utilizing an Actuator Amplification Mechanism

Mohd Faizul Bin Mohd Sabri, Takahito Ono, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi

ACTUATOR 08, CONFERENCE PROCEEDINGS　75-+　2008年

Parallel Electron Beam Micro-Column with Self-Aligned Carbon Nanotube Emitters

C. H. Tsai, J. Y. Ho, T. Ono, M. Esashi

Proceedings of IEEE workshop on Micro Electro Mechanical Systems　21　355-358　2008年

DOI： 10.1109/MEMSYS.2008.4443666 　

ISSN：1084-6999

Conductive polymer patterned media for scanning multiprobe data storage 査読有り

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　18　(50)　1-5　2007年12月19日

DOI： 10.1088/0957-4484/18/50/505302 　

ISSN：0957-4484

eISSN：1361-6528

Design and Development of Si-PZT Hybrid XY-Microstage

Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

PROCEEDINGS OF THE SENSOR SYMPOSIUM　24　173-178　2007年10月

Fabrication of Carbon Nanotube Tunneling Emitters for Thermoelectric Generation

Hiroaki KURAHASHI, Takahito ONO, Masayoshi ESASHI

PROCEEDINGS OF THE SENSOR SYMPOSIUM　24　317-320　2007年10月

Scanning Near-field Optical Microscopy Probe Integrated with Photoconductive Antenna for Terahertz Time-domain Spectroscopy

Kentaro IWAMI, Takahito ONO, Masayoshi ESASHI

PROCEEDINGS OF THE SENSOR SYMPOSIUM　24　495-498　2007年10月

Aligned growth of carbon nanotube using protein supramolecule

S. Kumagai, T. Ono, R. Tsukamoto, S. Yoshii, I. Yamashita

AVS 55th International Symposium　2007年10月

A Single-Strand Self-Aligned Carbon Nanotube Emitter Array

Justin Ho, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

International Conference on Micro- and Nano-Engineering　33　105-106　2007年9月

Thermal Detection using Dual Resonance Mode of Probe

Sang-Jin Kim, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Akio Ishijima

Proceedings of The international Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments　8　355-358　2007年9月

Development of Piezoresistive Nanocantilevers for Ultra-sensitive Force Detection

Y. G. Jiang, T. Ono, M. Esashi

Proceedings of The international Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments　8　417-420　2007年9月

Characterization of catalytic chemical vapour deposited SiCN thin film coatings 査読有り

Suresh Neethirajana, Takahito Ono, Esashi Masayoshi, Digvir Jayas

Trends in NanoTechnology　7　88-1-88-7　2007年7月

CONDUCTIVE POLYMER PATTERND MEDIA FOR SCANNING MULTIPROBE DATA STORAGE

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceeding of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　14　1645-1648　2007年6月

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300465 　

Fabrication of diamond Schottky emitter array by using electrophoresis pre-treatment and hot-filament chemical vapor deposition 査読有り

Ching-Hsiang Tsai, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Diamond & Related Materials　16　(4-7 SPEC. ISS.)　1398-1402　2007年4月

DOI： 10.1016/j.diamond.2006.11.032 　

ISSN：0925-9635

Zinc oxide photoconductive antenna for terahertz near-field microscopy

Kentaro Iwami, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Smart Systems Integration 2007 - European Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems: MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, SSI 2007　2007年

Imaging of acoustic pressure radiation from vibrating microstructure in atmosphere using thermal microprobe 査読有り

Takahito Ono, Sang-Jin Kim, Masayoshi Esashi

Applied Physics Letters　90　(21)　211911-1-211911-3　2007年

DOI： 10.1063/1.2742908 　

ISSN：0003-6951

Silicon-on-insulator for symmetry-converted growth 査読有り

Y. Fujikawa, Y. Yamada-Takamura, G. Yoshikawa, T. Ono, M. Esashi, P. P. Zhang, M. G. Lagally, T. Sakurai

Applied Physics Letters　90　(24)　243107-1-243107-3　2007年

DOI： 10.1063/1.2748099 　

ISSN：0003-6951

Optical Amplification of the Resonance of a Bimetal Silicon Cantilever 査読有り

T. Ono, S. Yoshida, Y. Kawai, M. Esashi

Applied Physics Letters　90　(24)　243112-1-243112-3　2007年

DOI： 10.1063/1.2748848 　

ISSN：0003-6951

Bimetallic thermal radiation microsensor with integrated dipole antenna

Yongfang Li, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

TRANSDUCERS and EUROSENSORS '07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　14　1939-1942　2007年

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300539 　

Micro proximity electron source with apertured, electron window for nanolithography in atmosphere

Wonje Cho, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　14　1581-1584　2007年

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300449 　

Multi-probe with metallic tips for ferroelectric recording probe storage

Hirokazu Takahashi, Yasuhiro Mimura, Shuntaro Mori, Masahiro Ishimori, Atsushi Onoe

TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　14　2509-2512　2007年

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300681 　

Self-sensing quartz-crystal cantilever for nanometric sensing

Yu-Ching Lin, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　14　2513-2516　2007年

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300682 　

Microprobe integrated with single-electron transistor for magnetic resonance force microscopy

Suk-Ho Song, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　14　1749-1752　2007年

DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300491 　

Resonator combined with a piezoelectric actuator for chemical analysis by force microscopy 査読有り

Y. Kawai, T. Ono, M. Esashi, E. Meyer, Ch. Gerber

Review of Scientific Instruments　78　(6)　063709-1-063709-4　2007年

DOI： 10.1063/1.2748394 　

ISSN：0034-6748

Proximity electron lithography using permeable electron windows 査読有り

W. Cho, T. Ono, M. Esashi

Applied Physics Letters　91　(4)　044104-1-044104-3　2007年

DOI： 10.1063/1.2762281 　

ISSN：0003-6951

Mass detection using capacitive resonant silicon resonator employing LC resonant circuit technique 査読有り

Sang-Jin Kim, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Review of Scientific Instruments　78　(8)　085103-1-085103-6　2007年

DOI： 10.1063/1.2766840 　

ISSN：0034-6748

Study on the noise of silicon capacitive resonant mass sensors in ambient atmosphere 査読有り

Sang-Jin Kim, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Applied Physics　102　(10)　104304-1-104304-6　2007年

DOI： 10.1063/1.2811911 　

ISSN：0021-8979

Sputter Deposited Zinc Oxide PhotoconductiveAntema on Silicon for Sub-Terahertz Time Domain Spectroscopy 査読有り

Kentaro Iwami, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

電気学会E部門誌　127　(11)　508-509　2007年

DOI： 10.1541/ieejsmas.127.508 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Application oriented micro-nano electro mechanical systems 招待有り

Masayoshi Esashi, Takahito Ono

MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS　20　480-481　2007年

DOI： 10.1109/IMNC.2007.4456313 　

Precise motion control of a nanopositioning PZT microstage using integrated capacitive displacement sensors 査読有り

H.-G. Xu, T. Ono, M. Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　16　(12)　2747-2754　2006年12月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/16/12/031 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Optical Near-Field Probe Integrated With Self-Aligned Bow-Tie Antenna and Electrostatic Actuator for Local Field Enhancement 査読有り

Kentaro Iwami, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Microelectromechanical Systems　15　(5)　1201-1208　2006年10月

DOI： 10.1109/JMEMS.2006.879694 　

ISSN：1057-7157

Fabrication and characterization of a monolithic PZT microstage 査読有り

Hegen Xu, Takahito Ono, De-Yuan Zhang, Masayoshi Esashi

Microsystem Technology　12　(9)　883-890　2006年8月

DOI： 10.1007/s00542-006-0206-z 　

ISSN：0946-7076

A diamond-tip probe with silicon-base piezoresistive strain gauge for high-density data storage using scanning nonlinear dielectric microscopy 査読有り

Hirokazu Takahashi, Takahito Ono, Atsushi Onoe, Yauo Cho, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　16　(8)　1620-1624　2006年8月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/16/8/025 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

High aspect ratio spiral microcoils fabricated by a silicon lost molding technique 査読有り

Y G Jiang, T Ono, M Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　16　(5)　1057-1061　2006年5月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/16/5/025 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

A nanoindentation instrument for mechanical property measurement of 3D micro/nano-strucuted surfaces 査読有り

T Motoki, W Gao, S. Kiyono, T Ono

Measurement Science and Technology　17　(3)　495-499　2006年3月1日

DOI： 10.1088/0957-0233/17/3/S06 　

ISSN：0957-0233

eISSN：1361-6501

High-density ferroelectric recording using diamond probe by scanning nonlinear dielectric microscopy 査読有り

H Takahashi, A Onoe, T Ono, Y Cho, M Esashi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS　45　(3A)　1530-1533　2006年3月

DOI： 10.1143/JJAP.45.1530 　

ISSN：0021-4922

Piezoelectric actuator integrated cantilever with tunable spring constant for TOF-SFM 査読有り

Yusuke Kawai, Takahito Ono, Ernst Meyer, Christoph Gerber, Masayoshi Esashi

FUTURE MEDICAL ENGINEERING BASED ON BIONANOTECHNOLOGY, PROCEEDINGS　377-+　2006年

Monolithic PZT microstage with multi-degrees of freedom for the application of nanopositioning 査読有り

Hegen Xu, Takahito Ono, Masayosht Esashi

FUTURE MEDICAL ENGINEERING BASED ON BIONANOTECHNOLOGY, PROCEEDINGS　601-+　2006年

A Schottky emitter using boron-doped diamond 査読有り

Joon Hyung Bae, Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

FUTURE MEDICAL ENGINEERING BASED ON BIONANOTECHNOLOGY, PROCEEDINGS　22　(3)　295-+　2006年

Capacitive resonant mass sensor with frequency demodulation detection based on resonant circuit 査読有り

SJ Kim, T Ono, M Esashi

APPLIED PHYSICS LETTERS　88　(5)　053116-1-053116-3　2006年1月

DOI： 10.1063/1.2171650 　

ISSN：0003-6951

Parametrically amplified thermal resonant sensor with pseudo-cooling effect 査読有り

Takahito Ono, Hirotaka Wakamatsu, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　15　(12)　2282-2288　2005年12月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/15/12/010 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Fabrication and characteration of micromachined quartz-crystal cantilever for force sensing 査読有り

Yu-Ching Lin, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　15　(12)　2426-2432　2005年12月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/15/12/026 　

ISSN：0960-1317

eISSN：1361-6439

Hydrogen termination for the growth of carbon nanotubes on silicon 査読有り

Le Thi Trong Tuyen, Phan Ngoc Minh, Emil Roduner, Pham Thi Duong Chi, Takahito Ono, Hidetoshi Miyashita, Phan Hong Khoi, Masayoshi Esashi

Chemical Physics Letters　415　(4-6)　333-336　2005年11月11日

DOI： 10.1016/j.cplett.2005.09.014 　

ISSN：0009-2614

Small crack behavior and fracture of nikel-based superalloy under ultrasonic fatigue 査読有り

Q. Chen, N. Kawagoishi, Q. Y. Wang, N. Yan, T. Ono, G. Hashiguchi

International Journal of Fatigue　27　(10-12)　1227-1232　2005年10月

DOI： 10.1016/j.ijfatigue.2005.07.022 　

ISSN：0142-1123

Reversible electrical modification on conductive polymer for proximity probe data storage 査読有り

Shinya Yoshida, Takahito Ono, Shuichi Oi, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　15　2282-2288　2005年9月

Stress-induced Mass detection with Micro/Nanomechanical Silicon Resonator 査読有り

Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Review of Scientific Instruments　76　(9)　093107-1-093107-5　2005年9月

DOI： 10.1063/1.2041591 　

ISSN：0034-6748

Piezoactuator-integrated monolithic microstage with six degrees of freedom 査読有り

De-Yuan Zhang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Sensors and Actuators A　122　(2)　301-306　2005年8月26日

DOI： 10.1016/j.sna.2005.03.076 　

ISSN：0924-4247

Scanning probe microscopy with quartz crystal cantilever 査読有り

Takahito Ono, Yu-Ching Lin, Masayoshi Esashi

Applied Physics Letters　87　(7)　074102-1-074102-2　2005年8月15日

DOI： 10.1063/1.2031937 　

ISSN：0003-6951

Effect of ion attachment on mechanical dissipation of a resonator 査読有り

Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Applied physics letters　87　(4)　044105-1-044105-3　2005年7月25日

DOI： 10.1063/1.1993771 　

ISSN：0003-6951

From MEMS to nanomachine 査読有り

Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Journal of Physics D: Applied Physics　38　(13)　R223-R230　2005年7月7日

DOI： 10.1088/0022-3727/38/13/R01 　

ISSN：0022-3727

Si multiprobes integrated with lateral actuators for independent scanning probe applications 査読有り

Yoomin Ahn, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　15　(6)　1224-1229　2005年6月1日

DOI： 10.1088/0960-1317/15/6/012 　

ISSN：0960-1317

Magnetic mesa structure fabricated by reactive ion etching with CO/NH3/Xe plasma chemistry for an all-silicon quantum computer 査読有り

Dong F. Wang, Atsushi Takahashi, Yoshinori Matsumoto, Kohei M Itoh, Yoshihisa Yamamoto, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　16　(6)　990-994　2005年6月1日

DOI： 10.1088/0957-4484/16/6/062 　

ISSN：0957-4484

Evanescent Light Enhancement in a Nanometer Aperture Surrounded by Corrugated Metal Thin Film for a Terabyte Optical Disk Head 査読有り

Kenya Goto, Takahito Ono, Yong-Joo Kim

IEEE Transactions on Magnetics　41　(2)　1037-1041　2005年2月

DOI： 10.1109/TMAG.2004.842031 　

ISSN：0018-9464

Micro-Nano Electromechanical Systems 招待有り 査読有り

Masayoshi ESASHI, Takahito ONO, Shuji TANAKA

Thermal Science and Engineering　13　(1)　3-6　2005年1月

ISSN：0918-9963

Micro instrumentation for characterizing thermoelectric properties of nanomaterials 査読有り

Takahito Ono, Chia-cheng Fan, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microenginering,　15　(1)　1-5　2005年1月

DOI： 10.1088/0960-1317/15/1/001 　

ISSN：0960-1317

Micromachined Optical Near-Field Bow-Tie Antenna Probe with Integrated Electrostatic Actuator 査読有り

Takahito Ono, Kentaro Iwami, Masayoshi Esashi

Japanese Journal of Applied Physics　44　(12-15)　L445-L448　2005年

DOI： 10.1143/JJAP.44.L445 　

ISSN：0021-4922

A high precision AFM for nanometrology of large area micro-structured surfaces 査読有り

J Aoki, W Gao, S Kiyono, T Ono

MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI　295-296　65-70　2005年

ISSN：1013-9826

Thermal treatments and gas adsorption influences on nanomechanics of ultra-thin silicon resonators for ultimate sensing 査読有り

Dong F. Wang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　15　(12)　1851-1854　2004年12月

DOI： 10.1088/0957-4484/15/12/028 　

ISSN：0957-4484

Nano/Micromechanical Tools for Nanoscale Engineering 査読有り

Takahito Ono, Hidetoshi Miyashita, Kentaro Iwami, Sang-Jin Kim, Yu-Ching Lin, Phan Ngoc Minh, Masayoshi Esashi

Advances in Natural Sciences　5　(4)　343-355　2004年12月

Mass sensing with resonating ultra-thin silicon beams detected by a double-beam laser Doppler vibrometer 査読有り

Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Measurement Science and Technology　15　(10)　1977-1981　2004年10月

DOI： 10.1088/0957-0233/15/10/005 　

ISSN：0957-0233

Micro Industry Equipments 査読有り

Masayoshi Esashi, Takahito Ono, Shuji Tanaka

JSME International Journal B-Fluids and Thermal Engineering　47　(3)　429-438　2004年8月

DOI： 10.1299/jsmeb.47.429 　

ISSN：1340-8054

Interlayer magnetic coupling in Fe/Cr multilayers 査読有り

E. Saitoh, A. Kaneko, T. Ono, H. Miyajima

JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS　272　E1395-E1396　2004年5月

DOI： 10.1016/j.jmmm.2003.12.1087 　

ISSN：0304-8853

Microelectron field emitter array with focus lenses for multielectron beam lithography based on silicon on insulator wafer 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Nobuyuki Sato, Hidenori Mimura, Masayoshi Esashi

Journal of Vacuum Science of Technology B　22　(3)　1273-1276　2004年3月

Nanotnechanical structure with integrated carbon nanotube 査読有り

T Ono, H Miyashita, M Esashi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS　43　(2)　855-859　2004年2月

DOI： 10.1143/JJAP.43.855 　

ISSN：0021-4922

Boron-doped diamond scanning probe for thermo-mechanical nanolithography 査読有り

JH Bae, T Ono, M Esashi

DIAMOND AND RELATED MATERIALS　12　(12)　2128-2135　2003年12月

DOI： 10.1016/S0925-9635(03)00252-8 　

ISSN：0925-9635

Magnetic force and optical force sensing with ultrathin silicon resonator 査読有り

Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Review of Scientific Instruments　74　(12)　5141-5146　2003年12月

DOI： 10.1063/1.1623627 　

ISSN：0034-6748

A piezodriven XY-microstage for multiprobe nanorecording 査読有り

Deyuan Zhang, Chienliu Chang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Sensors and Actuators A　108　(1-3)　230-233　2003年11月15日

DOI： 10.1016/S0924-4247(03)00373-X 　

ISSN：0924-4247

Crystallographic influence on nanomechanics of (100)-oriented silicon resonators 査読有り

D.F. Wang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Applied Physics Letters　83　(15)　3189-3191　2003年10月13日

DOI： 10.1063/1.1616652 　

ISSN：0003-6951

Ultrathin single-crystalline-silicon cantilever resonators: Fabrication technology and significant specimen size effect on Young's modulus 査読有り

Xinxin Li, Takahito Ono, Yuelin Wang, Masayoshi Esashi

Applied Physics Letters　83　(15)　3081-3083　2003年10月13日

DOI： 10.1063/1.1618369 　

ISSN：0003-6951

Silicon Microfabricated Devices for Nanoscale Applications 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Advances in Natural Sciences　4　(2)　127-141　2003年10月

Electrical modification of a conductive polymer using a scanning probe microscope 査読有り

Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　14　(9)　1051-1054　2003年9月

DOI： 10.1088/0957-4484/14/9/321 　

ISSN：0957-4484

Time dependence of energy dissipation in resonating silicon cantilevers in ultrahigh vacuumtters 査読有り

Takahito Ono, Dong F. Wang, Masayoshi Esashi

Applied Physics Letters　83　(10)　1950-1952　2003年9月

DOI： 10.1063/1.1608485 　

Selective growth of carbon nanotubes on Si microfabricated tips and application for electron field emitters 査読有り

PN Minh, LTT Tuyen, T Ono, H Miyashita, Y Suzuki, H Mimura, M Esashi

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B　21　(4)　1705-1709　2003年7月

DOI： 10.1116/1.1580115 　

ISSN：1071-1023

Mechanical energy dissipation of multiwalled carbon nanotube in ultra high vacuum 査読有り

Takahito Ono, Shinya Sugimoto, Hidetoshi Miyashita, Masayoshi Esashi

Japanease Journal of Applied Physics　42　(6 B)　L683-L684　2003年6月15日

DOI： 10.1143/jjap.42.L683 　

ISSN：0021-4922

Fabrication of high-accuracy microtranslation table for near-field optical data storage actuated by inverted scratch-drive actuators 査読有り

Yoshiaki Kanamori, Hiroto Yahagi, Takahito Ono, Minoru Sasaki, Kazuhito Hane

Japanease Journal of Applied Physics　42　(6 B)　4074-4078　2003年6月

DOI： 10.1143/jjap.42.4074 　

ISSN：0021-4922

Pattern transfer of self-ordered structure with diamond mold 査読有り

Takahito Ono, Chihiro Konoma, Hidetoshi Miyashita, Yoshiaki Kanamori, Masayoshi Esashi

Japanease Journal of Applied Physics　42　(6 B)　3867-3870　2003年6月

DOI： 10.1143/JJAP.42.3867 　

ISSN：0021-4922

Mass sensing of adsorbed molecules in sub-picogram sample with ultrathin silicon resonator 査読有り

Takahito Ono, Xinxin Li, Hidetoshi Miyashita, Masayoshi Esashi

Review of Scientific Instrumentations　74　(3 I)　1240-1243　2003年3月

DOI： 10.1063/1.1536262 　

ISSN：0034-6748

Batch fabrication of microlens at the end of optical fiber using self-photolithography and etching techniques 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Yoichi Haga, Kazumi, Inoue, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Masayoshi Esashi

Optical Review　10　(3)　150-154　2003年3月

DOI： 10.1007/s10043-003-0150-4 　

Scanning probe with an integrated diamond heater element for nanolithography 査読有り

J. H. Bae, T. Ono, M. Esashi

Applied physics letters　82　(5)　814-816　2003年2月3日

DOI： 10.1063/1.1541949 　

ISSN：0003-6951

Resonance enhancement of micromachined resonators with strong mechanical-coupling between two degrees of freedom 査読有り

XX Li, T Ono, RM Lin, M Esashi

MICROELECTRONIC ENGINEERING　65　(1-2)　1-12　2003年1月

DOI： 10.1016/S0167-9317(02)00595-6 　

ISSN：0167-9317

Field-assisted assembly and alignment of carbon-nanofibres 査読有り

T Ono, E Oesterschulze, G Georgiev, A Georgieva, R Kassing

NANOTECHNOLOGY　14　(1)　37-41　2003年1月

DOI： 10.1088/0957-4484/14/1/309 　

ISSN：0957-4484

Energy Dissipation in Submicrometer Thick Single-Crystal Silicon Cantilevers 査読有り

J. Yang, T.Ono, M. Esashi

Journal of Microelectromechanical Systems　11　(6)　775-783　2002年12月

DOI： 10.1109/JMEMS.2002.805208 　

ISSN：1057-7157

Carbon nanotube on a Si tip for electron field emitter

P. N. Mihn, Le.T.T.Tuyen, T. Ono, H. Minura, K. Yokoo, M. Esashi

Japanese Journal of Applied Physics　41　(12 A)　L1409-L1411　2002年12月1日

DOI： 10.1143/JJAP.41.L1409 　

ISSN：0021-4922

Electrical and thermal recording techniques using a heater integrated microprobe 査読有り

Dong-Weon Lee, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of micromechanics and microengineering　12　(6)　841-848　2002年11月

DOI： 10.1088/0960-1317/12/6/315 　

ISSN：0960-1317

Microprobe Array With Electrical Interconnection for Thermal Imaging and Data Storage 査読有り

Dong-Weon Lee, Takahito Ono, Takashi Abe, Masayoshi Esashi

Journal of Microelectromechanical Systems　11　(3)　215-221　2002年6月

DOI： 10.1109/JMEMS.2002.1007400 　

ISSN：1057-7157

Micro-nano electromechanical system by bulk silicon micromachining 査読有り

Masayoshi Esashi, Takahito Ono

Optics and Precision Engineering　10　(6)　608-613　2002年6月

Fabrication of thermal microprobes with a sub-100nm metal-to-metal junction 査読有り

D. W. Lee, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　13　(1)　29-32　2002年2月

DOI： 10.1088/0957-4484/13/1/306 　

ISSN：0957-4484

Electric-field-enhanced growth of carbon nanotubes for scanning probe microscopy 査読有り

Takahito Ono, Hidetoshi Miyashita, Masayoshi Esashi

Nanotechnology　13　(1)　62-64　2002年2月

DOI： 10.1088/0957-4484/13/1/314 　

ISSN：0957-4484

2810 カーボンナノチューブの電界誘起成長とそのプローブ顕微鏡への応用

宮下 英俊, 小野 崇人, 江刺 正喜

年次大会講演論文集　2002　295-296　2002年

DOI： 10.1299/jsmemecjo.2002.5.0_295 　

Micro-translation-table for near-field data storage using inverted-scratch-drive-actuators 査読有り

Y Kanamori, H Yahagi, M Sasaki, T Ono, K Hane

MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS　4928　35-42　2002年

ISSN：0277-786X

Hybrid optical fiber-apertured cantilever near-field probe 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Hisashi Watanabe, Seung Soup Lee, Yoichi Haga, Masayoshi Esashi

Applied Physics Letters　79　(19)　3020-3023　2001年10月

DOI： 10.1063/1.1416475 　

Development of inkjet head for DNA chip 査読有り

Dongyoun Sim, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

電気学会論文誌E　120　(9)　501-506　2001年9月

DOI： 10.1541/ieejsmas.121.501 　

ISSN：1341-8939

Near-field optical apertured tip and modified structures for local field enhancement 査読有り

PN Minh, T Ono, S Tanaka, M Esashi

APPLIED OPTICS　40　(15)　2479-2484　2001年5月

DOI： 10.1364/AO.40.002479 　

ISSN：1559-128X

eISSN：2155-3165

Investigating surface stress: Surface loss in ultrathin single-crystal silicon cantilevers 査読有り

Jinling Yang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Vacuum science and technology B　19　(2)　551-556　2001年3月

DOI： 10.1116/1.1347040 　

ISSN：1071-1023

Near-field optical apertured tip and modifid structures for local field enhancement 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Shuji Tanaka, Kenya Goto, Masayoshi Esashi

Applied Optics　121　(3)　113-118　2001年3月

DOI： 10.1364/AO.40.002479 　

高速・超高密度をめざしたVCSELアレイ応用光ディスク技術の将来 査読有り

後藤 顕也, 栗原 一真, 鈴木 和拓, 三木 聡, 佐藤 圭一, 山口 徹, 村上 敏明, 金 泳珠, 小野 崇人

レーザー研究　29　S9-S10　2001年

DOI： 10.2184/lsj.29.Supplement_S9 　

ISSN：0387-0200

Nanometric sensing and processing with micromachined functional probe

T Ono, XX Li, DW Lee, H Miyashita, M Esashi

TRANSDUCERS '01: EUROSENSORS XV, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2　1062-1065　2001年

Silicon Micromachined Tunable Infrared Polarizer 査読有り

Takahito Ono, Akinori Wada, Masayoshi Esashi

電気学会E部門誌　121　(3)　119-123　2001年

DOI： 10.1541/ieejsmas.121.119 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Spatial distribution and polarization dependence of optical near-field in silicon microfabricated probe 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

Journal of Microscopy　202　(1)　28-33　2001年

DOI： 10.1046/j.1365-2818.2001.00818.x 　

ISSN：0022-2720

Magnetically actuated cantilever with small resonator for scanning probe microscopy 査読有り

Dong-Weon Lee, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

電気学会E部門誌　121　(3)　113-118　2001年

DOI： 10.1541/ieejsmas.121.113 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

光記録用マイクロマシン 査読有り

小野崇人, 江刺正喜

O plus E　23　192-198　2001年

Surface effects and high quality factors in ultrathin single-crystal silicon cantilevers 査読有り

Jinling Yang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Applied Physics Letters　77　(23)　3860-3862　2000年12月4日

DOI： 10.1063/1.1330225 　

ISSN：0003-6951

RF-plasma assisted fast atom beam etching 査読有り

Takahito Ono, Norimune Orimoto, Seungseoup Lee, Toshiki Simizu, Masayoshi Esashi

Japanese Journal of Applied Physics　39　(12 B)　6976-6979　2000年12月

DOI： 10.1143/JJAP.39.6976 　

ISSN：0021-4922

High Speed Imaging by Electro-Magnetically Actuated Probe with Dual Spring 査読有り

Don-weon Lee, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Journal of Microelectromecanical Systems　9　(4)　419-424　2000年12月

DOI： 10.1109/84.896762 　

ISSN：1057-7157

マイクロシステムとそのバイオへの応用 査読有り

小野崇人, 芳賀洋一, 高橋一憲, 江刺正喜

蛋白質 核酸 酵素　45　(15)　2542-2549　2000年11月

ISSN：0039-9450

Micro-discharge and electric breakdown in a micro-gap 査読有り

Takahito Ono, Dong Youn Sim, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering　10　(3)　445-451　2000年9月

DOI： 10.1088/0960-1317/10/3/321 　

ISSN：0960-1317

High throughput aperture near-field scanning optical microscopy 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Review of Scientific Instruments　71　(8)　3111-3117　2000年8月

DOI： 10.1063/1.1304867 　

ISSN：0034-6748

Cantilever with integrated resonator for application of scanning probe microscope 査読有り

D. W. Lee, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Sensors and Actuators　83　(1)　11-16　2000年5月22日

DOI： 10.1016/S0924-4247(99)00378-7 　

ISSN：0924-4247

Mechanical Behavior of Ultrathin Microcantilever 査読有り

Jinling Yang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Sensors and Actuators　82　(1)　102-107　2000年5月15日

DOI： 10.1016/S0924-4247(99)00319-2 　

ISSN：0924-4247

Microfabrication of miniature aperture at the apex of SiO2 tip on silicon cantilever for near-field scanning optical microscopy 査読有り

PN Minh, T Ono, M Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　80　(2)　163-169　2000年3月

DOI： 10.1016/S0924-4247(99)00262-9 　

ISSN：0924-4247

RF-plasma assisted fast atom beam etching

Takahito Ono, Toshiki Simizu, Norimune Orimoto, Seungseoup Lee, Esashi Masayoshi

Digest of Papers - 2000 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2000　200-201　2000年

DOI： 10.1109/IMNC.2000.872708 　

Electrostatic servo controlled uncooled Infrared sensor with tunneling transducer 査読有り

Seung Seoup Lee, Takahito Ono, Kazuhiro Nakamura, Masayoshi Esashi

Sensors and Materials　12　(5)　301-314　2000年

ISSN：0914-4935

ナノマシニングによる高感度センシングデバイス 査読有り

小野崇人

Interlab　20　34-36　2000年

ナノエンジニアリングを目指すマイクロプロ-ブ 査読有り

小野崇人, 江刺正喜

溶接学会誌　69　12-14　2000年

シリコンエッチング技術のアプリケ-ション 査読有り

江刺正喜, 小野崇人, 田中秀治

表面技術　51　2-7　2000年

Nonuniform silicon oxidation and application for the fabrication of aperture for near-field scanning optical microscopy 査読有り

Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Applied Physics Letters　75　(26)　4076-4078　1999年

DOI： 10.1063/1.125541 　

ISSN：0003-6951

走査型プロ-ブ顕微鏡とナノメ-トル加工への応用 査読有り

小野崇人, 江刺正喜

計測と制御　38　(12)　763-768　1999年

DOI： 10.11499/sicejl1962.38.763 　

ISSN：0453-4662

ナノメカノプティックス 査読有り

小野崇人, 江刺正喜

OPTRONICS　7　144-148　1999年

Precise Micro-Nanomachinig of Silicon 査読有り

Masayoshi Esashi, Risaku Toda, Kazuyuki Minami, Takahito Ono

電気学会E部門誌　119　(10)　489-497　1999年

DOI： 10.1541/ieejsmas.119.489 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Key technologies for terabit/second WDM systems with high spectral efficiency of over 1 bit/s/Hz 査読有り

T Ono, Y Yano

IEEE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS　34　(11)　2080-2088　1998年11月

ISSN：0018-9197

Subwavelength pattern transfer by near-field photolithography 査読有り

Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　37　(12 B)　6745-6749　1998年

ISSN：0021-4922

Subwavelength pattern transfer by near-field photolithography 査読有り

Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers　37　(12 B)　3745-3749　1998年

ISSN：0021-4922

Silicon Bulk Micromachining and Nanomachining 査読有り

Masayoshi Esashi, Kazuyuki Minami, Takahito Ono

Condensed Matter News　6　31-44　1998年

Sub-wavelength pattern transfer by near field photo-lithography

Ono Takahito, Ohtomo Mika, Masayoshi Esashi

Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 1998: 1998 International Microprocesses and Nanotechnology Conference　1998-July　(12 B)　283-284　1998年

DOI： 10.1109/IMNC.1998.730083 　

ISSN：0021-4922

Capacitive AFM Probe for High Speed Imaging 査読有り

Y.Shiba, T.Ono, K.Minami, M.Esashi

電気学会論文誌E　118　(12)　647-651　1998年

DOI： 10.1541/ieejsmas.118.647 　

ISSN：1341-8939

eISSN：1347-5525

Subwavelength Pattern Transfer by Near-Field Photolithography 査読有り

T.Ono, M.Esashi

Jpn.J.Appl.Phys,　37　1644-1648　1998年

DOI： 10.1143/JJAP.37.6745 　

ナノメ-トル加工の応用 -ナノメカニックスへの応用- 査読有り

小野崇人, 江刺正喜

応用物理　67　(12)　1395-1399　1998年

DOI： 10.11470/oubutsu1932.67.1395 　

ISSN：0369-8009

Evanescent-field-controlled nano-pattern transfer and micro-manipulation

Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceedings of IEEE workshop on MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS,Heidelberg　488-493　1998年

Patterning of Langmuir-Blodgett film with ultra high vacuum-scanning tunneling microscope / atomic force microscope 査読有り

H.Hamanaka, T.Ono, M.Esashi

J.Vac.Sci.technol.B　15　(4)　1414-1418　1997年7月

DOI： 10.1116/1.589463 　

ISSN：1071-1023

Fabrication of a Si scanning probe microscopy tip with an ultrahigh vacuum-scanning tunneling microscope / atomic force microscope 査読有り

T.Ono, H.Saitoh, M.Esashi

J.Vac.Sci.Technol B　15　(4)　1531-1534　1997年7月

DOI： 10.1116/1.589489 　

ISSN：1071-1023

Si nano-wire growth with UHV-STM 査読有り

T.Ono, H. Saitoh, M. Esashi

Appl. Phys. Lett.　70　1852　1997年

Si nano-wire SPM probe grown by field evaporation with UHV-STM 査読有り

T.Ono, H.Saitoh, M.Esashi

Proceedings of IEEE, MicroElectro Mechanical Systems　10　159-164　1997年

Fabrication of self-supported Si nano-structure with STM

Hitoshi Hamanaka, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　153-158　1997年

ISSN：1084-6999

SPMとマイクロマシニング 査読有り

小野崇人, 浜中均, 江刺正喜

表面科学　18　(4)　2-9　1997年

Precise micro-nanomachining for advanced sensors 査読有り

Masayoshi Esashi, Takahito Ono, Kazuyuki Minami

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　3223　44-55　1997年

DOI： 10.1117/12.284499 　

ISSN：0277-786X

Nanoscale Al patterning on STM manipulated Si surface

T.Ono, H.Hamanaka, T.Kurabayashi, K.Minami, M.Esashi

Abstract, 13th Int. Vacuum Congress, 9th Int. Conf. on Solid Surfaces　281-282　(1-2)　362-643　1995年9月

DOI： 10.1016/0040-6090(96)08705-6 　

ISSN：0040-6090

MAGNETIC PHASE-TRANSITIONS IN DYMN2GE2 STUDIED BY NEUTRON-DIFFRACTION 査読有り

H KOBAYASHI, M OHASHI, H ONODERA, T ONO, Y YAMAGUCHI

JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS　140　905-906　1995年2月

ISSN：0304-8853

DY-161 MOSSBAUER SPECTROSCOPIC STUDY ON MAGNETIC-PROPERTIES OF PSEUDO-TERNARY DYMN2(SI1-XGEX)2 (0-LESS-THAN-X-LESS-THAN-1) COMPOUNDS 査読有り

H ONODERA, T ONO, M OHASHI, Y YAMAGUCHI, H KOBAYASHI

JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS　124　(1-2)　96-104　1993年6月

ISSN：0304-8853

MAGNETIC-PROPERTIES OF TERNARY DYMN2X2 COMPOUNDS (X = SI AND GE) 査読有り

H ONODERA, H KOBAYASHI, T ONO, M OHASHI, H YAMAUCHI, Y YAMAGUCHI

SCIENCE REPORTS OF THE RESEARCH INSTITUTES TOHOKU UNIVERSITY SERIES A-PHYSICS CHEMISTRY AND METALLURGY　38　(2)　171-178　1993年6月

ISSN：0040-8808

Magnetic properties in intermetallic DyMn2(Si1-xGex)2 compounds 査読有り

T.Ono, HOnodera, M.Ohashi, H.Yamauchi, Y.Yamaguchii, H.Kobayashi

J. Mag Mag. Mater　1233　133　1993年