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Takeo Ejima

Section

International Center for Synchrotron Radiation Innovation Smart

Job title

Associate Professor

Degree

researchmap

https://researchmap.jp/read0092408

J-GLOBAL ID

200901075984126008

Professional Memberships 3

日本放射光学会
応用物理学会
物理学会

Research Interests 4

detector
microscopy
spectroscopy
soft X-ray optics

Research Areas 3

Energy / Quantum beam science /
Nanotechnology/Materials / Thin-film surfaces and interfaces /
Natural sciences / Semiconductors, optical and atomic physics /

Papers 28

Development and evaluation of micro-spectrometer for SX excited fluorescence Peer-reviewed

Takeo EJIMA, Eiichi SASAKI

Photon Factory Activity Report 2022, User's Report　40　119　2023
Interface formation and optical design of EUV reflective multilayer mirrors Invited Peer-reviewed

Takeo Ejima

Japanese Journal of Applied Physics　65　(5)　050802-050802　2026/03/16
Publisher: IOP Publishing
DOI： 10.35848/1347-4065/ae4686 　

ISSN： 0021-4922

eISSN： 1347-4065

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Abstract Reflective multilayer mirrors are indispensable optical components in the extreme ultraviolet (EUV) wavelength region, where conventional refractive and single-layer reflective optics are ineffective. This review summarizes the design, fabrication, and performance limitations of EUV reflective multilayer films, with emphasis on material selection, optical design, deposition processes, and interface formation. Established systems such as Mo/Si multilayers for 13.5 nm lithography demonstrate that EUV performance is approaching intrinsic limits imposed by absorption and unavoidable interfacial mixing. When extending these design concepts toward shorter wavelengths in the beyond-EUV (BEUV) region around 6. x nm, additional challenges emerge, including increased absorption, reduced optical contrast, and enhanced sensitivity to interfacial reactions and non-equilibrium growth processes. This review clarifies the fundamental differences between BEUV and EUV multilayers and emphasizes the importance of interface control for improving performance, providing general guidelines for next-generation EUV and BEUV reflective optics.
Test Measurements of La/B4C Multilayer Reflectances in 6.x nm Wavelength Region Peer-reviewed

Takeo EJIMA, Ryosuke NAKAMURA, Tadashi HATANO

Photon Factory Activity Report 2024　42　114-1-114-2　2025
Laser-produced plasma water-window x-ray source by continuous liquid bismuth jet International-journal International-coauthorship Peer-reviewed

Tatsuya Soramoto, Ayaka Ogiwara, Hiroki Morita, Weihua Jiang, Kazuyuki Sakaue, Takeo Ejima, Gerry O'sullivan, Shinichi Namba, Takeshi Higashiguchi

OPTICS LETTERS　49　(20)　5791-5794　2024/10/15

DOI： 10.1364/OL.539678 　

ISSN： 0146-9592

eISSN： 1539-4794
Chemical bonding structures of SBR/BR interfaces Peer-reviewed

Takeo EJIMA, Yukiko TAMURA

Photon Factory Activity Report 2022, User's Report　40　120　2023
Electron temperature and soft x-ray intensity scaling in laser heavy element plasma interaction Peer-reviewed

Hiromu Kawasaki, Atsushi Sunahara, Yuta Shimada, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Gerry O’Sullivan, Masaharu Nishikino, Shinichi Namba, Takeshi Higashiguchi

AIP Advances　10　(6)　065306-065306　2020/06/01

DOI： 10.1063/5.0009946 　

eISSN： 2158-3226
Demonstration of stimulated emission depletion phenomenon in luminescence of solid-state scintillator excited by soft X-rays. International-journal Peer-reviewed

Takeo Ejima, Toshitaka Wakayama, Natsumi Shinozaki, Misaki Shoji, Genta Hatayama, Takeshi Higashiguchi

Scientific reports　10　(1)　5391-5391　2020/03/25

DOI： 10.1038/s41598-020-62100-0 　

ISSN： 2045-2322
Luminescence properties of scintillators in soft X-ray region Peer-reviewed

Ejima, Takeo, Kurosawa, Shunsuke, Yamaji, Akihiro, Hatano, Tadashi, Wakayama, Toshitaka, Higashiguchi, Takeshi, Kitaura, Mamoru

JOURNAL OF LUMINESCENCE　219　116850-1-116850-9　2020/03

DOI： 10.1016/j.jlumin.2019.116850 　

ISSN： 0022-2313

eISSN： 1872-7883
Soft X-ray spectral analysis of laser produced molybdenum plasmas using the fundamental and second harmonics of a Nd:YAG laser International-journal Peer-reviewed

Lokasani, Ragava, Kawasaki, Hiromu, Shimada, Yuta, Shoji, Misaki, Anraku, Kyoya, Ejima, Takeo, Hatano, Tadashi, Jiang, Weihua, Namba, Shinichi, Nikl, Jan, Zeman, Michal, Cysullivan, Gerry, Higashiguchi, Takeshi, Limpouch, Jiri

OPTICS EXPRESS　27　(23)　33350-33357　2019/11

DOI： 10.1364/OE.27.033351 　

ISSN： 1094-4087
Supercontinuum vector beam generation by independent manipulations of angular polarization and geometric phase Peer-reviewed

Wakayama Toshitaka, Shinozaki Natsumi, Shoji Misaki, Ishiyama Takayuki, Sakaue Kazuyuki, Miura Taisuke, Ejima Takeo, Higashiguchi Takeshi

APPLIED PHYSICS LETTERS　114　(23)　2019/06/10

DOI： 10.1063/1.5093189 　

ISSN： 0003-6951

eISSN： 1077-3118
Enhancement of water-window soft x-ray emission from laser-produced Au plasma under low-pressure nitrogen atmosphere International-journal Peer-reviewed

John Christian, Kishimoto Maki, Johzaki Tomoyuki, Higashiguchi Takeshi, Kakunaka Noboru, Matsumot Yasuhiro, Hasegawa Noboru, Nishikin Masaharu, Ejima Takeo, Sunahara Atsushi, Endo Takuma, Namba Shinichi

OPTICS LETTERS　44　(6)　1439-1442　2019/03/15

DOI： 10.1364/OL.44.001439 　

ISSN： 0146-9592

eISSN： 1539-4794
Quantitative Distribution of DNA, RNA, Histone and Proteins Other than Histone in Mammalian Cells, Nuclei and a Chromosome at High Resolution Observed by Scanning Transmission Soft X-Ray Microscopy (STXM) International-journal Peer-reviewed

Shinohara Kunio, Tone Shigenobu, Ejima Takeo, Ohigashi Takuji, Ito Atsushi

CELLS　8　(2)　2019/02

DOI： 10.3390/cells8020164 　

eISSN： 2073-4409
Intense water-window soft x-ray emission by spectral control using dual laser pulses International-journal Peer-reviewed

Arai Goki, Hara Hiroyuki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguch Takeshi

OPTICS EXPRESS　26　(21)　27748-27756　2018/10/15

DOI： 10.1364/OE.26.027748 　

ISSN： 1094-4087
Spectral dynamics of soft X-ray emission in dual-laser-produced medium-Z plasma Peer-reviewed

Ohashi Hayato, Hara Hiroyuki, Arai Goki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Suzuki Chihiro, Namba Shinichi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS　124　(10)　2018/10

DOI： 10.1007/s00340-018-7061-3 　

ISSN： 0946-2171

eISSN： 1432-0649
Quantum Efficiency of Back-illuminated CMOS Sensor with 1.4×1.4 µm2 Pixel Size Peer-reviewed

T. Ejima, T. Hatano

Microscopy and Microanalysis　24　(S2)　322-323　2018/08
Development of Laboratory-type Soft X-ray Microscope, CXRM, in Water-Window using LPP Light Source Peer-reviewed

T. Ejima, Y. Ono, K. Ito, H. Kawasaki, T. Higashiguchi, S. Tone, T. Hatano

Microscopy and Microanalysis　24　(S2)　214-215　2018/08
Emission of water-window soft x-rays under optically thin conditions using low-density foam targets International-journal Peer-reviewed

Hara Hiroyuki, Kawasaki Hiromu, Tamura Toshiki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

OPTICS LETTERS　43　(15)　3750-3753　2018/08/01

DOI： 10.1364/OL.43.003750 　

ISSN： 0146-9592

eISSN： 1539-4794
Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas Peer-reviewed

Amano Reiho, Thang-Hung Dinh, Sasanuma Atsushi, Arai Goki, Hara Hiroyuki, Fujii Yusuke, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Sunahara Atsushi, Takahashi Akihiko, Nakamura Daisuke, Okada Tatsuo, Sakaue Kazuyuki, Miura Taisuke, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　57　(7)　2018/07

DOI： 10.7567/JJAP.57.070311 　

ISSN： 0021-4922

eISSN： 1347-4065
Characteristics of soft x-ray and extreme ultraviolet (XUV) emission from laser-produced highly charged rhodium ions Peer-reviewed

Ellie Floyd Barte, Hiroyuki Hara, Toshiki Tamura, Takuya Gisuji, When-Bo Chen, Ragava Lokasani, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Akira Sasaki, Takeshi Higashiguchi, Jiří Limpouch

Journal of Applied Physics　123　(18)　2018/05/14

DOI： 10.1063/1.5024344 　

ISSN： 1089-7550 0021-8979

eISSN： 1089-7550
Selection of target elements for laser-produced plasma soft x-ray sources International-journal Peer-reviewed

Toshiki Tamura, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Gerry O’Sullivan, Takeshi Higashiguchi

Optics Letters　43　(9)　2042-2045　2018/05/01

DOI： 10.1364/OL.43.002042 　

ISSN： 1539-4794 0146-9592

eISSN： 1539-4794
Evaluation of a Flat-Field Grazing Incidence Spectrometer for Highly Charged Ion Plasma Emission in 1–10 nm Peer-reviewed

Y. Kondo, T. H. Dinh, T. Tamura, S. Ohta, K. Kitano, T. Ejima, T. Hatano, T. Higashiguchi

Springer Proceedings in Physics　202　409-412　2018
Publisher: Springer Science and Business Media, LLC
DOI： 10.1007/978-3-319-73025-7_62 　

ISSN： 1867-4941 0930-8989
Development of Soft X-Ray Microscope in Water Window Using Laser-Produced Plasma Light Source Peer-reviewed

T. Ejima, Y. Kondo, Y. Ono, T. H. Dinh, T. Higashiguchi, T. Hatano

Springer Proceedings in Physics　202　395-399　2018
Publisher: Springer Science and Business Media, LLC
DOI： 10.1007/978-3-319-73025-7_59 　

ISSN： 1867-4941 0930-8989
Cr/Sc/Mo multilayer for condenser optics in water window microscopes Peer-reviewed

Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Toshihide Tsuru

JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA　220　14-16　2017/10

DOI： 10.1016/j.elspec.2016.12.010 　

ISSN： 0368-2048

eISSN： 1873-2526
Increase of the emission of laser-produced plasmas under N-2 gas atmosphere in the 2.9-6 nm region Peer-reviewed

Masataka Kado, Maki Kishimoto, Kunio Shinohara, Takeo Ejima

APPLIED PHYSICS LETTERS　111　(5)　2017/07

DOI： 10.1063/1.4996890 　

ISSN： 0003-6951

eISSN： 1077-3118
Erratum: Publisher's Note: "Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm" [Rev. Sci. Instrum. 87, 123106 (2016) (The Review of scientific instruments (2016) 87 12 (123106))

Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

The Review of scientific instruments　88　(2)　029902　2017/02/01
Publisher: NLM (Medline)
DOI： 10.1063/1.4973926 　

ISSN： 1089-7623
Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm (vol 87, 123106, 2016) International-journal Peer-reviewed

Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS　88　(2)　029902-029902　2017/02

DOI： 10.1063/1.4973926 　

ISSN： 0034-6748

eISSN： 1089-7623
Beyond Extreme Ultra Violet (BEUV) Radiation from Spherically symmetrical High-Z plasmas Peer-reviewed

Kensuke Yoshida, Shinsuke Fujioka, Takeshi Higashiguchi, Teruyuki Ugomori, Nozomi Tanaka, Masato Kawasaki, Yuhei Suzuki, Chihiro Suzuki, Kentaro Tomita, Ryouichi Hirose, Takeo Eshima, Hayato Ohashi, Masaharu Nishikino, Enda Scally, Hiroaki Nshimura, Hiroshi Azechi, Gerard O'Sullivan

8TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON INERTIAL FUSION SCIENCES AND APPLICATIONS (IFSA 2013)　688　(1)　012046-1-012046-4　2016

DOI： 10.1088/1742-6596/688/1/012046 　

ISSN： 1742-6588
Investigation of sample preparation methods for EUV imaging of fixed bio-cells Peer-reviewed

T. Ejima, F. Ishida, Y. Neichi, M. Yanagihara

11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION (SRI 2012)　425　182007-1-182007-4　2013

DOI： 10.1088/1742-6596/425/18/182007 　

ISSN： 1742-6588

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Misc. 211

Establishment of Vapor Deposition Condition of Metal Thin Film to Enable to Investigate Chemical Structure of Organic Insulating Material by Photoelectron Emission Microscopy

Yamamura Hiroki, Taji Tomoya, Kobayashi Atsushi, Maruyama Ken, Toyoda Yui, Kimura Reiko, Tominaga Tetsuo, Izumi Kenichi, Ejima Takeo, Ohkochi Takuo

SPring-8/SACLA Research Report　13　(5)　330-333　2025/10/31
Publisher: Japan Synchrotron Radiation Research Institute
DOI： 10.18957/rr.13.5.330 　

ISSN： 2187-6886

eISSN： 2187-6886
Development of BEUV Multilayer Mirrors Using Ion Sputtering with Quantum Ellipsometry Enabled Precise Thickness Control

江島丈雄, 江島丈雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　86th　2025

ISSN： 2436-7613
Evaluation of high order diffraction of the grating monochromator of S-path at BL-12A, the Photon Factory in a region above 600 eV

羽多野忠, 羽多野忠, 小池雅人, 江島丈雄, 江島丈雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　86th　2025

ISSN： 2436-7613
Nm-scale NEXAFS Spectra of Styrene-Butadiene Rubber (SBR) Compounds Mixed with Silica Fillers

Takeo Ejima, Yukiko Tamura

UVSOR Activity Report 2023　83-83　2024/08
Photon Energy dependence of Stimulated emission in soft X-ray excited luminescence of Eu:GGG

江島丈雄, 江島丈雄, 佐々木英一, 栗原諒, 空本龍弥, 佐藤稜馬, 東原望, 小林隼大, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　71st　2024

ISSN： 2758-4704
Chemical Bonding Structures of SBR/BR Interfaces

Takeo EJIMA, Yukiko TAMURA

UVSOR Activity Report 2022　50　85　2023
Examination of Soft X-ray Beam Splitter using Multilayer coated Grating

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　70th　2023

ISSN： 2436-7613
Charge-separated ionic debris spectra in EUV-BEUV sources for semiconductor lithography

東口武史, 中山勇冬, 新沼大登, 久米真樹, 杉浦使, 森田大樹, 富田健太郎, 砂原淳, 難波慎一, 江島丈雄

レーザー学会研究会報告　RTM22　(26-31)　11-16　2022/09/05
Publisher: [吹田] : レーザー学会研究委員会
レーザー生成プラズマ極端紫外光源から発生する高速イオンのエネルギースペクトル—Energy spectra of fast ions from a laser-produced plasma EUV source—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般

東口武史, 中山勇冬, 新沼大登, 久米真樹, 森田大樹, 砂原淳, 富田健太郎, 江偉華, 難波慎一, 江島丈雄

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編]　2022　(60-65)　1-6　2022/05/20
Publisher: 東京 : 電気学会
Fabrication of a multilayer diffraction grating for high throughput monochromators in the 1-5 keV soft X-ray region

羽多野忠, 羽多野忠, 今園孝志, 江島丈雄, 江島丈雄

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　69th　1377-1377　2022
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1377 　

ISSN： 2436-7613

eISSN： 2436-7613
Energy spectra of fast ions from a laser-produced plasma EUV source

東口武史, 中山勇冬, 新沼大登, 久米真樹, 森田大樹, 砂原淳, 富田健太郎, JIANG Weihua, 難波慎一, 江島丈雄

電気学会研究会資料(Web)　(EPP-22-060-065)　2022
Simultaneous Measurement of Polarization and Phase by Polarization-Controlled Micro Lens Array

座間あかね, 樋口裕大, 相澤康平, 江島丈雄, 東口武史, 若山俊隆

Optics & Photonics Japan講演予稿集(CD-ROM)　2022　2022
C-K Edge Spectra of Bound-rubber Structure in SBR Materials with Filler and/or Reagents

T. Ejima, Y. Tamura

UVSOR Activity Report 2021　74　2022
軟X線励起発光Eu:GGGにおける誘導放出

江島丈雄, 江島丈雄, 金田凌祐, 中山勇冬, 小川純里, 東口武史

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　35th　2022
コアリション軟X線ビームラインについて

山根宏之, 松田巌, 松田巌, 原田慈久, 原田慈久, 江島丈雄, 中村哲也, 中村哲也

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　35th　2022
Toward the elucidation of a “mezzo-linkage” between living and non-living organisms

江島丈雄

Optics & Photonics Japan講演予稿集(CD-ROM)　2021　2021
Reflectance Measurements of Al/TiO2 Bilayers in the 10–30 eV Region at BL5B, UVSOR

T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima

UVSOR Activity Report 2020　48　117　2021
keV領域多層膜回折格子のための多層膜開発

羽多野忠, 羽多野忠, 江島丈雄, 江島丈雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　34th　2021
軟X線励起蛍光におけるSTED現象

江島丈雄, 若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 羽多野忠, 東口武史

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　34th　2021
Stimulated emission in soft X-ray excited luminescence of Eu:GGG

江島丈雄, 江島丈雄, 金田凌祐, 中山勇冬, 小川純里, 若山俊隆, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　82nd　1540-1540　2021
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1540 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
Water-window soft x-ray microscope by a laser-produced plasma source and improvement of spatial resolution by STED phenomenon

東口武史, 川崎太夢, 庄司美咲, 影山稜, 若山俊隆, 羽多野忠, 江島丈雄

レーザー学会研究会報告　20　(6)　7-12　2020/09/14
Publisher: レーザー学会研究委員会
P-L2,3 Absorption Spectra of Phosphates in Plasmid DNA and Adenosine Compounds

T. Ejima, T. Ohigashi, S. Tone

UVSOR Activity Report 2019　146　2020
Multilayer Reflectometry for Evaluation of Second Harmonic Spectral Impurity in 100 nm Wavelength Output of BL5B UVSOR

T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima

UVSOR Activity Report 2019　41　2020
300eV~1.3keVにおける各種シンチレータの発光特性

江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　33rd　2020
波長100nm VUV直入射ミラーの作製と反射率計測

羽多野忠, 松田欣之, 江島丈雄, 中村永研

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　33rd　2020
SX-STED imaging in soft X-ray excited luminescence

江島丈雄, 若山俊隆, 石山貴之, 安楽響哉, 金田凌祐, ROY S., 津田準一, 坂上和之, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　67th　1498-1498　2020
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1498 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
Stimulated emission depletion phenomenon in luminescence of Ce:LSO excited by soft X-rays

江島丈雄, 若山俊隆, 東口武史

Photon Factory Activity Report 2019　37　83　2020
Ce:LSOの軟X線励起蛍光におけるSTED現象

江島丈雄, 若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 石山貴之, 坂上和之, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　80th　ROMBUNNO.19p‐E318‐4-1710　2019/09/04
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1710 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
Total luminescence yield of some scintillators in the photon energy region from 300 eV to 1.3 keV

EJIMA, Takeo, KUROSAWA, Shunsuke, YAMAJI, Akihiro, HATANO, Tadashi, WAKAYAMA, Toshitaka, HIGASHIGUCHI, Takeshi, KITAURA, Mamoru

Photon Factory Activity Report 2018 #36　36　69-1-69-2　2019/07
Fabrication of Cr/Sc/Mo multilayer illuminator for water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources

Tadashi HATANO, Takeo EJIMA, Yuichi ONO, Thanh-Hung DINH, Toshiki TAMURA, Keigo MAEDA, Hiroyuki HARA, Takeshi HIGASHIGUCHI

Photon Factory Activity Report 2018 #36　36　244-1-244-2　2019/07
Development of bismuth plasma-based water-window soft x-ray source

川崎太夢, 島田悠太, 難波慎一, 佐々木明, 錦野将元, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史

電気学会研究会資料　2019　(57)　1-6　2019/05/17
Publisher: 電気学会
Development of bismuth plasma-based water-window soft x-ray source

川崎太夢, 島田悠太, 難波慎一, 佐々木明, 錦野将元, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan　2019　(57)　1-6　2019/05/17
Publisher: 電気学会
生物細胞観測のための軟X線相関顕微法の開発と現状

江島丈雄

日本物理学会講演概要集(CD-ROM)　74　(1)　ROMBUNNO.15pK307‐7-964　2019/03/22
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.74.1.0_964 　

ISSN： 2189-079X

eISSN： 2189-0803
シンチレーターCe:LSOにおけるSTED現象の検証

江島丈雄, 篠崎夏美, 庄司美咲, 石山貴之, 畑山元太, 坂上和之, 若山俊隆, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　66th　ROMBUNNO.10p‐M112‐2-1532　2019/02/25
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_1532 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
シンチレータにSTED効果を誘起するための超広帯域光源の開発

篠崎夏美, 庄司美咲, 坂上和之, 若山俊隆, 江島丈雄, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　66th　ROMBUNNO.10p‐M112‐1-1531　2019/02/25
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_1531 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
広帯域ベクトルビームの幾何学的位相の制御

若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 石山貴之, 坂上和之, 江島丈雄, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　66th　ROMBUNNO.9a‐M116‐6-569　2019/02/25
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_569 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
「アデノシン+リン酸」化合物のPL_2,3吸収スペクトル

江島丈雄, 刀祢重信, 加道雅孝, 大東琢治

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　32nd　2019
SX‐STED用シンチレーターの探索

江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　79th　ROMBUNNO.21a‐235‐7-1633　2018/09/05
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1633 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
BiターゲットLPP光源を用いた軟X線顕微鏡CXRM

江島丈雄, 小野祐一, 伊藤圭祐, 川崎大夢, 羽多野忠, 刀祢重信, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　79th　ROMBUNNO.21a‐235‐6-1632　2018/09/05
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1632 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性

原広行, 川崎太夢, 田村賢紀, 羽多野忠, 江島丈雄, JIANG Weihua, 大橋隼人, 難波愼一, 砂原淳, 佐々木明, 錦野将元, O’SULLIVAN Gerry, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　79th　ROMBUNNO.21p‐235‐10-1644　2018/09/05
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1644 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　65th　ROMBUNNO.20p‐B301‐4-1580　2018/03/05
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1580 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の軟X線撮像素子の開発 2

江島丈雄, 羽多野忠

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　31st　2018
Analysis of Apoptotic Nuclei with Infrared Spectra-Microscopy Peer-reviewed

Kado Masataka, Ejima Takeo, Tone Shigenobu, Shinohara Kunio

SPring-8/SACLA Research Report　6　(1)　35-37　2018
Publisher: Japan Synchrotron Radiation Research Institute
DOI： 10.18957/rr.6.1.35 　

ISSN： 2187-6886

eISSN： 2187-6886
New 3GeV Synchrotron Radiation Facility Project, SLiT-J : A Promising Tool to Accelerate a Strategy for Hydrogen and Fuel Cells

渡邉真史, 虻川匡司, 矢代航, 江島丈雄, 小田島肇, 高田昌樹

燃料電池　17　(3)　56-63　2018
Publisher: 燃料電池開発情報センター
ISSN： 1346-6623
Toward high resolution imaging by water-window soft x-ray micoscopemixtutya

Higashiguchi Takeshi, Ono Yuichi, Tamura Toshiki, Chen Wenbo, Ogura Takuto, Hara Hiroyuki, Kondo Yoshiki, Wakayama Toshitaka, Hatano Tadashi, Ejima Takeo

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2017.2　1592-1592　2017/08/25
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1592 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
Selection of the target elements for high-repetiton rate operation in water window soft x-ray spectral region

Higashiguchi Takeshi, Tamura Toshiki, Ono Yuichi, Hara Hiroyuki, Kondo Yoshiki, Arai Goki, Jiang Weihua, Hatano Tadashi, Ejima Takeo

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2017.2　1593-1593　2017/08/25
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1593 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
高平均出力水の窓軟X線光源のための薄ディスクレーザーの開発

東口武史, 山内駿, 篠崎夏美, 小倉拓人, 藤井雄介, 江島丈雄, 坂上和之, 魚本幸, 島津武仁, MOCEK Tomas

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　78th　ROMBUNNO.5p‐S44‐7-1594　2017/08/25
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1594 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
X線イメージングが明らかにする細胞の機能と構造軟X線発光における誘導放出現象を用いた軟X線STED顕微鏡の可能性

江島丈雄

バイオイメージング　26　(2)　51-51　2017/08
Publisher: 日本バイオイメージング学会
ISSN： 1342-2634
Emission enhancement of laser produced plasma under N₂ atmosphere

Ejima Takeo, Kishimot Maki, Shinohara Kunio, Kado Masataka, Odagiri Makoto, Kadonaka Noboru, Namba Shinichi

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2017.1　1608-1608　2017/03/01
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1608 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
Emission enhancement of laser produced plasma under He atmosphere

Ejima Takeo, Yamaki Ken-ichi

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2017.1　1609-1609　2017/03/01
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1609 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
Development of Cr/Sc/Mo multilayer condenser mirror for soft X-rays around a wavelength of 4 nm

Hatano Tadashi, Ejima Takeo

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2017.1　1612-1612　2017/03/01
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1612 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
ガス雰囲気下レーザー生成プラズマ光源からの軟X線発光強度増大現象

江島丈雄, 山木賢一, 岸本牧, 篠原邦夫, 加道雅孝, 東口武史, 小田切誠, 角中昇, 難波愼一

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　17th　2017
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の軟X線撮像素子の開発

江島丈雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web)　30th　2017
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟X線撮像素子の開発

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　78th　2017

ISSN： 2758-4704
Absolute calibration of a soft x-ray grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma observation

Dinh Thanh Hung, Kondo Yoshiki, Tamura Toshiki, Arai Goki, Makimura Tetsuya, Ohta Shigeru, Kitano Ken, Yamamoto Yoichi, Ishino Masahiko, Nishikino Masaharu, Ejima Takeo, Hatano Tadashi, Higashiguchi Takeshi

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2016.2　1538-1538　2016/09/01
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1538 　

eISSN： 2436-7613
Development of Cr/Sc/Mo multilayer reflector for grazing incidence mirrors working at 4.0 nm wavelength

Hatano Tadashi, Ejima Takeo

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2016.2　1536-1536　2016/09/01
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1536 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　63rd　ROMBUNNO.19P-H137-11-1571　2016/03/03
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1571 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光

羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　63rd　ROMBUNNO.19P-H137-9-1569　2016/03/03
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1569 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
高輝度軟X線源を用いた軟X線顕微鏡による細胞内器官の高解像観察

加道雅孝, 岸本牧, 保智己, 安田恵子, 青山雅人, 江島丈雄, 刀祢重信, 篠原邦夫, 篠原邦夫

大阪大学レーザーエネルギー学研究センター共同利用・共同研究成果報告書　2015　56-57　2016/03
レーザー生成Biプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

近藤芳希, DINH Thanh Hung, 小野祐一, 荒居剛己, 原広行, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　63rd　2016

ISSN： 2758-4704
Development of a compact water window soft x-ray source based on multiply charged ion plasmas

Dinh Thanh Hung, Kondo Yoshiki, Arai Goki, Miura Taisuke, Endo Akira, Makimura Tetsuya, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Higashiguchi Takeshi

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts　2015.2　1483-1483　2015/08/31
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1483 　

eISSN： 2436-7613
レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　76th　ROMBUNNO.16A-4E-3-1570　2015/08/31
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1570 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
蛍光像と軟X線像の相関による軟X線像中のオルガネラ構造分布

江島丈雄, 加道雅孝, 青山雅人, 安田恵子, 保智己

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　76th　ROMBUNNO.15A-4E-6-1480　2015/08/31
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1480 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
激光XII号レーザーを用いたEUV‐BEUV光源プラズマデータベースの構築

大橋隼人, 藤岡慎介, 松隈啓, 吉田健祐, 細田達矢, 東口武史, 笹沼淳史, 原広行, 富田健太郎, 佐藤祐太, 江島丈雄, 鈴木千尋, 砂原淳, 錦野将元

大阪大学レーザーエネルギー学研究センター共同利用・共同研究成果報告書　2014　11-12　2015/03
高輝度軟X線源を用いた軟X線顕微鏡による細胞内器官の高解像観察

加道雅孝, 岸本牧, 保智己, 安田恵子, 青山雅人, 江島丈雄, 篠原邦夫, 篠原邦夫

大阪大学レーザーエネルギー学研究センター共同利用・共同研究成果報告書　2014　70-71　2015/03
炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測

羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　28th　89　2015/01/10
水の窓における生物細胞内構造のコントラスト

江島丈雄, 加道雅孝, 石野雅彦, 青山雅人, 安田恵子, 保智己

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　28th　2015
N‐K吸収端近傍における生物細胞内構造のコントラスト

江島丈雄, 廣瀬遼一, 加道雅孝, 石野雅彦, 青山雅人, 安田恵子, 保智己

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　75th　ROMBUNNO.19P-A13-10-1421　2014/09/01
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1421 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
球対称プラズマを用いたBEUV光源データベースの構築

吉田健祐, 藤岡慎介, 東口武史, 鵜篭照之, 田中のぞみ, 川崎将人, 鈴木悠平, 大橋隼人, 鈴木千尋, 富田健太郎, 廣瀬僚一, 江島丈雄, 錦野将元, SCALLY Enda, O’SULLIVAN Gerard, 西村博明, 疇地宏

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　61st　ROMBUNNO.18P-F1-12-1473　2014/03/03
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1473 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
軟X線分光顕微像におけるオルガネラ判別へのPCA分析応用

江島丈雄

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　61st　ROMBUNNO.18P-F1-2-1463　2014/03/03
Publisher: The Japan Society of Applied Physics
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1463 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
激光XII号レーザーを用いたEUV‐BEUV光源プラズマデータベースの構築

東口武史, 藤岡慎介, 鵜篭輝之, 吉田健祐, 田中のぞみ, 鈴木悠平, 川崎将人, 大橋隼人, 江島丈雄, 廣瀬僚一, 鈴木千尋, 富田健太郎, 砂原淳, 錦野将元

大阪大学レーザーエネルギー学研究センター共同利用・共同研究成果報告書　2013　47-48　2014/03
マウス精巣ライディッヒ細胞の顕微分光測定

廣瀬僚一, 江島丈雄, 柳原美廣, 加道雅孝, 石野雅彦, 安田恵子, 青山雅人, 保智己

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　27th　98　2014/01/11
球対称プラズマを用いたBEUV光源データベースの構築

吉田健祐, 藤岡慎介, 東口武史, 鵜篭照之, 田中のぞみ, 川崎将人, 鈴木悠平, 鈴木千尋, 富田健太郎, 廣瀬僚一, 江島丈雄, 大橋隼人, 錦野将元, SCALLY Enda, O’SULLIVAN Gerard, 西村博明, 疇地宏

レーザー学会研究会報告　450th　19-24　2013/10/22
点光源軟X線顕微鏡の集光光学系の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇広, 相原翔学, 柳原美廣

レーザー学会研究会報告　450th　1-6　2013/10/22
波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　74th　ROMBUNNO.18P-A13-7-2372　2013/08/31
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2372 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
球対称BEUV放射プラズマの電子密度計測

鵜篭照之, 藤岡慎介, 吉田健祐, 田中のぞみ, 西村博明, 東口武史, 鈴木悠平, 川崎将人, 江島丈雄, 廣瀬僚一, 富田健太郎, 鈴木千尋, 大橋隼人, 錦野将元, 疇地宏

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　74th　ROMBUNNO.18P-A13-12-2377　2013/08/31
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2377 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
球対称ガドリニウムプラズマからのB‐EUV放射特性とスペクトル特性

吉田健祐, 藤岡慎介, 東口武史, 鵜篭照之, 田中のぞみ, 川崎将人, 鈴木悠平, 鈴木千尋, 富田健太郎, 廣瀬僚一, 江島丈雄, 大橋隼人, 錦野将元, 西村博明, 疇地宏

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　74th　ROMBUNNO.18P-A13-13-2378　2013/08/31
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_2378 　

ISSN： 2758-4704

eISSN： 2436-7613
マウスライディッヒ細胞の分光顕微像

江島丈雄, 根市侑太郎, 柳原美廣, 石野雅彦, 加道雅孝, 安田恵子, 保智己

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　26th　134　2013/01/12
マウス精巣ライディッヒ細胞の分光顕微観察

根市侑太郎, 江島丈雄, 柳原美廣, 加道雅孝, 石野雅彦, 保智己, 安田恵子

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　67th　27-28　2012/12/06
密着型軟X線顕微鏡によるマウスライディッヒ細胞の吸収スペクトル

江島丈雄, 根市侑太郎, 柳原美廣, 石野雅彦, 加道雅孝, 安田恵子, 保智己

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　73rd　ROMBUNNO.12A-C3-1-1501　2012/08/27
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1501 　

eISSN： 2436-7613
解像限界を超える顕微鏡技術軟X線による超解像度光学顕微鏡の開発

江島丈雄

光アライアンス　23　(4)　1-4　2012/04/01

ISSN： 0917-026X
軟X線による超解像度光学顕微鏡の開発 (特集解像限界を超える顕微鏡技術)

江島丈雄

光アライアンス　23　(4)　1-4　2012/04
Publisher: 日本工業出版
ISSN： 0917-026X
極紫外域での生物試料観察のための固定・染色法の比較

江島丈雄, 根市侑太郎, 石田史彦, 柳原美廣

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　59th　ROMBUNNO.18A-B5-6-1618　2012/02/29
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1618 　

eISSN： 2436-7613
密着型軟X線顕微鏡用密閉試料セルの開発

江島丈雄, 根市侑太郎, 柳原美廣, 石野雅彦, 加道雅孝

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　59th　ROMBUNNO.18A-B5-5-1617　2012/02/29
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1617 　

eISSN： 2436-7613
極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較

根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　25th　108　2012/01/06
UVSOR‐II BL3B真空紫外分光ビームラインの建設

井本吉則, 池松竜一, 福井一俊, 江島丈雄, 近藤直範, 酒井雅弘, 中村永研, 蓮本正美, 木村真一

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　25th　116　2012/01/06
Development of SX contact microscope for in-situ observation of bio-cells

T. Ejima, Y. Neichi, M. Yanagihara

Photon Factory Activity Report, B　29　415-415　2012
Investigation of fixed-sample preparation method for imaging of bio-cells

T. Ejima, Y. Neichi, M. Yanagihara

Photon Factory Activity Report, Part B "Users' Report"　29　399-399　2012
マウス精巣ライディッヒ細胞の分光観察

根市侑太郎, 江島丈雄, 柳原美廣, 加道雅孝, 石野雅彦, 保智己, 安田恵子

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　12th　130　2012
地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所軟X線多層膜光学の開発と応用―軟X線顕微鏡

柳原美廣, 江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀

Mater Integr　24　(4/5)　201-207　2011/06/01

ISSN： 1344-7858
Development of soft X-ray multilayer optics and its applications: soft X-ray microscopy

柳原美廣, 江島丈雄, 羽多野忠

Materials integration　24　(4)　201-207　2011/04
Publisher: ティー・アイ・シィー
ISSN： 1344-7858
密着型軟X線顕微鏡によるマウス肝臓細胞の光学定数の評価

石田史彦, 根市侑太郎, 江島丈雄, 柳原美廣

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　58th　ROMBUNNO.24A-KX-12-1649　2011/03/09
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1649 　

eISSN： 2436-7613
軟X線顕微鏡用低デブリLPP光源の開発

江島丈雄, 石田史彦, 相澤宗太郎, 古舘三七二, 柳原美廣

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　58th　ROMBUNNO.24A-KX-3-1640　2011/03/09
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1640 　

eISSN： 2436-7613
UVSOR‐II BL3B 新真空紫外分光ビームラインの設計

池松竜一, 福井一俊, 江島丈雄, 近藤直範, 酒井雅弘, 中村永研, 蓮本正美, 木村真一

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　24th　124　2011/01/07
軟Ｘ線顕微鏡とその基盤技術の開発

江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀, 柳原美廣

Ｘ線結像光学ニューズレター　(33)　7-9　2011
その場観察可能な密着型軟X線顕微鏡の開発

石田史彦, 江島丈雄, 柳原美廣

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　65th　119-120　2010/11/22
その場観察可能な密着型軟X線顕微鏡の開発

石田史彦, 江島丈雄, 柳原美広

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　71st　ROMBUNNO.15P-ZT-1-1354　2010/08/30
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1354 　

eISSN： 2436-7613
Development of Wavefront Error Corrected Soft X-Ray Multilayer Mirrors for Ultra-High Definition Bio-Imaging

TSURU Toshihide, HATANO Tadashi, HARADA Tetsuo, TOYODA Mitsunori, EJIMA Takeo, YANAGIHARA Mihiro, YAMAMOTO Masaki

Japanese journal of optics　39　(5)　219-224　2010/05/10
Publisher: 応用物理学会分科会日本光学会
ISSN： 0389-6625
透過型軟X線反射多層膜顕微鏡を用いた生体試料の観察

石田史彦, 江島丈雄, 柳原美広, 水谷治央

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)　57th　ROMBUNNO.18A-W-10-1547　2010/03/03
Publisher: 公益社団法人応用物理学会
DOI： 10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1547 　

eISSN： 2436-7613
その場位相計測法を用いた定在波発光分光測定による埋もれたFe/Si界面の電子状態測

江島丈雄, 後藤智宏, 神野貴義, 倉光康太, 柳原美広

日本物理学会講演概要集　65　(1)　767　2010/03/01

ISSN： 1342-8349
21pHQ-3 X-ray emission spectra of buried Fe/Si interfaces using standing wave method with in-situ phase determination technique

Ejima T, Goto T, Jinno T, Kuramitsu K, Yanagihara M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　65　(0)　767-767　2010
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.65.1.4.0_767_1 　

eISSN： 2189-0803
AIPO₄‐5へのS,Se,Teの吸着

小平哲也, 池田卓史, 眞子祥子, 江島丈雄

ゼオライト研究発表会講演予稿集　25th　83　2009/11/25
AIPO₄‐5から得られる層状結晶AIPO‐NSの形成過程

小平哲也, 奈幡明子, 池田卓史, 江島丈雄

ゼオライト研究発表会講演予稿集　25th　82　2009/11/25
LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　68　2009
透過型軟X線反射多層膜顕微鏡を用いた生体試料の観察

石田史彦, 江島丈雄, 柳原美廣, 水谷治央

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　9th　48　2009
超解像法による低解像度2次元検出器の高解像度化

石田史彦, 江島丈雄, 柳原美廣

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　9th　49　2009
定在波分光法によるFe/Si多層膜界面の電子状態の変化

後藤智宏, 江島丈雄, 神野貴義, 倉光康太, 柳原美広

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　22nd　66　2009
レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³の開発 3

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　590　2008/09/02
Fe/Si多層膜界面のSi厚の違いによる電子状態の変化

後藤智宏, 神野貴義, 江島丈雄

応用物理学会学術講演会講演予稿集　69th　(2)　567　2008/09/02
Fe/Si多層膜界面のSi厚の違いによる電子状態の変化

後藤智宏, 神野貴義, 江島丈雄

日本物理学会講演概要集　63　(2)　852　2008/08/25

ISSN： 1342-8349
極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率

江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　55th　(2)　695　2008/03/27
23pXA-1 Electronic structure of Fe/Si interface by the change of Si thickness in Fe/Si magnetic multilayer

Goto Tomohiro, Jinno Takayoshi, Ejima Takeo

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　63　(0)　852-852　2008
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.63.2.4.0_852_2 　

eISSN： 2189-0803
波長40~30nmにおけるワイドバンド反射多層膜

後藤智宏, 江島丈雄, 木村真一

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　21st　65　2007/12/20
波長40~30nmにおけるワイドバンド多層膜の設計・作製

後藤智宏, 江島丈雄, 木村真一

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　62nd　182-183　2007/12/06
レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³の開発 2

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集　68th　(2)　712　2007/09/04
定在波光電子分光法によるFe/Si界面の価電子帯スペクトル

江島丈雄, 後藤智宏, 神野貴義

日本物理学会講演概要集　62　(2)　762　2007/08/21

ISSN： 1342-8349
レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発

江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　54th　(2)　755　2007/03/27
PLD用粒子速度フィルタを用いたSnからの粒子速度分布測定

村田浩道, 中村芳雅, 古舘三七二, 津留俊英, 江島丈雄, 山本正樹

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　54th　(2)　698　2007/03/27
23pPSA-14 Valence band spectra of Fe/Si interfaces measured by X-ray standing wave photoemission spectroscopy

Ejima T, Goto T, Jinno T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　62　(0)　762-762　2007
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.62.2.4.0_762_4 　

eISSN： 2189-0803
18aZA-2 Construction and evaluation of a VUV beamline BL7U at UVSOR-II

Kimura S, Ejima T, Soda K, Ito T, Sakai M, Nakamura E, Kondo N, Horigome T, Hosaka M, Mochihashi A, Katoh M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　62　(0)　693-693　2007
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.62.1.4.0_693_4 　

eISSN： 2189-0803
Phase measurement method of EUV reflection multilayer combining reflection and total electron yield spectra

EJIMA Takeo

Journal of the Spectroscopical Society of Japan　55　(4)　259-260　2006/08/15
Publisher: 社団法人日本分光学会
DOI： 10.5111/bunkou.55.259 　

ISSN： 0038-7002

eISSN： 1884-6785
全光電子収量と反射スペクトルによる極紫外反射多層膜の位相変化の観測

江島丈雄, 原田哲男, 山崎敦志

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　53rd　(2)　739　2006/03/22
23pYC-5 Photoelectron spectroscopy with phases of standing waves observed by total electron yield and reflection spectra

Ejima T, Yamazaki A, Sugawara M, Sato K, Nakamura Y

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　61　(0)　725-725　2006
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.61.2.4.0_725_1 　

eISSN： 2189-0803
軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価

浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広

応用物理学会学術講演会講演予稿集　66th　(2)　558　2005/09/07
Aging Stability of Mg-based Reflection Multilayers in the 25-35 nm region

T. Ejima, A. Yamazaki, T. Banse, K. Saito, Y. Kondo, S. Ichimaru, H. Takenaka

UVSOR Activity Report 2004　2005/04
Thermal Stability of Mg-based Reflection Multilayers

T. Ejima, A. Yamazaki, T. Banse, K. Saito, Y. Kondo, S. Ichimaru, H. Takenaka

UVSOR Activity Report 2004　2005/04
全光電子収量法による反射多層膜の位相観測

江島丈雄

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　52nd　(2)　799　2005/03/29
25‐35nm領域のMg系反射多層膜の経年変化および温度変位の評価

江島丈雄, 伴瀬貴徳, 山崎敦志, 菅原真幸, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 市丸智, 竹中久貴

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　52nd　(2)　798　2005/03/29
Depth profiling of interdiffused layers in Fe/Si multilayers using standing-wave soft-X-ray fluorescence spectroscopy

R. Hamamoto, M. Sugawara, S. Ichikura, T. Ejima, M. Yanagihara

Photon Factory Activity Report 2004 Part B　89　2005
粒子速度フィルタ

西村朋史, 中村芳雅, 古舘三七二, 江島丈雄, 穂山孝

関東学院大学工学部研究発表講演論文集　2005　188-189　2005
22pXF-4 X-ray standing wave spectroscopy for interfaces using total electron yield spectra as an index

Ejima T, Harada T, Yamazaki A, Sugawara M, Hamamoto R, Yanagihara M, Takenaka H, Muramatsu Y

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　60　(0)　788-788　2005
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.60.2.4.0_788_3 　

eISSN： 2189-0803
Mg/Y₂O₃等周期反射多層膜上のSiC単層膜の膜厚評価

山崎敦志, 江島丈雄, 渡辺誠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　65th　(2)　608　2004/09/01
全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性

江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　65th　(2)　601　2004/09/01
27pXS-8 Surface Segregation of CaF_2 in Thin Si(111)/CaF_2/Si Multilayers Studied by Total

Ejima T, Ohuchi K, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　59　(0)　727-727　2004
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.59.1.4.0_727_3 　

eISSN： 2189-0803
30aPS-81 Microscopic reflection spectroscopy of MWO_4(M=Mn,Fe,Ni)

Banse T, Ejima T, Watanabe M, Matubara I

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　59　(0)　774-774　2004
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.59.1.4.0_774_2 　

eISSN： 2189-0803
Micro-UPS Spectra of MWO_4 (M=Mn, Fe, Ni)

Ejima T, Banse T, Takatsuka H, Kondo Y, Watanabe M, Matsubara I

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　58　(0)　716-716　2003
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.58.1.4.0_716_4 　

eISSN： 2189-0803
Soft X-ray Faraday rotation spectra of Co/Pt multilayers (II)

Saito K, Ejima T, Hatano T, Arai A, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　58　(0)　737-737　2003
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.58.1.4.0_737_2 　

eISSN： 2189-0803
Extreme Ultraviolet Magnetic Rotation Spectroscopy Using Multilayer Polarizers.

斉藤勝彦, 羽多野忠, 井桁光昭, HU W, 江島丈雄, 渡辺誠

放射光　15　(3)　158-162　2002/05/31
Publisher: 日本放射光学会
ISSN： 0914-9287
Extreme Ultraviolet Magnetic Rotation Spectroscopy Using Multilayer Polarizers

Katsuhiko Saito, Tadashi Hatano, Mitsuaki Igeta, Weibing Hu, Takeo Ejima, Makoto Watanabe

Journal of the Japanese Society for Synchrotron Radiation Research　15　158-162　2002/04
Magnetic Kerr Rotation Measurement on Ni around Its M2,3 Edges

K. Saito, M. Igeta, T. Ejima, T. Hatano, M. Watanabe

UVSOR Activity Report 2001　128-128　2002/04
Extreme Ultraviolet Faraday Rotation Spectra of Co/Pt Multilayers on Collodion Films

M. Igeta, K. Saito, T. Ejima, T. Hatano, M. Watanabe

UVSOR Activity Report 2001　152-153　2002/04
In‐situエリプソメトリーによるSi酸化膜の熱分解の観察

江島丈雄, 磯上慎二, 宮崎寿郎, 山本正樹, 渡辺誠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　62nd　(2)　497　2001/09/11
He‐I,He‐II共鳴線を用いた顕微光電子分光装置の開発と評価

近藤祐治, 江島丈雄, 高塚洋文, 渡辺誠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　62nd　(2)　524　2001/09/11
Soft X-ray Faraday rotation spectra of Co/Pt multilayers

Igeta M, Saito K, Ejima T, Hatano T, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　56　(0)　575-575　2001
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.2.4.0_575_4 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
Analysis of total electron yield spectrum in multilayer sample

EJIMA Takeo

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　56　(0)　577-577　2001
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.2.4.0_577_4 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
Ultraviolet Photoelectron Spectra of MWO_4(M=Mn,Fe,Ni) Micro-crystals.

Kondo Y, Ejima T, Takatsuka H, Watanabe M, Matsubara I, Funahashi R

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　56　(0)　587-587　2001
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.2.4.0_587_2 　

eISSN： 2189-0803
Development of Microscopic Ultraviolet Photoelectron Spectrometer using He-I and He-II Resonence Lines.

Kondo Y, Ejima T, Takatsuka H, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　56　(0)　590-590　2001
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.2.4.0_590_3 　

eISSN： 2189-0803
Development of Soft X-Ray Magnetic Kerr Rotation Apparatus

Saito K, Igeta M, Ejima T, Hatano T, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　56　(0)　661-661　2001
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.56.1.4.0_661_2 　

eISSN： 2189-0803
He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発

羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集　61st　(2)　581　2000/09/03
in‐situエリプソメトリーとRHEED振動によるSi(111)面上のCaF₂エピタキシャル成長の観察

江島丈雄, 宮崎寿郎, 山本正樹, 渡辺誠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　61st　(2)　518　2000/09/03
Microscopic Reflection Spectra of Bi-2212 Whiskers

Kimura N, Ejima T, Watanabe M, Matsubara I, Yamashita H

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　55　(0)　635-635　2000
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.55.1.4.0_635_2 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
Bi系高温超伝導体ウィスカー結晶の顕微反射スペクトル

木村直樹, 江島丈雄, 渡辺誠, 松原一郎, 山下博士

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　54th　134-135　1999/12/09
結像型軟X線発光顕微鏡の製作と性能評価

志谷能崇, 豊田光紀, 柳原美広, 江島丈雄, 山本正樹, 渡辺誠

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集　54th　137-138　1999/12/09
He I,He II用二色多層膜を用いた極紫外顕微光電子分光装置の開発

近藤祐治, 江島丈雄, 渡辺誠

日本物理学会講演概要集　54　(2)　651-651　1999/09/03
Publisher: The Physical Society of Japan (JPS)
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.54.2.4.0_651_3 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
結像型軟X線発光顕微鏡の開発 II

志谷能崇, 柳原美広, 江島丈雄, 山本正樹, 渡辺誠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　60th　(2)　564　1999/09/01
極紫外顕微光電子分光用He I,He II共鳴線「二色多層膜」

近藤祐治, 江島丈雄, 渡辺誠

応用物理学会学術講演会講演予稿集　60th　(2)　563　1999/09/01
真空紫外顕微分光計の設計・製作

江島丈雄, 相川直志, 渡辺誠, 大友孝文, 大西彰正

応用物理学会学術講演会講演予稿集　60th　(2)　563　1999/09/01
結像型軟X線発光顕微鏡の開発

豊田光紀, 柳原美広, 江島丈雄, 山本正樹, 渡辺誠

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　46th　(2)　727　1999/03/28
CaF₂/Si多層膜におけるSiL_2,3吸収端の角度依存スペクトルの解析

江島丈雄, 大内勝美, 渡辺誠

日本物理学会講演概要集　54　(1)　193-193　1999/03/15
Publisher: The Physical Society of Japan (JPS)
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.54.1.2.0_193_4 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
A Soft-X-Ray Imaging Microscope with a Multilayer-Coated Schwarzschild Objective. Imaging Tests.

豊田光紀, 志谷能崇, 柳原美広, 江島丈雄, 山本正樹, 渡辺誠

東北大学科学計測研究所報告　48　(1)　39-61　1999

ISSN： 0040-8689
25pYC-1 Development of micto-UPS with two color jultilayer for He I, He II resonance lines.

Kondo Y, Ejima T, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　54　(0)　651-651　1999
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.54.2.4.0_651_3 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
28p-ZH-12 Analysis of Agnle dependence of SiL_<2, 3> absorption edge in CaF_2/Si multilayers.

Ejima T, Ouchi K, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　54　(0)　193-193　1999
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.54.1.2.0_193_4 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
LNT顕微分光計の製作とBi‐2212ウィスカー結晶の反射率測定

江島丈雄, 木村直樹, 石野雅彦, 渡辺誠, 松原一郎, 山下博志

日本物理学会講演概要集　53　(2)　236-236　1998/09/05
Publisher: The Physical Society of Japan (JPS)
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.53.2.2.0_236_2 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
Development of micro-spectrometers using the Schwarzshild optical system.

江島丈雄, 相川直志, 石野雅彦, 木村直樹, 近藤祐治, 渡辺誠

X線分析討論会講演要旨集　34th　27-28　1998
Construction of microspectroscope reflectometer and reflection measurements on Bi_2Sr_2CaCu_2O_2 whyskera

EJIMA T, KIMURA N, ISHINO M, WATANABE M, MATSUBARA I, YAMASHITA H

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　53　(0)　236-236　1998
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.53.2.2.0_236_2 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
Analysis of Si-L yield spectra in Si/CaF2 Multilayers.

江島丈雄, 大内勝美, 近藤祐二, 渡辺誠

日本物理学会講演概要集(分科会)　1997　196　1997/09
Si-L Absorption in Si/CaF2 Multilayers.

江島丈雄, 大内勝美, 渡辺誠

日本物理学会講演概要集(年会)　52　(1 Pt 2)　193　1997/03

ISSN： 1342-8349
Reflection Spectra of Bi2Sr2CaCu2Ox Whyskers.

石野雅彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 松原一郎, 山下博志

日本物理学会講演概要集(年会)　52　(1 Pt 3)　665　1997/03

ISSN： 1342-8349
5a-G-2 Analysis of Si-L yield spectra in Si/CaF_2 Multilayers

Ejima T, Ouchi K, Kondo Y, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　52　(0)　196-196　1997
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.52.2.2.0_196_3 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
31p-K-12 Reflectition Spectra of Bi_2Sr_2CaCu_2O_x Whyskers

Ishino M, Ejima T, Watanabe M, Matsubara I, Yamashita H

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　52　(0)　665-665　1997
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.52.1.3.0_665_2 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
28p-YC-4 Si-L Absorption in Si/CaF_2 Multilayers

EJIMA T, OUCHI K, WATANABE M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　52　(0)　193-193　1997
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyo.52.1.2.0_193_1 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2189-0803
Si-L Absorption Spectroscopes of Si/Ionic crystal Multilayers.

江島丈雄, 大内勝美, 渡辺誠

日本物理学会講演概要集(分科会)　1996　(Autumn Pt 2)　243-243　1996/09
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyoj.1996.2.0_243_2 　

eISSN： 2433-1171
Effects of the core hole on the B 1s emission from h-BN.

宮田登, 柳原美広, 江島丈雄, 渡辺誠, 萱沼洋輔

日本物理学会講演概要集(年会)　51st　(2)　227　1996/03

ISSN： 1342-8349
Application of soft x-ray multilayers to measuring the polarization degree of resonant soft x-ray fluorescence.

宮田登, 柳原美広, 古舘三七二, 江島丈雄, 渡辺誠

応用物理学関係連合講演会講演予稿集　43rd　(2)　572　1996/03
Photoelectronic spectroscopy of uranium compounds. ( Ministry of Education S ).

佐藤繁, 藤森伸一, 鈴木章二, 江島丈雄, 石井武比古

強相関伝導系の物理平成7年度 No.06244102　64-67　1996
Separation of scattered components by the polarimetry of B1s exciton emission of h-BN.

宮田登, 柳原美広, 古舘三七二, 江島丈雄, 渡辺誠

日本放射光学会年会予稿集　9th　192　1996/01
31a-Z-4 Effects of the core hole on the B 1s emission from h-BN

Miyata N, Yanagihara M, Ejima T, Watanabe M, Kayanuma Y

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　51　(0)　227-227　1996
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyog.51.2.0_227_1 　

eISSN： 2433-1112
Isotropic spectra of the B K spectator emission from h-BN.

柳原美広, 宮田登, 大内勝美, 江島丈雄, 渡辺誠

日本物理学会講演概要集(分科会)　1995　(Autumn Pt 2)　275　1995/09
Core line-shape analyses of U4f states in Uranium compounds.

江島丈雄, 佐藤繁, 鈴木章二, 佐藤憲昭, 笠谷光男, 小松原武美, 大貫惇睦, 石井武比古

日本物理学会講演概要集(年会)　50th　(2)　307-307　1995/03
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyog.50.2.0_307_2 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2433-1112
XPS study of thin layers of uranium on polycrystalline noble metals.

藤森伸一, 斉藤安治, 江島丈雄, 佐藤憲昭, 小松原武美, 国井暁, 鈴木章二, 佐藤繁, 石井武比古

日本物理学会講演概要集(年会)　50th　(2)　307-307　1995/03
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyog.50.2.0_307_1 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2433-1112
光電子分光法によるウラン化合物の電子状態

江島丈雄, 佐藤繁, 鈴木章二, 藤森伸一, 佐藤健, 大貫惇睦, 手塚泰久, 辛埴, 石井武比古

日本放射光学会年会予稿集　8th　55　1995/01
28p-W-5 Isotropic spectra of the BK spectator emission from h-BN

Yanagihara M, Miyata N, Ouchi K, Ejima T, Watanabe M

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1995　(0)　275-275　1995
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyoj.1995.2.0_275_1 　

eISSN： 2433-1171
Photoelectron spectroscopy of uranium thin films.

藤森伸一, 斉藤安治, 江島丈雄, 鈴木章二, 佐藤繁

日本物理学会講演概要集(分科会)　1994　(Autumn Pt 2)　239　1994/09
ウラン化合物の共鳴光電子分光

藤森伸一, 江島丈雄, 鈴木章二, 佐藤繁, 佐藤憲昭, 山田みつき, 手塚泰久, 辛埴, 石井武比古

日本放射光学会年会予稿集　7th　170　1994/05
4a-F-18 Photoelectron spectroscopy of uranium thin films

Fujimori S, Saito Y, Ejima T, Suzuki S, Sato S

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1994　(0)　239-239　1994
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyoj.1994.2.0_239_1 　

eISSN： 2433-1171
Resonant Photoemission and X-Ray Photoemission Spectra of UPd2Al3, UPt2Si2 and U2PtSi3

Takeo Ejima, Shoji Suzuki, Shigeru Sato, Noriaki Sato, Shin-Ichi Fujimori, Mitsuki Yamada, Ken Sato, Takemi Komatsubara, Tadao Kasuya

Journal of the Physical Society of Japan　63　(6)　2428-2442　1994

DOI： 10.1143/JPSJ.63.2428 　

ISSN： 1347-4073 0031-9015
PHOTOEMISSION AND BREMSSTRAHLUNG ISOCHROMAT SPECTROSCOPY STUDIES OF TI0(2) (RUTILE) AND SRTI0(3)

Y TEZUKA, S SHIN, T ISHII, T EJIMA, S SUZUKI, S SATO

JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN　63　(1)　347-357　1994/01

DOI： 10.1143/JPSJ.63.347 　

ISSN： 0031-9015
Resonant Photoemission Spectroscopy of Uranium Compounds.

藤森伸一, 江島丈雄, 山田みつき, 鈴木章二, 高橋隆, 佐藤繁, 大貫惇睦, 手塚泰久, 石井武比古

日本物理学会講演概要集(分科会)　1993　(Autumn Pt 2)　216　1993/09
Asymmetric line shape of core level and valence spectra in Uranium compounds.

江島丈雄, 平島由之, 藤森伸一, 鈴木章二, 高橋隆, 佐藤繁, 笠谷光男, 大貫惇睦, 石井武比古

日本物理学会講演概要集(分科会)　1993　(Autumn Pt 2)　216　1993/09
XPS AND BIS SPECTRA OF U3T3X4 (T=NI, CU AND X=SN, SB)

T EJIMA, Y KUDO, S SUZUKI, T TAKAHASHI, S SATO, T KASUYA, T TAKABATAKE, T ISHII

PHYSICA B-CONDENSED MATTER　186-88　86-88　1993/05

DOI： 10.1016/0921-4526(93)90502-W 　

ISSN： 0921-4526
ELECTRONIC-STRUCTURE OF UC STUDIED BY X-RAY PHOTOEMISSION AND BREMSSTRAHLUNG ISOCHROMAT SPECTROSCOPY

T EJIMA, K MURATA, S SUZUKI, T TAKAHASHI, S SATO, T KASUYA, Y ONUKI, H YAMAGAMI, A HASEGAWA, T ISHII

PHYSICA B-CONDENSED MATTER　186-88　77-79　1993/05

DOI： 10.1016/0921-4526(93)90499-V 　

ISSN： 0921-4526
XPS and X-BIS spectrum of Cerium compounds (CeSn3, CeNiSn, CePdSn).

工藤祐治, 江島丈雄, 鈴木章二, 高橋隆, 佐藤繁, 笠谷光男, 糟谷忠雄, 大貫よし睦, 石井武比古

日本物理学会講演概要集(年会)　48th　(2)　208　1993/03

ISSN： 1342-8349
Photoelectron and Inverse Photoelectron Spectroscopy of Ti Oxide.

手塚泰久, 石井武比古, 江島丈雄, 鈴木章二, 佐藤繁

日本物理学会講演概要集(年会)　48th　(2)　213　1993/03

ISSN： 1342-8349
12a-DC-13 Asymmetric line shape of core level and valence spectra in Uranium Compounds

Ejima T, Ishii T, Hirashima Y, Fujimori S, Suzuki S, Takahashi T, Sato S, Kasaya M, Kasuya T, Onuki Y

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1993　(0)　216-216　1993
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyoj.1993.2.0_216_1 　

eISSN： 2433-1171
12a-DC-14 Resonant Photoemission Spectroscopy of Uranium Compounds

Fujimori S, Onuki Y, Tezuka Y, Shin S, Ishii T, Ejima T, Yamada M, Suzuki S, Takahashi T, Sato S, Kasaya M, Sato N, Komatsubara T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1993　(0)　216-216　1993
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyoj.1993.2.0_216_2 　

eISSN： 2433-1171
29a-P-12 XPS and X-BIS spectrum of Cerium compounds(CeSn_3,CeNiSn,CePdSn)

Kudo Y, Ejima T, Suzuki S, Takahashi T, Sato S, Kasaya M, Kasuya T, Onuki Y, Ishii T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　48　(0)　208-208　1993
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyog.48.2.0_208_1 　

eISSN： 2433-1112
29p-P-8 Photoelectron and Inverse Photoelectron Spectroscopy of Ti Oxide.

Tezuka Y, Shin S, Ishii T, Ejima T, Suzuki S, Sato S

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　48　(0)　213-213　1993
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyog.48.2.0_213_1 　

ISSN： 1342-8349

eISSN： 2433-1112
Asymmetric line shape of core-level spectrum in Uranium compounds.

江島丈雄, 工藤祐治, 鈴木章二, 佐藤憲昭, 小松原武美, 笠谷光男, 糟谷忠雄, 大貫惇睦, 石井武比古

日本物理学会講演概要集(年会)　47th　(2)　307　1992/03

ISSN： 1342-8349
XPS and X-BIS spectrum of Uranium compounds U3T3X3 (T=Ni,Cu;X=Sn,Sb).

工藤祐治, 江島丈雄, 鈴木章二, 高橋隆, 佐藤繁, 糟谷忠雄, 高畠敏郎, 石井武比古

日本物理学会講演概要集(年会)　47th　(2)　306　1992/03

ISSN： 1342-8349
30p-E-1 XPS and X-BIS spectrum of Uranium compounds U_3T_3X_4(T=Ni, Cu;X=Sn, Sb)

Kudo Y, Ejima T, Suzuki S, Takahashi T, Sato S, Kasuya T, Takabatake T, Ishii T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　47　(0)　306-306　1992
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyod.47.2.0_306_2 　

eISSN： 2433-1139
30p-E-2 Asymmetric line shape of core-level spectrum in Uranium compounds

Ejima T, Onuki Y, Ishii T, Kudo Y, Suzuki S, Takahashi T, Sato S, Sato N, Komatsubara T, Kasaya M, Kasuya T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　47　(0)　307-307　1992
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyod.47.2.0_307_1 　

eISSN： 2433-1139
X-ray Photoemission and Bremsstrahlung Isochromat Spectra of UB12 and U2PtSi3.

江島丈雄, 工藤祐治, 鈴木章二, 高橋隆, 佐藤憲昭, 小松原武美, 笠谷光男, 糟谷忠雄, 石井武比古

日本物理学会講演概要集(年会)　46th　(2)　196　1991/09

ISSN： 1342-8349
27a-B-3 X-ray Photoemission and Bremsstrahlung Isochromat Spectra of UB_<12>and U_2PtSi_3

Ejima T, Kudo Y, Suzuki S, Takahashi T, Sato S, Sato N, Komatsubara T, Kasaya M, Ishii T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　46　(0)　196-196　1991
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyod.46.2.0_196_1 　

eISSN： 2433-1139
X-ray photoemission and bremsstrahlung isochromat spectra of UGe2 and U3Ge4.

江島丈雄, 鈴木章二, 高橋隆, 佐藤繁, 糟谷忠雄, 大貫惇睦, 石井武比古

日本物理学会秋の分科会講演予稿集　1990　(2)　203　1990/10
2p-W-2 X-ray Photoemission and Bremsstrahlung Isochromat Spectra of UGe_2 and U_3Ge_4

Ejima.T, Suzuki.S, Takahashi.T, Sato.S, Kasuya.T, Onuki.Y, Ishii.T

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　1990　(0)　203-203　1990
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyok.1990.2.0_203_1 　

eISSN： 2433-118X
X-ray Photoemission and Bremsstrahlung Isochromat Spectra of Actinide Compounds

Murata K, Ishii T, Ejima T, Suzuki S, Takahasi T, Sato S, Komatsubara T, Sato N, Kasuya T, Onuki Y

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　45　(0)　237-237　1990
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyod.45.2.0_237_2 　

eISSN： 2433-1139
SOFT X-RAY ABSORPTION SPECTROSCOPY OF La_<2-x>Sr_xCuO_4 (x=0.0-0.55) AND YBa_2Cu_3O_<7-y>

Matsuyama H, Shamoto S, Sato M, Watanabe T, Kashiwakura T, Ejima T, Takahashi T, Kosugi N, Katayama-Yoshida H, Yagishita A, Sato S

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　45　(0)　174-174　1990
Publisher: The Physical Society of Japan
DOI： 10.11316/jpsgaiyod.45.3.0_174_1 　

eISSN： 2433-1139
29a-TJ-9 XPD study of single domain NEA O/Cs/Si(001)2x1 surface

Abukawa T., Ejima T., Kashiwakura T., Kono S., Sakamoto T.

Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan　44　(2)　385-385　1989/03/28
Publisher: The Physical Society of Japan (JPS)
DOI： 10.11316/jpsgaiyod.44.2.0_385_2 　

eISSN： 2433-1139
Survey on High-Energy Spectroscopies of Actinide Compounds

K. Murata, T. Ejima, T. Takahashi, S. Suzuki, Department of Physics Faculty of Science Tohoku University, Department of Physics Faculty of Science Tohoku University, Department of Physics Faculty of Science Tohoku University, Department of Physics Faculty of Science Tohoku University

9　(2)　113-145　1989/03/10

ISSN： 0388-5607
31a-M2-2 Si(001)_2X1-K表面のX線光電子回折(表面・界面)

虻川匡司, 江島丈雄, 中村夏雄, 河野省三

年会講演予稿集　43　(0)　326-326　1988
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyod.43.2.0_326_2 　

eISSN： 2433-1139
3a-C4-8 Si(001)2x1-Cs表面のX線光電子回折

虻川匡司, 江島丈雄, 中村夏雄, 河野省三

秋の分科会予稿集　1988　(0)　353-353　1988
Publisher: 一般社団法人日本物理学会
DOI： 10.11316/jpsgaiyok.1988.2.0_353_2 　

eISSN： 2433-118X

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Books and Other Publications 1

Introduction to Synchrotron Radiation Research

EJIMA Takeo

東北大学出版会　2004/03

Presentations 29

Beyond EUV (λ=6.x nm)用光学反射多層膜の開発と評価 Invited

江島丈雄

ニュースバルシンポジウム 2026　2026/03/11
Development of Multilayer Mirrors for BEUV Reflective Optics -Current Status of an Ongoing Project- Invited

Takeo Ejima

10th Worksho EUV-FEL　2026/01/28
Ce:LSOにおけるSTED光源短パルス化の試み Invited

江島丈雄

「STED 技術による生物と無生物をつなぐメゾスケール現象の動的解明」第4回領域会議　2025/12/24
Development of BEUV multilayer mirrors using ion sputtering and quantum ellipsometry-based thickness control Invited

EJIMA, Takeo

International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC) 2025　2025/11/19
その場計測量子エリプソメータとイオンスパッタ法による BEUV反射多層膜鏡開発 Invited

江島丈雄

第86回応用物理学会秋季学術講演会　2025/09/09
軟X線励起によるSTEDとその顕微応用 Invited

江島丈雄

自然科学研究機構先端光科学研究分野プロジェクト研究会　2023/11/18
Toward the elucidation of a "mezzo-linkage" between living and non-living organisms Invited

Optics & Photonics Japan 2021　2021/10/28
Eu:GGGの軟X線励起発光における誘導放出

江島丈雄, 金田凌祐, 中山勇冬, 小川純里, 若山俊隆, 東口武史

第82回応用物理学会秋季学術講演会　2021/09/10
keV 領域多層膜回折格⼦のための多層膜開発

羽多野忠, 江島丈雄

第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2021/01/09
X 線励起蛍光における STED 現象

江島丈雄, 若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 羽多野忠, 東口武史

第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　2021/01/09
Water-window soft x-ray microscope by a laser-produced plasma source and improvement of spatial resolution by STED phenomenon

2020/09/14
Ce:LSOの軟X線励起蛍光におけるSTED現象

江島丈雄, 若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 石山貴之, 坂上和之, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2019/09/04
低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性

原広行, 川崎太夢, 田村賢紀, 羽多野忠, 江島丈雄, JIANG Weihua, 大橋隼人, 難波愼一, 砂原淳, 佐々木明, 錦野将元, O’SULLIVAN Gerry, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/09/05
BiターゲットLPP光源を用いた軟X線顕微鏡CXRM

江島丈雄, 小野祐一, 伊藤圭祐, 川崎大夢, 羽多野忠, 刀祢重信, 東口武史

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/09/05
SX‐STED用シンチレーターの探索

江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/09/05
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2018/03/05
水の窓軟X線領域で高繰り返し動作可能なターゲット元素の選定

東口武史, 田村賢紀, 小野祐一, 原広行, 近藤芳希, 荒居剛己, JIANG W, 羽多野忠, 江島丈雄

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
水の窓軟X線顕微鏡による高分解能撮像に向けて

東口武史, 小野祐一, 田村賢紀, CHEN W, 小倉拓人, 原広行, 近藤芳希, 若山俊隆, 羽多野忠, 江島丈雄

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟X線撮像素子の開発

江島丈雄, 羽多野忠

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
高平均出力水の窓軟X線光源のための薄ディスクレーザーの開発

東口武史, 山内駿, 篠崎夏美, 小倉拓人, 藤井雄介, 江島丈雄, 坂上和之, 魚本幸, 島津武仁, MOCEK Tomas

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/08/25
軟X線発光における誘導放出現象を用いた軟X線STED顕微鏡の可能性

江島丈雄

バイオイメージング　2017/08/18
X線イメージングが明らかにする細胞の機能と構造軟X線発光における誘導放出現象を用いた軟X線STED顕微鏡の可能性

江島丈雄

バイオイメージング　2017/08
N₂ガス中レーザー生成プラズマからの「水の窓」軟X線発光強度

江島丈雄, 岸本牧, 篠原邦夫, 加道雅孝, 小田切誠, 角中昇, 難波愼一

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/03/01
Heガス中レーザー生成プラズマからの8‐30nm軟X線発光強度

江島丈雄, 山木賢一

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/03/01
波長4nm軟X線用Cr/Sc/Mo多層膜コンデンサーミラーの開発

羽多野忠, 江島丈雄

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2017/03/01
ガス雰囲気下レーザー生成プラズマ光源からの軟X線発光強度増大現象

江島丈雄, 山木賢一, 岸本牧, 篠原邦夫, 加道雅孝, 東口武史, 小田切誠, 角中昇, 難波愼一

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集　2017
波長4.0nm斜入射ミラー用Cr/Sc/Mo多層膜の開発

羽多野忠, 江島丈雄

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016/09/01
レーザー生成Biプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

近藤芳希, DINH Thanh Hung, 小野祐一, 荒居剛己, 原広行, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　2016/03/03
水の窓における生物細胞内構造のコントラスト

江島丈雄, 加道雅孝, 石野雅彦, 青山雅人, 安田恵子, 保智己

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集　2015/01/10

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Industrial Property Rights 1

軟X線光源、露光装置および顕微鏡

江島丈雄, 加道雅孝, 篠原邦夫, 岸本牧

Property Type: Patent

Research Projects 22

量子エリプソメータを用いたイオンスパッタ法によるBEUV反射多層膜鏡の開発

江島丈雄

Offer Organization: 科学技術振興機構

System: 戦略的な研究開発の推進経済安全保障重要技術育成プログラム

Institution: 東北大学

2025 - 2029

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次世代半導体露光用の動作波長6.XnmのBEUV(Beyond Extreme Ultra-Violet)光学系には、反射多層膜を利用した反射光学系が使われます。本研究開発では、イオンスパッタ法により膜品質の向上と、膜厚制御のための量子エリプソメータの導入により、BEUV反射多層膜を開発します。開発した反射多層膜を用いてBEUV結像光学系を開発し、BEUV像の取得を試みることで、BEUV露光機の光学技術獲得を目指します。
Stimulated emission depletion process in soft X-ray excited emission of scintillators

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Institution: Tohoku University

2024/04/01 - 2026/03/31
Spectral Changes of Phosphorus Absorption Edge by Changing Phosphate Molecules and its Application to Chromatin Visualization

EJIMA TAKEO

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Institution: Tohoku University

2019/04/01 - 2022/03/31

More details Close

In this study, we experimentally found that changes in the position and the structure of DNA are reflected in the infrared and P-L2,3 absorption edge structure using soft X-ray microscopy, and attempted to visualize the phosphate groups in DNA and understand the spectral shape changes as changes in the molecules binding to the phosphate groups. Specifically, we measured the absorption of the infrared and P-L absorption edges at each stage of apoptotic nucleus isolation, and clarified the changes in the phosphate groups in DNA from the changes in their spectral shapes. The IR spectra showed that the B-DNA structure decreased and changed to A-DNA or Z-DNA as apoptosis progressed, while the P-L spectra suggested that the DNA was degraded and changed to PO4 clusters.
Development of high throughput multilayer diffraction grating monochromator satisfying the Bragg condition over the 1-5 keV range

Hatano Tadashi

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: Tohoku University

2019/04/01 - 2022/03/31

More details Close

For the tender X-ray region between hard and soft X-rays, where a high performance monochromator is not popular, a multilayered diffraction grating of a high throughput has been proposed. Diffraction efficiency of 4%-11% has been obtained in the 1-5 keV tender X-ray region at angle of incidence of 82°-89°, by coating a W/B4C multilayer of a 4 nm period thickness on a diffraction grating of a groove density of 3200 lines/mm. It has been experimentally shown that the fabricated multilayer diffraction grating is applicable to Suzuki type varied deviation angle monochromator.
Development of super-resolving microscope using stimulated emission suppression phenomenon in soft X-ray emission

Ejima Takeo

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Challenging Research (Exploratory)

Category: Challenging Research (Exploratory)

Institution: Tohoku University

2017/06/30 - 2020/03/31

More details Close

In this study, we investigated scintillators that show high luminescence intensity in the soft X-ray (SX) region from 300 eV to 1.3 keV because luminosities of the scintillators were unknown in the SX region. One of the scintillators, Ce: LSO, was used for the experiments because of the high luminosity. The scintillator irradiated by SX lights exhibited a STED phenomenon. The luminescence area was narrowed as the increase of the intensity ratio of the STED light to the luminescence one when the STED light used was a vector-polarized light. For the experiments, we also developed a tunable laser with high repetition, an achromatic vector polarization optical system, and a super-resolution microscope that combines these instruments. The developed microscope can be applied as a radiographic X-ray microscope or as a two-dimensional detector with high resolution in the SX region.
Development of soft X-ray microscope in Water window wavelength region using Flash LPP light source

Ejima Takeo

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Institution: Tohoku University

2016/04/01 - 2019/03/31

More details Close

Since the shortness of the wavelength and existance of some absorption edges of light elements in “Water window” wavelength region (2.3 - 4.4 nm), a high spatial resolution image will be obtained with high contrast when an unstained organic material is imaged using this wavelength region. In order to enable high spatial resolution imaging of organic materials using a laboratory light source in this wavelength region, we made following studies: (1) Improvement of efficiency and brightness of laser-produced plasma light source, (2) Development of laboratory type soft x-ray microscope with soft x-ray imaging optics, and (3) Demonstration of soft X-ray images of biological cells in the "carbon window" and "water window" wavelength region. Furthermore, we found newly as an unexpected result that the emission intensity of the soft X-ray in "Water window" wavelength region from the laser produced plasma under N2 atomosphere increases as the increase of the N2 gas pressure.
Super resolution of soft X-ray microscope by structured light

EJIMA Takeo, YANAGIHARA Mihiro

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

Category: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

Institution: Tohoku University

2013/04/01 - 2015/03/31

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For super resolution of microscope in soft X-ray region, it was developped that a grazing incidence condeser to illuminate a sample by a structured light and a 5 axes manipulator to obtain phase information of the light passed through a sample. The grazing incidence condenser is developed for strucutred illumination with the use of a point light source. The condenser is composed of toroidal mirrors and the mirror was fabricated and evaluated. A reflection multilayer was deposited on the mirror surface and measured reflectance of the mirror is higher than 0.32 at 4.5 nm wavelength. The 5 axes manipulator was designed and fabricated to obtain phase information of the light, and the average displacement evaluated in x/y/z directions was 25nm/pulse and 2x10^{-6} rad/pulse in θx/θy rotational directions. With the use of these instruments, soft X-ray images of mouse liver-cell stained by Hematoxylin were taken.
Development of contact-type SX microscope with high efficiency scintillator plate and SX imaging of "living" bio-cell

EJIMA Takeo, KADO Masataka, YANAGIHARA Mihiro, TAMOTSU Satoshi, YASUDA Keiko, ISHINO Masahiko

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Institution: Tohoku University

2011/04/01 - 2014/03/31

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A contact-type microscope was successfully developed and SX images can be instantly obtained without any SX imaging optics by the microscope. In the microscope, a SX image is converted to a visible (VI) image with the use of the scintillator plate, and the VI image is read out by a VI optical microscope installed in the microscope. The microscope can be adaptable to any SX light sources, such as syncrotron light source and laser produced plasma (LPP) light source. In the study, a "living" bio-cell was observed by a contact-type SX microscope using LPP light source, and the obtained images were compared with VI luminessence images taken at the same position. Origins of the structures contained in the SX images are clarified by the comparison between the two. Spectromicroscopic images by the use of a syncrotron light source were also obtained for investigating high contrast SX images in Water-window wavelength region.
Design of accumulated nano-wires and their anisotropic and singular electronic states studied by micro-optical polarized spectroscopy.

KODAIRA Tetsuya, EJIMA Takeo, IKEDA Takuji

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

2008 - 2010

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By using single crystals of zeolite AlPO4-5 having one-dimensional (1D) micropores with an inner diameter of 0.7 nm, selenium which is a semiconductor material and anthracene that is aromatic molecules are loaded into the pores. Obeying to the small nano-space, we expected the guest materials exhibit anisotropic and unique electronic properties. Electronic state of selenium atoms in the 1D pores was similar to an isolated three fold helix extracted from bulk trigonal Se. In case of loading anthracene molecules, we expected π-π interaction between the adjacent molecules in the 1D pores because of the restricted orientation of the molecules in the small nano-space. Unfortunately, we could observe no phenomena originating from such interaction.
Probing valence band of buried interfaces with soft x-ray standing wave spectroscopy

EJIMA Takeo, YANAGIKARA Mihiro

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: Tohoku University

2007 - 2008
Interface of Magnetic Multilayers Studied by Magnetic Circular Dichroism Combined with Soft X-ray Standing Waves

YANAGIHARA Mihiro, KITAKAMI Osamu, EJIMA Takeo, HATANO Tadashi

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: Tohoku University

2006 - 2007

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Fe/Si multilayer is attractive for the strong antiferromagnetic (AF) interlayer coupling. However, mechanism of the coupling has not been settled yet because of severe interdiffusion at the interface. The objects of this research are as follows; 1) to resolve the magnetic states of the interdiffused layer as a function of depth by using soft X-ray absorption magnetic circular dichroism (MCD) study combined with soft X-ray standing wave technique, 2) to discuss the interdiffused layer by comparing the depth-resolved magnetic states and the layer structure estimated from the soft X-ray fluorescence (SXF) spectroscopy, and 3) to understand the mechanism of the strong AF coupling in the Fe/Si systems in terms of the quantum interference model as a goal of this research. It was found in this research that enhancement of the magnetic moments due to the interface anisotropy occurs in the ferromagnetic Fe_3Si layer neighboring to the Fe layer in the interdiffused layer regardless of the coupling mode. As for the AF-coupled sample, the moments enhance in close vicinity to the boundary with the nonmagnetic FeSi layer. It is thus evident that the effective space separating the magnetized layers for the AF-coupled sample is thin as compared with the non AF-coupled one. Thus we can speculate about the reason for the strong AF coupling in Fe/Si multilayers that the effective space between the enhanced magnetization is thin enough to magnetically couple with each other strongly. This research project was successfully carried out showing strongly that combination of the depth-resolved MCD study and SXF measurements will be a powerful tool to investigate the magnetic and electronic states of buried interfaces.
High-resolution, element-specific microscope using a laser-produced-plasma soft X-ray source

YAMAMOTO Masaki, YANAGIHARA Mihiro, HATANO Tadashi, EJIMA Takeo, TSURU Toshihide, TOYODA Mitsunori

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Specially Promoted Research

Category: Grant-in-Aid for Specially Promoted Research

Institution: Tohoku University

2003 - 2007

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The project aims to develop a soft X-ray Schwarzschild microscope having spatial resolution of 50 nm enabling fast and easy laboratory imaging of organic and inorganic hybrids, magnetic materials and biological samples with the soft X-ray light in the wavelength range of 3 to 30 nm. The soft X-ray microscope is composed of a clean laboratory source of a laser produced plasma, imaging multilayer mirrors of specific D-spacing for monochromatic reflection, high accuracy alignment optics by visible light and image detectors, all comply with the high quality imaging. The most outstanding technology established is with our multilayer fabricator enabling D-space control on concave and convex mirror substrates with high accuracy of 0.1%, which achieves exact wavelength matching among the monochromatic mirrors for the wavelengths of 13.5nm and beyond, down to the 4.5nm, the carbon window region. The fabrication is supported by a new laboratory spectro-reflectometer designed for the curved mirror samples, a soft X-ray interferometer for the wave-front error measurements and a multilayer surface milling system for digital error correction by the layer period removal. These equipments help establishing soft X-ray optical engineering with multiyear optics. The most dominant achievement is the high grade <one shot imaging> by the microscope with the high 80% throughput 4-mirror optics developed. The resolution of the image has already met the 400nm limit by the CCD detector pixel size and is expected to reach 30nm. The high resolution imaging of living cells within the 0.2mm field of view will show details inside with 6000×6000 pixels by one shot. The image is free from burring by possible Brownian motion of particles in solution and offers new process of detailed analysis of multi-events in the wide field of view at desired magnification in the computer display of the novel optical microscope.
Surface/Interface studied by soft X-ray spectroscopies using standing wave method Competitive

2004/04 -
その場計測用真空紫外エリプソメーターの開発

江島丈雄

Offer Organization: 日本学術振興会

System: 科学研究費助成事業若手研究(B)

Category: 若手研究(B)

Institution: 東北大学

2001 - 2002

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エリプソメトリーは、光を偏光素子を通して既知の完全偏光状態にした後に試料に入射し、反射や透過による偏光状態の変化を見る計測法である。特に雰囲気を選ばないことから、真空中での膜厚決定法のひとつとして用いられてきた。エリプソメトリーは従来可視域の波長で主に用いられてきたが、その波長を真空紫外域に拡張することで膜厚感度の改善が期待される。本研究では、実験室光源である放電管により発生するHe-I(58.4nm),He-II(30.4nm)共鳴線それぞれの波長を用いたエリプソメーターの開発を行った。偏光素子は、Mg/SiやMg/SiCなどの組み合わせを用いた反射多層膜を3回反射させて光軸が変化しないようにし、それぞれの波長と入射角毎に多層膜を作製した。He-I用多層膜として[Mg23.5nm/Si28.7nm]x15周期の多層膜を設計し、設計偏光能は0.96に対し実際に得られた偏光能は0.94であった。He-II用多層膜は、[Mg11.2nm/Si11.1nm]x15周期多層膜,[Mg29.9nm/SiC17.9nm]x6周期多層膜を用いた。この場合の設計偏光能が0.994であったのに対し、得られた偏光能は0.989であった。これらの反射多層膜を光軸が変化しないように反射するホルダーを作製し、ホルダー全体を真空中で回転させることで偏光素子とした。また光源として既存の放電管を改良し、He-IIの強度の強いホローカソードタイプのHe放電管を作製した。これらの装置はいずれも附設工場で作製した。作製した装置を既存のイオンビームスパッタ装置に組み込み、膜の成長にともなって偏光面が回転する様子を観察した。得られた結果については、現在解析中である。
Methodological study to measure the magnetization of individual layer in magnetic multilayers by soft X-ray Kerr effect

WATANABE Makoto, EJIMA Takeo, HATANO Tadashi

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: Tohoku University

2000 - 2001

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The purpose of this study is to develop a method to measure the magnetization of individual layer in magnetic multilayers by the observation of angular dependence of magnetic Kerr effect in the soft X-ray region. At the first time, the design principle to obtain good multilayer polarizers was established. Next by the use of the multilayer polarizers, the magnetic Kerr rotation apparatus which can be also used for the Faraday rotation measurements was instrumented. After that, the Faraday rotation and magnetic Kerr rotation experiments were performed on Ni and Co films around their M_<2,3> absorption edges at UVSOR facility and the consistency of both results was checked. These studies were reported at the 13^<th> Int. Conf. on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (Trieste, 2001). Furthermore, the Faraday rotation measurements were carried out on Co/Pt magnetic multilayers around M_<2,3> edges of Co and N_<6,7> edges of Pt to check whether the magnetic rotation measurements can be applied to the magnetic multilayers. The magnetization was checked by a vibrating sample magnetometer at Shimada Lab. From the Faraday rotation experiments, it was found that the Pt atoms are magnetized and the magnetization has interesting dependence on the thickness of layers. Finally, the Kerr rotation experiments on Co/Cu multilayers were carried out around M_<2,3> edges of Co and Cu. The analysis of the magnetization of individual layer is now in progress.
Development of Soft-X-Ray Emission Microscopy

YANAGIHARA Mihiro, EJIMA Takeo

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Institution: TOHOKU UNIVERSITY

1998 - 1999

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Soft-X-ray emission microscopy is a novel tool to obtain a magnified image of a small spot of a sample by imaging soft X-ray emission from the atoms under irradiation of soft X-rays or electrons using a multilayer-coated Schwarzschild objective. It provides an image very sensitive to the kind of atoms because the soft X-ray emission is selectively reflected by the narrow band pass of the multilayer. The aim of this research is to develop a soft X-ray emission microscopy of a 0.5-μm resolution and to demonstrate its basic advantages. I constructed a soft-X-ray emission microscope with a Schwarzschild objective of 50 x magnification coated with a Mo/Si multilayer. Using it, I observed a test sample under electron beam irradiation and obtained a distribution image of Si atoms. The result demonstrates the primary advantage of the microscope that the Si L emission is selectively reflected by the Mo/Si multilayer. A multilayer objective reflects visible light as well as soft X-rays. Thus I carried out an imaging test for the microscope by observing a test sample with visible light and obtained a spatial resolution of 0.7μm. The resolution is very close to the diffraction limit of visible light. This result shows that the microscope has been successfully adjusted with high precision. Because the diffraction limit of soft X-rays is smaller than that of visible light, it was expected to achieve 0.5μm in the resolution. However, a resolution from 1.5μm to 2.0 μm was finally obtained. The most probable reason for the resolution under 0.7μm was the low resolution of the soft X-ray detector employed in this study. To overcome the disadvantage, I should employ a Schwarzschild objective of high magnification and/or X-ray film of high resolution. The usefulness of this microscopy will be demonstrated from now on by observing biological samples and mineral samples.
Development of Multiple microspectometer in the Visible/Vacuum-Ultraviolet Region

WATANABE Makoto, EJIMA Takeo, YANAGIHARA Mihiro, YAMAMOTO Masaki

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Institution: TOHOKU UNIVERSITY

1997 - 1999

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In the synthesizing process of new materials, it is very important to make optical measurements in the fundamental absorption region for the assignment of the materials, the evaluation of impurity- and carrier- concentration and the study of electronic structures. However, at the early stage of the synthesizing process, it is rare to be able to grow crystals large enough to make optical measurements. Therefore the purpose of this study is to design and fabricate a scanning multiple microspectrometer which enables absorption/reflection, fluorescence and photoelectron measurements in the 600-30 nm region. The Schwarzschild objective composed of a concave and a convex mirrors is used to get a microbeam. The sample can be cooled down to the liquid nitrogen temperature. At the first time, the Schwarzschild objective was checked in the visible-ultraviolet region. The reflectance of a high Tc material of BiィイD22ィエD2SrィイD22ィエD2CaCuィイD22ィエD2OィイD28ィエD2 could be measured on a small flat surface of its whisker crystals. The measured reflectance is the highest one obtained so far. The Schwarzschild objective was equipped with a Seya-Namioka monochromator for the measurements in the vacuum ultraviolet. A fluorescence spectrometer was attached to it. A photoelectron spectrometer using He-I resonance line was already fabricated. By the use of the Schwarzschild objective equipped with the Seya-Namioka monochromator, the absorption/reflection, fluorescence and the photoelectron measurements should be carried out. For it, two color multilayers were developed, reflecting not only He-I and He-II resonance lines for the photoelectron spectroscopy, but also the light in their longer wave length region for the other spectroscopy. The two-color multilayers will be evaporated onto the grating of the Seya-Namioka monochromator and the mirrors of the Schwarzschild objective. The microspectroscopy of magnetic materials of small size will be made in near future.
Soft X-ray Magnetorotation Spectroscopy

WATANABE Makoto, EJIMA Takeo, HATANO Tadashi

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Institution: TOHOKU UNIVERSITY

1997 - 1998

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The purpose of this research is to develop an apparatus. for the (ultra-) soft X-ray Faraday-rotation measurements utilizing multilayer polarizers using synchrotron radiation (SR), to verify its usefulness for the magnetic research and to extend its ability to the measurements using laboratory light source. In the first year, we designed and constructed the Faraday-rotation apparatus. A polarizer and a analyzer are Al/YB_6 multilayers. The magnetic field was generated by the use of Sm-Co permanent magnets. The analyzer was rotated around the optical axis. The whole apparatus was accommodated in a vacuum chamber evacuated by turbo-molecular pumps. In the second year, first we made the Faraday-rotation experiments using SR at UVSOR, Institute for Molecular Science. The degree of linear polarization of the monochromatized light at BL8B1 was made higher by the use of a transmission multilayer-polarizer. The measurements were carried out on Ni (M_<2,3> ), Co (M_<2,3> ) and Co/Pt (Co - M_<2,3>, Pt - N_<6,7>) in the 50 - 70 eV region. The rotation angles obtained by the present experiment were larger than the estimated ones from MCD obtained by total-electron-yield measurements, through Kramers-Kronig an alysis. Therefore, it is concluded that the Faraday-rotation measurements are less affected by the surface conditions such as oxidization, than the MCD measurements carried out so far. Secondly, we made the light from laser-induced plasma linearly polarized by the use of a reflection multilayer-polarizer, and used the same magnet and analyzer, and obtained consistent results with those obtained using SR though the results are noisy. This is the first measurement of the soft x-ray magnetooptical effects in laboratories. We reported the results on Ni at the 12th Int. Conf. on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics. We will make the same measurements on the other magnetic materials not measured as yet.
エピタキシャル成長膜による軟X線光学素子の試作

江島丈雄

Offer Organization: 日本学術振興会

System: 科学研究費助成事業奨励研究(A)

Category: 奨励研究(A)

Institution: 東北大学

1997 - 1998

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100eV以上のエネルギーを持つ光を反射する軟X線多層膜は、その作製が困難であり、その理由として、(i)多層膜を形成する2物質間に混合層が存在する、(ii)層の厚さを正確にコントロールすることが難しい、という2点が挙げられる。本研究では、この困難をエピタキシャル成長膜を使うことにより、この2つの問題を避け、最終的に100eV以上のエネルギーを持つ光を反射できるような軟X線多層膜の製作技術の確立を目的とした。目的を達成するため、初年度は多層膜の振動によるRHEEDの強度振動を観測するための装置を作製した。動作確認を行ったところ、CaF_2の成長に伴った強度振動が観測され、強度振動をモニタすることにより膜厚のコントロールが可能となった。今年度は、エピタキシャル成長条件を満たす物質対としてSi/CaF_2を選び多層膜を、実際に多層膜の作製を行った。多層膜の作製にあたって、反射率の計算の基礎となる光学定数を求めるため、分子科学研究所UV-SOR施設においてSi/CaF_2多層膜の反射率測定とTotal Electron Yield測定を行った。その結果は、平成10年8月にサンフランシスコで開催された「第12回真空紫外物理学国際会議」において発表した。実際に作成したSi/CaF_2多層膜の反射率測定を行った。Si 119Å/CaF_2 45Åの多層膜で299Åの波長の光に対し、計算では22%の反射率が得られるはずであったが、実際は2%程度の反射率しか得られなかった。現在、その原因を解明中であるが、Si/CaF_2/Si(111)多層膜とCaF_2/Si/CaF_2/Si(111)多層膜のTotal Electron Yieldスペクトル形状が互いによく似ていることから、CaF_2上にSiを積んでいったときにCaF_2ないしはCa化合物がSi層を通じて析出しており、多層構造が形成されていないのではないか、と考えている。
Development fo High Reflectivity Multilayr Mirrors in the Extreme Ultraviolet Region(60nm-20nm)

WATANABE Makoto, EJIMA Takeo, YANAGIHARA Mihiro, YAMAMOTO Masaki

Offer Organization: Japan Society for the Promotion of Science

System: Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Institution: TOHOKU UNIVERSITY

1995 - 1996

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High reflectivity mirrors in the extreme ultraviolet (EUV) region (60nm-20nm) are strongly required from the EUV microscopy, the plasma diagnostics and astronomical observation by using the EUV light, and the EUV laser exploitation. In this study, we developed multilayr mirrors having high reflectivity especially at resonance lines of He I (58.4nm) and He II (30.4nm), and the 3p edge of Ni (20nm). We fabricated the multilayrs designed theoretically using magnetron and ion-beam sputtering-instruments. Their reflectivities were checked with reflectometers attached to a grazing incidence monochromator with a plasma induced light source and a Seya-Namioka monochromator with a He discharge lamp. The multilayrs with the highest reflectivity are a Si/W bilayr (21.6% at 58.4nm), a Sc/Mg multilayr (27% at 30.4nm) and a Mo/Si multilayr (18% at 20nm). As an important application of the multilayrs, we have tried to enhance the diffraction efficiency of a grating around 30nm under normal incidence condition. We coated the surface of the grating with a Mo/Si multilayr and obtained very high diffraction efficiency of 5%. This is very distinguishable result of this project, which enable us to get 30nm light without use of a grazing incidence monochromator. We also tried to fabricate multilayrs having crystalline structure using an MBE instrument, checking the crystallinity with an RHEED monitor, but this trial has not been succeeded yet. At present, the reflectivity of each fabricated multilayr is smaller than the value calculated theoretically. It may be due to the roughness of interface in multilayrs. We will try to reduce the roughness by controlling precisely the substrate temperature with an infrared heater. Furthermore, we will develop the EUV microscopes using the high reflectivity multilayr mirrors.
Si/アルカリハライド多層膜の電子状態

江島丈雄

Offer Organization: 日本学術振興会

System: 科学研究費助成事業奨励研究(A)

Category: 奨励研究(A)

Institution: 東北大学

1995 - 1996

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8年度交付申請書に記載した研究実施計画に基づいて研究を行った。1. Si(111)基板の上にC_aF_2,Siの順にエピタキシャル成長させた2層膜試料、C_aF_2,Si,C_aF_2の順に成長させた3層膜試料を、C_aF_2の膜厚を固定しSiの厚さを変えて作製した。作製した試料のそれぞれについてRHEEDの観測を行ったところ、基板においてはSi7×7構造が、またエピタキシャル成長させたSi,C_aF_2膜においては1×1構造が観測された。2. 1と同時にHe-Neを光源とするin-situエリプソメトリー実験を行った。得られた偏光度を平行平板モデルを用いて解析することによって、膜の厚さが求められた。この偏光解析から得られた膜厚はX線小角散乱法による膜厚の評価とほぼ一致し、膜厚を正確にコントロールした試料を作ることが可能となった。3.作製した多層膜試料のSi-L吸収を測定した。実験は、室温で全光電子収量法を用いて試料の角度依存を測定した。その結果、比較のために測定したSi基板ではSi-L吸収に角度依存性が見られなかったが、多層膜試料には角度依存性があることが観測された。この角度依存性は、光の試料に対する入射角度が斜入射になるに従って、L吸収端で吸収強度が相対的に減少し吸収端より低エネルギー側では吸収強度が増加する、という変化を示した。この変化はSiの膜厚が等しい層数の異なる試料間ではほとんどみられず、同一層数でSi膜の膜厚が厚くなると強い変化を示した。この比較から、スペクトルの角度依存性はSi薄膜の異方性によるものと考えられる。4. 膜厚に依存するSi-L吸収の異方性をPepperの表式に基づいて解析を行った。Si薄膜の光学定数を等方的と仮定した場合には測定スペクトルを再現出来ず、異方的とした場合にスペクトルが再現された。また、得られた面垂直方向の光学定数は、バルクSiとは異なり、イオン結晶的な光学定数を示した。得られた異方的な光学定数が量子井戸状態によるものかどうかはさらなる解析が必要である。
金属/絶縁体多層膜の軟X線吸収

江島丈雄

Offer Organization: 日本学術振興会

System: 科学研究費助成事業奨励研究(A)

Category: 奨励研究(A)

Institution: 東北大学

1995 - 1995

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マグネトロンスパッタ装置を用いて、Cu/SiO2, Cu/BNの2種類の組み合わせについて、それぞれ膜厚を変化させた多層膜を作成し、分子研UV-SOR施設BL7Aにおいて、Cu/L吸収の内殻吸収測定(全電子収量法)を行った。これらの測定の結果、Cuにおける新しい準位による構造を見出さなかった。この原因は、成膜時におけるCuの酸化の影響とBL7Aおける分解能が不足しているため、と考えられる。次の実験では、分解能の不足を補うためUV-SORのBL8b1を用い、ビームラインのエネルギー範囲に合わせてSi/LiFの組み合わせを選んだ。前回同様膜厚をかえて多層膜を作成し、内殻吸収測定を行った。その結果、この系のSi-L吸収スペクトルは、単結晶のものとは異なった形状を示し、そのスペクトル形状には角度依存性(異方性)が見られたが、膜厚依存性は観測されなかった。従って、この新しく見出された構造は、量子井戸状態によるものではないと考えられる。以上3つの系が多層膜を形成しているのをX線回折計を用いて確認してあるが、量子井戸状態を形成していない理由は、個々の層の膜質の均一性の欠如や層間の界面における急峻性の欠如による、と考えられる。特にSi-L吸収スペクトル形状が、多孔質Siの1種と形状が類似しており、膜質の均一性に対する問題を提起している。その解決策としては、エピタキシャル成長することが知られているSi/CaF2多層膜を用いることで、膜質の結晶性を良くすることが可能であると思われる。

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