研究者詳細

顔写真

ツカモト　タカシロ
塚本　貴城
Takashiro Tsukamoto
所属
大学院工学研究科　ロボティクス専攻　ナノシステム講座（スマートシステム集積学分野）
職名
准教授
学位

  • 博士（工学） （東北大学）

委員歴 16

  • 日本機械学会　マイクロ・ナノ部門 運営委員

    2018年4月 ～ 2024年3月

  • 日本機械学会　マイクロ・ナノ工額部門 部門幹事

    2021年4月 ～ 2023年3月

  • Transcuders2021　Technical Program Comittiee

    2021年4月 ～ 2022年3月

  • 電気学会　センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム 分野副査

    2020年4月 ～ 2021年3月

  • IEEE INERTIAL　Technical Program Committee, Vice Chair

    2019年 ～ 2020年

  • IEEE INERTIAL　Technical Program Committee, Member

    2018年 ～ 2020年

  • 日本機械学会　年次大会 マイクロ・ナノ部門 実行委員

    2018年 ～ 2019年

  • 電気学会　センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム，論文委員

    2016年 ～ 2019年

  • IEEE NANO 2016　Steering Committee, Member

    2016年 ～ 2016年

  • IEEE NEMS2016　Local Organizing Committee, Member

    2016年 ～ 2016年

  • APCOT2024　Technical Program Committee, Member

    2024年 ～

  • IEEE MEMS2024　Technical Program Committee, Member

    2024年 ～

  • IEEE INERTIAL2024　General Chair

    2024年 ～

  • IEEE INERTIAL2023　Technical Program Committee, Member

    2023年 ～

  • IEEE INERTIAL2022　Technical Program Committee, Member

    2022年 ～

  • 電気学会　センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 分野2主査

    2021年 ～

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所属学協会 3

  • IEEE

  • 電気学会

  • 日本機械学会

研究分野 1

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /

受賞 8

  1. 貢献表彰

    2023年11月　日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

  2. 令和5年度 里見賞（最優秀賞）

    2023年9月　公益財団法人 里見奨学会　感温ガラス薄膜を用いた赤外線検出器アレイ

  3. ベストプレゼンテーション表彰

    2019年3月20日　日本機械学会 情報・知能・精密機器部門　仮想回転を用いた高バイアス安定CW/CCWモード分離型MEMS積分ジャイロスコープ

  4. Outstanding Poster Award

    2018年12月13日　The International Display Workshops　Speckle Reduction Device Using Two-Axis Resonant Microstage

  5. Best Poster Award

    2016年9月22日　JCK MEMS/NEMS　Vapor Chamber Type Micro Thermal Diode

  6. 2014年度年次大会 マイクロ・ナノ工学部門 優秀講演論文表彰

    2015年10月28日　日本機械学会　光パターニング可能な感温塗料をもちいた赤外線熱イメージングデバイスの開発

  7. センサ・マイクロマシン部門 総合研究会 優秀論文講演賞

    2015年10月28日　電気学会　真空蒸着Eu(TTA)3薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー

  8. 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 部門一般表彰（優秀講演論文部門）

    2015年9月14日　日本機械学会　光パターニング可能な感温塗料をもちいた赤外線熱イメージングデバイスの開発

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論文 132

  1. A Two-Axis Orthogonal Resonator for Variable Sensitivity Mode Localization Sensing

    Yuta Nagasaka, Alessia Baronchelli, Shuji Tanaka, Takashiro Tsukamoto

    Sensors　2024年6月

    DOI： 10.3390/s24134038 　

  2. Two-axis multiple masses resonator with frequency and Q-factor matching

    Chen, J., Tsukamoto, T., Langfelder, G., Tanaka, S.

    Sensors and Actuators A: Physical　366　2024年

    DOI： 10.1016/j.sna.2023.114938 　

    ISSN：0924-4247

  3. Vacuum-Sealed MEMS Resonators Based on Silicon Migration Sealing and Hydrogen Diffusion

    Gong, T., Khan, M.J., Suzuki, Y., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    Journal of Microelectromechanical Systems　33　(3)　369-375　2024年

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

    DOI： 10.1109/JMEMS.2024.3382768 　

    ISSN：1941-0158 1057-7157

    eISSN：1941-0158

  4. Challenges in Implementing Pitch/Roll Rate Integrating Gyroscopes: A Case Study on a New Dynamically Balanced Dual-Mass Resonator

    Wang, S., Chen, J., Tsukamoto, T., Langfelder, G., Tanaka, S.

    IEEE Sensors Journal　23　(22)　2023年

    DOI： 10.1109/JSEN.2023.3314897 　

    ISSN：1558-1748 1530-437X

  5. Multi-Ring Disk Resonator with Elliptic Spokes for Frequency-Modulated Gyroscope

    Wang, S., Chen, J., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    Sensors　23　(6)　2937-2937　2023年

    出版者・発行元： MDPI

    DOI： 10.3390/s23062937 　

    ISSN：1424-8220

  6. Mems Resonator Vacuum-Sealed by Silicon Migration and Hydrogen Outdiffusion

    Muhammad Jehanzeb Khan, Yukio Suzuki, Tianjiao Gong, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2023-January　661-664　2023年

    DOI： 10.1109/MEMS49605.2023.10052449 　

    ISSN：1084-6999

  7. Design and fabrication of non-resonant PZT MEMS micromirror with buried piezoresistors for closed loop position control

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    Journal of Micromechanics and Microengineering　33　(1)　014001-014001　2022年11月18日

    出版者・発行元： IOP Publishing

    DOI： 10.1088/1361-6439/aca101 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

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    Abstract This paper reports on a 1D PZT micromirror integrated with buried piezoresistors for quasi-static feedback position control. The piezoresistors located along or below the PZT actuators could achieve the sensitivity as high as 3.1 mV/°, which was two orders of magnitude higher than the traditional ones located at the torsion springs (8.2 μV/°). This increased the signal-to-noise ratio by 2 orders of magnitude, which could enable the accurate position control. The response of the longitudinal sensors along the beams had a fast settling time less than 1 ms. The average position error was 0.975%, which was much better than that from the conventional shear stress sensor on the torsion bar of 3.1%.

  8. Electroplated Al Press Marking for Wafer-Level Bonding

    Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Micromachines　13　(8)　1221-1221　2022年7月30日

    出版者・発行元： MDPI AG

    DOI： 10.3390/mi13081221 　

    ISSN：2072-666X

    eISSN：2072-666X

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    Heterogeneous integration of micro-electro mechanical systems (MEMS) and complementary metal oxide semiconductor (CMOS) integrated circuits (ICs) by 3D stacking or wafer bonding is an emerging approach to advance the functionality of microdevices. Aluminum (Al) has been of interest as one of the wafer bonding materials due to its low cost and compatibility with CMOS processes. However, Al wafer bonding typically requires a high temperature of 450 °C or more due to the stable native oxide which presents on the Al surface. In this study, a wafer bonding technique for heterogeneous integration using electroplated Al bonding frame is demonstrated. The bonding mechanism relies on the mechanical deformation of the electroplated Al bonding frame through a localized bonding pressure by the groove structures on the counter wafer, i.e., press marking. The native oxide on the surface was removed and a fresh Al surface at the bonding interface was released through such a large mechanical deformation. The wafer bonding was demonstrated at the bonding temperatures of 250–450 °C. The influence of the bonding temperature to the quality of the bonded substrates was investigated. The bonding shear strength of 8–100 MPa was obtained, which is comparable with the other Al bonding techniques requiring high bonding temperature.

  9. Mechanical hardening of electrochemically deposited aluminum from chloroaluminate ionic liquid

    Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Scripta Materialia　213　114599-114599　2022年5月

    出版者・発行元： Elsevier BV

    DOI： 10.1016/j.scriptamat.2022.114599 　

    ISSN：1359-6462

  10. Feedback Controlled Pzt Micromirror with Integrated Buried Piezoresistors

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS)　2022年1月9日

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mems51670.2022.9699754 　

  11. Triple Mass Resonator for Electrostatic Quality Factor Tuning

    Chen, J., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    Journal of Microelectromechanical Systems　31　(2)　2022年

    DOI： 10.1109/JMEMS.2021.3138530 　

    ISSN：1941-0158 1057-7157

  12. Lorentz Force Frequency Modulated MEMS Magnetometer Using CW/CCW Mode Separator on Quad Mass Resonator

    Zhang, L., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　142　(9)　2022年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.142.241 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  13. A mechanically coupled three degree-of-freedom resonator with tunable stiffness sensitivity

    Chen, J., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    Sensors and Actuators A: Physical　344　113713-113713　2022年

    DOI： 10.1016/j.sna.2022.113713 　

    ISSN：0924-4247

  14. Problems in Fabrication of Metal Pads for Capacitive MEMS Using Hands-on Open Facility

    Zhang, L., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　142　(9)　2022年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.142.220 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  15. Silver nanoparticle enhanced luminescence of [Ru(phen)3]Cl2 for thermal imaging application

    Pan, X., Hu, J., Li, J., Zhai, Y., Li, S., Wang, M., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    Sensors and Actuators A: Physical　334　113312-113312　2022年

    DOI： 10.1016/j.sna.2021.113312 　

    ISSN：0924-4247

  16. Feedback control of thin film PZT MEMS actuator with integrated buried piezoresistors

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　332　2021年12月

    DOI： 10.1016/j.sna.2021.113131 　

    ISSN：0924-4247

    eISSN：1873-3069

  17. Fully CMOS-Compatible Wafer Bonding Based on Press Marking Using Thick Electroplated Aluminum

    Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021　1138-1141　2021年6月20日

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/Transducers50396.2021.9495544 　

  18. Electrochemically Deposited Aluminum for MEMS Thermal Actuator

    Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    2021 Smart Systems Integration, SSI 2021　2021年4月27日

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/SSI52265.2021.9466952 　

  19. Mode-Matched Multi-Ring Disk Resonator Using Single Crystal (100) Silicon

    Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    INERTIAL 2021 - 8th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings　2021年3月22日

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/INERTIAL51137.2021.9430467 　

  20. Rate Integrating Gyroscope Using Independently Controlled CW and CCW Modes on Single Resonator

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS　30　(1)　15-23　2021年2月

    DOI： 10.1109/JMEMS.2020.3039241 　

    ISSN：1057-7157

    eISSN：1941-0158

  21. A Novel three Degree-of-Freedom Resonator with High Stiffness Sensitivity Utilizing Mode Localization

    Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2021-　810-813　2021年1月25日

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/MEMS51782.2021.9375206 　

    ISSN：1084-6999

  22. Quad Mass Resonator with Frequency Mismatch of 3 ppm Trimmed by Focused Ion Beam

    Chen, J., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    Journal of Microelectromechanical Systems　30　(3)　392-400　2021年

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/JMEMS.2021.3065720 　

    ISSN：1941-0158 1057-7157

  23. Frequency Trimming Method for a Disk Resonator Using Flexural Rigidity

    Abdelli, H., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　141　(12)　2021年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.141.402 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  24. Frequency Trimming Method for a Disk Resonator Using Flexural Rigidity

    Hamza Abdelli, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　141　(12)　2021年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.141.402 　

  25. Quad Mass Resonator With Frequency Mismatch of 3 ppm Trimmed by Focused Ion Beam

    Chen, Jianlin, Tsukamoto, Takashiro, Tanaka, Shuji

    J. Microelectromech. Syst.　30　(3)　2021年

    DOI： 10.1109/JMEMS.2021.3065720 　

  26. DESIGN OF ELECTROMAGNETIC RING RESONATOR WITH ZERO ANCHORLOSS

    Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    2021 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　301-304　2021年

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS50396.2021.9495688 　

    ISSN：2167-0013

    eISSN：2167-0021

  27. Theoretical Consideration of Mismatch Compensation for MEMS Resonator Having Unaligned Principle Axes

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    2021 8TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS (INERTIAL 2021)　2021年

    DOI： 10.1109/INERTIAL51137.2021.9430491 　

    ISSN：2377-3464

  28. PZT MEMS ACTUATOR WITH INTEGRATED BURIED PIEZORESISTORS FOR POSITION CONTROL

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    2021 34TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2021)　626-629　2021年

    DOI： 10.1109/MEMS51782.2021.9375422 　

    ISSN：1084-6999

  29. Dual-Mass Resonator with Dynamically Balanced Structure for Roll/Pitch Rate Integrating Gyroscope

    Shihe Wang, Muhammad Salman Al Farisi, Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    2021 IEEE SENSORS　2021年

    DOI： 10.1109/SENSORS47087.2021.9639685 　

    ISSN：1930-0395

  30. Quality factor trimming method using thermoelastic dissipation for multi-ring resonator

    Hamza Abdelli, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Sens. Actuators, A　332　113044-113044　2021年

    DOI： 10.1016/j.sna.2021.113044 　

    ISSN：0924-4247

  31. Tailoring material properties of electrochemically deposited Al film from chloroaluminate ionic liquid for microsystem technology using pulsed deposition

    Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Sensors and Actuators A: Physical　316　112384-112384　2020年12月

    出版者・発行元： Elsevier BV

    DOI： 10.1016/j.sna.2020.112384 　

    ISSN：0924-4247

  32. Fabrication method of quartz glass ring resonator using sacrificial support structure

    Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　30　(11)　2020年11月

    DOI： 10.1088/1361-6439/abb753 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  33. Integration of buried piezoresistive sensors and PZT thin film for dynamic and static position sensing of MEMS actuator

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　30　(11)　2020年11月

    DOI： 10.1088/1361-6439/abb756 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  34. Fabrication method of micromachined quartz glass resonator using sacrificial supporting structures

    Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Muhammad Salman Al Farisi, Shuji Tanaka

    Sensors and Actuators A: Physical　305　111922-111922　2020年4月

    DOI： 10.1016/j.sna.2020.111922 　

    ISSN：0924-4247

  35. Triple Mass Resonator with High Capacity to Tune Frequency and Quality Factor

    Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    INERTIAL 2020 - 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, Proceedings　2020年3月1日

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/INERTIAL48129.2020.9090053 　

  36. Fabrication Technology of Quartz Glass Resonator Using Sacrificial Metal Support Structure

    Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    2020 7TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS (INERTIAL 2020)　2020年

    ISSN：2377-3464

  37. Roll/Pitch Rate Integrating MEMS Gyroscope Using Dynamically Balanced Dual-Mass Resonator

    Shihe Wang, Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    2020 7TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS (INERTIAL 2020)　2020年

    ISSN：2377-3464

  38. Automated frequency and quality-factor matching method for frequency modulated / rate integrating gyroscope

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN　209　(3-4)　57-63　2019年12月

    DOI： 10.1002/eej.23248 　

    ISSN：0424-7760

    eISSN：1520-6416

  39. A novel multiple-axis MEMS gyroscope-accelerometer with decoupling frames 査読有り

    Baranov, P., Nesterenko, T., Barbin, E., Koleda, A., Tanaka, S., Tsukamoto, T., Kulinich, I., Zykov, D., Shelupanov, A.

    Sensor Review　39　(5)　670-681　2019年9月

    出版者・発行元： Emerald Group Holdings Ltd.

    DOI： 10.1108/SR-05-2018-0133 　

    ISSN：0260-2288

  40. Printable on-chip micro battery 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering　14　(9)　1416-1421　2019年9月

    DOI： 10.1002/tee.22944 　

    ISSN：1931-4973

    eISSN：1931-4981

  41. Automated frequency and quality-factor matching method for frequency modulated / rate integrating gyroscope,周波数変調・積分型ジャイロスコープのための周波数・Q 値の自動マッチング手法の開発

    Tsukamoto, T., Member, S.T., Member, S.

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　139　(8)　219-224　2019年

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.139.219 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  42. Dynamically Balanced Out-of-Plane Resonator for Roll/Pitch Rate Integrating Gyroscope

    Shihe Wang, Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」　20am2-LN2-77　2019年

  43. Fabrication method of micromachined quartz glass resonator using temporal Au supporting structures

    Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Muhammad Salman Al Farisi, Shuji Tanaka

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　19pm5-PN3-42　2019年

  44. PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」　20am2-LN2-91　2019年

  45. Investigation of Mechanical and Electrical Properties of Electroplated Aluminum Film from AlCl3-[EMIm]Cl Ionic Liquid

    Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」　20am2-LN2-73　2019年

  46. 高精度MEMS積分ジャイロスコープのための構造不完全性補償方法

    塚本貴城, 田中秀治

    日本機械学会2019年度年次大会　J22301　2019年

  47. 積分型MEMSジャイロスコープの高性能化のための非対称性補償の自動化方法

    塚本貴城, 田中秀治

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」　19am3-PS3-37　2019年

  48. MEMS Rate Integrating Gyroscope with Temperature Corrected Virtual Rotation

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proc. IEEE Inertial 2019　1-4　2019年

    ISSN：2377-3464

  49. Quad Mass Gyroscope with 16 ppm Frequency Mismatch Trimmed by Focus Ion Beam

    Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proc. IEEE Inertial 2019　1-4　2019年

  50. Automated Frequency and Quality Factor Mismatch Compensation Method for MEMS Rate Integrating Gyroscope

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proc. Transducers2019　1831-1834　2019年

  51. Aptamer-Based Allergen Sensing System for Food Safety

    A. Hamza, T. Tsukamoto, T. Ito, K. Y. Inoue, T. Matsue, S. Tanaka

    Proc. Transducers2019　932-935　2019年

  52. 周波数変調・積分型ジャイロスコープのための周波数・Q値の自動マッチング手法の開発 査読有り

    塚本 貴城, 田中 秀治

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　139　(8)　219-224　2019年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.139.219 　

  53. Fully Differential Single Resonator FM Gyroscope Using CW/CCW Mode Separator 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Journal of microelectromechanical systems　27　(6)　985-994　2018年12月

    DOI： 10.1109/JMEMS.2018.2874060 　

    ISSN：1057-7157

    eISSN：1941-0158

  54. Laterally vibrating MEMS resonant vacuum sensor based on cavity-SOI process for evaluation of wide range of sealed cavity pressure 査読有り

    Cong Liu, Joerg Froemel, Jianlin Chen, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Microsystem Technologies　25　(2)　1-11　2018年6月2日

    DOI： 10.1007/s00542-018-3984-1 　

    ISSN：0946-7076

    eISSN：1432-1858

  55. Virtually rotated MEMS whole angle gyroscope using independently controlled CW/CCW oscillations

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    5th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, INERTIAL 2018 - Proceedings　1-4　2018年5月11日

    DOI： 10.1109/ISISS.2018.8358135 　

    ISSN：2377-3464

  56. Piezoelectric Moonie-type Resonant Microactuator 査読有り

    Yasuhiro Fujimura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Electronics and Communications in Japan　101　(3)　3-10　2018年3月1日

    出版者・発行元： Wiley-Liss Inc.

    DOI： 10.1002/ecj.12026 　

    ISSN：1942-9541 1942-9533

  57. Working fluid sealing method for vapor chamber type micro thermal diode

    Tsukamoto, T., Sato, K., Tanaka, S.

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　138　(8)　392-393　2018年

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.138.392 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  58. 2-axis resonant microstage using single piezoelectric moonie-type Microactuator

    Fujimura, Y., Tsukamoto, T., Tanaka, S.

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　138　(11)　516-522　2018年

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.138.516 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  59. 集束イオンビームを用いたモードマッチMEMSジャイロスコープのトリミング法

    陳, 建霖, 塚本, 貴城, 田中, 秀治

    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　30pm4-PN-64　2018年

  60. Aptamer-Based Allergen Sensing System for Food Safety

    Abdelli Hamza, Takashiro Tsukamoto, Takahiro Ito, Kumi Y. Inoue, Tomokazu Matsue, Shuji Tanaka

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム」　01pm1-PS-215　2018年

  61. 周波数変調・積分ジャイロスコープのための周波数・Q値の自動マッチング手法の開発

    塚本貴城, 田中秀治

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム」　30am3-PS-15　2018年

  62. 仮想回転を用いた高バイアス安定CW/CCWモード分離型MEMS積分ジャイロスコープ

    塚本貴城, 田中秀治

    機械学会年次大会　J2240001　2018年

  63. Speckle Reduction Device Using Two-Axis Resonant Microstage

    Ysasuhiro Fujimura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proc. The 25th International Display Workshops　2018年

  64. 1つの圧電ムーニー型アクチュエータを用いた2軸共振マイクロステージ 査読有り

    藤村 康浩, 塚本 貴城, 田中 秀治

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　138　(11)　516-522　2018年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.138.516 　

  65. Wireless Sensor Chip Platform Using On-Chip Electrochromic Micro Display 査読有り

    shiro Tsukamoto, Yanjun Zhu, Shuji Tanaka

    IEICE TRANS. ELECTRON.　E101-C　(11)　870-873　2018年

    DOI： 10.1587/transele.E101.C.870 　

    ISSN：1745-1353

  66. ベーパーチャンバー型マイクロ熱ダイオードへの作動流体封止技術 査読有り

    塚本 貴城, 佐藤 功一, 田中 秀治

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　138　(8)　392-393　2018年

    DOI： 10.1541/ieejsmas.138.392 　

  67. On-chip electrochromic micro display for a disposable bio-sensor chip 招待有り

    Yanjun Zhu, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　27　(12)　2017年12月

    DOI： 10.1088/1361-6439/aa8f1c 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  68. On-chip electrochromic micro display for a disposable bio-sensor chip 査読有り

    Yanjun Zhu, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　27　(12)　125012　2017年12月

    DOI： 10.1088/1361-6439/aa8f1c 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  69. Stylus type MEMS texture sensor covered with corrugated diaphragm 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Hideaki Asao, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　27　(9)　95006　2017年9月

    DOI： 10.1088/1361-6439/aa7ec2 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  70. System development of biosensing module using CMOS hall sensor array for disposable wireless diagnosis device

    Tong Sun, Takashiro Tsukamoto, Tomohiro Ishikawa, Shuji Tanaka

    2017 IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2017　160-163　2017年8月25日

    DOI： 10.1109/NEMS.2017.8016996 　

    ISSN：2474-3747

    eISSN：2474-3755

  71. Polyaniline electrochromic micro-display powered by on-chip Mg/AgCl battery for wireless data transfer of disposable bio-sensing chip

    Y. Zhu, T. Tsukamoto, S. Tanaka

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　878-881　2017年7月26日

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994189 　

  72. 20 Milliwatt class ultralow power integrated OCXO using polyimide and thin film metal connection suspended in vacuum packaging

    Takanori Suzuki, Masanori Muroyama, Tomoyuki Taira, Noritoshi Kimura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　435-438　2017年7月26日

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994080 　

  73. Micro thermal diode with glass thermal insulation structure embedded in a vapor chamber 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Takashi Hirayanagi, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　27　(4)　45001　2017年4月

    DOI： 10.1088/1361-6439/aa5e7a 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  74. On-chip polyaniline electrochromic microdisplay for disposable bio-sensing chip

    Takashiro Tsukamoto, Yanjun Zhu, Shuji Tanaka

    Proceedings of the International Display Workshops　2　1281-1283　2017年

    出版者・発行元： International Display Workshops

    ISSN：1883-2490

  75. モードミスマッチ補償機構を組み込んだCW/CCWモード分離型MEMS積分ジャイロスコープ

    塚本貴城, 田中秀治

    日本機械学会第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　31am3-PN-19　2017年

  76. CW・CCWモード分離器を用いた周波数変調・積分型MEMSジャイロスコープ

    塚本貴城, 田中秀治

    日本機械学会2017年度年次大会　G2200101　2017年

  77. FULLY-DIFFERENTIAL SINGLE RESONATOR FM/WHOLE ANGLE GYROSCOPE USING CW/CCW MODE SEPARATOR

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017)　1118-1121　2017年

    DOI： 10.1109/MEMSYS.2017.7863610 　

    ISSN：1084-6999

  78. FM/Rate integrating MEMS Gyroscope using Independently Controlled CW/CCW Mode Oscillations on a Single Resonator

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    2017 4TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS (INERTIAL)　11-14　2017年

    DOI： 10.1109/ISISS.2017.7935661 　

    ISSN：2377-3464

  79. 圧電ムーニー型共振マイクロアクチュエータ 査読有り

    藤村 康浩, 塚本 貴城, 田中 秀治

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　137　(4)　95-100　2017年

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.95 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  80. Disposable wireless immuno-sensing chips 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Tomohiro Ishikawa, Shuji Tanaka

    International Journal of Automation and Smart Technology　7　(1)　1-6　2017年

    出版者・発行元： Chinese Institute of Automation Engineers

    DOI： 10.5875/ausmt.v7i1.1303 　

    ISSN：2223-9766

  81. Hybrid MEMS-SMA structure for intraocular lenses 査読有り

    T. D. O. Moura, T. Tsukamoto, D. W. de Lima Monteiro, S. Tanaka

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL　243　15-24　2016年6月

    DOI： 10.1016/j.sna.2016.03.005 　

    ISSN：0924-4247

  82. On-chip Electrochromic Micro Display Device using PANi for Disposal Bio-sensor Chip

    Yanjun Zhu, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proc. APCOT 2016　5d6　2016年

  83. Disposable wireless bio-sensor for daily health examination system 招待有り

    Takashiro Tsukamoto, Yanjun Zhu, Shuji Tanaka

    2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)　915-916　2016年

    DOI： 10.1109/NANO.2016.7751575 　

  84. Thermal Imaging Device using Temperature Sensitive Phosphor

    Takashiro Tsukamoto, Min Wang, Shuji Tanaka

    JSPS-FZ-Juelich Workshop　48-49　2016年

  85. Vapor Chamber Type Micro Thermal Diode

    Takashiro Tsukamoto, Takashi Hirayanagi, Shuji Tanaka

    the 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS　93-94　2016年

  86. In-situ Observation of micro droplet motion in micro thermal diode

    Koichi Sato, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    International Symposium on Micro-Nano Science and Technology　SuP2-A-1　2016年

  87. Stylus Type MEMS Texture Sensor covered with a Corrugated Diaphragm

    Hideaki Asao, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proc. NEMS2016　B3P-B-54　2016年

  88. Thermal Imaging Device using Infrared-to-Visible Converter Made of Temperature Sensitive Phosphor 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Min Wang, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY　29　(3)　409-412　2016年

    DOI： 10.2494/photopolymer.29.409 　

    ISSN：0914-9244

  89. Human detection by optical readout thermal imaging sensor using evaporated Eu(TTA)3 査読有り

    Min Wang, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　136　(11)　473-477　2016年

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.136.473 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  90. High sensitive TSP for optical readout infrared thermal imaging devices 査読有り

    Min Wang, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　136　(10)　443-447　2016年

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

    DOI： 10.1541/ieejsmas.136.443 　

    ISSN：1347-5525 1341-8939

  91. IR sensor array using photo-patternable temperature sensitive paint for thermal imaging 査読有り

    T. Tsukamoto, M. Wang, S. Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　25　(10)　104011　2015年10月

    DOI： 10.1088/0960-1317/25/10/104011 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  92. Uncooled infrared thermal imaging sensor using vacuum-evaporated europium phosphor 査読有り

    Min Wang, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　25　(8)　85001　2015年8月

    DOI： 10.1088/0960-1317/25/8/085001 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  93. Infrared thermal detector array using Eu(TTA)(3)-based temperature sensitive paint for optical readable thermal imaging device 査読有り

    Min Wang, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　25　(3)　35012　2015年3月

    DOI： 10.1088/0960-1317/25/3/035012 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  94. 使い捨てバイオセンサチップのためのオンチップバッテリの開発

    塚本,貴城, 田中,秀治

    日本機械学会第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　30PM1-A-6　2015年

  95. HIGH PERFORMANCE TEMPERATURE SENSITIVE PAINT FOR OPTICAL READOUT INFRARED THERMAL IMAGING DEVICE S

    王,敏, 塚本,貴城, 田中,秀治

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演論文集　32　30am2-PS-068-5　2015年

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  96. 真空蒸着Eu(TTA)3薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー

    王,敏, 塚本,貴城, 田中,秀治

    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　MSS-15-16　2015年

  97. マイクロ熱ダイオードのための作動流体封止方法の検討

    佐藤,功一, 塚本,貴城, 田中,秀治

    日本機械学会年度年次大会講演論文集　J0540103　2015年

  98. Printable on-chip micro battery for disposal bio-sensing device

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    15TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2015)　660　W2A-01　2015年

    DOI： 10.1088/1742-6596/660/1/012008 　

    ISSN：1742-6588

    eISSN：1742-6596

  99. Thermal Imaging Devices using Eu(TTA) 3 -based Infrared-to-Visible Conversion Thin Film Array

    T. Tsukamoto, M. Wang, S. Tanaka

    Proc. Smart System Integration (Copenhagen, Denmark)　256-263　2015年

  100. Evaluation of sputtered Pd 76 Cu 6 Si 18 metallic glass for MEMS application

    Klaus Vogel, Maik Wiemer, Thomas Gessner, Juergen Vogel, Yu-Ching Lin, Yao-Chuan Tsai, Masayoshi Esashi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Proc. Smart System Integration (Copenhagen, Denmark)　240-247　2015年

  101. RING-SHAPE SMA MICRO ACTUATOR WITH PARYLENE RETENTION SPRING FOR LOW POWER CONSUMPTION, LARGE DISPLACEMENT LINEAR ACTUATION

    T. D. O. Moura, T. Tsukamoto, D. W. de Lima Monteiro, S. Tanaka

    2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)　2148-2151　2015年

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181384 　

  102. IR thermal imaging device using photo-patternable temperature sensitive paint

    T. Tsukamoto, M. Wang, S. Tanaka

    Journal of Physics: Conference Series　557　(1)　2014年

    出版者・発行元： Institute of Physics Publishing

    DOI： 10.1088/1742-6596/557/1/012066 　

    ISSN：1742-6596 1742-6588

  103. Fabrication and Testing of a Bi-Conductive Polymer Membrane Fuel Cell 査読有り

    S. Hamel, T. Tsukamoto, T. Tanaka, L. G. Frechette

    14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2014)　557　2014年

    DOI： 10.1088/1742-6596/557/1/012007 　

    ISSN：1742-6588

  104. Design of a dual lens system for a micromachined optical setup 査読有り

    Thiago D. O. Moura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka, Daniel Filgueiras, Davies W. de Lima Monteiro

    2014 29TH SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES (SBMICRO)　2014年

  105. 感温塗料を用いた赤外線熱イメージングデバイスのためのディジタルフィルタの開発

    塚本, 貴城, 王, 敏, 田中, 秀治

    日本機械学会第６回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　22pm1-F6　2014年

  106. 光パターニング可能な感温塗料をもちいた赤外線熱イメージングデバイスの開発

    塚本, 貴城, 王, 敏, 田中, 秀治

    日本機械学会年度年次大会講演論文集　J2220205　2014年

  107. 使い捨て免疫検査チップのためのオンチップバッテリの基本構成

    木村,優斗, 塚本,貴城, 石川,智弘, 田中,秀治

    日本機械学会第６回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　20pm1-A4　2014年

  108. INFRARED THERMAL IMAGING DEVICE USING SELF-SUSPENDED TEMPERATURE SENSITIVE PAINT

    M. Wang, T. Tsukamoto, S. Tanaka

    Proc. APCOT 2014 (Daegu, Korea)　2014年

  109. High spatial, temporal and temperature resolution thermal imaging method using Eu(TTA)$_3$  temperature sensitive paint 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    J. Micromech. Microeng.　23　(11)　114015　2013年11月

    DOI： 10.1088/0960-1317/23/11/114015 　

    ISSN：0960-1317 1361-6439

    eISSN：1361-6439

  110. サーマルイメージングデバイス用の感温塗料薄膜アレイデバイスの開発

    王, 敏, 塚本, 貴城, 田中, 秀治

    日本機械学会第５回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　7AM2-D-4　2013年

  111. INFRARED-TO-VISIBLE TRANSDUCER USING TEMPERATURE SENSITIVE EU(TTA)(3) ON SELF-SUSPENDED THIN FILM FOR INEXPENSIVE THERMAL IMAGING DEVICE

    T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

    26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013)　421-424　2013年

    DOI： 10.1109/MEMSYS.2013.6474268 　

    ISSN：1084-6999

  112. Thermal imaging using temperature sensitive paint for high speed thermal phenomena at microscale

    Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    Proceedings of The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS　2013年

  113. Thermal imaging using temperature sensitive paint

    Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    Proceedings of ICFD OS-5 Global/Local Innovations for Next Generation Automobiles　2013年

  114. Micro Thermal Diode with Glass Thermal Insulation Structure Embedded in Vapor Chamber

    T. Hirayanagi, T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

    13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2013)　476　2013年

    DOI： 10.1088/1742-6596/476/1/012019 　

    ISSN：1742-6588

  115. Microfabrication of a Polymer Based Bi-Conductive Membrane for a Polymer Electrolyte Membrane Fuel Cell

    S. Hamel, T. Tsukamoto, S. Tanaka, L. G. Frechette

    13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2013)　476　2013年

    DOI： 10.1088/1742-6596/476/1/012109 　

    ISSN：1742-6588

  116. Patternable temperature sensitive paint using Eu(TTA)3 for the micro thermal imaging

    T. Tsukamoto, S. Tanaka

    Journal of Physics: Conference Series　476　(1)　12073　2013年

    出版者・発行元： Institute of Physics Publishing

    DOI： 10.1088/1742-6596/476/1/012073 　

    ISSN：1742-6596 1742-6588

  117. Magnetocaloric cooling of a thermally-isolated microstructure 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　22　(9)　94008　2012年9月

    DOI： 10.1088/0960-1317/22/9/094008 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  118. EXPERIMENTAL ESTIMATION OF COOLING POWER OF A SOLID STATE MICRO MAGNETIC REFRIGERATOR USING La(FexSi1-x)(13)H-y

    T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

    2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)　2012年

    DOI： 10.1109/MEMSYS.2012.6170410 　

    ISSN：1084-6999

  119. MAGNETIC COOLING OF A THERMALLY-ISOLATED MICROSTRUCTURE

    Takashiro Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

    Technical Digest of PowerMEMS 2011, The 11th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion　193-196　2011年11月

  120. A micro thermal switch with a stiffness-enhanced thermal isolation structure 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　21　(10)　104008　2011年10月

    DOI： 10.1088/0960-1317/21/10/104008 　

    ISSN：0960-1317

  121. MICRO THERMAL SWITCH WITH STIFFNESS ENHANCED THERMAL ISOLATION STRUCTURE

    Takashiro Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

    Technical Digest of PowerMEMS 2010 (The 10th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications), Oral Sessions　154-156　2010年12月

  122. Carbon-Nanotube-Enhanced Thermal Contactor in Low Contact Pressure Region 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS　49　(7)　70210　2010年

    DOI： 10.1143/JJAP.49.070210 　

    ISSN：0021-4922

  123. Long working range mercury droplet actuation 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING　19　(9)　94016　2009年9月

    DOI： 10.1088/0960-1317/19/9/094016 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  124. Low contact resistance micro thermal switch with carbon-nanotube-enhanced contactor

    T. Tsukamoto, M. Esashi, S. Tanaka

    TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems　1489-1492　2009年

    DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285797 　

  125. Mercury droplet actuation using new design of electrodes for long working range

    Takashiro Tsukamoto, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

    Proceedings of PowerMEMS 2008　2008年

  126. Basic Study on Heat Rejection System Using High Heat Flux Micro Channel Evaporator 査読有り

    Ryoji Imai, Takashiro Tsukamoto

    MICROGRAVITY SCIENCE AND TECHNOLOGY　19　(3-4)　30-32　2007年10月

    DOI： 10.1007/BF02915742 　

    ISSN：0938-0108

  127. チタン合金材の低サイクル疲労挙動

    中村 寛, 山下 洋一, 黒木 博史, 篠崎 正治, 塚本 貴城

    日本機械学会年次大会講演論文集　335-336　2007年

  128. Thermal characteristics of a high heat flux micro-evaporator 査読有り

    Takashiro Tsukamoto, Ryoji Imai

    EXPERIMENTAL THERMAL AND FLUID SCIENCE　30　(8)　837-842　2006年8月

    DOI： 10.1016/j.expthermflusci.2006.03.013 　

    ISSN：0894-1777

  129. Study of Plate Type Evaporator with Communication Wick

    Haruo Kawasaki, Ryoji Imai, Takashiro Tsukamoto, Kengou Ohkubo

    INTERNATIONAL JOURNAL OF MICROGRAVITY SCIENCE AND APPLICATION　23　(2)　74-79　2006年

    ISSN：0915-3616

    eISSN：2188-9783

  130. SSPSジェネレータ側2相熱制御ループ用コンデンサ部伝熱特性試験

    塚本 貴城, 今井 良二, 大久 保堅剛, 大西 寛二, 川崎 春夫, 森 雅裕

    日本混相流学会年会講演会講演論文集　81-82　2004年

  131. 軌道上極低温液体再補給技術に関する熱力学解析および地上重力実験

    今井 良二, 塚本 貴城, 河南 治, 東 久雄

    日本混相流学会年会講演会講演論文集　73-74　2004年

  132. 軌道上極低温液体再補給技術に関する熱力学解析および地上重力実験

    今井 良二, 塚本 貴城, 河南 治, 東 久雄

    第４７回宇宙科学技術連合講演会　510-515　2003年

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MISC 6

  1. MEMS振動型ジャイロスコープ

    塚本 貴城

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌　139　(3)　160-163　2019年

  2. 国際会議報告：IEEE Inertial Sensors & Systems 2017報告

    塚本 貴城

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌　137　(8)　NL8_1-NL8_1　2017年

  3. MEMS 技術を用いた非冷却赤外線熱イメージセンサ

    塚本 貴城

    金属　85　(9)　708-715　2015年8月

  4. 国際会議報告：PowerMEMS 2014 国際会議報告

    塚本 貴城

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　135　(4)　NL4_1-NL4_1　2015年

  5. 特集 宇宙用展開ラジエータと関連熱・構造技術 将来型宇宙機熱管理システム向けエバポレータおよびコンデンサの研究開発

    今井 良二, 塚本 貴城, 大久保 堅剛

    日本航空宇宙学会誌　55　(637)　43-47　2007年2月

    出版者・発行元： 日本航空宇宙学会

    ISSN： 0021-4663

  6. SSPSジェネレータ側2相熱制御ループ用コンデンサ部伝熱特性試験

    塚本 貴城, 今井 良二, 大久保 堅剛, 大西 寛治, 川崎 春夫, 森 雅裕

    JASMA : Journal of the Japan Society of Microgravity Application = 日本マイクログラビティ応用学会誌　21　36-36　2004年11月4日

    ISSN： 0915-3616

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書籍等出版物 1

  1. センサフュージョン技術の開発と応用事例 ～自動運転車、協働ロボットへ向けて～

    田中 秀治, 塚本 貴城

    技術情報協会　2019年1月

    ISBN: 9784861047367

講演・口頭発表等 51

  1. Dynamically Balanced Out-of-Plane Resonator for Roll/Pitch Rate Integrating Gyroscope

    Shihe Wang, Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」　2019年11月19日

  2. Fabrication method of micromachined quartz glass resonator using temporal Au supporting structures

    Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Muhammad Salman Al Farisi, Shuji Tanaka

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2019年11月19日

  3. Quality Factor Trimming Method Using Thermoelastic Dissipation for Ring-Shape MEMS Resonator

    Abdelli Hamza, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2019年11月19日

  4. PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」　2019年11月19日

  5. Investigation of Mechanical and Electrical Properties of Electroplated Aluminum Film from AlCl3-[EMIm]Cl Ionic Liquid

    Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」　2019年11月19日

  6. 積分型MEMSジャイロスコープの高性能化のための非対称性補償の自動化方法

    塚本貴城, 田中秀治

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム」　2019年11月19日

  7. 高精度MEMS積分ジャイロスコープのための構造不完全性補償方法

    塚本貴城, 田中秀治

    機械学会2019年度年次大会　2019年9月8日

  8. Automated Frequency and Quality Factor Mismatch Compensation Method for MEMS Rate Integrating Gyroscope 国際会議

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Transducers 2019　2019年6月23日

  9. MEMS Rate Integrating Gyroscope with Temperature Corrected Virtual Rotation 国際会議

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    IEEE Inertial 2019　2019年4月1日

  10. 周波数変調・積分ジャイロスコープのための周波数・Q値の自動マッチング手法の開発

    塚本貴城, 田中秀治

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム」　2018年10月30日

  11. 集束イオンビームを用いたモードマッチMEMSジャイロスコープのトリミング法

    陳 建霖, 塚本 貴城, 田中 秀治

    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2018年10月30日

  12. Aptamer-Based Allergen Sensing System for Food Safety

    Abdelli Hamza, Takashiro Tsukamoto, Takahiro Ito, Kumi Y. Inoue, Tomokazu Matsue, Shuji Tanaka

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム」　2018年10月30日

  13. 仮想回転を用いた高バイアス安定CW/CCWモード分離型MEMS積分ジャイロスコープ

    塚本貴城, 田中秀治

    機械学会年次大会　2018年9月11日

  14. 仮想回転を用いた高バイアス安定CW/CCWモード分離型MEMS積分ジャイロスコープ

    塚本貴城, 田中秀治

    機械学会年次大会　2018年9月9日

  15. Virtually Rotated MEMS Whole Angle Gyroscope using IndependentlyControlled CW/CCW Oscillations 国際会議

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    IEEE Inertial 2018　2018年3月26日

  16. On-Chip Polyaniline Electrochromic Microdisplay for Disposable Bio-Sensing Chip 国際会議 招待有り

    T. Tsukamoto, Y. Zhu, S. Tanaka

    The 24th International Display Workshops　2017年12月6日

  17. モードミスマッチ補償機構を組み込んだCW/CCWモード分離型MEMS積分ジャイロスコープ

    塚本貴城, 田中秀治

    日本機械学会第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2017年10月31日

  18. CW・CCWモード分離器を用いた周波数変調・積分型MEMSジャイロスコープ

    塚本貴城, 田中秀治

    日本機械学会2017年度年次大会　2017年9月3日

  19. Polyaniline Electrochromic Micro-Display Powered by On-Chip Mg/AgCl Battery for Wireless Data Transfer of Disposable Bio-Sensing Chip 国際会議

    Yanjun Zhu, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Transducers 2017　2017年6月18日

  20. {FM}/Rate Integrating MEMS Gyroscope using Independently Controlled {CW}/{CCW} Mode Oscillations on a Single Resonator 国際会議

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    IEEE Inertial 2017　2017年3月27日

  21. Fully-Differential Single Resonator FM/Whole angle Gyroscope using CW/CCW Mode Separator 国際会議

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    MEMS 2017　2017年1月22日

  22. Thermal Imaging Device using Temperature Sensitive Phosphor 国際会議

    Takashiro Tsukamoto, Min Wang, Shuji Tanaka

    JSPS-FZ-Juelich Workshop　2016年11月24日

  23. Vapor Chamber Type Micro Thermal Diode 国際会議

    Takashiro Tsukamoto, Takashi Hirayanagi, Shuji Tanaka

    the 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS　2016年9月21日

  24. Disposable wireless bio-sensor for daily health examination system 国際会議 招待有り

    T. Tsukamoto, Y. Zhu, S. Tanaka

    2016 IEEE 16th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO)　2016年8月22日

  25. Printable On-Chip Micro Battery For Disposal Bio-Sensing Device 国際会議

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

    Power MEMS 2015　2015年12月1日

  26. 使い捨てバイオセンサチップのためのオンチップバッテリの開発

    塚本,貴城, 田中,秀治

    日本機械学会第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2015年10月28日

  27. HIGH PERFORMANCE TEMPERATURE SENSITIVE PAINT FOR OPTICAL READOUT INFRARED THERMAL IMAGING DEVICE S

    王,敏, 塚本,貴城, 田中,秀治

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演論文集　2015年10月28日

  28. マイクロ熱ダイオードのための作動流体封止方法の検討

    佐藤,功一, 塚本,貴城, 田中,秀治

    日本機械学会年度年次大会講演論文集　2015年9月13日

  29. 真空蒸着Eu(TTA)3薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー

    王,敏, 塚本,貴城, 田中,秀治

    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　2015年7月3日

  30. RING-SHAPE SMA MICRO ACTUATOR WITH PARYLENE RETENTION SPRING FOR LOW POWER CONSUMPTION, LARGE DISPLACEMENT LINEAR ACTUATION 国際会議

    Transducers 2015　2015年6月21日

  31. Thermal Imaging Devices using Eu(TTA) 3 -based Infrared-to-Visible Conversion Thin Film Array 国際会議

    Smart System Integration　2015年3月11日

  32. IR Thermal Imaging Device using Photo-Patternable Temperature Sensitive Paint 国際会議

    Power MEMS 2014　2014年11月18日

  33. 感温塗料を用いた赤外線熱イメージングデバイスのためのディジタルフィルタの開発

    塚本 貴城, 王 敏, 田中 秀治

    日本機械学会第６回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2014年10月20日

  34. 使い捨て免疫検査チップのためのオンチップバッテリの基本構成

    木村,優斗, 塚本,貴城, 石川,智弘, 田中,秀治

    日本機械学会第６回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　2014年10月20日

  35. 光パターニング可能な感温塗料をもちいた 赤外線熱イメージングデバイスの開発

    塚本 貴城, 王 敏, 田中 秀治

    機械学会年次大会2014　2014年9月8日

  36. 光パターニング可能な感温塗料をもちいた赤外線熱イメージングデバイスの開発

    塚本 貴城, 王 敏, 田中 秀治

    日本機械学会年度年次大会　2014年9月7日

  37. Patternable temperature sensitive paint using Eu(TTA)3 for the micro thermal imaging 国際会議

    PowerMEMS2013　2013年12月3日

  38. サーマルイメージングデバイス用の感温塗料薄膜アレイデバイスの開発

    王 敏, 塚本 貴城, 田中 秀治

    日本機械学会第５回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　2013年11月5日

  39. Infrared-to-visible transducer using temperature sensitive Eu(TTA)3 on self-suspended thin film for inexpensive thermal imaging device 国際会議

    MEMS2013　2013年1月20日

  40. High spatial, temporal and temperature resolution thermal imaging method using Eu(TTA)3 temperature sensitive paint 国際会議

    PowerMEMS2012　2012年12月2日

  41. Experimental estimation of cooling power of as solid state micro magnetic refrigerator using La(FexSi1-x)13Hy 国際会議

    MEMS 2012　2012年1月29日

  42. Magnetocaloric cooling of a thermally-isolated microstructure 国際会議

    PowerMEMS2011　2011年11月15日

  43. Micro thermal switch with stiffness enhanced thermal isolation structure 国際会議

    PowerMEMS 2010　2010年11月30日

  44. Low contact resistance micro thermal switch with carbon-nanotube-enhanced contactor 国際会議

    Transducers 2009　2009年6月21日

  45. Mercury droplet actuation using new design of electrodes for long working range 国際会議

    PowerMEMS2008　2008年11月9日

  46. Long working range mercury droplet actuation 国際会議

    APCOT2008　2008年6月22日

  47. チタン合金材の低サイクル疲労挙動

    中村, 寛, 山下, 洋一, 黒木, 博史, 篠崎, 正治, 塚本, 貴城

    日本機械学会年次大会講演論文集　2007年9月9日

  48. Thermal characteristics of the high heat flux micro evaporator 国際会議

    ECI Conference on Heat Transfer and Fluid Flow in Microscale　2005年9月25日

  49. SSPSジェネレータ側2相熱制御ループ用コンデンサ部伝熱特性試験

    塚本 貴城, 今井 良二, 大久 保堅剛, 大西 寛二, 川崎 春夫, 森 雅裕

    日本混相流学会年会講演会　2004年8月5日

  50. 軌道上極低温液体再補給技術に関する熱力学解析および地上重力実験

    今井 良二, 塚本 貴城, 河南 治, 東 久雄

    日本混相流学会年会講演会講演論文集　2004年8月5日

  51. 軌道上極低温液体再補給技術に関する熱力学解析および地上重力実験

    今井 良二, 塚本 貴城, 河南 治, 東 久雄

    第４７回宇宙科学技術連合講演会　2003年11月17日

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産業財産権 20

  1. 熱弾性効果を用いたQ値ミスマッチの補償方法

    塚本 貴城, 田中 秀治

    産業財産権の種類: 特許権

  2. MEMSジャイロスコープの周波数・Q値自動マッチング方法

    塚本 貴城, 田中 秀治

    産業財産権の種類: 特許権

  3. アレルゲンセンシングシステム

    田中 秀治, 塚本 貴城, ABDELLI HAMZA, 井上 久美, 伊藤 隆広

    産業財産権の種類: 特許権

  4. ウェハレベル高真空封止技術

    鈴木 裕輝夫, 田中 秀治, 塚本 貴城

    産業財産権の種類: 特許権

  5. 積分型ジャイロ装置および積分型ジャイロ装置の制御方法

    塚本 貴城, 田中 秀治

    産業財産権の種類: 特許権

  6. 電気機器

    青木 亮, 渋谷 真琴, 塚本 貴城, 田中 秀治

    産業財産権の種類: 特許権

  7. SENSOR CHIP, DETECTION SYSTEM, AND METHOD OF DETECTING TARGET SUBSTANCE IN ANALYTE

    Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka, Tomohiro Ishikawa

    産業財産権の種類: 特許権

  8. ジャイロ装置およびジャイロ装置の制御方法

    塚本 貴城, 田中 秀治

    特許第6559327

    産業財産権の種類: 特許権

  9. ジャイロ装置およびジャイロ装置の制御方法

    塚本 貴城, 田中 秀治

    産業財産権の種類: 特許権

  10. ジャイロ装置およびジャイロ装置の制御方法

    塚本 貴城, 田中 秀治

    産業財産権の種類: 特許権

  11. 振動機構、スペックル解消素子

    藤村 康浩, 田中 秀治, 塚本 貴城

    産業財産権の種類: 特許権

  12. センサチップ、検出システム、及び、検出方法

    塚本 貴城, 田中 秀治, 石川 智弘

    産業財産権の種類: 特許権

  13. 凝縮器

    塚本 貴城, 今井 良二

    産業財産権の種類: 特許権

  14. 蒸気発生器

    加藤 壮一郎, 塚本 貴城

    産業財産権の種類: 特許権

  15. エネルギー生産装置

    山村 隼志, 石田 大典, 米山 夏樹, 坂元 理絵, 塚本 貴城

    産業財産権の種類: 特許権

  16. 熱動弁

    塚本 貴城, 今井 良二, 高橋 克巳, 中島 勇人, 柴森 康裕

    産業財産権の種類: 特許権

  17. 冷却方法及び装置

    太田 稔智, 徳永 千恵子, 塚本 貴城, 今井 良二, 藤田 浩一

    産業財産権の種類: 特許権

  18. 熱制御装置、改質装置及び燃料電池

    塚本 貴城, 今井 良二, 居橋 渉, 島 勇人, 高橋 克巳

    産業財産権の種類: 特許権

  19. 冷却方法及び装置

    塚本 貴城, 今井 良二

    産業財産権の種類: 特許権

  20. 蒸気発生方法及び装置

    塚本 貴城, 今井 良二, 高橋 克巳, 居橋 渉

    産業財産権の種類: 特許権

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共同研究・競争的資金等の研究課題 8

  1. 2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用

    田中 秀治, 塚本 貴城

    2022年4月1日 ～ 2025年3月31日

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    本研究では、付加的なマスを有する2+1マスMEMS共振子を設計・試作し、実験的評価を行ってきた。この2+1マスMEMS共振子の応用としては振動ジャイロがある。振動ジャイロの高性能化の方法論としてモードマッチングが知られているが、特に周波数変調ジャイロでは、直交2軸の周波数とQ値の両方をマッチングさせる必要がある。周波数は静電アクチュエータにバイアス電圧を印加することによって静電ばね効果を発現させ、容易にチューニングできる。一方、Q値については、チューニング方法はあるものの周波数と独立にチューニングすることは難しい。 本年度は、2+1マスMEMS共振子を用いて周波数とQ値を独立に制御する方法を研究した。ここで新たに提案する方法は、ばねを介してカップリングする2つのマスを有する2自由度振動系に付加的な第三のマスをばねを介して接続し、第三のマスが構成する振動系のスクイーズドフィルムダンピング（SFD）によってQ値をチューニングするものである。普通の2自由度系振動系と同様に第一、第二のマスは、in-phase、out-of-phaseの2つのモードで振動するが、第三のマスの振動は主にin-phaseモードとカップリングする。この共振子を適切に設計し、各ばねを静電的に調整すると、out-of-phaseモードの周波数と振幅比にほとんど影響を与えずに、第三のマスの振動を介してout-of-phaseモードのエネルギーをSFDによって損失させ、Q値を制御できる。 振動ジャイロへの応用を想定し、2+1マスMEMS共振子を直交2軸に配置した共振子を設計、作製し、上述の理論を実験的に実証した。この成果は、直交2軸共振子の周波数とQ値をほぼ独立に制御し、周波数とQ値の両方についてモードマッチングができることを実証したもので、MEMS振動ジャイロの高性能化に資する。

  2. 2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用

    田中 秀治, 塚本 貴城

    2022年4月1日 ～ 2025年3月31日

  3. 零熱膨張ガラスの熱弾性散逸機構の解明とそのデバイス応用

    塚本 貴城

    2021年4月1日 ～ 2024年3月31日

    詳細を見る 詳細を閉じる

    本研究では，熱膨張率がほぼ零である結晶化ガラスを用いて，MEMS振動子の品質係数（Q値）を向上させるための研究を行う．MEMS振動子の性能を制限するもののひとつに熱弾性損失によるエネルギー損失がある．熱弾性損失の大きさは熱膨張率の2乗に比例するため，熱膨張率が小さい材料を用いることは，振動子の品質向上に大きく貢献する．しかしながら，零熱膨張ガラスを微細加工して，その振動特性を報告した例は無く，その加工特性や，熱弾性損失については不明な点が多い．そこで，本研究では，まずはじめに，零熱膨張ガラスの微細加工技術について検討する．微細加工の方法として，溶液を使ったエッチング，反応性イオンエッチング，モールディング，ガラス吹き加工などが考えられるので，それらを比較検討し，実験により検証する． 今年度は，反応性イオンエッチングについて主に検討を行い，エッチングマスクの作製方法，エッチングのための条件を検討し，最終的にエッチング形状，エッチングレート等について明らかにした．その結果，エッチングマスクとしては，電気めっきしたニッケル厚膜が十分に用を成すことがわかった．また，石英ガラスと同等の条件の下でエッチングが可能であることがわかった．表面形状については，含まれる不純物によると思われる微細な凹凸がみられ，側壁に若干のテーパが付くことがわかったが，エッチングレートは石英ガラスとほぼ同等であり，微細加工に十分適用可能であることがわかった．

  4. 圧電薄膜アクチュエータの高安定・高信頼性センシングと高精度制御

    田中 秀治, 吉田 慎哉, 塚本 貴城

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究機関：Tohoku University

    2018年4月1日 ～ 2021年3月31日

    詳細を見る 詳細を閉じる

    圧電MEMSアクチュエーターの位置決め精度と信頼性を確保する方法として，PZT圧電MEMSに埋め込みSiピエゾ抵抗センサーを適用する技術を実証した。デバイスを試作し，感度やノイズを評価するとともに，当該センサーを用いて振幅の制御を行った。 エピタキシャルPZT系薄膜については，その信頼性にとって最も問題であるクラックと絶縁破壊に焦点を当てて研究した。クラックと絶縁破壊を減らす方法を実験によって確認したが，圧電性能との両立が課題である。圧電性能を上げるため，SmドープPMN-PTのSi基板上へのエピタキシャル成長も試みた。最終的にPZTバッファー層を用いた分割スパッタ成膜法で良好な圧電性能を得た。

  5. 蒸発と凝縮が混在するマイクロスケール閉鎖系の伝熱特性の解明 競争的資金

    塚本 貴城

    2019年4月 ～ 2021年3月

  6. 周波数変調・積分型MEMSジャイロスコープの開発 競争的資金

    塚本 貴城

    2017年10月1日 ～ 2020年9月30日

  7. 濡れ性制御技術を用いた高性能小型熱ダイオードの研究開発 競争的資金

    塚本 貴城

    2016年12月13日 ～ 2017年12月31日

  8. MEMS技術に基づく熱スイッチ，およびそれを用いたマイクロ磁気冷凍システムの開発 競争的資金

    塚本 貴城

    2009年4月 ～ 2012年3月

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担当経験のある科目(授業) 8

  1. Microengineering for Biomechanodevices　Tohoku Univ.

  2. 製図II　東北大学

  3. 人と機械のハーモニー　東北大学

  4. 数理情報学演習　東北大学

  5. 電気工学実験　東北大学

  6. コンピューター実習　東北大学

  7. 創造工学研修　東北大学

  8. 学生実験　東北大学

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