研究者詳細

顔写真

ミゾシリ　ミズエ
溝尻　瑞枝
Mizue Mizoshiri
所属
大学院工学研究科　ファインメカニクス専攻　材料メカニクス講座（知能システム工学分野）
職名
教授
学位

  • 博士（工学）（大阪大学）

  • 修士（工学）（大阪大学）

  • 学士（工学）（大阪大学）

e-Rad 研究者番号
70586594
プロフィール

MIZUE MIZOSHIRI, received her BS, MS, and Ph.D degrees in materials and manufacturing science from Osaka University in 2005, 2007, and 2010, respectively. She was appointed a Research Scientist in National Institute of Advanced Industrial Science and Technology in 2010, an Assistant Professor at Nagoya University, a Specially Appointed Associate Professor for Academia-Industry Fusion at Nagaoka University of Technology in 2018, and an Associate Professor of Micro-Nano Processing Laboratory at Nagaoka University of Technology in 2020. At present, shi is a Professor in Department of Finemechanics at Tohoku University. Her research interests include ultrafast laser processing, three-dimensional microfabrication, and their application to fabricating microdevices.

経歴 8

  • 2026年4月 ～ 継続中
    工学研究科　ファインメカニクス専攻　教授

  • 2022年4月 ～ 2026年3月
    長岡技術科学大学　技学研究院 機械系　准教授

  • 2020年4月 ～ 2022年3月
    長岡技術科学大学　大学院工学研究科 機械創造工学専攻　准教授

  • 2018年3月 ～ 2020年3月
    長岡技術科学大学　産学融合トップランナー養成センター　産学融合特任准教授

  • 2017年4月 ～ 2018年2月
    名古屋大学　大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻 マイクロ・ナノシステム　助教

  • 2013年7月1日 ～ 2017年3月31日
    名古屋大学　大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 集積機械デバイス　助教

  • 2010年4月 ～ 2013年6月
    独立行政法人産業技術総合研究所　サステナブルマテリアル研究部門　研究員

  • 2008年4月 ～ 2010年3月
    日本学術振興会　特別研究員（DC2）

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学歴 3

  • 大阪大学　工学研究科　マテリアル生産科学専攻

    2007年4月1日 ～ 2010年3月23日

  • 大阪大学　工学研究科　マテリアル生産科学専攻

    2005年4月1日 ～ 2007年3月24日

  • 大阪大学　工学部　応用理工学科

    2001年4月1日 ～ 2005年3月23日

委員歴 27

  • レーザ加工学会編集委員会　編集委員

    2016年4月 ～ 継続中

  • 一般社団法人電気学会　多様化するレーザプロセシングとその応用調査専門委員会 幹事

    2026年3月 ～ 2028年2月

  • LPM2027 (The 28th International Symposium on Laser Precision Microfabrication) Program Committee, Treasurer Sub-Leader

    2025年9月 ～ 2027年7月

  • 第105回レーザ加工学会講演会プログラム委員会　委員

    2026年7月 ～ 2027年3月

  • 応用物理学会　代議員

    2025年4月 ～ 2027年3月

  • LAMP2025 (The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing) Program Committee, Treasurer Sub-Leader

    2024年11月 ～ 2025年10月

  • レーザー学会学術講演会第45回年次大会プログラム委員Dレーザープロセッシング主査

    2024年11月 ～ 2025年3月

  • LPM2024 (The 25th International Symposium on Laser Precision Microfabrication) Program Committee

    2023年11月 ～ 2024年10月

  • 日本機械学会2023年度マイクロ・ナノ工学部門運営委員会委員

    2023年4月 ～ 2024年3月

  • レーザー学会学術講演会第44回年次大会プログラム委員Dレーザープロセッシング副査

    2023年4月 ～ 2024年3月

  • 応用物理学会機関紙企画・編集委員

    2022年4月 ～ 2024年3月

  • 16th International Conference on Laser Ablation (COLA2021)実行委員会　実行委員

    2019年11月 ～ 2022年12月

  • 日本機械学会2022年度年次大会実行委員会部門代表委員（マイクロ・ナノ工学部門）

    2021年1月 ～ 2022年9月

  • 応用物理学会大分類3　プログラム委員

    2019年9月 ～ 2022年9月

  • 日本機械学会2021年度マイクロ・ナノ工学部門運営委員委員

    2021年4月 ～ 2022年3月

  • 応用物理学会若手多様性チャプター　副代表

    2019年9月 ～ 2022年3月

  • LPM2020第22回レーザ精密微細加工国際シンポジウム実行委員会委員

    2020年9月 ～ 2021年9月

  • 日本機械学会LAJ委員会　委員

    2017年4月 ～ 2020年3月

  • MEMSのためのナノ加工技術調査専門委員会　委員

    2016年7月1日 ～ 2018年6月30日

  • 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 第8技術委員会（企画・産学交流関係）　委員

    2016年4月1日 ～ 2018年3月31日

  • LPM2017第18回レーザ精密微細加工国際シンポジウム実行委員会　実行委員

    2016年1月27日 ～ 2017年9月30日

  • 第87回レーザ加工学会講演会プログラム委員会　委員

    2016年10月 ～ 2017年4月5日

  • 公益社団法人精密工学会 出版部会／会誌編集委員会　委員

    2014年4月1日 ～ 2017年3月31日

  • 第85回レーザ加工学会講演会プログラム委員会　委員

    2015年12月 ～ 2016年6月

  • 第84回レーザ加工学会講演会プログラム委員会　委員

    2015年6月 ～ 2016年1月

  • 第83回レーザ加工学会講演会プログラム委員会　委員

    2014年12月 ～ 2015年6月

  • 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 第6技術委員会（将来計画関係）　幹事

    2014年4月1日 ～ 2015年3月31日

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所属学協会 6

  • 精密工学会

  • レーザー学会

  • レーザ加工学会

  • 日本機械学会

  • SPIE

  • 応用物理学会

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研究キーワード 3

  • MEMS

  • 薄膜熱電デバイス

  • レーザ微細加工

研究分野 1

  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 /

受賞 12

  1. Photonics 100 2026

    2025年9月　Electro Optics

  2. 令和２年度科学技術分野の文部科学大臣表彰若手科学者賞

    2020年4月　文部科学省　フェムト秒レーザ光熱還元3次元金属微細造形に関する研究

  3. Best Poster Award

    2019年12月　30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science(From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2019)　Femtosecond laser direct-writing technique using reduction of glyoxylic acid metal complexes

  4. 奨励論文賞

    2018年4月　公益財団法人 天田財団　非線形光吸収を利用した酸化物銅ナノ粒子の金属還元3次元微細加工法の基礎的研究

  5. 女性研究者研究業績・人材育成賞（小舘香椎子賞）研究業績部門（若手）

    2018年3月　応用物理学会

  6. 第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 優秀講演論文表彰

    2018年2月　日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門　CuO/NiO混合ナノ粒子のフェムト秒レーザ還元を用いたpn熱電対の選択描画

  7. 第10回資生堂女性研究者サイエンスグラント

    2017年7月　株式会社資生堂

  8. 第83回レーザ加工学会講演会優秀ポスター賞

    2015年6月11日　一般社団法人レーザ加工学会

  9. グローバルCOEプログラム「構造・機能先進材料デザイン教育研究拠点」第二回シンポジウム 最優秀ポスター賞

    2009年3月　大阪大学Global COE Program 構造・機能先進材料デザイン教育研究拠点

  10. グローバルCOEプログラム「構造・機能先進材料デザイン教育研究拠点」第一回シンポジウム 優秀ポスター賞

    2008年3月　大阪大学Global COE Program 構造・機能先進材料デザイン教育研究拠点

  11. The LPM2006Outstanding Student Paper Award-Oral

    2006年5月　The7th International Symposium on Laser Precision Microfabrication

  12. 平成16年度溶接学会奨学賞

    2005年3月　(社)溶接学会

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論文 54

  1. Identification of chemical driving force in phase-field simulations of particle growth 査読有り

    Takahiko Kurahashi, Yasuaki Iwamoto, Keita Kambayashi, Mizue Mizoshiri

    JSIAM Letters　18　21-24　2026年7月

    出版者・発行元：

    DOI： 10.14495/jsiaml.18.21 　

    ISSN：1883-0609

    eISSN：1883-0617

  2. Copper-based electrodes fabricated by GHz-burst femtosecond laser sintering of copper powders for non-enzymatic D-glucose detection

    Taiga Sasahara, Takayuki Tamaki, Koshiro Nakayama, Yudai Uchiyama, Mizue Mizoshiri

    Applied Physics A　132　(6)　2026年5月13日

    出版者・発行元： Springer Science and Business Media LLC

    DOI： 10.1007/s00339-026-09686-w 　

    ISSN：0947-8396

    eISSN：1432-0630

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    Abstract High-performance porous copper (Cu)-based electrochemical sensors could potentially be achieved using GHz-burst femtosecond laser sintering, which allows enhanced control over the oxidation state and surface area. In this study, porous Cu-based electrodes were fabricated by GHz-burst femtosecond laser sintering and their electrochemical performances were evaluated in the non-enzymatic detection of D-glucose. Electrodes were produced under different intra-pulse numbers ( N int  = 1, 2, 5, and 10), allowing control over both the extent of oxidation and the phase composition. At higher intra-pulse numbers, oxidation was effectively suppressed because of the reduced pulse intensity, whereas lower intra-pulse numbers promoted copper(I) oxide (Cu 2 O) formation through excessive heating. Electrochemical studies revealed that the Cu 2 O-containing electrode fabricated in the non-burst mode ( N int  = 1) exhibited superior catalytic activity, demonstrating enhanced sensitivity toward D-glucose compared with that achieved using Cu-rich electrodes. These results confirm that GHz-burst femtosecond laser sintering provides precise control over the Cu phases and porosity, offering a promising strategy for developing efficient non-enzymatic glucose sensors.

  3. Femtosecond laser multiple pulse-induced thermochemical copper precipitation from glyoxylic acid copper complex ink with surfactant 査読有り

    Nam Phuong Ha, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Journal of Physics D: Applied Physics　58　(10)　105302-105302　2025年3月10日

    DOI： 10.1088/1361-6463/ada2fa 　

    ISSN：0022-3727

    eISSN：1361-6463

  4. Influence of Ag nanoparticles on femtosecond laser-induced Cu precipitation from glyoxylic acid copper complex ink 査読有り

    Nam Phuong Ha, Huy Quang Tran, Kotaro Kibe, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Optics Express　33　(5)　10407-10418　2025年2月

    DOI： 10.1364/OE.550285 　

  5. Effect of CuO nanoparticle size distribution on Cu-based patterns fabricated via femtosecond laser-pulse-induced thermochemical reduction 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Kyohei Yoshidomi, Hirokazu Komatsu, Evgeniia M. Khairullina, Ilya Tumkin, Andreas Ostendorf

    Journal of Materials Science　59　(45)　21158-21172　2024年11月19日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1007/s10853-024-10423-y 　

    ISSN：0022-2461

    eISSN：1573-4803

  6. Size Effects of Copper(I) Oxide Nanospheres on Their Morphology on Copper Thin Films under Near-Infrared Femtosecond Laser Irradiation 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Thuan Duc Tran, Kien Vu Trung Nguyen

    Nanomaterials　14　(19)　1584-1584　2024年9月30日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.3390/nano14191584 　

    eISSN：2079-4991

  7. The Second Laser Revolution in Chemistry: Emerging Laser Technologies for Precise Fabrication of Multifunctional Nanomaterials and Nanostructures 査読有り

    Alina A. Manshina, Ilya I. Tumkin, Evgeniia M. Khairullina, Mizue Mizoshiri, Andreas Ostendorf, Sergei A. Kulinich, Sergey Makarov, Aleksandr A. Kuchmizhak, Evgeny L. Gurevich

    Advanced Functional Materials　34　2405457　2024年7月26日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1002/adfm.202405457 　

    ISSN：1616-301X

    eISSN：1616-3028

  8. Relation between Envelope Shape of GHz/MHz Burst-mode Femtosecond Laser Pulses and Laser-processed Shapes in Copper Sintering 査読有り

    Taiga Sasahara, Takayuki Tamaki, Takao Ota, Mitsuhiro Matsumoto, Mizue Mizoshiri

    Transactions on GIGAKU　11　(1)　1-8　2024年6月

  9. Effect of Cu2O nanosphere size on femtosecond laser reductive sintering/melting for Cu printing 査読有り

    Kien Vu Trung Nguyen, Yuuki Kobayashi, Thuan Duc Tran, Masateru Anzai, Mizue Mizoshiri

    Nano-Structures and Nano-Objects　36　2023年10月

    DOI： 10.1016/j.nanoso.2023.101062 　

    eISSN：2352-507X

  10. Investigation of potential of vacuum-free femtosecond laser sintering for direct printing using silicon carbide nanoparticles without inorganic binder 査読有り

    Tatsuru Kawabori, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Imai, Shohei Ueta, Xing Yan, Mizue Mizoshiri

    Applied Physics A: Materials Science and Processing　129　(7)　2023年7月

    DOI： 10.1007/s00339-023-06774-z 　

    ISSN：0947-8396

    eISSN：1432-0630

  11. The monitoring of oil production process by deep learning based on morphology in oleaginous yeasts 査読有り

    Yukina Kitahara, Ayaka Itani, Kazuma Ohtomo, Yosuke Oda, Yuka Takahashi, Makoto Okamura, Mizue Mizoshiri, Yosuke Shida, Toru Nakamura, Ryosuke Harakawa, Masahiro Iwahashi, Wataru Ogasawara

    Applied Microbiology and Biotechnology　107　(2-3)　915-929　2022年12月28日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1007/s00253-022-12338-7 　

    ISSN：0175-7598

    eISSN：1432-0614

  12. A real-time monitoring system for automatic morphology analysis of yeast cultivation in a jar fermenter 査読有り

    Yukina Kitahara, Ayaka Itani, Yosuke Oda, Makoto Okamura, Mizue Mizoshiri, Yosuke Shida, Toru Nakamura, Ken Kasahara, Wataru Ogasawara

    Applied Microbiology and Biotechnology　106　(12)　4683-4693　2022年6月

    DOI： 10.1007/s00253-022-12002-0 　

    ISSN：0175-7598

    eISSN：1432-0614

  13. グリオキシル酸コバルト錯体の調製とフェムト秒レーザパルス照射によるコバルト還元析出 査読有り

    溝尻瑞枝,中谷光,大石知司

    電気学会論文誌C　142　(4)　466-469　2022年4月1日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1541/ieejeiss.142.466 　

    ISSN：1348-8155 0385-4221

    eISSN：1348-8155

  14. Bonding of single-layered Cu2O nanospheres on Cu substrates in irradiating near-infrared femtosecond laser pulses 査読有り

    Shohei Murayama, Kien Vu Trung Nguyen, Masateru Anzai, Hideyuki Magara, Takahiro Nakamura, Mizue Mizoshiri

    Japanese Journal of Applied Physics　61　(SD)　2022年2月14日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.35848/1347-4065/ac54f1 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  15. Effect of substrates on femtosecond laser pulse-induced reductive sintering of cobalt oxide nanoparticles 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Kyohei Yoshidomi, Namsrai Darkhanbaatar, Evgenia M. Khairullina, Ilya I. Tumkin

    Nanomaterials　11　(12)　2021年12月

    DOI： 10.3390/nano11123356 　

    eISSN：2079-4991

  16. Femtosecond laser direct writing of Cu–Ni alloy patterns in ambient atmosphere using glyoxylic acid Cu/Ni mixed complexes 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Tomohide Hayashi, Junya Narushima, Tomoji Ohishi

    Optics and Laser Technology　144　2021年12月

    DOI： 10.1016/j.optlastec.2021.107418 　

    ISSN：0030-3992

  17. Cu patterning using femtosecond laser reductive sintering of CuO nanoparticles under inert gas injection 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Kyohei Yoshidomi

    Materials　14　(12)　2021年6月2日

    DOI： 10.3390/ma14123285 　

    eISSN：1996-1944

  18. Direct writing of cu patterns on polydimethylsiloxane substrates using femtosecond laser pulse-induced reduction of glyoxylic acid copper complex 査読有り

    Nam Phuong Ha, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Micromachines　12　(5)　2021年5月

    DOI： 10.3390/mi12050493 　

    eISSN：2072-666X

  19. Copper and nickel microsensors produced by selective laser reductive sintering for non-enzymatic glucose detection 査読有り

    Ilya I. Tumkin, Evgeniia M. Khairullina, Maxim S. Panov, Kyohei Yoshidomi, Mizue Mizoshiri

    Materials　14　(10)　2021年5月

    DOI： 10.3390/ma14102493 　

    eISSN：1996-1944

  20. Direct writing of Cu-based micropatterns inside Cu2O nanosphere films using green femtosecond laser reductive sintering 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Atsushi Tanokuchi

    Optical Materials Express　10　(10)　2533-2541　2020年10月1日

    DOI： 10.1364/OME.401676 　

    eISSN：2159-3930

  21. Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding 査読有り

    Ryo Morisaki, Yuuki Hirai, Chiemi Oka, Mizue Mizoshiri, Takahiro Yamazaki, Junpei Sakurai, Takami Hirai, Tomonori Takahashi, Hiroyuki Tsuji, Seiichi Hata

    Precision Engineering　62　106-112　2020年3月

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1016/j.precisioneng.2019.11.006 　

    ISSN：0141-6359

  22. Direct writing of two- and three-dimensional Cu-based microstructures by femtosecond laser reductive sintering of the Cu2O nanospheres 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Yukinari Kondo

    Optical Materials Express　9　(7)　2828-2837　2019年7月

    DOI： 10.1364/OME.9.002828 　

    eISSN：2159-3930

  23. Direct writing of copper micropatterns using near-infrared femtosecond laser-pulse-induced reduction of glyoxylic acid copper complex 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Keiko Aoyama, Akira Uetsuki, Tomoji Ohishi

    Micromachines　10　(6)　401　2019年6月1日

    DOI： 10.3390/mi10060401 　

    eISSN：2072-666X

  24. Direct writing of Cu-based fine micropatterns using femtosecond laser pulse-induced sintering of Cu2O nanospheres 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Yukinari Kondo

    Japanese Journal of Applied Physics　58　(SD)　264　2019年6月

    DOI： 10.7567/1347-4065/ab0545 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  25. Preparation of Nonspherical Monodisperse Polydimethylsiloxane Microparticles for Self-assembly Fabrication of Periodic Structures 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Yuuki Iijima, Seiichi Hata

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　139　(6)　132-136　2019年6月

    DOI： 10.1541/ieejsmas.139.132 　

    ISSN：1341-8939

    eISSN：1347-5525

  26. Fabrication of a Novel Nanoporous Film via Chemical Dealloying of a Cu–Cr Alloy for Sensing Moisture in Oil

    Yusuke Yoshii, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Journal of Microelectromechanical Systems　28　(2)　279-289　2019年4月

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1109/jmems.2019.2895164 　

    ISSN：1057-7157

    eISSN：1941-0158

  27. Effect of heat accumulation on femtosecond laser reductive sintering of mixed CuO/NiO nanoparticles 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Kenta Nishitani, Seiichi Hata

    Micromachines　9　(6)　264-1-264-10　2018年5月28日

    出版者・発行元： MDPI AG

    DOI： 10.3390/mi9060264 　

    ISSN：2072-666X

    eISSN：2072-666X

  28. Fabrication of Novel Nanoporous Films in Moisture-in-Oil Sensors via Chemical Dealloying of Cu-Cr using Combinatorial Search of Cu–Cr Alloy Compositions 査読有り

    Yusuke Yoshii, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    MRS Advances　3　(4)　225-232　2018年1月

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1557/adv.2018.198 　

    ISSN：2059-8521

    eISSN：2059-8521

  29. Selective fabrication of p-type and n-type thermoelectric micropatterns by the reduction of CuO/NiO mixed nanoparticles using femtosecond laser pulses 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Applied Physics A　124　(1)　2017年12月26日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1007/s00339-017-1489-x 　

    ISSN：0947-8396

    eISSN：1432-0630

  30. Ni-based composite microstructures fabricated by femtosecond laser reductive sintering of NiO/Cr mixed nanoparticles 査読有り

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics　56　(6S1)　06GN08-06GN08　2017年5月15日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.7567/jjap.56.06gn08 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  31. Direct writing of three-dimensional Cu-based thermal flow sensors using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiich Hata

    Journal of Micromechanics and Microengineering　27　(5)　055013-055013　2017年4月5日

    DOI： 10.1088/1361-6439/aa6820 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  32. Fabrication of thin-film thermoelectric generators with ball lenses for conversion of near-infrared solar light 査読有り

    Yoshitaka Ito, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Tasuku Kondo, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics　56　(6S1)　06GN06　2017年2月

  33. Fabrication of a Cr Nanoporous Thin Film via Sputter Deposition and Investigation of Its Applicability as a Water-oil Separation Electrode in a MEMS Moisture Sensor 査読有り

    Yusuke Yoshii, Yuuki Fukagawa, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines　137　(1)　15-22　2017年

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.15 　

    ISSN：1341-8939

    eISSN：1347-5525

  34. Three-dimensional Cu microfabrication using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Applied Physics Express　10　(1)　017201-1-017201-4　2016年12月

    出版者・発行元： Institute of Physics

    DOI： 10.7567/APEX.10.017201 　

    ISSN：1882-0778

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    Three-dimensional Cu microstructures were formed using a combined process of dispensing coating and femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles. Layer-by-layer lamination of two-dimensional Cu micropatterns was performed by alternately coating with a CuO nanoparticle solution and using direct laser writing, followed by the removal of nonirradiated CuO nanoparticles. The resistance of the 3D microstructures decreased as the number of layers increased, indicating that each layer was electrically connected to the others. We also demonstrated the fabrication of a microbridge heater composed of electrode pads and a microbridge, and found that its heating characteristics are suitable for use in microsensors, such as thermal-type flow sensors.

  35. Effect of Different Solvents on Cu Micropatterns Formed via Femtosecond Laser Reduction Patterning 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    International Journal of Automation Technology　10　(6)　934-940　2016年11月4日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.20965/ijat.2016.p0934 　

    ISSN：1881-7629

    eISSN：1883-8022

  36. Fabrication of CuO-based antireflection structures using self-arranged submicron SiO2 spheres for thermoelectric solar generation 査読有り

    Tasuku Kondo, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Yoshitaka Itou, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics　55　(6S1)　06GP07-06GP07　2016年5月11日

    DOI： 10.7567/jjap.55.06gp07 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  37. Direct fabrication of Cu/Cu2O composite micro-temperature sensor using femtosecond laser reduction patterning 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics　55　(6S1)　06GP05-06GP05　2016年5月10日

    DOI： 10.7567/jjap.55.06gp05 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  38. Direct writing of Cu-based micro-temperature detectors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Applied Physics Express　9　(3)　036701-036701　2016年1月28日

    DOI： 10.7567/apex.9.036701 　

    ISSN：1882-0778

    eISSN：1882-0786

  39. Reverse lift-off process and application for Cu-Zr-Ti metallic glass thick film structures 査読有り

    Shigetaka Watanabe, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    International Journal of Automation Technology　9　(6)　646-654　2015年11月1日

    出版者・発行元： Fuji Technology Press

    DOI： 10.20965/ijat.2015.p0646 　

    ISSN：1883-8022 1881-7629

  40. Fabrication process of antimony telluride and bismuth telluride micro thermoelectric generator 招待有り 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki

    International Journal of Automation Technology　9　(6)　612-618　2015年11月1日

    出版者・発行元： Fuji Technology Press

    DOI： 10.20965/ijat.2015.p0612 　

    ISSN：1883-8022 1881-7629

  41. Direct patterning of Cu microstructures using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction 査読有り

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Japanese Journal of Applied Physics　54　(6S1)　06FP07-06FP07　2015年5月1日

    DOI： 10.7567/jjap.54.06fp07 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  42. Evaluation of the Thermoelectric Module Consisting of W-Doped Heusler Fe2VAl Alloy 査読有り

    M. Mikami, M. Mizoshiri, K. Ozaki, H. Takazawa, A. Yamamoto, Y. Terazawa, T. Takeuchi

    JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS　43　(6)　1922-1926　2014年6月

    DOI： 10.1007/s11664-013-2910-7 　

    ISSN：0361-5235

    eISSN：1543-186X

  43. Lift-off patterning of thermoelectric thick films deposited by a thermally assisted sputtering method 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    Applied Physics Express　7　(5)　057101-057101　2014年4月23日

    DOI： 10.7567/apex.7.057101 　

    ISSN：1882-0778

    eISSN：1882-0786

  44. The effect of Cr buffer layer thickness on voltage generation of thin-film thermoelectric modules 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki

    Journal of Micromechanics and Microengineering　23　(11)　115016-1, 115016-9　2013年11月

    DOI： 10.1088/0960-1317/23/11/115016 　

    ISSN：0960-1317 1361-6439

  45. p-Type Sb2Te3and n-Type Bi2Te3Films for Thermoelectric Modules Deposited by Thermally Assisted Sputtering Method 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki

    Japanese Journal of Applied Physics　52　(6S)　06GL07-06GL07　2013年6月1日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.7567/jjap.52.06gl07 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  46. Thermal–Photovoltaic Hybrid Solar Generator Using Thin-Film Thermoelectric Modules 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki

    Japanese Journal of Applied Physics　51　(6S)　06FL07-06FL07　2012年6月1日

    DOI： 10.1143/jjap.51.06fl07 　

    ISSN：0021-4922

    eISSN：1347-4065

  47. Thin-Film Thermoelectric Modules for Power Generation Using Focused Solar Light 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Keizo Kobayashi

    Journal of Electronic Materials　41　(6)　1713-1719　2012年4月3日

    DOI： 10.1007/s11664-012-2047-0 　

    ISSN：0361-5235

    eISSN：1543-186X

  48. Large refractive index changes of a chemically amplified photoresist in femtosecond laser nonlinear lithography 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Yoshinori Hirata, Junji Nishii, Hiroaki Nishiyama

    Optics Express　19　(8)　7673-7673　2011年4月6日

    DOI： 10.1364/oe.19.007673 　

    ISSN：1094-4087

    eISSN：1094-4087

  49. Three-dimensional SiO2 surface structures fabricated using femtosecond laser lithography 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    Applied Physics A　98　(1)　171-177　2009年10月23日

    DOI： 10.1007/s00339-009-5446-1 　

    ISSN：0947-8396

    eISSN：1432-0630

  50. Microlens arrays of high-refractive-index glass fabricated by femtosecond laser lithography 査読有り

    Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Mizue Mizoshiri, Yoshinori Hirata

    Applied Surface Science　255　(24)　9750-9753　2009年9月

    DOI： 10.1016/j.apsusc.2009.04.064 　

    ISSN：0169-4332

  51. SiO2-Based Hybrid Diffractive–Refractive Lenses Fabricated by Femtosecond Laser-Assisted Micromachining 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Toshio Kawahara, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    Applied Physics Express　1　127001-127001　2008年12月5日

    DOI： 10.1143/apex.1.127001 　

    ISSN：1882-0778

    eISSN：1882-0786

  52. SiO2-based nonplanar structures fabricated using femtosecond laser lithography 査読有り

    Hiroaki Nishiyama, Mizue Mizoshiri, Toshio Kawahara, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    Optics Express　16　(22)　17288-17288　2008年10月13日

    DOI： 10.1364/oe.16.017288 　

    ISSN：1094-4087

    eISSN：1094-4087

  53. Field emission current and vacuum breakdown by a pointed cathode 査読有り

    Yoshinori Hirata, Kimihiro Ozaki, Uryo Ikeda, Mizue Mizoshiri

    Thin Solid Films　515　(9)　4247-4250　2007年3月

    DOI： 10.1016/j.tsf.2006.02.085 　

    ISSN：0040-6090

  54. カーボンナノチューブを成膜した針状電極による電界放出と真空絶縁破壊 査読有り

    平田 好則, 寺本 政由志, 溝尻 瑞枝, 池田 宇亨, 黄地 尚義, 尾崎 公洋

    高温学会誌　31　(3)　172-177　2005年

    出版者・発行元：

    DOI： 10.7791/jhts.31.172 　

    ISSN：0387-1096

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MISC 182

  1. Effect of polymer additives to glyoxylic acid copper complex ink on femtosecond laser pulse-induced thermochemical precipitation

    Kotaro Kibe, Ha Phuong Nam, Minori Takahashi, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Proceedings of The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LPM2025)　2025年6月13日

  2. Size effects of silicon carbide nanoparticles on high-repetition green femtosecond laser pulse-induced reductive sintering

    Hiroya Ishida, Kairi Nishisaka, Nozomu Matsumoto, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Imai, Shohei Ueta, Xing Yan

    Proceedings of The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LPM2025)　2025年6月11日

  3. Integrated three electrodes fabricated by femtosecond laser direct writing for flexible electrochemical sensors

    Shoto Mashiko, Yudai Uchiyama, Hirokazu Komatsu, Ilya Tumkin, Andreas Ostendorf, Mizue Mizoshiri

    Proceedings of The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LPM2025)　2025年6月11日

  4. Patterning properties of copper-based electrodes fabricated by GHz burst femtosecond laser sintering of copper powders

    Taiga Sasahara, Takayuki Tamaki, Koshiro Nakayama, Yudai Uchiyama, Ilya I. Tumkin, Andreas Ostendorf, Mizue Mizoshiri

    Proceedings of The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LPM2025)　2025年6月11日

  5. フェムト秒レーザ還元焼結を利用した金属材料直接描画 招待有り 査読有り

    溝尻 瑞枝

    光協会2024年度光技術動向調査報告書　2025年4月

  6. Cu micropatterning using femtosecond laser pulse-induced Cu precipitation of Ag nanoparticles added glyoxylic acid Cu complex ink

    Nam Phuong Ha, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Proceedings of The 25th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2024)　2024年6月

  7. Direct writing of copper-based electrodes using femtosecond laser reductive sintering of copper (II) oxide nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Kyohei Yoshidomi, Hirokazu Komatsu, Evgenia M. Khairullina, Ilya I. Tumkin

    Proceedings of the Lasers in Manufacturing (LiM2023)　2023年6月

  8. Influence of thermal diffusion on femtosecond laser pulse-induced copper precipitation from surfactant added glyoxylic acid copper complex ink

    Nam Phuong Ha, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Proceedings of the 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)　2023年6月

  9. Size effect of Cu2O nanospheres on femtosecond laser reductive sintering for copper-based patterning

    Mizue Mizoshiri, Kien Trung Vu Nguyen, Thuan Duc Tran, Ohsuke Mizutani

    Proceedings of the 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)　2023年6月

  10. Cu-based electrodes for non-enzymatic glucose detection fabricated by green femtosecond laser reductive sintering

    Hirokazu Komatsu, Kyohei Yoshidomi, Evgenia M. Khairullina, Ilya I. Tumkin, Mizue Mizoshiri

    Proceedings of the 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)　2023年6月

  11. Femtosecond laser direct writing using SiC nanoparticle ink containing finer nanoparticles

    Khaliun Amarsaikhan, Tatsuru Kawabori, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Imai, Shohei Ueta, Xing L. Yan, Mizue Mizoshiri

    Proceedings of the 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)　2023年6月

  12. 3次元Cu微細造形に向けたCu2O球状ナノ粒子のフェムト秒レーザーパルス誘起局所加熱接合 招待有り

    溝尻 瑞枝

    光アライアンス　34　(4)　22-26　2023年4月

  13. フェムト秒レーザ光熱還元描画を利用したセンサ試作 招待有り

    溝尻 瑞枝

    トライボロジスト　68　(1)　3-8　2023年1月

    DOI： 10.18914/tribologist.68.01_3 　

  14. フェムト秒レーザSiCナノ粒子焼結を用いた高密度SiCプリンティング

    川堀龍, 渡部雅, 今井良行, 植田祥平, YAN Xing, 溝尻瑞枝

    第29回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム論文集　2023年

  15. フェムト秒レーザー誘起光熱還元を利用した金属・金属酸化物の選択的直接描画 招待有り 査読有り

    溝尻 瑞枝

    応用物理　91　(10)　624-628　2022年10月

  16. Direct writing of metal/metal oxide microstructures using femtosecond laser pulse-induced photothermochemical reduction 招待有り 査読有り

    Mizue Mizoshiri

    JSAP Review　2022　220414　2022年6月

    DOI： 10.11470/jsaprev.220414 　

  17. Size effect of SiC nanoparticles on SiC patterning properties in green femtosecond laser direct writing

    Kairi Nishisaka, Amarsaikhan Khaliun, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Imai, Shohei Ueta, Xing Yan, Mizue Mizoshiri

    The 5th Smart Laser Processing Conference 2024 (SLPC2024)　2022年4月

  18. フェムト秒レーザ熱還元を用いた金属の大気中パターニング 招待有り 査読有り

    溝尻 瑞枝

    トライボロジスト　66　(10)　750-755　2021年10月

    DOI： 10.18914/tribologist.66.10_750 　

  19. レーザ光熱還元を利用した金属・半導体の大気中描画技術 招待有り 査読有り

    溝尻 瑞枝

    設計工学　55　(11)　659-663　2020年11月

  20. フェムト秒レーザ還元直接描画法によるパターニングおよび３D金属微細造形の取り組み 招待有り

    溝尻 瑞枝

    コンバーテック　48　(4)　94-97　2020年4月

  21. Femtosecond laser direct-writing technique using reduction of glyoxylic acid metal complexes

    Mizue Mizoshiri, Junya Narushima, Tomoyuki Imakita, Hikaru Nakatani, Akira Uetsuki, Tomoji Ohishi

    2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)　1-3　2019年12月1日

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mhs48134.2019.9249356 　

  22. フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu系微細プリンティング 招待有り

    溝尻瑞枝

    素形材　60　(6)　22-28　2019年6月

  23. Cu-based microfabrication using green femtosecond laser reductive sintering of Cu2O nanospheres

    Atsushi Tanokuchi, Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri

    Proceedings of The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019）　P-LPM35　2019年5月

  24. Direct writing of Cu-based flexible thermal detectors using femtosecond laser-induced reduction 招待有り 査読有り

    Mizue Mizoshiri

    Proceedings of SPIE Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXIV　37-37　2019年3月4日

    出版者・発行元： SPIE

    DOI： 10.1117/12.2507087 　

  25. Direct writing of Cu-based flexible thermal detectors using femtosecond laser-induced reduction

    Mizue Mizoshiri

    Proceedings of SPIE Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXIV　37-37　2019年3月4日

    出版者・発行元： SPIE

    DOI： 10.1117/12.2507087 　

  26. High-contrast imaging of magnetic domains by magneto-optical Kerr effect using plasmon filters

    Takumi Hasegawa, Mizue Mizoshiri, Kenta Takagi, Kimihiro Ozaki

    Proceedings of SPIE Photonic and Phononic Properties of Engineered Nanostructures IX　70-70　2019年3月4日

    出版者・発行元： SPIE

    DOI： 10.1117/12.2507216 　

  27. Development and evaluation of the novel FAB gun

    Ryo Morisaki, Yuuki Hirai, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Takami Hirai, Tomonori Takahashi, Hiroyuki Tsuji, Seiichi Hata

    European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 19th International Conference and Exhibition, EUSPEN 2019　104-105　2019年1月1日

  28. Fabrication of Plasmon Filters for Highly Sensitive Observation of Magnetic Domains by Magneto-Optical Kerr Effect 査読有り

    Takumi Hasegawa, Mizue Mizoshiri, Kenta Takagi, Kimihiro Ozaki

    2018 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)　1-4　2018年12月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mhs.2018.8887069 　

  29. Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process

    Yuki Nakagawa, Kyohei Yamada, Mizue Mizoshiri, Chiemi Oka, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    2018 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)　1-4　2018年12月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mhs.2018.8886962 　

  30. Fabrication of Copper/Copper-Nickel thin-film thermoelectric generators with energy storage devices 査読有り

    Yuuki Shimizu, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei Sakurai, Seiichi hata

    Journal of Physics: Conference Series　1052　012032-012032　2018年7月26日

    出版者・発行元： IOP Publishing

    DOI： 10.1088/1742-6596/1052/1/012032 　

    ISSN： 1742-6588

    eISSN： 1742-6596

  31. CuOナノ粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法 招待有り

    溝尻瑞枝, 秦誠一

    レーザー研究　46　(5)　257-261　2018年5月

  32. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた選択描画とマイクロセンサの作製 招待有り

    溝尻瑞枝

    レーザ協会誌　43　(3)　23-30　2018年3月

  33. Direct writing of three-dimensional Cu-based sensors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Proceedings of SPIE Laser-based Micro- and Nanoprocessing XII　41-41　2018年2月19日

    出版者・発行元： SPIE

    DOI： 10.1117/12.2290166 　

  34. Femtosecond laser direct writing of Cu-based fine patterns using Cu2O nanospheres

    Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Yukinari Kondo

    Proceedings of SPIE Laser-based Micro- and Nanoprocessing XII　10520　1052006　2018年2月19日

    出版者・発行元： SPIE

    DOI： 10.1117/12.2287686 　

  35. 高成形性形状記憶合金の生体適合性のコンビナトリアル評価法の確立

    千須和要, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集(CD-ROM)　67th　2018年

    ISSN： 2424-2748

  36. 集積化MEMSデバイスを用いた磁歪材料のハイスループット評価~測定系の自動化と高精度化の検討~

    橋本英明, 前谷卓哉, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集(CD-ROM)　67th　2018年

    ISSN： 2424-2748

  37. 色素増感型太陽電池の光学基板の作製

    YANG Na, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集(CD-ROM)　67th　2018年

    ISSN： 2424-2748

  38. 高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能な構造体の製作

    青山椋祐, 渡邊寛人, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集(CD-ROM)　67th　2018年

    ISSN： 2424-2748

  39. 薄膜金属ガラスダイアフラム構造体の応力制御の基礎的研究

    一色隆司, 上嶋祥平, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集(CD-ROM)　67th　2018年

    ISSN： 2424-2748

  40. 金属ガラス3Dプリンタの基礎研究(超音波積層ヘッドの試作とその評価)

    赤田哲平, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集(CD-ROM)　67th　2018年

    ISSN： 2424-2748

  41. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCu-Ni系熱電微細パターンの描画

    西谷健太, 秦誠一, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝

    日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集(CD-ROM)　67th　2018年

    ISSN： 2424-2748

  42. 高成形性形状記憶合金のアノード分極特性のコンビナトリアル評価

    千須和要, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2018　2018年

    ISSN： 2424-2667

  43. Ti-Ni-Cu高成形性形状記憶合金を用いた折りたたみ可能な管形状の製作

    青山椋祐, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2018　2018年

    ISSN： 2424-2667

  44. 高成形性形状記憶合金を用いた受動型触覚ディスプレイの駆動部の作製方法の検討

    伊木啓一郎, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2018　2018年

    ISSN： 2424-2667

  45. ナノインプリントによる色素増感型太陽電池用光学基板の作製

    YANG Na, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2018　2018年

    ISSN： 2424-2667

  46. フェムト秒レーザ還元を用いたフレキシブル基板上へのCuメッシュ電極の直接描画

    溝尻瑞枝, 伊藤恭章, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2018　2018年

    ISSN： 2424-2667

  47. 新形高速原子ビームガンの開発-基本構造とAr照射特性の検討-

    森崎諒, 平井友喜, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 平井隆巳, 高橋知典, 辻裕之, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2018　2018年

    ISSN： 2424-2667

  48. Fabrication of flexible thermoelectric generators with a lens array for near-infrared solar light harvesting 査読有り

    Yuuki Shimizu, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Yasuaki Ito, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　604-607　2018年1月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/memsys.2018.8346626 　

  49. Fabrication of a novel nanoporous film by chemical dealloying of CU-CR and its application for a sensor 査読有り

    Yusuke Yoshii, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　1104-1107　2018年1月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/memsys.2018.8346753 　

  50. 逆リフトオフ法のマイクロ加工特性

    中川優希, 山田恭平, 岡智絵美, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)　35th　2018年

  51. Erratum: Fabrication of novel nanoporous films in moisturein- oil sensors via chemical dealloying of Cu-Cr using combinatorial search of Cu-Cr alloy compositions (MRS Advances (2018) 3 (225-232) DOI: 10.1557/adv.2018.198)

    Yusuke Yoshii, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    MRS Advances　3　(45-46)　2841-2843　2018年1月1日

    DOI： 10.1557/adv.2018.492 　

    ISSN： 2059-8521

  52. Micro folding structure using Ti-Ni-Zr high formable shape memory alloys 査読有り

    Hiroto Watanabe, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    2017 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)　1-4　2017年12月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mhs.2017.8305191 　

  53. Cu-Ni熱電薄膜を用いたフレキシブル発電デバイスの作製

    清水 悠希, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　34　1-3　2017年10月31日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  54. 電解式塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索

    高木 進吾, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　34　3p　2017年10月31日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  55. 高感度磁区観察をめざしたAuギャップ光学フィルタの作製

    長谷川 拓己, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一, 高木 健太, 尾崎 公洋

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　34　3p　2017年10月31日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  56. P- and n-type thermoelectric micropatterns fabricated by femtosecond laser reduction of CuO/NiO nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Proceedings of the 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication　#17-45　2017年7月

  57. Three-dimensional hot-film flow sensors fabricated using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Proceedings of the 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication　#17-65　2017年7月

  58. Cu micropatterning using femtosecond laser reduction of Cu2O nanospheres 査読有り

    Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Proceedings of the 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication　#17-35　2017年7月

  59. Cu₂Oナノ粒子還元によるCu微細パターンのフェムト秒レーザ直接描画 (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

    溝尻 瑞枝, 近藤 幸成, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    電気学会研究会資料. MSS　2017　(1)　1-4　2017年6月29日

    出版者・発行元： 電気学会

  60. Polymer-based blood vessel models with micro-temperature sensors in EVE

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Takeshi Hayakawa, Hisataka Maruyama, Junpei Sakurai, Seiichi Ikeda, Fumihito Arai, Seiichi Hata

    Proceedings of SPIE Smart Structures + NDE　10167　101670Z-101670Z　2017年4月17日

    出版者・発行元： SPIE

    DOI： 10.1117/12.2265050 　

    ISSN： 0277-786X

  61. Cu2Oナノ粒子還元によるCu微細パターンのフェムト秒レーザ直接描画

    溝尻瑞枝, 近藤幸成, 櫻井淳平, 秦誠一

    電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料　MSS-17　(1-2.5-9)　2017年

  62. 電気抵抗率測定によるTi-Ni-Zr薄膜金属ガラスのガラス転移温度のコンビナトリアル測定

    櫻井淳平, 村上元規, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    粉体粉末冶金協会講演概要集　2017　2017年

  63. 高成形性形状記憶合金のガラス転移温度のコンビナトリアル手法の確立

    櫻井淳平, 村上元規, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 細田秀樹

    生体医歯工学共同研究拠点成果報告書　2016　2017年

  64. Cu2Oナノ粒子還元を利用した導電性Cu微細パターンの直接描画

    近藤幸成, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    レーザ加工学会講演論文集　88th　2017年

  65. SOI-MEMSデバイスを用いた磁気特性のコンビナトリアル評価

    前谷卓哉, 本川侑季, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  66. 環境発電のためのCu/Cu-Ni薄膜熱電デバイスの作製

    清水悠希, 溝尻瑞枝, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  67. 塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索

    高木進吾, 宮本将志, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  68. PDMS微小パーツの作製と周期構造形成のための自己配列特性評価

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  69. 新規Cu-Cr脱合金化法を用いたナノポーラス電極膜フィルタの製作とセンサへの応用

    吉井雄佑, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  70. Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル探索

    櫻井淳平, 村上元規, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  71. 磁歪材料のコンビナトリアル探索用SOI-MEMSデバイス製作

    本川侑季, 前谷卓哉, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  72. Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金のマイクロ折りたたみ構造の作製

    渡邊寛人, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  73. フェムト秒レーザ還元直接描画法におけるCu微細パターンのデフォーカス描画特性評価

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2017　2017年

    ISSN： 2424-2667

  74. PDMS微小パーツの自己配列による二次元周期構造形成

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)　8th　2017年

    ISSN： 2432-9495

  75. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCuメッシュ型温度センサの作製

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)　8th　2017年

    ISSN： 2432-9495

  76. CuO/NiO混合ナノ粒子のフェムト秒レーザ還元を用いたpn熱電対の選択描画

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)　8th　2017年

    ISSN： 2432-9495

  77. Auギャップ光学フィルタを用いた磁区観察の高感度化

    長谷川拓己, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一, 高木健太, 尾崎公洋

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　78th　2017年

    ISSN： 2758-4704

  78. Cu2Oナノ粒子を用いたフェムト秒レーザ微細パターニング

    近藤幸成, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　78th　2017年

    ISSN： 2758-4704

  79. CuO/NiOナノ粒子を用いたポリマー基板上への熱電対のレーザ還元描画

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　78th　2017年

    ISSN： 2758-4704

  80. CuO/NiO混合ナノ粒子を用いたpn熱電パターンのレーザ還元選択描画

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　64th　2017年

    ISSN： 2758-4704

  81. Direct-writing of copper-based micropatterns on polymer substrates using femtosecond laser reduction of copper (II) oxide nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering　10167　2017年

    出版者・発行元： SPIE

    DOI： 10.1117/12.2261398 　

    ISSN： 1996-756X 0277-786X

  82. Fabrication of combinatorial evaluation substrates for chlorine evolution electrode catalyst 査読有り

    Shingo Takagi, Masashi Miyamoto, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata, Junpei Sakurai

    2016 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)　1-5　2016年11月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mhs.2016.7824159 　

  83. Direct Writing of Cu-based Micro-temperature Sensors onto Glass and Poly(dimethylsiloxane) Substrates Using Femtosecond Laser Reductive Patterning of CuO Nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Research & Reviews: Journal of Material Sciences　4　(4)　47-54　2016年10月14日

    DOI： 10.4172/2321-6212.1000155 　

  84. フェムト秒レーザ還元焼結を用いたNi合金微細パターン作製

    田村 健紀, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　33　1-4　2016年10月2日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  85. 水分センサ用ポーラス薄膜成膜条件のコンビナトリアル探索

    吉井 雄佑, 深川 雄貴, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　33　1-5　2016年10月2日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  86. 水素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索法の確立

    高木 進吾, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一, 櫻井 淳平

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　33　1-4　2016年10月2日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  87. MEMS技術を応用したリチウム電池正極材料のハイスループット評価の基礎研究 (第8回 集積化MEMSシンポジウム)

    平井 友喜, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　33　1-4　2016年10月2日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  88. 新奇金属系マイクロマシン・センサ材料とその微細加工

    秦 誠一, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　33　1-5　2016年10月2日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  89. 金属酸化物ナノ粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法 招待有り

    溝尻瑞枝, 秦誠一

    OPTRONICS　35　(413)　145-151-151　2016年5月

    出版者・発行元： オプトロニクス社

    ISSN： 0286-9659

  90. フェムト秒レーザによる硝酸銅(II)溶液の微細還元パターニング

    近藤幸成, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    レーザ加工学会講演論文集　85th　2016年

  91. フェムト秒レーザ還元直接描画法による微細Cuパターニングの還元剤の影響

    荒金駿, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    レーザ加工学会講演論文集　84th　2016年

  92. フェムト秒レーザ還元描画法によるニッケル微細パターンの作製および評価

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    レーザ加工学会講演論文集　84th　2016年

  93. 金属-ポリマー複合微細構造形成のためのフェムト秒レーザ還元描画法

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    レーザ加工学会講演論文集　84th　2016年

  94. SOI基板を用いたコンビナトリアル探索用カンチレバーデバイス製作

    前谷卓哉, 前谷卓哉, 本川侑季, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  95. 微細周期構造形成のためのPDMS微小パーツ作製

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  96. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上への温度センサ作製

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  97. 近赤外太陽光発電のためのCu/Cu-Ni薄膜熱電デバイスの作製

    清水悠希, 溝尻瑞枝, 伊藤嘉崇, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  98. マイクロ成形加工可能なTi-Ni-Zr高成形性形状記憶合金

    渡邊寛人, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  99. Au-Cu系リボン状金属ガラスを用いた金属ガラス流動積層法の検討

    蟹江道弘, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 牛越弘彰, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  100. 塩素発生用電極触媒のコンビナトリアル探索法に関する基礎研究

    高木進吾, 宮本将志, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  101. 高成形性形状記憶合金の熱的特性のハイスループット評価法の基礎検討

    村上元規, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  102. MEMSデバイスによるリチウム電池正極材料のコンビナトリアル探索に関する研究

    平井友喜, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  103. 薄膜金属ガラスを用いたマイクロ構造体の内部応力制御

    安部修平, 前谷卓哉, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  104. 脱合金化法を用いたナノポーラス電極膜フィルタの製作とセンサへの応用

    吉井雄佑, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  105. Ti-Ni-Zr高成形性形状記憶合金のマイクロ成形加工

    渡邊寛人, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  106. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上へのCu微細構造形成

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  107. 高成形性形状記憶合金の熱的特性のハイスループット評価法

    村上元規, 溝尻瑞枝, 秦誠一, 櫻井淳平

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  108. フェムト秒レーザ還元直接描画法による3次元微細Cuパターンの積層造形

    荒金駿, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  109. ボールレンズを用いた可視光透過型薄膜熱電発電デバイスの作製

    伊藤嘉崇, 溝尻瑞枝, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  110. 受動型ドラッグデリバリーシステムの薬液投与特性

    粂野勇貴, 高桑暁, 伊藤啓太郎, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 新井史人, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  111. 自己組織化による3次元微細周期構造形成のための微小パーツの作製

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)　2016　2016年

    ISSN： 2424-2667

  112. 画像処理によるデザイナブルゲル応力分布測定の基礎的研究

    粂野勇貴, 安部修平, 池田誠一, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  113. 光弾性法を用いたPVAハイドロゲル応力測定の基礎的研究

    安部修平, 池田誠一, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　2nd　2016年

  114. フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu-Ni微細パターニング

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　63rd　2016年

    ISSN： 2758-4704

  115. Combinatorial searching system for electrolysis catalytic materials 査読有り

    Masashi Miyamoto, Akira Suzuki, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    2015 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)　1-5　2015年11月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mhs.2015.7438321 　

  116. Thin-film thermoelectric generator with ball lens for using near-infrared solar energy

    Yoshitaka Ito, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Tasuku Kondou, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    2015 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)　1-4　2015年11月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mhs.2015.7438318 　

  117. MEMSデバイスを用いた磁気特性評価に関する研究

    前谷 卓哉, 桜井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　32　1-4　2015年10月28日

    出版者・発行元： Institute of Electrical Engineers of Japan

  118. 29pm1-B-4 フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu_2Oマイクロ温度センサの作製

    伊藤 恭章, 溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2015　(7)　"29pm1-B-4-1"-"29pm1-B-4-2"　2015年10月21日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    Micro-temperature sensors consisting of Cu_2O-rich sensing part and Cu-rich electrodes were fabricated using femtosecond laser induced reduction of CuO nanoparticles. Cu_2O-rich and Cu-rich microstructures were selectively formed by controlling laser irradiation conditions. When the laser scanning pitch was 10 μm, Cu_2O-rich microstructures were formed under the condition that the laser scanning speed and pulse energy were 1 mm/s and 0.45 nJ, respectively. Cu-rich microstructures were fabricated by the scanning speed of 10 mm/s and the pulse energy of 0.28 nJ. The Cu_2O-rich sensing part and Cu-rich electrodes were formed using the evaluated conditions. The micro-temperature sensors composed of Cu_2O-rich and Cu-rich hybrid structures were successfully obtained.

  119. 28pm3-F-7 CuO反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製

    近藤 祐, 溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 伊藤 嘉崇, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2015　(7)　"28pm3-F-7-1"-"28pm3-F-7-2"　2015年10月21日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    A thin-film thermoelectric generator with anti-reflection structures was fabricated to convert near-infrared solar light, which cannot be converted to electric energy by photovoltaic conversion, to electric energy. The anti-reflection structures were designed using Rigorous Coupled Wave Analysis, resulting that the anti-reflection structures which were formed by close-packed SiO_2 microspheres with 200 nm diameter and coated with CuO thin films estimated to be 6.7%. The anti-reflection structures were formed onto the SiO_2 glass substrate by dip coating method. When the SiO_2 microspheres were dispersed into deionized water and amphiphilic block copolymer F-127, the hexagonally close-packed microspheres were formed on the substrate by dip coating. Bi_<0.5>Sb_<1.5>Te_3 (p-type) and Bi_2Te_<2.7>Se_<0.3> (n-type) thin film elements were formed onto the glass substrate by lithography and sputtering method and serially connected by Cu thin films. After SiO_2 thin-film over-coating the thermoelectric elements, CuO-based anti-reflection structures were successfully formed onto the hot side of the generators.

  120. J2220201 シリカ微小球の自己組織化を利用した熱電発電用反射防止構造の作製

    近藤 祐, 溝尻 瑞枝, 三上 裕史, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"J2220201-1"-"J2220201-4"　2015年9月13日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    Thermal-photovoltaic hybrid solar generators is one candidate for energy harvesting devices. Near-infrared solar light which cannot be used for photovoltaic generator is used for thermoelectric generator. Hybrid generator with buls lens to generate temeperature gradient has been fabricated. However, it is difficult to reduce the volume of the generators due to the bulk lens. In our study, we proposed a thin-film thermoelectric generator with anti-reflection structures on the hot side of pn junctions. First, we designed the anti-reflection structures using rigorous coupled wave analysis. When the grating period was 200 nm, the reflectance exhibits minimal value of 6.7%. Anti-reflection structures was fabricated using self-assembled silica microspheres and following CuO thin film deposition. The silica microspheres were assembled by dip coating. Then, the CuO thin film were coated by reactive sputtering on the self-assembled microspheres to reduce the energy loss and to convert the solar light to thermal energy. Finally, we investigated the effect of the ant-reflection structures using a commercially-available bulk thermoelectric module. The generation voltage of the modules with anti-reflection structures was increased by comparing to the modules without the structures. This result indicates that the near-infrared solar light was efficiently absorbed and converted to the thermal energy by anti-reflection structures.

  121. J2220102 磁歪・比透磁率のハイスループット評価用デバイスの製作

    前谷 卓哉, 桜井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"J2220102-1"-"J2220102-4"　2015年9月13日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    Magnetostrictive materials often used for several sensors and actuators from some features that are fast response, high power, and contactless actuation. Magnetostriction and relative permeability are important characteristics to determine the performance of the sensors and actuator, however, it need the different sample to evaluate magnetostriction and relative permeability. So that, it takes a lot of time to search new magnetostrictive materials or optimize composition of alloy magnetostrictive materials. The combinatorial method could search novel alloy materials or optimize composition efficiently compared to the conventional material searching method. In this research, we proposd the MEMS device for the combinatorial materials searching method. This device could evaluate characteristics of magnetostrictive material that are magnetostriction and relative permeability. Moreover, magnetostriction an drelative permeability are evaluated by the change of capacitance, induced electromotive force, respectively. In this paper, we show the fabrication process and fabricated device that keeps the cantilever structure.

  122. J2220302 ナノクラック薄膜を用いた静電容量形水分センサの評価

    深川 雄貴, 櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"J2220302-1"-"J2220302-4"　2015年9月13日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    Lubricating oil is widely used to improve performance and life of various machines. However, when amount of moisture in lubricating oil increase, lubrication performance of the lubricating oil deteriorate. It cause the trouble of the machine. Therefore, the sensor to monitor amount of moisture in lubricating oil is need. This research propose capacitance type moisture sensor that can measure the relative humidity of lubricating oil in the real time. Dielectric constant changes by moisture absorption of the dielectric of the sensor. Relative humidity can be monitored by detecting changes of capacitance. So, it is need that electrode of capacior has porous structure to facilitate moisture absorption of dielectric. In the paper, this electrode was deposited by oblique angle sputtering in high sputtering gas pressure. We defined incidence angle of sputtering particle. And we fabricated three kinds of sensors whose incidence angles of sputtering particle were respectively 90, 60, 30 degrees. Those sensors were evaluated for the relative humidity in the atmosphere using temperature and humidity testing chamber. As incidence angle decreased, hysteresis decreased. (90 deg.:12.2%F.S., 60 deg.:10.1%F.S., 30 deg.:7.2%F.S.) We considered the reason of this decrease of the hysteresis is that porosity of the electrode increased because shadow effect became remarkable.

  123. J2220105 水素発生触媒用ハイスループット評価基板の作製

    宮本 将志, 鈴木 慧, 櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"J2220105-1"-"J2220105-5"　2015年9月13日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    Electrode catalyst used in industrial electrolysis is important material which affects oxidation-reduction reaction materially. The electrode catalyst having high catalystic activity and high durability gives efficient production of chemical materials. In this study, we proposed to search for new electrode catalyst using a combinatorial method. The evaluation substrate consisting of 72 catalyst samples and 9 Pt reference electrodes was designed and fabricated by a micro electro mechanical system (MEMS) technique. The thin film electrode catalyst library on the evaluation substrate was prepared by a combinatorial multi target sputtering system using 3 pure metal targets (Ir, Ru and Ti). The alloy compositions of these thin films were measured by an energy dispersive X-ray spectroscopy. To evaluation the characteristics of catalyst samples, the polarization curves (current density/potential curves) of catalyst samples were measured by the potential sweep method. Surface poisoning and elution of catalysis samples were observed by an optical microscopy. Finally, we confirmed that the proposed combinatorial method was useful to search for new electrode catalyst materials.

  124. J2220305 バイオレジストを用いたマイクロバブルの流量特性

    高桑 暁, 伊藤 啓太郎, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 新井 史人, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"J2220305-1"-"J2220305-4"　2015年9月13日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    We proposed a microvalve using photoprocessible thremoresponsible gel, which is called "Bioresist". Bioresist has characteristic of shrinking higher than 32 degree Celsius and swelling lower than 32 degrees. The volum change is utilized for opening and closing the microvalve. Since Bioresist is patterned, we can fabricate any arbitrary 2D shape of Bioresist using photolithography. We developed a microvalve which can control opening and closing by integrating the patterned Bioresist with a microheater using MEMS technology. The microvalve using Bioresist hasthe advantage of high speed response and low power consumption. We evaluated the relationship between applied current required for opening the microvalve and flow rate when microvalve were tested under regular pressurized flow with de-ionized (DI) water. As a result, flow rate is proportional relationship with applied current. It was shown controllability of flow rate by applied current.

  125. J2220101 Ti-Ni-Cu薄膜金属ガラス/形状記憶合金の特性評価

    櫻井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"J2220101-1"-"J2220101-4"　2015年9月13日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    In this paper, we investigated characteristics of Ti-Ni-Cu thin film metallic glasses (TFMGs)/ shape memory alloys (SMAs) for MEMS application with three dimensional structure. The Ti-poor Ti-Ni-Cu amorphous thin films (Ti content of less than 50 at.% and Cu content of more than 6 at.%) exhibited glass transition during crystallization proces and were TFMGs. Moreover, a little Ti-rich Ti-Ni-Cu (Ti-content of less than 51 at.%) samples also showed the glass transition. On the other hands when Ti content was more than 51 at.%, these samples didn't show the glass transition, irrespective of Cu content. Therefore, it is considered that the glass forming ability of Ti-Ni-Cu TFMG was better than that of the Ti-Ni-Zr TFMGs. The Ti-Ni-Cu TFMGs after crystallization at 973 K for 3.6ks showed the single martensitic transformation of B2-B19 phase upon cooling and heating. When Ti content was around 50 at.%, peak temperatures of martensitic transformation O* and A* increased with increasing Cu content until 16 at.%. Further Cu content increasing, O* and A* decreased.

  126. S0440103 酸化ニッケルナノ粒子のフェムト秒レーザ還元微細パターニング

    田村 健紀, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"S0440103-1"-"S0440103-4"　2015年9月13日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    We proposed fabrication process of nickel (Ni) microstructures using femtosecond laser reduction of NiO nanoparticles (NPs), and evaluated patterning properties of the Ni microstructures. In this process, NiO NP solution was prepared by mixing NiO NPs, ethylene glycol as a reducing agent, and polyvinylpyrrolidone. Then, NiO NP solution film, which was obtained by spin-coating of the NiO NP solution, was irradiated by femtosecond laser pulses in the air. As a result, NiO NPs were reduced to form Ni microstructures using thermal reaction induced by the laser irradiation. When the pulse energy was as low as 0.24 nJ, the line width was constant to be approximately 10-15 μm without depending on the laser scanning speed. This small and constant line pattern is advantageous for high resolution patterning. Crystal structure of the micropatterns was evaluated using XRD (X-ray diffraction). Maximal ratio of the XRD peak intensity of Ni to NiO was obtained under the condition that scanning speed was 1200 μm/s at pulse energy of 0.24 nJ. Using this laser irradiation condition, Ni microgear was formed. The thickness of Ni microgear was approximate 10 μm as almost equal to the NiO NP film by Field Emission Scanning Electron microscope observation. The Ni microgear enabled to be controlled by external magnetic field.

  127. S0440102 フェムト秒レーザ直接還元描画法による微細Cuパターンの導電特性

    荒金 駿, 溝尻 瑞枝, 櫻井 淳平, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2015　"S0440102-1"-"S0440102-4"　2015年9月13日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    Electrical conductivity and temperature characteristic of resistance of Cu micropatterns which were fabricated by femtosecond laser induced thermal reduction of CuO nanoparticles (NPs) was investigated. The Cu micropatterns were obtained by femtosecond laser irradiation of CuO NPs film which included CuO NPs, ethylene glycol as a reduction agent and polyvinylpyrrolidone. Composition ratio of Cu and Cu_2O of the micropatterns was evaluated by comparison of Cu/CuO and Cu_2O/CuO principal peak intensity ratios of X-ray diffraction spectra. When the scanning speed was 500 μm/s and pulse energy was 1.2 nJ, the most Cu-rich micropatterns were achieved. Besides, the temperature dependence of the resistance of Cu- and Cu_2O-rich micropatterns were evaluated. The resistance of the Cu- and Cu_2O-rich micropatterns were respectively increased and decreased with the increase of the temperature. The temperature coefficients of resistance of Cu- and Cu_2O-rich micropatterns were approximately 1.0×10^<-3>/℃ and -1.5×10^<-2>/℃, respectively. These results suggest that Cu- and Cu_2O-rich micropatterns have semiconductor and metal temperature characteristics of the resistance. This higher sensitivity of Cu_2O-rich micropatterns can be applied for micro-temperature sensors effectively.

  128. Reduction of CuO nanoparticles for Cu micropatterning by femtosecond laser pulses

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Proceedings of 7th International Congress onf Laser Advanced Material Processing　#15-075　2015年8月

  129. Patterning properties of nickel microstructure using femtosecond laser induced reduction

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Proceedings of 7th International Congress onf Laser Advanced Material Processing　#15-036　2015年8月

  130. MoB-2-1 CHARACTERISTICS OF TI-NI-ZR THIN FILM METALLIC GLASSES FOR MEMS WITH THREE DIMENSIONAL STRUCTURE

    Sakurai Junpei, Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi

    Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE　2015　"MoB-2-1-1"-"MoB-2-1-3"　2015年6月14日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    We investigated characteristics of Ti-Ni-Zr thin film metallic glasses (TFMGs). The Ti-Ni-Zr amorphous thin films having Ni-content of more than 50 at.% and Zr-content of more than 11 at.% exhibited glass transition. Although the Ti_<39> Ni_<50> Zr_<11> sample had alloy composition at the boundary between TFMG and only amorphous, it showed the lowest glass transition temperature T_g of 703 K and wide width of supercooled liquid region (SCLR) ΔT of 57 K. Moreover, this sample showed a high thermal stability at the T_g . However, it is considered that viscosity of this sample was higher than those of other TFMGs

  131. MoB-1-1 COMPARISON OF NOVEL REVERSED LIFT-OFF PROCESS WITH CONVENTIONAL LIFT-OFF PROCESS IN CROSS-SECTIONAL SHAPE ON PATTERNED STRUCTURES

    Watanabe Shigetaka, Sakurai Junpei, Mizoshiri Mizue, Hata Seiichi

    Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE　2015　"MoB-1-1-1"-"MoB-1-1-3"　2015年6月14日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    In Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) technology, a lift-off process with sputter deposition is one general patterning method for amorphous alloy thick film structure. However, a thickness of the structure is not uniform because sputtered particles are hindered by side a wall of the lift-off layer. In this paper, a new patterning method of amorphous alloy thick film structure with uniform thickness was proposed. Moreover, this patterning method was defined as "Reversed lift-off process". In reversed lift-off process, convex parts with the desired structure shape is formed on a top of a substrate. Thick film structure is deposited by the sputter deposition on the top surface of convex parts. A thickness of the structure is uniform because there is nothing which hinders sputtered particles in contrast to a conventional lift-off process. As a practical experiment of reversed lift-off process, we successfully fabricated Cu-Zr-Ti metallic glass thick film structure which has uniform film thickness, rectangular cross-sectional shape, and noncrystalline in a different width of the structure. Moreover, it was confirmed that reversed lift-off process is suitable for the fabrication of metallic glass thick film structure in the comparison with the conventional lift-off process.

  132. Au-Cu系金属ガラスを用いた金属ガラス流動積層法の基礎検討

    蟹江道弘, 桜井淳平, 溝尻瑞枝, 牛越弘彰, 秦誠一

    粉体粉末冶金協会講演概要集　2015　2015年

  133. Ti-Ni-Zr薄膜金属ガラス/形状記憶合金の過冷却液体域特性

    櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    粉体粉末冶金協会講演概要集　2015　2015年

  134. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたマイクロ温度センサの作製

    溝尻瑞枝, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦誠一

    レーザ加工学会講演論文集　83rd　2015年

  135. フェムト秒レーザ還元を利用した金属微細構造の直接描画

    溝尻瑞枝, 田村健紀, 荒金駿, 伊藤恭章, 櫻井淳平, 秦誠一

    レーザー学会研究会報告　481st　2015年

  136. フェムト秒レーザ還元を利用したマイクロ温度センサの作製

    溝尻瑞枝, 伊藤恭章, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  137. 新規ドラッグデリバリーシステムに用いるマイクロバルブの流量評価

    高桑暁, 伊藤啓太郎, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 新井史人, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  138. フェムト秒レーザを用いたCuOナノ粒子還元パターンの抵抗温度特性

    荒金駿, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  139. 磁歪材料のコンビナトリアル探索を目指したMEMSデバイス製作

    前谷卓哉, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  140. TiNi系薄膜金属ガラス/形状記憶合金

    櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  141. 斜入射スパッタによる水分子透過性電極を有する静電容量形水分センサ

    深川雄貴, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  142. フェムト秒レーザを用いた酸化ニッケルナノ粒子の還元微細パターニング特性

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  143. コンビナトリアル手法を用いた電解用電極触媒探索に関する基礎研究

    宮本将志, 鈴木慧, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  144. PVAハイドロゲル配合比の機械的特性への影響

    寺野慧太, 池田誠一, 櫻井淳平, 溝尻瑞枝, 秦誠一

    日本機械学会イノベーション講演会論文集(CD-ROM)　1st　2015年

  145. マイクロ温度センサのフェムト秒レーザ直接還元描画形成

    溝尻瑞枝, 伊藤恭章, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦誠一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　76th　2015年

    ISSN： 2758-4704

  146. フェムト秒レーザを用いたNi微細構造の還元パターニング特性

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　62nd　2015年

    ISSN： 2758-4704

  147. フェムト秒レーザ直接還元描画法におけるCuOナノ粒子の還元特性評価

    溝尻瑞枝, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦誠一

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)　62nd　2015年

    ISSN： 2758-4704

  148. ｢女性研究者」―多様な研究者のなかの一例として―

    溝尻 瑞枝

    塑性と加工　56　(653)　436-436　2015年

    出版者・発行元： The Japan Society for Technology and Plasticity

    DOI： 10.9773/sosei.56.436 　

    ISSN： 0038-1586

    eISSN： 1882-0166

  149. REDUCTION PROPERTIES OF NICKEL MICROSTRUCTURES FABRICATED BY DIRECT FEMTOSECOND LASER REDUCTION PATTERNING 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Kenki Tamura, Junpei Sakurai, Seiich Hata

    Proceedings of JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE　2015　_MoB-2　2015年

    出版者・発行元： Japan Society of Mechanical Engineers

    DOI： 10.1299/jsmemipe.2015._mob-2-2-1 　

    eISSN： 2424-3132

  150. Design of CuO anti-reflection structure for thin-film thermoelectric generator 査読有り

    Tasuku Kondou, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    2014 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)　1-4　2014年11月

    DOI： 10.1109/mhs.2014.7006118 　

    ISSN： 2474-378X

    eISSN： 2474-3798

  151. 21pm3-PM020 金属バッファ層を導入した熱電薄膜デバイスの発電特性

    溝尻 瑞枝, 三上 祐史, 尾崎 公洋, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2014　(6)　"21pm3-PM020-1"-"21pm3-PM020-2"　2014年10月20日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    The effect of Cr or Cu buffer layers on open-circuit voltage of thin-film thermoelectric generator was investigated. Thermoelectric thin films of Bi_2Te_<2.7>Se_<0.3> (p-type) and Bi_<0.5>Sb_<1.5>Te_3 (n-type) were deposited onto SiO_2 glass substrate using the Cr or Cu buffer layers. The buffer layer enabled to prevent the thermoelectric thin films from removing onto the substrate during the thin-film patterning process. X-ray diffraction patterns of the thermoelectric thin films were not affected by the underlying Cr or Cu buffer layers with 1 nm thickness. The open-circuit voltage of the thin-film thermoelectric devices with 1 nm-Cr buffer layers were approximately 50 mV higher than that of the devices with 1 nm-Cu buffer layers. This value is consistent with the estimated one by taking the current flow into the buffer layers.

  152. 20am2-E2 酸化銅ナノ粒子還元を用いたフェムト秒レーザ直接描画プロセス

    溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 秦 誠一

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2014　(6)　"20am2-E2-1"-"20am2-E2-2"　2014年10月20日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    CuO nanoparticles were directly reduced to form Cu micropattems using femtosecond laser writing. CuO nanoparticles were dispersed into reductant agent and base polymers. When femtosecond laser pulses were focused and irradiated into the CuO nanoparticle based films on glass substrate, Cu micropattems were formed by reducing and sintering of CuO nanoparticles. X-ray diffraction spectra of the laser irradiated area shows Cu peaks although the Cup peaks were not observed in that of non-laser irradiated area. The width of the Cu micropattems was increased with decreasing laser pulse energy and scanning speed. Cu-rich patterns were obtained by laser irradiation with high laser scanning speed. The resistance of the line patterns were inversely proportional to the line width which indicated that the Cu micropattems have uniform electrical properties.

  153. S0440101 酸化銅ナノ粒子のレーザ直接還元を利用した銅細線パターニング([S044]次世代3Dプリンティング,機械材料・材料加工部門)

    溝尻 瑞枝, 荒金 駿, 前谷 卓哉, 式田 光宏, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2014　"S0440101-1"-"S0440101-3"　2014年9月7日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    CuO nanoparticles were directly reduced to form fine Cu micropatterns using femtosecond laser pulses. CuO nanoparticles were dispersed into reductant agent and base-polymers. When the focused laser pulses were irradiated into the CuO nanoparticle based films on glass substrates, the Cu micropatterns were formed by reducing and sintering of CuO nanoparticles. XRD spectrum of the laser irradiated areas shows Cu peaks although the Cu peaks were not observed in XRD spectra of the non-irradiated area. The width of the Cu micropatterns were increased by decreasing laser pulse energy and increasing laser scanning speed. The minimum line width was 7 μm under the condition that the laser pulse energy and scanning speed were 0.36 nJ and 100 μm/s, respectively. When the pulse energy was low and the scanning speed was high, the line width of the Cu micropatterns only depended on the pulse energy, not the scanning speed. This result indicates that the threshold fluence could exist to form Cu micropatterns.

  154. J2220102 薄膜金属ガラスCu-Zr-Tiを用いた二軸駆動マイクロミラーデバイスの製作と駆動([J222-01]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(1))

    渡辺 茂高, 中光 豊, 桜井 淳平, 溝尻 瑞枝, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2014　"J2220102-1"-"J2220102-5"　2014年9月7日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    In Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) technology, structure of amorphous alloy thin film is manufactured by sputter deposition and lift-off process. But its thickness is not uniform because lift-off masking material block off. The structure thickness of amorphous alloy thin film is low in the vicinity of lift-off masking material, and its cross-sectional shape is not rectangular. For these problems, we proposed new fabrication method of thick film structure of metallic glass with the sputtering jig, which combines projection surfaces and spacers. As this application, we have successfully fabricated two-axis scanning micro mirror device with thin film metallic glass Cu-Zr-Ti, which have uniform film thickness, rectangular cross-sectional shape and electrical factors. However, the sample was not able to be driven in driving test, because the torsion bar of sample had been broken for Cu-Zr-Ti crystallization. In this paper, we proposed low temperature production process which is not to crystallize Cu-Zr-Ti. And we have succeeded in fabricating and driving the two-axis scanning micro mirror device.

  155. J2220203 斜入射スパッタリングによるCr薄膜を用いた静電容量形水分センサ([J222-02]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(2))

    深川 雄貴, 溝尻 瑞枝, 吉井 雄祐, 向井 伸幸, 溝口 尚志, 高橋 勉, 秦 誠一

    年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan　2014　"J2220203-1"-"J2220203-4"　2014年9月7日

    出版者・発行元： 一般社団法人日本機械学会

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    Performance of lubricating oil gets worse suddenly by water being mixed into oil. This causes serious failure of machine. Therefore, a sensor that monitors amount of moisture in the oil is need. In this paper, capacitance type moisture sensor is proposed for the use in lubricating oil. To realization of the sensor, upper electrode Cr was deposited as nanocrack thin film metal that separates water molecules from oil by sputtering in high sputtering gas pressure and diagonal incidence of sputtering particle. Evaluation of the sensor was conducted in the air as previous stage of evaluation in oil. The sensor proposed in this paper showed followabillity for amount of moisture in the air. Relation between sensor characteristic and sputtering condition was investigated.

  156. Direct reduction of copper nanoparticles using femtosecond laser pulses for copper micropatterning 査読有り

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Takuya Maetani, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    Proceedings of the JSME/ASME 2014 International Conference on Materials and Processing　5007-1-5007-4　2014年6月

  157. The effect of metal buffer layers on open-circuit voltage of thin-film thermoelectric modules 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    Proceedings of the JSME/ASME 2014 International Conference on Materials and Processing　4983-1-4983-4　2014年6月

  158. Direct reduction and agglomeration of CuO nanoparticles for Cu micropatterning using femtosecond laser pulses 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Takuya Maetani, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    Proceedings of The 9th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2014)　121　2014年3月

  159. 太陽光の熱利用のための薄膜熱電発電モジュールの作製と評価

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋, 式田光宏, 秦誠一

    日本機械学会第21回機械材料・材料加工技術講演会　art.no. 634　2013年11月

  160. ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の成膜とリフト・オフパターニング

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋, 式田光宏, 秦 誠一

    日本機械学会第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集　6AM2-A-7　2013年11月

  161. Thermoelectric thick film patterns formed by using thermally-assisted sputtering method and silicone lift-off masks

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2013　1-3　2013年11月

    出版者・発行元： IEEE

    DOI： 10.1109/mhs.2013.6710403 　

  162. Flexible thin-film thermoelectric generator inserting Cr buffer layer 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki

    Proceedings of Power MEMS 2012　468-471　2012年12月

  163. フェムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製微小光学素子の作製 招待有り

    溝尻瑞枝

    レーザ加工学会誌　18　(2)　53-59-121　2011年6月

    出版者・発行元： レーザ加工学会

    ISSN： 1881-6797

  164. Fabrication of SiO2hybrid microlens structures using femtosecond laser nonlinear lithography

    Hiroaki Nishiyama, Mizue Mizoshiri, Yoshinori Hirata, Junji Nishii

    IOP Conference Series: Materials Science and Engineering　18　(7)　072011-072011　2011年5月1日

    出版者・発行元： IOP Publishing

    DOI： 10.1088/1757-899x/18/7/072011 　

    ISSN： 1757-8981 1757-899X

    eISSN： 1757-899X

  165. Nonlinear lithographic properties by femtosecond laser pulses using a low-NA lens

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    Proceedings of SPIE FRONTIERS IN ULTRAFAST OPTICS: BIOMEDICAL, SCIENTIFIC, AND INDUSTRIAL APPLICATIONS X　7589　75891E-75891E　2010年2月11日

    DOI： 10.1117/12.842070 　

    ISSN： 0277-786X

  166. SiO2-based microstructures fabricated by femtosecond laser lithography 査読有り

    M. Mizoshiri, H. Nishiyama, J. Nishii, Y. Hirata

    Journal of Physics: Conference Series　165　012048-1-012048-4　2009年7月

  167. Silica-based microstructures on nonplanar substrates by femtosecond laser-induced nonlinear lithography 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junpei Nishii, Yoshinori Hirata

    Journal of Physics: Conference Series　165　012048-012048　2009年5月1日

    出版者・発行元： IOP Publishing

    DOI： 10.1088/1742-6596/165/1/012048 　

    ISSN： 1742-6596 1742-6588

    eISSN： 1742-6596

  168. フェムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製屈折回折複合レンズ構造の作製 査読有り

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 平田好則

    第14 回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム論文集　14　293–298　2009年2月

  169. この5年間.

    溝尻 瑞枝

    溶接学会誌　78　(6)　2009年

    ISSN： 0021-4787

  170. Three-dimensional surfaces of inorganic materials fabricated by femtosecond laser lithography

    H. Nishiyama, M. Mizoshiri, J. Nishii, Y. Hirata

    Progress in Electromagnetics Research Symposium　2　1295-1298　2009年

    出版者・発行元： Electromagnetics Academy

    ISSN： 1559-9450

  171. Inorganic micro-optical elements in microchannels fabricated by femtosecond laser-assisted micromachining 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    Proceedings of the 25th sensor symposium on sensors, micromachines, and applied systems　46-49　2008年10月

  172. SiO2-based variable microfluidic lenses fabricated by femtosecond laser lithography-assisted micromachining 査読有り

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    Proceedings of SPIE NANOENGINEERING: FABRICATION, PROPERTIES, OPTICS, AND DEVICES V　7039　70390E-70390E　2008年8月28日

    DOI： 10.1117/12.795053 　

    ISSN： 0277-786X

  173. Three-dimensional surfaces of inorganic materials fabricated by femtosecond laser lithography 査読有り

    Hiroaki Nishiyama, Mizue Mizoshiri, Junpei Nishii, Yoshinori Hirata

    PIERS Proceedings　1　1322-1325　2008年3月

  174. Nonplanar surface structures of inorganic materials fabricated by femtosecond laser lithography 査読有り

    Hiroaki Nishiyama, Mizue Mizoshiri, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    Proceedings of SPIE ADVANCED FABRICATION TECHNOLOGIES FOR MICRO/NANO OPTICS AND PHOTONICS　6883　68830E-68830E　2008年2月7日

    DOI： 10.1117/12.762542 　

    ISSN： 0277-786X

  175. Silica-based diffractive/refractive hybrid microlenses fabricated by multiphoton lithography 査読有り

    H. Nishiyama, M. Mizoshiri, J. Nishii, Y. Hirata

    PHOTONIC FIBER AND CRYSTAL DEVICES: ADVANCES IN MATERIALS AND INNOVATIONS IN DEVICE APPLICATIONS II　7056　art. no. 70390E　2008年

    DOI： 10.1117/12.795014 　

    ISSN： 0277-786X

  176. 129 マイクロプラズマ生成のための微細電極構造の作製(マイクロ加工,平成19年度秋季全国大会)

    正森 良輔, 西山 宏昭, 伊庭 知宏, 溝尻 瑞枝, 平田 好則

    溶接学会全国大会講演概要　(81)　60-61　2007年9月1日

    出版者・発行元： 社団法人溶接学会

  177. Microfabrication of nonplanar surface structures by femtosecond laser lithography 査読有り

    Hiroaki Nishiyama, Mizue Mizoshiri, Junpei Nishii, Yoshinori Hirata

    Proceedings of 8th International Symposium on Laser Precision Microfabrication　2007年4月

  178. フェムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製非平面微細構造の作製 査読有り

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 河原敏男, 川合知二, 平田好則

    第13 回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム論文集　13　75–80　2007年2月

  179. Silica-based micro-Fresnel lens fabricated by femtosecond laser lithography and plasma etching

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Toshio Kawahara, Tomoji Kawai, Yoshinori Hirata

    Proceedings of the 8th International Symposium on Laser Microfabrication　#0708　2007年

  180. フェムト秒レーザリソグラフィーによるマイクロ熱加工用電極の作製

    赤西 勇哉, 西山 宏昭, 溝尻 瑞枝, 平田 好則

    溶接学会全国大会講演概要 = PREPRINTS OF THE NATIONAL MEETING OF J.W.S.　79　292-293　2006年9月1日

    出版者・発行元： 一般社団法人 溶接学会

    DOI： 10.14920/jwstaikai.2006f.0.141.0 　

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    電界放出電流を利用した局所的な熱加工の実現を目指し、フェムト秒レーザリソグラフィーによる微細電極の作製を行った。先鋭化タングステン電極の先端部に金属開口マスクを形成し、電界放出特性に優れたカーボンナノチューブの空間選択的な合成を行った。当日は，電界放出特性評価の結果も報告する．

  181. Three-dimensional lithography using a self-trapped filament of femtosecond laser pulses

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Yoshinori Hirata, Junji Nishii, Toshio Kawahara, Tomoji Kawai

    Proceedings of The 4th International Congress on Laser Advanced Materials Processing　00　2006年5月

  182. フェムト秒レーザによる自己束縛フィラメントを利用したレジストパターニング(レーザ加工(III),平成18年度春季全国大会)

    溝尻 瑞枝, 西山 宏昭, 平田 好則

    溶接学会全国大会講演概要　(78)　116-117　2006年3月23日

    出版者・発行元： 社団法人溶接学会

    DOI： 10.14920/jwstaikai.2006s.0.55.0 　

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    フェムト秒レーザ光造形法は光硬化性樹脂の3次元微細造形法として注目されている．本研究では，フェムト秒レーザが誘起する自己束縛フィラメントを用いたレジストパターニングを行った．本手法は，従来法では困難なブレーズ型パターンを形成できるなど非平面的なパターンの形成に有用であった．

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書籍等出版物 2

  1. エッチングの高度化と3次元構造の作製技術

    田中 浩, 杉浦 隆, 石川 健治, 有馬 健太, 関口 淳, 早川 晃鏡, 平井 義彦, 佐々木 実, 戸津 健太郎, 杉原 達記, 篠田 和典, 唐橋 一浩, 浜口 智志, 服部 梓, 大坂 藍, 花房 宏明, 安藤 妙子, 渡辺 司, 松本 克才, 平井精密工業(株), 清水 智弘, 新宮原 正三, 村上 直, 矢作 徹, 奈良崎 愛子, 溝尻 瑞枝

    S&T出版　2025年3月

    ISBN: 9785976543539

  2. プリンテッド・エレクトロニクスに向けた材料，作製プロセス技術の開発

    溝尻 瑞枝

    2017年10月

講演・口頭発表等 265

  1. グリオキシル酸Cu/Ag混合錯体からのフェムト秒レーザ光熱還元を利用したCu系配線の真空フリー低温描画

    笹原 大雅, 木部 公太郎, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    令和8年度電気学会E部門総合研究会　2026年6月29日

  2. Femtosecond laser multipulse-induced copper precipitation from glyoxylic acid copper complex 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    The 6th Smart Laser Processing Conference 2026（SLPC2026）　2026年4月20日

  3. Femtosecond laser pulse-induced thermochemical precipitation from glyoxylic acid copper and silver mixed complex solution

    The 6th Smart Laser Processing Conference 2026（SLPC2026）　2026年4月20日

  4. グリオキシル酸 Cu/Ag 混合錯体溶液を原料としたフェムト秒レーザ光熱還元析出描画特性評価

    笹原 大雅, 木部 公太郎, 増子 颯斗, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    2026年第73回応⽤物理学会春季学術講演会　2026年3月18日

  5. Classification of femtosecond laser-induced carbonization on polyimide films using machine learning

    36th 2025 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2025)　2025年11月25日

  6. Fabrication of a 3-electrode integrated glucose sensor using reductive sintering of copper by femtosecond laser and polyimide carbonization

    Yudai Uchiyama, Shoto Mashiko, Vu Hoai Nam, Ilya Tumkin, Andreas Ostendorf, Mizue Mizoshiri

    36th 2025 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2025)　2025年11月25日

  7. Femtosecond laser multiple-pulse heating for copper microfabrication 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    6th International Conference of Nanojoining and Microjoining (NMJ2025)　2025年11月17日

  8. グリーンフェムト秒レーザ還元焼結によるCu系作⽤電極とポリイミドの炭化による3電極集積化フレキシブルデバイスの作製

    内山 雄大, 増子 颯斗, Vu, Hoai Nam, Ilya Tumkin, Andreas Ostendorf, 溝尻 瑞枝

    第42回「センサ・マイクロマシンと応⽤システム」シンポジウム　2025年11月11日

  9. 機械学習を⽤いたポリイミドフィルムのフェムト秒レーザ炭化分類

    中山 功史朗, 増子 颯斗, Ilya Tumkin, Jonas B. Ullrich, Malte Becker, Philipp Maack, Andreas Ostendorf

    第16回マイクロ・ナノ⼯学シンポジウム　2025年11月10日

  10. フェムト秒レーザパルス誘起光熱反応を利⽤した微細造形とデバイス応⽤ 招待有り

    溝尻 瑞枝

    レーザ協会第203回研究会　2025年9月24日

  11. フェムト秒レーザ光熱還元析出を利用した大気中での金属パターニングと応用 招待有り

    溝尻 瑞枝

    電気学会C部門E部門合同研究会/委員会ー精密周波数制御技術の応用と微細加工技術ー　2025年7月11日

  12. Precision metal patterning via femtosecond laser-induced thermochemical reaction without excessive precipitation from glyoxylic acid metal complex solution 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    Thermec'25 (International Conference on Progressing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Application)　2025年6月30日

  13. Effect of polymer additives to glyoxylic acid copper complex ink on femtosecond laser pulse-induced thermochemical precipitation

    Kotaro Kibe, Ha Phuong Nam, Minori Takahashi, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LPM2025)　2025年6月13日

  14. Patterning properties of copper-based electrodes fabricated by GHz burst femtosecond laser sintering of copper powders

    Taiga Sasahara, Takayuki Tamaki, Koshiro Nakayama, Yudai Uchiyama, Ilya I. Tumkin, Andreas Ostendorf, Mizue Mizoshiri

    The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LPM2025)　2025年6月11日

  15. ntegrated three electrodes fabricated by femtosecond laser direct writing for flexible electrochemical sensors

    Shoto Mashiko, Yudai Uchiyama, Hirokazu Komatsu, Ilya Tumkin, Andreas Ostendorf, Mizue Mizoshiri

    The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LPM2025)　2025年6月11日

  16. Size effects of silicon carbide nanoparticles on high-repetition green femtosecond laser pulse-induced reductive sintering

    Hiroya Ishida, Kairi Nishisaka, Nozomu Matsumoto, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Imai, Shohei Ueta, Xing Yan

    The 9th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LPM2025)　2025年6月11日

  17. フェムト秒レーザパルス誘起光熱反応を利⽤した⾦属微細析出過渡現象解明とその応用 招待有り

    溝尻 瑞枝

    JST創発的研究支援事業 自発的な融合の場第2回「材料への新規解析・計測手法の適用を目指した融合の場」(材料系融合の場)　2025年3月8日

  18. フェムト秒レーザ光熱還元描画を利用した電気化学センサの試作

    増子 颯斗, Ilya Tumkin, Andreas Ostendorf, 溝尻 瑞枝

    JST創発的研究支援事業自発的な融合の場第2回「材料への新規解析・計測手法の適用を目指した融合の場」（材料系融合の場）　2025年3月7日

  19. 近赤外フェムト秒レーザパルスを照射したCu2O/Cu 混合球状ナノ粒子の形態観察

    佐藤 真翔, Tran Duc Thuan, 石川 善恵, 溝尻 瑞枝

    日本機械学会北陸信越支部2025年合同講演会　2025年3月7日

  20. 多分散SiC ナノ粒子を用いたインクの熱伝導制御とフェムト秒レーザ焼結特性評価

    石田 大也, 西坂 海里, 渡部 雅, 今井 良行, 植田 祥平, ヤン ジングロン, 溝尻 瑞枝

    日本機械学会北陸信越支部2025年合同講演会　2025年3月7日

  21. 酵母観察のためのマルチ濃度勾配生成マイクロ流体デバイスの作製

    所 琉大, 高橋 優花, 菅 昇悟, 中村 彰宏, 小笠原 渉, 溝尻 瑞枝

    日本機械学会北陸信越支部2025年合同講演会　2025年3月7日

  22. グリーンフェムト秒レーザ還元焼結によるCu系電極の作製：レーザ走査オーバラップ率のグルコース検出特性への影響

    内山 雄大, 増子 颯斗, Ilya Tumkin, Andreas Ostendorf, 溝尻 瑞枝

    日本機械学会IIP2025 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会　2025年3月4日

  23. フェムト秒レーザー光熱還元析出におけるグリオキシル酸Cu錯体インクへのポリマー添加の効果

    木部 公太郎, Ha Phuong Nam, 高橋 みのり, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    レーザー学会学術講演会第45回年次大会　2025年1月21日

  24. グリーンフェムト秒レーザSiC焼結における熱拡散領域と焼結の検討

    西坂 海里, 石田 大也, Amarsaikhan Khaliun, 渡部 雅, 今井 良行, 植田 祥平, Yan Xing, 溝尻 瑞枝

    第15回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2024年11月25日

  25. Generation of copper-based nanospheres by laser ablation in liquid

    Koshiro Nakayama, Manato Sato, Yoshie Ishikawa, Mizue Mizoshiri

    9th STI-Gigaku 2024　2024年11月7日

  26. Relation between Envelope Shape of GHz/MHz Burst-mode Femtosecond Laser Pulses and Laser-processed Shapes in Copper Sintering

    Taiga Sasahara, Mizue Mizoshiri, Takao Ota, Takayuki Tamaki

    9th STI-Gigaku 2024　2024年11月7日

  27. Copper precipitation process from glyoxylic copper complex Ink by irradiating femtosecond laser pulses

    Ha Phuong Nam, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Symposium on Advanced Research on Generation and Processing of Nano-Functional Materials by Laser Processing　2024年11月1日

  28. ポリビニルピロリドン添加グリオキシル酸ニッケル錯体を用いたフェムト秒レーザ光熱還元析出抑制による細線描画

    高橋 みのり, Ha Phuong Nam, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会　2024年9月19日

  29. フェムト秒レーザ直接描画によるフレキシブル電気化学センサ用３電極の集積化

    増子 颯斗, 駒津 広和, 佐藤 翔真, Ilya Tumkin, Andreas Ostendorf, 溝尻 瑞枝

    2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会　2024年9月19日

  30. Cu micropatterning using femtosecond laser pulse-induced Cu precipitation of Ag nanoparticles added glyoxylic acid Cu complex ink

    Nam Phuong Ha, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    The 25th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2025)　2024年6月

  31. フェムト秒レーザパルス誘起光熱還元を利用した金属微細造形法とその応用 招待有り

    溝尻瑞枝

    日本材料学会北陸信越支部第40期総会・特別講演会　2024年5月10日

  32. Size effect of SiC nanoparticles on SiC patterning properties in green femtosecond laser direct writing

    Kairi Nishisaka, Amarsaikhan Khaliun, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Imai, Shohei Ueta, Xing Yan, Mizue Mizoshiri

    The 5th Smart Laser Processing Conference 2024 (SLPC2024)　2024年4月25日

  33. Capping effect of polyvinylpyrrolidone added to glyoxylic acid nickel complex on femtosecond laser nickel patterning

    Minori Takahashi, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    The 5th Smart Laser Processing Conference 2024 (SLPC2024)　2024年4月25日

  34. Femtosecond laser direct writing of copper patterns using thermochemical reduction of copper (I) oxide nanospheres 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    Material Research Meeting (MRM) 2023　2023年12月16日

  35. Durable superhydrophobic surfaces of polydimethylsiloxane for preventing yeast adsorption treated by irradiating green femtosecond laser pulses

    Mizue Mizoshiri, Yosuke Oda, Raihi Shinzawa, Akihiro Nakamura, Yoshiyuki Suzuki, Yukina Kitahara, Yuka Takahashi, Wataru Ogasawara

    34th 2023 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science(From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2023)　2023年11月20日

  36. Influence of additive silver nanoparticles on femtosecond laser pulse-induced copper precipitation from glyoxylic acid copper complex ink

    Huy Tran Quang, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    34th 2023 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science(From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2023)　2023年11月20日

  37. Femtosecond laser direct writing of Cu-based micropatterns using a two-monodispersed Cu2O nanosphere mixed ink

    Thuan Duc Tran, Kien Vu Trung Nguyen, Ohsuke Mizutani, Mizue Mizoshiri

    Photonics Online Meetup 2023 (POM2023)　2023年11月13日

  38. Femtosecond laser direct writing of Ni-based micropatterns using glyoxylic acid Ni complexes prepared by various starting materials

    Minori Takahashi, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Photonics Online Meetup 2023 (POM2023)　2023年11月13日

  39. グリーンフェムト秒レーザSiCプリンティングにおけるSiCナノ粒子サイズ効果

    西坂海里, Amarsaikhan Khaliun, 渡部雅, 今井良行, 植田祥平, Yan Xing, 溝尻瑞枝

    第14回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2023年11月8日

  40. 2種単分散Cu2O混合ナノ球インクを用いたCu系パターンのフェムト秒レーザ直接描画

    Tran Duc Thuan, Nguyen Vu Trung Kien, 水谷桜輔, 溝尻瑞枝

    第14回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2023年11月8日

  41. 各種出発原料を用いたグリオキシル酸Ni錯体の調製とフェムト秒レーザNi系パターニング

    高橋みのり, 大石友司, 溝尻瑞枝

    第14回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2023年11月6日

  42. Fabrication of Copper electrodes for non-enzymatic glucose detection by femtosecond laser pulses induced reduction from glyoxylic acid copper

    Ha Phuong Nam, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    8th STI-Gigaku 2023　2023年11月6日

  43. Fabrication of integrated flexible electrodes using femtosecond laser reductive sintering of CuO nanoparticles and modification of polymer substrate

    Shoma Sato, Hirokazu Komatsu, Mizue Mizoshiri

    8th STI-Gigaku 2023　2023年11月6日

  44. Size effect of SiC nanoparticles on green femtosecond laser printing of SiC micropatterns

    Kairi Nishisakai, Amarsaikhan Khaliun, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Ueta, Shohei Ueta, Xing Yan, Mizue Mizoshiri

    Photonics Online Meetup 2023 (POM2023)　2023年11月3日

  45. 近赤外フェムト秒レーザパルス照射によるCu;su;O球状ナノ粒子の基板への接合条件探索

    水谷桜輔, Tran Duc Thuan, Trung Vu, Nguyen Kien, 溝尻瑞枝

    2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会　2023年9月21日

  46. Metal direct writing and the transient phenomena using femtosecond laser thermochemical reduction 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    International Workshop on Laser Material Processing and Applications (LMPA2023)　2023年9月4日

  47. フェムト秒レーザパルス誘起熱反応を用いた3Dマイクロプリンティング 招待有り

    溝尻 瑞枝

    日本歯科理工学会中部地方会セミナー　2023年8月24日

  48. Direct writing of metal patterns using glyoxylic acid metal complex ink by femtosecond laser pulse-induced thermochemical reaction 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    Progress in Ultrafast Laser Modifications of Materials (PULMM2023)　2023年6月9日

  49. Femtosecond laser direct writing using SiC nanoparticle ink containing finer nanoparticles

    Khaliun Amarsaikhan, Tatsuru Kawabori, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Imai, Shohei Ueta, Xing L. Yan, Mizue Mizoshiri

    The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)　2023年6月

  50. Cu-based electrodes for non-enzymatic glucose detection fabricated by green femtosecond laser reductive sintering

    Hirokazu Komatsu, Kyohei Yoshidomi, Evgenia M. Khairullina, Ilya I. Tumkin, Mizue Mizoshiri

    The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)　2023年6月

  51. Size effect of Cu2O nanospheres on femtosecond laser reductive sintering for copper-based patterning

    Mizue Mizoshiri, Kien Trung Vu Nguyen, Thuan Duc Tran, Ohsuke Mizutani

    The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)　2023年6月

  52. Influence of thermal diffusion on femtosecond laser pulse-induced copper precipitation from surfactant added glyoxylic acid copper complex ink

    Nam Phuong Ha, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)　2023年6月

  53. Direct writing of copper-based electrodes using femtosecond laser reductive sintering of copper (II) oxide nanoparticles

    Mizue Mizoshiri, Kyohei Yoshidomi, Hirokazu Komatsu, Evgenia M. Khairullina, Ilya I. Tumkin

    Lasers in Manufacturing (LiM2023)　2023年6月

  54. フェムト秒レーザSiCナノ粒子焼結を用いた高密度SiCプリンティング

    川堀龍, 渡部雅, 今井良行, 植田祥平, YAN Xing, 溝尻瑞枝

    第29回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム　2023年

  55. Size effect of SiC nanoparticles on SiC patterning properties in green femtosecond laser direct writing

    Kairi Nishisaka, Amarsaikhan Khaliun, Masashi Watanabe, Yoshiyuki Imai, Shohei Ueta, Xing Yan, Mizue Mizoshiri

    The 5th Smart Laser Processing Conference 2024 (SLPC2024)　2022年4月

  56. グリオキシル酸Cu錯体/Cuナノ粒子混合インクを用いたフェムト秒レーザ直接描画特性

    溝尻 瑞枝, 成島 淳也, 大石 知司

    電気学会「光・量子デバイス研究会」　2022年3月28日

  57. コバルト系材料のフェムト秒レーザ還元描画特性評価とグルコースセンサへの応用

    溝尻 瑞枝, Darkhanbaatar Namsrai, 吉冨 恭平, Khairullina, Evgenia M, Tumkin Ilya I

    2022年第69回応用物理学会春季学術講演会　2022年3月24日

  58. グリオキシル酸Cu錯体/Cuナノ粒子混合インクのフェムト秒レーザCuパターニング

    成島 淳也, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    IIP2022 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会　2022年3月7日

  59. 近赤外フェムト秒レーザ焼結を用いた大気中SiCパターニング

    川堀 龍, 渡部 雅, 今井 良行, ヤン ジングロン, 溝尻 瑞枝

    日本機械学会北陸信越支部2022年合同講演会　2022年3月4日

  60. フェムト秒レーザパルス照射による多分散Cu2O球状ナノ粒子のCu薄膜上への還元接合

    安西 将輝, 村山 章平, 真柄 英之, 中村 貴宏, 溝尻 瑞枝

    日本機械学会北陸信越支部2022年合同講演会　2022年3月4日

  61. グリオキシル酸Cu錯体からのフェムト秒レーザCu還元析出の動的観察

    溝尻 瑞枝, 大森元貴, Ha Phuong Nam, 大石知司

    第28回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate2022）　2022年2月1日

  62. COBALT-BASED PATTERNS FABRICATED USING FEMTOSECOND LASER REDUCTIVE SINTERING OF COBALT OXIDE NANOPARTICLES

    Mizue Mizoshiri, NamsraiDarkhanbaatar, Kyohei Yoshidomi, Evgenia M. Khairrullina, Ilya I. Tumkin

    6th Asian Symposium on Material and Processing 2022 (ASMP2022)　2022年1月26日

  63. 3次元Cu微細造形に向けたCu2O球状ナノ粒子のフェムト秒レーザパルス誘起局所加熱接合 招待有り

    溝尻 瑞枝

    第96回レーザ加工学会講演会　2022年1月18日

  64. フェムト秒レーザーパルス照射によるCu2O微小球の局所加熱還元接合

    溝尻 瑞枝, 村山 章平, NGUYEN VU TRUNG KIEN, 安西 将輝, 真柄 英之, 中村 貴宏

    レーザー学会学術講演会第42回年次大会　2022年1月12日

  65. Direct writing of Cr2O3micropattern by using femtosecond laser irradiation of glyoxylic acid chromium complex

    Nam Phuong Ha, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    Material Research Meeting (MRM) 2021　2021年12月14日

  66. Cu electrodes fabricated using femtosecond laser reductive sintering and nanosecond laser surface treatment

    Kyohei Yoshidomi, Susumu Nakamura, Makoto Hirai, Mizue Mizoshiri

    32th 2021 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science(From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2021)　2021年12月7日

  67. 層流を利用したPDMS流路内部の流体制御

    尾田 陽哉, 北本 侑大, 井谷 綾花, 北原 雪菜, 小笠原 渉, 溝尻 瑞枝

    第12回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2021年11月9日

  68. 近赤外フェムト秒レーザ焼結を用いたSiCパターンの大気中直接描画

    川堀 龍, 渡部 雅, 今井 良行, ヤン ジングロン, 溝尻 瑞枝

    第12回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2021年11月9日

  69. 3D微細造形のためのCu薄膜上へのCu2O微小球還元接合特性評価

    NGUYEN VU TRUNG KIEN, 村山 章平, 安西 将輝, 真柄 英之, 中村 貴宏, 溝尻 瑞枝

    第12回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2021年11月9日

  70. Consideration of the mechanism of single-layered Cu2O nanospheres bonded on metal substrates in irradiating near-infrared femtosecond laser pulses

    Shohei Murayama, Kien Vu Trung Nguyen, Masateru Anzai, Hideyuki Magara, Takahiro Nakamura, Mizue Mizoshiri

    34tht International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2021)　2021年10月26日

  71. フェムト秒レーザパルス照射によるグリオキシル酸Cu錯体からのCu還元析出の動的観察

    大森 元貴, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会　2021年9月10日

  72. CHARACTERIZATION OF Co3O4NANOPARTICLE REDUCTION SINTERINGAND APPLICATION TO FLEXIBLE DEVICE

    Darkhanbaatar Namsrai, Kyohei Yoshidomi, Mizue Mizoshiri

    Mendeleev2021　2021年9月6日

  73. Oxidation control using pulse burst irradiation in femtosecond laser-reductive sintering of Cu micropatterning

    Kyohei Yoshidomi, Mizue Mizoshiri

    Mendeleev2021　2021年9月6日

  74. ナノ粒子インクを用いたフェムト秒レーザプリンティング 招待有り

    溝尻瑞枝

    ナノ・マイクロ階層構造化による新材料創製研究会第2回研究会　2021年9月6日

  75. Co-based Micropatterning on Polymer Substrates in Ambient Atmosphere using Femtosecond Laser Reductive Sintering of Cobalt Oxide Nanoparticles 招待有り

    Mizue Mizoshiri, Kyohei Yoshidomi, Namsrai Darkhanbaatar, Evbeniia Khairullina, Maxim Panov, Ilya I. Tumkin

    Photopolymer Conference (ICPST-38)　2021年6月15日

  76. Vacuum-free Cu patterning using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles under inert gas injection

    Mizue Miizoshiri, Kyohei Yoshidomi, Susumu Nakamurai

    The 22st International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2021)　2021年6月8日

  77. Investigation of mechanism of Cu2O nanosphere bonding on metal thin films induced by irradiating femtosecond laser pulses

    Shohei Murayama, Nguyen Vu Trung Kien, Hideyuki Magara, Takahiro Nakamura, Mizue Mizoshiri

    The 22st International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2021)　2021年6月8日

  78. フェムト秒レーザ還元焼結を利用した高純度Cuパターニングとその表面酸化処理特性評価

    溝尻瑞枝, 吉冨恭平, 中村奨

    電気学会「光・量子デバイス研究会」　2021年3月29日

  79. フェムト秒レーザ還元を利用した金属・半導体の3次元微細造形と応用

    溝尻瑞枝

    有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム第39回定例会　2021年3月23日

  80. フェムト秒レーザ還元Cuパターニングにおける酸化抑制

    吉冨 恭平, 溝尻 瑞枝

    2021年第68回応用物理学会春季学術講演会　2021年3月19日

  81. グリーンフェムト秒レーザー誘起還元によるグリオキシル酸Ni錯体溶液内部へのNiパターン作製

    中谷 光, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    レーザー学会学術講演会第41回年次大会　2021年1月20日

  82. グリオキシル酸Fe錯体のフェムト秒レーザー還元を用いた Fe/Fe-Oパターニング

    渡邉 史哉, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    レーザー学会学術講演会第41回年次大会　2021年1月20日

  83. フェムト秒レーザー光熱還元を利用したセンサーの描画作製 招待有り

    溝尻 瑞枝

    レーザー学会学術講演会第41回年次大会　2021年1月19日

  84. 金属薄膜上へのCu2O球状ナノ粒子単層接合のためのフェムト秒レーザパルス照射条件の探索

    村山章平, Kien Vu Trung Nguyen, 真柄英之, 中村貴宏, 溝尻瑞枝

    第20回東北大学多元物質科学研究所研究発表会　2020年12月3日

  85. Cu micropatterning on nonplanar glass and PDMS substrates by using femtosecond laser two-photon absorption of glyoxylic Cu complex

    Ha Phuong Nam, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    5th STI-Gigaku 2020　2020年10月30日

  86. Characteristics of bonding Cu2O nanospheres on metal thin films by irradiating femtosecond laser pulses

    Shohei Murayama, Nguyen Vu Trung Kien, Hideyuki Magara, Takahiro Nakamura, Mizue Mizoshiri

    5th STI-Gigaku 2020　2020年10月30日

  87. Reductive sintering of Cu nanoparticle inks using green femtosecond laser pulses

    Junya Narushima, Mitsuharu Todai, Mizue Mizoshiri

    5th STI-Gigaku 2020　2020年10月30日

  88. グリオキシル酸銅錯体のフェムト秒レーザ還元描画を用いた立体表面上へのCu 配線

    HA PHUONG NAM, 大石知司, 溝尻瑞枝

    第11回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2020年10月27日

  89. Auナノ粒子プラズモン光学フィルタを用いた磁化過程の動磁区観察

    小池廉太郎, 高木健太, 尾崎公洋, 溝尻瑞枝

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2020年10月26日

  90. Direct Patterning Properties of Cu-Ni Alloy Using Femtosecond Laser Reduction of Glyoxylic Acid Cu/Ni Mixed Complex

    Mizue Mizoshiri, Junya Narushima, Tomohide Hayashi, Tomoji Ohishi

    2020年10月20日

  91. フェムト秒レーザ 3D 微細造形のための Cu 薄膜上への単層Cu2O 微小球の描画条件探索

    NGUYEN VU TRUNG KIEN, 田之口睦, 真柄英之, 中村貴宏, 溝尻瑞枝

    2020年度日本機械学会年次大会　2020年9月15日

  92. 酵母観察のための表面処理マイクロ流体デバイスの試作

    尾田陽哉, 橋口太一, 井谷綾香, 北原雪菜, 小笠原渉, 溝尻瑞枝

    2020年度日本機械学会年次大会　2020年9月14日

  93. フェムト秒レーザパルス誘起多光子吸収を利用した金属の光熱還元描画と3D微細造形への応用 招待有り

    溝尻瑞枝

    2020年度日本機械学会年次大会　2020年9月14日

  94. グリオキシル酸Cu/Ni混合錯体のフェムト秒レーザ還元を用いて作製したCu-Ni合金パターンの熱電特性

    林 智英, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    2020年第81回応用物理学会春季学術講演会　2020年9月9日

  95. Cuパターンのフェムト秒レーザ還元描画とナノ秒レーザによる酸化膜形成

    吉冨恭平, 中村奨, 溝尻瑞枝

    電気学会令和2年度E部門総合研究会「マイクロマシン・センサシステム研究会」　2020年7月7日

  96. Green femtosecond laser direct writing using reduction of glyoxylic acid Co/Ni complexes

    Hikaru Nakatani, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    The 21st International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2020)　2020年6月23日

  97. Cu-based microfabrication using green femtosecond laser reductive sintering of Cu2O nanospheres

    Mizue Mizoshiri, Atsushi Tanokuchi, Kien Vu Trung Nguyen

    The 21st International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2020)　2020年6月23日

  98. フェムト秒レーザ還元描画Cu パターンのナノ秒レーザ表面酸化処理

    吉冨 恭平, 中村 奨, 溝尻 瑞枝

    2020年第67回応用物理学会春季学術講演会　2020年3月15日

  99. ギ酸銅を出発剤としたグリオキシル酸銅錯体の グリーンフェムト秒レーザ還元描画

    林 智英, 植月 暁, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    2020年第67回応用物理学会春季学術講演会　2020年3月15日

  100. グリーンフェムト秒レーザを利用したCu2Oナノ粒子の還元によるCu系微細構造の作製

    田之口 睦, 溝尻 瑞枝

    日本機械学会 北陸信越支部 第57期講演会　2020年3月8日

  101. グリオキシル酸Fe錯体を用いたFe系パターンのフェムト秒レーザー還元析出特性

    渡邉 史哉, 植月 暁, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    レーザー学会学術講演会第40回年次大会　2020年1月20日

  102. グリオキシル酸Co/Ni錯体溶液のグリーンフェムト秒レーザー還元直接描画特性評価と微細パターン作製

    中谷 光, 水澤 夏紀, 植月 暁, 大石 知司, 溝尻 瑞枝

    レーザー学会学術講演会第40回年次大会　2020年1月20日

  103. フレキシブル基板上へのCu系材料の直接描画と温度センサ作製 招待有り

    溝尻 瑞枝

    第92回レーザ加工学会講演会　2019年12月10日

  104. Femtosecond laser direct-writing technique using reduction of glyoxylic acid metal complexes

    Mizue Mizoshiri, Junya Narushima, Tomoyuki Imakita, Hikaru Nakatani, Akira Uetsuki, Tomoji Ohishi

    30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science(From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2019)　2019年12月4日

  105. Absorption properties of Cu2O nanosphere solutions for microfabrication of Cu-based microstructures by green femtosecond laser pulses

    Atsushi Tanokuchi, Mizue Mizoshiri

    4th STI-Gigaku 2019　2019年11月8日

  106. Edge detection of images of magnetic domains obtained by a magnet-optical Kerr effect microscopy with Au plasmon filters

    Rentaro Koike, Mizue Mizoshiri, Kenta Takagi, Kimihiro Ozaki

    4th STI-Gigaku 2019　2019年11月8日

  107. Direct writing of Cu-based micropatterns using femtosecond laser reduction of copper oxide nanoparticles 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM-13)　2019年10月30日

  108. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた金属・半導体パターニング 招待有り

    溝尻瑞枝

    ウェブハンドリング技術研究会10月度特別合宿勉強会　2019年10月19日

  109. グリオキシル酸Cu/Ni混合錯体のフレキシブル基板上でのフェムト秒レーザ還元描画特性

    成島淳也, 今北智之, 植月暁, 大石知司, 溝尻瑞枝

    第90回応用物理学会秋季学術講演会　2019年9月19日

  110. フェムト秒レーザパルス誘起多光子吸収を利用したグリオキシル酸金属錯体の還元直接描画

    今北智之, 植月暁, 大石知司, 溝尻瑞枝

    第90回応用物理学会秋季学術講演会　2019年9月19日

  111. Direct laser writing technique for creating non-enzymatic sensor 国際会議 招待有り

    ANDRIANOV, V, KHAIRULLINA, E, SMIKHOVSKAIA, A, MIRONOV, V, PANOV, M, MIZOSHIRI, M, TUMKIN, I

    Advanced Laser Technology (ALT19)　2019年9月19日

  112. Direct writing of three-dimensional microstructures using femtosecond laser pulse-induced reduction 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    Mendeleev2019　2019年9月11日

  113. Direct Writing of Flexible Microdevices Using Femtosecond Laser Reduction of Metal Oxide Nanoparticles 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    Photopolymer Conference (ICPST-36)　2019年6月26日

  114. Direct Writing of Three-dimensional Microstructures Using Femtosecond Laser Reduction of Metal Oxide Nanoparticles 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    Photopolymer Conference (ICPST-36)　2019年6月26日

  115. Direct laser writing technique for creating non-enzymatic and gas sensors 国際会議

    KHAIRULLINA, E, MIRONOV, V, ANDRIANOV, V, MIZOSHIRI, M, PANOV, M, TUMKIN, I

    The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019）　2019年5月23日

  116. Cu micropatterning on step structures using femtosecond laser reduction of glyoxylic acid copper complexes 国際会議

    Ha Phuong Nam, Atsushi Tanokuchi, Akira Uetsuki, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri

    The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019）　2019年5月22日

  117. Cu-based microfabrication using green femtosecond laser reductive sintering of Cu2O nanospheres 国際会議

    Atsushi Tanokuchi, Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri

    The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019）　2019年5月22日

  118. Cu-Ni micropatterning on flexible substrates using femtosecond laser reductive sintering 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Ha Phuong Nam

    The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019）　2019年5月22日

  119. Cu2Oナノ粒子のフェムト秒レーザ還元描画における波長の影響

    溝尻瑞枝, 田之口睦, 近藤幸成

    電気学会「光・量子デバイス研究会」　2019年3月29日

  120. Cuメッシュ電極のフレキシブル基板上へのレーザ直接描画と温度センサ作製

    溝尻瑞枝, Ha Phuong Nam, 伊藤恭章, 秦誠一

    第66回応用物理学会春季学術講演会　2019年3月10日

  121. Femtosecond laser direct writing of three-dimensional Cu-based microstructures 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    International Symposium on SSS Laser Processing (3S-LP)　2019年2月28日

  122. Fabrication of Cu-based microstructures using green femtosecond laser sintering of Cu2O nanoparticles 国際会議

    Atsushi Tanokuchi, Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri

    International Symposium on SSS Laser Processing (3S-LP)　2019年2月28日

  123. Direct writing of Cu-based flexible thermal detectors using femtosecond laser-induced reduction 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    Photonics West 2019　2019年2月6日

  124. High-contrast imaging of magnetic domains by magneto-optical Kerr effect using plasmon filters 国際会議

    Takumi Hasegawa, Mizue Mizoshiri, Kenta Takagi, Kimihiro Ozaki

    Photonics West 2019　2019年2月6日

  125. Fabrication of plasmon filters for highly sensitive observation of magnetic domains by magneto-optical Kerr effect 国際会議

    Takumi Hasegawa, Mizue Mizoshiri, Kenta Takagi, Kimihiro Ozaki

    29th 2018 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS2018)　2018年12月12日

  126. プラズモンフィルタを用いた磁気光学Kerr効果による高感度磁区観察

    長谷川拓己, 溝尻瑞枝, 高木健太, 尾崎公洋

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2018年10月31日

  127. グリオキシル酸Cu錯体のフェムト秒レーザ還元を利用したCu直接描画

    溝尻瑞枝, 青山慶子, 植月暁, 大石知司

    第9回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2018年10月30日

  128. Direct writing of Cu-based microstructures using green femtosecond laser pulses 国際会議

    Atsushi Tanokuchi, Mitsuharu Todai, Mizue Mizoshiri

    3rd STI-Gigaku 2018　2018年10月6日

  129. Imaging of magnetic domains by magneto-optical Kerr effect using Au plasmon filters 国際会議

    Takumi Togashi, Mizue Mizoshiri, Takumi Hasegawa, Kenta Takagi, Kimihiro Ozaki

    The 7th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2018)　2018年10月6日

  130. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたポリマー上へのCu微細構造の造形

    西谷健太, 秦誠一, 溝尻瑞枝

    2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会　2018年9月18日

  131. フェムト秒レーザ還元を用いたフレキシブル基板上へのCu メッシュ電極の直接描画

    溝尻瑞枝, 伊藤恭章, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会2018年度年次大会　2018年9月12日

  132. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたポリマー上へのCu微細構造の造形 招待有り

    溝尻瑞枝, 秦誠一

    第67回高分子討論会　2018年9月12日

  133. Direct-writing properties of Cu-Ni-based thermoelectric micropatterns formed by femtosecond laser reductive sintering at low writing speed 国際会議

    Kenta Nishitani, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri

    The Third Smart Laser Processing Conference 2018（SLPC2018）　2018年4月26日

  134. Three-dimensional Cu-based microfabrication using femtosecond laser induced internal writing 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Yukinari Kondo, Seiichi Hata

    The Third Smart Laser Processing Conference 2018（SLPC2018）　2018年4月26日

  135. 非線形光吸収を利用した酸化物銅ナノ粒子の金属還元3次元微細加工法の基礎的研究 招待有り

    溝尻 瑞枝

    天田財団第2回レーザプロセッシング助成研究成果発表会　2018年4月25日

  136. フェムト秒レーザー還元を用いた3次元金属／半導体微細構造の直接描画プロセスの研究 招待有り

    溝尻 瑞枝

    第65回応用物理学会春季学術講演会 女性研究者研究業績・人材育成賞（小舘香椎子賞）研究業績部門（若手）受賞講演　2018年3月19日

  137. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCu-Ni系熱電微細パターンの描画

    西谷健太, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会東海支部第67期総会・講演会　2018年3月13日

  138. Direct writing of three-dimensional Cu-based sensors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    Photonics West 2018　2018年2月1日

  139. Femtosecond laser direct writing of Cu-based fine patterns using Cu2O nanospheres 国際会議

    Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Photonics West 2018　2018年1月30日

  140. FABRICATION OF FLEXIBLE THERMOELECTRIC GENERATORS WITH A LENS ARRAY FOR NEAR-INFRARED SOLAR LIGHT HARVESTING 国際会議

    Yuki Shimizu, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei, Sakurai, Seiichi Hata

    IEEE Micro Electro Mechanical Systems 2018 (MEMS2018)　2018年1月24日

  141. 伝導解析を用いた透過型薄膜熱電発電デバイスの設計と作製

    溝尻 瑞枝

    Comsol Conference 2017 Tokyo　2017年12月8日

  142. FABRICATION OF COPPER/COPPER-NICKEL THIN-FILM THERMOELECTRIC GENERATORS WITH ENERGY STORAGE DEVICES 国際会議

    Yuki Shimizu, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei, Sakurai, Seiichi Hata

    The 17th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications 2017 (Power MEMS2017)　2017年11月16日

  143. PDMS微小パーツの自己配列による二次元周期構造形成

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第8回マイクロ･ナノ工学シンポジウム　2017年11月1日

  144. Cu-Ni熱電薄膜を用いたフレキシブル発電デバイスの作製

    清水悠希, 溝尻瑞枝, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦誠一

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2017年11月1日

  145. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCuメッシュ型温度センサの作製

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第8回マイクロ･ナノ工学シンポジウム　2017年10月31日

  146. CuO/NiO混合ナノ粒子のフェムト秒レーザ還元を用いたpn熱電対の選択描画

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第8回マイクロ･ナノ工学シンポジウム　2017年10月31日

  147. 高感度磁区観察をめざしたAuギャップ光学フィルタの作製

    長谷川拓己, 溝尻瑞枝, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦誠一

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2017年10月31日

  148. Cu2Oナノ粒子還元を利用した導電性Cuパターンの直接描画

    近藤幸成, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第88回レーザ加工学会講演会　2017年10月12日

  149. PDMS中空微小パーツ作製と自己配列による二次元周期構造形成

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第3回日本機械学会イノベーション講演会（iJSME2017）　2017年10月8日

  150. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCuメッシュ構造描画特性評価

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第3回日本機械学会イノベーション講演会（iJSME2017）　2017年10月8日

  151. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCuの3D微細積層造形と応用 招待有り

    溝尻 瑞枝

    第3回日本機械学会イノベーション講演会（iJSME2017）　2017年10月7日

  152. CuO/NiOナノ粒子を用いたポリマー基板上への熱電対のレーザ還元描画

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第78回応用物理学会学術講演会　2017年9月8日

  153. Cu2Oナノ粒子を用いたフェムト秒レーザ微細パターニング

    近藤幸成, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第78回応用物理学会学術講演会　2017年9月7日

  154. PDMS微小パーツの作製と周期構造形成のための自己配列特性評価

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    2017年度日本機械学会年次大会　2017年9月5日

  155. 環境発電のためのCu/Cu-Ni薄膜熱電デバイスの作製

    溝尻 瑞枝清水悠希, 溝尻瑞枝, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦誠一

    2017年度日本機械学会年次大会　2017年9月5日

  156. フェムト秒レーザ還元直接描画法におけるCu微細パターンのデフォーカス描画特性評価

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    2017年度日本機械学会年次大会　2017年9月5日

  157. Auギャップ光学フィルタを用いた磁区観察の高感度化

    長谷川拓己, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第78回応用物理学会学術講演会　2017年9月5日

  158. フェムト秒レーザー還元直接描画法を用いた機能性材料の選択描画とデバイス応用 招待有り

    溝尻瑞枝

    平成29年度年度第1回多元技術融合光プロセス研究交流研究会　2017年7月6日

  159. Cu2Oナノ粒子還元によるCu微細パターンのフェムト秒レーザ直接描画

    溝尻瑞枝, 近藤幸成, 櫻井淳平, 秦誠一

    電気学会E部門総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会　2017年6月29日

  160. フェムト秒レーザ還元直接描画法によるマイクロデバイスの作製 招待有り

    溝尻瑞枝

    工学系セミナー 「微細加工技術とマイクロ・ナノプロセス」～名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノプロセス工学研究グループの紹介～　2017年6月23日

  161. Cu micropatterning using femtosecond laser reduction of Cu2O nanoparticles 国際会議

    Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2017)　2017年6月5日

  162. Three-dimensional hot-film flow sensors fabricated using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2017)　2017年6月5日

  163. P- and n-type thermoelectric micropatterns fabricated by femtosecond laser reduction of CuO/NiO nanoparticles 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2017)　2017年6月5日

  164. Copper-Based Micropatterning on Silicone Using a Combined Process of Spray-Coating and Femtosecond Laser Reduction of Copper Oxide Nanoparticles 国際会議

    Yasuaki Ito, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    6th JSME/ASME 2017 International Conference on Materials and Processing, ICM&P2017　2017年6月5日

  165. Direct-writing of copper-based micropatterns on polymer substrates using femtosecond laser reduction of copper (II) oxide nanoparticles 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    SPIE Smart Structures/NDE　2017年3月25日

  166. Polymer-based blood vessel models with micro-temperature sensors in EVE 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Takeshi Hayakawa, Hisataka Maruyama, Junpei Sakurai, Seiichi Ikeda, Fumihito Arai, Seiich Hata

    SPIE Smart Structures/NDE　2017年3月25日

  167. CuO/NiO混合ナノ粒子を用いたpn熱電パターンのレーザ還元選択描画

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    2017年第64回応用物理学会春季学術講演会　2017年3月14日

  168. フェムト秒レーザ還元直接描画法によるマイクロデバイスの作製 招待有り

    溝尻瑞枝, 秦誠一

    レーザー学会第37回年次大会　2017年1月7日

  169. Femtosecond laser reductive patterning using the mixed copper oxide and nickel oxide nanoparticles 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016　2016年12月16日

  170. 近赤外太陽光発電のためのCu/Cu-Ni薄膜熱電デバイスの作製

    清水悠希, 溝尻瑞枝, 伊藤嘉崇, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦誠一

    Innovation from JSME 2016(iJSME2016)第２回日本機械学会イノベーション講演会　2016年11月24日

  171. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上への温度センサ作製

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    Innovation from JSME 2016(iJSME2016)第２回日本機械学会イノベーション講演会　2016年11月24日

  172. 微細周期構造形成のためのPDMS微小パーツ作製

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    Innovation from JSME 2016(iJSME2016)第２回日本機械学会イノベーション講演会　2016年11月24日

  173. Fabrication of Ni/Cr2O3 Composite Microstructures Using Femtosecond Laser Reductive Sintering of NiO/Cr Mixed Nanoparticles 国際会議

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2016)　2016年11月9日

  174. Fabrication of Thin-Film Thermoelectric Generators with Ball Lenses for Conversion of Near-infrared Solar Energy 国際会議

    Yoshitaka Ito, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2016)　2016年11月9日

  175. フェムト秒レーザ還元焼結を用いたNi合金微細パターン作製

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2016年10月24日

  176. Fabrication of microdevices using femtosecond laser reductive sintering of metal oxide nano particles 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    International Conference on Advanced Laser Technologies (ALT'16)　2016年9月11日

  177. 自己組織化による3 次元微細周期構造形成のための微小パーツの作製

    飯嶋勇樹, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    日本機械学会2016年度年次大会　2016年9月11日

  178. ボールレンズを用いた可視光透過型薄膜熱電発電デバイスの作製

    伊藤嘉崇, 溝尻瑞枝, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦 誠一

    日本機械学会2016年度年次大会　2016年9月11日

  179. フェムト秒レーザ還元直接描画法による非平面基板上へのCu 微細構造形成

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    日本機械学会2016年度年次大会　2016年9月11日

  180. フェムト秒レーザ還元直接描画法による3次元微細Cu パターンの積層造形

    荒金 駿, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    日本機械学会2016年度年次大会　2016年9月11日

  181. Femtosecond laser-induced reductive sintering to fabricate Ni-based alloy micropatterns 国際会議

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications　2016年8月29日

  182. Three-dimensional Cu micropatterns fabricated using femtosecond laser-induced CuO nanoparticle reduction 国際会議

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications　2016年8月29日

  183. Direct-writing of Cu-Ni micropatterns using femtosecond laser reduction of CuO/NiO nanoparticles 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications　2016年8月29日

  184. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた金属微細パターニングとその応用 招待有り

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    （社）溶接学会第114回マイクロ接合研究委員会　2016年7月22日

  185. Micro metal 3D printing using femtosecond laser reductive sintering of metal oxide nanoparticles 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    2016 Japan-America Frontiers of Engineering Symposium　2016年6月16日

  186. フェムト秒レーザによる硝酸銅(Ⅱ)溶液の微細還元パターニング

    近藤幸成, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    第85回レーザ加工学会講演会　2016年6月9日

  187. 金属酸化物ナノ微粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法 招待有り

    溝尻瑞枝, 秦誠一

    展示会OPIE'16＆月刊オプトロニクス 連動特別講演会『レーザー光を用いた超精密・超微細3Dプリンティングの最前線』　2016年5月18日

  188. Cu-based micropatterning using femtosecond laser reduction of copper nitrate in a polymer 国際会議

    Yukinari Kondou, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016)　2016年5月17日

  189. Cu micropatterning on poly(dimethylsiloxane) using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Ito, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016)　2016年5月17日

  190. Spray-coating of CuO nanoparticles for femtosecond laser reduction patterning on nonplanar substrates 国際会議

    Yasuaki Ito, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The Second Smart Laser Processing Conference 2016 (SLPC2016)　2016年5月17日

  191. フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu-Ni微細パターニング

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第63回応用物理学会春季学術講演会　2016年3月19日

  192. フェムト秒レーザ還元描画法によるニッケル微細パターンの作製および評価

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第84回レーザ加工学会講演会　2016年1月19日

  193. 金属-ポリマー複合微細構造形成のためのフェムト秒レーザ還元描画法 招待有り

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第84回レーザ加工学会講演会　2016年1月19日

  194. フェムト秒レーザ還元直接描画法による微細Cuパターニングの還元剤の影響

    荒金駿, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    第84回レーザ加工学会講演会　2016年1月19日

  195. 金属-ポリマー複合微細構造形成のためのフェムト秒レーザー還元描画法 招待有り

    溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    レーザー学会第36回年次大会　2016年1月9日

  196. Thin-film thermoelectric generator with ball lens for using near-infrared solar energy 国際会議

    Yoshitaka Ito, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Tasuku Kondou, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    Yoshitaka Ito, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Tasuku Kondou, Junpei Sakurai and Seiichi Hata　2015年11月23日

  197. フェムト秒レーザを用いた酸化ニッケルナノ粒子の還元微細パターニング特性

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    iJSME2015　2015年11月14日

  198. フェムト秒レーザを用いたCuOナノ粒子還元パターンの抵抗温度特性

    荒金駿, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    iJSME2015　2015年11月14日

  199. フェムト秒レーザ還元を利用したマイクロ温度センサの作製

    溝尻瑞枝, 伊藤恭章, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦誠一

    iJSME2015　2015年11月14日

  200. Fabrication of thermoelectric generators with anti-reflection structures using self-assembled silica microspheres 国際会議

    Tasuku Kondou, Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Yoshitaka Itou, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2015)　2015年11月11日

  201. Direct Fabrication of Micro-Temperature Sensor Using Femtosecond Laser Reduction Patterning 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Yasuaki Itou, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2015)　2015年11月11日

  202. フェムト秒レーザ還元直接描画法によるCu2Oマイクロ温度センサの作製

    伊藤恭章, 溝尻瑞枝, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦誠一

    第7回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2015年10月28日

  203. CuO反射防止構造を付与した薄膜熱電発電デバイスの作製

    近藤祐, 溝尻瑞枝, 三上祐史, 伊藤嘉崇, 櫻井淳平, 秦誠一

    第7回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2015年10月28日

  204. フェムト秒レーザ還元を利用した金属微細構造の直接描画

    溝尻瑞枝

    レーザー学会第481回研究会　2015年9月29日

  205. シリカ微小球の自己組織化を利用した熱電発電用反射防止構造の作製

    近藤祐, 溝尻瑞枝, 三上祐史, 櫻井淳平, 秦 誠一

    日本機械学会2015年度年次大会　2015年9月13日

  206. フェムト秒レーザ直接還元描画法による微細Cuパターンの導電特性

    荒金駿, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    日本機械学会2015年度年次大会　2015年9月13日

  207. 酸化ニッケルナノ粒子のフェムト秒レーザ還元微細パターニング

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦誠一

    日本機械学会2015年度年次大会　2015年9月13日

  208. マイクロ温度センサのフェムト秒レーザ直接還元描画形成

    溝尻瑞枝, 伊藤恭章, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦 誠一

    第76回応用物理学会秋季学術講演会　2015年9月13日

  209. Reduction properties of nickel microstructures fabricated by direct femtosecond laser reduction patterning 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Kenki Tamura, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    2015 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment　2015年6月14日

  210. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたマイクロ温度センサの作製

    溝尻瑞枝, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦誠一

    第83回レーザ加工学会講演会　2015年6月11日

  211. Reduction of CuO nanoparticles for Cu micropatterning by femtosecond laser pulses 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The 7th International Congress on Laser Advanced Materials Processing　2015年5月26日

  212. Patterning properties of nickel microstructures using femtosecond laser induced reduction 国際会議

    Kenki Tamura, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata

    The 7th International Congress on Laser Advanced Materials Processing　2015年5月26日

  213. フェムト秒レーザを用いたNi微細構造の還元パターニング特性

    田村健紀, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一

    第62回応用物理学会春季学術講演会　2015年3月11日

  214. フェムト秒レーザ直接還元描画法におけるCuOナノ粒子の還元特性評価

    溝尻瑞枝, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦 誠一

    第62回応用物理学会春季学術講演会　2015年3月11日

  215. フェムト秒レーザ直接還元描画法を用いた金属微細パターンの作製

    溝尻瑞枝

    理系女性研究者の活躍促進シンポジウム「シーズ・ニーズマッチングフォーラム」　2015年3月10日

  216. Design of CuO Anti-reflection Structure for Thin-film Thermoelectric Generator 国際会議

    Tasuku Kondou, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata

    25th 2014 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS2014)　2014年11月9日

  217. Integrated Micro Fabrication Process of Non-Si based MEMS 国際会議 招待有り

    Mizue Mizoshiri

    27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2014)　2014年11月4日

  218. Direct Patterning of Cu Microstructures Using Femtosecond Laser Induced CuO Nanoparticle Reduction 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Seiichi Hata

    27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2014)　2014年11月4日

  219. 酸化銅ナノ粒子還元を用いたフェムト秒レーザ直接描画プロセス 国際会議

    溝尻瑞枝, 荒金駿, 秦誠一

    第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2014年10月20日

  220. 金属バッファ層を導入した熱電薄膜デバイスの発電特性

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋, 秦誠一

    第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」　2014年10月20日

  221. フェムト秒レーザを用いた酸化銅ナノ粒子の還元パターニング

    溝尻瑞枝, 荒金 駿, 秦 誠一

    第75回応用物理学会秋季学術講演会　2014年9月17日

  222. 酸化銅ナノ粒子のレーザ直接還元を利用した銅細線パターニング

    溝尻瑞枝, 荒金 駿, 前谷卓哉, 式田光宏, 秦 誠一

    2014 年度日本機械学会年次大会　2014年9月8日

  223. フェムト秒レーザを用いた酸化銅ナノ粒子の還元微細パターニング

    溝尻瑞枝, 荒金駿, 櫻井淳平, 秦誠一

    名古屋大学若手女性研究者サイエンスフォーラム　2014年8月6日

  224. Direct reduction of copper nanoparticles using femtosecond laser pulses for copper micropatterning 国際会議

    Shun Arakane, Mizue Mizoshiri, Takuya Maetani, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    5th International Conference on Materials and Processing (ICM&P2014)　2014年6月9日

  225. THE EFFECT OF METAL BUFFER LAYERS ON OPEN-CIRCUIT VOLTAGE OF THIN-FILM THERMOELECTRIC MODULES 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    5th International Conference on Materials and Processing (ICM&P2014)　2014年6月9日

  226. フェムト秒レーザパルスを用いた酸化物ナノ粒子直接還元による金属微細パターニング 招待有り

    溝尻瑞枝, 荒金 駿, 前谷卓哉, 式田光宏, 秦 誠一

    第81 回レーザ加工学会講演会　2014年5月27日

  227. フェムト秒レーザを用いた酸化銅ナノ粒子直接還元による銅パターン作製

    荒金 駿, 溝尻瑞枝, 前谷卓哉, 式田光宏, 秦 誠一

    第81 回レーザ加工学会講演会　2014年5月27日

  228. Direct reduction and agglomeration of CuO nanoparticles for Cu micropatterning using femtosecond laser pulses 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Shun Arakane, Takuya Maetani, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    The 9th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2014)　2014年3月25日

  229. Thermoelectric thick film patterns formed by using thermally-assisted sputtering method and silicone lift-off masks 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Mitsuhiro Shikida, Seiichi Hata

    24th 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science　2013年11月11日

  230. 太陽光の熱利用のための薄膜熱電発電モジュールの作製と評価

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋, 式田光宏, 秦 誠一

    （一社）日本機械学会機械材料・材料加工部門第21回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2013)　2013年11月9日

  231. ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の成膜とリフト・オフパターニング

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋, 式田光宏, 秦 誠一

    第5回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」プログラム　2013年11月5日

  232. Direct patterning of photomasks using picosecond laser pulse induced chromium oxidation 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Kimihiro Ozaki

    The 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing　2013年6月23日

  233. 耐熱マスクを用いた熱電厚膜のリフト・オフパターニング

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋

    第60回応用物理学関連連合講演会　2013年3月27日

  234. Flexible thin-film thermoelectric generator inserting Cr buffer layer 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki

    The 12th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications　2012年12月2日

  235. P-type Sb2Te3 and N-type Bi2Te3 Films for Thermoelectric Modules Deposited by Thermally-assisted Sputtering Method 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki

    25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference　2012年10月30日

  236. ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の作製

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋

    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2012年10月22日

  237. ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による膜状熱電モジュールの作製

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋

    第73回応用物理学会学術講演会　2012年9月11日

  238. Thermal-photovoltaic hybrid solar generator using thin-film thermoelectric modules 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki

    24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference　2011年10月24日

  239. 太陽光集光型薄膜熱電発電モジュールの作製と評価

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋

    第72回応用物理学会学術講演会　2011年8月29日

  240. フェムト秒レーザ直接重合による露光部での導波モード生成

    西山宏昭, 溝尻瑞枝, 平田好則, 西井準治

    第72回応用物理学会学術講演会　2011年8月29日

  241. Thin-film thermoelectric modules for power generations using focused solar light 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki, Keizo Kobayashi

    The 30th International Conference on Thermoelectrics　2011年7月17日

  242. 太陽光を熱源とした集光型薄膜熱電発電デバイスの作製と評価

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋, 小林慶三

    第58回応用物理学関係連合講演会　2011年3月24日

  243. フェムト秒レーザ直接重合による光閉じ込め効果の検討

    西山宏昭, 溝尻瑞枝, 平田好則, 西井準治

    第58回応用物理学関係連合講演会　2011年3月24日

  244. フォトマスク作製のためのCr薄膜パターンの直接描画

    溝尻瑞枝, 尾崎公洋, 小林慶三

    第74回レーザ加工学会講演会　2010年12月6日

  245. Silica-based diffractive-refractive hybrid lenses fabricated by femtosecond laser lithography assisted micromachining 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Yoshinori Hirata

    8th International Welding Symposium　2009年11月16日

  246. フェムト秒レーザリソグラフィにおけるレジスト露光部での屈折率変化

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 平田好則

    第70回応用物理学会学術講演会　2009年9月8日

  247. フェムト秒レーザリソグラフィによるレンズ上へのシリカガラス製微細周期構造の作製

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 平田好則

    第68回応用物理学会学術講演会　2009年9月4日

  248. Femtosecond Laser Induced Nonlinear Lithographic Properties for Micro-Optical Elements of Inorganic Materials 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Yoshinori Hirata

    5yh Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium Nano-Advanced Materials Design -From Nano-Structure to Nano-Functionality-　2009年9月1日

  249. Silica-based optical elements in microchannel fabricated by femtosecond laser lithography assisted micromachining 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing　2009年6月29日

  250. フェムト秒レーザリソグラフィによるマイクロ流路内へのシリカガラス製微小光学素子の作製

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 平田好則

    レーザー学会学術講演会第29回年次大会　2009年1月

  251. Silica-based microstructures on nonplanar substrates by femtosecond laser-induced nonlinear lithography 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    International Conference on Advanced Structural and Functional Materials Design 2008　2008年11月10日

  252. フェムト秒レーザ支援マイクロマシニングによるマイクロ流路内への無機材料製微小光学素子の作製

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 平田好則

    第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　2008年10月22日

  253. SiO2-based variable microfluidic lenses fabricated by femtosecond laser lithography-assisted micromachining 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Yoshinori Hirata

    SPIE Optics & Photonics　2008年8月10日

  254. フェムト秒レーザリソグラフィによるマイクロ流路内へのSiO2製フレネルレンズの作製

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 平田好則

    第55回応用物理学関連連合講演会　2008年3月27日

  255. フェムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製屈折回折複合レンズ構造の作製

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 平田好則

    第14回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム　2008年2月5日

  256. Silica-based micro-Fresnel Lens fabricated by femtosecond laser lithography and plasma etching 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Junji Nishii, Toshio Kawahara, Tomoji Kawai

    The 8th International Symposium on Laser Microfabrication　2007年4月24日

  257. フェムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製非平面微細構造作製

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 平田好則

    第54回応用物理学関連連合後援会　2007年3月27日

  258. フェムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製日平面微細構造の作製

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 河原敏男, 川合知二, 平田好則

    第13回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム　2007年2月1日

  259. フェムト秒レーザリソグラフィによる非平面構造上への微細構造作製

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 西井準治, 河原敏男, 川合知二, 平田好則

    第67回応用物理学会学術講演会　2006年8月29日

  260. Three-dimensional lithography using a self-trapped filament of femtosecond laser pulses 国際会議

    Mizue Mizoshiri, Hiroaki Nishiyama, Yoshinori Hirata, Junji Nishii, Toshio Kawahara, Tomoji Kawai

    The 4th International Congress on Laser Advanced Materials Processing　2006年5月16日

  261. フェムト秒レーザによる自己束縛フィラメントを利用したレジストパターニング

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 平田好則

    平成16年度春季全国大会　2006年4月

  262. フェムト秒レーザによる自己束縛効果を利用したレジストパターニング

    溝尻瑞枝, 西山宏昭, 平田好則, 西井準治, 河原敏男, 川合知二

    第53回応用物理学関連連合講演会　2006年3月22日

  263. Agナノ粒子添加によるグリオキシル酸Cu錯体インクからのフェムト秒レーザ還元Cu析出への影響

    Tran Quang Huy, 大石知司, 溝尻瑞枝

    第14回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

  264. フェムト秒レーザ光熱還元を用いたプリント技術の創成 招待有り

    溝尻 瑞枝

    日本機械学会情報・知能・精密機器部門第1回プリンタブル・ウェアラブルデバイスの基盤技術と応用に関する研究分科会

  265. フェムト秒レーザマルチパルス照射によるグリオキシル酸Cu錯体インクからのCu析出現象の解明

    溝尻瑞枝, ハフーン・ナム, 木部公太郎, 海江田達也, 大石知司

    電気学会光・量子デバイス研究会「次世代レーザプロセシング技術」

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産業財産権 5

  1. COMPOSITE FINE STRUCTURE AND METHOD FOR PRODUCING SAME

    Mizue Mizoshiri, Kenki Tamura, Shun Arakane, Seiichi Hata

    産業財産権の種類: 特許権

  2. 複合微細構造体の製造方法

    溝尻瑞枝, 荒金駿, 田村健紀, 秦誠一

    産業財産権の種類: 特許権

  3. 厚膜パターンの製造方法

    溝尻瑞枝, 尾崎公洋

    産業財産権の種類: 特許権

  4. 高速成膜用スパッタリング装置

    溝尻瑞枝, 尾崎公洋, 菊池光太郎, 野崎繭花

    産業財産権の種類: 特許権

  5. 熱電薄膜デバイス

    溝尻瑞枝, 三上祐史, 尾崎公洋, 小林慶三

    特許5669103

    産業財産権の種類: 特許権

共同研究・競争的資金等の研究課題 25

  1. 超回折限界精度での光熱還元析出制御と３Ｄ造形応用

    溝尻 瑞枝

    2021年 ～ 2027年

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    超短パルス（パルス幅：サブピコ～ピコ秒）レーザにより誘起される光熱還元金属析出メカニズムを解明し，超回折限界空間の局所加熱が拓く新たな学理を創出します．また応用の一例として，大気中金属３Ｄ微細造形や金属プリントに取り組みます．レーザ照射時の金属析出現象を数百フェムト秒時間分解能で明らかにすることで，過剰な加熱による析出金属の酸化抑制が可能になり，大気中で様々な金属・半導体の局所析出を実現します．

  2. 半導体デバイス排熱の有効利用に向けた窒化物半導体の熱電特性解明と性能向上

    出浦 桃子, 石部 貴史, 溝尻 瑞枝

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究機関：Ritsumeikan University

    2023年4月1日 ～ 2026年3月31日

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    半導体デバイス排熱の有効利用技術である，光・電子デバイスと熱電デバイスを一体（モノリシック）集積した「排熱エネルギー回生システム」の実現に向けて，窒化物半導体熱電薄膜の特性解明と性能向上に取り組んでいる．2023年度は下記3点を行った． 1) 混晶薄膜の結晶成長：高周波プラズマ支援分子線エピタキシー（RF-MBE）を用いて，c面GaN/sapphireテンプレート基板上に，InGaNおよびInAlNの混晶薄膜の結晶成長を行った．InGaNについては，成長シーケンスを工夫することにより，In組成40%までの比較的高品質な薄膜を得ることに成功した．一方，InAlNについては，GaNに格子整合するIn20%付近の成長を検討した．高温では相分離しやすいこと，膜厚増加するとクラックが発生しやすいことが明らかになり，適切な成長条件範囲が通常の窒化物半導体のRF-MBEと異なることを見出した． 2) 熱電特性評価：テンプレートのGaN層および1)で得られたInGaN・InAlN薄膜について，ゼーベック係数および電気伝導率を評価した．オーミック電極は，以前確立した形成手法が利用できることが分かった．InGaNについては文献と同様のゼーベック係数値が得られたが，電気伝導率が小さかった．InAlNのゼーベック係数は文献と大きく異なった．いずれも結晶品質に起因すると考えられることが分かった．一方，下地GaN層の電気伝導率やゼーベック係数が無視できないことが明らかになり，その影響を除去した評価が必要なことが分かった． 3) 伝熱計算：基板や薄膜の物性値（文献値）を利用して，汎用有限要素法解析ソフトウェアにより，光・電子－熱電デバイスのモノリシック集積モジュールの構造を仮定し，伝熱計算を開始した．

  3. 過渡的熱整流作用を有する透明ナノ粒子の還元接合現象の超短時間観測と局所加熱応用

    溝尻 瑞枝, 石川 善恵

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究機関：Nagaoka University of Technology

    2023年4月1日 ～ 2026年3月31日

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    本研究の目的は，熱整流作用が期待できる多分散金属酸化物ナノ粒子透明インク内部で誘起されるフェムト秒レーザ多光子励起加熱を利用し，世界で初めて回折限界以下の空間分解能の金属還元焼結プロセスを創出することにある．小粒径粒子の優先還元により金属酸化物・金属ナノ粒子間に発現される熱整流作用と，その還元接合過渡現象をps時間分解能で明らかにするとともに金属の2D/3D微細造形へと展開する．具体的には，熱整流作用発現熱拡散抑制インクにおける多光子励起還元接合過渡現象の解明と回折限界以下の領域への焼結制御を実現するため，①熱整流作用を発現する多分散金属酸化物ナノ粒子インクの調製，②フェムト秒レーザ還元接合過渡現象の解明，③３D還元焼結を利用した各種センサ作製への応用，に取り組む． 令和5年度は①熱整流作用を発現する多分散金属酸化物ナノ粒子インクの調製と②フェムト秒レーザ還元接合過渡現象の解明に取り組んだ．①では，2種類の粒径を有する単分散Cu2O球状ナノ粒子（直径100 nm，250 nm）を調製し，混合比1:1で多分散Cu2O球状ナノ粒子インクを調製した．更に，同等サイズの直径100 nm以下のCuナノ粒子をポリオール法とレーザアブレーション法の2種類の方法で合成することに成功した． ②では，過渡現象解明のためのポンプ・プローブ評価系を構築した．まずナノ粒子添加による吸収特性を評価するため，還元接合用の波長を選択した．添加予定の直径100 nm以下の貴金属ナノ粒子は，波長400―500 nmでプラズモン共鳴に起因した吸収を示した．更に，Cu2O球状ナノ粒子に対して基本波の高い透過率を有することの両方の条件を満たすものとして，波長780 nmおよび515 nmの近赤外およびグリーンフェムト秒レーザを用いた．いずれの場合においても，数ps以内の時間精度で計測のできる光学系を構築した．

  4. 「詰まらない」マイクロ流路：表面自由エネルギーと圧力を考慮した酵母吸着機序の解明

    溝尻 瑞枝, 小笠原 渉, 倉橋 貴彦

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

    研究機関：Nagaoka University of Technology

    2023年6月30日 ～ 2025年3月31日

  5. 透明球状ナノ粒子の選択的還元積層接合を利用した３次元熱ダイオードの作製

    溝尻 瑞枝

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)

    研究機関：Nagaoka University of Technology

    2021年7月9日 ～ 2023年3月31日

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    本研究の目的は，申請者らがこれまでに発見したフェムト秒レーザパルス照射により透明なCu2O球状ナノ粒子が単層でCu薄膜上へ局所接合される新規現象を応用し，Cu2O球状ナノ粒子の局所接合・還元を用いた３次元熱ダイオードを創製することにある．令和3年度は，3次元造形の基礎検討として，直径100nm～1umのCu2O球状ナノ粒子のナノ粒子の各種金属薄膜基板上への接合・還元特性を評価した．直径400 nm以下のCu2O球状ナノ粒子はポリオール法を用いて，直径1um球状ナノ粒子は液中レーザ溶融法にて調製した．ポリオール法による球状ナノ粒子の調製では，各種調製条件を制御し，調製中の粒子を抽出して観察することにより核生成・成長過程を明らかにした．Cu2O球状ナノ粒子サイズの調製時間依存性は小さく，反応温度，PVPの平均分子量，混合量，原料の注入速度に起因することを明らかにした． 更に，基板の金属種類について議論するため，Si基板上に成膜したAu，Cu，Cr薄膜上，比較用にSi基板上にCu2O球状ナノ粒子と還元剤を混合したインクを塗布し，近赤外フェムト秒レーザパルスをインク膜内部へ集光照射した．その結果，低描画速度，低パルスエネルギー条件において，金属薄膜直上の球状粒子のみが接合された．その接合に必要な最小パルスエネルギーは，Au薄膜基板上で最も小さなパルスエネルギーでAu<Cu<Cr<<Siとなった．これは，Cu2O球状ナノ粒子と金属薄膜接点における電場増強に起因していることが明らかとなった．また，この電場分布から入熱流速を求め，レーザ1パルス照射時の温度履歴を熱伝導解析により求めた．その結果，Cu2O球状ナノ粒子と基板との接点の最高到達温度は，Au，Cu，Cr，Siの順に大きくなった．このことから，Cu2O球状ナノ粒子と基板との接合は接点の局所加熱によるものと考えられる．

  6. 多光子励起-失活２段階過程による局所加熱を利用した新規微小金属析出過渡現象の解明

    溝尻 瑞枝, 山岸 里枝

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究機関：Nagaoka University of Technology

    2020年4月1日 ～ 2023年3月31日

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    本研究の目的は，多光子励起とその無輻射失活の2段階過程を利用した新規局所熱還元により，世界で初めて非貴金属を回折限界以下の微小空間へ析出する，光-熱還元析出プロセスを創出することにある．令和3年度は，1. 各種グリオキシル酸金属錯体の非線形光吸収特性評価と，2. ポンプ・プローブ法を用いたそれら原料からの析出の超短時間現象観測を行った．具体的には，大気中で還元析出可能なグリオキシル酸金属（GACu，GACo）錯体を調製し，その線形及び非線形光吸収特性を紫外可視分光光度計，Open-aperture z-scan法を用いて評価した．その結果，GACu，GACo錯体ともに照射パルス間隔時間により吸収特性が変化した．このことは吸収特性に温度依存性があることを示唆している． また，令和2年度に構築した，グリオキシル酸金属錯体からの析出現象を明らかにするための光学系にディレイラインを導入し，ポンプ・プローブ法による析出観測を行った．GACo錯体からの析出において，繰返し周波数80 MHzの近赤外フェムト秒レーザパルスを還元析出用ポンプ光と，観測用プローブ光に分波し，プローブ光にディレイをかけることで，照射後0秒から550 psのレーザ描画中のプローブ光の透過率変化を計測した．その結果，描画速度8 mm/sでは，照射後550 ps以内に顕著な析出は生じず，析出は550 ps以降に生じる現象であることがわかった．一方，描画速度1 mm/sでは，550ps以内に還元析出・再酸化が生じている可能性が示唆された．今後，異なる描画速度で照射した際の，プローブ光透過率変化を明らかにし，還元析出過渡現象の解明を目指す．

  7. 非線形光吸収を用いた酸化物ナノ粒子還元3次元描画法の創成と機能性材料の造形 競争的資金

    2016年4月 ～ 2020年3月

  8. 可視光透過型フレキシブル熱電発電シートの開発補助事業 競争的資金

    溝尻 瑞枝

    2018年4月 ～ 2019年3月

  9. 回折限界を超える高解像光磁区イメージング法の開発 競争的資金

    溝尻瑞枝

    2017年6月 ～ 2019年3月

  10. 金属酸化物ナノ粒子のフェムト秒レーザ還元焼結を用いた３次元金属-半導体複合微細構造の直接描画 競争的資金

    溝尻瑞枝

    2017年6月 ～ 2018年5月

  11. 呼吸器系末梢気道でのその場計測を可能にするカテーテルセンサ技術の開発

    式田 光宏, 川部 勤, 溝尻 瑞枝, 長谷川 義大

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究種目：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

    研究機関：Hiroshima City University

    2014年4月1日 ～ 2018年3月31日

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    本研究では，末梢気道での病態形成メカニズムを解明することを目指し，末梢気道でのその場計測技術を開発した．先ず，局所空間での気流計測を可能とする気流センサ技術の高性能化を図った．そして気流センサのシステム化として，(1)医療用バスケット鉗子を用いた「気管支内での気流センサ固定化技術」を確立し，気道内にて気流センサを位置決め固定し，呼吸を定量的に計測できる見通しを得た．また (2)ファイバースコープ一体型気流センサによるその場観察及びその場呼吸計測技術を確立し，ラットの気道に接続したアダプターチューブ内にて，光ファーバーによるその場観察と，気流センサによるその場呼吸計測が可能であることを実証した．

  12. 次世代自動車向け高効率モーター用磁性材料技術開発：共通基盤技術の開発 競争的資金

    2017年4月 ～ 2018年3月

  13. 採光ガラスへ付与可能な膜状熱電発電モジュールの開発 競争的資金

    溝尻 瑞枝

    2016年4月 ～ 2018年3月

  14. 次世代自動車向け高効率モーター用磁性材料技術開発：共通基盤技術の開発 競争的資金

    2016年4月 ～ 2017年3月

  15. メタマテリアル構造体の創製をめざした自己組織化援用インクジェット法の基礎的研究 競争的資金

    2015年4月 ～ 2017年3月

  16. 非線形光吸収を利用した酸化物ナノ粒子の金属還元3次元微細加工法の基礎的研究 競争的資金

    溝尻瑞枝

    2014年10月 ～ 2017年3月

  17. 金属・絶縁材料の複合微細構造を実現するフェムト秒レーザ直接描画法 競争的資金

    溝尻瑞枝

    2015年3月 ～ 2017年2月

  18. ソフトマテリアルを用いたパッド型ドラッグデリバリーシステム

    秦 誠一, 溝尻 瑞枝, 新井 史人, 式田 光宏

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    研究種目：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

    研究機関：Nagoya University

    2014年4月1日 ～ 2016年3月31日

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    本研究では以下の研究を行い，成果を得た． 薬液タンクを兼ねた柔軟パッドの材料として，メチルポリシロキサン（PDMS）を選定した．また，感光性温度応答性ゲルを用いたマイクロバルブを設計，製作した．製作したパッド型DDSは，従来のマイクロポンプ型DDSに比べ，約1/10の低消費電力であることを実証した． 提案したパッド型DDSの原理を確認するため，薬液タンクに想定する日常生活の接触圧力20 kPaを作用させ，そのときの投与量を計測した．計測結果から本DDSは，想定通りの繰り返し投与が可能であることを確認した．また1回の投与量はほぼ一定であり，投与時間は1分以内であることを確認した．

  19. フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたマイクロ温度センサの３Dプリンティング 競争的資金

    溝尻瑞枝

    2015年8月 ～ 2016年3月

  20. 次世代自動車向け高効率モーター用磁性材料技術開発：共通基盤技術の開発 競争的資金

    2015年4月 ～ 2016年3月

  21. 鉄酸化物ナノ粒子光還元を利用した3次元金属微細加工プロセスの基礎的研究 競争的資金

    溝尻瑞枝

    2014年5月 ～ 2015年3月

  22. 熱電薄膜表面への反射防止構造の作製 競争的資金

    2011年4月 ～ 2013年3月

  23. 熱電薄膜表面への反射防止構造の作製

    溝尻 瑞枝

    提供機関：Japan Society for the Promotion of Science

    制度名：Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

    研究種目：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

    研究機関：National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

    2011年 ～ 2012年

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    本研究では, 太陽光に対して高い反射率を有する熱電薄膜の表面に反射防止構造を作製し,その反射率を低減させた.更には,熱電薄膜発電モジュールの高温部表面に反射防止構造を付与し,均一な強度の光を照射した場合に,高温部と低温部の表面反射率の違いによりモジュール内に温度差が形成され,正の開放電圧が得られることを明らかにした.

  24. ハイブリッド太陽光発電に向けた近赤外光の分離・集光熱電デバイスの開発 競争的資金

    溝尻瑞枝

    2010年12月 ～ 2011年11月

  25. マイクロプラズマを屈折率変調媒体に利用したアクティブ無機微小光学素子の作製と評価

    溝尻 瑞枝

    2008年 ～ 2009年

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    前年度の成果から,マイクロプラズマを用いたアクティブ素子の作製には,微細電極構造や光学素子のための立体的な微細構造作製プロセスの確立が重要であることがわかった.我々は,これまでに立体構造作製のために,非線形光学効果を半導体プロセスに導入したフェムト秒レーザリソグラフィ支援マイクロマシニングを提案したが,なかでも非線形リソグラフィにおいて,パターン形状がレーザ強度分布に一致しない特異的な現象が生じることが明らかになり,本年度は作製プロセスの高度化を目的としてパターニングプロセスのメカニズムの解明を行った.フェムト秒レーザを用いた非線形リソグラフィでは,高繰返しのレーザパルスを低開口数のレンズで集光した.そのため,非線形光吸収中に熱蓄積が生じ,高密度化により光吸収領域の屈折率が増大する可能性がある.レーザ照射後ベイク処理なしの状態のレジストの屈折率を測定すると,光吸収領域の屈折率は8×10^<-3>の増大が生じていることがわかった.非線形光吸収領域の屈折率増大が生じると,高屈折率領域をコア,周囲をクラッドとする光ファイバのように後続パルスが閉じ込められる可能性がある.屈折率差と集光フェムト秒レーザパルスのビーム径から後続パルスの結合効率を求めると,87%と見積もられた.レーザ照射パルス数が8×10^3のとき,結合パルスのピーク強度は非線形光吸収の強度閾値よりも大きくなり,結合パルスが更に非線形的に吸収される可能性があることを示唆する知見が得られた.この結果は,非線形リソグラフィにおいて,パターン形状が対物レンズによる集光強度分布と一致しない特異的な現象が,光吸収中の屈折率変化と後続パルスの結合により誘起されていることを示唆しており,熱蓄積の影響が低減できる高速描画条件において,回折限界以下の500nm程度のパターン形成を達成した.

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担当経験のある科目(授業) 23

  1. 材料応用科学１　長岡技術科学大学

  2. 工学基礎実験　長岡技術科学大学

  3. レーザ加工学特論　長岡技術科学大学

  4. レーザ加工物理学　長岡技術科学大学

  5. 機械の数学・力学２　長岡技術科学大学

  6. 機械創造工学総合演習3（PBL3）　長岡技術科学大学

  7. 機械創造工学総合演習2（PBL2）　長岡技術科学大学

  8. 機械創造工学総合演習1（PBL1）　長岡技術科学大学

  9. 機械創造工学セミナー第2　長岡技術科学大学

  10. 機械創造工学セミナー第1　長岡技術科学大学

  11. 機械創造工学特別実験第2　長岡技術科学大学

  12. 機械創造工学特別実験第1　長岡技術科学大学

  13. 物理学実験　名古屋大学

  14. 機械システム研修I　名古屋大学

  15. 機械システム研修II　名古屋大学

  16. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1A　名古屋大学

  17. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1B　名古屋大学

  18. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1C　名古屋大学

  19. マイクロ・ナノプロセス工学セミナー1D　名古屋大学

  20. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習A　名古屋大学

  21. マイクロ・ナノプロセス工学特別実験及び演習B　名古屋大学

  22. Automobile Engineering Laboratory II　Nagoya University

  23. Automobile Engineering Laboratory II　名古屋大学

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