研究者詳細

顔写真

ベルガラ　プルガル　アンドレア　アレハンドラ
Vergara Pulgar Andrea Alejandra
Vergara Pulgar Andrea Alejandra
所属
大学院工学研究科　ロボティクス専攻　ナノシステム講座（スマートシステム集積学分野）
職名
助教
学位

  • 博士（工学）（東北大学）

e-Rad 研究者番号
70961192

経歴 2

  • 2024年6月 ～ 継続中
    東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター　助教

  • 2021年10月 ～ 2024年5月
    東北大学　大学院工学研究科　助教

学歴 3

  • 東北大学　大学院工学研究科　ロボティクス専攻

    2018年10月 ～ 2021年9月

  • 東北大学　大学院工学研究科　ロボティクス専攻

    2017年10月 ～ 2018年9月

  • チリ大学

    2009年4月 ～ 2015年3月

委員歴 2

  • Transducers 2025　Technical Program Committee

    2024年12月 ～ 2025年7月

  • Transducers　Student Engagement Committee, Member

    2021年4月 ～ 2021年6月

所属学協会 3

  • IEEE Member

    2021年11月 ～ 継続中

  • 日本機械学会

    2020年11月 ～ 継続中

  • 電気学会

    2020年11月 ～ 継続中

研究キーワード 3

  • 抵抗センサー

  • 圧電薄膜デバイス

  • MEMS

研究分野 1

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム /

受賞 1

  1. Best Oral Presentation Award

    2022年1月　IEEE MEMS 2022　FEEDBACK CONTROLLED PZT MICROMIRROR WITH INTEGRATED BURIED PIEZORESISTORS

論文 9

  1. Design and fabrication of non-resonant PZT MEMS micromirror with buried piezoresistors for closed loop position control 招待有り 査読有り

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    Journal of Micromechanics and Microengineering　33　(1)　014001-014001　2022年11月18日

    出版者・発行元： IOP Publishing

    DOI： 10.1088/1361-6439/aca101 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

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    Abstract This paper reports on a 1D PZT micromirror integrated with buried piezoresistors for quasi-static feedback position control. The piezoresistors located along or below the PZT actuators could achieve the sensitivity as high as 3.1 mV/°, which was two orders of magnitude higher than the traditional ones located at the torsion springs (8.2 μV/°). This increased the signal-to-noise ratio by 2 orders of magnitude, which could enable the accurate position control. The response of the longitudinal sensors along the beams had a fast settling time less than 1 ms. The average position error was 0.975%, which was much better than that from the conventional shear stress sensor on the torsion bar of 3.1%.

  2. Investigation on liquid medium integration for piezoelectric MEMS tunable liquid lenses 査読有り

    Zhengnan Tang, Andrea Vergara, Taiyu Okatani, Yukio Suzuki, Shuji Tanaka

    Sensors and Actuators A: Physical　377　115732-115732　2024年10月

    出版者・発行元： Elsevier BV

    DOI： 10.1016/j.sna.2024.115732 　

    ISSN：0924-4247

  3. Non-linear Behavior of pMUT for High Sound Pressure Generation 査読有り

    Wei Fang, Andrea Vergara, Shuji Tanaka

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）　144　(6)　149-155　2024年6月1日

    出版者・発行元：

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.149 　

    ISSN：1341-8939

    eISSN：1347-5525

  4. PZT Mems Tunable Liquid Lens with Integrated Piezoresistive Position Sensor 査読有り

    Zhengnan Tang, Leo Soda, Taiyu Okatani, Andrea Vergara, Yukio Suzuki, Shuji Tanaka

    2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)　835-838　2023年6月

  5. Feedback control of thin film PZT MEMS actuator with integrated buried piezoresistors 査読有り

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    Sensors and Actuators A: Physical　332　113131-113131　2021年12月

    DOI： 10.1016/j.sna.2021.113131 　

    ISSN：0924-4247

    eISSN：1873-3069

  6. 位置制御のための埋め込みピエゾ抵抗を備えた圧電マイクロミラー

    日本機械学会第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　MN2-09A3-2　2021年11月

  7. PZT MEMS Actuator with Integrated Buried Piezoresistors for Position Control

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2021-　626-629　2021年1月25日

    出版者・発行元： Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

    DOI： 10.1109/MEMS51782.2021.9375422 　

    ISSN：1084-6999

  8. Integration of buried piezoresistive sensors and PZT thin film for dynamic and static position sensing of MEMS actuator 査読有り

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    Journal of Micromechanics and Microengineering　30　(11)　115020-115020　2020年11月

    DOI： 10.1088/1361-6439/abb756 　

    ISSN：0960-1317

    eISSN：1361-6439

  9. Soft Modular Robotic Cubes: Toward Replicating Morphogenetic Movements of the Embryo 査読有り

    Andrea Vergara, Yi-sheng Lau, Ricardo-Franco Mendoza-Garcia, Juan Cristóbal Zagal

    PLOS ONE　12　(1)　e0169179-e0169179　2017年1月

    出版者・発行元： Public Library of Science (PLoS)

    DOI： 10.1371/journal.pone.0169179 　

    eISSN：1932-6203

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講演・口頭発表等 16

  1. Non-linear Behavior of pMUT for High Sound Pressure Generation

    Wei Fang, Andrea Vergara, Shuji Tanaka

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2023年11月8日

  2. 薄膜PZTアクチュエータとピエゾ抵抗センサを有するMEMS可変焦点液体レンズ—MEMS Varifocal Liquid Lens with PZT Thin Film Actuators and Piezoresistive Sensors

    Zhengnan Tang, Leo Soda, 岡谷 泰佑, Andrea Vergara, 鈴木 裕輝夫, 田中 秀治

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]　2023年11月

  3. PZT MEMS Varifocal Lens using Gel or Liquid as Optical Media

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2022年11月

  4. Simultaneous poling of multiple piezoelectric devices

    Andrea Vergara, Samuel Hsieh, Shuji Tanaka

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2022年11月

  5. FEEDBACK CONTROLLED PZT MICROMIRROR WITH INTEGRATED BURIED PIEZORESISTORS

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    IEEE MEMS 2022　2022年1月13日

  6. Feedback Controlled Pzt Micromirror with Integrated Buried Piezoresistors

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS)　2022年1月9日

  7. Feed-back control of PZT actuator with built-in buried piezoresistors

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2021年11月10日

  8. 高精度位置制御のための埋め込みピエゾ抵抗センサを組み込んだ 圧電マイクロミラー

    日本機械学会第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム　2021年11月9日

  9. Feed-back control of PZT actuator with built-in buried piezoresistors

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム」　2021年11月9日

  10. PZT MEMS ACTUATOR WITH INTEGRATED BURIED PIEZORESISTORS FOR POSITION CONTROL

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    IEEE MEMS 2021　2021年1月28日

  11. PZT MEMS Actuator with Integrated Buried Piezoresistors for Position Control

    Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka

    2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)　2021年1月25日

  12. Piezoelectric MEMS actuator monolithically integrated with buried piezoresistors for position sensing

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2020年10月28日

  13. Piezoelectric MEMS actuator monolithically integrated with buried piezoresistors for position sensing

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム」　2020年10月19日

  14. Integration of buried piezoresistive sensors and PZT thin film for highly stable MEMS actuator

    圧電材料・デバイスシンポジウム2020　2020年1月30日

  15. PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　2019年11月20日

  16. PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム」　2019年11月12日

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担当経験のある科目(授業) 1

  1. (IMAC-U) Computer Seminar I　東北大学 学部教養科目