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研究者業績

研究者リスト >> 石本 淳
 

石本 淳

 
アバター
研究者氏名石本 淳
 
イシモト ジユン
URLhttp://alba.ifs.tohoku.ac.jp/
所属東北大学
部署流体科学研究所 附属未到エネルギー研究センター 混相流動エネルギー研究分野
職名教授
学位博士(工学)(Tohoku University)
J-Global ID200901054460228469

研究キーワード

 
数値流体力学 ,微粒化 ,極低温流体 ,流体工学 ,混相流

研究分野

 
  • ナノテク・材料 / エネルギー化学 / 
  • フロンティア(航空・船舶) / 航空宇宙工学 / 
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 熱工学 / 
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 流体工学 / 

経歴

 
2012年4月
 - 
現在
東北大学 流体科学研究所 教授 附属未到エネルギー研究センター長
 
2005年4月
   
 
東北大学流体科学研究所  助教授 
 
1999年4月
 - 
2005年3月
弘前大学理工学部知能機械システム工学科  助教授 
 
1996年5月
 - 
1999年3月
東北大学流体科学研究所  助手 
 
1995年4月
 - 
1996年4月
日本学術振興会特別研究員(PD)   
 

学歴

 
 
 - 
1995年3月
東北大学 工学研究科 機械工学第二専攻
 

委員歴

 
2020年4月
   
 
日本機械学会  代表会員
 
2014年4月
 - 
2016年3月
日本機械学会  交通・物流部門代議員
 
2014年4月
 - 
2016年3月
日本機械学会  交通・物流部門代議員
 
2014年4月
 - 
2015年3月
日本混相流学会  評議員
 
2014年4月
 - 
2015年3月
日本混相流学会  評議員
 

受賞

 
2014年6月
WHEC, WHEC Awards for Excellence Presentation,Supercomputing of Safety and Risk Assessment for Multiphase High Density Hydrogen
Jun Ishimoto 
 
2010年10月
日本機械学会, 日本機械学会流体工学部門フロンティア表彰
 
2010年7月
Elsevier B.V., Cryogenics Best Paper Award 2009
 
2009年7月
(社) 可視化情報学会, 可視化情報学会第20期映像賞・フラッシュオブザイヤー,マイクロキャビテーションを伴うガソリンインジェクター乱流噴霧微粒化プロセスに関する融合可視化シミュレーション
 
2008年8月
日本混相流学会, 日本混相流学会賞「技術賞」,極低温スラッシュ流体を利用した混相冷却法の開発
石本淳 大平勝秀 
 

論文

 
 
Jun Ishimoto   Satoru Shimada   
International Journal of Hydrogen Energy   47(4) 2735-2758   2022年1月
This research focuses on reactive hydrogen leakage due to the fracturing of high-pressure hydrogen tanks to develop a coupled computing method that can simultaneously perform reactive fluid-structure interaction analyses. The integrated computatio...

MISC

 
 
阿部 開史   石本 淳   落合 直哉   
流体工学部門講演会講演論文集   2015 "0903-1"-"0903-2"   2015年11月
The innovative characteristics of the cryogenic single-component micro-nano solid nitrogen (SN_2) particle production using super adiabatic Laval nozzle and its application to the ultra-high heat flux cooling process are investigated by a new type...
 
落合 直哉   石本 淳   
流体工学部門講演会講演論文集   2015 "0906-1"-"0906-2"   2015年11月
Megasonic cleaning, which uses higher frequency wave at and above 1 MHz, have been studies for efficient cleaning without pattern damage in semiconductor industry. To clarify multi bubble dynamics in megasonic field, in the present study, numerica...
 
西山秀哉   福西祐   伊澤精一郎   浅井圭介   澤田恵介   孫明宇   祖山均   石本淳   山本悟   伊賀由佳   須藤誠一   中野政身   佐藤岳彦   高奈秀匡   徳増崇   米村茂   早瀬敏幸   石川拓司   
日本機械学会誌   118(1161) 27-33   2015年8月   
 
石本淳   西山秀哉   高奈秀匡   徳増崇   寒川誠二   久保田智広   SAITO Kozo   姫野武洋   新城淳史   岡村崇弘   松浦一雄   井上元   
東北大学流体科学研究所共同利用・共同研究拠点流体科学研究拠点活動報告書   2013    2014年
 
石本淳   西山秀哉   高奈秀匡   徳増崇   寒川誠二   久保田智広   SAITO Kozo   姫野武洋   新城淳史   岡村崇弘   松浦一雄   井上元   
東北大学流体科学研究所共同利用・共同研究拠点流体科学研究拠点活動報告書   2012    2013年

書籍等出版物

 
 
Hideya Nishiyama, Michio Tokuyama, Takehiko Sato, Toshiaki Ikohagi, Yasuaki Kohama, Jun Ishimoto(担当:共著)
Tohoku University Press.   2007年11月   (ISBN:9784861630811)   

講演・口頭発表等

 
 
大槻拓史   ケーヒン・サーマル・テクノロジー   小笠原直樹   ケーヒン   サーマル・テクノロジー   石本淳(東北大   仲野是克   
混相流シンポジウム2020 オーガナイズドセッション(OS-5マルチスケール混相流と異分野融合科学)   2020年8月21日   
 
 
石本 淳   
Australia-Japan Fluid Dynamics Workshop   2019年1月31日   
 
浅沼 伸寛   石本 淳   落合 直哉   
第32回数値流体力学シンポジウム   2018年12月11日   
 
石本 淳   
2nd Workshop Lyon Center (Organized with ELyT Global and ELyTMaX, with INSA Lyon and IFS, Tohoku University) November 20th, 2018, Ecole Centrale de Lyon, France   2018年11月20日   

所属学協会

 
 
   
 
低温生物工学会
 
   
 
自動車技術会
 
   
 
日本流体力学会
 
   
 
可視化情報学会
 
   
 
日本航空宇宙学会

学術貢献活動

 
 

東北大学,宮城県 2018年8月24日

社会貢献活動

 
 
【その他】
 2010年12月7日
盛岡一高 高校生への研究活動紹介
 
【その他】
 2008年8月
Elsevier社のCryogenics誌において,2008年4月~7月の期間において最もダウンロード回数の多い論文のTop 25を集計したところ,以下の論文は21位にランクインした.
Integrated numerical prediction of atomization process of liquid hydrogen jet
Cryogenics, Volume 48, Issue 5-jun, May 2008, Pages 238-247
Ishimoto, J.; Oh...
 
【その他】
 2004年7月18日
テーマ「キャビテーションの不思議」
番組名称「りんご王国こうぎょくカレッジ」
番組コンセプト:「コミュニティFMアップルウェーブを通じて行う地域貢献のための公開講座」という形をとった教育的雰囲気を持つ番組
番組のボリューム:日曜日午後6時から1時間
番組の構成:講義形式,対談を選択。20分×3セクション(他の形式も可)
番組の種別:すべて録音
スタッフ:ディレクター兼番組責任者(庄司)、ミキサー、アシスタントほか

メディア報道

 
 
AI Japan R&D Network   https://www.ai-japan.go.jp/603/covid-19ai   2020年   [インターネットメディア]
 
日経産業新聞   2011年10月   [新聞・雑誌]
東北大学流体科学研究所の石本淳准教授と寒川誠二教授らの研究チームは,半導体素子の製造に欠かせない洗浄工程で有害物質を不要にできる新技術を開発した.
現在のプラズマ照射と有害な薬剤を使う洗浄の2工程を,固体窒素の微粒子を吹き付ける1工程に置き換える.本技術は洗浄プロセスにおけるプラズマ照射による配線ダメージを回避し,特に酸素ラジカルによりダメージを受けやすいデバイスに対して有効で,環境調和型のエコ洗浄技術として注目されている.
開発したのは大規模集積回路(LSI)製造工程に組み込む洗浄技術....
 
日経産業新聞   2011年6月   [新聞・雑誌]
東北大学の石本淳准教授らは東北電力と共同で、原子力発電所の配管劣化を画像化できるコンピューターシミュレーション(模擬実験)システムを開発した。配管が破断する事態を予測し、事故を未然に防ぐだけでなく、丈夫な配管の設計にも役立つ。東北電・女川原発の運転再開に合わせて利用を開始する。名称は「配管脆弱(ぜいじゃく)箇所予測システム」。東北大と東北電が3年かけて開発した。配管の形状、通過する水蒸気の流速、温度、圧力などのデータを入力すると、配管の厚さが減少する様子が表示される。
特に配管の曲がった...
 
CAT-V   2010年11月   [その他]
http://www.cat-vnet.tv/category120/120_011/120_011_0001_a.html
 
ガスレビュー   2007年11月   [新聞・雑誌]
ヘリウムでつくる窒素の粉雪,東北大,微粒子状固体窒素の連続生成装置を開発

その他

 
 
半導体製造工程においては電子基板のフォト製版工程で不要になったレジストを除去する必要があり、現在はコストが高く人体に極めて有害な薬液が大量に使用されている.半導体洗浄に関しては,アンモニア過酸化水素水を用いたWet洗浄プロセスが一般的であるが,最近の高集積デバイスに対してこのようなエッチングによるリフトオフを用いた洗浄法は適用限界に近づきつつある.これに対し,ドライ洗浄法の一例として低温エアロゾル洗浄がケミカルフリーな洗浄法として提案されているが,これは液体窒素の断熱膨張のみを利用した固体窒素粒子形成法を用いており,基本的なアッシングプロセスが終了した後の不要微小固体粒子を窒素粒子で吹き飛ばすのみで,生成固体窒素粒子の除去性能は弱く,レジストをはく離するまでの力学的性能を有せず,粒径や数密度の制御が不安定という難点を有する.そこで,これら従来型の化学反応プロセスに依存した洗浄法の有する欠点を解決しうる,新しい発想から成る新型アッシングレス・ドライ洗浄システムの開発が強く望まれている.
このような現状に対し,本研究により開発を目指しているマイクロ・ナノソリッドジェット利用型アッシングレスレジストはく離・除去システムは,マイクロ・ナノソリッド粒子の運動力学的高速衝突と極低温粒子流の有する超高熱流束特性を利用し,従来のケミカルWet洗浄の有する適用限界を打破しうる完全ケミカルフリー,純水フリータイプ,ドライ型レジストはく離・洗浄システムを開発しようとしている点に新規性・優位性を有する.
 
 
マイクロ・ナノ固体粒子噴霧流を用いた半導体スーパー洗浄
 
 
過冷却液体窒素と極低温ヘリウムガス(寒剤)の高速衝突により連続生成される微細固体窒素粒子から成るマイクロ・ナノスラッシュ噴霧流の有する超高熱流束冷却特性とそれに伴うレジスト熱収縮効果を有効活用した新型半導体洗浄法に関する検討を行う.マイクロスラッシュ噴霧を高温加熱ウエハー面上のレジストに高速衝突させ,粒子の慣性力と噴霧の熱流体力学的効果,超高熱流束急冷によるレジスト熱収縮効果の相互作用により,アッシングプロセスを経ずにレジストをウエハー面上からはく離・除去,洗浄するという,レジスト除去・洗浄同時プロセス機構から成るドライ型アッシングレス洗浄システムを開発する.その結果,マイクロ・ナノスラッシュジェットの衝突による物理的レジストはく離と超高熱流束急冷による熱収縮の相乗効果を利用し,フォトレジストの一部をはく離することに成功した.加熱無しの場合,レジストはく離には至らないことから,レジストはく離に及ぼす熱収縮効果の影響はかなり大きいことを明らかにした.
 
 
マイクロ・ナノスラッシュ噴霧による新型半導体洗浄方式の開発
 
 
スラッシュ超高熱流束プロセッサの研究