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博士(理学)(東京大学)
所属学協会 4
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日本光学会
2021年3月 ~ 継続中
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応用物理学会
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日本放射光学会
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日本物理学会
研究分野 1
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ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 /
論文 85
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Design of soft x-ray varied-line-spacing (VLS) high-dispersion laminar-type grating coated with super-mirror-type (SMT) multilayer for flat-field spectrograph in a region of 2–4 keV 査読有り
M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Ueno, M. Terauchi
Review of Scientific Instruments 95 023102-1-023102-6 2024年2月1日
DOI: 10.1063/5.0173068
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Laminar-type gratings overcoated with carbon-based materials to enhance analytical sensitivity of flat-field emission spectrograph in the VUV region 査読有り
T. Murano, S. Koshiya, M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, T. Kakio, N. Hayashi, Y. Oue, K. Konishi, T. Nagano, K. Kondo, M. Terauchi
Review of Scientific Instruments 94 (12) 125113-1-125113-6 2023年12月29日
出版者・発行元:AIP PublishingDOI: 10.1063/5.0176783
ISSN:0034-6748
eISSN:1089-7623
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Design of soft x-ray laminar-type gratings coated with supermirror-type multilayer to enhance diffraction efficiency in a region of 2–4 keV 査読有り
M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Ueno, M. Terauchi
Review of Scientific Instruments 94 (4) 045109-1-045109-5 2023年4月17日
出版者・発行元:AIP PublishingDOI: 10.1063/5.0148908
ISSN:0034-6748
eISSN:1089-7623
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極端紫外(EUV)域低入射角高回折効率ラミナー型回折格子の設計 査読有り
小池 雅人, 村野 孝訓, 越谷 翔悟, 羽多野 忠, ピロジコフ S. アレキサンダー, 垣尾 翼, 林 信和, 長野 哲也, 近藤 公伯, 寺内 正己
X線分析の進歩 53 69-76 2022年3月31日
ISSN:0911-7806
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Design and experimental evaluation of enhanced diffraction efficiency of lanthanum-based material coated laminar-type gratings in the boron K-emission region 査読有り
Tadashi Hatano, Masato Koike, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano
Applied Optics 60 (16) 4993-4999 2021年6月1日
出版者・発行元:The Optical SocietyDOI: 10.1364/AO.430802
ISSN:1559-128X
eISSN:2155-3165
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Recent developments in soft X-ray emission spectroscopy microscopy 査読有り
M Terauchi, T Hatano, M Koike, A S Pirozhkov, H Sasai, T Nagano, M Takakura, T Murano
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering 891 012022-012022 2020年8月6日
出版者・発行元:IOP PublishingDOI: 10.1088/1757-899x/891/1/012022
eISSN:1757-899X
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Soft x-ray laser beamline for surface processing and damage studies 国際誌 査読有り
Masahiko Ishino, Thanh-Hung Dinh, Yuji Hosaka, Noboru Hasegawa, Kimio Yoshimura, Hiroki Yamamoto, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi, Kazuyuki Sakaue, Satoshi Ichimaru, Masatoshi Hatayama, Akira Sasaki, Masakazu Washio, Masaharu Nishikino, Yasunari Maekawa
Applied optics 59 (12) 3692-3698 2020年4月20日
DOI: 10.1364/AO.387792
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Luminescence properties of scintillators in soft X-ray region 査読有り
Ejima, Takeo, Kurosawa, Shunsuke, Yamaji, Akihiro, Hatano, Tadashi, Wakayama, Toshitaka, Higashiguchi, Takeshi, Kitaura, Mamoru
JOURNAL OF LUMINESCENCE 219 2020年3月
出版者・発行元:ELSEVIERDOI: 10.1016/j.jlumin.2019.116850
ISSN:0022-2313
eISSN:1872-7883
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Soft X-ray spectral analysis of laser produced molybdenum plasmas using the fundamental and second harmonics of a Nd:YAG laser 査読有り
Lokasani, Ragava, Kawasaki, Hiromu, Shimada, Yuta, Shoji, Misaki, Anraku, Kyoya, Ejima, Takeo, Hatano, Tadashi, Jiang, Weihua, Namba, Shinichi, Nikl, Jan, Zeman, Michal, Cysullivan, Gerry, Higashiguchi, Takeshi, Limpouch, Jiri
OPTICS EXPRESS 27 (23) 33350-33357 2019年11月
出版者・発行元:OPTICAL SOC AMERDOI: 10.1364/OE.27.033351
ISSN:1094-4087
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Controlled strong excitation of silicon as a step towards processing materials at sub-nanometer precision 査読有り
Thanh-Hung Dinh, Medvedev, Nikita, Ishino, Masahiko, Kitamura, Toshiyuki, Hasegawa, Noboru, Otobe, Tomohito, Higashiguchi, Takeshi, Sakaue, Kazuyuki, Washio, Masakazu, Hatano, Tadashi, Kon, Akira, Kubota, Yuya, Inubushi, Yuichi, Owada, Shigeki, Shibuya, Tatsunori, Ziaja, Beata, Nishikino, Masaharu
COMMUNICATIONS PHYSICS 2 2019年11月
出版者・発行元:NATURE PUBLISHING GROUPDOI: 10.1038/s42005-019-0253-2
ISSN:2399-3650
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Intense water-window soft x-ray emission by spectral control using dual laser pulses 査読有り
Arai Goki, Hara Hiroyuki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguch Takeshi
OPTICS EXPRESS 26 (21) 27748-27756 2018年10月15日
出版者・発行元:NoneDOI: 10.1364/OE.26.027748
ISSN:1094-4087
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Spectral dynamics of soft X-ray emission in dual-laser-produced medium-Z plasma 査読有り
Ohashi Hayato, Hara Hiroyuki, Arai Goki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Suzuki Chihiro, Namba Shinichi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi
APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS 124 (10) 2018年10月
出版者・発行元:NoneDOI: 10.1007/s00340-018-7061-3
ISSN:0946-2171
eISSN:1432-0649
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Quantum Efficiency of Back-illuminated CMOS Sensor with 1.4×1.4 µm2 Pixel Size 査読有り
T. Ejima, T. Hatano
Microscopy and Microanalysis 24 (S2) 322-323 2018年8月
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Development of Laboratory-type Soft X-ray Microscope, CXRM, in Water-Window using LPP Light Source 査読有り
T. Ejima, Y. Ono, K. Ito, H. Kawasaki, T. Higashiguchi, S. Tone, T. Hatano
Microscopy and Microanalysis 24 (S2) 214-215 2018年8月
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Emission of water-window soft x-rays under optically thin conditions using low-density foam targets 査読有り
Hara Hiroyuki, Kawasaki Hiromu, Tamura Toshiki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi
OPTICS LETTERS 43 (15) 3750-3753 2018年8月1日
出版者・発行元:NoneDOI: 10.1364/OL.43.003750
ISSN:0146-9592
eISSN:1539-4794
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Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas 査読有り
Amano Reiho, Thang-Hung Dinh, Sasanuma Atsushi, Arai Goki, Hara Hiroyuki, Fujii Yusuke, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Sunahara Atsushi, Takahashi Akihiko, Nakamura Daisuke, Okada Tatsuo, Sakaue Kazuyuki, Miura Taisuke, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 (7) 2018年7月
出版者・発行元:NoneISSN:0021-4922
eISSN:1347-4065
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Characteristics of soft x-ray and extreme ultraviolet (XUV) emission from laser-produced highly charged rhodium ions 査読有り
Ellie Floyd Barte, Hiroyuki Hara, Toshiki Tamura, Takuya Gisuji, When-Bo Chen, Ragava Lokasani, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Akira Sasaki, Takeshi Higashiguchi, Jiří Limpouch
Journal of Applied Physics 123 (18) 2018年5月14日
出版者・発行元:American Institute of Physics Inc.DOI: 10.1063/1.5024344
ISSN:1089-7550 0021-8979
eISSN:1089-7550
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Selection of target elements for laser-produced plasma soft x-ray sources 査読有り
Toshiki Tamura, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Gerry O’Sullivan, Takeshi Higashiguchi
Optics Letters 43 (9) 2042-2045 2018年5月1日
出版者・発行元:OSA - The Optical SocietyDOI: 10.1364/OL.43.002042
ISSN:1539-4794 0146-9592
eISSN:1539-4794
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Evaluation of a Flat-Field Grazing Incidence Spectrometer for Highly Charged Ion Plasma Emission in 1–10 nm
Y. Kondo, T. H. Dinh, T. Tamura, S. Ohta, K. Kitano, T. Ejima, T. Hatano, T. Higashiguchi
Springer Proceedings in Physics 202 409-412 2018年
出版者・発行元:NoneDOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_62
ISSN:1867-4941 0930-8989
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Development of Soft X-Ray Microscope in Water Window Using Laser-Produced Plasma Light Source
T. Ejima, Y. Kondo, Y. Ono, T. H. Dinh, T. Higashiguchi, T. Hatano
Springer Proceedings in Physics 202 395-399 2018年
出版者・発行元:Springer Science and Business Media, LLCDOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_59
ISSN:1867-4941 0930-8989
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Cr/Sc/Mo multilayer for condenser optics in water window microscopes 査読有り
Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Toshihide Tsuru
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 220 14-16 2017年10月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/j.elspec.2016.12.010
ISSN:0368-2048
eISSN:1873-2526
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水の窓軟X線顕微鏡による高分解能撮像に向けて
東口 武史, 小野 祐一, 田村 賢紀, 陳 文博, 小倉 拓人, 原 広行, 近藤 芳希, 若山 俊隆, 羽多野 忠, 江島 丈雄
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 1592-1592 2017年8月25日
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会DOI: 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1592
eISSN:2436-7613
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水の窓軟X線領域で高繰り返し動作可能なターゲット元素の選定
東口 武史, 田村 賢紀, 小野 祐一, 原 広行, 近藤 芳希, 荒居 剛己, 江 偉華, 羽多野 忠, 江島 丈雄
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 1593-1593 2017年8月25日
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会DOI: 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1593
eISSN:2436-7613
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ボロン-K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子
小池 雅人, 羽多野 忠, 浮田 龍一, 笹井 浩行, 長野 哲也
X線分析の進歩 48 (48) 122-128 2017年3月31日
出版者・発行元:アグネ技術センターISSN:0911-7806
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波長 4 nm 軟X線用 Cr/Sc/Mo 多層膜コンデンサーミラーの開発
羽多野 忠, 江島 丈雄
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 1612-1612 2017年3月1日
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会DOI: 10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1612
eISSN:2436-7613
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Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm (vol 87, 123106, 2016) 査読有り
Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 88 (2) 029902 2017年2月
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.4973926
ISSN:0034-6748
eISSN:1089-7623
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Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm 査読有り
Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 87 (12) 2016年12月
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.4971421
ISSN:0034-6748
eISSN:1089-7623
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Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses 査読有り
Ragava Lokasani, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Thanh-Hung Dinh, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Tetsuya Makimura, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeshi Higashiguchi, Jiri Limpouch
APPLIED PHYSICS LETTERS 109 (19) 2016年11月
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.4967310
ISSN:0003-6951
eISSN:1077-3118
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多価イオンプラズマ計測用軟X 線射入射分光器の絶対較正
ヂン タンフン, 近藤 芳希, 田村 賢紀, 荒居 剛己, 牧村 哲也, 太田 茂, 北野 謙, 山本 洋一, 石野 雅彦, 錦野 将元, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 東口 武史
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 1538-1538 2016年9月1日
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会DOI: 10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1538
eISSN:2436-7613
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波長 4.0 nm 斜入射ミラー用 Cr/Sc/Mo 多層膜の開発
羽多野 忠, 江島 丈雄
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 1536-1536 2016年9月1日
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会DOI: 10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1536
eISSN:2436-7613
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Characteristics of the soft X-ray emission from laser-produced highly charged platinum plasmas 査読有り
Hiroyuki Hara, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Thanh-Hung Dinh, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Masaharu Nishikino, Akira Sasaki, Atsushi Sunahara, Takeshi Higashiguchi
APPLIED PHYSICS EXPRESS 9 (6) 2016年6月
出版者・発行元:IOP PUBLISHING LTDISSN:1882-0778
eISSN:1882-0786
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多価イオンプラズマによるコンパクト水の窓軟X 線光源の開発
ヂン タンフン, 近藤 芳希, 荒居 剛己, 三浦 泰祐, 遠藤 彰, 牧村 哲也, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 東口 武史
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 1483-1483 2015年8月31日
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会DOI: 10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1483
eISSN:2436-7613
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Multilayer coated grazing incidence condenser for large numerical aperture objective at wavelength of 4.5 nm 査読有り
T. Ejima, T. Hatano, K. Ohno, T. Fukayama, S. Aihara, M. Yanagihara, T. Tsuru
APPLIED OPTICS 53 (29) 6846-6852 2014年10月
出版者・発行元:OPTICAL SOC AMERDOI: 10.1364/AO.53.006846
ISSN:1559-128X
eISSN:2155-3165
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Multilayer reflectometry and quantitative analysis of higher order diffraction impurities of grating monochromator 査読有り
Tadashi Hatano, Tetsuo Harada
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 196 156-158 2014年10月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/j.elspec.2014.05.002
ISSN:0368-2048
eISSN:1873-2526
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多層膜を利用した真空紫外域の偏光素子開発 招待有り 査読有り
羽多野 忠
表面科学 35 (6) 294-299 2014年
出版者・発行元:公益社団法人 日本表面科学会DOI: 10.1380/jsssj.35.294
ISSN:0388-5321
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放射光を用いた軟X線多層膜素子の評価技術 招待有り 査読有り
羽多野忠
精密工学会誌(Web) 80 (6) 524-527 (J-STAGE)-527 2014年
出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会DOI: 10.2493/jjspe.80.524
ISSN:1882-675X
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Quick X-ray reflectometry in the simultaneous multiple angle-wavelength dispersive mode
E. Arakawa, W. Voegeli, T. Matsushita, Y. F. Yano, T. Hatano
Journal of Physics: Conference Series 425 (9) 2013年
出版者・発行元:Institute of Physics PublishingDOI: 10.1088/1742-6596/425/9/092002
ISSN:1742-6596 1742-6588
eISSN:1742-6596
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Homogenized ion milling over the whole area of EUV spherical multilayer mirrors for reflection phase error correction
T. Tsuru, K. Arai, T. Hatano
Journal of Physics: Conference Series 425 (15) 2013年
出版者・発行元:Institute of Physics PublishingDOI: 10.1088/1742-6596/425/15/152009
ISSN:1742-6596 1742-6588
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Monochromator operation in the carbon window region at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory 査読有り
Tadashi Hatano, Shogaku Aihara
11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION (SRI 2012) 425 2013年
出版者・発行元:IOP PUBLISHING LTDDOI: 10.1088/1742-6596/425/15/152018
ISSN:1742-6588
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Performance of the post-focusing mirror system at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory 査読有り
Tadashi Hatano, Shogaku Aihara, Kentaro Uchida, Toshihide Tsuru
11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY (XRM2012) 463 2013年
出版者・発行元:IOP PUBLISHING LTDDOI: 10.1088/1742-6596/463/1/012010
ISSN:1742-6588
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At-Wavelength Extreme Ultraviolet Lithography Mask Observation Using a High-Magnification Objective with Three Multilayer Mirrors 査読有り
Mitsunori Toyoda, Kenjiro Yamasoe, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Akifumi Tokimasa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita
APPLIED PHYSICS EXPRESS 5 (11) 2012年11月
出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICSISSN:1882-0778
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Three-Dimensionally Controlled Ion Milling for Reflection Phase Manipulation of EUV Multilayer Mirrors
T. Tsuru, T. Hatano, M. Yamamoto
10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY 1365 180-183 2011年
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.3625334
ISSN:0094-243X
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Soft X-ray imaging of thick carbon-based materials using the normal incidence multilayer optics
I. A. Artyukov, R. M. Feschenko, A. V. Vinogradov, Ye. A. Bugayev, O. Y. Devizenko, V. V. Kondratenko, Yu. S. Kasyanov, T. Hatano, M. Yamamoto, S. V. Saveliev
MICRON 41 (7) 722-728 2010年10月
出版者・発行元:PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTDDOI: 10.1016/j.micron.2010.06.011
ISSN:0968-4328
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X線集光技術 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発
津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹
放射光 23 (3) 181-187 2010年5月31日
出版者・発行元:日本放射光学会ISSN:0914-9287
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超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発
津留 俊英, 羽多野 忠, 原田 哲男, 豊田 光紀, 江島 丈雄, 柳原 美廣, 山本 正樹
光学 39 (5) 219-224 2010年5月10日
出版者・発行元:応用物理学会分科会日本光学会ISSN:0389-6625
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超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発 査読有り
津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 江島丈雄, 柳原美廣, 山本正樹
光学 39 (5) 3-8 2010年5月
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High throughput and wide field of view EUV microscope for blur-free one-shot imaging of living organisms 査読有り
Takeo Ejima, Fumihiko Ishida, Hiromichi Murata, Mitsunori Toyoda, Tetsuo Harada, Toshihide Tsuru, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Masaki Yamamoto, Haruo Mizutani
OPTICS EXPRESS 18 (7) 7203-7209 2010年3月
出版者・発行元:OPTICAL SOC AMERDOI: 10.1364/OE.18.007203
ISSN:1094-4087
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Fabrication and Characterization of Elliptically-Curved, Laterally-Graded Multilayers for Focusing X-ray Polychromator Applications 査読有り
Tadashi Hatano, Tetsuo Harada, Tadashi Matsushita, Etsuo Arakawa, Yasuo Higashi
SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 1234 669-+ 2010年
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.3463296
ISSN:0094-243X
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Area-selected Ion Milling for Reflection Wavefront Error Correction of Soft X-ray Multilayer Mirrors 査読有り
Toshihide Tsuru, Yu Sakai, Tadashi Hatano, Masaki Yamamoto
SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 1234 772-775 2010年
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.3463326
ISSN:0094-243X
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Two-dimensional Detector for High Resolution Soft X-ray Imaging 査読有り
Takeo Ejima, Shodo Ogasawara, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Masaki Yamamoto
SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 1234 811-814 2010年
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.3463337
ISSN:0094-243X
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Time-Resolved X-Ray Reflectometry in the Multiwavelength Dispersive Geometry 査読有り
Tadashi Matsushita, Etsuo Arakawa, Tetsuo Harada, Tadashi Hatano, Yasuo Higashi, Yohko F. Yano, Yasuhiro Niwa, Yasuhiro Inada, Shusaku Nagano, Takahiro Seki
SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 1234 927-+ 2010年
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.3463368
ISSN:0094-243X
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Multilayer polarization elements and their applications to polarimetric studies in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions 査読有り
Watanabe Makoto, Hatano Tadashi, Saito Katsuhiko, Hu Weibing, Ejima Takeo, Tsuru Toshihide, Takahashi Masahik, Kimura Hiroaki, Hirono Toko, Wang Zhangshan, Cui Mingqi, Yamamoto Masaki, Yanagihara Mihiro
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES 19 (4) 193-203 2008年8月
出版者・発行元:SPRINGER SINGAPORE PTE LTDDOI: 10.1016/S1001-8042(08)60049-4
ISSN:1001-8042
eISSN:2210-3147
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X-ray magnetic circular dichroism studies for Fe/Si interfaces using standing waves
Sato Kosuke, Masaki Sugawara, Takayoshi Jinno, Mitsunori Toyoda, Tadashi Hatano, Akira Arai, Mihiro Yanagihara
Journal of Physics: Conference Series 83 (1) 2007年6月1日
出版者・発行元:Institute of Physics PublishingDOI: 10.1088/1742-6596/83/1/012012
ISSN:1742-6596 1742-6588
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Optimal design of multilayer mirrors for water-window microscope optics 査読有り
Yurii Uspenskii, Denis Burenkov, Tadashi Hatano, Masaki Yamamoto
OPTICAL REVIEW 14 (1) 64-73 2007年1月
出版者・発行元:OPTICAL SOC JAPANDOI: 10.1007/s10043-007-0064-7
ISSN:1340-6000
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Advances in short-wavelength X-ray multilayer optics: toward high-throughput multi-mirror systems for the wavelengths < 10 nm 査読有り
Igor A. Artyukov, Yegor A. Bugayev, Oleksandr Yu. Devizenko, Ruslan M. Feshchenko, Tadashi Hatano, Yuri S. Kasyanov, Valeri V. Kondratenko, Yuri A. Uspenski, Alexander V. Vinogradov
SOFT X-RAY LASERS AND APPLICATIONS VII 6702 2007年
出版者・発行元:SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERINGDOI: 10.1117/12.734601
ISSN:0277-786X
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Nanometer-scale period Sc/Cr multilayer mirrors and their thermal stability
E Majkova, Y Chushkin, M Jergel, S Luby, Holy, V, Matko, I, B Chenevier, L Toth, T Hatano, M Yamamoto
THIN SOLID FILMS 497 (1-2) 115-120 2006年2月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE SADOI: 10.1016/j.tsf.2005.10.051
ISSN:0040-6090
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Thin film filters for an EUV multilayer mirror optics with a laser produced plasma light source
T Harada, T Hatano
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 144 1075-1077 2005年6月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.042
ISSN:0368-2048
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Schwarzschild microscopes in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions
M. Watanabe, M. Watanabe, M. Watanabe, M. Yanagihara, T. Ejima, M. Toyoda, Y. Kondo, T. Hatano, T. Tsuru, M. Yamamoto
Nuclear Science and Techniques/Hewuli 16 129-138 2005年6月1日
ISSN:1001-8042
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Top layer's thickness dependence on total electron-yield X-ray standing-wave
T Ejima, A Yamazaki, T Banse, T Hatano
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 144 897-899 2005年6月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.085
ISSN:0368-2048
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Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in situ automatic ellipsometry
T Tsuru, T Tsutou, T Hatano, A Yamamoto
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 144 1083-1085 2005年6月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.087
ISSN:0368-2048
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Magnetic rotation spectra of Co/Pt and Co/Cu multilayers in 50-90 eV region
K Saito, M Igeta, T Ejima, T Hatano, A Arai, M Watanabe
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 144 757-760 2005年6月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.160
ISSN:0368-2048
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1.真空中で作製するナノ構造 X線ミラー多層膜
山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英, 柳原美広
機械の研究 57 (1) 74-81 2005年1月1日
ISSN:0368-5713
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X線ミラー多層膜 (特集欄 ナノテクノロジーにおけるものづくり) -- (真空中で作製するナノ構造)
山本 正樹, 羽多野 忠, 津留 俊英
機械の研究 57 (1) 74-81 2005年1月
出版者・発行元:養賢堂ISSN:0368-5713
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Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry
T Tsuru, T Tsutou, T Hatano, M Yamamoto
SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 705 732-735 2004年
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.1757900
ISSN:0094-243X
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Normal incidence reflectometry of concave multilayer mirrors using synchrotron radiation to evaluate the period thickness distribution
T Hatano, S Kubota, Y Adachi, T Tsuru, M Yamamoto
SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 705 839-842 2004年
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.1757926
ISSN:0094-243X
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Linear polarization measurements of soft X-ray emitted from a figure-8 undulator by using multilayers
T Hirono, H Kimura, Y Tamenori, Y Saitoh, T Hatano, T Tanaka, T Ishikawa
SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 705 187-190 2004年
出版者・発行元:AMER INST PHYSICSDOI: 10.1063/1.1757765
ISSN:0094-243X
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Polarization measurements of laboratory VUV light: a first comparison between multilayer polarizers and photoelectron angular distributions
M Takahashi, T Hatano, T Ejima, Y Kondo, K Saito, M Watanabe, T Kinugawa, JHD Eland
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 130 (1-3) 79-84 2003年7月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/S0368-2048(03)00088-4
ISSN:0368-2048
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Wide range reflection multilayer in 200-25 nm region for Schwarzschild objectives
T Ejima, K Sudo, T Hatano, M Watanabe
JOURNAL DE PHYSIQUE IV 104 259-262 2003年3月
出版者・発行元:E D P SCIENCESISSN:1155-4339
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光リソグラフィーの新展開 屈折から反射へ 極紫外用の高反射率多層膜
羽多野忠
光学 31 (7) 532-537 2002年7月10日
出版者・発行元:応用物理学会分科会日本光学会ISSN:0389-6625
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多層膜偏光子を用いた極紫外磁気旋光分光
斉藤勝彦, 羽多野忠, 井桁光昭, HU W, 江島丈雄, 渡辺誠
放射光 15 (3) 158-162 2002年5月31日
出版者・発行元:日本放射光学会ISSN:0914-9287
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Faraday and magnetic Kerr rotation measurements on Co and Ni films around M-2,M-3 edges
K Saito, M Igeta, T Ejima, T Hatano, M Watanabe
SURFACE REVIEW AND LETTERS 9 (2) 943-947 2002年4月
出版者・発行元:WORLD SCIENTIFIC PUBL CO PTE LTDDOI: 10.1142/S0218625X02003251
ISSN:0218-625X
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Efficiency and polarization performance of a multilayer-coated laminar grating in the 6.5-6.9-nm wavelength region 査読有り
Sadayuki Ishikawa, Takashi Imazono, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Makoto Watanabe
Applied Optics 41 (4) 763-767 2002年2月1日
出版者・発行元:Optical Society of America (OSA)DOI: 10.1364/AO.41.000763
ISSN:1539-4522 0003-6935
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Multilayer polarizers for the use of He-I and He-II resonance lines
T Hatano, Y Kondo, K Saito, T Ejima, M Watanabe, M Takahashi
SURFACE REVIEW AND LETTERS 9 (1) 587-591 2002年2月
出版者・発行元:WORLD SCIENTIFIC PUBL CO PTE LTDDOI: 10.1142/S0218625X02002695
ISSN:0218-625X
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Efficiency and polarization performance of a multilayer-coated laminar grating in the 6.5-6.9-nm wavelength region 査読有り
S Ishikawa, T Imazono, T Hatano, M Yanagihara, M Watanabe
APPLIED OPTICS 41 (4) 763-767 2002年2月
出版者・発行元:OPTICAL SOC AMERDOI: 10.1364/AO.41.000763
ISSN:1559-128X
eISSN:2155-3165
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High-reflection multilayer for wavelength range of 200-30 nm
Y Kondo, T Ejima, K Saito, T Hatano, M Watanabe
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT 467 333-336 2001年7月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/S0168-9002(01)00314-X
ISSN:0168-9002
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Laboratory extreme-ultraviolet Faraday-rotation apparatus using multilayer polarizers
Weibing Hu, Weibing Hu, Tadashi Hatano, Makoto Watanabe
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 39 (2) 675-676 2000年12月1日
出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会DOI: 10.1143/JJAP.39.675
ISSN:0021-4922
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Spatial coherence of undulator radiation beyond the van Cittert-Zernike theorem
Y Takayama, N Takaya, T Miyahara, S Kamada, W Okamoto, T Hatano, RZ Tai, Y Kagoshima
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT 441 (3) 565-576 2000年3月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/S0168-9002(99)00988-2
ISSN:0168-9002
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Faraday rotation measurement around Ni M<inf>2,3</inf>edges using A1/YB<inf>6</inf>multilayer polarizers
Tadashi Hatano, Weibing Hu, Katsuhiko Saito, Makoto Watanabe
Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 101-103 287-291 1999年12月1日
DOI: 10.1016/s0368-2048(98)00489-7
ISSN:0368-2048
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Relationship between spatial coherence of synchrotron radiation and emittance
Y Takayama, T Hatano, T Miyahara, W Okamoto
JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION 5 1187-1194 1998年7月
出版者・発行元:MUNKSGAARD INT PUBL LTDDOI: 10.1107/S0909049597019754
ISSN:0909-0495
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Transmission multilayer polarizers for use in the 55-90 eV region
WB Hu, T Hatano, M Yamamoto, M Watanabe
JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION 5 732-734 1998年5月
出版者・発行元:MUNKSGAARD INT PUBL LTDDOI: 10.1107/S0909049597019109
ISSN:0909-0495
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Handling the polarization of soft X-ray using transmission multilayers. A case study
T Hatano, W Hu, M Yamamoto, M Watanabe
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 92 (1-3) 311-314 1998年5月
出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BVDOI: 10.1016/S0368-2048(98)00139-X
ISSN:0368-2048
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Measurement of the coherence of synchrotron radiation
Y Takayama, RZ Tai, T Hatano, T Miyahara, W Okamoto, Y Kagoshima
JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION 5 456-458 1998年5月
出版者・発行元:MUNKSGAARD INT PUBL LTDDOI: 10.1107/S0909049597013010
ISSN:0909-0495
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Magnetic circular dichroism of Gd-Co and Gd-Ni alloys in the Gd 3d, 4d and the (Co, Ni) 2p, 3p core excitation regions: Antiferromagnetic coupling between Gd and (Co, Ni) moments
Tadashi Hatano, Serng Yerl Park, Serng Yerl Park, Takaaki Hanyu, Tsuneaki Miyahara
Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 78 217-220 1996年1月1日
DOI: 10.1016/S0368-2048(96)80065-X
ISSN:0368-2048
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Magnetic Circular Dichroism of Ni-Pd Alloys in Ni 2p, 3p, Pd 3p, and 4p Core Excitation Regions: Enhancement of Ni 3d Orbital Moment
Serng-Yerl Park, Sadatsugu Muto, Sadatsugu Muto, Yasushi Kagoshima, Tsuneaki Miyahara, Tadashi Hatano, Shin Imada, Takaaki Hanyu, Ikuyo Shiozaki
Journal of the Physical Society of Japan 64 (3) 934-943 1995年
DOI: 10.1143/JPSJ.64.934
ISSN:1347-4073 0031-9015
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Comparison between 3p and 2p magnetic circular dichroism in transition metals and alloys: Is the sum rule applicable to itinerant magnetic systems?
Tsuneaki Miyahara, Serng-Yerl Park, Takaaki Hanyu, Tadashi Hatano, Sadatsugu Moto, Yasushi Kagoshima
Review of Scientific Instruments 66 (2) 1558-1560 1995年
DOI: 10.1063/1.1145907
ISSN:0034-6748
MISC 119
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多層膜回折格子による軟X線ビームスプリッターの検討
江島丈雄, 羽多野忠
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
ISSN:2436-7613
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1-5keV軟X線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作
羽多野忠, 羽多野忠, 今園孝志, 江島丈雄, 江島丈雄
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
ISSN:2436-7613
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Reflectance Measurements of Al/TiO2 Bilayers in the 10–30 eV Region at BL5B, UVSOR
T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima
UVSOR Activity Report 2020 117-117 2021年8月
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Tender X-ray multilayers for high throughput grating monochromators
Tadashi HATANO, Takeo EJIMA
Photon Factory Activity Report 2020 #38 38 213-1-213-2 2021年4月
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Calibration of Mo/Si Multilayer Beam-splitter for Soft X-Ray Laser Beamline
Masahiko ISHINO, Thanh-Hung DINH, Noboru HASEGAWA, Masaharu NISHIKINO, Kazuyuki SAKAUE, Takeshi HIGASHIGUCHI, Tadashi HATANO
Photon Factory Activity Report 2020 #38 38 106-1-106-4 2021年4月
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keV領域多層膜回折格子のための多層膜開発
羽多野忠, 羽多野忠, 江島丈雄, 江島丈雄
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 34th 2021年
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レーザー生成プラズマ光源による水の窓軟X線顕微鏡とSTED現象による高解像度化への試み (フォトニクス・ワークショップin九州 : 呼子)
東口 武史, 川崎 太夢, 庄司 美咲, 影山 稜, 若山 俊隆, 羽多野 忠, 江島 丈雄
レーザー学会研究会報告 = Reports the on topical meeting of the Laser Society of Japan 20 (6) 7-12 2020年9月14日
出版者・発行元:レーザー学会研究委員会 -
Multilayer reflectometry for evaluation of second harmonic spectral impurity in 100 nm wavelength output of BL5B UVSOR
T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima
UVSOR Activity Report 2019 41-41 2020年8月
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Calibration of a CCD-Based Energy Monitor for High Power Soft X-Ray Lasers
Thanh-Hung DINH, Masaharu NISHIKINO, Masahiko ISHINO, Takeshi HIGASHIGUCHI, Tadashi HATANO
Photon Factory Activity Report 2019 #37 37 130-1-130-3 2020年6月
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300eV~1.3keVにおける各種シンチレータの発光特性
江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 33rd 2020年
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波長100nm VUV直入射ミラーの作製と反射率計測
羽多野忠, 松田欣之, 江島丈雄, 中村永研
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 33rd 2020年
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Total luminescence yield of some scintillators in the photon energy region from 300 eV to 1.3 keV
EJIMA, Takeo, KUROSAWA, Shunsuke, YAMAJI, Akihiro, HATANO, Tadashi, WAKAYAMA, Toshitaka, HIGASHIGUCHI, Takeshi, KITAURA, Mamoru
Photon Factory Activity Report 2018 #36 36 69-1-69-2 2019年7月
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Diffraction Efficiency Measurements of Laminar-Type Diffraction Gratings Overcoated with Lanthanum Series Layers for Boron-K Emission Spectroscopy
Tadashi HATANO, Masato KOIKE, Masami TERAUCHI, Alexander S. PIROZHKOV, Nobukazu HAYASHI, Hiroyuki SASAI, Tetsuya NAGANO
Photon Factory Activity Report 2018 #36 36 82-1-82-3 2019年7月
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Fabrication of Cr/Sc/Mo multilayer illuminator for water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources
Tadashi HATANO, Takeo EJIMA, Yuichi ONO, Thanh-Hung DINH, Toshiki TAMURA, Keigo MAEDA, Hiroyuki HARA, Takeshi HIGASHIGUCHI
Photon Factory Activity Report 2018 #36 36 244-1-244-2 2019年7月
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ビスマスプラズマ水の窓軟X線源の開発—Development of bismuth plasma-based water-window soft x-ray source—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般
川崎 太夢, 島田 悠太, 難波 慎一, 佐々木 明, 錦野 将元, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 東口 武史
電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2019 (57-64) 1-6 2019年5月17日
出版者・発行元:東京 : 電気学会 -
SX‐STED用シンチレーターの探索
江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.21a‐235‐7 2018年9月5日
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BiターゲットLPP光源を用いた軟X線顕微鏡CXRM
江島丈雄, 小野祐一, 伊藤圭祐, 川崎大夢, 羽多野忠, 刀祢重信, 東口武史
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.21a‐235‐6 2018年9月5日
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低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性
原広行, 川崎太夢, 田村賢紀, 羽多野忠, 江島丈雄, JIANG Weihua, 大橋隼人, 難波愼一, 砂原淳, 佐々木明, 錦野将元, O’SULLIVAN Gerry, 東口武史
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.21p‐235‐10 2018年9月5日
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Non-uniform Distribution of Doped Carrier in a Na-doped CaB6 Bulk Material Observed by EPMA-SXES
M. Terauchi, Y. Sato, M. Takeda, T. Hatano, M. Koike, H. Sasai, T. Nagano, M. Koeda, T. Murano, H. Takahashi
Microscopy & Microanalysis 24 (suppl.1) 746-747 2018年8月
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ピクセルサイズ1.4×1.4μm<sup>2</sup>の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率
江島丈雄, 羽多野忠
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th ROMBUNNO.20p‐B301‐4 2018年3月5日
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材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション
錦野将元, 石野雅彦, DINH T‐H, 長谷川登, FAENOV A, PIKUZ T, 市丸智, 木下博雄, 坂上和之, 東口武史, 犬伏雄一, 今亮, 大和田成起, 羽多野忠, 鷲尾方一, 末元徹, 河内哲哉
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th ROMBUNNO.18p‐A404‐3 2018年3月5日
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フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究
坂上和之, 石野雅彦, 井谷俊郎, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 小倉拓人, 木下博雄, 小柴裕也, 今亮, SANTILLAN Julius Joseph, 篠崎夏美, 高橋孝, 田村賢紀, HUNG Dinh Thanh, 錦野将元, 西留武宏, 羽多野忠, 原広行, 東口武史, 山内駿, 鷲尾方一
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th ROMBUNNO.5a‐S44‐6 2017年8月25日
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フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション
市丸智, 錦野将元, 石野雅彦, 木下博雄, 犬伏雄一, 東口武史, 鷲尾方一, 坂上和之, 大和田成起, 羽多野忠, 畑山雅俊, 大知渉之, HUNG Dinh Thanh, 今亮, 原広行, 山内駿, 小倉拓人, 篠崎夏美, 小柴裕也, 高橋孝, 西留武宏, 奥哲
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th ROMBUNNO.5a‐S44‐7 2017年8月25日
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超短パルス軟X線レーザー照射によるアブレーション
石野雅彦, HUNG Dinh Thanh, FAENOV Anatory, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 河内哲哉, 木下博雄, 今亮, 坂上和之, 末元徹, PIKUZ Tatiana, 保智己, 錦野将元, 長谷川登, 羽多野忠, 東口武史, 鷲尾方一
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th ROMBUNNO.5a‐S44‐8 2017年8月25日
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ピクセルサイズ1.4×1.4μm<sup>2</sup>の背面照射型軟X線撮像素子の開発
江島丈雄, 羽多野忠
KEK Progress Report (Web) (2017-10) ROMBUNNO.125 (WEB ONLY) 2017年
ISSN:1344-6320
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波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発
江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd ROMBUNNO.19P-H137-11 2016年3月3日
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PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光
羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd ROMBUNNO.19P-H137-9 2016年3月3日
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レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発
近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 76th ROMBUNNO.16A-4E-3 2015年8月31日
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炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測
羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 28th 89 2015年1月10日
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多層膜ミラーを用いた回折格子分光器の高次光解析法
羽多野忠, 原田哲男
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年
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点光源軟X線顕微鏡の集光光学系の開発
江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇広, 相原翔学, 柳原美廣
レーザー学会研究会報告 450th 1-6 2013年10月22日
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波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発
江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 74th ROMBUNNO.18P-A13-7 2013年8月31日
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高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察
山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣
応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 67th 23-24 2012年12月6日
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高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察
豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th ROMBUNNO.18A-A4-8 2012年2月29日
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極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較
根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 25th 108 2012年1月6日
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高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察
山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄
東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 12th 143 2012年
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地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所 軟X線多層膜光学の開発と応用―軟X線顕微鏡
柳原美廣, 江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀
Mater Integr 24 (4/5) 201-207 2011年6月1日
ISSN:1344-7858
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軟X線多層膜光学の開発と応用--軟X線顕微鏡 (特集 地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所)
柳原 美廣, 江島 丈雄, 羽多野 忠
マテリアルインテグレ-ション 24 (4) 201-207 2011年4月
出版者・発行元:ティー・アイ・シィーISSN:1344-7858
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軟X線顕微鏡とその基盤技術の開発
江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀, 柳原美廣
X線結像光学ニューズレター (33) 7-9 2011年
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2009年光学界の進展 3.X線光学
羽多野忠
光学 39 (4) 176-177 2010年4月10日
ISSN:0389-6625
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X線光学
羽多野 忠
光学 39 (4) 176-177 2010年4月10日
ISSN:0389-6625
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多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広
PFシンポジウム要旨集 27th 2010年
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薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発
羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学
東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 10th 2010年
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軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発
豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣
応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th (2) 626 2009年9月8日
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軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発
豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広
光学シンポジウム講演予稿集 34th 31-32 2009年7月2日
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A simultaneous multiwavelength dispersive X-ray reflectometer for time-resolved reflectometry
T. Matsushita, E. Arakawa, Y. Niwa, Y. Inada, T. Hatano, T. Harada, Y. Higashi, K. Hirano, K. Sakurai, M. Ishii, M. Nomura
EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL-SPECIAL TOPICS 167 113-119 2009年2月
出版者・発行元:EDP SCIENCES S ADOI: 10.1140/epjst/e2009-00945-4
ISSN:1951-6355
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傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーター用楕円形状基板の開発
荒川悦雄, 東保男, 羽多野忠, 原田哲男, 松下正
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年
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傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一, 矢野陽子
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年
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傾斜周期膜厚(laterally graded)構造をもつX線多層膜ポリクロメーターの開発
羽多野忠, 原田哲男, 松下正, 荒川悦雄, 東保男
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年
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多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計-II
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子
応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th (2) 2009年
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LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>
江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 68 2009年
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Optical properties of Ti film for EUVL attenuated phase shift mask
Tadashi MATSUO, Tadashi HATANO, Mihiro YANAGIHARA
Photon Factory Activity Report 2007 Part B 254 2009年
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炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発
原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 69th (2) 594 2008年9月2日
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レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>の開発 3
江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広
応用物理学会学術講演会講演予稿集 69th (2) 590 2008年9月2日
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軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発
原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th (2) 695 2008年3月27日
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極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率
江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th (2) 695 2008年3月27日
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汎用軟X線実験装置を用いたAl薄膜の透過像撮像
羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th (2) 2008年
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多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計-試作とテスト実験-
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一
応用物理学会学術講演会講演予稿集 69th (2) 2008年
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高安定イオンビームスパッタリング成膜による炭素の窓用多層膜の作製
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 69th (2) 2008年
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レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>の開発 2
江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 68th (2) 712 2007年9月4日
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軟X線実験室顕微鏡用の多層膜結像鏡開発
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
Photon Factory News 25 (2) 28-32 2007年8月
ISSN:0916-0604
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ビーム応用
羽多野 忠
應用物理 76 (6) 657-658 2007年6月10日
ISSN:0369-8009
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レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発
江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 54th (2) 755 2007年3月27日
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極紫外シュバルツシルト対物鏡の波長マッチング
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 54th (2) 2007年
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実験室極紫外顕微鏡用多層膜鏡の波長マッチング
原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 68th (2) 2007年
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Ru capping film on Mo/Si multilayers for EUV lithography
Tadashi MATSUO, Kyoko Sakai, Tadashi HATANO, Mihiro YANAGIHARA
Photon Factory Activity Report 2006 Part B 24 116 2007年
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疑似球面ホルダーを用いた球面基板用膜厚分布制御パラメーター導出
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 53rd (2) 2006年
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28aPS-4 Fe/Si磁性多層膜のFe L_<2,3> MCDスペクトル(28aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))
菅原 真幸, 佐藤 功典, 羽多野 忠, 豊田 光紀, 柳原 美広
日本物理学会講演概要集 61 (0) 724-724 2006年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会DOI: 10.11316/jpsgaiyo.61.1.4.0_724_4
ISSN:1342-8349
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Soft X-ray MCD Studies on Interfaces in Fe/Si Multilayers
Masaki Sugawara, Kosuke Sato, Tadashi Hatano, Mitsunori Toyoda, Mihiro Yanagihara
KEK Proceedings (Mar-06) 48-52 2006年
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Fe L<SUB>2,3</SUB> MCD Spectra from Fe/Si Multilayers
M. Sugawara, K. Sato, T. Hatano, M. Toyoda, M. Yanagihara
Photon Factory Activity Report 2005 Part B #23 125 2006年
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軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価
浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広
応用物理学会学術講演会講演予稿集 66th (2) 558 2005年9月7日
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ECRイオンガンのビーム強度不安定性と電源電圧変動との相関
原田哲男, 清水俊明, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 66th (2) 2005年
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Multilayer Mirrors for X-rays
山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英, 柳原美廣
機械の研究 57 (1) 74-81 2005年
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全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性
江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠
応用物理学会学術講演会講演予稿集 65th (2) 601 2004年9月1日
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極紫外狭帯域分光フィルター用Mo/Si高次多層膜鏡の開発
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 65th (2) 2004年
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極紫外用三角交差光路干渉計の光学設計
羽多野忠, 関山健太郎, 原田哲男, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th (2) 2003年
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極紫外用三角交差光路干渉計のシアリング型縞解析
原田哲男, 羽多野忠, 関山健太郎, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th (2) 2003年
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新型極紫外シアリング干渉計による形状計測のための縞形成と解析法の検討
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 64th (3) 2003年
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31aYF-6 Co/Pt 磁性多層膜の軟 X 線ファラデー回転分光 (II)
斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 荒井 彰, 渡辺 誠
日本物理学会講演概要集 58 (0) 737-737 2003年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会DOI: 10.11316/jpsgaiyo.58.1.4.0_737_2
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シリコンウエハーの薄膜作製
荒井彰, 田中勇, 鈴木昭夫, 柏原守好, 新田健一, 佐藤二美, 羽多野忠, 渡辺誠, 鈴木正よし
東京大学総合技術研究会技術報告集 平成15年 1.54-1.56 2003年
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The 6th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures
羽多野 忠
放射光 15 (4) 60-61 2002年7月31日
ISSN:0914-9287
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Ni のM2,3吸収端近傍における磁気カー回転測定
斉藤勝彦, 井桁光昭, 江島丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠
UVSOR 活動報告書 128-128 2002年4月
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コロジオン膜上のCo/Pt多層膜の極紫外ファラデー回転スペクトル
井桁光昭, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠
UVSOR 活動報告書 152-153 2002年4月
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レーザープラズマ軟X線光源に対するイメージングプレートの感度特性
原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 62nd (2) 2001年
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レーザープラズマ光源用の高NA多層膜集光鏡の開発
羽多野忠, 窪田昭吾, 原田哲男, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 62nd (2) 2001年
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28aXA-7 軟X線磁気力-回転測定装置の開発
斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 井桁 光昭, 羽多野 忠, 渡辺 誠
日本物理学会講演概要集 56 (0) 661-661 2001年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会DOI: 10.11316/jpsgaiyo.56.1.4.0_661_2
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Development of Magnetic Kerr Rotation Apparatus in the 50-70 eV Region
K. Saito, M. Igeta, T. Ejima, T. Hatano, M. Watanabe
UVSOR Activity Report 2000 124-125 2001年
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Efficiency and Polarization Performance of a Multilayer-coated Laminar Grating in the 6.5-6.9-nm Wavelength Region
S. Ishikawa, T. Imazono, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Watanabe
Photon Factory Activity Report: Part B 18 282-282 2001年
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He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発
羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦
応用物理学会学術講演会講演予稿集 61st (2) 581 2000年9月3日
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24pYC-4 軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定
高谷 典子, 塩沢 秀次, 高山 泰弘, 宮原 恒あき, 台 仁忠, 並河 一道, 波多野 忠, 岡本 渉, 篭島 靖
日本物理学会講演概要集 54 (2) 634-634 1999年9月3日
出版者・発行元:一般社団法人日本物理学会ISSN:1342-8349
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31a-YM-6 Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果
羽多野 忠, 胡 衛兵, 山本 正樹, 渡邊 誠
日本物理学会講演概要集 53 (1) 194-194 1998年3月10日
出版者・発行元:一般社団法人日本物理学会ISSN:1342-8349
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ヤングの干渉計をもちいたエミッタンス測定
高山泰弘, 宮原恒あき, 篭島靖, 羽多野忠, 岡本渉, 台仁忠
KEK Proc (97-20) 251-259 1998年1月
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26a-YP-10 Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果II
羽多野 忠, 胡 衛兵, 斉藤 勝彦, 渡邊 誠
日本物理学会講演概要集 53 (0) 226-226 1998年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会ISSN:1342-8349
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透過型多層膜を用いた軟X線偏光分光法 I
羽多野忠, 山本正樹, 渡辺誠, HU W
日本物理学会講演概要集(分科会) 1997 196 1997年9月
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放射光の空間コヒーレンスの測定 III
高山泰弘, 羽多野忠, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖
日本物理学会講演概要集(年会) 52 (1 Pt 2) 192 1997年3月
ISSN:1342-8349
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28p-YC-2 放射光の空間コヒーレンスの測定III
高山 泰弘, 羽多野 忠, 岡本 渉, 宮原 恒あき, 篭島 靖
日本物理学会講演概要集 52 (0) 192-192 1997年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会ISSN:1342-8349
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5a-G-1 透過型多層膜を用いた軟X線偏光分光法 I
羽多野 忠, 胡 衛兵, 山本 正樹, 渡邊 誠
日本物理学会講演概要集 52 (0) 196-196 1997年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会ISSN:1342-8349
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放射光の空間コヒーレンスの測定 II
高山泰弘, 羽多野忠, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖
日本物理学会講演概要集(分科会) 1996 (Autumn Pt 2) 297 1996年9月
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放射光の空間コヒーレンスの測定 I
羽多野忠, 高山泰弘, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖
日本物理学会講演概要集(分科会) 1996 (Autumn Pt 2) 296 1996年9月
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Gd‐Co,Gd‐Ni合金の内殻励起磁気円二色性
羽多野忠, 朴成烈, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき
日本放射光学会年会予稿集 9th 64 1996年1月
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放射光の空間コヒーレンスの測定I
羽多野 忠, 高山 泰弘, 岡本 渉, 宮原 恒〓, 篭島 靖
日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1996 (0) 296-296 1996年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
放射光の空間コヒーレンスの測定II
高山 泰弘, 羽多野 忠, 岡本 渉, 宮原 恒〓, 篭島 靖
日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1996 (0) 297-297 1996年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
フェリ磁性的Gd‐Co合金の内殻励起磁気円二色性
羽多野忠, PARK S Y, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき
日本物理学会講演概要集(分科会) 1995 (Autumn Pt 2) 241 1995年9月
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Gd‐Ni合金の内殻励起磁気円二色性
PARK S Y, 羽多野忠, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき
日本物理学会講演概要集(分科会) 1995 (Autumn Pt 2) 241 1995年9月
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27p-W-7 Gd-Ni合金の内殻励起磁気円二色性
朴 成烈, 羽多野 忠, 高山 泰弘, 羽生 隆昭, 宮原 恒〓
日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1995 (0) 241-241 1995年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
27p-W-8 フェリ磁性的Gd-Co合金の内殻励起磁気円二色性
羽多野 忠, 朴 成烈, 高山 泰弘, 羽生 隆昭, 宮原 恒〓
日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1995 (0) 241-241 1995年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
CuClのZ<sub>3</sub>励起子構造の赤外二光子分光
斎藤恵吾, 羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方
日本物理学会講演概要集(年会) 49th (2) 233 1994年3月
ISSN:1342-8349
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31a-H-1 CuClのZ_3励起子構造の赤外二光子分光
齋藤 恵吾, 羽多野 忠, 蓮尾 昌裕, 長澤 信方
日本物理学会講演概要集. 年会 49 (0) 233-233 1994年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
CuClのZ<sub>3</sub>縦波励起子の赤外二光子分光
羽多野忠, 長沢信方
日本物理学会講演概要集(分科会) 1993 (Autumn Pt 2) 309 1993年9月
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励起子の励起子分子生成反応断面積の評価
羽多野忠, 長沢信方
日本物理学会講演概要集(年会) 48th (2) 283 1993年3月
ISSN:1342-8349
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15a-DC-10 CuClのZ_3縦波励起子の赤外二光子分光
羽多野 忠, 長澤 信方
日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1993 (0) 309-309 1993年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
1a-Q-3 励起子の励起子分子生成反応断面積の評価
羽多野 忠, 長澤 信方
日本物理学会講演概要集. 年会 48 (0) 283-283 1993年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
縦波励起子の二光子励起に伴う励起子分子の生成
羽多野忠, 長沢信方
日本物理学会講演概要集(分科会) 1992 (Autumn Pt 2) 270 1992年9月
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27a-ZE-15 縦波励起子の二光子励起に伴う励起子分子の生成
羽多野 忠, 長澤 信方
秋の分科会予稿集 1992 (0) 270-270 1992年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
CuCl励起子分子発光および高次非線形発光の空間特性
羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方
日本物理学会講演概要集(年会) 46th (2) 262 1991年9月
ISSN:1342-8349
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30a-A-8 CuCl励起子分子発光および高次非線形発光の空間特性
羽多野 忠, 蓮尾 昌裕, 長澤 信方
年会講演予稿集 46 (0) 262-262 1991年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会 -
CuCl Z<sub>3</sub>励起子帯高密度励起による高次非線形発光
蓮尾昌裕, 羽多野忠, 長沢信方
日本物理学会秋の分科会講演予稿集 1990 (2) 217 1990年10月
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CuCl Z<sub>3</sub>励起子帯高密度励起による高次非線形発光 空間特性
羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方
日本物理学会秋の分科会講演予稿集 1990 (2) 216 1990年10月
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3a-B-8 CuCl励起子分子二光子吸収スペクトルの空間依存性
羽多野 忠, 長澤 信方, 蓮尾 昌裕, 森永 実
秋の分科会予稿集 1989 (0) 191-191 1989年
出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会
講演・口頭発表等 143
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軟X線スーパーミラー型高回折効率高分解能回折格子の設計
小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己
第58回X線分析討論会 2022年11月11日
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真空紫外/軟X線ラミナー型回折格子への低消衰透明膜のオーバーコートによる回折効率の向上
小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己
日本分光学会年次講演会 2022年10月13日
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2〜4keV領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計(II)
小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己
第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日
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Li-K発光対応高spectral fluxラミナー型回折格子の設計
小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己
日本顕微鏡学会第78回学術講演会 2022年5月11日
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1-5 keV 軟X線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作
羽多野忠, 今園孝志, 江島丈雄
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月24日
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1~2 keV領域高spectral flux軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計と評価
小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフ アレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月24日
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刻線密度 3200 本/mm 軟X線ラミナー型回折格子の製作と W/C 多層膜による回折効率増大
羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己
第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2022年1月8日
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極端紫外(EUV)域低入射角高回折効率ラミナー型回折格子の開発
小池雅人, 村野孝訓, 越谷翔悟, 羽多野忠, ピロジ コフ S. アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 長野哲也, 寺内正己
第57回X線分析討論会 2021年11月6日
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低入射角・高回折効率ラミナー型回折格子の開発とボロン K 発光分析への応用
羽多野忠, 小池雅人, Alexander S. Pirozhkov, 西原弘晃, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己
Optics & Photonics Japan 2021 2021年10月29日
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極端紫外(EUV)域広開口高回折効率ラミナー型回折格子の開発
小池雅人, 羽多野忠, 村野孝訓, 越谷翔悟, ピロジコフ S.アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 長野哲也, 寺内正己
2021年日本分光学会年次講演会 2021年10月15日
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Fe L 発光対応高刻線密度ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発
羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月10日
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刻線密度 3200 本/mm の軟X線ラミナー型回折格子の製作と評価
羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己
第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月18日
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keV 領域多層膜回折格子のための多層膜開発
羽多野忠, 江島丈雄
第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2021年1月9日
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軟X線励起蛍光におけるSTED現象
江島丈雄, 若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 羽多野忠, 東口武史
第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2021年1月9日
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Fe-L (705 eV) 発光対応高回折効率・広受光角ラミナー型多層膜回折格子の製作と評価
小池雅人, 羽多野忠, 寺内正己, Pirozhkov Alexander, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也
日本顕微鏡学会第76回学術講演会 2020年5月26日
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2~4 keV 領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計
小池雅人, 上野良弘, 羽多野忠, ピロジコフ・アレキサンダー, 寺内正己
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月14日
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可変偏角分光器の誤差補正とエネルギー領域の拡張
羽多野忠
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月14日
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300 eV~1.3 keV における各種シンチレータの発光特性
江島丈雄, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守
第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2020年1月12日
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3d 遷移金属 L 発光高感度分光計測のためのラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発
羽多野忠, 小池雅人, 寺内正己, Alexander S. Pirozhkov, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也
第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2020年1月11日
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波長 100 nm VUV 直入射ミラーの作製と反射率計測
羽多野忠, 松田欣之, 江島丈雄, 中村永研
第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2020年1月11日
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ボロンK発光対応増反射膜付加高回折効率軟X線ラミナー型回折格子の開発
小池 雅人, 羽多野 忠, 寺内 正己, ピロジコフ S アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也
第55回X線分析討論会 2019年10月30日
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Design of valid line spacing holographic grating with high groove density and multilayered laminar-type grooves for flat field spectrometer optimized for 200‒900 eV region
Masato Koike, Tadashi Hatano, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano
The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics 2019年10月25日
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LaF3- and La/C-coated high efficiency laminar-type diffraction gratings for B K-emission spectroscopy
Tadashi Hatano, Masato Koike, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Hiroaki Nishihara, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano
The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics 2019年10月25日
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Luminescence properties of scintillators in the energy region from 300 eV to 1.3 keV
Takeo Ejima, Shunsuke Kurosawa, Akihiro Yamaji, Tadashi Hatano, Toshitaka Wakayama, Takeshi Higashiguchi, Mamoru Kitaura
The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics 2019年10月25日
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200~900 eV域対応高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型W/C多層膜回折格子の設計(II)
小池 雅人, 羽多野 忠, 寺内 正己, ピロジコフ アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
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200–900 eV域対応高回折効率・広受光角ラミナー型W/C多層膜回折格子の製作と評価
羽多野 忠, 小池 雅人, 寺内 正己, ピロジコフ アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日
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Design of soft X-ray high diffraction efficiency diffraction gratings employing a hybrid multilayer structure in a wide energy range of 200‒900 eV
M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, M. Terauchi, N. Hayashi, H. Sasai, T. Nagano
The 40th International Conference on Vacuum Ultraviolet and X-ray Physics 2019年7月
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Fe-K (705 eV)対応高回折効率・広帯域軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計
小池 雅人, 羽多野 忠, Pirozhikov Alexander, 寺内 正己, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也
日本顕微鏡学会第75回学術講演会 2019年6月
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Recent Progresses in Soft X-ray Emission Spectroscopy 招待有り
M. Terauchi, T. Hatano, M. Koike, Alexander S. Pirozhkov, H. Sasai, T. Nagano, M. Takakura, T. Murano
16th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis 2019年5月23日
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ビスマスプラズマ水の窓軟X線源の開発 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般)
川崎 太夢, 島田 悠太, 難波 慎一, 佐々木 明, 錦野 将元, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 東口 武史
電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan 2019年5月17日
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ホウ素-K発光分光のための酸化物膜付加による高回折効率ラミナー型回折格子
小池 雅人, 羽多野 忠, Pirozhikov S. Alexander, 寺内 正己, 浮田 龍一, 西原 弘晃, 笹井 浩行, 長野 哲也
2019年度日本分光学会年次講演会 2019年5月
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酸化物膜付加ボロンK発光(183 eV)対応軟X線ラミナー型回折格子の回折効 率評価
小池 雅人, 羽多野 忠, ピロジコフ アレキサンダー, 寺内 正己, 浮田 龍一, 西原 弘晃, 笹井 浩行, 長野 哲也
2018年度量子ビームサイエンスフェスタ 2019年3月12日
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200~900 eV域対応高回折効率軟X線W/C多層膜ラミナー型回折格子の設計
小池 雅人, 羽多野 忠, アレキサンダー ピロジコフ, 寺内 正己, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月10日
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ボロンK発光(183 eV)分光計測のための酸化物膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発
小池 雅人, 寺内 正己, 羽多野 忠, 高橋 秀之, 村野 孝訓, 高倉 優, 長野 哲也, 笹井 浩行, 西原 弘晃
第3回応用物理学会関西支部講演会 2019年2月15日
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ボロンK-発光高感度分光計測のためのランタン膜付加高効率回折格子の開発
羽多野 忠, 小池 雅人, 西原 弘晃, Alexander S. Pirozhkov, 寺内 正己, 笹井 浩行, 長野 哲也
第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2019年1月10日
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低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性
原広行, 川崎太夢, 田村賢紀, 羽多野忠, 江島丈雄, JIANG Weihua, 大橋隼人, 難波愼一, 砂原淳, 佐々木明, 錦野将元, O’SULLIVAN Gerry, 東口武史
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日
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ボロンK発光分光計測のための反射増加膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計指針
小池雅人, 羽多野忠, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日
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BiターゲットLPP光源を用いた軟X線顕微鏡CXRM
江島丈雄, 小野祐一, 伊藤圭祐, 川崎大夢, 羽多野忠, 刀祢重信, 東口武史
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日
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ボロンK発光分光計測のためのランタン膜付加高回折効率・広受光角ラミナー型回折格子の製作と評価
羽多野忠, 小池雅人, 西原弘晃, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 笹井浩行, 長野哲也
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日
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SX‐STED用シンチレーターの探索
江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日
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Development of laboratory-type soft X-ray microscope, CXRM, in Water-window using LPP light source 国際会議
Takeo Ejima, Yuichi Ono, Keisuke Ito, Hiromu Kawasaki, Takeshi Higashiguchi, Shigenobu Tone, Tadashi Hatano
14th International conference on x-ray microscopy 2018年8月22日
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Quantum efficiency of back-illuminated CMOS sensor with 1.4×1.4 µm2 pixel size 国際会議
Takeo Ejima, Tadashi Hatano
14th International conference on x-ray microscopy 2018年8月20日
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Cr/Sc/Mo multilayer mirror for illuminator optics in water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources 国際会議
Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Yuichi Ono, Thanh-Hung Dinh, Toshiki Tamura, Keigo Maeda, Hiroyuki Hara, Takeshi Higashiguchi
13th International conference on synchrotron radiation instrumentation 2018年6月13日
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Enhancement of diffraction efficiency and spectral flux of laminar-type diffraction gratings coated with Ni/La/C layers in soft X-ray region 国際会議
Tadashi Hatano, Masato Koike, Hiroaki Nishihara, Alexander S. Pirozhkov, Masami Terauchi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano
13th International conference on synchrotron radiation instrumentation 2018年6月11日
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ピクセルサイズ1.4×1.4μm<sup>2</sup>の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率
江島丈雄, 羽多野忠
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年3月5日
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材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション
錦野将元, 石野雅彦, DINH T‐H, 長谷川登, FAENOV A, PIKUZ T, 市丸智, 木下博雄, 坂上和之, 東口武史, 犬伏雄一, 今亮, 大和田成起, 羽多野忠, 鷲尾方一, 末元徹, 河内哲哉
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年3月5日
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ホウ素‐K発光分光のための酸化物膜付加による高回折効率広受光角ラミナー型回折格子
小池雅人, 羽多野忠, ALEXANDER Pirozhkov S, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也
X線分析討論会講演要旨集 2017年10月26日
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水の窓軟X線領域で高繰り返し動作可能なターゲット元素の選定
東口武史, 田村賢紀, 小野祐一, 原広行, 近藤芳希, 荒居剛己, JIANG W, 羽多野忠, 江島丈雄
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日
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Photon Factory BL‐11Dの波長13.5nmにおける2次光評価
羽多野忠
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日
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超短パルス軟X線レーザー照射によるアブレーション
石野雅彦, HUNG Dinh Thanh, FAENOV Anatory, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 河内哲哉, 木下博雄, 今亮, 坂上和之, 末元徹, PIKUZ Tatiana, 保智己, 錦野将元, 長谷川登, 羽多野忠, 東口武史, 鷲尾方一
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日
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水の窓軟X線顕微鏡による高分解能撮像に向けて
東口武史, 小野祐一, 田村賢紀, CHEN W, 小倉拓人, 原広行, 近藤芳希, 若山俊隆, 羽多野忠, 江島丈雄
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日
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フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション
市丸智, 錦野将元, 石野雅彦, 木下博雄, 犬伏雄一, 東口武史, 鷲尾方一, 坂上和之, 大和田成起, 羽多野忠, 畑山雅俊, 大知渉之, HUNG Dinh Thanh, 今亮, 原広行, 山内駿, 小倉拓人, 篠崎夏美, 小柴裕也, 高橋孝, 西留武宏, 奥哲
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日
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ボロンK発光分光計測のための酸化物膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子
小池雅人, 羽多野忠, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日
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フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究
坂上和之, 石野雅彦, 井谷俊郎, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 小倉拓人, 木下博雄, 小柴裕也, 今亮, SANTILLAN Julius Joseph, 篠崎夏美, 高橋孝, 田村賢紀, HUNG Dinh Thanh, 錦野将元, 西留武宏, 羽多野忠, 原広行, 東口武史, 山内駿, 鷲尾方一
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日
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ピクセルサイズ1.4×1.4μm<sup>2</sup>の背面照射型軟X線撮像素子の開発
江島丈雄, 羽多野忠
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日
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波長4nm軟X線用Cr/Sc/Mo多層膜コンデンサーミラーの開発
羽多野忠, 江島丈雄
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年3月1日
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ボロンK発光分光計測のためのランタン(La)系膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計
小池雅人, PIROZHKOV Alexander, 羽多野忠, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年3月1日
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ボロン‐K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子
小池雅人, 羽多野忠, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也
X線分析討論会講演要旨集 2016年10月12日
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PF BL‐11Dにおける5‐10nm領域の回折格子の回折効率評価
羽多野忠, 小池雅人, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年9月1日
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波長4.0nm斜入射ミラー用Cr/Sc/Mo多層膜の開発
羽多野忠, 江島丈雄
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年9月1日
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PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光
羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日
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波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発
江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日
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レーザー生成Biプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発
近藤芳希, DINH Thanh Hung, 小野祐一, 荒居剛己, 原広行, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日
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レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発
近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2015年8月31日
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炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測
羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2015年1月10日
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Photon Factory BL‐11Dの直線偏光度
羽多野忠
物構研サイエンスフェスタ要旨集 2015年
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多層膜ミラーを用いた回折格子分光器の高次光解析法
羽多野忠, 原田哲男
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2014年9月1日
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PF BL‐11D分光器のフルレンジ駆動ソフトウェア
羽多野忠
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2013年8月31日
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波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発
江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2013年8月31日
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BL‐11D可変偏角分光器のデフォーカス除去調整とフルレンジエネルギースキャン
羽多野忠
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2013年1月12日
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高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察
山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣
応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 2012年12月6日
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PF BL‐11D後置集光鏡システムの集光性能評価
内田健太郎, 相原翔学, 羽多野忠, 津留俊英
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2012年2月29日
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曲面ミラー反射率計測ビームラインPF BL‐11D
羽多野忠, 相原翔学, 伊藤健二, 菊地貴司
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2012年2月29日
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高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察
豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2012年2月29日
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極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較
根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2012年1月6日
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高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察
山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄
東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2012年
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軟X線結像鏡収差計測のための光学設計
内田健太郎, 津留俊英, 羽多野忠
東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2011年
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シャッター速度制御方式による急勾配成膜技術
相原翔学, 羽多野忠
応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 2010年11月22日
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多層膜ミラーの周期数による反射位相制御
津留俊英, 羽多野忠
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2010年8月30日
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汎用軟X線実験装置を用いたヤングの干渉縞観測
小笠原承道, 梅津裕生, 羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2010年3月3日
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軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測用密着ダブルスリット付きミリング多層膜の作製
津留俊英, 酒井優, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2010年3月3日
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放射光を用いた軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測
羽多野忠, 小笠原承道, 梅津裕生, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2010年3月3日
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シャッター速度制御方式による非球面成膜形成法の開発
相原翔学, 羽多野忠
東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2010年
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薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発
羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学
東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2010年
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多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広
PFシンポジウム要旨集 2010年
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反射配置のヤングの干渉計による極紫外多層膜ミラーの位相操作効果の計測
羽多野忠, 小笠原承道, 梅津裕生, 酒井優, 津留俊英
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年12月10日
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傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計‐II
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年12月10日
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軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発
豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2009年9月8日
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シャッター速度制御方式による非球面成分の成膜形成
相原翔学, 羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2009年9月8日
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多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計―II
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2009年9月8日
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軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発
豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広
光学シンポジウム講演予稿集 2009年7月2日
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軟X線多層膜ミラーの指定領域波面補正イオンミリング
津留俊英, 酒井優, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2009年3月30日
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多層膜表面ミリングによる反射位相変化の軟X線干渉計測
小笠原承道, 梅津裕生, 羽多野忠, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹
東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2009年
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放射光を用いた反射率測定の現状と将来展望―理研仁科SR2における反射率測定ビームライン建設に向けて―フォトンファクトリーの光学素子評価ビームラインと光学素子評価装置
羽多野忠
放射光を用いた反射率測定の現状と将来展望-理研仁科SR2における反射率測定ビームライン建設に向けて 平成21年度 理研シンポジウム 2009年
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傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一, 矢野陽子
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年
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LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>
江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年
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傾斜周期膜厚(laterally graded)構造をもつX線多層膜ポリクロメーターの開発
羽多野忠, 原田哲男, 松下正, 荒川悦雄, 東保男
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年
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傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーター用楕円形状基板の開発
荒川悦雄, 東保男, 羽多野忠, 原田哲男, 松下正
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年
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高安定イオンビームスパッタリング成膜による炭素の窓用多層膜の作製
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月2日
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レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>の開発 3
江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月2日
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炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発
原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月2日
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多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計―試作とテスト実験―
松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月2日
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回折格子の実測VLSパラメーターに基づく軟X線実験室分光反射率計の配置最適化
中島将, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2008年3月27日
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軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発
原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2008年3月27日
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汎用軟X線実験装置を用いたAl薄膜の透過像撮像
羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2008年3月27日
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極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率
江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2008年3月27日
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実験室極紫外顕微鏡用多層膜鏡の波長マッチング
原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2007年9月4日
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レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>の開発 2
江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2007年9月4日
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極紫外シュバルツシルト対物鏡の波長マッチング
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2007年3月27日
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レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発
江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2007年3月27日
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疑似球面ホルダーを用いた球面基板用膜厚分布制御パラメーター導出
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2006年3月22日
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28aPS-4 Fe/Si磁性多層膜のFe L_<2,3> MCDスペクトル(28aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))
菅原 真幸, 佐藤 功典, 羽多野 忠, 豊田 光紀, 柳原 美広
日本物理学会講演概要集 2006年
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水の窓領域の多層膜結像鏡評価のための実験室分光反射率計の光学設計
羽多野忠, 近藤祐治, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2005年9月7日
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ECRイオンガンのビーム強度不安定性と電源電圧変動との相関
原田哲男, 清水俊明, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2005年9月7日
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軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価
浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2005年9月7日
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軟X線結像用の精密多層膜鏡の開発
羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2005年3月29日
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全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性
江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2004年9月1日
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極紫外狭帯域分光フィルター用Mo/Si高次多層膜鏡の開発
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2004年9月1日
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新型極紫外シアリング干渉計による形状計測のための縞形成と解析法の検討
原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2003年8月30日
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極紫外用三角交差光路干渉計のシアリング型縞解析
原田哲男, 羽多野忠, 関山健太郎, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2003年3月27日
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極紫外用三角交差光路干渉計の光学設計
羽多野忠, 関山健太郎, 原田哲男, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2003年3月27日
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31aYF-6 Co/Pt 磁性多層膜の軟 X 線ファラデー回転分光 (II)
斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多 野忠, 荒井 彰, 渡辺 誠
日本物理学会講演概要集 2003年
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磁場を用いた固体ターゲットLPP光源のデブリ除去効果
神田剛, 羽多野忠, 古舘三七二, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2002年3月27日
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イオンビームスパッタリング成膜におけるSiの膜厚分布とMoの膜厚分布
窪田昭吾, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2002年3月27日
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レーザープラズマ光源用の高NA多層膜集光鏡の開発
羽多野忠, 窪田昭吾, 原田哲男, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2001年9月11日
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レーザープラズマ軟X線光源に対するイメージングプレートの感度特性
原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2001年9月11日
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イオンビームスパッタリング法で成膜したMo/Si多層膜の曲面基板上膜厚分布
羽多野忠, 窪田昭吾, 山本正樹, 宮田登
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2001年3月28日
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レーザー生成プラズマ光源Sn固体ターゲットからのデブリ量の速度分布
関山健太郎, 羽多野忠, 神田剛, 古舘三七二, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2001年3月28日
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28aXA-7 軟X線磁気力-回転測定装置の開発
斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 井桁 光昭, 羽多野 忠, 渡辺 誠
日本物理学会講演概要集 2001年
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17aRG-6 Co/Pt多層膜の軟X線ファラデー回転分光
井桁 光昭, 斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠
日本物理学会講演概要集 2001年
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He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発
羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2000年9月3日
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軟X線(~184eV)用多層膜回折格子の作製と評価
石川禎之, 今園孝志, 柳原美広, 羽多野忠, 渡邊誠
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2000年9月3日
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直径100mm基板上のMo/Si多層膜のスパッタ膜厚制御
梅津裕生, 羽多野忠, 山本正樹
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2000年3月28日
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軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定
高谷典子, 塩沢秀次, 高山泰弘, 宮原恒あき, TAI R Z, 並河一道, 羽多野忠, 岡本渉, 篭島靖
日本物理学会講演概要集 1999年9月3日
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高NA用のレーザー生成プラズマ光源デブリ除去装置
山本正樹, 古舘三七二, 羽多野忠
応用物理学会学術講演会講演予稿集 1999年9月1日
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Sc/Cr多層膜偏光子を用いた偏向部ビームラインの直線偏光度測定
羽多野忠, 坂野究, 柳原美広, 山本正樹
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 1999年1月7日
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NiおよびCo薄膜のM吸収端におけるファラデー効果
羽多野忠, 胡衛兵, 斉藤勝彦, 渡辺誠
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 1999年1月7日
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24pYC-4 軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定
高谷 典子, 塩沢 秀次, 高山 泰弘, 宮原 恒あき, 台 仁忠, 並河 一道, 波多野 忠, 岡本 渉, 篭島 靖
日本物理学会講演概要集 1999年
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Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果 II
羽多野忠, HU W, 斉藤勝彦, 渡辺誠
日本物理学会講演概要集 1998年9月5日
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水の窓領域の高反射率多層膜鏡の開発
坂野究, 羽多野忠, 古館三七二, 堀田善文, 梅津裕生, 柳原美広, 山本正樹
応用物理学会学術講演会講演予稿集 1998年9月
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Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果
羽多野忠, HU W, 山本正樹, 渡辺誠
日本物理学会講演概要集(年会) 1998年3月
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軟X線ファラデー回転分光法の開発
胡衛兵, 羽多野忠, 山本正樹, 渡辺誠
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 1998年1月9日
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3a-B-8 CuCl励起子分子二光子吸収スペクトルの空間依存性
羽多野 忠, 長澤 信方, 蓮尾 昌裕, 森永 実
秋の分科会予稿集 1989年
共同研究・競争的資金等の研究課題 8
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1-5 keV 全域でブラッグ条件を満たす高出力多層膜回折格子分光器の開発
羽多野 忠, 小池 雅人, 江島 丈雄
提供機関:Japan Society for the Promotion of Science
制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
研究機関:Tohoku University
2019年4月1日 ~ 2022年3月31日
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軟X線定在波を用いた磁気円二色性による磁性多層膜界面の評価
柳原 美廣, 北上 修, 江島 丈雄, 羽多野 忠
提供機関:Japan Society for the Promotion of Science
制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research
研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
研究機関:Tohoku University
2006年 ~ 2007年
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レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発
山本 正樹, 柳原 美廣, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 津留 俊英, 豊田 光紀
提供機関:Japan Society for the Promotion of Science
制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research
研究種目:Grant-in-Aid for Specially Promoted Research
研究機関:Tohoku University
2003年 ~ 2007年
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速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用
羽多野 忠
提供機関:Japan Society for the Promotion of Science
制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research
研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
研究機関:TOHOKU UNIVERSITY
2003年 ~ 2004年
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多層膜表面ミリングによる反射波面の制御
津留 俊英, 山本 正樹, 羽田野 忠, 津留 俊英
2002年 ~ 2003年
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軟X線磁気カー効果による磁性多層膜の各層個別の磁化を測定する方法の研究
渡辺 誠, 江島 丈雄, 羽多野 忠
提供機関:Japan Society for the Promotion of Science
制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research
研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
研究機関:Tohoku University
2000年 ~ 2001年
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光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用
山本 正樹, 羽多野 忠, 柳原 美廣
提供機関:Japan Society for the Promotion of Science
制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research
研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
研究機関:TOHOKU UNIVERSITY
1999年 ~ 2001年
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軟X線磁気旋光分光の研究
渡邊 誠, 江島 丈雄, 羽多野 忠
提供機関:Japan Society for the Promotion of Science
制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research
研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
研究機関:TOHOKU UNIVERSITY
1997年 ~ 1998年