顔写真

ハタノ タダシ
羽多野 忠
Tadashi Hatano
所属
国際放射光イノベーション・スマート研究センター 基幹研究部門 機能情報計測スマートラボ
職名
助教
学位
  • 博士(理学)(東京大学)

e-Rad 研究者番号
90302223

所属学協会 4

  • 日本光学会

    2021年3月 ~ 継続中

  • 応用物理学会

  • 日本放射光学会

  • 日本物理学会

研究分野 1

  • ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 /

論文 85

  1. Design of soft x-ray varied-line-spacing (VLS) high-dispersion laminar-type grating coated with super-mirror-type (SMT) multilayer for flat-field spectrograph in a region of 2–4 keV 査読有り

    M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Ueno, M. Terauchi

    Review of Scientific Instruments 95 023102-1-023102-6 2024年2月1日

    DOI: 10.1063/5.0173068  

  2. Laminar-type gratings overcoated with carbon-based materials to enhance analytical sensitivity of flat-field emission spectrograph in the VUV region 査読有り

    T. Murano, S. Koshiya, M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, T. Kakio, N. Hayashi, Y. Oue, K. Konishi, T. Nagano, K. Kondo, M. Terauchi

    Review of Scientific Instruments 94 (12) 125113-1-125113-6 2023年12月29日

    出版者・発行元:AIP Publishing

    DOI: 10.1063/5.0176783  

    ISSN:0034-6748

    eISSN:1089-7623

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    Laminar-type spherical diffraction gratings overcoated with carbon-based materials were designed, fabricated, and evaluated for the purpose of enhancing the analytical sensitivity of the flat-field spectrograph in a vacuum ultraviolet region of 35–110 eV. As the design benchmark for numerical calculations, diffraction efficiency (DE) and spectral flux, which are defined by the product of the DE and numerical aperture and correlate with the analytical sensitivity of the spectrograph, were used. To simplify the feasibility study on the overcoating effects, we assumed a laminar-type grating having a grating constant of 1/1000 mm and coated with a Au layer of 30.0 nm thickness and an incidence angle of 84.0°. The optimized groove depth and duty ratio were 30.0 nm and 0.3, respectively. In addition, the optimum thicknesses of the overcoating layer were 44, 46, 24, and 30 nm for B4C, C, diamond-like-carbon, and SiC, respectively. Based on these results, we have fabricated a varied-line-spacing holographic grating overcoated with B4C with a thickness of 47 nm. For the experimental evaluation, we used the light source of Mg-L and Al-L emissions excited by the electron beam generated from an electron microscope, an objective flat-field spectrograph, and a CCD imaging detector. The experimental results showed that the spectrograph employing a new grating overcoated with the B4C layer indicated almost the same spectral resolution and 2.9–4.2 times higher analytical sensitivity compared with those obtained with a previously designed Au-coated grating having a grating constant of 1/1200 mm and used at an incidence of 86.0°.

  3. Design of soft x-ray laminar-type gratings coated with supermirror-type multilayer to enhance diffraction efficiency in a region of 2–4 keV 査読有り

    M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, Y. Ueno, M. Terauchi

    Review of Scientific Instruments 94 (4) 045109-1-045109-5 2023年4月17日

    出版者・発行元:AIP Publishing

    DOI: 10.1063/5.0148908  

    ISSN:0034-6748

    eISSN:1089-7623

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    Soft x-ray diffraction gratings coated with a supermirror-type multilayer were designed to enhance diffraction efficiency in the energy range of 2–4 keV by means of numerical calculations. The optimized groove depth and incidence angle are 2.05 nm and 88.65°, respectively, for the grating having a groove density of 3200 grooves/mm. Regarding the multilayer structure, the optimum number of B<sub>4</sub>C/W layers pair was 11 and the thickness of B<sub>4</sub>C was increased from bottom to top, while that of W was kept constant. The replacement of the top layer of W by either Co, Cr, or Ni was an effective means of obtaining uniform diffraction efficiency. In the region of 2–4 keV, the calculated diffraction efficiency of the designed gratings was up to ∼5.3%, on average, and almost eight times larger than that of ∼0.7% of an Au coated grating.

  4. 極端紫外(EUV)域低入射角高回折効率ラミナー型回折格子の設計 査読有り

    小池 雅人, 村野 孝訓, 越谷 翔悟, 羽多野 忠, ピロジコフ S. アレキサンダー, 垣尾 翼, 林 信和, 長野 哲也, 近藤 公伯, 寺内 正己

    X線分析の進歩 53 69-76 2022年3月31日

    ISSN:0911-7806

  5. Design and experimental evaluation of enhanced diffraction efficiency of lanthanum-based material coated laminar-type gratings in the boron K-emission region 査読有り

    Tadashi Hatano, Masato Koike, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

    Applied Optics 60 (16) 4993-4999 2021年6月1日

    出版者・発行元:The Optical Society

    DOI: 10.1364/AO.430802  

    ISSN:1559-128X

    eISSN:2155-3165

  6. Recent developments in soft X-ray emission spectroscopy microscopy 査読有り

    M Terauchi, T Hatano, M Koike, A S Pirozhkov, H Sasai, T Nagano, M Takakura, T Murano

    IOP Conference Series: Materials Science and Engineering 891 012022-012022 2020年8月6日

    出版者・発行元:IOP Publishing

    DOI: 10.1088/1757-899x/891/1/012022  

    eISSN:1757-899X

  7. Soft x-ray laser beamline for surface processing and damage studies 国際誌 査読有り

    Masahiko Ishino, Thanh-Hung Dinh, Yuji Hosaka, Noboru Hasegawa, Kimio Yoshimura, Hiroki Yamamoto, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi, Kazuyuki Sakaue, Satoshi Ichimaru, Masatoshi Hatayama, Akira Sasaki, Masakazu Washio, Masaharu Nishikino, Yasunari Maekawa

    Applied optics 59 (12) 3692-3698 2020年4月20日

    DOI: 10.1364/AO.387792  

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    We have developed a soft x-ray laser (SXRL) beamline equipped with an intensity monitor dedicated to ablation study such as surface processing and damage formation. The SXRL beam having a wavelength of 13.9 nm, pulse width of 7 ps, and pulse energy of around 200 nJ is generated from Ag plasma mediums using an oscillator-amplifier configuration. The SXRL beam is focused onto the sample surface by the Mo/Si multilayer coated spherical mirror. To get the correct irradiation energy/fluence, an intensity monitor composed of a Mo/Si multilayer beam splitter and an x-ray charge-coupled device camera has been installed in the beamline. The Mo/Si multilayer beam splitter has a large polarization dependence in the reflectivity around the incident angle of 45°. However, by evaluating the relationship between reflectivity and transmittance of the beam splitter appropriately, the irradiation energy onto the sample surface can be derived from the energy acquired by the intensity monitor. This SXRL beamline is available to not only the ablation phenomena but also the performance evaluation of soft x-ray optics and resists.

  8. Luminescence properties of scintillators in soft X-ray region 査読有り

    Ejima, Takeo, Kurosawa, Shunsuke, Yamaji, Akihiro, Hatano, Tadashi, Wakayama, Toshitaka, Higashiguchi, Takeshi, Kitaura, Mamoru

    JOURNAL OF LUMINESCENCE 219 2020年3月

    出版者・発行元:ELSEVIER

    DOI: 10.1016/j.jlumin.2019.116850  

    ISSN:0022-2313

    eISSN:1872-7883

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    Both the total luminescence yield (TLY) and the luminescence spectra of scintillators were measured to identify which scintillator exhibited high luminosity in the soft X-ray (SX) region from 300 eV to 1.3 keV. The TLY intensities and the peak intensities of the luminescence spectra were compared to identify the scintillators that have high luminosity for reducing the pixel size of a two-dimensional detector by applying the stimulated emission depletion phenomenon. The obtained TLY intensities were Tl:CsI, Eu:GGG, Ce:LYSO, Tb:LSO, Eu:YAP and Ce:YAP (in descending order of strength), which differs from the known luminosities in the hard X-ray region. The order of the measured TLY intensity and the change of order between the present and the previous values of luminosities can be explained by the number of secondary electrons generated in the base material of the scintillator in the SX region.

  9. Soft X-ray spectral analysis of laser produced molybdenum plasmas using the fundamental and second harmonics of a Nd:YAG laser 査読有り

    Lokasani, Ragava, Kawasaki, Hiromu, Shimada, Yuta, Shoji, Misaki, Anraku, Kyoya, Ejima, Takeo, Hatano, Tadashi, Jiang, Weihua, Namba, Shinichi, Nikl, Jan, Zeman, Michal, Cysullivan, Gerry, Higashiguchi, Takeshi, Limpouch, Jiri

    OPTICS EXPRESS 27 (23) 33350-33357 2019年11月

    出版者・発行元:OPTICAL SOC AMER

    DOI: 10.1364/OE.27.033351  

    ISSN:1094-4087

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    Our measurement of the soft X-ray emission of Mo plasmas produced by picosecond Nd:YAG lasers emitting on the fundamental (1064 nm, 150 ps) and second (532 nm, 130 ps) harmonics is presented. The contrast in intensity between spectral peaks and the intensity outside them is lower for the second harmonic produced plasmas probably due to the presence more intense satellite emission and higher optical thickness. The measured spectra are absolutely calibrated and the observed output photon flux was (7 - 9) x 10(13) photons/sr in the water-window (2.3 - 4.4 nm) spectral range for a laser energy of 160 mJ independent of laser wavelength. However, in the short wavelength range 1.5 - 2 nm, the emission using the second harmonic is strongly enhanced and is even higher than for the maximum energy of 220 mJ of the fundamental wavelength, so despite inevitable energy losses, laser wavelength conversion may lead to emission enhancement in certain spectral ranges. This enhancement is attributed to higher absorption of short wavelength laser light and higher charge state generation in denser plasmas. (C) 2019 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

  10. Controlled strong excitation of silicon as a step towards processing materials at sub-nanometer precision 査読有り

    Thanh-Hung Dinh, Medvedev, Nikita, Ishino, Masahiko, Kitamura, Toshiyuki, Hasegawa, Noboru, Otobe, Tomohito, Higashiguchi, Takeshi, Sakaue, Kazuyuki, Washio, Masakazu, Hatano, Tadashi, Kon, Akira, Kubota, Yuya, Inubushi, Yuichi, Owada, Shigeki, Shibuya, Tatsunori, Ziaja, Beata, Nishikino, Masaharu

    COMMUNICATIONS PHYSICS 2 2019年11月

    出版者・発行元:NATURE PUBLISHING GROUP

    DOI: 10.1038/s42005-019-0253-2  

    ISSN:2399-3650

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    Interaction of a solid material with focused, intense pulses of high-energy photons or other particles (such as electrons and ions) creates a strong electronic excitation state within an ultra-short time and on ultra-small spatial scales. This offers the possibility to control the response of a material on a spatial scale less than a nanometer-crucial for the next generation of nano-devices. Here we create craters on the surface of a silicon substrate by focusing single femtosecond extreme ultraviolet pulse from the SACLA free-electron laser. We investigate the resulting surface modification in the vicinity of damage thresholds, establishing a connection to microscopic theoretical approaches, and, with their help, illustrating physical mechanisms for damage creation. The cooling during ablation by means of rapid electron and energy transport can suppress undesired hydrodynamical motions, allowing the silicon material to be directly processed with a precision reaching the observable limitation of an atomic force microscope.

  11. Intense water-window soft x-ray emission by spectral control using dual laser pulses 査読有り

    Arai Goki, Hara Hiroyuki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguch Takeshi

    OPTICS EXPRESS 26 (21) 27748-27756 2018年10月15日

    出版者・発行元:None

    DOI: 10.1364/OE.26.027748  

    ISSN:1094-4087

  12. Spectral dynamics of soft X-ray emission in dual-laser-produced medium-Z plasma 査読有り

    Ohashi Hayato, Hara Hiroyuki, Arai Goki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Suzuki Chihiro, Namba Shinichi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

    APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS 124 (10) 2018年10月

    出版者・発行元:None

    DOI: 10.1007/s00340-018-7061-3  

    ISSN:0946-2171

    eISSN:1432-0649

  13. Quantum Efficiency of Back-illuminated CMOS Sensor with 1.4×1.4 µm2 Pixel Size 査読有り

    T. Ejima, T. Hatano

    Microscopy and Microanalysis 24 (S2) 322-323 2018年8月

  14. Development of Laboratory-type Soft X-ray Microscope, CXRM, in Water-Window using LPP Light Source 査読有り

    T. Ejima, Y. Ono, K. Ito, H. Kawasaki, T. Higashiguchi, S. Tone, T. Hatano

    Microscopy and Microanalysis 24 (S2) 214-215 2018年8月

  15. Emission of water-window soft x-rays under optically thin conditions using low-density foam targets 査読有り

    Hara Hiroyuki, Kawasaki Hiromu, Tamura Toshiki, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Ohashi Hayato, Namba Shinichi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishikino Masaharu, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

    OPTICS LETTERS 43 (15) 3750-3753 2018年8月1日

    出版者・発行元:None

    DOI: 10.1364/OL.43.003750  

    ISSN:0146-9592

    eISSN:1539-4794

  16. Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas 査読有り

    Amano Reiho, Thang-Hung Dinh, Sasanuma Atsushi, Arai Goki, Hara Hiroyuki, Fujii Yusuke, Hatano Tadashi, Ejima Takeo, Jiang Weihua, Sunahara Atsushi, Takahashi Akihiko, Nakamura Daisuke, Okada Tatsuo, Sakaue Kazuyuki, Miura Taisuke, O'Sullivan Gerry, Higashiguchi Takeshi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57 (7) 2018年7月

    出版者・発行元:None

    DOI: 10.7567/JJAP.57.070311  

    ISSN:0021-4922

    eISSN:1347-4065

  17. Characteristics of soft x-ray and extreme ultraviolet (XUV) emission from laser-produced highly charged rhodium ions 査読有り

    Ellie Floyd Barte, Hiroyuki Hara, Toshiki Tamura, Takuya Gisuji, When-Bo Chen, Ragava Lokasani, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Akira Sasaki, Takeshi Higashiguchi, Jiří Limpouch

    Journal of Applied Physics 123 (18) 2018年5月14日

    出版者・発行元:American Institute of Physics Inc.

    DOI: 10.1063/1.5024344  

    ISSN:1089-7550 0021-8979

    eISSN:1089-7550

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    We have characterized the soft x-ray and extreme ultraviolet (XUV) emission of rhodium (Rh) plasmas produced using dual pulse irradiation by 150-ps or 6-ns pre-pulses, followed by a 150-ps main pulse. We have studied the emission enhancement dependence on the inter-pulse time separation and found it to be very significant for time separations less than 10 ns between the two laser pulses when using 6-ns pre-pulses. The behavior using a 150-ps pre-pulse was consistent with such plasmas displaying only weak self-absorption effects in the expanding plasma. The results demonstrate the advantage of using dual pulse irradiation to produce the brighter plasmas required for XUV applications.

  18. Selection of target elements for laser-produced plasma soft x-ray sources 査読有り

    Toshiki Tamura, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Weihua Jiang, Chihiro Suzuki, Gerry O’Sullivan, Takeshi Higashiguchi

    Optics Letters 43 (9) 2042-2045 2018年5月1日

    出版者・発行元:OSA - The Optical Society

    DOI: 10.1364/OL.43.002042  

    ISSN:1539-4794 0146-9592

    eISSN:1539-4794

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    We demonstrated the upper limitation to the number of shots, i.e., target lifetime, together with the number of photons emitted in the water-window soft x-ray spectral region from a number of targets used as sources in this spectral region, for multi-shot irradiation at the same position on the target surface. The spectra involved result from unresolved transition arrays originating from n 3–n 4 transitions in medium-Z element plasmas and from n 4–n 4 transitions originating in high-Z plasmas. The output flux was maintained for the highest number of shots in the case of the high melting point element molybdenum, and the total output in the water window was 7.7 × 1013 photons∕sr at a laser power density of 1.2 × 101 W∕cm2.

  19. Evaluation of a Flat-Field Grazing Incidence Spectrometer for Highly Charged Ion Plasma Emission in 1–10 nm

    Y. Kondo, T. H. Dinh, T. Tamura, S. Ohta, K. Kitano, T. Ejima, T. Hatano, T. Higashiguchi

    Springer Proceedings in Physics 202 409-412 2018年

    出版者・発行元:None

    DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_62  

    ISSN:1867-4941 0930-8989

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    © 2018, Springer International Publishing AG. A flat-field grazing incident spectrometer was built to investigate highly charged ion (HCI) plasmas in the spectral region from 1 to 10 nm. The spectrometer consists of a flat-filed grating with 2400 lines/mm as a dispersing element and an X-ray charged-coupled device (CCD) camera as the detector. In order to produce accurate intensity calibrated spectra of the HCI plasmas, the diffraction efficiency of the grating and the sensitivity of the CCD camera were directly measured by using the reflectometer installed at the BL-11D of the Photon Factory (PF). We also studied the calibrated spectra of Gd HCI plasmas which were produced by an Nd:YAG laser.

  20. Development of Soft X-Ray Microscope in Water Window Using Laser-Produced Plasma Light Source

    T. Ejima, Y. Kondo, Y. Ono, T. H. Dinh, T. Higashiguchi, T. Hatano

    Springer Proceedings in Physics 202 395-399 2018年

    出版者・発行元:Springer Science and Business Media, LLC

    DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_59  

    ISSN:1867-4941 0930-8989

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    For the sake of observation of samples in solution, a contact-type soft X-ray microscope is under construction by the use of both an optical microscope for readout and a laser-produced plasma light source with a heavy metal target. Edge response is evaluated through a water layer.

  21. Cr/Sc/Mo multilayer for condenser optics in water window microscopes 査読有り

    Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Toshihide Tsuru

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 220 14-16 2017年10月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/j.elspec.2016.12.010  

    ISSN:0368-2048

    eISSN:1873-2526

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    We developed a high-reflectance wide-reflection-band multilayer for application in condenser optics in microscopes working in the water window soft X-ray region. Grazing incidence 20 period Cr/Sc multilayers suffered damage when they were deposited on toroidal substrates, possibly because of the compressive stress of the thick Sc layers present in them. To avoid such damages, we minimized the Sc layer thickness by using a Cr/Sc/Mo 10 tri-layer structure. The resulting multilayer had a periodic thickness of 9.8 nm to reflect 310 eV soft X-ray at an angle of incidence of 77.2 degrees. The multilayers were successfully deposited on Si wafers and concave BK7 substrates by ion beam sputtering with no damage. The peak height, angular acceptance, and spectral width of the measured reflectance of the Cr/Sc/Mo 10 tri-layer were 27.4%, 1.5, and 35 eV, respectively, showing that it was suitable for condenser optics of broadband high-2 plasma soft X-ray sources. (C) 2017 The Authors. Published by Elsevier B.V.

  22. 水の窓軟X線顕微鏡による高分解能撮像に向けて

    東口 武史, 小野 祐一, 田村 賢紀, 陳 文博, 小倉 拓人, 原 広行, 近藤 芳希, 若山 俊隆, 羽多野 忠, 江島 丈雄

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 1592-1592 2017年8月25日

    出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1592  

    eISSN:2436-7613

  23. 水の窓軟X線領域で高繰り返し動作可能なターゲット元素の選定

    東口 武史, 田村 賢紀, 小野 祐一, 原 広行, 近藤 芳希, 荒居 剛己, 江 偉華, 羽多野 忠, 江島 丈雄

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 1593-1593 2017年8月25日

    出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1593  

    eISSN:2436-7613

  24. ボロン-K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子

    小池 雅人, 羽多野 忠, 浮田 龍一, 笹井 浩行, 長野 哲也

    X線分析の進歩 48 (48) 122-128 2017年3月31日

    出版者・発行元:アグネ技術センター

    ISSN:0911-7806

  25. 波長 4 nm 軟X線用 Cr/Sc/Mo 多層膜コンデンサーミラーの開発

    羽多野 忠, 江島 丈雄

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 1612-1612 2017年3月1日

    出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1612  

    eISSN:2436-7613

  26. Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm (vol 87, 123106, 2016) 査読有り

    Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 88 (2) 029902 2017年2月

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.4973926  

    ISSN:0034-6748

    eISSN:1089-7623

  27. Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm 査読有り

    Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 87 (12) 2016年12月

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.4971421  

    ISSN:0034-6748

    eISSN:1089-7623

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    A flat-field grazing incidence spectrometer operating on the spectral region from 1 to 10 nm was built for research on physics of high temperature and high energy density plasmas. It consists of a flat-field grating with 2400 lines/mm as a dispersing element and an x-ray charged coupled device (CCD) camera as the detector. The diffraction efficiency of the grating and the sensitivity of the CCD camera were directly measured by use of synchrotron radiation at the BL-11D beamline of the Photon Factory (PF). The influence of contamination to the spectrometer also was characterized. This result enables us to evaluate the absolute number of photons in a wide range wavelength between 1 and 10 nm within an acquisition. We obtained absolutely calibrated spectra from highly charged ion plasmas of Gd, from which a maximum energy conversion efficiency of 0.26% was observed at a Nd:YAG laser intensity of 3 x 10(12) W/cm(2). Published by AIP Publishing.

  28. Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses 査読有り

    Ragava Lokasani, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Thanh-Hung Dinh, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Tetsuya Makimura, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeshi Higashiguchi, Jiri Limpouch

    APPLIED PHYSICS LETTERS 109 (19) 2016年11月

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.4967310  

    ISSN:0003-6951

    eISSN:1077-3118

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    We demonstrate efficient enhancement of soft X-ray (SXR) emission from molybdenum plasmas produced using dual pulse irradiation, in which 10-ns and 150-ps pre-pulses were followed by a 150-ps main pulse. The number of photons was observed to be 5.3 x 10(16) photons/sr, which corresponded to a conversion efficiency of 1.5%/sr in lambda = 2.34-4.38 nm region at a pulse separation time of 1 ns with the 150-ps pre-pulse. The conversion efficiency became 1.3 times as large as that produced by a single pulse. The results indicate the advantage of dual pulse irradiation using sub-ns pre- and main pulses to produce the bright plasmas required for applications such as laboratory based SXR microscopy. Published by AIP Publishing.

  29. 多価イオンプラズマ計測用軟X 線射入射分光器の絶対較正

    ヂン タンフン, 近藤 芳希, 田村 賢紀, 荒居 剛己, 牧村 哲也, 太田 茂, 北野 謙, 山本 洋一, 石野 雅彦, 錦野 将元, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 東口 武史

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 1538-1538 2016年9月1日

    出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1538  

    eISSN:2436-7613

  30. 波長 4.0 nm 斜入射ミラー用 Cr/Sc/Mo 多層膜の開発

    羽多野 忠, 江島 丈雄

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 1536-1536 2016年9月1日

    出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1536  

    eISSN:2436-7613

  31. Characteristics of the soft X-ray emission from laser-produced highly charged platinum plasmas 査読有り

    Hiroyuki Hara, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Thanh-Hung Dinh, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Masaharu Nishikino, Akira Sasaki, Atsushi Sunahara, Takeshi Higashiguchi

    APPLIED PHYSICS EXPRESS 9 (6) 2016年6月

    出版者・発行元:IOP PUBLISHING LTD

    DOI: 10.7567/APEX.9.066201  

    ISSN:1882-0778

    eISSN:1882-0786

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    We characterized the spectral structure of the soft X-ray emission and determined the plasma parameters in laser-produced highly charged platinum plasmas. The spectral structure observed originated from Pt21+ to Pt34+ ions, emissions from which overlapped to produce a high output flux in the carbon-window soft X-ray spectral region. Using dual laser pulse irradiation, we observed the maximum output flux, which was 20% larger than that obtained under single-laser irradiation, and the evolution of a strongly absorbed spectral structure, which was attributed to the effects of both opacity and long-scale length of the expanding pre-plasma. (C) 2016 The Japan Society of Applied Physics

  32. 多価イオンプラズマによるコンパクト水の窓軟X 線光源の開発

    ヂン タンフン, 近藤 芳希, 荒居 剛己, 三浦 泰祐, 遠藤 彰, 牧村 哲也, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 東口 武史

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 1483-1483 2015年8月31日

    出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1483  

    eISSN:2436-7613

  33. Multilayer coated grazing incidence condenser for large numerical aperture objective at wavelength of 4.5 nm 査読有り

    T. Ejima, T. Hatano, K. Ohno, T. Fukayama, S. Aihara, M. Yanagihara, T. Tsuru

    APPLIED OPTICS 53 (29) 6846-6852 2014年10月

    出版者・発行元:OPTICAL SOC AMER

    DOI: 10.1364/AO.53.006846  

    ISSN:1559-128X

    eISSN:2155-3165

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    A grazing incidence condenser is developed for objectives with large numerical aperture working in Carbon-window wavelength region (lambda = 4.4-5.0 nm) with the use of a point light source. The condenser is composed of four pieces of toroidal mirrors and a piece of the mirror was fabricated to evaluate the performance of the mirror. The radii of the toroidal mirror are determined by ray-trace calculation, and each radius of the mirror substrate and the roughness of the polished surface were evaluated to satisfy the designed parameter. A Co/C reflection multilayer is also designed to reflect soft x-ray light at 4.5 nm wavelength, and the reflection multilayer was deposited on the mirror surface. Measured reflectance of the toroidal mirror with the reflection multilayer is higher than 0.32 at 4.5 nm wavelength. (C) 2014 Optical Society of America

  34. Multilayer reflectometry and quantitative analysis of higher order diffraction impurities of grating monochromator 査読有り

    Tadashi Hatano, Tetsuo Harada

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 196 156-158 2014年10月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/j.elspec.2014.05.002  

    ISSN:0368-2048

    eISSN:1873-2526

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    Spectral impurity of the beam delivered by a soft X-ray synchrotron beamline is often a problem because higher order components of a grating monochromator cause some error in quantitative measurements. To achieve a correct data analysis, characterization of the higher order diffraction impurities is needed. This paper describes a simple and easy method, where a reflective multilayer is used to pick one out of a series of diffraction orders with the angle of incidence adjusted. The reflectance of the multilayer is first measured at harmonic-energies 2E, 3E and 4E at an angle of incidence phi(n) satisfying the Bragg condition in the first order, where E is the fundamental energy. Then, setting sequentially the angle of incidence of the multilayer at phi(n), reflectance is measured around E, where the measured value is reflectance for the energy nE multiplied by the proportion of the nth order component. Thus, impurity spectrum is obtained. The present method can be generally used for any beamline and any energy. Experiments were performed at BL-11D of the Photon Factory, KEK, at 282 eV using a Cr/C multilayer, and the proportion of the first order was found to be 0.915. The normal incidence reflectance of the multilayer was measured, and the intrinsic value for pure 282 eV light was estimated to be 20.4% by purity factor correction. (C) 2014 Elsevier B.V. All rights reserved.

  35. 多層膜を利用した真空紫外域の偏光素子開発 招待有り 査読有り

    羽多野 忠

    表面科学 35 (6) 294-299 2014年

    出版者・発行元:公益社団法人 日本表面科学会

    DOI: 10.1380/jsssj.35.294  

    ISSN:0388-5321

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    Polarization elements for 20-400eV vacuum ultraviolet (VUV) have been developed using multilayers. Unavailability of transparent media is characteristic of optics in the VUV region. VUV polarizers are based on a multilayer mirror at the pseud-Brewster&#039;s angle. General principle of selecting material combinations to obtain high polarizance multilayers of reflection type is presented. Theoretical description on reflection phase retarders, transmission polarizers, and transmission phase retarders is also given. Several VUV multilayer elements were fabricated and characterized using synchrotron radiation VUV source, and synchrotron radiation beamline optics were diagnosed using VUV multilayer analyzers at the same time. Multilayer analyzers were also applied to Faraday rotation measurements around M&lt;sub&gt;2,3&lt;/sub&gt; edges of Ni films.

  36. 放射光を用いた軟X線多層膜素子の評価技術 招待有り 査読有り

    羽多野忠

    精密工学会誌(Web) 80 (6) 524-527 (J-STAGE)-527 2014年

    出版者・発行元:公益社団法人 精密工学会

    DOI: 10.2493/jjspe.80.524  

    ISSN:1882-675X

  37. Quick X-ray reflectometry in the simultaneous multiple angle-wavelength dispersive mode

    E. Arakawa, W. Voegeli, T. Matsushita, Y. F. Yano, T. Hatano

    Journal of Physics: Conference Series 425 (9) 2013年

    出版者・発行元:Institute of Physics Publishing

    DOI: 10.1088/1742-6596/425/9/092002  

    ISSN:1742-6596 1742-6588

    eISSN:1742-6596

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    The whole profile of the specular X-ray reflectivity curve was simultaneously and quickly measured with no need to rotate the specimen, the detector or the monochromator crystal. A white synchrotron beam from a bending magnet source is incident on a bent-twisted silicon (111) crystal polychromator that produces a convergent X-ray beam with a continuously varying wavelength (energy) and glancing angle to the specimen surface. This convergent X-ray beam was specularly reflected in the vertical direction by the specimen placed at the focus. The normalized spatial distribution across the beam direction of the reflected beam represents a specular X-ray reflectivity curve because each position along the line recorded on the two dimensional detector surface corresponds to a different momentum transfer. Reflectivity curves from a (001) silicon wafer, a nickel thin film on a silicon substrate, and a water surface were measured with data collection times of 0.001-100 s, 0.01-100 s, and 1.0-1000 s, respectively. The simultaneously covered momentum transfer range was 0.03-0.52 Å-1 for solid specimens and 0-0.41 Å-1 for liquid specimen. © Published under licence by IOP Publishing Ltd.

  38. Homogenized ion milling over the whole area of EUV spherical multilayer mirrors for reflection phase error correction

    T. Tsuru, K. Arai, T. Hatano

    Journal of Physics: Conference Series 425 (15) 2013年

    出版者・発行元:Institute of Physics Publishing

    DOI: 10.1088/1742-6596/425/15/152009  

    ISSN:1742-6596 1742-6588

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    For accurate reflection phase manipulation of spherical multilayer mirrors used in extreme ultraviolet (EUV) imaging, a wide-area ion beam with a homogenized radial distribution was produced for period-by-period ion milling. Measured variations of the milling depth with incident angle showed that Si and Mo have the same angular dependence within the effective aperture used in our imaging optics. By using the designed homogenizer mask, the ion-milling depth was successfully homogenized to within an error of ±1.9% over a 50-mm-wide concave mirror. Furthermore, a versatile homogenizer mask with adjustable opening angle plates was developed. With this mask, an ion-milling depth-profile homogeneity of ±1.7% was realized. Although a slight decrease in the peak EUV reflectance was measured as the incident angle decreased, the effectiveness and practicality of our correction method has been demonstrated.

  39. Monochromator operation in the carbon window region at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory 査読有り

    Tadashi Hatano, Shogaku Aihara

    11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION (SRI 2012) 425 2013年

    出版者・発行元:IOP PUBLISHING LTD

    DOI: 10.1088/1742-6596/425/15/152018  

    ISSN:1742-6588

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    The vacuum ultraviolet (VUV) and soft X-ray beamline BL-11D of the Photon Factory has been recently equipped with a reflectometer to be dedicated to reflectometry for optical elements. The monochromator is of a varied deviation angle type. Focus conditions had been achieved using photoelectron spectroscopy data in the separated regions of 60-200 eV and 300-700 eV with respective gratings. Relying on the monochromator parameters, we programmed a monochromator operation optimized to 250-300 eV region for characterization of carbon window multilayers. Spectral reflectance of a Cr/C multilayer was measured at various angles of incidence, and the peak energy changed, showing that the monochromator has a good spectral accuracy as well as a high resolving power. We also programmed a monochromator operation above 700 eV, and the operable energy range has been extended to 200-1000 eV with one grating. The spectral transmittance and reflectances of Co/C multilayers were measured, and the spectral impurities were discussed.

  40. Performance of the post-focusing mirror system at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory 査読有り

    Tadashi Hatano, Shogaku Aihara, Kentaro Uchida, Toshihide Tsuru

    11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY (XRM2012) 463 2013年

    出版者・発行元:IOP PUBLISHING LTD

    DOI: 10.1088/1742-6596/463/1/012010  

    ISSN:1742-6588

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    Beamline BL-11D of the Photon Factory was recently opened for the characterization of extreme-ultraviolet and soft X-ray optical components. For reflectometry of multilayers for soft X-ray microscope optics, a small focus size on the sample surface matching the small acceptances of the curved multilayer samples is required. The post-focusing mirror system of BL-11D is composed of horizontally and vertically focusing elliptical mirrors. The performance was evaluated by microscopic beam profile observation, by a knife-edge scan test, and by the Ronchi test. The FWHM beam size was 120 mu m (H) x 30 mu m (V) with an insignificant spherical aberration, which is smaller than the requirement.

  41. At-Wavelength Extreme Ultraviolet Lithography Mask Observation Using a High-Magnification Objective with Three Multilayer Mirrors 査読有り

    Mitsunori Toyoda, Kenjiro Yamasoe, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Akifumi Tokimasa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita

    APPLIED PHYSICS EXPRESS 5 (11) 2012年11月

    出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS

    DOI: 10.1143/APEX.5.112501  

    ISSN:1882-0778

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    Motivated by the need for at-wavelength observation of extreme ultraviolet (EUV) lithography masks, we developed a full-field EUV microscope that has a multilayer-mirror objective. This objective is based on an innovative optical design that gives a magnification of over x1400, enabling us to use a conventional charge-coupled device (CCD) camera as the detector. In addition, when the objective is corrected for off-axis aberrations, it has a large field of view of a few hundred micrometers, permitting rapid inspection of a whole mask. We demonstrate this novel design by presenting at-wavelength images of a mask. (C) 2012 The Japan Society of Applied Physics

  42. Three-Dimensionally Controlled Ion Milling for Reflection Phase Manipulation of EUV Multilayer Mirrors

    T. Tsuru, T. Hatano, M. Yamamoto

    10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON X-RAY MICROSCOPY 1365 180-183 2011年

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.3625334  

    ISSN:0094-243X

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    For accurate nm-figure error correction of EUV multilayer mirror optics, a three-dimensionally controlled ion milling method was developed. To demonstrate the reflection phase manipulation of an EUV multilayer, 10 periods of a 40-period Mo/Si multilayer were partially removed. A partially milled Mo/Si multilayer with a contact double slit was successfully fabricated for interference fringe observations, which were carried out using a Young's EUV interferometer with a reflection configuration. The fringe pattern revealed a small reflection phase change after multilayer surface milling. EUV interferometry results demonstrated the effectiveness of the proposed method for sub-nanometer digital wavefront error correction in the case of multilayer mirror optics used in diffraction-limited imaging.

  43. Soft X-ray imaging of thick carbon-based materials using the normal incidence multilayer optics

    I. A. Artyukov, R. M. Feschenko, A. V. Vinogradov, Ye. A. Bugayev, O. Y. Devizenko, V. V. Kondratenko, Yu. S. Kasyanov, T. Hatano, M. Yamamoto, S. V. Saveliev

    MICRON 41 (7) 722-728 2010年10月

    出版者・発行元:PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD

    DOI: 10.1016/j.micron.2010.06.011  

    ISSN:0968-4328

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    The high transparency of carbon-containing materials in the spectral region of "carbon window" (lambda similar to 4.5-5 nm) introduces new opportunities for various soft X-ray microscopy applications. The development of efficient multilayer coated X-ray optics operating at the wavelengths of about 4.5 nm has stimulated a series of our imaging experiments to study thick biological and synthetic objects. Our experimental set-up consisted of a laser plasma X-ray source generated with the 2nd harmonics of Nd-glass laser, scandium-based thin-film filters. Co/C multilayer mirror and X-ray film UF-4. All soft X-ray images were produced with a single nanosecond exposure and demonstrated appropriate absorption contrast and detector-limited spatial resolution. A special attention was paid to the 3D imaging of thick low-density foam materials to be used in design of laser fusion targets. (c) 2010 Elsevier Ltd. All rights reserved.

  44. X線集光技術 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発

    津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

    放射光 23 (3) 181-187 2010年5月31日

    出版者・発行元:日本放射光学会

    ISSN:0914-9287

  45. 超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発

    津留 俊英, 羽多野 忠, 原田 哲男, 豊田 光紀, 江島 丈雄, 柳原 美廣, 山本 正樹

    光学 39 (5) 219-224 2010年5月10日

    出版者・発行元:応用物理学会分科会日本光学会

    ISSN:0389-6625

  46. 超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発 査読有り

    津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 江島丈雄, 柳原美廣, 山本正樹

    光学 39 (5) 3-8 2010年5月

  47. High throughput and wide field of view EUV microscope for blur-free one-shot imaging of living organisms 査読有り

    Takeo Ejima, Fumihiko Ishida, Hiromichi Murata, Mitsunori Toyoda, Tetsuo Harada, Toshihide Tsuru, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Masaki Yamamoto, Haruo Mizutani

    OPTICS EXPRESS 18 (7) 7203-7209 2010年3月

    出版者・発行元:OPTICAL SOC AMER

    DOI: 10.1364/OE.18.007203  

    ISSN:1094-4087

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    We present and demonstrate the use of an extreme ultraviolet (EUV) microscope that was developed in-house. Images are acquired using Bragg reflection multilayer optics and a laser-produced plasma light source. The upper-limit spatial resolution of the EUV microscope is 130 nm with a 10 ns exposure time and 250 x 250 mu m(2) field of view. Resolution is superior to that of visible microscopes with the same size of field of view, and the exposure time is short enough to observe fine structures in-vivo. Observation of the cerebral cortex of a mouse is demonstrated. (C) 2010 Optical Society of America

  48. Fabrication and Characterization of Elliptically-Curved, Laterally-Graded Multilayers for Focusing X-ray Polychromator Applications 査読有り

    Tadashi Hatano, Tetsuo Harada, Tadashi Matsushita, Etsuo Arakawa, Yasuo Higashi

    SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 1234 669-+ 2010年

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.3463296  

    ISSN:0094-243X

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    We have developed a novel X-ray multilayer working as a focusing polychromator. A multilayer mirror enables independent designs of the focal length and the spectral dispersion, and much higher throughput than the curved crystal. Our ion beam sputtering deposition apparatus has a speed programmable shuttering system for control of the lateral thickness gradient. A SiC/C and three V/C multilayers were deposited on each 150 mm long Si wafers. Period thicknesses are tuned to the designed energy of 5-12 keV, 12-19 keV, 19-26 keV and 26-33 keV, respectively. Four multilayers were clamped to form a 600 mm long 5-33 keV range elliptic mirror on a shaped Cu base plate. The focal length is 700 mm, which is large enough for setups around the sample position. The energy calibration was performed at BL-15C of the Photon Factory based on absorption edges of metal foils, which was in good agreement with the period thickness measured by a laboratory X-ray diffractometer.

  49. Area-selected Ion Milling for Reflection Wavefront Error Correction of Soft X-ray Multilayer Mirrors 査読有り

    Toshihide Tsuru, Yu Sakai, Tadashi Hatano, Masaki Yamamoto

    SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 1234 772-775 2010年

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.3463326  

    ISSN:0094-243X

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    For accurate reflection wavefront error correction of imaging soft X-ray multilayer mirrors, a period-by-period ion milling system was developed. A stable and homogenized radial distribution of ion beam was realized for an ion milling over a whole area of 100 mm-wide multilayer. To demonstrate the wavefront error correction principle, a dielectric multilayer mirror for visible light was locally milled by our system. Wavefront as measured by a phase shifting interferometer showed the reflection phase of local milling multilayer advanced. Area-selected ion millings with mask templates made of Mo and Si, and by photoresist contact masks were carried out. Although striped patterns generated by the difference of spectroscopic reflectance between Mo and Si were observed at peripherals of milling area when templates were used, a clear and sharp edge pattern was obtained with contact mask. Soft X-ray reflectance of a Mo/Si multilayer milled with photoresist contact mask showed good feasibility of precise wavefront error correction of multilayers. These results proved our phase correction method is promising and practical for the 0.1 nm-period correction of soft X-ray multilayer mirror.

  50. Two-dimensional Detector for High Resolution Soft X-ray Imaging 査読有り

    Takeo Ejima, Shodo Ogasawara, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Masaki Yamamoto

    SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 1234 811-814 2010年

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.3463337  

    ISSN:0094-243X

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    A new two-dimensional (2D) detector for detecting soft X-ray (SX) images was developed. The detector has a scintillator plate to convert a SX image into a visible (VI) one, and a relay optics to magnify and detect the converted VI image. In advance of the fabrication of the detector, quantum efficiencies of scintillators were investigated. As a result, a Ce:LYSO single crystal on which Zr thin film was deposited was used as an image conversion plate. The spatial resolution of fabricated detector is 3.0 mu m, and the wavelength range which the detector has sensitivity is 30 - 6 nm region.

  51. Time-Resolved X-Ray Reflectometry in the Multiwavelength Dispersive Geometry 査読有り

    Tadashi Matsushita, Etsuo Arakawa, Tetsuo Harada, Tadashi Hatano, Yasuo Higashi, Yohko F. Yano, Yasuhiro Niwa, Yasuhiro Inada, Shusaku Nagano, Takahiro Seki

    SRI 2009: THE 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 1234 927-+ 2010年

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.3463368  

    ISSN:0094-243X

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    A new method of measuring specular X-ray reflectivity curves with a time resolution of milliseconds to seconds is developed. A horizontally convergent X-ray beam having a one-to-one correlation between its direction and energy is realized by a curved crystal or a laterally graded multilayer on an elliptic substrate. The X-ray beam is then incident on the surface of the specimen placed at the focus in such a way that the glancing angle in the vertical direction is the same for all X-ray components, which are reflected in the vertical direction by the surface and diverge in the horizontal plane. The perpendicular momentum transfer continuously changes as a function of the horizontal ray direction since the wavelength change similarly. The normalized linear intensity distribution across the beam direction measured downstream of the specimen represents the X-ray reflectivity curve. Examples of time-resolved measurements of X-ray reflectivity curves are shown.

  52. Multilayer polarization elements and their applications to polarimetric studies in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions 査読有り

    Watanabe Makoto, Hatano Tadashi, Saito Katsuhiko, Hu Weibing, Ejima Takeo, Tsuru Toshihide, Takahashi Masahik, Kimura Hiroaki, Hirono Toko, Wang Zhangshan, Cui Mingqi, Yamamoto Masaki, Yanagihara Mihiro

    NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES 19 (4) 193-203 2008年8月

    出版者・発行元:SPRINGER SINGAPORE PTE LTD

    DOI: 10.1016/S1001-8042(08)60049-4  

    ISSN:1001-8042

    eISSN:2210-3147

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    Multilayer polarization elements and their applications to polarimetric studies in 20 similar to 400 eV region are mainly reviewed. General principle of selecting material combinations to get high linear polarizance multilayers of reflection type is given with practical examples, with periodic or non-periodic layer structures depending on the usage. Transmission type is introduced as linear polarizer and phase shifter. Their applications include polarization diagnosis of laboratory optical systems and synchrotron radiation bean-dines of linear and circular polarization, magnetic rotation experiments such as Faraday rotation and magnetic Kerr rotation on magnetic films and multilayers, and ellipsometry to measure optical constants of thin films precisely. Polarization analysis of soft X-ray fluorescence using multilayer-coated grating is also mentioned. Finally this review is summarized with outlook of further developments.

  53. X-ray magnetic circular dichroism studies for Fe/Si interfaces using standing waves

    Sato Kosuke, Masaki Sugawara, Takayoshi Jinno, Mitsunori Toyoda, Tadashi Hatano, Akira Arai, Mihiro Yanagihara

    Journal of Physics: Conference Series 83 (1) 2007年6月1日

    出版者・発行元:Institute of Physics Publishing

    DOI: 10.1088/1742-6596/83/1/012012  

    ISSN:1742-6596 1742-6588

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    Depth-resolved magnetic circular dichroism (MCD) spectra were measured for ferromagnetically and antiferromagnetically-coupled Fe/Si/Fe trilayer samples at the Fe L2,3 edges using X-ray standing wave technique. Physicochemical state of the interdiffused layer of the samples was also estimated using soft X-ray fluorescence (SXF) spectroscopy. It was found for both the trilayers that enhancement in the orbital moment due to the interface anisotropy occurs at the Fe3Si layer in the interdiffused layer. This means that SXF measurement enables us to predict to some extent magnetic state of buried interfaces in terms of the chemical state. © 2007 IOP Publishing Ltd.

  54. Optimal design of multilayer mirrors for water-window microscope optics 査読有り

    Yurii Uspenskii, Denis Burenkov, Tadashi Hatano, Masaki Yamamoto

    OPTICAL REVIEW 14 (1) 64-73 2007年1月

    出版者・発行元:OPTICAL SOC JAPAN

    DOI: 10.1007/s10043-007-0064-7  

    ISSN:1340-6000

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    A small bandwidth of periodic multilayers at wavelengths 2.4-4.4nm presents problems for the spectral matching of mirrors. This leads to low throughput of a Schwarzschild microscope and its sensitivity to technological errors in layer thickness. We consider two cures for these difficulties: aperiodic coatings and a lateral gradient of layer thickness. Our design of aperiodic multilayers maximizes the throughput of a microscope made at a fixed level of technology. The method includes a new merit function, fast procedure for its minimization, linkage between multilayers and an equation for a lateral gradient of layer thickness. Computation is performed for Sc/Cr coatings at 398 eV. It shows that the aperiodicity makes optics stable to technological errors, while the lateral gradient increases throughput, but enhances sensitivity to the errors. The best results are obtained for aperiodic mirrors with a lateral gradient of thickness, which assure both high microscope throughput and stability to the errors. (c) 2007 The Optical Society of Japan.

  55. Advances in short-wavelength X-ray multilayer optics: toward high-throughput multi-mirror systems for the wavelengths &lt; 10 nm 査読有り

    Igor A. Artyukov, Yegor A. Bugayev, Oleksandr Yu. Devizenko, Ruslan M. Feshchenko, Tadashi Hatano, Yuri S. Kasyanov, Valeri V. Kondratenko, Yuri A. Uspenski, Alexander V. Vinogradov

    SOFT X-RAY LASERS AND APPLICATIONS VII 6702 2007年

    出版者・発行元:SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING

    DOI: 10.1117/12.734601  

    ISSN:0277-786X

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    This paper presents novel approaches and techniques in development and application of multi-mirror X-ray optical systems operating in the spectral region of "carbon window" (lambda similar to 4.5 nm). Two approaches for fabrication of the graded Co/C multilayer mirrors for Schwarzschild objective are presented. A pair of the spherical mirrors with Co/C multilayer coatings was tested in combination with scandium/carbon filters and laser produced plasma X-ray source for stereoimaging of low density materials at lambda similar to 4.5 nm.

  56. Nanometer-scale period Sc/Cr multilayer mirrors and their thermal stability

    E Majkova, Y Chushkin, M Jergel, S Luby, Holy, V, Matko, I, B Chenevier, L Toth, T Hatano, M Yamamoto

    THIN SOLID FILMS 497 (1-2) 115-120 2006年2月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE SA

    DOI: 10.1016/j.tsf.2005.10.051  

    ISSN:0040-6090

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    Results of comprehensive characterization of Sc/Cr multilayers for soft X-ray mirrors working in the water window range (2.4-4.4 nm) are presented. Multilayer samples were prepared by ion beam sputtering with up to 250 periods in a range of 1.3- 1.75 nm. They were analyzed by transmission electron microscopy (TEM), high resolution TEM, X-ray diffractometry, specular X-ray scattering and diffuse X-ray scattering. The TEM inspection showed good periodicity of the multilayer structure. From simulation studies of the specular reflectivity and a reciprocal space map of the diffuse scattering, it follows that the effective roughness of interfaces is 0.25-0.28 nm, being equal to the geometrical roughness data. Lateral and vertical correlation lengths of the roughness are 7 and 35 nm, respectively. Heat treatment study of the Sc/Cr multilayers revealed a reasonable thermal stability. An increase of the multilayer period of 2.4% was observed after 33 h annealing at 280 degrees C and a considerable decrease of refectivity followed above 300 degrees C annealing for 3 h, which corresponds to the low mutual miscibility between Sc and Cr. (c) 2005 Elsevier B.V. All rights reserved.

  57. Thin film filters for an EUV multilayer mirror optics with a laser produced plasma light source

    T Harada, T Hatano

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 144 1075-1077 2005年6月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.042  

    ISSN:0368-2048

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    For rejection of unwanted background component in the reflection spectrum of EUV multilayer mirrors, thin film transmission filters of Mo, Zr, and Be were evaluated with a laser produced plasma EUV source and an imaging plate detector. It is found that in addition to a standard Zr filter, a Mo filter has good rejection characteristics. In particular, for multilayer mirror use at a large angle of incidence such as the polarizing angles around 45 degrees, Mo shows better rejection characteristics than Zr. It is also confirmed that Be transmits non-ignorable amount of UV background. (c) 2005 Elsevier B.V. All rights reserved.

  58. Schwarzschild microscopes in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions

    M. Watanabe, M. Watanabe, M. Watanabe, M. Yanagihara, T. Ejima, M. Toyoda, Y. Kondo, T. Hatano, T. Tsuru, M. Yamamoto

    Nuclear Science and Techniques/Hewuli 16 129-138 2005年6月1日

    ISSN:1001-8042

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    Microscopes in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions using a normal incidence type of Schwarzschild objective are reviewed. The objective consists of a concave mirror and a convex mirror coated with a high reflectance multilayer, having a large numerical aperture comparing with other objectives. The microscopes have been used to diagnose inertia-confinement-fusion plasmas, and to investigate small samples or microstructures of inorganic and organic materials by imaging them using laboratory light sources. Synchrotron radiation has been also used to obtain a microbeam for a photoelectron scanning microscope with a spatial resolution of 0.1 μrn. The structure and performance of two laboratory microscopes developed at Tohoku University are demonstrated. One of them is a soft X-ray emission imaging microscope. An image of an artificial pattern made of W and SiO2 on Si wafer by focusing Si L emission was presented. The other is an ultraviolet photoelectron scanning microscope using a He (helium) gas discharge lamp. The valence band spectra of a microcrystal of FeWO4 were presented. Furthermore other applications such as demagnifying optics for lithography and optics to gather fluorescence for emission spectroscopy are introduced.

  59. Top layer's thickness dependence on total electron-yield X-ray standing-wave

    T Ejima, A Yamazaki, T Banse, T Hatano

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 144 897-899 2005年6月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.085  

    ISSN:0368-2048

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    A Mo single-layer film with a stepwise thickness distribution was fabricated on the same Mo/Si reflection multilayer film. Total electron-yield X-ray standing-wave (TEY-XSW) spectra of the aperiodic multilayer were measured with reflection spectra. The peak positions of the standing waves in the TEY-XSW spectra changed as the film thickness of the top Mo-layer increased. (c) 2005 Elsevier B.V. All rights reserved.

  60. Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in situ automatic ellipsometry

    T Tsuru, T Tsutou, T Hatano, A Yamamoto

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 144 1083-1085 2005年6月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.087  

    ISSN:0368-2048

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    All layer thicknesses of a 40 periods EUV multilayer composed of Mo and Si with a designed period thickness of 6.918 nm were measured by our in situ ellipsometry. The period thickness of Mo/Si multilayer was obtained to be 7.07 nm in average. This coincides well with period thicknesses of 7.078 and 7.081 nm as determined respectively by EUV reflectometry and X-ray diffractometry after fabrication. The difference of 0.01 nm, which is as to be 0.14%, is sufficiently small for precise period thickness control of EUV multilayer fabrication. (c) 2005 Elsevier B.V. All rights reserved.

  61. Magnetic rotation spectra of Co/Pt and Co/Cu multilayers in 50-90 eV region

    K Saito, M Igeta, T Ejima, T Hatano, A Arai, M Watanabe

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 144 757-760 2005年6月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.160  

    ISSN:0368-2048

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    Faraday rotation spectra of Co/Pt multilayers were obtained in the region including Co M-2,M-3 and Pt N-6,N-7 absorption edges by using multilayer polarizers, and were transformed to magnetic circular dichroism (MCD) spectra by Kramers-Kronig analysis (KKA). From the dependence of the rotation angle on the layer thickness, it was suggested that the magnetization of Co tends to be uniform in Co layers and that of Pt is localized at Co/Pt interfaces. The orbital magnetic moment of Co was estimated to be about 0. 17 (mu Beta)/Co. The similarity of electronic states around magnetized Pt site between Co/Pt multilayers and CoPt3 alloy is suggested by the resemblance of the MCD spectra of both materials around Pt N-6,N-7 edges. In addition, magnetic Kerr rotation of Co/Cu multilayer was measured and was observed around Co M-2,M-3 and CU M-2,M-3 absorption edges. (c) 2005 Elsevier B.V. All rights reserved.

  62. 1.真空中で作製するナノ構造 X線ミラー多層膜

    山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英, 柳原美広

    機械の研究 57 (1) 74-81 2005年1月1日

    ISSN:0368-5713

  63. X線ミラー多層膜 (特集欄 ナノテクノロジーにおけるものづくり) -- (真空中で作製するナノ構造)

    山本 正樹, 羽多野 忠, 津留 俊英

    機械の研究 57 (1) 74-81 2005年1月

    出版者・発行元:養賢堂

    ISSN:0368-5713

  64. Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry

    T Tsuru, T Tsutou, T Hatano, M Yamamoto

    SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 705 732-735 2004年

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.1757900  

    ISSN:0094-243X

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    We have adopted our new ellipsometer of picometer-thickness sensitivity for sputtering rate monitoring of extreme ultraviolet (EUV) multilayer fabrication. With real time thickness analysis during Mo/Si multilayer fabrication, the sputtering rates of Mo and Si were observed to be 0.9162nm/min and 4.752nm/min, respectively. EUV reflectance of this multilayer mirror was measured at the Photon Factory KEK and the period thickness was found to be 7.22nm. This period thickness is compared with an ellipsometric value of 6.98nm calculated by the final total thickness divided by the number of periods of 40. The difference of 3.3% can be attributed by a compound layer formation at every boundary of Mo and Si as observe by ellipsometry. The results proved good possibility of a single wavelength in-situ null ellipsometry for accurate and detailed controlling of the period thickness of EUV multilayer.

  65. Normal incidence reflectometry of concave multilayer mirrors using synchrotron radiation to evaluate the period thickness distribution

    T Hatano, S Kubota, Y Adachi, T Tsuru, M Yamamoto

    SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 705 839-842 2004年

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.1757926  

    ISSN:0094-243X

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    For the purpose of fabricating curved multilayer mirrors, we developed an ion beam sputtering deposition system with a programmable shutter for thickness distribution control. In this report we fabricated a Mo/Si multilayer concave mirror of a 100 mm diameter and a 300 mm radius of curvature to be used at 13.5 nm at an angle of incidence of 5degrees. At first a test multilayer was deposited without thickness distribution control and the lateral distribution of deposition rate was evaluated. We used the normal incidence EUV reflectometry to determine the multilayer period thickness while we usually use the small angle X-ray diffractometry when the substrate is plane. The measurements were performed at BL-12A of the Photon Factory, KEK. In an analysis of a spectral reflectance, the side band structure as well as the main peak was taken into account. The natural thickness at the outermost part was found to be 13% thinner than that at the center. Next a Mo/Si multilayer of uniform thickness over the substrate was deposited with the shutter programmed to compensate for the unevenness of deposition rate. By the normal incidence EUV reflectometry the thickness distribution was found to be successfully uniform within an error of P-V 0.3%.

  66. Linear polarization measurements of soft X-ray emitted from a figure-8 undulator by using multilayers

    T Hirono, H Kimura, Y Tamenori, Y Saitoh, T Hatano, T Tanaka, T Ishikawa

    SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION 705 187-190 2004年

    出版者・発行元:AMER INST PHYSICS

    DOI: 10.1063/1.1757765  

    ISSN:0094-243X

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    We measured linear polarization state of the synchrotron radiation (SR) from a figure-8 undulator at 400 eV and 580 eV using rotating-analyzer ellipsometry with multilayers. The observed spatial distribution of linear polarization agreed with calculations. We could determine the beam axis of radiation which was different from the condition of intensity maximum.

  67. Polarization measurements of laboratory VUV light: a first comparison between multilayer polarizers and photoelectron angular distributions

    M Takahashi, T Hatano, T Ejima, Y Kondo, K Saito, M Watanabe, T Kinugawa, JHD Eland

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 130 (1-3) 79-84 2003年7月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/S0368-2048(03)00088-4  

    ISSN:0368-2048

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    The use of photoelectron angular distributions to determine the linear polarization of VUV light over a wide range of photon energies is demonstrated. Light at wavelengths from 256 to 736 Angstrom, partially polarized by large angle reflections in a toroidal grating monochromator and at a refocus mirror, has been analyzed. The results are validated by comparison measurements at spot wavelengths using multilayer polarizers. (C) 2003 Elsevier Science B.V. All rights reserved.

  68. Wide range reflection multilayer in 200-25 nm region for Schwarzschild objectives

    T Ejima, K Sudo, T Hatano, M Watanabe

    JOURNAL DE PHYSIQUE IV 104 259-262 2003年3月

    出版者・発行元:E D P SCIENCES

    DOI: 10.1051/jp4:200300075  

    ISSN:1155-4339

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    Preliminary results of a wide range reflection multilayer in a range from 200 nm to 25 nm (6 eV to 50 eV) for normal incidence are reported. The structure of the multilayer is [SiC (6.0 nm)](top single layer) / [Y2O3 (5.0 nm) / Mg (12.5 nm) / Y2O3 (3.3 nm) / Mg (10.0 nm)](middle-aperiodic-layers) / [Y2O3 (3.0 nm) / Mg (9.9 nm)]x15 (piled-double-layers). Its normal incidence reflectance was more than 0.25 in 220 - 115 nm region and more than 0.04 in 34 - 24 nm region.

  69. 光リソグラフィーの新展開 屈折から反射へ 極紫外用の高反射率多層膜

    羽多野忠

    光学 31 (7) 532-537 2002年7月10日

    出版者・発行元:応用物理学会分科会日本光学会

    ISSN:0389-6625

  70. 多層膜偏光子を用いた極紫外磁気旋光分光

    斉藤勝彦, 羽多野忠, 井桁光昭, HU W, 江島丈雄, 渡辺誠

    放射光 15 (3) 158-162 2002年5月31日

    出版者・発行元:日本放射光学会

    ISSN:0914-9287

  71. Faraday and magnetic Kerr rotation measurements on Co and Ni films around M-2,M-3 edges

    K Saito, M Igeta, T Ejima, T Hatano, M Watanabe

    SURFACE REVIEW AND LETTERS 9 (2) 943-947 2002年4月

    出版者・発行元:WORLD SCIENTIFIC PUBL CO PTE LTD

    DOI: 10.1142/S0218625X02003251  

    ISSN:0218-625X

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    Faraday and longitudinal magnetic Kerr rotation measurements were performed on Co and Ni single layer films around their M-2,M-3 edges, at room temperature under an applied magnetic field of 0.82 T generated by a magnetic circuit composed of permanent magnets. The longitudinal Kerr rotation angle spectra are in good agreement with those calculated from the Faraday rotation spectra in Ni but different in Co. The main reason for the difference in Co was explained with the difference of the magnetization between a longitudinal Kerr (saturated) and a Faraday (unsaturated) configuration under the magnetic field of 0.82 T. This was supported by the calculated result from magnetic circular dichroism (1.2 T, 140 K) measurement on Co.

  72. Efficiency and polarization performance of a multilayer-coated laminar grating in the 6.5-6.9-nm wavelength region 査読有り

    Sadayuki Ishikawa, Takashi Imazono, Tadashi Hatano, Mihiro Yanagihara, Makoto Watanabe

    Applied Optics 41 (4) 763-767 2002年2月1日

    出版者・発行元:Optical Society of America (OSA)

    DOI: 10.1364/AO.41.000763  

    ISSN:1539-4522 0003-6935

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    We applied a Mo/B4C multilayer coating to a laminar holographic grating with 2400 grooves/mm and a 1-m radius of curvature. By use of synchrotron soft x rays the multilayer-coated grating was evaluated to have diffraction efficiencies of 3.1% and 0.017% for s- and p-polarized radiation, respectively, at a 6.7-nm wavelength at a 45.35° grazing angle of incidence in the +1 (inside) grating order. Thus the polarizance was estimated to be 98.9% at least. The zero-order peak was suppressed by the destructive interference caused by the groove profile. © 2002 Optical Society of America.

  73. Multilayer polarizers for the use of He-I and He-II resonance lines

    T Hatano, Y Kondo, K Saito, T Ejima, M Watanabe, M Takahashi

    SURFACE REVIEW AND LETTERS 9 (1) 587-591 2002年2月

    出版者・発行元:WORLD SCIENTIFIC PUBL CO PTE LTD

    DOI: 10.1142/S0218625X02002695  

    ISSN:0218-625X

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    Multilayer polarizers for the use of He resonance lines have been developed. Si/Mg and SiC/Mg multilayers were designed and fabricated for the He-I and He-H resonance lines, respectively. The performance was checked by the use of synchrotron radiation. The polarizance and s-reflectance of the He-H polarizer measured at an angle of incidence of 40degrees were 0.98 and 41%, respectively. The polarizance of the He-I polarizer measured at an angle of incidence of 31.5degrees was 0.96.

  74. Efficiency and polarization performance of a multilayer-coated laminar grating in the 6.5-6.9-nm wavelength region 査読有り

    S Ishikawa, T Imazono, T Hatano, M Yanagihara, M Watanabe

    APPLIED OPTICS 41 (4) 763-767 2002年2月

    出版者・発行元:OPTICAL SOC AMER

    DOI: 10.1364/AO.41.000763  

    ISSN:1559-128X

    eISSN:2155-3165

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    We applied a Mo/B4C multilayer coating to a laminar holographic grating with 2400 grooves/mm and a 1-m radius of curvature. By use of synchrotron soft x rays the multilayer-coated grating was evaluated to have diffraction efficiencies of 3.1% and 0.017% for s- and p-polarized radiation, respectively, at a 6.7-nm wavelength at a 45.35degrees grazing angle of incidence in the + 1 (inside) grating order. Thus the polarizance was estimated to be 98.9% at least. The zero-order peak was suppressed by the destructive interference caused by the groove profile. (C) 2002 Optical Society of America.

  75. High-reflection multilayer for wavelength range of 200-30 nm

    Y Kondo, T Ejima, K Saito, T Hatano, M Watanabe

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT 467 333-336 2001年7月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/S0168-9002(01)00314-X  

    ISSN:0168-9002

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    Composite multilayers consisting of a top single layer and piled double layers with high reflectance through a 200-30 nm wavelength range have been designed and fabricated for normal incidence optical systems and the performance was checked in a 140-30 mn range. The normal incidence reflectance of SiC (top layer)-Y2O3/Mg (double layers) multilayer was more than 14% in a range of 40-30 nm which is much higher than those of W, and 20-40% above 50 nm which is comparable with that of W. The reflectance of SiC (top layer)-Mg/SiC (double layers) multilayer was a little lower than those values. (C) 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved.

  76. Laboratory extreme-ultraviolet Faraday-rotation apparatus using multilayer polarizers

    Weibing Hu, Weibing Hu, Tadashi Hatano, Makoto Watanabe

    Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 39 (2) 675-676 2000年12月1日

    出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会

    DOI: 10.1143/JJAP.39.675  

    ISSN:0021-4922

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    A laboratory apparatus for Faraday-rotation measurement in the extreme ultraviolet (EUV) region (50-70 eV) has been developed, using Al/YB6 multilayers as both polarizers and analyzers. The light source was a laser-produced plasma. A magnetic field was generated by Sm-Co permanent magnets. The Faraday-rotation angle of 2.7° (absolute value) for a 21-nm-thick Ni film at 65.3 eV could be easily measured, coinciding well with the result using synchrotron radiation. © 2000 Publication Board, Japanese Journal of Applied Physics.

  77. Spatial coherence of undulator radiation beyond the van Cittert-Zernike theorem

    Y Takayama, N Takaya, T Miyahara, S Kamada, W Okamoto, T Hatano, RZ Tai, Y Kagoshima

    NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT 441 (3) 565-576 2000年3月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/S0168-9002(99)00988-2  

    ISSN:0168-9002

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    A novel approximation for calculating the first-order spatial coherence of undulator radiation is presented. Since the far-field approximation is not used in the calculation, it is applicable even in the near-field region. Compared with numerical results based on the first principles, the approximation is proved to be quite reasonable. The spatial coherence measured at the Photon Factory, KEK is analyzed using the formula and the results are found to be consistent with the design value within experimental errors. (C) 2000 Elsevier Science B.V. All rights reserved.

  78. Faraday rotation measurement around Ni M<inf>2,3</inf>edges using A1/YB<inf>6</inf>multilayer polarizers

    Tadashi Hatano, Weibing Hu, Katsuhiko Saito, Makoto Watanabe

    Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 101-103 287-291 1999年12月1日

    DOI: 10.1016/s0368-2048(98)00489-7  

    ISSN:0368-2048

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    We constructed a polarimeter for Faraday rotation measurements around the M2,3absorption edges in Ni, which consists of a transmission polarizer, a reflection analyzer and a magnetic circuit made of Sm-Co permanent magnet. The polarizer and analyzer are Al/YB6multilayers. The polarizer is used to improve the degree of linear polarization of the monochromatized synchrotron radiation. The Faraday rotation angle around the M2,3absorption edges in Ni was obtained reproducibly. The rotation angle was almost proportional to the sample thickness. This means that the Faraday rotation spectra are scarcely affected by surface pollution and reflect bulk properties. The measured value of rotation angle was somewhat larger than the value obtained by Kramers-Krönig transform of an MCD spectrum. This may be attributed to be the surface effect or insufficiency of the degree of circular polarization in MCD experiments. © 1999 Elsevier Science B.V. All rights reserved.

  79. Relationship between spatial coherence of synchrotron radiation and emittance

    Y Takayama, T Hatano, T Miyahara, W Okamoto

    JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION 5 1187-1194 1998年7月

    出版者・発行元:MUNKSGAARD INT PUBL LTD

    DOI: 10.1107/S0909049597019754  

    ISSN:0909-0495

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    Analytical calculation of the first-order spatial coherence for the Gaussian beam and the exact numerical calculation for synchrotron radiation are compared in this paper. The approximation of regarding synchrotron radiation as a Gaussian beam is often used to investigate the brightness, the flux and some qualitative properties. Calculations show that synchrotron radiation does not have as high coherence as the Gaussian beam because of the beam profile, the phases of the wave and the polarization. If one can measure the beam size and the spatial coherence of synchrotron radiation, it is possible to determine the total photon beam emittance without any knowledge of the Twiss parameters of the ring.

  80. Transmission multilayer polarizers for use in the 55-90 eV region

    WB Hu, T Hatano, M Yamamoto, M Watanabe

    JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION 5 732-734 1998年5月

    出版者・発行元:MUNKSGAARD INT PUBL LTD

    DOI: 10.1107/S0909049597019109  

    ISSN:0909-0495

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    Free-standing Al/YB6 and Mo/Si transmission multilayer polarizers have been developed for use in the photon energy regions 55-72 eV and 72-90 eV, respectively, to improve the degree of polarization of synchrotron radiation light from beamline monochromators. The polarizance (polarizing ability) and transmittance of the Al/YB6 multilayer for unpolarized light at 64 eV were 77% and 3.4%, respectively, and the polarizance and transmittance of the Mo/Si multilayer at 80 eV were 79% and 2.2%, respectively. By using the Mo/Si polarizer, the degree of polarization of the monochromated light at BL8B1 of UVSOR was increased from 95 to 99% in the 78-84 eV region.

  81. Handling the polarization of soft X-ray using transmission multilayers. A case study

    T Hatano, W Hu, M Yamamoto, M Watanabe

    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY AND RELATED PHENOMENA 92 (1-3) 311-314 1998年5月

    出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV

    DOI: 10.1016/S0368-2048(98)00139-X  

    ISSN:0368-2048

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    At the beamline BL8B1, UVSOR, the polarization diagnosis was performed with an ellipsometric method using a so-called rotating analyzer mounted with a reflection multilayer. The performance of a free-standing Al/YB6 transmission multilayer was studied using linearly and circularly polarized light obtained by selecting the angle of observation. The polarizance and the phase retardation of the multilayer for monochromatized light at 65 eV were 92% and 68 degrees at their maxima in the angle of incidence response, respectively. It has been shown that the polarization of synchrotron radiation in the soft X-ray region can be transformed into linear and circular polarization by use of the transmission multilayers. (C) 1998 Elsevier Science B.V. All rights reserved.

  82. Measurement of the coherence of synchrotron radiation

    Y Takayama, RZ Tai, T Hatano, T Miyahara, W Okamoto, Y Kagoshima

    JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION 5 456-458 1998年5月

    出版者・発行元:MUNKSGAARD INT PUBL LTD

    DOI: 10.1107/S0909049597013010  

    ISSN:0909-0495

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    The first-order spatial(transverse) coherence of synchrotron radiation has been measured using a Young's interferometer at BL28A (a helical-undulator beamline) of the Photon Factory, KEK. The range of the photon energy is about 70-180 eV. The visibility of the fringe was found to depend largely on the electron emittance and the intrinsic photon emittance. In principle, it is possible to gain knowledge of the very small electron emittance, of the order of 10(-10) m rad, without disturbing the electron beam in the storage ring.

  83. Magnetic circular dichroism of Gd-Co and Gd-Ni alloys in the Gd 3d, 4d and the (Co, Ni) 2p, 3p core excitation regions: Antiferromagnetic coupling between Gd and (Co, Ni) moments

    Tadashi Hatano, Serng Yerl Park, Serng Yerl Park, Takaaki Hanyu, Tsuneaki Miyahara

    Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 78 217-220 1996年1月1日

    DOI: 10.1016/S0368-2048(96)80065-X  

    ISSN:0368-2048

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    Magnetic circular dichroism(MCD) spectra of Gd-Co and Gd-Ni alloys were measured in core excitation regions using evaporated film and arc-melted bulk samples. Antiferromagnetic coupling between spins of rare-earth and transition metals was demonstrated in Gd-Co but it was not the case in bulk Gd-Ni, which gives rise to a possible spin-glass-like state at the liquid nitrogen temperature with the help of hidden ferromagnetic interaction.

  84. Magnetic Circular Dichroism of Ni-Pd Alloys in Ni 2p, 3p, Pd 3p, and 4p Core Excitation Regions: Enhancement of Ni 3d Orbital Moment

    Serng-Yerl Park, Sadatsugu Muto, Sadatsugu Muto, Yasushi Kagoshima, Tsuneaki Miyahara, Tadashi Hatano, Shin Imada, Takaaki Hanyu, Ikuyo Shiozaki

    Journal of the Physical Society of Japan 64 (3) 934-943 1995年

    DOI: 10.1143/JPSJ.64.934  

    ISSN:1347-4073 0031-9015

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    The magnetic circular dichroism of NixPd1−x was measured in the Ni 3p, Pd 4p, Ni 2p, and Pd 3p excitation region. The change in the total magnetic moment and the contribution by orbital moments associated with the constituent atoms were estimated through the obtained spectra. There is a non negligible difference between the data in the Ni 3p-3d excitation region and those in the Ni 2p-3d excitation region, which has been interpreted in terms of atomic and itinerant aspects of the 3d states. It is found that the Ni 2p-3d spectra reflects atomic aspect of the valence band while Ni 3p-3d spectra an itinerant aspect, both of which give complementary information. The orbital moment is found to increase with decreasing x. The result is not in full agreement with the previous result of the band calculation. © 1995, THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN. All rights reserved.

  85. Comparison between 3p and 2p magnetic circular dichroism in transition metals and alloys: Is the sum rule applicable to itinerant magnetic systems?

    Tsuneaki Miyahara, Serng-Yerl Park, Takaaki Hanyu, Tadashi Hatano, Sadatsugu Moto, Yasushi Kagoshima

    Review of Scientific Instruments 66 (2) 1558-1560 1995年

    DOI: 10.1063/1.1145907  

    ISSN:0034-6748

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    Magnetic circular dichroism of Ni-Pd, Co-Pd, and Fe-Pd alloy systems were measured in the 3p and 2p excitation regions of Ni, Co, and Fe and in the 4p and 3p excitation regions of Pd. It was found that the number of 3d holes and the orbital moment of 3d electrons show different values for the 3p and the 2p data. This suggests that interpretation of the sum rule for the orbital moment is not simple especially for itinerant magnetic systems. The observed difference, however, gives some additional information on the degree of localization of the magnetic moments. © 1995 American Institute of Physics.

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MISC 119

  1. 多層膜回折格子による軟X線ビームスプリッターの検討

    江島丈雄, 羽多野忠

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年

    ISSN:2436-7613

  2. 1-5keV軟X線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作

    羽多野忠, 羽多野忠, 今園孝志, 江島丈雄, 江島丈雄

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年

    ISSN:2436-7613

  3. Reflectance Measurements of Al/TiO2 Bilayers in the 10–30 eV Region at BL5B, UVSOR

    T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima

    UVSOR Activity Report 2020 117-117 2021年8月

  4. Tender X-ray multilayers for high throughput grating monochromators

    Tadashi HATANO, Takeo EJIMA

    Photon Factory Activity Report 2020 #38 38 213-1-213-2 2021年4月

  5. Calibration of Mo/Si Multilayer Beam-splitter for Soft X-Ray Laser Beamline

    Masahiko ISHINO, Thanh-Hung DINH, Noboru HASEGAWA, Masaharu NISHIKINO, Kazuyuki SAKAUE, Takeshi HIGASHIGUCHI, Tadashi HATANO

    Photon Factory Activity Report 2020 #38 38 106-1-106-4 2021年4月

  6. keV領域多層膜回折格子のための多層膜開発

    羽多野忠, 羽多野忠, 江島丈雄, 江島丈雄

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 34th 2021年

  7. レーザー生成プラズマ光源による水の窓軟X線顕微鏡とSTED現象による高解像度化への試み (フォトニクス・ワークショップin九州 : 呼子)

    東口 武史, 川崎 太夢, 庄司 美咲, 影山 稜, 若山 俊隆, 羽多野 忠, 江島 丈雄

    レーザー学会研究会報告 = Reports the on topical meeting of the Laser Society of Japan 20 (6) 7-12 2020年9月14日

    出版者・発行元:レーザー学会研究委員会

  8. Multilayer reflectometry for evaluation of second harmonic spectral impurity in 100 nm wavelength output of BL5B UVSOR

    T. Hatano, Y. Matsuda, T. Ejima

    UVSOR Activity Report 2019 41-41 2020年8月

  9. Calibration of a CCD-Based Energy Monitor for High Power Soft X-Ray Lasers

    Thanh-Hung DINH, Masaharu NISHIKINO, Masahiko ISHINO, Takeshi HIGASHIGUCHI, Tadashi HATANO

    Photon Factory Activity Report 2019 #37 37 130-1-130-3 2020年6月

  10. 300eV~1.3keVにおける各種シンチレータの発光特性

    江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 33rd 2020年

  11. 波長100nm VUV直入射ミラーの作製と反射率計測

    羽多野忠, 松田欣之, 江島丈雄, 中村永研

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 33rd 2020年

  12. Total luminescence yield of some scintillators in the photon energy region from 300 eV to 1.3 keV

    EJIMA, Takeo, KUROSAWA, Shunsuke, YAMAJI, Akihiro, HATANO, Tadashi, WAKAYAMA, Toshitaka, HIGASHIGUCHI, Takeshi, KITAURA, Mamoru

    Photon Factory Activity Report 2018 #36 36 69-1-69-2 2019年7月

  13. Diffraction Efficiency Measurements of Laminar-Type Diffraction Gratings Overcoated with Lanthanum Series Layers for Boron-K Emission Spectroscopy

    Tadashi HATANO, Masato KOIKE, Masami TERAUCHI, Alexander S. PIROZHKOV, Nobukazu HAYASHI, Hiroyuki SASAI, Tetsuya NAGANO

    Photon Factory Activity Report 2018 #36 36 82-1-82-3 2019年7月

  14. Fabrication of Cr/Sc/Mo multilayer illuminator for water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources

    Tadashi HATANO, Takeo EJIMA, Yuichi ONO, Thanh-Hung DINH, Toshiki TAMURA, Keigo MAEDA, Hiroyuki HARA, Takeshi HIGASHIGUCHI

    Photon Factory Activity Report 2018 #36 36 244-1-244-2 2019年7月

  15. ビスマスプラズマ水の窓軟X線源の開発—Development of bismuth plasma-based water-window soft x-ray source—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般

    川崎 太夢, 島田 悠太, 難波 慎一, 佐々木 明, 錦野 将元, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 東口 武史

    電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2019 (57-64) 1-6 2019年5月17日

    出版者・発行元:東京 : 電気学会

  16. SX‐STED用シンチレーターの探索

    江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.21a‐235‐7 2018年9月5日

  17. BiターゲットLPP光源を用いた軟X線顕微鏡CXRM

    江島丈雄, 小野祐一, 伊藤圭祐, 川崎大夢, 羽多野忠, 刀祢重信, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.21a‐235‐6 2018年9月5日

  18. 低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性

    原広行, 川崎太夢, 田村賢紀, 羽多野忠, 江島丈雄, JIANG Weihua, 大橋隼人, 難波愼一, 砂原淳, 佐々木明, 錦野将元, O’SULLIVAN Gerry, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.21p‐235‐10 2018年9月5日

  19. Non-uniform Distribution of Doped Carrier in a Na-doped CaB6 Bulk Material Observed by EPMA-SXES

    M. Terauchi, Y. Sato, M. Takeda, T. Hatano, M. Koike, H. Sasai, T. Nagano, M. Koeda, T. Murano, H. Takahashi

    Microscopy & Microanalysis 24 (suppl.1) 746-747 2018年8月

  20. ピクセルサイズ1.4×1.4μm<sup>2</sup>の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率

    江島丈雄, 羽多野忠

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th ROMBUNNO.20p‐B301‐4 2018年3月5日

  21. 材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション

    錦野将元, 石野雅彦, DINH T‐H, 長谷川登, FAENOV A, PIKUZ T, 市丸智, 木下博雄, 坂上和之, 東口武史, 犬伏雄一, 今亮, 大和田成起, 羽多野忠, 鷲尾方一, 末元徹, 河内哲哉

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th ROMBUNNO.18p‐A404‐3 2018年3月5日

  22. フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究

    坂上和之, 石野雅彦, 井谷俊郎, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 小倉拓人, 木下博雄, 小柴裕也, 今亮, SANTILLAN Julius Joseph, 篠崎夏美, 高橋孝, 田村賢紀, HUNG Dinh Thanh, 錦野将元, 西留武宏, 羽多野忠, 原広行, 東口武史, 山内駿, 鷲尾方一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th ROMBUNNO.5a‐S44‐6 2017年8月25日

  23. フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション

    市丸智, 錦野将元, 石野雅彦, 木下博雄, 犬伏雄一, 東口武史, 鷲尾方一, 坂上和之, 大和田成起, 羽多野忠, 畑山雅俊, 大知渉之, HUNG Dinh Thanh, 今亮, 原広行, 山内駿, 小倉拓人, 篠崎夏美, 小柴裕也, 高橋孝, 西留武宏, 奥哲

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th ROMBUNNO.5a‐S44‐7 2017年8月25日

  24. 超短パルス軟X線レーザー照射によるアブレーション

    石野雅彦, HUNG Dinh Thanh, FAENOV Anatory, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 河内哲哉, 木下博雄, 今亮, 坂上和之, 末元徹, PIKUZ Tatiana, 保智己, 錦野将元, 長谷川登, 羽多野忠, 東口武史, 鷲尾方一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th ROMBUNNO.5a‐S44‐8 2017年8月25日

  25. ピクセルサイズ1.4×1.4μm<sup>2</sup>の背面照射型軟X線撮像素子の開発

    江島丈雄, 羽多野忠

    KEK Progress Report (Web) (2017-10) ROMBUNNO.125 (WEB ONLY) 2017年

    ISSN:1344-6320

  26. 波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd ROMBUNNO.19P-H137-11 2016年3月3日

  27. PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光

    羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd ROMBUNNO.19P-H137-9 2016年3月3日

  28. レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

    近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 76th ROMBUNNO.16A-4E-3 2015年8月31日

  29. 炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測

    羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 28th 89 2015年1月10日

  30. 多層膜ミラーを用いた回折格子分光器の高次光解析法

    羽多野忠, 原田哲男

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年

  31. 点光源軟X線顕微鏡の集光光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇広, 相原翔学, 柳原美廣

    レーザー学会研究会報告 450th 1-6 2013年10月22日

  32. 波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 74th ROMBUNNO.18P-A13-7 2013年8月31日

  33. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣

    応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 67th 23-24 2012年12月6日

  34. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th ROMBUNNO.18A-A4-8 2012年2月29日

  35. 極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較

    根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 25th 108 2012年1月6日

  36. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 12th 143 2012年

  37. 地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所 軟X線多層膜光学の開発と応用―軟X線顕微鏡

    柳原美廣, 江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀

    Mater Integr 24 (4/5) 201-207 2011年6月1日

    ISSN:1344-7858

  38. 軟X線多層膜光学の開発と応用--軟X線顕微鏡 (特集 地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所)

    柳原 美廣, 江島 丈雄, 羽多野 忠

    マテリアルインテグレ-ション 24 (4) 201-207 2011年4月

    出版者・発行元:ティー・アイ・シィー

    ISSN:1344-7858

  39. 軟X線顕微鏡とその基盤技術の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀, 柳原美廣

    X線結像光学ニューズレター (33) 7-9 2011年

  40. 2009年光学界の進展 3.X線光学

    羽多野忠

    光学 39 (4) 176-177 2010年4月10日

    ISSN:0389-6625

  41. X線光学

    羽多野 忠

    光学 39 (4) 176-177 2010年4月10日

    ISSN:0389-6625

  42. 多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広

    PFシンポジウム要旨集 27th 2010年

  43. 薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発

    羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 10th 2010年

  44. 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

    豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th (2) 626 2009年9月8日

  45. 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

    豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

    光学シンポジウム講演予稿集 34th 31-32 2009年7月2日

  46. A simultaneous multiwavelength dispersive X-ray reflectometer for time-resolved reflectometry

    T. Matsushita, E. Arakawa, Y. Niwa, Y. Inada, T. Hatano, T. Harada, Y. Higashi, K. Hirano, K. Sakurai, M. Ishii, M. Nomura

    EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL-SPECIAL TOPICS 167 113-119 2009年2月

    出版者・発行元:EDP SCIENCES S A

    DOI: 10.1140/epjst/e2009-00945-4  

    ISSN:1951-6355

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    Aiming for the realization of time-resolved specular X-ray reflectivity measurements on the sub-second to millisecond timescales, a conceptually new method of measuring specular X-ray reflectivity curves is developed. Using this method the entire profile of the reflectivity curve of interest is measured in place. A horizontally convergent X-ray beam which has a one-to-one correlation between its direction and energy is realized using a curved crystal or laterally graded multilayers on an elliptic substrate. The X-ray beam is then incident on the surface of the specimen placed at the focus such that the glancing angle in the vertical direction is the same for all X-ray components, which are reflected in the vertical direction by the surface and diverge in the horizontal plane. The perpendicular momentum transfer continuously changes as a function of the horizontal ray direction even with fixed glancing angle since the wavelength ( energy) changes. The X-ray intensity distribution across the beam direction measured downstream of the specimen using a one- or two-dimensional detector represents the X-ray reflectivity curve. Specular X-ray reflectivity curves are measured with exposure times ranging from 2ms to 1 s for a gold film of thickness 14.3 nm on a silicon substrate. The potential of this method for time-resolved measurements is demonstrated by recording reflectivity curves with a time resolution of 20 ms from a rotating specimen.

  47. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーター用楕円形状基板の開発

    荒川悦雄, 東保男, 羽多野忠, 原田哲男, 松下正

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年

  48. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一, 矢野陽子

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年

  49. 傾斜周期膜厚(laterally graded)構造をもつX線多層膜ポリクロメーターの開発

    羽多野忠, 原田哲男, 松下正, 荒川悦雄, 東保男

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年

  50. 多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計-II

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th (2) 2009年

  51. LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 68 2009年

  52. Optical properties of Ti film for EUVL attenuated phase shift mask

    Tadashi MATSUO, Tadashi HATANO, Mihiro YANAGIHARA

    Photon Factory Activity Report 2007 Part B 254 2009年

  53. 炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発

    原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 69th (2) 594 2008年9月2日

  54. レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>の開発 3

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 69th (2) 590 2008年9月2日

  55. 軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発

    原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th (2) 695 2008年3月27日

  56. 極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率

    江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th (2) 695 2008年3月27日

  57. 汎用軟X線実験装置を用いたAl薄膜の透過像撮像

    羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th (2) 2008年

  58. 多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計-試作とテスト実験-

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 69th (2) 2008年

  59. 高安定イオンビームスパッタリング成膜による炭素の窓用多層膜の作製

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 69th (2) 2008年

  60. レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>の開発 2

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 68th (2) 712 2007年9月4日

  61. 軟X線実験室顕微鏡用の多層膜結像鏡開発

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    Photon Factory News 25 (2) 28-32 2007年8月

    ISSN:0916-0604

  62. ビーム応用

    羽多野 忠

    應用物理 76 (6) 657-658 2007年6月10日

    ISSN:0369-8009

  63. レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発

    江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 54th (2) 755 2007年3月27日

  64. 極紫外シュバルツシルト対物鏡の波長マッチング

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 54th (2) 2007年

  65. 実験室極紫外顕微鏡用多層膜鏡の波長マッチング

    原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 68th (2) 2007年

  66. Ru capping film on Mo/Si multilayers for EUV lithography

    Tadashi MATSUO, Kyoko Sakai, Tadashi HATANO, Mihiro YANAGIHARA

    Photon Factory Activity Report 2006 Part B 24 116 2007年

  67. 疑似球面ホルダーを用いた球面基板用膜厚分布制御パラメーター導出

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 53rd (2) 2006年

  68. 28aPS-4 Fe/Si磁性多層膜のFe L_<2,3> MCDスペクトル(28aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))

    菅原 真幸, 佐藤 功典, 羽多野 忠, 豊田 光紀, 柳原 美広

    日本物理学会講演概要集 61 (0) 724-724 2006年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

    DOI: 10.11316/jpsgaiyo.61.1.4.0_724_4  

    ISSN:1342-8349

  69. Soft X-ray MCD Studies on Interfaces in Fe/Si Multilayers

    Masaki Sugawara, Kosuke Sato, Tadashi Hatano, Mitsunori Toyoda, Mihiro Yanagihara

    KEK Proceedings (Mar-06) 48-52 2006年

  70. Fe L<SUB>2,3</SUB> MCD Spectra from Fe/Si Multilayers

    M. Sugawara, K. Sato, T. Hatano, M. Toyoda, M. Yanagihara

    Photon Factory Activity Report 2005 Part B #23 125 2006年

  71. 軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価

    浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 66th (2) 558 2005年9月7日

  72. ECRイオンガンのビーム強度不安定性と電源電圧変動との相関

    原田哲男, 清水俊明, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 66th (2) 2005年

  73. Multilayer Mirrors for X-rays

    山本正樹, 羽多野忠, 津留俊英, 柳原美廣

    機械の研究 57 (1) 74-81 2005年

  74. 全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性

    江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 65th (2) 601 2004年9月1日

  75. 極紫外狭帯域分光フィルター用Mo/Si高次多層膜鏡の開発

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 65th (2) 2004年

  76. 極紫外用三角交差光路干渉計の光学設計

    羽多野忠, 関山健太郎, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th (2) 2003年

  77. 極紫外用三角交差光路干渉計のシアリング型縞解析

    原田哲男, 羽多野忠, 関山健太郎, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th (2) 2003年

  78. 新型極紫外シアリング干渉計による形状計測のための縞形成と解析法の検討

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 64th (3) 2003年

  79. 31aYF-6 Co/Pt 磁性多層膜の軟 X 線ファラデー回転分光 (II)

    斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 荒井 彰, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集 58 (0) 737-737 2003年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

    DOI: 10.11316/jpsgaiyo.58.1.4.0_737_2  

  80. シリコンウエハーの薄膜作製

    荒井彰, 田中勇, 鈴木昭夫, 柏原守好, 新田健一, 佐藤二美, 羽多野忠, 渡辺誠, 鈴木正よし

    東京大学総合技術研究会技術報告集 平成15年 1.54-1.56 2003年

  81. The 6th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures

    羽多野 忠

    放射光 15 (4) 60-61 2002年7月31日

    ISSN:0914-9287

  82. Ni のM2,3吸収端近傍における磁気カー回転測定

    斉藤勝彦, 井桁光昭, 江島丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    UVSOR 活動報告書 128-128 2002年4月

  83. コロジオン膜上のCo/Pt多層膜の極紫外ファラデー回転スペクトル

    井桁光昭, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    UVSOR 活動報告書 152-153 2002年4月

  84. レーザープラズマ軟X線光源に対するイメージングプレートの感度特性

    原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 62nd (2) 2001年

  85. レーザープラズマ光源用の高NA多層膜集光鏡の開発

    羽多野忠, 窪田昭吾, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 62nd (2) 2001年

  86. 28aXA-7 軟X線磁気力-回転測定装置の開発

    斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 井桁 光昭, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集 56 (0) 661-661 2001年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

    DOI: 10.11316/jpsgaiyo.56.1.4.0_661_2  

  87. Development of Magnetic Kerr Rotation Apparatus in the 50-70 eV Region

    K. Saito, M. Igeta, T. Ejima, T. Hatano, M. Watanabe

    UVSOR Activity Report 2000 124-125 2001年

  88. Efficiency and Polarization Performance of a Multilayer-coated Laminar Grating in the 6.5-6.9-nm Wavelength Region

    S. Ishikawa, T. Imazono, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Watanabe

    Photon Factory Activity Report: Part B 18 282-282 2001年

  89. He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発

    羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 61st (2) 581 2000年9月3日

  90. 24pYC-4 軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定

    高谷 典子, 塩沢 秀次, 高山 泰弘, 宮原 恒あき, 台 仁忠, 並河 一道, 波多野 忠, 岡本 渉, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集 54 (2) 634-634 1999年9月3日

    出版者・発行元:一般社団法人日本物理学会

    ISSN:1342-8349

  91. 31a-YM-6 Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果

    羽多野 忠, 胡 衛兵, 山本 正樹, 渡邊 誠

    日本物理学会講演概要集 53 (1) 194-194 1998年3月10日

    出版者・発行元:一般社団法人日本物理学会

    ISSN:1342-8349

  92. ヤングの干渉計をもちいたエミッタンス測定

    高山泰弘, 宮原恒あき, 篭島靖, 羽多野忠, 岡本渉, 台仁忠

    KEK Proc (97-20) 251-259 1998年1月

  93. 26a-YP-10 Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果II

    羽多野 忠, 胡 衛兵, 斉藤 勝彦, 渡邊 誠

    日本物理学会講演概要集 53 (0) 226-226 1998年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

    ISSN:1342-8349

  94. 透過型多層膜を用いた軟X線偏光分光法 I

    羽多野忠, 山本正樹, 渡辺誠, HU W

    日本物理学会講演概要集(分科会) 1997 196 1997年9月

  95. 放射光の空間コヒーレンスの測定 III

    高山泰弘, 羽多野忠, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

    日本物理学会講演概要集(年会) 52 (1 Pt 2) 192 1997年3月

    ISSN:1342-8349

  96. 28p-YC-2 放射光の空間コヒーレンスの測定III

    高山 泰弘, 羽多野 忠, 岡本 渉, 宮原 恒あき, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集 52 (0) 192-192 1997年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

    ISSN:1342-8349

  97. 5a-G-1 透過型多層膜を用いた軟X線偏光分光法 I

    羽多野 忠, 胡 衛兵, 山本 正樹, 渡邊 誠

    日本物理学会講演概要集 52 (0) 196-196 1997年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

    ISSN:1342-8349

  98. 放射光の空間コヒーレンスの測定 II

    高山泰弘, 羽多野忠, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

    日本物理学会講演概要集(分科会) 1996 (Autumn Pt 2) 297 1996年9月

  99. 放射光の空間コヒーレンスの測定 I

    羽多野忠, 高山泰弘, 岡本渉, 宮原恒あき, 篭島靖

    日本物理学会講演概要集(分科会) 1996 (Autumn Pt 2) 296 1996年9月

  100. Gd‐Co,Gd‐Ni合金の内殻励起磁気円二色性

    羽多野忠, 朴成烈, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

    日本放射光学会年会予稿集 9th 64 1996年1月

  101. 放射光の空間コヒーレンスの測定I

    羽多野 忠, 高山 泰弘, 岡本 渉, 宮原 恒〓, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1996 (0) 296-296 1996年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  102. 放射光の空間コヒーレンスの測定II

    高山 泰弘, 羽多野 忠, 岡本 渉, 宮原 恒〓, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1996 (0) 297-297 1996年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  103. フェリ磁性的Gd‐Co合金の内殻励起磁気円二色性

    羽多野忠, PARK S Y, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

    日本物理学会講演概要集(分科会) 1995 (Autumn Pt 2) 241 1995年9月

  104. Gd‐Ni合金の内殻励起磁気円二色性

    PARK S Y, 羽多野忠, 高山泰弘, 羽生隆昭, 宮原恒あき

    日本物理学会講演概要集(分科会) 1995 (Autumn Pt 2) 241 1995年9月

  105. 27p-W-7 Gd-Ni合金の内殻励起磁気円二色性

    朴 成烈, 羽多野 忠, 高山 泰弘, 羽生 隆昭, 宮原 恒〓

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1995 (0) 241-241 1995年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  106. 27p-W-8 フェリ磁性的Gd-Co合金の内殻励起磁気円二色性

    羽多野 忠, 朴 成烈, 高山 泰弘, 羽生 隆昭, 宮原 恒〓

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1995 (0) 241-241 1995年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  107. CuClのZ<sub>3</sub>励起子構造の赤外二光子分光

    斎藤恵吾, 羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(年会) 49th (2) 233 1994年3月

    ISSN:1342-8349

  108. 31a-H-1 CuClのZ_3励起子構造の赤外二光子分光

    齋藤 恵吾, 羽多野 忠, 蓮尾 昌裕, 長澤 信方

    日本物理学会講演概要集. 年会 49 (0) 233-233 1994年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  109. CuClのZ<sub>3</sub>縦波励起子の赤外二光子分光

    羽多野忠, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(分科会) 1993 (Autumn Pt 2) 309 1993年9月

  110. 励起子の励起子分子生成反応断面積の評価

    羽多野忠, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(年会) 48th (2) 283 1993年3月

    ISSN:1342-8349

  111. 15a-DC-10 CuClのZ_3縦波励起子の赤外二光子分光

    羽多野 忠, 長澤 信方

    日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1993 (0) 309-309 1993年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  112. 1a-Q-3 励起子の励起子分子生成反応断面積の評価

    羽多野 忠, 長澤 信方

    日本物理学会講演概要集. 年会 48 (0) 283-283 1993年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  113. 縦波励起子の二光子励起に伴う励起子分子の生成

    羽多野忠, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(分科会) 1992 (Autumn Pt 2) 270 1992年9月

  114. 27a-ZE-15 縦波励起子の二光子励起に伴う励起子分子の生成

    羽多野 忠, 長澤 信方

    秋の分科会予稿集 1992 (0) 270-270 1992年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  115. CuCl励起子分子発光および高次非線形発光の空間特性

    羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

    日本物理学会講演概要集(年会) 46th (2) 262 1991年9月

    ISSN:1342-8349

  116. 30a-A-8 CuCl励起子分子発光および高次非線形発光の空間特性

    羽多野 忠, 蓮尾 昌裕, 長澤 信方

    年会講演予稿集 46 (0) 262-262 1991年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

  117. CuCl Z<sub>3</sub>励起子帯高密度励起による高次非線形発光

    蓮尾昌裕, 羽多野忠, 長沢信方

    日本物理学会秋の分科会講演予稿集 1990 (2) 217 1990年10月

  118. CuCl Z<sub>3</sub>励起子帯高密度励起による高次非線形発光 空間特性

    羽多野忠, 蓮尾昌裕, 長沢信方

    日本物理学会秋の分科会講演予稿集 1990 (2) 216 1990年10月

  119. 3a-B-8 CuCl励起子分子二光子吸収スペクトルの空間依存性

    羽多野 忠, 長澤 信方, 蓮尾 昌裕, 森永 実

    秋の分科会予稿集 1989 (0) 191-191 1989年

    出版者・発行元:一般社団法人 日本物理学会

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講演・口頭発表等 143

  1. 軟X線スーパーミラー型高回折効率高分解能回折格子の設計

    小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

    第58回X線分析討論会 2022年11月11日

  2. 真空紫外/軟X線ラミナー型回折格子への低消衰透明膜のオーバーコートによる回折効率の向上

    小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

    日本分光学会年次講演会 2022年10月13日

  3. 2〜4keV領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計(II)

    小池雅人, 羽多野 忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 上野良弘, 寺内正己

    第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日

  4. Li-K発光対応高spectral fluxラミナー型回折格子の設計

    小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフS.アレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己

    日本顕微鏡学会第78回学術講演会 2022年5月11日

  5. 1-5 keV 軟X線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作

    羽多野忠, 今園孝志, 江島丈雄

    第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月24日

  6. 1~2 keV領域高spectral flux軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計と評価

    小池雅人, 羽多野忠, ピロジコフ アレキサンダー, 大上裕紀, 林信和, 寺内正己

    第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月24日

  7. 刻線密度 3200 本/mm 軟X線ラミナー型回折格子の製作と W/C 多層膜による回折効率増大

    羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

    第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2022年1月8日

  8. 極端紫外(EUV)域低入射角高回折効率ラミナー型回折格子の開発

    小池雅人, 村野孝訓, 越谷翔悟, 羽多野忠, ピロジ コフ S. アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 長野哲也, 寺内正己

    第57回X線分析討論会 2021年11月6日

  9. 低入射角・高回折効率ラミナー型回折格子の開発とボロン K 発光分析への応用

    羽多野忠, 小池雅人, Alexander S. Pirozhkov, 西原弘晃, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

    Optics & Photonics Japan 2021 2021年10月29日

  10. 極端紫外(EUV)域広開口高回折効率ラミナー型回折格子の開発

    小池雅人, 羽多野忠, 村野孝訓, 越谷翔悟, ピロジコフ S.アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 長野哲也, 寺内正己

    2021年日本分光学会年次講演会 2021年10月15日

  11. Fe L 発光対応高刻線密度ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

    羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

    第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月10日

  12. 刻線密度 3200 本/mm の軟X線ラミナー型回折格子の製作と評価

    羽多野忠, 小池雅人, ピロジコフ アレキサンダー, 垣尾翼, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也, 寺内正己

    第68回応用物理学会春季学術講演会 2021年3月18日

  13. keV 領域多層膜回折格子のための多層膜開発

    羽多野忠, 江島丈雄

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2021年1月9日

  14. 軟X線励起蛍光におけるSTED現象

    江島丈雄, 若山俊隆, 篠崎夏美, 庄司美咲, 羽多野忠, 東口武史

    第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2021年1月9日

  15. Fe-L (705 eV) 発光対応高回折効率・広受光角ラミナー型多層膜回折格子の製作と評価

    小池雅人, 羽多野忠, 寺内正己, Pirozhkov Alexander, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

    日本顕微鏡学会第76回学術講演会 2020年5月26日

  16. 2~4 keV 領域高回折効率高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計

    小池雅人, 上野良弘, 羽多野忠, ピロジコフ・アレキサンダー, 寺内正己

    第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月14日

  17. 可変偏角分光器の誤差補正とエネルギー領域の拡張

    羽多野忠

    第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月14日

  18. 300 eV~1.3 keV における各種シンチレータの発光特性

    江島丈雄, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

    第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2020年1月12日

  19. 3d 遷移金属 L 発光高感度分光計測のためのラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

    羽多野忠, 小池雅人, 寺内正己, Alexander S. Pirozhkov, 林信和, 笹井浩行, 長野哲也

    第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2020年1月11日

  20. 波長 100 nm VUV 直入射ミラーの作製と反射率計測

    羽多野忠, 松田欣之, 江島丈雄, 中村永研

    第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2020年1月11日

  21. ボロンK発光対応増反射膜付加高回折効率軟X線ラミナー型回折格子の開発

    小池 雅人, 羽多野 忠, 寺内 正己, ピロジコフ S アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第55回X線分析討論会 2019年10月30日

  22. Design of valid line spacing holographic grating with high groove density and multilayered laminar-type grooves for flat field spectrometer optimized for 200‒900 eV region

    Masato Koike, Tadashi Hatano, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

    The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics 2019年10月25日

  23. LaF3- and La/C-coated high efficiency laminar-type diffraction gratings for B K-emission spectroscopy

    Tadashi Hatano, Masato Koike, Masami Terauchi, Alexander S. Pirozhkov, Hiroaki Nishihara, Nobukazu Hayashi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

    The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics 2019年10月25日

  24. Luminescence properties of scintillators in the energy region from 300 eV to 1.3 keV

    Takeo Ejima, Shunsuke Kurosawa, Akihiro Yamaji, Tadashi Hatano, Toshitaka Wakayama, Takeshi Higashiguchi, Mamoru Kitaura

    The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics 2019年10月25日

  25. 200~900 eV域対応高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型W/C多層膜回折格子の設計(II)

    小池 雅人, 羽多野 忠, 寺内 正己, ピロジコフ アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日

  26. 200–900 eV域対応高回折効率・広受光角ラミナー型W/C多層膜回折格子の製作と評価

    羽多野 忠, 小池 雅人, 寺内 正己, ピロジコフ アレキサンダー, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日

  27. Design of soft X-ray high diffraction efficiency diffraction gratings employing a hybrid multilayer structure in a wide energy range of 200‒900 eV

    M. Koike, T. Hatano, A. S. Pirozhkov, M. Terauchi, N. Hayashi, H. Sasai, T. Nagano

    The 40th International Conference on Vacuum Ultraviolet and X-ray Physics 2019年7月

  28. Fe-K (705 eV)対応高回折効率・広帯域軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計

    小池 雅人, 羽多野 忠, Pirozhikov Alexander, 寺内 正己, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    日本顕微鏡学会第75回学術講演会 2019年6月

  29. Recent Progresses in Soft X-ray Emission Spectroscopy 招待有り

    M. Terauchi, T. Hatano, M. Koike, Alexander S. Pirozhkov, H. Sasai, T. Nagano, M. Takakura, T. Murano

    16th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis 2019年5月23日

  30. ビスマスプラズマ水の窓軟X線源の開発 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー技術一般)

    川崎 太夢, 島田 悠太, 難波 慎一, 佐々木 明, 錦野 将元, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 東口 武史

    電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan 2019年5月17日

  31. ホウ素-K発光分光のための酸化物膜付加による高回折効率ラミナー型回折格子

    小池 雅人, 羽多野 忠, Pirozhikov S. Alexander, 寺内 正己, 浮田 龍一, 西原 弘晃, 笹井 浩行, 長野 哲也

    2019年度日本分光学会年次講演会 2019年5月

  32. 酸化物膜付加ボロンK発光(183 eV)対応軟X線ラミナー型回折格子の回折効 率評価

    小池 雅人, 羽多野 忠, ピロジコフ アレキサンダー, 寺内 正己, 浮田 龍一, 西原 弘晃, 笹井 浩行, 長野 哲也

    2018年度量子ビームサイエンスフェスタ 2019年3月12日

  33. 200~900 eV域対応高回折効率軟X線W/C多層膜ラミナー型回折格子の設計

    小池 雅人, 羽多野 忠, アレキサンダー ピロジコフ, 寺内 正己, 林 信和, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月10日

  34. ボロンK発光(183 eV)分光計測のための酸化物膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の開発

    小池 雅人, 寺内 正己, 羽多野 忠, 高橋 秀之, 村野 孝訓, 高倉 優, 長野 哲也, 笹井 浩行, 西原 弘晃

    第3回応用物理学会関西支部講演会 2019年2月15日

  35. ボロンK-発光高感度分光計測のためのランタン膜付加高効率回折格子の開発

    羽多野 忠, 小池 雅人, 西原 弘晃, Alexander S. Pirozhkov, 寺内 正己, 笹井 浩行, 長野 哲也

    第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 2019年1月10日

  36. 低密度発泡ターゲットを用いた水の窓軟X線の発光特性

    原広行, 川崎太夢, 田村賢紀, 羽多野忠, 江島丈雄, JIANG Weihua, 大橋隼人, 難波愼一, 砂原淳, 佐々木明, 錦野将元, O’SULLIVAN Gerry, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日

  37. ボロンK発光分光計測のための反射増加膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計指針

    小池雅人, 羽多野忠, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日

  38. BiターゲットLPP光源を用いた軟X線顕微鏡CXRM

    江島丈雄, 小野祐一, 伊藤圭祐, 川崎大夢, 羽多野忠, 刀祢重信, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日

  39. ボロンK発光分光計測のためのランタン膜付加高回折効率・広受光角ラミナー型回折格子の製作と評価

    羽多野忠, 小池雅人, 西原弘晃, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日

  40. SX‐STED用シンチレーターの探索

    江島丈雄, 黒澤駿介, 黒澤駿介, 山路晃広, 羽多野忠, 若山俊隆, 東口武史, 北浦守

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年9月5日

  41. Development of laboratory-type soft X-ray microscope, CXRM, in Water-window using LPP light source 国際会議

    Takeo Ejima, Yuichi Ono, Keisuke Ito, Hiromu Kawasaki, Takeshi Higashiguchi, Shigenobu Tone, Tadashi Hatano

    14th International conference on x-ray microscopy 2018年8月22日

  42. Quantum efficiency of back-illuminated CMOS sensor with 1.4×1.4 µm2 pixel size 国際会議

    Takeo Ejima, Tadashi Hatano

    14th International conference on x-ray microscopy 2018年8月20日

  43. Cr/Sc/Mo multilayer mirror for illuminator optics in water window soft X-ray microscopes with Bi plasma sources 国際会議

    Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Yuichi Ono, Thanh-Hung Dinh, Toshiki Tamura, Keigo Maeda, Hiroyuki Hara, Takeshi Higashiguchi

    13th International conference on synchrotron radiation instrumentation 2018年6月13日

  44. Enhancement of diffraction efficiency and spectral flux of laminar-type diffraction gratings coated with Ni/La/C layers in soft X-ray region 国際会議

    Tadashi Hatano, Masato Koike, Hiroaki Nishihara, Alexander S. Pirozhkov, Masami Terauchi, Hiroyuki Sasai, Tetsuya Nagano

    13th International conference on synchrotron radiation instrumentation 2018年6月11日

  45. ピクセルサイズ1.4×1.4μm<sup>2</sup>の背面照射型軟X線撮像素子の量子効率

    江島丈雄, 羽多野忠

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年3月5日

  46. 材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション

    錦野将元, 石野雅彦, DINH T‐H, 長谷川登, FAENOV A, PIKUZ T, 市丸智, 木下博雄, 坂上和之, 東口武史, 犬伏雄一, 今亮, 大和田成起, 羽多野忠, 鷲尾方一, 末元徹, 河内哲哉

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018年3月5日

  47. ホウ素‐K発光分光のための酸化物膜付加による高回折効率広受光角ラミナー型回折格子

    小池雅人, 羽多野忠, ALEXANDER Pirozhkov S, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

    X線分析討論会講演要旨集 2017年10月26日

  48. 水の窓軟X線領域で高繰り返し動作可能なターゲット元素の選定

    東口武史, 田村賢紀, 小野祐一, 原広行, 近藤芳希, 荒居剛己, JIANG W, 羽多野忠, 江島丈雄

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日

  49. Photon Factory BL‐11Dの波長13.5nmにおける2次光評価

    羽多野忠

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日

  50. 超短パルス軟X線レーザー照射によるアブレーション

    石野雅彦, HUNG Dinh Thanh, FAENOV Anatory, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 河内哲哉, 木下博雄, 今亮, 坂上和之, 末元徹, PIKUZ Tatiana, 保智己, 錦野将元, 長谷川登, 羽多野忠, 東口武史, 鷲尾方一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日

  51. 水の窓軟X線顕微鏡による高分解能撮像に向けて

    東口武史, 小野祐一, 田村賢紀, CHEN W, 小倉拓人, 原広行, 近藤芳希, 若山俊隆, 羽多野忠, 江島丈雄

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日

  52. フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション

    市丸智, 錦野将元, 石野雅彦, 木下博雄, 犬伏雄一, 東口武史, 鷲尾方一, 坂上和之, 大和田成起, 羽多野忠, 畑山雅俊, 大知渉之, HUNG Dinh Thanh, 今亮, 原広行, 山内駿, 小倉拓人, 篠崎夏美, 小柴裕也, 高橋孝, 西留武宏, 奥哲

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日

  53. ボロンK発光分光計測のための酸化物膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子

    小池雅人, 羽多野忠, PIROZHKOV Alexander S, 寺内正己, 浮田龍一, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日

  54. フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究

    坂上和之, 石野雅彦, 井谷俊郎, 犬伏雄一, 市丸智, 大和田成起, 小倉拓人, 木下博雄, 小柴裕也, 今亮, SANTILLAN Julius Joseph, 篠崎夏美, 高橋孝, 田村賢紀, HUNG Dinh Thanh, 錦野将元, 西留武宏, 羽多野忠, 原広行, 東口武史, 山内駿, 鷲尾方一

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日

  55. ピクセルサイズ1.4×1.4μm<sup>2</sup>の背面照射型軟X線撮像素子の開発

    江島丈雄, 羽多野忠

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年8月25日

  56. 波長4nm軟X線用Cr/Sc/Mo多層膜コンデンサーミラーの開発

    羽多野忠, 江島丈雄

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年3月1日

  57. ボロンK発光分光計測のためのランタン(La)系膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計

    小池雅人, PIROZHKOV Alexander, 羽多野忠, 西原弘晃, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017年3月1日

  58. ボロン‐K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子

    小池雅人, 羽多野忠, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也

    X線分析討論会講演要旨集 2016年10月12日

  59. PF BL‐11Dにおける5‐10nm領域の回折格子の回折効率評価

    羽多野忠, 小池雅人, 浮田龍一, 笹井浩行, 長野哲也

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年9月1日

  60. 波長4.0nm斜入射ミラー用Cr/Sc/Mo多層膜の開発

    羽多野忠, 江島丈雄

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年9月1日

  61. PF BL‐11Dの分光器出力に重なる回折格子散乱光

    羽多野忠, 相原翔学, 江島丈雄

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日

  62. 波長4.0nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, DINH Thanh Hung, 東口武史

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日

  63. レーザー生成Biプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

    近藤芳希, DINH Thanh Hung, 小野祐一, 荒居剛己, 原広行, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2016年3月3日

  64. レーザー生成多価イオンプラズマ光源を用いた卓上型水の窓軟X線顕微鏡の開発

    近藤芳希, DINH Thanh‐Hung, 荒居剛己, 三浦泰祐, 遠藤彰, 羽多野忠, 江島丈雄, 東口武史, 東口武史

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2015年8月31日

  65. 炭素の窓用多層膜トロイダルミラーの反射率計測

    羽多野忠, 大野広大, 相原翔学, 江島丈雄

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2015年1月10日

  66. Photon Factory BL‐11Dの直線偏光度

    羽多野忠

    物構研サイエンスフェスタ要旨集 2015年

  67. 多層膜ミラーを用いた回折格子分光器の高次光解析法

    羽多野忠, 原田哲男

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2014年9月1日

  68. PF BL‐11D分光器のフルレンジ駆動ソフトウェア

    羽多野忠

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2013年8月31日

  69. 波長4.5nm用軟X線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

    江島丈雄, 羽多野忠, 大野広大, 深山宇大, 相原翔学, 柳原美廣

    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2013年8月31日

  70. BL‐11D可変偏角分光器のデフォーカス除去調整とフルレンジエネルギースキャン

    羽多野忠

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2013年1月12日

  71. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣

    応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 2012年12月6日

  72. PF BL‐11D後置集光鏡システムの集光性能評価

    内田健太郎, 相原翔学, 羽多野忠, 津留俊英

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2012年2月29日

  73. 曲面ミラー反射率計測ビームラインPF BL‐11D

    羽多野忠, 相原翔学, 伊藤健二, 菊地貴司

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2012年2月29日

  74. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2012年2月29日

  75. 極紫外域での固定生物試料観察における染色法の比較

    根市侑太郎, 江島丈雄, 石田史彦, 羽多野忠, 柳原美廣

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2012年1月6日

  76. 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

    山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2012年

  77. 軟X線結像鏡収差計測のための光学設計

    内田健太郎, 津留俊英, 羽多野忠

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2011年

  78. シャッター速度制御方式による急勾配成膜技術

    相原翔学, 羽多野忠

    応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 2010年11月22日

  79. 多層膜ミラーの周期数による反射位相制御

    津留俊英, 羽多野忠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2010年8月30日

  80. 汎用軟X線実験装置を用いたヤングの干渉縞観測

    小笠原承道, 梅津裕生, 羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2010年3月3日

  81. 軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測用密着ダブルスリット付きミリング多層膜の作製

    津留俊英, 酒井優, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2010年3月3日

  82. 放射光を用いた軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測

    羽多野忠, 小笠原承道, 梅津裕生, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 2010年3月3日

  83. シャッター速度制御方式による非球面成膜形成法の開発

    相原翔学, 羽多野忠

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2010年

  84. 薄膜構造変化の実時間追跡のためのX線反射率曲線時分割測定法の開発

    羽多野忠, 松下正, 荒川悦雄, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男, 濱ノ園亮, 相原翔学

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2010年

  85. 多波長同時分散光学系を用いた鏡面X線反射率曲線の時分割測定法の開発

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子, 丹羽尉博, 稲田康宏, 永野修作, 関隆広

    PFシンポジウム要旨集 2010年

  86. 反射配置のヤングの干渉計による極紫外多層膜ミラーの位相操作効果の計測

    羽多野忠, 小笠原承道, 梅津裕生, 酒井優, 津留俊英

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年12月10日

  87. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計‐II

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 東保男, 矢野陽子, 原田哲男

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年12月10日

  88. 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

    豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2009年9月8日

  89. シャッター速度制御方式による非球面成分の成膜形成

    相原翔学, 羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2009年9月8日

  90. 多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計―II

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 矢野陽子

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2009年9月8日

  91. 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発

    豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

    光学シンポジウム講演予稿集 2009年7月2日

  92. 軟X線多層膜ミラーの指定領域波面補正イオンミリング

    津留俊英, 酒井優, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2009年3月30日

  93. 多層膜表面ミリングによる反射位相変化の軟X線干渉計測

    小笠原承道, 梅津裕生, 羽多野忠, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹

    東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 2009年

  94. 放射光を用いた反射率測定の現状と将来展望―理研仁科SR2における反射率測定ビームライン建設に向けて―フォトンファクトリーの光学素子評価ビームラインと光学素子評価装置

    羽多野忠

    放射光を用いた反射率測定の現状と将来展望-理研仁科SR2における反射率測定ビームライン建設に向けて 平成21年度 理研シンポジウム 2009年

  95. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーターを用いた多波長同時分散型X線反射率計

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一, 矢野陽子

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年

  96. LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年

  97. 傾斜周期膜厚(laterally graded)構造をもつX線多層膜ポリクロメーターの開発

    羽多野忠, 原田哲男, 松下正, 荒川悦雄, 東保男

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年

  98. 傾斜周期膜厚(laterally graded)多層膜ポリクロメーター用楕円形状基板の開発

    荒川悦雄, 東保男, 羽多野忠, 原田哲男, 松下正

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 2009年

  99. 高安定イオンビームスパッタリング成膜による炭素の窓用多層膜の作製

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月2日

  100. レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>の開発 3

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月2日

  101. 炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発

    原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月2日

  102. 多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計―試作とテスト実験―

    松下正, 荒川悦雄, 羽多野忠, 原田哲男, 東保男, 平野馨一

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月2日

  103. 回折格子の実測VLSパラメーターに基づく軟X線実験室分光反射率計の配置最適化

    中島将, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2008年3月27日

  104. 軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発

    原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2008年3月27日

  105. 汎用軟X線実験装置を用いたAl薄膜の透過像撮像

    羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2008年3月27日

  106. 極紫外撮像用シンチレーターの相対発光効率

    江島丈雄, 中村芳雅, 羽多野忠, 吉川彰

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2008年3月27日

  107. 実験室極紫外顕微鏡用多層膜鏡の波長マッチング

    原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2007年9月4日

  108. レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM<sup>3</sup>の開発 2

    江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2007年9月4日

  109. 極紫外シュバルツシルト対物鏡の波長マッチング

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2007年3月27日

  110. レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発

    江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2007年3月27日

  111. 疑似球面ホルダーを用いた球面基板用膜厚分布制御パラメーター導出

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2006年3月22日

  112. 28aPS-4 Fe/Si磁性多層膜のFe L_<2,3> MCDスペクトル(28aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))

    菅原 真幸, 佐藤 功典, 羽多野 忠, 豊田 光紀, 柳原 美広

    日本物理学会講演概要集 2006年

  113. 水の窓領域の多層膜結像鏡評価のための実験室分光反射率計の光学設計

    羽多野忠, 近藤祐治, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2005年9月7日

  114. ECRイオンガンのビーム強度不安定性と電源電圧変動との相関

    原田哲男, 清水俊明, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2005年9月7日

  115. 軟X線定在波発光分光による磁性多層膜界面の評価

    浜本亮輔, 菅原真幸, 江島丈雄, 羽多野忠, 柳原美広

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2005年9月7日

  116. 軟X線結像用の精密多層膜鏡の開発

    羽多野忠, 津留俊英, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2005年3月29日

  117. 全光電子収量X線定在波スペクトルの表面膜厚依存性

    江島丈雄, 山崎敦志, 伴瀬貴徳, 羽多野忠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2004年9月1日

  118. 極紫外狭帯域分光フィルター用Mo/Si高次多層膜鏡の開発

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2004年9月1日

  119. 新型極紫外シアリング干渉計による形状計測のための縞形成と解析法の検討

    原田哲男, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2003年8月30日

  120. 極紫外用三角交差光路干渉計のシアリング型縞解析

    原田哲男, 羽多野忠, 関山健太郎, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2003年3月27日

  121. 極紫外用三角交差光路干渉計の光学設計

    羽多野忠, 関山健太郎, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2003年3月27日

  122. 31aYF-6 Co/Pt 磁性多層膜の軟 X 線ファラデー回転分光 (II)

    斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多 野忠, 荒井 彰, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集 2003年

  123. 磁場を用いた固体ターゲットLPP光源のデブリ除去効果

    神田剛, 羽多野忠, 古舘三七二, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2002年3月27日

  124. イオンビームスパッタリング成膜におけるSiの膜厚分布とMoの膜厚分布

    窪田昭吾, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2002年3月27日

  125. レーザープラズマ光源用の高NA多層膜集光鏡の開発

    羽多野忠, 窪田昭吾, 原田哲男, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2001年9月11日

  126. レーザープラズマ軟X線光源に対するイメージングプレートの感度特性

    原田哲男, 古舘三七二, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2001年9月11日

  127. イオンビームスパッタリング法で成膜したMo/Si多層膜の曲面基板上膜厚分布

    羽多野忠, 窪田昭吾, 山本正樹, 宮田登

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2001年3月28日

  128. レーザー生成プラズマ光源Sn固体ターゲットからのデブリ量の速度分布

    関山健太郎, 羽多野忠, 神田剛, 古舘三七二, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2001年3月28日

  129. 28aXA-7 軟X線磁気力-回転測定装置の開発

    斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 井桁 光昭, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集 2001年

  130. 17aRG-6 Co/Pt多層膜の軟X線ファラデー回転分光

    井桁 光昭, 斉藤 勝彦, 江島 丈雄, 羽多野 忠, 渡辺 誠

    日本物理学会講演概要集 2001年

  131. He‐I,II共鳴線用多層膜偏光子の開発

    羽多野忠, 近藤祐治, 斉藤勝彦, 江島丈雄, 渡辺誠, 高橋正彦

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2000年9月3日

  132. 軟X線(~184eV)用多層膜回折格子の作製と評価

    石川禎之, 今園孝志, 柳原美広, 羽多野忠, 渡邊誠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 2000年9月3日

  133. 直径100mm基板上のMo/Si多層膜のスパッタ膜厚制御

    梅津裕生, 羽多野忠, 山本正樹

    応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2000年3月28日

  134. 軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定

    高谷典子, 塩沢秀次, 高山泰弘, 宮原恒あき, TAI R Z, 並河一道, 羽多野忠, 岡本渉, 篭島靖

    日本物理学会講演概要集 1999年9月3日

  135. 高NA用のレーザー生成プラズマ光源デブリ除去装置

    山本正樹, 古舘三七二, 羽多野忠

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 1999年9月1日

  136. Sc/Cr多層膜偏光子を用いた偏向部ビームラインの直線偏光度測定

    羽多野忠, 坂野究, 柳原美広, 山本正樹

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 1999年1月7日

  137. NiおよびCo薄膜のM吸収端におけるファラデー効果

    羽多野忠, 胡衛兵, 斉藤勝彦, 渡辺誠

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 1999年1月7日

  138. 24pYC-4 軟X線領域における放射光の空間コヒーレンスの測定

    高谷 典子, 塩沢 秀次, 高山 泰弘, 宮原 恒あき, 台 仁忠, 並河 一道, 波多野 忠, 岡本 渉, 篭島 靖

    日本物理学会講演概要集 1999年

  139. Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果 II

    羽多野忠, HU W, 斉藤勝彦, 渡辺誠

    日本物理学会講演概要集 1998年9月5日

  140. 水の窓領域の高反射率多層膜鏡の開発

    坂野究, 羽多野忠, 古館三七二, 堀田善文, 梅津裕生, 柳原美広, 山本正樹

    応用物理学会学術講演会講演予稿集 1998年9月

  141. Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果

    羽多野忠, HU W, 山本正樹, 渡辺誠

    日本物理学会講演概要集(年会) 1998年3月

  142. 軟X線ファラデー回転分光法の開発

    胡衛兵, 羽多野忠, 山本正樹, 渡辺誠

    日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 1998年1月9日

  143. 3a-B-8 CuCl励起子分子二光子吸収スペクトルの空間依存性

    羽多野 忠, 長澤 信方, 蓮尾 昌裕, 森永 実

    秋の分科会予稿集 1989年

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共同研究・競争的資金等の研究課題 8

  1. 1-5 keV 全域でブラッグ条件を満たす高出力多層膜回折格子分光器の開発

    羽多野 忠, 小池 雅人, 江島 丈雄

    提供機関:Japan Society for the Promotion of Science

    制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関:Tohoku University

    2019年4月1日 ~ 2022年3月31日

  2. 軟X線定在波を用いた磁気円二色性による磁性多層膜界面の評価

    柳原 美廣, 北上 修, 江島 丈雄, 羽多野 忠

    提供機関:Japan Society for the Promotion of Science

    制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関:Tohoku University

    2006年 ~ 2007年

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    Fe/Si磁性多層膜は、厚さ1nmほどの拡散層があるにもかかわらず、反強磁性層間結合が強く現れる系として注目されている。しかし、そのメカニズムについてはまだ決着が付いていない。本研究では、1)軟X線定在波を利用した内殻吸収磁気円二色性(MCD)によって界面近傍のFe 3d電子の磁気的状態深さ分割して決定し、界面の磁性状態を解明する、2)その結果と、軟X線発光分光から得られる界面拡散層の化学結合状態を比較し、磁性状態と拡散の関連を議論する、3)また以上より、量子波干渉モデルも含めてFe/Si多層膜の強い反強磁性結合の起源を明らかにすること、の3点を研究の目的とした。その結果、Fe/Si多層膜の拡散層では、Fe層に続く強磁性Fe_3Si層の中でスピン、軌道各磁気モーメントが界面異方性により増大していることを確かめた。また、とりわけ反強磁性結合した試料では、Fe_3Si層のより内側の、すなわち、非磁性のFeSi、あるいはFeSi_2層に近い領域で磁気モーメントが増大していることを初めて見出した。これは、スペーサー層(FeSi層とFeSi_2層)を真ん中にして向かい合ったFe_3Si層が、いずれも内側の境界一杯まで強く磁化していることを示している。このことは、実質的に極めて薄いスペーサー層を介してFe_3Si層間に強い反強磁性結合が出現しているとみなすことができる。したがって、これらは、量子波干渉モデルで理解するのが最も妥当と結論できる。以上より、本研究の所期の目的は概ね達成できた。また、定在波を用いた軟X線MCD測定は、磁性多層膜界面の磁性状態を非破壊で深さ分析するのに有用な方法であること、および軟X線発光分光による界面の電子状態評価との併用は、界面についてより多くの知見をもたらすことを本研究によって実証した。

  3. レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

    山本 正樹, 柳原 美廣, 羽多野 忠, 江島 丈雄, 津留 俊英, 豊田 光紀

    提供機関:Japan Society for the Promotion of Science

    制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目:Grant-in-Aid for Specially Promoted Research

    研究機関:Tohoku University

    2003年 ~ 2007年

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    本研究では,波長30nmから3nm程度の軟X線を用いて,有機・無機から成る多元物質や磁性材料,生体試料などの全ての物質に対して分解能50nmの元素コントラスト画像が得られるSchwarzschild軟X線顕微鏡を,実験室で使用できる簡便な装置として開発する.このために,分解能達成の要である軟X線用の特殊多層膜による超精密結像ミラーを軟X線光工学技術開発によって実用化するとともに,レーザープラズマ軟X線パルス実験室光源,軟X線多層膜ミラー光学系,アライメント光学系,検出系を開発して実用実証機として仕上げる. 本最終年度では,波長13.5nmでの各種直入射光学系に要求される超精密結像ミラーの製作・評価技術を完成し,更に高レベルの炭素の窓の波長4.5nm用技術の見通しを得た.具体的には,多層膜成膜の周期膜厚の分布と絶対値の制御を凹面および凸面基板上で0.1%精度で行う手法を開発確立できた.さらに,ミラーの軟X線波面誤差の精密干渉計測技術開発,新しい原理に基づくミラー波面誤差の精密補正技術開発に取り組み,必要な計測および評価装置を開発した.今後,これらを統合した軟X線多層膜光工学の確立を目指す. 特筆すべき成果は,開発した製作・評価技術を用いて直入射4枚ミラー光学系で設計理想値の80%のスループットを得て,明るい顕微鏡を完成し,<1パルス撮像に成功した>点にある. 50倍の光学系で, X線CCD検出器のピクセルサイズによる限界の400nm解像が既に得られており,光学系では目標の分解能50nmを超える30nmに目途が立っている.視野0.2mmで6000×6000の超高解像が見込めることから,待望の生きた生体試料の細胞の内部観察が目前である.微細な粒子観察の課題とされる液中のブラウン運動によるボケも1パルス撮像の実現で解決された.視野内の複数のイベントを瞬時に高密度記録し,必要な部分を必要な解像度に拡大して十分時間をかけて解析するという全く新しい方式の究極解像度の光学顕微鏡を開発できた.

  4. 速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

    羽多野 忠

    提供機関:Japan Society for the Promotion of Science

    制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関:TOHOKU UNIVERSITY

    2003年 ~ 2004年

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    イオンビームスパッタリング法ではイオン銃のイオンビーム出力の時間安定性が膜厚制御性を左右する。本研究で作製する波長13.5nm用Mo/Si多層膜凹面鏡では、反射ピーク波長の許容誤差が2%であるのに対し、現有設備のイオンビームスパッタリング装置では、これまで成膜速度の変動のために反射ピーク波長に10%程度の誤差があった。したがってイオン銃の動作安定化を図り、成膜速度の再現性を2%以内の変動に抑えることが最優先課題であった。イオン銃の動作に関与する主要なパラメーターはアルゴン流量、加速電圧、引出し電極電圧である。これらのパラメーターをそれぞれ大きく振ってそれらに対するイオンビーム出力の依存性を詳細に調べ、イオンビーム出力最大の条件がそれぞれ1.4sccm、-1.4kV、+300Vであることがわかった。その条件からアルゴン流量を変化させて時間安定性の変化を調べた結果、アルゴン流量を増加させるとイオンビーム出力は減少するが時間安定性が増す傾向があることがわかり、最適値は1.7sccm-2.0sccmであると結論した。さらに、引出し電極とビームシャッターに設けた電極でそれぞれイオン流総量、およびイオン流密度をモニタリングして、室温とイオン流、および実験室の配電盤電圧とイオン流との間に強い相関を見出し、将来的に安定性を大きく改善できる見込みができた。 一方、独自に開発して利用している膜厚分布制御用速度可変シャッターについて、成膜所要時間を最短化する速度関数の計算方法を導出するとともに、シャッター形状を再検討して制御可能領域を拡張した。曲率半径50mm、270mm、300mmのMo/Si多層膜凹面鏡を作製し、高エネルギー加速器研究機構の放射光実験施設で軟X線直入射分光反射率測定により周期長分布を評価した。

  5. 多層膜表面ミリングによる反射波面の制御

    津留 俊英, 山本 正樹, 羽田野 忠, 津留 俊英

    2002年 ~ 2003年

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    本研究では,多層膜の反射理論計算で発見した"多層膜鏡の表面をミリングすると物理光学的であり,幾何光学的な基板ミリングとは原理的に全く異なる光学的効果が得られる"ことを可視光で実験的に検証する.また,得られる基礎データをもとに,"多層膜の表面ミリングで反射波面を物理光学的に精密制御できる"ことを応用研究へ展開する道を探ることを目的とする. 本年度は実験に先駆けて,昨年度開発した反射位相計算ソフトウエアを改良し,より完成度の高いものとした.具体的には,基板+薄膜(1-4層)+キャップ膜の構成を可能とし,反射位相のみならず複素振幅反射率の入射角依存性と入射波長依存性を計算・表示出来るものとした.このソフトウエアを用いて波長632.8nmの可視光による検証実験のための成膜物質選択と最適膜厚計算を行った.BK7基板上に,成膜物質1:TiO_2,成膜物質2:SiO_2を5周期成膜後,マスクを段階的に施しながら成膜することで所定の段差を持った膜構造を形成し,ミリングした場合と同様の効果が得られる構成とした.なおこの構成では,5周期成膜することで反射率90%が得られ,1周期の段差で約180°の位相変化が見込まれる. その場計測用自動消光エリプソメーターを組み込んだイオンビームスパッタリング装置でTiO_2とSiO_2単層膜を成膜し,屈折率nをそれぞれ2.44,1.65と決定した.この結果を元に最適膜厚をそれぞれ64.8nm,96.1nmと決定した.また,エリプソメーターによるその場膜厚制御を行うためにに,解析ソフトウエアを新規に開発し,成膜装置へ組み込んだ.現在,可視光検証用の多層膜成膜と干渉計測用の光学系のセットアップを終え,干渉計測による検証を開始した.

  6. 軟X線磁気カー効果による磁性多層膜の各層個別の磁化を測定する方法の研究

    渡辺 誠, 江島 丈雄, 羽多野 忠

    提供機関:Japan Society for the Promotion of Science

    制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関:Tohoku University

    2000年 ~ 2001年

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    本研究の目的は、軟X線磁気カー効果の入射角依存性を利用し、磁性多層膜を構成する物質の表面からの順位を特定して各層個別の磁化を測定できる方法を開発することである。 カー回転測定に必要な多層膜偏光子を作製するための設計指針を導出した。これは一般の場合にも適応できるものである。次いで、多層膜を作製し、磁場発生装置、試料支持台、回転検光子ユニットからなる測定装置を設計・製作した。その後それらを用いて、CoとNiの薄膜のM_<2,3>吸収端近傍における縦カー回転角とファラデー回転角を分子科学研究所の放射光施設(UVSOR)で測定し、両者からの結論が妥当なものであることを確認した。上記の成果は、第13回真空紫外線物理学国際会議(平成13年7月、トリエステ)で発表した。さらに、磁性多層膜Co/Ptについてファラデー回転の測定を行い、磁性多層膜でも十分磁気旋光分光が可能か確認した。対象とした内殻準位はCoのM_<2,3>およびPtのN_<6,7>である。試料作製装置はイオンビームスパッタ装置である。試料はコロジオンを基板に作製した。これら試料のいくつかに対しては確認のため磁化率測定を申請者と同じ研究所の島田研究室の装置を借りて行った。Co/Ptのファラデー回転では、非磁性のPtが磁化することを見出した。また、各物質の厚さと磁化の関係について興味深い結果を得た。最後に、磁性多層膜Co/Cuのカー回転の測定をCoとCuのM_<2,3>吸収端近傍で行った。試料は酸化マグネシウム基板に作製した。カー回転測定については現在測定結果を解析し磁化の層順位依存性などを求めている途中である。

  7. 光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用

    山本 正樹, 羽多野 忠, 柳原 美廣

    提供機関:Japan Society for the Promotion of Science

    制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

    研究機関:TOHOKU UNIVERSITY

    1999年 ~ 2001年

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    本研究は,光学超薄膜形成技術を,波長λ=13nmの軟X線の多層膜曲面鏡に適用し,直入射結像光学系の開発に不可欠な高精度結像光学鏡を実用化することを目的とする.具体的には,結像性能を得るために不可欠な1nmのオーダー以下の誤差で軟X線の波面を計測・制御する軟X線干渉計測法を開発する.また,この過程で,nm精度のアライメントシステムを備える干渉計測計本体に加え,実験室で干渉計測を可能とするための,光学系を飛散物で汚染しないYAGレーザー励起プラズマ軟X線光源の開発,軟X線干渉縞を計測処理する2次元検出データー処理系の開発を行い,光源から検出器までの結像光学システムの基本要素を完成させる. 本年度は,前年度に引き続いてレーザー生成プラズマを光源とする軟X線干渉計測装置の製作を進めで,光源部,光学系部,検出器部について,基本要素を完成できた. 光源部では,パルスYAGレーザーの1ショットで軟X線干渉縞を記録するための明るい光源を完成した.この光源では,開口数0.2の配置で口径10cmの多層膜集光鏡を設置し,距離21cmのSn固体ターゲットからの軟X線を効率良く集光する.飛散するデブリ粒子は,独自に考案・製作したデブリストッパーを設置して除去する.このデブリストッパーで約9割の粒子を除去して,光源寿命を10倍の4万ショットに伸ばすことが出来た. 光学系では,精密結像鏡用の多層膜周期の基板面内制御精度を昨年までの2%以内から1%以内に改善できた.制御には,独自に開閉速度関数制御シャッターを開発した. 検出器部では、Tr用のイメージングプレートの軟X線に対する感度と出力の直線性を軟X線分光反射率計をもちいて計測した.波長13nm付近で,10万光子/mm^2の高感度と4桁以上の出力直線性が確認できた.

  8. 軟X線磁気旋光分光の研究

    渡邊 誠, 江島 丈雄, 羽多野 忠

    提供機関:Japan Society for the Promotion of Science

    制度名:Grants-in-Aid for Scientific Research

    研究種目:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

    研究機関:TOHOKU UNIVERSITY

    1997年 ~ 1998年

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    本研究では、多層膜を用いて軟X線ファラデー回転測定をまず放射光光源で手軽に行なえるようにし、かつこの測定が放射光を用いた磁気円二色性(MCD)測定よりもより磁性体のバルクの性質を与えることを示すことと、ファラデー回転測定を実験室でも可能にすることを目的とした。 初年度はファラデー回転測定装置を製作し、組立・調整を行なった。直線偏光の生成および偏光回転の測定には、開発した透過型および反射型のAl/YB_6系多層膜偏光子と検光子(50〜70eV)を用いた。磁場発生装置にはSm-Co系永久磁石を用いた。装置全体を真空容器の中に収め、ターボ分子ポンプで排気した。次年度は、まず最初に分子科学研究所の放射光施設(UVSOR)において、ファラデー回転測定を行なった。偏光子として透過型多層膜を用い、分光器の後の直線偏光度を向上させ、NiのM_<2,3>、CoのM_<2,3>およびCo/PtのCoのM_<2,3>とPtのN_<6,7>吸収端付近で測定を行なった。Niで得られたファラデー回転角(室温)は、これまで全光電子収量法により測定されたMCD(140K)を解析して得られた値に比べて大きかった。したがって本研究で得られた磁気光学効果の値の方が従来の結果よりも酸化などの表面状態の影響を受け難く、よりバルクの性質を反映していると考えられ、この方法の有用性が実証された。さらにレーザー誘起プラズマ光源を用いた分光系において偏光子として反射型多層膜を用い、ファラデー回転測定を実現した。これは実験室で磁気分光実験を可能とした世界で最初のものである。 放射光を用いたNiの結果については、第12回真空紫外線物理学国際会議で報告した。実験室光源を用いたファラデー回転の実験については、目下投稿準備中である。今後、この2年間で測定できなかった試料を順次調べていく予定である。

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